JPH11339227A - Thin-film magnetic head and magnetic memory - Google Patents

Thin-film magnetic head and magnetic memory

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JPH11339227A
JPH11339227A JP14559998A JP14559998A JPH11339227A JP H11339227 A JPH11339227 A JP H11339227A JP 14559998 A JP14559998 A JP 14559998A JP 14559998 A JP14559998 A JP 14559998A JP H11339227 A JPH11339227 A JP H11339227A
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magnetic
shield
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magnetic head
thin
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Fumiomi Ueda
文臣 上田
Ritsu Imanaka
律 今中
Takayuki Fukumoto
剛之 福元
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin-film magnetic head, capable of absorbing magnetic fields from adjecent tracks and a magnetic field to be generated from a magnetid shield, when the head is made facing a medium in order to enable the information recording and reproducing of high density. SOLUTION: This head has an MR(magnetoresistance effect) element 2 and is made so as to absorb magnetic fields to be generated from adjacent tracks and a magnetic field to be generated with a magnetic shield with auxiliary shields, by arranging the auxiliary shields 7 at leteral sides which are on a flat plane roughly the same as that of a lower part magnetic shield 1. Moreover, it may be similarly constituted so that an upper part magnetic shield instead of the lower part magnetic shield 1 or to constitute both of them.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド及
びそれを用いた磁気記憶装置に係り、特にハードディス
クドライブ用薄膜磁気ヘッド及びそれを用いた高密度記
録に適した磁気記憶装置に関する。
The present invention relates to a thin film magnetic head and a magnetic storage device using the same, and more particularly to a thin film magnetic head for a hard disk drive and a magnetic storage device suitable for high density recording using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】主にハードディスクドライブに用いられ
ているマージド型薄膜磁気ヘッドの部分斜視図を図2に
示す。この薄膜磁気ヘッドは、媒体に対して情報を書き
込むための磁界を発生するライト磁極3と、記録された
磁化の発生する磁界を読み取るための磁気抵抗効果を持
つ磁気抵抗効果素子(以下、MR素子という)2と、M
R素子2に媒体から入ってくる磁界を制御するための下
部磁気シールド1、上部磁気シールド1bを有する。な
お、磁気抵抗効果としては、巨大磁気抵抗効果(GM
R)やトンネル磁気抵抗効果(TMR)も含まれる。
2. Description of the Related Art FIG. 2 is a partial perspective view of a merged thin-film magnetic head mainly used in a hard disk drive. This thin-film magnetic head includes a write magnetic pole 3 for generating a magnetic field for writing information on a medium, and a magneto-resistance effect element (hereinafter, MR element) having a magneto-resistance effect for reading a magnetic field generated by recorded magnetization. 2) and M
The R element 2 has a lower magnetic shield 1 and an upper magnetic shield 1b for controlling a magnetic field coming from the medium. Note that the giant magnetoresistance effect (GM
R) and tunnel magnetoresistance effect (TMR).

【0003】図3は、図2に示した磁気ヘッドの下部磁
気シールド1及びMR素子2並びにそのMR素子に電流
を流すための電極4の部分を取り出した模式図である。
MR素子2及び電極4は、下部磁気シールド1の上に載
っている。薄膜磁気ヘッドの製造プロセス中にはMR素
子2の磁気特性を制御するために磁界が特定の方向5又
はその逆方向に印加されて処理されることがある。
FIG. 3 is a schematic view of the lower magnetic shield 1 and the MR element 2 of the magnetic head shown in FIG. 2 and a portion of an electrode 4 for passing a current through the MR element.
The MR element 2 and the electrode 4 rest on the lower magnetic shield 1. During the manufacturing process of the thin-film magnetic head, a magnetic field may be applied in the specific direction 5 or the opposite direction to control the magnetic characteristics of the MR element 2 and processed.

【0004】図4は、図3の下部磁気シールド1とMR
素子2の磁界を印加したい方向5に沿った断面図(電極
4は省略してある)である。例えば、図4の右から左へ
磁界を印加したとすると、軟磁気特性を持った下部磁気
シールド1は異方性磁界が小さいため弱い磁界で飽和
し、その端部に磁化を発生し、MR素子2には印加した
い方向とは逆向きの逆磁界6が掛かることとなる。この
ときの下部磁気シールド1の磁化量をM、下部磁気シー
ルド1の幅をWとすると、MR素子2に掛かる逆磁界6
の大きさはほぼM/Wで表される。そのため所望の方向
5に磁界を印加するためには逆磁界6よりも大きな磁界
を与える必要がある。
FIG. 4 shows the lower magnetic shield 1 shown in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view (although the electrode 4 is omitted) along a direction 5 in which a magnetic field of the element 2 is to be applied. For example, assuming that a magnetic field is applied from right to left in FIG. 4, the lower magnetic shield 1 having soft magnetic properties is saturated with a weak magnetic field due to a small anisotropic magnetic field, generates magnetization at its end, and generates an MR. A reverse magnetic field 6 is applied to the element 2 in a direction opposite to the direction to be applied. Assuming that the amount of magnetization of the lower magnetic shield 1 at this time is M and the width of the lower magnetic shield 1 is W, a reverse magnetic field 6 applied to the MR element 2
Is approximately represented by M / W. Therefore, in order to apply a magnetic field in a desired direction 5, it is necessary to apply a magnetic field larger than the inverse magnetic field 6.

【0005】図3に示した薄膜磁気ヘッドが実際に記録
媒体10に記録された信号を読み取る場合の模式図を図
5に示す。MR素子2は読みたい信号の書かれている自
己トラック8の真上に位置し、信号の発する磁界を読み
取る。自己トラック8の隣には複数のトラック9が隣接
している。そのトラック9はやはり漏洩磁束を発生し、
その磁界12の一部は下部磁気シールド1を通し電極4
に交差する。その結果、漏洩磁束は電磁誘導により電極
4に誘導電圧を発生し、ノイズとして信号読み取りの精
度を落とすことになる。これはクロストークと呼ばれ、
例えば、日本応用磁気学会学術講演予稿集、1991、
第26頁に報告されている。なお、図において、12は
電極端子である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a case where the thin-film magnetic head shown in FIG. 3 actually reads a signal recorded on the recording medium 10. The MR element 2 is located right above the self-track 8 on which a signal to be read is written, and reads the magnetic field generated by the signal. A plurality of tracks 9 are adjacent to the own track 8. The track 9 also generates a leakage magnetic flux,
Part of the magnetic field 12 passes through the lower magnetic shield 1 and passes through the electrode 4
Intersect with As a result, the leakage magnetic flux generates an induced voltage at the electrode 4 by electromagnetic induction, and reduces the signal reading accuracy as noise. This is called crosstalk,
For example, Proceedings of the Japan Society of Applied Magnetics, 1991,
It is reported on page 26. In the figure, reference numeral 12 denotes an electrode terminal.

【0006】このクロストークのノイズを低減するため
に、特開平5−325140号公報には、上部、下部磁
気シールドの記録トラックとの対向側における幅を、非
対向側における幅よりも狭くする技術が記載されてい
る。これにより、記録トラックとの対向側から上部、下
部磁気シールドに侵入する磁束の幅方向を広げ、MR素
子と電極に囲まれた誘導領域での磁束密度を低下させ、
クロストークのノイズの発生を押さえることができる。
In order to reduce the crosstalk noise, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-325140 discloses a technique in which the width of the upper and lower magnetic shields on the side facing the recording track is smaller than the width on the non-facing side. Is described. Thereby, the width direction of the magnetic flux penetrating the upper and lower magnetic shields from the side facing the recording track is widened, and the magnetic flux density in the induction region surrounded by the MR element and the electrode is reduced,
The occurrence of crosstalk noise can be suppressed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、クロ
ストークの抑制が十分でなく、また、次に述べるような
問題があった。実験によれば、自己トラックから少なく
とも30μm程度離れたトラックからのクロストークが
測定される。そこでこの隣接するトラックからの読み込
み量を少なくするように、磁気シールド幅Wを図6に示
すように狭くすると、前述のように逆磁界6は磁気シー
ルド幅Wに略反比例するため、プロセス中に加える磁界
を大きくしなければならなくなる。例えば、シールド幅
Wを従来の1/10にした場合、プロセス中に印加しな
ければならない磁界は約10倍になってしまう。
The above-mentioned prior art has a problem that the crosstalk is not sufficiently suppressed and the following problem is encountered. According to experiments, crosstalk from a track at least about 30 μm away from the self track is measured. If the magnetic shield width W is reduced as shown in FIG. 6 so as to reduce the amount of reading from the adjacent track, the reverse magnetic field 6 is substantially inversely proportional to the magnetic shield width W as described above. The applied magnetic field must be increased. For example, when the shield width W is reduced to 1/10 of the conventional width, the magnetic field that must be applied during the process is increased about 10 times.

【0008】さらに、磁気シールドと電極とが交差する
と、磁気シールドの発生する磁界によりノイズが発生す
るという問題があった。
Further, when the magnetic shield intersects with the electrode, there is a problem that noise is generated by the magnetic field generated by the magnetic shield.

【0009】本発明の目的は、高密度の情報記録、再生
を可能とするために、隣接するトラックからの磁界を抑
制し、かつ、磁気シールドの発生する磁界を抑制するこ
とのできる薄膜磁気ヘッドを提供することにある。本発
明の他の目的は、このような薄膜磁気ヘッドを用いた信
頼性の高い磁気記憶装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a thin film magnetic head capable of suppressing a magnetic field from an adjacent track and suppressing a magnetic field generated by a magnetic shield in order to enable high-density information recording and reproduction. Is to provide. Another object of the present invention is to provide a highly reliable magnetic storage device using such a thin-film magnetic head.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の薄膜磁気ヘッドは、再生用ヘッドとして磁
気抵抗効果素子、上部磁気シールド及び下部磁気シール
ドを有し、上部磁気シールド及び下部磁気シールドの内
の少なくとも1つの磁気シールドと略同一平面、かつ、
この磁気シールドの横側に補助シールドを配置し、この
補助シールドにより、薄膜磁気ヘッドを磁気記録媒体に
対向させたときに隣接トラックから発生する磁界を吸収
し、かつ、磁気シールドから発生する磁界を吸収するよ
うにしたものである。
In order to achieve the above object, a thin-film magnetic head according to the present invention has a magnetoresistive element, an upper magnetic shield and a lower magnetic shield as a reproducing head, and has an upper magnetic shield and a lower magnetic shield. Substantially flush with at least one of the magnetic shields, and
An auxiliary shield is arranged on the side of the magnetic shield. The auxiliary shield absorbs a magnetic field generated from an adjacent track when the thin-film magnetic head is opposed to the magnetic recording medium, and reduces a magnetic field generated from the magnetic shield. It is intended to be absorbed.

【0011】図1に、本発明の薄膜磁気ヘッドの一例を
示してこれを説明する。図1は、MR素子及び下部磁気
シールドの磁界を印加したい方向に沿った断面図であ
る。磁気シールド幅を狭くすると強くなってしまう逆磁
界を吸収するために、下部磁気シールド1の隣に補助シ
ールド7を設置してある。この補助シールド7があるこ
とで実効的な逆磁界6を発生させる磁気シールド幅、す
なわち下部磁気シールド1と補助シールド7の合計の幅
を大きくでき、プロセス中の印加する磁界を低く抑える
ことができる。この例では、下部磁気シールドの例を示
したが、上部磁気シールドを同様にしてもよく、上部、
下部磁気シールドの両者を上記のようにしてもよい。
FIG. 1 shows an example of a thin-film magnetic head according to the present invention. FIG. 1 is a cross-sectional view along a direction in which a magnetic field of an MR element and a lower magnetic shield is to be applied. An auxiliary shield 7 is provided next to the lower magnetic shield 1 in order to absorb a reverse magnetic field which becomes strong when the magnetic shield width is reduced. The presence of the auxiliary shield 7 makes it possible to increase the width of the magnetic shield for generating an effective reverse magnetic field 6, that is, the total width of the lower magnetic shield 1 and the auxiliary shield 7, thereby suppressing the applied magnetic field during the process. . In this example, the example of the lower magnetic shield has been described.
Both lower magnetic shields may be as described above.

【0012】すでに説明したように、クロストークは片
側30μm程度の範囲から検出される。そのため磁気シ
ールドの浮上面側の幅は60μm以下とすることが好ま
しい。また、この幅は浮上面に配置される磁気記録媒体
のトラック幅以上にすることが好ましい。
As described above, crosstalk is detected from a range of about 30 μm on one side. Therefore, the width of the magnetic shield on the air bearing surface side is preferably set to 60 μm or less. It is preferable that the width is equal to or larger than the track width of the magnetic recording medium disposed on the air bearing surface.

【0013】また、補助シールドの磁化量M(=Br×
T:ここでBrは残留磁束密度、Tは膜厚である)が磁
気シールドの磁化量M以上であることが好ましい。特
に、製造の容易性から、補助シールドの磁化量Mは、磁
気シールドの磁化量Mの1倍から5倍程度であることが
より好ましい。このように構成する方法の1つは、例え
ば、補助シールドの膜厚を磁気シールドの膜厚より厚く
する方法である。補助シールドは外部磁界によって飽和
し、磁界を発生するが、膜厚を厚くすることにより磁化
量を上げた場合、補助シールドの発生する磁界の方が磁
気シールドの発生する磁界を上回ってMR素子に対して
は順方向の磁界を発生することができる。他の方法とし
ては、補助シールドと磁気シールドに違う材質のものを
使う方法がある。
Further, the magnetization amount M of the auxiliary shield (= Br ×
T: where Br is the residual magnetic flux density and T is the film thickness) is preferably equal to or more than the magnetization amount M of the magnetic shield. In particular, the magnetization amount M of the auxiliary shield is more preferably about 1 to 5 times the magnetization amount M of the magnetic shield from the viewpoint of ease of manufacture. One of the methods configured in this way is, for example, a method in which the film thickness of the auxiliary shield is larger than the film thickness of the magnetic shield. The auxiliary shield is saturated by an external magnetic field and generates a magnetic field.However, when the magnetization is increased by increasing the film thickness, the magnetic field generated by the auxiliary shield exceeds the magnetic field generated by the magnetic shield and is applied to the MR element. On the other hand, a forward magnetic field can be generated. Another method is to use different materials for the auxiliary shield and the magnetic shield.

【0014】上述のように、磁気シールドと略同一平面
の横側に補助シールドを設けてあるが、両者の厚さが異
なるときは、両者のどちらかの面が略同一平面にあれば
よい。
As described above, the auxiliary shield is provided on the lateral side of the substantially same plane as the magnetic shield. However, when the thicknesses of both are different, it is sufficient that one of the two surfaces is substantially on the same plane.

【0015】また、上記他の目的を達成するために、本
発明の磁気記憶装置は、磁気記録媒体と、これを記録方
向に駆動する駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘ
ッドと、磁気ヘッドを磁気記録媒体に対して相対運動さ
せる手段、例えば、ガイドアームと、磁気ヘッドへの記
録信号入力と磁気ヘッドからの再生信号出力を得るため
の記録再生信号処理手段を有し、この磁気ヘッドとして
前記のいずれかに記載した薄膜磁気ヘッドを用いるよう
にしたものである。
According to another aspect of the present invention, there is provided a magnetic storage device comprising: a magnetic recording medium; a driving unit for driving the magnetic recording medium in a recording direction; a magnetic head including a recording unit and a reproducing unit; The magnetic head has means for moving the magnetic head relative to the magnetic recording medium, for example, a guide arm, and recording / reproducing signal processing means for obtaining a recording signal input to the magnetic head and a reproducing signal output from the magnetic head. The thin-film magnetic head described in any of the above is used as the head.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。図7は、本発明の一実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの下部磁気シールド1とMR素子2と電極4の部分
の平面図で、記録媒体10の上に位置させてある。この
図は、先に説明した図5と対応する断面図である。図に
示すように、磁気シールドを下部磁気シールド1と補助
シールド7に分割する。下部磁気シールド1と補助シー
ルド7と間隔は、分割した磁気シールドの膜厚より薄く
て、膜厚の1/10以上であることが好ましい。なお、
補助シールド7は、下部磁気シールド1と同じ厚さで同
一の平面にあるが、下部磁気シールド1と補助シールド
7の厚さが異なるときは、上記の間隔はその厚い方の厚
さに基づいて定めればよい。また、下部磁気シールド1
の浮上面側の幅は、60μm以下で、浮上面に配置され
る磁気記録媒体のトラック幅以上である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 7 is a plan view of the portion of the lower magnetic shield 1, the MR element 2, and the electrode 4 of the thin-film magnetic head according to one embodiment of the present invention, which is located above the recording medium 10. This figure is a cross-sectional view corresponding to FIG. 5 described above. As shown in the figure, the magnetic shield is divided into a lower magnetic shield 1 and an auxiliary shield 7. The distance between the lower magnetic shield 1 and the auxiliary shield 7 is preferably smaller than the film thickness of the divided magnetic shield and is at least 1/10 of the film thickness. In addition,
The auxiliary shield 7 has the same thickness and the same plane as the lower magnetic shield 1, but when the lower magnetic shield 1 and the auxiliary shield 7 have different thicknesses, the above-mentioned interval is based on the thicker thickness. You only have to decide. Also, the lower magnetic shield 1
Is 60 μm or less, and is equal to or more than the track width of the magnetic recording medium disposed on the air bearing surface.

【0017】このような磁気ヘッドを製造する場合、磁
気シールドをスパッタリング又はメッキにより形成した
後に絶縁層を付け、MR素子や電極を形成する。その磁
気シールド形成プロセスで上記下部磁気シールド1と補
助シールドの形状に合致したマスクを用いることによっ
て本実施例の構造とすることができる。
In manufacturing such a magnetic head, an insulating layer is formed after a magnetic shield is formed by sputtering or plating, and an MR element and an electrode are formed. The structure of this embodiment can be obtained by using a mask conforming to the shapes of the lower magnetic shield 1 and the auxiliary shield in the magnetic shield forming process.

【0018】図8は、本発明の他の実施例の上記と同様
の部分の平面図である。この平面図で補助シールド7を
電極4と重ならないようにすることによって、隣接する
トラック9からの磁束が電極4に到達することをさらに
抑制している。この構造も上記実施例と同様にこの形状
に合致したマスクを用いることによって実現することが
できる。
FIG. 8 is a plan view of a portion similar to the above in another embodiment of the present invention. By preventing the auxiliary shield 7 from overlapping the electrode 4 in this plan view, the magnetic flux from the adjacent track 9 reaching the electrode 4 is further suppressed. This structure can also be realized by using a mask conforming to this shape as in the above embodiment.

【0019】また、図10及び図11は、下部磁気シー
ルドのみの平面図である。他の部分は図7に示した構造
と同じであり、下部磁気シールドの形状のみを変更した
例である。図10は、磁気シールド1の浮上面側よりも
電極側に入った面積を拡大することによって、クロスト
ークに影響のある磁束をより電極4から遠ざけるような
形状をとっている。
FIGS. 10 and 11 are plan views of only the lower magnetic shield. Other parts are the same as the structure shown in FIG. 7, and are examples in which only the shape of the lower magnetic shield is changed. FIG. 10 shows a configuration in which the magnetic flux affecting the crosstalk is further moved away from the electrode 4 by enlarging the area of the magnetic shield 1 that enters the electrode side from the air bearing surface side.

【0020】図11は、補助シールド7と下部磁気シー
ルド1の一部がつながっている例である。本発明を実現
するにあたっては必ずしも補助シールド7と下部磁気シ
ールド1を完全に分離する必要はなく、下部磁気シール
ドに侵入する磁束が殆どないところでは補助シールド7
と下部磁気シールド1がつながっていてもよい。これら
の構造により、電極4へのクロストークをさらに抑え、
かつ、下部磁気シールド1の発生する磁界を吸収できる
構造である。
FIG. 11 shows an example in which the auxiliary shield 7 and a part of the lower magnetic shield 1 are connected. In realizing the present invention, it is not always necessary to completely separate the auxiliary shield 7 and the lower magnetic shield 1, and the auxiliary shield 7 may be used where there is almost no magnetic flux entering the lower magnetic shield.
And the lower magnetic shield 1 may be connected. With these structures, crosstalk to the electrode 4 is further suppressed,
Further, it has a structure capable of absorbing the magnetic field generated by the lower magnetic shield 1.

【0021】次に、補助シールド7の磁化量を下部磁気
シールド1の磁化量よりも大きくした実施例を示す。こ
れは2通りの方法がある。その1つは、図9に示すよう
に、補助シールドの膜厚を磁気シールド1の膜厚より厚
くする方法である。補助シールドは外部磁界によって飽
和し、やはり磁界を発生するが、磁化量Mを上げた場
合、図に示すように補助シールド7の発生する逆磁界6
bの方が下部磁気シールドの発生する磁界を上回り、M
R素子に対しては順方向の磁界を発生することができ
る。
Next, an embodiment in which the magnetization amount of the auxiliary shield 7 is larger than the magnetization amount of the lower magnetic shield 1 will be described. This can be done in two ways. One is a method in which the film thickness of the auxiliary shield is made larger than the film thickness of the magnetic shield 1 as shown in FIG. The auxiliary shield is saturated by the external magnetic field and also generates a magnetic field. However, when the amount of magnetization M is increased, as shown in FIG.
b exceeds the magnetic field generated by the lower magnetic shield.
A forward magnetic field can be generated for the R element.

【0022】他の一つの方法は、補助シールド7に下部
磁気シールド1と違う材質のものを使う方法である。例
えば下部磁気シールドの材質として飽和磁束密度1Tの
Ni−Feを、補助シールドの材質として飽和磁束密度
1.3TのCo−Nb−Zrを用いる。この両者はとも
に軟磁性体であり、同一膜厚にした場合、補助シールド
の磁化量が磁気シールドの磁化量を上回ることができ
る。
Another method is to use a material different from that of the lower magnetic shield 1 for the auxiliary shield 7. For example, Ni-Fe having a saturation magnetic flux density of 1T is used as the material of the lower magnetic shield, and Co-Nb-Zr having a saturation magnetic flux density of 1.3T is used as the material of the auxiliary shield. Both of them are soft magnetic materials, and when they have the same thickness, the magnetization amount of the auxiliary shield can exceed the magnetization amount of the magnetic shield.

【0023】また、補助シールド7に硬磁性体又は軟磁
性体と反強磁性体の組合せを使ってもよい。この方法で
は、下部磁気シールド1に一定方向の磁界を印加できる
ため、下部磁気シールド1の磁区状態を制御することに
も兼用できる。ここで補助シールド7に硬磁性体を用い
た場合には、この硬磁性体が浮上面に出た場合に媒体磁
化を消してしまうことも考えられるので、硬磁性体が浮
上面の先端に出ないように彫り込むか削り込む等の加工
が必要になることもある。
The auxiliary shield 7 may be made of a hard magnetic material or a combination of a soft magnetic material and an antiferromagnetic material. In this method, since a magnetic field in a fixed direction can be applied to the lower magnetic shield 1, it can also be used to control the magnetic domain state of the lower magnetic shield 1. Here, when a hard magnetic material is used for the auxiliary shield 7, it is conceivable that when the hard magnetic material comes out on the air bearing surface, the medium magnetization may be erased. Processing such as engraving or cutting may be necessary.

【0024】なお、補助シールド7の磁化量を下部磁気
シールド1の磁化量よりも大きくした上記2つの例で
は、下部磁気シールド1と補助シールド7を同一プロセ
スで形成することはできず、別の工程で製造する。
In the above two examples in which the magnetization of the auxiliary shield 7 is larger than the magnetization of the lower magnetic shield 1, the lower magnetic shield 1 and the auxiliary shield 7 cannot be formed in the same process. Manufactured in process.

【0025】以上の実施例では、下部磁気シールドのみ
を例にして記述してきたが、上部磁気シールドのみ又は
上部、下部磁気シールドの両方に上記の構造を適用する
ことができる。
In the above embodiment, only the lower magnetic shield has been described as an example, but the above structure can be applied to only the upper magnetic shield or to both the upper and lower magnetic shields.

【0026】図12は、本発明の磁気記憶装置の一実施
例の部分斜視図である。この磁気記憶装置は、媒体ノイ
ズの少ない、かつ、高保磁力の電磁変換特性に優れた極
めて高い面記録密度で記録可能な磁気記録媒体203
と、これを記録方向に駆動する駆動部であるスピンドル
モータ202と、記録部と再生部からなる本発明の薄膜
磁気ヘッド204と、この薄膜磁気ヘッド204を磁気
記録媒体203に対して相対運動をさせる手段であるガ
イドアーム205と、薄膜磁気ヘッド204への信号入
力と薄膜磁気ヘッド204からの出力信号再生を行うた
めの記録再生信号処理回路201を有する。前述の実施
例に示した本発明の薄膜磁気ヘッドをこの磁気記憶装置
に備え、隣接するトラックからのノイズ成分を検討した
ところ、従来薄膜磁気ヘッドよりもトータルのS/Nが
優れていた。
FIG. 12 is a partial perspective view of one embodiment of the magnetic storage device of the present invention. This magnetic storage device has a magnetic recording medium 203 that has a low medium noise and is excellent in electromagnetic conversion characteristics with a high coercive force and can record at an extremely high areal recording density.
A spindle motor 202 as a driving unit for driving the recording medium in a recording direction; a thin-film magnetic head 204 of the present invention including a recording unit and a reproducing unit; The thin-film magnetic head 204 includes a guide arm 205 serving as a means for causing the thin-film magnetic head 204 to input a signal, and a recording / reproducing signal processing circuit 201 for reproducing an output signal from the thin-film magnetic head 204. When the thin film magnetic head of the present invention shown in the above-described embodiment was provided in this magnetic storage device and the noise components from adjacent tracks were examined, the total S / N was superior to that of the conventional thin film magnetic head.

【0027】この磁気記憶装置は、複数の磁気記録媒体
203と、ガイドアーム205が複数の薄膜磁気ヘッド
204を有した構成でもよいことはいうまでもない。ま
た、薄膜磁気ヘッド204は、異方性磁気抵抗効果(A
MR)を用いたMRヘッドだけでなく、巨大磁気抵抗効
果(GMR)を利用したスピンバルブ型MRヘッドにも
適用できる。
It is needless to say that the magnetic storage device may have a configuration in which a plurality of magnetic recording media 203 and a plurality of thin-film magnetic heads 204 are provided in the guide arm 205. The thin-film magnetic head 204 has an anisotropic magnetoresistance effect (A
The present invention can be applied not only to an MR head using MR) but also to a spin-valve MR head using a giant magnetoresistance effect (GMR).

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明によればプロセス中のMR素子の
特性を劣化させることなく、隣接するトラックからのク
ロストークを抑制することができる。
According to the present invention, crosstalk from an adjacent track can be suppressed without deteriorating the characteristics of the MR element during the process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドのMR素子
及び下部磁気シールドの磁界を印加したい方向に沿った
断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a thin-film magnetic head according to an embodiment of the present invention, taken along a direction in which a magnetic field is to be applied to an MR element and a lower magnetic shield.

【図2】従来のマージド型磁気ヘッドの部分斜視図。FIG. 2 is a partial perspective view of a conventional merged magnetic head.

【図3】従来のマージド型磁気ヘッドの部分模式図。FIG. 3 is a partial schematic view of a conventional merged magnetic head.

【図4】従来の磁気ヘッドのMR素子及び下部磁気シー
ルドの磁界を印加したい方向に沿った断面図。
FIG. 4 is a cross-sectional view along a direction in which a magnetic field of an MR element and a lower magnetic shield of a conventional magnetic head is to be applied.

【図5】従来の磁気ヘッドの下部磁気シールド、MR素
子及び電極の平面図。
FIG. 5 is a plan view of a lower magnetic shield, an MR element, and electrodes of a conventional magnetic head.

【図6】磁気ヘッドのシールドの幅を狭くした場合のM
R素子及び下部磁気シールドの磁界を印加したい方向に
沿った断面図。
FIG. 6 is a graph showing M when the width of the shield of the magnetic head is reduced.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the R element and the lower magnetic shield taken along a direction in which a magnetic field is to be applied.

【図7】本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの下部磁気
シールド、MR素子及び電極の平面図。
FIG. 7 is a plan view of a lower magnetic shield, an MR element, and electrodes of the thin-film magnetic head according to one embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例の薄膜磁気ヘッドの下部磁
気シールド、MR素子及び電極の平面図。
FIG. 8 is a plan view of a lower magnetic shield, an MR element, and electrodes of a thin-film magnetic head according to another embodiment of the present invention.

【図9】本発明のさらに他の実施例の薄膜磁気ヘッドの
MR素子及び下部磁気シールドの磁界を印加したい方向
に沿った断面図。
FIG. 9 is a sectional view of a thin-film magnetic head according to still another embodiment of the present invention, taken along a direction in which a magnetic field of the MR element and the lower magnetic shield is to be applied.

【図10】本発明のさらに他の実施例の薄膜磁気ヘッド
の下部磁気シールドの平面図。
FIG. 10 is a plan view of a lower magnetic shield of a thin-film magnetic head according to still another embodiment of the present invention.

【図11】本発明のさらに他の実施例の薄膜磁気ヘッド
の下部磁気シールドの平面図。
FIG. 11 is a plan view of a lower magnetic shield of a thin-film magnetic head according to still another embodiment of the present invention.

【図12】本発明の一実施例の磁気記憶装置の模式図。FIG. 12 is a schematic view of a magnetic storage device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…下部磁気シールド 1b…上部磁気シールド 2…MR素子 3…ライト磁極 4…電極 5…方向 6…逆磁界 6b、12…磁界 7…補助シールド 8…自己トラック 9…トラック 10…記録媒体 11…電極端子 201…記録再生信号処理回路 202…スピンドルモータ 203…磁気記録媒体 204…薄膜磁気ヘッド 205…ガイドアーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lower magnetic shield 1b ... Upper magnetic shield 2 ... MR element 3 ... Write pole 4 ... Electrode 5 ... Direction 6 ... Reverse magnetic field 6b, 12 ... Magnetic field 7 ... Auxiliary shield 8 ... Self-track 9 ... Track 10 ... Recording medium 11 ... Electrode terminal 201: recording / reproducing signal processing circuit 202: spindle motor 203: magnetic recording medium 204: thin-film magnetic head 205: guide arm

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】再生用ヘッドとして磁気抵抗効果素子、上
部磁気シールド及び下部磁気シールドを有する薄膜磁気
ヘッドにおいて、上記上部磁気シールド及び下部磁気シ
ールドの内の少なくとも1つの磁気シールドと同一平
面、かつ、該磁気シールドの横側に補助シールドを配置
し、該補助シールドに、上記薄膜磁気ヘッドを磁気記録
媒体に対向させたときに隣接トラックから発生する磁界
及び上記磁気シールドから発生する磁界を吸収するよう
に構成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
1. A thin film magnetic head having a magnetoresistive element, an upper magnetic shield and a lower magnetic shield as a reproducing head, wherein the thin magnetic head has at least one of the upper magnetic shield and the lower magnetic shield in the same plane. An auxiliary shield is arranged on the side of the magnetic shield, and the auxiliary shield absorbs a magnetic field generated from an adjacent track and a magnetic field generated from the magnetic shield when the thin-film magnetic head is opposed to a magnetic recording medium. A thin film magnetic head characterized in that:
【請求項2】上記補助シールドの磁化量は、上記磁気シ
ールドの磁化量以上であり、かつ、上記補助シールドの
材質は、硬磁性体又は軟磁性体と反強磁性体の組み合わ
せであることを特徴とする請求項1記載の薄膜磁気ヘッ
ド。
2. The method according to claim 1, wherein the magnetization of the auxiliary shield is equal to or larger than the magnetization of the magnetic shield, and the material of the auxiliary shield is a hard magnetic material or a combination of a soft magnetic material and an antiferromagnetic material. 2. The thin-film magnetic head according to claim 1, wherein:
【請求項3】上記磁気シールドの膜厚は、上記補助シー
ルドの膜厚より薄く、上記補助シールドの磁化量は、上
記磁気シールドの磁化量以上であることを特徴とする請
求項1記載の薄膜磁気ヘッド。
3. The thin film according to claim 1, wherein the thickness of the magnetic shield is smaller than the thickness of the auxiliary shield, and the magnetization of the auxiliary shield is equal to or larger than the magnetization of the magnetic shield. Magnetic head.
【請求項4】磁気記録媒体と、これを記録方向に駆動す
る駆動部と、記録部と再生部からなる磁気ヘッドと、該
磁気ヘッドを上記磁気記録媒体に対して相対運動させる
手段と、上記磁気ヘッドへの記録信号入力と、上記磁気
ヘッドからの再生信号出力を得るための記録再生信号処
理手段を有する磁気記憶装置において、上記磁気ヘッド
は、請求項1から3のいずれか一に記載の薄膜磁気ヘッ
ドであることを特徴とする磁気記憶装置。
4. A magnetic recording medium, a drive unit for driving the magnetic recording medium in a recording direction, a magnetic head comprising a recording unit and a reproducing unit, means for moving the magnetic head relative to the magnetic recording medium, 4. A magnetic storage device having a recording / reproducing signal processing unit for obtaining a recording signal input to a magnetic head and a reproducing signal output from the magnetic head, wherein the magnetic head is according to any one of claims 1 to 3. A magnetic storage device comprising a thin film magnetic head.
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