JPH11248529A - Vacuum vessel and getter member - Google Patents
Vacuum vessel and getter memberInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は赤外線検知素子を搭
載する真空容器およびゲッタ部材に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum container and a getter member on which an infrared detecting element is mounted.
【０００２】[0002]
【従来の技術】赤外線検知器に用いる赤外線検知素子
は、７７Ｋまで冷却する必要がある。このため、従来
は、赤外線検知素子を真空容器内に装着し、真空容器を
冷却しながら赤外線検出を行うようにしていた。2. Description of the Related Art An infrared detecting element used in an infrared detector needs to be cooled down to 77K. For this reason, conventionally, an infrared detecting element was mounted in a vacuum container, and infrared detection was performed while cooling the vacuum container.
【０００３】図９は一般の赤外線検知器に使用される真
空容器の構成を示す断面図である。真空容器１０のケー
ス１１は、ベース部材１２上に固定されている。ケース
１１の上面には窓１３が設けられている。この窓１３
は、ゲルマニウムなどを材料としており、可視光線を透
過させず、赤外線のみが透過できるようになっている。
また、ケース１１には、排気パイプ１４が形成されてい
る。FIG. 9 is a sectional view showing the structure of a vacuum vessel used for a general infrared detector. The case 11 of the vacuum vessel 10 is fixed on a base member 12. A window 13 is provided on the upper surface of the case 11. This window 13
Is made of germanium or the like, and transmits only infrared light without transmitting visible light.
Further, an exhaust pipe 14 is formed in the case 11.
【０００４】内筒１５は、円筒形のガラス材であり、そ
の上側には赤外線検知素子１７を搭載するためのクーリ
ングヘッド１６が固定されている。クーリングヘッド１
６の下側面には、取り付け片１６ａが形成されており、
取り付け片１６ａに内筒１５の上端部１５ａが溶接され
ている。一方、内筒１５の下側部１５ｂは、溶接によっ
て、金属の溶接用リング１８と固着されている。さらに
この溶接用リング１８を介して、内筒１５はベース部材
１２に固着されている。[0004] The inner cylinder 15 is a cylindrical glass material, and a cooling head 16 for mounting the infrared detecting element 17 is fixed above the inner cylinder 15. Cooling head 1
6, a mounting piece 16a is formed on the lower surface,
The upper end 15a of the inner cylinder 15 is welded to the mounting piece 16a. On the other hand, the lower portion 15b of the inner cylinder 15 is fixed to a metal welding ring 18 by welding. Further, the inner cylinder 15 is fixed to the base member 12 via the welding ring 18.
【０００５】また、ケース１１と内筒１５との間の空間
２０には、例えば２個のゲッタ部材１９が設けられてい
る。ゲッタ１９部材は、ケース１１側に固定されてい
る。ゲッタ部材１９内にはヒータが内蔵されており、各
端子１９ａを介してヒータに外部から電流が供給され
る。[0005] In the space 20 between the case 11 and the inner cylinder 15, for example, two getter members 19 are provided. The getter 19 member is fixed to the case 11 side. A heater is built in the getter member 19, and an electric current is externally supplied to the heater via each terminal 19a.
【０００６】さらにケース１１には、配線用のピン２１
が取り付けられており、赤外線検知素子１７を外部の検
出回路と電気的に接続する。このような構成の真空容器
１０では、排気パイプ１４に図示されていない排気用ポ
ンプを接続し、排気パイプ１４を介して空間２０内を排
気し、十分な真空状態になった後、排気パイプを圧着、
切断する。また、ゲッタ部材１９のヒータに電流を流し
て活性化させ、空間２０内のガス抜きを行う。これによ
り、空間２０内の真空度をより高めることができる。Further, the case 11 has a wiring pin 21.
Is attached, and the infrared detecting element 17 is electrically connected to an external detecting circuit. In the vacuum vessel 10 having such a configuration, an exhaust pump (not shown) is connected to the exhaust pipe 14, the interior of the space 20 is exhausted through the exhaust pipe 14, and after a sufficient vacuum state is established, the exhaust pipe is connected. Crimping,
Disconnect. Further, the heater of the getter member 19 is activated by flowing an electric current, and the gas in the space 20 is vented. Thereby, the degree of vacuum in the space 20 can be further increased.
【０００７】こうして形成された真空容器１０の内筒１
５の空間２２には、図示されていない冷却装置が挿入さ
れ、赤外線検知素子１７が冷却されることにより、赤外
線の検知が可能となる。The inner cylinder 1 of the vacuum vessel 10 thus formed
A cooling device (not shown) is inserted into the space 22 of the fifth section, and the infrared detecting element 17 is cooled to detect infrared rays.
【０００８】図１０は従来のゲッタ部材１９の取り付け
構造を示す上面図である。ゲッタ部材１９は、そのゲッ
タ本体１９１からヒータ線の端子１９２，１９３が出て
おり、それぞれがケース１１側に固定された端子１９
ａ，１９ｂと溶接されている。また、ゲッタ本体１９１
は、金属製の取り付け部材１９４を介してケース１１に
固定されている。ここで、取り付け部材１９４は、帯状
の部材であり、ゲッタ本体１９１の導体に巻かれるとと
もに、端部がケース１１に溶接されている。FIG. 10 is a top view showing a conventional getter member 19 mounting structure. The getter member 19 has terminals 192 and 193 of the heater wire protruding from the getter main body 191, and the terminals 192 and 193 respectively fixed to the case 11 side.
a, 19b. Also, the getter body 191
Is fixed to the case 11 via a metal attachment member 194. Here, the attachment member 194 is a band-shaped member, is wound around a conductor of the getter body 191, and an end is welded to the case 11.
【０００９】図１１は従来のゲッタ部材１９の構造を示
す断面図である。ゲッタ部材１９のゲッタ本体１９１
は、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅを材料とする多孔質材料であり、そ
の内部には、ヒータ線１９０が設けられている。ヒータ
線１９０とゲッタ本体１９１は、Ａｌ2 Ｏ3 セラミック
スからなる薄い絶縁膜１９５で絶縁されている。この絶
縁膜１９５の端部１９５ａ，１９５ｂは、ゲッタ本体１
９１の外側まで延びており、ゲッタ本体１９１と端子１
９２，１９３とを絶縁している。FIG. 11 is a sectional view showing the structure of a conventional getter member 19. Getter body 191 of getter member 19
Is a porous material made of Zr-V-Fe, in which a heater wire 190 is provided. The heater wire 190 and the getter main body 191 are insulated by a thin insulating film 195 made of Al 2 O 3 ceramics. The ends 195a and 195b of the insulating film 195 are
91, the getter body 191 and the terminal 1
92, 193.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のゲッタ部材１９は、前述したように取り付け部材１
９４を介してケース１１に固定されているが、ゲッタ本
体１９１と取り付け部材１９４とは固有振動数が異な
る。このため、振動に伴う両者の揺れ方が異なり、取り
付け部材１９４が柔らかいゲッタ本体１９１を削ってし
まうおそれがあった。また、絶縁膜１９５の端部１９５
ａ、１９５ｂも非常にもろいため、欠けることがあっ
た。However, such a conventional getter member 19 is, as described above, attached to the mounting member 1.
The getter body 191 and the mounting member 194 have different natural frequencies although they are fixed to the case 11 via 94. For this reason, there is a possibility that the manner of shaking of the two members due to the vibration is different, and the mounting member 194 may cut the soft getter body 191. In addition, the end 195 of the insulating film 195
a and 195b were also very brittle, and thus were sometimes missing.
【００１１】このようにゲッタ本体１９１が削られた
り、絶縁膜１９５が欠けることにより生じた異物は、赤
外線検知器の使用に伴う振動によって空間２０内を散乱
するため、赤外線検知素子１７の検知面を遮ることにな
り、画像ノイズが発生して正確な検知が行えなくなると
いう問題があった。As described above, the foreign matter generated due to the shaving of the getter body 191 or the lack of the insulating film 195 scatters in the space 20 due to the vibration accompanying the use of the infrared detector. Therefore, there is a problem that image noise occurs and accurate detection cannot be performed.
【００１２】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、真空空間内の異物の散乱を防止することので
きる真空容器、およびゲッタ部材を提供することを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a vacuum container and a getter member which can prevent scattering of foreign matter in a vacuum space.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、図１に示すように、赤外線検知素子を搭
載する真空容器において、ゲッタ本体４１内に絶縁膜４
６を介してヒータ線が収納され、前記絶縁膜４６の破片
よりも小さいメッシュを有する保護部材４４によって前
記ゲッタ本体４１が覆われるゲッタ部材４０を、取り付
け部材３４を介してケースの内側に取り付け、固定した
ことを特徴とする真空容器が提供される。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, as shown in FIG. 1, in a vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, an insulating film 4 is provided in a getter body 41.
6, a getter member 40 in which the heater wire is housed and the getter body 41 is covered by a protective member 44 having a mesh smaller than the fragments of the insulating film 46 is attached to the inside of the case via the attaching member 34; A vacuum container is provided that is fixed.
【００１４】このような真空容器では、絶縁膜４６の破
片よりも小さいメッシュを有する保護部材４４によって
ゲッタ本体４１を覆うことにより、絶縁膜４６の破片が
真空空間内を散乱することが防止される。また、保護部
材４４を取り付けた状態で取り付け部材によってゲッタ
部材４０をケースの内側に取り付けるので、取り付け部
材とゲッタ部材４０との摩擦もなくなり、ゲッタ部材４
０が削れて異物が発生することもない。In such a vacuum vessel, the fragments of the insulating film 46 are prevented from scattering in the vacuum space by covering the getter body 41 with the protective member 44 having a mesh smaller than the fragments of the insulating film 46. . Also, since the getter member 40 is attached to the inside of the case by the attaching member with the protective member 44 attached, friction between the attaching member and the getter member 40 is eliminated, and the getter member 4 is removed.
There is no generation of foreign matter due to scraping of 0.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図２は本発明の第１の形態の真空
容器におけるゲッタ部材の取り付け構造を示す上面図で
ある。なお、真空容器３０の基本的な構造は、図９で示
した従来の真空容器１０とほぼ同じであり、ゲッタ部材
の取り付け構造のみが異なるものである。したがって、
ここでは、真空容器３０全体の構成の説明は省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a top view showing the mounting structure of the getter member in the vacuum vessel according to the first embodiment of the present invention. The basic structure of the vacuum vessel 30 is substantially the same as that of the conventional vacuum vessel 10 shown in FIG. 9, except that only the mounting structure of the getter member is different. Therefore,
Here, description of the configuration of the entire vacuum vessel 30 will be omitted.
【００１６】まず、真空容器３０のケース３１の内側に
は、ゲッタ部材４０が取り付け部材３４を介して取り付
けられている。ゲッタ部材４０は、全体が円柱形であ
り、そのゲッタ本体４１の端面からヒータ線の端子４
２，４３が出ている。端子４２，４３は、それぞれがケ
ース３１側に固定された端子３２，３３と溶接されてい
る。また、ゲッタ本体４１は、金属製（例えばコバール
製、またはステンレス製）の保護部材４４で覆われてい
る。First, a getter member 40 is attached to the inside of the case 31 of the vacuum vessel 30 via an attachment member 34. The getter member 40 has a columnar shape as a whole.
2,43 are out. The terminals 42 and 43 are welded to the terminals 32 and 33 respectively fixed to the case 31 side. Further, the getter body 41 is covered with a protection member 44 made of metal (for example, Kovar or stainless steel).
【００１７】保護部材４４は、メッシュ状に形成されて
おり、各隙間４４ａの大きさは、後述する絶縁膜４６の
破片の大きさ（１００μｍ以上）よりも小さく（例えば
５０μｍ程度）なるように形成されている。保護部材４
４は、ヒータ線の端子４２，４３とそれぞれ溶接部４２
ａ，４３ａで溶接されている。これにより、保護部材４
４は、ゲッタ部材４０とは接触しない状態で覆ってい
る。The protective member 44 is formed in a mesh shape, and the size of each gap 44a is formed so as to be smaller (for example, about 50 μm) than the size (100 μm or more) of a fragment of the insulating film 46 described later. Have been. Protection member 4
4 are terminals 42 and 43 of the heater wire and welding portions 42, respectively.
a, 43a. Thereby, the protection member 4
4 covers the getter member 40 without being in contact with the getter member 40.
【００１８】このような保護部材４４で覆われたゲッタ
部材４０は、取り付け部材３４を介してケース３１に固
定されている。ここで、取り付け部材３４は、金属製
（例えばコバール製）の帯状の部材であり、保護部材４
４の胴体に巻かれるとともに、端部がケース３１に溶接
されている。The getter member 40 covered with the protective member 44 is fixed to the case 31 via the mounting member 34. Here, the attachment member 34 is a band-shaped member made of metal (for example, made of Kovar), and the protection member 4.
4 and is welded to the case 31 at the end.
【００１９】次に、ゲッタ部材４０の具体的な構造につ
いて説明する。図１は図２のＸ１−Ｘ１線に沿う断面図
である。ゲッタ部材４０のゲッタ本体４１は、Ｚｒ−Ｖ
−Ｆｅを材料とする多孔質材料であり、その内部には、
ヒータ線４５が設けられている。ヒータ線４５とゲッタ
本体４１は、Ａｌ2 Ｏ3 セラミックスからなる薄い絶縁
膜４６で絶縁されている。この絶縁膜４６の端部４６
ａ，４６ｂはゲッタ本体４１の外側まで延びており、ゲ
ッタ本体４１と端子４２，４３とを絶縁している。Next, a specific structure of the getter member 40 will be described. FIG. 1 is a sectional view taken along line X1-X1 in FIG. The getter body 41 of the getter member 40 is made of Zr-V
-Is a porous material made of Fe,
A heater wire 45 is provided. The heater wire 45 and the getter main body 41 are insulated by a thin insulating film 46 made of Al 2 O 3 ceramics. End 46 of this insulating film 46
a and 46b extend to the outside of the getter main body 41, and insulate the getter main body 41 from the terminals 42 and 43.
【００２０】また、保護部材４４は、例えば上側部分４
４１および下側部分４４２の２つに分かれており、これ
らを合わせることによりゲッタ部材４０を覆っている。
上側部分４４１と下側部分４４２との接続は、溶接また
は接着により行われる。The protection member 44 is, for example, an upper part 4.
41 and a lower portion 442, which together cover the getter member 40.
The connection between the upper part 441 and the lower part 442 is made by welding or bonding.
【００２１】次に、ゲッタ部材４０の取り付け手順につ
いて説明する。まず、図１に示す保護部材の下側部分４
４２にゲッタ部材４０を収納し、上側部材４４１で蓋を
するようにして覆い、上側部分４４１と下側部分４４２
とを接続する。この保護部材４４の胴体部に取り付け部
材３４を巻き付け、真空容器３０のケース３１に溶接固
定する。そして、図２に示すように、ヒータ線の端子４
２，４３を、それぞれケース３１側の端子３２，３３に
溶接固定する。Next, a procedure for attaching the getter member 40 will be described. First, the lower part 4 of the protection member shown in FIG.
The getter member 40 is stored in the upper part 441, and the upper part 441 and the lower part 442 are covered.
And connect. The attachment member 34 is wound around the body of the protection member 44 and fixed to the case 31 of the vacuum vessel 30 by welding. Then, as shown in FIG.
2 and 43 are fixed to the terminals 32 and 33 of the case 31 by welding, respectively.
【００２２】このように、本形態では、メッシュ状の保
護部材４４でゲッタ部材４０を覆うようにしたので、振
動によって絶縁膜４６の端部４６ａ，４６ｂが欠けたと
しても、その破片を保護部材４４の外部に逃がすことが
ない。このため、真空容器３０内で破片が散乱して赤外
線検知素子の検知に貼り付くことがない。よって、正確
な赤外線検知が行える。As described above, in the present embodiment, since the getter member 40 is covered with the mesh-shaped protection member 44, even if the ends 46a and 46b of the insulating film 46 are chipped due to vibration, the fragments are protected by the protection member. There is no escape to the outside of 44. For this reason, the fragments are not scattered in the vacuum vessel 30 and do not stick to the detection of the infrared detecting element. Therefore, accurate infrared detection can be performed.
【００２３】また、保護部材４４の上から取り付け部材
３４を巻き付けるようにしたので、ゲッタ本体４１が振
動によって削れる心配がない。よって、異物の発生を低
減できる。Further, since the mounting member 34 is wound around the protection member 44, there is no fear that the getter main body 41 is shaved by vibration. Therefore, generation of foreign matter can be reduced.
【００２４】次に、本発明の第２の形態について説明す
る。図３は本発明の第２の形態におけるゲッタ部材の取
り付け構造を示す上面図である。なお、ここでは、真空
容器側の構成については、図１と同じものとする。真空
容器３０のケース３１の内側には、ゲッタ部材５０が取
り付け部材３５を介して取り付けられている。ゲッタ部
材５０は、全体が円柱形であり、そのゲッタ本体５１の
端面からヒータ線の端子５２，５３が出ている。端子５
２，５３は、それぞれがケース３１側に固定された端子
３２，３３と溶接されている。Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a top view showing the mounting structure of the getter member according to the second embodiment of the present invention. Here, the configuration on the vacuum vessel side is the same as that in FIG. A getter member 50 is attached to the inside of the case 31 of the vacuum vessel 30 via an attachment member 35. The getter member 50 has a columnar shape as a whole, and terminals 52 and 53 of the heater wire protrude from an end surface of the getter body 51. Terminal 5
2 and 53 are welded to terminals 32 and 33 respectively fixed to the case 31 side.
【００２５】また、ゲッタ部材５０のゲッタ本体５１の
胴体周囲には、リング状の絶縁部材５４が取り付けられ
ている。この絶縁部材５４は、セラミックス製であり、
ゲッタ本体５１の外形よりもやや大きい内径を有してい
る。すなわち、絶縁部材５４とゲッタ部材５０は、適度
な隙間を空けて取り付けられている。A ring-shaped insulating member 54 is attached around the body of the getter body 51 of the getter member 50. This insulating member 54 is made of ceramics,
It has an inner diameter slightly larger than the outer shape of the getter body 51. That is, the insulating member 54 and the getter member 50 are attached with an appropriate gap.
【００２６】このようなゲッタ部材５０は、取り付け部
材３５を介してケース３１に固定されている。ここで、
取り付け部材３５は、金属製（例えばコバール製）の帯
状の部材であり、絶縁部材５４の周囲に巻かれるととも
に、端部がケース３１に溶接されることにより、ゲッタ
部材５０を固定している。The getter member 50 is fixed to the case 31 via the mounting member 35. here,
The attachment member 35 is a band-like member made of metal (for example, Kovar), and is fixed to the getter member 50 by being wound around the insulating member 54 and having an end welded to the case 31.
【００２７】図４は図３のＸ２−Ｘ２線に沿う断面図で
ある。ゲッタ部材５０のゲッタ本体５１は、Ｚｒ−Ｖ−
Ｆｅを材料とする多孔質材料であり、その内部には、ヒ
ータ線５５が直接埋め込まれるようにして設けられてい
る。FIG. 4 is a sectional view taken along line X2-X2 in FIG. The getter body 51 of the getter member 50 is made of Zr-V-
It is a porous material made of Fe, in which a heater wire 55 is provided so as to be directly embedded.
【００２８】このような構成のゲッタ部材５０は、ゲッ
タ本体５１と取り付け部材３５との間に絶縁部材５４が
設けられているので、図１のような絶縁膜を設けなくて
も、ヒータ線５５とケース３１側との絶縁が確保されて
いる。このため、絶縁膜の破片が生じない。また、その
一方、絶縁部材５４は適度な隙間を空けてゲッタ本体５
１を支持しているので、ケース３１の振動がゲッタ部材
５０に伝わりにくい。よって、ゲッタ部材５０の一部が
欠けることが防止され、異物が真空容器内で散乱するこ
とがない。In the getter member 50 having such a structure, since the insulating member 54 is provided between the getter main body 51 and the mounting member 35, the heater wire 55 can be provided without providing an insulating film as shown in FIG. And the case 31 side is insulated. For this reason, fragments of the insulating film do not occur. On the other hand, the insulating member 54 is separated from the getter main body 5 by an appropriate gap.
1, the vibration of the case 31 is not easily transmitted to the getter member 50. Therefore, a part of the getter member 50 is prevented from being chipped, and the foreign matter is not scattered in the vacuum container.
【００２９】次に、本発明の第３の形態について説明す
る。図５は本発明の第３の形態におけるゲッタ部材の取
り付け構造を示す上面図である。なお、ここでは、真空
容器側の構成については、図１と同じものとする。真空
容器３０のケース３１の内側には、ゲッタ部材６０が取
り付け部材３６を介して取り付けられている。ゲッタ部
材６０は、全体が円柱形であり、そのゲッタ本体６１か
らヒータ線の端子６２，６３が出ている。端子６２，６
３は、それぞれがケース３１側に固定された端子３２，
３３と溶接されている。Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a top view showing the mounting structure of the getter member according to the third embodiment of the present invention. Here, the configuration on the vacuum vessel side is the same as that in FIG. A getter member 60 is attached to the inside of the case 31 of the vacuum vessel 30 via an attachment member 36. The getter member 60 has a columnar shape as a whole, and terminals 62 and 63 of the heater wire protrude from the getter body 61. Terminals 62, 6
3 is a terminal 32 fixed to the case 31 side,
33 is welded.
【００３０】また、ゲッタ部材６０のゲッタ本体６１の
胴体周囲には、リング状の絶縁部材６４が取り付けられ
ている。この絶縁部材６４は、セラミックス製であり、
ゲッタ本体６１の外形よりもやや大きい内径を有してい
る。すなわち、絶縁部材６４とゲッタ部材５０は、適度
な隙間を空けて取り付けられている。A ring-shaped insulating member 64 is mounted around the body of the getter body 61 of the getter member 60. This insulating member 64 is made of ceramics,
It has an inner diameter slightly larger than the outer shape of the getter body 61. That is, the insulating member 64 and the getter member 50 are attached with an appropriate gap.
【００３１】このようなゲッタ部材６０は、取り付け部
材３６を介してケース３１に固定されている。ここで、
取り付け部材３６は、金属製（例えばコバール製）の帯
状の部材であり、絶縁部材６４の周囲に巻かれるととも
に、端部がケース３１に溶接されることにより、ゲッタ
部材６０を固定している。The getter member 60 is fixed to the case 31 via the mounting member 36. here,
The attachment member 36 is a band-like member made of metal (for example, Kovar), and is wound around the insulating member 64 and fixes the getter member 60 by welding the end to the case 31.
【００３２】図６は図５のＸ３−Ｘ３線に沿う断面図で
ある。ゲッタ部材６０のゲッタ本体６１は、Ｚｒ−Ｖ−
Ｆｅを材料とする多孔質材料であり、その内部には、ヒ
ータ線６５が設けられている。ヒータ線６５とゲッタ本
体６１は、Ａｌ2 Ｏ3 セラミックスからなる薄い絶縁膜
６６で絶縁されている。また、絶縁膜６６の両端部６６
ａ，６６ｂの周囲には、絶縁膜６６と比べて十分に厚み
のある補強部材６７，６８が設けられている。この補強
部材６７，６８は、絶縁膜６６と同様にＡｌ2Ｏ3 セラ
ミックスを材料としており、全体が円筒形のカップ状に
形成されている。補強部材６７，６８には、端子６２，
６３の外形とほぼ同じか微妙に径の大きい孔６７ａ，６
８ａが形成されており、これら孔６７ａ，６８ａには、
ヒータ線６５の端子６２，６３が挿入される。FIG. 6 is a sectional view taken along line X3-X3 in FIG. The getter body 61 of the getter member 60 is made of Zr-V-
It is a porous material made of Fe, and a heater wire 65 is provided inside the porous material. The heater wire 65 and the getter main body 61 are insulated by a thin insulating film 66 made of Al 2 O 3 ceramics. Also, both ends 66 of the insulating film 66
Around the a and 66b, reinforcing members 67 and 68 which are sufficiently thicker than the insulating film 66 are provided. The reinforcing members 67 and 68 are made of Al 2 O 3 ceramics similarly to the insulating film 66, and are formed in a cylindrical cup shape as a whole. The terminals 62,
Holes 67a, 6 that are almost the same as or slightly larger than the outer shape of 63
8a are formed in the holes 67a and 68a.
The terminals 62 and 63 of the heater wire 65 are inserted.
【００３３】このような構成のゲッタ部材６０では、絶
縁膜６６の両端部６６ａ，６６ｂの周囲に、十分に厚み
のある補強部材６７，６８が設けられているので、ケー
ス３１からの振動によって両端部６６ａ，６６ｂが欠け
ても、その破片が外部に散乱しない。よって、ゲッタ部
材６０の異物が真空容器内で散乱することがない。In the getter member 60 having such a configuration, the reinforcing members 67 and 68 having a sufficient thickness are provided around both ends 66 a and 66 b of the insulating film 66. Even if the portions 66a and 66b are missing, the fragments do not scatter outside. Therefore, foreign matter of the getter member 60 does not scatter in the vacuum container.
【００３４】また、ゲッタ部材６０では、ゲッタ本体６
１と取り付け部材３６との間に絶縁部材６４が設けられ
ているので、ヒータ線６５とケース３１側との絶縁が確
保されている。その一方で、絶縁部材６４は適度な隙間
を空けてゲッタ本体６１を支持しているので、ケース３
１の振動がゲッタ部材６０に伝わりにくい。よって、ゲ
ッタ部材６０の一部が欠けることが防止され、異物が真
空容器内で散乱することが確実に防止される。In the getter member 60, the getter body 6
Since the insulating member 64 is provided between the mounting member 36 and the mounting member 36, insulation between the heater wire 65 and the case 31 is ensured. On the other hand, since the insulating member 64 supports the getter main body 61 with an appropriate gap, the case 3
The first vibration is not easily transmitted to the getter member 60. Therefore, a part of the getter member 60 is prevented from being chipped, and foreign matter is surely prevented from being scattered in the vacuum container.
【００３５】次に、本発明の第４の形態について説明す
る。本発明の第４の形態におけるゲッタ部材の取り付け
構造を示す上面図である。なお、ここでは、真空容器側
の構成については、図１と同じものとする。真空容器３
０のケース３１の内側には、ゲッタ部材７０が取り付け
部材３７，３８を介して取り付けられている。ゲッタ部
材７０は、全体が円柱形であり、そのゲッタ本体７１の
端面からヒータ線の端子７２，７３が出ている。端子７
２，７３は、それぞれがケース３１側に固定された端子
３２，３３と溶接されている。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 13 is a top view illustrating a mounting structure of a getter member according to a fourth embodiment of the present invention. Here, the configuration on the vacuum vessel side is the same as that in FIG. Vacuum container 3
A getter member 70 is attached to the inside of the case 31 via the attachment members 37 and 38. The getter member 70 has a columnar shape as a whole, and terminals 72 and 73 of the heater wire protrude from an end surface of the getter body 71. Terminal 7
The terminals 2 and 73 are welded to the terminals 32 and 33 respectively fixed to the case 31 side.
【００３６】また、ゲッタ部材７０のゲッタ本体７１の
両端部には、セラミックス製のカップ状の補強部材７
４，７５が取り付けられている。このようなゲッタ部材
７０は、取り付け部材３７，３８を介してケース３１に
固定されている。ここで、取り付け部材３７，３８は、
金属製（例えばコバール製）の帯状の部材であり、それ
ぞれ補強部材７４，７５の周囲に巻かれるとともに、端
部がケース３１に溶接されることにより、ゲッタ部材７
０を固定している。A ceramic cup-shaped reinforcing member 7 is provided at both ends of the getter body 71 of the getter member 70.
4,75 are attached. Such a getter member 70 is fixed to the case 31 via attachment members 37 and 38. Here, the mounting members 37, 38
It is a band-shaped member made of metal (for example, made of Kovar). The band-shaped member is wound around the reinforcing members 74 and 75, and the end portion is welded to the case 31, so that the getter member 7
0 is fixed.
【００３７】図８は図７のＸ４−Ｘ４線に沿う断面図で
ある。ゲッタ部材７０のゲッタ本体７１は、Ｚｒ−Ｖ−
Ｆｅを材料とする多孔質材料であり、その内部には、ヒ
ータ線７６が設けられている。ヒータ線７６とゲッタ本
体７１は、Ａｌ2 Ｏ3 セラミックスからなる薄い絶縁膜
７７で絶縁されている。絶縁膜７７の両端部７７ａ，７
７ｂは、ゲッタ本体７１の両端面７１ａ，７１ｂまで形
成されている。FIG. 8 is a sectional view taken along line X4-X4 in FIG. The getter body 71 of the getter member 70 is made of Zr-V-
It is a porous material made of Fe, and a heater wire 76 is provided inside the porous material. The heater wire 76 and the getter main body 71 are insulated by a thin insulating film 77 made of Al 2 O 3 ceramics. Both ends 77a, 7 of insulating film 77
7b is formed up to both end surfaces 71a, 71b of the getter main body 71.
【００３８】また、ゲッタ本体７１の両端面７１ａ，７
１ｂには、両端面７１ａ，７１ｂと密着するように補強
部材７４，７５が設けられている。この補強部材７４，
７５は、絶縁膜７７と同様にＡｌ2 Ｏ3 セラミックスを
材料としており、全体が円筒形のカップ状に形成されて
いる。補強部材７４，７５には、端子７２，７３の外形
とほぼ同じか微妙に径の大きい孔７４ａ，７５ａが形成
されており、これら孔７４ａ，７５ａには、ヒータ線７
６の端子７２，７３が挿入される。Further, both end surfaces 71a, 7 of the getter main body 71 are provided.
In 1b, reinforcing members 74 and 75 are provided so as to be in close contact with both end surfaces 71a and 71b. This reinforcing member 74,
75 is made of Al 2 O 3 ceramics similarly to the insulating film 77, and is formed in a cylindrical cup shape as a whole. Holes 74a, 75a having a diameter substantially the same as or slightly larger than the outer shape of the terminals 72, 73 are formed in the reinforcing members 74, 75, and the heater wires 7 are formed in these holes 74a, 75a.
Six terminals 72 and 73 are inserted.
【００３９】このような構成のゲッタ部材７０では、ゲ
ッタ本体７１の両端面７１ａ，７１ｂに、補強部材７
４，７５を設けたので、ケース３１からの振動を受けて
も絶縁膜７７の両端部７７ａ，７７ｂが欠けることがな
い。また、ゲッタ部材７０をケース３１に取り付ける場
合も、補強部材７４，７５の外周面に取り付け部材３
７，３８を巻き付けるようにしているので、取り付け部
材とゲッタ本体７１が擦れることがない。よって、ゲッ
タ部材７０の異物が真空容器内で散乱することがない。In the getter member 70 having such a configuration, the reinforcing members 7 are provided on both end surfaces 71a and 71b of the getter body 71.
Since the four and 75 are provided, both ends 77a and 77b of the insulating film 77 are not chipped even when receiving vibration from the case 31. Also, when the getter member 70 is mounted on the case 31, the mounting member 3
Since the attachment members 7 and 38 are wound, the attachment member and the getter main body 71 are not rubbed. Therefore, the foreign matter of the getter member 70 is not scattered in the vacuum container.
【００４０】また、ゲッタ部材７０では、ゲッタ本体７
１と取り付け部材３７，３８との間に絶縁材料で形成さ
れた補強絶縁部材７４，７５が設けられているので、ヒ
ータ線７６とケース３１側との絶縁が確保されている。In the getter member 70, the getter body 7
Since the reinforcing insulating members 74 and 75 made of an insulating material are provided between the first member 1 and the mounting members 37 and 38, the insulation between the heater wire 76 and the case 31 is ensured.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、絶縁膜
の破片よりも小さいメッシュを有する保護部材によって
ゲッタ本体を覆うようにしたので、絶縁膜の破片が真空
空間内を散乱することが防止される。また、保護部材を
取り付けた状態で取り付け部材によってゲッタ部材をケ
ースの内側に取り付けるようにしたので、取り付け部材
とゲッタ部材との摩擦もなくなり、ゲッタ部材が削れて
異物が発生することもない。As described above, in the present invention, since the getter body is covered with the protective member having a mesh smaller than the insulating film fragments, the insulating film fragments are prevented from scattering in the vacuum space. Is done. In addition, since the getter member is attached to the inside of the case by the attaching member in a state where the protective member is attached, friction between the attaching member and the getter member is eliminated, and the getter member is not shaved and foreign matter is not generated.
【００４２】よって、真空容器内を異物が散乱して赤外
線検知素子の検知面に付着することがなくなるので、正
確な赤外線検知を行うことができる。Therefore, since the foreign matter does not scatter in the vacuum vessel and adheres to the detection surface of the infrared detecting element, accurate infrared detection can be performed.
【図１】図２のＸ１−Ｘ１線に沿う断面図である。FIG. 1 is a sectional view taken along line X1-X1 in FIG.
【図２】本発明の第１の形態の真空容器におけるゲッタ
部材の取り付け構造を示す上面図である。FIG. 2 is a top view showing a mounting structure of a getter member in the vacuum vessel according to the first embodiment of the present invention.
【図３】第２の形態におけるゲッタ部材の取り付け構造
を示す上面図である。FIG. 3 is a top view illustrating a mounting structure of a getter member according to a second embodiment.
【図４】図３のＸ２−Ｘ２線に沿う断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line X2-X2 in FIG. 3;
【図５】第３の形態におけるゲッタ部材の取り付け構造
を示す上面図である。FIG. 5 is a top view showing a mounting structure of a getter member according to a third embodiment.
【図６】図５のＸ３−Ｘ３線に沿う断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line X3-X3 in FIG. 5;
【図７】第４の形態におけるゲッタ部材の取り付け構造
を示す上面図である。FIG. 7 is a top view illustrating a mounting structure of a getter member according to a fourth embodiment.
【図８】図７のＸ４−Ｘ４線に沿う断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along line X4-X4 in FIG. 7;
【図９】一般の赤外線検知器に使用される真空容器の構
成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a configuration of a vacuum vessel used for a general infrared detector.
【図１０】従来のゲッタ部材の取り付け構造を示す上面
図である。FIG. 10 is a top view showing a conventional getter member mounting structure.
【図１１】従来のゲッタ部材の構造を示す断面図であ
る。FIG. 11 is a sectional view showing a structure of a conventional getter member.
１０ 真空容器 １１ ケース １５ 内筒 １７ 赤外線検知素子 ３０ 真空容器 ３１ ケース ３２，３３ 端子 ４０ ゲッタ部材 ４１ ゲッタ本体 ４２，４３ 端子 ４４ 保護部材 ４５ ヒータ線 ４６ 絶縁膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vacuum container 11 Case 15 Inner cylinder 17 Infrared detecting element 30 Vacuum container 31 Case 32, 33 Terminal 40 Getter member 41 Getter main body 42, 43 Terminal 44 Protective member 45 Heater wire 46 Insulating film
フロントページの続き (72)発明者 土田 浩幸 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 上田 敏之 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 渡邊 芳夫 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内Continuing from the front page (72) Inventor Hiroyuki Tsuchida 4-1-1, Kamidadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Toshiyuki Ueda 4-1-1, Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Yoshio Watanabe 4-1-1, Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Fujitsu Limited
Claims (8)
いて、 ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線が収納され、前
記絶縁膜の破片よりも小さいメッシュを有する保護部材
によって前記ゲッタ本体が覆われるゲッタ部材を、取り
付け部材を介してケースの内側に取り付け、固定したこ
とを特徴とする真空容器。1. A vacuum vessel equipped with an infrared detecting element, wherein a heater wire is housed in a getter body via an insulating film, and the getter body is covered by a protective member having a mesh smaller than a fragment of the insulating film. A vacuum vessel, wherein a getter member is attached to the inside of a case via an attachment member and fixed.
いて、 ゲッタ本体の胴体に絶縁部材が設けられたゲッタ部材
を、前記絶縁部材の周囲に取り付け部材を巻き付け、前
記取り付け部材を介してケースの内側に取り付け、固定
したことを特徴とする真空容器。2. A vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a getter member provided with an insulating member on a body of a getter body is wound around a mounting member around the insulating member, and the inside of a case is inserted through the mounting member. A vacuum vessel characterized by being attached to and fixed to a vacuum vessel.
いて、 ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線が収納され、前
記ゲッタ本体の端面部の前記ヒータ線が突き出る部分に
絶縁性の補強部材が取り付けられたゲッタ部材を、取り
付け部材を介してケースの内側に取り付け、固定したこ
とを特徴とする真空容器。3. A vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a heater wire is accommodated in a getter body via an insulating film, and an insulating reinforcing member is provided at a portion of the end face of the getter body where the heater wire protrudes. A vacuum container, wherein the attached getter member is attached to the inside of a case via an attachment member and fixed.
いて、 ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線が収納され、前
記ゲッタ本体の端面部および周面の一部を覆う絶縁性の
補強部材が取り付けられたゲッタ部材を、前記補強部材
の周面に取り付け部材を巻き付け、前記取り付け部材を
介してケースの内側に取り付け、固定したことを特徴と
する真空容器。4. A vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a heater wire is housed in a getter body via an insulating film, and an insulating reinforcing member for covering an end surface and a part of a peripheral surface of the getter body is provided. A vacuum vessel, wherein the attached getter member is wound around a peripheral surface of the reinforcing member, attached to the inside of a case via the attaching member, and fixed.
り付けられるゲッタ部材において、 ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線を収納し、前記
絶縁膜の破片よりも小さいメッシュを有する保護部材に
よって前記ゲッタ本体を覆うように形成したことを特徴
とするゲッタ部材。5. A getter member attached to a vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a heater wire is housed in a getter body via an insulating film, and the protective member has a mesh smaller than a fragment of the insulating film. A getter member formed so as to cover the getter body.
り付けられるゲッタ部材において、 ゲッタ本体の胴体に絶縁部材を設けたことを特徴とする
ゲッタ部材。6. A getter member attached to a vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein an insulating member is provided on a body of the getter body.
り付けられるゲッタ部材において、ゲッタ本体内に絶縁
膜を介してヒータ線を収納し、前記ゲッタ本体の端面部
の前記ヒータ線が突き出る部分に絶縁性の補強部材を取
り付けたことを特徴とするゲッタ部材。7. A getter member attached to a vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a heater wire is housed in a getter main body via an insulating film, and an insulation is provided at a portion of the end surface of the getter main body where the heater wire protrudes. A getter member to which a reinforcing member having an elastic property is attached.
り付けられるゲッタ部材において、 ゲッタ本体内に絶縁膜を介してヒータ線を収納し、前記
ゲッタ本体の端面部および周面の一部を覆う絶縁性の補
強部材を取り付けたことを特徴とするゲッタ部材。8. A getter member attached to a vacuum vessel on which an infrared detecting element is mounted, wherein a heater wire is accommodated in the getter body via an insulating film, and an end surface and a part of a peripheral surface of the getter body are covered. A getter member to which a reinforcing member having an elastic property is attached.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050341A JPH11248529A (en) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | Vacuum vessel and getter member |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10050341A JPH11248529A (en) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | Vacuum vessel and getter member |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248529A true JPH11248529A (en) | 1999-09-17 |
Family
ID=12856227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10050341A Withdrawn JPH11248529A (en) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | Vacuum vessel and getter member |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248529A (en) |
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1998
- 1998-03-03 JP JP10050341A patent/JPH11248529A/en not_active Withdrawn
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