JPH11306797A - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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JPH11306797A
JPH11306797A JP10111637A JP11163798A JPH11306797A JP H11306797 A JPH11306797 A JP H11306797A JP 10111637 A JP10111637 A JP 10111637A JP 11163798 A JP11163798 A JP 11163798A JP H11306797 A JPH11306797 A JP H11306797A
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JP
Japan
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command
address
data
clock signal
memory device
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Application number
JP10111637A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Nishimoto
賢二 西本
Yoshitaka Kinoshita
嘉隆 木下
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a semiconductor memory device in which a high-speed test can be made easily by using a low-speed tester even without using a high- speed tester exceeding 100 MHz. SOLUTION: In a 2-bank 16-Mbit SDRAM which is composed of a memory array bank and its peripheral circuit, a test-mode setting circuit in which a double-cycle-clock generation circuit, an internal-column-command generation circuit, an address arithmetic circuit and a test-data generation circuit are contained is provided. When a command, an address and data are input in the rise of an external clock signal CLK, a command, an address and data can be generated at the inside of a chip when the external clock signal CLK falls. An operating timing which is equivalent to an example in which a test command 'WW6' is input in synchronization with an internal clock signal ICLK, data 'D' is written into an address 'A' in a first cycle, and data '/D' (inverted) is written into an address '/A' (inverted) in a second cycle.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置の
テストモード技術に関し、特に外部クロック信号に同期
して動作するメモリにおいて、この動作周波数の高速化
に対応可能なシンクロナスDRAM(SDRAM)など
の半導体記憶装置に適用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test mode technology for a semiconductor memory device, and more particularly, to a synchronous DRAM (SDRAM) and the like which can cope with a higher operating frequency in a memory operating in synchronization with an external clock signal. The present invention relates to a technology that is effective when applied to a semiconductor memory device.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば、本発明者が検討した技術とし
て、SDRAMでは、DoubleCLKテストモード
などのテストモードを用いて、特定タイミングのチェッ
クを行う技術などが考えられる。この概要は、テストを
実施する場合、最小のサイクルで全ての試験項目をチェ
ックしているため、メモリが高速になれば、それに比例
して高速のテスタを用意する必要がある。しかしなが
ら、一部の項目は、テストモードを用いて低速テスタで
チェックしている。たとえば、Double CLKテ
ストモードでは、単純にクロック信号の立ち上がり時と
立ち下がり時にコマンド、アドレスの入力が可能となっ
ている。
2. Description of the Related Art For example, as a technique studied by the present inventor, in an SDRAM, a technique for checking a specific timing using a test mode such as a DoubleCLK test mode is considered. According to this summary, when a test is performed, all test items are checked in a minimum cycle. Therefore, if the memory becomes faster, it is necessary to prepare a high-speed tester in proportion thereto. However, some items are checked by a low-speed tester using a test mode. For example, in the Double CLK test mode, it is possible to simply input a command and an address when the clock signal rises and falls.

【0003】なお、このようなSDRAMなどの半導体
記憶装置に関する技術としては、たとえば1994年1
1月5日、株式会社培風館発行の「アドバンスト エレ
クトロニクスI−9 超LSIメモリ」P344〜P3
48などに記載される技術などが挙げられる。
Incidentally, as a technique relating to such a semiconductor memory device such as an SDRAM, for example,
"Advanced Electronics I-9 Ultra LSI Memory" published by Baifukan Co., Ltd. on January 5, P344-P3
48 and the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
なSDRAMなどの半導体記憶装置においては、たとえ
ば100MHz以上の高速で動作するメモリをテストす
る場合、従来のEDODRAMで使用していたテスタで
は測定が難しくなってきている。また、Double
CLKテストモードでは、たとえば図10に示すよう
に、外部クロック信号CLKの立ち上がり時と立ち下が
り時にコマンド、アドレスの入力が必要になり、テスト
の制約とテストパターンの複雑さが増すことが考えられ
る。
In a semiconductor memory device such as the SDRAM described above, when a memory operating at a high speed of, for example, 100 MHz or more is tested, a tester used in a conventional EDODRAM cannot measure. It's getting harder. Also, Double
In the CLK test mode, for example, as shown in FIG. 10, it is necessary to input a command and an address at the time of rising and falling of the external clock signal CLK, and it is conceivable that test restrictions and test pattern complexity increase.

【0005】そこで、本発明の目的は、外部クロック信
号の立ち上がり時にコマンド、アドレス、データを入力
するだけで、外部クロック信号の立ち下がり時にも内部
でコマンド、アドレス、データを発生させ、たとえば1
00MHzを越えるような高速テスタを用いなくても、
低速テスタでも容易に高速なテストを行うことができる
半導体記憶装置を提供するものである。
Therefore, an object of the present invention is to input a command, address, and data only at the rising edge of an external clock signal, and to internally generate a command, address, and data even at the falling edge of the external clock signal.
Even without using a high-speed tester that exceeds 00 MHz,
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can easily perform a high-speed test even with a low-speed tester.

【0006】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0008】すなわち、本発明による半導体記憶装置
は、外部クロック信号によるクロックサイクルに対し、
内部を2倍で動作させるために、外部クロック信号の立
ち上がり時にコマンド、アドレス、データを入力するだ
けで、外部クロック信号の立ち上がり時に続いて外部ク
ロック信号の立ち下がり時にも、チップ内部でコマン
ド、アドレス、データを発生するテストモード設定回路
を有するものである。
That is, the semiconductor memory device according to the present invention is capable of responding to a clock cycle by an external clock signal.
To operate the internal unit twice, simply input a command, address, and data at the rising edge of the external clock signal. , A test mode setting circuit for generating data.

【0009】この構成において、最小のサイクルでテス
トする対象となるのは、カラムコマンド(リード/ライ
トコマンド)であるので、このコマンドの組み合わせを
考え、1回のコマンドの入力によりチップ内部で連続し
たカラム動作を行うようにしたものである。また、アド
レス、データも、当サイクルと次サイクルで変わる場合
を考慮して、アドレスは保持/インクリメント/反転、
データは保持/反転の組み合わせができるようにしたも
のである。このテストモード設定回路におけるテストモ
ードへのエントリ方法は、モードレジスタセットコマン
ドを用いる場合と、アドレスと組み合わせたコマンドを
用いる場合とが考えられる。
In this configuration, the target to be tested in the shortest cycle is a column command (read / write command). Therefore, considering a combination of these commands, a continuous command is input inside the chip by inputting a single command. The column operation is performed. Also, in consideration of the case where the address and data also change between this cycle and the next cycle, the address is held / incremented / inverted,
Data can be held / inverted in combination. As a method of entering the test mode in the test mode setting circuit, there are a case where a mode register set command is used and a case where a command combined with an address is used.

【0010】よって、前記半導体記憶装置によれば、外
部クロック信号の立ち上がり時にコマンド、アドレス、
データを入力するだけで、外部クロック信号の立ち下が
り時にも、チップ内部でコマンド、アドレス、データを
発生するため、単純なDouble CLKテストモー
ドに比べて、低速なテスタでも容易に高速なテストが可
能になる。これにより、たとえば100MHzを越える
ような高速テスタを用いなくても、従来のEDO DR
AMで使用していた低速テスタで測定できる。その結
果、実際に高速で測定の必要な項目は、微小または皆無
になる。また、既存の設備で量産可能なため、テスティ
ングコストを低減できる。
Therefore, according to the semiconductor memory device, when the external clock signal rises, the command, address,
Command, address, and data are generated inside the chip even when the external clock signal falls just by inputting data, making it possible to easily perform high-speed tests with a low-speed tester compared to the simple Double CLK test mode. become. Thus, the conventional EDO DR can be used without using a high-speed tester exceeding, for example, 100 MHz.
It can be measured with the low-speed tester used for AM. As a result, there are few or no items that need to be measured at high speed. In addition, since it can be mass-produced with existing equipment, testing costs can be reduced.

【0011】これは、最小のサイクルでテストする対象
となるのは、カラムコマンド(リード/ライトコマン
ド)であり、従ってこのコマンドの組み合わせを考え、
1回のコマンドの入力により、チップ内部で連続したカ
ラム動作を行うことができるためである。特に、外部ク
ロック信号に同期したSDRAM、SSRAMなどに適
用できる。
[0011] In this method, a column command (read / write command) is to be tested in a minimum cycle.
This is because a continuous column operation can be performed inside the chip by one command input. In particular, the present invention can be applied to SDRAMs, SSRAMs, and the like synchronized with an external clock signal.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明の一実施の形態である半導体
記憶装置を示す全体ブロック図、図2は本実施の形態の
半導体記憶装置において、倍周期クロック信号発生回路
の一例を示す回路図、図3はクロック信号を示す波形
図、図4はテストコマンド動作の概要を示すタイミング
図、図5はテストコマンド例を示す説明図、図6(a),
(b) はテストコマンドの動作例とその等価動作例を示す
タイミング図、図7はテストコマンドへのエントリ方法
を示すタイミング図、図8はアドレスコード例を示す説
明図、図9はテストコマンドへの他のエントリ方法を示
すタイミング図である。
FIG. 1 is an overall block diagram showing a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of a double-period clock signal generating circuit in the semiconductor memory device according to the present embodiment. 3 is a waveform diagram showing a clock signal, FIG. 4 is a timing diagram showing an outline of a test command operation, FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a test command, and FIGS.
(b) is a timing chart showing an operation example of a test command and an equivalent operation example thereof, FIG. 7 is a timing chart showing a method of entering a test command, FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of an address code, and FIG. FIG. 11 is a timing chart showing another entry method.

【0014】まず、図1により本実施の形態の半導体記
憶装置の構成を説明する。
First, the configuration of the semiconductor memory device according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

【0015】本実施の形態の半導体記憶装置は、たとえ
ば2バンク16MビットSDRAMとされ、メモリアレ
イバンク1,2と、各メモリアレイバンク1,2に対応
するロウデコーダ3,4、カラムデコーダ5,6および
センスアンプ&入出力バス7,8と、共通のロウアドレ
スバッファ9、カラムアドレスバッファ10、カラムア
ドレスカウンタ11、リフレッシュカウンタ12、入力
バッファ13、出力バッファ14、制御論理&タイミン
グ発生器15などの一般的な構成からなり、周知の半導
体製造技術により1個の半導体チップ上に形成されてい
る。
The semiconductor memory device according to the present embodiment is, for example, a 2-bank 16-Mbit SDRAM, and has memory array banks 1 and 2, row decoders 3 and 4 corresponding to each of the memory array banks 1 and 2, column decoder 5 and the like. 6, sense amplifier & input / output buses 7, 8 and a common row address buffer 9, column address buffer 10, column address counter 11, refresh counter 12, input buffer 13, output buffer 14, control logic & timing generator 15, etc. And is formed on one semiconductor chip by a well-known semiconductor manufacturing technique.

【0016】このSDRAMには、外部からアドレス信
号Aiが入力され、ロウアドレス信号XA、カラムアド
レス信号YAが生成されて、それぞれロウアドレスバッ
ファ9、カラムアドレスバッファ10に入力され、ロウ
デコーダ3,4、カラムデコーダ5,6を介してメモリ
アレイバンク1,2内の任意のメモリセルが選択され
る。そして、入出力データI/Oiは、書き込み動作時
に入力バッファ13を介して入力され、読み出し動作時
にセンスアンプ&入出力バス7,8、出力バッファ14
を介して出力される。
An address signal Ai is input from the outside to the SDRAM, a row address signal XA and a column address signal YA are generated and input to a row address buffer 9 and a column address buffer 10, respectively. An arbitrary memory cell in memory array banks 1 and 2 is selected via column decoders 5 and 6. The input / output data I / Oi is input via the input buffer 13 during a write operation, and is supplied to the sense amplifier & input / output buses 7 and 8 and the output buffer 14 during a read operation.
Is output via.

【0017】また、制御信号として、外部クロック信号
CLK、クロックイネーブル信号CKE、チップセレク
ト信号/CS、ロウアドレスストローブ信号/RAS、
カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライトイネー
ブル信号/WE、データマスク信号DQMなどが外部か
ら入力され、これらの制御信号に基づいて制御論理&タ
イミング発生器15によりコマンド、内部制御信号が生
成され、このコマンド、内部制御信号により内部回路の
動作が制御されるようになっている。
The control signals include an external clock signal CLK, a clock enable signal CKE, a chip select signal / CS, a row address strobe signal / RAS,
A column address strobe signal / CAS, a write enable signal / WE, a data mask signal DQM, and the like are input from the outside, and a command and an internal control signal are generated by the control logic & timing generator 15 based on these control signals. The operation of the internal circuit is controlled by an internal control signal.

【0018】特に、本実施の形態における制御論理&タ
イミング発生器15には試験用のテスト回路16が内蔵
されており、このテスト回路16には、所定の周期の外
部クロック信号CLKによるテストモード時に、この外
部クロック信号CLKによるクロックサイクルに対し、
内部を2倍で動作させるために、外部クロック信号CL
Kの立ち上がり時にコマンド、アドレス、データを入力
するだけで、外部クロック信号CLKの立ち上がり時に
続いて外部クロック信号CLKの立ち下がり時にも、チ
ップ内部でコマンド、アドレス、データを発生するテス
トモード設定回路が含まれている。
In particular, the control logic & timing generator 15 in the present embodiment has a built-in test circuit 16 for testing, and this test circuit 16 has a function in a test mode using an external clock signal CLK having a predetermined cycle. , With respect to the clock cycle by the external clock signal CLK,
The external clock signal CL
A test mode setting circuit that generates a command, an address, and data inside the chip only when a command, an address, and data are input when K rises, and also when the external clock signal CLK falls after the rise of the external clock signal CLK. include.

【0019】具体的には、図2に示す倍周期クロック信
号発生回路17と、この倍周期クロック信号発生回路1
7から発生される内部クロック信号ICLKに同期し
て、内部カラムコマンドを発生する内部カラムコマンド
発生回路18、テストアドレスを発生するアドレス演算
回路19、テストデータを発生するテストデータ発生回
路20を含めてテストモード設定回路が構成されてい
る。図1のように、倍周期クロック信号発生回路17は
制御論理&タイミング発生器15に内蔵され、内部カラ
ムコマンド発生回路18は制御論理&タイミング発生器
15に接続され、アドレス演算回路19はカラムアドレ
スカウンタ11に内蔵され、さらにテストデータ発生回
路20は入力バッファ13の入出力間に接続されてい
る。
More specifically, the double-period clock signal generating circuit 17 shown in FIG.
7, an internal column command generating circuit 18 for generating an internal column command, an address operation circuit 19 for generating a test address, and a test data generating circuit 20 for generating test data. A test mode setting circuit is configured. As shown in FIG. 1, the double cycle clock signal generation circuit 17 is built in the control logic & timing generator 15, the internal column command generation circuit 18 is connected to the control logic & timing generator 15, and the address operation circuit 19 is a column address generation circuit. The test data generation circuit 20 is built in the counter 11 and is connected between the input and output of the input buffer 13.

【0020】倍周期クロック信号発生回路17は、たと
えば図2に示すように、否定論理積ゲートNAND、イ
ンバータIV1〜IV7、否定論理和ゲートNOR、P
MOSトランジスタTP、NMOSトランジスタTN1
〜TN4、ディレイ回路DLY、フリップフロップ回路
FF1,FF2からなり、図3(a) のような外部クロッ
ク信号CLKが入力されて、図3(b) のような内部クロ
ック信号ICLKが出力される。また、制御信号とし
て、倍周期動作イネーブル信号、第1、第2のクロック
制御信号が入力され、倍周期動作イネーブル信号は
“L”レベルにすることにより倍周期動作し、第1、第
2のクロック制御信号は通常時は“H”レベルであり、
“L”レベルにすると内部クロック信号ICLKが停止
するようになっている。
As shown in FIG. 2, for example, the double period clock signal generating circuit 17 includes a NAND gate NAND, inverters IV1 to IV7, and NOR gates NOR and P.
MOS transistor TP, NMOS transistor TN1
TN4, a delay circuit DLY, and flip-flop circuits FF1 and FF2. An external clock signal CLK as shown in FIG. 3A is input, and an internal clock signal ICLK as shown in FIG. 3B is output. Further, a double cycle operation enable signal and first and second clock control signals are input as control signals, and the double cycle operation enable signal is set to “L” level to perform a double cycle operation, and the first and second clocks are operated. The clock control signal is normally at “H” level,
When the level is set to “L” level, the internal clock signal ICLK is stopped.

【0021】この倍周期クロック信号発生回路17にお
いて、外部クロック信号CLKが入力され、倍周期動作
イネーブル信号を“L”レベルにすると、否定論理積ゲ
ートNAND、インバータIV1を介して外部クロック
信号CLKの立ち上がりが検知され、PMOSトランジ
スタTP、NMOSトランジスタTN1,TN2、イン
バータIV2、ディレイ回路DLY、インバータIV
4、フリップフロップ回路FF1、インバータIV5に
よる経路で外部クロック信号CLKの立ち上がり時にデ
ィレイ回路DLYの遅延時間幅tのパルス信号が発生さ
れる。
In this double cycle clock signal generation circuit 17, when an external clock signal CLK is input and the double cycle operation enable signal is set to "L" level, the external clock signal CLK is output via a NAND gate NAND and an inverter IV1. The rising is detected, and the PMOS transistor TP, the NMOS transistors TN1 and TN2, the inverter IV2, the delay circuit DLY, and the inverter IV
4. A pulse signal having a delay time width t of the delay circuit DLY is generated at the time of rising of the external clock signal CLK through a path formed by the flip-flop circuit FF1 and the inverter IV5.

【0022】一方、否定論理積ゲートNAND、インバ
ータIV1、否定論理和ゲートNORを介して外部クロ
ック信号CLKの立ち下がりが検知され、NMOSトラ
ンジスタTN3,TN4、インバータIV2、ディレイ
回路DLY、インバータIV4、フリップフロップ回路
FF2、インバータIV6による経路で外部クロック信
号CLKの立ち下がり時にディレイ回路DLYの遅延時
間幅tのパルス信号が発生される。これにより、外部ク
ロック信号CLKの立ち上がり時、立ち下がり時に
“H”レベルとなる倍周期の内部クロック信号ICLK
を発生させることができる。
On the other hand, the falling of the external clock signal CLK is detected via a NAND gate NAND, an inverter IV1, and a NOR gate NOR, and NMOS transistors TN3 and TN4, an inverter IV2, a delay circuit DLY, an inverter IV4, and a flip-flop are detected. A pulse signal having a delay time width t of the delay circuit DLY is generated at the time of falling of the external clock signal CLK through a path formed by the flip-flop circuit FF2 and the inverter IV6. Thereby, the internal clock signal ICLK having a double cycle which becomes “H” level when the external clock signal CLK rises and falls.
Can be generated.

【0023】次に、本実施の形態の作用について、テス
トコマンド動作の概要、テストコマンド例、テストコマ
ンドの動作例とその等価動作例、テストコマンドへのエ
ントリ方法を順に、図4〜図9に基づいて説明する。
Next, regarding the operation of the present embodiment, an outline of the test command operation, an example of the test command, an example of the operation of the test command and its equivalent operation, and a method of entering the test command are shown in FIGS. It will be described based on the following.

【0024】テストコマンド動作は、図4に示すよう
に、外部クロック信号CLKの立ち上がり時に、テスト
モードを設定するテストコマンドCommand、アド
レスAddressとして“A”、データDinとして
“D”を入力する。これだけで、外部クロック信号CL
Kの立ち下がり時にもチップ内部でコマンド、アドレ
ス、データを発生することができる。
In the test command operation, as shown in FIG. 4, when the external clock signal CLK rises, a test command Command for setting a test mode, "A" is input as an address Address, and "D" is input as data Din. With this alone, the external clock signal CL
Commands, addresses, and data can be generated inside the chip even when K falls.

【0025】このテストコマンドの例を図5に示す。図
5において、ライトコマンドを“Write”、リード
コマンドを“Read”で表し、任意のアドレスを
“A”(保持),“A+1”(インクリメント),“/
A”(反転)とし、任意のデータを“D”(保持),
“/D”(反転)として示している。さらに、リードコ
マンドの場合には入力データがないので“−”で示し、
また“D*”の表示はライトのデータを先に取り込むも
のとする。
FIG. 5 shows an example of the test command. In FIG. 5, a write command is represented by "Write", a read command is represented by "Read", and arbitrary addresses are represented by "A" (hold), "A + 1" (increment), "/".
A ”(inverted), and arbitrary data as“ D ”(hold),
This is shown as “/ D” (inversion). Further, in the case of a read command, since there is no input data, it is indicated by "-",
In addition, the display of “D *” means that the write data is taken in first.

【0026】たとえば、テストコマンド“WW1”〜
“WW6”の入力では、外部クロック信号CLKの立ち
上がり時、立ち下がり時にともにライトコマンドWri
teが発生する。それぞれ、外部クロック信号CLKの
立ち上がり時のライトコマンドWriteは、アドレス
“A”に対してデータ“D”が割り当てられている。ま
た、外部クロック信号CLKの立ち下がり時のライトコ
マンドWriteは、アドレス“A”に対してデータ
“D”,“/D”、アドレス“A+1”に対してデータ
“D”,“/D”、アドレス“/A”に対してデータ
“D”,“/D”がそれぞれ割り当てられている。
For example, test commands "WW1" to
With the input of “WW6”, the write command Wri is used at both the rising and falling of the external clock signal CLK.
te occurs. In each of the write commands Write at the time of rising of the external clock signal CLK, data “D” is assigned to the address “A”. The write command Write at the time of the falling edge of the external clock signal CLK includes data “D” and “/ D” for the address “A”, data “D” and “/ D” for the address “A + 1”, Data “D” and “/ D” are assigned to the address “/ A”, respectively.

【0027】同様に、テストコマンド“WR1”〜“W
R3”の入力では、外部クロック信号CLKの立ち上が
り時にライトコマンドWrite、立ち下がり時にリー
ドコマンドReadが発生し、それぞれライトコマンド
Writeはアドレス“A”に対してデータ“D”、リ
ードコマンドReadはアドレス“A”,“A+1”,
“/A”に対してデータ“−”が割り当てられている。
Similarly, the test commands "WR1" to "W
At the input of R3 ", a write command Write occurs when the external clock signal CLK rises, and a read command Read occurs when the external clock signal CLK falls. The write command Write corresponds to the data" D "for the address" A ", and the read command Read corresponds to the address" A "," A + 1 ",
Data “−” is assigned to “/ A”.

【0028】また、テストコマンド“RR1”〜“RR
3”の入力では、外部クロック信号CLKの立ち上がり
時、立ち下がり時にともにリードコマンドReadが発
生し、それぞれアドレス“A”に対してデータ“−”、
アドレス“A”,“A+1”,“/A”に対してデータ
“−”が割り当てられている。
The test commands "RR1" to "RR1"
At the input of "3", a read command Read is generated at the time of rising and falling of the external clock signal CLK.
Data “−” is assigned to addresses “A”, “A + 1”, and “/ A”.

【0029】さらに、テストコマンド“RW1“〜“R
W3”の入力では、外部クロック信号CLKの立ち上が
り時にリードコマンドRead、立ち下がり時にライト
コマンドWriteが発生し、それぞれリードコマンド
Readはアドレス“A”に対してデータ“D*”、ラ
イトコマンドWriteはアドレス“A”,“A+
1”,“/A”に対してデータ“−”が割り当てられて
いる。
Further, the test commands "RW1" to "R
At the input of W3 ", a read command Read is generated when the external clock signal CLK rises, and a write command Write is generated when the external clock signal CLK falls. The read command Read is data" D * "for the address" A ", and the write command Write is the address. "A", "A +
Data “−” is assigned to “1” and “/ A”.

【0030】以上のように割り当てられたテストコマン
ドを入力することにより、リードコマンド、ライトコマ
ンドを実行させることができる。すなわち、最小のサイ
クルでテストする対象となるのは、リード/ライトのカ
ラムコマンドあり、従ってこのコマンドの組み合わせを
考え、1回のコマンドの入力によりチップ内部で連続し
たカラム動作を行わせることができる。
By inputting the test commands assigned as described above, a read command and a write command can be executed. That is, the target to be tested in the minimum cycle is a read / write column command. Therefore, considering a combination of these commands, a continuous column operation can be performed inside the chip by inputting a single command. .

【0031】このカラム動作におけるテストコマンドの
動作例を図6(a) に示し、図6(b)はこれと等価な動作
例のタイミングを示している。図6(a) においては、テ
ストコマンド“WW6”、アドレス“A”、データ
“D”を入力する例を示している。これと等価な動作タ
イミングは図6(b) のようになり、内部クロック信号I
CLKに同期して、1サイクル目にアドレス“A”にデ
ータ“D”がライトされ、2サイクル目にアドレス“/
A”にデータ“/D”がライトされる。また、アドレ
ス、データも、当サイクルと次サイクルで変わる場合を
考慮して、図5のように、アドレスについては保持/イ
ンクリメント/反転、データについては保持/反転など
の種別が設けられている。
FIG. 6A shows an operation example of the test command in this column operation, and FIG. 6B shows the timing of an operation example equivalent to this. FIG. 6A shows an example in which a test command “WW6”, an address “A”, and data “D” are input. The operation timing equivalent to this is as shown in FIG.
In synchronization with CLK, data “D” is written to address “A” in the first cycle, and address “/” is written in the second cycle.
Data "/ D" is written to A. Also, in consideration of the case where the address and the data change between this cycle and the next cycle, the address is held / incremented / inverted and the data is Are provided with types such as hold / reverse.

【0032】以上のようなテストモードへのエントリ方
法としては、モードレジスタセットコマンドを用いる場
合と、アドレスとカラムコマンドとを組み合わせる場合
とが考えられる。図7は、モードレジスタセットコマン
ドを使用する例で、そのアドレスコードの例は図8の通
りであり、また図9はアドレスと組み合わせたコマンド
を使用する例を示している。
As a method of entering the test mode as described above, there are a case where a mode register set command is used and a case where an address and a column command are combined. FIG. 7 shows an example in which a mode register set command is used. The example of the address code is as shown in FIG. 8, and FIG. 9 shows an example in which a command combined with an address is used.

【0033】図7のように、モードレジスタセットコマ
ンドを使用する場合には、図8のテストコマンドCom
mandにそれぞれ対応するテストモードのアドレスコ
ードAddress Codeを設定する。図8におい
ては、前記図5に示すテストコマンド“WW1”〜“W
W6”,“WR1”〜“WR3”,“RR1”〜“RR
3”,“RW1”〜“RW3”に対応して、それぞれア
ドレスコードは“A7”〜“A0”の16進による“#
C0”〜“#CE”が割り当てられている。
As shown in FIG. 7, when the mode register set command is used, the test command Com shown in FIG.
The address code of the test mode corresponding to each command is set. 8, the test commands "WW1" to "W1" shown in FIG.
W6 "," WR1 "to" WR3 "," RR1 "to" RR
In correspondence with “3” and “RW1” to “RW3”, the address code is “# 7” in hexadecimal “A7” to “A0”, respectively.
C0 "to"#CE"are assigned.

【0034】このモードレジスタセットコマンドの使用
によるエントリ方法では、通常のバースト長、レイテン
シーなどを設定するモードレジスタセットMRSの後
(アドレス“22”)、オペレーション期間で用いる動
作のMRST(MRS forTest)を入力する
(アドレス“C0”)。これにより、アドレスコード
“C0”に対応するテストモード“WW1”へ設定(E
ntry)されたことになる。さらに、連続して異なる
テストモードにおけるリード/ライトコマンドを実施し
たい場合には、その都度、MRSTを実施することによ
り、異なるテストモード“WW2”〜“WW6”,“W
R1”〜“WR3”,“RR1”〜“RR3”,“RW
1”〜“RW3”へのエントリが容易に可能となる。最
後にテストモードを終了する時は、モードレジスタセッ
トMRS(アドレス“22”)で設定をクリア(Exi
t)する。
In the entry method using the mode register set command, after the mode register set MRS for setting the normal burst length, latency, etc. (address "22"), the MRST (MRS for Test) of the operation used during the operation period is performed. Input (address “C0”). As a result, the test mode “WW1” corresponding to the address code “C0” is set (E
ntry). Further, when it is desired to successively execute read / write commands in different test modes, MRST is executed each time to execute different test modes “WW2” to “WW6”, “W
R1 ”to“ WR3 ”,“ RR1 ”to“ RR3 ”,“ RW
1 "to" RW3 "can be easily entered.When the test mode is finally ended, the setting is cleared by the mode register set MRS (address" 22 ") (Exi
t).

【0035】一方、図9のように、アドレスと組み合わ
せたコマンドを使用する場合には、カラムアドレスに使
用していない予備のアドレスピンがあれば、前記図5に
示すテストモードにおけるリード/ライトコマンドの設
定時に、この予備のアドレスピンによる、たとえばアド
レス“B”を同時に取り込む。これにより、直接、所望
とするテストモードにエントリすることができる。この
アドレスと組み合わせたコマンドを使用するエントリ方
法では、MRSコマンドを使用するエントリ方法に比べ
て、MRSTの設定が不要となるので、簡単かつ容易に
エントリを実現することができる。
On the other hand, when a command combined with an address is used as shown in FIG. 9, if there is a spare address pin not used for a column address, the read / write command in the test mode shown in FIG. , The address "B" by the spare address pin, for example, is taken in at the same time. Thus, it is possible to directly enter a desired test mode. In the entry method using the command combined with the address, the MRST setting is not required as compared with the entry method using the MRS command, so that the entry can be realized easily and easily.

【0036】従って、本実施の形態の半導体記憶装置に
よれば、倍周期クロック信号発生回路17、内部カラム
コマンド発生回路18、アドレス演算回路19、テスト
データ発生回路20を含むテストモード設定回路が備え
られることにより、外部クロック信号CLKからこの倍
周期の内部クロック信号ICLKを発生させ、外部クロ
ック信号CLKの立ち上がり時にコマンド、アドレス、
データを入力するだけで、外部クロック信号CLKの立
ち下がり時にもチップ内部でコマンド、アドレス、デー
タを発生するため、低速なテスタでも容易に高速なテス
トを行うことができる。
Therefore, according to the semiconductor memory device of the present embodiment, the test mode setting circuit including the double cycle clock signal generating circuit 17, the internal column command generating circuit 18, the address arithmetic circuit 19, and the test data generating circuit 20 is provided. As a result, the internal clock signal ICLK having the double cycle is generated from the external clock signal CLK, and the command, address,
Just by inputting data, commands, addresses, and data are generated inside the chip even at the time of falling of the external clock signal CLK, so that a high-speed test can be easily performed even with a low-speed tester.

【0037】これにより、たとえば133MHzなど、
100MHzを越えるような高速テスタを用いなくて
も、従来のEDO DRAMなどで使用していたテスタ
で測定でき、その結果、実際に高速で測定の必要な項目
は微小または皆無になるので、既存の設備で量産可能な
ため、テスティングコストを低減することができる。
Thus, for example, 133 MHz
Even if a high-speed tester exceeding 100 MHz is not used, measurement can be performed with a tester used in a conventional EDO DRAM or the like. Since it can be mass-produced with equipment, testing costs can be reduced.

【0038】以上、本発明者によってなされた発明をそ
の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前
記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the embodiment, and various modifications may be made without departing from the gist of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0039】たとえば、前記実施の形態においては、2
バンク16MビットSDRAMの例で説明したが、これ
に限定されるものではなく、4バンク、8バンク、さら
に多バンク化の傾向にあり、また64Mビット、256
Mビット、さらに大容量化の傾向にあるSDRAMにつ
いても広く適用可能であり、このように多バンク、大容
量の構成とすることにより本発明の効果はますます大き
くなる。
For example, in the above embodiment, 2
Although the description has been given of the example of the 16 Mbit SDRAM in the bank, the present invention is not limited to this, and there is a tendency to increase the number of banks to four banks, eight banks, and 64 Mbits, 256 banks.
The present invention is widely applicable to M-bit SDRAMs which have a tendency to have a larger capacity, and the effect of the present invention is further increased by adopting such a multi-bank, large-capacity configuration.

【0040】さらに、テストコマンドは図5に示すもの
に限らず、またアドレスコードも図8の例に限定される
ものではなく、テスト対象となる製品などに対応して変
更可能であることはいうまでもない。
Further, the test command is not limited to the one shown in FIG. 5, and the address code is not limited to the example shown in FIG. 8, but it can be changed according to the product to be tested. Not even.

【0041】また、SDRAMに適用した場合について
説明したが、SSRAMなどの外部クロック信号に同期
して動作する他の半導体記憶装置についても適用するこ
とができる。
Although the description has been given of the case where the present invention is applied to an SDRAM, the present invention can be applied to other semiconductor memory devices such as an SSRAM which operate in synchronization with an external clock signal.

【0042】[0042]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Advantageous effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described.
It is as follows.

【0043】(1).外部クロック信号の立ち上がり時のコ
マンド、アドレス、データの入力に続いて、この外部ク
ロック信号の立ち下がり時に内部でコマンド、アドレ
ス、データを発生するテストモード設定回路を有するこ
とで、外部クロック信号のクロックサイクルに対して内
部を2倍のクロックサイクルで動作させることができる
ので、低速なテスタでも容易に高速なテストが可能とな
る。
(1) A test mode setting circuit for internally generating a command, an address and data at the falling edge of the external clock signal following the input of the command, address and data at the rising edge of the external clock signal Therefore, since the internal operation can be performed at twice the clock cycle of the external clock signal, a high-speed test can be easily performed even with a low-speed tester.

【0044】(2).前記(1) により、たとえば100MH
zを越えるような高速テスタを用いなくても、低速テス
タで測定できるので、実際に高速で測定の必要な項目は
微小または皆無になるので、既存の設備で量産可能なた
め、テスティングコストを低減することが可能となる。
(2) According to the above (1), for example, 100 MH
Even without using a high-speed tester that exceeds z, measurement can be performed with a low-speed tester, so there are few or no items that need to be measured at high speed, so mass production can be performed with existing equipment. It becomes possible to reduce.

【0045】(3).最小のサイクルでテストする対象とな
るリード/ライトのカラムコマンドに適用することで、
このカラムコマンドの組み合わせにより1回のコマンド
の入力により内部で連続したカラム動作を実行させるこ
とが可能となる。
(3) By applying to a read / write column command to be tested in the minimum cycle,
With this combination of column commands, it becomes possible to execute a continuous column operation internally by one command input.

【0046】(4).アドレスおよびデータとコマンドとの
組み合わせも考慮して、アドレスは保持/インクリメン
ト/反転、データは保持/反転の種別からなることで、
アドレス、データが次のサイクルで変わる場合に対応す
ることが可能となる。
(4) In consideration of the combination of the address and the data and the command, the address has the type of holding / increment / inversion and the data has the type of holding / inversion.
It is possible to cope with a case where the address and data change in the next cycle.

【0047】(5).テストモードをモードレジスタセット
コマンドを用いてエントリする場合には、テストコマン
ドに対応したアドレスコードにより容易に設定すること
が可能となる。
(5) When the test mode is entered using the mode register set command, it is possible to easily set the test mode by using an address code corresponding to the test command.

【0048】(6).テストモードをアドレスと組み合わせ
たコマンドを用いてエントリする場合には、予備のアド
レスピンによるアドレスを用いて簡単かつ容易に設定す
ることが可能となる。
(6) When an entry is made using a command in which a test mode is combined with an address, it is possible to set the address simply and easily using an address using a spare address pin.

【0049】(7).前記(1) 〜(6) により、外部クロック
信号に同期して動作するSDRAM、SSRAMなどの
半導体記憶装置において、低速テスタによる高速なテス
トを可能とし、かつテスティングコストの低減が可能と
なり、動作周波数の高速化に対応することが可能とな
る。
(7) According to the above (1) to (6), in a semiconductor memory device such as an SDRAM or an SSRAM operating in synchronization with an external clock signal, a high-speed test can be performed with a low-speed tester, and the testing cost can be reduced. Can be reduced, and it is possible to cope with an increase in operating frequency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態である半導体記憶装置を
示す全体ブロック図である。
FIG. 1 is an overall block diagram showing a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、倍周期クロック信号発生回路の一例を示す回路図で
ある。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of a double cycle clock signal generation circuit in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図3】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、クロック信号を示す波形図である。
FIG. 3 is a waveform diagram showing a clock signal in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図4】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、テストコマンド動作の概要を示すタイミング図であ
る。
FIG. 4 is a timing chart showing an outline of a test command operation in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図5】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、テストコマンド例を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a test command in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図6】(a),(b) は本発明の一実施の形態の半導体記憶
装置において、テストコマンドの動作例とその等価動作
例を示すタイミング図である。
FIGS. 6A and 6B are timing charts showing an operation example of a test command and an equivalent operation example thereof in the semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention;

【図7】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、テストコマンドへのエントリ方法を示すタイミング
図である。
FIG. 7 is a timing chart showing a method for entering a test command in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図8】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、アドレスコード例を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of an address code in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図9】本発明の一実施の形態の半導体記憶装置におい
て、テストコマンドへの他のエントリ方法を示すタイミ
ング図である。
FIG. 9 is a timing chart showing another method for entering a test command in the semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention;

【図10】本発明の前提となる半導体記憶装置におい
て、テストコマンドの動作例を示すタイミング図であ
る。
FIG. 10 is a timing chart showing an operation example of a test command in a semiconductor memory device as a premise of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 メモリアレイバンク 3,4 ロウデコーダ 5,6 カラムデコーダ 7,8 センスアンプ&入出力バス 9 ロウアドレスバッファ 10 カラムアドレスバッファ 11 カラムアドレスカウンタ 12 リフレッシュカウンタ 13 入力バッファ 14 出力バッファ 15 制御論理&タイミング発生器 16 テスト回路 17 倍周期クロック信号発生回路 18 内部カラムコマンド発生回路 19 アドレス演算回路 20 テストデータ発生回路 NAND 否定論理積ゲート IV1〜IV7 インバータ NOR 否定論理和ゲート TP PMOSトランジスタ TN1〜TN4 NMOSトランジスタ DLY ディレイ回路 FF1,FF2 フリップフロップ回路 1, 2 memory array bank 3, 4 row decoder 5, 6 column decoder 7, 8 sense amplifier & input / output bus 9 row address buffer 10 column address buffer 11 column address counter 12 refresh counter 13 input buffer 14 output buffer 15 control logic & Timing generator 16 Test circuit 17 Double cycle clock signal generation circuit 18 Internal column command generation circuit 19 Address operation circuit 20 Test data generation circuit NAND NAND gates IV1 to IV7 Inverter NOR NOR gate TP PMOS transistors TN1 to TN4 NMOS transistors DLY delay circuit FF1, FF2 flip-flop circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11C 11/413 G01R 31/28 V 11/407 G11C 11/34 341D 11/401 362S 371A ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G11C 11/413 G01R 31/28 V 11/407 G11C 11/34 341D 11/401 362S 371A

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の周期の外部クロック信号によるテ
ストモードを搭載した半導体記憶装置であって、前記外
部クロック信号の立ち上がり時にコマンド、アドレス、
データが入力されると、この外部クロック信号の立ち上
がり時に続いてこの外部クロック信号の立ち下がり時に
内部でコマンド、アドレス、データを発生するテストモ
ード設定回路を有し、前記外部クロック信号のクロック
サイクルに対して内部を2倍のクロックサイクルで動作
させることを特徴とする半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device equipped with a test mode using an external clock signal having a predetermined period, wherein a command, an address,
When data is input, a test mode setting circuit that internally generates a command, an address, and data at the time of falling of the external clock signal following the rising of the external clock signal is provided. A semiconductor memory device characterized in that the inside operates with twice the number of clock cycles.
【請求項2】 請求項1記載の半導体記憶装置であっ
て、前記コマンドはリード/ライトのカラムコマンドで
あり、このカラムコマンドの組み合わせにより1回のコ
マンドの入力により内部で連続したカラム動作を実行さ
せることを特徴とする半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the command is a read / write column command, and a continuous column operation is internally executed by a single command input by a combination of the column commands. A semiconductor memory device characterized in that:
【請求項3】 請求項2記載の半導体記憶装置であっ
て、前記アドレスは保持/インクリメント/反転の種別
からなり、かつ前記データは保持/反転の種別からな
り、このアドレスおよびデータと前記コマンドとの組み
合わせも考慮することを特徴とする半導体記憶装置。
3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein said address has a type of hold / increment / inversion, and said data has a type of hold / inversion, and said address and data and said command and Semiconductor storage device, which also considers combinations of the following.
【請求項4】 請求項1記載の半導体記憶装置であっ
て、前記テストモード設定回路におけるテストモード
は、モードレジスタセットコマンドを用いてエントリさ
れること特徴とする半導体記憶装置。
4. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein a test mode in said test mode setting circuit is entered using a mode register set command.
【請求項5】 請求項1記載の半導体記憶装置であっ
て、前記テストモード設定回路におけるテストモード
は、アドレスと組み合わせたコマンドを用いてエントリ
されること特徴とする半導体記憶装置。
5. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the test mode in said test mode setting circuit is entered using a command combined with an address.
【請求項6】 請求項1、2、3、4または5記載の半
導体記憶装置であって、前記半導体記憶装置は、シンク
ロナスDRAMであることを特徴とする半導体記憶装
置。
6. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein said semiconductor memory device is a synchronous DRAM.
JP10111637A 1998-04-22 1998-04-22 Semiconductor memory device Pending JPH11306797A (en)

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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2373906A (en) * 2000-12-18 2002-10-02 Hynix Semiconductor Inc High speed wafer level test of a semiconductor memory device
US6634002B1 (en) 2000-04-07 2003-10-14 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Test circuit of semiconductor memory
US6868020B2 (en) 2002-07-09 2005-03-15 Elpida Memory, Inc. Synchronous semiconductor memory device having a desired-speed test mode
KR100493027B1 (en) * 2002-10-01 2005-06-07 삼성전자주식회사 Semiconductor device comprising frequency multiplier of external clock and output buffer of test data and semiconductor test method
US7016257B2 (en) 2003-03-13 2006-03-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device capable of generating variable clock signals according to modes of operation
KR100588595B1 (en) 2005-04-22 2006-06-14 삼성전자주식회사 Method of generating internal clock for semiconductor memory device and semiconductor memory device using the same
US7151713B2 (en) 2002-05-29 2006-12-19 Elpida Memory Inc. Semiconductor memory device
KR100763248B1 (en) 2006-07-07 2007-10-04 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device and method to embody spa mode of the same
JP2008538045A (en) * 2005-03-18 2008-10-02 イナパック テクノロジー インコーポレイテッド Integrated circuit test module
US7516384B2 (en) 2005-01-24 2009-04-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory testing device and test method using the same
US7587645B2 (en) * 2005-01-24 2009-09-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Input circuit of semiconductor memory device and test system having the same
US9116210B2 (en) 2001-09-28 2015-08-25 Rambus Inc. Integrated circuit testing module including signal shaping interface

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6634002B1 (en) 2000-04-07 2003-10-14 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Test circuit of semiconductor memory
US6661735B2 (en) 2000-12-18 2003-12-09 Hynix Semiconductor Inc. Semiconductor memory device
GB2373906B (en) * 2000-12-18 2004-12-01 Hynix Semiconductor Inc Semiconductor memory device
GB2373906A (en) * 2000-12-18 2002-10-02 Hynix Semiconductor Inc High speed wafer level test of a semiconductor memory device
US10114073B2 (en) 2001-09-28 2018-10-30 Rambus Inc. Integrated circuit testing
US9116210B2 (en) 2001-09-28 2015-08-25 Rambus Inc. Integrated circuit testing module including signal shaping interface
US7414914B2 (en) 2002-05-29 2008-08-19 Elpida Memory, Inc. Semiconductor memory device
US8040751B2 (en) 2002-05-29 2011-10-18 Elpida Memory, Inc. Semiconductor memory device
US7151713B2 (en) 2002-05-29 2006-12-19 Elpida Memory Inc. Semiconductor memory device
US7573778B2 (en) 2002-05-29 2009-08-11 Elpida Memory, Inc. Semiconductor memory device
US6868020B2 (en) 2002-07-09 2005-03-15 Elpida Memory, Inc. Synchronous semiconductor memory device having a desired-speed test mode
KR100493027B1 (en) * 2002-10-01 2005-06-07 삼성전자주식회사 Semiconductor device comprising frequency multiplier of external clock and output buffer of test data and semiconductor test method
US7016257B2 (en) 2003-03-13 2006-03-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device capable of generating variable clock signals according to modes of operation
US7516384B2 (en) 2005-01-24 2009-04-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory testing device and test method using the same
US7587645B2 (en) * 2005-01-24 2009-09-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Input circuit of semiconductor memory device and test system having the same
JP2008538045A (en) * 2005-03-18 2008-10-02 イナパック テクノロジー インコーポレイテッド Integrated circuit test module
KR100588595B1 (en) 2005-04-22 2006-06-14 삼성전자주식회사 Method of generating internal clock for semiconductor memory device and semiconductor memory device using the same
KR100763248B1 (en) 2006-07-07 2007-10-04 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device and method to embody spa mode of the same
US7853840B2 (en) 2006-07-07 2010-12-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device and methods thereof

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