JPH11274665A - Color element laser oscillation method/device - Google Patents

Color element laser oscillation method/device

Info

Publication number
JPH11274665A
JPH11274665A JP7763298A JP7763298A JPH11274665A JP H11274665 A JPH11274665 A JP H11274665A JP 7763298 A JP7763298 A JP 7763298A JP 7763298 A JP7763298 A JP 7763298A JP H11274665 A JPH11274665 A JP H11274665A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dye laser
excitation
dye
laser
amplification
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7763298A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3513005B2 (en
Inventor
Makoto Ishibashi
誠 石橋
Masaru Chinen
勝 知念
Teruichiro Fukazawa
輝一郎 深澤
Junji Fujiwara
淳史 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan
Original Assignee
Toshiba Corp
Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP7763298A priority Critical patent/JP3513005B2/en
Publication of JPH11274665A publication Critical patent/JPH11274665A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3513005B2 publication Critical patent/JP3513005B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To set output to be high and to set repetition to be high. SOLUTION: CVL light which is obtained by synthesizing respective CVL (copper vapor laser) light beams and whose repetition number is mf is made incident on a color element laser oscillator 20 as exciting light. Respective CVL light beams whose repetition number is (f) are made incident on respective color element laser amplifiers 22-1 to 22-m and they are excited. Color element laser light beams outputted from the color element laser oscillator 20 are amplified in multiple stages by the respective color element laser amplifiers 22-1 to 22-m. The color element laser light beams are synthesized and a color element laser light beam whose repetition number is mf is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高繰り返し化した
色素レーザ発振装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a highly repetitive dye laser oscillation device.

【0002】[0002]

【従来の技術】色素レーザ発振装置の高繰り返し化に
は、主に次の2つの方式が取られている。第1の方式に
よる高繰り返し色素レーザ発振装置の構成図を図4に示
す。
2. Description of the Related Art To increase the repetition rate of a dye laser oscillation device, the following two methods are mainly employed. FIG. 4 shows a configuration diagram of a high repetition dye laser oscillation device according to the first method.

【0003】色素レーザ発振器(OSC)1から出力さ
れる色素レーザ光の光路上には、色素レーザ増幅器2が
配置されている。この色素レーザ増幅器2は、複数の増
幅器{AMP(1) 〜(m) }を配列して多段増幅に構成し
たものである。
A dye laser amplifier 2 is arranged on the optical path of dye laser light output from a dye laser oscillator (OSC) 1. The dye laser amplifier 2 has a plurality of amplifiers {AMP (1) to (m)} arranged in a multistage amplifier.

【0004】又、色素レーザ発振器1の励起用として複
数の銅蒸気レーザ(以下、CVLと称する)装置3−1
〜3−mが配置されている。これらCVL装置3−1〜
3−mの各出力光路上には、合成光学系の各ミラー4が
配置されている。
A plurality of copper vapor laser (hereinafter, referred to as CVL) devices 3-1 are used for exciting the dye laser oscillator 1.
3−3-m are arranged. These CVL devices 3-1 to 3-1
Each mirror 4 of the combining optical system is arranged on each output optical path of 3-m.

【0005】これらCVL装置3−1〜3−mは、タイ
ミング制御装置5により動作制御され、それぞれ同一の
繰り返し数f(Hz)によりCVL光を出力する。この
場合、タイミング制御装置5は、CVL装置3−1に対
して他の各CVL装置3−2〜3−mのディレイタイム
t2〜tmを、 t2=(n2 −1)/mf 〜 tm=(nm −1)/
mf に設定して発振制御する。
The operation of these CVL devices 3-1 to 3-m is controlled by a timing control device 5, and outputs CVL light at the same repetition rate f (Hz). In this case, the timing control device 5 sets the delay time t2 to tm of each of the other CVL devices 3-2 to 3-m with respect to the CVL device 3-1 as follows: t2 = (n2 -1) / mf to tm = ( nm -1) /
The oscillation is controlled by setting mf.

【0006】なお、n1 〜nm は各CVL装置3−1〜
3−mの各番号、mはCVL装置の総数である。これに
より、各CVL装置3−1〜3−mから各CVL光が出
力されると、これらCVL光は各ミラー4により合成さ
れて繰り返し数mf(Hz)のCVL光として色素レー
ザ発振器1に入射する。
Note that n1 to nm are the respective CVL devices 3-1 to 3-1.
Each number of 3-m, m is the total number of CVL devices. As a result, when each CVL light is output from each of the CVL devices 3-1 to 3-m, these CVL lights are combined by each mirror 4 and incident on the dye laser oscillator 1 as CVL light having a repetition number of mf (Hz). I do.

【0007】これと共に繰り返し数mfのCVL光は、
励起光導光光学系の各ミラー6により分配されて色素レ
ーザ増幅器2の各増幅器{AMP(1) 〜(m) }に入射す
る。従って、色素レーザ発振器1は、各CVL光により
励起されて繰り返し数mfの色素レーザ光を出力する。
そして、この色素レーザ光は、次の色素レーザ増幅器2
において多段に増幅され、高繰り返し数mfの色素レー
ザ光として出力される。
At the same time, the CVL light having a repetition number mf is
The light is distributed by the mirrors 6 of the pumping light guiding optical system and enters the respective amplifiers {AMP (1) to (m)} of the dye laser amplifier 2. Accordingly, the dye laser oscillator 1 is excited by each CVL light and outputs dye laser light having a repetition number mf.
Then, this dye laser light is transmitted to the next dye laser amplifier 2.
Are amplified in multiple stages and output as dye laser light having a high repetition rate mf.

【0008】次に第2の方式による高繰り返し色素レー
ザ発振装置の構成図を図5に示す。複数の色素レーザ発
振器(OSC)10−1〜10−m、及び複数の色素レ
ーザ増幅器11−1〜11〜mから成る各色素レーザラ
インが複数組み配置されている。
Next, FIG. 5 shows a configuration diagram of a high repetition dye laser oscillation device according to the second system. A plurality of dye laser lines each including a plurality of dye laser oscillators (OSCs) 10-1 to 10-m and a plurality of dye laser amplifiers 11-1 to 11-m are arranged.

【0009】なお、色素レーザ増幅器11−1〜11〜
mは、上記同様に複数の増幅器{AMP(1) 〜(m) }を
配列して多段増幅に構成したものである。又、各色素レ
ーザ発振器10−1〜10−mの励起用として複数のC
VL装置12−1〜12−m、及びこれらCVL装置1
2−1〜12−mに対応して各励起光導光光学系の各ミ
ラー13、14、15が配置されている。
The dye laser amplifiers 11-1 to 11-11
m is a multi-stage amplifier in which a plurality of amplifiers {AMP (1) to (m)} are arranged in the same manner as described above. Also, a plurality of Cs are used for exciting the dye laser oscillators 10-1 to 10-m.
VL devices 12-1 to 12-m, and these CVL devices 1
The respective mirrors 13, 14, 15 of the respective excitation light guiding optical systems are arranged corresponding to 2-1 to 12-m.

【0010】なお、CVL装置及び励起光導光光学系の
組み合わせを1チェーンと称する。これらCVL装置1
2−1〜12−mは、タイミング制御装置16により動
作制御され、それぞれ同一の繰り返し数f(Hz)によ
りCVL光を出力する。
The combination of the CVL device and the excitation light guiding optical system is called one chain. These CVL devices 1
The operation of 2-1 to 12-m is controlled by the timing control device 16, and outputs CVL light at the same repetition rate f (Hz).

【0011】この場合、タイミング制御装置16は、C
VL装置12−1に対して他のCVL装置12−2〜1
2−mのディレイタイムt2〜tmを、 t2=(n2 −1)/mf 〜 tm=(nm −1)/
mf に設定して発振制御する。
In this case, the timing control device 16
The other CVL devices 12-2 to 12-1 with respect to the VL device 12-1
The 2-m delay time t2 to tm is calculated as follows: t2 = (n2 -1) / mf to tm = (nm-1) /
The oscillation is controlled by setting mf.

【0012】これにより、各CVL装置12−1〜12
−mから各CVL光が出力されると、これらCVL光は
各色素レーザ発振器10−1〜10−mに入射され、こ
れと共に各ミラー13、14、15により分配されて色
素レーザ増幅器2の各増幅器{AMP(1) 〜(m) }に入
射する。
As a result, each of the CVL devices 12-1 to 12-12
When the respective CVL lights are output from −m, these CVL lights are incident on the respective dye laser oscillators 10-1 to 10 -m, and are also distributed by the respective mirrors 13, 14, and 15, and the respective CVL lights are output from the respective dye laser amplifiers 2. The light enters the amplifiers {AMP (1) to (m)}.

【0013】従って、各色素レーザ発振器10−1〜1
0−m1からそれぞれ色素レーザ光が出力されると、こ
れら色素レーザ光はそれぞれ色素レーザ増幅器2におい
て多段に増幅され、この後、合成光学系の各ミラー17
により合成されて高繰り返し数mfの色素レーザ光とし
て出力される。
Accordingly, each of the dye laser oscillators 10-1 to 10-1
When each of the dye laser lights is output from 0-m1, these dye laser lights are amplified in multiple stages in the dye laser amplifier 2, and thereafter, each mirror 17
And output as dye laser light having a high repetition rate mf.

【0014】ところで、色素レーザ発振装置は、色素フ
ローセル内に満たされた色素溶液にCVL等の励起光を
照射してレーザ発振を得ている。このとき、1つのパル
スレーザ光で加熱されたCVLの照射範囲(励起ボリュ
ーム)内の色素溶液が、次のパルスレーザ光が届く前に
流れ過ぎるようにする必要がある。
The dye laser oscillator irradiates the dye solution filled in the dye flow cell with excitation light such as CVL to obtain laser oscillation. At this time, it is necessary that the dye solution in the irradiation range (excitation volume) of the CVL heated by one pulse laser beam flows too much before the next pulse laser beam reaches.

【0015】上記第1の方式は、色素レーザの高出力・
高繰り返し化を行うために、色素レーザ発振器1及び色
素レーザ増幅器2を同一の高繰り返し数mfの各CVL
光で励起しているが、この励起回数の増加により色素溶
液が加熱され、熱レンズ効果により出力の低下、波面の
歪み等が起こる。
The above-mentioned first method uses a high-output dye laser.
In order to increase the repetition rate, the dye laser oscillator 1 and the dye laser amplifier 2 are connected to the same CVL having the same high repetition rate mf.
Although the dye solution is excited by light, the dye solution is heated by the increase in the number of times of the excitation, and the output decreases and the wavefront is distorted due to the thermal lens effect.

【0016】これを防ぐためには、色素溶液の循環装置
の大流量化を図り、色素溶液の循環流量を増やす必要が
ある。又、出力の小さい色素レーザ発振器1や色素レー
ザ増幅器2における第1〜2段目の増幅器では、色素フ
ローセルに対する励起ボリュームが比較的狭い、すなわ
ち励起光量が少ないために後段の色素フローセルと同一
励起密度に設定した際には照射面積が小さくなる。
In order to prevent this, it is necessary to increase the flow rate of the dye solution circulation device and increase the circulation flow rate of the dye solution. Also, in the first and second stages of the dye laser oscillator 1 and the dye laser amplifier 2 having a small output, the excitation volume for the dye flow cell is relatively narrow, that is, the excitation light amount is small, so that the excitation density is the same as that of the subsequent dye flow cell. When set to, the irradiation area becomes smaller.

【0017】このため、5kHz程度の繰り返し数で
は、色素溶液は数l/minの流量ですみ、5倍程度の
高繰り返し化を行った場合でも数十l/min程度の循
環流量ですむ。
Therefore, at a repetition rate of about 5 kHz, the flow rate of the dye solution is only several l / min, and even when the repetition rate is increased about five times, the circulation flow rate is about several tens l / min.

【0018】しかしながら、色素レーザ増幅器2におけ
る出力の大きくなる後段側の増幅器では、5kHz程度
の繰り返し数で百数十l/minの流量が必要であり、
5倍程度の高繰り返し化を行った場合でも、千l/mi
nに近い循環流量が必要となり、経済的にも空間的にも
負担の大きい、大型の循環装置が必要となる。
However, in the latter-stage amplifier where the output of the dye laser amplifier 2 increases, a flow rate of one hundred and several tens l / min is required at a repetition rate of about 5 kHz.
Even when the repetition rate is increased about 5 times, 1000 l / mi
A circulating flow rate close to n is required, and a large-sized circulating apparatus that requires a large burden both economically and spatially is required.

【0019】一方、第2の方式では、発振タイミングを
ずらした色素レーザを複数合成して高繰り返し化を行う
ので、1チェーン当たりの繰り返し数は少なく、循環装
置の大流量化やCVLの高繰り返し化の必要はない。
On the other hand, in the second method, a plurality of dye lasers whose oscillation timings are shifted are synthesized to increase the repetition. Therefore, the number of repetitions per chain is small, and the flow rate of the circulator is increased, and the CVL is repetitively increased. There is no need for conversion.

【0020】しかしながら、タイミング制御装置16に
よる発振周波数の高精度な制御が要求され、物量等の面
から最も付加価値の高い色素レーザ発振器12−1〜1
2−mが各チェーンごとに必要となり、これら色素レー
ザ発振器12−1〜12−mの発振タイミングの調整、
及びメンテナンス等の運転を行っていく上で負担が増
す。
However, high-precision control of the oscillation frequency by the timing controller 16 is required, and the dye laser oscillators 12-1 to 12-1 having the highest added value in terms of physical quantity and the like are required.
2-m is required for each chain, and the oscillation timing of these dye laser oscillators 12-1 to 12-m is adjusted.
In addition, the burden increases in performing operations such as maintenance.

【0021】[0021]

【発明が解決しようとする課題】以上のように第1の方
式では、高繰り返し化を行うと、色素レーザ増幅器2の
後段側の増幅器において大流量の色素溶液の循環が必要
となる。又、第2の方式では、色素レーザ発振器12−
1〜12−mの発振タイミングに対して高精度な制御が
要求される。そこで本発明は、高出力・高繰り返し化を
図ることができる色素レーザ発振方法及びその装置を提
供することを目的とする。
As described above, in the first method, when the repetition rate is increased, a large amount of the dye solution needs to be circulated in the amplifier on the downstream side of the dye laser amplifier 2. In the second method, the dye laser oscillator 12-
High-precision control is required for the oscillation timing of 1 to 12-m. Accordingly, an object of the present invention is to provide a dye laser oscillation method and an apparatus thereof that can achieve high output and high repetition.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】請求項1によれば、色素
レーザ発振器から出力された色素レーザ光を複数の色素
レーザ増幅ラインに分配し、これら色素レーザ増幅ライ
ンで各増幅された各色素レーザ光を合成して出力する色
素レーザ発振方法において、色素レーザ発振器の繰り返
し周波数を所望の高繰り返し数に設定し、かつ各色素レ
ーザ増幅ラインの各増幅動作タイミングを、色素レーザ
発振器の高繰り返し数を前記各色素レーザ増幅ライン数
により分けた繰り返し数に一致させるようにして上記目
的を達成しようとする色素レーザ発振方法である。
According to a first aspect of the present invention, a dye laser beam output from a dye laser oscillator is distributed to a plurality of dye laser amplification lines, and each of the dye lasers amplified by the dye laser amplification lines. In the dye laser oscillation method of combining and outputting light, the repetition frequency of the dye laser oscillator is set to a desired high repetition number, and each amplification operation timing of each dye laser amplification line is set to the high repetition number of the dye laser oscillator. This is a dye laser oscillation method that achieves the above object by making the number of repetitions divided by the number of dye laser amplification lines coincide with each other.

【0023】このような構成であれば、色素レーザ発振
器から出力された色素レーザ光を複数の色素レーザ増幅
ラインに分配して各増幅し、これら増幅された各色素レ
ーザ光を合成出力する際、色素レーザ発振器の繰り返し
周波数を、複数の色素レーザ増幅ラインの繰り返し周波
数とそのライン数との積に設定し、かつ各色素レーザ増
幅ラインの各増幅動作タイミングを、各色素レーザ増幅
ラインに分配する各色素レーザ光の周波数に一致させる
ことにより、高出力・高繰り返し化が図れる。
With such a configuration, when the dye laser light output from the dye laser oscillator is distributed to a plurality of dye laser amplification lines and amplified, and the amplified dye laser lights are combined and output, The repetition frequency of the dye laser oscillator is set to the product of the repetition frequency of a plurality of dye laser amplification lines and the number of the lines, and each amplification operation timing of each dye laser amplification line is distributed to each dye laser amplification line. By matching the frequency of the dye laser light, high output and high repetition can be achieved.

【0024】請求項2によれば、色素レーザ発振器の繰
り返し周波数は、色素レーザ増幅ラインの繰り返し数と
色素レーザ増幅ライン数との積に設定する。このような
構成であれば、色素レーザ発振器の繰り返し周波数を、
色素レーザ増幅ラインの繰り返し数と色素レーザ増幅ラ
イン数との積に設定して動作させる。
According to the second aspect, the repetition frequency of the dye laser oscillator is set to the product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of dye laser amplification lines. With such a configuration, the repetition frequency of the dye laser
The operation is performed by setting the product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of dye laser amplification lines.

【0025】請求項3によれば、色素レーザ発振器から
出力された色素レーザ光を複数の色素レーザ増幅ライン
に分配し、これら色素レーザ増幅ラインで各増幅された
各色素レーザ光を合成して出力する色素レーザ発振装置
において、色素レーザ発振器を所望の高繰り返し数で発
振動作させ、かつ各色素レーザ増幅ラインを、色素レー
ザ発振器の繰り返し数を色素レーザ増幅ライン数により
分けた繰り返し数に一致するタイミングで増幅動作させ
る励起タイミング制御手段、を備えて上記目的を達成し
ようとする色素レーザ発振装置である。
According to the third aspect, the dye laser light output from the dye laser oscillator is distributed to a plurality of dye laser amplification lines, and the dye laser lights amplified by the dye laser amplification lines are combined and output. In the dye laser oscillation apparatus, the timing at which the dye laser oscillator is oscillated at a desired high repetition rate, and each dye laser amplification line coincides with the number of repetitions obtained by dividing the repetition rate of the dye laser oscillator by the number of dye laser amplification lines. A dye laser oscillation device that achieves the above object by providing excitation timing control means for performing an amplifying operation in the above.

【0026】このような構成であれば、色素レーザ発振
器から出力された色素レーザ光を複数の色素レーザ増幅
ラインに分配して各増幅し、これら増幅された各色素レ
ーザ光を合成出力する際、励起タイミング制御手段を備
えることにより、色素レーザ発振器の繰り返し周波数
を、複数の色素レーザ増幅ラインの繰り返し周波数とそ
のライン数との積に設定し、かつ各色素レーザ増幅ライ
ンの各増幅動作タイミングを、各色素レーザ増幅ライン
に分配する各色素レーザ光の周波数に一致させる。
With such a configuration, when the dye laser light output from the dye laser oscillator is distributed to a plurality of dye laser amplification lines and amplified, and the amplified dye laser lights are combined and output, By providing the excitation timing control means, the repetition frequency of the dye laser oscillator is set to the product of the repetition frequency of a plurality of dye laser amplification lines and the number of the lines, and each amplification operation timing of each dye laser amplification line, The frequency is matched with the frequency of each dye laser beam distributed to each dye laser amplification line.

【0027】請求項4によれば、励起タイミング制御手
段は、色素レーザ発振器の繰り返し数を、色素レーザ増
幅ラインの繰り返し数と色素レーザ増幅ライン数との積
に設定する。
According to the fourth aspect, the excitation timing control means sets the number of repetitions of the dye laser oscillator to the product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of dye laser amplification lines.

【0028】このような構成であれば、励起タイミング
制御手段によって色素レーザ発振器の繰り返し数を、色
素レーザ増幅ラインの繰り返し数と色素レーザ増幅ライ
ン数との積に設定して動作させる。
With such a configuration, the operation is performed by setting the number of repetitions of the dye laser oscillator to the product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of dye laser amplification lines by the excitation timing control means.

【0029】請求項5によれば、励起タイミング制御手
段は、色素レーザ発振器用の複数の第1の励起用レーザ
装置と、これら第1の励起用レーザ装置から出力された
各励起用レーザ光を合成して色素レーザ発振器に入射す
る合成光学系と、各色素レーザ増幅ラインごとに配置さ
れた複数の第2の励起用レーザ装置と、これら第2の励
起用レーザ装置から出力された各励起レーザ光をそれぞ
れ対応する各色素レーザ増幅ラインに導く複数の励起光
導光光学系と、各第1の励起用レーザ装置から出力され
る各励起レーザ光を合成したときの繰り返し数が色素レ
ーザ発振器の繰り返し数と一致するタイミングで各第1
の励起用レーザ装置を動作制御し、かつ色素レーザ発振
器の繰り返し数を各色素レーザ増幅ラインのライン数で
分けた繰り返し数で各第2の励起用レーザ装置を動作制
御するタイミング制御手段と、から成る。
According to the fifth aspect, the excitation timing control means includes a plurality of first excitation laser devices for the dye laser oscillator, and each excitation laser beam output from the first excitation laser device. A combining optical system for combining and entering the dye laser oscillator, a plurality of second excitation laser devices arranged for each dye laser amplification line, and respective excitation lasers output from these second excitation laser devices A plurality of excitation light guiding optical systems for guiding light to the corresponding dye laser amplification lines, and the number of repetitions when the respective excitation laser lights output from the respective first excitation laser devices are combined is a repetition rate of the dye laser oscillator. Each first at the timing that matches the number
Timing control means for controlling the operation of the excitation laser device, and controlling the operation of each second excitation laser device with the number of repetitions of the dye laser oscillator divided by the number of lines of each dye laser amplification line. Become.

【0030】このような構成であれば、励起タイミング
制御手段は、複数の第1の励起用レーザ装置から出力さ
れた各励起用レーザ光を合成して色素レーザ発振器に入
射するとき、これら励起レーザ光を合成したときの周波
数が色素レーザ発振器の繰り返し数と一致するタイミン
グとなるように各第1の励起用レーザ装置を動作制御
し、かつ複数の第2の励起用レーザ装置から出力された
各励起レーザ光をそれぞれ対応する各色素レーザ増幅ラ
インに導くとき、色素レーザ発振器の繰り返し数を各色
素レーザ増幅ラインのライン数で分けた周波数で各第2
の励起用レーザ装置を動作制御させる。
With such a configuration, the excitation timing control means combines the respective excitation laser beams output from the plurality of first excitation laser devices and, when the laser beams are incident on the dye laser oscillator, these excitation lasers are controlled. The operation of each first excitation laser device is controlled so that the frequency at which the light is combined coincides with the number of repetitions of the dye laser oscillator, and each of the plurality of second excitation laser devices output When the excitation laser light is guided to each of the corresponding dye laser amplification lines, the number of repetitions of the dye laser oscillator is set at the second frequency at a frequency divided by the number of dye laser amplification lines.
The operation of the excitation laser device is controlled.

【0031】請求項6によれば、励起タイミング制御手
段は、各色素レーザ増幅ラインごとに配置された複数の
励起用レーザ装置と、これら励起用レーザ装置から出力
された各励起レーザ光をそれぞれ対応する各色素レーザ
増幅ラインに導く複数の励起光導光光学系と、各励起用
レーザ装置から出力された各励起レーザ光を合成して色
素レーザ発振器に入射する合成光学系と、色素レーザ発
振器の繰り返し数を各色素レーザ増幅ラインのライン数
で分けた繰り返し数で各励起用レーザ装置を動作制御す
るタイミング制御手段と、から成る。
According to claim 6, the excitation timing control means corresponds to a plurality of excitation laser devices arranged for each dye laser amplification line and each excitation laser beam output from these excitation laser devices. A plurality of pumping light guiding optical systems leading to each dye laser amplification line, a combining optical system that combines each pumping laser beam output from each pumping laser device and enters the dye laser oscillator, and a repetition of the dye laser oscillator Timing control means for controlling the operation of each excitation laser device with the number of repetitions obtained by dividing the number by the number of dye laser amplification lines.

【0032】このような構成であれば、励起タイミング
制御手段は、各色素レーザ増幅ラインごとに配置された
複数の励起用レーザ装置を、色素レーザ発振器の繰り返
し数を各色素レーザ増幅ラインのライン数で分けた繰り
返し数で動作制御し、これにより出力された各励起レー
ザ光をそれぞれ対応する各色素レーザ増幅ラインに導
器、これと共に各励起レーザ光を合成して色素レーザ発
振器に入射する。
With such a configuration, the excitation timing control means controls the plurality of excitation laser devices arranged for each dye laser amplification line by changing the number of repetitions of the dye laser oscillator to the number of lines of each dye laser amplification line. The operation is controlled by the number of repetitions divided by, and the respective excitation laser lights outputted are guided to corresponding dye laser amplification lines, respectively, and the respective excitation laser lights are combined therewith and incident on the dye laser oscillator.

【0033】請求項7によれば、色素レーザ発振器の後
段側に初段の増幅器を配置し、この増幅器により増幅さ
れた色素レーザ光を各色素レーザ増幅ラインに分配す
る。このような構成であれば、色素レーザ発振器から出
力された色素レーザ光を、その後段側に配置された初段
の増幅器により増幅し、この増幅された色素レーザ光を
各色素レーザ増幅ラインに分配する。
According to the seventh aspect, the first-stage amplifier is disposed downstream of the dye laser oscillator, and the dye laser light amplified by the amplifier is distributed to each dye laser amplification line. With such a configuration, the dye laser light output from the dye laser oscillator is amplified by the first-stage amplifier arranged on the subsequent stage side, and the amplified dye laser light is distributed to each dye laser amplification line. .

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第1の実施の
形態について図面を参照して説明する。図1は色素レー
ザ発振装置の構成図である。色素レーザ発振器(OS
C)20から出力される色素レーザ光の光路上には、分
配光学系の各ミラー21が配置され、これらミラー21
により色素レーザ光が複数の光路に分配されるようにな
っている。
(1) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of a dye laser oscillation device. Dye laser oscillator (OS
C) Each mirror 21 of the distribution optical system is arranged on the optical path of the dye laser light output from 20.
Thereby, the dye laser light is distributed to a plurality of optical paths.

【0035】これらミラー21による分配光路上には、
それぞれ色素レーザ増幅器22−1〜22−mが配置さ
れている。これら色素レーザ増幅器22−1〜22−m
は、複数の増幅器{AMP(1) 〜(m) }を配列して多段
増幅に構成したものである。
On the distribution optical path by these mirrors 21,
Dye laser amplifiers 22-1 to 22-m are arranged respectively. These dye laser amplifiers 22-1 to 22-m
Is a multistage amplifier in which a plurality of amplifiers {AMP (1) to (m)} are arranged.

【0036】これら色素レーザ増幅器22−1〜22−
mの出力側には、それぞれ色素レーザ合成光学系の各ミ
ラー23が配置されている。一方、色素レーザ発振器2
0の励起用として複数の励起用CVL装置24−1〜2
4−mが配置されている。
These dye laser amplifiers 22-1 to 22-
On the output side of m, each mirror 23 of the dye laser combining optical system is arranged. On the other hand, the dye laser oscillator 2
A plurality of excitation CVL devices 24-1 to 24-2 for zero excitation
4-m are arranged.

【0037】これら励起用CVL装置24−1〜24−
mの各出力光路上には、CVL合成光学系の各ミラー2
5が配置され、各励起用CVL装置24−1〜24−m
から出力された各CVL光が合成されて励起光として色
素レーザ発振器20に導かれている。
These excitation CVL devices 24-1 to 24-
m, each mirror 2 of the CVL combining optical system
5 are arranged, and each of the excitation CVL devices 24-1 to 24-m
Are combined and guided to the dye laser oscillator 20 as excitation light.

【0038】又、各色素レーザ増幅器22−1〜22−
mの励起用として複数の励起用CVL装置26−1〜2
6−m、及びこれら励起用CVL装置26−1〜26−
mに対応して各励起光導光光学系の各ミラー27、2
8、29が配置されている。
Each of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-
m Exciting CVL devices 26-1 and 26-2
6-m, and these CVL devices for excitation 26-1 to 26-
m, each mirror 27, 2 of each excitation light guiding optical system
8, 29 are arranged.

【0039】なお、これら励起用CVL装置26−1〜
26−m及び各励起光導光光学系の組み合わせを各1チ
ェーンと称する。タイミング制御装置27は、各励起用
CVL装置24−1〜24−mから出力される各CVL
光を合成したときの繰り返し数を、色素レーザ発振器2
0の繰り返し数mf(Hz)と一致するタイミングで各
励起用CVL装置24−1〜24−mを動作制御する第
1の制御機能、色素レーザ発振器20の繰り返し数mf
を、各色素レーザ増幅ライン、つまり各チェーンn1〜
nmのライン数mで分けた繰り返し数fで各励起用CV
L装置26−1〜26−mを動作制御させる第2の制御
機能、を備えている。
The excitation CVL devices 26-1 to 26-1
The combination of 26-m and each excitation light guiding optical system is referred to as one chain. The timing control device 27 controls each CVL output from each of the excitation CVL devices 24-1 to 24-m.
The number of repetitions when the light is combined is determined by the dye laser oscillator 2
The first control function for controlling the operation of each of the excitation CVL devices 24-1 to 24-m at a timing coincident with the repetition number mf (Hz) of 0, the repetition number mf of the dye laser oscillator 20
To each dye laser amplification line, that is, each chain n1-
CV for each excitation with repetition number f divided by nm line number m
A second control function for controlling the operation of the L devices 26-1 to 26-m.

【0040】このタイミング制御装置27の第1の制御
機能は、励起用CVL装置24−1に対して他の各励起
用CVL装置24−2〜24−mの各ディレイタイムt
2〜tmを、 t2=(n2 −1)/mf 〜 tm=(nm −1)/
mf に設定して発振制御する機能を有している。
The first control function of the timing control device 27 is to control the delay time t of each of the other excitation CVL devices 24-2 to 24-m with respect to the excitation CVL device 24-1.
2 to tm, t2 = (n2 -1) / mf to tm = (nm-1) /
It has a function of controlling oscillation by setting it to mf.

【0041】なお、n1 〜nm は各励起用CVL装置2
4−1〜24−mの各番号、mは励起用CVL装置の総
数である。又、タイミング制御装置27の第2の制御機
能は、第1の制御機能と同様に、励起用CVL装置26
−1に対して他の各励起用CVL装置26−2〜26−
mの各ディレイタイムt2〜tmを、 t2=(n2 −1)/mf 〜 tm=(nm −1)/
mf に設定して発振制御する機能を有している。
Note that n1 to nm are the respective CVL devices 2 for excitation.
Each number of 4-1 to 24-m, and m is the total number of excitation CVL devices. The second control function of the timing control device 27 is the same as that of the first control function.
-1 for each of the other excitation CVL devices 26-2 to 26-
m, the delay times t2 to tm are calculated as follows: t2 = (n2 -1) / mf to tm = (nm-1) /
It has a function of controlling oscillation by setting it to mf.

【0042】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。タイミング制御装置27により各励起用
CVL装置24−1〜23−mが動作制御されると、こ
れら励起用CVL装置24−1〜23−mは、それぞれ
励起用CVL装置23−1に対して各ディレイタイムt
2〜tmをもって各CVL光を出力する。
Next, the operation of the device configured as described above will be described. When the operation of each of the excitation CVL devices 24-1 to 23-m is controlled by the timing control device 27, these excitation CVL devices 24-1 to 23-m are respectively provided to the excitation CVL device 23-1. Delay time t
Each CVL light is output at 2 to tm.

【0043】すなわち、これら励起用CVL装置24−
1〜23−mは、それぞれ繰り返し数fのCVL光を出
力する。これらCVL光は、各ミラー25により合成さ
れてm倍された繰り返し数mfの励起用のCVL光とし
て色素レーザ発振器20に入射する。
That is, these excitation CVL devices 24-
Each of 1 to 23-m outputs the CVL light of the repetition number f. These CVL lights are combined by the respective mirrors 25 and are incident on the dye laser oscillator 20 as excitation CVL lights having a repetition number mf multiplied by m.

【0044】これと共にタイミング制御装置27により
各励起用CVL装置26−1〜26−mが動作制御され
ると、これら励起用CVL装置26−1〜26−mは、
それぞれ励起用CVL装置26−1に対して各ディレイ
タイムt2〜tmをもって各CVL光を出力する。
At the same time, when the operation of each of the excitation CVL devices 26-1 to 26-m is controlled by the timing control device 27, these excitation CVL devices 26-1 to 26-m
Each CVL light is output to the excitation CVL device 26-1 with each delay time t2 to tm.

【0045】これにより、各励起用CVL装置26−1
〜26−mは、それぞれ繰り返し数fのCVL光を上記
ディレイタイムt2〜tmをもって出力する。従って、
色素レーザ発振器20は、各CVL光により励起されて
繰り返し数mfの色素レーザ光を出力する。
Thus, each excitation CVL device 26-1
26-m output the CVL light of the repetition number f with the delay times t2 to tm, respectively. Therefore,
The dye laser oscillator 20 is excited by each CVL light and outputs dye laser light having a repetition number mf.

【0046】この色素レーザ光は、分配光学系の各ミラ
ー21により分配されて各色素レーザ増幅器22−1〜
22−mに入射する。これら色素レーザ増幅器22−1
〜22−mのうち色素レーザ増幅器22−1は、励起用
CVL装置26−1からの繰り返し数fのCVL光によ
り励起されて色素レーザ光を多段増幅する。
This dye laser beam is distributed by each mirror 21 of the distribution optical system, and each of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-1.
22-m. These dye laser amplifiers 22-1
22-m, the dye laser amplifier 22-1 is excited by the CVL light of the repetition number f from the excitation CVL device 26-1 and amplifies the dye laser light in multiple stages.

【0047】これと共に各色素レーザ増幅器22−2〜
22−mは、励起用CVL装置26−2〜26−mから
の繰り返し数fの各CVL光によりそれぞれ励起され、
色素レーザ増幅器22−1の励起タイミングに対し、上
記各ディレイタイムt2〜tmの差をもったタイミング
で各色素レーザ光を多段増幅する。
At the same time, each dye laser amplifier 22-2
22-m is excited by each CVL light of the repetition number f from the excitation CVL devices 26-2 to 26-m,
Each dye laser beam is multi-stage amplified at a timing having a difference between the respective delay times t2 to tm with respect to the excitation timing of the dye laser amplifier 22-1.

【0048】この結果、これら色素レーザ増幅器22−
1〜22−mにより多段増幅された各色素レーザ光は、
色素レーザ合成光学系の各ミラー23により合成され、
最終的な繰り返し数mfの色素レーザ光が出力される。
As a result, these dye laser amplifiers 22-
Each dye laser light multi-stage amplified by 1 to 22-m is
Synthesized by each mirror 23 of the dye laser synthesis optical system,
A dye laser beam having a final repetition number mf is output.

【0049】このように上記第1の実施の形態において
は、各CVL光を合成した繰り返し数mfのCVL光を
励起光として色素レーザ発振器20に入射し、かつ繰り
返し数fの各CVL光を各色素レーザ増幅器22−1〜
22−mに入射して励起し、これら色素レーザ増幅器2
2−1〜22−mにより多段増幅された各色素レーザ光
を合成して最終的な繰り返し数mfの色素レーザ光を得
るようにした。
As described above, in the first embodiment, the CVL light having the repetition number mf obtained by synthesizing the CVL lights is incident on the dye laser oscillator 20 as the excitation light, and the CVL light having the repetition number f is converted into the respective CVL lights. Dye laser amplifier 22-1
22-m to be excited.
Each dye laser light multi-stage amplified by 2-1 to 22-m was synthesized to obtain a dye laser light having a final repetition number mf.

【0050】これにより、高繰り返し数mfにより色素
レーザ発振器20を励起することから、この色素レーザ
発振器20における色素フローセルの熱レンズ効果を防
止するために色素溶液の循環装置の流量を増加する必要
があると考えられるが、出力の小さい色素レーザ発振器
20では、色素フローセルに対する励起ボリュームが比
較的狭い、すなわち励起光量が少ないために後段の色素
フローセルと同一励起密度に設定した際には照射面積が
小さいので、5kHz程度の繰り返し数では、色素溶液
は数l/minの流量でよく、5倍程度の高繰り返し化
を行った場合でも数十l/min程度の循環流量でよ
い。
Since the dye laser oscillator 20 is excited by the high repetition rate mf, it is necessary to increase the flow rate of the dye solution circulation device in order to prevent the thermal lens effect of the dye flow cell in the dye laser oscillator 20. Although it is considered that the dye laser oscillator 20 has a small output, the excitation volume for the dye flow cell is relatively narrow, that is, the irradiation area is small when it is set to the same excitation density as the subsequent dye flow cell because the amount of excitation light is small. Therefore, at a repetition rate of about 5 kHz, the flow rate of the dye solution is several l / min, and even when the repetition rate is increased about five times, the circulation flow rate is about several tens l / min.

【0051】従って、5kHz程度の繰り返し数のとき
に色素レーザ増幅器22−1〜22−mで用いている程
度の循環装置を色素レーザ発振器20に用いれば十分で
あり、これに関する負担は小さい。
Therefore, it is sufficient to use the circulating device used in the dye laser amplifiers 22-1 to 22-m for the dye laser oscillator 20 when the repetition rate is about 5 kHz, and the burden on this is small.

【0052】そのうえ、各色素レーザ増幅器22−1〜
22−mを高繰り返し数で動作させる必要がないので、
色素溶液の循環装置を大流量化とする必要がない。又、
高繰り返しを行った1台の色素レーザ発振器20からの
色素レーザ光を各色素レーザ増幅器22−1〜22−m
に分配するので、制御、調整、物量等の点から最も不可
価値の高い色素レーザ発振器20の数を増すことなく、
色素レーザ発振装置として経済的・空間的に負担を伴わ
ずに低コストで、高出力・高繰り返し動作ができる。 (2) 次に本発明の第2の実施の形態について説明する。
なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。
In addition, each of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-1
Since it is not necessary to operate 22-m at a high repetition rate,
There is no need to increase the flow rate of the dye solution circulation device. or,
The dye laser light from one dye laser oscillator 20 that has been subjected to high repetition is supplied to each dye laser amplifier 22-1 to 22-m.
, Without increasing the number of the most invaluable dye laser oscillators 20 in terms of control, adjustment, physical quantity, etc.
As a dye laser oscillation device, high output and high repetition operation can be performed at low cost without burden on economy and space. (2) Next, a second embodiment of the present invention will be described.
The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0053】図2は色素レーザ発振装置の構成図であ
る。各励起用CVL装置26−1〜26−mから出力さ
れる各CVL光の光路上には、それぞれ分配合成光学系
を構成する各ビームスプリッタ30−1〜30−mが配
置され、さらにこれらビームスプリッタ30−1〜30
−mの一方の分岐光路上に各ミラー31、32、33が
配置されている。
FIG. 2 is a configuration diagram of a dye laser oscillation device. On the optical path of each CVL light output from each of the excitation CVL devices 26-1 to 26-m, beam splitters 30-1 to 30-m constituting a distributing / combining optical system are arranged. Splitters 30-1 to 30
The mirrors 31, 32, and 33 are arranged on one branch optical path of -m.

【0054】これらミラー31、32、33は、各ビー
ムスプリッタ30−1〜30−mより分岐された各CV
L光を合成し、励起光として色素レーザ発振器20に導
くものである。
The mirrors 31, 32, and 33 are provided for each of the CVs split by the beam splitters 30-1 to 30-m.
L light is synthesized and guided to the dye laser oscillator 20 as excitation light.

【0055】かかる構成であれば、タイミング制御装置
27により各励起用CVL装置26−1〜26−mが動
作制御されると、これら励起用CVL装置26−1〜2
6−mは、それぞれ励起用CVL装置26−1に対して
各ディレイタイムt2〜tmをもって各CVL光を出力
する。
With such a configuration, when the operation of each of the excitation CVL devices 26-1 to 26-m is controlled by the timing control device 27, these excitation CVL devices 26-1 to 26-2 are controlled.
6-m outputs each CVL light with each delay time t2 to tm to the excitation CVL device 26-1.

【0056】すなわち、各励起用CVL装置26−1〜
26−mは、それぞれ繰り返し数fのCVL光を上記デ
ィレイタイムt2〜tmをもって出力する。これらCV
L光は、それぞれ励起光導光光学系の各ミラー27〜2
9を通して各色素レーザ増幅器22−1〜22−mに導
かれる。
That is, each of the excitation CVL devices 26-1 to 26-1
26-m outputs the CVL light of the repetition number f with the delay times t2 to tm. These CVs
The L light is applied to each of the mirrors 27 to 2 of the excitation light guiding optical system.
9, the light is guided to each of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-m.

【0057】これと共に各CVL光は、それぞれ各ビー
ムスプリッタ30−1〜30−mによりその一部が分岐
され、さに各ミラー31〜33を介して色素レーザ発振
器20に導かれる。
At the same time, each of the CVL lights is partially branched by each of the beam splitters 30-1 to 30-m, and is guided to the dye laser oscillator 20 via each of the mirrors 31 to 33.

【0058】従って、色素レーザ発振器20は、繰り返
し数mfのCVL光により励起されて繰り返し数mfの
色素レーザ光を出力する。この色素レーザ光は、分配光
学系の各ミラー21により分配されて各色素レーザ増幅
器22−1〜22−mに入射する。
Accordingly, the dye laser oscillator 20 is excited by the CVL light having the repetition number mf and outputs the dye laser light having the repetition number mf. This dye laser light is distributed by each mirror 21 of the distribution optical system and enters each of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-m.

【0059】これら色素レーザ増幅器22−1〜22−
mのうち色素レーザ増幅器22−1は、励起用CVL装
置26−1からの繰り返し数fのCVL光により励起さ
れて色素レーザ光を多段増幅する。
These dye laser amplifiers 22-1 to 22-
Of m, the dye laser amplifier 22-1 is excited by the CVL light of the repetition number f from the excitation CVL device 26-1, and amplifies the dye laser light in multiple stages.

【0060】これと共に各色素レーザ増幅器22−2〜
22−mは、励起用CVL装置26−2〜26−mから
の繰り返し数fの各CVL光によりそれぞれ励起され、
色素レーザ増幅器22−1の励起タイミングに対し、上
記各ディレイタイムt2〜tmの差をもったタイミング
で各色素レーザ光を多段増幅する。
At the same time, each dye laser amplifier 22-2
22-m is excited by each CVL light of the repetition number f from the excitation CVL devices 26-2 to 26-m,
Each dye laser beam is multi-stage amplified at a timing having a difference between the respective delay times t2 to tm with respect to the excitation timing of the dye laser amplifier 22-1.

【0061】この結果、これら色素レーザ増幅器22−
1〜22−mにより多段増幅された各色素レーザ光は、
色素レーザ合成光学系の各ミラー23により合成され、
最終的な繰り返し数mfの色素レーザ光が出力される。
As a result, these dye laser amplifiers 22-
Each dye laser light multi-stage amplified by 1 to 22-m is
Synthesized by each mirror 23 of the dye laser synthesis optical system,
A dye laser beam having a final repetition number mf is output.

【0062】このように上記第2の実施の形態において
は、各励起用CVL装置26−1〜26−mから出力さ
れた各CVL光の一部を分岐して合成し、これを励起光
として色素レーザ発振装置20に導くようにしたので、
上記第1の実施例と同様の効果を奏することは言うまで
なく、この場合は、色素レーザ発振装置20を励起する
ための専用の励起用CVL装置を用意する必要はない。
(3) 次に本発明の第3の実施の形態について説明する。
なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい
説明は省略する。
As described above, in the second embodiment, a part of each CVL light output from each of the pumping CVL devices 26-1 to 26-m is branched and combined, and this is used as pumping light. Since it was led to the dye laser oscillation device 20,
Needless to say, the same effects as those of the first embodiment can be obtained. In this case, there is no need to prepare a dedicated excitation CVL device for exciting the dye laser oscillation device 20.
(3) Next, a third embodiment of the present invention will be described.
The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0063】図3は色素レーザ発振装置の構成図であ
る。色素レーザ発振器20と各ミラー21との間には、
増幅器(AMP)40が配置されている。
FIG. 3 is a block diagram of a dye laser oscillation device. Between the dye laser oscillator 20 and each mirror 21,
An amplifier (AMP) 40 is provided.

【0064】この増幅器40は、各色素レーザ増幅器2
2−1〜22−mにおける第1及び第2段目の各増幅器
AMP(1)(2)を共通化して色素レーザ発振器20と各ミ
ラー21との間に配置したものである。
This amplifier 40 is connected to each dye laser amplifier 2.
The amplifiers AMP (1) and (2) of the first and second stages in 2-1 to 22-m are shared and arranged between the dye laser oscillator 20 and each mirror 21.

【0065】これにより、各色素レーザ増幅器22−1
〜22−mは、各増幅器AMP(3)〜 (m)の多段増幅に
構成されている。かかる構成であれば、色素レーザ発振
器20から出力された繰り返し数mfの色素レーザ光
は、増幅器40により増幅され、この後に、各ミラー2
1により分配されて各色素レーザ増幅器22−1〜22
−mに入射する。
Thus, each dye laser amplifier 22-1
22-m are configured for multi-stage amplification of the amplifiers AMP (3)-(m). With such a configuration, the dye laser light having the repetition number mf output from the dye laser oscillator 20 is amplified by the amplifier 40, and thereafter, the mirror 2
And each dye laser amplifier 22-1 to 22
-M.

【0066】これら色素レーザ増幅器22−1〜22−
mは、励起用CVL装置26−2〜26−mからの繰り
返し数fの各CVL光によりそれぞれ励起され、色素レ
ーザ増幅器22−1の励起タイミングに対し、上記各デ
ィレイタイムt2〜tmの差をもったタイミングでそれ
ぞれ色素レーザ光を多段増幅する。
These dye laser amplifiers 22-1 to 22-
m is excited by each of the CVL lights of the repetition number f from the excitation CVL devices 26-2 to 26-m, and the difference between the delay times t2 to tm with respect to the excitation timing of the dye laser amplifier 22-1. The dye laser light is multi-stage amplified at the given timing.

【0067】この結果、これら色素レーザ増幅器22−
1〜22−mにより多段増幅された各色素レーザ光は、
色素レーザ合成光学系の各ミラー23により合成され、
最終的な繰り返し数mfの色素レーザ光が出力される。
As a result, these dye laser amplifiers 22-
Each dye laser light multi-stage amplified by 1 to 22-m is
Synthesized by each mirror 23 of the dye laser synthesis optical system,
A dye laser beam having a final repetition number mf is output.

【0068】このように上記第3の実施の形態において
は、色素レーザ発振器20と各ミラー21との間に、各
色素レーザ増幅器22−1〜22−mにおける第1及び
第2段目の各増幅器AMP(1)(2)を共通化した増幅器4
0を配置したので、上記第1の実施例と同様の効果を奏
することは言うまでなく、チェーン数だけ必要であった
初段の増幅器AMP(1)(2)を1台だけ配置するだけで済
む。
As described above, in the third embodiment, the first and second stages of the dye laser amplifiers 22-1 to 22-m are provided between the dye laser oscillator 20 and each mirror 21. Amplifier 4 with common amplifier AMP (1) (2)
Since 0 is arranged, it is needless to say that the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and only one amplifier AMP (1) (2) in the first stage, which is necessary for the number of chains, can be arranged. .

【0069】[0069]

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、高
出力・高繰り返し化を図ることができる色素レーザ発振
方法及びその装置を提供できる。
As described above in detail, according to the present invention, it is possible to provide a dye laser oscillation method and an apparatus thereof capable of achieving high output and high repetition.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わる色素レーザ発振装置の第1の実
施の形態を示す構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a dye laser oscillation device according to the present invention.

【図2】本発明に係わる色素レーザ発振装置の第2の実
施の形態を示す構成図。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a second embodiment of the dye laser oscillation device according to the present invention.

【図3】本発明に係わる色素レーザ発振装置の第3の実
施の形態を示す構成図。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a third embodiment of the dye laser oscillation device according to the present invention.

【図4】従来の第1の方式の高繰り返し色素レーザ発振
装置の構成図。
FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional high-repetition rate dye laser oscillation device of a first system.

【図5】従来の第2の方式の高繰り返し色素レーザ発振
装置の構成図。
FIG. 5 is a configuration diagram of a second conventional high repetition dye laser oscillation device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20…色素レーザ発振器、 22−1〜22−m…色素レーザ増幅器、 24−1〜24−m…励起用CVL装置、 26−1〜26−m…励起用CVL装置、 27…タイミング制御装置、 30−1〜30−m…ビームスプリッタ、 31,32,33…ミラー、 40…増幅器。 Reference Signs List 20: dye laser oscillator, 22-1 to 22-m: dye laser amplifier, 24-1 to 24-m: excitation CVL device, 26-1 to 26-m: excitation CVL device, 27: timing control device, 30-1 to 30-m: beam splitter; 31, 32, 33: mirror; 40: amplifier.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深澤 輝一郎 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 藤原 淳史 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Teruichiro Fukasawa 33, Shinisogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Toshiba Production Technology Research Institute Co., Ltd. No. 33 Inside Toshiba Production Technology Research Laboratories

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 色素レーザ発振器から出力された色素レ
ーザ光を複数の色素レーザ増幅ラインに分配し、これら
色素レーザ増幅ラインで各増幅された各色素レーザ光を
合成して出力する色素レーザ発振方法において、 前記色素レーザ発振器の繰り返し周波数を所望の高繰り
返し数に設定し、 かつ前記各色素レーザ増幅ラインの各増幅動作タイミン
グを、前記色素レーザ発振器の高繰り返し数を前記各色
素レーザ増幅ライン数により分けた繰り返し数に一致さ
せる、ことを特徴とする色素レーザ発振方法。
1. A dye laser oscillation method for distributing dye laser light output from a dye laser oscillator to a plurality of dye laser amplification lines, and combining and outputting the dye laser lights amplified by the dye laser amplification lines. In the above, the repetition frequency of the dye laser oscillator is set to a desired high repetition number, and each amplification operation timing of each dye laser amplification line, the high repetition number of the dye laser oscillator is determined by the number of each dye laser amplification line. A dye laser oscillation method characterized by making the number of repetitions coincide with each other.
【請求項2】 前記色素レーザ発振器の繰り返し周波数
は、前記色素レーザ増幅ラインの繰り返し数と前記色素
レーザ増幅ライン数との積に設定することを特徴とする
請求項1記載の色素レーザ発振方法。
2. The dye laser oscillation method according to claim 1, wherein the repetition frequency of the dye laser oscillator is set to a product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of the dye laser amplification lines.
【請求項3】 色素レーザ発振器から出力された色素レ
ーザ光を複数の色素レーザ増幅ラインに分配し、これら
色素レーザ増幅ラインで各増幅された各色素レーザ光を
合成して出力する色素レーザ発振装置において、 前記色素レーザ発振器を所望の高繰り返し数で発振動作
させ、かつ前記各色素レーザ増幅ラインを、前記色素レ
ーザ発振器の繰り返し数を前記色素レーザ増幅ライン数
により分けた繰り返し数に一致するタイミングで増幅動
作させる励起タイミング制御手段、を具備したことを特
徴とする色素レーザ発振装置。
3. A dye laser oscillating device for distributing dye laser light output from a dye laser oscillator to a plurality of dye laser amplification lines, and synthesizing and outputting each of the dye laser light amplified by the dye laser amplification lines. In the above, the dye laser oscillator is oscillated at a desired high repetition rate, and the respective dye laser amplification lines are at timings corresponding to the number of repetitions obtained by dividing the repetition rate of the dye laser oscillator by the number of dye laser amplification lines. A dye laser oscillation device, comprising: excitation timing control means for performing an amplification operation.
【請求項4】 前記励起タイミング制御手段は、前記色
素レーザ発振器の繰り返し数を、前記色素レーザ増幅ラ
インの繰り返し数と前記色素レーザ増幅ライン数との積
に設定することを特徴とする請求項3記載の色素レーザ
発振装置。
4. The excitation timing control means sets the number of repetitions of the dye laser oscillator to the product of the number of repetitions of the dye laser amplification line and the number of dye laser amplification lines. The dye laser oscillation device as described in the above.
【請求項5】 前記励起タイミング制御手段は、 前記色素レーザ発振器用の複数の第1の励起用レーザ装
置と、 これら第1の励起用レーザ装置から出力された各励起用
レーザ光を合成して前記色素レーザ発振器に入射する合
成光学系と、 前記各色素レーザ増幅ラインごとに配置された複数の第
2の励起用レーザ装置と、 これら第2の励起用レーザ装置から出力された各励起レ
ーザ光をそれぞれ対応する前記各色素レーザ増幅ライン
に導く複数の励起光導光光学系と、 前記各第1の励起用レーザ装置から出力される各励起レ
ーザ光を合成したときの繰り返し数が前記色素レーザ発
振器の繰り返し数と一致するタイミングで前記各第1の
励起用レーザ装置を動作制御し、かつ前記色素レーザ発
振器の繰り返し数を前記各色素レーザ増幅ラインのライ
ン数で分けた繰り返し数で前記各第2の励起用レーザ装
置を繰り返し動作制御するタイミング制御手段と、から
成ることを特徴とする請求項3記載の色素レーザ発振装
置。
5. The excitation timing control means, comprising: combining a plurality of first excitation laser devices for the dye laser oscillator; and each excitation laser beam output from the first excitation laser device. A synthetic optical system incident on the dye laser oscillator, a plurality of second excitation laser devices arranged for each of the dye laser amplification lines, and respective excitation laser beams output from these second excitation laser devices A plurality of excitation light guiding optical systems for guiding the respective excitation laser beams to the corresponding dye laser amplification lines, and the number of repetitions when the respective excitation laser lights output from the respective first excitation laser devices are combined is the dye laser oscillator. The operation of each of the first excitation laser devices is controlled at a timing corresponding to the number of repetitions of the above, and the number of repetitions of the dye laser oscillator is set to Dye laser oscillating apparatus according to claim 3, characterized in that it consists of a timing control means controlling the operation repeated the number of repeats, separated by in each number of the second excitation laser device.
【請求項6】 前記励起タイミング制御手段は、 前記各色素レーザ増幅ラインごとに配置された複数の励
起用レーザ装置と、 これら励起用レーザ装置から出力された各励起レーザ光
をそれぞれ対応する前記各色素レーザ増幅ラインに導く
複数の励起光導光光学系と、 前記各励起用レーザ装置から出力された各励起レーザ光
を合成して前記色素レーザ発振器に入射する合成光学系
と、 前記色素レーザ発振器の繰り返し数を前記各色素レーザ
増幅ラインのライン数で分けた繰り返し数で前記各励起
用レーザ装置を動作制御するタイミング制御手段と、か
ら成ることを特徴とする請求項3記載の色素レーザ発振
装置。
6. The excitation timing control means includes: a plurality of excitation laser devices arranged for each of the dye laser amplification lines; and a plurality of excitation laser beams output from the excitation laser devices. A plurality of excitation light guiding optical systems for leading to a dye laser amplification line; a synthesis optical system for synthesizing each excitation laser beam output from each of the excitation laser devices and entering the dye laser oscillator; 4. The dye laser oscillation device according to claim 3, further comprising: timing control means for controlling the operation of each of said excitation laser devices with the number of repetitions divided by the number of said dye laser amplification lines.
【請求項7】 前記色素レーザ発振器の後段側に初段の
増幅器を配置し、この増幅器により増幅された色素レー
ザ光を前記各色素レーザ増幅ラインに分配することを特
徴とする請求項3記載の色素レーザ発振装置。
7. The dye according to claim 3, wherein a first-stage amplifier is disposed at a stage subsequent to the dye laser oscillator, and the dye laser light amplified by the amplifier is distributed to each of the dye laser amplification lines. Laser oscillation device.
JP7763298A 1998-03-25 1998-03-25 Dye laser oscillation method and apparatus Expired - Fee Related JP3513005B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7763298A JP3513005B2 (en) 1998-03-25 1998-03-25 Dye laser oscillation method and apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7763298A JP3513005B2 (en) 1998-03-25 1998-03-25 Dye laser oscillation method and apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11274665A true JPH11274665A (en) 1999-10-08
JP3513005B2 JP3513005B2 (en) 2004-03-31

Family

ID=13639287

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7763298A Expired - Fee Related JP3513005B2 (en) 1998-03-25 1998-03-25 Dye laser oscillation method and apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3513005B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006128157A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Komatsu Ltd Driver laser system for extremely ultraviolet optical source apparatus
JP2011014913A (en) * 2010-07-16 2011-01-20 Komatsu Ltd Driver laser system for extreme ultraviolet light source apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006128157A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Komatsu Ltd Driver laser system for extremely ultraviolet optical source apparatus
JP2011014913A (en) * 2010-07-16 2011-01-20 Komatsu Ltd Driver laser system for extreme ultraviolet light source apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP3513005B2 (en) 2004-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103346470B (en) A kind of low-repetition-frequency optical-fiber laser optics coherence tomography system of pulse pump
US8311066B2 (en) Laser apparatus and extreme ultraviolet light source apparatus
CN101473499B (en) Method and apparatus for controlling carrier envelope phase
US4200846A (en) Efficient laser amplifier using sequential pulses of different wavelengths
EP2542936A1 (en) Laser device, laser system, and extreme ultraviolet light generation apparatus
US20130342895A1 (en) High peak power optical amplifier
US9620928B2 (en) Continuous wave or ultrafast lasers
JPH10150679A (en) Variable delaying device for optical signal
EP1512204B1 (en) Multi-aperture fiber laser system
WO2002050965A3 (en) High power laser system with fiber amplifiers and loop pcm
JPH11274665A (en) Color element laser oscillation method/device
CN112701562A (en) Multi-path synchronous output laser light source module
CN111694162B (en) Spectrum synthesis method and device
US20140212141A1 (en) Light output apparatus and method
CN105742953A (en) Device and method using pulse accumulation and amplification to realize high power ultrashort pulse laser
US4790627A (en) Incoherent laser system for producing smooth and controllable spatial illumination profiles
Han et al. High-power narrow-linewidth blue external cavity diode laser
CN214280423U (en) Multi-path synchronous output laser light source module
WO2020171865A3 (en) Wavelength-controlled beam stabilizer for spectrally beam combined laser sources
US20030007213A1 (en) OTDM device
CN112636167B (en) Driving module of multipath synchronous output laser light source
CN214100228U (en) Temperature control module of multipath synchronous output laser
JPH05218540A (en) Device for forming laser beam proper to isotope separation
JP2007133310A (en) Pulse multiplexing wavelength converting optical system
CN115513756A (en) Acousto-optic beam combination high-power high-energy femtosecond laser and laser beam combination method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040106

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040108

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116

Year of fee payment: 10

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees