JPH11232627A - Substrate for information record medium - Google Patents

Substrate for information record medium

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JPH11232627A
JPH11232627A JP9357578A JP35757897A JPH11232627A JP H11232627 A JPH11232627 A JP H11232627A JP 9357578 A JP9357578 A JP 9357578A JP 35757897 A JP35757897 A JP 35757897A JP H11232627 A JPH11232627 A JP H11232627A
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glass
recording medium
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chemical strengthening
information recording
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate, for an information recording medium, which can deal with the high-speed rotation of a drive and with the thin shape and the high recording density of the record medium and whose reliability is high, to provide a glass, for chemical reinforcement, which is used for the substrate and to provide a magnetic disk which uses the substrate. SOLUTION: A substrate for an information record medium is composed of a chemically reinforced glass obtained from a glass, for chemical reinforcement in which the total content of SiO2 , Al2 O3 and R2 O (where R represents an alkaline metal) exceeds 98 wt. % and whose specific mudulus of elasticity is at 30×10<2> or higher. In a magnetic disk, at least a magnetic layer is formed on the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体用基
板、それに用いる化学強化用ガラスと化学強化ガラスお
よび該基板を用いた磁気ディスクに関する。さらに詳し
くは、本発明は、駆動装置の高速回転化および記録媒体
の薄型化や高記録密度化などに対応できる信頼性の高い
情報記録媒体用基板、この基板の製造に用いる化学強化
用ガラスおよびこれを化学強化して得られた該基板を構
成する化学強化ガラス、並びに該情報記録媒体用基板を
用いた信頼性の高い磁気ディスクに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for an information recording medium, a chemically strengthened glass and a chemically strengthened glass used for the substrate, and a magnetic disk using the substrate. More specifically, the present invention relates to a highly reliable information recording medium substrate capable of coping with high-speed rotation of a driving device and thinning and high recording density of a recording medium, glass for chemical strengthening used in the production of this substrate, and The present invention relates to a chemically strengthened glass constituting the substrate obtained by chemically strengthening the glass, and a highly reliable magnetic disk using the information recording medium substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、エレクトロニクス技術、特にコン
ピュータに代表される情報関連技術の進展に伴い、磁気
ディスク、光ディスク、光磁気ディスクなどの情報記録
媒体の需要は急速に伸びている。このような情報記録媒
体に用いられる基板の材料としては、プラスチックや無
機ガラスが知られているが、プラスチックからなる基板
は温度や湿度などの環境の変化に伴ない、反りや面振れ
が生じるなど、寸法安定性に劣るという欠点を有するこ
とから、最近では無機ガラス、特に化学強化ガラスが注
目され、情報記録媒体用基板への応用が試みられてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, demand for information recording media such as a magnetic disk, an optical disk, and a magneto-optical disk has been rapidly increasing with the development of electronics technology, particularly information-related technology represented by a computer. Plastic and inorganic glass are known as the material of the substrate used for such an information recording medium. However, the plastic substrate is likely to be warped or run out with changes in the environment such as temperature and humidity. Inorganic glass, particularly chemically strengthened glass, has recently attracted attention because of its drawback of poor dimensional stability, and its application to substrates for information recording media has been attempted.

【0003】この化学強化ガラスは、一般に被処理ガラ
ス中に含まれるアルカリ金属よりもイオン半径の大きな
一価のイオンを含有する溶融塩中に、該被処理ガラスを
浸漬することにより、被処理ガラス中のアルカリ金属イ
オンと溶融塩中の一価のイオンとが交換され、化学強化
されたものである。
[0003] The chemically strengthened glass is generally prepared by immersing the glass to be treated in a molten salt containing monovalent ions having a larger ionic radius than the alkali metal contained in the glass to be treated. The alkali metal ions in the molten salt are exchanged for monovalent ions in the molten salt, and are chemically strengthened.

【0004】情報記録媒体用基板などに用いられる上記
被処理ガラス、すなわち化学強化用ガラスとしては、こ
れまで種々のものが開示されている。例えば(1)Si
260.0〜70.0重量%、Al23 0.5.0
〜14.0重量%、R2O(ただし、Rはアルカリ金
属)10.0〜32.0重量%、ZnO 1.0〜1
5.0重量%およびB23 1.1〜14.0重量%を
含有するもの(特公平4−70262号公報)、(2)
SiO2 58〜70重量%、Al23 13〜22重
量%、Li2O 6〜10重量%、Na2O 5〜12重
量%およびZrO2 2〜5重量%を含有するもの(特
開平8−48537号公報)、(3)SiO2 55〜
62重量%、Al23 10〜18重量%、ZrO2
2〜10重量%、MgO 2〜5重量%、BaO 0.
1〜3重量%、Na2O 12〜15重量%、K2O 2
〜5重量%、P25 0〜7重量%およびTiO2
0.5〜5重量%を含有し、かつAl23とTiO2
の合計量が13〜20重量%であるもの(特公平1−1
67245号公報)、(4)SiO2 64〜70重量
%、Al23 14〜20重量%、Li2O 4〜6重
量%、Na2O 7〜10重量%、MgO 0〜4重量
%およびZrO2 0〜1.5重量%を含有するもの
(特公平6−76224号公報)などが開示されてい
る。しかしながら、これらの化学強化用ガラスは、情報
記録媒体の基板用としては、以下に示すようになんらか
の欠点を有し、必ずしも充分に満足しうるものではな
い。
Various glass has been disclosed as the glass to be treated, that is, the glass for chemical strengthening, used for a substrate for an information recording medium or the like. For example, (1) Si
O 2 60.0-70.0 wt%, Al 2 O 3 0.5.0
14.0 wt%, R 2 O (wherein, R is an alkali metal) 10.0 to 32.0 wt%, ZnO 1.0 to 1
5.0 wt% and B 2 O 3 from 1.1 to 14.0 those containing by weight% (KOKOKU 4-70262 JP) (2)
One containing 58 to 70% by weight of SiO 2, 13 to 22% by weight of Al 2 O 3 , 6 to 10% by weight of Li 2 O, 5 to 12% by weight of Na 2 O and 2 to 5% by weight of ZrO 2 8-48537 JP), (3) SiO 2 55~
62 wt%, Al 2 O 3 10~18 wt%, ZrO 2
2 to 10% by weight, MgO 2 to 5% by weight, BaO 0.
1 to 3 wt%, Na 2 O 12~15 wt%, K 2 O 2
5 wt%, P 2 O 5 0~7 wt% and TiO 2
0.5 to 5% by weight, and the total amount of Al 2 O 3 and TiO 2 is 13 to 20% by weight (Japanese Patent Publication No. 1-1)
67245 JP), (4) SiO 2 64~70 wt%, Al 2 O 3 14~20 wt%, Li 2 O 4 to 6 wt%, Na 2 O 7 to 10% by weight, MgO 0 to 4 wt% And ZrO 2 containing 0 to 1.5% by weight (Japanese Patent Publication No. 6-76224). However, these glasses for chemical strengthening have some drawbacks as shown below for substrates of information recording media, and are not always satisfactory.

【0005】情報記録媒体用基板には、平坦性や化学的
耐久性だけでなく、特に最近では、駆動装置の高速回転
化および記録媒体の薄型化や高記録密度化に対応できる
信頼性の高い基板、すなわち、肉薄であっても割れや変
形のない基板が求められている。
[0005] In addition to flatness and chemical durability, a substrate for an information recording medium has high reliability especially capable of coping with high-speed rotation of a driving device and thinning and high recording density of a recording medium. There is a need for a substrate, that is, a substrate that is not cracked or deformed even if it is thin.

【0006】しかしながら、一般に回転速度が上がると
回転時のたわみ量が大きくなり、この傾向はヤング率が
同じであれば、比重が高いものほど顕著になる。前記
(1)の化学強化用ガラスはZnO、BaOなどの高比
重成分を必須成分として含有するものであり、特に公報
における実施例では、これらを比較的多量に含有する比
重の高いガラス組成物であるため、それから得られた化
学強化ガラスを用いて信頼性のある基板を構成すること
は困難である。
However, in general, as the rotation speed increases, the amount of deflection during rotation increases, and this tendency becomes more pronounced as the specific gravity becomes higher if the Young's modulus is the same. The glass for chemical strengthening of the above (1) contains a high specific gravity component such as ZnO or BaO as an essential component. Particularly, in the examples in the publication, a glass composition containing a relatively large amount of such a high specific gravity is used. For this reason, it is difficult to form a reliable substrate using the chemically strengthened glass obtained therefrom.

【0007】また、より高記録密度化するために、ヘッ
ドの浮上高さ(flying height)はますます低くなる傾
向にあり、特に誘導型ヘッドの次世代ヘッドとして期待
されている磁気抵抗効果型ヘッド(MR head)にあっ
ては、その浮上高さは極めて低い。このため、回転時の
たわみや変形・共振はもちろんのこと、ディスク表面の
粗さが大きいとディスク基板とヘッドの接触による破損
や、データの書き込み・読み出し不良など、好ましくな
い事態を将来するおそれがある。この点、前記(2)の
化学強化用ガラスは、必須成分として2重量%以上のZ
rO2を含有するため、表面の平滑な化学強化ガラスが
得られにくい。
Further, the flying height of the head tends to be further reduced in order to achieve a higher recording density. In particular, a magnetoresistive head expected as a next-generation head of an inductive head (MR head) has a very low flying height. For this reason, not only bending, deformation, and resonance during rotation, but also a large surface roughness of the disk may lead to undesired situations such as damage due to contact between the disk substrate and the head and defective data writing / reading in the future. is there. In this regard, the glass for chemical strengthening of the above (2) has a Z component of 2% by weight or more
Since rO 2 is contained, it is difficult to obtain chemically strengthened glass having a smooth surface.

【0008】さらに、情報記録媒体用基板を得るため
に、化学強化用ガラスを化学強化するに際し、従来よ
り、ガラスを変形させることなく強度を向上させるため
に、歪点よりも低い温度で、また、化学強化のためのイ
オン交換処理浴中の溶融塩の分解を避けるために、歪点
よりもさらに低温でイオン交換することが行われてい
る。しかしながら、前記(3)の化学強化用ガラスは、
公報における実施例に示されるように、イオン交換の温
度として480℃以上が必要とされており、したがっ
て、ディスク状基板の変形や、溶融塩の分解が生じるの
を免れない。
Further, when chemically strengthening glass for chemical strengthening in order to obtain a substrate for an information recording medium, conventionally, at a temperature lower than the strain point, in order to improve the strength without deforming the glass, In order to avoid decomposition of a molten salt in an ion exchange treatment bath for chemical strengthening, ion exchange is performed at a temperature lower than the strain point. However, the glass for chemical strengthening of (3) is
As shown in the examples in the gazette, the ion exchange temperature is required to be 480 ° C. or higher, so that the deformation of the disk-shaped substrate and the decomposition of the molten salt are inevitable.

【0009】これに対し、前記(4)の化学強化用ガラ
スにおいては、370℃でイオン交換を行っているが、
公報における実施例によると300μm前後のイオン交
換層を得るために、22時間もの間溶融塩に浸漬するこ
とが必要とされ、イオン交換効率が極めて悪い。このよ
うに、比較的低温でイオン交換処理を行うと、これまで
一般的に処理に長時間を要し、効率的に化学強化処理を
行うことができなかった。
On the other hand, in the glass for chemical strengthening of (4), ion exchange is performed at 370 ° C.
According to the examples in the gazette, in order to obtain an ion exchange layer of about 300 μm, it is necessary to immerse in a molten salt for as long as 22 hours, and the ion exchange efficiency is extremely poor. As described above, when the ion exchange treatment is performed at a relatively low temperature, the treatment generally takes a long time, and the chemical strengthening treatment cannot be performed efficiently.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】このような事情のもと
で、本発明の第1の目的は、効率のよいイオン交換が可
能で、容易に深い歪み層と高い抗折強度を有する化学強
化ガラスを与えることのできる化学強化用ガラスを用い
て得られた、駆動装置の高速回転化および記録媒体の薄
型化や高記録密度化などに対応できる信頼性の高い情報
記録媒体用基板を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Under such circumstances, a first object of the present invention is to provide a chemical strengthening method capable of performing efficient ion exchange, easily having a deep strain layer and a high bending strength. Provided is a highly reliable information recording medium substrate that can be used for high-speed rotation of a drive device, thinning of a recording medium, high recording density, and the like, which is obtained by using glass for chemical strengthening that can provide glass. It is in.

【0011】また、本発明の第2の目的は、前記の優れ
た性能を有する情報記録媒体用基板に用いられ、効率の
よいイオン交換が可能で、容易に深い歪層と高い抗折強
度を有する化学強化ガラスを与える化学強化用ガラスを
提供することにある。
A second object of the present invention is to provide a substrate for an information recording medium having the above-mentioned excellent performance, capable of performing efficient ion exchange, easily providing a deep strain layer and high bending strength. It is an object of the present invention to provide a glass for chemical strengthening that provides a chemically strengthened glass having the same.

【0012】さらに、本発明の第3の目的は、前記情報
記録媒体用基板を用いた磁気ディスクを提供することに
ある。
Further, a third object of the present invention is to provide a magnetic disk using the information recording medium substrate.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、化学強化用ガ
ラスとして、特定の組成や性状を有するものを用いるこ
とにより、その目的を達成しうることを見出し、この知
見に基づいて本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, by using a glass having a specific composition and properties as a glass for chemical strengthening, Have been achieved, and the present invention has been completed based on this finding.

【0014】すなわち、本発明の第1の目的は、SiO
2−Al23−R2O系(ただし、Rはアルカリ金属であ
る)の化学強化用ガラスから得られた化学強化ガラスか
らなる情報記録媒体用基板であって、該化学強化用ガラ
スがSiO2とAl23とR2Oの合計含有量が98重量
%を超え、かつ比弾性率が30×102以上であること
を特徴とする情報記録媒体用基板(以下、情報記録媒体
用基板Iと称す。なお単に基板Iと称することもあ
る。)、並びに組成が、実質上SiO2 61.0〜7
5.0重量%、Al23 10.0〜22.0重量%、
Li2O 4.0〜8.0重量%およびNa2O 10.
1〜15.0重量%である化学強化用ガラスから得られ
た化学強化ガラスからなる情報記録媒体用基板(以下、
情報記録媒体用基板IIと称す。なお単に基板IIと称する
ことがある。)によって達成される。
That is, a first object of the present invention is to use
A substrate for an information recording medium comprising a chemically strengthened glass obtained from a 2- Al 2 O 3 —R 2 O-based (where R is an alkali metal) chemically strengthened glass, wherein the chemically strengthened glass is A substrate for an information recording medium (hereinafter referred to as an information recording medium) having a total content of SiO 2 , Al 2 O 3 and R 2 O of more than 98% by weight and a specific elastic modulus of 30 × 10 2 or more; referred to as a use substrate I. Incidentally may be simply referred to as substrate I.), as well as composition, substantially SiO 2 61.0 to 7
5.0 wt%, Al 2 O 3 from 10.0 to 22.0 wt%,
Li 2 O 4.0 to 8.0 wt% and Na 2 O 10.
A substrate for an information recording medium (hereinafter, referred to as a substrate) made of chemically strengthened glass obtained from 1 to 15.0% by weight.
This is referred to as an information recording medium substrate II. It may be simply referred to as substrate II. ).

【0015】また、本発明の第2の目的は、SiO2
Al23−R2O系(ただし、Rはアルカリ金属であ
る)の化学強化用ガラスであって、SiO2とAl23
とR2Oの合計含有量が98重量%を超え、かつ比弾性
率が30×102以上であることを特徴とする化学強化
用ガラス(以下、化学強化用ガラスIと称す。)、組成
が、実質上SiO2 61.0〜75.0重量%、Al2
3 10.0〜22.0重量%、Li2O 4.0〜
8.0重量%およびNa2O 10.1〜15.0重量
%であることを特徴とする化学強化用ガラス(以下、化
学強化用ガラスIIと称す。)、並びに、上記化学強化用
ガラスI、IIを化学強化処理してなる化学強化ガラス
(以下、それぞれ化学強化ガラスI、IIと称す。)によ
って達成される。
[0015] A second object of the present invention is to provide a SiO 2-
Al 2 O 3 -R 2 O system (wherein, R represents an alkali metal) a chemically strengthened glass for, SiO 2 and Al 2 O 3
And R 2 O total content exceeds 98% by weight of, and the glass for chemical strengthening, wherein the specific elastic modulus is 30 × 10 2 or more (hereinafter referred to as chemically strengthened glass I.), The composition Is substantially 61.0 to 75.0% by weight of SiO 2 and Al 2
O 3 10.0-22.0 wt%, Li 2 O 4.0~
8.0 wt% and Na 2 O from 10.1 to 15.0 glass for chemical strengthening, characterized in that the weight% (hereinafter, referred to as chemically strengthened glass II.), As well as the chemically strengthened glass I , And II are chemically strengthened (hereinafter, referred to as chemically strengthened glasses I and II, respectively).

【0016】さらに、本発明の第3の目的は、前記情報
記録媒体用基板I、IIに、少なくとも磁性層を設けてな
る磁気ディスクによって達成される。
Further, a third object of the present invention is achieved by a magnetic disk having at least a magnetic layer provided on the information recording medium substrates I and II.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】まず、本発明の情報記録媒体用基
板Iに用いられる化学強化用ガラスIについて説明す
る。この化学強化用ガラスIは、SiO2−Al23
2O系(ただし、Rはアルカリ金属である)ガラスで
あって、SiO2とAl23とR2Oの合計含有量が98
重量%を超えることが必要である。この化学強化用ガラ
スにおいて、SiO2はガラス骨格を形成する主要成分
であり、Al23は化学的耐久性を向上させるととも
に、イオン交換を促進させる成分である。また、R2
としては、Li2Oおよび/またはNa2Oが好ましく挙
げられ、特にLi2Oはイオン交換に供するアルカリイ
オンとしては最も好ましい成分である。本発明の化学強
化用ガラスIにおいては、上記SiO2とAl23とR2
Oとの合計含有量が98重量%を超えることにより、比
重が2.45を下回るガラスが得られ、その結果高比弾
性率のものが得られる。またLi2Oおよび/またはN
2Oの合量は15.0〜20.0重量%が好ましい。
その理由は、Li2Oおよび/またはNa2Oの合量が2
0重量%を上回ると、化学的耐久性が劣化し、ガラスの
長期信用性に問題が生じることがあり、逆にNa2Oお
よび/またはLi2Oの合量が15%を下回ると、化学
強化におけるイオン交換性能が低下し、低温、短時間の
化学強化処理では十分に厚い圧縮応力層が得られないこ
とがある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a glass for chemical strengthening I used for a substrate I for an information recording medium according to the present invention will be described. This glass I for chemical strengthening is SiO 2 —Al 2 O 3
R 2 O-based (where R is an alkali metal) glass having a total content of SiO 2 , Al 2 O 3 and R 2 O of 98
It is necessary to exceed by weight. In the glass for chemical strengthening, SiO 2 is a main component for forming a glass skeleton, and Al 2 O 3 is a component for improving chemical durability and promoting ion exchange. In addition, R 2 O
Preferred are Li 2 O and / or Na 2 O, and in particular, Li 2 O is the most preferred component as an alkali ion to be subjected to ion exchange. In the glass for chemical strengthening I of the present invention, the above SiO 2 , Al 2 O 3 and R 2
When the total content with O exceeds 98% by weight, a glass having a specific gravity of less than 2.45 is obtained, and as a result, a glass having a high specific elastic modulus is obtained. Li 2 O and / or N
the total amount of a 2 O is preferably 15.0 to 20.0 wt%.
The reason is that the total amount of Li 2 O and / or Na 2 O is 2
If it exceeds 0% by weight, the chemical durability may deteriorate, and the long-term reliability of the glass may be deteriorated. Conversely, if the total amount of Na 2 O and / or Li 2 O is less than 15%, the chemical durability may decrease. The ion exchange performance in strengthening is reduced, and a sufficiently thick compressive stress layer may not be obtained by low-temperature, short-time chemical strengthening treatment.

【0018】また、この化学強化用ガラスIは、(Li
2O+Na2O)/(SiO2+Al23)重量比0.1
45〜0.33の範囲にあるものが好適である。この重
量比が0.145未満ではガラス粘性が極めて高くな
り、熔解が困難になるおそれがあるし、0.33を超え
るとガラスのヤング率が低下するとともに、結晶化度が
大きくなる傾向がみられる。ガラス粘性、ガラスのヤン
グ率、結晶化度のバランスなどの面から、特に好ましい
重量比は、0.15〜0.25の範囲である。
The glass for chemical strengthening I is (Li
2 O + Na 2 O) / (SiO 2 + Al 2 O 3 ) weight ratio 0.1
Those in the range of 45 to 0.33 are preferred. If the weight ratio is less than 0.145, the viscosity of the glass becomes extremely high, so that melting may be difficult. If the weight ratio exceeds 0.33, the Young's modulus of the glass tends to decrease and the degree of crystallinity tends to increase. Can be A particularly preferable weight ratio is in the range of 0.15 to 0.25 from the viewpoint of the balance of glass viscosity, glass Young's modulus, crystallinity, and the like.

【0019】特に(Li2O+Na2O)/(SiO2
Al23)が0.18以上で、かつNa2O/(Na2
+Li2O)が0.67以上であるとき、化学的耐久
性、耐アルカリ溶出性が一層良好なガラスが得られる。
In particular, (Li 2 O + Na 2 O) / (SiO 2 +
Al 2 O 3 ) is 0.18 or more, and Na 2 O / (Na 2 O
When (+ Li 2 O) is 0.67 or more, a glass having better chemical durability and alkali elution resistance can be obtained.

【0020】さらに、この化学強化用ガラスIにおいて
は、比弾性率が30×102以上であることが必要であ
る。この比弾性率が30×102未満では、信頼性の高
い情報記録媒体用基板が得られにくい。該基板の信頼性
などの点から、好ましい比弾性率は32×102以上で
ある。なお、この比弾性率はヤング率/比重であり、該
ヤング率は後述の方法により測定した値である。
Further, in the glass I for chemical strengthening, it is necessary that the specific elastic modulus is 30 × 10 2 or more. If the specific elastic modulus is less than 30 × 10 2, it is difficult to obtain a highly reliable information recording medium substrate. From the viewpoint of the reliability of the substrate, a preferable specific elastic modulus is 32 × 10 2 or more. In addition, this specific elastic modulus is Young's modulus / specific gravity, and the Young's modulus is a value measured by a method described later.

【0021】この化学強化用ガラスIは、前記性状を有
するものであればよく、各成分の含有量については特に
制限はないが、通常以下に説明する化学強化用ガラスII
の場合と同様である。
The glass for chemical strengthening I may have the above-mentioned properties, and the content of each component is not particularly limited.
Is the same as

【0022】次に、本発明の情報記録媒体用基板IIに用
いられる化学強化用ガラスIIについて説明する。この化
学強化用ガラスIIにおいては、組成は、実質上SiO2
61.0〜75.0重量%、Al23 10.0〜2
2.0重量%、Li2O 4.0〜8.0重量%および
Na2O 10.1〜15.0重量%である。SiO2
前記したようにガラス骨格を形成する主成分であって、
その含有量が61.0重量%未満では耐失透性が低下
し、安定に製造可能なガラスが得られない上、粘性が低
下して成形が困難となり、一方75重量%を超えるとガ
ラスの熔解が困難となる。耐失透性、粘性、成形性など
の面から、好ましいSiO2の含有量は62.0〜7
2.0重量%の範囲である。
Next, the glass for chemical strengthening II used for the substrate II for information recording media of the present invention will be described. In the glass for chemical strengthening II, the composition is substantially SiO 2
61.0 to 75.0 wt%, Al 2 O 3 10.0~2
2.0% by weight, Li 2 O 4.0 to 8.0 wt% and Na 2 O 10.1 to 15.0 wt%. SiO 2 is a main component forming a glass skeleton as described above,
If the content is less than 61.0% by weight, the devitrification resistance is reduced, and a glass that can be manufactured stably cannot be obtained. In addition, the viscosity is reduced and molding is difficult. Melting becomes difficult. From the viewpoints of devitrification resistance, viscosity, moldability and the like, the preferable content of SiO 2 is 62.0 to 7
The range is 2.0% by weight.

【0023】Al23は、前記したように化学的耐久性
を向上させるとともに、イオン交換を促進させる成分で
あって、その含有量が10.0重量%未満では上記効果
が充分に発揮されないし、22.0重量%を超えるとガ
ラスの熔解性および耐失透性が低下する。化学的耐久
性、イオン交換性、ガラスの熔解性、耐失透性のバラン
スなどの面から、好ましいAl23の含有量は13.0
〜20.0重量%の範囲である。
Al 2 O 3 is a component that enhances chemical durability and promotes ion exchange as described above. If its content is less than 10.0% by weight, the above effects are not sufficiently exhibited. However, if it exceeds 22.0% by weight, the melting property and the devitrification resistance of the glass decrease. From the viewpoints of balance of chemical durability, ion exchangeability, glass melting property, and devitrification resistance, the preferable content of Al 2 O 3 is 13.0.
220.0% by weight.

【0024】Li2Oはイオン交換に供するアルカリイ
オンとして、最も好ましい成分であって、その含有量が
4.0重量%未満では化学強化処理した場合に、厚い歪
み層と強度を有する化学強化ガラスが得られにくいし、
8.0重量%を超えると化学的耐久性および耐失透性が
低下する。化学強化ガラスの性能および化学的耐久性、
耐失透性などの面から、好ましいLi2Oの含有量は
4.5〜6.5重量%の範囲である。
Li 2 O is the most preferred component as an alkali ion to be subjected to ion exchange. If its content is less than 4.0% by weight, chemically strengthened glass having a thick strained layer and strength when subjected to chemical strengthening treatment. Is difficult to obtain,
If it exceeds 8.0% by weight, chemical durability and devitrification resistance decrease. The performance and chemical durability of chemically strengthened glass,
From the viewpoint of devitrification resistance and the like, the preferred Li 2 O content is in the range of 4.5 to 6.5% by weight.

【0025】Na2Oは、上記Li2Oと同様に化学強化
ガラスを得るための成分であって、その含有量が10.
1重量%未満では十分な厚みの歪み層を有する化学強化
ガラスが得られにくいし、15.0重量%を超えると化
学的耐久性が低下する。化学強化ガラスの性能および化
学的耐久性などの面から、好ましいNa2Oの含有量は
10.1〜12.0重量%の範囲である。
Na 2 O is a component for obtaining chemically strengthened glass similarly to the above Li 2 O, and its content is 10.
If it is less than 1% by weight, it is difficult to obtain a chemically strengthened glass having a sufficiently thick strained layer, and if it exceeds 15.0% by weight, the chemical durability is reduced. From the viewpoint of the performance and chemical durability of the chemically strengthened glass, the preferable content of Na 2 O is in the range of 10.1 to 12.0% by weight.

【0026】また、所望によりアルカリ成分としてK2
Oを用いてもよいが、このものはイオン交換に関与しな
いため、その含有量は0〜1.0重量%程度である。
If desired, K 2 may be used as an alkaline component.
O may be used, but since it does not participate in ion exchange, its content is about 0 to 1.0% by weight.

【0027】この化学強化用ガラスIIとしては、上記S
iO2とAl23とLi2OとNa2Oの合計含有量が9
8重量%を超えるものが好適である。この合計含有量が
98重量%を超えると比重が2.45を下回り、高比弾
性率のガラスが得られるようになる。化学強化用ガラス
IIにおいては、比弾性率は、通常30×102以上、好
ましくは32×102以上である。
As the glass for chemical strengthening II, the above S
When the total content of iO 2 , Al 2 O 3 , Li 2 O and Na 2 O is 9
Those exceeding 8% by weight are preferred. When the total content exceeds 98% by weight, the specific gravity falls below 2.45, and a glass having a high specific elastic modulus can be obtained. Glass for chemical strengthening
In II, the specific elastic modulus is usually 30 × 10 2 or more, preferably 32 × 10 2 or more.

【0028】この化学強化用ガラスIIにおいては、前記
必須成分のSiO2、Al23、Li2OおよびNa2
と共に、MgO 0〜1.5重量%、CaO 0〜1.
5重量%、ZnO 0〜1.5重量%、ZrO2 0〜
1.5重量%、TiO2 0〜1.5重量%、B23
0〜1.0重量%、Sb23 0〜1.0重量%および
As23 0〜1.0重量%を含有していてもよい。こ
こで、MgO、CaOおよびZnOは、少量の添加によ
りガラスの熔解性を向上させる効果があるが、いずれも
1.5重量%を超えるとイオン交換が阻害され、得られ
る化学強化ガラスの歪み層の厚さが小さくなるので好ま
しくない。また、B23は、少量の添加によりガラスの
熔解性を向上させる効果があるが、1.0重量%を超え
るとイオン交換が阻害され、得られる化学強化ガラスの
歪み層の厚さが小さくなるので好ましくない。
In the glass for chemical strengthening II, the essential components SiO 2 , Al 2 O 3 , Li 2 O and Na 2 O
Together with 0 to 1.5% by weight of MgO and 0 to 1% of CaO.
5% by weight, ZnO 0-1.5% by weight, ZrO 2 0-0
1.5 wt%, TiO 2 0 to 1.5 wt%, B 2 O 3
0-1.0 wt%, may contain Sb 2 O 3 0-1.0% by weight and As 2 O 3 0 to 1.0 wt%. Here, MgO, CaO and ZnO have the effect of improving the meltability of the glass by adding a small amount thereof, but if any of them exceeds 1.5% by weight, the ion exchange is inhibited, and the strained layer of the obtained chemically strengthened glass is obtained. Is undesirably small. Further, B 2 O 3 has an effect of improving the melting property of glass when added in a small amount. However, when it exceeds 1.0% by weight, ion exchange is inhibited, and the thickness of the strained layer of the chemically strengthened glass obtained is reduced. It is not preferable because it becomes smaller.

【0029】一方、ZrO2は、化学強化特性を損なう
ことなく、ガラスの溶融粘性を低下させる効果を有する
が、1.5重量%を超えると比重が大きくなる上、溶融
性が低下してガラスの表面平滑性が悪くなるので、好ま
しくない。TiO2は、少量の添加により、ガラスの熔
解性を向上させる効果があるが、1.5重量%を超える
とイオン交換が阻害され、得られる化学強化ガラスの歪
み層の厚さが小さくなるので好ましくない。
On the other hand, ZrO 2 has the effect of lowering the melt viscosity of the glass without impairing the chemical strengthening properties. Is not preferred, because the surface smoothness of the sample becomes poor. TiO 2 has the effect of improving the meltability of the glass when added in a small amount. However, when it exceeds 1.5% by weight, ion exchange is inhibited and the thickness of the strained layer of the chemically strengthened glass obtained becomes small. Not preferred.

【0030】また、Sb23とAs23は清澄剤であっ
て、いずれも1.0重量%を超えると化学強化特性の劣
化や比重の増加をもたらすので好ましくない。特に、S
23とAs23の合計含有量が0〜1.0重量%の範
囲にあるのがよい。
Further, Sb 2 O 3 and As 2 O 3 are fining agents, and if both exceed 1.0% by weight, it is not preferable because it causes deterioration of chemical strengthening properties and an increase in specific gravity. In particular, S
b 2 a total content of O 3 and As 2 O 3 is good in the range of 0 to 1.0 wt%.

【0031】本発明の化学強化用ガラスIおよびIIにお
いては、高比弾性率のガラスが得られる点から、比重は
2.45以下が好ましく、特に2.43以下が好適であ
る。また、液相温度は、成形性の点から980℃以下が
好ましく、特に930℃以下が好ましい。この液相温度
の測定方法については、後で説明する。さらに、その比
重の2倍重量(g)を平均粒径425〜600μmに粉
末化して、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムとの重量比
6:4の混合塩2kg中に380℃にて4時間浸漬して
イオン交換処理したのち、これを80℃の純水100m
lの処理浴中に24時間浸漬した際、該処理浴のアルカ
リ金属濃度増加量が7.0mg/リットル以下が好まし
く、特に5.3mg/リットル以下が好ましい。このア
ルカリ金属濃度増加量が7.0mg/リットルを超える
と、例えば磁気ディスクを作製した場合、ガラス基板中
のアルカリ金属イオンが磁性膜内に拡散して腐食などを
もたらすおそれがある。
In the glass I and II for chemical strengthening of the present invention, the specific gravity is preferably 2.45 or less, particularly preferably 2.43 or less, from the viewpoint that a glass having a high specific elastic modulus can be obtained. The liquidus temperature is preferably 980 ° C. or lower from the viewpoint of moldability, and particularly preferably 930 ° C. or lower. The method for measuring the liquidus temperature will be described later. Further, a powder having twice the specific gravity (g) having an average particle size of 425 to 600 μm was immersed in 2 kg of a mixed salt of potassium nitrate and sodium nitrate at a weight ratio of 6: 4 at 380 ° C. for 4 hours, and ionized. After the exchange treatment, this was added to 100 m of pure water at 80 ° C.
1 when immersed in a treatment bath for 24 hours, the increase in alkali metal concentration in the treatment bath is preferably 7.0 mg / L or less, particularly preferably 5.3 mg / L or less. If the increase in alkali metal concentration exceeds 7.0 mg / liter, for example, when a magnetic disk is manufactured, alkali metal ions in the glass substrate may diffuse into the magnetic film and cause corrosion.

【0032】従って、アルカリ非溶出性は、情報記録媒
体用基板に対して求められる特性の一つである。アルカ
リ非溶出性は、Al23の含有量および化学強化後の表
面圧縮応力の値と相関があると考えられる。Al2
3は、化学強化の際にアルカリイオン同士の交換性を向
上させる一方で、アルカリイオンが溶出するのを抑制す
る成分である。
Therefore, the alkali non-eluting property is one of the characteristics required for the information recording medium substrate. It is considered that alkali non-elution has a correlation with the content of Al 2 O 3 and the value of surface compressive stress after chemical strengthening. Al 2 O
Reference numeral 3 is a component that improves the exchangeability between alkali ions during chemical strengthening, but suppresses elution of alkali ions.

【0033】また、表面圧縮応力は、化学強化工程でガ
ラス表面層のアルカリ金属イオンが、よりイオン半径の
大きいアルカリ金属イオンに置き換わることにより生じ
る応力であり、ガラス表面層のアルカリ金属イオンの運
動を妨げる作用をするため、この応力が大きいと、ガラ
ス外へのアルカリ金属イオンの溶出が抑制される。
The surface compressive stress is a stress generated when alkali metal ions in the glass surface layer are replaced by alkali metal ions having a larger ionic radius in the chemical strengthening step, and causes the movement of the alkali metal ions in the glass surface layer. If the stress is large, the elution of the alkali metal ion out of the glass is suppressed.

【0034】この点、本発明の化学強化ガラスは、Al
23を比較的多く含有することに加え、各成分の相互作
用により表面圧縮応力も比較的大きいため、アルカリの
溶出性が極めて低く、情報記録媒体用基板を構成したと
きに磁性層内にアルカリ金属が拡散するおそれが極めて
低い。
In this regard, the chemically strengthened glass of the present invention is made of Al
In addition to containing a relatively large amount of 2 O 3 , the surface compressive stress is also relatively large due to the interaction of each component, so that the elution of alkali is extremely low. Extremely low risk of alkali metal diffusion.

【0035】また、本発明の化学強化用ガラスIおよびI
Iとしては、Naイオンおよび/またはKイオンを含有
する処理浴中でイオン交換処理して化学強化した際に、
8時間以内で厚さ80μm以上の歪み層が得られるもの
が、化学強化性に優れる点から好ましく、特に4時間以
内で厚さ80μm以上の歪み層が得られるものが好適で
ある。なお、この歪み層の厚さの測定方法については後
で説明する。
The glass for chemical strengthening I and I of the present invention
As I, when chemically strengthened by ion exchange treatment in a treatment bath containing Na ions and / or K ions,
It is preferable that a strained layer having a thickness of 80 μm or more can be obtained within 8 hours from the viewpoint of excellent chemical strengthening property. In particular, a strained layer having a thickness of 80 μm or more can be obtained within 4 hours. The method for measuring the thickness of the strained layer will be described later.

【0036】化学強化ガラスIおよびIIは、それぞれ前
記の本発明の化学強化用ガラスIおよびIIを化学強化処
理してなるものである。この化学強化処理は、特に制限
はなく、従来公知の方法、例えばNaイオンおよび/ま
たはKイオンを含有する処理浴中で、化学強化用ガラス
IおよびIIをイオン交換処理することにより行うことが
できる。この処理は、がラスの歪点以下の温度で、かつ
溶融塩が分解しない温度で行うことが肝要である。Na
イオンおよび/またはKイオンを含有する処理浴として
は、硝酸ナトリウムおよび/または硝酸カリウムを含有
する処理浴を用いるのが好ましいが、硝酸塩に限定され
るものではなく、硫酸塩、重硫酸塩、炭酸塩、重炭酸
塩、ハロゲン化物を用いても良い。処理浴がNaイオン
を含む場合には、このNaイオンがガラス中のLiイオ
ンとイオン交換し、また処理浴がKイオンを含む場合に
は、このKイオンがガラス中のLiイオンおよびNaイ
オンとイオン交換し、さらに処理浴がNaイオンおよび
Kイオンを含む場合には、これらNaイオンおよびKイ
オンが、ガラス中のLiイオンおよびNaイオンとそれ
ぞれイオン交換する。このイオン交換により、ガラス表
層部のアルカリ金属イオンが、より大きなイオン半径の
アルカリ金属イオンに置き換わり、ガラス表層部に歪み
層が形成され、ガラス表面には圧縮応力、ガラス内部に
は引張応力が形成されることによりガラスが化学強化さ
れる。上述のように本発明の化学強化用ガラスI、II
は、優れたイオン交換性能を有するので、イオン交換に
よって形成された歪み層は深く、抗折強度が高いので、
化学強化ガラスI、IIは優れた耐破壊性を有する。
The chemically strengthened glasses I and II are obtained by chemically strengthening the aforementioned chemically strengthened glasses I and II, respectively. The chemical strengthening treatment is not particularly limited, and may be performed by a conventionally known method, for example, in a treatment bath containing Na ions and / or K ions.
It can be carried out by subjecting I and II to ion exchange treatment. It is important to perform this treatment at a temperature below the strain point of the lath and at a temperature at which the molten salt does not decompose. Na
As the treatment bath containing ions and / or K ions, it is preferable to use a treatment bath containing sodium nitrate and / or potassium nitrate. However, the treatment bath is not limited to nitrate, and may be sulfate, bisulfate, or carbonate. , Bicarbonates and halides may be used. When the treatment bath contains Na ions, the Na ions ion-exchange with Li ions in the glass. When the treatment bath contains K ions, the K ions exchange with Li ions and Na ions in the glass. When the treatment bath contains Na ions and K ions, these Na ions and K ions are ion-exchanged with Li ions and Na ions in the glass, respectively. By this ion exchange, the alkali metal ions on the glass surface layer are replaced by alkali metal ions with a larger ionic radius, a strained layer is formed on the glass surface layer, and a compressive stress is formed on the glass surface and a tensile stress is formed inside the glass. This chemically strengthens the glass. As described above, the chemically strengthened glasses I and II of the present invention
Has excellent ion exchange performance, so the strained layer formed by ion exchange is deep and has high bending strength,
Chemically strengthened glasses I and II have excellent fracture resistance.

【0037】このようにして、本発明の化学強化用ガラ
スIおよびIIを化学強化して得た化学強化ガラスIおよ
びIIにおいては、信頼性のある性能の優れた情報記録媒
体用基板を得るためには、歪み層の厚さが100μm以
上、引張り応力が7.0kg/mm2以下、圧縮応力が
5.0kg/mm2以上であり、かつ抗折強度が45k
g/mm2以上、好ましくは49kg/mm2以上である
のが有利である。
As described above, in the chemically strengthened glasses I and II obtained by chemically strengthening the chemically strengthened glasses I and II of the present invention, a reliable and excellent substrate for an information recording medium can be obtained. Has a strain layer thickness of 100 μm or more, a tensile stress of 7.0 kg / mm 2 or less, a compressive stress of 5.0 kg / mm 2 or more, and a bending strength of 45 k
Advantageously, it is at least g / mm 2 , preferably at least 49 kg / mm 2 .

【0038】すなわち、圧縮応力と引張応力が上記範囲
内にあり、かつ歪み層の厚さが100μm以上のときに
は、化学強化ガラスの断面において、理想的な応力分布
を形成し、自己破壊しにくい化学強化ガラスとなる。
That is, when the compressive stress and the tensile stress are within the above ranges and the thickness of the strained layer is 100 μm or more, an ideal stress distribution is formed in the cross section of the chemically strengthened glass, and the chemical breakdown hardly occurs. It becomes tempered glass.

【0039】また、化学強化ガラスおよびこのガラスか
らなる情報記録媒体用基板は、抗折強度が45kg/m
2以上であり、場合によっては49kg/mm2以上で
あることができる。なお、引張り応力、圧縮応力および
抗折強度の測定方法については後で説明する。
The chemically strengthened glass and the information recording medium substrate made of this glass have a bending strength of 45 kg / m 2.
m 2 or more, and in some cases, 49 kg / mm 2 or more. The methods for measuring the tensile stress, the compressive stress and the bending strength will be described later.

【0040】本発明の情報記録媒体用基板は、前記の化
学強化ガラスから構成されるものである。基板の製造方
法については特に制限はなく、従来公知の方法を用いる
ことができる。例えばダイレクトプレス法により直接デ
ィスク形状に成形するか、あるいはダウンドロー成形
法、フュージョン法、フロート法などにより板状に成形
したのち、ディスク状に加工し、さらに研削処理や研磨
処理を施すことにより、所望のサイズおよび形状を有す
る情報記録媒体用基板が得られる。
The information recording medium substrate of the present invention comprises the above-mentioned chemically strengthened glass. The method for manufacturing the substrate is not particularly limited, and a conventionally known method can be used. For example, by molding directly into a disk shape by direct press method, or by down draw molding method, fusion method, after forming into a plate shape by a float method, etc., then processing into a disk shape, further grinding and polishing treatment, An information recording medium substrate having a desired size and shape is obtained.

【0041】なお、研削、研磨の工程は、通常、大きく
別けて、(1)荒ずり(粗研削)、(2)砂掛け(精研削、ラ
ッピング)、(3)第一研磨(ポリッシュ)、(4)第二研磨
(ファイナル研磨、ポリッシュ)の各工程からなる。こ
れらの精密研磨工程と化学強化ガラスとの相乗効果によ
って、表面粗さ(Ra)は、10オングストローム以下
である情報記録媒体用基板を得ることも可能であり、さ
らには、7オングストローム以下の情報記録媒体用基板
を得ることも可能である。
The steps of grinding and polishing are usually roughly divided into (1) roughing (rough grinding), (2) sanding (fine grinding, lapping), (3) first polishing (polishing), (4) It consists of each step of second polishing (final polishing, polishing). By the synergistic effect of the precision polishing step and the chemically strengthened glass, it is possible to obtain a substrate for an information recording medium having a surface roughness (Ra) of 10 Å or less, and further, to record an information recording medium of 7 Å or less. It is also possible to obtain a medium substrate.

【0042】情報記録媒体用基板としては、必要に応じ
て基板表面にフッ化水素酸と硝酸との混合液よりなる湿
式エッチング処理やアルミニウム等の凹凸膜等を成膜、
あるいはレーザ光、紫外線の照射などの手段で凹凸を付
け、テクスチャリング処理を施してもよい。
As a substrate for an information recording medium, if necessary, a wet etching process using a mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid or a concavo-convex film of aluminum or the like is formed on the substrate surface.
Alternatively, irregularities may be formed by means such as irradiation with laser light or ultraviolet light, and texturing may be performed.

【0043】また、この情報記録媒体用基板としては、
直径2.5インチ以下の規格の情報記録媒体に用いられ
る基板であって、厚さhが1.0mm以下である場合
に、フルフラットに対する変化量の最大値である平坦度
が3.0μm以下であるものが好ましく、さらに、厚さ
hが0.7mm以下であっても、平坦度が2.0μm以
下であるものが好ましい。
Further, as the substrate for the information recording medium,
A substrate used for an information recording medium having a diameter of 2.5 inches or less and having a thickness h of 1.0 mm or less, a flatness which is a maximum value of a change amount with respect to a full flat is 3.0 μm or less. Is preferable, and even when the thickness h is 0.7 mm or less, the flatness is preferably 2.0 μm or less.

【0044】本発明の情報記録媒体用基板は、例えば磁
気ディスク、光磁気ディスク、光ディスクなどの情報記
録媒体の基板として用いられ、特に磁気ディスク用基板
として好適である。この磁気ディスク用基板としては、
特に制限はないが、例えば低浮上型ヘッドに対応する磁
気ディスク用基板や、磁気抵抗効果型(MR)ヘッドま
たは大型磁気抵抗効果型(GMR)ヘッドに対応する磁
気ディスク用基板などが好ましく挙げられる。
The substrate for an information recording medium of the present invention is used as a substrate for an information recording medium such as a magnetic disk, a magneto-optical disk, and an optical disk, and is particularly suitable as a substrate for a magnetic disk. As a substrate for this magnetic disk,
Although there is no particular limitation, for example, a magnetic disk substrate corresponding to a low flying head, a magnetic disk substrate corresponding to a magnetoresistive (MR) head or a large magnetoresistive (GMR) head, and the like are preferably exemplified. .

【0045】本発明の磁気ディスクは、上記磁気ディス
ク用基板に、少なくとも磁性層を設けてなるものであっ
て、所定の平坦度、表面粗さを有する本発明の化学強化
ガラスからなる磁気ディスク用基板上に、通常下地層、
磁性層(記録層)、保護層および潤滑層を順次積層する
ことにより製造することができる。
The magnetic disk of the present invention comprises at least a magnetic layer provided on the above-mentioned magnetic disk substrate, and has a predetermined flatness and surface roughness. On the substrate, usually an underlayer,
It can be manufactured by sequentially laminating a magnetic layer (recording layer), a protective layer and a lubricating layer.

【0046】本発明の磁気ディスクにおける下地層は、
その上に設ける磁性層に応じて、適宜選択される。例え
ば、Coを主成分とする磁性層の場合には、磁気特性向
上等の観点からCr単体やCr合金の下地層とすること
が好ましい。
The underlayer in the magnetic disk of the present invention comprises:
It is appropriately selected according to the magnetic layer provided thereon. For example, in the case of a magnetic layer containing Co as a main component, it is preferable to use an underlayer made of Cr alone or a Cr alloy from the viewpoint of improving magnetic properties.

【0047】下地層としては、例えば、Cr、Mo、T
a、Ti、W、V、B、Alなどの非磁性金属から選ば
れる少なくとも一種の材料からなるものなどが挙げられ
る。下地層は単層とは限らず、同一又は異種の層を積層
した複数層構造とすることもできる。例えば、Cr/C
r、Cr/CrMo、Cr/CrV、CrV/CrV、
Al/Cr/CrMo、Al/Cr/Cr、Al/Cr
/CrV、Al/CrV/CrV等の多層下地層等が挙
げられる。
As the underlayer, for example, Cr, Mo, T
a, a material made of at least one material selected from nonmagnetic metals such as Ti, W, V, B, and Al. The underlayer is not limited to a single layer, and may have a multilayer structure in which the same or different layers are stacked. For example, Cr / C
r, Cr / CrMo, Cr / CrV, CrV / CrV,
Al / Cr / CrMo, Al / Cr / Cr, Al / Cr
/ CrV, Al / CrV / CrV, etc.

【0048】本発明では、ガラス基板と磁性層との間又
は磁性層の上部に、磁気ヘッドと磁気記録媒体が吸着す
ることを防止するための凹凸制御層を設けてもよい。こ
の凹凸制御層を設けることによって、磁気記録媒体の表
面粗さは適度に調整されるので、磁気ヘッドと磁気記録
媒体が吸着することがなくなり、信頼性の高い磁気記録
媒体が得られる。
In the present invention, an unevenness control layer may be provided between the glass substrate and the magnetic layer or above the magnetic layer to prevent the magnetic head and the magnetic recording medium from adsorbing. By providing this unevenness control layer, the surface roughness of the magnetic recording medium is appropriately adjusted, so that the magnetic head and the magnetic recording medium do not stick to each other, and a highly reliable magnetic recording medium can be obtained.

【0049】凹凸制御層の材質及び形成方法は多種知ら
れており、特に制限されないが、上述した本発明の情報
記録媒体用ガラス基板の融点よりも高い融点等を有する
非磁性金属材料等を用いることが好ましい。このような
凹凸制御層の材質としては、例えば、Al、Ag、T
i、Nb、Ta、Bi、Si、Zr、Cr、Cu、A
u、Sn、Pd、Sb、Ge、Mgなどから選ばれる少
なくとも一種以上の金属、又はそれらの合金、あるい
は、それらの酸化物、窒化物、炭化物等が挙げられる。
There are various known materials and methods for forming the concavo-convex control layer, and there is no particular limitation. For example, a non-magnetic metal material having a melting point higher than the melting point of the above-mentioned glass substrate for an information recording medium of the present invention is used. Is preferred. Examples of the material of such an unevenness control layer include Al, Ag, and T.
i, Nb, Ta, Bi, Si, Zr, Cr, Cu, A
At least one or more metals selected from u, Sn, Pd, Sb, Ge, Mg and the like, or alloys thereof, or oxides, nitrides, carbides, and the like thereof are exemplified.

【0050】凹凸制御層の材質としては、形成が容易で
効果があるという観点からは、Al単体やAl合金、酸
化アルミニウム、窒化アルミニウムといったアルミニウ
ムを主成分とする金属化合物であることが望ましい。ま
た、ヘッドスティクションを考慮すると、凹凸制御層の
表面粗さは、Rmax=50〜300オングストロームで
あることが望ましい。より好ましい範囲は、Rmax=1
00〜200オングストロームである。Rmaxが50オ
ングストローム未満の場合、磁気記録媒体表面が平坦に
近いため、磁気ヘッドと磁気記録媒体が吸着し、磁気ヘ
ッドや磁気記録媒体が傷ついてしまったり、吸着による
ヘッドクラッシュを起こすので好ましくない。また、R
maxが300オングストロームを超える場合、グライド
高さ(グライドハイト)が大きくなり記録密度の低下を
招くので好ましくない。
The material of the unevenness control layer is preferably a metal compound containing aluminum as a main component, such as Al alone, an Al alloy, aluminum oxide, and aluminum nitride, from the viewpoint of easy formation and effectiveness. Further, in consideration of head stiction, the surface roughness of the unevenness control layer is desirably Rmax = 50 to 300 Å. A more preferred range is Rmax = 1
00 to 200 angstroms. When Rmax is less than 50 angstroms, the surface of the magnetic recording medium is nearly flat, so that the magnetic head and the magnetic recording medium are attracted, and the magnetic head and the magnetic recording medium may be damaged, or a head crash may occur due to the attracting. Also, R
If max exceeds 300 angstroms, the glide height (glide height) becomes large, which causes a decrease in recording density, which is not preferable.

【0051】本発明の磁気ディスクにおける磁性層の材
料としては特に制限はなく、従来公知のものの中から適
宜選択して用いることができる。この磁性層としては、
例えば、Coを主成分とするCoPt、CoCr、Co
Ni、CoNiCr、CoCrTa、CoPtCr、C
oNiPtや、CoNiCrPt、CoNiCrTa、
CoCrTaPt、CoCrPtSiOなどの磁性薄膜
が挙げられる。磁性層は、磁性膜を非磁性膜(例えば、
Cr、CrMo、CrVなど)で分割してノイズの低減
を図った多層構成(たとえば、CoPtCr/CrMo
/CoPtCr、CoCrTaPt/CrMo/CoC
rTaPtなど)としてもよい。
The material of the magnetic layer in the magnetic disk of the present invention is not particularly limited, and can be appropriately selected from conventionally known materials. As this magnetic layer,
For example, CoPt, CoCr, Co containing Co as a main component
Ni, CoNiCr, CoCrTa, CoPtCr, C
oNiPt, CoNiCrPt, CoNiCrTa,
Magnetic thin films such as CoCrTaPt and CoCrPtSiO can be used. The magnetic layer is formed by converting the magnetic film to a non-magnetic film (for example,
Multi-layer structure (for example, CoPtCr / CrMo) in which noise is reduced by dividing by Cr, CrMo, CrV, etc.
/ CoPtCr, CoCrTaPt / CrMo / CoC
rTaPt).

【0052】磁気抵抗型ヘッド(MRヘッド)又は大型
磁気抵抗型ヘッド(GMRヘッド)対応の磁性層として
は、Co系合金に、Y、Si、希土類元素、Hf、G
e、Sn、Znから選択される不純物元素、又はこれら
の不純物元素の酸化膜を含有させたものなども含まれ
る。
As a magnetic layer corresponding to a magnetoresistive head (MR head) or a large magnetoresistive head (GMR head), Y, Si, rare earth elements, Hf, G
An impurity element selected from e, Sn, and Zn, or an element containing an oxide film of these impurity elements is also included.

【0053】また、磁性層としては、上記の他、フェラ
イト系、鉄−希土類系や、SiO2、BNなどからなる
非磁性膜中にFe、Co、FeCo、CoNiPt等の
磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどであって
もよい。また、磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記
録形式であってもよい。
As the magnetic layer, in addition to the above, magnetic particles such as Fe, Co, FeCo, and CoNiPt are dispersed in a non-magnetic film made of ferrite, iron-rare earth, SiO 2 , BN, or the like. It may be a granular structure or the like. Further, the magnetic layer may have any of an inner surface type and a perpendicular type recording format.

【0054】次に、本発明の磁気ディスクにおける保護
層としては、特に制限はなく、例えば、Cr膜、Cr合
金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げら
れる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにイ
ンライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、
これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは同一又
は異種の膜からなる多層構造としてもよい。
Next, the protective layer in the magnetic disk of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a Cr film, a Cr alloy film, a carbon film, a zirconia film, and a silica film. These protective layers can be continuously formed with an underlayer, a magnetic layer, and the like by an in-line type sputtering apparatus. Also,
These protective layers may be a single layer or a multilayer structure composed of the same or different films.

【0055】本発明では、上記保護層上に、あるいは上
記保護層に替えて、他の保護層を形成してもよい。例え
ば、上記保護層に替えて、Cr膜の上にテトラアルコキ
シランをアルコール系の溶媒で希釈した中に、コロイダ
ルシリカ微粒子を分散して塗布し、さらに焼成して酸化
ケイ素(SiO2)膜を形成してもよい。
In the present invention, another protective layer may be formed on the protective layer or in place of the protective layer. For example, instead of the above-mentioned protective layer, colloidal silica fine particles are dispersed and applied to a Cr film after diluting tetraalkoxylan with an alcohol-based solvent, and then fired to form a silicon oxide (SiO 2 ) film. It may be formed.

【0056】さらに、本発明の磁気ディスクにおける潤
滑層としては、特に制限はなく、例えば、液体潤滑剤で
あるパーフロロポリエーテル(PEPE)をフレオン系
などの溶媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピ
ンコート法、スプレイ法などによって塗布し、必要に応
じて加熱処理を行って形成する。
The lubricating layer in the magnetic disk of the present invention is not particularly limited. For example, perfluoropolyether (PEPE), which is a liquid lubricant, is diluted with a solvent such as Freon, and the surface of the medium is dipped. It is applied by spin coating, spraying, or the like, and is formed by performing heat treatment as necessary.

【0057】[0057]

【実施例】次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明するが、本発明は、これらの例によってなんら限定さ
れるものではない。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0058】なお、化学強化用ガラスおよび化学強化ガ
ラスの物性は次に示す方法に従って求めた。 〈化学強化用ガラス〉 (1)ヤング率 十分にアニールされた20mm×20mm×100mm
の試料を用いて5MHzの超音波の縦波速度を測定し、
次式により算出した。
The physical properties of the chemically strengthened glass and the chemically strengthened glass were determined according to the following methods. <Chemical strengthening glass> (1) Young's modulus 20 mm x 20 mm x 100 mm sufficiently annealed
The longitudinal wave velocity of the 5 MHz ultrasonic wave was measured using
It was calculated by the following equation.

【0059】[0059]

【化1】 (2)比弾性率 比弾性率はヤング率/比重より求めた。 (3)アルカリ溶出量 明細書本文記載の方法(処理浴のアルカリ金属濃度増加
量の測定方法)に従って測定した。 (4)液相温度 ガラス50ccを白金ルツボに入れ、ふたをし、所定の
温度のマッフル炉に24時間保持した後、ガラス表面及
び内部の結晶の有無を100倍顕微鏡を用いて観察し
た。表に記載の温度は、結晶が析出しない最低温度であ
る。
Embedded image (2) Specific elastic modulus The specific elastic modulus was determined from Young's modulus / specific gravity. (3) Alkali elution amount Measured according to the method described in the specification (method of measuring increase in alkali metal concentration in treatment bath). (4) Liquidus temperature 50 cc of glass was placed in a platinum crucible, covered, and kept in a muffle furnace at a predetermined temperature for 24 hours, and then the presence or absence of crystals on the glass surface and inside was observed using a 100-times microscope. The temperature shown in the table is the lowest temperature at which no crystals are precipitated.

【0060】〈化学強化ガラス〉 (1)歪み層厚 東芝社製、精密歪み計を用いバビネ補正法により、表面
からの歪み層の深さを測定した。 (2)抗折強度 厚さ1.5mm、幅25mmの試料(端面#1000仕
上げ)についてスパン50mmの三点曲げ試験により測
定し、各10サンプルの平均値を表に示した。 (3)引張り応力 歪み層厚とともに測定した。 (4)圧縮応力 歪み層厚とともに測定した。
<Chemically Tempered Glass> (1) Strain Layer Thickness The depth of the strain layer from the surface was measured by a Babinet correction method using a precision strain gauge manufactured by Toshiba Corporation. (2) Flexural strength A sample having a thickness of 1.5 mm and a width of 25 mm (end surface # 1000 finish) was measured by a three-point bending test with a span of 50 mm, and the average value of 10 samples was shown in the table. (3) Tensile stress Measured together with the strain layer thickness. (4) Compressive stress Measured together with the strain layer thickness.

【0061】(実施例1〜14、比較例1〜3)表1〜
表3に示す酸化膜組成になるように、ケイ石粉末、水酸
化アルミニウム、アルミナ、炭酸リチウム、炭酸ナトリ
ウム、硝酸ナトリウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシ
ウム、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化チタン、ホウ
酸、酸化アンチモン、亜ヒ酸などを用いて、約2kgの
混合物を調製したのち、白金ルツボ中にて1450〜1
550℃で熔解・清澄後、鉄製型にキャストしてアニー
ルすることにより、化学強化用ガラスを作製した。その
物性を表1〜表3に示す。
(Examples 1 to 14, Comparative Examples 1 to 3)
In order to obtain the oxide film composition shown in Table 3, silica stone powder, aluminum hydroxide, alumina, lithium carbonate, sodium carbonate, sodium nitrate, magnesium carbonate, calcium carbonate, zinc oxide, zirconium oxide, titanium oxide, boric acid, oxide About 2 kg of a mixture was prepared using antimony, arsenic acid, etc., and then placed in a platinum crucible at 1450-1.
After melting and fining at 550 ° C., it was cast into an iron mold and annealed to produce a glass for chemical strengthening. The physical properties are shown in Tables 1 to 3.

【0062】次に、このガラスから25×85×1.5
mmの光学研磨された平板を作製し、化学強化用サンプ
ルとした。次いで、NaNO3とKNO3との重量比4:
6の混合塩を用い、上記化学強化用サンプルを、380
℃にて表1〜表3に示す時間処理して化学強化ガラスを
作製した。このものの物性を表1〜表3に示す。
Next, 25 × 85 × 1.5
An optically polished flat plate having a thickness of 2 mm was prepared and used as a sample for chemical strengthening. Then, the weight ratio of NaNO 3 to KNO 3 was 4:
Using the mixed salt of No. 6, the sample for chemical strengthening was 380
It processed at the temperature for 1 hour shown in Tables 1-3, and produced the chemically strengthened glass. The physical properties of this product are shown in Tables 1 to 3.

【0063】[0063]

【表1】 [Table 1]

【0064】[0064]

【表2】 [Table 2]

【0065】[0065]

【表3】 [Table 3]

【0066】表から明らかなように、実施例の本発明の
化学強化用ガラスは、いずれも比重が2.54以下で、
ヤング率が7500kg/mm2以上、比弾性率が30
×102である。また、上掲の表1〜3および後掲の図
1〜3を勘案すると、本発明の化学強化ガラスは、いず
れも歪み層厚が100μm以上、抗折強度が45kg/
mm2以上、引張り応力が7.0kg/mm2以下、圧縮
応力が5.0kg/mm2以上である。したがって、本
発明の化学強化ガラスから得られた化学強化用ガラス
は、いずれも傷に対して強く、かつ高速回転時の変形や
共振が起こりにくい高い信頼性を有する情報記録媒体用
基板材料として好適であることが分かる。
As is clear from the table, the glasses for chemical strengthening of the present invention of the examples all have specific gravities of 2.54 or less.
Young's modulus is more than 7500 kg / mm 2 , specific elastic modulus is 30
× 10 2 . Further, considering Tables 1 to 3 above and FIGS. 1 to 3 below, the chemically strengthened glass of the present invention has a strain layer thickness of 100 μm or more and a transverse rupture strength of 45 kg /.
mm 2 or more, tensile stress is 7.0 kg / mm 2 or less, and compressive stress is 5.0 kg / mm 2 or more. Therefore, any glass for chemical strengthening obtained from the chemically strengthened glass of the present invention is suitable as a substrate material for an information recording medium, which is highly resistant to scratches and highly resistant to deformation and resonance during high-speed rotation. It turns out that it is.

【0067】また、実施例の本発明の化学強化用ガラス
では、アルカリ溶出量が少ないが、比較例のように、A
23の含有量が少なく、本発明の範囲から外れている
ものや、アルカリ金属酸化膜の含有量が本発明の範囲よ
り多いものは、アルカリ溶出量が多くなっていることが
分かる。このように、アルカリ溶出量が多いと、例えば
磁気ディスクを作製した場合に、ガラス基板中のアルカ
リ金属イオンが磁性膜内に拡散して腐食などをもたらす
おそれがある。
Further, in the glass for chemical strengthening of the present invention of Example, although the amount of alkali elution is small, as in Comparative Example, A
It can be seen that when the content of l 2 O 3 is small and out of the range of the present invention, and when the content of the alkali metal oxide film is larger than the range of the present invention, the alkali elution amount is large. As described above, when the alkali elution amount is large, for example, when a magnetic disk is manufactured, alkali metal ions in the glass substrate may diffuse into the magnetic film and cause corrosion or the like.

【0068】また、実施例6および比較例1、2の化学
強化用ガラスから、25mm×85mm×1.0mmの
研磨された表面をもつ板を作製して化学強化処理したの
ち、断面方向にスライスして測定試料とし、この試料に
ついて、歪み計によって応力分布を測定した。実施例6
の応力分布図を図1に、比較例1の応力分布図を図2
に、比較例2の応力分布図を図3に示す。
Further, a plate having a polished surface of 25 mm × 85 mm × 1.0 mm was prepared from the glass for chemical strengthening of Example 6 and Comparative Examples 1 and 2 and subjected to chemical strengthening treatment, and then sliced in the cross-sectional direction. This was used as a measurement sample, and the stress distribution of this sample was measured with a strain gauge. Example 6
FIG. 1 shows a stress distribution diagram of FIG. 1, and FIG. 2 shows a stress distribution diagram of Comparative Example 1.
FIG. 3 shows a stress distribution diagram of Comparative Example 2.

【0069】この図から、実施例6の本発明の化学強化
用ガラスでは、低温かつ短時間の化学強化処理によっ
て、強い応力と深い歪み層が得られることが分かる。ま
た、ガラス内部の引張り応力が大きすぎないため、わず
かな表面の傷に対して破損する危険性が小さい。
From this figure, it can be seen that in the glass for chemical strengthening of the present invention of Example 6, a strong stress and a deep strain layer can be obtained by low-temperature and short-time chemical strengthening treatment. In addition, since the tensile stress inside the glass is not too large, there is little risk of breakage due to a slight surface scratch.

【0070】一方、比較例1の化学強化用ガラスでは、
アルカリ金属酸化膜成分が少ないためにイオン交換量が
少なく、歪み層の厚さが小さい。また、イオン交換を妨
げる作用を有するアルカリ土類金属酸化膜を多量に含む
ため、ガラス内部に非常に強い引張り応力が発生する。
この結果、高い強度を得ようとするほど、自然破壊の危
険性が高くなるガラスになっている。
On the other hand, in the glass for chemical strengthening of Comparative Example 1,
Since the alkali metal oxide film component is small, the amount of ion exchange is small, and the thickness of the strained layer is small. Further, since a large amount of an alkaline earth metal oxide film having an action of preventing ion exchange is contained, a very strong tensile stress is generated inside the glass.
As a result, a glass that has a higher risk of spontaneous destruction as it seeks to obtain a higher strength is obtained.

【0071】また、比較例2の化学強化用ガラスは、A
23の含有量が少なく、本発明の範囲から外れている
ため、イオン交換が極めて困難である。このため、得ら
れた化学強化ガラスは、表面の圧縮応力が弱く、歪み層
の厚さが小さい。
The glass for chemical strengthening of Comparative Example 2 was A
Since the content of l 2 O 3 is small and out of the range of the present invention, ion exchange is extremely difficult. For this reason, the obtained chemically strengthened glass has low surface compressive stress and a small thickness of the strained layer.

【0072】(実施例15)実施例1で得られた化学強
化ガラスを用い、ダイレクトプレス法で直径2.5イン
チ、厚さ0.8mmに形成した情報記録媒体用基板の両
面に、インライン式のスパッタリング装置を用いて、A
lNのスパッタによるテクスチャー層、CrMo下地
層、CoPtCrTa磁性層、カーボン保護層を順次成
膜して磁気ディスクを得た。
(Example 15) Using the chemically strengthened glass obtained in Example 1, an in-line type was formed on both sides of an information recording medium substrate having a diameter of 2.5 inches and a thickness of 0.8 mm by a direct press method. Using a sputtering apparatus of
A texture layer, a CrMo underlayer, a CoPtCrTa magnetic layer, and a carbon protective layer were sequentially formed by sputtering with 1N to obtain a magnetic disk.

【0073】得られた磁気ディスクについてグライドテ
ストを行ったところ、ヒット(ヘッドが磁気ディスク表
面の突起にかすること)やクラッシュ(ヘッドが磁気デ
ィスク表面の突起に衝突すること)は認められなかっ
た。なお、情報記録媒体用基板の表面粗さ(Ra)は5
オングストロームであり、平坦度は1μmであった。
A glide test was performed on the obtained magnetic disk. As a result, no hit (the head touches a protrusion on the surface of the magnetic disk) or crash (the head collides with the protrusion on the surface of the magnetic disk) was not recognized. . The surface roughness (Ra) of the information recording medium substrate is 5
Angstrom, and the flatness was 1 μm.

【0074】(実施例16)実施例15で用いたのと同
様の情報記録媒体用基板の両面に、Al(膜厚50オン
グストローム)/Cr(1,000オングストローム)
/CrMo(100オングストローム)からなる下地
層、CoPtCr(120オングストローム)/CrM
o(50オングストローム)/CoPtCr(120オ
ングストローム)からなる磁性層、Cr(50オングス
トローム)保護層をインライン型スパッタ装置で形成し
た。
(Example 16) Al (50 angstrom film thickness) / Cr (1,000 angstrom) film was formed on both surfaces of the same information recording medium substrate as used in the fifteenth embodiment.
/ CrMo (100 Å) underlayer, CoPtCr (120 Å) / CrM
A magnetic layer composed of o (50 angstroms) / CoPtCr (120 angstroms) and a protective layer of Cr (50 angstroms) were formed by an in-line type sputtering apparatus.

【0075】上記基板をSiO2粒子(粒径100オン
グストローム)を分散した有機ケイ素化合物溶液(水と
イソプロパノールとテトラエトキシシランとの混合物)
に浸し、焼成することによってSiO2からなるテクス
チャー機能を持った保護層を形成し、さらに、この保護
層上をパーフロロポリエーテルからなる潤滑剤でディッ
プ処理して潤滑層を形成して、MRヘッド用磁気ディス
クを得た。得られた磁気ディスクについてグライドテス
トを行ったところ、ヒットやクラッシュは認められなか
った。また、磁性層等の膜に欠陥が発生していないこと
も確認できた。
An organic silicon compound solution (a mixture of water, isopropanol, and tetraethoxysilane) in which SiO 2 particles (particle diameter: 100 Å) are dispersed on the above substrate
To form a protective layer made of SiO 2 having a texture function by baking and further dip-treating the protective layer with a lubricant made of perfluoropolyether to form a lubricating layer. A magnetic disk for head was obtained. When a glide test was performed on the obtained magnetic disk, no hit or crash was recognized. It was also confirmed that no defect occurred in the film such as the magnetic layer.

【0076】(実施例17)実施例16において、下地
層をAl/Cr/Crとし、磁性層をCoNiCrTa
としたこと以外は実施例16と同様にして磁気ディスク
を得た。この磁気ディスクについて実施例16と同様の
ことが確認された。
(Example 17) In Example 16, the underlayer was made of Al / Cr / Cr, and the magnetic layer was made of CoNiCrTa.
A magnetic disk was obtained in the same manner as in Example 16 except for the above. This magnetic disk was confirmed to be the same as in Example 16.

【0077】[0077]

【発明の効果】本発明によれば、効率のよいイオン交換
が可能で、容易に深い歪み層と高い抗折強度を有する化
学強化ガラスを与えることのできる化学強化用ガラスを
用い、それから得られた化学強化ガラスを基板材料とす
ることにより、駆動装置の高速回転化および記録媒体の
薄型化や高記録密度化などに対応できる信頼性の高い情
報記録媒体用基板が得られる。この情報記録媒体用基板
は、例えば、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基
板、光ディスク用基板として好適である。
According to the present invention, there is provided a glass for chemical strengthening, which enables efficient ion exchange and can easily provide a chemically strengthened glass having a deep strain layer and high bending strength. By using the chemically strengthened glass as the substrate material, a highly reliable information recording medium substrate that can cope with high-speed rotation of the driving device, thinning of the recording medium, and high recording density can be obtained. This information recording medium substrate is suitable, for example, as a magnetic disk substrate, a magneto-optical disk substrate, or an optical disk substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例6の化学強化用ガラスから得られた化学
強化ガラスの1例の応力分布図である。
FIG. 1 is a stress distribution diagram of one example of chemically strengthened glass obtained from the glass for chemical strengthening of Example 6.

【図2】比較例1の化学強化用ガラスから得られた化学
強化ガラスの1例の応力分布図である。
FIG. 2 is a stress distribution diagram of one example of chemically strengthened glass obtained from the glass for chemical strengthening of Comparative Example 1.

【図3】比較例2の化学強化用ガラスから得られた化学
強化ガラスの1例の応力分布図である。
FIG. 3 is a stress distribution diagram of one example of chemically strengthened glass obtained from the glass for chemical strengthening of Comparative Example 2.

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 SiO2−Al23−R2O系(ただし、
Rはアルカリ金属である)の化学強化用ガラスから得ら
れた化学強化ガラスからなる情報記録媒体用基板であっ
て、該化学強化用ガラスが、SiO2とAl23とR2
の合計含有量が98重量%を超え、かつ比弾性率が30
×102以上であることを特徴とする情報記録媒体用基
板。
1. An SiO 2 —Al 2 O 3 —R 2 O system (provided that
R is an alkali metal) is a substrate for an information recording medium comprising a chemically strengthened glass obtained from the glass for chemical strengthening, wherein the glass for chemical strengthening is SiO 2 , Al 2 O 3, and R 2 O.
Is more than 98% by weight and the specific elastic modulus is 30
× 10 2 or more, a substrate for an information recording medium.
【請求項2】 化学強化用ガラスにおけるR2OがLi2
Oおよび/またはNa2Oである請求項1に記載の情報
記録媒体用基板。
2. In the glass for chemical strengthening, R 2 O is Li 2
O and / or Na 2 O a substrate for information recording medium according to claim 1.
【請求項3】 Li2O+Na2Oの合計量が、15.0
〜20.0重量%であることを特徴とする請求項2に記
載の情報記録媒体用基板。
3. The total amount of Li 2 O + Na 2 O is 15.0.
3. The substrate for an information recording medium according to claim 2, wherein the amount is from 2 to 20.0% by weight.
【請求項4】 化学強化用ガラスが、(Li2O+Na2
O)/(SiO2+Al23)重量比0.145〜0.
33のものである請求項2に記載の情報記録媒体用基
板。
4. The glass for chemical strengthening is (Li 2 O + Na 2
O) / (SiO 2 + Al 2 O 3 ) weight ratio 0.145-0.
33. The information recording medium substrate according to claim 2, wherein the substrate is 33.
【請求項5】 組成が、実質上SiO2 61.0〜7
5.0重量%、Al23 10.0〜22.0重量%、
Li2O 4.0〜8.0重量%およびNa2O 10.
1〜15.0重量%である化学強化用ガラスから得られ
た化学強化ガラスからなることを特徴とする情報記録媒
体用基板。
5. The composition according to claim 5, wherein the composition is substantially SiO 2 61.0-7.
5.0 wt%, Al 2 O 3 from 10.0 to 22.0 wt%,
Li 2 O 4.0 to 8.0 wt% and Na 2 O 10.
An information recording medium substrate comprising a chemically strengthened glass obtained from a glass for chemical strengthening of 1 to 15.0% by weight.
【請求項6】 化学強化用ガラスの組成が、実質上Si
2 62.0〜72.0重量%、Al23 13.0
〜20.0重量%、Li2O 4.5〜6.5重量%お
よびNa2O 10.1〜12.0重量%である請求項
5に記載の情報記録媒体用基板。
6. The chemical strengthening glass composition is substantially Si
O 2 62.0-72.0 wt%, Al 2 O 3 13.0
6. The information recording medium substrate according to claim 5, wherein the content of Li 2 O is 4.5 to 6.5 wt% and Na 2 O is 10.1 to 12.0 wt%.
【請求項7】 化学強化用ガラスが、液相温度980℃
以下のものである請求項1〜6のいずれか1項に記載の
情報記録媒体用基板。
7. The glass for chemical strengthening has a liquidus temperature of 980 ° C.
The information recording medium substrate according to claim 1, wherein the substrate is:
【請求項8】 化学強化用ガラスが、その比重の2倍重
量(g)を平均粒径425〜600μmに粉末化して、
硝酸カリウムと硝酸ナトリウムとの重量比6:4の混合
塩2kg中に380℃にて4時間浸漬してイオン交換処
理したのち、これを80℃の純水100mlの処理浴中
に24時間浸漬した際、該処理浴のアルカリ金属濃度増
加量が7.0mg/リットル以下のものである請求項1
〜7のいずれか1項に記載の情報記録媒体用基板。
8. The glass for chemical strengthening is pulverized to a weight twice as large as its specific gravity (g) to an average particle size of 425 to 600 μm,
After immersing in 2 kg of a mixed salt of potassium nitrate and sodium nitrate at a weight ratio of 6: 4 for 4 hours at 380 ° C. for 4 hours, and then immersing it in a treatment bath of 100 ml of pure water at 80 ° C. for 24 hours. 2. The treatment bath according to claim 1, wherein the amount of increase in alkali metal concentration is 7.0 mg / liter or less.
8. The information recording medium substrate according to any one of items 7 to 7.
【請求項9】 化学強化用ガラスが、Naイオンおよび
/またはKイオンを含有する処理浴中でイオン交換処理
して化学強化した際に、8時間以内で厚さ80μm以上
の歪み層が得られるものである請求項1〜8のいずれか
1項に記載の情報記録媒体用基板。
9. When the glass for chemical strengthening is chemically strengthened by ion exchange in a treatment bath containing Na ions and / or K ions, a strained layer having a thickness of 80 μm or more can be obtained within 8 hours. The information recording medium substrate according to any one of claims 1 to 8, wherein
【請求項10】 表面粗さ(Ra)が10オングストロ
ーム以下である化学強化ガラスからなる請求項1〜9の
いずれか1項に記載の情報記録媒体用基板。
10. The information recording medium substrate according to claim 1, comprising a chemically strengthened glass having a surface roughness (Ra) of 10 Å or less.
【請求項11】 SiO2−Al23−R2O系(ただ
し、Rはアルカリ金属である)の化学強化用ガラスであ
って、SiO2とAl23とR2Oの合計含有量が98重
量%を超え、かつ比弾性率が30×102以上であるこ
とを特徴とする化学強化用ガラス。
11. A glass for chemical strengthening of the SiO 2 —Al 2 O 3 —R 2 O system (where R is an alkali metal), wherein a total content of SiO 2 , Al 2 O 3 and R 2 O is contained. Glass for chemical strengthening characterized in that the amount exceeds 98% by weight and the specific elastic modulus is 30 × 10 2 or more.
【請求項12】 組成が、実質上SiO2 61.0〜
75.0重量%、Al23 10.0〜22.0重量
%、Li2O 4.0〜8.0重量%およびNa2O 1
0.1〜15.0重量%であることを特徴とする化学強
化用ガラス。
12. The composition according to claim 5, wherein the composition is substantially SiO 2
75.0 wt%, Al 2 O 3 10.0~22.0 wt%, Li 2 O 4.0 to 8.0 wt% and Na 2 O 1
Glass for chemical strengthening characterized by being 0.1 to 15.0% by weight.
【請求項13】 請求項1〜10のいずれか一項に記載
の情報記録媒体用基板に、少なくとも磁性層を設けてな
る磁気ディスク。
13. A magnetic disk comprising at least a magnetic layer provided on the information recording medium substrate according to claim 1. Description:
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