JPH11287681A - 超音波流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塵や埃、水滴等が超音波センサの表面に付着
することによる測定性能の劣化を防止する。 【解決手段】 超音波センサ６を直接あるいは間接的に
振動させる振動手段８と、振動手段８を制御する振動制
御手段９を備え、振動手段８が超音波センサ６を振動す
るようにしている。これによって超音波センサ６を振動
手段８によって振動させるていので、超音波センサ６の
表面に付着した埃や塵または水滴等が除去され、流量計
測を安定に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波によって気
体や液体の流量を計測する超音波流量計に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の超音波流量計は特開９−
２１６６６号公報に記載されているようなものが一般的
であった。この超音波流量計は図 に示されているよう
に測定流路１に超音波透過膜２を設け、超音波センサ３
の表面に埃や塵または水滴などが付着しないように構成
されており、埃や塵または水滴が超音波センサ３に付着
することによって起こる超音波センサ３の特性が変化す
ることを防止し、安定した測定ができるようになってい
た。あるいは測定流路１の上流側にフィルター４を設け
埃や塵などが超音波センサに付着することを防止してい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の超音波流量計では、透過膜２の表面にも埃や塵または
水滴等が付着するため伝搬中の超音波信号信号の波形が
変形したりレベルが小さくなってしまい、精度の高い測
定を安定して行うことができない、またフィルター４で
は外形が大型化し、なおかつ定期的なメンテナンスが必
要であるため、長期にわたり被測定流体中にある埃や塵
または水滴等に影響されない超音波流量計の実現という
課題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため超音波センサを直接あるいは間接的に振動させ
る振動手段と、前記振動手段を制御する振動制御手段を
備え、前記振動手段が前記超音波センサを振動させるよ
うにしたものである。

【０００５】上記発明によれば、前記超音波センサを前
記振動手段によって振動させるので、前記超音波センサ
の表面に付着した埃や塵または水滴等が除去され、流量
計測を安定に行うことができる。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１にかかる超音波
流量計は、測定流路と、前記測定流路に設置した超音波
センサと、前記超音波センサによって被測定流体に超音
波を送信または受信し超音波の伝搬時間より流量を演算
によって求める流量計測手段と、前記超音波センサを直
接あるいは間接的に振動させる振動手段と、前記振動手
段を制御する振動制御手段を備える。そして、前記超音
波センサを前記振動手段によって振動させるので、前記
超音波センサの表面に付着した埃や塵または水滴等が除
去され、流量計測を安定に行うことができる。

【０００７】また本発明の請求項２にかかる超音波流量
計は、振動制御手段は振動手段の振動周波数を変え前記
振動手段を振動させるので、超音波センサへの付着物が
もっとも効果的に除去できる周波数で振動するように前
記振動部を振動させることにより、水滴と埃のような大
きさや重さの異なる付着物をそれぞれが除去できる周波
数で効果的に除去することができる。さらに前記振動制
御部が流量計測で超音波センサが使用する周波数を避け
て振動させるので、流量計測に影響を与えることなく前
記超音波センサの付着物を除去することができ、流量計
測を安定に行うことができる。

【０００８】また本発明の請求項３にかかる超音波流量
計は、測定流路と、前記測定流路に設置した超音波セン
サと、前記超音波センサによって被測定流体に超音波を
送信または受信し超音波の伝搬時間より流量を演算によ
って求める流量計測手段と、前記超音波センサを直接あ
るいは間接的に１０Ｈｚ以上で振動させる振動手段と、
前記振動手段を制御する振動制御手段と、地震を検知す
る地震検知手段を備える。そして前記振動手段は１０Ｈ
ｚ以上で振動させ、地震は通常１０Ｈｚ以下で振動する
ため前記地震検知手段は地震と前記振動手段の動作によ
る振動とを判別することができ、前記振動手段の動作を
地震と誤検知を防止できる。

【０００９】また本発明の請求項４にかかる超音波流量
計は、振動手段が超音波センサを電気的に駆動するセン
サ駆動部を有する。そして、前記振動手段は超音波セン
サにパルス信号を印可することによって前記超音波セン
サを振動させ、前記超音波センサに付着した物質を除去
するので、モータなどの駆動部を必要とせず簡単な構成
で前記超音波センサを振動させることができる。

【００１０】また本発明の請求項５にかかる超音波流量
計は、センサ駆動部が流量測定時に比べ超音波センサを
高電圧で駆動する高電圧駆動部有する。そして、前記セ
ンサ駆動部は前記超音波センサを高電圧で駆動するの
で、前記超音波センサが流量測定時に比べ大きく振動し
流量測定時に除去できなかった付着物を除去することが
できる。

【００１１】また本発明の請求項６にかかる超音波流量
計は、振動制御手段が超音波センサの受信レベルが所定
の値以下のとき振動手段を動作させる受信信号低レベル
判定手段を有する。そして前記受信信号低レベル判定手
段は、前記超音波センサの受信レベルが低下し所定レベ
ル以下となったとき前記振動手段を振動させ、前記超音
波センサに付着した物質を除去するので、前記超音波セ
ンサの受信信号レベル低下のために流量の測定ができな
くなることを確実に防止することができる。

【００１２】また本発明の請求項７にかかる超音波流量
計は、振動制御手段が超音波センサの受信レベルを監視
する受信レベル監視手段と、受信レベル監視手段の出力
を受ける報知手段を有する。そして受信レベル監視手段
は前記振動手段の動作開始から前記超音波センサの受信
出力を監視し、前記超音波センサの受信レベルが時間経
過とともに変化しない場合、付着物の除去が不可能ある
いは付着物以外の原因で前記超音波センサの性能低下が
起こったと判断し、ブザーあるいは表示あるいは外部へ
の信号送信によって知らせるので、流量測定が不可能と
なることを未然に防ぐことができ、安定した流量測定を
行うことができる。

【００１３】また本発明の請求項８にかかる超音波流量
計は、振動制御手段は流量計測手段の出力を受け振動手
段の駆動を開始する流量判定手段を有する。そして、前
記振動制御手段は前記流量計測手段の出力が所定の流量
以上のときに前記振動手段の駆動を開始する、そのため
被測定流体の流れが付着物へ与える力と前記振動手段の
振動による力との合力が前記超音波センサへ付着した物
質に加わるため、強固に付着した物質であっても効果的
に付着物を除去することができる。

【００１４】また本発明の請求項９にかかる超音波流量
計は、振動制御手段は流量計測手段の出力を受け、計測
した流量の積算値が一定以上に達する毎に振動手段の駆
動を開始する積算流量判定手段を有する。そして、超音
波センサへ付着する埃、塵等の量は流量の積算値にほぼ
比例する。測定した流量が所定の値となる毎に前記振動
手段が前記超音波センサを振動させるので前記超音波セ
ンサの性能低下が一定以上起こらないようにすることが
でき、安定した流量測定を行うことができる。

【００１５】また本発明の請求項１０にかかる超音波流
量計は、振動制御手段は温度変化が所定の値の時に振動
手段を動作させる温度検知手段を有する。そして、前記
振動制御手段はあらかじめ設定した値以上の温度変化が
おこったことを前記温度検知手段で検知すると、前記振
動手段を動作させ超音波センサを振動させるので、温度
変化によって水滴が前記超音波センサに結露した場合で
あっても、流量測定に影響が出る前に結露を除去し安定
な流量測定をすることができる。

【００１６】また本発明の請求項１１にかかる超音波流
量計は、振動制御手段は温度が氷点以下になる前に振動
手段を動作させる氷点温度検知手段を有する。そして、
前記振動制御手段は氷点温度検知手段が氷点以下になる
ことを検知した場合前記振動手段を動作させ、超音波セ
ンサの表面に付着した水滴を除去し、水滴が氷になりセ
ンサの送受信性能が低下することを未然に防止するの
で、安定した流量測定を行うことができる。

【００１７】また本発明の請求項１２にかかる超音波流
量計は、振動制御手段は湿度が所定の値の時に振動手段
の動作を開始する湿度検知手段を有する。そして、前記
振動制御手段は湿度検知手段によって高湿度を検知した
とき、振動手段を動作させ超音波センサへ結露した水滴
を除去するので、流量測定に影響が出る前に結露を除去
し安定な流量測定をすることができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。

【００１９】（実施例１）図１は本発明の実施例１の全
体のブロック図を示す。また図２は振動手段４の詳細な
図である。

【００２０】図１において、測定流路５と測定流路５に
設置した超音波センサ６と、超音波センサ６によって被
測定流体に超音波を送信または受信し超音波の伝搬時間
より流量を演算によって求める流量計測手段７と、超音
波センサ６を直接あるいは間接的に振動させる振動手段
８と、振動手段８を制御する振動制御手段９と、流量計
測手段７と振動制御手段９を制御する制御部１０を備え
る。

【００２１】次に動作、作用について説明すると、流量
計測手段７は超音波センサ６によって被測定流体に超音
波を伝搬させその伝搬時間を測定する。伝搬時間は被測
定流体の流速に対応して変化するため、流量計測手段７
は測定結果の伝搬時間から演算によって被測定流体の流
速を求め、測定流路５の断面積を掛けることによって流
量を求めている。制御部１０は流量測定と次回の流量測
定の間に振動制御手段９に信号を出力する。振動制御手
段１０は振動手段９を動作させる。振動手段９は測定流
路５に取り付けたモータ１１と、モータ１１の軸に重心
をずらして取り付けた重り１２によって構成され、モー
タ１１が回転すると重り１２が回転しその時に発生する
モータ１１の振動が測定流路５を介して超音波センサ６
に伝わる。超音波センサ６では表面に付着した塵や埃、
水滴などがこの振動によって振るい落とされ、超音波セ
ンサ６の表面の付着物は除去される。

【００２２】この構成によると測定流路５を振動させる
ため、測定流路１内面の付着物も振るい落とすことがで
き、測定流路５の断面積が変化することを防止すると同
時に、被測定流体の流れが乱れることを防止し、精度よ
く安定して流量測定ができるという効果が有る。

【００２３】なおここでは振動手段８をモータを動力と
した構成としたが、圧電体等他の動力を用いても同様の
効果が得られる。

【００２４】（実施例２）図３は本発明の実施例２の振
動手段４の駆動パターンの例を示す。

【００２５】本実施例２において、実施例１と異なる点
は振動制御手段９が振動手段８の振動周波数を変化させ
振動させる点である。

【００２６】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。次に動作、作用を説明する
と、振動制御手段９は振動手段４が図３に示すようなパ
ターンで振動周波数を発生させるように振動手段８であ
るモータ１１を回転させる。設定した周波数は塵、埃、
大きい水滴、小さい水滴がそれぞれ効率よく除去できる
周波数であり、すべての付着物が超音波センサ６から除
去される。また超音波センサ６が使用する周波数で振動
手段８が振動しない制御となっているので、振動手段８
の動作中に超音波センサ６から不要な信号が出力される
ことはない。

【００２７】（実施例３）図４は本発明の実施例３の全
体のブロック図である。

【００２８】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例３において、実施
例１と異なる点は振動手段８が、超音波センサ６を直接
あるいは間接的に所定値以上（好ましくは１０Ｈｚ以
上）で振動させる点と、測定流路５を閉止する閉止弁１
３と、地震を検知し閉止弁１３を閉止させると同時に制
御部１０へ地震検知信号を出力する地震検知手段１４を
備えた点である。

【００２９】次に動作、作用を説明すると、地震を検知
する地震検知手段１４は地震の発生を検知し閉止弁１３
を閉止することによって、地震発生時に流路の破損など
異常があっても被害を最低限度に押さえる。この地震検
知手段４は比較的低周波の振動を検知する構成になって
おり、地震の周波数である１０Ｈｚ以上の振動には反応
しないようになっている。このため振動手段８が１０Ｈ
ｚ以上の振動を発生させた場合であっても、地震検知手
段１４がこの振動を地震の振動と検知することはなく、
閉止弁１０を閉止することはない。

【００３０】（実施例４）図５は本発明の実施例４の全
体のブロック図である。

【００３１】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例４において、実施
例１と異なる点は超音波センサ６が振動手段８を兼ねて
おり、振動制御手段９が電気的に超音波センサ６を駆動
する駆動回路１５となっている点である。

【００３２】次に動作、作用を説明すると、駆動回路１
５は制御部１０から駆動開始の信号を受けると、超音波
センサ６に駆動パルス信号を出力する。超音波センサ６
はこの駆動パルス信号によって振動し、超音波センサ６
に付着した物質が振るい落とされる。

【００３３】（実施例５）図６は本発明の実施例５の全
体のブロック図である。

【００３４】なお、実施例４と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例５において、実施
例４と異なる点は駆動回路１５が流量測定時と比較して
高電圧で超音波センサ６を駆動する高圧ドライブ回路１
６と、高圧電圧発生手段１７になっている点である。

【００３５】次に動作作用を説明すると、高圧ドライブ
回路１６は超音波センサ６を高電圧で駆動するので、超
音波センサ６が流量測定時に比べ大きく振動し流量測定
時に除去できなかった付着物を除去することができる。

【００３６】（実施例６）図７は本発明の実施例６の全
体のブロック図である。また図８は受信信号低レベル判
定手段の詳細な図である。

【００３７】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例６において、実施
例１と異なる点は、振動制御手段９が超音波センサ６の
受信レベルが所定の値以下のとき振動手段８を動作させ
る受信信号低レベル判定手段１８を有することである。
受信信号低レベル判定手段１８は、基準電圧１９と超音
波センサ６の受信信号とを入力とするコンパレータ２０
によって構成され、超音波センサ６の受信信号レベルが
基準電圧２０の値以下の場合コンパレータ１９の出力に
よって振動手段８を駆動し振動を発生させる。、次に動
作作用を説明すると、超音波センサ６の受信信号レベル
は超音波センサ６に付着した塵や埃、水滴等の影響によ
って低くなる。超音波センサ６の受信信号レベルが所定
の値まで、たとえば本実施例の場合基準電圧１９より小
さくなると、振動手段８が振動し超音波センサ６に付着
した塵や埃、水滴等が超音波センサ６から除去される。
その結果超音波センサ６の受信信号レベルは大きくな
り、基準電圧１９より大きくなると振動手段８の動作は
停止する。この動作によって、超音波センサ６の受信信
号レベルはほぼ一定の値に保たれ、安定な流量測定を行
うことができる。

【００３８】（実施例７）図９は本発明の実施例７の全
体のブロック図である。

【００３９】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例７において、実施
例１と異なる点は、振動制御手段９が超音波センサ６の
受信レベルを監視する受信レベル監視手段２１と、受信
レベル監視手段２１の出力を受ける報知手段である表示
部２２を有することである。

【００４０】次に動作作用を説明すると、受信レベル監
視手段２１は振動手段８の動作開始から超音波センサ６
の受信出力を監視し、超音波センサ６の受信レベルが時
間経過とともに変化しない場合、付着物の除去が不可能
あるいは付着物以外の原因で超音波センサ６の性能低下
が起こったと判断し、表示部２２によって知らせる。

【００４１】（実施例８）図１０は本発明の実施例８の
全体のブロック図である。

【００４２】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例８において、実施
例１と異なる点は、振動制御手段９は流量計測手段７の
出力を受け振動手段８の駆動を開始する流量判定手段２
３を有することである。

【００４３】動作作用を説明すると、振動制御手段９は
流量計測手段７の出力があらかじめ設定した流量以上の
ときに振動手段８の駆動を開始する、そのため被測定流
体の流れが付着物へ与える力と振動手段８の振動による
力との合力が超音波センサ６へ付着した物質に加わるの
で、強固に付着した物質であっても効果的に除去する。

【００４４】（実施例９）図１１は本発明の実施例９の
全体のブロック図である。

【００４５】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例９において、実施
例１と異なる点は、振動制御手段９は流量計測手段７の
出力を受け、計測した流量の積算値が一定以上に達する
毎に振動手段８の駆動を開始する積算流量判定手段２４
を有することである。

【００４６】動作作用を説明すると、超音波センサ６へ
付着する埃、塵等の量は流量の積算値にほぼ比例する。
測定した流量が所定の値となる毎に振動手段８が超音波
センサ６を振動させるので超音波センサ６の性能低下が
一定以上起こらないようにすることができ、安定した流
量測定を行うことができる。

【００４７】（実施例１０）図１２は本発明の実施例１
０の全体のブロック図である。

【００４８】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例１０において、実
施例１と異なる点は、振動制御手段９は温度変化が所定
の値の時に振動手段８を動作させる温度検知手段２５を
有することである。

【００４９】動作作用を説明すると、振動制御手段９は
温度検知手段２５によって所定以上の温度変化がおこっ
たことを検知したとき、振動手段８を動作させ超音波セ
ンサ６を振動させる。温度変化によって前記超音波セン
サ６に水滴が結露していたものがこの振動で振り落とさ
れ、流量測定に影響が出る前に結露を除去する。

【００５０】（実施例１１）図１３は本発明の実施例１
１の全体のブロック図である。

【００５１】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例１１において、実
施例１と異なる点は、振動制御手段９が温度が氷点以下
になる前に振動手段８を動作させる氷点温度検知手段２
６を有することである。

【００５２】動作作用を説明すると、氷点温度検知手段
２６は温度が氷点以下になることを検知したとき、振動
手段８を動作させる。超音波センサ６の表面に付着した
水滴を除去し、超音波センサ６の表面に付着した水滴が
氷変化し超音波センサ６の送受信性能が低下することを
未然に防止する。

【００５３】（実施例１２）図１４は本発明の実施例１
２の全体のブロック図である。

【００５４】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
造を有し、説明は省略する。本実施例１２において、実
施例１と異なる点は、振動制御手９は湿度が所定の値の
時に振動手段８の動作を開始する湿度検知手段２７を有
することである。

【００５５】動作作用を説明すると、振動制御手段９は
湿度検知手段２７によって高湿度を検知したとき、振動
手段８を動作させる。超音波センサ６へ結露した水滴を
除去し、超音波センサ６の表面に水滴が付着することに
よって送受信性能が低下することを未然に防止する。

【００５６】

【発明の効果】以上の説明から明かのように本発明の超
音波流量計によれば次の効果を奏する。

【００５７】請求項１に係る超音波流量計は、前記超音
波センサを前記振動手段によって振動させるので、前記
超音波センサの表面に付着した埃や塵または水滴等が除
去され、流量計測を安定に行うことができる。

【００５８】また本発明の請求項２にかかる超音波流量
計は、振動制御手段は振動手段の振動周波数を変え前記
振動手段を振動させるので、超音波センサへの付着物が
もっとも効果的に除去できる周波数で振動するように前
記振動部を振動させることにより、水滴と埃のような大
きさや重さの異なる付着物をそれぞれが除去できる周波
数で効果的に除去することができる。さらに前記振動制
御部が流量計測で超音波センサが使用する周波数を避け
て振動させるので、流量計測に影響を与えることなく前
記超音波センサの付着物を除去することができ、流量計
測を安定に行うことができる。

【００５９】また前記振動手段は１０Ｈｚ以上で振動さ
せ、地震は通常１０Ｈｚ以下で振動するため前記地震検
知手段は地震と前記振動手段の動作による振動とを判別
することができ、前記振動手段の動作を地震と誤検知を
防止できるので、安定した流量測定ができる。

【００６０】また、前記振動手段は超音波センサにパル
ス信号を印可することによって前記超音波センサを振動
させ、前記超音波センサに付着した物質を除去するの
で、モータなどの駆動部を必要とせず簡単な構成で前記
超音波センサを振動させることができる。

【００６１】また、前記センサ駆動部は前記超音波セン
サを高電圧で駆動するので、前記超音波センサが流量測
定時に比べ大きく振動し流量測定時に除去できなかった
付着物を除去することができる。

【００６２】また前記受信信号低レベル判定手段は、前
記超音波センサの受信レベルが低下し所定レベル以下と
なったとき前記振動手段を振動させ、前記超音波センサ
に付着した物質を除去するので、前記超音波センサの受
信信号レベル低下のために流量の測定ができなくなるこ
とを確実に防止することができる。

【００６３】また受信レベル監視手段は前記振動手段の
動作開始から前記超音波センサの受信出力を監視し、前
記超音波センサの受信レベルが時間経過とともに変化し
ない場合、付着物の除去が不可能あるいは付着物以外の
原因で前記超音波センサの性能低下が起こったと判断
し、ブザーあるいは表示あるいは外部への信号送信によ
って知らせるので、流量測定が不可能となることを未然
に防ぐことができ、安定した流量測定を行うことができ
る。

【００６４】また前記振動制御手段は前記流量計測手段
の出力が所定の流量以上のときに前記振動手段の駆動を
開始する、そのため被測定流体の流れが付着物へ与える
力と前記振動手段の振動による力との合力が前記超音波
センサへ付着した物質に加わるため、強固に付着した物
質であっても効果的に付着物を除去することができる。

【００６５】また超音波センサへ付着する埃、塵等の量
は流量の積算値にほぼ比例する。測定した流量が所定の
値となる毎に前記振動手段が前記超音波センサを振動さ
せるので前記超音波センサの性能低下が一定以上起こら
ないようにすることができ、安定した流量測定を行うこ
とができる。

【００６６】また前記振動制御手段は温度検知手段によ
って所定以上の温度変化がおこった場合前記振動手段を
動作させ、超音波センサを振動させるので、温度変化に
よって水滴が前記超音波センサに結露した場合であって
も、流量測定に影響が出る前に結露を除去し安定な流量
測定をすることができる。

【００６７】また前記振動制御手段は氷点温度検知手段
が氷点以下になることを検知した場合前記振動手段を動
作させ、超音波センサの表面に付着した水滴を除去し、
水滴が氷になりセンサの送受信性能が低下することを未
然に防止するので、安定した流量測定を行うことができ
る。

【００６８】また前記振動制御手段は湿度検知手段によ
って高湿度を検知したとき、振動手段を動作させ超音波
センサへ結露した水滴を除去するので、流量測定に影響
が出る前に結露を除去し安定な流量測定をすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１における超音波流量計の全体
のブロック図

【図２】同超音波流量計の振動手段部分の詳細な図

【図３】本発明の実施例２における超音波流量計の全体
のブロック図

【図４】本発明の実施例３における超音波流量計の全体
のブロック図

【図５】本発明の実施例４における超音波流量計の全体
のブロック図

【図６】本発明の実施例５における超音波流量計の全体
のブロック図

【図７】本発明の実施例６における超音波流量計の全体
のブロック図

【図８】同超音波流量計の受信信号低レベル判定手段部
分の詳細な図

【図９】本発明の実施例７における超音波流量計の全体
のブロック図

【図１０】本発明の実施例８における超音波流量計の全
体のブロック図

【図１１】本発明の実施例９における超音波流量計の全
体のブロック図

【図１２】本発明の実施例１０における超音波流量計の
全体のブロック図

【図１３】本発明の実施例１１における超音波流量計の
全体のブロック図

【図１４】本発明の実施例１２における超音波流量計の
全体のブロック図

【図１５】従来の超音波流量計の全体のブロック図

【符号の説明】 ５ 測定流路 ６ 超音波センサ ７ 流量計測手段 ８ 振動手段 ９ 振動制御手段 １３ 振動検知手段 １５ 駆動回路 １６ 高圧ドライブ回路 １８ 受信信号低レベル判定手段 ２１ 受信レベル監視手段 ２２ 表示部 ２３ 流量判定手段 ２４ 積算流量判定手段 ２５ 温度検知手段 ２６ 氷点温度検知手段 ２７ 湿度検知手段

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定流路と、前記測定流路に設置した超音
   波センサと、前記超音波センサによって被測定流体に超
   音波を伝搬させ超音波の伝搬時間から流量を演算によっ
   て求める流量計測手段と、前記超音波センサを直接ある
   いは間接的に振動させる振動手段と、前記振動手段を制
   御する振動制御手段を備えた超音波流量計。
2. 【請求項２】振動手段は振動制御手段によって振動周波
   数を変え振動する請求項１記載の超音波流量計。
3. 【請求項３】測定流路と、前記測定流路に設置した超音
   波センサと、前記超音波センサによって被測定流体に超
   音波を伝搬させ超音波の伝搬時間から流量を演算によっ
   て求める流量計測手段と、前記超音波センサを直接ある
   いは間接的に所定値以上の振動数で振動させる振動手段
   と、前記振動手段を制御する振動制御手段と、地震を検
   知する地震検知手段を備えた超音波流量計。
4. 【請求項４】振動手段は超音波センサを電気的に駆動す
   るセンサ駆動部を有する請求項１ないし３のいずれか１
   項に記載の超音波流量計。
5. 【請求項５】センサ駆動部は流量測定時に比べ超音波セ
   ンサを高電圧で駆動する高電圧駆動部を有する請求項４
   記載の超音波流量計。
6. 【請求項６】振動制御手段は超音波センサの受信レベル
   が所定の値以下のとき振動手段を動作させる受信信号低
   レベル判定手段を有する請求項１ないし５のいずれか１
   項に記載の超音波流量計。
7. 【請求項７】振動制御手段は超音波センサの受信レベル
   を監視する受信レベル監視手段と、受信レベル監視手段
   の出力を受ける報知手段を有する請求項１ないし５のい
   ずれか１項に記載超音波流量計。
8. 【請求項８】振動制御手段は流量計測手段の出力を受け
   振動手段の駆動を開始する流量判定手段を有する請求項
   １ないし５のいずれか１項に記載の超音波流量計。
9. 【請求項９】振動制御手段は流量計測手段の出力を受
   け、その積算量が一定以上に達した場合振動手段の駆動
   を開始する積算流量判定手段を有する請求項１ないし５
   のいずれか１項に記載の超音波流量計。
10. 【請求項１０】振動制御手段は温度変化が所定の値の時
    に振動手段を動作させる温度検知手段を有する請求項１
    ないし５のいずれか１項に記載の超音波流量計。
11. 【請求項１１】振動制御手段は温度が氷点以下になる前
    に振動手段を動作させる氷点温度検知手段を有する請求
    項１ないし５のいずれか１項に記載の超音波流量計。
12. 【請求項１２】振動制御手段は湿度が所定の値の時に振
    動手段の動作を開始する湿度検知手段を有する請求項１
    ないし５のいずれか１項に記載の超音波流量計。