JPH11235690A - Exhaust structure in industrial robot and industrial robot provided with the same - Google Patents

Exhaust structure in industrial robot and industrial robot provided with the same

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JPH11235690A
JPH11235690A JP3601898A JP3601898A JPH11235690A JP H11235690 A JPH11235690 A JP H11235690A JP 3601898 A JP3601898 A JP 3601898A JP 3601898 A JP3601898 A JP 3601898A JP H11235690 A JPH11235690 A JP H11235690A
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JP
Japan
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guide rail
frame
exhaust duct
extending
industrial robot
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JP3601898A
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Japanese (ja)
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Katsumi Terai
克巳 寺井
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Shibaura Mechatronics Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial robot capable of displaying sufficient exhaust performance even if the robot is small-sized. SOLUTION: In an industrial robot A provided with a thin and long frame 30 extending in the front and rear directions, a guide rail 32 extending in a straight line along the frame 30 on the upper surface of the frame 30 and a moving body 34 provided so that the moving body 34 may freely move back and forth on the guide rail 32, a cylindrical exhaust duct 35 extending along the guide rail 32 is provided in a state that the exhaust duct 35 retreats from a traveling area of the moving body 34 on the left side and/or the right side of the guide rail 32, the exhaust duct 35 is constituted by being provided with an inlet port 36 opened to the side of the guide rail 32 for every prescribed interval of the longitudinal direction, and exhaust on the frame 30 is taken into the exhaust duct 35 from the inlet port 36 and is exhausted from an opening tip part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、産業ロボットにお
ける排気構造、及び産業ロボットに関する。
The present invention relates to an exhaust structure for an industrial robot and an industrial robot.

【0002】[0002]

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、図
4に示すような産業ロボット(A´)があった。すなわ
ち、幅方向左右両端部がそれぞれ立ち上がった細長状で
かつ直方体状をなす断面コの字状のフレーム(10)と、
前記フレーム(10)の上面における左側と右側とにそれ
ぞれ設けられた2本一組の案内レール(12)と、前記案
内レール(12)上を往復走行自在に設けられた可動体
(14)とを備えた産業ロボット(A´)があった。この
ような構成のロボットを半導体等の製造工場のクリンル
ームで使用する場合、前記案内レールや可動体等の可動
部から発生する塵埃等がクリンルームへ飛散してクリン
度が低下するのを防ぐ為、排気設備が備えられている。
従来の排気構造は次のような構成を備えていた。すなわ
ち、フレーム(10)の内部が中空になっており、このフ
レーム内部空間(16)が前端面(18)と後端面(図示せ
ず)にて開口している。また、フレーム上面には、該上
面から前記内部空間(16)にまで貫通する吸気口(20)
が前後方向所定間隔ごとに左右2列並設されている。フ
レーム(10)上の空気は上記した吸気口(20)からフレ
ーム内部空間(16)に取り込まれ、該内部空間(16)を
流れて前端面(18)あるいは後端面から排出される。こ
れにより、フレーム内で発生した塵埃を含む空気を吸引
し、ロボットからの発塵がクリンルーム内へ飛散するの
を防止している。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been an industrial robot (A ') as shown in FIG. That is, an elongated and rectangular parallelepiped-shaped frame (10) having left and right ends in the width direction, respectively,
A pair of guide rails (12) provided on the left and right sides of the upper surface of the frame (10), respectively; and a movable body (14) provided reciprocally on the guide rails (12). There was an industrial robot (A ′) equipped with When a robot having such a configuration is used in a clean room of a manufacturing factory for semiconductors or the like, dust and the like generated from movable parts such as the guide rails and movable bodies are prevented from scattering into the clean room to prevent the cleanness from being reduced. Therefore, exhaust facilities are provided.
The conventional exhaust structure has the following configuration. That is, the inside of the frame (10) is hollow, and the frame internal space (16) is open at the front end face (18) and the rear end face (not shown). In addition, an air inlet (20) penetrating from the upper surface to the internal space (16) is provided on the upper surface of the frame.
Are arranged side by side at predetermined intervals in the front-rear direction. The air on the frame (10) is taken into the frame internal space (16) from the above-described intake port (20), flows through the internal space (16), and is discharged from the front end face (18) or the rear end face. As a result, air containing dust generated in the frame is sucked, and dust from the robot is prevented from scattering into the clean room.

【0003】しかしながら、最近における産業ロボット
(A´)の小型化に伴い、フレーム(10)を中空に加工
することが困難になり、もはや今までの排気構造を採用
することが難しくなってきた。
[0003] However, with the recent miniaturization of the industrial robot (A '), it has become difficult to machine the frame (10) into a hollow, and it has become difficult to employ the conventional exhaust structure.

【0004】なお、直交型ロボットの集塵構造として、
次のような提案がある(特開平5−16092号公報参
照)。すなわち、ボールネジと該ボールネジの回転によ
って直線的に移動するナットとを収納する収納空間を有
する筐体と、移動部材を筐体の外部において支持するた
めに移動部材とナットとの間を連結する連結部が通過す
る通路が筐体に形成された直交型ロボットの集塵構造で
あって、吸気孔が形成された集塵用パイプを通路に沿っ
て配置するとともに、集塵用パイプを減圧手段に接続す
ることによって集塵用パイプ内を負圧に保つようにした
直交型ロボットの集塵構造が提案された。
[0004] The dust collecting structure of the orthogonal robot is as follows.
There is the following proposal (see JP-A-5-16092). That is, a housing having a storage space for housing a ball screw and a nut that moves linearly by rotation of the ball screw, and a connection for connecting the moving member and the nut to support the moving member outside the housing. The passage through which the part passes is a dust collecting structure of an orthogonal robot in which a casing is formed, and a dust collecting pipe having an intake hole is arranged along the passage, and the dust collecting pipe is used as a pressure reducing means. A dust collection structure of an orthogonal robot has been proposed in which the inside of the dust collection pipe is maintained at a negative pressure by connecting.

【0005】しかしながら、上記の直交型ロボットの集
塵構造にあっては、集塵用パイプがフレーム(筐体)の
外側に配置されているため、そのための空間をフレーム
(筐体)の外側に別途設ける必要があり、やはり大型化
を招いた。
[0005] However, in the dust collection structure of the orthogonal robot described above, since the dust collection pipe is arranged outside the frame (housing), the space therefor is located outside the frame (housing). It had to be provided separately, which also led to an increase in size.

【0006】[発明の目的]本発明は、上記の実情に鑑
みてなされたものでありその目的は、小型の産業ロボッ
トであっても充分に排気性能を発揮し得る排気構造を提
供するところにあり、前記排気構造を備えた産業ロボッ
トを提供するところにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an exhaust structure capable of sufficiently exhibiting exhaust performance even with a small industrial robot. Another object of the present invention is to provide an industrial robot having the exhaust structure.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の産業ロボットに
おける排気構造は、前後方向に延びる細長状のフレーム
上面を該フレームに沿って直線状に延びる案内レールが
設けられ、前記案内レール上を可動体が往復走行自在に
設けられた産業ロボットにおける排気構造であって、前
記案内レールの左側および/または右側において、該案
内レールに沿って延びる筒状をなす排気ダクトが、前記
可動体の走行領域から退避した状態で設けられ、前記排
気ダクトは、その長手方向所定間隔ごとに、前記案内レ
ール側に開口した吸気口が備えられてなり、前記フレー
ム上の排気を前記吸気口から前記排気ダクトの内部に取
り込んで、開口端部から排出するようになしたものであ
る。
The exhaust structure of the industrial robot according to the present invention is provided with a guide rail extending linearly along the upper surface of an elongated frame extending in the front-rear direction and moving on the guide rail. An exhaust structure for an industrial robot in which a body is provided so as to be able to reciprocate, wherein a tubular exhaust duct extending along the guide rail is provided on a left and / or right side of the guide rail. The exhaust duct is provided in a retracted state, and the exhaust duct is provided with an intake port opened on the guide rail side at predetermined intervals in the longitudinal direction, and exhausts the frame from the intake port to the exhaust duct. It is taken in and discharged from the opening end.

【0008】請求項2に記載の排気構造にあっては、排
気ダクトが左右の壁部の少なくとも一方の内側に設けら
れているので、排気構造の小型化を計ることができる。
また、前記排気ダクトが四角筒状をなし、該排気ダクト
の開口端部が幅方向に延びる横辺より上下方向に延びる
縦辺の方が大であれば、幅方向の寸法を大きくすること
なく狭いスペースでも効率よく排気することができるの
でより一層好適である。
[0008] In the exhaust structure according to the second aspect, since the exhaust duct is provided inside at least one of the left and right walls, the exhaust structure can be reduced in size.
Further, if the exhaust duct has a rectangular cylindrical shape, and the opening end of the exhaust duct is larger in the vertical direction extending in the vertical direction than in the horizontal side extending in the width direction, without increasing the dimension in the width direction. This is even more preferable because exhaust can be efficiently performed even in a narrow space.

【0009】本発明の産業ロボットは、前後方向に延び
る細長状のフレームと、前記フレームの上面を、該フレ
ームに沿って直線状に延びる案内レールと、前記案内レ
ール上を往復走行自在に設けられた可動体とを備えた産
業ロボットであって、前記案内レールの左側および/ま
たは右側において、該案内レールに沿って延びる筒状を
なす排気ダクトが、前記可動体の走行領域から退避した
状態で設けられ、前記排気ダクトは、その長手方向所定
間隔ごとに、前記案内レール側に開口した吸気口が備え
られてなり、前記フレーム上の排気を前記吸気口から前
記排気ダクトの内部に取り込んで、開口端部から排出す
るようになしたものである。
An industrial robot according to the present invention is provided with an elongated frame extending in the front-rear direction, a guide rail extending linearly along the frame on the upper surface of the frame, and reciprocally traveling on the guide rail. An industrial robot having a movable body, wherein a left and / or right side of the guide rail has a cylindrical exhaust duct extending along the guide rail in a state where the exhaust duct is retracted from a traveling area of the movable body. Provided, the exhaust duct is provided with an intake port opened on the guide rail side at predetermined intervals in the longitudinal direction thereof, and takes in exhaust gas on the frame from the intake port into the exhaust duct. It is designed to be discharged from the opening end.

【0010】請求項4記載の産業ロボットにあっては、
排気ダクトが左右の壁部の少なくとも一方の内側に設け
られているので、産業ロボットの小型化を計ることがで
きる。また、前記排気ダクトが四角筒状をなし、該排気
ダクトの開口端部が幅方向に延びる横辺より上下方向に
延びる縦辺の方が大であれば、幅方向の寸法を大きくす
ることなく狭いスペースでも効率よく排気することがで
きるのでより一層好適である。
[0010] In the industrial robot according to the fourth aspect,
Since the exhaust duct is provided inside at least one of the left and right walls, the size of the industrial robot can be reduced. Further, if the exhaust duct has a rectangular cylindrical shape, and the opening end of the exhaust duct is larger in the vertical direction extending in the vertical direction than in the horizontal side extending in the width direction, without increasing the dimension in the width direction. This is even more preferable because exhaust can be efficiently performed even in a narrow space.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】図1〜3に基づいて本発明の一実
施例を示す産業ロボット(A)を説明する。幅方向左右
両端部がそれぞれ立ち上がった前後方向に延びる細長板
状のフレーム(30)の上面に、前後方向に延びる案内レ
ール(32)が設けられている。この案内レール(32)上
には、フレーム(30)内部に設けられたベルトまたはボ
ールネジなどの搬送手段(図示せず)によって該案内レ
ール(32)上を直線往復移動(走行)する可動体(34)
が設けられている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An industrial robot (A) showing one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. A guide rail (32) extending in the front-rear direction is provided on the upper surface of an elongated plate-shaped frame (30) extending in the front-rear direction, with both left and right ends rising in the width direction. On this guide rail (32), a movable body (running) that linearly reciprocates (runs) on the guide rail (32) by a conveying means (not shown) such as a belt or a ball screw provided inside the frame (30). 34)
Is provided.

【0012】フレーム(30)の幅方向左右両側部には
(前記したフレーム(30)上における、立上がり部の内
側には)、断面四角形の筒体よりなる排気ダクト(35)
が設けられている。この排気ダクト(35)は、案内レー
ル(32)に沿って延び、前記可動体(34)の走行領域か
ら退避した状態で設けられている。なお、この排気ダク
ト(35)の開口端部における開口部の四角形状は、図1
及び図3に示されているように、幅方向(横方向)に延
びる横辺より上下方向(縦方向)に延びる縦辺の方が大
である形状をなしている。
An exhaust duct (35) formed of a tubular body having a square cross section is provided on both left and right sides in the width direction of the frame (30) (inside the rising portion on the frame (30)).
Is provided. The exhaust duct (35) extends along the guide rail (32) and is provided in a state of being retracted from the traveling area of the movable body (34). The square shape of the opening at the opening end of the exhaust duct (35) is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, the vertical side extending in the vertical direction (vertical direction) is larger than the horizontal side extending in the width direction (horizontal direction).

【0013】この排気ダクト(35)の一方の端部は、フ
レーム(30)の前端部(30a)にて開口している(排気
ダクト(35)の他方の端部(後端部[図示せず])は閉
口している)。また、前記排気ダクト(35)は、その長
手方向所定間隔ごとに、前記案内レール(32)側に開口
した吸気口(36)が備えられている。前記吸気口(36)
は、図2に明瞭に示されているように、排気ダクト(3
5)の周壁を貫通するものである。なお、排気ダクト(3
5)は、案内レール(32)の左側あるいは右側のいずれ
か一方に設けることもできる。
One end of the exhaust duct (35) is open at the front end (30a) of the frame (30) (the other end (rear end of the exhaust duct (35) [shown in the figure]). Zu]) is closed). The exhaust duct (35) is provided with an intake port (36) opened at the guide rail (32) side at predetermined intervals in the longitudinal direction. The intake port (36)
The exhaust duct (3) is clearly shown in FIG.
5) penetrates the peripheral wall. The exhaust duct (3
5) can be provided on either the left or right side of the guide rail (32).

【0014】上記構成の産業ロボット(A)において、
フレーム(30)上の塵埃を含む空気は、図1〜図3にお
ける矢印で示すように、吸気口(36)を介して排気ダク
ト(35)に取り込まれ、該排気ダクト(35)の開口端部
(35a)に接続された真空ポンプ等の吸気装置(図示せ
ず)により外部へ排出される。
In the industrial robot (A) having the above configuration,
The air containing dust on the frame (30) is taken into the exhaust duct (35) through the intake port (36) as shown by arrows in FIGS. 1 to 3, and the open end of the exhaust duct (35). The air is discharged to the outside by a suction device (not shown) such as a vacuum pump connected to the section (35a).

【0015】なお、上記実施例における排気ダクト(3
5)の断面形状は、図4の(a)に示すように縦長
「ロ」の字状をなしているが、これに限らず、図4の
(b)に示すように縦長「コ」の字状、あるいは図4の
(c)に示すように逆「L」字状であっても良い。この
ようにすることにより、産業ロボット(における排気構
造)をより一層小型化することができるといった作用効
果を奏する。
Note that the exhaust duct (3
The cross-sectional shape of 5) has a vertically long "b" shape as shown in FIG. 4A, but is not limited to this, and is not limited to this, as shown in FIG. 4B. The shape may be a letter shape or an inverted "L" shape as shown in FIG. By doing so, there is an operational effect that the industrial robot (the exhaust structure in the industrial robot) can be further reduced in size.

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明の産業ロボットによれば、フレー
ムを中空にする必要がなく、排気ダクトをフレーム上に
載置するだけである。このように、本発明によれば、産
業ロボットが小型であっても充分に排気性能を持たせる
ことができる。
According to the industrial robot of the present invention, there is no need to make the frame hollow, and only the exhaust duct is mounted on the frame. As described above, according to the present invention, even if the industrial robot is small, sufficient exhaust performance can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す産業ロボットの部分斜
視図である。
FIG. 1 is a partial perspective view of an industrial robot showing one embodiment of the present invention.

【図2】前図の一部断面平面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional plan view of the previous figure.

【図3】排気ダクトへの空気の流れを示した要部拡大斜
視図である。
FIG. 3 is an enlarged perspective view of a main part showing a flow of air to an exhaust duct.

【図4】排気ダクトの形状を示した断面図であり、
(a)は図1〜図3における排気ダクトの形状、(b)
及び(c)は他の実施例である排気ダクトの形状をそれ
ぞれ示す。
FIG. 4 is a sectional view showing a shape of an exhaust duct;
(A) is the shape of the exhaust duct in FIGS. 1 to 3, (b)
(C) shows the shape of an exhaust duct according to another embodiment.

【図5】従来の産業ロボットの部分斜視図である。FIG. 5 is a partial perspective view of a conventional industrial robot.

【符号の説明】 A……産業ロボット 30……フレーム 32……案内レール 34……可動体 35……排気ダクト 35a……排気ダクトの開口端部 36……吸気口[Description of Signs] A: Industrial robot 30: Frame 32: Guide rail 34: Movable body 35: Exhaust duct 35a: Open end of exhaust duct 36: Inlet

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】前後方向に延びる細長状のフレーム上面
を、該フレームに沿って直線状に延びる案内レールが設
けられ、前記案内レール上を可動体が往復走行自在に設
けられた産業ロボットにおける排気構造であって、 前記案内レールの左側および/または右側において、該
案内レールに沿って延びる筒状をなす排気ダクトが、前
記可動体の走行領域から退避した状態で設けられ、 前記排気ダクトは、その長手方向所定間隔ごとに、前記
案内レール側に開口した吸気口が備えられてなり、 前記フレーム上の排気を前記吸気口から前記排気ダクト
の内部に取り込んで、開口端部から排出するようになし
たことを特徴とする産業ロボットにおける排気構造。
1. An exhaust system for an industrial robot in which a guide rail extending linearly along the frame is provided on an upper surface of an elongated frame extending in the front-rear direction, and a movable body is provided on the guide rail so as to be able to reciprocate. A tubular exhaust duct extending along the guide rail is provided on the left and / or right side of the guide rail in a state of being retracted from a traveling area of the movable body. An intake port opened to the guide rail side is provided at predetermined intervals in the longitudinal direction, and exhaust gas on the frame is taken into the exhaust duct from the intake port and discharged from the open end. An exhaust structure for an industrial robot characterized by what is done.
【請求項2】前記フレームは、これの幅方向両端部にお
いてそれぞれ上方に向かって延びる壁部を備え、前記排
気ダクトは左右の少なくとも一方の壁部の内側に設けら
れてなり、かつ前記排気ダクトは四角筒状をなし、該排
気ダクトの開口端部における開口部の形状が、幅方向に
延びる横辺より上下方向に延びる縦辺の方が大である形
状をなしていることを特徴とする請求項1記載の排気構
造。
2. The frame is provided with walls extending upward at both ends in the width direction of the frame, and the exhaust duct is provided inside at least one of right and left walls, and the exhaust duct is provided. Has a square cylindrical shape, and the shape of the opening at the opening end of the exhaust duct is such that the vertical side extending in the vertical direction is larger than the horizontal side extending in the width direction. The exhaust structure according to claim 1.
【請求項3】前後方向に延びる細長状のフレームと、 前記フレームの上面を、該フレームに沿って直線状に延
びる案内レールと、 前記案内レール上を往復走行自在に設けられた可動体と
を備えた産業ロボットであって、 前記案内レールの左側および/または右側において、該
案内レールに沿って延びる筒状をなす排気ダクトが、前
記可動体の走行領域から退避した状態で設けられ、 前記排気ダクトは、その長手方向所定間隔ごとに、前記
案内レール側に開口した吸気口が備えられてなり、 前記フレーム上の排気を前記吸気口から前記排気ダクト
の内部に取り込んで、開口端部から排出するようになし
たことを特徴とする産業ロボット。
3. An elongated frame extending in the front-rear direction, a guide rail extending linearly along the upper surface of the frame, and a movable body provided reciprocally on the guide rail. An industrial robot comprising: a left and / or right side of the guide rail, wherein a cylindrical exhaust duct extending along the guide rail is provided in a state of being retracted from a traveling region of the movable body; The duct is provided with an intake port opened on the guide rail side at predetermined intervals in the longitudinal direction thereof, and takes in exhaust gas on the frame from the intake port into the exhaust duct and discharges the exhaust gas from the open end. An industrial robot characterized by doing so.
【請求項4】前記フレームは、これの幅方向両端部にお
いてそれぞれ上方に向かって延びる壁部を備え、前記排
気ダクトは左右の少なくとも一方の壁部の内側に設けら
れてなり、かつ前記排気ダクトは四角筒状をなし、該排
気ダクトの開口端部における開口部の形状が、幅方向に
延びる横辺より上下方向に延びる縦辺の方が大である形
状をなしていることを特徴とする請求項3記載の産業ロ
ボット。
4. The frame is provided with walls extending upward at both ends in the width direction of the frame, and the exhaust duct is provided inside at least one of right and left walls, and the exhaust duct is provided. Has a square cylindrical shape, and the shape of the opening at the opening end of the exhaust duct is such that the vertical side extending in the vertical direction is larger than the horizontal side extending in the width direction. The industrial robot according to claim 3.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011517134A (en) * 2008-04-15 2011-05-26 ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー Clean transfer robot
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