JPH1131321A - Magnetic disk as well as magnetic disk device with the same and production of magnetic disk - Google Patents

Magnetic disk as well as magnetic disk device with the same and production of magnetic disk

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Publication number
JPH1131321A
JPH1131321A JP18346497A JP18346497A JPH1131321A JP H1131321 A JPH1131321 A JP H1131321A JP 18346497 A JP18346497 A JP 18346497A JP 18346497 A JP18346497 A JP 18346497A JP H1131321 A JPH1131321 A JP H1131321A
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JP
Japan
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magnetic disk
magnetic
film
lubricating film
head
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Application number
JP18346497A
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Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Nakakawaji
孝行 中川路
Mina Ishida
美奈 石田
Hiroshi Sasaki
佐々木  洋
Yutaka Ito
伊藤  豊
Saburo Shoji
三良 庄司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1131321A publication Critical patent/JPH1131321A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To greatly improve sliding durability by adding a phosphorus based extreme pressure additive to a perfluoropolyether based compd. as a magnetic disk lubricant. SOLUTION: The lubricating film of the magnetic disk sequentially formed with an underlying film, magnetic film, protective film and lubricating film on a nonmagnetic substrate consists of any one of the perfluoropolyether based compds. expressed by formulas I to III (R1 , R2 , R3 , R4 are hydrocarbon chains, X is a bond group) and the quaternary ammonium phosphite salt compd. expressed by formula IV (R5 , R6 , R7 , R8 , R9 , R10 , are hydrocarbon chains). The perfluoropolyether based compd. having the better sliding durability than that of perfluoroalkyl based compds. is used as the base material for the material constituting the lubricating film and the quaternary ammonium phosphite salt compd. is selected for the purpose of intensifying adsorptive power as the phosphorus based extreme pressure additive. As a result, the good sliding reliability may be assured by effectively functioning the extreme pressure additive.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の耐
久性向上や電子機器の摺動部の潤滑膜、あるいは撥水
性,撥油性等の表面改質等に広く応用できる。
The present invention can be widely applied to, for example, improvement of durability of a magnetic recording medium, lubrication film of a sliding portion of electronic equipment, or surface modification such as water repellency and oil repellency.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハードタイプの磁気ディスク装置は、ワ
ードプロセッサーやパーソナルコンピュータの急速な普
及に対応し、その需要は堅調に拡大している。また、磁
気ディスク装置は、ディスクの小径化並びに装置の小型
軽量化と高記録密度化が進んでおり、大容量の小形機が
主流となっている。
2. Description of the Related Art The demand for hard type magnetic disk drives has been steadily expanding in response to the rapid spread of word processors and personal computers. Further, as for the magnetic disk device, the diameter of the disk is reduced, the device is reduced in size and weight, and the recording density is increased, and a large-capacity small machine is mainly used.

【0003】一方、磁気ディスクの高記録密度化に伴い
ヘッド浮上量は低下しており、現在hf40nm以下の極低浮
上領域に入りつつある。ヘッド浮上量低下の傾向は、今
後もさらに進むことが確実であり、近い将来ヘッドとデ
ィスクは、完全な接触状態(コンタクト)で記録再生す
ることになり、摺動条件は一層苛酷になる。このため、
潤滑膜,ヘッド摺動面の保護膜(Air Bearing Surface
保護膜),ディスクの面形状(テクスチャ形状)など、
ディスク/ヘッド間の摺動信頼性に関わる技術は、磁気
ディスク装置全体の技術の中でも、その重要性が高まっ
ている。
On the other hand, the flying height of the head has been reduced with the increase in the recording density of the magnetic disk, and the head is now entering an extremely low flying area of hf 40 nm or less. It is certain that the tendency of the head flying height will decrease further in the future. In the near future, the recording and reproduction will be performed in a perfect contact state (contact) between the head and the disk, and the sliding conditions will become more severe. For this reason,
Lubricating film, protective film for head sliding surface (Air Bearing Surface
Protective film), disk surface shape (texture shape), etc.
The technology relating to the reliability of sliding between the disk and the head is becoming increasingly important among the technologies of the entire magnetic disk device.

【0004】従来では、ヘッド浮上量が高かったことも
あり、接触摺動は、ディスク起動時と停止時のみ発生し
ていたが、今日のようにヘッド浮上量が極低浮上になる
と、ディスク回転中にヘッド/ディスク間で頻繁に接触
摺動し易くなっている。このため、ヘッド/ディスク間
では、動摩擦力(Friction)や摩耗(Wear)が高くな
り、ディスククラッシュやヘッドの破損が発生し、記録
再生が不能になるケースが増えている。
In the prior art, contact sliding occurred only when the disk was started and stopped due to the high flying height of the head. However, when the flying height of the head becomes extremely low as in today, the rotation of the disk is increased. Frequent contact sliding between the head and the disk is facilitated. For this reason, the dynamic friction force (Friction) and abrasion (Wear) between the head and the disk are increased, and a disk crash or damage to the head occurs, so that recording and reproduction become impossible.

【0005】一方、動摩擦力(Friction)や摩耗(Wea
r)を低減するために潤滑膜を厚くするとディスクの起
動開始時に高い最大静止摩擦力(Stiction、以後、粘着
と略称)が発生し、ディスクが起動できなくなったり、
ヘッドを損傷する等の重大な問題が発生しやすくなる。
すなわち、ヘッド浮上量が極端に小さくなる今後の磁気
ディスクでは、動摩擦力(Friction)や摩耗(Wear)と
粘着の両方を低減する必要があるものの、従来技術の延
長では、対処できなくなっているのが現状である。さら
に、最近の磁気ディスク装置では、摺動信頼性として耐
環境性(0℃〜50℃、低湿度下〜高湿度下)も保証す
る傾向にある。
On the other hand, dynamic friction force (Friction) and wear (Wea
If the lubricating film is made thicker to reduce r), a high maximum static friction force (Stiction, hereinafter abbreviated as adhesion) will be generated at the start of disk startup, making it impossible to start up the disk,
Serious problems such as damage to the head are likely to occur.
In other words, in the future magnetic disk in which the flying height of the head becomes extremely small, it is necessary to reduce both the kinetic friction force (Friction) and the abrasion (Wear) and the adhesion, but it cannot be dealt with by extension of the conventional technology. Is the current situation. Furthermore, in recent magnetic disk devices, there is a tendency to guarantee environmental resistance (0 ° C. to 50 ° C., under low humidity to high humidity) as sliding reliability.

【0006】近年、上記の問題を解決する手段として、
磁気ディスク用の潤滑剤として従来のパーフロロポリエ
ーテル系化合物だけでなく、リン系化合物(以後、リン
系極圧剤と略称)を添加する手法が提案されている。例
えば、特開昭61−178720号公報,特開昭61−178719号公
報,特開昭61−178721号公報,特開昭61−184716号公
報,特開昭61−184724号公報,特開昭62−103824号公
報,特開昭62−103827号公報,特開昭62−157319号公
報,特開昭62−236120号公報,特開昭62−236129号公
報,特開昭62−256218号公報,特開昭62−266727号公
報,特開昭62−266728号公報,特開昭62−266729号公
報,特開昭63−153716号公報,特開平2−49218号公報,
特開平4−271012号公報,特開平4−274017 号公報,特
開平4−274018号公報,特開平4−274019号公報,特開平
4−274020号公報,特開平5−73894号公報,特開平6−17
6350号公報,USP5,587,217,USP5,230,964 は、磁気記
録媒体の表面にリン系極圧剤単独もしくはフッ素系化合
物との併用として塗布したものである。
[0006] In recent years, as means for solving the above problems,
As a lubricant for magnetic disks, there has been proposed a method of adding not only a conventional perfluoropolyether compound but also a phosphorus compound (hereinafter abbreviated as a phosphorus extreme pressure agent). For example, JP-A-61-178720, JP-A-61-178719, JP-A-61-178721, JP-A-61-184716, JP-A-61-184724, and JP-A-61-184724. JP-A-62-103824, JP-A-62-103827, JP-A-62-157319, JP-A-62-236120, JP-A-62-236129, JP-A-62-256218 JP-A-62-266727, JP-A-62-266728, JP-A-62-266729, JP-A-63-153716, JP-A-2-49218,
JP-A-4-271012, JP-A-4-274017, JP-A-4-274018, JP-A-4-274019, JP-A-4-274017
JP-A-4-274020, JP-A-5-73894, JP-A-6-17
No. 6,350, US Pat. No. 5,587,217 and US Pat. No. 5,230,964 apply a phosphorus-based extreme pressure agent alone or in combination with a fluorine-based compound to the surface of a magnetic recording medium.

【0007】また、リン系極圧剤の他には、硫黄系極圧
剤を使用した例として特開昭61−178718号公報,特開昭
62−103825号公報,ハロゲン系極圧剤を使用した例とし
て特開昭61−178722号公報,特開昭61−184715号公報,
特開昭61−184721号公報,特開昭61−184722号公報,特
開昭62−103826号公報,ホウ素系極圧剤を使用した例と
して特開昭62−177719号公報などが提案されている。
[0007] Examples of using sulfur-based extreme pressure agents in addition to phosphorus-based extreme pressure agents are disclosed in JP-A-61-178718 and JP-A-61-178718.
JP-A-62-103825, JP-A-61-178722, JP-A-61-184715, and JP-A-61-184715 as examples using halogen-based extreme pressure agents.
JP-A-61-184721, JP-A-61-184722, JP-A-62-103826, and JP-A-62-177719 have been proposed as examples using a boron-based extreme pressure agent. I have.

【0008】以上の公知例は、いずれも極圧剤添加によ
って、摺動信頼性をある程度向上できる技術である。
[0008] The above known examples are all techniques in which the sliding reliability can be improved to some extent by adding an extreme pressure agent.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】油による潤滑系で摩擦
面に十分な油膜を形成できない場合(境界潤滑下)に、
焼付き防止や摩耗低減を目的として、燐や硫黄,塩素等
の元素を含む化合物を油に添加する手法は、同業者間で
は公知の技術であり、燐や硫黄,塩素等の元素を含む化
合物は、極圧剤と呼ばれる。極圧剤は、摩擦熱などによ
って摩擦面と反応し、境界潤滑膜を形成して焼付き防止
や摩耗を防止する働きがある。
When a sufficient oil film cannot be formed on the friction surface by the oil lubrication system (under boundary lubrication),
The technique of adding a compound containing an element such as phosphorus, sulfur, or chlorine to oil for the purpose of preventing seizure or reducing abrasion is a technique known to those skilled in the art. Is called an extreme pressure agent. The extreme pressure agent reacts with the friction surface due to frictional heat or the like, forms a boundary lubricating film, and has a function of preventing seizure and wear.

【0010】前記公知例は、この様な極圧剤の効果を利
用したものであり、特にヘッド側に摩擦による境界潤滑
膜を形成し、ヘッド/ディスク間の動摩擦や摩耗を低減
するものである。前にも述べたように、磁気ディスクで
は、パーフロロポリエーテル系化合物と燐系極圧剤を併
用して使用する手法が一般的で、低温下ではパーフロロ
ポリエーテル系化合物が主に潤滑剤としての機能を発揮
し、逆に高温下では燐系極圧剤が潤滑剤として有効に働
くと考えられる(特開平6−176350 号公報,USP5,587,2
17,USP5,230,964)。
The above-mentioned known example utilizes such an effect of the extreme pressure agent. In particular, a boundary lubricating film is formed on the head side by friction to reduce dynamic friction and wear between the head and the disk. . As mentioned earlier, magnetic disks generally use a combination of a perfluoropolyether compound and a phosphorus-based extreme pressure agent. At low temperatures, the perfluoropolyether compound is mainly used as a lubricant. It is considered that a phosphorus-based extreme pressure agent works effectively as a lubricant at high temperatures (Japanese Patent Laid-Open No. 6-176350, US Pat. No. 5,587,2).
17, USP 5,230,964).

【0011】しかし、極圧剤の効果を十分に引き出すた
めには、幾つかの技術課題を解決しなければならない。
例えば、磁気ディスクにパーフロロポリエーテル系化合
物とリン系極圧剤を混ぜて塗布する手法では、一般にパ
ーフロロポリエーテル系化合物とリン系極圧剤が均一に
分散してディスク表面に吸着せず、リン系極圧剤同士が
集まって海島状に点在する。
However, in order to sufficiently bring out the effects of the extreme pressure agent, several technical problems must be solved.
For example, in a method in which a perfluoropolyether compound and a phosphorus-based extreme pressure agent are mixed and applied to a magnetic disk, the perfluoropolyether-based compound and the phosphorus-based extreme pressure agent are generally uniformly dispersed and do not adhere to the disk surface. The phosphorus-based extreme pressure agents gather and are scattered in a sea-island shape.

【0012】これはパーフロロポリエーテル系化合物が
リン系極圧剤に対して強い撥油性を示すためであり、こ
れでは安定したリン系極圧剤の効果が得られないばかり
か、リン系極圧剤が過剰にヘッド側に移着してヘッド汚
れや強い粘着を引き起こす恐れがある。いずれの前記公
知例にも、極圧剤とパーフロロポリエーテル系化合物が
均一に分散した潤滑膜の製造方法が記載されておらず、
パーフロロポリエーテル系化合物とリン系極圧剤が均一
に分散できる何らかの新しい成膜の手法を考案する必要
がある。
This is because the perfluoropolyether compound exhibits strong oil repellency to the phosphorus-based extreme pressure agent, which not only does not provide a stable effect of the phosphorus-based extreme pressure agent but also results in a phosphorus-based extreme pressure agent. The pressure agent may excessively transfer to the head side to cause head dirt and strong adhesion. None of the known examples describe a method for producing a lubricating film in which an extreme pressure agent and a perfluoropolyether compound are uniformly dispersed,
It is necessary to devise a new film forming method capable of uniformly dispersing the perfluoropolyether compound and the phosphorus extreme pressure agent.

【0013】また、極圧剤の効果は、摺動面への吸着の
しやすさによっても強く影響される。最近の磁気ヘッド
には、摺動面にカーボン保護膜が形成されている。カー
ボン保護膜を形成しないヘッドの場合、摺動面はAl2
3−TiCであるため、リン系極圧剤はAl23−T
iCの金属面と吸着しやすく、有効な境界潤滑膜を形成
できるが、スパッタカーボン保護膜を形成したヘッドで
は、リン系極圧剤が摺動面に吸着しにくく、リン系極圧
剤の効果を十分に生かすことが出来ない。すなわち、カ
ーボン保護膜を形成したヘッドに対しては、リン系極圧
剤自体の吸着力を高める必要がある。
[0013] The effect of the extreme pressure agent is also strongly affected by the ease of adsorption to the sliding surface. Recent magnetic heads have a carbon protective film formed on a sliding surface. In the case of a head without a carbon protective film, the sliding surface is made of Al 2
Since it is O 3 —TiC, the phosphorus-based extreme pressure agent is Al 2 O 3 —T
Although it is easy to adsorb to the metal surface of iC and can form an effective boundary lubrication film, in the head on which the sputtered carbon protective film is formed, the phosphorus-based extreme pressure agent hardly adheres to the sliding surface, and the effect of the phosphorus-based extreme pressure agent is reduced. Cannot be fully utilized. That is, it is necessary to increase the adsorption power of the phosphorus-based extreme pressure agent itself to the head on which the carbon protective film is formed.

【0014】この様な課題に対しては、例えば、強い吸
着力が得られるリン酸エステルアミン塩系極圧剤を使用
する手法が特開昭61−178719号で提案されている。しか
し、特開昭61−178719号も含め、特開昭61−178720号公
報,特開昭61−178721号公報,特開昭61−184716号公
報,特開昭61−184724号公報,特開昭62−103824号公
報,特開昭62−103827号公報,特開昭62−157319号公
報,特開昭62−236120号公報,特開昭62−236129号公
報,特開昭62−256218号公報,特開昭62−266727号公
報,特開昭62−266728号公報,特開昭62−266729号公
報,特開昭63−153716号公報,特開平2−49218号公報、
特開平4−271012号公報、特開平4−274017号公報,特開
平4−274018号公報,特開平4−274019号公報,特開平4
−274020 号公報,特開平5−73894号公報では、潤滑膜
の母材であるフッ素系化合物にパーフロロアルキル系化
合物を使用しており、パーフロロポリエーテル系化合物
を使用する特開平6−176350号公報,USP5,587,217,USP
5,230,964 と比較して摺動耐久性の面で劣ると考えられ
る。
To solve such problems, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-178719 proposes a method using a phosphoric acid ester amine salt-based extreme pressure agent capable of obtaining a strong adsorptive power. However, JP-A-61-178720, JP-A-61-178721, JP-A-61-184716, JP-A-61-184724, and JP-A-61-184724, including JP-A-61-178719. JP-A-62-103824, JP-A-62-103827, JP-A-62-157319, JP-A-62-236120, JP-A-62-236129, JP-A-62-256218 JP-A-62-266727, JP-A-62-266728, JP-A-62-266729, JP-A-63-153716, JP-A-2-49218,
JP-A-4-271012, JP-A-4-274017, JP-A-4-274018, JP-A-4-274019, JP-A-4-27401
JP-A-274020 and JP-A-5-73894 use a perfluoroalkyl-based compound as a fluorine-based compound as a base material of a lubricating film, and use a perfluoropolyether-based compound. Bulletin, USP5,587,217, USP
It is considered that sliding durability is inferior to 5,230,964.

【0015】特に、磁気ディスクでは摺動耐久性確保の
ためにパーフロロポリエーテル系化合物の使用が、同業
者間では周知の事実である。すなわち、前記公知例で提
案されている手法では、極圧剤と母材となる潤滑剤とが
均一に分散した潤滑膜を形成するのは困難であり、極圧
剤の効果を十分に引き出す手法がないのが現状である。
In particular, the use of a perfluoropolyether compound in a magnetic disk to ensure sliding durability is a well-known fact among those skilled in the art. That is, it is difficult to form a lubricating film in which the extreme pressure agent and the lubricant serving as the base material are uniformly dispersed by the method proposed in the above-mentioned known example, and a method of fully utilizing the effect of the extreme pressure agent There is no current situation.

【0016】本発明は上記の問題点を解決し、極圧剤を
効果的に機能させて良好な摺動信頼性を確保できる手法
を提案すると共にこの手法を適用した高性能な磁気ディ
スクと磁気ディスク装置を提供することにある。
The present invention solves the above-mentioned problems, proposes a method capable of ensuring good sliding reliability by effectively using an extreme pressure agent, and a high performance magnetic disk and a magnetic disk to which this method is applied. A disk device is provided.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】前記の課題に解決する手
段として、潤滑膜を構成する材料として、パーフロロア
ルキル系化合物より摺動耐久性に優れるパーフロロポリ
エーテル系化合物を母材とし、リン系極圧剤には吸着力
の強化を目的に第4級アンモニウムフォスファイト塩化
合物を選定した。この第4級アンモニウムフォスファイ
ト塩化合物は、前記特開昭61−178719号に開示されたリ
ン酸エステルアミン塩系極圧剤より耐熱性の上で優れて
いる。
Means for Solving the Problems As a means for solving the above-mentioned problems, as a material for forming a lubricating film, a perfluoropolyether-based compound having better sliding durability than a perfluoroalkyl-based compound is used as a base material. A quaternary ammonium phosphite salt compound was selected as the system extreme pressure agent for the purpose of enhancing the adsorptive power. This quaternary ammonium phosphite salt compound is superior in heat resistance to the phosphate amine salt type extreme pressure agent disclosed in the above-mentioned JP-A-61-178719.

【0018】さらに、パーフロロポリエーテル系化合物
とリン系極圧剤が均一に分散した潤滑膜を得るために、
各潤滑剤の塗布後にポリエステルを材質としたテープに
よって擦る新規な手法を考案した。具体的には以下の磁
気ディスク,磁気ディスク製造方法、並びに磁気ディス
ク装置である。
Further, in order to obtain a lubricating film in which the perfluoropolyether compound and the phosphorus-based extreme pressure agent are uniformly dispersed,
A new method of rubbing with a tape made of polyester after applying each lubricant has been devised. Specifically, the following magnetic disk, magnetic disk manufacturing method, and magnetic disk device are provided.

【0019】第1の手段は、非磁性基板上に下地膜,磁
性膜,保護膜,潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスク
において、該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜〔3〕で表さ
れるパーフロロポリエーテル系化合物のいずれか一つ
と、前記一般式〔4〕で表される第4級アンモニウムフ
ォスファイト塩化合物からなることを特徴とする磁気デ
ィスクおよびそれらを備えた磁気ディスク装置。
The first means is a magnetic disk having a base film, a magnetic film, a protective film, and a lubricating film formed in this order on a non-magnetic substrate, wherein the lubricating film is represented by the general formulas [1] to [3]. And a quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the above general formula [4], and a magnetic disk drive equipped with the same. .

【0020】第2の手段は、非磁性基板上に下地膜,磁
性膜,保護膜,潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスク
と記録再生を目的とする磁気ヘッドを搭載した磁気ディ
スク装置において、該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜
〔3〕で表されるパーフロロポリエーテル系化合物のい
ずれか一つと、前記一般式〔4〕で表される第4級アン
モニウムフォスファイト塩化合物からなり、記録再生中
の該磁気ヘッドと該磁気ディスク表面との間隙が50n
m以下であることを特徴とする磁気ディスク装置。第3
の手段は、非磁性基板上に下地膜,磁性膜,保護膜,潤
滑膜を順に形成してなる磁気ディスクと記録再生を目的
とする磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置におい
て、該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜〔3〕で表されるパ
ーフロロポリエーテル系化合物のいずれか一つと、前記
一般式〔4〕で表される第4級アンモニウムフォスファ
イト塩化合物からなり、記録再生中の該磁気ヘッドと該
磁気ディスク表面との間隙が50nm以下であり、該磁
気ヘッドと該磁気ディスク間で発生する最大静止摩擦係
数が1.5以下、動摩擦係数が1.0以下であることを特
徴とする磁気ディスク装置。
The second means is a magnetic disk device having a magnetic disk formed by sequentially forming a base film, a magnetic film, a protective film, and a lubricating film on a non-magnetic substrate and a magnetic head for recording / reproducing. The lubricating film has the general formula [1]-
The magnetic head during recording / reproduction, comprising one of the perfluoropolyether compound represented by [3] and a quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the general formula [4]; 50n gap with disk surface
m or less. Third
Means for mounting a magnetic disk in which a base film, a magnetic film, a protective film, and a lubricating film are sequentially formed on a non-magnetic substrate, and a magnetic disk device equipped with a magnetic head for recording and reproduction; It comprises any one of the perfluoropolyether compounds represented by the general formulas [1] to [3] and the quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the general formula [4]. A gap between the magnetic head and the surface of the magnetic disk is 50 nm or less, a maximum static friction coefficient generated between the magnetic head and the magnetic disk is 1.5 or less, and a dynamic friction coefficient is 1.0 or less. Magnetic disk device.

【0021】第4の手段は、非磁性基板上に下地膜,磁
性膜,保護膜,潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスク
において、該磁気ディスクの回転起動時と回転停止時,
回転停止中に磁気ヘッドスライダーが位置するRa10
nm 以上の粗さを有する領域が該保護膜表面の内周部
に存在し、また、その領域から外周側には、該磁気ディ
スクの回転中に磁気ヘッドスライダーが位置する粗さが
a3nm 以下の領域が存在し、さらに該潤滑膜が前記
一般式〔1〕〜〔3〕で表されるパーフロロポリエーテ
ル系化合物内のいずれか一つと、前記一般式〔4〕で表
される第4級アンモニウムフォスファイト塩化合物から
なり、該磁気ヘッドと該磁気ディスク間で発生する最大
静止摩擦係数が1.5以下、動摩擦係数が1.0以下であ
ることを特徴とする磁気ディスク装置。
Fourth means is to provide a magnetic disk having a base film, a magnetic film, a protective film, and a lubricating film formed on a non-magnetic substrate in order, when the magnetic disk starts rotating and stops rotating.
Ra 10 where the magnetic head slider is located during rotation stop
A region having a roughness of not less than nm exists on the inner peripheral portion of the surface of the protective film, and from the region on the outer peripheral side, the roughness at which the magnetic head slider is located during rotation of the magnetic disk is Ra 3 nm. The following regions are present, and the lubricating film is any one of the perfluoropolyether compounds represented by the general formulas [1] to [3] and the lubricating film represented by the general formula [4]. A magnetic disk drive comprising a quaternary ammonium phosphite salt compound, wherein a maximum static friction coefficient generated between the magnetic head and the magnetic disk is 1.5 or less and a dynamic friction coefficient is 1.0 or less.

【0022】第5の手段は、請求項1,2,3,4に記
載の該潤滑膜を、ディップ塗布,スピン塗布,スプレー
塗布のいずれかの方法で形成した磁気ディスク表面を、
一定荷重で押しつけたポリアミドあるいはポリエステル
を材質とするテープによって該磁気ディスクを一定回転
数で回転させることにより擦り、さらに該磁気ディスク
回転中に該テープが一方向に巻き取られ、該磁気ディス
クと該テープの接触点が半径方向にも移動することを特
徴とする磁気ディスク製造方法。
Fifth means is to form the lubricating film according to any one of claims 1, 2, 3, and 4 on a magnetic disk surface formed by any one of dip coating, spin coating, and spray coating.
The magnetic disk is rubbed by rotating the magnetic disk at a constant rotational speed with a tape made of polyamide or polyester pressed with a constant load, and further, the tape is wound in one direction during rotation of the magnetic disk, and the magnetic disk and the magnetic disk are rotated. A method for manufacturing a magnetic disk, wherein a contact point of a tape also moves in a radial direction.

【0023】第6の手段は、請求項1,2,3,4にお
いて該磁気ディスクの直径が88.9mm以下であることを特
徴とする磁気ディスク並びにその磁気ディスクを備えた
磁気ディスク装置。
A sixth means is the magnetic disk according to any one of claims 1, 2, 3, and 4, wherein the diameter of the magnetic disk is 88.9 mm or less, and a magnetic disk device provided with the magnetic disk.

【0024】本発明で考案したパーフロロポリエーテル
系化合物とリン系極圧剤からなる潤滑膜は、リン系極圧
剤に摺動面に吸着しやすく、しかも熱的安定性に優れる
第4級アンモニウムフォスファイト塩化合物を使用し、
さらにパーフロロポリエーテル系化合物とリン系極圧剤
を均一に分散させるために潤滑膜をポリエステルのテー
プによって擦る新規な手法によって成膜した。これによ
りヘッド浮上量が低下する磁気ディスク装置において、
磁気ヘッドと磁気ディスクの接触摺動によって発生する
動摩擦力や摩耗の低減をでき、摺動信頼性の高い磁気デ
ィスク並びに磁気ディスク装置を得ることが出来る。
The lubricating film made of the perfluoropolyether compound and the phosphorus-based extreme pressure agent devised in the present invention is a quaternary which is easily adsorbed on the sliding surface by the phosphorus-based extreme pressure agent and has excellent thermal stability. Using ammonium phosphite salt compound,
Further, in order to uniformly disperse the perfluoropolyether-based compound and the phosphorus-based extreme pressure agent, a lubricating film was formed by a novel method of rubbing with a polyester tape. As a result, in a magnetic disk device in which the head flying height is reduced,
The dynamic frictional force and abrasion generated by the contact sliding of the magnetic head and the magnetic disk can be reduced, and a magnetic disk and a magnetic disk device with high sliding reliability can be obtained.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】 〔実施例1〕表面を鏡面研磨した3.5 インチのアルミ
合金基板上にNiP下地膜10μm,Cr中間膜0.5
μm ,Co−Cr−Pt60nm,カーボン保護膜2
0nmを順に形成したスパッタ磁気ディスクを準備し
た。次に、直径0.5μm のテフロン粒子を静電塗布
し、全面を酸素によって10nmエッチングした後、テ
フロン粒子を水洗して除去した。これによりスパッタ磁
気ディスクの表面には、直径0.5μm の円筒状突起が
均一に形成される。次に、下記構造式〔5〕で示される
パーフロロポリエーテル系化合物(a)
[Embodiment 1] NiP underlayer 10 μm, Cr interlayer 0.5 on a 3.5-inch aluminum alloy substrate whose surface is mirror-polished.
μm, Co-Cr-Pt 60 nm, carbon protective film 2
A sputtered magnetic disk on which 0 nm was sequentially formed was prepared. Next, Teflon particles having a diameter of 0.5 μm were electrostatically applied, the entire surface was etched by 10 nm with oxygen, and the Teflon particles were removed by washing with water. As a result, cylindrical projections having a diameter of 0.5 μm are uniformly formed on the surface of the sputtered magnetic disk. Next, a perfluoropolyether compound (a) represented by the following structural formula [5]

【0026】[0026]

【化3】 Embedded image

【0027】と、下記構造式〔6〕で示される第4級ア
ンモニウムフォスファイト塩化合物(b)
And a quaternary ammonium phosphite salt compound (b) represented by the following structural formula [6]:

【0028】[0028]

【化4】 Embedded image

【0029】をフッ素系溶剤(住友3M社製,HFE−
7100)に溶解させた溶液(1)を作製した。パーフ
ロロポリエーテル系化合物(a)の濃度は、0.1wt
% で、第4級アンモニウムフォスファイト塩化合物
(b)の濃度は0.01wt% である。この溶液(1)
をディップ法により塗布し、十分乾燥させた。ディップ
塗布の条件は、以下の通りである。
Fluorine-based solvent (HFE-, manufactured by Sumitomo 3M)
7100) to prepare a solution (1). The concentration of the perfluoropolyether compound (a) is 0.1 wt.
%, The concentration of the quaternary ammonium phosphite salt compound (b) is 0.01% by weight. This solution (1)
Was applied by a dipping method and dried sufficiently. The conditions for dip coating are as follows.

【0030】溶液への侵入速度:10mm/s 溶液中での滞留時間:180s 溶液からの引き上げ速度:1.0mm/s なお、潤滑膜厚は、約1.5nm である。次に、上記の
潤滑剤を塗布したディスクを、幅25mm,厚さ0.5mm
のポリエステルテープ(東レ社製、)によって全面研磨
した。図1に使用した装置の概略を示す。
Infiltration speed into solution: 10 mm / s Residence time in solution: 180 s Pulling speed from solution: 1.0 mm / s The lubricating film thickness is about 1.5 nm. Next, the disk coated with the above-mentioned lubricant was put in a width of 25 mm and a thickness of 0.5 mm.
Was polished with a polyester tape (manufactured by Toray Industries, Inc.). FIG. 1 shows an outline of the apparatus used.

【0031】ポリエステルテープは、一定の空気圧によ
ってディスク表面に押しつけられ、ディスクの回転と共
に半径方向を移動する。本実施例での押しつけ荷重は約
20gfある。この際、テープも一方向に巻き取られるた
め、ディスクは常に新しいテープ面によって擦られる。
本実施例ではディスクの回転数5400rpm 、テープの
押しつけ荷重20gfでディスク面を2往復させた。な
お、図1の装置では、材質や幅の異なるテープの使用も
可能で、押しつけ荷重も0gf〜50gfの範囲で選択でき
る。また、テープの押しつけも空気圧だけでなく、テー
プ押しつけ部にローラーを取り付けることにより、ロー
ラーによる押しつけも可能である。
The polyester tape is pressed against the disk surface by a constant air pressure, and moves in the radial direction as the disk rotates. The pressing load in this embodiment is about 20 gf. At this time, since the tape is also wound in one direction, the disk is always rubbed by a new tape surface.
In this embodiment, the disk surface was reciprocated two times at a disk rotation speed of 5400 rpm and a tape pressing load of 20 gf. In the apparatus shown in FIG. 1, tapes having different materials and widths can be used, and the pressing load can be selected in the range of 0 gf to 50 gf. Further, the tape can be pressed not only by air pressure but also by a roller by attaching a roller to the tape pressing portion.

【0032】このようにして作製したスパッタ磁気ディ
スクについて摺動試験を下記の条件で実施した。図2に
測定装置の概要を示す。
A sliding test was performed on the sputtered magnetic disk manufactured in this manner under the following conditions. FIG. 2 shows an outline of the measuring apparatus.

【0033】測定する磁気ディスク7は、装置下部のモ
ーターと直結のスピンドル8に取り付け、ディスク押さ
え9で固定している。ヘッド・スライダー12は、ディ
スクの回転方向と順方向にレール面が接するインライン
タイプ(Al23−TiC製20T)のものであり、ロ
ードセル10に接続されているアーム13に固定されて
いる。ロードセル10を固定しているステージ11は、
半径方向に移動可能であり、各トラックでの評価が可能
である。モーターを回転させることによりヘッド・スラ
イダー12と磁気ディスク7間で発生する摩擦力をロー
ドセルで測定する。
The magnetic disk 7 to be measured is mounted on a spindle 8 directly connected to a motor at the lower part of the apparatus, and is fixed by a disk holder 9. The head slider 12 is of an in-line type (20T made of Al 2 O 3 —TiC) whose rail surface is in contact with the rotation direction of the disk in the forward direction, and is fixed to an arm 13 connected to the load cell 10. The stage 11 fixing the load cell 10 is
It can move in the radial direction, and can be evaluated on each track. The frictional force generated between the head slider 12 and the magnetic disk 7 by rotating the motor is measured by a load cell.

【0034】本実施例では、接触摺動時の摺動特性を評
価するために、ヘッドが浮上しない程度の回転数でディ
スクを回転させ、ヘッドとディスクが接触した状態で摺
動させた。ヘッドは、Al23−TiC製の2レールナ
ノスライダーを使用し、ディスク回転数150rpm 、ヘ
ッドの押しつけ荷重5gである。測定は、60k回まで
試験を行い、この間、摺動回数0.15k回,1.5k
回,4.5k回,7.5k回,10.5k回,13.5k
回,16.5k回,19.5k回,22.5k回,30k
回,37.5k回,45k回,52.5k回,60k回
にディスクを停止させ、ヘッドを2秒間接触させた後1
0rpm で回転させた時の最大静止摩擦力と動摩擦力の最
大値を測定した。また、ディスクがクラッシュする摺動
回数も測定した。ディスククラッシュは、潤滑膜の下地
であるカーボン保護膜が完全に摩耗し、磁性膜が露出し
た状態であり、クラッシュが発生すると目視で確認でき
る摺動痕が発生し、そこまでの摺動回数を測定し、実験
を中止した。図3に上記の評価結果を示す。
In this embodiment, in order to evaluate the sliding characteristics during contact sliding, the disk was rotated at such a speed that the head did not float, and the head was slid in contact with the disk. Head uses 2 rail nano slider Al 2 O 3 -TiC manufactured, disk rotation speed 150 rpm, a pressing load 5g of the head. The test is conducted up to 60k times, during which the number of sliding times is 0.15k times and 1.5k times.
Times, 4.5k times, 7.5k times, 10.5k times, 13.5k
Times, 16.5k times, 19.5k times, 22.5k times, 30k
Times, 37.5k times, 45k times, 52.5k times, 60k times, stop the disk and contact the head for 2 seconds, then 1
The maximum value of the maximum static friction force and the maximum value of the dynamic friction force when rotating at 0 rpm were measured. In addition, the number of slides at which the disk crashed was measured. A disk crash is a condition in which the carbon protective film, which is the foundation of the lubricating film, has been completely worn and the magnetic film has been exposed.If a crash occurs, a sliding mark that can be visually confirmed is generated. The measurement was taken and the experiment was stopped. FIG. 3 shows the above evaluation results.

【0035】本実施例を、同じ磁気ディスク表面に本実
施例で使用したパーフロロポリエーテル系化合物(a)
だけを塗布した比較例1と比較すると、本実施例では、
60k回までディスククラッシュしないのに対し、比較
例1では10.5 k回でディスククラッシュした。ま
た、最大静止摩擦力と動摩擦力を比較しても第4級アン
モニウムフォスファイト塩化合物(b)を添加した本実
施例の方が低くなっている。また、本実施例と同じパー
フロロポリエーテル系化合物(a)と第4級アンモニウ
ムフォスファイト塩化合物(b)を塗布して、ポリエス
テルテープによる研磨を行わない比較例2では、ディス
ククラッシュはしないものの、最大静止摩擦力と動摩擦
力は、本実施例より高く、特に最大静止摩擦力は高い値
を示しており、強い粘着が発生している。
In this embodiment, the perfluoropolyether compound (a) used in this embodiment was applied to the same magnetic disk surface.
In comparison with Comparative Example 1 in which only
The disk crash did not occur up to 60k times, whereas in Comparative Example 1, the disk crashed at 10.5k times. In addition, comparing the maximum static friction force and the dynamic friction force, the value of the present example in which the quaternary ammonium phosphite salt compound (b) was added was lower than that of the present example. In Comparative Example 2 in which the same perfluoropolyether compound (a) and quaternary ammonium phosphite salt compound (b) as in this example were applied and polishing was not performed with a polyester tape, disk crash did not occur. The maximum static frictional force and the dynamic frictional force are higher than those of the present embodiment, and particularly, the maximum static frictional force shows a high value, and strong adhesion occurs.

【0036】〔実施例2〕実施例1と同じスパッタ磁気
ディスクを準備した。次に下記構造式〔7〕に示すパー
フロロポリエーテル化合物(c)と、
Example 2 The same sputtered magnetic disk as in Example 1 was prepared. Next, a perfluoropolyether compound (c) represented by the following structural formula [7]:

【0037】[0037]

【化5】 F(CF2CF2CF2−O)n24−CH2−OH …(7) 下記構造式〔8〕で示される第4級アンモニウムフォス
ファイト塩化合物(d)
Embedded image F (CF 2 CF 2 CF 2 —O) n C 2 F 4 —CH 2 —OH (7) Quaternary ammonium phosphite salt compound (d) represented by the following structural formula [8]

【0038】[0038]

【化6】 Embedded image

【0039】を、実施例1と同じフッ素系溶剤に同濃度
で溶解させた溶液を作製し、同条件で塗布した。潤滑膜
厚は、約1.7nm である。次に、実施例1と同様、ポ
リエステルテープによって研磨した。
Was dissolved in the same fluorine-based solvent at the same concentration as in Example 1 and applied under the same conditions. The lubricating film thickness is about 1.7 nm. Next, as in Example 1, polishing was performed with a polyester tape.

【0040】本実施例で作製した潤滑膜の摺動特性を実
施例1と同様の手法で測定した。表1に結果を示す。パ
ーフロロポリエーテル化合物(c)のみを塗布した比較
例3と比較して本実施例の結果は、60k回までディス
ククラッシュしないのに対し、比較例3では7.5 k回
でディスククラッシュした。また、最大静止摩擦力と動
摩擦力も第4級アンモニウムフォスファイト塩化合物
(d)を添加した本実施例の方が低くなっている。
The sliding characteristics of the lubricating film produced in this example were measured in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results. Compared to Comparative Example 3 in which only the perfluoropolyether compound (c) was applied, the results of this example did not cause a disk crash up to 60k times, whereas Comparative Example 3 caused a disk crash at 7.5k times. In addition, the maximum static friction force and the dynamic friction force are lower in the present example in which the quaternary ammonium phosphite salt compound (d) is added.

【0041】〔実施例3〕実施例1と同じ磁気ディスク
を3.5 インチ用磁気ディスク装置に搭載した。図4に
装置の概略図を示す。
Example 3 The same magnetic disk as in Example 1 was mounted on a 3.5-inch magnetic disk device. FIG. 4 shows a schematic diagram of the apparatus.

【0042】この磁気ディスク装置と比較例1で作製し
た磁気ディスクを搭載した同型の3.5 インチ用磁気デ
ィスク装置(比較例4)を、恒温槽に投入し、シーク動
作を伴うCSS(コンタクト・スタート・ストップ)試
験を行った。なお、恒温槽内では、1℃/秒の変化率で
0℃〜55℃を昇温
A 3.5-inch magnetic disk device of the same type (Comparative Example 4), on which the magnetic disk device and the magnetic disk manufactured in Comparative Example 1 were mounted, was placed in a thermostat, and a CSS (contact / contact) with a seek operation was performed. Start / Stop) test. In the thermostat, the temperature was raised from 0 ° C to 55 ° C at a rate of 1 ° C / sec.

【0043】[0043]

【外1】 [Outside 1]

【0044】冷却のサイクルを繰り返し、1000時間
連続で試験した。試験終了後、装置から磁気ディスクを
取り出し、ディスク表面を観察した。その結果、実施例
1で作製した磁気ディスクでは、ディスク表面に摺動痕
は全く観察されず、磁気ヘッドの摺動面にも摩耗粉や汚
れはついていない。これに対し比較例1で作製した磁気
ディスクでは、ディスク全面に摩耗が発生しており、一
部には深いスクラッチ痕も観察された。また、磁気ヘッ
ドの摺動面には、摩耗粉と潤滑剤が付着していた。
The cycle of cooling was repeated and the test was carried out continuously for 1000 hours. After the test, the magnetic disk was taken out of the apparatus and the disk surface was observed. As a result, in the magnetic disk manufactured in Example 1, no sliding marks were observed on the disk surface, and no abrasion powder or dirt was attached to the sliding surface of the magnetic head. On the other hand, in the magnetic disk manufactured in Comparative Example 1, abrasion occurred on the entire surface of the disk, and deep scratch marks were observed in a part thereof. Further, abrasion powder and a lubricant adhered to the sliding surface of the magnetic head.

【0045】〔比較例1〕実施例1と同じスパッタ磁気
ディスクを準備した。次に、実施例1で使用した前記構
造式〔5〕のパーフロロポリエーテル系化合物(a)の
みを実施例1と同様にディップ法で塗布し、十分乾燥さ
せた後、ポリエステルテープで研磨した。潤滑膜の膜厚
は、1.51nm である。このようにして作製したディ
スクについて、実施例1と同様に摺動試験を実施した。
図3に結果を示す。
Comparative Example 1 The same sputtered magnetic disk as in Example 1 was prepared. Next, only the perfluoropolyether compound (a) of the structural formula [5] used in Example 1 was applied by a dipping method in the same manner as in Example 1, dried sufficiently, and polished with a polyester tape. . The thickness of the lubricating film is 1.51 nm. A sliding test was performed on the disk manufactured in the same manner as in Example 1.
FIG. 3 shows the results.

【0046】〔比較例2〕実施例1と同じスパッタ磁気
ディスクを準備した。次に、実施例1で使用した前記構
造式〔5〕のパーフロロポリエーテル系化合物(a)と
前記構造式〔6〕の第4級アンモニウムフォスファイト
塩化合物(d)を実施例1と同じフッ素系溶剤に同濃度
で溶解させた溶液を作製し、同条件で塗布した。なお、
本比較例では、ポリエステルテープでの研磨は実施しな
かった。このようして作製したディスクについて、実施
例1と同様に摺動試験を実施した。図3に結果を示す。
Comparative Example 2 The same sputtered magnetic disk as in Example 1 was prepared. Next, the perfluoropolyether compound (a) of the structural formula [5] and the quaternary ammonium phosphite salt compound (d) of the structural formula [6] used in Example 1 were the same as in Example 1. A solution in which the same concentration was dissolved in a fluorinated solvent was prepared and applied under the same conditions. In addition,
In this comparative example, polishing with a polyester tape was not performed. A sliding test was performed on the disk manufactured in the same manner as in Example 1. FIG. 3 shows the results.

【0047】〔比較例3〕実施例1と同じスパッタ磁気
ディスクを準備した。次に実施例2で使用した前記構造
式〔7〕のパーフロロポリエーテル化合物(c)のみを
実施例1と同じフッ素系溶剤に同濃度で溶解させた溶液
を作製し、同条件で塗布した。潤滑膜厚は、約1.7n
m である。次に、実施例1と同様、ポリエステルテー
プによって研磨した。このようして作製したディスクに
ついて、実施例1と同様に摺動試験を実施した。図3に
結果を示す。
Comparative Example 3 The same sputtered magnetic disk as in Example 1 was prepared. Next, a solution was prepared by dissolving only the perfluoropolyether compound (c) of the structural formula [7] used in Example 2 in the same fluorine-based solvent as in Example 1 at the same concentration, and was applied under the same conditions. . The lubrication film thickness is about 1.7n
m. Next, as in Example 1, polishing was performed with a polyester tape. A sliding test was performed on the disk manufactured in the same manner as in Example 1. FIG. 3 shows the results.

【0048】〔比較例4〕比較例1で作製した磁気ディ
スクを搭載した同型の3.5 インチ用磁気ディスク装置
を、実施例3と同じ恒温槽に投入し、シーク動作を伴う
CSS(コンタクト・スタート・ストップ)試験を行っ
た。実施例3と同様、試験終了後に装置から磁気ディス
クを取り出し、ディスク表面を観察した。実施例3に記
載の通り、比較例1で作製した磁気ディスクでは、ディ
スク全面に摩耗が発生しており、一部には深いスクラッ
チ痕も観察された。また、磁気ヘッドの摺動面には、摩
耗粉と潤滑剤が付着していた。
Comparative Example 4 A 3.5-inch magnetic disk drive of the same type, on which the magnetic disk manufactured in Comparative Example 1 was mounted, was placed in the same thermostat as in Example 3, and a CSS (contact / contact) with a seek operation was performed. Start / Stop) test. As in Example 3, after the test was completed, the magnetic disk was taken out of the device and the disk surface was observed. As described in Example 3, in the magnetic disk manufactured in Comparative Example 1, abrasion occurred on the entire surface of the disk, and deep scratch marks were observed in some parts. Further, abrasion powder and a lubricant adhered to the sliding surface of the magnetic head.

【0049】[0049]

【発明の効果】磁気ディスク用潤滑剤としてパーフロロ
ポリエーテル系化合物にリン系極圧剤を添加することに
より、摺動耐久性を大幅に向上できる。特に本発明で
は、リン系極圧剤として吸着力が強く、耐熱性に優れる
第4級アンモニウムフォスファイト塩化合物を使用する
ことによって、従来の技術に比べてリン系極圧剤が効果
的に機能する。さらに、潤滑剤塗布後にポリエステルテ
ープによって研磨することにより、パーフロロポリエー
テル系化合物とリン系極圧剤が均一に分散した潤滑膜が
得られ、粘着も防止できる。本発明により、接触摺動耐
久性と低粘着性を両立した信頼性の高い磁気ディスク並
びに磁気ディスク装置を提供できる。
The sliding durability can be greatly improved by adding a phosphorus-based extreme pressure agent to a perfluoropolyether compound as a lubricant for a magnetic disk. In particular, in the present invention, the use of a quaternary ammonium phosphite salt compound having a strong adsorption power and excellent heat resistance as a phosphorus-based extreme pressure agent allows the phosphorus-based extreme pressure agent to function more effectively than conventional techniques. I do. Further, by polishing with a polyester tape after applying the lubricant, a lubricating film in which the perfluoropolyether-based compound and the phosphorus-based extreme pressure agent are uniformly dispersed can be obtained, and adhesion can be prevented. According to the present invention, it is possible to provide a highly reliable magnetic disk and a magnetic disk device having both contact sliding durability and low adhesiveness.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例1,2,比較例1,3で実施したポリエ
ステルフィルムテープによる研磨装置の概略図。
FIG. 1 is a schematic diagram of a polishing apparatus using a polyester film tape, which was implemented in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 3.

【図2】摺動特性の評価装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of an apparatus for evaluating sliding characteristics.

【図3】図2の評価装置で測定した実施例1,2と比較
例1,2,3の結果を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the results of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1, 2, and 3 measured by the evaluation device of FIG.

【図4】実施例3,比較例4の磁気ディスク装置の概略
図である。
FIG. 4 is a schematic diagram of a magnetic disk drive of Example 3 and Comparative Example 4.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、2…ポリエステルフィルムテープ、
3…テープ押しつけ用空気チューブ、4…ガイドローラ
ー、5…スピンドル、6…ディスク押さえ、7…ローセ
ル、8…ステージ、9…ヘッドスライダー、10…アー
ム、11…ジンバル、12…機構部、13…回路,制御
部。
1: magnetic disk, 2: polyester film tape,
3 ... Air tube for pressing tape, 4 ... Guide roller, 5 ... Spindle, 6 ... Disk press, 7 ... Low cell, 8 ... Stage, 9 ... Head slider, 10 ... Arm, 11 ... Gimbal, 12 ... Mechanical unit, 13 ... Circuit, control unit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C10M 105:54 137:08) C10N 30:06 40:18 50:10 (72)発明者 伊藤 豊 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 庄司 三良 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C10M 105: 54 137: 08) C10N 30:06 40:18 50:10 (72) Inventor Yutaka Ito Omikamachi, Okamachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi 1-1, Hitachi, Ltd., Hitachi, Ltd. (72) Inventor Miryo Shoji 7-1-1, Omika-cho, Hitachi, Ibaraki Pref., Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】非磁性基板上に下地膜,磁性膜、保護膜,
潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスクにおいて、該潤
滑膜が下記一般式〔1〕〜〔3〕 【化1】 (ここで、R1,R2,R3,R4は炭化水素鎖、Xは結合
基)で表されるパーフロロポリエーテル系化合物のいず
れか一つと下記一般式〔4〕 【化2】 (ここで、R5,R6,R7,R8,R9,R10は炭化水素
鎖)で表される第4級アンモニウムフォスファイト塩化
合物からなることを特徴とする磁気ディスクおよびそれ
らを備えた磁気ディスク装置。
A non-magnetic substrate, a base film, a magnetic film, a protective film,
In a magnetic disk in which a lubricating film is formed in order, the lubricating film is represented by the following general formulas [1] to [3]. (Where R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 are hydrocarbon chains, and X is a bonding group) and one of perfluoropolyether compounds represented by the following general formula [4]: (Where R 5 , R 6 , R 7 , R 8 , R 9 , and R 10 are hydrocarbon chains) and a magnetic disk comprising a quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the formula: Magnetic disk drive equipped.
【請求項2】非磁性基板上に下地膜,磁性膜、保護膜,
潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスクと記録再生を目
的とする磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置におい
て、該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜〔3〕で表されるパ
ーフロロポリエーテル系化合物のいずれか一つと、前記
一般式〔4〕で表される第4級アンモニウムフォスファ
イト塩化合物からなり,記録再生中の該磁気ヘッドと該
磁気ディスク表面との間隙が50nm以下であることを
特徴とする磁気ディスク装置。
2. An underlayer, a magnetic film, a protective film,
In a magnetic disk device equipped with a magnetic disk in which a lubricating film is formed in order and a magnetic head for recording and reproduction, the lubricating film is a perfluoropolyether-based compound represented by the general formulas [1] to [3]. The magnetic head is composed of one of the compounds and a quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the general formula [4], and a gap between the magnetic head and the surface of the magnetic disk during recording / reproduction is 50 nm or less. Characteristic magnetic disk drive.
【請求項3】非磁性基板上に下地膜,磁性膜、保護膜,
潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスクと記録再生を目
的とする磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置におい
て、該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜〔3〕で表されるパ
ーフロロポリエーテル系化合物のいずれか一つと、前記
一般式〔4〕で表される第4級アンモニウムフォスファ
イト塩化合物からなり、記録再生中の該磁気ヘッドと該
磁気ディスク表面との間隙が50nm以下であり、該磁
気ヘッドと該磁気ディスク間で発生する最大静止摩擦係
数が1.5以下、動摩擦係数が1.0以下であることを特
徴とする磁気ディスク装置。
3. A base film, a magnetic film, a protective film,
In a magnetic disk device equipped with a magnetic disk in which a lubricating film is formed in order and a magnetic head for recording and reproduction, the lubricating film is a perfluoropolyether-based compound represented by the general formulas [1] to [3]. A quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the general formula [4], wherein a gap between the magnetic head and the surface of the magnetic disk during recording / reproduction is 50 nm or less; A magnetic disk drive, wherein the maximum static friction coefficient generated between the magnetic head and the magnetic disk is 1.5 or less, and the dynamic friction coefficient is 1.0 or less.
【請求項4】非磁性基板上に下地膜,磁性膜,保護膜,
潤滑膜を順に形成してなる磁気ディスクにおいて、該磁
気ディスクの回転起動時と回転停止時,回転停止中に磁
気ヘッドスライダーが位置するRa10nm 以上の粗さ
を有する領域が該保護膜表面の内周部に存在し、また、
その領域から外周側には、該磁気ディスクの回転中に磁
気ヘッドスライダーが位置する粗さがRa3nm 以下の
領域が存在し、さらに該潤滑膜が前記一般式〔1〕〜
〔3〕で表されるパーフロロポリエーテル系化合物内の
いずれか一つと、前記一般式〔4〕で表される第4級ア
ンモニウムフォスファイト塩化合物からなり、該磁気ヘ
ッドと該磁気ディスク間で発生する最大静止摩擦係数が
1.5以下、動摩擦係数が1.0以下であることを特徴と
する磁気ディスク装置。
4. An underlayer, a magnetic film, a protective film,
In a magnetic disk in which a lubricating film is formed in order, a region having a roughness of Ra 10 nm or more where the magnetic head slider is located when the magnetic disk starts rotating, stops rotating, and stops rotating is formed on the surface of the protective film. Exists on the inner circumference,
On the outer peripheral side from the area, there is an area where the magnetic head slider is located during the rotation of the magnetic disk and the roughness is Ra 3 nm or less.
It comprises any one of the perfluoropolyether compounds represented by [3] and a quaternary ammonium phosphite salt compound represented by the general formula [4], and is provided between the magnetic head and the magnetic disk. A magnetic disk drive wherein the maximum static friction coefficient generated is 1.5 or less and the dynamic friction coefficient is 1.0 or less.
【請求項5】請求項1〜4のいずれかにおいて、該磁気
ディスクの直径が88.9mm 以下であることを特徴とす
る磁気ディスク並びにその磁気ディスクを備えた磁気デ
ィスク装置。
5. A magnetic disk according to claim 1, wherein said magnetic disk has a diameter of 88.9 mm or less, and a magnetic disk device equipped with said magnetic disk.
【請求項6】請求項1〜4のいずれかにおいて、潤滑膜
を、ディップ塗布,スピン塗布,スプレー塗布のいずれ
かの方法で形成した磁気ディスク表面を、一定荷重で押
しつけたポリアミドあるいはポリエステルを材質とする
テープによって該磁気ディスクを一定回転数で回転させ
ることにより擦り、さらに該磁気ディスク回転中に該テ
ープが一方向に巻き取られ、該磁気ディスクと該テープ
の接触点が半径方向にも移動することを特徴とする磁気
ディスク製造方法。
6. A method according to claim 1, wherein the lubricating film is formed by any one of dip coating, spin coating, and spray coating. The magnetic disk is rubbed by rotating the magnetic disk at a constant rotational speed with the tape to be wound, and further, the tape is wound in one direction during the rotation of the magnetic disk, and the contact point between the magnetic disk and the tape also moves in the radial direction. A method for manufacturing a magnetic disk.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7531485B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Hoya Corporation Method of producing a lubricant for a magnetic disk, lubricant for a magnetic disk, magnetic disk, and method of producing a magnetic disk

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7531485B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Hoya Corporation Method of producing a lubricant for a magnetic disk, lubricant for a magnetic disk, magnetic disk, and method of producing a magnetic disk

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