JPH11347505A - Static removing dust remover - Google Patents
Static removing dust removerInfo
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- JPH11347505A JPH11347505A JP15635398A JP15635398A JPH11347505A JP H11347505 A JPH11347505 A JP H11347505A JP 15635398 A JP15635398 A JP 15635398A JP 15635398 A JP15635398 A JP 15635398A JP H11347505 A JPH11347505 A JP H11347505A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば印刷機、
輪転機、半導体、また、フィルムや紙等のシート類、さ
らには食品等の除電と除塵を行う除電除塵器に関する。The present invention relates to a printing machine,
The present invention relates to a rotary press, a semiconductor, a sheet such as a film or paper, and a static eliminator for removing static and dust from foods and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の除電除塵装置として、実開平７−
３７３８３号公報に記載されたものがある。2. Description of the Related Art As a conventional static eliminator and dust remover, Japanese Utility Model No.
There is one described in Japanese Patent No. 37383.
【０００３】その除電除塵装置は、図１２に示すよう
に、基端部に圧縮空気が供給される空気供給口１ａが形
成され、先端部に複数のノズル孔１ｂ…が平行に設けら
れたエアーノズル１と、空気供給口１ａに圧縮空気を供
給するエアーコンプレッサ２と、各ノズル孔１ｂ内に１
個おきに設けられ、交流電圧が印加されることによって
コロナ放電を発生する複数の針電極３…と、各針電極３
に電圧を印加する交流高圧電源４とを備えたものであ
り、特に上記各ノズル孔１ｂを、これらから吹き出され
る空気の流れが層流となる口径にしたものである。な
お、５はエアーノズル１の外面に設けられた接地電極で
ある。As shown in FIG. 12, the static eliminator has an air supply port 1a formed at a base end thereof for supplying compressed air and a plurality of nozzle holes 1b... A nozzle 1, an air compressor 2 for supplying compressed air to an air supply port 1a, and a nozzle 1 in each nozzle hole 1b.
A plurality of needle electrodes 3 which are provided every other and generate a corona discharge when an AC voltage is applied;
And an AC high-voltage power supply 4 for applying a voltage to the nozzle holes. In particular, each of the nozzle holes 1b has a diameter such that the flow of air blown out from the nozzle holes 1b becomes laminar. Reference numeral 5 denotes a ground electrode provided on the outer surface of the air nozzle 1.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、イオンを発生
させるためにノズル孔１ｂ内に針電極３を配置すると、
それがノズル孔１ｂ内の空気の流れを乱して、ノズル孔
１ｂから吹き出された空気流を減衰させ、除電除塵性能
が低下するという欠点がある。また、ノズル孔１ｂ…内
に針電極３を各々配設した構成では製作が困難であり、
従ってコスト高になっていた。However, if the needle electrode 3 is arranged in the nozzle hole 1b to generate ions,
This disturbs the flow of air in the nozzle hole 1b, attenuates the airflow blown out from the nozzle hole 1b, and has the disadvantage that the static elimination and dust removal performance is reduced. In addition, it is difficult to manufacture with a configuration in which the needle electrodes 3 are disposed in the nozzle holes 1b, respectively.
Therefore, the cost was high.
【０００５】本発明は、ノズル孔内の空気の流れを乱す
ことなくイオンを生成させることができるとともに、イ
オン生成効率が良く、製造が容易でしかも安価な除電除
塵器の提供を目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a static eliminator capable of generating ions without disturbing the flow of air in a nozzle hole, having good ion generation efficiency, easy to manufacture, and inexpensive.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の除電除塵器は、
エアーノズルＡに列設された複数の空気吹出し口７…の
両側に、それぞれ複数の突起１０ｂ…，１２ｂ…を列設
した１対の電極１０，１２を互いに対向させて配設した
構成のものである。According to the present invention, there is provided a static eliminator and dust remover, comprising:
A configuration in which a pair of electrodes 10 and 12 having a plurality of projections 10b... 12b... Respectively arranged on both sides of a plurality of air outlets 7 arranged in an air nozzle A are arranged to face each other. It is.
【０００７】上記の両電極１０，１２としては、たとえ
ば細長い基板部分１０ａ，１２ａの一側に、先端が尖っ
た突起１０ｂ，１２ｂを一体に形成した構成にし、ま
た、それらの電極１０，１２を、エアーノズルＡの外側
に嵌装固定するケーシング９に取り付けるようにしても
よい。The electrodes 10 and 12 are formed, for example, in such a manner that projections 10b and 12b with sharp tips are integrally formed on one side of the elongated substrate portions 10a and 12a. Alternatively, it may be attached to a casing 9 fitted and fixed to the outside of the air nozzle A.
【０００８】さらに、隣接する空気吹出し口７，７間に
整流フィンＡｄを形成し、また、それらの空気吹出し口
７…をケーシング９の先端開口に臨ませるとともに、両
電極１０，１２を、ケーシング９の先端開口の内側に固
定された構成にしてもよい。さらには、両電極１０，１
２の突起１０ｂ，１２ｂを、エアーノズルＡの空気吹出
し口７よりも前方に突出させた構成が好ましい。Further, a rectifying fin Ad is formed between the adjacent air outlets 7, 7, and the air outlets 7 are made to face the front end opening of the casing 9, and both electrodes 10, 12 are connected to the casing 9. 9 may be fixed inside the tip opening. Further, both electrodes 10, 1
It is preferable that the two protrusions 10b and 12b protrude forward from the air outlet 7 of the air nozzle A.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。本発明の除電除塵器は、図１〜５
に示すように、エアーノズルＡと、これの外側に嵌装固
定された除電ユニットＢとからなる。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The static eliminator of the present invention is shown in FIGS.
As shown in (1), the air nozzle A includes a static elimination unit B fitted and fixed to the outside of the air nozzle A.
【００１０】エアーノズルＡはたとえばＡＢＳやＰＰＳ
樹脂等により形成されており、圧縮空気が供給される空
気供給口６を形成した基端部Ａａ、この基端部Ａａに続
く平面台形に形成した中間部Ａｂ、及び平面長方形の先
端部Ａｃからなる。この先端部Ａｃの先端面には、複数
の空気吹出し口７…が互いに等間隔に列設されていると
ともに、それらの間には、方形の整流フィンＡｄが突設
されている。なお、８は上面に形成されたケーシング取
付け用ねじ孔である。[0010] The air nozzle A is, for example, ABS or PPS.
A base end portion Aa formed of resin or the like and having an air supply port 6 to which compressed air is supplied, an intermediate portion Ab formed in a flat trapezoid following the base end portion Aa, and a flat end portion Ac of a flat rectangular shape. Become. A plurality of air outlets 7 are arranged at equal intervals on the distal end surface of the distal end portion Ac, and a rectangular rectifying fin Ad protrudes between them. Reference numeral 8 denotes a casing mounting screw hole formed on the upper surface.
【００１１】また、エアーノズルＡ内には、図３に示す
ように、空気供給口６から空気吹出し口７…にいたる複
数のノズル孔７ａ…が形成されており、たとえばエアー
コンプレッサ（図示しない）から空気供給口６に供給さ
れた圧縮空気は、ノズル孔７…を通じて分流されて、各
空気吹出し口７…から帯状に吹き出されるようになって
いる。As shown in FIG. 3, a plurality of nozzle holes 7a extending from the air supply port 6 to the air outlets 7 are formed in the air nozzle A, for example, an air compressor (not shown). Compressed air supplied to the air supply port 6 is divided through the nozzle holes 7 and is blown out from the air outlets 7 in a band shape.
【００１２】除電ユニットＢは、主に図６〜１０に示す
ように、ケーシング９、第１の電極１０、この第１の電
極１０を保持する電極保持部材１１及び第２の電極１２
からなる。As shown in FIGS. 6 to 10, the static elimination unit B includes a casing 9, a first electrode 10, an electrode holding member 11 for holding the first electrode 10, and a second electrode 12.
Consists of
【００１３】ケーシング９は、基端面９ａと先端面９ｂ
とを開口した箱形のものであり、側壁９ｃ，９ｃ及び上
壁９ｄと下壁９ｅとを、エアーノズルＡを着脱自在な間
隔に設定している。The casing 9 has a base end face 9a and a tip end face 9b.
Are open, and the side walls 9c, 9c and the upper wall 9d and the lower wall 9e are set at an interval at which the air nozzle A is detachable.
【００１４】また、両側壁９ｃ，９ｃの先端下部には、
第２の電極１２を挟持する電極挟持溝９ｆ，９ｆが形成
されている。なお、９ｇはエアーノズルＡのケーシング
取付け用ねじ孔８に対向する位置に形成した取付け用孔
である。In addition, the lower part of the tip of both side walls 9c, 9c,
Electrode sandwiching grooves 9f, 9f for sandwiching the second electrode 12 are formed. 9g is a mounting hole formed at a position facing the casing mounting screw hole 8 of the air nozzle A.
【００１５】第１の電極１０は、ケーシング９の側壁外
面間の幅と同じ長さにした横長の基板部分１０ａの一側
辺縁に、複数の三角形からなる突起１０ｂ…を一定間隔
で形成した鋸歯状の金属板である。In the first electrode 10, a plurality of triangular protrusions 10b are formed at regular intervals on one side edge of a horizontally long substrate portion 10a having the same length as the width between the outer surfaces of the side walls of the casing 9. It is a sawtooth-shaped metal plate.
【００１６】電極保持部材１１は横長方形の板状体であ
り、これの側面１１ａに、第１の電極１０の基板部分１
０ａを挟み込む電極挟持溝１１ｂが形成されている。ま
た、電極保持部材１１の一端部には、第１の電極１０に
連結する抵抗器１３を挿入できる遊挿孔１１ｃを形成し
た挿入部１１ｄが下面側に突設されている。The electrode holding member 11 is a horizontal rectangular plate-like body, and the side surface 11a of the electrode holding member 11 is provided with the substrate portion 1 of the first electrode 10.
An electrode holding groove 11b sandwiching Oa is formed. At one end of the electrode holding member 11, an insertion portion 11d having a play insertion hole 11c into which the resistor 13 connected to the first electrode 10 can be inserted is formed to protrude from the lower surface side.
【００１７】第２の電極１２は、上記第１の電極１０と
ほぼ同形のものであり、基板部分１２ａをケーシング９
の側壁外面間の幅と同じ長さにし、また、これの辺縁に
上記突起１０ｂと同形の突起１２ｂ…が形成されてい
る。The second electrode 12 has substantially the same shape as the first electrode 10, and the substrate portion 12a is
Are formed to have the same length as the width between the outer surfaces of the side walls, and projections 12b...
【００１８】第１の電極１０を保持した電極保持部材１
１をケーシング９に取り付け、また、そのケーシング９
の電極挟持溝１１ｂに第２の電極１２を挟入すると、第
１の電極１０と第２の電極１２とが、エアーノズルＡの
空気吹出し口７の前側において互いに対向し、かつ、そ
れら電極１０，１２の突起１０ｂ…，１２ｂ…が、ケー
シング９の先端開口から外部に突出しない位置になるよ
うに配設された状態になる。An electrode holding member 1 holding a first electrode 10
1 is attached to a casing 9 and the casing 9
When the second electrode 12 is inserted into the electrode holding groove 11b, the first electrode 10 and the second electrode 12 face each other in front of the air outlet 7 of the air nozzle A, and the electrodes 10 , 12 are arranged so as not to protrude from the opening at the tip end of the casing 9 to the outside.
【００１９】両電極１０，１２には、高周波発振回路、
高周波トランス、この高周波トランスの２次側に接続さ
れた倍電圧整流回路（いずれも図示しない）からなる除
電用電源１４（図２に示す）が接続されている。A high-frequency oscillation circuit,
A high-frequency transformer and a static elimination power supply 14 (shown in FIG. 2) composed of a voltage doubler rectifier circuit (both not shown) connected to the secondary side of the high-frequency transformer are connected.
【００２０】この除電用電源１４では、高周波発振回路
の発振により、高周波トランスの２次側に高周波電圧が
発生し、これが倍電圧整流回路で整流及び増幅されて、
第１，第２の電極１０，１２にプラス，マイナスの直流
高電圧がそれぞれ印加される。In the static elimination power supply 14, a high-frequency voltage is generated on the secondary side of the high-frequency transformer by the oscillation of the high-frequency oscillation circuit, and this is rectified and amplified by the voltage doubler rectifier circuit.
Positive and negative DC high voltages are applied to the first and second electrodes 10 and 12, respectively.
【００２１】次に本発明の除電除塵器の動作について説
明する。エアーコンプレッサ（図示しない）によって、
エアーノズルＡの空気供給口６に供給された圧縮空気は
ノズル孔７ａ…を通じて分流されて、各空気吹出し口７
…から均一な帯状の空気流となって吹き出される。Next, the operation of the static eliminator of the present invention will be described. By an air compressor (not shown)
The compressed air supplied to the air supply port 6 of the air nozzle A is diverted through the nozzle holes 7a.
... is blown out as a uniform belt-like air flow.
【００２２】また、除電用回路電源１４によって、上下
に対向して配設された第１の電極１０と第２の電極１２
との間には高電界が形成され、これにより、突起１０
ｂ，１２ｂの先端間にコロナ放電が発生し、これにより
空気吹出し口７…の少し前方において正と負のイオンが
生成される。従って、空気吹出し口７…から吹き出され
る帯状の空気流中に正負のイオンが生成されることにな
る。Further, a first electrode 10 and a second electrode 12 which are disposed vertically facing each other by a circuit power supply 14 for static elimination.
And a high electric field is formed between the
Corona discharge occurs between the tips of b and 12b, thereby generating positive and negative ions slightly in front of the air outlets 7. Therefore, positive and negative ions are generated in the belt-like air flow blown out from the air outlets 7.
【００２３】なお、本発明は前述した実施形態に限るも
のではなく、その要旨の範囲内で様々な変形実施が可能
である。上記においては、第１，第２の電極１０，１２
として、横長の基板部分の一側辺縁に、複数の三角形か
らなる突起を一定間隔で形成した鋸歯状のものを例とし
て説明したが、図１１に示すように、細長い基板部分１
５ａの一側辺縁に、複数の針状の突起１５ｂ…を一定間
隔で一体に列設した構成にしてもよい。The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the invention. In the above, the first and second electrodes 10 and 12
As an example, a saw-tooth shape in which a plurality of triangular protrusions are formed on one side edge of a horizontally long substrate portion at regular intervals has been described, but as shown in FIG.
A plurality of needle-like projections 15b may be integrally arranged at a fixed interval on one side edge of the side 5a.
【００２４】上記においては、除電用電源として直流電
源を用い、第１，第２の電極１０，１２にプラス，マイ
ナスの直流高電圧をそれそれぞれ印加したが、除電用電
源として交流電源を用い、一方の電極に交流の高電圧を
印加し、他方の電極をアースして、正負のイオンを交互
に生成してもよい。In the above description, a DC power supply was used as a power supply for static elimination, and positive and negative DC high voltages were applied to the first and second electrodes 10 and 12, respectively. Alternatively, positive and negative ions may be generated alternately by applying an AC high voltage to one electrode and grounding the other electrode.
【００２５】また、エアーノズルの外側に嵌装するケー
シングに、第１の電極と第２の電極とを取り付けた例に
ついて説明したが、それら第１の電極と第２の電極とを
たとえばエアーノズルの上下面に直接固着した構成にし
てもよく、従って、上述したようなケーシングは必ずし
も必要ではない。Also, an example in which the first electrode and the second electrode are attached to the casing fitted to the outside of the air nozzle has been described, but the first electrode and the second electrode are connected to the air nozzle, for example. The casing may be directly fixed to the upper and lower surfaces, and thus the casing as described above is not necessarily required.
【００２６】さらに、空気の供給源としてエアーコンプ
レッサを使用した場合を想定して説明したが、ブロワー
等を使用してもよい。Furthermore, although the description has been made on the assumption that an air compressor is used as the air supply source, a blower or the like may be used.
【００２７】[0027]
【発明の効果】請求項１〜６記載の発明によれば、第１
の電極をノズル孔内に配置せずに、ノズル孔の空気吹出
し口の外側において第２の電極と対向させて配設したの
で、ノズル孔内での空気の流れを乱すことがない。従っ
て、吹き出された空気流の減衰を低減させることがで
き、これにより、イオンを遠くまで送り出すことができ
るとともに、除塵能力も向上させられる。According to the first to sixth aspects of the present invention, the first
This electrode is not disposed in the nozzle hole, but is disposed opposite to the second electrode outside the air outlet of the nozzle hole, so that the flow of air in the nozzle hole is not disturbed. Therefore, the attenuation of the blown air flow can be reduced, whereby the ions can be sent far away and the dust removing ability can be improved.
【００２８】さらに、エアーノズルの外側に第１の電極
と第２の電極とを対向して配設すればよいので製造を極
めて容易に行うことができ、しかも、製造コストを低減
できる。Further, since the first electrode and the second electrode may be disposed outside the air nozzle so as to face each other, the production can be performed very easily, and the production cost can be reduced.
【００２９】請求項１〜６記載の発明で得られる上記共
通の効果の他、各請求項記載の発明によれば次の各効果
を得ることができる。In addition to the above-mentioned common effects obtained by the inventions of the first to sixth aspects, the following effects can be obtained by the inventions of the respective claims.
【００３０】請求項２記載の発明によれば、第１の電極
と第２の電極とを、それぞれ細長い基板部分の一側辺縁
に先端の尖った突起を一体に形成した構成にしたので、
従来の複数の針電極に相当するものを一体成形すること
ができ、これにより製造を容易に行えしかも安価なもの
を提供できる。According to the second aspect of the present invention, since the first electrode and the second electrode are each formed integrally with a projection having a sharp tip at one side edge of the elongated substrate portion,
An electrode corresponding to a plurality of conventional needle electrodes can be integrally formed, thereby making it easy to manufacture and providing an inexpensive electrode.
【００３１】請求項３記載の発明によれば、第１の電極
と第２の電極とが、エアーノズルの外側に嵌装したケー
シングに取り付けられているので、組み立てを容易に行
うことができる。According to the third aspect of the present invention, since the first electrode and the second electrode are attached to the casing fitted to the outside of the air nozzle, assembly can be easily performed.
【００３２】請求項４記載の発明によれば、空気吹出し
口間に整流フィンを形成しているので、隣接する空気吹
出し口から吹き出された空気流との干渉を防いで、その
流れを整えることができる。According to the fourth aspect of the present invention, since the rectifying fin is formed between the air outlets, interference with the air flow blown out from the adjacent air outlet is prevented and the flow is adjusted. Can be.
【００３３】請求項５記載の発明によれば、エアーノズ
ルの空気吹出し口がケーシングの先端開口に臨み、第１
の電極と第２の電極とが、ケーシングの先端開口の内側
に固定されているので、空気流中にイオンを生成して除
電効率を向上させることができる。According to the fifth aspect of the invention, the air outlet of the air nozzle faces the front end opening of the casing, and the first air outlet opens.
Since the first electrode and the second electrode are fixed inside the distal end opening of the casing, ions can be generated in the airflow to improve the static elimination efficiency.
【００３４】請求項６記載の発明によれば、第１の電極
の突起と第２の電極の突起とを、エアーノズルの空気吹
出し口よりも前方に突出させているので、空気吹出し口
から吹き出される空気のイオン化を効率良く行うことが
できる。According to the sixth aspect of the present invention, the projection of the first electrode and the projection of the second electrode are projected forward of the air outlet of the air nozzle. The ionization of the air to be performed can be performed efficiently.
【図１】本発明にかかる除電除塵器の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a static eliminator according to the present invention.
【図２】その分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view thereof.
【図３】エアーノズルの平面図である。FIG. 3 is a plan view of an air nozzle.
【図４】その正面図である。FIG. 4 is a front view thereof.
【図５】その側面図である。FIG. 5 is a side view thereof.
【図６】除電ユニットの一部を破断して示す平面図であ
る。FIG. 6 is a plan view showing a part of the static elimination unit cut away.
【図７】その正面図である。FIG. 7 is a front view thereof.
【図８】電極保持部材の平面図である。FIG. 8 is a plan view of an electrode holding member.
【図９】その正面図である。FIG. 9 is a front view thereof.
【図１０】（Ａ）は第１の電極の平面図であり、（Ｂ）
は第２の電極の平面図である。10A is a plan view of a first electrode, and FIG.
FIG. 4 is a plan view of a second electrode.
【図１１】第１，第２の電極の他例を示す平面図であ
る。FIG. 11 is a plan view showing another example of the first and second electrodes.
【図１２】従来の除電除塵装置の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of a conventional static eliminator and dust remover.
７ 空気吹出し口 ７ａ ノズル孔 ９ ケーシング １０ 第１の電極 １０ｂ 突起 １２ 第２の電極 １２ｂ 突起 Ａ エアーノズル Ｂ 除電ユニット 7 Air outlet 7a Nozzle hole 9 Casing 10 First electrode 10b Projection 12 Second electrode 12b Projection A Air nozzle B Static electricity removal unit
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年４月２１日[Submission date] April 21, 1999
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【書類名】 明細書[Document Name] Statement
【発明の名称】 除電除塵器[Title of the Invention] Static elimination dust remover
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば印刷機、
輪転機、半導体、また、フィルムや紙等のシート類、さ
らには食品等の除電と除塵を行う除電除塵器に関する。The present invention relates to a printing machine,
The present invention relates to a rotary press, a semiconductor, a sheet such as a film or paper, and a static eliminator for removing static and dust from foods and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の除電除塵装置として、実開平７−
３７３８３号公報に記載されたものがある。2. Description of the Related Art As a conventional static eliminator and dust remover, Japanese Utility Model No.
There is one described in Japanese Patent No. 37383.
【０００３】その除電除塵装置は、図１２に示すよう
に、基端部に圧縮空気が供給される空気供給口１ａが形
成され、先端部に複数のノズル孔１ｂ…が平行に設けら
れたエアーノズル１と、空気供給口１ａに圧縮空気を供
給するエアーコンプレッサ２と、各ノズル孔１ｂ内に１
個おきに設けられ、交流電圧が印加されることによって
コロナ放電を発生する複数の針電極３…と、各針電極３
に電圧を印加する交流高圧電源４とを備えたものであ
り、特に上記各ノズル孔１ｂを、これらから吹き出され
る空気の流れが層流となる口径にしたものである。な
お、５はエアーノズル１の外面に設けられた接地電極で
ある。As shown in FIG. 12, the static eliminator has an air supply port 1a formed at a base end thereof for supplying compressed air and a plurality of nozzle holes 1b... A nozzle 1, an air compressor 2 for supplying compressed air to an air supply port 1a, and a nozzle 1 in each nozzle hole 1b.
A plurality of needle electrodes 3 which are provided every other and generate a corona discharge when an AC voltage is applied;
And an AC high-voltage power supply 4 for applying a voltage to the nozzle holes. In particular, each of the nozzle holes 1b has a diameter such that the flow of air blown out from the nozzle holes 1b becomes laminar. Reference numeral 5 denotes a ground electrode provided on the outer surface of the air nozzle 1.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この除電除塵
装置では、イオンを発生させるためにノズル孔１ｂ内に
針電極３を配置すると、それがノズル孔１ｂ内の空気の
流れを乱して、ノズル孔１ｂから吹き出された空気流を
減衰させ、除電除塵性能が低下するという欠点がある。
また、ノズル孔１ｂ…内に針電極３を各々配設した構成
では製作が困難であり、従ってコスト高になっていた。However, in this static elimination device, when the needle electrode 3 is arranged in the nozzle hole 1b to generate ions, it disturbs the flow of air in the nozzle hole 1b. There is a disadvantage that the airflow blown out from the nozzle hole 1b is attenuated, and the static elimination and dust removal performance is reduced.
In addition, it is difficult to manufacture a structure in which the needle electrodes 3 are provided in the nozzle holes 1b, and thus the cost is increased.
【０００５】本発明は、ノズル孔内の空気の流れを乱す
ことなくイオンを生成させることができるとともに、イ
オン生成効率が良く、製造が容易でしかも安価な除電除
塵器の提供を目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a static eliminator capable of generating ions without disturbing the flow of air in a nozzle hole, having good ion generation efficiency, easy to manufacture, and inexpensive.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の除電除塵器は、
先端開口を有する箱状のケーシング９と、複数の空気吹
出し口７…を列設したエアーノズルＡと、細長い基板部
分１０ａ，１２ａの一側辺縁に先端が尖った突起１０
ｂ，１２ｂを一体に形成した第１と第２の一対の鋸歯状
電極１０，１２と、電極挟持溝１１ｂを有する板状の電
極保持部材１１とからなる。According to the present invention, there is provided a static eliminator and dust remover, comprising:
A box-shaped casing 9 having an opening at the end, an air nozzle A having a plurality of air outlets 7 arranged in a row, and a projection 10 having a sharp end at one side edge of the elongated substrate portions 10a, 12a.
It comprises a pair of first and second sawtooth electrodes 10 and 12 in which b and 12b are integrally formed, and a plate-like electrode holding member 11 having an electrode holding groove 11b.
【０００７】そして、この電極保持部材１１の電極挟持
溝１１ｂに第１の鋸歯状電極１０を挿入して該鋸歯状電
極１０を電極保持部材１１に保持し、この電極保持部材
１１とエアーノズルＡとを重ねた状態にしてこれらをケ
ーシング９の先端開口よりも内方においてケーシング９
中に嵌装し、また第２の鋸歯状電極１２をケーシング９
の内面に保持することにより、両鋸歯状電極１０，１２
をエアーノズルＡを挟んで互いに対向させ、それらの突
起１０ｂ，１２ｂを、エアーノズルＡの空気吹出し口７
…よりは前方で、ケーシング９の先端開口から外部に突
出しない位置に設定したものである。The first saw-tooth electrode 10 is inserted into the electrode holding groove 11b of the electrode holding member 11 to hold the saw-tooth electrode 10 on the electrode holding member 11, and the electrode holding member 11 and the air nozzle A In a state in which the casing 9
The second saw-tooth electrode 12 is fitted in the casing 9.
Of the two saw-tooth electrodes 10, 12
Are opposed to each other with the air nozzle A interposed therebetween, and the protrusions 10b and 12b are connected to the air outlet 7 of the air nozzle A.
.. Are set at positions in front of and beyond the end opening of the casing 9 to the outside.
【０００８】また、エアーノズルＡの隣接する空気吹出
し口７…間に、ケーシングＡの先端開口から突出しない
整流フィンＡｄを形成されている。電極保持部材１１に
は、第１の鋸歯状電極１０と電気接続された抵抗器１３
を保持することができる。A rectifying fin Ad that does not protrude from the front end opening of the casing A is formed between adjacent air outlets 7 of the air nozzle A. The electrode holding member 11 has a resistor 13 electrically connected to the first sawtooth electrode 10.
Can be held.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して説明する。本発明の除電除塵器は、図１〜５
に示すように、エアーノズルＡと、これの外側に嵌装固
定された除電ユニットＢとからなる。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The static eliminator of the present invention is shown in FIGS.
As shown in (1), the air nozzle A includes a static elimination unit B fitted and fixed to the outside of the air nozzle A.
【００１０】エアーノズルＡは、たとえばＡＢＳやＰＰ
Ｓ樹脂等により形成されており、圧縮空気が供給される
空気供給口６を形成した基端部Ａａ、この基端部Ａａに
続く平面台形の中間部Ａｂ、及び平面長方形の先端部Ａ
ｃからなる。この先端部Ａｃの先端面には、複数の空気
吹出し口７…が互いに等間隔に列設されているととも
に、それらの間には、方形の整流フィンＡｄが突設され
ている。なお、８は上面に形成されたケーシング取付け
用ねじ孔である。[0010] The air nozzle A is, for example, ABS or PP.
A base end portion Aa formed of an S resin or the like and having an air supply port 6 to which compressed air is supplied, a planar trapezoidal intermediate portion Ab following the base end portion Aa, and a flat rectangular end portion A
c. A plurality of air outlets 7 are arranged at equal intervals on the distal end surface of the distal end portion Ac, and a rectangular rectifying fin Ad protrudes between them. Reference numeral 8 denotes a casing mounting screw hole formed on the upper surface.
【００１１】また、エアーノズルＡ内には、図３に示す
ように、空気供給口６から空気吹出し口７…に至る複数
のノズル孔７ａ…が形成されており、たとえばエアーコ
ンプレッサ（図示しない）から空気供給口６に供給され
た圧縮空気は、ノズル孔７…を通じて分流されて、各空
気吹出し口７…から帯状に吹き出されるようになってい
る。As shown in FIG. 3, a plurality of nozzle holes 7a extending from the air supply port 6 to the air outlets 7 are formed in the air nozzle A, for example, an air compressor (not shown). Compressed air supplied to the air supply port 6 is divided through the nozzle holes 7 and is blown out from the air outlets 7 in a band shape.
【００１２】除電ユニットＢは、主に図６〜１０に示す
ように、ケーシング９、第１の鋸歯状電極１０、この第
１の鋸歯状電極１０を保持する電極保持部材１１及び第
２の鋸歯状電極１２からなる。As shown mainly in FIGS. 6 to 10, the static elimination unit B includes a casing 9, a first saw-tooth electrode 10, an electrode holding member 11 for holding the first saw-tooth electrode 10, and a second saw tooth. The electrode 12 is formed.
【００１３】ケーシング９は、基端面９ａと先端面９ｂ
とを開口した箱形のものであり、側壁９ｃ，９ｃ及び上
壁９ｄと下壁９ｅとを、エアーノズルＡを着脱自在な間
隔に設定している。The casing 9 has a base end face 9a and a tip end face 9b.
Are open, and the side walls 9c, 9c and the upper wall 9d and the lower wall 9e are set at an interval at which the air nozzle A is detachable.
【００１４】また、両側壁９ｃ，９ｃの先端下部には、
第２の鋸歯状電極１２を挟持する電極挟持溝９ｆ，９ｆ
が形成されている。なお、９ｇはエアーノズルＡのケー
シング取付け用ねじ孔８に対向する位置に形成した取付
け用孔である。In addition, the lower part of the tip of both side walls 9c, 9c,
Electrode sandwiching grooves 9f, 9f for sandwiching second sawtooth electrode 12
Are formed. 9g is a mounting hole formed at a position facing the casing mounting screw hole 8 of the air nozzle A.
【００１５】第１の鋸歯状電極１０は、図１０に示すよ
うにケーシング９の側壁外面間の幅と同じ長さにした横
長の基板部分１０ａの一側辺縁に、複数の三角形の突起
１０ｂ…を一定間隔で形成した鋸歯状の金属板である。As shown in FIG. 10, the first saw-tooth electrode 10 has a plurality of triangular protrusions 10b on one side edge of a horizontally long substrate portion 10a having the same length as the width between the outer surfaces of the side walls of the casing 9. .. Are formed at regular intervals.
【００１６】第２の鋸歯状電極１２も、第１の鋸歯状電
極１０とほぼ同形のものであり、基板部分１２ａをケー
シング９の側壁外面間の幅と同じ長さにし、また、これ
の辺縁に上記突起１０ｂと同形の突起１２ｂ…が形成さ
れている。The second saw-tooth electrode 12 is also substantially the same in shape as the first saw-tooth electrode 10, and the substrate portion 12a has the same length as the width between the outer surfaces of the side walls of the casing 9, and the sides of the same. The protrusions 12b having the same shape as the protrusions 10b are formed on the edges.
【００１７】電極保持部材１１は、図８及び図９に示す
ように横長方形の板状体であり、これの側面１１ａに、
第１の鋸歯状電極１０の基板部分１０ａを挟み込む電極
挟持溝１１ｂが形成されている。また、電極保持部材１
１の一端部には、遊挿孔１１ｃを形成した挿入部１１ｄ
が下面側に突設され、その遊挿孔１１ｃ中に、第１の鋸
歯状電極１０に電気接続した抵抗器１３が挿入されてい
る。The electrode holding member 11 is a horizontal rectangular plate-like body as shown in FIGS.
An electrode holding groove 11b for holding the substrate portion 10a of the first sawtooth electrode 10 is formed. Also, the electrode holding member 1
1 has an insertion portion 11d having a play insertion hole 11c formed therein.
Is provided on the lower surface side, and a resistor 13 electrically connected to the first sawtooth electrode 10 is inserted into the play insertion hole 11c.
【００１８】第１の鋸歯状電極１０を電極挟持溝１１ｂ
に挿入して保持した電極保持部材１１を、エアーノズル
Ａ上に重ね、これらをケーシングの先端開口よりも内方
においてケーシング９中に嵌装し、またケーシング９の
両側の電極挟持溝９ｆ，９ｆに第２の鋸歯状電極１２の
両端部を挿入して、第２の鋸歯状電極１２をケーシング
９の内面上に保持すると、第１の鋸歯状電極１０と第２
の鋸歯状電極１２とが、エアーノズルＡの空気吹出し口
７の前側においてエアーノズルＡを挟んで互いに対向
し、かつ、これら両鋸歯状電極１０，１２の突起１０ｂ
…，１２ｂ…が、ケーシング９の先端開口から外部に突
出しない位置になるように配設された状態になる。The first saw-toothed electrode 10 is inserted into an electrode holding groove 11b.
The electrode holding member 11 inserted and held on the air nozzle A is superimposed on the air nozzle A, and these are fitted into the casing 9 inside the opening at the tip of the casing, and the electrode holding grooves 9f, 9f on both sides of the casing 9 are provided. When both ends of the second sawtooth electrode 12 are inserted into the casing 9 and the second sawtooth electrode 12 is held on the inner surface of the casing 9, the first sawtooth electrode 10 and the second
Are opposed to each other across the air nozzle A in front of the air outlet 7 of the air nozzle A, and the projections 10b of the two saw-tooth electrodes 10 and 12 are opposite to each other.
, 12b are arranged so as not to protrude from the opening at the tip end of the casing 9 to the outside.
【００１９】両鋸歯状電極１０，１２には、高周波発振
回路、高周波トランス、この高周波トランスの２次側に
接続された倍電圧整流回路（いずれも図示しない）から
なる除電用電源１４（図２に示す）が接続されている。The two sawtooth electrodes 10 and 12 are provided with a static elimination power supply 14 (FIG. 2) comprising a high-frequency oscillation circuit, a high-frequency transformer, and a voltage doubler rectifier circuit (both not shown) connected to the secondary side of the high-frequency transformer. Is connected).
【００２０】この除電用電源１４では、高周波発振回路
の発振により、高周波トランスの２次側に高周波電圧が
発生し、これが倍電圧整流回路で整流及び増幅されて、
第１，第２の鋸歯状電極１０，１２にプラス，マイナス
の直流高電圧がそれぞれ印加される。In the static elimination power supply 14, a high-frequency voltage is generated on the secondary side of the high-frequency transformer by the oscillation of the high-frequency oscillation circuit, and this is rectified and amplified by the voltage doubler rectifier circuit.
Positive and negative DC high voltages are applied to the first and second sawtooth electrodes 10 and 12, respectively.
【００２１】次に、本発明の除電除塵器の動作について
説明する。エアーコンプレッサ（図示しない）によっ
て、エアーノズルＡの空気供給口６に供給された圧縮空
気はノズル孔７ａ…を通じて分流されて、各空気吹出し
口７…から均一な帯状の空気流となって吹き出される。Next, the operation of the static eliminator of the present invention will be described. The compressed air supplied to the air supply port 6 of the air nozzle A by an air compressor (not shown) is divided through the nozzle holes 7a, and is blown out from each of the air outlets 7 as a uniform band-like air flow. You.
【００２２】また、除電用回路電源１４によって、上下
に対向して配設された第１の鋸歯状電極１０と第２の鋸
歯状電極１２との間には高電界が形成され、これによ
り、突起１０ｂ，１２ｂの先端間にコロナ放電が発生
し、これにより空気吹出し口７…の少し前方において正
と負のイオンが生成される。従って、空気吹出し口７…
から吹き出される帯状の空気流中に正負のイオンが生成
されることになる。Further, a high electric field is formed between the first saw-tooth electrode 10 and the second saw-tooth electrode 12 which are disposed to face up and down by the circuit power supply 14 for static elimination. Corona discharge is generated between the tips of the projections 10b and 12b, so that positive and negative ions are generated slightly in front of the air outlets 7. Therefore, the air outlet 7 ...
Positive and negative ions are generated in a band-like air flow blown out of the air.
【００２３】なお、本発明は前述した実施形態に限るも
のではなく、その要旨の範囲内で様々な変形実施が可能
である。上記においては、第１，第２の鋸歯状電極１
０，１２として、横長の基板部分の一側辺縁に、複数の
三角形の突起を一定間隔で形成した鋸歯状のものを例と
して説明したが、図１１に示すように、細長い基板部分
１５ａの一側辺縁に、複数の針状の突起１５ｂ…を一定
間隔で一体に列設した構成にしてもよい。The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the invention. In the above, the first and second sawtooth electrodes 1
As examples 0 and 12, a saw-tooth shape in which a plurality of triangular protrusions are formed at one side edge of a horizontally long substrate portion at regular intervals has been described as an example, but as shown in FIG. A plurality of needle-like protrusions 15b may be integrally arranged at a certain interval on one side edge.
【００２４】上記においては、除電用電源として直流電
源を用い、第１，第２の鋸歯状電極１０，１２にプラ
ス，マイナスの直流高電圧をそれそれぞれ印加したが、
除電用電源として交流電源を用い、一方の鋸歯状電極に
交流の高電圧を印加し、他方の鋸歯状電極をアースし
て、正負のイオンを交互に生成してもよい。In the above description, a DC power supply was used as a power supply for static elimination, and positive and negative DC high voltages were applied to the first and second sawtooth electrodes 10 and 12, respectively.
An AC power supply may be used as a power supply for static elimination, an AC high voltage may be applied to one sawtooth electrode, and the other sawtooth electrode may be grounded to generate positive and negative ions alternately.
【００２５】また、空気の供給源としてエアーコンプレ
ッサを使用した場合を想定して説明したが、ブロワー等
を使用してもよい。Although the description has been made on the assumption that an air compressor is used as the air supply source, a blower or the like may be used.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、第１の鋸歯状電極をノ
ズル孔内に配置せずに、ノズル孔の空気吹出し口の外側
において第２の鋸歯状電極と対向させて配設したので、
ノズル孔内での空気の流れを乱すことがない。従って、
吹き出された空気流の減衰を低減させることができ、こ
れにより、イオンを遠くまで送り出すことができるとと
もに、除塵能力も向上させられる。According to the present invention, the first saw-tooth electrode is not disposed in the nozzle hole, but is disposed outside the air outlet of the nozzle hole so as to face the second saw-tooth electrode. ,
It does not disturb the air flow in the nozzle hole. Therefore,
It is possible to reduce the attenuation of the blown air flow, so that the ions can be sent far away and the dust removing ability can be improved.
【００２７】また、エアーノズルの外側に第１の鋸歯状
電極と第２の鋸歯状電極とを対向して配設すればよいの
で製造を極めて容易に行うことができ、しかも、製造コ
ストを低減できる。さらに、一対の電極を、それぞれ細
長い基板部分の一側辺縁に先端の尖った突起を一体に形
成した鋸歯状にしたので、従来の複数の針電極に相当す
るものを一体成形することができ、これにより製造を容
易に行えしかも安価なものを提供できる。In addition, since the first and second saw-tooth electrodes may be disposed outside the air nozzle so as to face each other, manufacturing can be performed very easily, and the manufacturing cost can be reduced. it can. Further, since the pair of electrodes are formed in a sawtooth shape in which a pointed protrusion is integrally formed on one side edge of the elongated substrate portion, an electrode corresponding to a plurality of conventional needle electrodes can be integrally formed. This makes it possible to provide an inexpensive product which can be manufactured easily.
【００２８】第１の鋸歯状電極は、電極保持部材に保持
されてケーシング内にセットされ、第２の鋸歯状電極
は、ケーシングに直接取り付けられて、ケーシング内で
エアーノズルを挟んで対向しているので、組み立てを容
易に行うことができる。エアーノズルの空気吹出し口が
ケーシングの先端開口に臨み、第１の鋸歯状電極と第２
の鋸歯状電極とが、ケーシングの先端開口の内側で対向
しているので、エアーノズルの空気吹出し口より帯状に
噴射される空気流中にイオンを生成して除電効率を向上
させることができる。The first saw-toothed electrode is held in an electrode holding member and set in a casing, and the second saw-toothed electrode is directly attached to the casing and opposed to each other across an air nozzle in the casing. , It can be easily assembled. The air outlet of the air nozzle faces the front end opening of the casing, and the first saw-tooth electrode and the second
Is opposed to the inside of the front end opening of the casing, so that ions can be generated in the air flow that is ejected in a band shape from the air outlet of the air nozzle to improve the static elimination efficiency.
【００２９】第１の鋸歯状電極の突起と第２の鋸歯状電
極の突起とを、エアーノズルの空気吹出し口よりも前方
に突出させているので、空気吹出し口から吹き出される
空気のイオン化を効率良く行うことができる。Since the projection of the first saw-tooth electrode and the projection of the second saw-tooth electrode protrude forward from the air outlet of the air nozzle, the ionization of the air blown from the air outlet can be performed. It can be performed efficiently.
【００３０】請求項２記載の発明によれば、空気吹出し
口間に整流フィンを形成しているので、隣接する空気吹
出し口から吹き出された空気流との干渉を防いで、その
流れを整えることができる。According to the second aspect of the present invention, since the rectifying fins are formed between the air outlets, interference with the air flow blown out from the adjacent air outlet is prevented and the flow is adjusted. Can be.
【００３１】請求項３記載の発明によれば、第１の鋸歯
状電極と電気接続された抵抗器を、第１の鋸歯状電極と
共に電極保持部材に保持することができる。According to the third aspect of the present invention, the resistor electrically connected to the first sawtooth electrode can be held by the electrode holding member together with the first sawtooth electrode.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明にかかる除電除塵器の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a static eliminator according to the present invention.
【図２】その分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view thereof.
【図３】エアーノズルの平面図である。FIG. 3 is a plan view of an air nozzle.
【図４】その正面図である。FIG. 4 is a front view thereof.
【図５】その側面図である。FIG. 5 is a side view thereof.
【図６】除電ユニットの一部を破断して示す平面図であ
る。FIG. 6 is a plan view showing a part of the static elimination unit cut away.
【図７】その正面図である。FIG. 7 is a front view thereof.
【図８】電極保持部材の平面図である。FIG. 8 is a plan view of an electrode holding member.
【図９】その正面図である。FIG. 9 is a front view thereof.
【図１０】（Ａ）は第１の鋸歯状電極の平面図であり、
（Ｂ）は第２の鋸歯状電極の平面図である。FIG. 10A is a plan view of a first sawtooth electrode,
(B) is a plan view of a second sawtooth electrode.
【図１１】第１，第２の鋸歯状電極の他例を示す平面図
である。FIG. 11 is a plan view showing another example of the first and second sawtooth electrodes.
【図１２】従来の除電除塵装置の斜視図である。FIG. 12 is a perspective view of a conventional static eliminator and dust remover.
【符号の説明】 ７ 空気吹出し口 ７ａ ノズル孔 ９ ケーシング １０ 第１の鋸歯状電極 １０ｂ 突起 １１ 電極保持部材 １１ｂ 電極保持溝 １２ 第２の鋸歯状電極 １２ｂ 突起 Ａ エアーノズル Ａｄ 整流フィン[Description of Signs] 7 Air outlet 7a Nozzle hole 9 Casing 10 First sawtooth electrode 10b Projection 11 Electrode holding member 11b Electrode holding groove 12 Second sawtooth electrode 12b Projection A Air nozzle Ad Rectifying fin
Claims (6)
出し口の両側に、それぞれ複数の突起を列設した１対の
電極を互いに対向させて配設していることを特徴とする
除電除塵器。1. A static elimination and dust removal method comprising: a pair of electrodes having a plurality of projections arranged in opposition to each other on both sides of a plurality of air outlets arranged in an air nozzle. vessel.
に、先端が尖った突起を一体に形成してなる請求項１記
載の除電除塵器。2. The static eliminator according to claim 1, wherein each electrode is formed integrally with a projection having a sharp tip at one side edge of the elongated substrate portion.
定するケーシングに取り付けている請求項１又は２記載
の除電除塵器。3. The static eliminator according to claim 1, wherein each electrode is attached to a casing fitted and fixed to the outside of the air nozzle.
形成している請求項１，２又は３記載の除電除塵器。4. The static eliminator according to claim 1, wherein a rectifying fin is formed between adjacent air outlets.
グの先端開口に臨み、１対の電極が、ケーシングの先端
開口の内側に固定されている請求項１，２，３又は４記
載の除電除塵器。5. The static eliminator according to claim 1, wherein the air outlet of the air nozzle faces the front end opening of the casing, and the pair of electrodes are fixed inside the front end opening of the casing. .
出し口よりも前方に突出している請求項１，２，３，４
又は５記載の除電除塵器。6. The projection of each of the electrodes protrudes forward from an air outlet of an air nozzle.
Or the static eliminator and dust remover according to 5.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP15635398A JP2981740B1 (en) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | Static eliminator |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011522389A (en) * | 2008-06-03 | 2011-07-28 | レイセオン カンパニー | Method and apparatus for an ionizer |
| CN102347257A (en) * | 2010-07-21 | 2012-02-08 | 东京毅力科创株式会社 | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same |
| JP2013012386A (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Kasuga Electric Works Ltd | Ion emission apparatus |
-
1998
- 1998-06-04 JP JP15635398A patent/JP2981740B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011522389A (en) * | 2008-06-03 | 2011-07-28 | レイセオン カンパニー | Method and apparatus for an ionizer |
| CN102347257A (en) * | 2010-07-21 | 2012-02-08 | 东京毅力科创株式会社 | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same |
| JP2012028087A (en) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Tokyo Electron Ltd | Ion supply device and processing system for workpiece equipped with the same |
| US8692208B2 (en) | 2010-07-21 | 2014-04-08 | Tokyo Electron Limted | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same |
| KR101391064B1 (en) * | 2010-07-21 | 2014-04-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Ion supply device and workpiece processing system provided with the same |
| JP2013012386A (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Kasuga Electric Works Ltd | Ion emission apparatus |
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