JPH11355891A - Piezoelectric diaphragm and piezoelectric acoustic component using the piezoelectric diaphragm - Google Patents

Piezoelectric diaphragm and piezoelectric acoustic component using the piezoelectric diaphragm

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JPH11355891A
JPH11355891A JP16384298A JP16384298A JPH11355891A JP H11355891 A JPH11355891 A JP H11355891A JP 16384298 A JP16384298 A JP 16384298A JP 16384298 A JP16384298 A JP 16384298A JP H11355891 A JPH11355891 A JP H11355891A
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JP
Japan
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piezoelectric
plate
metal plate
electrode
substrate
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JP16384298A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Yamamoto
隆 山本
Tetsuo Takeshima
哲夫 竹島
Kenji Kishimoto
健嗣 岸本
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a piezoelectric acoustic component that has satisfactory acoustic concision efficiency, easily enabling obtaining low frequencies and is easily configured to be a surface mounting type. SOLUTION: Slits 2c are formed in parallel with a top plate of a metal plate 2 that is drawn into a cap shape to the metal plate 2 and a unimorph diaphragm 1 is configured by adhering face so as to face a rectangular piezoelectric plate 3 to part of the metal plate 2 between the slits 2c electrically and mechanically. The slits 2c of the diaphragm 1 are sealed with a flexible sealing material 4, a lower end of a circumferential wall of the metal plate 2 is adhered and fixed to a base plate 10 with a 1st electrode 11 and a 2nd electrode 12 for forming an acoustic space 5 between the metal plate 2 and the base 10. The metal plate 2 connects to the 1st electrode 11, a surface electrode 3a of the piezoelectric plate 3 is connected to the 2nd electrode 12 by a wire 6, the diaphragm 1 is covered in a contactless state and a cover 20 while sounding holes 21 is adhered and fixed to the base 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は圧電ブザーや圧電受
話器などの圧電音響部品に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric acoustic component such as a piezoelectric buzzer or a piezoelectric receiver.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子機器、家電製品、携帯電話機
などにおいて、警報音や動作音を発生する圧電ブザーあ
るいは圧電受話器として圧電音響部品が広く用いられて
いる。
2. Description of the Related Art Hitherto, piezoelectric acoustic components have been widely used as a piezoelectric buzzer or a piezoelectric receiver that generates an alarm sound or an operation sound in electronic devices, home appliances, mobile phones, and the like.

【0003】この種の圧電音響部品は、例えば特開平7
−107593号公報,特開平7−203590号公報
に記載のように、円形の圧電板の片面電極に円形の金属
板を貼り付けて振動板を構成し、この振動板の金属板の
周縁部を円形のケースの中に支持し、ケースの開口部を
カバーで閉鎖した構造のものが一般的である。
A piezoelectric acoustic component of this type is disclosed in, for example,
As described in JP-A-107593 and JP-A-7-203590, a diaphragm is formed by attaching a circular metal plate to a single-sided electrode of a circular piezoelectric plate, and a peripheral portion of the metal plate of the diaphragm is formed. In general, it is supported in a circular case, and the opening of the case is closed with a cover.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな円形の振動板を用いると、音響変換効率が低く、し
かも表面実装型に構成することが難しいという問題点が
あった。
However, when such a circular diaphragm is used, there has been a problem that the acoustic conversion efficiency is low and it is difficult to construct a surface mount type.

【0005】まず音響変換効率について説明すると、図
1の(a)に示すように、円板状の振動板は、その周縁
部がケースなどで固定されているため、屈曲変位しにく
く、しかも最大変位点Pが中心点だけになるので、変位
体積が小さい。その結果、音響変換効率が悪いという欠
点があった。また、振動板の周囲が拘束されているの
で、周波数が高くなり、低い周波数の圧電振動板を得よ
うとすれば、半径寸法が大きくなるという欠点もあっ
た。
First, the acoustic conversion efficiency will be described. As shown in FIG. 1 (a), a disk-shaped diaphragm is hardly bent and displaced because its peripheral portion is fixed by a case or the like. Since the displacement point P is only the center point, the displacement volume is small. As a result, there is a disadvantage that the sound conversion efficiency is poor. Further, since the periphery of the diaphragm is constrained, the frequency becomes high, and there is a disadvantage that the radius dimension becomes large in order to obtain a low-frequency piezoelectric diaphragm.

【0006】また、円板状の振動板を用いて圧電音響部
品を構成した場合、外部と接続するためにリード線を用
いることが多く、表面実装型に構成しにくい。そのた
め、実開平3−125396号公報に記載のように、矩
形の金属板の隅部にリード端子を一体に形成し、この金
属板に円形の圧電板を接着したものが知られている。し
かしながら、この構造のものは、金属板から一体にリー
ド端子を形成しておく必要があるため、金属板の形状が
複雑になること、リード端子の引出しのためにケースの
形状が複雑になること、圧電板にリード端子が接触また
は固定されるので、圧電板に機械的負荷あるいは熱負荷
がかかりやすいこと、などの問題があり、圧電音響部品
を表面実装型部品に構成することは、製造コストおよび
信頼性の面で困難な点が多い。
Further, when a piezoelectric acoustic component is formed using a disk-shaped diaphragm, lead wires are often used for connection to the outside, and it is difficult to configure a surface-mounted type. For this reason, as described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-125396, a device is known in which a lead terminal is integrally formed at a corner of a rectangular metal plate and a circular piezoelectric plate is bonded to the metal plate. However, in this structure, it is necessary to form the lead terminals integrally from the metal plate, so that the shape of the metal plate becomes complicated, and the shape of the case becomes complicated due to the lead terminals being drawn out. Since the lead terminals are in contact with or fixed to the piezoelectric plate, there is a problem that a mechanical load or a thermal load is easily applied to the piezoelectric plate. And there are many difficulties in terms of reliability.

【0007】そこで、本発明の目的は、音響変換効率が
良好で、低い周波数を容易に得ることができる圧電振動
板を得ることにある。また、他の目的は、上記圧電振動
板を用いて表面実装型に容易に構成できる圧電音響部品
を得ることにある。
An object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating plate which has good sound conversion efficiency and can easily obtain a low frequency. Another object of the present invention is to provide a piezoelectric acoustic component that can be easily configured in a surface mount type using the above-described piezoelectric vibration plate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、金属板に平行にスリット
を設け、これらスリット間の部位に矩形の圧電板を電気
的かつ機械的に対面接合したことを特徴とする圧電振動
板を提供する。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a slit is provided in parallel with a metal plate, and a rectangular piezoelectric plate is electrically and mechanically provided between the slits. A piezoelectric vibrating plate characterized by being joined face to face.

【0009】金属板に設けたスリットの間の部位に矩形
の圧電板を対面接合することで、金属板のスリットで挟
まれた部位が振動部を構成する。金属板と圧電板の表面
電極との間に所定の周波数信号を入力すると、圧電板が
長さ方向に伸縮し、これに応じて振動部が屈曲振動し、
発音する。この時、矩形の圧電板の長さ方向両端部が振
動の節となり、長さ方向中央部が振動の腹となる。つま
り、図1の(b)に示すように、最大変位点Pが圧電板
の長さ方向の中心線に沿って存在するので、変位体積が
大きくなる。この変位体積は、空気を動かすエネルギー
となるので、音響変換効率を高めることができる。金属
板の周辺部を基板やケース等に固定しても、スリットで
挟まれた部位は自由に変位できるので、音響変換効率を
低下させない。さらに、圧電板が固定された部分がスリ
ットによって自由に変位できるので、従来の円板状の振
動板に比べて低い周波数を得ることができる。逆に、同
じ周波数を得るのであれば、寸法を小型化できる。
By joining a rectangular piezoelectric plate face-to-face to a portion between slits provided in the metal plate, a portion sandwiched between the slits of the metal plate constitutes a vibrating portion. When a predetermined frequency signal is input between the metal plate and the surface electrode of the piezoelectric plate, the piezoelectric plate expands and contracts in the length direction, and the vibrating part flexes and vibrates in response to this,
Pronounce. At this time, both ends in the length direction of the rectangular piezoelectric plate become nodes of vibration, and the center part in the length direction becomes an antinode of vibration. That is, as shown in FIG. 1B, since the maximum displacement point P exists along the longitudinal center line of the piezoelectric plate, the displacement volume increases. Since this displacement volume becomes energy for moving air, the sound conversion efficiency can be increased. Even if the peripheral portion of the metal plate is fixed to a substrate, a case, or the like, the portion sandwiched by the slits can be freely displaced, so that the sound conversion efficiency does not decrease. Further, since the portion where the piezoelectric plate is fixed can be freely displaced by the slit, a lower frequency can be obtained as compared with a conventional disk-shaped diaphragm. Conversely, if the same frequency is obtained, the size can be reduced.

【0010】本発明では矩形の圧電板を用いているの
で、グリーンシートから圧電板を打ち抜くにしても、抜
きカスを少なくでき、材料効率が良い。また、親基板状
態で電極形成,分極などの作業ができるので、生産効率
がよい。さらに、スリットの長さまたは間隔を変更し、
圧電板の寸法を変更すれば、電気的性能を容易に変えら
れるので、その他の部品(例えばケースや基板,カバー
など)を変更せずに済む。そのため、商品種類が増加し
ても、一定形状の基板やケースなどを用いることがで
き、生産コストを低減できる。
In the present invention, since a rectangular piezoelectric plate is used, even when the piezoelectric plate is punched from the green sheet, the amount of scraps can be reduced and the material efficiency is high. In addition, since operations such as electrode formation and polarization can be performed in the state of the parent substrate, production efficiency is high. In addition, change the length or interval of the slit,
If the dimensions of the piezoelectric plate are changed, the electrical performance can be easily changed, so that other components (for example, a case, a board, a cover, etc.) do not need to be changed. Therefore, even if the number of kinds of products increases, a substrate or a case having a fixed shape can be used, and the production cost can be reduced.

【0011】請求項2のように、請求項1に記載の圧電
振動板の金属板を天板部と周壁部とを有するように絞り
加工し、天板部に平行なスリットを形成するとともに、
スリットを可撓性を持つ封止材料で封止し、金属板の周
壁部下端を第1電極と第2電極とを有する基板に対して
接着固定し、金属板と基板との間に音響空間を形成し、
金属板を基板の第1電極に接続するとともに、圧電板の
表面電極を基板の第2電極に接続し、振動板を非接触状
態で覆いかつ放音穴を有するカバーを基板上に接着固定
すれば、表面実装型の圧電音響部品を得ることができ
る。
According to a second aspect of the present invention, the metal plate of the piezoelectric vibrating plate according to the first aspect is drawn so as to have a top plate portion and a peripheral wall portion to form a slit parallel to the top plate portion.
The slit is sealed with a flexible sealing material, the lower end of the peripheral wall of the metal plate is adhesively fixed to a substrate having the first electrode and the second electrode, and an acoustic space is provided between the metal plate and the substrate. To form
The metal plate is connected to the first electrode of the substrate, the surface electrode of the piezoelectric plate is connected to the second electrode of the substrate, and the cover that covers the diaphragm in a non-contact state and has a sound emission hole is bonded and fixed on the substrate. Thus, a surface-mounted piezoelectric acoustic component can be obtained.

【0012】この場合には、金属板をキャップ状に形成
してあるので、その周壁部下端を平板状の基板に固定す
ることで、金属板と基板との間に音響空間を容易に形成
できる。しかも、スリットを天板部に形成することで、
圧電板の取付面積(振動面積)を大きく確保でき、音響
変換効率を一層高めることができる。
In this case, since the metal plate is formed in a cap shape, an acoustic space can be easily formed between the metal plate and the substrate by fixing the lower end of the peripheral wall portion to the flat substrate. . Moreover, by forming the slit on the top plate,
A large mounting area (vibration area) for the piezoelectric plate can be secured, and the sound conversion efficiency can be further increased.

【0013】金属板のスリットは、空気漏れを防止する
ため封止材料で封止されるが、この封止材料は可撓性を
持つので、スリットで挟まれた部位の変位を妨げない。
封止材料としては、例えばシリコーンゴムのような柔軟
性を持つ材料が望ましい。
The slit of the metal plate is sealed with a sealing material to prevent air leakage, but since this sealing material has flexibility, it does not hinder displacement of a portion sandwiched between the slits.
As the sealing material, a material having flexibility such as silicone rubber is desirable.

【0014】また、振動板を非接触状態で覆うカバーを
基板上に接着固定してあるので、振動板の周囲をほぼ密
閉構造にできる。そして、基板に設けた第1,第2の電
極を基板の側縁または裏面まで引き回すことにより、表
面実装型部品に容易に構成できる。
Further, since the cover for covering the diaphragm in a non-contact state is adhered and fixed on the substrate, the periphery of the diaphragm can be made substantially closed. Then, the first and second electrodes provided on the substrate are routed to the side edge or the back surface of the substrate, whereby the component can be easily configured as a surface mount type component.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図2〜図7は本発明にかかる圧電
音響部品の一例である圧電ブザーを示す。この圧電ブザ
ーは、大略、ユニモルフ型の振動板1と、基板10と、
カバー20とで構成されている。
FIG. 2 to FIG. 7 show a piezoelectric buzzer as an example of a piezoelectric acoustic component according to the present invention. The piezoelectric buzzer generally includes a unimorph-type diaphragm 1, a substrate 10,
And a cover 20.

【0016】振動板1は、キャップ状に形成された金属
板2と、金属板2上に電気的および機械的に接合された
矩形の圧電板3とで構成されている。金属板2は例えば
リン青銅,42Niなどの良導電性とバネ弾性とを兼ね
備えた材料が用いられる。金属板3が42Niの場合に
は、セラミック(PZT等)と熱膨張係数が近いので、
より信頼性の高いものが得られる。図6に示すように、
金属板2には天板部2aと周壁部2bとが絞り加工によ
り一体に形成されており、天板部2aには平行な2本の
スリット2c,2cが形成され、圧電板3はこれらスリ
ット2c,2cの間の部位2dに接合されている。スリ
ット2cの長さLは、スリット2c,2cの間隔Wより
長く、圧電板3の長さxおよび幅yはそれぞれスリット
2cの長さLおよび間隔Wと同等または若干短い。
The vibration plate 1 includes a metal plate 2 formed in a cap shape, and a rectangular piezoelectric plate 3 electrically and mechanically joined to the metal plate 2. The metal plate 2 is made of a material having both good conductivity and spring elasticity, such as phosphor bronze and 42Ni. When the metal plate 3 is made of 42Ni, since its thermal expansion coefficient is close to that of ceramic (PZT or the like),
A more reliable product can be obtained. As shown in FIG.
A top plate portion 2a and a peripheral wall portion 2b are integrally formed on the metal plate 2 by drawing, and two parallel slits 2c, 2c are formed in the top plate portion 2a. It is joined to a portion 2d between 2c and 2c. The length L of the slit 2c is longer than the interval W between the slits 2c, 2c, and the length x and the width y of the piezoelectric plate 3 are equal to or slightly shorter than the length L and the interval W of the slit 2c, respectively.

【0017】圧電板3はPZTなどの圧電セラミックよ
りなり、その表裏面には電極3a,3bが形成され、裏
面電極3bが金属板2の部位2dに対面接合されて電気
的に導通している。なお、裏面電極3bを省略し、圧電
板3の裏面を導電性接着剤などを介して金属板2に直接
接合することで、金属板2で裏面電極3bを兼用しても
よい。
The piezoelectric plate 3 is made of a piezoelectric ceramic such as PZT, and electrodes 3a and 3b are formed on the front and back surfaces thereof, and the back electrode 3b is joined to the portion 2d of the metal plate 2 so as to be electrically conductive. . The back electrode 3b may be omitted, and the back surface of the piezoelectric plate 3 may be used as the back electrode 3b by directly bonding the back surface of the piezoelectric plate 3 to the metal plate 2 via a conductive adhesive or the like.

【0018】圧電板3を金属板2のスリット2c,2c
の間の部位2dに接合した後、スリット2c,2cはシ
リコーンゴムなどの可撓性を持つ封止材料4で封止され
る。なお、封止材料4の封止工程は、後述するように振
動板1を基板10に接着後に行なってもよい。
The piezoelectric plate 3 is connected to the slits 2c, 2c of the metal plate 2.
After joining to the portion 2d between the slits 2c, the slits 2c, 2c are sealed with a flexible sealing material 4 such as silicone rubber. Note that the sealing step of the sealing material 4 may be performed after the diaphragm 1 is bonded to the substrate 10 as described later.

【0019】上記振動板1はガラスエポキシ基板などか
らなる絶縁性の基板10に接着固定され、振動板1と基
板10との間に音響空間5が形成される。なお、音響空
間5は完全に密閉する必要はなく、例えば基板10に適
宜制動穴などを設けて外部と連通させてもよい。基板1
0には第1電極11と第2電極12とが形成され、第1
電極11は基板10の一端側の上面から側縁を介して裏
面側に回り込むように形成され、第2電極12も同様に
基板10の他端側の上面から側縁を介して裏面側に回り
込むように形成されている。
The diaphragm 1 is bonded and fixed to an insulating substrate 10 made of a glass epoxy substrate or the like, and an acoustic space 5 is formed between the diaphragm 1 and the substrate 10. Note that the acoustic space 5 does not need to be completely sealed. For example, the substrate 10 may be appropriately provided with a braking hole or the like so as to communicate with the outside. Substrate 1
0, a first electrode 11 and a second electrode 12 are formed.
The electrode 11 is formed so as to extend from the upper surface on one end side of the substrate 10 to the rear surface side via the side edge, and the second electrode 12 is similarly wrapped from the upper surface on the other end side of the substrate 10 to the rear surface side via the side edge. It is formed as follows.

【0020】金属板2の周縁部2b下端に導電性接着剤
を転写などによって塗布し、これを基板10の上に接着
することにより、金属板2と基板10との固定と、金属
板2と第1電極11との電気的接続とが同時に行われ
る。なお、金属板2は第2電極12と接触しないように
離れた位置に位置決めされる。また、振動板1の上面、
つまり圧電板3の表面電極3aは被覆付の金属ワイヤ6
を介して基板10の第2電極12上に接続される。被覆
付の金属ワイヤ6を用いたのは、ワイヤ6と金属板2と
が短絡するのを防止するためである。
A conductive adhesive is applied to the lower end of the peripheral portion 2b of the metal plate 2 by transfer or the like, and is adhered to the substrate 10 to fix the metal plate 2 to the substrate 10, Electrical connection with the first electrode 11 is performed simultaneously. Note that the metal plate 2 is positioned at a distance so as not to contact the second electrode 12. Also, the upper surface of the diaphragm 1,
That is, the surface electrode 3a of the piezoelectric plate 3 is covered with the coated metal wire 6
Through the second electrode 12 of the substrate 10. The reason why the coated metal wire 6 is used is to prevent short-circuit between the wire 6 and the metal plate 2.

【0021】基板10上には、振動板1を非接触状態で
覆うカバー20が接着固定される。このカバー20の天
井面には放音穴21が形成され、この穴21からブザー
音を外部に放出することができる。カバー20の材質
は、金属であってもよいし、樹脂であってもよい。金属
カバー20を用いた場合、金属カバー20と一方の電極
11または12とが導通していてもよい。
A cover 20 for covering the diaphragm 1 in a non-contact state is adhered and fixed on the substrate 10. A sound emission hole 21 is formed in the ceiling surface of the cover 20, and a buzzer sound can be emitted from the hole 21 to the outside. The material of the cover 20 may be a metal or a resin. When the metal cover 20 is used, the metal cover 20 and one of the electrodes 11 or 12 may be electrically connected.

【0022】次に、圧電音響部品の製造工程を図7にし
たがって説明する。まず、(a)のようにキャップ状に
加工された金属板2と矩形の圧電板3とを準備する。金
属板2には絞り加工と同時またはその前後にスリット2
cを加工しておく。次に、(b)のように金属板2のス
リット2cで挟まれた部位2dに導電性接着剤などによ
って圧電板3を接着し、振動板1を得る。次に、(c)
のようにスリット2cをシリコーンゴム4で埋め、スリ
ット2cを封止する。一方、予め電極11,12がパタ
ーン形成された基板10を準備する。次に、(d)のよ
うに振動板1を基板10上に接着することにより、振動
板1と基板10との間に音響空間5を形成する。なお、
この時、金属板2を基板10の第1電極11に対して導
電性接着剤で接続固定する。そして、振動板1の上面で
ある圧電板3の表面電極3aと第2電極12とをワイヤ
6によって接続する。なお、ワイヤ6の表面電極3aに
対する接続位置は、圧電板3の振動の節となる長手方向
先端部とするのが望ましい。次に、(e)のように振動
板1を非接触状態で覆うカバー20を基板10に接着す
る。カバー20の放音穴21は圧電板3の直上に位置し
ている。上記のようにして、(f)に示す表面実装型の
圧電音響部品を得ることができる。
Next, a manufacturing process of the piezoelectric acoustic component will be described with reference to FIG. First, a metal plate 2 and a rectangular piezoelectric plate 3 which are processed into a cap shape as shown in FIG. The metal plate 2 has a slit 2 at the same time as or before and after drawing.
Process c. Next, the piezoelectric plate 3 is bonded to a portion 2d of the metal plate 2 sandwiched by the slits 2c with a conductive adhesive or the like as shown in FIG. Next, (c)
The slit 2c is filled with the silicone rubber 4 and the slit 2c is sealed. On the other hand, the substrate 10 on which the electrodes 11 and 12 are patterned in advance is prepared. Next, an acoustic space 5 is formed between the diaphragm 1 and the substrate 10 by bonding the diaphragm 1 to the substrate 10 as shown in FIG. In addition,
At this time, the metal plate 2 is connected and fixed to the first electrode 11 of the substrate 10 with a conductive adhesive. Then, the surface electrode 3 a of the piezoelectric plate 3, which is the upper surface of the vibration plate 1, and the second electrode 12 are connected by the wire 6. It is desirable that the connection position of the wire 6 with respect to the surface electrode 3 a be a longitudinal end portion that serves as a node of vibration of the piezoelectric plate 3. Next, a cover 20 that covers the diaphragm 1 in a non-contact state as shown in FIG. The sound emission hole 21 of the cover 20 is located immediately above the piezoelectric plate 3. As described above, the surface-mounted piezoelectric acoustic component shown in (f) can be obtained.

【0023】上述の圧電音響部品では、圧電板3の表面
電極3aと基板10の第2電極12とを金属ワイヤ6で
接続したが、これに代えて、図8に示すように、金属ワ
イヤ7の一端を圧電板3の表面電極3a上に半田付けな
どによって接続し、ワイヤ7の他端を金属カバー20の
内面に導電ペースト8を用いて接続してもよい。この場
合には、金属カバー20を導電路の一部として利用する
ことにより、配線スペースを縮小できる。
In the above-described piezoelectric acoustic component, the surface electrode 3a of the piezoelectric plate 3 and the second electrode 12 of the substrate 10 are connected by the metal wire 6, but instead of this, as shown in FIG. May be connected to the surface electrode 3a of the piezoelectric plate 3 by soldering or the like, and the other end of the wire 7 may be connected to the inner surface of the metal cover 20 using the conductive paste 8. In this case, the wiring space can be reduced by using the metal cover 20 as a part of the conductive path.

【0024】また、金属板2と基板10の第1電極11
とを導通させるために、導電性接着剤を用いたが、これ
に代えて、通常の絶縁性接着剤で金属板2を基板10に
対して接着した後、半田や導電性接着剤、あるいはリー
ド線などを用いて金属板2と第1電極11とを接続して
もよい。要するに、金属板2と第1電極11との接続方
法、および圧電板3の表面電極3aと第2電極12との
接続方法は上記実施例に限られるものではなく、任意の
方法を用いることができる。
The metal plate 2 and the first electrode 11 of the substrate 10
A conductive adhesive was used to make the connection between the metal plate 2 and the substrate 10 with a normal insulating adhesive, and then the solder, the conductive adhesive, or the lead was used. The metal plate 2 and the first electrode 11 may be connected using a wire or the like. In short, the connection method between the metal plate 2 and the first electrode 11 and the connection method between the surface electrode 3a of the piezoelectric plate 3 and the second electrode 12 are not limited to the above embodiment, and any method may be used. it can.

【0025】図9は本発明にかかる圧電音響部品の第2
実施例を示す。この実施例では、従前と同様なケース3
0とカバー40とを用いたものである。ケース30に
は、円形の凹部31が形成され、この凹部31の内周面
に段部32が形成されている。圧電振動板50は円板状
の金属板51に2本の平行なスリット52を設け、これ
らスリット52の間の部位に圧電板53を電気的および
機械的に対面接合したものである。なお、スリット52
にはシリコーンゴムなどの封止材54が充填され、封止
されている。振動板50の周縁部はケース30の段部3
2に載置され、接着剤などによって密着固定される。こ
れによって、ケース30と振動板50との間に音響空間
が形成される。ケース30の上面にはカバー40が接着
され、圧電音響部品が完成する。
FIG. 9 shows a second embodiment of the piezoelectric acoustic component according to the present invention.
An example will be described. In this embodiment, case 3 is the same as before.
0 and the cover 40. A circular concave portion 31 is formed in the case 30, and a step portion 32 is formed on an inner peripheral surface of the concave portion 31. The piezoelectric vibration plate 50 is formed by providing two parallel slits 52 in a disc-shaped metal plate 51 and electrically and mechanically facing each other to a piezoelectric plate 53 at a portion between the slits 52. The slit 52
Is sealed with a sealing material 54 such as silicone rubber. The periphery of the diaphragm 50 is the step 3 of the case 30.
2 and closely fixed with an adhesive or the like. Thus, an acoustic space is formed between the case 30 and the diaphragm 50. The cover 40 is adhered to the upper surface of the case 30 to complete the piezoelectric acoustic component.

【0026】金属板51と圧電板53の表面電極53a
とを外部と接続するために、それぞれリード線(図示せ
ず)を接続してもよいし、リード端子を用いてもよい。
いずれの接続方法も公知であるため、ここでは説明を省
略する。
The metal plate 51 and the surface electrode 53a of the piezoelectric plate 53
In order to connect to the outside, a lead wire (not shown) may be connected, or a lead terminal may be used.
Since both connection methods are known, description thereof is omitted here.

【0027】図9の実施例において、ケース30,カバ
ー40および振動板50の外形形状は任意に変更可能で
ある。例えば、ケース30およびカバー40を方形状と
し、金属板51も方形板としてもよい。
In the embodiment shown in FIG. 9, the outer shapes of the case 30, the cover 40 and the diaphragm 50 can be arbitrarily changed. For example, the case 30 and the cover 40 may have a rectangular shape, and the metal plate 51 may have a rectangular shape.

【0028】上記実施例では、1個の金属板の上に2本
のスリットを形成し、その間に1個の圧電板を固定した
例を示したが、金属板に複数対のスリットを設け、これ
らスリットの間に複数の圧電板を固定してもよい。この
場合には、隣接する圧電板間はスリットによって振動が
伝わらないので、音響特性が乱れることがない。また、
基板に複数の電極を形成しておき、これら電極と各圧電
板の表面電極とを個別に接続すれば、各圧電板部分から
異なる音を発生させることもできる。また、上記実施例
では、金属板の片面に圧電板を貼り付けたユニモルフ型
振動板について説明したが、金属板の両面にそれぞれ圧
電板を貼り付けたバイモルフ型振動板を用いてもよい。
In the above embodiment, two slits are formed on one metal plate, and one piezoelectric plate is fixed between the slits. However, a plurality of pairs of slits are provided on the metal plate. A plurality of piezoelectric plates may be fixed between these slits. In this case, no vibration is transmitted by the slit between the adjacent piezoelectric plates, so that the acoustic characteristics are not disturbed. Also,
If a plurality of electrodes are formed on the substrate and these electrodes are individually connected to the surface electrodes of each piezoelectric plate, different sounds can be generated from each piezoelectric plate portion. Further, in the above-described embodiment, a unimorph type vibration plate in which a piezoelectric plate is attached to one surface of a metal plate has been described, but a bimorph type vibration plate in which a piezoelectric plate is attached to both surfaces of a metal plate may be used.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に記載の発明によれば、金属板に平行にスリットを設
け、これらスリット間の部位に矩形の圧電板を電気的か
つ機械的に対面接合することにより、振動板を構成した
ので、スリットによって振動板が大きく屈曲振動でき、
音響変換効率が良好となるとともに、低い周波数を容易
に得ることができる。
As is apparent from the above description, claim 1
According to the invention described in (1), since the diaphragm is formed by providing slits in parallel with the metal plate and electrically and mechanically joining the rectangular piezoelectric plate face-to-face between the slits, The board can flex and vibrate greatly,
The sound conversion efficiency is improved, and a low frequency can be easily obtained.

【0030】また、請求項2に記載の発明によれば、キ
ャップ状の金属板と平板状の基板とを用いることによ
り、音響空間を容易に得ることができ、構成部品を単純
化できるとともに、基板に電極を形成しておくことで、
表面実装型の圧電音響部品を容易に得ることができる。
According to the second aspect of the present invention, an acoustic space can be easily obtained by using a cap-shaped metal plate and a flat substrate, and the components can be simplified. By forming electrodes on the substrate,
A surface-mounted piezoelectric acoustic component can be easily obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来例と本発明との変位分布の比較図である。FIG. 1 is a comparison diagram of a displacement distribution between a conventional example and the present invention.

【図2】本発明にかかる圧電音響部品の一例である圧電
ブザーの斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a piezoelectric buzzer as an example of the piezoelectric acoustic component according to the present invention.

【図3】図2の圧電ブザーの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the piezoelectric buzzer of FIG.

【図4】図2のIV−IV線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. 2;

【図5】図2のV−V線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. 2;

【図6】振動板および基板の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of a diaphragm and a substrate.

【図7】圧電ブザーの製造工程を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a manufacturing process of the piezoelectric buzzer.

【図8】図2に示す圧電ブザーの変形例の断面図であ
る。
8 is a sectional view of a modification of the piezoelectric buzzer shown in FIG.

【図9】本発明にかかる圧電音響部品の第2実施例の分
解斜視図である。
FIG. 9 is an exploded perspective view of a second embodiment of the piezoelectric acoustic component according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振動板 2 金属板 2c スリット 3 圧電板 3a 表面電極 4 封止材料 5 音響空間 6 導電性ワイヤ 10 基板 11 第1電極 12 第2電極 20 カバー 21 放音穴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vibration plate 2 Metal plate 2c Slit 3 Piezoelectric plate 3a Surface electrode 4 Sealing material 5 Acoustic space 6 Conductive wire 10 Substrate 11 1st electrode 12 2nd electrode 20 Cover 21 Sound emission hole

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】金属板に平行にスリットを設け、これらス
リット間の部位に矩形の圧電板を電気的かつ機械的に対
面接合したことを特徴とする圧電振動板。
1. A piezoelectric vibrating plate wherein slits are provided in parallel with a metal plate, and a rectangular piezoelectric plate is electrically and mechanically face-to-face joined to a portion between the slits.
【請求項2】請求項1に記載の圧電振動板の金属板を天
板部と周壁部とを有するように絞り加工し、上記天板部
に平行なスリットを形成するとともに、上記スリットを
可撓性を持つ封止材料で封止し、上記金属板の周壁部下
端を第1電極と第2電極とを有する基板に対して接着固
定して、金属板と基板との間に音響空間を形成し、金属
板を基板の第1電極に接続するとともに、圧電板の表面
電極を基板の第2電極に接続し、上記振動板を非接触状
態で覆いかつ放音穴を有するカバーを基板上に接着固定
したことを特徴とする圧電音響部品。
2. A metal plate of the piezoelectric vibrating plate according to claim 1 is drawn so as to have a top plate portion and a peripheral wall portion, and a slit parallel to the top plate portion is formed. It is sealed with a flexible sealing material, and the lower end of the peripheral wall of the metal plate is bonded and fixed to a substrate having a first electrode and a second electrode, so that an acoustic space is formed between the metal plate and the substrate. A metal plate is connected to a first electrode of the substrate, a surface electrode of the piezoelectric plate is connected to a second electrode of the substrate, and a cover that covers the diaphragm in a non-contact state and has a sound emission hole is formed on the substrate. A piezoelectric acoustic component characterized by being adhered and fixed to a substrate.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6420818B1 (en) * 1999-02-22 2002-07-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electroacoustic transducer
US6653762B2 (en) * 2000-04-19 2003-11-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric type electric acoustic converter

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