JPH11223747A - Laser optical device - Google Patents

Laser optical device

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JPH11223747A
JPH11223747A JP10023710A JP2371098A JPH11223747A JP H11223747 A JPH11223747 A JP H11223747A JP 10023710 A JP10023710 A JP 10023710A JP 2371098 A JP2371098 A JP 2371098A JP H11223747 A JPH11223747 A JP H11223747A
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laser
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Koji Kobayashi
幸治 小林
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Kowa Co
興和株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser optical device with high reliability for optimally transmitting a laser beam by using an optical fiber.
SOLUTION: A laser beam 1a from a laser beam source 1 is transmitted through an optical fiber 4. The light intensity of the laser beam 1a outgoing from the outgoing edge face of the optical fiber 4 is detected by a photodiode 10 and a light receiving circuit 11, and the position of the laser beam 1a for the incident edge face of the optical fiber is controlled by control means 5 and 25 so that the detected light intensity can be made the maximum. Thus, the light intensity of the laser beam outgoing from the optical fiber 4 can be surely held to be constant, and the laser beam 1a from the laser beam source 1 can be transmitted without any loss by using the optical fiber 4 regardless of the temperature change of an environment or the secular change of the device or the like.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光学装置、特に光源としてレーザーを用い、このレーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置に関する。 The present invention relates to a laser optical apparatus, in particular using a laser as a light source, to a laser optical system to emit through an optical fiber the laser beam from the laser light source.

【0002】 [0002]

【従来の技術】このような光学装置は、射出されるレーザビームを2次元的に偏向走査して被写体に照射し、被写体からの反射光、透過光、または蛍光等を検出して光電変換処理することにより画像情報を得るレーザー走査型光学装置などに用いられている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Such an optical device is two-dimensionally deflected scanning the laser beam emitted by irradiating the object, the reflected light from the object, the transmitted light, or to detect the fluorescence or the like photoelectric conversion process It is used in such a laser scanning optical apparatus for obtaining image information by.

【0003】レーザー走査型光学装置は、レーザー光の高輝度性や単色性、ビーム指向性等を有効に利用したものであり、特にレーザー走査型の光学顕微鏡や生体検眼鏡等においてその実用例が多く見られる。 [0003] Laser scanning optical device, high brightness property and monochromaticity of the laser beam is obtained by effectively utilizing the beam directivity and the like, its practical applications, particularly in a laser scanning optical microscope and biological ophthalmoscope etc. many can be seen. この場合に、 In this case,
装置機能と使用目的に応じて各種波長のレーザー光源が必要であり、空間的な配置に制約の多いレーザー光源からの光ビームを可撓性の光ファイバーを介して走査型光学系に接続できる様にした構造の光学装置が報告されている(例えば、レーザー走査型の光学顕微鏡として、特開平3−87804、特開平3−134609、特公平4−9284等、またレーザー走査型の検眼鏡として、 Laser light sources for wavelength depending on the device capabilities and the intended use is required, as can be connected to the scanning optical system a light beam through a flexible optical fiber from more laser source constrained spatial arrangement the optical device structure have been reported (e.g., an optical microscope of the laser scanning, JP 3-87804, JP-a-3-134609, Kokoku 4-9284 etc., also as ophthalmoscope laser scanning,
実開平3−63303、特開平6−245906、特公平6−104103等)。 Real-Open No. 3-63303, JP-A-6-245906, JP fairness 6-104103, etc.).

【0004】光ファイバーを用いることの利点は、レーザー光源と走査型光学系とを離して自由に配置できることであり、大型で発熱量の大きいレーザー光源でも容易に利用可能な点である。 [0004] Advantages of using optical fibers is that it can be freely positioned away the laser light source and the scanning optical system is that readily available in the calorific value of greater laser light source large. レーザー走査型の撮像装置において、特に、レーザー光源からのガウシアンビームを被写体に微小なスポット状に結像して走査することにより高い解像力を得る様な応用では、光ファイバーとして、 In laser scanning imaging device, in particular, the Gaussian beam subject to microscopic spot on the imaging to like obtaining high resolution by scanning applying from the laser light source, a fiber,
コア径が5〜10μm程度以下の非常に細いシングルモード光ファイバーや偏波面保存光ファイバーが用いられる。 Core diameter less very thin single-mode optical fiber or polarization maintaining optical fibers about 5~10μm is used.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、光ファイバーを用いた場合に、レーザー光源からの光ビームと光ファイバーのコア中心の光軸を正確に合わせる必要があり、 [0006] However, in the case of using an optical fiber, it is necessary to accurately adjust the optical axis of the light beam and the core center of the optical fiber from the laser source,
とりわけコア径の細いシングルモード光ファイバーや偏波面保存光ファイバー等では、光軸調整が難しいという問題がある。 Especially in the narrow single-mode optical fiber or polarization maintaining optical fiber core diameters, etc., the optical axis adjustment is difficult. また一旦、光ビームの光軸と光ファイバーのコア中心とを合わせても、レーザー管周辺の環境温度の変化や機器の経時変化によって光軸がずれてしまい、 Also once be combined with the core center of the optical axis and the optical fiber of the light beam, it deviates the optical axis by the aging of the environmental temperature change and the equipment surrounding the laser tube,
光ファイバーの透過光強度が大幅に低下して初期性能が出なくなるという問題があった。 Transmitted light intensity of optical fiber the initial performance is a problem that not out decreases significantly.

【0006】例えば、図7は、従来技術による光学装置の実施形態の一部構成を示したものである。 [0006] For example, FIG. 7 is a diagram showing a partial configuration of a prior art embodiment of an optical device according to. 図7において、レーザー光源71からの光ビームは、結合機構72 7, the light beam from the laser light source 71, coupling mechanism 72
を介して可撓性の光ファイバー(シングルモード光ファイバー、または変波面保存光ファイバー)73に入射して伝達され、光ファイバーの射出端74よりパワーPの光ビームが取り出される。 A flexible optical fiber (single mode optical fiber, or varying maintaining optical fiber) and enters the 73 transmitted through the light beam of power P from the exit end 74 of the optical fiber is taken out.

【0007】図8は、図7の装置におけるレーザー光強度の環境温度に対する依存性を示したもので、図8のI [0007] Figure 8 shows the dependence on the environmental temperature of the laser light intensity in the apparatus of FIG. 7, I 8
1は、光ファイバーを使わずにレーザー光源から射出した直後の光ビームの強度を、I 2は光ファイバーを通過した後の光ビームの強度を示している。 1, the intensity of the light beam immediately after emitted from the laser light source without using an optical fiber, I 2 represents the intensity of the light beam after passing through the optical fiber. レーザー光源7 Laser light source 7
1から射出する光ビームの強度は温度によらず一定であるが、光ファイバー73を介して射出する光ビームの強度は高温側や低温側で低下してしまう。 Although the intensity of the light beam emitted from the 1 is constant regardless of the temperature, the intensity of the light beam emitted through the optical fiber 73 is lowered at a high temperature side and low temperature side. これは、例えば環境温度が25℃の状態で光ファイバーの光軸をレーザー光軸に合わせておいても、その後の環境温度の上昇や下降によって、レーザー管自身のビーム指向性の変動や光ファイバー保持機構の特性変化が生じて、光ファイバーのコア中心と光ビームのスポット中心とがずれてしまうためである。 This, for example, optical fiber at ambient temperature is 25 ° C. state even the optical axis keep in accordance with the laser beam axis, followed by an increase or lowering of the environmental temperature, the laser tube itself beam directional change and an optical fiber holding mechanism occurring characteristic change of is because the spot center of the core center and the light beam of the optical fiber is displaced.

【0008】すなわち、従来の技術では、光ファイバーの透過光強度を長期間にわたって安定的に保持するためには、極めて高価で精度の高い位置決め機構を使用すると共に、機器をある程度限られた環境温度の範囲内で使用することが必須条件になっていた。 Namely, in the conventional art, in order to hold the transmitted light intensity of the optical fiber stably over a long period of time, as well as using a high positioning mechanism extremely expensive and accuracy, to some extent limited environmental temperature equipment it had become essential conditions to be used in a range. あるいは、定期的に光ファイバー入射部の光軸の再調整を繰り返す必要がある等、コア径の細い光ファイバーを用いた光学装置をメインテナンスフリーで簡単に取扱うことは困難であった。 Alternatively, it was regularly like you need to repeat the re-adjustment of the optical axis of the optical fiber entrance portion, be handled easily an optical device using a thin optical fiber core diameters in maintenance-free difficult.

【0009】従って、本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、レーザー光を光ファイバーを用いて最適に伝達できる信頼性の高いレーザー光学装置を提供することをその課題としている。 Accordingly, the present invention has been made in order to solve this problem, as its object to provide a high laser optical device reliability that can optimally transmit using an optical fiber laser light there.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】本発明では、上述した課題を解決するために、レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置において、光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームの光強度を検出する手段と、前記検出された光強度が最大になるようにレーザービームの光ファイバー入射端面に対する位置を制御する手段とを有する構成、 In the present invention, there is provided a means for solving], in order to solve the problems described above, in the laser optical system to emit through an optical fiber the laser beam from the laser light source, a laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber configuration having a means for detecting light intensity, and means for the detected light intensity to control the position relative to the optical fiber entrance end surface of the laser beam so as to maximize,
あるいはレーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対するずれ量を検出する手段と、前記検出されたずれ量が減少するようにレーザービームと光ファイバーの入射端面中心の相対位置を制御する手段とを有する構成を採用している。 Alternatively adopted means for detecting a displacement amount with respect to the incident end surface center of the laser beam of the optical fiber, a structure and a means for controlling the relative position of the incident end surface center of the laser beam and the optical fiber so that the detected displacement amount is reduced doing.

【0011】このような構成では、光ファイバーから射出するレーザービームの光強度を確実に一定に保つことができ、レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを用いて環境の温度変化や装置の経時変化等によらず損失なく伝達することが可能になる。 [0011] In such a configuration, the light intensity of the laser beam emitted from the optical fiber can be kept constant in a reliable manner, and such a change with time of temperature change and device environment using an optical fiber laser beam from the laser light source it is possible to transfer without loss regardless.

【0012】レーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対するずれの方向を検出するために、レーザービームは微小振動して光ファイバーの入射端面に導かれる。 [0012] In order to detect the direction of displacement with respect to the incident end surface center of the optical fiber of the laser beam, the laser beam is directed to the incident end face of the optical fiber with small vibrations. この微小振動に基づく光強度の変動からレーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対するずれの方向が検出され、ずれ量が補正される。 The direction of the deviation from the minute variations in light intensity based on the vibration with respect to the incident end surface center of the laser beam of the optical fiber is detected, the deviation amount is corrected. この微小振動はXY This micro-vibration XY
方向に2次元的に与えられ、それにより2次元的にずれ量が補正される。 Two-dimensionally given direction, whereby the amount of displacement in two dimensions is corrected.

【0013】 [0013]

【発明の実施の形態】以下に、本発明を図示の実施の形態に基づいて詳細に説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS will be described in detail with reference to embodiments thereof illustrated in the present invention.

【0014】図1は、本発明を適用したレーザー走査型光学装置の全体構成を示している。 [0014] Figure 1 shows an overall configuration of a laser scanning optical device according to the present invention. ここでは一例として、生体眼底等の観察を目的とした走査型レーザー検眼鏡の装置構成を示して説明を行う。 Here, as an example, a description shows a device configuration of a scanning laser ophthalmoscope for the purpose of observation of a biological fundus or the like.

【0015】図1において符号1で示すものは、例えばArレーザー等の大型のレーザー光源であり、そこから発せられた光ビーム1aはミラー2により反射され、レンズ3を介して光ファイバー4の入射端面に集光される。 [0015] indicates 1 by reference numeral 1 is a large laser source such as Ar laser, light beam 1a emitted therefrom is reflected by the mirror 2, the incident end face of the optical fiber 4 through the lenses 3 It is focused on. ここで光ファイバー4は、コア径が5〜10μm程度以下のシングルモード光ファイバーまたは偏波面保存光ファイバーである。 Here the optical fiber 4, the core diameter of single-mode optical fiber or polarization maintaining optical fiber of more than about 5 to 10 [mu] m. 光ファイバー4の入射端は光コネクタ4aで固定され、一方ミラー2は、その反射方向を微細に制御するための方向制御機構5に取り付けられている。 Incident end of the optical fiber 4 is fixed in the optical connector 4a, whereas the mirror 2 is attached to the directional control mechanism 5 for controlling the reflection direction fine. ミラー2、レンズ3等の光学部材は、方向制御機構5と共に防塵機構6で被われ、外部より埃が光路に進入することを防いでいる。 Mirror 2, a lens 3 such as an optical member is covered by dust-proof mechanism 6 with direction control mechanism 5, which prevents the dust from the outside enters the optical path.

【0016】光ファイバー4は、光ビーム射出端の光コネクタ4bによって本体光学システム7に接続される。 The optical fiber 4 is connected to the main body optical system 7 by an optical connector 4b of the light beam exit end.
光ファイバー4から射出した光ビームは、レンズ8を介して平行光束となり、ビームスプリッター9で一部が反射され、フォトダイオード10で受光される。 The light beam emitted from the optical fiber 4 through the lens 8 becomes a parallel light flux, a portion in the beam splitter 9 is reflected and is received by the photodiode 10. フォトダイオード10で検出されたレーザー光の光強度は、受光回路11を介して所定の信号レベルに増幅され、電気信号として出力される。 Light intensity of the laser light detected by the photodiode 10 is amplified to a predetermined signal level via the light receiving circuit 11, is output as an electric signal. 一方、ビームスプリッター9を通過した光ビームは、ダイクロイックミラー12を介してレーザー光源13からの光ビームと合成され、X−Y走査光学ユニット14に入射する。 On the other hand, the light beam passing through the beam splitter 9 is combined with the light beam from the laser light source 13 via the dichroic mirror 12, is incident onto the X-Y scanning optical unit 14. レーザー光源13は半導体レーザー等の小形のレーザー光源であり、光ファイバーで接続される大型のレーザー光源1との間で、必要に応じて光の波長を選択して切り替えて使用することができる。 Laser light source 13 is a compact laser light source such as a semiconductor laser, between the laser light source 1 of a large connected by an optical fiber, it can be used by switching to select the wavelength of light as required.

【0017】走査光学ユニット14を介して、X−Y方向に2次元的に走査されたレーザー光は、被検眼15の所定部位(例えば前眼部15aを介して眼底15b等) [0017] through the scanning optical unit 14, laser light is two-dimensionally scanned onto the X-Y direction, a predetermined portion of the eye 15 (fundus 15b via, for example, the anterior segment 15a and the like)
に照射される。 It is irradiated to. 被検眼からの反射光または蛍光等は、走査光学ユニット14と共焦点開口16(ピンホール、またはスリット等)を通過し、光電子増倍管等の光検出器17で受光される。 Reflected or fluorescent light or the like from the eye passes through the scanning optical unit 14 of the confocal aperture 16 (pinhole or slit, etc.,), is received by a photodetector 17 such as a photomultiplier tube. 光検出器17で検出された光強度は、受光回路18を介して所定のレベルにまで増幅され、映像信号として出力される。 Light intensity detected by the photodetector 17 via the light receiving circuit 18 is amplified to a predetermined level, it is outputted as a video signal.

【0018】走査ユニット14におけるレーザー光の走査手段は、ガルバノミラーやポリゴンミラー、超音波光偏向素子等の各種の光偏向方式が可能である。 The scanning means of the laser beam in the scanning unit 14, a galvano mirror or a polygon mirror, various optical deflection system such as an ultrasonic beam deflecting elements are possible. これらの異なる光偏向手段を組み合わせて、例えば、NTSC方式等の標準のTV走査に対応した水平走査周波数15. By combining these different light deflector, for example, a horizontal scanning frequency 15 corresponding to the standard TV scan, such as the NTSC system.
75kHz、垂直走査周波数60Hz(すなわちフィールド周波数60Hz、フレーム周波数30Hz)等のレーザー光走査が可能である。 75 kHz, it is possible to laser beam scanning, such as the vertical scanning frequency 60 Hz (i.e. field frequency 60 Hz, the frame frequency 30 Hz). 走査方式に関する詳細は、 For more information on scanning method,
例えば、本発明特許の出願人による特開昭64−582 For example, JP by the applicant of the present invention patent 64-582
37/USP−4854692、または特開平6−26 37 / USP-4854692 or JP-6-26,
1862/USP−5430509等を参照されたい。 See 1862 / USP-5430509 and the like.

【0019】受光回路18からの出力信号は、乗算回路19と映像信号処理回路20を介してTVモニター等の出力表示装置21に入力される。 The output signal from the light receiving circuit 18 is input to the output display device 21 such as a TV monitor via the multiplication circuit 19 and the video signal processing circuit 20. 乗算回路19は、レーザー光源1からの光ファイバーを介した光ビームの強度変動を打ち消すために備えられている。 Multiplier circuit 19 is provided in order to cancel the intensity fluctuation of the light beam through an optical fiber from the laser light source 1. すなわち、受光回路11からの光強度信号に対して除算回路22で割り算処理を行い、その信号を乗算回路19に供給することで、受光回路18からの映像信号に重畳したレーザー光源1と光ファイバー4に由来のノイズ成分を除去することができる。 That is, performs division processing in division circuit 22 to light intensity signal from the light receiving circuit 11, by supplying the signal to the multiplier circuit 19, the laser light source 1 and the optical fiber 4 which is superimposed on the video signal from the light receiving circuit 18 it is possible to remove noise components from the.

【0020】TVモニター21とX−Y走査ユニット1 [0020] The TV monitor 21 and the X-Y scanning unit 1
4とは、同期信号源23からの同期信号によって走査の同期が行われ、TVモニター上には被写体(被検眼の眼底等)の画像を表示することができる。 4 and is performed synchronously scanning by the synchronization signal from the synchronization signal source 23 may be in the TV monitor displays the image of the subject (the subject's eye fundus, etc.). また、表示画像の信号は、映像信号処理回路20において必要に応じて所定のフォーマットに変換されて、映像記録装置24 The signal of the display image is converted into a predetermined format as required in the video signal processing circuit 20, a video recording device 24
(コンピューター静止画記録装置等)に記録することも可能である。 It is also possible to record the (computer still image recording device, etc.).

【0021】一方、受光回路11から出力された光強度信号は、位置制御用信号処理回路25に供給され、所定の信号処理が行われて方向制御機構5を制御するために使用される。 Meanwhile, the light intensity signal output from the light receiving circuit 11 is supplied to the position control signal processing circuit 25, predetermined signal processing is used to control the direction control mechanism 5 is performed. すなわち、制御用信号処理回路25からの出力信号に従って、レーザー光源1からの光ビームの光軸と光ファイバー4の入射部の光軸とが自動的に調整される。 That is, in accordance with the output signal from the control signal processing circuit 25, and the optical axis of the incident portion of the optical axis and the optical fiber 4 of the optical beam from the laser light source 1 is adjusted automatically.

【0022】図2は、レーザー光源1からの光ビーム1 FIG. 2, the light beam 1 from the laser light source 1
aを反射するミラー2の取り付けられた方向制御機構5 Direction control mechanism mounted with a mirror 2 for reflecting a 5
の構造の一例を概略的に示したものである。 Of an example of a structure illustrates schematically. 制御機構5 Control mechanism 5
の内部には、X方向制御用の圧電素子5aと、Y方向制御用の圧電素子5bとが組み込まれている。 Inside of the piezoelectric elements 5a for X-direction control, the piezoelectric element 5b for Y direction control is incorporated. それぞれの圧電素子は印加される電気信号に応じて伸縮が可能であり、支点棒5cを基点として伸縮動作が行われることにより、ミラー2で反射される光ビーム1bの方向を、図示の様なX方向とY方向にそれぞれ独立して制御することが可能である。 Each of the piezoelectric elements is capable of expansion and contraction in response to electrical signals applied by the expansion and contraction operation is performed fulcrum rod 5c as a base point, the direction of the light beam 1b reflected by the mirror 2, such as shown It can be controlled independently in the X and Y directions.

【0023】図3は、レーザー光源からの光ビームと、 FIG. 3, the light beam from the laser light source,
それを伝達する光ファイバー4の入射端のコア中心との相対的な位置関係を例示したものである。 It exemplifies the relative positional relationship between the core center of the entrance end of the optical fiber 4 for transmitting it. 図3(a)に示すごとく、光ビームを透過する光ファイバー中心部のコア4cと、そこに集光したレーザー光のスポット1c 3 as (a), the core 4c of the optical fiber center for transmitting light beams, the laser beam spot 1c condensed therein
との相対的な位置ずれは、X−Y方向の2次元的な位置関係として考察される。 Relative displacement between are discussed as a two-dimensional positional relationship between the X-Y direction. しかし、以降の図3(b)〜 However, the following figures 3 (b) ~
(h)では原理の説明の都合上、一次元的な相対位置関係(Y方向のみ)として説明を行う。 (H) the convenience of explanation of the principles, a description as one-dimensional relative positional relationship (Y-direction only).

【0024】図3(b)は、光ファイバーに入射する光ビームを、図2で説明した圧電素子5bの作用により、 [0024] FIG. 3 (b), the light beam incident on the optical fiber by the action of the piezoelectric element 5b as described in FIG. 2,
Y方向に正弦波状に微小振動させることを示している。 And it is shown to minute vibrations sinusoidally in the Y direction.
この時、図3(c)に示すごとく、光ファイバーのコア4cとビームスポット1cとがほぼ完全に一致していると、光ファイバー4を介して射出する光強度I(すなわち図1においてフォトダイオード10と受光回路11で検出される光強度)は、図3(d)に示す様に僅かに変動するだけである。 At this time, as shown in FIG. 3 (c), when the core 4c and the beam spot 1c of the optical fiber matches almost completely, the photodiode 10 in the light intensity I (i.e. 1 for emitting through an optical fiber 4 light intensity detected by the light receiving circuit 11) is only slightly varies as shown in Figure 3 (d).

【0025】一方、図3(e)に示すごとく、光ファイバーのコア4cに対してビームスポット1cが上方側にずれているとすると、光ファイバーを介して射出する光強度Iは図3(f)に示すごとく、入射光ビームの正弦波状振動と同一の周波数で大きく変動する。 On the other hand, as shown in FIG. 3 (e), the beam spot 1c to the core 4c of the optical fiber is to be shifted upward, the light intensity I emitted through the optical fiber in FIG. 3 (f) as shown, it varies greatly sinusoidal vibration and the same frequency of the incident light beam. また、図3 In addition, FIG. 3
(g)に示すごとく、光ファイバーのコア4cに対してビームスポット1cが下方側にずれているとすると、光ファイバーを介して射出する光強度Iは図3(h)に示すごとく、入射光ビームの正弦波状振動と同一の周波数で、図3(f)の場合に比較して振動の位相が180° As shown in (g), the beam spot 1c to the core 4c of the optical fiber is to be shifted to the lower side, the light intensity I emitted through the optical fiber as shown in FIG. 3 (h), of the incident light beam in sinusoidal vibration and same frequency, 180 ° is compared with the vibration of the phase when shown in FIG. 3 (f)
ずれた状態で、大きく変動する。 In a state in which shifted, it varies greatly.

【0026】以上の様に、光ファイバーに入射する光ビームに微小振動を与え、光ファイバーを介して射出する光ビームの強度変動の位相を判別することで、光ファイバーに入射する光ビームのずれの方向を検出することができる。 [0026] As described above, given the very small vibration to the light beam incident on the optical fiber, by determining the phase of the light beam intensity variation for emitting through an optical fiber, the direction of displacement of the optical beam incident to the optical fiber it is possible to detect. 従って、光ビームの微小振動を1次元方向のみならず、X−Y方向に2次元的に与えて、光ファイバーから射出した光ビームの強度変動の位相を元の微小振動の位相と比較することにより、細いコアの光ファイバーに対して入射する光ビームのスポットの位置ずれを完全に判断することが可能である。 Therefore, not only the minute vibration of the light beam only one-dimensional direction, by giving two-dimensionally onto the X-Y direction, to compare the phase of the intensity fluctuations of the light beam emitted from the optical fiber with the original micro vibration of the phase , it is possible to completely determine the positional deviation of the light beam spot incident upon the optical fiber thin core.

【0027】図4は、図3において説明した基本原理に基づき、光ファイバーに入射する光ビームの位置ずれを自動的に補正するための制御用信号処理回路(図1で主に符号25の部分)の詳細な構成の一例である。 [0027] Figure 4 is based on the basic principle described in FIG. 3, (mainly part of the reference numeral 25 in FIG. 1) for controlling a signal processing circuit for automatically correcting the positional deviation of the light beam incident on the optical fiber it is an example of a detailed configuration of. 図4において、符号26で示すものは、正弦波の発振波形を生成する発振回路であり、その内部には基本波発振回路と逓倍波回路とを備え、例えば発振周波数として60Hz 4, those indicated by the reference numeral 26, an oscillation circuit for generating an oscillation waveform of a sine wave, a fundamental oscillation circuit and multiplication wave circuit therein, for example, as an oscillation frequency 60Hz
と120Hzの2種類の信号出力が可能な回路構成を想定する。 2 kinds of output signals of 120Hz to assume a circuit configuration capable of a. 発振回路26は、同期信号源23で生成された同期信号、例えばレーザー走査で画像を得る場合のフィールド周波数60Hzに対応した垂直同期信号に同期して生成すると都合が良い。 Oscillation circuit 26, the synchronization signal source synchronizing signal generated by 23, for example, laser scanning convenient to generate in synchronization with the vertical synchronizing signal corresponding to the field frequency 60Hz in the case of obtaining an image good in.

【0028】発振回路26からの二つの出力信号は、それぞれバッファー回路27、28を介して、X方向用位相比較回路29及びY方向用位相比較回路30に入力される。 The two output signals from the oscillation circuit 26, respectively through the buffer circuit 27 is input to the X-direction phase comparison circuit 29 and the Y-direction phase comparison circuit 30. 各位相比較回路からの出力信号は増幅回路31、 The output signals from the phase comparator is an amplifier circuit 31,
32によって、所定の電圧レベルにまで増幅されて圧電素子5a、5bを駆動する。 By 32, it is amplified to a predetermined voltage level for driving the piezoelectric element 5a, 5b. 増幅回路31、32には、 The amplifier circuit 31 and 32,
圧電素子を十分に制御可能な高電圧を供給するための高電圧電源回路33が接続されている。 High-voltage power supply circuit 33 for supplying a sufficiently controllable high-voltage piezoelectric element is connected.

【0029】一方、フォトダイオード10と受光回路1 [0029] On the other hand, the photo diode 10 the light-receiving circuit 1
1によって検出された光強度信号Iは、X方向用フィルター回路34とY方向用フィルター回路35に供給され、周波数成分が分離される。 Light intensity signal I detected by 1 is supplied to the X-direction filter circuit 34 and the Y-direction filter circuit 35, the frequency components are separated. これらフィルター回路は、バンドパス特性を有するものであり、それぞれの中心周波数は発振回路26の周波数に対応して例えば60 These filters circuits are those having a bandpass characteristic, for example, each of the center frequency corresponding to the frequency of the oscillation circuit 26 60
Hzと120Hzとに選ばれる。 Selected to the Hz and 120Hz. 二つのフィルター回路の出力信号は、光ファイバーのコア中心とそこに入射する光ビームのずれ方向に関して、X方向とY方向とに分離した信号成分に対応している。 The output signal of the two filter circuits with respect deviation direction of the light beam incident thereon and the core center of the optical fiber, and corresponds to a signal component separated in the X and Y directions. 従って、フィルター回路34、35の出力信号を位相比較回路29、30に供給して、バッファー回路27、28からの出力信号との間で位相比較を行うことにより、光ファイバーのコア中心と光ビームとの位置ずれ量が、それぞれX方向とY方向に分離して算出される。 Therefore, by supplying the output signal of the filter circuits 34 and 35 to the phase comparator 29 and 30, by performing a phase comparison between the output signal from the buffer circuit 27, and the core center and the light beam of the optical fiber positional deviation amount is calculated by separating the X and Y directions, respectively. その位相比較により得られた電圧レベルを増幅して、圧電素子5a、5bを駆動することにより、光ファイバーと入射光ビームとの位置ずれ量を打ち消す様にフィードバック制御が行われる。 Its amplifies the voltage level obtained by the phase comparison, and by driving the piezoelectric element 5a, the 5b, positional displacement amount feedback control as counteract the incident light beam and an optical fiber is performed.

【0030】図4で示された回路構成によれば、発振回路26を基準として引き起こされる微小な正弦波振動と、フォトダイオード10で受光される光ファイバー射出光の強度信号Iとの間で常時位相比較が行われて、圧電素子へのフィードバック制御が行われるために、自動的かつリアルタイムに光ファイバーと入射光ビームとの位置ずれを補正することが可能である。 According to the circuit configuration shown in FIG. 4, a sine wave vibration minute caused on the basis of the oscillation circuit 26 always phase between the intensity signal I of the optical fiber emitted light received by the photodiode 10 comparison is performed, in order to feedback control of the piezoelectric element is made, it is automatically and can be corrected positional deviation between the optical fiber and the incident light beam in real time.

【0031】すなわち、発振回路26を介して正弦波信号でX(Y)方向制御用の圧電素子5a(5b)が駆動され、それによりミラー2が微小振動することによりレーザービームスポット1cが振動して、光ファイバー入射端面の中心と入射光ビームとの位置ずれ量に応じた強度信号Iが受光回路11から出力される。 [0031] That is, the piezoelectric element 5a of the X (Y) direction control for a sine wave signal (5b) is driven through the oscillator circuit 26, whereby the laser beam spot 1c is vibrated by the mirror 2 is small vibrations Te, the intensity signal I corresponding to the positional deviation amount between the center and the incident light beam of the optical fiber entrance end face is output from the light receiving circuit 11. 例えば、図3 For example, Figure 3
(e)に示すように、レーザービームスポット1cが光ファイバーのコア4cの中心に対してY方向に上側にずれていると、Y方向用位相比較回路30は図3(b)、 (E), the laser when the beam spot 1c is shifted upward in the Y direction with respect to the center of the core 4c of the optical fiber, Y-direction phase comparison circuit 30 FIG. 3 (b),
(f)の位相を比較して上側にずれていることを判別するとともに、そのずれ量に対応した誤差信号(変動の直流成分)を出力する。 With it determines are shifted upward by comparing the phases of (f), and outputs an error signal corresponding to the displacement amount (the DC component of the variation). この誤差信号により圧電素子5b The piezoelectric element 5b by the error signal
が駆動され、ミラー2の傾き(姿勢)が変化してレーザービームスポット1cがY方向に下側に移動するようになり、上記誤差(ずれ)が補償される。 There is driven, the laser beam spot 1c tilt of the mirror 2 (attitude) is changed is to move to the lower side in the Y direction, the error (deviation) is compensated. この誤差が補償された状態では、強度信号Iは図3(d)のような波形になっている。 In a state in which the error has been compensated, the intensity signal I is in a waveform as shown in FIG. 3 (d).

【0032】一方、図3(g)に示すように、レーザービームスポット1cが光ファイバーのコア4cの中心に対してY方向に下側にずれていると、Y方向用位相比較回路30は図3(b)、(h)の位相を比較して下側にずれていることを判別するとともに、そのずれ量に対応した誤差信号を出力する。 On the other hand, as shown in FIG. 3 (g), the laser beam when the spot 1c is shifted to the lower side in the Y direction with respect to the center of the core 4c of the optical fiber, the Y-direction for the phase comparator 30 is 3 (b), as well as it determines that the shift to the lower and compares the phases of (h), and outputs an error signal corresponding to the deviation amount. この誤差信号により圧電素子5bが駆動され、ミラー2の傾きが変化してレーザービームスポット1cがY方向に上側に移動するようになりずれが補償される。 By this error signal the piezoelectric element 5b is driven, the laser beam spot 1c tilt of the mirror 2 is changed is shifted now moves upward in the Y-direction are compensated.

【0033】X方向に対するずれは、X方向用位相比較回路29を用いてそのずれ方向が判別されるとともに、 The deviation with respect to the X direction, with the shift direction is determined using the X-direction phase comparison circuit 29,
そのずれ量に応じてX方向制御用の圧電素子5aが駆動され、ミラー2の傾きが制御されることにより、Y方向のずれの補正と同様に補正することができる。 As in accordance with the displacement amount piezoelectric element 5a for X-direction control is driven by the tilt of the mirror 2 is controlled, it can be corrected similarly to the correction of the Y direction deviation.

【0034】なお、レーザービームを微小振動させるとき、発振回路26の発振周波数をレーザー走査ユニット14(図1)におけるフレーム走査周波数(例えば30 [0034] Incidentally, when to minute vibrations of the laser beam, the frame scanning frequency of the laser scanning unit 14 (FIG. 1) the oscillation frequency of the oscillation circuit 26 (e.g., 30
Hz)、あるいはフィールド走査周波数(例えば60H Hz), or a field scanning frequency (e.g. 60H
z)の整数倍に設定しておくことで、走査型レーザー検眼鏡の使用時において、被検眼15の被験者が観察して知覚するレーザーラスターのちらつきや変動を最小に抑えることができる。 By setting the integral multiple of z), in use of the scanning laser ophthalmoscope, the flicker or fluctuation of the laser raster perceive by observing that the subjects of the eye 15 can be minimized. また、図1の構成で説明した様に、 In addition, as described in the configuration of FIG. 1,
光ファイバーの射出光強度は変動していても、光検出器17を介して得られる被写体(眼底15b等)の映像信号は、乗算回路19と除算回路22による処理を受けるために、TVモニター21上に表示される画像には全く影響が生じない。 Also emitted light intensity of the optical fiber is not changed, the video signal of an object (fundus 15b, etc.) obtained through the light detector 17, for receiving the processing by the multiplication circuit 19 and division circuit 22, TV monitor 21 on It is not generated any effect on the image to be displayed on.

【0035】図5は、本発明の他の実施形態を示している。 [0035] Figure 5 shows another embodiment of the present invention. 図5において、レーザー光源1は、例えばマルチラインのArレーザー等、2種類以上の波長の光を同時発振するレーザー光源である。 5, the laser light source 1, for example, Ar laser or the like of the multi-line, a two or more laser light sources for simultaneously oscillates light of wavelengths. レーザー光源1からの光ビーム1aは、既に説明した方向制御機構5を備えたミラー2によって反射され、波長分散素子36、レンズ3を介して光ファイバー4の入射端面に集光される。 Light beam 1a from the laser light source 1 is reflected by the mirror 2 having a directional control mechanism 5 which have already been described, is focused on the incident end face of the optical fiber 4 through the wavelength dispersion element 36, the lens 3. 光ファイバー4の入射端は、光コネクタ4aによって固定されており、また光ビームの光路を一括して防塵機構6で遮蔽することにより、埃や塵による光量低下等の影響を防ぐことができる。 Incident end of the optical fiber 4 is fixed by the optical connector 4a, also by shielding with a dustproof mechanism 6 collectively the optical path of the light beam, it is possible to prevent the influence of reduction in light quantity due to dust and dirt.

【0036】波長分散素子36は、プリズム(または回折格子等)によって構成され、異なる波長のレーザービームの進行方向を僅かに異ならせるためのものである。 The wavelength dispersion element 36 is constituted by a prism (or diffraction grating, etc.), it is intended for a slightly different direction of travel of the laser beams of different wavelengths.
従って、光ファイバー4の端面中心部のコアに入射する光ビームの波長は単一のものとなり、方向制御機構5によってミラー2の反射角度を変えることにより、光ファイバー4から射出する光ビームの波長を選択することができる。 Thus, the wavelength of the light beam incident on the core end face central portion of the optical fiber 4 becomes that of a single, by changing the reflection angle of the mirror 2 by the direction control mechanism 5, select the wavelength of the light beam emitted from the optical fiber 4 can do. すなわち、方向制御機構5における圧電素子の一つ(例えば、X方向制御用の圧電素子5a)に与える直流電圧のレベルを変えることによって、単一のレーザー波長を効率的に選択できる。 That is, one of the piezoelectric element in the direction control mechanism 5 (e.g., a piezoelectric element 5a for X direction control) by varying the level of the DC voltage applied to, can select a single laser wavelength efficiently. 光ファイバーと入射光ビームの位置ずれに関しては、既に説明した様に、圧電素子5a、5bにそれぞれ交流電圧を与えて振動させることによって補正が可能である。 For the positional displacement of the optical fiber the incident light beam, as already described, can be corrected by vibrating giving each alternating voltage the piezoelectric element 5a, in 5b.

【0037】図6は、本発明によるレーザー光学装置の特性例として、レーザー光強度Iの環境温度に対する依存性を示したものである。 [0037] FIG. 6 is a characteristic example of a laser optical apparatus according to the present invention, and shows the dependence on the environmental temperature of the laser light intensity I. 図6において、I 1は、レーザー光源1から射出した直後の光ビームの強度を、I 2 In FIG. 6, I 1 is the intensity of the light beam immediately after emitted from the laser light source 1, I 2
は光ファイバーを透過した後の光ビームの強度を示している。 It represents the intensity of the light beam after passing through the optical fiber. 本発明を基本として開発された圧電素子を利用した補正技術によって、環境温度によらず光ビーム強度が一定に保たれることを示しており、これは既に図8において説明した従来技術による温度特性に比較して、非常に安定的な性能を実現可能なことを示している。 The correction technique that utilizes a piezoelectric element which is developed this invention as a base, the light beam intensity regardless of the environmental temperature has shown that remains constant, this temperature characteristic already by the prior art described in FIG. 8 compared to indicate that that can realize highly stable performance.

【0038】 [0038]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、光ファイバーから射出するレーザービームの光強度を確実に一定に保つことができ、レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを用いて環境の温度変化や装置の経時変化等によらず損失なく伝達することが可能になる。 As described in the foregoing, in the present invention, the light intensity of the laser beam emitted from the optical fiber can be kept constant in a reliable manner the temperature changes in the environment Ya laser beam from the laser light source using an optical fiber it is possible to transfer without loss regardless of the aging of the apparatus.

【0039】また、従来使用の難しいとされていたコア径の細いシングルモード光ファイバーや偏波面保存型光ファイバーを用いることが容易であり、位置決め用の高価な精密機構等を用いなくても自動的に高精度な光軸調整が可能なため装置全体の低価格化を図ることが可能である。 Further, it is easy to use and difficult to core diameter was thin or single-mode optical fiber polarization maintaining type optical fiber conventionally used, automatically without using expensive precision mechanisms or the like for positioning it is possible to achieve high-precision optical axis adjustment of the entire device for possible cost reduction.

【0040】更に、この光ファイバーで伝達されたレーザービームで被写体を照明し、被写体の画像信号を取得する場合、光ファイバーが揺れたり撓んだりして透過光強度が変動した場合にも、画像信号はその強度変動の影響を受けることがなく常にノイズの少ない画像の観察が可能である。 [0040] Furthermore, to illuminate the subject with the transmitted laser beam in this optical fiber, the case of acquiring an image signal of an object, even if the optical fiber transmission light intensity and flexes or shaking is varied, the image signal without being affected by the intensity variation it is possible always noiseless image observation. 加えて、多波長発振のレーザー光源を使用した場合に、複数の波長から光ファイバーを介して単一波長の光ビームを光量損失少なく選択するといったことも可能である。 In addition, when using a laser light source of the multi-wavelength oscillation, it is also possible such that selected small optical loss of light beam of a single wavelength through the optical fiber from a plurality of wavelengths.

【0041】このように本発明は、光ファイバーを用いたシステムとして、形状や発熱量の大きなレーザー光源でも離して設置して容易に走査光学系に接続して活用できるという本来の特性を最大限に生かすことができ、精密な光学装置として、無調整でも長期間安定的に性能を維持できるといった点で優れた効果が得られる。 [0041] Thus, the present invention is a system using an optical fiber, to maximize the inherent property that can be utilized by connecting to easily scanning optical system be placed away in large laser light source shape and heating value you can take advantage, as precision optical devices, excellent effects in that such can be maintained for a long period of time stably performance without adjustment is obtained.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明装置をレーザー走査型検眼鏡に用いたシステムの構成を示すブロック図である。 [1] The present invention apparatus is a block diagram showing a system configuration using a laser scanning ophthalmoscope.

【図2】レーザービームを光ファイバーの入射端に導く構成を示した斜視図である。 2 is a perspective view showing the structure for guiding the laser beam on the incident end of the optical fiber.

【図3】レーザービームが光ファイバー入射端の中心位置からずれた場合の光強度の変動を示した説明図である。 3 is an explanatory view showing the variation of the light intensity when the laser beam is shifted from the center position of the optical fiber entrance end.

【図4】レーザービームの光ファイバー入射端中心位置に対するずれを補償する回路構成を示したブロック図である。 4 is a block diagram showing a circuit configuration for compensating the deviation for the optical fiber entrance end center position of the laser beam.

【図5】本発明の他の実施形態を示した構成図である。 5 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.

【図6】本発明装置での光ファイバーから射出する光強度の特性を示した線図である。 6 is a diagram showing characteristics of the light intensity emitted from the optical fiber of the present invention device.

【図7】従来の構成を示す構成図である。 7 is a block diagram showing a conventional configuration.

【図8】従来装置での光ファイバーから射出する光強度の特性を示した線図である。 8 is a diagram showing characteristics of the light intensity emitted from the optical fiber in the conventional device.

【符号の説明】 1 レーザー光源 2 ミラー 4 光ファイバー 5 方向制御機構 5a、5b 圧電素子 15 被検眼 [Reference Numerals] 1 laser light source 2 mirror 4 optical fibers 5 direction control mechanism 5a, 5b piezoelectric element 15 subject's eye

Claims (10)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置において、 光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームの光強度を検出する手段と、 前記検出された光強度が最大になるようにレーザービームの光ファイバー入射端面に対する位置を制御する手段と、 を有することを特徴とするレーザー光学装置。 1. A laser optical apparatus for injection through an optical fiber the laser beam from the laser light source, means for detecting the light intensity of the laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber, the maximum the detected light intensity laser optical apparatus characterized by comprising means for controlling the position relative to the optical fiber entrance end surface of the laser beam, a so.
  2. 【請求項2】 レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置において、 レーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対するずれ量を検出する手段と、 前記検出されたずれ量が減少するようにレーザービームと光ファイバーの入射端面中心の相対位置を制御する手段と、 を有することを特徴とするレーザー光学装置。 2. A laser optical apparatus for injection through an optical fiber the laser beam from the laser light source, means for detecting a displacement amount with respect to the incident end surface center of the laser beam of the optical fiber, so that the detected displacement amount is reduced laser optical apparatus characterized by comprising means for controlling the relative position of the incident end surface center of the laser beam and an optical fiber, to.
  3. 【請求項3】 レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置において、 レーザービームを微小振動させて光ファイバーの入射端面に導く手段と、 光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームの光強度を検出し微小振動に基づく光強度の変動を検出する手段と、 前記光強度の変動に基づいてレーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対するずれの方向を検出する手段と、 前記検出されたずれの方向に基づいてレーザービームと光ファイバーの入射端面中心との位置関係を、光ファイバーの射出端面からの光強度が増大するように変化させる手段と、 を有することを特徴とするレーザー光学装置。 In the laser optical system to emit through an optical fiber the laser beam from wherein laser light source, means for directing the laser beam by small vibrations on the incident end face of the optical fiber, the laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber light It means for detecting variations in light intensity based on the detected minute vibration intensity, and means for detecting the direction of displacement with respect to the incident end surface center of the laser beam of the optical fiber on the basis of variation of the light intensity, of the detected deviation the positional relationship between the incident end surface center of the laser beam and an optical fiber on the basis of the direction, the laser optical apparatus characterized by having a means for varying such that the light intensity increases from the exit end face of the optical fiber.
  4. 【請求項4】 レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させるレーザー光学装置において、 レーザービームを第1と第2の方向に微小振動させて光ファイバーの入射端面に導く手段と、 光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームの光強度を検出し第1と第2の方向の微小振動に基づく光強度の変動を検出する手段と、 前記光強度の変動に基づいてレーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対する2次元的なずれの方向を検出する手段と、 前記検出された2次元的なずれの方向に基づいてレーザービームと光ファイバーの入射端面中心との位置関係を、光ファイバーの射出端面からの光強度が増大するように2次元的に変化させる手段と、 を有することを特徴とするレーザー光学装置。 The laser beam from 4. Laser light source in the laser optical system to emit through an optical fiber, and means for guiding the incident end face of the optical fiber by small vibrations of the laser beam into the first and second directions, exit of the optical fiber means for detecting variations in light intensity based on minute vibration of the first and second directions to detect the light intensity of the laser beam emitted from the end face, the incident end surface center of the optical fiber of the laser beam on the basis of variation of the light intensity light intensity of the means for detecting the direction of the two-dimensional displacement, the positional relationship between the incident end surface center of the laser beam and the optical fiber based on the direction of the detected two-dimensional displacement, from the exit end face of the optical fiber against There laser optical apparatus characterized by having a means for changing two-dimensionally so as to increase.
  5. 【請求項5】 レーザー光源からのレーザービームを光ファイバーを介して射出させ、射出されたレーザービームを所定の周波数で偏向走査させるレーザー光学装置において、 レーザービームを前記所定の周波数の整数倍の周波数で第1と第2の方向に微小振動させて光ファイバーの入射端面に導く手段と、 光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームの光強度を検出し第1と第2の方向の微小振動に基づく光強度の変動を検出する手段と、 前記光強度の変動に基づいてレーザービームの光ファイバーの入射端面中心に対する2次元的なずれの方向を検出する手段と、 前記検出された2次元的なずれの方向に基づいてレーザービームと光ファイバーの入射端面中心との位置関係を、光ファイバーの射出端面からの光強度が増大する 5. The laser beam from the laser light source is emitted through the optical fiber, the laser optical apparatus for deflection scanning the emitted laser beam at a predetermined frequency, the laser beam by an integer multiple of the frequency of the predetermined frequency means for directing the incident end face of the optical fiber by small vibrations on the first and second directions, the light intensity based on minute vibration of the first and second directions to detect the light intensity of the laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber It means for detecting the variation of the means for detecting the direction of the two-dimensional displacement relative to the incident end surface center of the laser beam of the optical fiber on the basis of variation of the light intensity, in the direction of the detected two-dimensional displacement the positional relationship between the incident end surface center of the laser beam and the optical fiber on the basis of the light intensity from the exit end face of the optical fiber is increased うに2次元的に変化させる手段と、 を有することを特徴とするレーザー光学装置。 Laser optical apparatus comprising: the means for changing the sea urchin two-dimensionally, the.
  6. 【請求項6】 更に、前記光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームを2次元的に走査するための光走査手段と、 前記光走査手段により2次元的に走査されたレーザービームを被写体に導くと共に、被写体からの反射光、透過光、または蛍光を前記光走査手段を介して受光し被写体の画像信号を出力する受光素子と、 を有することを特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載のレーザー光学装置。 6. Further, the optical scanning means for scanning the laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber in two dimensions, a two-dimensionally scanned laser beam and guides the subject by the light scanning means , one of the light reflected from the object, the transmitted light or fluorescence from claim 1, characterized in that it comprises a light receiving element for outputting an image signal of the received subject through the optical scanning means to the 5 1 laser optical device according to claim.
  7. 【請求項7】 更に、前記光ファイバーの射出端面から射出するレーザービームを2次元的に走査するための光走査手段と、 前記光走査手段により2次元的に走査されたレーザービームを被写体に導くと共に、被写体からの反射光、透過光、または蛍光を前記光走査手段を介して受光し被写体の画像信号を出力する受光素子と、 前記検出された光強度に応じて前記画像信号を制御することにより該画像信号から前記微小振動によるレーザービームの強度変動の影響を除去するための手段と、 を有することを特徴とする請求項3から5までのいずれか1項に記載のレーザー光学装置。 7. Furthermore, a scanning means for scanning the laser beam emitted from the exit end face of the optical fiber in two dimensions, a two-dimensionally scanned laser beam and guides the subject by the light scanning means , the reflected light from the object, the transmitted light, or a light receiving element fluorescence outputs an image signal of the received subject through the optical scanning means, by controlling the image signal according to the detected light intensity laser optical apparatus according to any one of claims 3, characterized in that it comprises a means for removing the influence of the intensity fluctuations of the laser beam by the micro-vibration from the image signal to 5.
  8. 【請求項8】 前記レーザー光源は複数の波長のレーザービームを発生し、該複数波長のレーザービームが分散光学素子を介して光ファイバーに入射されることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のレーザー光学装置。 Wherein said laser source generates a laser beam of a plurality of wavelengths, either one of claims 1, characterized in that the laser beam of the plurality of wavelengths is incident to the optical fiber through a dispersive optical element 7 of laser optical device according to item 1.
  9. 【請求項9】 前記レーザービームの入射方向を制御することにより単一波長のレーザービームが光ファイバーに入射されることを特徴とする請求項8に記載のレーザー光学装置。 9. The laser optical apparatus of claim 8, the laser beam of a single wavelength by controlling the incident direction of the laser beam, characterized in that it is incident to the optical fiber.
  10. 【請求項10】 前記光ファイバーは、コア径が5〜1 Wherein said optical fiber, the core diameter of 5 to 1
    0μm程度以下のシングルモード光ファイバー、または、偏波面保存光ファイバーであることを特徴とする請求項1から9までのいずれか1項に記載のレーザー光学装置。 0μm about the following single-mode optical fiber, or a laser optical apparatus according to any one of claims 1, characterized in that a polarization maintaining optical fiber to 9.
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