JPH11248625A - Fluorite refractive index measuring method, florite selecting method and fluorite - Google Patents

Fluorite refractive index measuring method, florite selecting method and fluorite

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JPH11248625A
JPH11248625A JP10053583A JP5358398A JPH11248625A JP H11248625 A JPH11248625 A JP H11248625A JP 10053583 A JP10053583 A JP 10053583A JP 5358398 A JP5358398 A JP 5358398A JP H11248625 A JPH11248625 A JP H11248625A
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JP
Japan
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fluorite
refractive index
measuring
transmittance
lead content
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JP10053583A
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Inventor
Shigeru Sakuma
繁 佐久間
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Nikon Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable measurement of the index of refraction of a fluorite without directly measuring the index by measuring the content ratio of lead in the fluorite. SOLUTION: Though high accuracy is required for measuring the index of refraction of color abberation correcting optical material, the index of refraction of material fluorite scatters and thus measurement of the index is essential. The refraction index of a fluorite can be measured by measuring the content ratio of lead in the fluorite. In the measurement range up to about 5,000 ppm of the content ratio, the content ratio is substantially proportional to the index of refraction thereof. In the case that it is not more than 2,000 ppm, there is a rather linear line relation between the content ratio and an increase amount of the index of refraction thereof than another case, and in this measurement range the index of refraction thereof can be obtained easily from the lead content ratio. If the lead content ratio is not more than a fixed value the index of refraction of fluolite is in an allowable range in designing, while with the exclusive selection of fluorite whose index of refraction is in the allowable range it is possible to prevent re-designing of an optical system for the fluorite whose index of refraction is out of the range. Accordingly, with the measurement of lead content ratio in fluorite, the index of refraction thereof can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、光学材料として
の蛍石（フッ化カルシウム（ＣａＦ2 ）の結晶）、蛍石
の屈折率の測定方法およびその測定方法を用いた蛍石の
選別方法に関する。The present invention relates to fluorite (crystal of calcium fluoride (CaF 2 )) as an optical material, a method for measuring the refractive index of fluorite, and a method for selecting fluorite using the method. .

【０００２】[0002]

【従来の技術】蛍石は、低屈折率および高分散という光
学的物性を有する。このため、蛍石は、色収差補正用の
光学材料として光学機器に広く用いられている。このよ
うな光学機器としては、例えば、テレビカメラ、銀塩カ
メラ、望遠鏡および顕微鏡が挙げられる。2. Description of the Related Art Fluorite has optical properties such as a low refractive index and a high dispersion. For this reason, fluorite is widely used in optical devices as an optical material for correcting chromatic aberration. Such optical devices include, for example, television cameras, silver halide cameras, telescopes, and microscopes.

【０００３】さらに、蛍石は、紫外線に対する高い透過
率を有し、かつ、ソラリゼーション（光照射によって透
過率が低下する現象）を起こさないという性質を有す
る。このため、蛍石は、近年、エキシマレーザ等の紫外
光を光源とする半導体露光装置（「ステッパー」または
「スキャナー」とも称する。）の光学系にも使われるよ
うになった。[0003] Furthermore, fluorite has a property of having a high transmittance to ultraviolet rays and not causing solarization (a phenomenon in which the transmittance is reduced by light irradiation). For this reason, fluorite has recently been used in an optical system of a semiconductor exposure apparatus (also called a “stepper” or “scanner”) using ultraviolet light such as an excimer laser as a light source.

【０００４】そして、蛍石は単一組成である。その結
果、一般に、市販の蛍石は、ロット毎の屈折率のばらつ
きが一般の光学ガラスのロット毎の屈折率のばらつきよ
りも小さい。このため、光学部材として市販の蛍石を使
用する場合には、通常、その屈折率の測定を行うことな
く使用していた。[0004] Fluorite has a single composition. As a result, in general, commercially available fluorite has less variation in the refractive index from lot to lot than ordinary lots of optical glass. For this reason, when commercially available fluorite is used as the optical member, it is usually used without measuring the refractive index.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、色収差補正
用の光学材料の屈折率には、設計上、高い精度が要求さ
れる。また、ステッパーの光学系に使用される光学材料
の屈折率には、さらに高い精度が要求される。この屈折
率の精度としては、例えば、小数点以下第６桁目の数値
が要求される。However, the design of the refractive index of the optical material for correcting chromatic aberration requires high precision. Further, the refractive index of the optical material used for the optical system of the stepper requires higher precision. As the accuracy of the refractive index, for example, a numerical value at the sixth digit after the decimal point is required.

【０００６】そこで、この出願に係る発明者が蛍石のロ
ット毎の屈折率を測定したところ、測定値が設計上の屈
折率から許容値以上ずれている場合があることが判明し
た。この許容値とは、例えば、可視光の色収差補正用の
光学材料の場合、５０×１０ー6程度である。また、例え
ば、ステッパー用の光学材料の屈折率の許容値は、さら
に厳しく、５×１０ー6程度である。The inventors of the present application have measured the refractive index of each lot of fluorite and found that the measured value may deviate from the designed refractive index by an allowable value or more. The allowable value is, for example, about 50 × 10 −6 in the case of an optical material for correcting chromatic aberration of visible light. Further, for example, the allowable value of the refractive index of the optical material for the stepper is even more severe, and is about 5 × 10 −6 .

【０００７】そして、蛍石の実際の屈折率が、許容範囲
内（設計上の屈折率からのずれが許容値以内）でない場
合には、光学系の設計をやり直していた。設計のやり直
しにあたっては、例えば、レンズの曲率半径を微妙に変
更したりしていた。設計のやり直しを回避するために
は、予め蛍石の屈折率を測定しておき、屈折率が許容範
囲内の蛍石だけを選別して使用することが望ましい。If the actual refractive index of the fluorite is not within the allowable range (the deviation from the designed refractive index is within the allowable value), the design of the optical system has been redone. In re-designing, for example, the curvature radius of the lens was slightly changed. In order to avoid redesign, it is desirable to measure the refractive index of fluorite in advance and to select and use only fluorite having a refractive index within an allowable range.

【０００８】しかしながら、蛍石の屈折率を測定するに
あたっては、蛍石に要求される設計上の精度が高いた
め、例えば小数点以下６桁までの値を測定する必要があ
る。その上、屈折率測定のためのテストピースの加工や
研磨、さらには、屈折率の測定作業に大変手間がかかる
という問題があった。However, when measuring the refractive index of fluorite, it is necessary to measure, for example, a value up to six digits after the decimal point because of the high design accuracy required for fluorite. In addition, there is a problem in that processing and polishing of the test piece for measuring the refractive index, and furthermore, the work of measuring the refractive index takes a lot of trouble.

【０００９】このため、この発明の第１の目的は、蛍石
の屈折率を直接測定することなく、蛍石の屈折率を間接
的に容易に測定する方法の提供にある。[0009] Therefore, a first object of the present invention is to provide a method for easily and indirectly measuring the refractive index of fluorite without directly measuring the refractive index of fluorite.

【００１０】また、この発明の第２の目的は、蛍石の屈
折率を直接測定することなく、屈折率が許容範囲内の蛍
石を容易に選別する方法の提供にある。A second object of the present invention is to provide a method for easily selecting fluorite having a refractive index within an allowable range without directly measuring the refractive index of fluorite.

【００１１】また、この発明の第３の目的は、屈折率が
許容範囲内の蛍石の提供にある。A third object of the present invention is to provide fluorite having a refractive index within an allowable range.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】（第１の蛍石の屈折率測
定方法）この出願に係る発明者は、種々の実験および検
討を重ねた結果、蛍石の鉛含有率（鉛濃度）が高くなる
と、その蛍石の屈折率も高くなる傾向があることを見出
した。即ち、鉛含有率が一定値以下ならば、その蛍石の
屈折率は、鉛を含有しない蛍石の屈折率を設計上の屈折
率とした場合の許容範囲内であることを見出した。そし
て、この発明者は、蛍石の鉛含有率を測定すれば、屈折
率を直接測定することなく、蛍石の屈折率を間接的に知
ることができることに想到した。Means for Solving the Problems (First Method of Measuring Refractive Index of Fluorite) As a result of repeated experiments and studies, the inventor of the present application found that the lead content (lead concentration) of fluorite was reduced. It has been found that as the height increases, the refractive index of the fluorite tends to increase. That is, it has been found that when the lead content is equal to or less than a certain value, the refractive index of the fluorite is within an allowable range when the refractive index of the fluorite not containing lead is set as the designed refractive index. The inventor of the present invention has conceived that by measuring the lead content of fluorite, the refractive index of fluorite can be indirectly known without directly measuring the refractive index.

【００１３】尚、垂直ブリッジマン法等により結晶成長
した蛍石に鉛が含まれる理由は、結晶成長の際に、蛍石
の原料中の酸化物を除去するためのスカベンジャーとし
てフッ化鉛を使用するためである。そして、フッ化鉛の
添加量が不適当であったり、製造条件が不適切である
と、鉛成分が蛍石中に残留することになる。The reason that lead is contained in fluorite grown by the vertical Bridgman method or the like is that lead fluoride is used as a scavenger for removing oxides in the raw material of fluorite during crystal growth. To do that. If the amount of lead fluoride added is inappropriate or if the production conditions are inappropriate, the lead component will remain in the fluorite.

【００１４】そこで、この発明の第１の蛍石の屈折率測
定方法によれば、蛍石の屈折率を測定するにあたり、当
該蛍石の鉛含有率を測定することを特徴とする。Therefore, according to the first method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, when measuring the refractive index of fluorite, the lead content of the fluorite is measured.

【００１５】このように、蛍石の鉛含有率を測定すれ
ば、屈折率を直接測定することなく、蛍石の屈折率を容
易に知ることができる。As described above, by measuring the lead content of fluorite, the refractive index of fluorite can be easily known without directly measuring the refractive index.

【００１６】また、この発明の第１の蛍石の屈折率測定
方法において、好ましくは、鉛含有率の測定範囲を、重
量比で０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍとするのが良い。In the first method for measuring the refractive index of fluorite according to the present invention, it is preferable that the measurement range of the lead content is 0 ppm to 2000 ppm by weight.

【００１７】この発明者の測定によれば、蛍石の鉛含有
率５０００ｐｐｍ程度までの測定範囲では、鉛含有率と
屈折率とが実質的に比例している。そして、２０００ｐ
ｐｍ以下の測定範囲では、鉛含有率と屈折率増加量とが
より線形関係を有している。このため、例えば、鉛濃度
と屈折率増加量との関係を比例定数で容易に表すことが
できる。その結果、この測定範囲では、鉛含有率から屈
折率増加量を容易に求めることにより、蛍石の屈折率を
容易に求めることができる。According to the measurement by the present inventors, the lead content and the refractive index are substantially proportional to each other in the measurement range up to the lead content of the fluorite of about 5000 ppm. And 2000p
In the measurement range of pm or less, the lead content and the increase in the refractive index have a more linear relationship. Therefore, for example, the relationship between the lead concentration and the increase in the refractive index can be easily represented by a proportional constant. As a result, in this measurement range, the refractive index of fluorite can be easily obtained by easily obtaining the amount of increase in the refractive index from the lead content.

【００１８】尚、鉛含有量が０ｐｐｍとは、鉛が含有さ
れていない状態を意味する。上述のように、蛍石に鉛が
含有されることにより、蛍石の屈折率が増加する。この
ため、蛍石に鉛が含有されていないことが最も好まし
い。従って、鉛は、蛍石の必須構成成分ではない。Note that a lead content of 0 ppm means that no lead is contained. As described above, the refractive index of fluorite increases when fluorite contains lead. For this reason, it is most preferable that fluorite does not contain lead. Therefore, lead is not an essential component of fluorite.

【００１９】また、この発明の第１の蛍石の屈折率測定
方法において、より好ましくは、鉛含有率の測定範囲
を、重量比で２０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍとするのが良
い。In the first method for measuring the refractive index of fluorite according to the present invention, it is more preferable that the measurement range of the lead content is 20 ppm to 2000 ppm by weight.

【００２０】２０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍの測定範囲で
は、鉛含有率と屈折率増加量とがより線形の関係を有す
る。このため、この測定範囲では、鉛含有率から屈折率
増加量をより容易に求めることができる。その結果、蛍
石の屈折率を容易に求めることができる。In the measurement range of 20 ppm to 2000 ppm, the lead content and the increase in the refractive index have a more linear relationship. For this reason, in this measurement range, the amount of increase in the refractive index can be more easily obtained from the lead content. As a result, the refractive index of the fluorite can be easily obtained.

【００２１】（第２の蛍石の屈折率測定方法）ところ
で、蛍石の鉛含有率の測定は、その屈折率の測定よりは
容易であるものの、一般に時間を要する。例えば、試料
中の元素の定量分析に一般的に用いられているＩＣＰ−
ＡＥＳ（inductively coupled plasma - atomic emissi
on spectrometer 、誘導結合プラズマ発光分光分析装
置）を使用して鉛含有率を定量分析する場合には、通常
数時間を要する。このため、より容易に蛍石の屈折率を
知る方法の出現が望まれる。(Second Fluorite Refractive Index Measurement Method) The measurement of the lead content of fluorite is easier than the measurement of the refractive index, but generally takes time. For example, ICP- commonly used for quantitative analysis of elements in a sample
AES (inductively coupled plasma-atomic emissi
Quantitative analysis of lead content using an on spectrometer (inductively coupled plasma emission spectroscopy) usually requires several hours. For this reason, the appearance of a method for more easily knowing the refractive index of fluorite is desired.

【００２２】そこで、この出願に係る発明者は、蛍石の
鉛含有率が高くなると、蛍石の透過率が低下する現象に
着目した。Therefore, the inventor of the present application focused on a phenomenon that the transmittance of fluorite decreases when the lead content of fluorite increases.

【００２３】そして、この発明の第２の蛍石の屈折率測
定方法によれば、蛍石の屈折率を測定するにあたり、当
該蛍石の光の透過率を測定することを特徴とする。According to the second method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, when measuring the refractive index of fluorite, the light transmittance of the fluorite is measured.

【００２４】このように、蛍石の透過率を測定すれば、
蛍石の鉛含有率を知ることができる。そして、上述した
ように、鉛含有率が分かれば、蛍石の屈折率を知ること
ができる。従って、この発明の第２の蛍石の屈折率測定
方法によれば、蛍石の透過率を測定することにより、屈
折率を直接測定することなく、蛍石の屈折率を容易に測
定することができる。As described above, if the transmittance of fluorite is measured,
The lead content of fluorite can be known. Then, as described above, if the lead content is known, the refractive index of fluorite can be known. Therefore, according to the second method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, by measuring the transmittance of fluorite, the refractive index of fluorite can be easily measured without directly measuring the refractive index. Can be.

【００２５】さらに、この出願に係る発明者は、鉛を含
有する蛍石が波長２００〜２１０ｎｍの波長帯域の紫外
光に対して急峻な吸収ピークを有することに着目した。Furthermore, the inventor of the present application has noticed that fluorite containing lead has a steep absorption peak for ultraviolet light in a wavelength band of 200 to 210 nm.

【００２６】そこで、この発明の第２の蛍石の屈折率測
定方法において、好ましくは、波長２００ｎｍ〜２１０
ｎｍの光に対する前記透過率を測定するのが良い。Therefore, in the second method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, the wavelength is preferably 200 nm to 210 nm.
Preferably, the transmittance for light of nm is measured.

【００２７】このように波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの
光に対する透過率を測定すれば、容易に、蛍石の屈折率
を間接的に測定することができる。By measuring the transmittance for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm, the refractive index of fluorite can be easily measured indirectly.

【００２８】また、この発明の実施にあたり、好ましく
は、透過率を測定するにあたり、前記蛍石の互いに対向
する劈開面間を透過する光の透過率を測定するのが望ま
しい。In the practice of the present invention, preferably, in measuring the transmittance, it is desirable to measure the transmittance of light transmitted between the cleavage planes of the fluorite facing each other.

【００２９】蛍石は、劈開性を有するのため、容易に劈
開面を生じる。そして、互いに対向した劈開面どうしは
平行となる。このため、これらの劈開面間を透過する光
の透過率を測定すれば、テストピースを研磨する必要が
ないため、より容易に蛍石の屈折率を求めることができ
る。Since fluorite has a cleavage property, a cleavage plane is easily generated. Then, the cleavage planes facing each other are parallel. Therefore, if the transmittance of light transmitted between these cleavage planes is measured, it is not necessary to polish the test piece, so that the refractive index of fluorite can be more easily obtained.

【００３０】（第１の蛍石の選別方法）上述したよう
に、この発明者は、蛍石の鉛含有率が高くなると、その
蛍石の屈折率も高くなる傾向があることを見出した。そ
して、この発明者は、鉛含有率が一定値以下ならば、そ
の蛍石の屈折率は、鉛非含有の蛍石の屈折率を設計上の
屈折率とした場合の許容範囲内であることになることに
想到した。そして、この発明者は、鉛含有率を測定する
ことによって、屈折率が許容範囲内にある蛍石だけを選
別して用いれば、許容範囲外の屈折率の蛍石のために光
学系の設計をやり直すことを回避することができると考
えた。(First Fluorite Sorting Method) As described above, the present inventor has found that as the lead content of fluorite increases, the refractive index of the fluorite tends to increase. The present inventor states that if the lead content is equal to or less than a certain value, the refractive index of the fluorite is within an allowable range when the refractive index of the lead-free fluorite is set as the design refractive index I thought of becoming. By measuring lead content and selecting and using only fluorite having a refractive index within an allowable range, the inventor may design an optical system for fluorite having a refractive index outside the allowable range. Thought that it could be avoided to redo.

【００３１】そこで、この発明の第１の蛍石の選別方法
によれば、蛍石の鉛含有率を測定し、鉛含有率が重量比
で３７０ｐｐｍ以下の蛍石を選択することを特徴とす
る。Therefore, according to the first method for sorting fluorite of the present invention, the lead content of fluorite is measured, and fluorite having a lead content of 370 ppm or less by weight is selected. .

【００３２】尚、上述したように、鉛は蛍石の必須構成
成分ではない。従って、鉛含有率の下限値は０ｐｐｍで
ある。As described above, lead is not an essential component of fluorite. Therefore, the lower limit of the lead content is 0 ppm.

【００３３】次に、この３７０ｐｐｍという数値の根拠
について説明する。鉛含有の蛍石の屈折率と鉛非含有の
蛍石の屈折率との差Δｎｄと、鉛含有率ｃとの関係は、
おおよそ下記の（１）式で表すことができる。Next, the basis of the numerical value of 370 ppm will be described. The relationship between the difference Δnd between the refractive index of lead-containing fluorite and the refractive index of lead-free fluorite and the lead content c is:
It can be roughly expressed by the following equation (1).

【００３４】Δｎｄ＝Ｋ×ｃ・・・（１） ここで、Ｋは比例定数である。そして、後述の実施の形
態において説明するように、測定結果、Ｋ＝０．１３４
×１０ー6（１／ｐｐｍ）という値を得た。Δnd = K × c (1) where K is a proportional constant. Then, as described in an embodiment described later, the measurement result, K = 0.134
A value of × 10 −6 (1 / ppm) was obtained.

【００３５】また、上述のように、可視光の色収差補正
用の光学材料の場合の許容値は、５０×１０ー6程度であ
る。そこで、上記の（１）式のΔｎｄに、この許容値を
代入すると、鉛含有率ｃ＝３７３≒３７０（ｐｐｍ）と
いう値が得られる。従って、鉛含有率３７０ｐｐｍ以下
の蛍石は、可視光の色収差用の光学材料に要求される屈
折率精度をほぼ満足することが分かる。従って、一般の
可視光の色収差用の光学材料として鉛含有率３７０ｐｐ
ｍ以下の蛍石を使用すれば、光学系の設計のやり直しを
回避することができる。As described above, the allowable value in the case of an optical material for correcting chromatic aberration of visible light is about 50 × 10 −6 . Therefore, when this allowable value is substituted for Δnd in the above equation (1), a value of lead content c = 373 ≒ 370 (ppm) is obtained. Therefore, it can be seen that fluorite having a lead content of 370 ppm or less almost satisfies the refractive index accuracy required for an optical material for chromatic aberration of visible light. Therefore, as an optical material for general visible light chromatic aberration, the lead content is 370 pp.
If fluorite of m or less is used, redesign of the optical system can be avoided.

【００３６】さらに、この発明の第１の蛍石の選別方法
において、好ましくは、鉛含有率が重量比で４０ｐｐｍ
以下の蛍石を選択するのが良い。Further, in the first fluorite sorting method of the present invention, the lead content is preferably 40 ppm by weight.
It is good to choose the following fluorite.

【００３７】次に、この４０ｐｐｍという数値の根拠に
ついて説明する。上述のように、ステッパー用の光学材
料の許容値は、一般の光学材料の許容値よりもさらに厳
しい５×１０ー6程度である。従って、上記の（１）式の
Δｎｄに、この許容値を代入すると、鉛含有率ｃ＝３７
≒４０（ｐｐｍ）が得られる。従って、鉛含有率４０ｐ
ｐｍ以下の蛍石は、ステッパー用の光学材料に要求され
る屈折率精度をほぼ満足することが分かる。従って、ス
テッパー用の光学材料として鉛含有率４０ｐｐｍ以下の
蛍石を使用すれば、光学系の設計のやり直しを回避する
ことができる。Next, the basis of the numerical value of 40 ppm will be described. As described above, the allowable value of the optical material for the stepper is about 5 × 10 −6 which is more severe than the allowable value of the general optical material. Therefore, when this allowable value is substituted for Δnd in the above equation (1), the lead content c = 37
$ 40 (ppm) is obtained. Therefore, the lead content 40p
It can be seen that fluorite of pm or less almost satisfies the refractive index accuracy required for an optical material for a stepper. Therefore, if fluorite having a lead content of 40 ppm or less is used as the optical material for the stepper, it is possible to avoid redesigning the optical system.

【００３８】（第２の蛍石の選別方法）上述したよう
に、この発明者は、蛍石の鉛含有率が高くなると、蛍石
の透過率が低下する現象に着目した。そして、この発明
者は、透過率が一定値以上ならば、その蛍石の鉛含有率
が一定値以下となることに想到した。鉛含有率は、上述
したように、屈折率と相関関係を有する。従って、透過
率が一定値以上ならば、その蛍石の屈折率は、鉛を含有
しない蛍石の屈折率を設計上の屈折率とした場合の許容
範囲内であることになる。(Second Fluorite Sorting Method) As described above, the present inventors have paid attention to the phenomenon that the transmittance of fluorite decreases as the lead content of fluorite increases. The inventor has conceived that if the transmittance is equal to or more than a certain value, the lead content of the fluorite becomes equal to or less than a certain value. As described above, the lead content has a correlation with the refractive index. Therefore, if the transmittance is equal to or more than a certain value, the refractive index of the fluorite is within an allowable range when the refractive index of the fluorite containing no lead is set as the designed refractive index.

【００３９】そして、この発明者は、蛍石の透過率を測
定することによって、屈折率が許容範囲内にある蛍石を
選別しておけば、許容範囲外の屈折率の蛍石のために光
学系の設計をやり直すことを回避することができると考
えた。The inventor of the present invention can measure fluorite having a refractive index within an allowable range by measuring the transmittance of the fluorite to obtain fluorite having a refractive index outside the allowable range. We thought that we could avoid redesigning the optical system.

【００４０】そこで、この発明の第２の蛍石の選別方法
によれば、波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対する蛍
石の１ｍｍあたりの透過率を測定し、透過率が５％以上
の蛍石を選択することを特徴とする。Therefore, according to the second method for selecting fluorite of the present invention, the transmittance per 1 mm of fluorite for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm is measured, and fluorite having a transmittance of 5% or more is selected. It is characterized by doing.

【００４１】次に、この５％という数値の根拠について
説明する。波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対する蛍
石１ｍｍあたりの透過率Ｔと、蛍石の鉛含有率ｃとの間
には、一般に、Lambert-Berrの法則と呼ばれる、下記の
（２）式に示す関係が成り立つ。Next, the basis of the numerical value of 5% will be described. The relationship expressed by the following formula (2), which is generally called Lambert-Berr's law, between the transmittance T per 1 mm of fluorite for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm and the lead content c of fluorite is given. Holds.

【００４２】 Ｔ＝Ｉｏ／Ｉｉ＝ｅｘｐ｛−ａｃｄ｝・・・（２） 上記の（２）式に示すように、透過率Ｔは、光の入射強
度Ｉｉと出射強度Ｉｏとの比で与えられる。また、上記
の（２）式において、ａは吸収係数、ｃは鉛含有率、ｄ
はサンプルの厚さ（光が透過する部分の厚さ）をそれぞ
れ表す。そして、後述の実施の形態において説明するよ
うに、測定の結果、吸収係数ａ＝０．０８（１／（ｐｐ
ｍ・ｃｍ））という値を得た。T = Io / Ii = exp {−acd} (2) As shown in the above equation (2), the transmittance T is given by the ratio between the light incident intensity Ii and the light output intensity Io. Can be In the above equation (2), a is the absorption coefficient, c is the lead content, d
Represents the thickness of the sample (the thickness of the portion through which light passes). Then, as described in an embodiment described later, as a result of the measurement, the absorption coefficient a = 0.08 (1 / (pp
m · cm)).

【００４３】また、上述のように、可視光の色収差補正
用の一般の光学材料の場合の屈折率の許容値は、５０×
１０ー6である。そこで、この許容値の屈折率差に相当す
る前述の鉛含有率３７０ｐｐｍという値を上記の（２）
式のｃに代入する。さらに、サンプル１ｍｍあたりの透
過率を求めるため、上記の（２）式のｄに、ｄ＝０．１
（ｃｍ）と代入する。その結果、透過率Ｔ＝０．０５と
いう値が得られる。従って、透過率５％以上の蛍石は、
鉛含有率が、ほぼ３７０ｐｐｍ以下であることが分か
る。その結果、透過率５％以上の蛍石は、可視光の色収
差用の光学材料に要求される屈折率精度をほぼ満足する
ことが分かる。従って、蛍石の透過率を測定することに
よって、その屈折率を容易に知ることができる。As described above, the allowable value of the refractive index in the case of a general optical material for correcting chromatic aberration of visible light is 50 ×
It is 10-6 . Therefore, the above-mentioned value of 370 ppm of the lead content corresponding to the refractive index difference of the allowable value is calculated by the above (2)
Substitute for c in equation. Further, in order to obtain the transmittance per 1 mm of the sample, d = 0.1
(Cm). As a result, a value of transmittance T = 0.05 is obtained. Therefore, fluorite with a transmittance of 5% or more is
It can be seen that the lead content is approximately 370 ppm or less. As a result, it can be seen that fluorite having a transmittance of 5% or more almost satisfies the refractive index accuracy required for an optical material for chromatic aberration of visible light. Therefore, by measuring the transmittance of fluorite, its refractive index can be easily known.

【００４４】そして、可視光の色収差用の光学材料とし
てこの透過率が５％以上の蛍石を使用すれば、光学系の
設計のやり直しを回避することができる。If fluorite having a transmittance of 5% or more is used as an optical material for chromatic aberration of visible light, it is possible to avoid redesigning the optical system.

【００４５】また、この発明の第２の蛍石の選別方法に
おいて、好ましくは、透過率が７０％以上の蛍石を選別
するのが良い。尚、透過率の上限値は、１００％であ
る。In the second method for sorting fluorite of the present invention, it is preferable to sort fluorite having a transmittance of 70% or more. The upper limit of the transmittance is 100%.

【００４６】次に、この７０％という数値の根拠につい
て説明する。上述のように、例えばステッパー用の光学
材料の場合には、鉛含有率は、４０ｐｐｍ以下であるこ
とが要求される。従って、上記の（２）式のｃに、ｃ＝
４０（ｐｐｍ）と代入すると、透過率Ｔ＝０．７３≒
０．７０という値が得られる。従って、波長２００ｎｍ
〜２１０ｎｍの光に対する透過率が７０％以上の蛍石
は、ステッパー用の光学材料に要求される屈折率精度を
ほぼ満足することが分かる。Next, the basis of the numerical value of 70% will be described. As described above, for example, in the case of an optical material for a stepper, the lead content is required to be 40 ppm or less. Therefore, c = c in the above equation (2)
Substituting 40 (ppm), transmittance T = 0.73 °
A value of 0.70 is obtained. Therefore, a wavelength of 200 nm
It can be seen that fluorite having a transmittance of 70% or more for light of up to 210 nm almost satisfies the refractive index accuracy required for an optical material for a stepper.

【００４７】従って、ステッパー用の光学材料として透
過率が７０％以上の蛍石を使用すれば、光学系の設計の
やり直しを回避することができる。Therefore, if fluorite having a transmittance of 70% or more is used as the optical material for the stepper, it is possible to avoid redesigning the optical system.

【００４８】また、この発明の第２の蛍石の選別方法の
実施にあたり、好ましくは、透過率を測定するにあた
り、蛍石の互いに対向する劈開面間を透過する光の透過
率を測定するのが望ましい。In carrying out the second fluorite sorting method of the present invention, preferably, in measuring the transmittance, the transmittance of light transmitted between the cleavage planes of the fluorite facing each other is preferably measured. Is desirable.

【００４９】（第１の蛍石）また、この発明の第１の蛍
石によれば、鉛含有率が重量比で３７０ｐｐｍ以下であ
ることを特徴とする。(First Fluorite) According to the first fluorite of the present invention, the lead content is 370 ppm or less by weight.

【００５０】上述のように、可視光の色収差用の一般の
光学材料として鉛含有率３７０ｐｐｍ以下の蛍石を使用
すれば、屈折率が許容値範囲内の蛍石のみを使用するこ
とができる。その結果、光学系の設計のやり直しを回避
することができる。As described above, when fluorite having a lead content of 370 ppm or less is used as a general optical material for chromatic aberration of visible light, only fluorite having a refractive index within an allowable value range can be used. As a result, redesign of the optical system can be avoided.

【００５１】尚、鉛含有量３７０ｐｐｍ以下の蛍石の用
途は、色収差用の光学材料に限定する必要はない。It is not necessary to limit the use of fluorite having a lead content of 370 ppm or less to optical materials for chromatic aberration.

【００５２】また、この発明の第１の蛍石において、好
ましくは、鉛含有率が重量比で４０ｐｐｍ以下であるの
が良い。In the first fluorite of the present invention, the lead content is preferably 40 ppm or less by weight.

【００５３】上述のように、例えば、ステッパー用の光
学材料として鉛含有率４０ｐｐｍ以下の蛍石を使用すれ
ば、屈折率が許容値範囲内の蛍石のみを使用することが
できる。その結果、光学系の設計のやり直しを回避する
ことができる。As described above, for example, when fluorite having a lead content of 40 ppm or less is used as an optical material for a stepper, only fluorite having a refractive index within an allowable value range can be used. As a result, redesign of the optical system can be avoided.

【００５４】尚、鉛含有量４０ｐｐｍ以下の蛍石の用途
は、ステッパー用の光学材料に限定する必要はない。It is not necessary to limit the use of fluorite having a lead content of 40 ppm or less to optical materials for steppers.

【００５５】（第２の蛍石）また、この発明の第２の蛍
石によれば、波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対する
１ｍｍあたりの透過率が５％以上であることを特徴とす
る。(Second Fluorite) Further, according to the second fluorite of the present invention, the transmittance per mm for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm is 5% or more.

【００５６】上述のように、例えば可視光の色収差用の
光学材料として、この波長帯域の透過率が５％以上の蛍
石を使用すれば、屈折率が許容値範囲内の蛍石のみを使
用することができる。その結果、光学系の設計のやり直
しを回避することができる。As described above, for example, if fluorite having a transmittance in this wavelength band of 5% or more is used as an optical material for chromatic aberration of visible light, only fluorite having a refractive index within an allowable value range is used. can do. As a result, redesign of the optical system can be avoided.

【００５７】尚、この透過率５％以上の蛍石の用途は、
色収差用の光学材料に限定する必要はない。The use of the fluorite having a transmittance of 5% or more is as follows.
It is not necessary to limit to an optical material for chromatic aberration.

【００５８】さらに、この発明の第２の蛍石において、
好ましくは、透過率が７０％以上であるのが良い。Further, in the second fluorite of the present invention,
Preferably, the transmittance is 70% or more.

【００５９】上述のように、例えばステッパー用の一般
の光学材料として、この波長帯域の透過率が７０％以上
の蛍石を使用すれば、屈折率が許容値範囲内の蛍石のみ
を使用することができる。その結果、光学系の設計のや
り直しを回避することができる。As described above, for example, when fluorite having a transmittance of 70% or more in this wavelength band is used as a general optical material for a stepper, only fluorite having a refractive index within an allowable value range is used. be able to. As a result, redesign of the optical system can be avoided.

【００６０】尚、この透過率が７０％以上の蛍石の用途
は、ステッパー用の光学材料に限定する必要はない。The use of fluorite having a transmittance of 70% or more does not need to be limited to an optical material for a stepper.

【００６１】[0061]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。尚、以下の説明に用い
る数値的条件は単なる例示にすぎない。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The numerical conditions used in the following description are merely examples.

【００６２】この発明の第１の蛍石の屈折率測定方法に
よれば、蛍石の屈折率を測定するにあたり、当該蛍石の
鉛含有率を測定する。また、この発明の第１の蛍石の選
別方法によれば、蛍石の鉛含有率を測定し、鉛含有率が
３７０ｐｐｍ以下、より好ましくは４０ｐｐｍ以下の蛍
石を選択する。そして、選別された蛍石が、この発明の
第１の蛍石となる。According to the first method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, when measuring the refractive index of fluorite, the lead content of the fluorite is measured. Further, according to the first fluorite sorting method of the present invention, the lead content of fluorite is measured, and a fluorite having a lead content of 370 ppm or less, more preferably 40 ppm or less, is selected. Then, the selected fluorite becomes the first fluorite of the present invention.

【００６３】この実施の形態では、先ず、検出限界２０
ｐｐｍ未満の鉛含有率の蛍石の屈折率を、鉛非含有の蛍
石の屈折率として測定する。ここでは、ヘリウムのｄ線
（波長５８７．５６２ｎｍ）の光を用いて屈折率を測定
する。測定の結果、２２．５℃の温度下でのこの蛍石の
屈折率は、１．４３３８５２であった。以下、この実施
の形態では、この数値を設計上の屈折率とし、この数値
からのずれを屈折率増加量（屈折率差）として表す。In this embodiment, first, the detection limit 20
The refractive index of fluorite with a lead content of less than ppm is measured as the refractive index of lead-free fluorite. Here, the refractive index is measured using helium d-line (wavelength: 587.562 nm) light. As a result of the measurement, the refractive index of the fluorite at a temperature of 22.5 ° C. was 1.443352. Hereinafter, in this embodiment, this numerical value is referred to as a designed refractive index, and a deviation from this numerical value is referred to as a refractive index increase (refractive index difference).

【００６４】次に、複数の鉛含有率の蛍石について、鉛
含有率とその屈折率とをそれぞれ測定した。鉛含有率の
測定にあたっては、ＩＣＰ−ＡＥＳを用いた。Next, the lead content and the refractive index of the fluorite having a plurality of lead contents were measured. In measuring the lead content, ICP-AES was used.

【００６５】この測定結果を下記の表１に示す。表１で
は、蛍石の鉛含有率（ｐｐｍ）とその鉛含有率の蛍石の
屈折率増加量を示す。The measurement results are shown in Table 1 below. Table 1 shows the lead content (ppm) of fluorite and the increase in the refractive index of fluorite with the lead content.

【００６６】[0066]

【表１】 [Table 1]

【００６７】上記の表１に示すように、鉛含有量が１４
０，１６０，２２０，１０００および１８００（ｐｐ
ｍ）と増加するに伴って、屈折率も増加して、屈折率増
加量は、それぞれ１７，２０，２８，１４８および２３
３（×１０ー6）となっている。As shown in Table 1 above, the lead content was 14%.
0, 160, 220, 1000 and 1800 (pp
m), the refractive index also increases, and the refractive index increases are 17, 20, 28, 148 and 23, respectively.
3 (× 10-6 ).

【００６８】次に、この測定結果をプロットしたグラフ
を図１に示す。図１のグラフは、この測定の結果を表す
ものであり、蛍石の鉛含有率と屈折率増加量との関係を
示すグラフである。グラフの横軸は鉛含有率ｃ（ｐｐ
ｍ）を表し、縦軸は、鉛非含有の場合の屈折率を基準と
した屈折率増加量Δｎｄ（×１０ー6）を表す。また、グ
ラフ中の直線Ｉは、各プロットの分布に基づいて描いた
ものである。この曲線Ｉの傾きを求めて、上記の課題を
解決する手段の欄においても示した、下記の（１）式を
得た。Next, FIG. 1 shows a graph in which the measurement results are plotted. The graph of FIG. 1 shows the result of this measurement, and is a graph showing the relationship between the lead content of fluorite and the amount of increase in the refractive index. The horizontal axis of the graph is the lead content c (pp
m) represents, and the vertical axis represents the lead-free refractive index increment Δnd relative to the refractive index in the case of (× 10 -6). The straight line I in the graph is drawn based on the distribution of each plot. By calculating the slope of the curve I, the following equation (1) was obtained, which was also shown in the section of the means for solving the above-mentioned problem.

【００６９】Δｎｄ＝Ｋ×ｃ・・・（１） ただしＫ＝０．１３４×１０ー6（１／ｐｐｍ） 従って、蛍石の鉛含有率が分かれば、上記の（１）式か
ら屈折率増加量を求めることができるので、蛍石の屈折
率を容易に求めることができる。[0069] Δnd = K × c ··· (1 ) provided that K = 0.134 × 10 over 6 (1 / ppm) Thus, knowing the lead content of fluorite, the refractive index from the above (1) Since the amount of increase can be obtained, the refractive index of fluorite can be easily obtained.

【００７０】尚、上記の（１）式を用いて屈折率を求め
るにあたっては、例えば、０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍ、
より好ましくは、２０ｐｐｍ〜２０００ｐｐｍの鉛含有
率の蛍石の屈折率の測定に適応することが望ましい。In determining the refractive index using the above equation (1), for example, 0 ppm to 2000 ppm,
More preferably, it is desirable to adapt to the measurement of the refractive index of fluorite with a lead content of 20 ppm to 2000 ppm.

【００７１】また、この発明の第２の蛍石の屈折率測定
方法によれば、蛍石の屈折率を測定するにあたり、当該
蛍石の光の透過率を測定する。また、この発明の第２の
蛍石の選別方法によれば、波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍ
の光に対する蛍石の１ｍｍあたりの透過率を測定し、透
過率が５％以上、さらに好ましくは７０％以上の蛍石を
選択する。そして、選別された蛍石が、この発明の第２
の蛍石となる。According to the second method for measuring the refractive index of fluorite of the present invention, when measuring the refractive index of fluorite, the light transmittance of the fluorite is measured. According to the second method for sorting fluorite of the present invention, the wavelength is 200 nm to 210 nm.
Is measured per 1 mm of the fluorite with respect to the light of the above, and a fluorite having a transmittance of 5% or more, more preferably 70% or more is selected. The fluorite that has been sorted out is the second of the present invention.
Fluorite.

【００７２】次に、複数の鉛含有率の蛍石について、鉛
含有率とその鉛含有率の蛍石の透過率とをそれぞれ測定
した。透過率の測定にあたっては、先ず、２つの劈開面
間の厚さが２ｍｍのサンプルを作成した。２つの劈開面
は、互いに平行であり、かつ、研磨の必要がない。そし
て、この２つの劈開面に挟まれた部分に波長２００ｎｍ
〜２１０ｎｍのいずれかの波長の紫外光を透過させて、
透過率を測定した。Next, with respect to fluorite having a plurality of lead contents, the lead content and the transmittance of the fluorite having the lead content were measured. In measuring the transmittance, first, a sample having a thickness of 2 mm between two cleavage planes was prepared. The two cleavage planes are parallel to each other and do not require polishing. The portion between the two cleavage planes has a wavelength of 200 nm.
Transmitting ultraviolet light of any wavelength of ~ 210 nm,
The transmittance was measured.

【００７３】次に、この測定結果を下記の表２に示す。
表２では、蛍石の鉛含有率（ｐｐｍ）とその鉛含有率の
蛍石の透過率とを示す。尚、表２では、透過率を自然対
数のマイナス値（−ｌｎ（Ｔ））（以下、単に透過率と
も称する。）で示している。Next, the measurement results are shown in Table 2 below.
Table 2 shows the lead content (ppm) of fluorite and the fluorite transmittance of the lead content. In Table 2, the transmittance is indicated by a negative value of the natural logarithm (-ln (T)) (hereinafter, simply referred to as transmittance).

【００７４】[0074]

【表２】 [Table 2]

【００７５】上記の表２に示すように、鉛含有量が３
５，５８，７４，９１および１１８（ｐｐｍ）と増加す
るに伴って、透過率Ｔの自然対数のマイナス値（−ｌｎ
（Ｔ））も増加して、透過率は、それぞれ０．５５，
１．０２，１．１３，１．５２および１．８５と増加し
た。As shown in Table 2 above, the lead content was 3%.
5, 58, 74, 91 and 118 (ppm), the negative value of the natural logarithm of the transmittance T (-ln).
(T)) also increases, and the transmittance is 0.55, respectively.
It increased to 1.02, 1.13, 1.52 and 1.85.

【００７６】次に、この測定結果をプロットしたグラフ
を図２に示す。図２のグラフは、この測定の結果を表す
ものであり、蛍石の鉛含有率と透過率との関係を示すグ
ラフである。グラフの横軸は鉛含有率ｃ（ｐｐｍ）を表
し、縦軸は透過率として、透過率Ｔの自然対数のマイナ
ス値（−ｌｎ（Ｔ））を表す。Next, FIG. 2 shows a graph in which the measurement results are plotted. The graph of FIG. 2 shows the result of this measurement, and is a graph showing the relationship between the lead content of fluorite and the transmittance. The horizontal axis of the graph represents the lead content c (ppm), and the vertical axis represents the transmittance as the natural logarithm of the transmittance T minus the value (-ln (T)).

【００７７】また、グラフ中の直線IIは、各プロットの
分布に基づいて描いたものである。この曲線IIの傾き
は、０．０１６１であった。この測定にあたっては、サ
ンプルの厚さｄを２ｍｍ（＝０．２ｃｍ）としてあるの
で、０．０１６１を０．２で割った値の近似値である
０．０８を吸収係数ａとする。The straight line II in the graph is drawn based on the distribution of each plot. The slope of this curve II was 0.0161. In this measurement, since the thickness d of the sample is set to 2 mm (= 0.2 cm), an absorption coefficient a is 0.08 which is an approximate value obtained by dividing 0.0161 by 0.2.

【００７８】従って、蛍石の透過率が分かれば、上記の
課題を解決する手段の欄にも示した下記の（２）式から
容易に蛍石の鉛含有率を求めることができる。Therefore, if the transmittance of the fluorite is known, the lead content of the fluorite can be easily obtained from the following equation (2) shown in the section of the means for solving the above problems.

【００７９】 Ｔ＝Ｉｏ／Ｉｉ＝ｅｘｐ｛−ａｃｄ｝・・・（２） そして、鉛含有率が求まれば、上述の（１）式により蛍
石の屈折率を求めることができる。T = Io / Ii = exp {−acd} (2) When the lead content is determined, the refractive index of the fluorite can be determined by the above equation (1).

【００８０】次に、蛍石の透過率からその屈折率を直接
求める例について説明する。Next, an example will be described in which the refractive index is directly obtained from the transmittance of fluorite.

【００８１】そのために、蛍石の透過率と屈折率とをそ
れぞれ測定した。測定結果を下記の表３に示す。表３で
は、蛍石の透過率とその透過率の蛍石の屈折率増加量
（鉛非含有時の屈折率を基準とする。）とを示す。尚、
表３では、透過率を自然対数のマイナス値（−ｌｎ
（Ｔ））（以下、単に透過率とも称する。）で示してい
る。For this purpose, the transmittance and the refractive index of the fluorite were measured. The measurement results are shown in Table 3 below. Table 3 shows the transmittance of the fluorite and the amount of increase in the refractive index of the fluorite of the transmittance (based on the refractive index when lead is not contained). still,
In Table 3, the transmittance is represented by the natural logarithm minus the value (-ln).
(T)) (hereinafter also simply referred to as transmittance).

【００８２】[0082]

【表３】 [Table 3]

【００８３】上記の表３に示すように、透過率の自然対
数のマイナス値（−ｌｎ（Ｔ））が０．５５，１．０
２，１．１３，１．５２および１．８５と増加するに伴
って、屈折率増加量も４．５８，８．４９，９．４０，
１２．７および１５．４（×１０ー6）と変化した。As shown in Table 3 above, the negative value (-ln (T)) of the natural logarithm of the transmittance is 0.55, 1.0
With the increase to 2, 1.13, 1.52 and 1.85, the amount of increase in the refractive index also increased to 4.58, 8.49, 9.40,
Changed 12.7 and 15.4 (× 10 -6).

【００８４】次に、この測定結果をプロットしたグラフ
を図３に示す。図３のグラフは、この測定の結果を表す
ものであり、蛍石の透過率と屈折率の増加量との関係を
示すグラフである。グラフの横軸は、蛍石の透過率とし
て、透過率Ｔの自然対数のマイナス値（−ｌｎ（Ｔ））
を表す。また、グラフの縦軸は、蛍石の屈折率増加量を
表す。また、グラフ中の直線III は、各プロットの分布
に基づいて描いたものである。Next, FIG. 3 shows a graph in which the measurement results are plotted. The graph of FIG. 3 shows the result of this measurement, and is a graph showing the relationship between the transmittance of fluorite and the increase in the refractive index. The horizontal axis of the graph represents the fluorite transmittance as the negative value of the natural logarithm of the transmittance T (-ln (T)).
Represents The vertical axis of the graph represents the increase in the refractive index of fluorite. The straight line III in the graph is drawn based on the distribution of each plot.

【００８５】また、測定結果から下記の（３）式が得ら
れる。The following equation (3) is obtained from the measurement results.

【００８６】 Δｎｄ＝（１．６６×１０ー6／ｄ）×（−ｌｎ（Ｔ））・・・（３） ただし、上記の（３）式の右辺のｄは、サンプルの厚さ
（ｃｍ）を表す。[0086] [Delta] nd = however (1.66 × 10 over 6 / d) × (-ln ( T)) ··· (3), the d of the right side of the above equation (3), the thickness of the sample (cm ).

【００８７】従って、蛍石の透過率が分かれば、上記の
（３）式から容易に蛍石の屈折率を求めることができ
る。Therefore, if the transmittance of the fluorite is known, the refractive index of the fluorite can be easily obtained from the above equation (3).

【００８８】上述した各実施の形態では、これらの発明
を特定の材料を用い、特定の条件で形成した例について
のみ説明したが、これらの発明は多くの変更および変形
を行うことができる。例えば、上述した実施の形態で
は、透過率の測定の際にサンプルの厚さを２ｍｍとした
が、この発明では、サンプルの厚さはこの厚さに限定す
る必要はない。In each of the embodiments described above, only examples in which these inventions are formed using specific materials and under specific conditions have been described. However, these inventions can be subjected to many changes and modifications. For example, in the above-described embodiment, the thickness of the sample was set to 2 mm when measuring the transmittance, but in the present invention, the thickness of the sample does not need to be limited to this thickness.

【００８９】[0089]

【発明の効果】このように、この発明では、蛍石の鉛含
有率を測定することにより、蛍石の屈折率を知ることが
できる。その結果、蛍石の屈折率を直接測定することな
く、蛍石の屈折率を求めることができる。従って、屈折
率が許容範囲内の蛍石のみを容易に選別して用いること
ができる。このため、蛍石の屈折率が許容範囲外である
ために光学設計をやり直すことを回避することができ
る。As described above, according to the present invention, the refractive index of fluorite can be known by measuring the lead content of fluorite. As a result, the refractive index of fluorite can be determined without directly measuring the refractive index of fluorite. Therefore, only fluorite having a refractive index within an allowable range can be easily selected and used. For this reason, it is possible to avoid redesigning the optical design because the refractive index of the fluorite is out of the allowable range.

【００９０】また、この発明では、蛍石の透過率を測定
することにより、蛍石の屈折率を知ることができる。そ
の結果、蛍石の屈折率を直接測定することなく、蛍石の
屈折率を求めることができる。従って、屈折率が許容範
囲内の蛍石のみを容易に選別して用いることができる。
このため、蛍石の屈折率が許容範囲外であるために光学
設計をやり直すことを回避することができる。In the present invention, the refractive index of fluorite can be known by measuring the transmittance of fluorite. As a result, the refractive index of fluorite can be determined without directly measuring the refractive index of fluorite. Therefore, only fluorite having a refractive index within an allowable range can be easily selected and used.
For this reason, it is possible to avoid redesigning the optical design because the refractive index of the fluorite is out of the allowable range.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】蛍石の鉛含有率と屈折率増加量との関係を示す
グラフである。FIG. 1 is a graph showing the relationship between the lead content of fluorite and the amount of increase in refractive index.

【図２】蛍石の鉛含有率と透過率との関係を示すグラフ
である。FIG. 2 is a graph showing the relationship between the lead content and the transmittance of fluorite.

【図３】蛍石の透過率と屈折率増加量との関係を示すグ
ラフである。FIG. 3 is a graph showing the relationship between the transmittance of fluorite and the amount of increase in the refractive index.

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 蛍石の屈折率を測定するにあたり、当該
蛍石の鉛含有率を測定することを特徴とする蛍石の屈折
率測定方法。1. A method for measuring the refractive index of fluorite, comprising measuring the lead content of the fluorite when measuring the refractive index of the fluorite. 【請求項２】 請求項１に記載の蛍石の屈折率測定方法
において、 前記鉛含有率の測定範囲を、重量比で０ｐｐｍ〜２００
０ｐｐｍとすることを特徴とする蛍石の屈折率測定方
法。2. The method for measuring a refractive index of fluorite according to claim 1, wherein the measurement range of the lead content is 0 ppm to 200 in weight ratio.
A method for measuring a refractive index of fluorite, which is set to 0 ppm. 【請求項３】 請求項１に記載の蛍石の屈折率測定方法
において、 前記鉛含有率の測定範囲を、重量比で２０ｐｐｍ〜２０
００ｐｐｍとすることを特徴とする蛍石の屈折率測定方
法。3. The method for measuring the refractive index of fluorite according to claim 1, wherein the measurement range of the lead content is 20 ppm to 20 in weight ratio.
A method for measuring a refractive index of fluorite, wherein the concentration is set to 00 ppm. 【請求項４】 蛍石の屈折率を測定するにあたり、当該
蛍石の光の透過率を測定することを特徴とする蛍石の屈
折率測定方法。4. A method for measuring the refractive index of fluorite, comprising measuring the light transmittance of the fluorite when measuring the refractive index of the fluorite. 【請求項５】 請求項４に記載の蛍石の屈折率測定方法
において、 波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対する前記透過率を
測定することを特徴とする蛍石の屈折率測定方法。5. The method for measuring the refractive index of fluorite according to claim 4, wherein the transmittance for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm is measured. 【請求項６】 請求項４に記載の蛍石の屈折率測定方法
において、 前記透過率を測定するにあたり、前記蛍石の互いに対向
する劈開面間を透過する光の透過率を測定することを特
徴とする蛍石の屈折率測定方法。6. The method for measuring a refractive index of fluorite according to claim 4, wherein, when measuring the transmittance, measuring a transmittance of light transmitted between cleavage planes of the fluorite facing each other. Characteristic method of measuring the refractive index of fluorite. 【請求項７】 蛍石の鉛含有率を測定し、前記鉛含有率
が重量比で３７０ｐｐｍ以下の蛍石を選択することを特
徴とする蛍石の選別方法。7. A method for sorting fluorite, comprising measuring a lead content of fluorite and selecting a fluorite having a lead content of 370 ppm or less by weight. 【請求項８】 請求項７に記載の蛍石の選別方法におい
て、 前記鉛含有率が重量比で４０ｐｐｍ以下の蛍石を選択す
ることを特徴とする蛍石の選別方法。8. The fluorite sorting method according to claim 7, wherein the lead content is selected from fluorite having a weight ratio of 40 ppm or less. 【請求項９】 波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対す
る蛍石の１ｍｍあたりの透過率を測定し、前記透過率が
５％以上の蛍石を選択することを特徴とする蛍石の選別
方法。9. A method for sorting fluorite, comprising measuring the transmittance of fluorite per 1 mm for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm and selecting the fluorite having a transmittance of 5% or more. 【請求項１０】 請求項９に記載の蛍石の選別方法にお
いて、 前記透過率が７０％以上の蛍石を選別することを特徴と
する蛍石の選別方法。10. The fluorite sorting method according to claim 9, wherein the fluorite having a transmittance of 70% or more is selected. 【請求項１１】 請求項９に記載の蛍石の選別方法にお
いて、 前記透過率を測定するにあたり、前記蛍石の互いに対向
する劈開面間を透過する光の透過率を測定することを特
徴とする蛍石の選別方法。11. The fluorite sorting method according to claim 9, wherein the transmittance is measured by measuring a transmittance of light transmitted between cleavage planes of the fluorite facing each other. Fluorite sorting method. 【請求項１２】 鉛含有率が重量比で３７０ｐｐｍ以下
であることを特徴とする蛍石。12. Fluorite having a lead content of 370 ppm or less by weight. 【請求項１３】 請求項１２に記載の蛍石において、 前記鉛含有率が重量比で４０ｐｐｍ以下であることを特
徴とする蛍石。13. The fluorite according to claim 12, wherein the lead content is 40 ppm or less by weight. 【請求項１４】 波長２００ｎｍ〜２１０ｎｍの光に対
する１ｍｍあたりの透過率が５％以上であることを特徴
とする蛍石。14. Fluorite characterized by having a transmittance per 1 mm for light having a wavelength of 200 nm to 210 nm of 5% or more. 【請求項１５】 請求項１４に記載の蛍石において、 前記透過率が７０％以上であることを特徴とする蛍石。15. The fluorite according to claim 14, wherein the transmittance is 70% or more.
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