JPH11277756A - Ink-jet printing apparatus, printing head and its manufacture - Google Patents

Ink-jet printing apparatus, printing head and its manufacture

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JPH11277756A
JPH11277756A JP10084381A JP8438198A JPH11277756A JP H11277756 A JPH11277756 A JP H11277756A JP 10084381 A JP10084381 A JP 10084381A JP 8438198 A JP8438198 A JP 8438198A JP H11277756 A JPH11277756 A JP H11277756A
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nozzle
crater
nozzle plate
wiping
ink jet
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Koji Morikoshi
耕司 森腰
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely remove dust such as ink scum or paper dust, etc., from the inside of a nozzle crater and prevent dust from the outside of the nozzle crater from entering the nozzle crater when a surface of a nozzle plate of an ink-jet printing head is wiped. SOLUTION: A nozzle plate surface 23 has strip-like nozzle craters 27 recessed by approximately 5-10 μm from a main surface 25. An array of ink-jet outlets 31 is arranged in the nozzle crater 27. The nozzle crater 27 has an inclined face 33 inclined to the main surface 25 at a side part at the downstream side in a wiping direction. Moreover, trap grooves 39 recessed perpendicularly from the main surface 25 are formed along the nozzle crater 27 outside the nozzle crater 27. In wiping with the use of a rubber blade, the blade sweeps out the dust in the nozzle crater 27 through the inclined face 33. The dust scraped by the blade is trapped at the trap grooves 39.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット印
刷装置及び印刷ヘッドに関し、特に、ノズルプレートの
表面構造の改良に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an ink jet printing apparatus and a print head, and more particularly to an improvement in a surface structure of a nozzle plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット印刷ヘッドでは、ノズル
出口の並んでいるノズルプレート表面に、インク滓や紙
粉などのゴミが付着しがちである。そこで、これらのゴ
ミを除去してノズルの目詰まりを防止するため、弾性材
製のワイパーブレードをノズルプレート表面に押し当て
て擦ること(以下、「ワイピング」という)がしばしば
行われる。
2. Description of the Related Art In an ink jet print head, dust such as ink residue and paper powder tends to adhere to a nozzle plate surface where nozzle outlets are arranged. Therefore, in order to remove such dust and prevent clogging of the nozzle, an wiper blade made of an elastic material is often pressed against the surface of the nozzle plate and rubbed (hereinafter, referred to as “wiping”).

【0003】また、図1及び図2に示すように、印刷用
紙との接触でノズル出口1が摩耗したり、ノズル出口1
の周囲に施されている撥水層3が摩耗したりすることが
ないように、ノズルプレート表面5には周囲の領域7よ
り5〜10μm程度凹んだ「ノズルクレータ」と呼ばれ
る領域9が形成されており、このノズルクレータ9内に
ノズル出口1が配置されている。
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the nozzle outlet 1 is worn by contact with the printing paper,
In order to prevent the water-repellent layer 3 applied around the nozzle plate from being worn out, a region 9 called a “nozzle crater” which is recessed by about 5 to 10 μm from the surrounding region 7 is formed on the nozzle plate surface 5. The nozzle outlet 1 is arranged in the nozzle crater 9.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】図1及び図2に示すよ
うに、ブレード11でワイピングを行っても、ノズルク
レータ9内の特にワイピング方向下流側のエッジ13近
傍にゴミ15が残ってしまうという問題がある。その主
たる理由は、ブレード11がノズルクレータ9から出る
際に、ブレード11の集めたゴミ15がクレータ9のエ
ッジ13で掻き取られ(トラップされ)てブレード11
から離脱してしまうからである。
As shown in FIGS. 1 and 2, even when wiping is performed by the blade 11, dust 15 remains in the nozzle crater 9, particularly near the edge 13 on the downstream side in the wiping direction. There's a problem. The main reason is that when the blade 11 leaves the nozzle crater 9, the dust 15 collected by the blade 11 is scraped (trapped) by the edge 13 of the crater 9 and
This is because they will be separated.

【0005】また、従来は、ブレード11がノズルプレ
ート表面の5のノズルクレータ9の手前の領域で集めた
ゴミが、ノズルクレータ9内に入ってしまい、それが上
述したようにしてクレータ9のエッジ13近傍に溜まっ
てしまうという問題もある。
Conventionally, dust collected by the blade 11 in the area of the nozzle plate surface 5 in front of the nozzle crater 9 enters the nozzle crater 9 and becomes the edge of the crater 9 as described above. There is also a problem that it accumulates near 13.

【0006】従って、本発明の目的は、ノズルプレート
表面のワイピングにおいて、ノズルクレータ内からゴミ
を確実に除去できるようにすることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to reliably remove dust from inside a nozzle crater when wiping a nozzle plate surface.

【0007】本発明の別の目的は、ノズルプレート表面
のワイピングにおいて、ワイパーブレードが掻き集めた
ゴミがノズルクレータ内に入らないようにすることにあ
る。
It is another object of the present invention to prevent dust scraped by the wiper blade from entering the nozzle crater when wiping the surface of the nozzle plate.

【0008】本発明の更に別の目的は、ノズルプレート
表面のワイピングにおいて、ワイパーブレードが掻き集
めたゴミが他の領域に及ばないようにすることにある。
It is still another object of the present invention to prevent dust collected by the wiper blade from reaching other areas in wiping the nozzle plate surface.

【0009】本発明の更にまた別の目的は、ワイピング
中にワイパーブレードからゴミを除去する(リフレッシ
ュする)ことができるようにすることにある。
It is yet another object of the present invention to be able to remove (refresh) dust from the wiper blade during wiping.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の側面に従
うインクジェット印刷装置及びインクジェット印刷ヘッ
ドでは、ノズルプレート表面のノズルクレータが、その
ワイピング方向下流側の辺部に、主表面に対して傾斜し
た傾斜面を有している。ワイピングでブレードがノズル
クレータから出る際、ブレードは掻き集めたゴミを捕ら
えたまま傾斜面を登り、ゴミをノズルクレータ外へ掃き
出す。
In the ink jet printing apparatus and the ink jet print head according to the first aspect of the present invention, the nozzle crater on the surface of the nozzle plate is inclined on the downstream side in the wiping direction with respect to the main surface. It has an inclined surface. When the blade comes out of the nozzle crater by wiping, the blade climbs the inclined surface while catching the raked dust and sweeps the dust out of the nozzle crater.

【0011】本発明の第2の側面に従うインクジェット
印刷装置及びインクジェット印刷ヘッドでは、ノズルク
レータのワイピング方向下流側のエッジが鈍角であるか
又は丸められている。ワイピングでブレードがノズルク
レータから出る際、ワイパーブレードが掻き集めたゴミ
はノズルクレータの鈍角又は丸まったエッジではトラッ
プされにくいので、良好にノズルクレータ外へ掃き出さ
れる。
In the ink jet printing apparatus and the ink jet print head according to the second aspect of the present invention, the edge of the nozzle crater on the downstream side in the wiping direction is obtuse or rounded. When the blade comes out of the nozzle crater by wiping, the dust collected by the wiper blade is hardly trapped at the obtuse angle or the rounded edge of the nozzle crater, and thus is well swept out of the nozzle crater.

【0012】本発明の第3の側面に従うインクジェット
印刷装置及びインクジェット印刷ヘッドでは、ノズルク
レータよりもワイピング方向上流側の位置又は下流側の
位置に、ゴミをトラップしやすいトラップ溝が配置され
ている。上流側にトラップ溝がある場合には、ワイパー
ブレードが上流側で掻き集めたゴミがそのトラップ溝で
トラップされるので、ブレードがリフレッシュされ、ノ
ズルクレータにゴミが入りにくい。下流側にトラップ溝
がある場合は、ノズルクレータから掻き出されたゴミが
そのトラップ溝でトラップされ、ブレードがリフレッシ
ュされ、さらに下流側へはゴミが及ばない。トラップ溝
に入ったゴミは、ノズルプレートにキャップを当てて行
うインク吸引動作によって、容易に排除できる。
In the ink jet printing apparatus and the ink jet print head according to the third aspect of the present invention, a trap groove for easily trapping dust is disposed at a position upstream or downstream of the nozzle crater in the wiping direction. When there is a trap groove on the upstream side, dust raked by the wiper blade on the upstream side is trapped in the trap groove, so that the blade is refreshed and dust hardly enters the nozzle crater. If there is a trap groove on the downstream side, dust scraped from the nozzle crater is trapped in the trap groove, the blade is refreshed, and the dust does not reach the downstream side. The dust entering the trap groove can be easily removed by an ink suction operation performed by placing a cap on the nozzle plate.

【0013】トラップ溝は、ワイピング方向に直角な方
向へ、ノズルクレータの存在範囲をカバーする範囲にわ
たって伸びていることが望ましい。または、複数個のト
ラップ溝を、ワイピング方向に直角な方向へ、ノズルク
レータの存在範囲をカバーする範囲にわたって配列する
ことも望ましい。
It is desirable that the trap groove extends in a direction perpendicular to the wiping direction over a range covering the existing range of the nozzle crater. Alternatively, it is also desirable to arrange the plurality of trap grooves in a direction perpendicular to the wiping direction over a range covering the existing range of the nozzle crater.

【0014】本発明の第4の側面に従うインクジェット
印刷ヘッドの製造方法は、フィルムに穴を空ける工程
と、穴の空いたフィルムをノズルプレートの表面に接合
する工程とを有する。フィルムに穴を開ける工程では、
ノズルプレート表面のノズル出口をカバーする領域に穴
を開け、その穴の辺部には傾斜面を形成する。これによ
り、上述した第1の側面又は第2の側面に従う構成のイ
ンクジェット印刷ヘッドのノズルプレート表面を形成す
ることができる。
[0014] A method of manufacturing an ink jet print head according to a fourth aspect of the present invention includes a step of making a hole in a film and a step of joining the holed film to a surface of a nozzle plate. In the process of making holes in the film,
A hole is formed in a region of the nozzle plate surface covering the nozzle outlet, and an inclined surface is formed on a side portion of the hole. Thereby, it is possible to form the nozzle plate surface of the ink jet print head having the configuration according to the above-described first side surface or the second side surface.

【0015】本発明の第5の側面に従うインクジェット
印刷ヘッドの製造方法は、ノズルプレートの表面のノズ
ル出口をカバーする領域にレジスト層を形成する工程
と、その後にノズルプレート表面に電鋳メッキ法により
金属層をレジスト層よりも高く成長させる工程と、その
後にレジスト層を除去する工程とを有する。電鋳メッキ
工程で、レジスト層のエッジの箇所で金属層が湾曲した
傾斜面をもつように成長するので、上述した第1の側面
又は第2の側面に従う構成のインクジェット印刷ヘッド
のノズルプレート表面を形成することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet print head, comprising the steps of forming a resist layer in a region covering a nozzle outlet on the surface of a nozzle plate, and thereafter, electroforming plating on the nozzle plate surface. The method includes a step of growing the metal layer higher than the resist layer, and a step of subsequently removing the resist layer. In the electroforming plating step, since the metal layer grows to have a curved inclined surface at the edge of the resist layer, the surface of the nozzle plate of the inkjet print head according to the above-described first side surface or the second side surface is cleaned. Can be formed.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図3は、本発明の一実施形態にか
かるインクジェット印刷ヘッドのノズルプレートの平面
図を示し、図4は、同ノズルプレートの断面図を示す。
FIG. 3 is a plan view of a nozzle plate of an ink jet print head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view of the nozzle plate.

【0017】ノズルプレート21の表面23には、他の
領域(以下、「主表面」という)25より5〜10μm
程度凹んだノズルクレータ27が形成されている。各ノ
ズルクレータ27は短冊形の平面形状を有し、その底面
28に多数のインクジェットノズル29の出口31がノ
ズルクレータ27の長手方向に沿って一列に配置されて
いる。
The surface 23 of the nozzle plate 21 is 5 to 10 μm thicker than other regions (hereinafter referred to as “main surfaces”) 25.
A nozzle crater 27 which is slightly concave is formed. Each of the nozzle craters 27 has a rectangular planar shape, and outlets 31 of a number of ink jet nozzles 29 are arranged on a bottom surface 28 in a line along the longitudinal direction of the nozzle crater 27.

【0018】各ノズルクレータ27は、そのワイピング
方向下流側の辺部に、主表面25に対して緩く傾斜した
傾斜面33を有している。よって、この傾斜面33と主
表面25との交線に形成される各ノズルクレータ27の
下流側のエッジ35は、その断面角度が従来のような直
角ではなく、鈍角であり、それによりゴミがトラップさ
れにくくなっている。一方、各ノズルクレータ27のワ
イピング方向上流側の辺はこの実施形態では主表面25
に垂直な壁であるが、この上流側の辺部にも下流側と同
様の傾斜面を形成して、そのエッジ37を鈍角にしても
よく、特に、ワイピングを双方向に行う場合にはそうす
べきである。
Each nozzle crater 27 has an inclined surface 33 that is gently inclined with respect to the main surface 25 on the downstream side in the wiping direction. Therefore, the downstream edge 35 of each of the nozzle craters 27 formed at the intersection of the inclined surface 33 and the main surface 25 has an obtuse angle, not a right angle as in the related art, so that dust is removed. It is hard to be trapped. On the other hand, the side of each nozzle crater 27 on the upstream side in the wiping direction is the main surface 25 in this embodiment.
However, the upstream side may have an inclined surface similar to that of the downstream side, and the edge 37 may have an obtuse angle, especially when wiping is performed in both directions. Should.

【0019】各ノズルクレータ27の上流側および下流
側の外方の各ノズルクレータ27に近接した箇所には、
細長い2本のトラップ溝39が形成されている。各トラ
ップ溝39は、ノズルクレータ27の全長より若干長い
範囲にわたって、ノズルクレータ27に沿って伸びてい
る。各トラップ溝39のワイピング方向上流側及び下流
側の辺は共に、主表面25から直角に切れ落ちた垂直壁
である。よって、この垂直壁と主表面25との交線に形
成される各トラップ溝39の両側のエッジ41、43は
共に90度の断面角度を有し、このエッジ41、43で
ゴミがトラップされ易くなっている。
At locations close to the respective nozzle craters 27 on the upstream and downstream sides of the respective nozzle craters 27,
Two elongated trap grooves 39 are formed. Each trap groove 39 extends along the nozzle crater 27 over a range slightly longer than the entire length of the nozzle crater 27. Both the upstream and downstream sides of each trap groove 39 in the wiping direction are vertical walls cut off from the main surface 25 at right angles. Therefore, both edges 41 and 43 of each trap groove 39 formed at the intersection of the vertical wall and the main surface 25 have a cross-sectional angle of 90 degrees, and dust is easily trapped at the edges 41 and 43. Has become.

【0020】このような構造のノズルプレート表面23
を、ゴムや発泡樹脂などの弾性材料製のブレード45で
ワイピングすると、図4に示すように、ブレード45は
まずノズルクレータ27の上流側の主表面25でゴミ4
7を掻き集めるが、このゴミ47の大部分は、ノズルク
レータ27の上流側のトラップ溝39のエッジ43でト
ラップされてトラップ溝39内に溜まる。こうしてブレ
ード45はリフレッシュされ、続いてノズルクレータ2
7内に入る。よって、主表面25のゴミ47はノズルク
レータ27内に殆ど入らない。続いて、ブレード45は
ノズルクレータ27内からゴミ49を掻き集め、そし
て、そのゴミ49を捕らえたまま傾斜面33を登って、
ゴミ47をノズルクレータ27外へ掃き出す。このゴミ
49はノズルクレータ27の下流側のトラップ溝39に
トラップされる。以上のワイピング動作が、各ノズルク
レータ27について行われる。トラップ溝39にトラッ
プされたゴミは、後にノズルプレート表面23にゴムキ
ャップ等を被せて真空吸引を行うことにより除去され
る。
The nozzle plate surface 23 having such a structure
Is wiped with a blade 45 made of an elastic material such as rubber or foamed resin. As shown in FIG.
7, most of the dust 47 is trapped at the edge 43 of the trap groove 39 on the upstream side of the nozzle crater 27 and accumulates in the trap groove 39. The blade 45 is thus refreshed, and subsequently the nozzle crater 2
Go inside 7. Therefore, the dust 47 on the main surface 25 hardly enters the nozzle crater 27. Subsequently, the blade 45 rakes up the dust 49 from inside the nozzle crater 27, and climbs the inclined surface 33 while catching the dust 49,
The dust 47 is swept out of the nozzle crater 27. The dust 49 is trapped in the trap groove 39 on the downstream side of the nozzle crater 27. The above wiping operation is performed for each nozzle crater 27. The dust trapped in the trap groove 39 is later removed by covering the nozzle plate surface 23 with a rubber cap or the like and performing vacuum suction.

【0021】このように、ノズルクレータ27に傾斜面
33があるために、ノズルクレータ27内のゴミ49は
ノズルクレータ27外へ良好に掃き出される。傾斜面3
3がこの作用をなす原理は、第1に、傾斜面33の表面
がブレード45の先端と良好に接触を保てること、第2
に、ノズルクレータ27のエッジ35が鈍ってゴミがそ
こを通過し易くなることにあると考えられる。この2つ
の原理に個別に着目すると、ノズルクレータ27の断面
形状は必ずしも図4と同じである必要はなく、種々の変
形例が考え得る。例えば、図5に示すように、傾斜面3
3が凹状にカーブしていてもよく、或いは、図6に示す
ように、傾斜面33が凸状にカーブしていてもよく(極
端な場合、エッジを単に丸めた(アールをつけた)て尖
ったエッジ35を無くしただけでもよく)、或いは、図
7に示すように、傾斜面33がノズルクレータ27の底
面28から直接立ち上がらずに、底面28から僅かな垂
直壁51を経て傾斜面28になっていてもよい。このよ
うな変形例であっても、効果の大小は別として、従来に
比較すれば良好なゴミ掃き出し効果が期待できる。
As described above, since the nozzle crater 27 has the inclined surface 33, dust 49 in the nozzle crater 27 can be satisfactorily swept out of the nozzle crater 27. Slope 3
The principle of the action of 3 is that firstly, the surface of the inclined surface 33 can keep good contact with the tip of the blade 45,
In addition, it is considered that the edge 35 of the nozzle crater 27 becomes dull and dust easily passes therethrough. Focusing on these two principles individually, the cross-sectional shape of the nozzle crater 27 does not necessarily have to be the same as that in FIG. 4, and various modifications can be considered. For example, as shown in FIG.
3 may be curved in a concave shape, or as shown in FIG. 6, the inclined surface 33 may be curved in a convex shape (in an extreme case, the edge is simply rounded (rounded)). Alternatively, as shown in FIG. 7, the inclined surface 33 does not rise directly from the bottom surface 28 of the nozzle crater 27, but rather extends from the bottom surface 28 through a slight vertical wall 51, as shown in FIG. It may be. Even in such a modified example, a good dust sweeping effect can be expected as compared with the conventional one, apart from the magnitude of the effect.

【0022】トラップ溝39は上述のように、ゴミをト
ラップしてブレード45をリフレッシュし且つゴミがノ
ズルクレータ27や他の場所へ行かないようにする作用
をなす。このトラップ溝39についても幾つもの変形例
が考え得る。例えば、図8に示すように、図3,4に示
した実施形態よりも多くの本数のトラップ溝39を設け
てもよい。逆に、例えば、2本のノズルクレータ27の
間のトラップ溝39の本数を1本だけとしたり、片方向
にのみワイピングを行う場合に最下流側のノズルクレー
タ27の下流のトラップ溝39を省略したり、というよ
うにトラップ溝39の本数をもっと少なくしてもよい。
また、図9に示すようにノズルクレータ27よりも長さ
の短いトラップ溝39、或いは図10に示すように、
「溝」よりむしろ「穴」と呼ぶにふさわしいような形状
のトラップ溝39を、ノズルクレータ27の長手方向
(つまり、ワイピング方向に直角な方向)に沿って複数
個並べてもよい。図9、10のような場合、ノズルクレ
ータ27の全長が必ずどれかのトラップ溝39によって
カバーされるように、複数のトラップ溝39をノズルク
レータ27の長手方向で互いにオーバーラップするよう
にして千鳥状に配置することが好ましい。また、図11
に示すようにトラップ溝39が蛇行形状や、その他の形
状にデザインされていてもよい。
As described above, the trap groove 39 serves to trap dust and refresh the blade 45 and prevent dust from going to the nozzle crater 27 and other places. Several variations of the trap groove 39 are also conceivable. For example, as shown in FIG. 8, a larger number of trap grooves 39 may be provided than in the embodiment shown in FIGS. Conversely, for example, when the number of the trap grooves 39 between the two nozzle craters 27 is only one, or when wiping is performed only in one direction, the trap groove 39 downstream of the nozzle crater 27 on the most downstream side is omitted. For example, the number of trap grooves 39 may be further reduced.
Further, as shown in FIG. 9, the trap groove 39 having a shorter length than the nozzle crater 27, or as shown in FIG.
A plurality of trap grooves 39 having a shape suitable for being called a “hole” rather than a “groove” may be arranged along the longitudinal direction of the nozzle crater 27 (that is, a direction perpendicular to the wiping direction). 9 and 10, a plurality of trap grooves 39 are staggered so as to overlap each other in the longitudinal direction of the nozzle crater 27 so that the entire length of the nozzle crater 27 is always covered by any one of the trap grooves 39. It is preferable to arrange them in a shape. FIG.
The trap groove 39 may be designed in a meandering shape or another shape as shown in FIG.

【0023】ノズルクレータ27の傾斜面33と、トラ
ップ溝39とは必ずしも組み合わせされなければならな
いわけではなく、単独で用いてもそれぞれの効果を発揮
する。
The inclined surface 33 of the nozzle crater 27 and the trap groove 39 do not necessarily have to be combined, and the respective effects are exhibited even when used alone.

【0024】次に、上述した構造をもつノズルプレート
表面23を製造する方法の実施形態について説明する。
Next, an embodiment of a method for manufacturing the nozzle plate surface 23 having the above-described structure will be described.

【0025】図12は、張り合わせ法による製造方法の
実施形態を示している。すなわち、ノズルプレート21
の元々プレーンな表面に、例えばプレスなどの方法で穴
の開けられたフィルム61を接合する。フィルム61の
穴は、ノズルクレータ27やトラップ溝37の場所をカ
バーする位置に開けられており、特にノズルクレータ2
7となる穴の辺部には傾斜面33が形成されている。
FIG. 12 shows an embodiment of a manufacturing method by a laminating method. That is, the nozzle plate 21
A holed film 61 is joined to the originally plain surface by, for example, a press method. The hole of the film 61 is formed at a position covering the location of the nozzle crater 27 and the trap groove 37.
An inclined surface 33 is formed on the side of the hole 7.

【0026】図13〜図20は、電鋳メッキ(電気メッ
キ)法による製造方法の実施形態を示している。
FIGS. 13 to 20 show an embodiment of a manufacturing method by electroforming plating (electroplating).

【0027】まず、図13に示すように、ノズルプレー
ト21の元々プレーンな表面上に薄い紫外線硬化フィム
(UVフィルム)61を転写する。次に、図14に示す
ように、ノズルクレータ及びトラップ溝に対応する箇所
に穴の空いたマスク63を通して、UVフィルム61の
ノズルクレータ及びトラップ溝に対応する部分65、6
7だけを紫外線で露光する。次に、図15に示すよう
に、現像処理を行ってUVフィルムの非硬化部分を除去
し、それにより、ノズルクレータ及びトラップ溝に対応
する部分65、67だけがレジスト層として残る。次
に、図16に示すように、残ったレジスト層65、67
の上に別の若干厚めのUVフィルム69を転写し、そし
て、トラップ溝に対応する箇所にのみ穴の空いたマスク
71を通して、その第2のUVフィルム69のトラップ
溝に対応する部分73だけを紫外線で露光する。次に、
図17に示すように、現像を行って、第2のUVフィル
ムの非硬化部分を除去し、トラップ溝に対応する部分7
3だけをレジスト層として残す。これにより、ノズルプ
レート21のノズルクレータに対応する部分の表面上に
は高さの低いレジスト層65が、トラップ溝に対応する
部分の表面上には高さの高いレジスト層75が形成され
る。
First, as shown in FIG. 13, a thin ultraviolet-curing film (UV film) 61 is transferred onto the originally plane surface of the nozzle plate 21. Next, as shown in FIG. 14, portions 65 and 6 of the UV film 61 corresponding to the nozzle craters and the trap grooves are passed through a mask 63 having holes at positions corresponding to the nozzle craters and the trap grooves.
Only 7 is exposed to ultraviolet light. Next, as shown in FIG. 15, a non-cured portion of the UV film is removed by performing a developing process, so that only the portions 65 and 67 corresponding to the nozzle crater and the trap groove remain as a resist layer. Next, as shown in FIG. 16, the remaining resist layers 65, 67
Then, another slightly thick UV film 69 is transferred onto the second UV film 69, and only the portion 73 corresponding to the trap groove of the second UV film 69 is passed through the mask 71 having a hole only at the position corresponding to the trap groove. Exposure with ultraviolet light. next,
As shown in FIG. 17, development is performed to remove the uncured portion of the second UV film, and the portion 7 corresponding to the trap groove is formed.
Only 3 is left as a resist layer. As a result, a low-height resist layer 65 is formed on the surface of the portion corresponding to the nozzle crater of the nozzle plate 21, and a high-height resist layer 75 is formed on the surface of the portion corresponding to the trap groove.

【0028】次に、図18に示すように、例えばニッケ
ルなどの金属層77を電鋳メッキ法によりノズルプレー
ト21の表面に成長させる。金属層77は、ノズルクレ
ータに対応するレジスト層65よりは高く、トラップ溝
に対応するレジスト層75よりは低い高さまで成長させ
る。電鋳メッキ法では電界方向に沿って金属層77が成
長していくので、ノズルクレータに対応するレジスト層
65のエッジ近傍では、図示のように金属層77が湾曲
又は傾斜した外表面を形成するように成長し、これが、
前述したノズルクレータ27の傾斜面33を形作る。一
方、トラップ溝に対応するレジスト層75の周囲は、金
属層77で完全に埋まる。
Next, as shown in FIG. 18, a metal layer 77 of, for example, nickel is grown on the surface of the nozzle plate 21 by electroforming plating. The metal layer 77 is grown to a height higher than the resist layer 65 corresponding to the nozzle crater and lower than the resist layer 75 corresponding to the trap groove. Since the metal layer 77 grows in the direction of the electric field in the electroforming plating method, the metal layer 77 forms a curved or inclined outer surface near the edge of the resist layer 65 corresponding to the nozzle crater as shown in the drawing. So that this grows
The inclined surface 33 of the nozzle crater 27 is formed. On the other hand, the periphery of the resist layer 75 corresponding to the trap groove is completely filled with the metal layer 77.

【0029】次に、図19に示すように、レジスト6
5、75を除去する。次に、図20に示すように、全体
の表面に薄い撥水処理層79(たとえば、ニッケルにテ
フロンを混入させたもの)をメッキ法により形成する。
以上で、前述した形状をもったノズルクレータ27とト
ラップ溝39とが完成する。
Next, as shown in FIG.
5, 75 are removed. Next, as shown in FIG. 20, a thin water-repellent treatment layer 79 (for example, a mixture of nickel and Teflon) is formed on the entire surface by a plating method.
Thus, the nozzle crater 27 and the trap groove 39 having the above-described shapes are completed.

【0030】以上、本発明の実施形態を説明したが、こ
れらの実施形態はあくまで本発明の説明のための例示で
あり、本発明をこれら実施形態にのみ限定する趣旨では
ない。従って、本発明は、上記実施形態以外の様々な形
態でも実施することができるものである。
Although the embodiments of the present invention have been described above, these embodiments are merely examples for describing the present invention, and are not intended to limit the present invention only to these embodiments. Therefore, the present invention can be implemented in various forms other than the above-described embodiment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来のインクジェット印刷ヘッドのノズルプレ
ートの平面図。
FIG. 1 is a plan view of a nozzle plate of a conventional inkjet print head.

【図2】図1のA−A線に沿った同ノズルプレートの断
面図。
FIG. 2 is a sectional view of the nozzle plate taken along line AA of FIG. 1;

【図3】本発明の一実施形態にかかるインクジェット印
刷ヘッドのノズルプレートの平面図。
FIG. 3 is a plan view of a nozzle plate of the inkjet print head according to one embodiment of the present invention.

【図4】図3のB−B線に沿った同ノズルプレートの断
面図。
FIG. 4 is a sectional view of the nozzle plate taken along line BB of FIG. 3;

【図5】第1の変形例にかかるノズルプレートの断面
図。
FIG. 5 is a sectional view of a nozzle plate according to a first modification.

【図6】第2の変形例にかかるノズルプレートの断面
図。
FIG. 6 is a sectional view of a nozzle plate according to a second modification.

【図7】第3の変形例にかかるノズルプレートの断面
図。
FIG. 7 is a sectional view of a nozzle plate according to a third modification.

【図8】第4の変形例にかかるノズルプレートの平面
図。
FIG. 8 is a plan view of a nozzle plate according to a fourth modification.

【図9】第5の変形例にかかるノズルプレートの平面図FIG. 9 is a plan view of a nozzle plate according to a fifth modification.

【図10】第6の変形例にかかるノズルプレートの平面
図。
FIG. 10 is a plan view of a nozzle plate according to a sixth modification.

【図11】第7の変形例にかかるノズルプレートの平面
図。
FIG. 11 is a plan view of a nozzle plate according to a seventh modification.

【図12】本発明の製造方法の第1の実施形態を説明す
る断面図。
FIG. 12 is a sectional view illustrating a first embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図13】本発明の製造方法の第2の実施形態のUVフ
ィルム転写工程を説明する断面図。
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a UV film transfer step according to a second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図14】本発明の製造方法の第2の実施形態の第1露
光工程を説明する断面図。
FIG. 14 is a cross-sectional view illustrating a first exposure step of the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図15】本発明の製造方法の第2の実施形態の第1現
像工程を説明する断面図。
FIG. 15 is a cross-sectional view illustrating a first developing step of the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図16】本発明の製造方法の第2の実施形態のUVフ
ィルム再転写および第2露光工程を説明する断面図。
FIG. 16 is a cross-sectional view illustrating a UV film retransfer and a second exposure step according to a second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図17】本発明の製造方法の第2の実施形態の第2現
像工程を説明する断面図。
FIG. 17 is a cross-sectional view explaining a second developing step of the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図18】本発明の製造方法の第2の実施形態の電鋳メ
ッキ工程を説明する断面図。
FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating an electroforming plating step according to the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図19】本発明の製造方法の第2の実施形態のレジス
ト除去工程を説明する断面図。
FIG. 19 is a sectional view for explaining a resist removing step of the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図20】本発明の製造方法の第2の実施形態の撥水処
理層メッキ工程を説明する断面図。
FIG. 20 is a cross-sectional view illustrating a water-repellent treatment layer plating step of the second embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 ノズルプレート 23 ノズルプレート表面 25 ノズルプレート主表面 27 ノズルクレータ 29 ノズル 31 ノズル出口 33 ノズルクレータの傾斜面 35、37 ノズルクレータのエッジ 39 トラップ溝 41、43 トラップ溝のエッジ 45 ワイピング用ブレード 21 Nozzle Plate 23 Nozzle Plate Surface 25 Nozzle Plate Main Surface 27 Nozzle Crater 29 Nozzle 31 Nozzle Exit 33 Nozzle Crater Sloping Surface 35, 37 Nozzle Crater Edge 39 Trap Groove 41, 43 Trap Groove Edge 45 Wiping Blade

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクジェットノズルの出口が配置され
た表面をもつノズルプレートと、前記ノズルプレートの
表面をワイピングする機構とを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータとを有し、 前記ノズルクレータが、ワイピング方向下流側の辺部
に、前記主表面に対して傾斜した傾斜面を有しているイ
ンクジェット印刷装置。
1. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is disposed, and a mechanism for wiping the surface of the nozzle plate, wherein the surface of the nozzle plate is recessed from the main surface and the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is disposed in the area, and the nozzle crater has an inclined surface inclined with respect to the main surface on a side portion on the downstream side in the wiping direction. Inkjet printing equipment.
【請求項2】 前記ノズルクレータが、ワイピング上流
側の辺部にも、前記主表面に対して傾斜した別の傾斜面
を有している請求項1記載のインクジェット印刷装置。
2. The ink jet printing apparatus according to claim 1, wherein the nozzle crater has another inclined surface that is inclined with respect to the main surface also at a side portion on the upstream side of wiping.
【請求項3】 前記ノズルプレートの表面が、前記ノズ
ルクレータよりもワイピング方向上流側の位置及び下流
側の位置の少なくとも一方に配置されたトラップ溝をさ
らに有している請求項1記載のインクジェット印刷装
置。
3. The ink jet printing according to claim 1, wherein the surface of the nozzle plate further has a trap groove arranged at least one of a position upstream and a position downstream of the nozzle crater in the wiping direction. apparatus.
【請求項4】 前記トラップ溝が、前記ワイピング方向
に直角な方向へ、前記ノズルクレータの存在範囲をカバ
ーする範囲にわたって伸びている請求項3記載のインク
ジェット印刷装置。
4. The ink jet printing apparatus according to claim 3, wherein the trap groove extends in a direction perpendicular to the wiping direction over a range covering an existing range of the nozzle crater.
【請求項5】 複数個の前記トラップ溝が、前記ワイピ
ング方向に直角な方向へ、前記ノズルクレータの存在範
囲をカバーする範囲にわたって配列されている請求項3
記載のインクジェット印刷装置。
5. A plurality of said trap grooves are arranged in a direction perpendicular to said wiping direction over a range covering an existing range of said nozzle crater.
An inkjet printing apparatus as described in the above.
【請求項6】 インクジェットノズルの出口が配置され
た表面をもつノズルプレートと、前記ノズルプレートの
表面をワイピングする機構とを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータとを有し、 前記ノズルクレータのワイピング方向下流側のエッジ
が、鈍角である又は丸められているインクジェット印刷
装置。
6. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is arranged, and a mechanism for wiping the surface of the nozzle plate, wherein the surface of the nozzle plate is recessed from the main surface and the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is disposed in the region, wherein an edge of the nozzle crater on the downstream side in the wiping direction is obtuse or rounded.
【請求項7】 インクジェットノズルの出口が配置され
た表面をもつノズルプレートと、前記ノズルプレートの
表面をワイピングする機構とを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータと、前記ノズルクレータよ
りもワイピング方向上流側の位置及び下流側の位置の少
なくとも一方に配置されたトラップ溝と有しているイン
クジェット印刷装置。
7. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is arranged, and a mechanism for wiping the surface of the nozzle plate, wherein the surface of the nozzle plate is recessed from the main surface and the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is disposed in the region, and a trap groove disposed in at least one of a position on the upstream side and a position on the downstream side in the wiping direction with respect to the nozzle crater. Ink jet printing device.
【請求項8】 インクジェットノズルの出口が配置され
た表面をもち、この表面を所定方向にワイピングするこ
とが可能なノズルプレートを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータとを有し、 前記ノズルクレータが、ワイピング方向下流側の辺部
に、前記主表面に対して傾斜した傾斜面を有しているイ
ンクジェット印刷ヘッド。
8. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is arranged and capable of wiping the surface in a predetermined direction, wherein the surface of the nozzle plate has a main surface and a recess from the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is arranged in this area, and the nozzle crater has an inclined surface inclined with respect to the main surface at a side portion on the downstream side in the wiping direction. Inkjet print head.
【請求項9】 インクジェットノズルの出口が配置され
た表面をもち、この表面を所定方向にワイピングするこ
とが可能なノズルプレートを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータとを有し、 前記ノズルクレータのワイピング方向下流側のエッジ
が、鈍角である又は丸められているインクジェット印刷
ヘッド。
9. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is arranged, the nozzle plate being capable of wiping the surface in a predetermined direction, wherein the surface of the nozzle plate is recessed from the main surface and the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is disposed, wherein an edge of the nozzle crater on the downstream side in the wiping direction is obtuse or rounded.
【請求項10】 インクジェットノズルの出口が配置さ
れた表面をもち、この表面を所定方向にワイピングする
ことが可能なノズルプレートを備え、 前記ノズルプレートの表面が、主表面と、前記主表面か
ら凹んだ領域であってこの領域内に前記ノズル出口が配
置されているノズルクレータと、前記ノズルクレータよ
りもワイピング方向上流側の位置及び下流側の位置の少
なくとも一方に配置されたトラップ溝と有しているイン
クジェット印刷ヘッド。
10. A nozzle plate having a surface on which an outlet of an ink jet nozzle is arranged and capable of wiping the surface in a predetermined direction, wherein the surface of the nozzle plate is recessed from the main surface and the main surface. A nozzle crater in which the nozzle outlet is arranged in the area, and a trap groove arranged in at least one of a position on the upstream side and a position on the downstream side in the wiping direction with respect to the nozzle crater. There is an inkjet print head.
【請求項11】 フィルムに穴を空ける工程と、前記穴
の空いたフィルムをインクジェット印刷ヘッド用のノズ
ルプレートの表面に接合する工程とを有し、 前記フィルムに穴を開ける工程では、前記ノズルプレー
ト表面のノズル出口をカバーする領域に前記穴を開け、
且つ、前記穴の辺部には前記フィルムの表面に対して傾
斜した傾斜面を形成するインクジェット印刷ヘッドの製
造方法。
11. A step of perforating a film, and a step of joining the perforated film to a surface of a nozzle plate for an ink jet print head, wherein the step of perforating the film includes the step of forming the nozzle plate. Drill the hole in the area covering the nozzle outlet on the surface,
In addition, a method of manufacturing an ink jet print head, wherein an inclined surface inclined with respect to the surface of the film is formed at a side portion of the hole.
【請求項12】 インクジェット印刷ヘッド用のノズル
プレートの表面のノズル出口をカバーする領域にレジス
ト層を形成する工程と、 前記レジスト層を形成した前記ノズルプレート表面に、
電鋳メッキ法により金属層を前記レジスト層よりも高く
成長させる工程と、 前記金属層を成長させた後に、前記レジスト層を除去す
る工程とを有するインクジェット印刷ヘッドの製造方
法。
12. A step of forming a resist layer in a region covering a nozzle outlet on a surface of a nozzle plate for an ink jet print head; and forming a resist layer on the surface of the nozzle plate on which the resist layer is formed.
A method for manufacturing an ink jet print head, comprising: a step of growing a metal layer higher than the resist layer by electroforming plating; and a step of removing the resist layer after growing the metal layer.
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