JPH11259823A - Production of magnetic head and apparatus for producing the same - Google Patents

Production of magnetic head and apparatus for producing the same

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JPH11259823A
JPH11259823A JP6111998A JP6111998A JPH11259823A JP H11259823 A JPH11259823 A JP H11259823A JP 6111998 A JP6111998 A JP 6111998A JP 6111998 A JP6111998 A JP 6111998A JP H11259823 A JPH11259823 A JP H11259823A
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JP
Japan
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support
magnetic head
cutting
manufacturing
magnetic
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Application number
JP6111998A
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Japanese (ja)
Inventor
Sadao Kawada
貞夫 川田
Takemi Akimoto
丈美 秋元
Akira Nakano
陽 仲野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fron Tec Kk
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Fron Tec Kk
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to cut the lead wires of a magnetic head without the occurrence of static electricity breakdown of a magnetoresistive element in particular in the work for cutting the lead wires. SOLUTION: A terminal substrate 9 connected to the lead wires 7a, 7b, 7c, 7d of the magnetoresistive element and inductive head of the thin-film magnetic head H is connected to the ground g via a second supply base 32 consisting of a semiconductor (surface resistance 1×10<6> to 1×10<10> (Ω/square)) and thereafter, the lead wires are cut at a P-P line in this production. The destruction of the magnetoresistive element by static electricity is prevented by cutting the lead wires by such procedures. Since a metallic blade is used, the need for exchanging edges is eliminated and the running cost may be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果型素
子等を搭載した磁気ヘッドの製造方法に係り、特に磁気
抵抗効果型素子のリード線またはフレキシブルプリント
基板に発生する静電気を除去してリード線の切断を行な
う磁気ヘッドの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head having a magnetoresistive element or the like mounted thereon, and more particularly to a method for removing static electricity generated on a lead wire of a magnetoresistive element or a flexible printed circuit board. The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head for cutting a line.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、磁気ヘッドのユニット構造を示
す斜視図、図5はスライダ上に形成された薄膜磁気ヘッ
ドの構造の概略を示す斜視図、図6は磁気抵抗効果型素
子のABS面近傍での断面図である。図4に示す磁気ヘ
ッドのユニット構造では、符号1が板ばね(ジンバル)
を示している。板ばね(ジンバル)1の基端部(X
(+))側は、ハードディスク装置などの磁気記録再生
装置に固定される固定部(マウント部)1aとなってい
る。板ばね1の前記固定部1aの先は、中央に切欠き窓
1bが形成された弾性変形部1cであり、この板ばね1
は、主にこの弾性変形部1cが撓むようになっている。
弾性変形部1cよりも先部は、腕部(ロードビーム部)
1dである。腕部(ロードビーム部)1dでは、板ばね
材料の両側部が折り曲げられてフランジ1f,1fが形
成され、このフランジ1f,1fが形成されていること
により、腕部1dは弾性変形しにくくなっている。固定
部1aの下面にはマウント部材2が溶接などの手段で固
定され、このマウント部材2の中央部分には、筒状のか
しめ部1eが突出形成されている。このかしめ部1e
は、前記固定部1aに穿設された穴から図示上方(Z
(+))へ突出している。
FIG. 4 is a perspective view showing a unit structure of a magnetic head, FIG. 5 is a perspective view schematically showing a structure of a thin film magnetic head formed on a slider, and FIG. 6 is an ABS of a magnetoresistive element. It is sectional drawing in the surface vicinity. In the unit structure of the magnetic head shown in FIG. 4, reference numeral 1 denotes a leaf spring (gimbal).
Is shown. Base end (X) of leaf spring (gimbal) 1
The (+)) side is a fixed part (mount part) 1a fixed to a magnetic recording / reproducing device such as a hard disk device. The fixed portion 1a of the leaf spring 1 has an elastic deformation portion 1c having a cutout window 1b formed at the center thereof.
Is mainly such that the elastically deformable portion 1c bends.
The arm portion (load beam portion) ahead of the elastic deformation portion 1c
1d. In the arm portion (load beam portion) 1d, both sides of the leaf spring material are bent to form flanges 1f, 1f. The formation of the flanges 1f, 1f makes it difficult for the arm portion 1d to be elastically deformed. ing. A mounting member 2 is fixed to the lower surface of the fixing portion 1a by means such as welding, and a cylindrical caulking portion 1e is formed at the center of the mounting member 2 so as to protrude. This caulking part 1e
Is above (Z) from the hole formed in the fixing portion 1a.
(+)).

【0003】板ばね1の前記腕部1dの先端はスライダ
の支持部であり、この部分には薄い板ばねで形成された
フレキシャ3を介してスライダ4が支持されている。前
記スライダ4は、セラミック材料などで形成されている
ものであり、図示下側の面が、ハードディスクなどの磁
気記録媒体との対向面(ABS面)4aで、図示上側の
面が、フレキシャ3の支持片に接着される支持面4bで
ある。前記対向面4aには、磁気記録媒体との間での空
気流(エアーベアリング)を調整して浮上距離を設定す
る溝4cが形成されている。
The distal end of the arm portion 1d of the leaf spring 1 is a slider supporting portion, and a slider 4 is supported on this portion via a flexure 3 formed of a thin leaf spring. The slider 4 is formed of a ceramic material or the like. The lower surface of the slider 4 is a surface (ABS surface) 4a facing a magnetic recording medium such as a hard disk, and the upper surface of the slider 4 is the surface of the flexure 3. The support surface 4b is bonded to the support piece. The opposing surface 4a is formed with a groove 4c for adjusting the air flow (air bearing) between the magnetic recording medium and the floating surface to set the flying distance.

【0004】図5に示すように前記対向面4aのZ
(−)側の端面には、薄膜磁気ヘッドHが設けられてい
る。スライダ4のトレーリング端部11aに形成された
磁性材料製の下部シールド層12上に、非磁性材料製の
下部ギャップ層(図示しない)を介して設けられ、さら
に磁気抵抗効果素子(例えば、スピンバルブ型薄膜素子
又は異方性磁気抵抗効果薄膜素子)10上に、非磁性材
料製の上部ギャップ層(図示しない)を介して、磁性材
料製の上部シールド層13が形成されている。なお前記
下部シールド層12から上部シールド層13までの層
が、読取りヘッドh1として機能している。また、この
薄膜磁気ヘッドHは、前記読取りヘッドh1上に書込み
用のインダクティブヘッドh2が積層されたいわゆる複
合型薄膜磁気ヘッドであり、前記上部シールド層13
が、インダクティブヘッドh2の下部コア層としても機
能している。
[0005] As shown in FIG.
A thin-film magnetic head H is provided on the end surface on the (-) side. A lower gap layer (not shown) made of a non-magnetic material is provided on a lower shield layer 12 made of a magnetic material formed on the trailing end 11a of the slider 4 via a lower gap layer (not shown) made of a non-magnetic material. An upper shield layer 13 made of a magnetic material is formed on a valve-type thin film element or an anisotropic magnetoresistance effect thin film element 10 via an upper gap layer (not shown) made of a nonmagnetic material. The layers from the lower shield layer 12 to the upper shield layer 13 function as the read head h1. The thin-film magnetic head H is a so-called composite thin-film magnetic head in which a write inductive head h2 is stacked on the read head h1.
However, it also functions as a lower core layer of the inductive head h2.

【0005】図6に示すように、読取りヘッドh1に設
けられる磁気抵抗効果素子10は、下地層17の上に反
強磁性層18、固定磁性層(ピン磁性層)19、非磁性
導電層20、およびフリー磁性層21が連続して積層さ
れている。この磁気抵抗効果素子10では、ハードバイ
アス層22,22上に形成された導電層23,23か
ら、固定磁性層19、非磁性導電層20及びフリー磁性
層21に定常電流(センス電流)が与えられる。ハード
ディスクなどの記録媒体の走行方向はZ方向であり、記
録媒体からの洩れ磁界がY方向に与えられると、フリー
磁性層21の磁化がYからZ方向へ向けて変化する。こ
のフリー磁性層21内での磁化の方向の変動と、固定磁
性層19の固定磁化方向との関係で電気抵抗が変化し、
この電気抵抗値の変化に基づく電圧変化により、記録媒
体からの洩れ磁界が検出される。なお、あるいは磁気抵
抗効果素子10は、SAL層、SHANT層、磁気抵抗
効果層の三層構造からなるAMRなどでも同様である。
As shown in FIG. 6, a magnetoresistive element 10 provided in a read head h 1 has an antiferromagnetic layer 18, a pinned magnetic layer (pinned magnetic layer) 19, and a nonmagnetic conductive layer 20 on an underlayer 17. , And the free magnetic layer 21 are continuously stacked. In the magnetoresistive element 10, a steady current (sense current) is applied to the fixed magnetic layer 19, the nonmagnetic conductive layer 20, and the free magnetic layer 21 from the conductive layers 23 formed on the hard bias layers 22. Can be The running direction of a recording medium such as a hard disk is the Z direction. When a leakage magnetic field from the recording medium is applied in the Y direction, the magnetization of the free magnetic layer 21 changes from the Y direction to the Z direction. The electric resistance changes depending on the relationship between the change in the magnetization direction in the free magnetic layer 21 and the fixed magnetization direction in the fixed magnetic layer 19,
The leakage magnetic field from the recording medium is detected by the voltage change based on the change in the electric resistance value. Alternatively, the same applies to the AMR having a three-layer structure of the SAL layer, the SHANT layer, and the magnetoresistive layer.

【0006】次に、図5に示すようにインダクティブヘ
ッドh2では、前記下部コア層(上部シールド層)13
上にアルミナなどで形成されたギャップ層,その上にレ
ジスト層が形成され(共に図示せず)、さらにこのレジ
スト層の上には、平面的に螺旋状に形成されたコイル層
16が設けられている。なお、コイル層16上には、図
示しないレジスト層を介して上部コア層が形成される。
Next, as shown in FIG. 5, in the inductive head h2, the lower core layer (upper shield layer) 13
A gap layer made of alumina or the like is formed thereon, a resist layer is formed thereon (both are not shown), and a coil layer 16 formed spirally in a plane is provided on the resist layer. ing. Note that an upper core layer is formed on the coil layer 16 via a resist layer (not shown).

【0007】前記下部コア層13から上部コア層までの
層が、インダクティブヘッドh2として機能しており、
前記インダクティブヘッドh2では、コイル層16に記
録電流が与えられ、コイル層16から下部コア層13及
び上部コア層に記録磁界が誘導される。そして、磁気ギ
ャップGの部分で下部コア層13と上部コア層との間の
洩れ磁界により、ハードディスクなどの記録媒体に磁気
信号が記録される。図4に示すように、前記薄膜磁気ヘ
ッドHにはリード線7が接続されており、スライダ4の
端面から板ばね1の上面に沿って後端部の方向(X
(+)方向)へ延びている。すなわち、前記読取りヘッ
ドh1から延びる一対のリード線7a,7bと、インダ
クティブヘッドh2から延びる一対のリード線7c,7
dの合計4本のリード線7が延びている。
The layers from the lower core layer 13 to the upper core layer function as an inductive head h2,
In the inductive head h2, a recording current is applied to the coil layer 16, and a recording magnetic field is induced from the coil layer 16 to the lower core layer 13 and the upper core layer. Then, a magnetic signal is recorded on a recording medium such as a hard disk by a leakage magnetic field between the lower core layer 13 and the upper core layer at the portion of the magnetic gap G. As shown in FIG. 4, a lead wire 7 is connected to the thin-film magnetic head H, and a direction (X) from the end surface of the slider 4 to the rear end portion along the upper surface of the leaf spring 1.
(+) Direction. That is, a pair of lead wires 7a and 7b extending from the read head h1 and a pair of lead wires 7c and 7 extending from the inductive head h2.
A total of four lead wires d extend.

【0008】図7は、リード線の拡大断面図である。図
7に示すように、このリード線7は、極細の銅線などか
らなる導線部7Aがポリイミドなどの絶縁体からなる被
覆部7Bで覆われている。これらリード線7には必要に
応じて保護用のチューブ8が外装されている(図4参
照)。
FIG. 7 is an enlarged sectional view of a lead wire. As shown in FIG. 7, the lead wire 7 has a conductor 7A made of an ultrafine copper wire or the like covered with a coating 7B made of an insulator such as polyimide. These lead wires 7 are provided with protective tubes 8 as necessary (see FIG. 4).

【0009】また図4に示すように、このリード線7の
他端側は、ガラスエポキシ基板又はポリイミドなどから
構成される評価用の端子基板9に接続されている。すな
わち、リード線7(リード線7a,7b,7cおよび7
d)の端部の導線部7Aが、端子基板9に銅箔などによ
り形成されたランド部9a,9b,9cおよび9dにそ
れぞれ半田付けなどの溶着手段によって接続されてい
る。前記端子基板9は、磁気ヘッドの電気的な特性の評
価を行なうための補助基板である。端子基板9は、例え
ばリード線7が接続されない他端(X(+))側を専用
のコネクタなど(図示せず)に挿着し、図示しない評価
装置に接続することにより、磁気ヘッドの電気的な特性
の評価が行なわれる。
As shown in FIG. 4, the other end of the lead wire 7 is connected to a terminal board 9 for evaluation made of a glass epoxy board or polyimide. That is, lead wire 7 (lead wires 7a, 7b, 7c and 7
The lead wire portion 7A at the end of d) is connected to the land portions 9a, 9b, 9c, and 9d formed on the terminal board 9 by copper foil or the like by welding means such as soldering. The terminal board 9 is an auxiliary board for evaluating the electrical characteristics of the magnetic head. The terminal board 9 has the other end (X (+)) side to which the lead wire 7 is not connected inserted into a dedicated connector or the like (not shown), and is connected to an evaluation device (not shown), so that the electric power of the magnetic head is reduced. Characteristic evaluation is performed.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、端子
基板9は検査用の補助基板であり、ハードディスクなど
のドライバに磁気ヘッドユニットが実装される場合には
不要となる。したがって、実装前には端子基板9を磁気
ヘッドユニットから切り離す必要がある。この分離作業
は、例えば半田を再溶融することによっても可能である
が、その作業は煩雑であり、且つリード線7を所定の長
さに設定する必要があることから、通常はカッターなど
の切断装置(図示せず)により行なわれる。
As described above, the terminal board 9 is an auxiliary board for inspection and becomes unnecessary when the magnetic head unit is mounted on a driver such as a hard disk. Therefore, it is necessary to separate the terminal board 9 from the magnetic head unit before mounting. This separation work can be performed, for example, by re-melting the solder. However, the work is complicated, and the lead wire 7 must be set to a predetermined length. This is performed by a device (not shown).

【0011】しかし、図7に示すようにリード線7の被
覆部7Bおよび端子基板9はともに絶縁体で形成されて
おり、被覆部7Bと製造設備との間における剥離帯電な
どが生じやすく、例えば端子基板9には100〜200
Vに帯電電位が観測される場合がある。従って、例えば
被覆部7Bが剥離帯電により(+)電位に帯電すると、
静電容量により導線部7A内の(−)電子が導線部7A
の外周表面側に引き寄せられ、導電部7Aに接続された
端子基板9上の端子9aには電子が欠乏したことによる
逆極性の(+)電荷があらわれることになる。なお、こ
の場合、静電誘導が発生する前後で導体部7A,ランド
部9aの電荷は保存されている。従って、電気的中性は
満足されている。
However, as shown in FIG. 7, the covering portion 7B of the lead wire 7 and the terminal board 9 are both formed of an insulator, and peeling electrification and the like between the covering portion 7B and the manufacturing equipment easily occur. 100 to 200 on the terminal board 9
In some cases, a charged potential is observed at V. Therefore, for example, when the coating portion 7B is charged to the (+) potential by peeling charging,
Due to the capacitance, the (−) electrons in the conductor 7A are converted into the conductor 7A.
(+) Charge of the opposite polarity due to lack of electrons appears at the terminal 9a on the terminal substrate 9 connected to the conductive portion 7A. In this case, the electric charges of the conductor 7A and the land 9a are preserved before and after the occurrence of the electrostatic induction. Therefore, the electrical neutrality is satisfied.

【0012】一方、切断装置自体はアースに接地されて
おり、切断用の金属刃もアース電位となっている。よっ
て、切断の際にリード線7の導線部7Aが前記切断装置
の金属刃に接触すると、導線部7Aが切断装置の金属刃
を介してアース電位となる。この際、導線部7Aのラン
ド部9aに静電誘導で生じた静電荷を打ち消すようにア
ースから(−)電子が導線部7Aに移動するため、導線
部7Aの中心から電流が流れ出す。このとき、電気的中
性は破られ、導電部7A,ランド部9aには(−)電子
が残ることになる。また被覆部7Bが高電位に帯電され
ていると、移動する(−)電子の数も増加するため、リ
ード線7に接続されている読取りヘッドh1やインダク
ティブヘッドh2に大電流が流れることがある。
On the other hand, the cutting device itself is grounded to ground, and the cutting metal blade is also at ground potential. Therefore, when the conducting wire portion 7A of the lead wire 7 comes into contact with the metal blade of the cutting device at the time of cutting, the conducting wire portion 7A becomes the ground potential via the metal blade of the cutting device. At this time, (−) electrons move from the ground to the conductive wire portion 7A so as to cancel out the electrostatic charge generated by the electrostatic induction on the land portion 9a of the conductive wire portion 7A, so that a current flows from the center of the conductive wire portion 7A. At this time, the electrical neutrality is broken, and (−) electrons remain in the conductive portion 7A and the land portion 9a. When the covering portion 7B is charged to a high potential, the number of moving (-) electrons also increases, so that a large current may flow through the read head h1 or the inductive head h2 connected to the lead wire 7. .

【0013】ところで、図5および図6に示すように、
インダクティブヘッドh2に比べ、読取りヘッドh1の磁
気抵抗効果素子10は小型且つ薄型である。従って、記
録電流が流れるコイル層16の各断面積に比べ、センス
電流が流れる導電層23,23、固定磁性層19、非磁
性導電層20及びフリー磁性層21の断面積は小さなも
のとなっている。また上述したように磁気抵抗効果素子
10では、フリー磁性層21内での磁化の方向の変動
と、固定磁性層19の固定磁化方向との関係で電気抵抗
の変化に基づく電圧変化により、記録媒体からの洩れ磁
界を検出するものであるため、検出感度を高める必要
上、ある程度前記電気抵抗の値が高く設定されている。
すなわち、磁気抵抗効果素子10に流すことが可能なセ
ンス電流は、コイル層16に比べて極めて小さい。した
がって、切断時に発生した大電流が前記読取りヘッドh
1およびインダクティブヘッドh2に流れた場合、特に読
取りヘッドh1側の前記電気抵抗で電力が消費され、導
電層23,23等が焼損する、または層間のマイグレー
ションにより磁気特性が劣化するという問題がある。
By the way, as shown in FIGS. 5 and 6,
The magnetoresistive element 10 of the read head h1 is smaller and thinner than the inductive head h2. Accordingly, the cross-sectional areas of the conductive layers 23, 23, the fixed magnetic layer 19, the nonmagnetic conductive layer 20, and the free magnetic layer 21 through which the sense current flows are smaller than the cross-sectional areas of the coil layer 16 through which the recording current flows. I have. Further, as described above, in the magnetoresistive element 10, the recording medium is controlled by a voltage change based on a change in the electric resistance in relation to the change in the magnetization direction in the free magnetic layer 21 and the fixed magnetization direction of the fixed magnetic layer 19. In order to detect the leakage magnetic field from the sensor, the value of the electric resistance is set to a certain high value in order to increase the detection sensitivity.
That is, the sense current that can be passed through the magnetoresistive element 10 is much smaller than that of the coil layer 16. Therefore, the large current generated at the time of cutting is reduced by the read head h.
When the current flows to the inductive head h2 and the inductive head h2, there is a problem that power is consumed by the electric resistance particularly on the read head h1 side, the conductive layers 23 and 23 are burned out, or the magnetic characteristics deteriorate due to migration between layers.

【0014】この問題に対し、従来は切断装置の刃に高
抵抗の材料、例えばセラミック等を用いて切断すること
によって対処していた。すなわち、切断時に導線部7A
がセラミック刃に接触しても、導線部7Aは高抵抗のセ
ラミック刃を介してアースと接続される。これにより、
導線部7Aが直接アースに短絡されることが防止される
ため、大電流の発生を抑えることが可能となり、この状
態においてリード線の切断を行なっていた。しかしなが
ら、磁気ヘッドが破損するのは、電流によって焼損する
場合に限られず、帯電時の電圧による場合がある。すな
わち、静電誘導はセラミック刃側でも発生しうるため、
セラミック刃に帯電が生じリード線7aと7bを介して
高い電圧を磁気抵抗効果素子10の両端に生じさせる場
合がある。この電圧は磁気ヘッド内部の各薄膜層に電位
差を生じさせる。よって、帯電電圧が薄膜層の絶縁耐圧
以上に達すると絶縁破壊を起こし、磁気抵抗効果素子1
0が破壊するという問題がある。
Conventionally, this problem has been dealt with by cutting the blade of the cutting device using a high-resistance material, for example, ceramic. That is, at the time of cutting, the conductive wire portion 7A
Is in contact with the ceramic blade, the conductive wire portion 7A is connected to the ground via the high-resistance ceramic blade. This allows
Since the conductor 7A is prevented from being directly short-circuited to the ground, it is possible to suppress the generation of a large current, and the lead wire is cut in this state. However, the damage of the magnetic head is not limited to the case where the magnetic head is burned out by the current, but may be caused by the voltage at the time of charging. In other words, electrostatic induction can also occur on the ceramic blade side,
In some cases, the ceramic blade is charged and a high voltage is generated at both ends of the magnetoresistive element 10 via the lead wires 7a and 7b. This voltage causes a potential difference in each thin film layer inside the magnetic head. Therefore, when the charging voltage reaches or exceeds the withstand voltage of the thin film layer, dielectric breakdown occurs, and the magnetoresistive element 1
There is a problem that 0 is destroyed.

【0015】また上記切断作業では、リード線の被覆部
7Bと導線部7Aを同時に切断するものであるが、導線
部7Aは金属線であるため、切断を繰り返すとセラミッ
ク刃に刃こぼれ(チッピング)等が生じやすくなるとい
う問題がある。特に、切断回数の増加に伴い切断の品質
に劣化を生じやすく、例えば5000回程度の切断で刃
こぼれが発生し、リード線の切り損ないや断線などとい
った切断不良の問題が生じやすくなる。よって、一定の
切断回数ごとに刃先を交換する必要があり、金属刃に比
べ、ランニングコストが高くなる。また刃先の交換作業
は煩雑な作業であるとともに、一時的に作業を中断する
必要があるため、作業効率上の面からもその改善が望ま
れていた。
In the above cutting operation, the covering portion 7B of the lead wire and the conducting wire portion 7A are cut at the same time. However, since the conducting wire portion 7A is a metal wire, when the cutting is repeated, the ceramic blade is spilled (chipping). There is a problem that such a situation is likely to occur. In particular, as the number of cuts increases, the quality of the cut is likely to deteriorate. For example, cutting of about 5,000 times causes blade spillage, and the problem of poor cutting such as damage to the lead wire or disconnection is likely to occur. Therefore, it is necessary to replace the cutting edge every certain number of cuts, and the running cost is higher than that of a metal blade. In addition, the replacement of the cutting edge is a complicated operation, and it is necessary to temporarily suspend the operation. Therefore, it has been desired to improve the operation in terms of work efficiency.

【0016】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、磁気ヘッドのリード線の切断作業におい
て、特に磁気抵抗効果素子が静電気破壊を起こすことな
く、そのリード線の切断を行えるようにした磁気ヘッド
の製造方法を提供することを目的としている。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems. In the work of cutting a lead wire of a magnetic head, the lead wire can be cut without causing electrostatic damage to the magnetoresistive element. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic head.

【0017】[0017]

【課題解決するための手段】本発明は、磁気記録媒体に
記録された磁気信号を読み取る磁気抵抗効果素子を有
し、この磁気抵抗効果素子から延びる一対の出力用のリ
ードに端子部が接続される磁気ヘッドにおいて、前記リ
ードと導通される前記端子部のランド部において除電す
る工程と、前記リードを金属刃で切断する工程と、から
なることを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a magnetoresistive element for reading a magnetic signal recorded on a magnetic recording medium, and a terminal portion is connected to a pair of output leads extending from the magnetoresistive element. A magnetic head comprising: a step of removing electricity at a land portion of the terminal portion that is electrically connected to the lead; and a step of cutting the lead with a metal blade.

【0018】上記において、前記除電する工程が、前記
ランド部を所定の抵抗部材を介してアースに接地するこ
とが好ましい。
In the above, it is preferable that in the step of removing electricity, the land portion is grounded to a ground via a predetermined resistance member.

【0019】本発明では、まず磁気ヘッドの読取りヘッ
ドh1側の磁気抵抗効果素子から延びた一対のリード線
に接続された端子基板のランド部またはリードがパター
ン形成されたフレキシブルプリント基板のランド部を半
導電体からなる抵抗部材(第2の支持台)を介してアー
ス電位に接続することにより、(−)電子欠乏状態にあ
る((+)電荷が局在する)導線部の中央部に(−)電
子を前記抵抗部材を介してゆっくりと移動させ、(+)
電荷が局在する導線部の中央部を電気的に打ち消すこと
ができる。すなわち、導線部のうち正電荷が局在する箇
所は、アース電位に比べ高い電位にあるため、導線部か
らアース側へ電流が流れ出すが、この電流は抵抗部材に
よる規制を受けるため、小さな電流でゆっくりと流すこ
とができる。また、このときの電流のほとんどは、導線
部→ランド部→抵抗部材→アースの順に流れ、磁気抵抗
効果素子に流れる電流を極めて微小なものすることが可
能となるため、磁気抵抗効果素子の焼損を防止すること
ができる。
In the present invention, first, a land portion of a terminal board or a land portion of a flexible printed board on which leads are formed by patterning are connected to a pair of lead wires extending from a magnetoresistive element on the read head h1 side of the magnetic head. By connecting to a ground potential via a resistive member (second support) made of a semiconductor, a center portion of a conductive wire portion in which (−) electrons are deficient ((+) charges are localized) is provided at the center ( −) Slowly moving electrons through the resistance member, and (+)
The central portion of the conductor portion where the electric charge is localized can be electrically canceled. That is, the portion of the conductor where the positive charge is localized is at a higher potential than the ground potential, so that a current flows from the conductor to the ground side. Can flow slowly. In addition, most of the current at this time flows in the order of the conductive wire portion → the land portion → the resistance member → the ground, and the current flowing through the magnetoresistive effect element can be extremely small. Can be prevented.

【0020】前記抵抗部材は、表面抵抗が1×106
ら1×1012(Ω/square)の範囲の半導電体か
らなる支持台であることが好ましい。
It is preferable that the resistance member is a support made of a semiconductor having a surface resistance in the range of 1 × 10 6 to 1 × 10 12 (Ω / square).

【0021】上記範囲の抵抗部材を用いることにより、
除電の際の急激な(−)電子の移動を規制することがで
き、発生する電流の大きさをセンス電流以下とすること
が可能となる。よって、磁気抵抗効果素子の電気抵抗に
おける消費電力を小さなものとすることが可能となるた
め、磁気抵抗効果素子の焼き付きを防止することができ
る。
By using the resistance member in the above range,
It is possible to restrict abrupt (-) transfer of electrons at the time of static elimination, and to reduce the magnitude of the generated current to the sense current or less. Therefore, power consumption in the electric resistance of the magnetoresistive element can be reduced, so that burn-in of the magnetoresistive element can be prevented.

【0022】このように、リード線の導体部を抵抗部材
を介してアースに接地した後であれば、金属刃で直接リ
ード線を切断したときに磁気抵抗効果素子が焼損するこ
とがない。したがって、従来のようにセラミック刃を使
用する必要がなくなるため、刃こぼれによる不具合が発
生することもなくなる。よって、常にリード線を良好な
状態で所定の長さに切断することが可能となる。
As described above, if the conductor portion of the lead wire is grounded to the earth via the resistance member, the magnetoresistive effect element will not be burned when the lead wire is cut directly by the metal blade. Therefore, since it is not necessary to use a ceramic blade as in the related art, a problem due to blade spilling does not occur. Therefore, it is possible to always cut the lead wire to a predetermined length in a good state.

【0023】さらに、刃先の交換作業を不要とすること
ができるため、ランニングコストや作業効率の問題も解
消することができる。
Furthermore, since the replacement of the cutting edge can be made unnecessary, the problems of running cost and work efficiency can be solved.

【0024】また上記において、前記除電する工程が、
イオンナイザーによりイオン化した気体を前記ランド部
に吹き付けるものが好ましい。
[0024] In the above, the step of removing electricity may include:
It is preferable to spray a gas ionized by an ionizer onto the land.

【0025】イオン化した気体をランド部に吹き付ける
ことにより、前記抵抗部材を用いた場合同様の作用効果
が得ることができる。
By blowing the ionized gas to the land, the same operation and effect can be obtained when the resistance member is used.

【0026】また本発明における磁気ヘッドの製造装置
は、磁気ヘッドユニットを支持するとともに除電機能を
有する第1の支持台と、前記磁気ヘッドユニットから延
びるリードの先端に設けられた端子基板を保持するとと
もに除電機能を有する第2の支持台と、前記第1の支持
台と第2の支持台との間に設けられ、且つ前記リードを
切断する切断部材とを有することを特徴とするものであ
る。
Further, the magnetic head manufacturing apparatus according to the present invention holds a first support base that supports a magnetic head unit and has a charge elimination function, and a terminal substrate provided at a tip end of a lead extending from the magnetic head unit. A second support having a static elimination function, and a cutting member provided between the first support and the second support and cutting the lead. .

【0027】上記において、前記第1の支持台および第
2の支持台は、表面抵抗が1×106から1×10
12(Ω/square)の範囲の半導電体からなるもの
が好ましい。
In the above, the first support and the second support have a surface resistance of 1 × 10 6 to 1 × 10 6.
Those made of a semiconductive material in the range of 12 (Ω / square) are preferable.

【0028】さらに、前記第1の支持台および第2の支
持台が、アースに接続されていのが好ましい。
Further, it is preferable that the first support and the second support are connected to ground.

【0029】本発明における磁気ヘッドの製造装置を用
いることにより、磁気抵抗効果素子を破壊することな
く、リードを確実に所定の長さに切断することができ
る。
By using the apparatus for manufacturing a magnetic head according to the present invention, the lead can be reliably cut to a predetermined length without destroying the magnetoresistive element.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
して説明する。図1は、本発明における磁気ヘッドのリ
ード線切断装置の概念を示す図である。図1に示すよう
に、このリード線切断装置では、基台30の上に第1の
支持台31及び第2の支持台32が設けられている。こ
の第1の支持台31と第2の支持台32との間には、手
動又は自動で動作するカッターなどの切断部材33が設
けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the concept of a magnetic head lead wire cutting device according to the present invention. As shown in FIG. 1, in this lead wire cutting device, a first support 31 and a second support 32 are provided on a base 30. A cutting member 33 such as a cutter that operates manually or automatically is provided between the first support table 31 and the second support table 32.

【0031】また第1の支持台31及び第2の支持台3
2は半導電性材料(イオン導電性材料)、例えば導電性
セラミック(イオン導電性セラミック)又は導電性合成
樹脂、あるいはジルコニア(Zr23)などから形成さ
れており、後述するように表面抵抗が1×106から1
×1012(Ω/square)の範囲、より好ましくは
1×106から1×109(Ω/square)の範囲の
材料で形成されている。なお、ここで導電性材料とは、
一般に表面抵抗が0から1×106(Ω/squar
e)の範囲にあるものを、半導電体とは表面抵抗が1×
106から1×1012(Ω/square)の範囲にあ
るものを、絶縁性材料は表面抵抗が1×1012(Ω/s
quare)以上のものをいう。
The first support 31 and the second support 3
2 is made of a semiconductive material (ion conductive material), for example, a conductive ceramic (ion conductive ceramic) or a conductive synthetic resin, or zirconia (Zr 2 O 3 ). Is 1 × 10 6 to 1
It is formed of a material in a range of × 10 12 (Ω / square), more preferably in a range of 1 × 10 6 to 1 × 10 9 (Ω / square). Here, the conductive material means
Generally, the surface resistance is from 0 to 1 × 10 6 (Ω / square).
e) those having a surface resistance of 1 ×
The insulating material having a surface resistance of 1 × 10 12 (Ω / square) in the range of 10 6 to 1 × 10 12 (Ω / square) is used.
quer).

【0032】第1の支持台31の上面には、上記図4で
示した磁気ヘッドユニットが保持されている。すなわ
ち、第1の支持台31の上面には、保持突起31aが突
出形成されており、この保持突起31aに磁気ヘッドユ
ニットのマウント部材2の中央部分に形成された筒状の
かしめ部1eを外挿することにより保持されている。第
2の支持台32には、ホルダ32aが設けられ、このホ
ルダ32aと第2の支持台32との間に上記磁気ヘッド
ユニットからリード線7を介して接続される端子基板9
が設けられている。ただし、その保持状態は、端子基板
9のランド部9a,9b,9c及び9dを第2の支持台
32に接触させて保持されている。また、前記保持突起
31a及びホルダ32aも、前記第1の支持台31及び
第2の支持台32と同様の半導電性の材料で形成されて
いる。
On the upper surface of the first support table 31, the magnetic head unit shown in FIG. 4 is held. That is, a holding projection 31a is formed on the upper surface of the first support base 31 so as to protrude therefrom. The cylindrical caulking portion 1e formed at the center of the mounting member 2 of the magnetic head unit is formed on the holding projection 31a. It is held by inserting. The second support 32 is provided with a holder 32a, and a terminal board 9 connected between the holder 32a and the second support 32 via the lead wire 7 from the magnetic head unit.
Is provided. However, the holding state is such that the land portions 9a, 9b, 9c and 9d of the terminal board 9 are held in contact with the second support table 32. The holding projections 31a and the holders 32a are also formed of the same semiconductive material as the first support 31 and the second support 32.

【0033】また切断部材33には、金属製の上刃34
aと下刃34bとから構成された金属刃34が設けられ
ており、これらの間に磁気ヘッドユニットと端子基板9
との間に延びるリード線7が配置されている。よって、
上刃34aが下刃34b方向に移動させることにより、
リード線7の導線部7A及び被覆部7Bが一緒に切断で
きるものとなっている。なお、リード線の代わりにフレ
キシブルプリント配線基板を使用したものであっても同
様である。
The cutting member 33 includes a metal upper blade 34.
a and a lower blade 34b are provided, and a metal head unit and a terminal board 9 are provided therebetween.
And a lead wire 7 extending between them. Therefore,
By moving the upper blade 34a in the direction of the lower blade 34b,
The conductor 7A and the covering 7B of the lead wire 7 can be cut together. The same applies to the case where a flexible printed wiring board is used instead of the lead wire.

【0034】前記第1の支持台31及び第2の支持台3
2とが設けられる基台30は、導電性材料又は半導電性
材料から形成されており、この基台30はアース電位と
なっている。あるいは、第1の支持台31及び第2の支
持台32がそれぞれアースに接続されるものであっても
よい。なお、第2の支持台32は、図示X方向に移動自
在に設けられており、リード線7にある程度の張力を与
えた状態で切断できるものとなっている。よって、常に
切断後のリード線7の長さを所定の長さに設定すること
が可能である。
The first support 31 and the second support 3
2 is formed of a conductive material or a semiconductive material, and the base 30 is at the ground potential. Alternatively, the first support 31 and the second support 32 may be respectively connected to ground. The second support base 32 is provided so as to be movable in the X direction in the drawing, and can be cut with a certain tension applied to the lead wire 7. Therefore, it is possible to always set the length of the lead wire 7 after cutting to a predetermined length.

【0035】次にリード線の切断方法について説明す
る。リード線7には、上記従来の説明で説明したよう
に、静電誘導により分極が生じており、被覆部7Bが正
の静電電荷により(+)電位に帯電し、導線部7Aの外
周表面は(−)電位、中心部は(+)電位となってい
る。第2の支持台32の上にランド部9a,9b,9c
および9d側をZ2方向に向けて端子基板9をホルダ3
2aに保持すると、ランド部9a,9b,9cおよび9
dを第2の支持台32に接触させることができ、ランド
部9a,9b,9cおよび9dは直接又は基台30を介
してアースgに接続される。
Next, a method of cutting the lead wire will be described. As described in the above description of the related art, the lead wire 7 is polarized by electrostatic induction, and the coating portion 7B is charged to a (+) potential by a positive electrostatic charge, and the outer peripheral surface of the conductive wire portion 7A. Indicates a (-) potential, and the central portion indicates a (+) potential. The lands 9a, 9b, 9c are placed on the second support 32.
And the terminal board 9 with the holder 3 with the 9d side facing the Z2 direction.
2a, the land portions 9a, 9b, 9c and 9
d can be brought into contact with the second support 32, and the lands 9a, 9b, 9c and 9d are connected to ground g directly or via the base 30.

【0036】図2は図1を等価的に表わす接続図であ
る。図2に示すように、磁気抵抗効果素子(例えば、ス
ピンバルブ型薄膜素子又は異方性磁気抵抗効果素子)1
0に接続されたリード線7a,7bは、ランド部9a,
9b及び第2の支持台32を介してアースgに接続され
る。なお、薄膜磁気ヘッドHのコイル層16もリード線
7c,7d,ランド部9c,9d及び第2の支持台32
を介してアースgに接続されることとなる。
FIG. 2 is a connection diagram equivalently showing FIG. As shown in FIG. 2, a magnetoresistive element (for example, a spin-valve thin film element or an anisotropic magnetoresistive element) 1
0, the lead wires 7a, 7b are connected to the land portions 9a,
9b and the ground g through the second support 32. The coil layer 16 of the thin-film magnetic head H also includes the lead wires 7c and 7d, the lands 9c and 9d, and the second support 32.
To the ground g.

【0037】上述のように第2の支持台32は、直接又
は基台30を介してアースgに接続されるが、第2の支
持台32は半導電体、即ち1×106から1×10
12(Ω/square)の範囲の表面抵抗を持つため、
除電の際に(−)電子がリード線7の導線部7A内を急
激に移動することを避けることができる。よって、リー
ド線7(7a,7b,7cおよび7d)から第2の支持
台32を介してアースgに大きな電流が流れることを防
止することができる。
As described above, the second support 32 is connected to the ground g directly or via the base 30, but the second support 32 is semiconductive, that is, from 1 × 10 6 to 1 ×. 10
With a surface resistance in the range of 12 (Ω / square),
At the time of static elimination, (-) electrons can be prevented from abruptly moving in the conductor 7A of the lead wire 7. Therefore, it is possible to prevent a large current from flowing from the lead wire 7 (7a, 7b, 7c and 7d) to the ground g via the second support 32.

【0038】このように、除電の際に第2の支持台32
によって電流の大きさを規制しつつ、リード線7の導線
部7A内に(−)電子が供給されることにより、導線部
7A内の中央部を中和状態とし、導線部7A内部の電位
とアース電位との電位差を少なくすることができる。ま
た金属刃34は当所よりアース電位に設定されており、
導線部7Aの電位とアース電位とをほぼ同電位とするこ
とができる。よって、このような状態にあるリード線7
を図1に示す切断部材33の金属刃34(上刃34a、
下刃34b)を用いて、P−P線において切断した場合
であっても、(−)電子の導線部7Aへの移動はほとん
ど生じないため、上記読取りヘッドh1やインダクティ
ブヘッドh2に流れる電流を零に、又は電流が流れる場
合でもセンス電流以下の極めて微小とすることができ
る。これにより、特に読取りヘッドh1に焼損が生じる
ような静電気破壊の発生を防止することができる。
As described above, the second support 32
By supplying (-) electrons into the conductor 7A of the lead wire 7 while regulating the magnitude of the current, the central portion of the conductor 7A is neutralized, and the potential inside the conductor 7A is reduced. The potential difference from the ground potential can be reduced. The metal blade 34 is set to the ground potential from this place,
The potential of the conductor 7A and the ground potential can be made substantially the same. Therefore, the lead wire 7 in such a state
The metal blade 34 of the cutting member 33 shown in FIG.
Even if the lower blade 34b) is used for cutting along the PP line, (-) electrons hardly move to the conductor 7A, so that the current flowing through the read head h1 or the inductive head h2 is reduced. Even when the current flows to zero, the current can be extremely small, which is equal to or smaller than the sense current. As a result, it is possible to prevent the occurrence of electrostatic destruction such as burning of the read head h1.

【0039】また、金属刃34が使用できるため、セラ
ミック刃を使用したようにセラミック刃自体の帯電によ
って生じる磁気ヘッドの電圧破壊の問題も生じない。ま
た、従来のセラミック刃に代わりに金属刃34を使用す
ることができるため、リード線7を最適な長さに良好な
状態で切断することが可能となる。さらに、金属刃を使
用できるため刃先の交換が不要とすることができる。よ
って、ランニングコストが低減できるとともに、煩雑な
交換作業を不要とすることができるため、作業効率上を
向上させることができる。
In addition, since the metal blade 34 can be used, there is no problem of voltage destruction of the magnetic head caused by charging of the ceramic blade itself as in the case of using the ceramic blade. In addition, since the metal blade 34 can be used instead of the conventional ceramic blade, it is possible to cut the lead wire 7 to an optimum length in a favorable state. Furthermore, since a metal blade can be used, it is not necessary to replace the blade edge. Therefore, running cost can be reduced, and complicated replacement work can be omitted, so that work efficiency can be improved.

【0040】以上のことは、キャパシタCと抵抗Rとの
過渡現象としてモデル化することができる。すなわち、
(+)電位にある導線部7Aの中心部を電荷が帯電して
いるキャパシタCと、および半導電体で形成された第2
の支持台32を抵抗Rとすれば、一般的なRC回路の過
渡現象とみなすことができる。そして、一般的なRC回
路の放電では、放電電流のピーク値は、充電電圧V/R
で示され、その時定数は、抵抗RとキャパシタCとの積
R・Cで示されることから、抵抗R(第2の支持台3
2)の値を大きくすれば、放電電流(リード線7からア
ースgに流れる電流)のピーク値を下げることができ
る。
The above can be modeled as a transient phenomenon between the capacitor C and the resistor R. That is,
A capacitor C charged at a central portion of the conductive wire portion 7A at a (+) potential;
Can be regarded as a transient phenomenon of a general RC circuit. In the discharge of a general RC circuit, the peak value of the discharge current is the charge voltage V / R
Since the time constant is represented by the product R · C of the resistance R and the capacitor C, the resistance R (the second support 3
By increasing the value of 2), the peak value of the discharge current (the current flowing from the lead wire 7 to the ground g) can be reduced.

【0041】しかしながら、抵抗Rの値を高くすると、
すなわち第2の支持台32の表面抵抗を大きくすると絶
縁度が高くなる一方、この第2の支持台32に生じる帯
電圧(導線部7Aの電位)も高くなる傾向がある。そし
て、第2の支持台32が高電位に帯電するようでは、結
局電流のピーク値を下げることができないおそれがあ
る。そこで、以下に示すような試験を行い、第2の支持
台32として最適な表面抵抗の選定を試みた。
However, when the value of the resistor R is increased,
In other words, when the surface resistance of the second support 32 is increased, the degree of insulation is increased, and on the other hand, the charged voltage (potential of the conductor 7A) generated in the second support 32 tends to be increased. If the second support 32 is charged to a high potential, the peak value of the current may not be reduced after all. Therefore, the following test was performed to select an optimal surface resistance as the second support 32.

【0042】図3は、表面抵抗に対する放電電流のピー
ク値および帯電圧の関係を実験的に求めた図である。図
3では、20pFのコンデンサーに充電電圧1000V
で充電を行い、表面抵抗の異なる種々の第2の支持台3
2を用意し、これに放電させた場合の放電電流Iのピー
ク値の平均と、これら種々の第2の支持台32を帯電さ
せた場合の帯電圧の平均をグラフ化したものである。な
お、図3中、放電電流の一部に設けられた矢印は、80
0(mA)以上の放電電流(測定不能)であることを示
すものである。また、コンデンサーの容量を20pFと
したのは、読取りヘッドh1の等価的な容量がほぼ10
から20pF程度であることによる。一方、充電電圧
は、導線部7Aの中央部とアースgの電位との電位差を
仮想したものである。
FIG. 3 is a diagram experimentally showing the relationship between the peak value of the discharge current and the charged voltage with respect to the surface resistance. In FIG. 3, a charging voltage of 1000 V is applied to a 20 pF capacitor.
And various second support bases 3 having different surface resistances.
2 is prepared by plotting the average of the peak value of the discharge current I when the secondary support 32 is discharged and the average of the charged voltages when the various second support bases 32 are charged. Note that, in FIG.
This indicates that the discharge current is 0 (mA) or more (measurable). The reason why the capacitance of the capacitor is set to 20 pF is that the equivalent capacitance of the read head h1 is approximately 10 pF.
To about 20 pF. On the other hand, the charging voltage is an imaginary potential difference between the central portion of the conductor 7A and the potential of the ground g.

【0043】図3に示すように、表面抵抗が低い場合に
は放電電流Iが大きく、表面抵抗が高い場合には放電電
流Iは小さくなる。これに対し、帯電圧は表面抵抗が低
い場合には小さく、表面抵抗が高い場合、特に表面抵抗
が1×108(Ω/square)以上になると急激に
高くなることが確認できる。また、この放電電流Iはリ
ード線7の導線部7Aから第2の支持台32を介してア
ースgに流れる電流であり、上述したようにリード線7
には読取りヘッドh1が接続されている。一般に読取り
ヘッドh1のセンス電流は数mAから数10mA程度で
あることから、放電電流Iをセンス電流以下に設定して
おけば、放電電流Iによって読取りヘッドh1が焼損す
ることを防止することができる。すなわち、図3から第
2の支持台32の表面抵抗として1×106(Ω/sq
uare)以上とすれば放電電流Iをセンス電流以下と
することができることが解る。
As shown in FIG. 3, when the surface resistance is low, the discharge current I is large, and when the surface resistance is high, the discharge current I is small. On the other hand, it can be confirmed that the charged voltage is small when the surface resistance is low, and is sharply increased when the surface resistance is high, particularly when the surface resistance is 1 × 10 8 (Ω / square) or more. The discharge current I is a current flowing from the conductor 7A of the lead wire 7 to the ground g via the second support 32, as described above.
Is connected to a read head h1. In general, the sense current of the read head h1 is about several mA to several tens mA. Therefore, if the discharge current I is set to be equal to or less than the sense current, it is possible to prevent the read head h1 from being burned out by the discharge current I. . That is, from FIG. 3, the surface resistance of the second support table 32 is 1 × 10 6 (Ω / sq
ure) or more, it can be seen that the discharge current I can be made equal to or less than the sense current.

【0044】一方、帯電圧は表面抵抗が1×108(Ω
/square)程度まではほとんど1(V)であり、
1×109(Ω/square)になると約5(V)程
度となる。そして、帯電圧は表面抵抗が1×109(Ω
/square)以上に高くなると急激に上昇する傾向
を示している。よって、図3から表面抵抗を1×109
(Ω/square)以下とすることにより、第2の支
持台32の帯電圧を低く抑えることが可能であることが
解る。これにより、磁気ヘッドが絶縁耐圧以上に帯電さ
れることを防止することができる。また、第2の支持台
32の帯電圧を低く抑えることができれば、第2の支持
台32に接続されるリード線7を介して磁気抵抗効果素
子の端子間の電位差を上昇させることもない。
On the other hand, the charged voltage has a surface resistance of 1 × 10 8 (Ω).
/ Square) is almost 1 (V),
When it is 1 × 10 9 (Ω / square), it is about 5 (V). The charged voltage has a surface resistance of 1 × 10 9 (Ω)
/ Square), it tends to sharply increase. Therefore, the surface resistance is set to 1 × 10 9 from FIG.
It is understood that by setting the resistance to (Ω / square) or less, the charged voltage of the second support table 32 can be suppressed low. Thus, it is possible to prevent the magnetic head from being charged to a voltage higher than the withstand voltage. Further, if the charged voltage of the second support 32 can be suppressed low, the potential difference between the terminals of the magnetoresistive element via the lead wire 7 connected to the second support 32 does not increase.

【0045】以上の結果から、第2の支持台32として
は、表面抵抗が1×106(Ω/square)以上、
且つ1×1012(Ω/square)以下のもの、より
好ましくは1×106(Ω/square)以上1×1
9(Ω/square)以下のものを選定するのが好
ましいことが解る。なお、その他の除電手段として、イ
オンナイザーによりイオン化した気体を前記ランド部に
吹き付けることにより、前記抵抗部材を用いた場合同様
の作用効果が得ることができる。
From the above results, the surface resistance of the second support 32 should be 1 × 10 6 (Ω / square) or more.
And 1 × 10 12 (Ω / square) or less, more preferably 1 × 10 6 (Ω / square) or more and 1 × 1
It can be seen that it is preferable to select those having a value of 0 9 (Ω / square) or less. In addition, by blowing gas ionized by an ionizer onto the land as another static elimination means, the same operation and effect can be obtained when the resistance member is used.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、磁気ヘッ
ドのリード線を切断する際に、読取り用の磁気抵抗効果
素子に大電流が流れるのを防止することができる。
According to the present invention described in detail above, it is possible to prevent a large current from flowing through the reading magnetoresistive element when cutting the lead wire of the magnetic head.

【0047】よって、磁気抵抗効果素子が静電気で破壊
されるという不具合の発生を防止することができる。
Therefore, it is possible to prevent a problem that the magnetoresistive element is broken by static electricity.

【0048】また、リード線を金属刃で切断できるよう
になるため、常に最適な長さにすることができる。
Further, since the lead wire can be cut with a metal blade, the length can always be optimized.

【0049】また金属刃を使用できるため刃先の交換が
不要となり、ランニングコストの低減できる。
Further, since a metal blade can be used, it is not necessary to replace the blade, and the running cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における磁気ヘッドのリード線切断装置
を示す概念図、
FIG. 1 is a conceptual view showing a magnetic head lead wire cutting apparatus according to the present invention;

【図2】、図1を等価的に表わす接続図FIG. 2 is a connection diagram equivalently representing FIG. 1;

【図3】表面抵抗に対する放電電流のピーク値および帯
電圧の関係を示す図、
FIG. 3 is a diagram showing a relationship between a peak value of a discharge current and a charged voltage with respect to a surface resistance;

【図4】磁気ヘッドのユニット構造を示す斜視図、FIG. 4 is a perspective view showing a unit structure of a magnetic head;

【図5】スライダ上に形成された薄膜磁気ヘッドの構造
の概略を示す斜視図、
FIG. 5 is a perspective view schematically showing the structure of a thin-film magnetic head formed on a slider.

【図6】磁気抵抗効果素子のABS面近傍での断面図、FIG. 6 is a cross-sectional view of the magnetoresistive element in the vicinity of an ABS surface,

【図7】リード線の拡大断面図、FIG. 7 is an enlarged sectional view of a lead wire;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 板ばね 4 スライダ 7(7a,7b,7c,7d) リード線 7A 導線部 7B 被覆部 9 端子基板 9a,9b,9c,9d ランド部 10 磁気抵抗効果素子(スピンバルブ型薄膜素子又は
異方性磁気抵抗効果素子) 16 コイル層 31 第1の支持台 32 第2の支持台 33 切断部材 34 金属刃 h1 読取りヘッド h2 インダクティブヘッド g アース
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Leaf spring 4 Slider 7 (7a, 7b, 7c, 7d) Lead wire 7A Conducting wire part 7B Covering part 9 Terminal board 9a, 9b, 9c, 9d Land part 10 Magnetoresistance effect element (spin valve thin film element or anisotropic element) (Magnetoresistance effect element) 16 Coil layer 31 First support 32 Second support 33 Cutting member 34 Metal blade h1 Read head h2 Inductive head g Earth

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 仲野 陽 宮城県仙台市泉区明通三丁目31番地 株式 会社フロンテック内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yo Nakano 3-31 Meidori, Izumi-ku, Sendai, Miyagi Prefecture Frontech Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気記録媒体に記録された磁気信号を読
み取る磁気抵抗効果素子を有し、この磁気抵抗効果素子
から延びる一対の出力用のリードに端子部が接続される
磁気ヘッドにおいて、前記リードと導通される前記端子
部のランド部において除電する工程と、前記リードを金
属刃で切断する工程と、からなることを特徴とする磁気
ヘッドの製造方法。
1. A magnetic head having a magnetoresistive element for reading a magnetic signal recorded on a magnetic recording medium and having a terminal connected to a pair of output leads extending from the magnetoresistive element. And a step of cutting the lead with a metal blade. 2. A method of manufacturing a magnetic head, comprising:
【請求項2】 前記除電する工程が、前記ランド部を所
定の抵抗部材を介してアースに接地することからなる請
求項1に記載の磁気ヘッドの製造方法。
2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the step of removing the electric charge includes grounding the land to ground via a predetermined resistance member.
【請求項3】 前記抵抗部材は、表面抵抗が1×106
から1×1012(Ω/square)の範囲の半導電体
からなる支持台である請求項2に記載の磁気ヘッドの製
造方法。
3. The resistance member has a surface resistance of 1 × 10 6.
3. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 2, wherein the support is a support made of a semiconductive material in a range of from 1 × 10 12 (Ω / square).
【請求項4】 前記除電する工程が、イオンナイザーに
よりイオン化した気体を前記ランド部に吹き付けるもの
からなる請求項1に記載の磁気ヘッドの製造方法。
4. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the step of discharging comprises blowing a gas ionized by an ionizer onto the land.
【請求項5】 磁気ヘッドユニットを支持するとともに
除電機能を有する第1の支持台と、前記磁気ヘッドユニ
ットから延びるリードの先端に設けられた端子基板を保
持するとともに除電機能を有する第2の支持台と、前記
第1の支持台と第2の支持台との間に設けられ、且つ前
記リードを切断する切断部材とを有することを特徴とす
る磁気ヘッドの製造装置。
5. A first support that supports a magnetic head unit and has a charge eliminating function, and a second support that holds a terminal board provided at a tip end of a lead extending from the magnetic head unit and has a charge eliminating function. An apparatus for manufacturing a magnetic head, comprising: a table; and a cutting member provided between the first support table and the second support table and cutting the lead.
【請求項6】 前記第1の支持台および第2の支持台
は、表面抵抗が1×106から1×1012(Ω/squ
are)の範囲の半導電体からなる請求項5に記載の磁
気ヘッドの製造装置。
6. The first support and the second support having a surface resistance of 1 × 10 6 to 1 × 10 12 (Ω / squ).
The apparatus for manufacturing a magnetic head according to claim 5, comprising a semiconductor in the range of (are).
【請求項7】 前記第1の支持台および第2の支持台
が、アースに接続されている請求項5又は6に記載の磁
気ヘッドの製造装置。
7. The magnetic head manufacturing apparatus according to claim 5, wherein the first support and the second support are connected to ground.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002056513A (en) * 2000-08-07 2002-02-22 Alps Electric Co Ltd Method for magnetoresistive head device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002056513A (en) * 2000-08-07 2002-02-22 Alps Electric Co Ltd Method for magnetoresistive head device

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Effective date: 20031224