JPH11231234A - Reflection mirror - Google Patents
Reflection mirrorInfo
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- JPH11231234A JPH11231234A JP4618598A JP4618598A JPH11231234A JP H11231234 A JPH11231234 A JP H11231234A JP 4618598 A JP4618598 A JP 4618598A JP 4618598 A JP4618598 A JP 4618598A JP H11231234 A JPH11231234 A JP H11231234A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光学機器等に設け
られる反射鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflecting mirror provided in an optical device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来凹面反射鏡、凸面反射鏡等は、硝子
やプラスチック材料の表面を例えば研摩することによっ
て所定の曲率に成形し、その表面にアルミニウムあるい
は銀等の金属を蒸着させることによって製作されてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, concave reflecting mirrors, convex reflecting mirrors, and the like are manufactured by shaping the surface of glass or plastic material into a predetermined curvature by, for example, polishing, and depositing a metal such as aluminum or silver on the surface. Have been.
【０００３】一方近年、ＤＭＤ（商品名。ディジタル・
マイクロミラー・デバイスの略称。）が開発されてい
る。ＤＭＤは、一辺が約１６μｍのマイクロミラーを多
数格子状に２次元的に配置して構成される。各マイクロ
ミラーは２つの方向に傾斜可能であり、その傾斜方向
は、各マイクロミラーの直下に設けられたメモリ素子に
よる静電界作用によって変化する。すなわち静電気力を
受けているマイクロミラーが第１の傾斜方向に傾斜して
いるとすると、静電気力を受けていないマイクロミラー
は第２の傾斜方向に傾斜する。On the other hand, in recent years, DMD (trade name; digital
Abbreviation for micromirror device. ) Has been developed. The DMD is configured by two-dimensionally arranging a large number of micromirrors each having a side of about 16 μm in a lattice shape. Each micromirror can be tilted in two directions, and the tilt direction is changed by an electrostatic field effect of a memory element provided immediately below each micromirror. That is, assuming that the micromirror receiving the electrostatic force is tilted in the first tilt direction, the micromirror not receiving the electrostatic force tilts in the second tilt direction.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】例えばＯＨＰ装置等の
投影装置の場合、拡大表示をする際には、投影光学系を
構成する複数のレンズ群や反射鏡の光軸方向の相対位置
を変更して焦点距離を変化させ、像倍率を変化させてい
る。一方、光源の周辺に配置されている反射鏡や投影光
学系の一部を構成する反射鏡の形状は不変であり、この
ような焦点距離等の光学系の特性を変化させると、光源
からの光の利用効率が悪化したり、光学特性を低下させ
るという問題がある。投影光学系の焦点距離変化に対応
して、理想的な形状の反射鏡を取り替えることも考えら
れるが、これは作業が煩雑になって実用的ではない。こ
のため従来、反射鏡の形状の変化が可能な反射鏡の開発
が望まれていた。For example, in the case of a projection apparatus such as an OHP apparatus, when enlarging and displaying an image, the relative positions of a plurality of lens groups and reflecting mirrors constituting the projection optical system in the optical axis direction are changed. The focal length is changed to change the image magnification. On the other hand, the shape of the reflecting mirror disposed around the light source and the reflecting mirror forming a part of the projection optical system is not changed. There is a problem that light use efficiency is deteriorated and optical characteristics are deteriorated. It is conceivable to replace the reflecting mirror having an ideal shape in response to a change in the focal length of the projection optical system, but this is not practical because the work becomes complicated. For this reason, conventionally, there has been a demand for the development of a reflector capable of changing the shape of the reflector.
【０００５】本発明は、例えばＤＭＤ等の光学素子を用
いて、形状を瞬時に変化させることができる反射鏡を提
供することを目的としている。An object of the present invention is to provide a reflecting mirror whose shape can be instantaneously changed by using an optical element such as a DMD.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に係る反射鏡は、
所定の平面に平行な回転軸の周りに回動自在に設けら
れ、静電気力が作用したとき第１の方向に回動して傾斜
し、静電気力が作用しないとき第１の方向とは逆の第２
の方向に回動して傾斜する複数のミラー要素と、静電気
力のオンオフ状態を制御する手段とを備え、複数のミラ
ー要素は、平面に略平行になるように２次元的に配置さ
れ、かつ第１または第２の方向に傾斜した状態において
入射光を集光または拡散させるように設けられることを
特徴としている。The reflecting mirror according to the present invention comprises:
It is rotatably provided around a rotation axis parallel to a predetermined plane, and turns and tilts in a first direction when an electrostatic force acts, and is opposite to the first direction when no electrostatic force acts. Second
A plurality of mirror elements that rotate and tilt in the direction of, and a unit that controls the on / off state of the electrostatic force. The plurality of mirror elements are two-dimensionally arranged so as to be substantially parallel to a plane, and It is characterized in that it is provided so as to collect or diffuse incident light in a state inclined in the first or second direction.
【０００７】ミラー要素は例えば同心円状に配置され、
各ミラー要素は円の半径方向に延び前記所定の平面に垂
直な平面内において回動自在である。この場合、ミラー
要素は１つのミラー要素を中心として同心円状に配置さ
れることが好ましい。また、中心に配置されたミラー要
素が正方形であり、中心以外に配置されたミラー要素が
外周部側の辺が相対的に大きい台形であることが好まし
い。The mirror elements are arranged, for example, concentrically,
Each mirror element extends in the radial direction of the circle and is rotatable in a plane perpendicular to the predetermined plane. In this case, the mirror elements are preferably arranged concentrically around one mirror element. Further, it is preferable that the mirror element disposed at the center is a square, and the mirror element disposed at a position other than the center is a trapezoid whose side on the outer peripheral portion side is relatively large.
【０００８】ミラー要素が同心円状に配置される場合、
ミラー要素の第１の方向への傾斜角度は、円の半径に応
じて異なることが好ましい。ミラー要素の第１または第
２の方向への傾斜角度は例えば、円の半径が大きくなる
ほど大きくなる。第１または第２の方向は、ミラー要素
が円の中心側に傾斜する方向、またはミラー要素が円の
外側に傾斜する方向である。When the mirror elements are arranged concentrically,
Preferably, the angle of inclination of the mirror element in the first direction depends on the radius of the circle. The inclination angle of the mirror element in the first or second direction increases, for example, as the radius of the circle increases. The first or second direction is a direction in which the mirror element is inclined toward the center of the circle, or a direction in which the mirror element is inclined outside the circle.
【０００９】ミラー要素は格子状に配置されてもよく、
この場合、各ミラー要素の回転軸は相互に平行であるこ
とが好ましい。またこの場合、ミラー要素は矩形である
ことが好ましい。The mirror elements may be arranged in a grid,
In this case, the rotation axes of the mirror elements are preferably parallel to each other. In this case, the mirror element is preferably rectangular.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態で
ある反射鏡の正面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a reflecting mirror according to a first embodiment of the present invention.
【００１１】反射鏡１１は本体１２上に設けられたＤＭ
Ｄ、すなわち複数のマイクロミラー（ミラー要素）２１
によって構成される。これらのマイクロミラー２１は本
体１２の表面すなわち平面に略平行になるように２次元
的に配置されている。またマイクロミラー２１は、１つ
のマイクロミラーを中心として同心円状に配置されてい
る。中心に配置されたマイクロミラー２１は正方形であ
る。中心以外に配置されたマイクロミラー２１は台形で
あり、その４辺において、円の外周部側の辺が内周部側
の辺よりも大きい。The reflecting mirror 11 is a DM provided on a main body 12.
D, that is, a plurality of micromirrors (mirror elements) 21
Composed of These micro mirrors 21 are two-dimensionally arranged so as to be substantially parallel to the surface, that is, the plane of the main body 12. The micromirrors 21 are arranged concentrically around one micromirror. The micromirror 21 disposed at the center is a square. The micromirror 21 arranged at a position other than the center has a trapezoidal shape, and the four sides of the micromirror 21 are larger on the outer peripheral side than on the inner peripheral side.
【００１２】各マイクロミラー２１は、本体１２の表面
に平行な回転軸の周りに回動自在に設けられ、円の半径
方向に延び本体１２の表面に垂直な平面内において回動
自在である。換言すれば、回転軸は円周方向に延び、マ
イクロミラー２１は円の中心に向って、あるいは円の外
側に向って傾斜可能である。Each micro-mirror 21 is provided rotatably about a rotation axis parallel to the surface of the main body 12, and is rotatable in a plane extending in the radial direction of the circle and perpendicular to the surface of the main body 12. In other words, the rotation axis extends in the circumferential direction, and the micromirror 21 can be tilted toward the center of the circle or toward the outside of the circle.
【００１３】マイクロミラー２１を所定の方向に回動さ
せるため、本体１２の中にはＤＭＤ駆動回路１３が設け
られている。ＤＭＤ駆動回路１３にはスイッチ１４が接
続されており、スイッチ１４を操作することによってＤ
ＭＤ駆動回路１３が作動し、各マイクロミラー２１が回
動して所定の傾斜状態に保持される。A DMD driving circuit 13 is provided in the main body 12 to rotate the micro mirror 21 in a predetermined direction. A switch 14 is connected to the DMD drive circuit 13.
The MD drive circuit 13 operates, and each micromirror 21 rotates and is maintained in a predetermined inclined state.
【００１４】図２はマイクロミラー２１を駆動するため
の構成を概念的に示す図である。マイクロミラー２１に
は正方形のものと台形のものがあるが、図２には台形の
マイクロミラー２１が示されている。FIG. 2 is a diagram conceptually showing a configuration for driving the micro mirror 21. As shown in FIG. The micromirror 21 has a square shape and a trapezoidal shape. FIG. 2 shows the trapezoidal micromirror 21.
【００１５】基台２２の上にはシリコン基板２３が設け
られ、シリコン基板２３の上には一対の支持部材２４が
設けられている。一対の支持部材２４の間にはヨーク２
５が設けられ、ヨーク２５は、弾性材料から成形された
トーションヒンジ２６を介して支持部材２４に連結され
ている。マイクロミラー２１はヨーク２５の上面に連結
ピン２７によって固定されている。すなわちマイクロミ
ラー２１はトーションヒンジ２６の周りに回動可能であ
る。A silicon substrate 23 is provided on the base 22, and a pair of support members 24 are provided on the silicon substrate 23. The yoke 2 is provided between the pair of support members 24.
5 is provided, and the yoke 25 is connected to the support member 24 via a torsion hinge 26 formed of an elastic material. The micro mirror 21 is fixed to the upper surface of the yoke 25 by connecting pins 27. That is, the micro mirror 21 is rotatable around the torsion hinge 26.
【００１６】マイクロミラー２１は板状を呈し、その表
面には、アルミニウムの薄膜が積層されてミラー面が形
成されている。マイクロミラー２１の一辺は例えば約１
０〜３０μｍである。トーションヒンジ２６はマイクロ
ミラー２１の台形の底辺に平行である。The micromirror 21 has a plate shape, and on its surface, a mirror surface is formed by laminating an aluminum thin film. One side of the micro mirror 21 is, for example, about 1
0 to 30 μm. The torsion hinge 26 is parallel to the trapezoidal bottom of the micromirror 21.
【００１７】シリコン基板２３の上面には第１および第
２のストッパ２８、２９が設けられている。第１のスト
ッパ２８は、マイクロミラー２１の台形の上底の下方に
位置し、第２のストッパ２９は台形の下底の下方に位置
する。したがってマイクロミラー２１は、その下面が第
１または第２のストッパ２８、２９に当接した位置にお
いて静止することができる。First and second stoppers 28 and 29 are provided on the upper surface of the silicon substrate 23. The first stopper 28 is located below the trapezoidal upper base of the micromirror 21, and the second stopper 29 is located below the trapezoidal lower base. Therefore, the micromirror 21 can be stopped at a position where the lower surface thereof is in contact with the first or second stopper 28, 29.
【００１８】またシリコン基板２３の上面には、電極３
１が形成されている。この電極３１に電圧を印加するこ
とにより、マイクロミラー２１には静電気力が作用し、
マイクロミラー２１は、第１のストッパ２８に当接して
第１の方向、すなわち円の中心側に傾斜する（オン状
態）。これに対して静電気力が作用していないとき、マ
イクロミラー２１は、トーションヒンジ２６のばね力に
より第２のストッパ２９に当接して第２の方向、すなわ
ち円の外側に傾斜する（オフ状態）。このオンオフ状態
はＤＭＤ駆動回路１３（図１参照）により制御される。The electrode 3 is provided on the upper surface of the silicon substrate 23.
1 is formed. By applying a voltage to the electrode 31, an electrostatic force acts on the micromirror 21,
The micro mirror 21 is in contact with the first stopper 28 and tilts in the first direction, that is, in the center of the circle (on state). On the other hand, when no electrostatic force is applied, the micromirror 21 abuts on the second stopper 29 due to the spring force of the torsion hinge 26 and tilts in the second direction, that is, outside the circle (off state). . This on / off state is controlled by the DMD drive circuit 13 (see FIG. 1).
【００１９】第１のストッパ２８のシリコン基板２３か
らの高さは、マイクロミラー２１が設けられた位置によ
って異なり、円の中心に近い所ほど高く、円の中心から
遠いほど低い。また第１のストッパ２８の高さは、全て
のマイクロミラー２１が第１のストッパ２８に当接した
状態において、円の中心側が低くなるように傾斜し、か
つ円の中心から遠いものほど傾斜角が大きくなるように
定められている。換言すれば、マイクロミラー２１の第
１の方向への傾斜角度は円の半径が大きくなるほど大き
くなる。The height of the first stopper 28 from the silicon substrate 23 depends on the position where the micromirror 21 is provided, and is higher near the center of the circle and lower as far from the center of the circle. Further, the height of the first stopper 28 is such that, in a state where all the micro mirrors 21 are in contact with the first stopper 28, the center of the circle is inclined to be lower, and the farther from the center of the circle, the inclination angle is. Is set to be large. In other words, the inclination angle of the micro mirror 21 in the first direction increases as the radius of the circle increases.
【００２０】第２のストッパ２９のシリコン基板２３か
らの高さは、全てのマイクロミラー２１の第１および第
２の方向への回動の角度が略同じになるように定められ
ている。すなわち、第２のストッパ２９の高さは、円の
中心に近い所ほど低く、円の中心から遠いほど高い。The height of the second stopper 29 from the silicon substrate 23 is determined so that the angles of rotation of all the micro mirrors 21 in the first and second directions are substantially the same. That is, the height of the second stopper 29 is lower near the center of the circle and higher as the distance from the center of the circle is higher.
【００２１】図３は反射鏡１１がオン状態にあるときの
各マイクロミラー２１の傾斜状態を示す図である。上述
したようにマイクロミラー２１は、オン状態のとき円の
中心側が低くなるように傾斜し、その傾斜角は円の中心
から遠いものほど大きい。すなわち反射鏡１１は、オン
状態のとき凹面反射鏡として作用し、平行光が入射した
とき、反射光Ｒは反射鏡１１の焦点Ｆに集光する。FIG. 3 is a view showing an inclined state of each micro mirror 21 when the reflecting mirror 11 is in an ON state. As described above, the micromirror 21 is inclined so that the center side of the circle is lower when in the ON state, and the inclination angle increases as the distance from the center of the circle increases. That is, the reflecting mirror 11 functions as a concave reflecting mirror when in the ON state, and when parallel light is incident, the reflected light R is focused on the focal point F of the reflecting mirror 11.
【００２２】図４は反射鏡１１がオフ状態にあるときの
各マイクロミラー２１の傾斜状態を示す図である。各マ
イクロミラー２１はオフ状態において円の外側が低くな
るように傾斜し、その傾斜角は円の中心に近いものほど
大きい。したがってオフ状態では、反射鏡１１は凹面反
射鏡として作用しない。FIG. 4 is a diagram showing an inclined state of each micro mirror 21 when the reflecting mirror 11 is in an off state. Each micromirror 21 is inclined so that the outside of the circle becomes lower in the off state, and the inclination angle is greater as the position is closer to the center of the circle. Therefore, in the off state, the reflecting mirror 11 does not act as a concave reflecting mirror.
【００２３】以上のように第１の実施形態によれば、ス
イッチ１４を操作することによって反射鏡１１を瞬時に
オン状態またはオフ状態に定めることができる。したが
って例えば、凹面反射鏡を装着したり、取り外したりす
ることなく、反射光を集光させる状態と集光させない状
態との間の切替えを行なうことができる。As described above, according to the first embodiment, by operating the switch 14, the reflecting mirror 11 can be instantaneously turned on or off. Therefore, for example, it is possible to switch between a state in which the reflected light is collected and a state in which the reflected light is not collected without mounting or removing the concave reflecting mirror.
【００２４】図５および図６は第２の実施形態を示す図
である。図５は反射鏡１１がオン状態にあるときの各マ
イクロミラー２１の傾斜状態を示し、図６は反射鏡１１
がオフ状態にあるときの各マイクロミラー２１の傾斜状
態を示している。なお第２の実施形態における反射鏡１
１の正面図は図１と同様である。FIG. 5 and FIG. 6 are views showing a second embodiment. FIG. 5 shows an inclined state of each micro mirror 21 when the reflecting mirror 11 is in an on state, and FIG.
Shows the tilted state of each micro mirror 21 when is in the off state. The reflecting mirror 1 according to the second embodiment
1 is the same as FIG.
【００２５】マイクロミラー２１は、オン状態のとき円
の外側に傾斜し、オフ状態のとき円の中心側に傾斜す
る。オン状態において、マイクロミラー２１の傾斜角は
円の中心から遠いものほど大きい。すなわち反射鏡１１
は、オン状態のとき凸面反射鏡として作用し、平行光が
入射したとき、反射光Ｒは拡散する。The micro-mirror 21 is inclined to the outside of the circle when in the ON state, and is inclined toward the center of the circle when in the OFF state. In the ON state, the tilt angle of the micromirror 21 increases as the distance from the center of the circle increases. That is, the reflecting mirror 11
Acts as a convex reflecting mirror in the ON state, and when parallel light enters, the reflected light R diffuses.
【００２６】これに対してオフ状態において、マイクロ
ミラー２１は円の中心側が低くなるように傾斜し、その
傾斜角は円の中心に近いものほど大きい。したがってオ
フ状態では、反射鏡１１は凸面反射鏡として作用しな
い。On the other hand, in the off state, the micromirror 21 is inclined so that the center side of the circle is lower, and the inclination angle is greater as the position is closer to the center of the circle. Therefore, in the off state, the reflecting mirror 11 does not function as a convex reflecting mirror.
【００２７】以上のように第２の実施形態では、反射鏡
１１が凸面反射鏡として作用する点を除いて第１の実施
形態と同様であり、スイッチ１４を操作することによっ
て反射鏡１１を瞬時にオン状態またはオフ状態に定める
ことができる。As described above, the second embodiment is the same as the first embodiment except that the reflecting mirror 11 functions as a convex reflecting mirror. By operating the switch 14, the reflecting mirror 11 is instantaneously moved. Can be set to an on state or an off state.
【００２８】図７は第３の実施形態の反射鏡１１の正面
図である。マイクロミラー２１は矩形であり、格子状に
配置されている。各マイクロミラー２１の回転軸は反射
鏡１１の中心を通り、かつ格子の列に平行なる直線（中
心線）Ｃに平行である。オン状態において、マイクロミ
ラー２１は中心線Ｃ側が低くなるように傾斜し、その傾
斜角は中心線Ｃから遠いものほど大きい。あるいはマイ
クロミラー２１は、オン状態において反射鏡１１の外側
が低くなるように傾斜し、その傾斜角が中心線Ｃから遠
いものほど大きくなるように構成されてもよい。FIG. 7 is a front view of the reflecting mirror 11 of the third embodiment. The micro mirrors 21 are rectangular and are arranged in a lattice. The rotation axis of each micromirror 21 passes through the center of the reflecting mirror 11 and is parallel to a straight line (center line) C parallel to the grid rows. In the ON state, the micromirror 21 is tilted so that the center line C side becomes lower, and the tilt angle increases as the distance from the center line C increases. Alternatively, the micromirror 21 may be configured such that the micromirror 21 is inclined so that the outside of the reflecting mirror 11 becomes lower in the on state, and the inclination angle increases as the distance from the center line C increases.
【００２９】第３の実施形態によれば、オン状態におけ
る各マイクロミラー２１の傾斜は円筒面に沿っており、
１方向のみにパワーを有する反射鏡が得られ、また第１
および第２の実施形態と同様な効果が得られる。According to the third embodiment, the inclination of each micro mirror 21 in the ON state is along the cylindrical surface,
A reflecting mirror having power in only one direction can be obtained.
The same effects as those of the second embodiment can be obtained.
【００３０】なお上記各実施形態では、オフ状態におい
て反射鏡１１は作用しないとして説明したが、全てのマ
イクロミラー２１が平行になるように構成し、平面鏡と
して作用するように構成することもできる。In each of the embodiments described above, the reflecting mirror 11 does not operate in the off state. However, it is also possible to configure all micro mirrors 21 to be parallel and to operate as a plane mirror.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、反射鏡の
形状を瞬時に変化させることができるという効果が得ら
れる。As described above, according to the present invention, the effect that the shape of the reflecting mirror can be instantaneously changed can be obtained.
【図１】本発明の第１の実施形態である反射鏡の正面図
である。FIG. 1 is a front view of a reflecting mirror according to a first embodiment of the present invention.
【図２】マイクロミラーを駆動するための構成を概念的
に示す図である。FIG. 2 is a diagram conceptually showing a configuration for driving a micro mirror.
【図３】第１の実施形態において反射鏡がオン状態にあ
るときの各マイクロミラーの傾斜状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an inclined state of each micro mirror when the reflecting mirror is in an on state in the first embodiment.
【図４】第１の実施形態において反射鏡がオフ状態にあ
るときの各マイクロミラーの傾斜状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an inclined state of each micro mirror when the reflecting mirror is in an off state in the first embodiment.
【図５】第２の実施形態において反射鏡がオン状態にあ
るときの各マイクロミラーの傾斜状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an inclined state of each micro mirror when a reflecting mirror is in an on state in the second embodiment.
【図６】第２の実施形態において反射鏡がオフ状態にあ
るときの各マイクロミラーの傾斜状態を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a tilted state of each micro mirror when a reflecting mirror is in an off state in the second embodiment.
【図７】本発明の第３の実施形態である反射鏡の正面図
である。FIG. 7 is a front view of a reflecting mirror according to a third embodiment of the present invention.
１１ 反射鏡 １３ ＤＭＤ駆動回路 ２１ マイクロミラー（ミラー要素） 11 Reflector 13 DMD drive circuit 21 Micro mirror (mirror element)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉成 隆明 東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭光 学工業株式会社内 (72)発明者 根岸 清 東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭光 学工業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Takaaki Yoshinari 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo Asahi Gaku Kogyo Co., Ltd. (72) Inventor Kiyoshi Negishi 2-36-9 Maenocho, Itabashi-ku, Tokyo No. Asahi Gaku Kogyo Co., Ltd.
Claims (10)
自在に設けられ、静電気力が作用したとき第１の方向に
回動して傾斜し、静電気力が作用しないとき前記第１の
方向とは逆の第２の方向に回動して傾斜する複数のミラ
ー要素と、前記静電気力のオンオフ状態を制御する手段
とを備え、前記複数のミラー要素は、前記平面に略平行
になるように２次元的に配置され、かつ前記第１または
第２の方向に傾斜した状態において入射光を集光または
拡散させるように設けられることを特徴とする反射鏡。A rotatable shaft provided around a rotation axis parallel to a predetermined plane, which is rotatable and tilted in a first direction when an electrostatic force is applied; A plurality of mirror elements that rotate and incline in a second direction opposite to the direction, and a unit that controls an on / off state of the electrostatic force. The plurality of mirror elements are substantially parallel to the plane. A reflecting mirror, which is provided two-dimensionally so as to be converged and provided so as to condense or diffuse incident light in a state inclined in the first or second direction.
各ミラー要素が円の半径方向に延び前記所定の平面に垂
直な平面内において回動自在であることを特徴とする請
求項１に記載の反射鏡。2. The mirror element is arranged concentrically,
The reflector according to claim 1, wherein each mirror element extends in a radial direction of a circle and is rotatable in a plane perpendicular to the predetermined plane.
心として同心円状に配置されることを特徴とする請求項
２に記載の反射鏡。3. The reflector according to claim 2, wherein the mirror elements are arranged concentrically around one mirror element.
あり、中心以外に配置されたミラー要素が外周部側の辺
が相対的に大きい台形であることを特徴とする請求項２
に記載の反射鏡。4. The mirror element disposed at the center is a square, and the mirror element disposed at a position other than the center is a trapezoid whose side on the outer peripheral side is relatively large.
2. The reflector according to claim 1.
度が円の半径に応じて異なることを特徴とする請求項２
に記載の反射鏡。5. The mirror element according to claim 2, wherein an inclination angle of the mirror element in the first direction is different according to a radius of the circle.
2. The reflector according to claim 1.
への傾斜角度が円の半径が大きくなるほど大きくなるこ
とを特徴とする請求項５に記載の反射鏡。6. The reflecting mirror according to claim 5, wherein the angle of inclination of the mirror element in the first or second direction increases as the radius of the circle increases.
要素が円の中心側に傾斜する方向であることを特徴とす
る請求項２に記載の反射鏡。7. The reflecting mirror according to claim 2, wherein the first or second direction is a direction in which the mirror element is inclined toward a center of a circle.
要素が円の外側に傾斜する方向であることを特徴とする
請求項２に記載の反射鏡。8. The reflector according to claim 2, wherein the first or second direction is a direction in which the mirror element is inclined to the outside of a circle.
ミラー要素の回転軸が相互に平行であることを特徴とす
る請求項１に記載の反射鏡。9. The reflecting mirror according to claim 1, wherein the mirror elements are arranged in a lattice, and the rotation axes of the mirror elements are parallel to each other.
徴とする請求項９に記載の反射鏡。10. The reflector according to claim 9, wherein the mirror element is rectangular.
Priority Applications (1)
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