JPH11233520A - 冷却構造 - Google Patents
冷却構造Info
- Publication number
- JPH11233520A JPH11233520A JP10042876A JP4287698A JPH11233520A JP H11233520 A JPH11233520 A JP H11233520A JP 10042876 A JP10042876 A JP 10042876A JP 4287698 A JP4287698 A JP 4287698A JP H11233520 A JPH11233520 A JP H11233520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- cooling pipe
- pipe
- cooling water
- drill hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
(57)【要約】
【課題】熱伝導性を低下させることなく、耐食性の向上
が図れる冷却構造を提供する。 【解決手段】要冷却部２８に冷却管収納導路３０を設
け、該冷却管収納導路に耐食性冷却配管２９を内設し、
該冷却配管と前記冷却管収納導路の間の空隙に良伝熱性
パテ３３を充填し、熱伝導性を低下させることなく、前
記冷却配管の腐食による水漏れの発生を防止する。
が図れる冷却構造を提供する。 【解決手段】要冷却部２８に冷却管収納導路３０を設
け、該冷却管収納導路に耐食性冷却配管２９を内設し、
該冷却配管と前記冷却管収納導路の間の空隙に良伝熱性
パテ３３を充填し、熱伝導性を低下させることなく、前
記冷却配管の腐食による水漏れの発生を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
於いて冷却が必要とされる部位に形成される冷却構造に
関するものである。
於いて冷却が必要とされる部位に形成される冷却構造に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程には被処理基板を高温下
で加熱する工程があり、加熱を行う装置の１つに熱処理
炉がある。該熱処理炉は常時高温に保たれており、該熱
処理炉の熱が隣接する非耐熱性の部位等に伝達すると、
該部位等が劣化し、交換が必要となる等頻繁に保守作業
しなければならない等、半導体製造に悪影響を及ぼす虞
れがある。その為、半導体製造装置は、非耐熱性の部位
等の要冷却部を冷却する為の冷却構造を有している。
で加熱する工程があり、加熱を行う装置の１つに熱処理
炉がある。該熱処理炉は常時高温に保たれており、該熱
処理炉の熱が隣接する非耐熱性の部位等に伝達すると、
該部位等が劣化し、交換が必要となる等頻繁に保守作業
しなければならない等、半導体製造に悪影響を及ぼす虞
れがある。その為、半導体製造装置は、非耐熱性の部位
等の要冷却部を冷却する為の冷却構造を有している。
【０００３】図５〜図８に於いて、従来の冷却構造を説
明する。
明する。
【０００４】図中、１は要冷却部の側壁であり、該側壁
１はアルミニウム製で偏平な直方体から円柱形状の空洞
部５を刳抜いた形状を成している。
１はアルミニウム製で偏平な直方体から円柱形状の空洞
部５を刳抜いた形状を成している。
【０００５】前記側壁１の内部には、上下２段で全周に
亘り冷却水路８が形成され、該冷却水路８の上流端、下
流端にはそれぞれステンレス製の継手９，１０が螺着さ
れ、該継手９，１０を介して前記冷却水路８は外部の冷
却水供給管１１、冷却水排出管１２とそれぞれ接続され
ている。又、前記冷却水路８は以下の様に鍛造にて形成
される。
亘り冷却水路８が形成され、該冷却水路８の上流端、下
流端にはそれぞれステンレス製の継手９，１０が螺着さ
れ、該継手９，１０を介して前記冷却水路８は外部の冷
却水供給管１１、冷却水排出管１２とそれぞれ接続され
ている。又、前記冷却水路８は以下の様に鍛造にて形成
される。
【０００６】前記側壁１の第１側面１３の端部から第１
ドリル穴１４を先端が対向する第３側面１５の近傍に到
達する様、前記第１側面１３に隣接する第２側面１６と
平行に穿設する。前記第２側面１６の第３側面１５側の
端部から第２ドリル穴１７を先端が第４側面１８の近傍
に到達する様穿設し、前記第１ドリル穴１４の先端部と
前記第２ドリル穴１７の基端部とを連通させる。同様に
第３ドリル穴１９を穿設して前記第２ドリル穴１７と連
通させると共に第４ドリル穴２０を穿設して前記第３ド
リル穴１９と連通させる。前記第４ドリル穴２０の先端
は前記第１ドリル穴１４には達せず、該第１ドリル穴１
４の近傍で該第１ドリル穴１４と平行に穿設された第５
ドリル穴２１と連通させる。前記第２ドリル穴１７の開
口部、第３ドリル穴１９の開口部、第４ドリル穴２０の
開口部はそれぞれメクラ栓２２により閉塞される。而し
て、前記第１ドリル穴１４、第２ドリル穴１７、第３ド
リル穴１９、第４ドリル穴２０、第５ドリル穴２１によ
り前記空洞部５を囲繞する前記冷却水路８が形成され
る。
ドリル穴１４を先端が対向する第３側面１５の近傍に到
達する様、前記第１側面１３に隣接する第２側面１６と
平行に穿設する。前記第２側面１６の第３側面１５側の
端部から第２ドリル穴１７を先端が第４側面１８の近傍
に到達する様穿設し、前記第１ドリル穴１４の先端部と
前記第２ドリル穴１７の基端部とを連通させる。同様に
第３ドリル穴１９を穿設して前記第２ドリル穴１７と連
通させると共に第４ドリル穴２０を穿設して前記第３ド
リル穴１９と連通させる。前記第４ドリル穴２０の先端
は前記第１ドリル穴１４には達せず、該第１ドリル穴１
４の近傍で該第１ドリル穴１４と平行に穿設された第５
ドリル穴２１と連通させる。前記第２ドリル穴１７の開
口部、第３ドリル穴１９の開口部、第４ドリル穴２０の
開口部はそれぞれメクラ栓２２により閉塞される。而し
て、前記第１ドリル穴１４、第２ドリル穴１７、第３ド
リル穴１９、第４ドリル穴２０、第５ドリル穴２１によ
り前記空洞部５を囲繞する前記冷却水路８が形成され
る。
【０００７】前記冷却水供給管１１を介して前記冷却水
路８に冷却水が流入し、該冷却水路８を循環して前記冷
却水排出管１２を介して流出する。冷却水は前記冷却水
路８を流通する過程で、該冷却水路８の壁面を介して前
記側壁１から抜熱して前記空洞部５を冷却する。
路８に冷却水が流入し、該冷却水路８を循環して前記冷
却水排出管１２を介して流出する。冷却水は前記冷却水
路８を流通する過程で、該冷却水路８の壁面を介して前
記側壁１から抜熱して前記空洞部５を冷却する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の冷却構
造では、前記冷却水路８中に市水を流通させると、市水
中に含有される塩素イオン２４によりアルミニウム製の
前記側壁１に孔食が発生し、薄肉部分から水漏れが生じ
る虞れがあった。
造では、前記冷却水路８中に市水を流通させると、市水
中に含有される塩素イオン２４によりアルミニウム製の
前記側壁１に孔食が発生し、薄肉部分から水漏れが生じ
る虞れがあった。
【０００９】又、前記継手９，１０は耐食性、耐久性等
の理由から前述した様にステンレス製である為、図８で
示される様に、前記冷却水路８と継手９，１０との接続
部分で異種金属接触に伴い電位が発生し、電界腐食が進
行し、接触部分から水漏れが生じる虞れがあった。又、
電界腐食を防止する為、前記冷却水路８と継手９，１０
とが直接接しない様に該継手９，１０にシールテープを
巻設することも行われているが、前記冷却水路８と継手
９，１０の接続作業中、シールテープに損傷が生じた
り、或はシールテープの巻付けが不完全であったりする
と、前記冷却水路８と継手９，１０との間で金属接触が
生じることがあり、電界腐食を完全に防止することはで
きなかった。
の理由から前述した様にステンレス製である為、図８で
示される様に、前記冷却水路８と継手９，１０との接続
部分で異種金属接触に伴い電位が発生し、電界腐食が進
行し、接触部分から水漏れが生じる虞れがあった。又、
電界腐食を防止する為、前記冷却水路８と継手９，１０
とが直接接しない様に該継手９，１０にシールテープを
巻設することも行われているが、前記冷却水路８と継手
９，１０の接続作業中、シールテープに損傷が生じた
り、或はシールテープの巻付けが不完全であったりする
と、前記冷却水路８と継手９，１０との間で金属接触が
生じることがあり、電界腐食を完全に防止することはで
きなかった。
【００１０】本発明は斯かる実情に鑑み、熱伝導性を低
下させることなく、耐食性の向上が図れる冷却構造を提
供しようとするものである。
下させることなく、耐食性の向上が図れる冷却構造を提
供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、要冷却部に冷
却管収納導路を設け、該冷却管収納導路に耐食性冷却配
管を内設し、該冷却配管と前記冷却管収納導路との間の
空隙に良伝熱性パテを充填した冷却構造に係り、又前記
パテが要冷却部母材材質と同一又は同等の粉末を含有す
る冷却構造に係り、更に又前記冷却配管に該冷却配管と
同材質の継手を介して外部配管と接続した冷却構造に係
り、熱伝導性を低下させることなく、前記冷却配管の腐
食による水漏れの発生を防止する。
却管収納導路を設け、該冷却管収納導路に耐食性冷却配
管を内設し、該冷却配管と前記冷却管収納導路との間の
空隙に良伝熱性パテを充填した冷却構造に係り、又前記
パテが要冷却部母材材質と同一又は同等の粉末を含有す
る冷却構造に係り、更に又前記冷却配管に該冷却配管と
同材質の継手を介して外部配管と接続した冷却構造に係
り、熱伝導性を低下させることなく、前記冷却配管の腐
食による水漏れの発生を防止する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１、図２を参照しつつ本
発明の実施の形態を説明する。尚、図１、図２中、図５
〜図８中で示したものと同等のものには同符号を付し説
明は省略する。
発明の実施の形態を説明する。尚、図１、図２中、図５
〜図８中で示したものと同等のものには同符号を付し説
明は省略する。
【００１３】側壁２８には上面側から溝３０が外周面に
沿って空洞部５を囲繞する様に刻設されている。該溝３
０の断面は円形のステンレス製冷却配管２９が内設可能
な幅と深さを有し、該溝３０の一開口端３１は外周面に
開口し、他開口端３２は前記一開口端３１の近傍に開口
している。
沿って空洞部５を囲繞する様に刻設されている。該溝３
０の断面は円形のステンレス製冷却配管２９が内設可能
な幅と深さを有し、該溝３０の一開口端３１は外周面に
開口し、他開口端３２は前記一開口端３１の近傍に開口
している。
【００１４】前記溝３０には全周に亘り前記冷却配管２
９が内設され、該冷却配管２９の一端は前記一開口端３
１より突出し、前記冷却配管２９の他端は前記他開口端
３２より突出している。前記冷却配管２９と前記溝３０
の内面との間の隙間はペースト状のアルミニウム粉末の
パテ３３で充填する。前記冷却配管２９の突出端にはそ
れぞれステンレス製の継手３４，３５を螺着し、該継手
３４，３５を介して外部冷却水供給管３６、外部冷却水
排出管３７を接続する。
９が内設され、該冷却配管２９の一端は前記一開口端３
１より突出し、前記冷却配管２９の他端は前記他開口端
３２より突出している。前記冷却配管２９と前記溝３０
の内面との間の隙間はペースト状のアルミニウム粉末の
パテ３３で充填する。前記冷却配管２９の突出端にはそ
れぞれステンレス製の継手３４，３５を螺着し、該継手
３４，３５を介して外部冷却水供給管３６、外部冷却水
排出管３７を接続する。
【００１５】前記側壁２８の下面側にも上面側と同様
に、溝、冷却配管、アルミニウム粉末のパテ、継手、冷
却水供給管、冷却水排出管（いずれも図示せず）がそれ
ぞれ設けられている。
に、溝、冷却配管、アルミニウム粉末のパテ、継手、冷
却水供給管、冷却水排出管（いずれも図示せず）がそれ
ぞれ設けられている。
【００１６】以下、作用について説明する。
【００１７】前記外部冷却水供給管３６を介して前記冷
却配管２９に冷却水が供給され、該冷却配管２９内に冷
却水を循環させる。冷却水は前記冷却配管２９を流通す
る過程で、該冷却配管２９の内面及び前記アルミニウム
粉末のパテ３３を介して前記側壁２８から抜熱して前記
空洞部５を冷却する。前記冷却配管２９と溝３０との間
は前記アルミニウム粉末のパテ３３で充填されている
為、前記空洞部５から前記冷却配管２９への熱伝導性が
低下することはない。又、前記冷却配管２９及び継手３
４，３５は共にステンレス製である為、前記冷却配管２
９と継手３４，３５との間で電位が生じ電界腐食が発生
することがない。
却配管２９に冷却水が供給され、該冷却配管２９内に冷
却水を循環させる。冷却水は前記冷却配管２９を流通す
る過程で、該冷却配管２９の内面及び前記アルミニウム
粉末のパテ３３を介して前記側壁２８から抜熱して前記
空洞部５を冷却する。前記冷却配管２９と溝３０との間
は前記アルミニウム粉末のパテ３３で充填されている
為、前記空洞部５から前記冷却配管２９への熱伝導性が
低下することはない。又、前記冷却配管２９及び継手３
４，３５は共にステンレス製である為、前記冷却配管２
９と継手３４，３５との間で電位が生じ電界腐食が発生
することがない。
【００１８】尚、上記実施の形態に於いては、前記冷却
配管２９を前記溝３０に内設させているが、該冷却配管
２９を図３及び図４に示す様にアルミニウム製の部材３
８に穿設した孔３９に内設させる等、他の要冷却部に設
けられた冷却管収納導路に内設させてもよい。又、前記
冷却配管２９と前記溝３０の内面との間の隙間はペース
ト状のアルミニウム粉末のパテ３３で充填しているが、
良伝熱性パテであれば他の材質であってもよい。更に、
図１の様に前記溝３０を刻設する工法の場合、水路の平
面形状は前記空洞部５と同心円とする等、自在に選択で
きる。
配管２９を前記溝３０に内設させているが、該冷却配管
２９を図３及び図４に示す様にアルミニウム製の部材３
８に穿設した孔３９に内設させる等、他の要冷却部に設
けられた冷却管収納導路に内設させてもよい。又、前記
冷却配管２９と前記溝３０の内面との間の隙間はペース
ト状のアルミニウム粉末のパテ３３で充填しているが、
良伝熱性パテであれば他の材質であってもよい。更に、
図１の様に前記溝３０を刻設する工法の場合、水路の平
面形状は前記空洞部５と同心円とする等、自在に選択で
きる。
【００１９】更に又、上記実施の形態に於いては冷却配
管について述べたが、加熱配管等他の用途の配管にも実
施可能であることは言う迄もない。
管について述べたが、加熱配管等他の用途の配管にも実
施可能であることは言う迄もない。
【００２０】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、冷却配
管が耐食性を有するので、市水を流通させても市水中の
塩素イオンにより孔食が発生し、薄肉部分から水漏れが
生じる虞れがない。
管が耐食性を有するので、市水を流通させても市水中の
塩素イオンにより孔食が発生し、薄肉部分から水漏れが
生じる虞れがない。
【００２１】又、水路中に異種金属同士が接触する部分
がない為、電界腐食の発生による水漏れが生じる虞れが
ない。
がない為、電界腐食の発生による水漏れが生じる虞れが
ない。
【００２２】更に、水路は冷却配管と冷却管収納導路と
の間をパテで充填して形成される為、該冷却管収納導路
の加工精度を高める必要がなく、又、要冷却部の鍛造時
に冷却配管を内設するという手間の掛かる作業を行う必
要がない。従って、製作が容易となり、作業の簡素化が
図れる等種々の優れた効果を発揮する。
の間をパテで充填して形成される為、該冷却管収納導路
の加工精度を高める必要がなく、又、要冷却部の鍛造時
に冷却配管を内設するという手間の掛かる作業を行う必
要がない。従って、製作が容易となり、作業の簡素化が
図れる等種々の優れた効果を発揮する。
【図１】本発明の実施の形態を示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】本発明の他の実施の形態を示す断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ矢視図である。
【図５】従来例を示す断面図である。
【図６】図５のＣ部拡大図である。
【図７】図６のＤ部拡大図である。
【図８】従来例に於いて、孔食が発生した冷却水路を示
す部分断面図である。
す部分断面図である。
２８ 側壁 ２９ 冷却配管 ３０ 溝 ３４ 継手 ３５ 継手 ３６ 外部冷却水供給管 ３７ 外部冷却水排出管 ３８ 部材 ３９ 孔
Claims (2)
- 【請求項１】 要冷却部に冷却管収納導路を設け、該冷
却管収納導路に耐食性冷却配管を内設し、該冷却配管と
前記冷却管収納導路の間の空隙に良伝熱性パテを充填し
たことを特徴とする冷却構造。 - 【請求項２】 前記冷却配管に該冷却配管と同材質の継
手を介して外部配管と接続した請求項１の冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10042876A JPH11233520A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10042876A JPH11233520A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 冷却構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233520A true JPH11233520A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12648254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10042876A Pending JPH11233520A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11233520A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010219363A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板熱処理装置 |
| JPWO2013051713A1 (ja) * | 2011-10-05 | 2015-03-30 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
| JP2015106667A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 太平洋セメント株式会社 | 基板載置装置 |
-
1998
- 1998-02-09 JP JP10042876A patent/JPH11233520A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010219363A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板熱処理装置 |
| JPWO2013051713A1 (ja) * | 2011-10-05 | 2015-03-30 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
| JP2015106667A (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-08 | 太平洋セメント株式会社 | 基板載置装置 |
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