JPH11317311A - Composite component and manufacture of the same - Google Patents
Composite component and manufacture of the sameInfo
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- JPH11317311A JPH11317311A JP11041231A JP4123199A JPH11317311A JP H11317311 A JPH11317311 A JP H11317311A JP 11041231 A JP11041231 A JP 11041231A JP 4123199 A JP4123199 A JP 4123199A JP H11317311 A JPH11317311 A JP H11317311A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器や通信
機器などに使用されるノイズ低減用の複合部品とその製
造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite component for noise reduction used in various electronic devices and communication devices, and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】コイル、コンデンサや抵抗器などを複合
した各種複合部品は各種電子機器や通信機器などに多く
使用され、近年は小型あるいは薄型の複合部品に対する
要望が多くなっている。さらに、回路の高周波化やデジ
タル化に伴い、複合部品のノイズ低減機能が重要視され
る様になってきた。2. Description of the Related Art Various composite parts obtained by combining a coil, a capacitor, a resistor, and the like are widely used in various electronic devices and communication devices. In recent years, there has been an increasing demand for small or thin composite parts. Furthermore, with the increase in frequency and digitalization of circuits, the noise reduction function of composite components has become increasingly important.
【0003】従来のノイズ低減機能を有する小型あるい
は薄型の複合部品の例としては特公昭59−24534
号公報や同62−28891号公報などに開示されてい
る様に、積層コイルと積層セラミックコンデンサを重ね
たLC複合部品がある。さらにこれらLC複合部品の構
造としては特公昭62−28891号公報や特開平1−
192107号公報などに開示されている様に、コイル
とコンデンサの立体的な配置方法の違いによる種々の構
造が提案されている。An example of a conventional small or thin composite part having a noise reduction function is disclosed in Japanese Patent Publication No. 59-24534.
As disclosed in Japanese Unexamined Patent Publications Nos. 62-28891 and 62-28891, there is an LC composite component in which a multilayer coil and a multilayer ceramic capacitor are stacked. Further, the structure of these LC composite parts is disclosed in Japanese Patent Publication No.
As disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 192107, various structures have been proposed depending on the difference in the three-dimensional arrangement method of the coil and the capacitor.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】一般的に、ノイズ低減
用の複合部品は複数のコイルと複数のコンデンサを組み
合わせた、L型、T型またはπ型のフィルタ回路を有し
ている。しかし、従来提案されたLC複合部品の構造は
上記3つのフィルタ回路のいずれか1つの型の回路しか
構成できない構造があった。例えば特公昭62−288
91号公報に記載されたLC複合部品はT型のフィルタ
回路しか構成できないものであった。Generally, a composite component for noise reduction has an L-type, T-type or π-type filter circuit in which a plurality of coils and a plurality of capacitors are combined. However, the structure of the conventionally proposed LC composite component has a structure in which only one of the above three filter circuits can be configured. For example, Japanese Patent Publication No. 62-288
The LC composite component described in Japanese Patent Publication No. 91 can constitute only a T-type filter circuit.
【0005】複合部品の量産に際して、少しの製造条件
の変更で上記3つの型を製造できる構造の複合部品と製
造プロセスがあれば、複合部品の量産が効率的に行わ
れ、高い生産性が得られることが期待される。それゆえ
に、本発明の目的は生産性に優れ、製造プロセスや製造
条件などのわずかな変更で上記3つの型のフィルタ回路
を任意に形成できる新規な構造のLC複合部品とその製
造方法を提供することである。In the case of mass production of composite parts, if there are composite parts and a manufacturing process having a structure capable of producing the above three molds with a slight change in manufacturing conditions, mass production of the composite parts can be performed efficiently, and high productivity can be obtained. It is expected to be. Therefore, an object of the present invention is to provide an LC composite component having a novel structure which is excellent in productivity and can arbitrarily form the above three types of filter circuits with slight changes in manufacturing processes and manufacturing conditions, and a manufacturing method thereof. That is.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の複合部品は、少なくとも一対の導体層と絶縁
体層と、その絶縁体層を介して積層された少なくとも一
対の電極層と誘電体層と、必要により導体層と電極層と
を電気的に接続するための内部導体とから構成されたも
ので、さらに、積層により内部に構成された電気要素を
構成する導体および電極を外部の電気回路に接続するた
めの端子を有した構造のもである。In order to achieve the above object, a composite part according to the present invention comprises at least one pair of a conductor layer and an insulator layer, and at least one pair of electrode layers laminated via the insulator layer. It is composed of a dielectric layer and, if necessary, an internal conductor for electrically connecting the conductor layer and the electrode layer. Also, there is a structure having terminals for connecting to the electric circuit.
【0007】また、本発明の複合部品の製造方法は、 a)絶縁体層を製造する工程と、 b)必要により、前記絶縁体層に穴を開ける工程と、 c)前記穴が開けられた絶縁体層、または穴が開けられ
ていない絶縁体層に導体 層を形成する工程と、d)誘電体層を製造する工程と e)必要により、前記誘電体層に穴を開ける工程と、 f)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 g)絶縁体からなる表面層と、少なくとも1枚の前記電
極層が形成された誘電体層と、誘電体または絶縁体から
なる中間層と、少なくとも1枚の前記導体層が形成され
た絶縁体層と、絶縁体からなる表面層とをこの順番で積
層する工程と、 h)必要により前記g)工程で作られた積層体を、また
は、前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に電極ペーストを塗布して焼成する工程と i)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成されたものであ
る。The method of manufacturing a composite part according to the present invention comprises the steps of: a) a step of manufacturing an insulator layer; b) a step of forming a hole in the insulator layer, if necessary; and c) a step of forming the hole. Forming a conductor layer on an insulator layer or an insulator layer having no holes formed therein, d) manufacturing a dielectric layer, and e) forming holes in the dielectric layer if necessary; f. A) forming an electrode layer on one or both surfaces of the dielectric layer; and g) forming a surface layer made of an insulator, a dielectric layer having at least one electrode layer formed thereon, and a dielectric or insulator. Laminating an intermediate layer, an insulator layer on which at least one conductor layer is formed, and a surface layer composed of an insulator in this order; and h) laminating if necessary in the step g). Body, or the conductor layer or the electrode layer of the laminate is In which step a i) the conductive layer or the electrode layer of the laminate is fired on its side electrode paste issued coating is composed of a step of forming a terminal on a side surface exposed.
【0008】これにより生産性に優れ、しかも種々のタ
イプのフィルタを容易に作り分けることが可能な複合部
品を実現することができる。As a result, it is possible to realize a composite part which is excellent in productivity and in which various types of filters can be easily formed.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、少なくとも一対の導体層と絶縁体層と、前記絶縁体
層を介して積層された少なくとも一対の電極層と誘電体
層と、必要により前記導体層と前記電極層とを電気的に
接続するための内部導体と、前記積層により内部に構成
された電気要素を構成する導体および電極を外部電気回
路に接続するための端子とから構成された複合部品であ
り、種々のフィルタを容易に実現可能なフィルタとな
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION According to the first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising at least one pair of a conductor layer and an insulator layer, and at least one pair of an electrode layer and a dielectric layer laminated via the insulator layer. An internal conductor for electrically connecting the conductor layer and the electrode layer if necessary, and a terminal for connecting a conductor and an electrode constituting an electric element formed inside by the lamination to an external electric circuit. , And a filter that can easily realize various filters.
【0010】本発明の請求項2に記載の発明は、前記一
対の導体層と絶縁体層とがコイルを構成することを特徴
とする複合部品であり、種々のフィルタを容易に実現可
能なフィルタとなる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a composite component wherein the pair of conductor layers and the insulating layer constitute a coil, and a filter capable of easily realizing various filters. Becomes
【0011】本発明の請求項3に記載の発明は、同一面
内に少なくとも2つのコイルが形成されていることを特
徴とする複合部品であり、種々のフィルタを容易に実現
可能なフィルタとなる。According to a third aspect of the present invention, there is provided a composite component characterized in that at least two coils are formed in the same plane, and a filter capable of easily realizing various filters. .
【0012】本発明の請求項4に記載の発明は、前記一
対の電極層と誘電体層とがコンデンサの構成要素の一部
を構成することを特徴とする複合部品であり、種々のフ
ィルタを容易に実現可能なフィルタとなる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a composite component in which the pair of electrode layers and the dielectric layer constitute a part of a component of a capacitor. A filter that can be easily realized.
【0013】本発明の請求項5に記載の発明は、同一面
内に少なくとも2つのコンデンサが形成されていること
を特徴とする複合部品であり、種々のフィルタを容易に
実現可能なフィルタとなる。[0013] The invention according to claim 5 of the present invention is a composite component characterized in that at least two capacitors are formed in the same plane, and is a filter that can easily realize various filters. .
【0014】本発明の請求項6に記載の発明は、少なく
とも1つのコイルと少なくとも1つのコンデンサが形成
されていることを特徴とする複合部品であり、容易に実
現可能なL型フィルタとなる。[0014] The invention according to claim 6 of the present invention is a composite component characterized by forming at least one coil and at least one capacitor, and is an L-type filter that can be easily realized.
【0015】本発明の請求項7に記載の発明は、コイル
を構成する導体層とコンデンサを構成する電極層とが電
気的に接続されていることを特徴とする複合部品であ
り、種々のフィルタを容易に実現可能なフィルタとな
る。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a composite component in which a conductor layer forming a coil and an electrode layer forming a capacitor are electrically connected to each other. Is a filter that can be easily realized.
【0016】本発明の請求項8に記載の発明は、2つの
コイルと1つのコンデンサが形成されていることを特徴
とする複合部品であり、容易に実現可能なT型フィルタ
となる。The invention described in claim 8 of the present invention is a composite component characterized in that two coils and one capacitor are formed, and is a T-type filter that can be easily realized.
【0017】本発明の請求項9に記載の発明は、1つの
コイルと2つのコンデンサが形成されていることを特徴
とする複合部品であり、容易に実現可能なπ型フィルタ
となる。The invention according to claim 9 of the present invention is a composite component characterized in that one coil and two capacitors are formed, and is a π-type filter that can be easily realized.
【0018】本発明の請求項10に記載の発明は、2つ
のコイルと2つのコンデンサが形成されていることを特
徴とする複合部品であり、容易に実現可能なL型2段フ
ィルタとなる。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a composite component comprising two coils and two capacitors, which is an L-type two-stage filter which can be easily realized.
【0019】本発明の請求項11に記載の発明は、前記
導体層と前記絶縁体層と、前記絶縁体層を介して積層さ
れた電極層とがコンデンサを構成することを特徴とする
複合部品であり、容易に実現可能な分布容量型フィルタ
となる。The invention according to claim 11, wherein the conductor layer, the insulator layer, and the electrode layer laminated via the insulator layer constitute a capacitor. Thus, the distributed capacitance type filter can be easily realized.
【0020】本発明の請求項12に記載の発明は、端子
の構造が多層構造であることを特徴とする複合部品であ
り、はんだくわれやぬれ性などを両立した端子となる。The invention according to claim 12 of the present invention is a composite component characterized in that the structure of the terminal is a multilayer structure, and the terminal is compatible with solder fraying and wettability.
【0021】本発明の請求項13に記載の発明は、焼成
手段により製造されたことを特徴とする複合部品であ
り、耐熱性に優れたフィルタとなる。According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a composite part characterized by being manufactured by a firing means, and a filter having excellent heat resistance.
【0022】本発明の請求項14に記載の発明は、 a)絶縁体層を製造する工程と、 b)前記絶縁体層に導体層を形成する工程と、 c)誘電体層を製造する工程と d)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 e)絶縁体からなる表面層と、前記電極層が形成された
誘電体層と、誘電体または絶縁体からなる中間層と、前
記導体層が形成された絶縁体層と、絶縁体からなる表面
層とをこの順番で積層する工程と、 f)必要により前記e)工程で作られた積層体を、また
は、前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に電極ペーストを塗布して焼成する工程と g)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成された複合部品
の製造方法であり、種々のフィルタを容易に得ることが
できる。According to a fourteenth aspect of the present invention, there are provided: a) a step of manufacturing an insulator layer; b) a step of forming a conductor layer on the insulator layer; and c) a step of manufacturing a dielectric layer. And d) a step of forming an electrode layer on one or both sides of the dielectric layer; e) a surface layer of an insulator, a dielectric layer on which the electrode layer is formed, and an intermediate layer of a dielectric or an insulator. A step of laminating a layer, an insulator layer on which the conductor layer is formed, and a surface layer made of an insulator in this order; f) optionally, the laminate produced in the step e); or Applying an electrode paste to the side surface of the laminate where the conductor layer or the electrode layer is exposed and baking; and g) forming a terminal on the side surface of the laminate where the conductor layer or the electrode layer is exposed. It is a method of manufacturing a composed composite part and includes various filters. Can be easily obtained.
【0023】本発明の請求項15に記載の発明は、 a)絶縁体層を製造する工程と、 b)必要により、前記絶縁体層に穴を開ける工程と、 c)前記穴が開けられた絶縁体層、または穴が開けられ
ていない絶縁体層に導体層を形成する工程と、 d)誘電体層を製造する工程と e)必要により、前記誘電体層に穴を開ける工程と、 f)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 g)絶縁体からなる表面層と、少なくとも1枚の前記電
極層が形成された誘電体層と、誘電体または絶縁体から
なる中間層と、少なくとも1枚の前記導体層が形成され
た絶縁体層と、絶縁体からなる表面層とをこの順番で積
層する工程と、 h)必要により前記g)工程で作られた積層体を、また
は、前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に電極ペーストを塗布して焼成する工程と i)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成された複合部品
の製造方法であり、種々のフィルタを容易に得ることが
できる。The invention according to claim 15 of the present invention comprises the following steps: a) a step of manufacturing an insulator layer; b) a step of drilling a hole in the insulator layer if necessary; c) the hole is drilled. Forming a conductor layer on an insulator layer or an insulator layer having no holes formed therein; d) manufacturing a dielectric layer; and e) forming holes in the dielectric layer if necessary; f. A) forming an electrode layer on one or both surfaces of the dielectric layer; and g) forming a surface layer made of an insulator, a dielectric layer having at least one electrode layer formed thereon, and a dielectric or insulator. Laminating an intermediate layer, an insulator layer on which at least one conductor layer is formed, and a surface layer composed of an insulator in this order; and h) laminating if necessary in the step g). The conductor layer or the electrode layer of the laminate A step of applying an electrode paste to the side surface thus formed and firing; and i) a step of forming a terminal on the side surface of the laminate where the conductor layer or the electrode layer is exposed. Can easily be obtained.
【0024】本発明の請求項16に記載の発明は、前記
表面層またはおよび前記中間層を使用して複合部品の厚
さを調整することを特徴とする複合部品の製造方法であ
り、強度などがすぐれたフィルタを得ることができる。The invention according to claim 16 of the present invention is a method for manufacturing a composite component, wherein the thickness of the composite component is adjusted by using the surface layer or the intermediate layer. Can obtain an excellent filter.
【0025】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0026】(実施の形態1)図1(a)に本発明の第
1の実施の形態にかかる複合部品の積層構造を模式的に
示す。図1の複合部品はコイル1とコンデンサ2とを積
層した構造を有している。更に、本実施の形態の複合部
品は部品側面に3つの端面電極8,8’,8”を有して
いる。(Embodiment 1) FIG. 1A schematically shows a laminated structure of a composite component according to a first embodiment of the present invention. 1 has a structure in which a coil 1 and a capacitor 2 are stacked. Further, the composite component of the present embodiment has three end surface electrodes 8, 8 ', 8 "on the side surface of the component.
【0027】コイル1は絶縁体層3とコイル状の導体層
4,4’とを積層した構造を有している。図1において
は左右にそれぞれ2つのコイル素子1a,1bが形成さ
れている。コイル状の導体層4,4’は絶縁体層3の貫
通孔を経由して導体5で接続されてコイルを形成してい
る。すなわち、1つのコイル素子1aは2層の導体層
4,4’とこれらを接続する導体5からなっている。The coil 1 has a structure in which an insulator layer 3 and coil-shaped conductor layers 4, 4 'are laminated. In FIG. 1, two coil elements 1a and 1b are formed on the left and right, respectively. The coil-shaped conductor layers 4 and 4 ′ are connected by conductors 5 through the through holes of the insulator layer 3 to form a coil. That is, one coil element 1a includes two conductor layers 4, 4 'and a conductor 5 connecting these layers.
【0028】コンデンサ2は誘電体層6と2枚の電極層
7,7’とを積層した構造からなっている。図1におい
ては左右にそれぞれ2つのコンデンサ素子2a,2bが
形成されている。さらに図1ではコイルを構成する導体
層4’とコンデンサを構成する電極層7とが導体5’で
接続されている。さらに、3つの端面電極8,8’,
8”はそれぞれコイルを構成する2つの導体層4とコン
デンサを構成する電極層7’とに電気的に接続されてい
る。以上のように構成された本実施の形態の複合部品は
図1(b)に等価回路で示す様にT型のフィルタ回路を
構成している。The capacitor 2 has a structure in which a dielectric layer 6 and two electrode layers 7, 7 'are laminated. In FIG. 1, two capacitor elements 2a and 2b are formed on the left and right, respectively. Further, in FIG. 1, the conductor layer 4 'constituting the coil and the electrode layer 7 constituting the capacitor are connected by the conductor 5'. Furthermore, three end face electrodes 8, 8 ',
8 "are electrically connected to the two conductor layers 4 constituting the coil and the electrode layer 7 'constituting the capacitor, respectively. The composite component of the present embodiment configured as described above is shown in FIG. A T-type filter circuit is configured as shown in an equivalent circuit in FIG.
【0029】以下上記構成の複合部品に使用する材料に
ついて説明する。Hereinafter, the materials used for the composite component having the above configuration will be described.
【0030】絶縁体層3の材料は非磁性体でも磁性体で
もよい。絶縁体層3に使用できる非磁性体の例としては
エポキシ樹脂/ガラス繊維複合材料やポリイミド樹脂な
どの有機系絶縁材料、ガラス材料、ガラスセラミックス
複合材料、各種セラミックス材料などがある。電気絶縁
性さえあればどのような材料でも絶縁体層3に使用する
ことができる。絶縁体層3に非磁性体を使用した場合は
コイル1の自己共振周波数が高くなる。The material of the insulator layer 3 may be a non-magnetic material or a magnetic material. Examples of the nonmagnetic material that can be used for the insulator layer 3 include an organic insulating material such as an epoxy resin / glass fiber composite material or a polyimide resin, a glass material, a glass ceramic composite material, and various ceramic materials. Any material having electrical insulation properties can be used for the insulator layer 3. When a non-magnetic material is used for the insulator layer 3, the self-resonant frequency of the coil 1 increases.
【0031】絶縁体層3に使用できる磁性体の例として
は、NiZnフェライトやNiZnCuフェライト等公
知の透磁率の大きな磁性体材料がある。これら透磁率の
大きな磁性体材料を絶縁体層3に使用することによりコ
イル1のインダクタンスを大きくすることができる。Examples of a magnetic material that can be used for the insulator layer 3 include a known magnetic material having a high magnetic permeability such as NiZn ferrite or NiZnCu ferrite. By using these magnetic materials having a high magnetic permeability for the insulator layer 3, the inductance of the coil 1 can be increased.
【0032】導体層4,4’および電極層7,7’の材
料は電気的に良導体であれば何でも使用できるが、通常
は価格などを考慮して銀、銀パラジウム合金、銅等を使
用することが好ましい。As the material of the conductor layers 4, 4 'and the electrode layers 7, 7', any material can be used as long as it is an electrically good conductor. In general, silver, silver-palladium alloy, copper or the like is used in consideration of the price. Is preferred.
【0033】誘電体層6には従来公知の有機または無機
材料からなる誘電材料を使用することができる。誘電率
の大きな材料を誘電体層6に使用することによりコンデ
ンサ2の容量を大きくすることができることは当然であ
る。また、コンデンサ2を構成する電極層7,7’の面
積や誘電体層6の厚みを変化させることにより同一材料
を使用してもコンデンサ2の容量を変化させることがで
きる。For the dielectric layer 6, a conventionally known dielectric material made of an organic or inorganic material can be used. It is natural that the capacity of the capacitor 2 can be increased by using a material having a large dielectric constant for the dielectric layer 6. Further, by changing the area of the electrode layers 7 and 7 ′ constituting the capacitor 2 and the thickness of the dielectric layer 6, the capacitance of the capacitor 2 can be changed even when the same material is used.
【0034】端面電極8の材料も一般的に電子部品の端
面電極に使用される導電性材料であれば何でも使用でき
る。一般的に電子部品の端面電極に使用する材料は単一
な材料ではなく、複数の層から構成されることが望まし
い。具体的には本発明の複合部品の端面電極は銀、銀パ
ラジウム合金または銅等からなる下地層とニッケルめっ
き層とスズまたはその合金とからなる最外層とから構成
される。ただし、この構成はあくまで一例であり、他の
金属または有機材料例えば導電性樹脂などを端面電極8
の構成材料の1つとして選択することもできる。As the material of the end face electrode 8, any conductive material generally used for an end face electrode of an electronic component can be used. Generally, it is desirable that the material used for the end face electrode of the electronic component is not a single material but is composed of a plurality of layers. Specifically, the end face electrode of the composite component of the present invention is composed of an underlayer made of silver, a silver-palladium alloy, copper or the like, a nickel plating layer, and an outermost layer made of tin or an alloy thereof. However, this configuration is merely an example, and another metal or organic material such as a conductive resin may be used for the end face electrode 8.
Can also be selected as one of the constituent materials.
【0035】また、本発明の複合部品の使用例として、
予め配線パターンが形成されたアルミナやフェライトな
どのセラミックス基板上に本発明の複合部品が高温焼成
ペーストを使用して実装される場合がある。この場合は
端面電極8の材料には焼成温度に耐えるだけの耐熱性を
付与することも必要である。As an example of using the composite part of the present invention,
The composite component of the present invention may be mounted on a ceramic substrate such as alumina or ferrite on which a wiring pattern is formed in advance by using a high-temperature firing paste. In this case, it is necessary to impart heat resistance enough to withstand the firing temperature to the material of the end face electrode 8.
【0036】なお、上に述べた本発明の実施の形態は本
発明にかかる複合部品の必要最低限の一構造を示したも
のである。すなわち、上記構成においてコイル1を構成
する絶縁体層3と導体層4の数を増やすことにより、コ
イル1のターン数を増やし、インダクタンスを大きくす
ることができる。同様にコンデンサ2を構成する誘電体
層6と電極層7,7’の組み合わせを繰り返して積層構
造にすることによりコンデンサ2の容量を大きくするこ
とができる。この場合、電極層7,7’,7”,7'''
…から交互に電極を取り出し、それぞれ導体5’と端面
電極8”とに接続することは当然である。The above-described embodiment of the present invention shows one minimum required structure of the composite part according to the present invention. That is, by increasing the number of the insulator layers 3 and the conductor layers 4 constituting the coil 1 in the above configuration, the number of turns of the coil 1 can be increased and the inductance can be increased. Similarly, the capacitance of the capacitor 2 can be increased by repeating the combination of the dielectric layer 6 and the electrode layers 7, 7 'constituting the capacitor 2 to form a laminated structure. In this case, the electrode layers 7, 7 ', 7 ", 7"'
It is natural that the electrodes are alternately taken out from... And connected to the conductor 5 ′ and the end face electrode 8 ″, respectively.
【0037】さらに、図2に示す様に上記コイル1の電
気特性を改良するために、コイル1の上下両面に磁性体
からなる絶縁体層9,9’を積層してコイル特性の向上
を図ることができる。また、図3に示す様に複合部品の
機械強度向上や複合部品の厚み方向の寸法を調整する目
的で、コイル1の上下面やコンデンサ2の上下面などに
絶縁体または誘電体からなる表面層10,10’、また
は絶縁体または誘電体からなる中間層10”を形成する
こともできる。上記目的でコイル1とコンデンサ2との
間に厚い絶縁体層9’または中間層10”が挿入された
場合は、コイル1の導体層4’とコンデンサ2の電極層
7とを接続する導体5’の形成に際しては貫通穴径を大
きくする等十分な注意を要する。Further, as shown in FIG. 2, in order to improve the electric characteristics of the coil 1, insulating layers 9, 9 'made of a magnetic material are laminated on the upper and lower surfaces of the coil 1 to improve the coil characteristics. be able to. As shown in FIG. 3, a surface layer made of an insulator or a dielectric is provided on the upper and lower surfaces of the coil 1 and the upper and lower surfaces of the capacitor 2 for the purpose of improving the mechanical strength of the composite component and adjusting the dimension in the thickness direction of the composite component. It is also possible to form an intermediate layer 10 "consisting of 10, 10 'or an insulator or a dielectric. A thick insulator layer 9' or an intermediate layer 10" is inserted between the coil 1 and the capacitor 2 for the above purpose. In such a case, when forming the conductor 5 ′ connecting the conductor layer 4 ′ of the coil 1 and the electrode layer 7 of the capacitor 2, sufficient care such as increasing the diameter of the through hole is required.
【0038】ノイズ低減用のLC複合部品、特にT型ま
たはπ型フィルタの重要な電気特性の一つにフィルタの
カットオフ周波数がある。フィルタのカットオフ周波数
は所定の減衰量が得られる周波数として定義されてお
り、コイル1のインダクタンスとコンデンサ2の容量で
決定される。本発明にかかる複合部品は上記の説明から
判る様に容易にコイル1のインダクタンスやコンデンサ
2の容量を変化させることができるため、広い周波数範
囲にわたるカットオフ周波数のフィルタを容易に製造す
ることができる。One of the important electrical characteristics of an LC composite component for noise reduction, particularly a T-type or π-type filter, is a filter cutoff frequency. The cutoff frequency of the filter is defined as a frequency at which a predetermined amount of attenuation is obtained, and is determined by the inductance of the coil 1 and the capacitance of the capacitor 2. As can be understood from the above description, the composite component according to the present invention can easily change the inductance of the coil 1 and the capacitance of the capacitor 2, so that a filter having a cutoff frequency over a wide frequency range can be easily manufactured. .
【0039】さらに、本発明の複合部品は同一積層面内
にそれぞれ複数のコイルと複数のコンデンサ素子が形成
されている構造であるため、従来の積層タイプとは異な
って生産が容易であり、さらに種々のタイプのLCフィ
ルタを印刷パターンの変更などわずかな変更で作り分け
ることができるという特徴を有している。Further, since the composite component of the present invention has a structure in which a plurality of coils and a plurality of capacitor elements are formed in the same lamination plane, it is easy to produce differently from the conventional lamination type. It has a feature that various types of LC filters can be separately formed by a slight change such as a change in a printing pattern.
【0040】なお、上記説明においては部品端面に直接
端面電極が形成された面実装部品の形状を有する複合部
品に関して説明したが、上記端面電極の代わりにピン端
子やキャップをかぶせたリード付き形状の複合部品とす
ることもできる。In the above description, a composite component having the shape of a surface mount component in which an end face electrode is formed directly on the end face of the component has been described. However, instead of the end face electrode, a lead-shaped shape covered with a pin terminal or a cap is used. It can also be a composite part.
【0041】次に本発明にかかる複合部品の製造方法に
ついて述べる。Next, a method of manufacturing a composite part according to the present invention will be described.
【0042】本発明にかかる複合部品の製造方法は基本
的には a)絶縁体層を製造する工程と、 b)前記絶縁体層に導体層を形成する工程と、 c)誘電体層を製造する工程と d)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 e)絶縁体からなる表面層と、前記電極層が形成された
誘電体層と、誘電体または絶縁体からなる中間層と、前
記導体層が形成された絶縁体層と、絶縁体からなる表面
層とをこの順番で積層する工程と、 f)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とからなるものである。The method of manufacturing a composite component according to the present invention basically includes a) a step of manufacturing an insulator layer, b) a step of forming a conductor layer on the insulator layer, and c) manufacturing of a dielectric layer. And d) a step of forming an electrode layer on one or both sides of the dielectric layer; and e) a surface layer made of an insulator, a dielectric layer on which the electrode layer is formed, and a dielectric or an insulator. Laminating an intermediate layer, an insulator layer having the conductor layer formed thereon, and a surface layer made of an insulator in this order; and f) a side surface of the laminate in which the conductor layer or the electrode layer is exposed. And a step of forming terminals.
【0043】さらにコイルのインピーダンスやコンデン
サの容量を増やし、各種のフィルタ回路を構成するため
の他の製造方法は a)絶縁体層を製造する工程と、 b)必要により、前記絶縁体層に穴を開ける工程と、 c)前記穴が開けられた絶縁体層、または穴が開けられ
ていない絶縁体層に導体層を形成する工程と、 d)誘電体層を製造する工程と e)必要により、前記誘電体層に穴を開ける工程と、 f)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 g)絶縁体からなる表面層と、少なくとも1枚の前記電
極層が形成された誘電体層と、誘電体または絶縁体から
なる中間層と、少なくとも1枚の前記導体層が形成され
た絶縁体層と、絶縁体からなる表面層とをこの順番で積
層する工程と、 h)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成されたものであ
る。Further manufacturing methods for increasing the impedance of the coil and the capacity of the capacitor and configuring various filter circuits include: a) a step of manufacturing an insulator layer; and b) a hole is formed in the insulator layer if necessary. C) forming a conductor layer on said perforated or non-perforated insulator layer; d) producing a dielectric layer; and e) as required. Forming a hole in the dielectric layer; f) forming an electrode layer on one or both sides of the dielectric layer; and g) forming a surface layer made of an insulator and at least one of the electrode layers. A step of laminating a dielectric layer, an intermediate layer made of a dielectric or an insulator, an insulator layer on which at least one conductor layer is formed, and a surface layer made of an insulator in this order; h) The conductor layer of the laminate The other is one that is composed of a step of forming a terminal on a side the electrode layer is exposed.
【0044】上記の構造の説明の項で記載した様に、製
造に際して上記複合部品の両表面に表面層を設けたり、
コイル1とコンデンサ2の間に中間層を設けることはコ
イル特性の向上、複合部品の機械的特性の向上や複合部
品の厚みの調整に効果的である。As described in the above description of the structure, a surface layer may be provided on both surfaces of the composite component during manufacture.
Providing an intermediate layer between the coil 1 and the capacitor 2 is effective for improving the coil characteristics, improving the mechanical characteristics of the composite component, and adjusting the thickness of the composite component.
【0045】さらに、上記コイル1やコンデンサ2がセ
ラミック材料で構成される場合は上記工程に加えて焼成
工程が必要となる。以下、コイル1やコンデンサ2がセ
ラミックス材料で構成される場合の詳細な製造方法につ
いて説明する。When the coil 1 and the capacitor 2 are made of a ceramic material, a firing step is required in addition to the above steps. Hereinafter, a detailed manufacturing method when the coil 1 and the capacitor 2 are made of a ceramic material will be described.
【0046】絶縁体層3や誘電体層6はグリーンシート
成形法、印刷法、ディッピング法、粉末成形法またはス
ピンコート法などで形成することができる。導体層4,
4’、電極層7,7’や端面電極8,8’,8”は通常
は印刷法で形成されるが、その他、レーザを用いたパタ
ーン形成法、転写法、滴下法、溶射法などの手段を用い
て形成されることができる。The insulator layer 3 and the dielectric layer 6 can be formed by a green sheet molding method, a printing method, a dipping method, a powder molding method, a spin coating method, or the like. Conductor layer 4,
The 4 ', the electrode layers 7, 7' and the end face electrodes 8, 8 ', 8 "are usually formed by a printing method, but may be formed by a pattern forming method using a laser, a transfer method, a dropping method, a thermal spraying method, or the like. It can be formed using means.
【0047】前記各層を形成するためのペーストまたは
スラリーは、目的とする特性を有する粉末、焼結助材ま
たは無機結合材、結合用の樹脂、および必要により可塑
剤、分散剤などを溶剤中に混合、分散して製造される。The paste or slurry for forming each layer is prepared by mixing powder having desired properties, a sintering aid or an inorganic binder, a binder resin, and if necessary, a plasticizer and a dispersant in a solvent. It is manufactured by mixing and dispersing.
【0048】複合部品の焼成温度範囲は800℃〜13
00℃の範囲である。焼成温度によって使用できる導体
材料は変化する。例えば、導体材料に銀を使用した場合
は複合部品の焼成温度は約900℃が限界である。導体
材料に銀−パラジウム合金を使用した場合は複合部品は
950℃で焼成することができる。さらに高温で複合部
品を焼成することが必要な場合は導体材料にニッケル、
パラジウムなどを使用する必要がある。The firing temperature range of the composite part is 800 ° C. to 13
It is in the range of 00 ° C. The conductive material that can be used changes depending on the firing temperature. For example, when silver is used as the conductor material, the firing temperature of the composite component is limited to about 900 ° C. When a silver-palladium alloy is used as the conductor material, the composite component can be fired at 950 ° C. If it is necessary to fire composite parts at higher temperatures, nickel
It is necessary to use palladium or the like.
【0049】上記、セラミックス材料を使用して本発明
の複合部品を製造する場合は、構成材料をすべて積層し
た後に複合部品を焼成しても良いし、コイル1とコンデ
ンサ2とを別々に焼成した後にコイル1とコンデンサ2
とを積層しても良い。When the composite component of the present invention is manufactured using the above ceramic material, the composite component may be fired after all the constituent materials are laminated, or the coil 1 and the capacitor 2 may be fired separately. Later, coil 1 and capacitor 2
May be laminated.
【0050】以下具体的な実施例により説明する。Hereinafter, a specific example will be described.
【0051】先ず、NiZnCu系フェライト粉末10
0g、ブチラール樹脂8g、ブチルベンジルフタレート
4g、メチルエチルケトン24gおよび酢酸ブチル24
gを混合し、ポットミルで分散してフェライトスラリー
を製造した。First, NiZnCu-based ferrite powder 10
0 g, butyral resin 8 g, butylbenzyl phthalate 4 g, methyl ethyl ketone 24 g and butyl acetate 24
g was mixed and dispersed in a pot mill to produce a ferrite slurry.
【0052】上記フェライトスラリーをブレードコータ
を使用してPETフィルム上にコーティングし、乾燥し
て厚さ0.2mmのフェライトグリーンシートを製造し
た。The ferrite slurry was coated on a PET film using a blade coater and dried to produce a 0.2 mm thick ferrite green sheet.
【0053】同様の操作で、誘電体粉末を用いて誘電体
のグリーンシートを製造した。By the same operation, a dielectric green sheet was manufactured using the dielectric powder.
【0054】上記フェライトグリーンシートにパンチン
グマシーンを使用して貫通穴を開けて後、上記フェライ
トグリーンシートと誘電体のグリーンシートにそれぞれ
市販の銀ペーストをスクリーン印刷して導体層4,4’
および電極層7,7’を形成した。この際、銀ペースト
は上記グリーンシートに開けられた穴内部にも浸入して
導体層5を形成した。After punching a hole in the ferrite green sheet using a punching machine, a commercially available silver paste is screen-printed on the ferrite green sheet and the dielectric green sheet, respectively, to form conductor layers 4, 4 '.
And the electrode layers 7, 7 '. At this time, the silver paste also penetrated into the inside of the hole formed in the green sheet to form the conductor layer 5.
【0055】上記導体層4,4’および電極層7,7’
が形成されたフェライトグリーンシートと誘電体のグリ
ーンシートを図1に示す様に積層し、温度100℃、圧
力500kg/cm2の条件で加熱プレスして一体構造
とした。The conductor layers 4, 4 'and the electrode layers 7, 7'
As shown in FIG. 1, a ferrite green sheet on which is formed and a dielectric green sheet are laminated, and heated and pressed at a temperature of 100 ° C. and a pressure of 500 kg / cm 2 to form an integrated structure.
【0056】次に、導体層4,4’および電極層7’の
露出部分に端面電極用の銀ペーストを塗布し、900℃
で2時間焼成して複合素子を製造した。ここに得られた
複合素子には剥離、われ、そりなどの欠陥は観察されな
かった。ここに得られた複合素子の端面電極に通常のバ
レルめっき法でニッケルめっき、スズめっきを行い複合
部品を完成した。本複合部品はインピーダンスアナライ
ザやネットワークアナライザを用いて各種電気特性を測
定した結果、優れた電気特性が測定された。Next, a silver paste for an end face electrode was applied to the exposed portions of the conductor layers 4 and 4 ′ and the electrode layer 7 ′.
For 2 hours to produce a composite device. No defects such as peeling, cracking, and warping were observed in the composite device obtained here. Nickel plating and tin plating were performed on the end face electrodes of the obtained composite element by a usual barrel plating method to complete a composite part. As a result of measuring various electrical characteristics of the composite component using an impedance analyzer and a network analyzer, excellent electrical characteristics were measured.
【0057】(実施の形態2)本発明の実施の形態1に
おいてコイルを構成する導体層4’とコンデンサを構成
する電極層7とを電気的に接続する導体5’を除いた構
造の複合部品を製造した。本実施の形態の構造模式図を
図4(a)に、その等価回路を図4(b)に示す。本実
施の形態の複合部品はπ型のフィルタ回路を構成してい
る。(Embodiment 2) A composite component having a structure according to Embodiment 1 of the present invention except that a conductor 5 'for electrically connecting a conductor layer 4' forming a coil and an electrode layer 7 forming a capacitor is removed. Was manufactured. FIG. 4A shows a schematic structural diagram of this embodiment, and FIG. 4B shows an equivalent circuit thereof. The composite component of the present embodiment forms a π-type filter circuit.
【0058】(実施の形態3)本発明の実施の形態1に
おいてコンデンサを構成する電極層7を2枚の独立した
電極層7,7”に分割し、コイルを構成する導体層4’
とコンデンサを構成する電極層7”とを導体5’で電気
的に接続した構造の複合部品を製造した。本実施の形態
の構造模式図を図5(a)に、その等価回路を図5
(b)に示す。本実施の形態の複合部品はL型の2段フ
ィルタ回路を構成している。(Embodiment 3) In Embodiment 1 of the present invention, the electrode layer 7 constituting the capacitor is divided into two independent electrode layers 7, 7 ", and the conductor layer 4 'constituting the coil is divided.
A composite component having a structure in which the capacitor 5 is electrically connected to an electrode layer 7 ″ forming a capacitor by a conductor 5 ′ is manufactured. FIG. 5A is a schematic structural diagram of this embodiment, and FIG.
(B). The composite part of the present embodiment forms an L-type two-stage filter circuit.
【0059】(実施の形態4)本発明の実施の形態2に
おいて、さらに電極層7および電極層7を印刷した誘電
体層6を除いた構造の複合部品を製造した。本実施の形
態の構造模式図を図6(a)に、その等価回路を図6
(b)に示す。本実施の形態の複合部品は変則T型のフ
ィルタ回路を構成している。(Embodiment 4) In Embodiment 2 of the present invention, a composite component having a structure other than the electrode layer 7 and the dielectric layer 6 on which the electrode layer 7 is printed was manufactured. FIG. 6A is a schematic structural diagram of this embodiment, and FIG.
(B). The composite part according to the present embodiment forms an irregular T-type filter circuit.
【0060】以上の説明と図1〜図6から判る様に、本
発明の実施の形態の1〜4に使用される導体層と電極層
の大部分の形状は類似しており、導体層や電極層のごく
わずかな変更あるいは、内部導体を形成する穴の有無ま
たは穴配置の変更などで種々の特性のフィルタを形成で
きるものである。As can be seen from the above description and FIGS. 1 to 6, most of the shapes of the conductor layer and the electrode layer used in the embodiments 1 to 4 of the present invention are similar, and A filter having various characteristics can be formed by making a slight change in the electrode layer, the presence or absence of holes forming the internal conductor, or changing the hole arrangement.
【0061】[0061]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
複合部品は、導体層ないしは電極層の一部のパターン変
更あるいは穴あけ部ないしは開口部の小変更で種々のタ
イプの複合部品を容易に作り分けることができ、しかも
優れた電気特性を発揮する産業的価値の大なるものであ
る。As is apparent from the above description, the composite component of the present invention can easily be used to easily form various types of composite components by changing the pattern of a part of the conductor layer or the electrode layer or by slightly changing the holes or openings. It is of great industrial value that can be made separately and exhibits excellent electrical characteristics.
【図1】(a)本発明の第1の実施の形態にかかる複合
部品の積層構造を示す模式図 (b)同等価回路図FIG. 1A is a schematic diagram showing a laminated structure of a composite component according to a first embodiment of the present invention; FIG.
【図2】同実施の形態にかかる複合部品の他の積層構造
を示す断面図FIG. 2 is an exemplary sectional view showing another laminated structure of the composite part according to the embodiment;
【図3】同実施の形態にかかる複合部品のさらに他の積
層構造を示す断面図FIG. 3 is an exemplary sectional view showing still another laminated structure of the composite part according to the embodiment;
【図4】(a)本発明の第2の実施の形態にかかる複合
部品の積層構造を示す模式図 (b)同等価回路図FIG. 4A is a schematic diagram showing a laminated structure of a composite component according to a second embodiment of the present invention. FIG.
【図5】(a)本発明の第3の実施の形態にかかる複合
部品の積層構造を示す模式図 (b)同等価回路図FIG. 5A is a schematic diagram showing a laminated structure of a composite component according to a third embodiment of the present invention. FIG.
【図6】(a)本発明の第4の実施の形態にかかる複合
部品の積層構造を示す模式図 (b)同等価回路図FIG. 6 (a) is a schematic diagram showing a laminated structure of a composite part according to a fourth embodiment of the present invention, and (b) is an equivalent circuit diagram thereof.
1 コイル 1a,1b コイル素子 2 コンデンサ 2a,2b コンデンサ素子 3 絶縁体層 4 導体層 5 導体 6 誘電体層 7 電極層 8 端面電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coil 1a, 1b Coil element 2 Capacitor 2a, 2b Capacitor element 3 Insulator layer 4 Conductor layer 5 Conductor 6 Dielectric layer 7 Electrode layer 8 End electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01G 4/35 H01G 4/40 321A H03H 7/075 4/42 341 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H01G 4/35 H01G 4/40 321A H03H 7/075 4/42 341
Claims (16)
前記絶縁体層を介して積層された少なくとも一対の電極
層と誘電体層と、必要により前記導体層と前記電極層と
を電気的に接続するための内部導体と、前記積層により
内部に構成された電気要素を構成する導体および電極を
外部電気回路に接続するための端子とから構成された複
合部品。At least one pair of a conductor layer and an insulator layer,
At least one pair of electrode layers and a dielectric layer laminated via the insulator layer, an internal conductor for electrically connecting the conductor layer and the electrode layer as necessary, and an internal conductor formed by the lamination. And a terminal for connecting the electrodes constituting the electric element to the external electric circuit.
を構成することを特徴とする請求項1記載の複合部品。2. The composite component according to claim 1, wherein said pair of conductor layers and insulator layer constitute a coil.
成されていることを特徴とする請求項1記載の複合部
品。3. The composite component according to claim 1, wherein at least two coils are formed in the same plane.
ンサの構成要素の一部を構成することを特徴とする請求
項1記載の複合部品。4. The composite component according to claim 1, wherein the pair of electrode layers and the dielectric layer form a part of a component of a capacitor.
が形成されていることを特徴とする請求項1記載の複合
部品。5. The composite component according to claim 1, wherein at least two capacitors are formed in the same plane.
つのコンデンサが形成されていることを特徴とする請求
項1記載の複合部品。6. At least one coil and at least one coil
The composite component according to claim 1, wherein one capacitor is formed.
構成する電極層とが電気的に接続されていることを特徴
とする請求項1記載の複合部品。7. The composite component according to claim 1, wherein the conductor layer forming the coil and the electrode layer forming the capacitor are electrically connected.
されていることを特徴とする請求項7記載の複合部品。8. The composite part according to claim 7, wherein two coils and one capacitor are formed.
されていることを特徴とする請求項7記載の複合部品。9. The composite component according to claim 7, wherein one coil and two capacitors are formed.
成されていることを特徴とする請求項7記載の複合部
品。10. The composite part according to claim 7, wherein two coils and two capacitors are formed.
縁体層を介して積層された電極層とがコンデンサを構成
することを特徴とする請求項1記載の複合部品。11. The composite component according to claim 1, wherein said conductor layer, said insulator layer, and an electrode layer laminated via said insulator layer constitute a capacitor.
徴とする請求項1記載の複合部品。12. The composite part according to claim 1, wherein the terminal has a multilayer structure.
とする請求項1記載の複合部品。13. The composite part according to claim 1, wherein the composite part is manufactured by firing means.
工程と、 e)絶縁体からなる表面層と、前記電極層が形成された
誘電体層と、誘電体または絶縁体からなる中間層と、前
記導体層が形成された絶縁体層と、絶縁体からなる表面
層とをこの順番で積層する工程と、 f)必要により前記e)工程で作られた積層体を、また
は、前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に電極ペーストを塗布して焼成する工程と g)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成された複合部品
の製造方法。14. A process for producing an insulator layer; b) a process for forming a conductor layer on said insulator layer; c) a process for producing a dielectric layer; and d) one side of said dielectric layer. E) forming a surface layer made of an insulator, a dielectric layer having the electrode layer formed thereon, an intermediate layer made of a dielectric or an insulator, and the conductor layer being formed; A step of laminating an insulator layer and a surface layer made of an insulator in this order; and f) the laminate formed in the step e) if necessary, or the conductor layer or the electrode layer of the laminate. And b) applying an electrode paste to the exposed side surfaces and b) forming terminals on the exposed side surfaces of the conductor layers or the electrode layers of the laminate.
ていない絶縁体層に導体層を形成する工程と、 d)誘電体層を製造する工程と e)必要により、前記誘電体層に穴を開ける工程と、 f)前記誘電体層の片面または両面に電極層を形成する
工程と、 g)絶縁体からなる表面層と、少なくとも1枚の前記電
極層が形成された誘電体層と、誘電体または絶縁体から
なる中間層と、少なくとも1枚の前記導体層が形成され
た絶縁体層と、絶縁体からなる表面層とをこの順番で積
層する工程と、 h)必要により前記g)工程で作られた積層体を、また
は、前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に電極ペーストを塗布して焼成する工程と i)前記積層体の前記導体層または前記電極層が露出し
た側面に端子を形成する工程とから構成された複合部品
の製造方法。15. An insulator layer; a) a step of manufacturing an insulator layer; b) a step of forming a hole in the insulator layer if necessary; and c) a step of forming the insulator layer or the hole in which the hole is formed. Forming a conductor layer on a non-insulating layer; d) manufacturing a dielectric layer; e) drilling holes in the dielectric layer, if necessary; f) forming one or both sides of the dielectric layer. Forming an electrode layer; g) a surface layer made of an insulator; a dielectric layer on which at least one of the electrode layers is formed; an intermediate layer made of a dielectric or an insulator; A step of laminating an insulator layer on which a conductor layer is formed and a surface layer made of an insulator in this order; and h) optionally, the laminate produced in the step g), or An electrode paste is applied to the conductor layer or the side surface where the electrode layer is exposed. A method of manufacturing a composite part, comprising: a step of firing; and i) a step of forming a terminal on a side surface of the laminate where the conductor layer or the electrode layer is exposed.
使用して複合部品の厚さを調整することを特徴とする請
求項14または15記載の複合部品の製造方法。16. The method according to claim 14, wherein the thickness of the composite component is adjusted by using the surface layer or the intermediate layer.
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