JPH112818A - Manufacture of liquid crystal display device - Google Patents

Manufacture of liquid crystal display device

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JPH112818A
JPH112818A JP15537997A JP15537997A JPH112818A JP H112818 A JPH112818 A JP H112818A JP 15537997 A JP15537997 A JP 15537997A JP 15537997 A JP15537997 A JP 15537997A JP H112818 A JPH112818 A JP H112818A
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positive resist
gap material
liquid crystal
substrate
gap
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Yoshiharu Ichikawa
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the manufacture of the liquid crystal display device which has good display uniformity and high contrast characteristics without using a high-precision photomask and an aligner and increasing the man-hour. SOLUTION: For this manufacture, a transparent substrate 1 which has a light shield layer 2 is coated with positive resist 4 having black spherical resin 5 dispersed and the top and reverse surfaces of the substrate 1 are both exposed at a time and then developed to leave only the positive resist 4 below the black spherical resin 5, which is adhered onto only the light shield layer 2 with the positive resist 4. By this method, the uniformity of liquid crystal layer thickness is improved to make the display uniformity better and no gap is scattered in the display surface, so the contrast characteristics can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法に関し、特に、ギャップ材の形成方法を改良した
液晶表示装置の製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method for manufacturing a liquid crystal display device in which a method for forming a gap material is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、液晶層を駆動する電極
を有する2枚の透明基板を所定の間隔を開けて対向さ
せ、この透明基板間に液晶を注入し、その周囲を封止材
で封止した構造となっている。そして、上記透明基板間
の液晶層を所定間隔にするため、表示面内に“ギャップ
材(空隙保持材)”と呼ばれる「球形樹脂」を散在させるの
が一般的である。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, two transparent substrates having electrodes for driving a liquid crystal layer are opposed to each other at a predetermined interval, liquid crystal is injected between the transparent substrates, and the periphery thereof is sealed with a sealing material. It has a sealed structure. In order to keep the liquid crystal layer between the transparent substrates at a predetermined interval, a “spherical resin” called a “gap material (gap holding material)” is generally scattered in the display surface.

【0003】しかし、従来の液晶表示装置では、液晶表
示面にもギャップ材が形成されるため、このギャップ材
による光の透過・分散により液晶表示装置のコントラス
トが低下し、表示特性が劣化する。一方、透明基板上に
凹凸があると、ギャップ材を散在させてもこの基板上の
凹凸によってギャップの均一性が低下し、表示ムラなど
が発生し表示特性が低下する。さらに、ギャップ材の移
動によって、配向膜に傷をつけたり、液晶配向性を乱し
たり、または、ギャップ材を不均一に散在したりして、
表示キズや表示ムラが発生し表示特性を低下させる。
However, in the conventional liquid crystal display device, since a gap material is also formed on the liquid crystal display surface, the transmission and dispersion of light by the gap material lowers the contrast of the liquid crystal display device and deteriorates the display characteristics. On the other hand, if there are irregularities on the transparent substrate, even if the gap material is scattered, the uniformity of the gap is reduced due to the irregularities on the substrate, and display unevenness or the like occurs, thereby deteriorating the display characteristics. Furthermore, by moving the gap material, the alignment film is damaged, or the liquid crystal orientation is disturbed, or the gap material is unevenly scattered,
Display flaws and display unevenness occur to lower display characteristics.

【0004】上述したような「表示特性の低下」を改善
するため、次の第1〜第6の従来法に見られるように、
従来から様々な工夫がなれてきている。
In order to improve the above-described “deterioration in display characteristics”, as described in the following first to sixth conventional methods,
Various devices have been used in the past.

【0005】(第1の従来法)特開昭62−239126号公報
には、ギャップ材自身の光散乱,光透過,光吸収による
表示画像への影響を除去し、表示品質を改善するため、
遮光層の上部分のみにギャップ材を配置した液晶表示装
置の製造法について開示されている(以下“第1の従来
法”という)。この第1の従来法を図3に基づいて説明
する。(なお、図3は、第1の従来法を説明する図であ
って、ギャップ材を形成する工程(A)〜(D)からなる工
程順断面図である。)
(First Conventional Method) Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-239126 discloses a technique for improving the display quality by removing the influence of light scattering, light transmission and light absorption of a gap material itself on a display image.
A method of manufacturing a liquid crystal display device in which a gap material is disposed only in an upper portion of a light shielding layer is disclosed (hereinafter, referred to as a “first conventional method”). This first conventional method will be described with reference to FIG. (Note that FIG. 3 is a view for explaining the first conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.)

【0006】この第1の従来法は、図3の(A)〜(D)に
示すように、 ・透明基板1上に、遮光層2および着色層7を形成する
工程[→図3(A)]、 ・ギャップ材5aを分散させたポジレジスト4を塗布す
る工程[→図3(B)]、 ・遮光層2の上部分のみにポジレジスト4が残るよう
に、所望パタ−ンの遮光層12を形成したフォトマスク
11を介して、露光する工程[→図3(C)]、 ・レジスト現像を行い、画素部分のギャップ材5aを除
去し、遮光層2上のみにギャップ材5aを形成する工程
[→図3(D)]、 からなり、このギャップ材5aは、ポジレジスト4によ
って固定されているものである。
As shown in FIGS. 3A to 3D, the first conventional method includes: a step of forming a light-shielding layer 2 and a colored layer 7 on a transparent substrate 1 [→ FIG. )], A step of applying a positive resist 4 in which a gap material 5a is dispersed [→ FIG. 3 (B)], a light shielding of a desired pattern so that the positive resist 4 remains only on the upper part of the light shielding layer 2. Step of exposing through the photomask 11 on which the layer 12 is formed [→ FIG. 3 (C)]. ・ Resist development is performed to remove the gap material 5a in the pixel portion. The gap material 5a is fixed by a positive resist 4.

【0007】しかし、上記第1の従来法では、ギャップ
材5a上にポジレジスト4が残存するものであり(図3
の(D)参照)、この残存ポジレジスト4の厚みによって
液晶層の間隔が制御し難く、ギャップ均一性が悪いと言
う欠点を有している。また、遮光層2上にのみポジレジ
スト4を残す必要があるため、精度の高いフォトマスク
11および同じく精度の高い重ね合わせ可能な露光設備
を必要とすることから、ギャップ材5aの形成が困難で
あり、ひいては、液晶表示装置の製造価格が高くなると
言う問題点を有している。
However, in the first conventional method, the positive resist 4 remains on the gap material 5a (FIG. 3).
(D)), the distance between the liquid crystal layers is hardly controlled by the thickness of the residual positive resist 4, and the gap uniformity is poor. Further, since it is necessary to leave the positive resist 4 only on the light-shielding layer 2, a high-precision photomask 11 and an exposure facility capable of high-precision overlapping are required, so that it is difficult to form the gap material 5a. In addition, there is a problem that the manufacturing cost of the liquid crystal display device is increased.

【0008】(第2の従来法)特開平2−157728号公報
には、基板裏面から露光して遮光層上のみにポジレジス
トを残存させ、その後、ギャップ材を散布し、光照射や
熱処理によってギャップ材を固定する方法について開示
されている(以下“第2の従来法”という)。この第2の
従来法を図4に基づいて説明する。(なお、図4は、第
2の従来法を説明する図であって、ギャップ材を形成す
る工程(A)〜(E)からなる工程順断面図である。)
(Second conventional method) Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-157728 discloses that a positive resist is left only on a light-shielding layer by exposing from the back surface of a substrate, and then a gap material is sprayed, and light irradiation or heat treatment is performed. A method for fixing the gap material is disclosed (hereinafter, referred to as “second conventional method”). This second conventional method will be described with reference to FIG. (Note that FIG. 4 is a view for explaining the second conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (E) for forming a gap material.)

【0009】この第2の従来法は、図4の(A)〜(E)に
示すように、 ・遮光層2を有する透明基板1にポジレジスト4を塗布
する工程[→図4(A)]、 ・透明基板1の裏面から露光する工程[→図4(B)]、 ・現像して遮光層2上のみにポジレジスト4を残存させ
る工程[→図4(C)]、 ・ギャップ材5aを散布する工程[→図4(D)]、 ・光照射や熱処理によってギャップ材5aをポジレジス
ト4で固定させた後、未固定のギャップ材5aを洗浄な
どにより除去する工程[→図4(E)]、 からなるものである。
The second conventional method is, as shown in FIGS. 4A to 4E, a step of applying a positive resist 4 to a transparent substrate 1 having a light shielding layer 2 [→ FIG. A step of exposing from the back surface of the transparent substrate 1 [→ FIG. 4 (B)], a step of developing and leaving the positive resist 4 only on the light-shielding layer 2 [→ FIG. 4 (C)], a gap material Step of spraying 5a [→ FIG. 4 (D)], Step of fixing gap material 5a with positive resist 4 by light irradiation or heat treatment, and then removing unfixed gap material 5a by washing etc. [→ FIG. (E)].

【0010】上記第2の従来法は、前記第1の従来法と
異なり、透明基板1の裏面から露光するため、第1の従
来法のようなフォトマスク11[前掲の図3(C)参照]が
不要であり、また、重ね合わせ機構を具備しない露光設
備で良い利点を有する。その上、形成後のギャップ材5
aには、その表面にポジレジスト4が残らないと言う利
点を有する。しかし、第2の従来法では、図4の(E)に
示すように、ギャップ材5aの下にポジレジスト4が残
存し、そのためギャップ均一性が悪くなり、表示特性が
低下する。また、ポジレジスト4の塗布とギャップ材5
aの散布とを別々に行うため、工程数が増加するという
欠点が生ずる。しかも、ギャップ材5aを後から光照射
や熱処理でポジレジスト4に接着させるため、ギャップ
材5aの接着性が悪いという新たな問題点が生じる。
The second conventional method is different from the first conventional method in that the exposure is performed from the back surface of the transparent substrate 1, so that a photomask 11 similar to the first conventional method [see FIG. ] Is unnecessary, and there is a good advantage in the exposure equipment without the superposition mechanism. In addition, the formed gap material 5
a has the advantage that the positive resist 4 does not remain on the surface. However, in the second conventional method, as shown in FIG. 4E, the positive resist 4 remains under the gap material 5a, so that the gap uniformity is deteriorated and the display characteristics are deteriorated. Further, the application of the positive resist 4 and the gap material 5
Since the spraying of a is performed separately, there is a disadvantage that the number of steps increases. In addition, since the gap material 5a is later bonded to the positive resist 4 by light irradiation or heat treatment, there is a new problem that the adhesiveness of the gap material 5a is poor.

【0011】(第3の従来法)特開平4−110827号公報
には、感光性樹脂で被覆されたギャップ材を散布し、基
板裏面から露光し、遮光層上にのみギャップ材を選択的
に形成する方法について開示されている(以下“第3の
従来法”という)。この第3の従来法を図5に基づいて
説明する。(なお、図5は、第3の従来法を説明する図
であって、ギャップ材を形成する工程(A)〜(D)からな
る工程順断面図である。)
(Third conventional method) JP-A-4-110827 discloses that a gap material coated with a photosensitive resin is sprayed, exposed from the back surface of the substrate, and the gap material is selectively formed only on the light shielding layer. A forming method is disclosed (hereinafter, referred to as “third conventional method”). This third conventional method will be described with reference to FIG. (Note that FIG. 5 is a view for explaining the third conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.)

【0012】この第3の従来法は、図5の(A)〜(D)に
示すように、 ・透明基板1上に、遮光層2,保護膜13および透明電
極6を形成する工程[→図5(A)]、 ・感光性樹脂を被覆したギャップ材5bを散布する工程
[→図5(B)]、 ・透明基板1の裏面から露光する工程[→図5(C)]、 ・現像を行い、透明電極6上のギャップ材5bを選択的
に除去し、遮光層2上のみにギャップ材5bを形成する
工程[→図5(D)]、 からなるものである。
The third conventional method comprises, as shown in FIGS. 5A to 5D, a step of forming a light shielding layer 2, a protective film 13 and a transparent electrode 6 on a transparent substrate 1 [→ FIG. 5 (A)], a step of spraying the gap material 5b coated with the photosensitive resin [→ FIG. 5 (B)], a step of exposing from the back surface of the transparent substrate 1 [→ FIG. 5 (C)], A step of performing development, selectively removing the gap material 5b on the transparent electrode 6, and forming the gap material 5b only on the light-shielding layer 2 [→ FIG. 5D].

【0013】上記第3の従来法では、前記第2の従来法
と同様、フォトマスクおよび重ね合わせ露光設備が不要
であり、工程数も増加しない利点を有し、製造価格も高
くなることはない。しかし、感光性樹脂をギャップ材5
bに均一に被覆することが困難であり、また、ギャップ
材5bを感光性樹脂で覆っているため、均一なギャップ
を得ることができず、さらに、ギャップ材の固定が弱い
という欠点を有している。
In the third conventional method, as in the second conventional method, a photomask and an overlay exposure facility are not required, the advantage is that the number of steps is not increased, and the manufacturing cost does not increase. . However, when the photosensitive resin is used as the gap material 5
b, it is difficult to cover the gap material uniformly, and since the gap material 5b is covered with the photosensitive resin, a uniform gap cannot be obtained, and further, the gap material is weakly fixed. ing.

【0014】(第4の従来法)特開平5−307181号公報
には、裏面から露光することによってギャップ材を形成
する方法が開示されている(以下“第4の従来法”とい
う)。この第4の従来法を図6に基づいて説明する。
(なお、図6は、第4の従来法を説明する図であって、
ギャップ材を形成する工程(A)〜(C)からなる工程順断
面図である。)
(Fourth conventional method) Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-307181 discloses a method of forming a gap material by exposing from the back surface (hereinafter referred to as a "fourth conventional method"). This fourth conventional method will be described with reference to FIG.
(Note that FIG. 6 is a diagram illustrating a fourth conventional method.
FIG. 5 is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (C) of forming a gap material. )

【0015】この第4の従来法は、図6の(A)〜(C)に
示すように、 ・遮光層2,透明電極6,配向膜3を形成した透明基板
1に、ギャップ材5aを分散したポジレジスト4を塗布
する工程[→図6(A)]、 ・透明基板1の裏面から遮光層2をマスクとして露光す
る工程[→図6(B)]、 ・現像を行い露光された部分のポジレジスト4を除去
し、遮光層2上にのみギャップ材5aを形成する工程
[→図6(C)]、 からなるものである。
As shown in FIGS. 6A to 6C, the fourth conventional method is as follows: a gap material 5a is formed on a transparent substrate 1 on which a light shielding layer 2, a transparent electrode 6, and an alignment film 3 are formed. Step of applying dispersed positive resist 4 [→ FIG. 6 (A)], Step of exposing from the back surface of transparent substrate 1 using light-shielding layer 2 as a mask [→ FIG. 6 (B)], A step of removing a portion of the positive resist 4 and forming a gap material 5a only on the light-shielding layer 2 [→ FIG. 6 (C)].

【0016】上記第4の従来法では、高精度のフォトマ
スクや露光装置が必要でなく、また、工程数も増加しな
い利点を有し、液晶表示装置価格の上昇を抑えられる反
面、ギャップ材5a上のポジレジスト4が除去できない
ため、ギャップ均一性が悪いという欠点を有している。
The fourth conventional method has an advantage that a high-precision photomask and an exposure device are not required and that the number of steps is not increased, and the cost of the liquid crystal display device can be suppressed. Since the upper positive resist 4 cannot be removed, there is a disadvantage that gap uniformity is poor.

【0017】(第5の従来法)特開昭63−98635号公報
には、紫外線吸収剤含有ギャップ材を分散したポジレジ
ストを表面から露光することにより、当該ギャップ材上
のポジレジストを除去すると共に、残存したポジレジス
トでもってギャップ材を固定する方法が開示されている
(以下“第5の従来法”という)。この第5の従来法を図
7に基づいて説明する。(なお、図7は、第5の従来法
を説明する図であって、ギャップ材を形成する工程(A)
〜(D)からなる工程順断面図である。)
(Fifth conventional method) JP-A-63-98635 discloses that a positive resist in which a gap material containing an ultraviolet absorber is dispersed is exposed from the surface to remove the positive resist on the gap material. In addition, a method of fixing the gap material with the remaining positive resist is disclosed.
(Hereinafter referred to as “fifth conventional method”). This fifth conventional method will be described with reference to FIG. (FIG. 7 is a view for explaining the fifth conventional method, and shows a step (A) of forming a gap material.
FIG. 6 is a sectional view in the order of steps consisting of (D) to (D). )

【0018】この第5の従来法は、図7の(A)〜(D)に
示すように、 ・透明基板1上に透明電極6を形成する工程[→図7
(A)]、 ・ポジレジスト4に紫外線吸収剤を含有したギャップ材
5cを混合して、透明基板1に塗布する工程[→図7
(B)]、 ・ポジレジスト4を表面から露光する工程[→図7
(C)]、 ・現像して、ギャップ材5c下のポジレジスト4を残
し、余分なポジレジスト4を除去し、さらに焼成を行っ
てギャップ材5cの下に残存するポジレジスト4でギャ
ップ材5cを固定する工程[→図7(D)]、 からなるものである。
This fifth conventional method comprises, as shown in FIGS. 7A to 7D, a step of forming a transparent electrode 6 on a transparent substrate 1 [→ FIG.
(A)], a step of mixing a gap material 5c containing an ultraviolet absorber into the positive resist 4 and applying the mixture to the transparent substrate 1 [→ FIG.
(B)], a step of exposing the positive resist 4 from the surface [→ FIG.
(C)], developing, leaving the positive resist 4 under the gap material 5c, removing an excess of the positive resist 4, and further performing baking to form the gap material 5c with the positive resist 4 remaining under the gap material 5c. Is fixed (see FIG. 7D).

【0019】この第5の従来法によれば、ギャップ材5
c上のポジレジスト4は除去されるため、表示装置のギ
ャップ均一性が改良できる利点を有する。しかし、ギャ
ップ材5cが表示面内にも残存するため、表示特性が劣
化するという問題は、依然として解決していない。
According to the fifth conventional method, the gap material 5
Since the positive resist 4 on c is removed, there is an advantage that the gap uniformity of the display device can be improved. However, the problem that the display characteristics deteriorate because the gap material 5c remains in the display surface has not been solved yet.

【0020】(第6の従来法)特開平4−188109号公報
には、配向処理された配向膜上に、ギャップ材混合ポジ
レジストを塗布するか、または、ポジレジストを塗布し
た後にギャップ材を吹き付け、ポジレジストの表面張力
でギャップ材周囲のポジレジスト膜厚を厚く形成し、表
面から露光し、厚みの厚い部分のポジレジストでギャッ
プ材を固定する方法が開示されている(以下“第6の従
来法”という)。この第6の従来法を図8に基づいて説
明する。(なお、図8は、第6の従来法を説明する図で
あって、ギャップ材を形成する工程(A)〜(D)からなる
工程順断面図である。)
(Sixth conventional method) Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-188109 discloses that a gap material-mixed positive resist is applied on an alignment film that has been subjected to an alignment treatment, or a gap material is applied after the positive resist is applied. A method of spraying, forming a thick positive resist film around the gap material by the surface tension of the positive resist, exposing from the surface, and fixing the gap material with the thick portion of the positive resist is disclosed (hereinafter referred to as “No. 6). Conventional method ”). This sixth conventional method will be described with reference to FIG. (Note that FIG. 8 is a view for explaining the sixth conventional method, and is a cross-sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.)

【0021】この第6の従来法は、図8の(A)〜(D)に
示すように、 ・遮光層2を有する透明基板1に配向膜3を形成し、配
向処理する工程[→図8(A)]、 ・ギャップ材5aを混合したポジレジスト4を塗布する
か、または、ポジレジスト4を塗布後、ギャップ材5a
を吹き付け、ポジレジスト4の表面張力によりギャップ
材5a周囲のポジレジスト膜厚を厚く形成する工程[→
図8(B)]、 ・基板1の表面から露光する工程[→図8(C)]、 ・現像を行いギャップ材5a周囲の厚みの厚い部分のポ
ジレジスト4を残して、ギャップ材5aを固定する工程
[→図8(D)]、 からなるものである。
The sixth conventional method comprises, as shown in FIGS. 8A to 8D, a process of forming an alignment film 3 on a transparent substrate 1 having a light-shielding layer 2 and performing an alignment process [→ FIG. 8 (A)]. Positive resist 4 mixed with gap material 5a is applied, or after applying positive resist 4, gap material 5a is applied.
And forming a thick positive resist film around the gap material 5a by the surface tension of the positive resist 4 [→
FIG. 8 (B)], a step of exposing from the surface of the substrate 1 [→ FIG. 8 (C)], and a step of developing and removing the gap material 5a while leaving the thick positive resist 4 around the gap material 5a. The step of fixing [→ FIG. 8 (D)].

【0022】この第6の従来法は、前記第5の従来法と
ほぼ同じ利点,欠点を有するものであって、ギャップ材
5a上のポジレジスト8が除去でき、表示装置のギャッ
プ均一性は良くなる反面、表示面内にもギャップ材が残
るため、表示特性が劣化するという問題点を有してい
る。
The sixth conventional method has almost the same advantages and disadvantages as the fifth conventional method. The positive resist 8 on the gap material 5a can be removed, and the uniformity of the gap of the display device is good. On the other hand, since the gap material remains in the display surface, there is a problem that the display characteristics are deteriorated.

【0023】[0023]

【発明が解決しようとする課題】前記従来法1〜6で
は、それぞれ前述した欠点,問題点を有している。特
に、前記第2,第3,第4の従来法のように、透明基板
の裏面から露光する方法では、ギャップ材の上、また
は、その下にポジレジストが残存するため、ギャップ均
一性が悪くなる。つまり、液晶層の厚みが不均一にな
り、表示ムラなどが生じ、表示特性が劣化すると言う問
題点を有している。
The conventional methods 1 to 6 have the above-described disadvantages and problems, respectively. In particular, in the method of exposing from the back surface of the transparent substrate as in the second, third, and fourth conventional methods, the gap uniformity is poor because the positive resist remains on or under the gap material. Become. That is, there is a problem that the thickness of the liquid crystal layer becomes uneven, display unevenness or the like occurs, and display characteristics deteriorate.

【0024】一方、前記第1,第5,第6の従来法のよ
うに、透明基板の表面から露光する方法では、表示面に
ギャップ材が残り、この表示面に残っているギャップ材
により光の透過や散乱が生じ、液晶による光のスイッチ
ングを妨害し、そのため、コントラスト特性を低下さ
せ、表示特性を悪くすると言う欠点を有している。
On the other hand, in the method of exposing from the surface of the transparent substrate as in the first, fifth, and sixth conventional methods, a gap material remains on the display surface, and light is emitted by the gap material remaining on the display surface. This has the drawback of causing transmission and scattering of light, hindering the switching of light by the liquid crystal, thereby lowering contrast characteristics and deteriorating display characteristics.

【0025】本発明は、従来の液晶表示装置における前
記問題点・欠点に鑑みなされたものであって、その目的
は、第一に、高い表示均一性を有し、かつ、高いコント
ラスト特性を具備する液晶表示装置を製造できる方法を
提供することにあり、第二に、表示均一性,コントラス
ト特性の高い液晶表示装置を容易に製造することがで
き、ひいては、製造価格の上昇を抑制できる方法を提供
することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems and disadvantages of a conventional liquid crystal display device, and has as its object to firstly achieve high display uniformity and high contrast characteristics. Secondly, a method capable of easily manufacturing a liquid crystal display device having high display uniformity and contrast characteristics, and thus suppressing an increase in the manufacturing price. To provide.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】本発明は、遮光層を有す
る基板に黒色球形樹脂(ギャップ材)を混合したポジレジ
ストを塗布し、この基板の表面および裏面の両面から露
光し、当該球形樹脂を、その下の残存ポジレジストでも
って遮光層の上方のみに接着・固定することを特徴と
し、これにより、前記目的とする液晶表示装置の製造方
法を提供するものである。
According to the present invention, a substrate having a light-shielding layer is coated with a positive resist mixed with a black spherical resin (gap material), and is exposed from both the front and rear surfaces of the substrate. Is bonded and fixed only above the light-shielding layer with a residual positive resist thereunder, thereby providing the above-mentioned method of manufacturing a liquid crystal display device.

【0027】すなわち、本発明は、「液晶表示装置の製
造方法において、(1) 遮光層を有する基板に黒色球形樹
脂を分散したポジレジストを塗布する工程と、(2) 前記
ポジレジストを塗布した基板の両面から露光する工程
と、(3) 前記ポジレジストを現像し露光された部分の前
記ポジレジストを除去し、前記黒色球形樹脂を該黒色球
形樹脂下の未露光の前記ポジレジストにより基板と接着
させる工程と、を含むことを特徴とする液晶表示装置の
製造方法。」(請求項1)を要旨とする。
That is, the present invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising the steps of (1) applying a positive resist in which a black spherical resin is dispersed on a substrate having a light-shielding layer, and (2) applying the positive resist. A step of exposing from both sides of the substrate, and (3) developing the positive resist, removing the positive resist in the exposed portion, and forming the black spherical resin on the substrate with the unexposed positive resist under the black spherical resin. And a method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising the steps of: (a) claim 1;

【0028】また、本発明は、前記遮光層を有する基板
が、遮光層のあるカラ−フィルタ基板、もしくは、金属
配線を有する薄膜トランジスタ基板であり、このカラ−
フィルタ基板または薄膜トランジスタ基板のどちらか一
方の基板に、黒色球形樹脂を分散したポジレジストを塗
布することを特徴とする(請求項2)。
According to the present invention, the substrate having the light shielding layer is a color filter substrate having a light shielding layer or a thin film transistor substrate having a metal wiring.
A positive resist in which a black spherical resin is dispersed is applied to one of the filter substrate and the thin film transistor substrate.

【0029】[0029]

【作用】本発明は、前記したように、遮光層上のみに黒
色球形樹脂(ギャップ材)を形成し、この黒色球形樹脂を
ポジレジストによって接着・固定しているため、また、
黒色球形樹脂上にポジレジストが残存していないので、
コントラスト特性が高く、液晶層の厚みを均一にするこ
とができ、表示ムラの発生がなく、優れた表示特性を具
備する液晶表示装置を提供することができる。また、本
発明は、高精度のフォトマスクや露光装置が必要でな
く、工程数も増加しない方法であるから、容易に製造す
ることができ、液晶表示装置価格の上昇を抑制すること
ができる。
According to the present invention, as described above, a black spherical resin (gap material) is formed only on the light-shielding layer, and the black spherical resin is bonded and fixed with a positive resist.
Since no positive resist remains on the black spherical resin,
A liquid crystal display device having high contrast characteristics, uniform thickness of a liquid crystal layer, no display unevenness, and excellent display characteristics can be provided. In addition, since the present invention does not require a high-precision photomask or an exposure apparatus and does not increase the number of steps, it can be easily manufactured and can suppress an increase in the price of a liquid crystal display device.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1を参照して詳細に説明する。(なお、図1は、
本発明に係る製造方法の一例を説明する図であって、黒
色球形樹脂(ギャップ材)を形成する工程(A)〜(D)から
なる工程順断面図である。)
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIG. (Note that FIG. 1
It is a figure explaining an example of the manufacturing method concerning the present invention, and is a process order sectional view consisting of steps (A)-(D) which form a black spherical resin (gap material). )

【0031】本発明に係るギャップ材の形成方法は、図
1の(A)〜(D)に示すように、 ・遮光層2を有する透明基板1上に配向膜3を形成し、
この配向膜3をラビング装置を用いて配向処理し[→図
1(A)]、 ・黒色球形樹脂5を混合したポジレジスト4を前記基板
に塗布し[→図1(B)]、 ・前記透明基板1の表面および裏面の両面から露光を行
い[→図1(C)]、 ・現像して、露光された部分のポジレジスト4を除去す
ると共に、黒色球形樹脂5と基板とを当該球形樹脂の下
に残存する未露光のポジレジスト4によって接着する
[→図1(D)]、 ことからなる。
As shown in FIGS. 1A to 1D, the method of forming a gap material according to the present invention comprises the steps of:
This alignment film 3 is subjected to an alignment treatment using a rubbing device [→ FIG. 1 (A)]. ・ Positive resist 4 mixed with black spherical resin 5 is applied to the substrate [→ FIG. 1 (B)]. Exposure is performed from both the front surface and the rear surface of the transparent substrate 1 (see FIG. 1 (C)). The development is performed to remove the exposed portion of the positive resist 4 and to form the black spherical resin 5 and the substrate into the spherical shape. Bonded by unexposed positive resist 4 remaining under resin
[→ Fig. 1 (D)].

【0032】次に、本発明に係る液晶表示装置の製造方
法について、上記図1および図2に基づいて説明する。
(なお、図2は、本発明によって製造された液晶表示装
置の一例を示す模式断面図である。)
Next, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIGS.
(Note that FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of the liquid crystal display device manufactured according to the present invention.)

【0033】まず、前記図1(A)〜(D)に示す製造方法
にしたがって、図2に示すカラ−フィルタ基板Zを形成
する。(図2に示すカラ−フィルタ基板Zと図1に示す
透明基板1とは、前者のカラ−フィルタ基板Zでは、配
向膜3の形成前に、着色層7と透明電極6を予め形成し
たものである点で相違するだけであり、その後の製造工
程は、図1の(A)〜(D)と同じである。)
First, the color filter substrate Z shown in FIG. 2 is formed according to the manufacturing method shown in FIGS. 1A to 1D. (The color filter substrate Z shown in FIG. 2 and the transparent substrate 1 shown in FIG. 1 are the same as the color filter substrate Z in which the colored layer 7 and the transparent electrode 6 are formed before the alignment film 3 is formed. And the subsequent manufacturing steps are the same as in FIGS. 1 (A) to 1 (D).)

【0034】一方、対向基板(薄膜トランジスタ基板Y)
としては、透明基板1a上に、配線電極8,絶縁膜9,
透明電極6aを有する薄膜トランジスタ基板Yを形成
し、その上に配向膜3aを形成し、ラビング処理して作
製する(図2参照)。この薄膜トランジスタ基板Yと前記
カラ−フィルタ基板Zとを重ね合わせ、それら基板間に
液晶10を注入し、その周囲を封止材で封止して液晶表
示装置を製造する。
On the other hand, a counter substrate (thin film transistor substrate Y)
The wiring electrode 8, the insulating film 9,
A thin film transistor substrate Y having a transparent electrode 6a is formed, an alignment film 3a is formed thereon, and rubbing is performed (see FIG. 2). The thin film transistor substrate Y and the color filter substrate Z are overlapped, a liquid crystal 10 is injected between the substrates, and the periphery thereof is sealed with a sealing material to manufacture a liquid crystal display device.

【0035】以上のようにして製造された液晶表示装置
は、遮光層2上のみに黒色球形樹脂5(ギャップ材)が形
成されているため、表示面内にギャップ材が存在する従
来法に比して、高いコントラスト特性を有している。ま
た、黒色球形樹脂5は、その下に存在するポジレジスト
4によって接着・固定されているので、“黒色球形樹脂
5の移動による液晶層のギャップムラ”が発生すること
がなく、表示特性の劣化が生じない。さらに、黒色球形
樹脂5の上には、ポジレジスト4が残っていないので、
ギャップが均一になり、そのため、ギャップは、黒色球
形樹脂5の径のみでコントロ−ルすることができ、最適
ギャップを有する液晶層を容易に形成することができ
る。
In the liquid crystal display device manufactured as described above, since the black spherical resin 5 (gap material) is formed only on the light shielding layer 2, the liquid crystal display device is different from the conventional method in which the gap material exists in the display surface. Thus, it has high contrast characteristics. In addition, since the black spherical resin 5 is bonded and fixed by the underlying positive resist 4, "gap unevenness of the liquid crystal layer due to the movement of the black spherical resin 5" does not occur, and the display characteristics are degraded. Does not occur. Furthermore, since the positive resist 4 does not remain on the black spherical resin 5,
The gap becomes uniform, so that the gap can be controlled only by the diameter of the black spherical resin 5, and a liquid crystal layer having an optimum gap can be easily formed.

【0036】[0036]

【実施例】次に、本発明の実施例を前掲の図1および図
2に基づいて詳細に説明するが、本発明は、以下の実施
例に限定されるものではなく、前記本発明の要旨の範囲
内で適宜変更することができるものである。
Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2 described above. However, the present invention is not limited to the following embodiment, and the gist of the present invention is described. Can be appropriately changed within the range described above.

【0037】本実施例では、図2に示すように、透明基
板1上に遮光層2および着色層7を形成し、その表面に
共通電極である透明電極6を形成した。具体的には、透
明基板1として厚さ0.7mmの基板を用い、この透明基
板1上に厚さ1.5μmの遮光層2および厚さ1μmの着色
層7を形成し、その表面を共通電極である透明電極6で
覆った。
In this embodiment, as shown in FIG. 2, a light-shielding layer 2 and a colored layer 7 were formed on a transparent substrate 1, and a transparent electrode 6 as a common electrode was formed on the surface. Specifically, a substrate having a thickness of 0.7 mm is used as the transparent substrate 1, a light-shielding layer 2 having a thickness of 1.5 μm and a coloring layer 7 having a thickness of 1 μm are formed on the transparent substrate 1, and the surface thereof is formed with a common electrode. It was covered with a certain transparent electrode 6.

【0038】このように形成した遮光層2を有する透明
基板1に、前掲の図1の(A)〜(D)に示した方法で黒色
球形樹脂5(ギャップ材)を形成した。
A black spherical resin 5 (gap material) was formed on the transparent substrate 1 having the light-shielding layer 2 thus formed by the method shown in FIGS. 1A to 1D described above.

【0039】まず、遮光層2を有する透明基板1上に、
配向膜3としてポリイミド膜を厚さ0.1μm形成し、こ
の配向膜3をラビング処理した[→図1の(A)参照]。
次に、ポジレジスト4として「OFPR」(東京応化工
業社製の商品名)を用い、これに、黒色球形樹脂5とし
て5μm径の「ブラックミクロパ−ル」(積水ファインケ
ミカル社製の商品名)を10wt%混合し、前記透明基板
1にスピンコ−タ−を用いて塗布した[→図1の(B)参
照]。この際、ポジレジストの厚みとしては、塗布後乾
燥させた状態で2μmになるようにした。
First, on a transparent substrate 1 having a light shielding layer 2,
A polyimide film having a thickness of 0.1 μm was formed as the alignment film 3, and the alignment film 3 was subjected to a rubbing treatment (see FIG. 1A).
Next, "OFPR" (trade name, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was used as the positive resist 4, and "Black Micropar" (trade name, manufactured by Sekisui Fine Chemical Co., Ltd.) having a diameter of 5 .mu.m was used as the black spherical resin 5. Was mixed with the transparent substrate 1 using a spin coater [→ see FIG. 1 (B)]. At this time, the thickness of the positive resist was set to 2 μm in a state of being dried after the application.

【0040】続いて、図1の(C)に示すように、基板の
表面および裏面の両面から露光を行い、現像し、図1の
(D)に示すように、露光された部分のポジレジスト4を
除去し、黒色球形樹脂5を、その下に残存する未露光の
ポジレジスト4によって基板に接着・固定させて、カラ
−フィルタ基板Z(図2参照)を作製した。
Subsequently, as shown in FIG. 1C, exposure and development are performed from both the front and back surfaces of the substrate, and development is performed.
As shown in (D), the exposed portion of the positive resist 4 is removed, and the black spherical resin 5 is adhered and fixed to the substrate by the unexposed positive resist 4 remaining thereunder. Z (see FIG. 2) was produced.

【0041】一方、対向基板として、透明基板1aの上
に透明電極6a,配線電極8および絶縁膜9を有する薄
膜トランジスタを形成し、その表面に配向膜3aを形成
しラビング処理して薄膜トランジスタ基板Y(図2参照)
を作製した。そして、図2に示すように、上記薄膜トラ
ンジスタ基板Yを前記カラ−フィルタ基板Zと重ね合わ
せ、それら基板間に液晶10を注入し、その周囲を封止
材で封止して(図示せず)液晶表示装置を製造した。
On the other hand, as a counter substrate, a thin film transistor having a transparent electrode 6a, a wiring electrode 8, and an insulating film 9 is formed on a transparent substrate 1a, an alignment film 3a is formed on the surface thereof, and a rubbing process is performed to perform a rubbing process. (See Fig. 2)
Was prepared. Then, as shown in FIG. 2, the thin film transistor substrate Y is overlaid on the color filter substrate Z, a liquid crystal 10 is injected between the substrates, and the periphery thereof is sealed with a sealing material (not shown). A liquid crystal display device was manufactured.

【0042】このようにして製造した液晶表示装置は、
遮光層2の上方のみに黒色球形樹脂5(ギャップ材)が形
成されているため、コントラスト特性は1:300以上であ
った。なお、表示面内にギャップ材が存在する従来の液
晶表示装置では、そのコントラスト特性は1:100程度が
限度である。また、黒色球形樹脂5(ギャップ材)は、そ
の下のポジレジスト4で固定されているため、振動試験
を行っても、黒色球形樹脂5の移動が認められなかっ
た。その結果、液晶層のギャップムラが生ぜず、表示特
性は良好であった。
The liquid crystal display device thus manufactured is
Since the black spherical resin 5 (gap material) was formed only above the light shielding layer 2, the contrast characteristic was 1: 300 or more. In contrast, in a conventional liquid crystal display device in which a gap material exists in the display surface, the contrast characteristic is limited to about 1: 100. Further, since the black spherical resin 5 (gap material) was fixed with the positive resist 4 thereunder, no movement of the black spherical resin 5 was recognized even when a vibration test was performed. As a result, the gap characteristics of the liquid crystal layer did not occur, and the display characteristics were good.

【0043】さらに、ポジレジスト4が黒色球形樹脂5
の上に残らないため、ギャップを均一にすることがで
き、ギャップ自体も黒色球形樹脂5の径のみでコントロ
−ルできるので、最適なギャップを有する液晶層を容易
に形成することができる。その理由は、遮光層2の厚み
と黒色球形樹脂5(ギャップ材)の厚みとの合計値が、そ
のまま液晶層の厚みとなるので、ギャップを設計通りに
形成できるからである。事実、試作段階においても、所
望のギャップを有する液晶層を容易に形成できた。
Further, the positive resist 4 is made of a black spherical resin 5
Since the gap does not remain on the gap, the gap can be made uniform, and the gap itself can be controlled only by the diameter of the black spherical resin 5, so that a liquid crystal layer having an optimum gap can be easily formed. The reason is that the total value of the thickness of the light shielding layer 2 and the thickness of the black spherical resin 5 (gap material) becomes the thickness of the liquid crystal layer as it is, so that the gap can be formed as designed. In fact, even in the prototype stage, a liquid crystal layer having a desired gap could be easily formed.

【0044】本実施例で製造された液晶表示装置のギャ
ップは6.5±0.3μmであり、ギャップの均一性を±5%
以下に制御することができた。この点、従来法によるギ
ャップ均一性が±20%程度であることと比較すると、本
発明の方法によれば、ギャップ均一性を著しく改良でき
ることが判明した。
The gap of the liquid crystal display device manufactured in this embodiment is 6.5 ± 0.3 μm, and the uniformity of the gap is ± 5%.
The following could be controlled. In this regard, it is found that the gap uniformity can be remarkably improved according to the method of the present invention, as compared with the fact that the gap uniformity according to the conventional method is about ± 20%.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明は、以上詳記したとおり、遮光層
を有する基板に黒色球形樹脂(ギャップ材)を混合したポ
ジレジストを塗布し、この基板の表面および裏面の両面
から露光し、当該球形樹脂を、その下の残存ポジレジス
トでもって遮光層の上方のみに接着・固定することを特
徴とし、これにより、黒色球形樹脂の移動をなくし、か
つ、当該球形樹脂の表面(上および下)にポジレジストを
残存しないようにすることができ、そのため、表示均一
性の高い液晶表示装置を提供することができる。
As described in detail above, the present invention applies a positive resist mixed with a black spherical resin (gap material) to a substrate having a light-shielding layer, and exposes the substrate from both the front and back surfaces of the substrate. The spherical resin is characterized by being adhered and fixed only above the light-shielding layer with the remaining positive resist thereunder, thereby eliminating the movement of the black spherical resin, and the surface of the spherical resin (top and bottom) Thus, a positive resist can be prevented from remaining in the liquid crystal display device, and thus a liquid crystal display device having high display uniformity can be provided.

【0046】また、本発明によれば、黒色球形樹脂(ギ
ャップ材)を遮光層の上方のみに位置し、液晶表示面内
に散在しないものであるから、コントラスト特性の高い
液晶表示装置を提供することができ、さらに、フォトマ
スクや重ね合わせ露光設備などが不要であり、かつ工程
数の増加もないことから、上記した表示均一性の高い、
しかもコントラスト特性の高い液晶表示装置を容易に製
造することができるという効果を奏する。
Further, according to the present invention, a black spherical resin (gap material) is located only above the light shielding layer and is not scattered in the liquid crystal display surface, so that a liquid crystal display device having high contrast characteristics is provided. It is possible to further eliminate the need for a photomask or overlay exposure equipment and the like, and since there is no increase in the number of steps, the display uniformity described above is high.
Moreover, there is an effect that a liquid crystal display device having high contrast characteristics can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る製造方法の一例を説明する図であ
って、黒色球形樹脂(ギャップ材)を形成する工程(A)〜
(D)からなる工程順断面図である。
FIG. 1 is a view for explaining an example of a production method according to the present invention, and shows steps (A) to (A) for forming a black spherical resin (gap material).
It is a process order sectional view consisting of (D).

【図2】本発明によって製造された液晶表示装置の一例
を示す模式断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of a liquid crystal display device manufactured according to the present invention.

【図3】第1の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(D)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 3 is a view for explaining the first conventional method, and is a cross-sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.

【図4】第2の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(E)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 4 is a view for explaining a second conventional method and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (E) for forming a gap material.

【図5】第3の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(D)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 5 is a view for explaining a third conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.

【図6】第4の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(C)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 6 is a view for explaining a fourth conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (C) for forming a gap material.

【図7】第5の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(D)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 7 is a view for explaining a fifth conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.

【図8】第6の従来法を説明する図であって、ギャップ
材を形成する工程(A)〜(D)からなる工程順断面図であ
る。
FIG. 8 is a view for explaining a sixth conventional method, and is a sectional view in the order of steps including steps (A) to (D) for forming a gap material.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a 透明基板 2 遮光層 3,3a 配向膜 4 ポジレジスト 5 黒色球形樹脂(ギャップ材) 5a ギャップ材 5b 感光性樹脂を被覆したギャップ材 5c 紫外線吸収剤を含有したギャップ材 6,6a 透明電極 7 着色層 8 配線電極 9 絶縁膜 10 液晶 11 フォトマスク 12 遮光層(フォトマスク) 13 保護膜 Y 薄膜トランジスタ基板 Z カラ−フイルタ基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a Transparent substrate 2 Light shielding layer 3, 3a Alignment film 4 Positive resist 5 Black spherical resin (gap material) 5a Gap material 5b Gap material coated with photosensitive resin 5c Gap material containing ultraviolet absorber 6,6a Transparent electrode Reference Signs List 7 colored layer 8 wiring electrode 9 insulating film 10 liquid crystal 11 photomask 12 light shielding layer (photomask) 13 protective film Y thin film transistor substrate Z color filter substrate

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶表示装置の製造方法において、(1)
遮光層を有する基板に、黒色球形樹脂を分散したポジレ
ジストを塗布する工程と、(2) 前記ポジレジストを塗布
した基板の両面から露光する工程と、(3) 前記ポジレジ
ストを現像し露光された部分の前記ポジレジストを除去
し、前記黒色球形樹脂を該黒色球形樹脂下の未露光の前
記ポジレジストにより基板と接着させる工程と、を含む
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
1. A method of manufacturing a liquid crystal display device comprising the steps of:
On a substrate having a light-shielding layer, a step of applying a positive resist in which a black spherical resin is dispersed, (2) a step of exposing from both sides of the substrate coated with the positive resist, and (3) a step of developing and exposing the positive resist Removing the positive resist from the exposed portion, and adhering the black spherical resin to the substrate with the unexposed positive resist under the black spherical resin.
【請求項2】 前記遮光層を有する基板が、遮光層のあ
るカラ−フィルタ基板、もしくは、金属配線を有する薄
膜トランジスタ基板であることを特徴とする請求項1に
記載の液晶表示装置の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the substrate having the light shielding layer is a color filter substrate having the light shielding layer or a thin film transistor substrate having metal wiring.
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WO2018221647A1 (en) * 2017-06-02 2018-12-06 シャープ株式会社 Liquid crystal display device and method for manufacturing same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6326129B1 (en) 1999-03-16 2001-12-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Process for manufacturing an active element array substrate
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