JPH11237637A - Coating device - Google Patents

Coating device

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JPH11237637A
JPH11237637A JP4206198A JP4206198A JPH11237637A JP H11237637 A JPH11237637 A JP H11237637A JP 4206198 A JP4206198 A JP 4206198A JP 4206198 A JP4206198 A JP 4206198A JP H11237637 A JPH11237637 A JP H11237637A
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solvent
partition
gas concentration
solvent gas
vapor pressure
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Hiroshi Otaguro
洋 大田黒
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  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating device for a printing material which can manufacture a liquid crystal display device of high quality by improving printing defects. SOLUTION: A gas density measuring instrument 20 measures the density of solvent gas inside a partition sealing a coating unit for applying a printing material. When the measured value is less than the saturated vapor pressure of a solvent, a main control part 41 drives a gas supply device 30 to supply the solvent gas into the partition and when the measured value is higher than the saturated vapor pressure of the solvent, the main control part 41 drives a discharging device 15 and an air suction device 16 to discharge the atmosphere containing the solvent gas in the partition and suck the outside air. Thus, the solvent gas density in the partition is adjusted to density corresponding to the saturated vapor pressure of the solvent to suppress the volatilization of the solvent from the printing material of the coating unit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、塗布装置に係
り、特に液晶表示装置におけるアレイ基板と対向基板と
を接着する接着剤を塗布する塗布装置、及びアレイ基板
と対向基板との間に挟持される液晶組成物を所定の配向
方向に配向する配向膜を塗布する塗布装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus, and more particularly, to a coating apparatus for applying an adhesive for bonding an array substrate and a counter substrate in a liquid crystal display device, and is sandwiched between the array substrate and the counter substrate. The present invention relates to a coating apparatus for coating an alignment film for aligning a liquid crystal composition in a predetermined alignment direction.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、薄型軽量、低消費電力
などの利点を有することから、ノート型やサブノート型
のパーソナルコンピュータのディスプレイとして広く用
いられている。近年、ノート型やサブノート型のパーソ
ナルコンピュータは、様々な用途に利用されるようにな
り、要求される液晶表示装置の品種も多様化してきてい
る。これに伴い、多品種少量生産が可能な生産ラインが
求められている。
2. Description of the Related Art Liquid crystal display devices are widely used as displays for notebook and subnotebook personal computers because of their advantages such as thinness and light weight and low power consumption. In recent years, notebook and subnotebook personal computers have been used for various purposes, and the variety of required liquid crystal display devices has been diversified. Along with this, there is a demand for a production line capable of high-mix low-volume production.

【0003】液晶表示装置は、一般に、以下のような工
程により製造されている。すなわち、アレイ基板及び対
向基板を形成する基板形成工程、アレイ基板及び対向基
板を洗浄する洗浄工程、アレイ基板及び対向基板のそれ
ぞれの一方の主面に配向膜を塗布する配向膜塗布工程、
アレイ基板及び対向基板のそれぞれに塗布された配向膜
をラビング処理するラビング工程、アレイ基板及び対向
基板を洗浄する洗浄工程、アレイ基板または対向基板の
上にスペーサ材を散布する散布工程、アレイ基板または
対向基板の上にシール材を塗布するシール材塗布工程、
アレイ基板と対向基板とを貼り合せる貼り合せ工程、お
よび、アレイ基板と対向基板との間に液晶組成物を封入
する封入工程などにより、液晶表示装置が製造される。
[0005] A liquid crystal display device is generally manufactured by the following steps. That is, a substrate forming step of forming an array substrate and a counter substrate, a cleaning step of cleaning the array substrate and the counter substrate, an alignment film coating step of coating an alignment film on one main surface of each of the array substrate and the counter substrate,
A rubbing process of rubbing the alignment film applied to each of the array substrate and the counter substrate, a cleaning process of cleaning the array substrate and the counter substrate, a spraying process of spraying a spacer material on the array substrate or the counter substrate, an array substrate or A sealant application step of applying a sealant on the counter substrate,
A liquid crystal display device is manufactured by a bonding step of bonding an array substrate and a counter substrate, and a sealing step of sealing a liquid crystal composition between the array substrate and the counter substrate.

【0004】配向膜塗布工程では、転写印刷機が利用さ
れ、アレイ基板および対向基板のそれぞれの表面に配向
膜の材料としてのポリイミドが塗布される。また、シー
ル材塗布工程では、スクリーン印刷機が利用され、アレ
イ基板上または対向基板上にシール材すなわち接着剤と
してエポキシ樹脂が塗布される。
In the orientation film coating step, a transfer printing machine is used, and polyimide as a material for the orientation film is applied to each surface of the array substrate and the counter substrate. In the sealing material applying step, a screen printing machine is used to apply an epoxy resin as a sealing material, that is, an adhesive, on the array substrate or the opposing substrate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述したような多品種
小量生産の生産ラインにおいては、生産量が少ないため
に、転写印刷機やスクリーン印刷機などにおける稼動停
止時間すなわちタクトタイムが長くなる傾向にある。ま
た、これらの印刷機による配向膜材料やシール材材料な
どの印刷材料を塗布する塗布工程より以前の工程で、ト
ラブルが発生した場合、生産ラインが停止し、これにと
もなってこれらの印刷機も稼動が停止され、待機状態と
なる。
In a production line for multi-product small-volume production as described above, since the production amount is small, the operation stop time, that is, the tact time in a transfer printing machine or a screen printing machine tends to be long. It is in. In addition, if trouble occurs in a process prior to the application process of applying a printing material such as an alignment film material or a sealing material by these printing machines, the production line is stopped, and accordingly, these printing machines are also shut down. The operation is stopped and the apparatus enters a standby state.

【0006】このように、印刷機において、稼動が停止
した状態が長い時間継続されると、印刷機に取り付けら
れた印刷版が乾燥し、稼動が開始されたときに印刷不
良、すなわち塗布された印刷材料の膜厚が不均一となっ
たり、塗布ムラが発生しやすいといった問題が生じる。
[0006] As described above, if the operation of the printing press is stopped for a long time, the printing plate attached to the printing press dries, and when the operation is started, a printing failure, that is, a coating failure occurs. Problems arise in that the thickness of the printing material becomes non-uniform and coating unevenness tends to occur.

【0007】このような印刷版の乾燥は、版上の印刷材
料から印刷材料を溶解している溶剤が揮発するために生
じる。このような問題を解決するために、特開平5−9
6842号公報によれば、印刷機を密閉容器で囲い、密
閉容器内の湿度を調整することにより、印刷版の乾燥を
防止することが提案されている。しかしながら、揮発す
る溶剤の蒸気圧と湿度とは独立であるため、湿度を管理
しても溶剤の蒸発量を管理することはできず、印刷版の
乾燥を効率よく制御することができない。
[0007] Such drying of the printing plate occurs because the solvent dissolving the printing material is volatilized from the printing material on the plate. In order to solve such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open No.
According to Japanese Patent No. 6842, it is proposed to prevent the printing plate from drying by surrounding the printing press with a closed container and adjusting the humidity in the closed container. However, since the vapor pressure and the humidity of the volatile solvent are independent of each other, even if the humidity is controlled, the amount of evaporation of the solvent cannot be controlled, and the drying of the printing plate cannot be efficiently controlled.

【0008】そこで、この発明は、上記問題点を解決す
るためになされたものであり、印刷不良を改善し、高品
質な液晶表示装置を製造できる印刷材料の塗布装置を提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a printing material coating apparatus capable of improving printing defects and manufacturing a high-quality liquid crystal display device. I do.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
に基づきなされたもので、請求項1によれば、第1基板
と第2基板との間に液晶組成物を挟持した液晶表示装置
を製造するために、前記第1基板及び第2基板の少なく
とも一方に印刷材料を塗布する塗布手段を備えた塗布装
置において、前記塗布手段を密閉する密閉手段と、前記
密閉手段内における前記印刷材料に含まれる溶剤が気化
した溶剤ガスの溶剤ガス濃度を所定値に調整する調整手
段と、を備えたことを特徴とする塗布装置が提供でき
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made based on the above problems, and according to claim 1, a liquid crystal display device having a liquid crystal composition sandwiched between a first substrate and a second substrate. A coating device for applying a printing material to at least one of the first substrate and the second substrate in order to manufacture the printing device; a sealing device for sealing the coating device; and the printing material in the sealing device. And an adjusting means for adjusting the solvent gas concentration of the solvent gas obtained by vaporizing the solvent contained in the solvent gas to a predetermined value.

【0010】この発明の塗布装置によれば、印刷材料を
液晶表示装置の第1基板及び第2基板の少なくとも一方
に塗布する塗布手段を密閉手段によって密閉し、調整手
段により、密閉手段内における印刷材料に含まれる溶剤
が気化した溶剤ガスの溶剤ガス濃度が、溶剤の飽和蒸気
圧に対応した所定値に調整されている。
According to the coating apparatus of the present invention, the coating means for coating the printing material on at least one of the first substrate and the second substrate of the liquid crystal display device is sealed by the sealing means, and the printing in the sealing means is adjusted by the adjusting means. The solvent gas concentration of the solvent gas in which the solvent contained in the material is vaporized is adjusted to a predetermined value corresponding to the saturated vapor pressure of the solvent.

【0011】すなわち、仕切り内における印刷材料に含
まれる溶剤の溶剤ガス濃度を測定しつつ、溶剤ガス濃度
が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気圧付近のガス濃度とな
るように仕切り内の溶剤ガス濃度を調整することによ
り、溶剤が平行状態となり、溶剤の揮発が抑制される。
That is, while measuring the solvent gas concentration of the solvent contained in the printing material in the partition, the solvent gas concentration in the partition is adjusted so that the solvent gas concentration becomes a predetermined value, that is, a gas concentration near the saturated vapor pressure of the solvent. By adjusting, the solvent is in a parallel state, and volatilization of the solvent is suppressed.

【0012】このため、溶剤が揮発することによる印刷
版の乾燥を防止することが可能となり、印刷版の乾燥に
よる印刷材料の印刷不良が改善され、高品質な液晶表示
装置を製造可能な印刷装置を提供することが可能とな
る。
For this reason, it is possible to prevent the printing plate from drying due to the evaporation of the solvent, improve the printing failure of the printing material due to the drying of the printing plate, and manufacture a high quality liquid crystal display device. Can be provided.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明に
係る塗布装置の実施の形態について詳細に説明する。こ
の塗布装置は、例えば、液晶表示装置を製造する製造工
程において、配向膜材料やシール材などの印刷材料を塗
布する印刷装置に適用されるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The embodiments of the coating apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. This application device is applied to, for example, a printing device that applies a printing material such as an alignment film material or a sealing material in a manufacturing process of manufacturing a liquid crystal display device.

【0014】図1は、この塗布装置が適用される液晶表
示装置の構造を概略的に示す断面図である。この塗布装
置が適用される液晶表示装置は、図1に示すように、画
像を表示する表示エリア102、及び配線パターンが形
成された周辺エリア104を含む第1基板としてのアレ
イ基板100と、このアレイ基板100に対向配置され
た第2基板としての対向基板200と、アレイ基板10
0と対向基板200との間に配置された液晶組成物30
0とを備えている。表示エリア102は、アレイ基板1
00と対向基板200とを貼り合わせるシール材106
によって囲まれた領域内に形成され、周辺エリア104
は、シール材106の外側の領域に形成されている。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing the structure of a liquid crystal display device to which the coating device is applied. As shown in FIG. 1, a liquid crystal display device to which the coating device is applied includes an array substrate 100 as a first substrate including a display area 102 for displaying an image and a peripheral area 104 on which a wiring pattern is formed, and An opposing substrate 200 as a second substrate opposing the array substrate 100;
Liquid crystal composition 30 disposed between the first substrate 0 and the opposite substrate 200
0. The display area 102 is the array substrate 1
00 and the opposing substrate 200 are attached to the sealing material 106.
Formed in a region surrounded by
Are formed in a region outside the sealing material 106.

【0015】アレイ基板100の表示エリア102は、
透明な絶縁性基板、例えば厚さが0.7mmのガラス基
板101上に互いに直交するように配設された図示しな
い1024×3本の信号線、及び768本の走査線を備
えている。
The display area 102 of the array substrate 100 is
A transparent insulating substrate, for example, a glass substrate 101 having a thickness of 0.7 mm is provided with 1024 × 3 signal lines and 768 scanning lines (not shown) arranged orthogonally to each other.

【0016】また、アレイ基板100は、各信号線と各
走査線との各交点部毎の近傍に配設されたスイッチング
素子としての薄膜トランジスタすなわちTFT121
と、このTFT121を介して接続された画素電極15
1とを備えている。画素電極151は、透過性の導電性
部材、例えばインジウム−ティン−オキサイドすなわち
ITOによって形成されている。
The array substrate 100 includes a thin film transistor or a TFT 121 serving as a switching element disposed in the vicinity of each intersection of each signal line and each scanning line.
And the pixel electrode 15 connected via the TFT 121.
1 is provided. The pixel electrode 151 is formed of a transparent conductive member, for example, indium-tin-oxide, that is, ITO.

【0017】TFT121は、走査線の一部分をゲート
電極とし、ゲート絶縁膜を介して順に積層された半導体
膜およびチャネル保護膜を有し、さらに、半導体膜に低
抵抗半導体膜を介して接続されたソース電極およびドレ
イン電極を有している。ソース電極は、画素電極151
に電気的に接続され、ドレイン電極は、信号線に電気的
に接続されている。
The TFT 121 has a semiconductor film and a channel protection film which are sequentially laminated via a gate insulating film using a part of the scanning line as a gate electrode, and is further connected to the semiconductor film via a low-resistance semiconductor film. It has a source electrode and a drain electrode. The source electrode is the pixel electrode 151
And the drain electrode is electrically connected to the signal line.

【0018】また、アレイ基板100の表面は、対向基
板200との間に介在される液晶組成物300を配向さ
せるための配向膜141によって覆われている。対向基
板200の表示エリア102は、透明な絶縁性基板、例
えば厚さが0.7mmのガラス基板201上に配設され
た遮光膜202を備えている。この遮光膜202は、ア
レイ基板100における配線パターン上、すなわちアレ
イ基板100のTFT121、画素電極151、図示し
ない信号線及び走査線にそれぞれ対向する位置や、各隙
間にそれぞれ対向する位置を遮光するように設けられて
いる。
The surface of the array substrate 100 is covered with an alignment film 141 for aligning the liquid crystal composition 300 interposed between the array substrate 100 and the counter substrate 200. The display area 102 of the counter substrate 200 includes a light shielding film 202 disposed on a transparent insulating substrate, for example, a glass substrate 201 having a thickness of 0.7 mm. The light-shielding film 202 shields the wiring pattern on the array substrate 100, that is, the position facing the TFT 121, the pixel electrode 151, the signal line and the scanning line (not shown) of the array substrate 100, and the position facing each gap. It is provided in.

【0019】また、対向基板200は、ガラス基板20
1の画素電極151に対向する位置であって、遮光膜2
02の間に配置されたカラー表示を実現するための赤
(R)、緑(G)、青(B)の3原色で構成されるカラ
ーフィルタ203R、203G、203Bを備えてい
る。
The opposing substrate 200 is a glass substrate 20
The light-shielding film 2 is located at a position facing the first pixel electrode 151.
02, color filters 203R, 203G, and 203B each of which includes three primary colors of red (R), green (G), and blue (B) for realizing color display.

【0020】このカラーフィルタ203R、203G、
203Bの表面は、画素電極151との間で電位差を形
成するITOによって形成された対向電極204によっ
て覆われている。また、この対向電極204の表面は、
アレイ基板100との間に介在される液晶組成物300
を配向させるための配向膜205によって覆われてい
る。
The color filters 203R, 203G,
The surface of 203 </ b> B is covered with a counter electrode 204 formed of ITO that forms a potential difference with the pixel electrode 151. The surface of the counter electrode 204 is
Liquid crystal composition 300 interposed between array substrate 100
Is covered with an alignment film 205 for orienting.

【0021】上述したようなアレイ基板100及び対向
基板200は、表示エリア102の周囲を区画するよう
に塗布されたシール材106によって貼り合わされてい
る。この時、アレイ基板100と対向基板200との間
に散布されたスペーサにより、あれ基板100と対向基
板200との間に所定間隔のギャップが形成される。
The array substrate 100 and the counter substrate 200 as described above are bonded together by a sealing material 106 applied so as to divide the periphery of the display area 102. At this time, a predetermined gap is formed between the substrate 100 and the counter substrate 200 by the spacers scattered between the array substrate 100 and the counter substrate 200.

【0022】液晶組成物300は、シール材106の一
部によって形成された注入口から注入され、この注入口
が封止されることによりアレイ基板100と対向基板2
00との間に挟持される。
The liquid crystal composition 300 is injected from an injection port formed by a part of the sealing material 106, and the injection port is sealed so that the array substrate 100 and the counter substrate 2 are sealed.
00 and 00.

【0023】図2は、図1に示した液晶表示装置の製造
工程を概略的に示すフローチャートである。すなわち、
図1に示したような液晶表示装置は、図2に示す製造工
程にしたがって形成される。
FIG. 2 is a flowchart schematically showing a manufacturing process of the liquid crystal display device shown in FIG. That is,
The liquid crystal display device as shown in FIG. 1 is formed according to the manufacturing steps shown in FIG.

【0024】基板形成工程ST1では、ガラス基板10
1上に互いに直交するように配置される走査線及び信号
線などの各種配線パターン、走査線と信号線との交差部
近傍に配置されるTFT121、TFT121に接続さ
れる画素電極151などを形成することによりアレイ基
板100を形成する。また、ガラス基板201上に遮光
膜202、カラーフィルタ203R、203G、203
B、対向電極204を形成することにより対向基板20
0を形成する。
In the substrate forming step ST1, the glass substrate 10
Various wiring patterns such as scanning lines and signal lines arranged orthogonally to each other, TFTs 121 arranged near intersections between the scanning lines and the signal lines, pixel electrodes 151 connected to the TFTs 121 and the like are formed on the pixel 1. Thus, the array substrate 100 is formed. Further, a light-shielding film 202 and color filters 203R, 203G, 203 are formed on a glass substrate 201.
B, by forming the counter electrode 204, the counter substrate 20
0 is formed.

【0025】基板洗浄工程でST2は、基板形成工程S
T1でそれぞれ形成されたアレイ基板100及び対向基
板200を洗浄する。配向膜塗布工程ST3では、洗浄
されたアレイ基板100及び対向基板200のそれぞれ
の一方の主面、すなわち、アレイ基板100におけるT
FT121及び画素電極151が配置された主面の表面
と、対向基板200における対向電極が配置された主面
の表面とにそれぞれ配向膜材料、例えばポリイミドを塗
布する。この配向膜塗布工程では、後述する塗布装置と
しての転写印刷装置により各基板表面に印刷材料として
のポリイミドが塗布される。
In the substrate cleaning step ST2, a substrate forming step S
The array substrate 100 and the counter substrate 200 formed at T1 are washed. In the alignment film coating step ST3, one main surface of each of the cleaned array substrate 100 and the counter substrate 200, that is, T
An alignment film material, for example, polyimide is applied to the surface of the main surface on which the FT 121 and the pixel electrode 151 are disposed and the surface of the main surface of the counter substrate 200 on which the counter electrode is disposed. In this orientation film application step, polyimide as a printing material is applied to the surface of each substrate by a transfer printing device as an application device described later.

【0026】ラビング工程ST4では、アレイ基板10
0及び対向基板200のそれぞれ表面に塗布された配向
膜材料を所定の方向にラビング処理し、配向膜141、
205をそれぞれ形成する。
In the rubbing step ST4, the array substrate 10
Rubbing the alignment film material applied to the surface of each of the first and second substrates 200 and 90 in a predetermined direction,
205 are respectively formed.

【0027】基板洗浄工程ST5では、ラビング処理工
程において、配向膜材料をラビング処理した際に発生し
た配向膜材料片を除去するために、アレイ基板100及
び対向基板200をそれぞれ洗浄する。
In the substrate cleaning step ST5, in the rubbing step, the array substrate 100 and the counter substrate 200 are each cleaned in order to remove alignment film material pieces generated when the alignment film material is rubbed.

【0028】スペーサ散布工程ST6では、アレイ基板
100または対向基板200の配向膜141または20
5上にスペーサ材を散布する。シール材塗布工程ST7
では、アレイ基板100または対向基板200の表示エ
リア周辺にシール材106としての接着剤、例えばエポ
キシ樹脂を塗布する。このシール材塗布工程では、後述
する塗布装置としてのスクリーン印刷装置によりいずれ
かの基板に印刷材料としてのエポキシ樹脂が塗布され
る。このとき、液晶組成物300を注入するための注入
口が確保される。
In the spacer dispersing step ST6, the alignment film 141 or 20 of the array substrate 100 or the counter substrate 200 is formed.
A spacer material is sprayed on 5. Seal material application step ST7
Then, an adhesive, for example, an epoxy resin, as a sealant 106 is applied around the display area of the array substrate 100 or the counter substrate 200. In this sealing material application step, an epoxy resin as a printing material is applied to one of the substrates by a screen printing device as an application device described later. At this time, an inlet for injecting the liquid crystal composition 300 is secured.

【0029】貼り合せ工程ST8では、アレイ基板10
0または対向基板200に塗布されたシール材106に
より、両基板を貼り合せる。このとき、両基板の間に
は、スペーサ材により所定の間隙が形成される。
In the bonding step ST8, the array substrate 10
The two substrates are bonded to each other by the sealing material 106 applied to the counter substrate 200 or 0. At this time, a predetermined gap is formed between the two substrates by the spacer material.

【0030】液晶組成物封入工程ST9では、アレイ基
板100と対向基板200との間に、注入口から液晶組
成物300を注入し、注入口を紫外線硬化型樹脂などで
封止することにより、両基板間に液晶組成物を封入す
る。
In the liquid crystal composition enclosing step ST9, the liquid crystal composition 300 is injected between the array substrate 100 and the opposing substrate 200 from the injection port, and the injection port is sealed with an ultraviolet curable resin or the like. A liquid crystal composition is sealed between the substrates.

【0031】以上のような工程ST1乃至ST9によ
り、液晶表示装置を形成する。次に、アレイ基板及び対
向基板の表面に配向膜材料を塗布する転写印刷装置の構
成について説明する。
A liquid crystal display device is formed by the above steps ST1 to ST9. Next, the configuration of a transfer printing apparatus that applies an alignment film material to the surfaces of the array substrate and the counter substrate will be described.

【0032】図3は、転写印刷装置の一例を概略的に示
す図である。この転写印刷装置1は、アレイ基板100
または対向基板200を載置するステージ2と、ステー
ジ2上に載置された基板の表面に印刷材料としての配向
膜材料、例えばポリイミド(PI)を塗布する塗布手段
としての塗布ユニット3と、ステージ2上に載置された
基板及び塗布ユニット3を密閉する密閉手段としての仕
切り4とを備えている。塗布ユニット3は、印刷版5が
巻き付けられた版胴6、印刷版5に印刷材料としてのポ
リイミドすなわちPIを供給するアニロックスロール
7、および、アニロックスロール7に付着した印刷材料
を均一化するドクターロール8を有している。印刷材料
としてのポリイミドは、溶剤、例えばガンマブチロラク
トンにより溶解されている。
FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of the transfer printing apparatus. The transfer printing apparatus 1 includes an array substrate 100
Alternatively, a stage 2 on which the counter substrate 200 is mounted, an application unit 3 as an application unit for applying an alignment film material as a printing material, for example, polyimide (PI), to the surface of the substrate mounted on the stage 2, and a stage. And a partition 4 as a sealing means for sealing the substrate mounted on 2 and the coating unit 3. The coating unit 3 includes a plate cylinder 6 around which the printing plate 5 is wound, an anilox roll 7 for supplying polyimide, ie, PI, as a printing material to the printing plate 5, and a doctor roll for uniformizing the printing material attached to the anilox roll 7. Eight. Polyimide as a printing material is dissolved by a solvent, for example, gamma-butyrolactone.

【0033】また、この転写印刷装置1は、仕切り4内
の雰囲気を調整する自己循環式空調機10を備えてい
る。この自己循環式空調機10は、仕切り4内から雰囲
気を吸気する吸気口11、吸気口11から吸気した雰囲
気をフィルタ12を介して清浄化して吹出す吹出し口1
3、仕切り4内の雰囲気を必要に応じて外部に排気する
排気手段としての排気装置15、および、必要に応じて
仕切り4内に外気を取り込む吸気手段としての吸気装置
16を有している。
The transfer printing apparatus 1 includes a self-circulating air conditioner 10 for adjusting the atmosphere in the partition 4. The self-circulating air conditioner 10 includes an intake port 11 for inhaling the atmosphere from the inside of the partition 4, and an outlet 1 for cleaning and blowing out the atmosphere from the intake port 11 through a filter 12.
3, an exhaust device 15 as an exhaust device for exhausting the atmosphere in the partition 4 to the outside as necessary, and an intake device 16 as an intake device for taking in outside air into the partition 4 as necessary.

【0034】さらに、この転写印刷装置1は、仕切り4
内において、溶剤が気化した溶剤ガスの濃度を検知する
検知手段としてのガス濃度測定装置20と、溶剤を収容
するとともに溶剤ガスを供給する供給手段としてのガス
供給装置30とを備えている。
Further, the transfer printing apparatus 1 has a partition 4
The apparatus includes a gas concentration measuring device 20 as a detecting means for detecting the concentration of the solvent gas in which the solvent is vaporized, and a gas supply device 30 as a supplying means for containing the solvent and supplying the solvent gas.

【0035】ガス濃度測定装置20は、仕切り4内の溶
剤ガスの濃度を測定するものであり、ガスクロマトグラ
フィ法を利用した測定装置や、周知の蒸気圧測定装置を
利用した測定装置などが適用可能である。すなわち、仕
切り4内において、溶剤が気化することによって発生す
る溶剤ガスの濃度が高くなると、仕切り4内における溶
剤ガスの圧力が高くなる。そして、仕切り4内の溶剤ガ
スの圧力が、溶剤の飽和蒸気圧(蒸気圧)に達すると、
気体としての溶剤ガスと液体としての溶剤とが平衡状態
となり、液体の溶剤から溶剤ガスが気化しにくくなる。
The gas concentration measuring device 20 measures the concentration of the solvent gas in the partition 4, and a measuring device using a gas chromatography method, a measuring device using a well-known vapor pressure measuring device, or the like can be applied. It is. That is, when the concentration of the solvent gas generated by the vaporization of the solvent in the partition 4 increases, the pressure of the solvent gas in the partition 4 increases. Then, when the pressure of the solvent gas in the partition 4 reaches the saturated vapor pressure (vapor pressure) of the solvent,
The solvent gas as a gas and the solvent as a liquid are in an equilibrium state, and the solvent gas is less likely to evaporate from the liquid solvent.

【0036】つまり、仕切り4内の溶剤ガスの濃度が飽
和蒸気圧に対応するガス濃度に達すると、仕切り4内の
溶剤は、気化しにくい状態となり、溶剤の揮発を抑制す
ることが可能となる。一方、溶剤ガスの濃度が飽和蒸気
圧より低いガス濃度である場合、仕切り4内の溶剤は、
気化しやすい状態となる。また、溶剤ガスの濃度が飽和
蒸気圧より高いガス濃度である場合、仕切り4内の溶剤
ガスが結露しやすい状態となる。
That is, when the concentration of the solvent gas in the partition 4 reaches a gas concentration corresponding to the saturated vapor pressure, the solvent in the partition 4 is hardly vaporized, and the volatilization of the solvent can be suppressed. . On the other hand, when the concentration of the solvent gas is lower than the saturated vapor pressure, the solvent in the partition 4
It becomes a state that is easy to evaporate. When the concentration of the solvent gas is higher than the saturated vapor pressure, the solvent gas in the partition 4 is easily condensed.

【0037】ガス供給装置30は、印刷材料を溶解する
溶剤と同一の溶剤を収容する容器31と、この容器31
を密閉する蓋32と、この蓋32を開閉する開閉手段と
しての開閉機構33とを備えている。
The gas supply device 30 comprises a container 31 containing the same solvent as that for dissolving the printing material,
And a closing mechanism 33 as opening / closing means for opening / closing the lid 32.

【0038】この転写印刷装置1は、図4に示すような
構成要素により調整手段として機能するガス濃度制御部
40を構成している。すなわち、ガス濃度制御部40
は、仕切り4内における雰囲気中の溶剤ガス濃度を溶剤
の飽和蒸気圧付近に制御する判断手段としての主制御部
41と、雰囲気中の溶剤ガス濃度を測定するガス濃度測
定装置20と、仕切り4内に溶剤ガスを供給するガス供
給装置30と、仕切り4内から溶剤ガスを含む雰囲気を
排気する排気装置15と、仕切り4内に外気を取り入れ
る吸気装置16とによって構成される。
The transfer printing apparatus 1 constitutes a gas concentration control section 40 which functions as an adjusting means by using components as shown in FIG. That is, the gas concentration control unit 40
The main controller 41 as a judging means for controlling the solvent gas concentration in the atmosphere in the partition 4 to around the saturated vapor pressure of the solvent, the gas concentration measuring device 20 for measuring the solvent gas concentration in the atmosphere, The partition 4 is constituted by a gas supply device 30 for supplying a solvent gas therein, an exhaust device 15 for exhausting an atmosphere containing the solvent gas from the inside of the partition 4, and an intake device 16 for taking in outside air into the partition 4.

【0039】すなわち、主制御部41により、ガス濃度
測定装置20によって測定された仕切り4内における雰
囲気中の溶剤ガス濃度が溶剤の飽和蒸気圧より低いと判
断された場合には、主制御部41は、ガス供給装置30
の蓋開閉機構33を駆動させて、溶剤を収容している容
器31の蓋32を開放させる。このとき、排気装置15
及び吸気装置16は、外気から仕切り4内の空間を遮断
し、仕切り4内を密閉する。
That is, when the main controller 41 determines that the solvent gas concentration in the atmosphere in the partition 4 measured by the gas concentration measuring device 20 is lower than the saturated vapor pressure of the solvent, the main controller 41 Is a gas supply device 30
Is driven to open the lid 32 of the container 31 containing the solvent. At this time, the exhaust device 15
The intake device 16 blocks the space inside the partition 4 from outside air, and seals the inside of the partition 4.

【0040】容器31の蓋32が開放されることによ
り、容器31内に収容されている溶剤が気化して溶剤ガ
スが発生し、仕切り4内に溶剤ガスが充満する。そし
て、主制御部41により、仕切り4内の溶剤ガス濃度が
飽和蒸気圧に達したと判断された場合には、主制御部4
1は、ガス供給装置30の蓋開閉機構33を駆動させ
て、蓋31を閉塞させる。このとき、仕切り4内は、依
然として密閉された状態に維持されている。
When the lid 32 of the container 31 is opened, the solvent contained in the container 31 is vaporized to generate a solvent gas, and the partition 4 is filled with the solvent gas. When the main control unit 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 has reached the saturated vapor pressure, the main control unit 4
1 drives the lid opening / closing mechanism 33 of the gas supply device 30 to close the lid 31. At this time, the inside of the partition 4 is still maintained in a sealed state.

【0041】また、主制御部41により、仕切り4内の
溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より高いと判断された場合に
は、主制御部41は、ガス供給装置30の蓋開閉機構3
3を駆動させて、蓋31を閉塞させる。さらに、主制御
部41は、排気装置15を駆動させて、自己循環式空調
機10の吸気口11から吸気した仕切り4内の溶剤ガス
を含む雰囲気を排気するとともに、吸気装置16を駆動
させて、外気を吹出し口13から仕切り4内に取り入れ
る。
When the main controller 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 is higher than the saturated vapor pressure, the main controller 41 controls the lid opening / closing mechanism 3 of the gas supply device 30.
3 is driven to close the lid 31. Further, the main control unit 41 drives the exhaust device 15 to exhaust the atmosphere containing the solvent gas in the partition 4 sucked from the intake port 11 of the self-circulating air conditioner 10 and also drives the intake device 16. Then, outside air is taken into the partition 4 from the outlet 13.

【0042】そして、主制御部41により、仕切り4内
の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合
には、主制御部41は、排気装置15及び吸気装置16
の駆動を停止させ、仕切り4内を外気から遮断させて密
閉する。
When the main control unit 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 has reached the saturated vapor pressure, the main control unit 41 sets the exhaust device 15 and the intake device 16
Is stopped, and the inside of the partition 4 is shut off from the outside air and sealed.

【0043】この転写印刷装置の場合、印刷材料として
の配向膜材料すなわちポリイミドを溶解する溶剤として
使用したガンマブチロラクトンの飽和蒸気圧は、79℃
において10mmHgである。
In the case of this transfer printing apparatus, the saturation vapor pressure of gamma-butyrolactone used as a solvent for dissolving polyimide, ie, an alignment film material as a printing material, is 79 ° C.
Is 10 mmHg.

【0044】上述したように、印刷材料を転写印刷する
転写印刷装置において、印刷材料を塗布する塗布ユニッ
トを仕切りによって密閉し、仕切り内における印刷材料
を溶解している溶剤の溶剤ガス濃度を測定しつつ、溶剤
ガス濃度が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気圧付近のガス
濃度となるように仕切り内の溶剤ガス濃度を調整するこ
とにより、溶剤の揮発が抑制され、溶剤が揮発すること
による印刷版の乾燥を防止することが可能となる。
As described above, in the transfer printing apparatus for transferring and printing the printing material, the coating unit for applying the printing material is sealed by the partition, and the solvent gas concentration of the solvent dissolving the printing material in the partition is measured. Meanwhile, by adjusting the solvent gas concentration in the partition so that the solvent gas concentration is a predetermined value, that is, a gas concentration near the saturated vapor pressure of the solvent, volatilization of the solvent is suppressed, and the printing plate due to the volatilization of the solvent is reduced. Drying can be prevented.

【0045】このため、印刷版の乾燥による印刷材料の
印刷不良が改善され、高品質な液晶表示装置を製造可能
な印刷装置を提供することが可能となる。次に、アレイ
基板または対向基板の表示エリア周辺にシール材を塗布
するスクリーン印刷装置の構成について説明する。
Therefore, the printing failure of the printing material due to the drying of the printing plate is improved, and it is possible to provide a printing apparatus capable of manufacturing a high quality liquid crystal display. Next, the configuration of a screen printing apparatus that applies a sealing material around the display area of the array substrate or the counter substrate will be described.

【0046】図5は、スクリーン印刷装置の一例を概略
的に示す図である。なお、図3に示した転写印刷装置と
同一の構成要素については、同一の参照番号を付与して
詳細な説明を省略する。
FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of a screen printing apparatus. Note that the same components as those of the transfer printing apparatus shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0047】この印刷装置は、基板を載置するステージ
2と、ステージ2上に載置された基板の表面に印刷材料
としてのシール材材料、例えばエポキシ樹脂(EP)を
塗布する塗布手段としての塗布ユニット50と、ステー
ジ2上に載置された基板及び塗布ユニット3を密閉する
密閉手段としての仕切り4とを備えている。塗布ユニッ
ト50は、スクリーン印刷版51を支持するフレーム5
2、および、スクリーン印刷版51上を加圧摺動して印
刷材料としてのエポキシ樹脂すなわちEPをスクリーン
印刷版51の開口部から流出させるスキージ53を有し
ている。印刷材料としてのエポキシ樹脂は、溶剤、例え
ばメチルカルビトールにより溶解されている。
This printing apparatus comprises a stage 2 on which a substrate is placed, and a coating means for applying a sealing material such as an epoxy resin (EP) as a printing material on the surface of the substrate placed on the stage 2. The coating unit 50 includes a coating unit 50 and a partition 4 as a sealing unit that seals the substrate mounted on the stage 2 and the coating unit 3. The coating unit 50 includes a frame 5 supporting the screen printing plate 51.
2, and a squeegee 53 that slides under pressure on the screen printing plate 51 to cause an epoxy resin, ie, EP, as a printing material to flow out of the opening of the screen printing plate 51. Epoxy resin as a printing material is dissolved by a solvent, for example, methyl carbitol.

【0048】また、このスクリーン印刷装置は、仕切り
4内の雰囲気を調整する排気装置15及び吸気装置16
を有する自己循環式空調機10と、仕切り4内におい
て、溶剤が気化した溶剤ガスの濃度を検知する検知手段
としてのガス濃度測定装置20と、溶剤を収容するとと
もに溶剤ガスを供給する供給手段としてのガス供給装置
30とを備えている。
The screen printing apparatus comprises an exhaust device 15 and an intake device 16 for adjusting the atmosphere in the partition 4.
A self-circulating air conditioner 10 having: a gas concentration measuring device 20 as a detecting means for detecting the concentration of the solvent gas in which the solvent has vaporized in the partition 4; and a supply means for containing the solvent and supplying the solvent gas. And a gas supply device 30.

【0049】ガス供給装置30は、印刷材料を溶解する
溶剤と同一の溶剤を収容する容器31と、この容器31
を密閉する蓋32と、この蓋32を開閉する開閉手段と
しての開閉機構33とを備えている。
The gas supply device 30 comprises a container 31 containing the same solvent as that for dissolving the printing material,
And a closing mechanism 33 as opening / closing means for opening / closing the lid 32.

【0050】このようなスクリーン印刷装置において
も、ガス濃度制御部40により、仕切り4内における雰
囲気中の溶剤ガス濃度を調整している。このスクリーン
印刷装置の場合、印刷材料としてのシール材材料すなわ
ちエポキシ樹脂を溶解する溶剤として使用したメチルカ
ルビトールの飽和蒸気圧は、25℃において0.18m
mHgである。
Also in such a screen printing apparatus, the concentration of the solvent gas in the atmosphere in the partition 4 is adjusted by the gas concentration controller 40. In the case of this screen printing apparatus, the saturated vapor pressure of methyl carbitol used as a solvent for dissolving a sealing material, ie, an epoxy resin, as a printing material is 0.18 m at 25 ° C.
mHg.

【0051】上述したように、印刷材料をスクリーン印
刷するスクリーン印刷装置において、印刷材料を塗布す
る塗布ユニットを仕切りによって密閉し、仕切り内にお
ける印刷材料を溶解している溶剤の溶剤ガス濃度を測定
しつつ、溶剤ガス濃度が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気
圧付近のガス濃度となるように仕切り内の溶剤ガス濃度
を調整することにより、溶剤の揮発が抑制され、溶剤が
揮発することによる印刷版の乾燥を防止することが可能
となる。
As described above, in the screen printing apparatus for screen-printing the printing material, the coating unit for applying the printing material is sealed by the partition, and the solvent gas concentration of the solvent dissolving the printing material in the partition is measured. Meanwhile, by adjusting the solvent gas concentration in the partition so that the solvent gas concentration is a predetermined value, that is, a gas concentration near the saturated vapor pressure of the solvent, volatilization of the solvent is suppressed, and the printing plate due to the volatilization of the solvent is reduced. Drying can be prevented.

【0052】このため、印刷版の乾燥による印刷材料の
印刷不良が改善され、高品質な液晶表示装置を製造可能
な印刷装置を提供することが可能となる。上述した転写
印刷装置及びスクリーン印刷装置に適用されるガス供給
装置30は、容器31、蓋32、および、蓋開閉機構3
3によって構成されたが、この例に限らず、他の構成で
あってもよい。
For this reason, the printing failure of the printing material due to the drying of the printing plate is improved, and it is possible to provide a printing apparatus capable of manufacturing a high quality liquid crystal display. The gas supply device 30 applied to the above-described transfer printing device and screen printing device includes a container 31, a lid 32, and a lid opening / closing mechanism 3.
3, the configuration is not limited to this example, and another configuration may be used.

【0053】例えば、図6に示すガス供給装置35は、
溶剤を収容する容器31、容器31に巻き付けられて容
器31を加熱する加熱手段としてのヒータ線36、ヒー
タ線36による加熱を制御するヒータコントローラ3
7、および、容器31から気化した溶剤ガスを仕切り内
に拡散させる拡散手段としての拡散用ファン38を備え
ている。
For example, the gas supply device 35 shown in FIG.
A container 31 for storing the solvent, a heater wire 36 wound around the container 31 and heating the container 31, and a heater controller 3 for controlling heating by the heater wire 36
7, and a diffusion fan 38 as diffusion means for diffusing the vaporized solvent gas from the container 31 into the partition.

【0054】このようなガス供給装置35を含むガス濃
度制御部45は、主制御部41と、ガス濃度測定装置2
0と、ガス供給装置30と、排気装置15と、吸気装置
16とによって構成される。
The gas concentration control unit 45 including such a gas supply device 35 includes a main control unit 41 and a gas concentration measurement device 2.
0, a gas supply device 30, an exhaust device 15, and an intake device 16.

【0055】すなわち、主制御部41により、ガス濃度
測定装置20によって測定された仕切り4内における雰
囲気中の溶剤ガス濃度が溶剤の飽和蒸気圧より低いと判
断された場合には、主制御部41は、ガス供給装置30
のヒータコントローラ37を制御してヒータ線36を介
して容器31を加熱させ、積極的に溶剤を気化させる。
さらに、主制御部41は、拡散用ファン38を駆動させ
て仕切り4内に積極的に気化させた溶剤ガスを拡散させ
る。このとき、排気装置15及び吸気装置16は、外気
から仕切り4内の空間を遮断し、仕切り4内を密閉す
る。これにより、仕切り4内に溶剤ガスが充満する。
That is, when the main control unit 41 determines that the solvent gas concentration in the atmosphere in the partition 4 measured by the gas concentration measuring device 20 is lower than the saturated vapor pressure of the solvent, the main control unit 41 Is a gas supply device 30
The heater 31 is controlled to heat the container 31 via the heater wire 36, and the solvent is positively vaporized.
Further, the main controller 41 drives the diffusion fan 38 to diffuse the vaporized solvent gas into the partition 4. At this time, the exhaust device 15 and the intake device 16 block the space inside the partition 4 from the outside air and seal the inside of the partition 4. As a result, the partition 4 is filled with the solvent gas.

【0056】そして、主制御部41により、仕切り4内
の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合
には、主制御部41は、ガス供給装置30のヒータコン
トローラ37による容器31の加熱を停止させるととも
に、拡散用ファン38の駆動を停止させる。
When the main control unit 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 has reached the saturated vapor pressure, the main control unit 41 uses the heater controller 37 of the gas supply device 30 to operate the container 31. Is stopped, and the driving of the diffusion fan 38 is stopped.

【0057】また、主制御部41により、仕切り4内の
溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より高いと判断された場合に
は、主制御部41は、ガス供給装置30のヒータコント
ローラ37による容器31の加熱および拡散用ファン3
8の駆動を停止させる。さらに、主制御部41は、排気
装置15を駆動させて、仕切り4内の溶剤ガスを含む雰
囲気を排気するとともに、吸気装置16を駆動させて、
仕切り4内に外気を取り入れる。
When the main controller 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 is higher than the saturated vapor pressure, the main controller 41 controls the heater controller 37 of the gas supply device 30 to operate the container 31. Heating and diffusion fan 3
8 is stopped. Further, the main control unit 41 drives the exhaust device 15 to exhaust the atmosphere containing the solvent gas in the partition 4 and drives the intake device 16,
The outside air is introduced into the partition 4.

【0058】そして、主制御部41により、仕切り4内
の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合
には、主制御部41は、排気装置15及び吸気装置16
の駆動を停止させ、仕切り4内を外気から遮断させて密
閉する。
When the main control unit 41 determines that the solvent gas concentration in the partition 4 has reached the saturated vapor pressure, the main control unit 41 sets the exhaust device 15 and the intake device 16
Is stopped, and the inside of the partition 4 is shut off from the outside air and sealed.

【0059】このようなガス供給装置を適用することに
より、仕切り内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より低い場
合には、迅速に溶剤を気化させることが可能となるとと
もに、迅速に仕切り内に溶剤ガスを拡散することが可能
となるため、迅速に仕切り内の溶剤ガス濃度を飽和蒸気
圧に対応したガス濃度に到達させることができる。この
ため、印刷版からの溶剤の気化を効率的に抑制すること
が可能となり、印刷版の乾燥による印刷不良を防止でき
る。
By applying such a gas supply device, when the solvent gas concentration in the partition is lower than the saturated vapor pressure, the solvent can be quickly vaporized, and the solvent can be quickly stored in the partition. Since the gas can be diffused, the solvent gas concentration in the partition can quickly reach the gas concentration corresponding to the saturated vapor pressure. For this reason, it is possible to efficiently suppress the evaporation of the solvent from the printing plate, and it is possible to prevent printing failure due to drying of the printing plate.

【0060】なお、この発明は、上述した例で使用した
溶剤に限らず、他の溶剤を使用した場合であっても、仕
切り内の雰囲気中の溶剤ガス濃度を各溶剤の飽和蒸気圧
に調整することにより適用可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the solvent used in the above-described example, and adjusts the solvent gas concentration in the atmosphere in the partition to the saturated vapor pressure of each solvent even when another solvent is used. It is applicable by doing.

【0061】他の溶剤として、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテートを使用した場合、飽和蒸気
圧は、20℃において1.7mmHgであり、ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテル(DPME)を使用
した場合、飽和蒸気圧は、25℃において0.3mmH
gであり、ブチルセロソルブを使用した場合、飽和蒸気
圧は、25℃において0.852mmHgであり、N−
メチルピロリドンを使用した場合、飽和蒸気圧は、10
0℃において24mmHg、60℃において4mmHg
である。
When propylene glycol monoethyl ether acetate is used as another solvent, the saturated vapor pressure is 1.7 mmHg at 20 ° C., and when dipropylene glycol monomethyl ether (DPME) is used, the saturated vapor pressure is 0.3 mmH at 25 ° C
g, when using butyl cellosolve, the saturated vapor pressure is 0.852 mmHg at 25 ° C.
When methylpyrrolidone is used, the saturated vapor pressure is 10
24 mmHg at 0 ° C, 4 mmHg at 60 ° C
It is.

【0062】仕切り内の溶剤ガス濃度を溶剤の飽和蒸気
圧に合わせて調整することにより、溶剤の揮発を抑制す
ることが可能となり、印刷版の乾燥を抑制し、印刷版の
乾燥による印刷不良を改善することが可能となる。
By adjusting the concentration of the solvent gas in the partition in accordance with the saturated vapor pressure of the solvent, it is possible to suppress the volatilization of the solvent, suppress the drying of the printing plate, and reduce the printing failure due to the drying of the printing plate. It can be improved.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、印刷不良を改善し、高品質な液晶表示装置を製造で
きる印刷材料の塗布装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a printing material coating apparatus capable of improving printing defects and manufacturing a high-quality liquid crystal display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、この発明の印刷装置によって印刷材料
が塗布される液晶表示装置の構成を概略的に示す断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view schematically showing a configuration of a liquid crystal display device to which a printing material is applied by a printing device of the present invention.

【図2】図2は、図1に示した液晶表示装置の製造工程
を概略的に示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart schematically showing a manufacturing process of the liquid crystal display device shown in FIG.

【図3】図3は、この発明の印刷装置としての転写印刷
装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a transfer printing apparatus as a printing apparatus of the present invention.

【図4】図4は、図3に示した転写印刷装置のガス濃度
制御部の構成を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a gas concentration control unit of the transfer printing apparatus illustrated in FIG. 3;

【図5】図5は、この発明の印刷装置としてのスクリー
ン印刷装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 5 is a diagram schematically showing a configuration of a screen printing apparatus as a printing apparatus of the present invention.

【図6】図6は、この発明の印刷装置に適用可能なガス
供給装置の他の例を概略的に示す図である。
FIG. 6 is a diagram schematically showing another example of a gas supply device applicable to the printing device of the present invention.

【図7】図7は、図6に示したガス供給装置を含む他の
ガス濃度制御部の構成を示すブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of another gas concentration control unit including the gas supply device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…転写印刷装置 3…塗布ユニット 4…仕切り 10…自己循環式空調機 15…排気装置 16…吸気装置 20…ガス濃度測定装置 30…ガス供給装置 31…容器 32…蓋 33…蓋開閉機構 35…ガス供給装置 37…ヒータコントローラ 38…拡散用ファン 40…ガス濃度制御部 41…主制御部 50…塗布ユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transfer printing device 3 ... Coating unit 4 ... Partition 10 ... Self-circulation type air conditioner 15 ... Exhaust device 16 ... Intake device 20 ... Gas concentration measuring device 30 ... Gas supply device 31 ... Container 32 ... Lid 33 ... Lid opening / closing mechanism 35 ... gas supply device 37 ... heater controller 38 ... diffusion fan 40 ... gas concentration control unit 41 ... main control unit 50 ... coating unit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1基板と第2基板との間に液晶組成物を
挟持した液晶表示装置を製造するために、前記第1基板
及び第2基板の少なくとも一方に印刷材料を塗布する塗
布手段を備えた塗布装置において、 前記塗布手段を密閉する密閉手段と、 前記密閉手段内における前記印刷材料に含まれる溶剤が
気化した溶剤ガスの溶剤ガス濃度を所定値に調整する調
整手段と、 を備えたことを特徴とする塗布装置。
1. A coating means for coating a printing material on at least one of the first and second substrates to manufacture a liquid crystal display device having a liquid crystal composition sandwiched between the first and second substrates. A coating device, comprising: sealing means for sealing the coating means; and adjusting means for adjusting a solvent gas concentration of a solvent gas in which the solvent contained in the printing material is vaporized in the sealing means to a predetermined value. A coating device.
【請求項2】前記調整手段は、前記密閉手段内における
溶剤ガス濃度を、前記溶剤の飽和蒸気圧に対応した溶剤
ガス濃度に調整する濃度調整手段を有することを特徴と
する請求項1に記載の塗布装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein said adjusting means has a concentration adjusting means for adjusting a solvent gas concentration in said sealing means to a solvent gas concentration corresponding to a saturated vapor pressure of said solvent. Coating equipment.
【請求項3】前記調整手段は、 前記密閉手段内における前記溶剤ガス濃度を検出する検
出手段と、 前記検出手段によって検出された溶剤ガス濃度が溶剤の
飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度であるか否かを判断
する判断手段と、 前記判断手段により前記密閉手段内の溶剤ガス濃度が前
記飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度より低いと判断さ
れた場合には、前記密閉手段内に前記溶剤を気化させた
ガスを供給する供給手段と、 前記判断手段により前記密閉手段内の溶剤ガス濃度が前
記飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度より高いと判断さ
れた場合には、前記密閉手段内を排気する排気手段と、 を備えたことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
3. The adjusting means comprises: detecting means for detecting the solvent gas concentration in the sealing means; and the solvent gas concentration detected by the detecting means is a solvent gas concentration corresponding to a saturated vapor pressure of the solvent. Determining means for determining whether or not, when the determining means determines that the solvent gas concentration in the sealing means is lower than the solvent gas concentration corresponding to the saturated vapor pressure, the solvent in the sealing means Supply means for supplying a gas that has been vaporized, and when it is determined by the determination means that the solvent gas concentration in the sealing means is higher than the solvent gas concentration corresponding to the saturated vapor pressure, the inside of the sealing means is The coating apparatus according to claim 1, further comprising: an exhaust unit configured to exhaust air.
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