JPH11311208A - Rodless linear drive device - Google Patents

Rodless linear drive device

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JPH11311208A
JPH11311208A JP11084027A JP8402799A JPH11311208A JP H11311208 A JPH11311208 A JP H11311208A JP 11084027 A JP11084027 A JP 11084027A JP 8402799 A JP8402799 A JP 8402799A JP H11311208 A JPH11311208 A JP H11311208A
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JP
Japan
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conductor
linear drive
housing
detection
detecting means
Prior art date
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Application number
JP11084027A
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Japanese (ja)
Inventor
Kurt Dr Stoll
ストール クルト
Thomas Dr Reininger
ライニンガー トーマス
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Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
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Publication date
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Publication of JPH11311208A publication Critical patent/JPH11311208A/en
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/082Characterised by the construction of the motor unit the motor being of the slotted cylinder type
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    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
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    • F15B15/2861Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a rodless linear drive device provided with a position detecting means which can be manufactured with ease and mounted with ease. SOLUTION: This linear drive device 1 is provided with a housing 3 having an internal space 2, and a drive section 3 operates in the longitudinal direction of the housing 3. The housing 3 has a long hole 12 opening to the internal space 2, and a drive section 13 is provided with a drive part 14 provided in the internal space 2 and a carrier part 15 extending outside from the long hole 12. The long hole 12 is blocked by a sealing band 43. The rodless linear drive device 1 is provided with a position detecting means 58 to detect the relative positions of the drive section 13 and the housing 3. The position detecting means 58 is provided with a housing side detecting means 59 provided in the sealing band 59 and a drive section side detecting means 60, and an evaluation device 64, which is connected to the detecting means.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動部とハウジン
グとの相対位置を検出する位置検出手段を備えたロッド
レス直線駆動装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rodless linear drive provided with position detecting means for detecting a relative position between a drive unit and a housing.

【0002】[0002]

【従来の技術】駆動部とハウジングとの相対位置を検出
する位置検出手段を備えたロッドレス直線駆動装置は、
例えば独国特許公報(実用新案)29、508、517
Uに開示されている。この駆動装置は、ハウジング側及
び駆動部側に互いに協働する検出手段が設けられてい
る。具体的には、ハウジング側検出手段はハウジングに
設けられた長孔の各側面に配設された二つの抵抗帯であ
り、駆動部側検出手段はこの二つの抵抗帯に接触するキ
ャリア部分に配設されたワイパー接点である。そして、
評価装置が片側で抵抗帯に接続され、ワイパー接点によ
る抵抗帯の二つの短絡領域の抵抗を検出または測定す
る。この抵抗は接点の位置により変化するため、この抵
抗から出力駆動部及びハウジングの相対位置を検出する
ことができる。
2. Description of the Related Art A rodless linear drive device provided with a position detecting means for detecting a relative position between a drive unit and a housing includes:
For example, German Patent Publication (utility model) 29, 508, 517
U. In this drive device, detection means cooperating with each other is provided on the housing side and the drive unit side. Specifically, the housing-side detecting means is two resistance bands provided on each side surface of the elongated hole provided in the housing, and the driving-side detecting means is provided on a carrier portion contacting the two resistance bands. It is a provided wiper contact. And
An evaluation device is connected to the resistance band on one side and detects or measures the resistance of the two shorted areas of the resistance band due to the wiper contacts. Since this resistance changes depending on the position of the contact, the relative position of the output drive unit and the housing can be detected from this resistance.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなロッドレス直線駆動装置は、抵抗帯及びワイパー接
点の両方をハウジングの長孔内に配設する必要があるた
め、製造に比較的手間がかかる。つまり、抵抗帯及びワ
イパー接点を設けるための空間が小さいため、長孔にお
いて駆動部がハウジングに沿って動けなくならないよう
に、精度の高い製造を行う必要があるのである。また、
ハウジングを導電性材料で製造する場合、ハウジングを
抵抗帯から絶縁しなければならないため、煩雑である。
However, such a rodless linear drive requires a relatively long time to manufacture, since it is necessary to dispose both the resistance band and the wiper contact in the long hole of the housing. That is, since the space for providing the resistance band and the wiper contact is small, it is necessary to perform high-precision manufacturing so that the driving unit cannot be moved along the housing in the long hole. Also,
When the housing is made of a conductive material, it is troublesome because the housing must be insulated from the resistance band.

【0004】本発明の目的は、取り付けが容易で製造コ
ストを低減できる位置検出手段を備えたロッドレス直線
駆動装置を提供することである。
[0004] It is an object of the present invention to provide a rodless linear drive device provided with a position detecting means which can be easily mounted and can reduce the manufacturing cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題に鑑み、本発明
のロッドレス直線駆動装置は、長孔が内部空間に開口し
たハウジングと、前記内部空間において長手方向に運動
可能に設けられた駆動部分と、前記長孔を貫通して外側
へ延びるキャリア部分とを有する駆動部と、該駆動部と
前記ハウジングとの相対位置を検出するための位置検出
手段と、を備え、前記長孔の長手方向両側で前記駆動部
に隣接した少なくとも長手方向領域がシールバンドによ
って閉じられたロッドレス直線駆動装置であって、前記
位置検出手段は、前記ハウジング及び前記駆動部の一方
に第一検出手段を有し、他方に第二検出手段を有し、該
第一検出手段及び第二検出手段の少なくとも一つに評価
装置が接続され、前記ハウジング側の検出手段は、前記
シールバンドに設けられていることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, a rodless linear drive device according to the present invention includes a housing having a long hole opened in an internal space, and a drive portion provided in the internal space so as to be movable in a longitudinal direction. A drive unit having a carrier portion extending outward through the slot, and position detecting means for detecting a relative position between the drive unit and the housing, both sides in a longitudinal direction of the slot. A rodless linear drive device in which at least a longitudinal region adjacent to the drive unit is closed by a seal band, wherein the position detection unit has a first detection unit in one of the housing and the drive unit, and the other An evaluation device is connected to at least one of the first detection means and the second detection means, and the detection means on the housing side is provided on the seal band. It is characterized in that is.

【0006】上記構成において、少なくとも駆動部のキ
ャリア部分は長孔から外側へ突出しており、シールバン
ドはハウジングの内部で長孔から間隔をあけて設けられ
ている。駆動部側の検出手段は、長孔から間隔をあけて
設けられているシールバンドの領域に作用するように設
けることができ、十分な空間があるため検出手段の駆動
部への組み付けは容易である。シールバンドの製造時に
ハウジング側検出手段をシールバンドに設けてもよい。
例えば、絶縁ケーブルまたはワイヤの製造時のようにシ
ールバンドの押出加工時にハウジング側検出手段を組み
込むことができる。この場合、シールバンドをロッドレ
ス直線駆動装置のハウジングに取り付ける際、ハウジン
グ側検出手段を同時に取り付けることができるので、直
線駆動装置の製造に必要な時間と労力が削減される。
In the above configuration, at least the carrier portion of the driving portion projects outward from the long hole, and the seal band is provided inside the housing at a distance from the long hole. The detection means on the drive unit side can be provided so as to act on the area of the seal band provided at a distance from the slot, and since there is sufficient space, the detection means can be easily assembled to the drive unit. is there. When manufacturing the seal band, the housing-side detecting means may be provided on the seal band.
For example, the housing-side detection means can be incorporated at the time of extrusion of the seal band as in the case of manufacturing an insulated cable or wire. In this case, when the seal band is attached to the housing of the rodless linear drive device, the housing-side detecting means can be attached at the same time, so that the time and labor required for manufacturing the linear drive device are reduced.

【0007】シールバンドはシールバンド全体の方向に
延びシールバンド内もしくはシールバンド上に設けられ
ている少なくとも一つの強化コードを備えてもよく、こ
の場合は、該コードがハウジング側検出手段の一部とし
ての導体を構成する。第一及び第二検出手段は接触しな
い状態で協働するように設けられていることが好まし
い。
[0007] The seal band may comprise at least one reinforcing cord extending in the direction of the entire seal band and provided in or on the seal band, in which case the code is part of the housing-side detection means. As a conductor. Preferably, the first and second detection means are provided so as to cooperate in a non-contact state.

【0008】また、ハウジング及び駆動部の相対運動
時、第一検出手段が第二検出手段に隣接して変化する磁
場を生成するように設けられ、第二検出手段は磁場検出
信号を生成し、磁場検出信号は相対位置を検出するため
の評価装置に供給されるようにしてもよい。
In addition, when the housing and the drive unit move relative to each other, the first detecting means is provided so as to generate a changing magnetic field adjacent to the second detecting means, and the second detecting means generates a magnetic field detection signal, The magnetic field detection signal may be supplied to an evaluation device for detecting the relative position.

【0009】第一検出手段が複数の導電性及び/または
磁化可能もしくは永久磁石の検出要素を含み、検出要素
が駆動部及びハウジングの相対運動方向に連続して設け
られていてもよい。第二検出手段は少なくとも一つの磁
場センサを含んでもよい。
The first detecting means may include a plurality of conductive and / or magnetizable or permanent magnet detecting elements, and the detecting elements may be provided continuously in the direction of relative movement of the drive and the housing. The second detecting means may include at least one magnetic field sensor.

【0010】さらに、第二検出手段はコイル装置を備え
てもよいが、この場合、コイル装置に存在する磁場はコ
イル装置自体によって生成される。コイル装置は検出信
号を生成し評価装置に接続されている少なくとも一つの
検出コイルを備えている。検出コイルは発振回路の一部
であり、評価装置は発振回路の同調を変化させることに
より相対位置を確認する。
Further, the second detecting means may include a coil device. In this case, the magnetic field existing in the coil device is generated by the coil device itself. The coil device has at least one detection coil that generates a detection signal and is connected to the evaluation device. The detection coil is part of the oscillation circuit, and the evaluator checks the relative position by changing the tuning of the oscillation circuit.

【0011】また、評価装置が第一検出手段により検出
信号を伝送し、検出信号を使用して第二検出手段と協働
することにより相対位置を検出するようにしてもよい。
評価装置において、相対位置が、検出信号の伝送と第二
検出手段により生成される応答信号の受信との間で経過
する時間の関数として検出されるようにしてもよい。
Further, the evaluation device may transmit the detection signal by the first detection means and detect the relative position by using the detection signal and cooperating with the second detection means.
In the evaluation device, the relative position may be detected as a function of the time elapsed between the transmission of the detection signal and the reception of the response signal generated by the second detection means.

【0012】第一検出手段はシールバンドに設けられシ
ールバンドの長手方向に延びている導体列を備えていて
もよい。一方、第二検出手段を駆動部に設け、導体列に
おいて不連続点を生成し、検出信号が不連続点で応答信
号を生成し、応答信号は評価装置に返送されるようにし
てもよい。この場合、不連続点で応答信号は検出信号の
反射により構成される。
The first detecting means may include a conductor array provided on the seal band and extending in the longitudinal direction of the seal band. On the other hand, the second detecting means may be provided in the driving unit, the discontinuous point may be generated in the conductor row, the detection signal may generate a response signal at the discontinuous point, and the response signal may be returned to the evaluation device. In this case, the response signal at the discontinuous point is constituted by the reflection of the detection signal.

【0013】また、第二検出手段が磁石手段を備え、磁
石手段の磁場が導体列に作用し不連続点を形成するよう
にしてもよい。導体列の少なくとも一つの導体が磁歪特
性を有するようにしてもよい。また、導体は磁歪性及び
微少結晶質もしくは非晶質導体であり導電性を有し、検
出信号が導体により伝送され不連続点で機械波を生成
し、機械波は評価装置に返送される応答信号を形成する
ようにしてもよい。
Further, the second detecting means may include magnet means, and the magnetic field of the magnet means may act on the conductor row to form a discontinuous point. At least one conductor of the conductor row may have magnetostrictive characteristics. In addition, the conductor is a magnetostrictive and microcrystalline or amorphous conductor and has conductivity, and a detection signal is transmitted by the conductor to generate a mechanical wave at a discontinuous point, and the mechanical wave is returned to the evaluation device. A signal may be formed.

【0014】磁歪導体は管状の音波導体でもよく、好ま
しくは、検出信号を伝送するための電気検出導体と同軸
上に設けられ、伝送された検出信号により不連続点に機
械波が生成され、該機械波が評価装置に返送される。シ
ールバンドに設けられている導体列が、外側からアクセ
ス可能な少なくとも一つの導体を備え、第二検出手段は
導体と接触している導体タップ手段を備え、導体タップ
手段と導体との接点が不連続点を形成するようにしても
よい。さらに、導体タップ手段が不連続点で導体列の複
数の導体を電気接続するようにしてもよい。
The magnetostrictive conductor may be a tubular sound conductor, and is preferably provided coaxially with an electric detection conductor for transmitting a detection signal, and a mechanical wave is generated at a discontinuous point by the transmitted detection signal. The mechanical wave is sent back to the evaluation device. The conductor array provided on the seal band includes at least one conductor accessible from the outside, the second detecting means includes conductor tap means in contact with the conductor, and the contact between the conductor tap means and the conductor is not provided. A continuous point may be formed. Further, the conductor tap means may electrically connect a plurality of conductors in the conductor row at discontinuous points.

【0015】また、本発明において評価装置は第一検出
手段または第二検出手段のみに接続されていてもよい。
さらに、第一検出手段をシールバンドに設け、第二検出
手段を駆動部に設けてもよい。
In the present invention, the evaluation device may be connected to only the first detecting means or the second detecting means.
Further, the first detecting means may be provided on the seal band, and the second detecting means may be provided on the drive unit.

【0016】また、本発明において、評価装置はハウジ
ング側検出手段にのみ接続されていてもよい。この場
合、ハウジング側検出手段と評価装置との接続が、シー
ルバンドのハウジングへの取付点に隣接して行われる。
本発明によるロッドレス直線駆動装置は、駆動の目的で
設けられ、駆動部分はピストンである。
In the present invention, the evaluation device may be connected only to the housing-side detecting means. In this case, the connection between the housing-side detection means and the evaluation device is made adjacent to the point of attachment of the seal band to the housing.
The rodless linear drive according to the invention is provided for drive purposes, the drive part being a piston.

【0017】上述したように、評価装置は第一または第
二検出手段にのみ接続することができる。この場合、評
価装置が接続されていない側の検出手段は、評価装置へ
の接続手段を必要としないので、構造が簡易化され容易
に製造することができる。また、第一及び第二検出手段
は互いに接触することなく協働可能なので、駆動部及び
ハウジングは妨げられることなく相対運動する一方で、
第一及び第二検出手段が接触することによる摩擦を防ぐ
ことができる。
As mentioned above, the evaluation device can only be connected to the first or second detection means. In this case, since the detection unit on the side to which the evaluation device is not connected does not require a connection unit to the evaluation device, the structure is simplified and the device can be easily manufactured. Also, since the first and second detection means can cooperate without contacting each other, the driving unit and the housing relatively move without hindrance,
Friction due to contact between the first and second detection means can be prevented.

【0018】このような構造において、ハウジング及び
駆動部の相対運動時に、第一検出手段は例えば第二検出
手段に隣接して効果的に変動する磁場を生成し、第二検
出手段は磁場検出信号を生成し、この信号は相対位置を
検出するための評価装置に供給される。このような位置
検出手段は、製造コストを上昇させることなく、信頼性
のある機能を果たすことができる。
In such a structure, when the housing and the drive unit move relative to each other, the first detecting means generates a magnetic field which fluctuates effectively, for example, adjacent to the second detecting means, and the second detecting means generates a magnetic field detection signal. And this signal is supplied to an evaluation device for detecting the relative position. Such a position detecting means can perform a reliable function without increasing the manufacturing cost.

【0019】また、第一検出手段において、複数の導体
及び/または磁化可能もしくは永久磁石の検出要素が例
えば規則的な間隔をあけて駆動部及びハウジングの相対
運動方向に設けられている。このような構造の検出手段
は製造が容易である。さらに、第二検出手段はコイル装
置を備えている。また第二検出手段は磁場センサとして
使用することもできる。さらにコイル装置に隣接してい
る有効な磁場はコイル装置自体により生成可能である。
従って、第一検出手段はコイル装置構造で効果のある磁
場を生成する必要がないので、第一検出手段の製造には
安価で永久的な磁性を有しない材料、好ましくは導電性
の材料を使用することができる。
In the first detecting means, a plurality of conductors and / or magnetizable or permanent magnet detecting elements are provided, for example, at regular intervals in the direction of relative movement between the drive unit and the housing. The detection means having such a structure is easy to manufacture. Further, the second detecting means includes a coil device. Further, the second detecting means can be used as a magnetic field sensor. Further, an effective magnetic field adjacent to the coil device can be generated by the coil device itself.
Therefore, since the first detecting means does not need to generate an effective magnetic field in the coil device structure, a material which is inexpensive and has no permanent magnetism, preferably a conductive material, is used for manufacturing the first detecting means. can do.

【0020】評価装置を第一検出手段にのみ接続した場
合、評価装置は第一検出手段を介して検出信号を伝送
し、この検出信号を使用して第二検出手段と協働するこ
とにより相対位置を検出する。このような検出信号を使
用すると、ハウジング及び駆動部の相対運動前の初期位
置が不明であっても相対位置を検出することができる。
従って、相対位置を検出するために評価装置に初期位置
を設定しておく必要がない。相対位置は、評価装置で検
出信号及び第二検出手段によって、検出信号の伝送と検
出信号によって生じる応答信号の着信との間の経過時間
に基づいて容易に検出できる。
When the evaluation device is connected only to the first detection means, the evaluation device transmits a detection signal via the first detection means, and uses the detection signal to cooperate with the second detection means to thereby make a relative detection. Detect the position. By using such a detection signal, the relative position can be detected even if the initial positions of the housing and the drive unit before the relative movement are unknown.
Therefore, it is not necessary to set an initial position in the evaluation device in order to detect the relative position. The relative position can be easily detected by the detection signal and the second detection means in the evaluation device based on the elapsed time between the transmission of the detection signal and the arrival of the response signal generated by the detection signal.

【0021】また、評価装置はハウジング側検出手段に
接続することができる。通常、駆動部は固定されている
ハウジングに沿って移動するので、この場合の評価装置
への接続ケーブルは移動する必要がない。さらに、第一
検出手段はシールバンドに設けられ、シールバンドの長
手方向に延びている導体列を備えているので、検出信号
及び応答信号の伝送が容易である。この場合、第二検出
手段を駆動部に設けることができるので、導体列に不連
続点が形成され、不連続点で検出信号は応答信号を生成
し、応答信号は評価装置に返送される。従って、駆動部
及びハウジングの相対位置は不連続点によって決められ
る。応答信号は好ましくは、不連続点における検出信号
の反射すなわち信号のエコーである。反射は第二検出手
段によって容易に行われる。
Further, the evaluation device can be connected to the housing side detecting means. Usually, the drive moves along the fixed housing, so that the connecting cable to the evaluation device in this case does not need to move. Furthermore, since the first detection means is provided on the seal band and includes a conductor row extending in the longitudinal direction of the seal band, transmission of the detection signal and the response signal is easy. In this case, since the second detecting means can be provided in the driving section, a discontinuous point is formed in the conductor row, and at the discontinuous point, the detection signal generates a response signal, and the response signal is returned to the evaluation device. Therefore, the relative position of the drive and the housing is determined by the discontinuity. The response signal is preferably a reflection of the detected signal at the discontinuity, ie an echo of the signal. The reflection is easily performed by the second detection means.

【0022】このため、第二検出手段は磁石手段を備
え、その磁場は導体列に作用し、不連続点を形成する。
好ましくは導体列の少なくとも一つの導体は磁歪特性を
有するので、導体は磁場の作用で変形し、この変形によ
って不連続点が形成される。さらに、導体列は外部から
アクセス可能な少なくとも一つの導体を備えることがで
きる。この場合、第二検出手段は導体と接触する導体タ
ップ手段を備え、導体タップ手段と導体との接点は不連
続点を形成する。導体のタップ点において、伝送信号か
ら鑑みた導体の抵抗は容易に変化することができ、不連
続点において反射が行われる。本発明の変形例によると
導体タップ手段によって不連続点で導体における複数の
導体が電気接続される。導体タップ点は短絡ジャンパで
ある。
For this purpose, the second detecting means comprises a magnet means, and its magnetic field acts on the conductor row to form a discontinuity.
Preferably, at least one conductor of the conductor array has a magnetostrictive property, so that the conductor is deformed by the action of a magnetic field, which forms a discontinuity. Furthermore, the conductor row can comprise at least one conductor that is accessible from the outside. In this case, the second detecting means includes a conductor tap means for contacting the conductor, and a contact point between the conductor tap means and the conductor forms a discontinuous point. At the tap point of the conductor, the resistance of the conductor in view of the transmission signal can easily change, and reflection occurs at the discontinuity. According to a modification of the present invention, a plurality of conductors of the conductors are electrically connected at the discontinuous points by the conductor tap means. The conductor tap point is a short circuit jumper.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施例を図
面に基づいて説明する。尚、本発明の実施の形態は、上
記実施例に何ら限定されることなく、本発明の技術的範
囲に属する限り種々の形態をとりうることはいうまでも
ない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It is needless to say that the embodiments of the present invention are not limited to the above-mentioned embodiments, but can take various forms as long as they belong to the technical scope of the present invention.

【0024】図1に示すように、本実施例にかかるロッ
ドレス直線駆動装置1は、ハウジング3により画定され
るハウジング内部空間2を有する。ハウジング3が備え
る円筒状のハウジング本体5は長手方向4に延び、その
端部6及び7は各々ハウジング端板8及び9により閉じ
られている。ハウジング本体5には長孔12が設けら
れ、この長孔12はハウジング本体5をその外周から半
径方向に貫通してハウジング3の内部空間2に開口する
とともに、ハウジング本体5の全長に沿って長手方向4
に延びている。
As shown in FIG. 1, the rodless linear drive device 1 according to the present embodiment has a housing internal space 2 defined by a housing 3. The cylindrical housing body 5 provided in the housing 3 extends in the longitudinal direction 4, and its ends 6 and 7 are closed by housing end plates 8 and 9, respectively. A long hole 12 is provided in the housing body 5, and the long hole 12 penetrates the housing body 5 in the radial direction from the outer periphery thereof to open into the internal space 2 of the housing 3, and extends along the entire length of the housing body 5. Direction 4
Extends to.

【0025】駆動部13はハウジング3上に設けられ、
ハウジング3に沿って長手方向に移動する。駆動部13
は、ハウジング3の内部空間2において長手方向に移動
可能に設けられている駆動部分14と、長孔12から外
側へ延びているキャリア部分15とを備えている。駆動
部分14は、駆動部13の動力伝達のための部分を構成
し、キャリア部分15は、その詳細は図示しないが、例
えば工具、被加工物及びセンサ等を載置し所望の位置に
移動させる搬送手段として機能する。
The driving unit 13 is provided on the housing 3,
It moves longitudinally along the housing 3. Drive unit 13
Has a drive portion 14 provided in the internal space 2 of the housing 3 so as to be movable in the longitudinal direction, and a carrier portion 15 extending outward from the elongated hole 12. The drive portion 14 constitutes a portion for transmitting power of the drive portion 13, and the carrier portion 15, for example, mounts a tool, a workpiece, a sensor, and the like and moves it to a desired position, although not shown in detail. Functions as a transport unit.

【0026】図1の好適な実施例において、流体動力、
即ち空気圧による直線駆動装置の駆動部分14は、ピス
トン18によって構成されている。またロッドレス直線
駆動装置1は電気によって作動するように設計すること
もできる。この場合、駆動部分14は親ねじ、歯付きベ
ルトまたはVベルト等を使って駆動される。
In the preferred embodiment of FIG.
That is, the drive portion 14 of the pneumatic linear drive is constituted by the piston 18. The rodless linear drive 1 can also be designed to operate electrically. In this case, the driving part 14 is driven using a lead screw, a toothed belt, a V-belt, or the like.

【0027】ピストン18は、ハウジング3の内部空間
2において長手方向に移動可能に設けられている。ピス
トン18は細長い管状のピストン本体22を有し、その
端部領域23及び24は、各々実質上円柱状のピストン
端部材25及び26によって閉じられている。ピストン
本体22において、二つのピストン端部材25と26と
の間にピストン内部空間27が形成されている。
The piston 18 is provided movably in the longitudinal direction in the internal space 2 of the housing 3. The piston 18 has an elongated tubular piston body 22 whose end regions 23 and 24 are closed by substantially cylindrical piston end members 25 and 26, respectively. In the piston body 22, a piston internal space 27 is formed between the two piston end members 25 and.

【0028】ピストン18は、ピストン端部材25及び
26を介してハウジング3の内部空間2に面する内壁3
0にシール嵌合する。このためピストン端部材25及び
26には、円周方向に延びるシール構造31及び32が
設けられている。これらのシール構造31及び32はシ
ールリングにより構成されている。また、ハウジング3
の内部空間2においてピストン18を案内し易いよう
に、ピストン端部材25及び26にはガイドリング33
及び34が設けられている。
The piston 18 is connected to the inner wall 3 facing the internal space 2 of the housing 3 via the piston end members 25 and 26.
0 is fitted with a seal. For this purpose, the piston end members 25 and 26 are provided with seal structures 31 and 32 extending in the circumferential direction. These seal structures 31 and 32 are constituted by seal rings. Also, housing 3
The guide rings 33 are provided on the piston end members 25 and 26 so that the piston 18 can be easily guided in the internal space 2.
And 34 are provided.

【0029】ハウジング3の内部空間2において、ピス
トン18の長手方向4の両側には流体室37及び38が
形成されている。流体室37及び38は一方でハウジン
グ端板8及び9によって画定され、他方でピストン端部
材25及び26によって画定されている。流体室37及
び38に流体を供給し排出するために、ハウジング端板
8及び9の中央には、その各々を貫通する流体ダクト3
9及び40が設けられている。流体室37及び38は、
それぞれ流体ダクト39及び40に流体連絡可能に連通
し、流体ダクト39及び40は適切なダクトに接続さ
れ、このダクトは流体源または排出された駆動流体を受
け入れる手段に接続されている。
In the internal space 2 of the housing 3, fluid chambers 37 and 38 are formed on both sides of the piston 18 in the longitudinal direction 4. Fluid chambers 37 and 38 are defined on the one hand by housing end plates 8 and 9 and on the other hand by piston end members 25 and 26. In order to supply and discharge fluid to and from the fluid chambers 37 and 38, the center of the housing end plates 8 and 9 is provided with a fluid duct 3 passing therethrough.
9 and 40 are provided. Fluid chambers 37 and 38
Fluid ducts 39 and 40 are in fluid communication, respectively, and the fluid ducts 39 and 40 are connected to a suitable duct, which is connected to a source of fluid or a means for receiving discharged drive fluid.

【0030】二つの流体室37及び38の長孔12に隣
接している部分は、シールバンド43によって閉じられ
ている。シールバンド43は、長孔12において流体室
37及び38に沿って長手方向に延びている領域46及
び47の斜面44及び45(図2参照)に当接可能に設
けられている。つまり、図2に示すように、シールバン
ド43は好ましくは断面形状が台形であり、その両側面
48及び49が互いに斜めに形成され、半径方向外側に
狭くなっており、長孔12の斜面の広い領域に接触す
る。
The portions adjacent to the long holes 12 of the two fluid chambers 37 and 38 are closed by a seal band 43. The seal band 43 is provided so as to be able to abut the slopes 44 and 45 (see FIG. 2) of the regions 46 and 47 extending in the longitudinal direction along the fluid chambers 37 and 38 in the long hole 12. In other words, as shown in FIG. 2, the seal band 43 preferably has a trapezoidal cross-sectional shape, and both side surfaces 48 and 49 are formed obliquely with respect to each other, and narrowed radially outward. Contact a large area.

【0031】駆動部13のキャリア部分15が接続領域
52を貫通して駆動部分14に接続できるように、シー
ルバンド43は長孔12の内側へ突出し、接続領域52
において駆動部分14に設けられているリード貫通開口
部53へ延びている。シールバンド43の両端部はハウ
ジング端板8及び9に隣接してハウジング3に固定され
ている。シールバンド43は、ハウジング3における固
定位置54と55との間で作動方向に張られている。シ
ールバンド43は通常、伸縮可能なシール材から形成さ
れているので、引張り強さを増すため、図2に示されて
いるように、本実施例では二つの強化コード56及び5
7が当該シールバンド43において連続的に設けられて
いる。強化コード56及び57は強化プラスチックまた
は金属から形成されている。当該強化コードは一つの
み、もしくは二以上設けてもよいし、シールバンド43
の外側に設けてもよい。なお、流体で駆動されない直線
駆動の場合は、シールバンド43はハウジング3に異物
が混入しない限り封止機能を果たさなくてもよい。
The seal band 43 protrudes inside the elongated hole 12 so that the carrier portion 15 of the drive section 13 can be connected to the drive portion 14 through the connection region 52.
And extends to a lead through opening 53 provided in the driving portion 14. Both ends of the seal band 43 are fixed to the housing 3 adjacent to the housing end plates 8 and 9. The seal band 43 is stretched in the operating direction between the fixed positions 54 and 55 in the housing 3. Since the seal band 43 is usually made of a stretchable sealing material, in order to increase the tensile strength, as shown in FIG. 2, in this embodiment, two reinforcing cords 56 and 5 are used.
7 are continuously provided in the seal band 43. The reinforcement cords 56 and 57 are formed from reinforced plastic or metal. One or two or more reinforcing cords may be provided.
May be provided on the outside. In the case of linear drive not driven by the fluid, the seal band 43 does not have to perform the sealing function unless foreign matter enters the housing 3.

【0032】駆動部13とハウジング3との相対位置を
検出するために、直線駆動装置1は図1に鎖線で示され
ているような位置検出手段58を備えている。駆動部1
3とハウジング3との相対位置を設定することによっ
て、キャリア部分15に設ける物体の位置を必要に応じ
て設定することができる。
In order to detect the relative position between the drive section 13 and the housing 3, the linear drive device 1 is provided with position detecting means 58 as shown by a chain line in FIG. Drive unit 1
By setting the relative position between the housing 3 and the housing 3, the position of the object provided on the carrier portion 15 can be set as required.

【0033】位置検出手段58は、シールバンド43に
設けられている第一検出手段59と、駆動部13に設け
られ第一検出手段59と協働する第二検出手段60とを
備えている。以下、これらを区別するために、第一検出
手段5を「ハウジング側検出手段59」と称し、第二検
出手段60を「駆動部側検出手段60」と称する。
The position detecting means 58 includes a first detecting means 59 provided on the seal band 43 and a second detecting means 60 provided on the drive unit 13 and cooperating with the first detecting means 59. Hereinafter, to distinguish them, the first detecting means 5 is referred to as “housing-side detecting means 59”, and the second detecting means 60 is referred to as “driving-unit-side detecting means 60”.

【0034】ハウジング側検出手段59及び駆動部側検
出手段60は、図1において一点鎖線で示されている。
駆動部側検出手段60は好ましくは駆動部分14、また
は駆動部分14とキャリア部分15との間の接続領域5
2に設けられている。ハウジング側検出手段59はシー
ルバンド43の全長に沿って延びている。駆動部側検出
手段60は、ハウジング側検出手段59とハウジング3
上の接続点で協働するが、この点は駆動部13とハウジ
ング3との現在の相対的位置に関連し、「検出点61」
と称される。実施例において検出点61はハウジング側
検出手段59、すなわちリード貫通開口部53内に延び
ているシールバンド43に配置される。リード貫通開口
部53は図1に示されているように、ピストン内部空間
27に開口してもよい。本実施例では、検出点61に駆
動部側検出手段60を設けるために、かなりの空間が設
けられている。このため、駆動部側検出手段60をその
位置に容易に取り付けることができる。
The housing-side detecting means 59 and the drive-portion-side detecting means 60 are shown by dashed lines in FIG.
The drive-side detection means 60 preferably comprises the drive part 14 or the connection area 5 between the drive part 14 and the carrier part 15.
2 is provided. The housing-side detecting means 59 extends along the entire length of the seal band 43. The drive unit side detecting means 60 is composed of the housing side detecting means 59 and the housing 3.
Cooperate at the upper connection point, which relates to the current relative position of the drive 13 and the housing 3 and is referred to as "detection point 61".
It is called. In the embodiment, the detection point 61 is arranged on the housing-side detection means 59, that is, the seal band 43 extending into the lead through opening 53. The lead through opening 53 may be opened in the piston internal space 27 as shown in FIG. In the present embodiment, a considerable space is provided for providing the drive unit side detection means 60 at the detection point 61. For this reason, the drive part side detection means 60 can be easily attached to the position.

【0035】位置検出手段58の一部をなす評価装置6
4はハウジング側検出手段59に接続され、ハウジング
側検出手段59から信号を受けるとともにハウジング側
検出手段59へ信号を送る。評価装置64は信号を評価
することによって、駆動部13とハウジング3との現在
の相対位置を検出することができる。
Evaluation device 6 forming part of position detecting means 58
Reference numeral 4 is connected to the housing-side detecting means 59, and receives a signal from the housing-side detecting means 59 and sends a signal to the housing-side detecting means 59. The evaluation device 64 can detect the current relative position between the drive unit 13 and the housing 3 by evaluating the signal.

【0036】また、ハウジング側検出手段59に加え
て、またはハウジング側検出手段59の代わりに、駆動
部側検出手段60に評価装置64を接続することもでき
る。この場合の位置検出手段58の構造及び原理の例を
図3から6に示す。図3から6を参照して種々の実施例
における位置検出手段58の作動を詳述する。
The evaluation device 64 can be connected to the drive-side detection means 60 in addition to or instead of the housing-side detection means 59. 3 to 6 show examples of the structure and principle of the position detecting means 58 in this case. The operation of the position detecting means 58 in various embodiments will be described in detail with reference to FIGS.

【0037】図3及び4の実施例において評価装置64
は駆動部側検出手段60のみに接続している。実施例に
おいて接続は電気接続導線66によって行われている。
ハウジング側検出手段59及び駆動部側検出手段60は
接触することなく協働するので、駆動部13とハウジン
グ3との相対運動時、摩擦や摩耗がさらに生じることは
ない。この場合、位置検出手段58の基本的な作動原理
は、ハウジング3と駆動部13との相対運動、すなわち
シールバンド43と駆動部13との相対運動時に、ハウ
ジング側検出手段59によって駆動部側検出手段60に
変動磁場が生じ、このとき駆動部側検出手段60の発生
した磁場検出信号が相対位置を検出するための評価装置
64に供給されるというものである。
The evaluation device 64 in the embodiment of FIGS.
Is connected only to the drive unit side detection means 60. In the exemplary embodiment, the connection is made by electrical connection conductor 66.
Since the housing-side detecting means 59 and the driving-part-side detecting means 60 cooperate without contacting each other, no further friction or wear occurs during the relative movement between the driving part 13 and the housing 3. In this case, the basic operation principle of the position detecting means 58 is that when the housing 3 and the driving unit 13 move relative to each other, that is, when the seal band 43 and the driving unit 13 move relative to each other, the housing side detecting means 59 detects the driving unit. A fluctuating magnetic field is generated in the means 60, and a magnetic field detection signal generated by the drive unit side detecting means 60 at this time is supplied to an evaluation device 64 for detecting a relative position.

【0038】変動磁場を検出するために、駆動部側検出
手段60は図3の実施例においてコイル68により形成
されている少なくとも一つの磁場センサ67を備えてい
る。コイル68は評価装置64を介して電圧源に接続し
ているので、コイル自体により磁場が生成される。
In order to detect a fluctuating magnetic field, the drive-side detecting means 60 comprises at least one magnetic field sensor 67 formed by a coil 68 in the embodiment of FIG. Since the coil 68 is connected to a voltage source via the evaluation device 64, a magnetic field is generated by the coil itself.

【0039】ハウジング側検出手段59は、シールバン
ド43においてその長さに沿って間隔をあけて設けられ
ている磁化可能及び/または導電性の検出要素69によ
り形成されている。これらの検出要素69は例えば、間
隔をあけて設けられている導体列としての金属ボール列
である。しかしながら個々の検出要素69は互いに接続
することができるので、製造時シールバンド43に検出
要素69を組み入れることは実質上、容易である。例え
ば検出要素69は、鎖状または帯状構造として結合して
もよい。検出要素69の外側形状は基本的に任意に選択
可能である。
The housing-side detection means 59 are formed by magnetizable and / or conductive detection elements 69 spaced along the length of the seal band 43. These detection elements 69 are, for example, metal ball rows as conductor rows provided at intervals. However, since the individual detection elements 69 can be connected to one another, it is substantially easier to incorporate the detection elements 69 into the sealing band 43 during manufacture. For example, the detection elements 69 may be combined as a chain or band. The outer shape of the detection element 69 can basically be arbitrarily selected.

【0040】コイル68は検出点61で効果的にシール
バンド43を取り巻いている。駆動部13とハウジング
3との相対運動時に、コイル68はシールバンド43に
沿って移動する。検出要素69がコイル68内を移動す
ると、磁束が変化しコイル68で誘導起電力を発生させ
る。この磁束は評価装置64により測定可能である。コ
イル68の電圧信号により、駆動部13とハウジング3
との相対移動すなわち変位を測定することができる。評
価装置64は、駆動部13及びハウジング3の現在位置
を、既知の開始位置からの変位に基づいて検出すること
ができる。
The coil 68 effectively surrounds the seal band 43 at the detection point 61. The coil 68 moves along the seal band 43 during the relative movement between the drive unit 13 and the housing 3. When the detection element 69 moves in the coil 68, the magnetic flux changes and the coil 68 generates an induced electromotive force. This magnetic flux can be measured by the evaluation device 64. According to the voltage signal of the coil 68, the driving unit 13 and the housing 3
Relative displacement, ie, displacement, can be measured. The evaluation device 64 can detect the current position of the drive unit 13 and the housing 3 based on a displacement from a known start position.

【0041】また、シールバンド43に検出要素69を
設けることによって、変位すなわち行程距離を検出する
とともに、相対運動の方向を検出することができる。検
出要素69は互いに不規則な間隔をあけて設けてもよい
が、この場合、評価装置64によってコイル68の電圧
として検出された信号は周期的にレベルを変化し、電圧
のサイクルは運動方向によって異なる。周期的に繰り返
される電圧サイクルは、方向性コードからなるともいえ
るが、シールバンド43の部分に異なる検出要素69を
備えていることにより生じさせることができる。そし
て、この検出要素69が互いに異なることがコイル68
における異なったレベルのコイル電圧の変化を生じさせ
る。
Further, by providing the detection element 69 on the seal band 43, it is possible to detect the displacement, that is, the travel distance, and also detect the direction of the relative movement. The detection elements 69 may be arranged at irregular intervals from one another, in which case the signal detected by the evaluation device 64 as the voltage on the coil 68 changes periodically in level, and the cycle of the voltage depends on the direction of movement. different. The periodically repeated voltage cycle, which may be said to consist of a directional code, can be caused by having a different detection element 69 in the part of the seal band 43. The fact that the detection elements 69 are different from each other indicates that the coils 68
At different levels of the coil voltage.

【0042】図3に示されている位置検出手段58の実
施例において、駆動部側検出手段60は単一のコイル6
8を有するが、検出コイルが評価装置64に接続され検
出信号を生成する限り、コイル列を設けてもよい。コイ
ル列における少なくとももう一つのコイルは、検出コイ
ルにおいて磁場を生成するための励磁コイルとして形成
してもよい。図3の本発明の実施例において励磁コイル
及び検出コイルは同時に単一のコイル68で形成されて
いる。
In the embodiment of the position detecting means 58 shown in FIG.
However, as long as the detection coil is connected to the evaluation device 64 and generates a detection signal, a coil array may be provided. At least another coil in the coil array may be formed as an excitation coil for generating a magnetic field in the detection coil. In the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, the exciting coil and the detecting coil are formed by a single coil 68 at the same time.

【0043】コイルはまた発振回路73の一部でもよ
い。例えば直列発振回路において、コンデンサ74及び
抵抗75は評価装置64に設けられ、これらとコイル6
8との接続は接続導線66によって行われる。コンデン
サ74及び抵抗75をコイル68とともに駆動部13に
設けてもよいことはもちろんである。接続導線66とコ
イル68との抵抗が十分大きい場合には、別体の抵抗7
5は必要ではない。
The coil may also be a part of the oscillation circuit 73. For example, in a series oscillation circuit, a capacitor 74 and a resistor 75 are provided in an evaluation device 64,
The connection with 8 is made by a connecting lead 66. Needless to say, the capacitor 74 and the resistor 75 may be provided in the drive unit 13 together with the coil 68. If the resistance between the connection conductor 66 and the coil 68 is sufficiently large, the separate resistor 7
5 is not necessary.

【0044】コイル68に対する検出要素69の運動に
よってコイル68内の磁束が変化すると、共振周波数に
変化が生じるので発振回路73の同調にも変化が生じ
る。この場合、発振回路73の同調における変化は検出
信号となり、この信号によって評価装置64はその変位
(行程距離)及び駆動部13とハウジング3との現在の
相対位置を検出することができる。
When the magnetic flux in the coil 68 changes due to the movement of the detecting element 69 with respect to the coil 68, a change occurs in the resonance frequency, so that the tuning of the oscillation circuit 73 also changes. In this case, a change in the tuning of the oscillation circuit 73 becomes a detection signal, and the evaluation device 64 can detect the displacement (stroke distance) and the current relative position between the drive unit 13 and the housing 3 by this signal.

【0045】図3の実施例の変形例である図4の実施例
において駆動部側検出手段60の磁場センサ67は例え
ば磁歪センサまたはホール効果センサであるが、その他
の適切な磁場センサを設けることもできる。磁場センサ
67に効果的に隣接している変動磁場は、例えばハウジ
ング側検出手段59によって生成される。シールバンド
43に設けられているハウジング側検出手段59は上述
したように、シールバンド43の長手方向に互いに間隔
をあけて設けられている検出要素69を備えている。本
実施例において、この検出要素69は永久磁石である。
検出要素69は好ましくは互いに磁気テープ78によっ
て接続されている。磁気テープ78は製造時シールバン
ド43に組み入れてもよいし、シールバンド43の外側
に設けてもよい。
In the embodiment shown in FIG. 4 which is a modification of the embodiment shown in FIG. 3, the magnetic field sensor 67 of the drive unit side detecting means 60 is, for example, a magnetostrictive sensor or a Hall effect sensor, but other suitable magnetic field sensors may be provided. Can also. The fluctuating magnetic field effectively adjacent to the magnetic field sensor 67 is generated, for example, by the housing-side detecting means 59. As described above, the housing-side detection means 59 provided on the seal band 43 includes the detection elements 69 provided at intervals in the longitudinal direction of the seal band 43. In the present embodiment, the detection element 69 is a permanent magnet.
The sensing elements 69 are preferably connected to each other by a magnetic tape 78. The magnetic tape 78 may be incorporated into the seal band 43 at the time of manufacture, or may be provided outside the seal band 43.

【0046】個々の検出要素69を接続している長いコ
ード79及び80は、シールバンド43においてその長
手方向に十分な強さを確保するために、上記強化コード
56及び57と同様の機能を果たすこともできる。永久
磁石である検出要素69の各々が形成する局所磁場81
の概略が図4に示されている。駆動部13及びハウジン
グ3の相対運動時に、磁場センサ67はシールバンド4
3に沿って移動し、順次生成される検出要素69による
局所磁場81を受ける。その時センサ67において発生
した検出信号は評価装置64に送られ評価され相対位置
が検出される。上記の実施例において述べたように、相
対運動の大きさ及び方向が検出信号から得られるように
検出要素69の配列または形状を設計することによって
符号化が行われるので、現在の相対位置を決めることが
できる。
The long cords 79 and 80 connecting the individual detection elements 69 perform the same function as the above-mentioned reinforcement cords 56 and 57 in order to secure sufficient strength in the longitudinal direction of the seal band 43. You can also. Local magnetic field 81 formed by each of the detection elements 69 which are permanent magnets
Is schematically shown in FIG. When the drive unit 13 and the housing 3 move relative to each other, the magnetic field sensor 67
3 and receives a local magnetic field 81 from the sequentially generated detection element 69. The detection signal generated by the sensor 67 at that time is sent to the evaluation device 64 and evaluated to detect the relative position. As described in the above embodiment, since the encoding is performed by designing the arrangement or shape of the detection elements 69 so that the magnitude and direction of the relative motion can be obtained from the detection signal, the current relative position is determined. be able to.

【0047】上述した図3及び4の実施例の変形例とし
て第一検出手段59を駆動部13に設けて駆動部側検出
手段を形成してもよい。この場合、ハウジング3の検出
手段は第二検出手段60によって形成される。また、シ
ールバンド43に複数の磁場センサ67を間隔をあけて
設けることもできる。このとき複数のコイルによってハ
ウジング側の第二検出手段60を形成してもよい。駆動
部側の第一検出手段59は永久磁石または磁化可能な検
出要素69によって形成してもよい。またコイル68の
形状の磁場センサ67の場合、第一検出手段59は導電
性の検出要素69によって形成してもよい。このとき、
ハウジング3及び駆動部13の相対位置によって駆動部
13に設けられている検出要素69は原則的にシールバ
ンド43の接続点61に設けられている少なくとも一つ
の磁場センサ67に作用する。磁場が接続点すなわち検
出点61に作用するため、評価装置64はシールバンド
43に設けられている磁場センサ67のいずれが応答し
ているかを検出することによりハウジング3及び駆動部
13の相対位置を確認することができる。
As a modification of the embodiment of FIGS. 3 and 4 described above, the first detecting means 59 may be provided in the driving section 13 to form the driving section side detecting means. In this case, the detecting means of the housing 3 is formed by the second detecting means 60. Further, a plurality of magnetic field sensors 67 may be provided on the seal band 43 at intervals. At this time, the second detection means 60 on the housing side may be formed by a plurality of coils. The first detection means 59 on the drive side may be formed by a permanent magnet or a magnetizable detection element 69. In the case of the magnetic field sensor 67 having the shape of the coil 68, the first detecting means 59 may be formed by the conductive detecting element 69. At this time,
Due to the relative position of the housing 3 and the drive 13, the detection element 69 provided on the drive 13 acts on at least one magnetic field sensor 67 provided on the connection point 61 of the seal band 43 in principle. Since the magnetic field acts on the connection point, that is, the detection point 61, the evaluation device 64 detects which of the magnetic field sensors 67 provided on the seal band 43 is responding, and thereby determines the relative position of the housing 3 and the drive unit 13. You can check.

【0048】この場合、図3及び4の実施例における第
一及び第二検出手段59、60の配置は逆になり、磁場
センサ67はシールバンド43に設けられ、少なくとも
一つの検出要素69は駆動部13に設けられる。この変
形例の利点は、前回検出された相対位置とその後行われ
た相対運動とに基づいて駆動部13及びハウジング3の
現在の相対位置を検出するのではなく、シールバンド4
3に設けられている磁場センサ67のいずれが駆動部側
の検出要素69に応答するかにより相対位置を検出する
ことにある。シールバンド43のセンサ67が多く設け
られるほど、センサの間隔は狭くなり、駆動部13及び
ハウジング3の相対位置はより正確に検出される。
In this case, the arrangement of the first and second detecting means 59 and 60 in the embodiment of FIGS. 3 and 4 is reversed, the magnetic field sensor 67 is provided on the seal band 43, and at least one detecting element 69 is driven. The unit 13 is provided. An advantage of this modification is that the present embodiment does not detect the current relative position of the driving unit 13 and the housing 3 based on the relative position detected last time and the relative movement performed thereafter, but uses the seal band 4.
3 is to detect the relative position depending on which of the magnetic field sensors 67 provided to the detector 3 responds to the detection element 69 on the drive unit side. As the number of the sensors 67 of the seal band 43 increases, the interval between the sensors becomes narrower, and the relative position between the drive unit 13 and the housing 3 is more accurately detected.

【0049】上記実施例において、位置検出手段58の
評価装置64は第一検出手段59にのみ接続され、第一
検出手段59によりハウジング側の検出手段が形成され
る。従って駆動部13に接続導線66は設けられていな
い。本実施例においてハウジング側の検出手段59及び
評価装置64は、シールバンド43とハウジング3との
間の接続点54及び55の一つに隣接して接続されてい
る。
In the above embodiment, the evaluation device 64 of the position detecting means 58 is connected only to the first detecting means 59, and the first detecting means 59 forms a detecting means on the housing side. Therefore, the connection lead 66 is not provided in the drive unit 13. In this embodiment, the housing-side detection means 59 and the evaluation device 64 are connected adjacent to one of the connection points 54 and 55 between the seal band 43 and the housing 3.

【0050】上述したように、接続は一以上の電気接続
導線66によって行われているが、ガルヴァーニ分離に
よる接続でもよい。例えば評価装置64及びハウジング
側検出手段59は互いに誘導結合してもよい。図5及び
6に示す位置検出手段58の変形例の基本的な原理は、
評価装置64がハウジング側検出手段59により検出信
号を出力し、この信号によってハウジング側検出手段5
9及び駆動部側検出手段60が協働し、相対位置が検出
される。検出信号は原則的にいかなる種類でもよいが、
例えばパルス、パルス列、または電波、特にRF波が好
ましい。
As mentioned above, the connection is made by one or more electrical connection conductors 66, but a connection by galvanic separation may be used. For example, the evaluation device 64 and the housing-side detection means 59 may be inductively coupled to each other. The basic principle of the modified example of the position detecting means 58 shown in FIGS.
The evaluation device 64 outputs a detection signal by the housing-side detecting means 59, and the signal is output by the housing-side detecting means 5.
9 and the drive unit side detecting means 60 cooperate to detect the relative position. The detection signal may be of any kind in principle,
For example, a pulse, a pulse train, or a radio wave, particularly an RF wave is preferable.

【0051】本実施例においては、評価装置64が検出
信号の送信からこの検出信号に対する応答信号の受信ま
での経過時間(伝送時間)を、かかった時間及び検出信
号並びに応答信号の既知の伝送速度に基づいて検出する
ことにより、駆動部13及びハウジング3の相対位置を
直接検出することができる。
In this embodiment, the evaluator 64 determines the elapsed time (transmission time) from the transmission of the detection signal to the reception of the response signal to the detection signal by the time taken and the known transmission rate of the detection signal and the response signal. , The relative position between the drive unit 13 and the housing 3 can be directly detected.

【0052】検出信号が伝送されると、評価装置64に
おいて相対位置を直接検出することができる。駆動部1
3とハウジング3との間の開始位置はすでに評価装置6
4には既知なので設定する必要がない。現在の相対位置
は変位に基づくのではなく、検出信号または応答信号を
評価することにより直接検出される。
When the detection signal is transmitted, the relative position can be directly detected by the evaluation device 64. Drive unit 1
The starting position between the housing 3 and the housing 3 is already
4 does not need to be set because it is known. The current relative position is not directly based on displacement, but is directly detected by evaluating a detection signal or response signal.

【0053】検出信号及び応答信号は両方とも導体列8
4により伝送され、導体列84がハウジング側検出手段
59を構成している。この場合、駆動部側検出手段60
は導体列84とともに検出点61において不連続点85
を形成し、検出点61において評価装置64からの検出
信号が評価装置64への応答信号を生成する。
The detection signal and the response signal are both the conductor row 8
4 and the conductor row 84 constitutes the housing-side detecting means 59. In this case, the driving unit side detecting means 60
Is a discontinuous point 85 at the detection point 61 together with the conductor row 84
At the detection point 61, the detection signal from the evaluation device 64 generates a response signal to the evaluation device 64.

【0054】ここで、シールバンド43の引張り強さを
増すために、少なくとも一つの導体列84により強化コ
ード56及び57を形成してもよい。図5に示されてい
る実施例において導体列84は少なくとも一つ、好まし
くは二つの外側からアクセス可能な導体88及び89を
備えているので検出信号及び応答信号は電気信号の形式
で存在することができる。導体88及び89は好ましく
はシールバンド43の外側面の一つに設けられ、シール
機能は有していない。実施例において導体88及び89
はハウジング3の内部空間2へ向いているシールバンド
43の背面90に設けられている。
Here, in order to increase the tensile strength of the seal band 43, the reinforcing cords 56 and 57 may be formed by at least one conductor row 84. In the embodiment shown in FIG. 5, the conductor signal 84 comprises at least one, and preferably two, externally accessible conductors 88 and 89, so that the detection and response signals are present in the form of electrical signals. Can be. The conductors 88 and 89 are preferably provided on one of the outer surfaces of the seal band 43 and have no sealing function. In the preferred embodiment, conductors 88 and 89
Is provided on the back surface 90 of the seal band 43 facing the internal space 2 of the housing 3.

【0055】この場合、駆動部側検出手段60の導体タ
ップ手段91が導体88及び89に接触しているので不
連続点85が形成される。この場合、接点は不連続点8
5に相当する。図5の変形例において一つの導体88ま
たは89のみを評価装置64に接続することも可能であ
る。駆動部側検出手段60の導体タップ手段91は不連
続点85で導体88及び89の抵抗を変化させるように
形成されるので、伝送された検出信号は反射され場合に
よっては屈折する。反射することにより評価装置64へ
の応答信号が形成される。従って上述したように、検出
信号の送信から応答信号の受信までの経過時間に基づい
て駆動部13とハウジング3との相対位置を検出するこ
とができる。
In this case, the discontinuous point 85 is formed because the conductor tap means 91 of the drive section side detecting means 60 is in contact with the conductors 88 and 89. In this case, the contact point is discontinuous point 8
Equivalent to 5. In the variant of FIG. 5, it is also possible to connect only one conductor 88 or 89 to the evaluation device 64. Since the conductor tap means 91 of the drive unit side detection means 60 is formed so as to change the resistance of the conductors 88 and 89 at the discontinuity 85, the transmitted detection signal is reflected and possibly refracted. The reflection forms a response signal to the evaluation device 64. Therefore, as described above, the relative position between the drive unit 13 and the housing 3 can be detected based on the elapsed time from the transmission of the detection signal to the reception of the response signal.

【0056】不連続点85で反射ばかりでなく屈折が生
じると、導体88及び89の評価装置64側の端部には
屈折信号の反射を防ぐための適切な抵抗器が使用され
る。屈折信号は導体の端部で検出信号の伝播方向に不連
続点85を通過する。この場合、検出信号は好ましくは
電気パルスによって構成される。
When not only reflection but also refraction occurs at the discontinuity 85, appropriate resistors are used at the ends of the conductors 88 and 89 on the evaluation device 64 side to prevent reflection of the refraction signal. The refraction signal passes through a discontinuity 85 in the direction of propagation of the detection signal at the end of the conductor. In this case, the detection signal is preferably constituted by an electrical pulse.

【0057】上述したように、図5の実施例において外
側からアクセス可能な二つの導体88及び89は共通の
ワイヤ線対を構成する。駆動部側検出手段60の導体タ
ップ手段91はこの場合、短絡ジャンパであり、不連続
点85でワイヤ線対の二つの導体88及び89を短絡さ
せる。
As mentioned above, in the embodiment of FIG. 5, the two externally accessible conductors 88 and 89 constitute a common wire line pair. In this case, the conductor tap means 91 of the drive unit side detection means 60 is a short-circuit jumper, and short-circuits the two conductors 88 and 89 of the wire wire pair at the discontinuity 85.

【0058】本実施例においてワイヤ線対はいわゆる
「レッヘル線」であり、検出信号は好ましくはRF波で
ある。この場合、検出信号は不連続点85で完全に反射
され、反射が応答信号を形成するが、応答信号は検出信
号から180度の位相差を有する。従ってワイヤ線対に
おいて定在波が形成される。上記実施例と同様、駆動部
13及びハウジング3の相対位置は伝送時間から評価装
置64において検出される。
In the present embodiment, the wire wire pair is a so-called "Rechel wire", and the detection signal is preferably an RF wave. In this case, the detection signal is completely reflected at the discontinuity 85 and the reflection forms a response signal, which has a 180 degree phase difference from the detection signal. Therefore, a standing wave is formed in the wire line pair. As in the above embodiment, the relative position between the drive unit 13 and the housing 3 is detected by the evaluation device 64 from the transmission time.

【0059】さらなる位置検出手段58の実施例を図6
を参照して説明する。本実施例において駆動部側検出手
段60は非接触でハウジング側検出手段59に作用す
る。ハウジング側検出手段59は導体列84により形成
されている。導体列84は上記実施例と異なり少なくと
も一つの磁歪導体96を備えている。
FIG. 6 shows a further embodiment of the position detecting means 58.
This will be described with reference to FIG. In this embodiment, the drive unit side detecting means 60 acts on the housing side detecting means 59 without contact. The housing-side detection means 59 is formed by a conductor row 84. The conductor row 84 includes at least one magnetostrictive conductor 96 unlike the above embodiment.

【0060】駆動部側検出手段60は磁石手段94を備
えている。本実施例において磁石手段94は永久磁石に
より形成され、磁場95は導体列84の磁歪導体96に
作用し、不連続点85が生じる。磁歪導体96は、例え
ば非晶質もしくは微少結晶質の強磁性導体である。磁場
95の影響で強磁性飽和が生じ、磁歪導体96の変形
(磁歪)が生じる。この変形点が不連続点85を構成
し、不連続点85で評価装置64から伝送された検出信
号が反射及び屈折する。
The drive unit side detecting means 60 has a magnet means 94. In the present embodiment, the magnet means 94 is formed by a permanent magnet, and the magnetic field 95 acts on the magnetostrictive conductor 96 of the conductor row 84 to generate a discontinuity point 85. The magnetostrictive conductor 96 is, for example, an amorphous or microcrystalline ferromagnetic conductor. Under the influence of the magnetic field 95, ferromagnetic saturation occurs, and deformation (magnetostriction) of the magnetostrictive conductor 96 occurs. This deformation point constitutes a discontinuity point 85 at which the detection signal transmitted from the evaluation device 64 is reflected and refracted.

【0061】まず、応答信号としての反射が生じうる。
不連続点85から検出信号の伝播方向に磁歪導体96に
沿って伝送された屈折信号は評価装置64側の導体端部
で再び反射され、これにより相対位置の計算に誤差が生
じる場合がある。従って磁歪導体96は評価装置64と
反対側の端部が抵抗器97により終端するように形成さ
れているので反射係数は0であり、システムは整合され
る。
First, reflection as a response signal may occur.
The refraction signal transmitted along the magnetostrictive conductor 96 in the propagation direction of the detection signal from the discontinuity 85 is reflected again at the conductor end on the evaluation device 64 side, which may cause an error in the calculation of the relative position. Therefore, since the magnetostrictive conductor 96 is formed so that the end opposite to the evaluation device 64 is terminated by the resistor 97, the reflection coefficient is 0, and the system is matched.

【0062】次に形成される応答信号は磁歪導体96の
非晶質もしくは微少結晶質構造に基づく。不連続点85
で機械的な捩り波が生じ、同時に両方向へ伝播される。
評価装置64の方へ戻る機械波がこの場合、応答信号で
あり、その既知の伝播速度によりハウジング3及び駆動
部13の相対位置が検出される。屈折信号とともに不連
続点85から導体96の評価装置64側の端部に送られ
る機械波は好ましくはこの端部で減衰されるので、実質
上反射が起こらず、評価装置64において相対位置を検
出する際の誤差を防ぐことができる。
The response signal formed next is based on the amorphous or microcrystalline structure of the magnetostrictive conductor 96. Discontinuity point 85
Produces a mechanical torsional wave, which is simultaneously propagated in both directions.
The mechanical wave returning to the evaluation device 64 is in this case a response signal, the relative position of the housing 3 and the drive 13 being detected by its known propagation speed. The mechanical wave sent from the discontinuity 85 together with the refraction signal to the end of the conductor 96 on the evaluation device 64 side is preferably attenuated at this end, so that substantially no reflection occurs, and the relative position is detected by the evaluation device 64. This can prevent errors in performing the operation.

【0063】またこのような構造において、評価装置6
4により検出信号及び応答信号の経過時間が測定され、
経過時間から駆動部13とハウジング3との相対位置が
検出される。図6には位置検出手段58の構造における
変形例が示されている。この場合、磁歪導体96は図6
において一点鎖線で示されている管状の音波導体100
の形状を有する。音波導体100と同軸上に設けられて
いる電気検出導体101により、検出信号が評価装置6
4から伝送される。不連続点85に伝送された検出信号
により第一機械波が音波導体100を経て評価装置64
に返送され、第二機械波がその反対方向へ伝送される。
この場合、機械波は捩り波である。第一機械波により応
答信号が形成され、第二機械波が導体端部で減衰される
ことにより反射を防ぐ。上記実施例と異なり、応答信号
は検出信号のための導体101に伝送されるのではな
く、別体の導体100に沿って伝送される。この場合も
評価装置64において検出信号及び応答信号の経過時間
を測定することにより位置検出が行われる。本実施例に
使用されている原理は「ウィーデマン効果」と呼ばれ
る。
In such a structure, the evaluation device 6
4, the elapsed time of the detection signal and the response signal is measured,
The relative position between the drive unit 13 and the housing 3 is detected from the elapsed time. FIG. 6 shows a modification of the structure of the position detecting means 58. In this case, the magnetostrictive conductor 96 is shown in FIG.
A tubular acoustic conductor 100 indicated by a dashed line in FIG.
It has the shape of The electric detection conductor 101 provided coaxially with the sonic conductor 100 allows the detection signal to be transmitted to the evaluation device 6.
4 is transmitted. According to the detection signal transmitted to the discontinuity point 85, the first mechanical wave is transmitted through the sound wave conductor 100 to the evaluation device 64.
And the second mechanical wave is transmitted in the opposite direction.
In this case, the mechanical wave is a torsional wave. A response signal is formed by the first mechanical wave, and the second mechanical wave is attenuated at the conductor end to prevent reflection. Unlike the above embodiment, the response signal is not transmitted on the conductor 101 for the detection signal, but is transmitted along a separate conductor 100. Also in this case, the position detection is performed by measuring the elapsed time of the detection signal and the response signal in the evaluation device 64. The principle used in this embodiment is called the “Weedemann effect”.

【0064】以上の実施例からも明らかなように、本発
明のロッドレス直線駆動装置において、位置検出手段の
うちハウジング側検出手段はシールバンドに設けられて
いるので、取り付けが容易で製造コストが低減される。
As is clear from the above embodiment, in the rodless linear drive device of the present invention, the housing-side detecting means of the position detecting means is provided on the seal band, so that the mounting is easy and the manufacturing cost is reduced. Is done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 位置検出手段が設けられている流体動力によ
るロッドレス直線駆動装置の長手方向断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a fluid-powered rodless linear drive device provided with a position detecting means.

【図2】 図1の線II−IIにおけるロッドレス直線駆動
装置の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of the rodless linear drive device taken along line II-II of FIG. 1;

【図3】 本発明の第一実施例による位置検出手段の原
則及び構造を示す概略図であり、駆動部側検出手段はコ
イル装置を含みハウジング側検出手段は複数の磁化可能
検出要素を含む。
FIG. 3 is a schematic view showing the principle and structure of the position detecting means according to the first embodiment of the present invention, wherein the driving part detecting means includes a coil device and the housing side detecting means includes a plurality of magnetizable detecting elements.

【図4】 本発明の第二実施例による位置検出手段を図
3と同様に示す概略図であり、駆動部側検出手段は磁場
センサを含みハウジング側検出手段は複数の永久磁石検
出要素を含む。
FIG. 4 is a schematic view showing a position detecting means according to a second embodiment of the present invention, similarly to FIG. 3, in which a driving part side detecting means includes a magnetic field sensor and a housing side detecting means includes a plurality of permanent magnet detecting elements. .

【図5】 本発明の第三実施例による位置検出手段を図
3と同様に示す概略図であり、ハウジング側検出手段は
外側からアクセス可能な導体を含み駆動部側検出手段は
導体タップ手段を含む。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a position detecting means according to a third embodiment of the present invention, similarly to FIG. 3, wherein the housing-side detecting means includes a conductor accessible from the outside, and the driving-portion-side detecting means comprises a conductor tap means. Including.

【図6】 本発明のさらなる位置検出手段を図3と同様
に示す概略図であり、ハウジング側検出手段は磁歪導体
を含み駆動部側検出手段は磁石手段を含む。
FIG. 6 is a schematic view showing a further position detecting means of the present invention in the same manner as FIG. 3, wherein the housing-side detecting means includes a magnetostrictive conductor, and the driving part-side detecting means includes a magnet means.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・ロッドレス直線駆動装置、 2・・・内部空
間、 3・・・ハウジング、5・・・ハウジング本体、
6,7・・・端部、 8,9・・・ハウジング端板、
12・・・長孔、 13・・・駆動部、 4・・・駆動
部分、15・・・キャリア部分、 18・・・ピスト
ン、 22・・・ピストン本体、23,24・・・端部
領域、 25,26・・・ピストン端部材、27・・・
ピストン内部空間、 30・・・内壁、 31,32・
・・封止部分、33,34・・・ガイドリング、 3
7,38・・・流体室、39,40・・・中央流体ダク
ト、 43・・・シールバンド、44,45・・・斜
面、 46,47・・・長手方向領域、48,49・・
・側面、 52・・・接続領域、 53・・・リード貫
通開口部、54,55・・・固定位置、 56,57・
・・強化コード、58・・・位置検出手段、 59,6
0・・・検出手段、 61・・・検出点、64・・・評
価装置、 66・・・電気接続導線、 67・・・磁場
センサ、68・・・コイル、 69・・・検出要素、
73・・・発振回路、74・・・コンデンサー、 75
・・・オーム抵抗器、 78・・・磁気テープ、79,
80・・・コード、 81・・・局所磁場、 84・・
・導体列、85・・・不連続点、 88,89・・・導
体、 90・・・背面、91・・・導体タップ手段、
94・・・磁石手段、 95・・・磁場、96・・・磁
歪導体、 97・・・抵抗、 100・・・音波導体、
101・・・電気検出導体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Rodless linear drive device 2 ... Internal space 3 ... Housing 5 ... Housing body
6, 7 ... end portion, 8, 9 ... housing end plate,
12 ... long hole, 13 ... drive part, 4 ... drive part, 15 ... carrier part, 18 ... piston, 22 ... piston body, 23, 24 ... end region , 25, 26 ... piston end member, 27 ...
Piston internal space, 30 ... inner wall, 31, 32
..Seal portions, 33, 34 ... guide rings, 3
7, 38 ... fluid chamber, 39, 40 ... central fluid duct, 43 ... seal band, 44, 45 ... slope, 46, 47 ... longitudinal region, 48, 49 ...
-Side surface, 52 ... connection area, 53 ... lead through opening, 54, 55 ... fixed position, 56, 57
..Strengthening cords, 58 ... Position detecting means, 59,6
0: detection means, 61: detection point, 64: evaluation device, 66: electric connection lead, 67: magnetic field sensor, 68: coil, 69: detection element,
73: oscillation circuit, 74: capacitor, 75
... Ohm resistor, 78 ... Magnetic tape, 79,
80 ... code, 81 ... local magnetic field, 84 ...
・ Conductor row, 85 ・ ・ ・ Discontinuous point, 88, 89 ・ ・ ・ Conductor, 90 ・ ・ ・ Back, 91 ・ ・ ・ Conductor tap means,
94: magnet means, 95: magnetic field, 96: magnetostrictive conductor, 97: resistance, 100: sound wave conductor,
101 ... electric detection conductor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 591034361 Ruiter Strasse 82, 73734Esslingen,German y ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (71) Applicant 591034361 Ruiter Strasse 82, 73734 Esslingen, Germany

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 長孔が内部空間に開口したハウジング
と、 前記内部空間において長手方向に運動可能に設けられた
駆動部分と、前記長孔を貫通して外側へ延びるキャリア
部分とを有する駆動部と、 該駆動部と前記ハウジングとの相対位置を検出するため
の位置検出手段と、を備え、 前記駆動部に隣接した前記長孔の少なくとも長手方向領
域がシールバンドによって閉じられたロッドレス直線駆
動装置であって、 前記位置検出手段は、前記ハウジング及び前記駆動部の
一方に第一検出手段を有し、他方に第二検出手段を有
し、該第一検出手段及び第二検出手段の少なくとも一つ
に評価装置が接続され、 前記ハウジング側の検出手段は、前記シールバンドに設
けられているロッドレス直線駆動装置。
1. A drive unit comprising: a housing having an elongated hole opened to an internal space; a drive portion movably provided in the internal space in a longitudinal direction; and a carrier portion extending outward through the elongated hole. And a position detecting means for detecting a relative position between the drive unit and the housing, wherein a rodless linear drive device in which at least a longitudinal region of the long hole adjacent to the drive unit is closed by a seal band. Wherein the position detection means has a first detection means in one of the housing and the drive unit, and a second detection means in the other, and at least one of the first detection means and the second detection means. And a detection device on the housing side is a rodless linear drive device provided on the seal band.
【請求項2】 前記シールバンドは、該シールバンドの
長手方向に延び、該シールバンド内もしくは該シールバ
ンド上に設けられた少なくとも一つの強化コードを備
え、該強化コードがハウジング側の検出手段の一部とし
ての導体を構成している請求項1記載のロッドレス直線
駆動装置。
2. The seal band includes at least one reinforcing cord extending in a longitudinal direction of the seal band and provided in or on the seal band, wherein the reinforcing cord is provided as a detecting means on a housing side. 2. The rodless linear drive device according to claim 1, wherein said rodless linear drive device forms a conductor as a part.
【請求項3】 前記第一検出手段及び前記第二検出手段
が非接触で協働するように設けられたことを特徴とする
請求項1記載のロッドレス直線駆動装置。
3. The rodless linear drive device according to claim 1, wherein said first detecting means and said second detecting means are provided so as to cooperate in a non-contact manner.
【請求項4】 前記ハウジングと前記駆動部との相対運
動時に、前記第一検出手段が前記第二検出手段に隣接し
て変化する磁場を生成するように設けられ、前記第二検
出手段が磁場検出信号を発生し、該磁場検出信号が相対
位置を検出するために前記評価装置に供給される請求項
3記載のロッドレス直線駆動装置。
4. The apparatus according to claim 1, wherein said first detecting means generates a changing magnetic field adjacent to said second detecting means during a relative movement between said housing and said driving unit, and said second detecting means is provided with a magnetic field. 4. The rodless linear drive according to claim 3, wherein a detection signal is generated, and the magnetic field detection signal is supplied to the evaluation device for detecting a relative position.
【請求項5】 前記第一検出手段が複数の検出要素を含
み、該検出要素が前記駆動部と前記ハウジングとの相対
運動の方向に連続して設けられている請求項4記載のロ
ッドレス直線駆動装置。
5. The rodless linear drive according to claim 4, wherein the first detecting means includes a plurality of detecting elements, and the detecting elements are provided continuously in a direction of a relative movement between the driving section and the housing. apparatus.
【請求項6】 前記第二検出手段が少なくとも一つの磁
場センサを含む請求項3記載のロッドレス直線駆動装
置。
6. The rodless linear drive according to claim 3, wherein said second detecting means includes at least one magnetic field sensor.
【請求項7】 前記第二検出手段がコイル装置を含む請
求項3記載のロッドレス直線駆動装置。
7. The rodless linear drive device according to claim 3, wherein said second detecting means includes a coil device.
【請求項8】 前記コイル装置に存在する磁場が該コイ
ル装置自体によって生成される請求項7記載のロッドレ
ス直線駆動装置。
8. The rodless linear drive according to claim 7, wherein the magnetic field existing in the coil device is generated by the coil device itself.
【請求項9】 前記コイル装置が前記検出信号を生成し
前記評価装置に接続されている少なくとも一つの検出コ
イルを備えている請求項7記載のロッドレス直線駆動装
置。
9. The rodless linear drive according to claim 7, wherein the coil device includes at least one detection coil that generates the detection signal and is connected to the evaluation device.
【請求項10】 前記検出コイルが発振回路の一部であ
り、前記評価装置が該発振回路の同調を変化させること
により前記相対位置を確認する請求項9記載のロッドレ
ス直線駆動装置。
10. The rodless linear drive device according to claim 9, wherein the detection coil is a part of an oscillation circuit, and the evaluation device confirms the relative position by changing a tuning of the oscillation circuit.
【請求項11】 前記評価装置が前記第一検出手段によ
り検出信号を伝送し、該検出信号を使用し第二検出手段
と協働することにより前記相対位置が検出される請求項
1記載のロッドレス直線駆動装置。
11. The rodless apparatus according to claim 1, wherein the evaluation device transmits a detection signal by the first detection means, and the relative position is detected by using the detection signal and cooperating with the second detection means. Linear drive.
【請求項12】 前記評価装置において、前記相対位置
が前記検出信号の送信から前記第二検出手段により生成
される応答信号の受信までの経過時間の関数として検出
される請求項11記載のロッドレス直線駆動装置。
12. The rodless straight line according to claim 11, wherein the relative position is detected as a function of an elapsed time from transmission of the detection signal to reception of a response signal generated by the second detection means. Drive.
【請求項13】 前記第一検出手段が前記シールバンド
に設けられ該シールバンドの長手方向に延びている導体
列を備えている請求項11記載のロッドレス直線駆動装
置。
13. The rodless linear drive device according to claim 11, wherein the first detecting means includes a conductor array provided on the seal band and extending in a longitudinal direction of the seal band.
【請求項14】 前記第二検出手段が前記駆動部に設け
られ、前記導体列において不連続点を生成し、前記検出
信号が該不連続点で応答信号を生成し、該応答信号が前
記評価装置に返送される請求項13記載のロッドレス直
線駆動装置。
14. The method according to claim 14, wherein the second detecting unit is provided in the driving unit, generates a discontinuous point in the conductor row, the detection signal generates a response signal at the discontinuous point, and the response signal is the evaluation signal. 14. The rodless linear drive according to claim 13, which is returned to the device.
【請求項15】 前記不連続点で前記応答信号が前記検
出信号の反射により構成される請求項14記載のロッド
レス直線駆動装置。
15. The rodless linear driving device according to claim 14, wherein the response signal at the discontinuous point is constituted by reflection of the detection signal.
【請求項16】 前記第二検出手段が磁石手段を備え、
該磁石手段の磁場が前記導体列に作用し前記不連続点を
形成する請求項14記載のロッドレス直線駆動装置。
16. The second detecting means comprises magnet means,
15. The rodless linear drive according to claim 14, wherein the magnetic field of the magnet means acts on the conductor row to form the discontinuous point.
【請求項17】 前記導体列の少なくとも一つの導体
は、磁歪特性を有する請求項16記載のロッドレス直線
駆動装置。
17. The rodless linear drive device according to claim 16, wherein at least one conductor of the conductor row has a magnetostrictive characteristic.
【請求項18】 前記導体が磁歪性及び微少結晶質もし
くは非晶質導体であり導電性を有し、前記検出信号が前
記導体により伝送され前記不連続点で機械波を生成し、
該機械波が前記評価装置に返送される前記応答信号を形
成する請求項17記載のロッドレス直線駆動装置。
18. The method according to claim 18, wherein the conductor is a magnetostrictive and microcrystalline or amorphous conductor and has conductivity, and the detection signal is transmitted by the conductor to generate a mechanical wave at the discontinuous point;
18. The rodless linear drive according to claim 17, wherein the mechanical wave forms the response signal that is returned to the evaluation device.
【請求項19】 前記磁歪性を有する導体が管状の音波
導体であり、前記検出信号を伝送するための電気検出導
体と同軸上に設けられ、伝送された前記検出信号により
前記不連続点に機械波が生成され、該機械波が前記評価
装置に返送される請求項17記載のロッドレス直線駆動
装置。
19. The conductor having magnetostriction is a tubular sound wave conductor, which is provided coaxially with an electric detection conductor for transmitting the detection signal, and is mechanically connected to the discontinuous point by the transmitted detection signal. 18. The rodless linear drive of claim 17, wherein a wave is generated and the mechanical wave is returned to the evaluation device.
【請求項20】 前記シールバンドに設けられている導
体列が外側からアクセス可能であり、前記第二検出手段
が該導体と接触している導体タップ手段を備え、該導体
タップ手段と前記導体との接点が前記不連続点を形成す
る請求項11記載のロッドレス直線駆動装置。
20. A conductor array provided on the seal band is accessible from the outside, and the second detection means includes conductor tap means in contact with the conductor, and the conductor tap means and the conductor 12. The rodless linear drive according to claim 11, wherein the contact points form the discontinuity.
【請求項21】 前記導体タップ手段が前記不連続点で
前記導体列の複数の導体を電気接続する請求項20記載
のロッドレス直線駆動装置。
21. The rodless linear drive device according to claim 20, wherein said conductor tap means electrically connects a plurality of conductors of said conductor row at said discontinuous points.
【請求項22】 前記評価装置が前記第一検出手段また
は前記第二検出手段のみに接続されている請求項1記載
のロッドレス直線駆動装置。
22. The rodless linear drive device according to claim 1, wherein the evaluation device is connected to only the first detection means or the second detection means.
【請求項23】 前記第一検出手段が前記シールバンド
に設けられ前記第二検出手段が前記駆動部に設けられて
いる請求項1記載のロッドレス直線駆動装置。
23. The rodless linear drive device according to claim 1, wherein the first detection means is provided on the seal band, and the second detection means is provided on the drive unit.
【請求項24】 前記評価装置が前記ハウジング側の検
出手段にのみ接続されている請求項1記載のロッドレス
直線駆動装置。
24. The rodless linear drive device according to claim 1, wherein the evaluation device is connected only to the detection means on the housing side.
【請求項25】 前記ハウジング側の検出手段と前記評
価装置との接続が、前記シールバンドの前記ハウジング
への取付点に隣接して行われている請求項24記載のロ
ッドレス直線駆動装置。
25. The rodless linear drive device according to claim 24, wherein the connection between the detection means on the housing side and the evaluation device is made adjacent to a point of attachment of the seal band to the housing.
【請求項26】 前記駆動部分がピストンである請求項
1記載のロッドレス直線駆動装置。
26. The rodless linear drive according to claim 1, wherein the drive part is a piston.
JP11084027A 1998-03-26 1999-03-26 Rodless linear drive device Pending JPH11311208A (en)

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