JPH11213419A - Optical head, and optical recording and reproducing device - Google Patents

Optical head, and optical recording and reproducing device

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JPH11213419A
JPH11213419A JP10016848A JP1684898A JPH11213419A JP H11213419 A JPH11213419 A JP H11213419A JP 10016848 A JP10016848 A JP 10016848A JP 1684898 A JP1684898 A JP 1684898A JP H11213419 A JPH11213419 A JP H11213419A
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JP
Japan
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optical
recording
head
slider
optical recording
Prior art date
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Application number
JP10016848A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Irita
丈司 入田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform the tracking operation control of an optical recording and reproducing device enabling a high density recording and reproduction by using a slider type head on which a solid-state immersion lens is mounted with high accuracy. SOLUTION: This optical head 10 is constituted by arranging a solid-state immersion lens 12 at the position near the recording surface 2a of the upper surface of an optical magnetic disk 2 in a slider 11 which is placed on the recording surface 2a of the upper surface of the optical magnetic head 2 rotated by a spindle motor 1 and positioned by being floated by an air bearing from the recording surface 2a and arranging an objective lens 13 for converging a recording and reproducing light on the lens 12 at the upper side of the lens 12. Also, the optical head 20 is held to a head arm 4 with a fine moving actuator 20, and a highly accurate tracking control is performed by the control of the fine moving actuator 20 in addition to the rotational control of the head arm 4 by a voice coil motor 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的に情報を記
録再生する光学記録再生装置と、この光学記録再生装置
に用いられる光学ヘッドとに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording / reproducing apparatus for optically recording / reproducing information and an optical head used for the optical recording / reproducing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、光学的に情報を記録または再生す
る装置またはシステム、特に光磁気記録再生装置または
システムにおいて、記録密度を向上させることを目的と
して、固体浸レンズ(ソリッドイマージョンレンズまた
はSILとも称される)を用いて、光学系の実効的な開
口数を1以上にする記録方式が提案されている。例え
ば、固体浸レンズを光磁気ディスクのフライングヘッド
上に搭載した実験例が B.D.Terris らによって、Applie
d Physics Letter 68(2),141-143 (1996) に示されてい
る。そのヘッドの先端部分を図7に示しており、このヘ
ッド90は、空気ベアリングにより浮上するスライダー
91上に固体浸レンズ92を搭載し、固体浸レンズ92
の上部には固体浸レンズ92に光線を収束入射させる対
物レンズ93を配置して構成されている。
2. Description of the Related Art In recent years, in an apparatus or system for optically recording or reproducing information, particularly in a magneto-optical recording and reproducing apparatus or system, a solid immersion lens (also referred to as a solid immersion lens or a SIL) has been developed in order to improve the recording density. A recording method has been proposed in which the effective numerical aperture of the optical system is increased to 1 or more by using the same. For example, an experimental example of mounting a solid immersion lens on the flying head of a magneto-optical disk was reported by BDTerris et al.
d Physics Letter 68 (2), 141-143 (1996). FIG. 7 shows the tip of the head. This head 90 has a solid immersion lens 92 mounted on a slider 91 which floats by an air bearing.
An objective lens 93 for converging and entering a light beam to the solid immersion lens 92 is arranged on the upper part of the lens.

【0003】このような構成では、固体浸レンズ92と
記録媒体95との距離は、スライダー構造とその荷重お
よび、記録媒体の回転に伴い発生する空気ベアリングに
よる浮上力とのバランスによって決まり、常に一定の距
離となるため、フォーカスサーボ機構が不要である。こ
のようなヘッドを用いた光記録再生装置の場合には、こ
のヘッドをヘッドアームの先端に取り付け、このアーム
の根本に設けられたボイスコイルモータの回転駆動によ
り、ヘッドを記録媒体の回転に対する半径方向(回転方
向と回転面内で交差する方向)に移動(走査)させるこ
とにより、すなわち、トラッキング動作を行わせること
により、記録再生を行うようになっている。
In such a configuration, the distance between the solid immersion lens 92 and the recording medium 95 is determined by the balance between the slider structure and its load, and the buoyancy generated by the air bearing generated by the rotation of the recording medium, and is always constant. Therefore, the focus servo mechanism is unnecessary. In the case of an optical recording / reproducing apparatus using such a head, this head is attached to the tip of a head arm, and the head is rotated by a voice coil motor provided at the root of the arm to rotate the head with respect to the rotation of the recording medium. Recording and reproduction are performed by moving (scanning) in the direction (direction intersecting the rotation direction and the rotation plane), that is, by performing a tracking operation.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来から用いられている装置では、トラッキング動
作の制御は、ヘッドの根本に設けられたボイスコイルモ
ータの回転制御のみによっているため、細かなトラッキ
ング動作制御が難しいという問題がある。特に、最近で
は高密度記録再生が要求され、上記のような固体浸レン
ズを搭載したスライダー型ヘッドを用いれば、トラック
ピッチが1μm以下となるような細かなピッチの記録も
可能となるのであるが、このような細かなトラックピッ
チに対して高精度にトラッキング動作を行うことが難し
いという問題がある。
However, in such a conventional apparatus, the tracking operation is controlled only by controlling the rotation of a voice coil motor provided at the root of the head. There is a problem that operation control is difficult. In particular, recently, high-density recording / reproduction has been required, and if a slider type head equipped with a solid immersion lens as described above is used, recording at a fine pitch such that the track pitch is 1 μm or less is possible. However, there is a problem that it is difficult to perform a tracking operation with high accuracy for such a fine track pitch.

【0005】本発明はこのような事情に鑑みたもので、
固体浸レンズを搭載したスライダー型ヘッドを用いて高
密度記録再生が可能な光学記録再生装置において、トラ
ッキング動作制御を高精度で行うことが可能な光学ヘッ
ドおよび光学記録再生装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of such circumstances.
An optical recording and reproducing apparatus capable of performing high-density recording and reproduction using a slider type head equipped with a solid immersion lens, and an object thereof is to provide an optical head and an optical recording and reproducing apparatus capable of performing tracking operation control with high accuracy. And

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段および作用】このような目
的達成のため、本発明においては、平面運動する光記録
媒体(例えば、光ディスク)の記録面(通常は、ディス
クの上面もしくは表面)に置かれて空気ベアリングによ
りこの記録面から浮上して位置するスライダーに、光記
録媒体の記録面に近接する位置に固体浸レンズを配設
し、その上側に固体浸レンズに記録再生光を集光させる
対物レンズを配設して光学ヘッドが構成され、さらに、
スライダーを微動アクチュエータを介してヘッドアーム
に保持させるように構成されている。
In order to achieve the above object, according to the present invention, an optical recording medium (for example, an optical disk) that moves in a plane is placed on a recording surface (usually, an upper surface or a surface of the disk). A solid immersion lens is disposed at a position close to the recording surface of the optical recording medium on a slider positioned above the recording surface by an air bearing, and the recording / reproducing light is focused on the solid immersion lens above the solid immersion lens. An optical head is configured by arranging an objective lens, and further,
The slider is configured to be held on the head arm via a fine actuator.

【0007】このような構成の光学ヘッドを用いて光記
録再生を行う場合には、光記録媒体(光磁気ディスク)
を平面運動(例えば、回転運動)させた状態で、ヘッド
アームに保持されたスライダーを光記録媒体の記録面上
に置く。このとき、スライダーと光記録媒体との相対運
動により生じる空気ベアリング効果によりスライダーは
光記録媒体の記録面から一定の距離を保って浮いた状態
となる。そして、外部から対物レンズを介して固体浸レ
ンズに記録再生光を照射する。このとき、記録再生光は
対物レンズに集光されて固体浸レンズに導かれ、光記録
媒体に集光スポットが形成され、この集光スポットを用
いて情報の記録再生が行われる。この集光スポットのサ
イズは、固体浸レンズの屈折率をnとすると固体浸レン
ズがない場合に比べて1/nとなるため、非常に小さな
集光スポットにより情報の記録再生が可能となり、極く
細いトラックピッチでの高密度記録再生が可能となる。
なお、空気ベアリングにより常に一定の距離を保ってス
ライダーが浮上した状態となるため、フォーカシング機
構を用いなくても集光スポットを常に光記録媒体の記録
面に形成させることができる。
When optical recording and reproduction are performed using the optical head having such a configuration, an optical recording medium (magneto-optical disk) is used.
The slider held by the head arm is placed on the recording surface of the optical recording medium in a state where is moved in a plane (for example, rotated). At this time, the slider floats while maintaining a certain distance from the recording surface of the optical recording medium due to an air bearing effect generated by the relative movement between the slider and the optical recording medium. Then, the solid immersion lens is irradiated with recording / reproducing light from outside through an objective lens. At this time, the recording / reproducing light is condensed on the objective lens and guided to the solid immersion lens to form a converged spot on the optical recording medium, and information is recorded / reproduced using the converged spot. The size of this condensed spot is 1 / n when the refractive index of the solid immersion lens is n, compared to the case where no solid immersion lens is provided. High-density recording and reproduction at a fine track pitch becomes possible.
Since the slider always floats at a fixed distance by the air bearing, a focused spot can always be formed on the recording surface of the optical recording medium without using a focusing mechanism.

【0008】ところで、このように極く細いトラックピ
ッチでの高密度を行わせるときには、このトラックピッ
チに対応した非常に高精度なトラッキング移動制御を行
う必要がある。本発明の光学ヘッドを用いる場合、この
光学ヘッドを保持するヘッドアームをボイスコイルモー
タ等により回転駆動して基本的なトラッキング移動制御
が行われ、さらに、微動アクチュエータにより細かなト
ラッキング移動制御が行われる。このため、ボイスコイ
ルモータ等の回転駆動制御では難しい細かなトラッキン
グ移動制御を微動アクチュエータにより補うことが可能
で、極く細いトラックピッチでの高密度記録再生を正確
に行うことが可能である。
[0008] By the way, when performing high-density operation at such an extremely narrow track pitch, it is necessary to perform very high-precision tracking movement control corresponding to the track pitch. When the optical head of the present invention is used, the head arm holding the optical head is rotated by a voice coil motor or the like to perform basic tracking movement control, and further, fine tracking movement control is performed by a fine movement actuator. . For this reason, fine tracking movement control, which is difficult in rotational drive control of a voice coil motor or the like, can be supplemented by the fine movement actuator, and high-density recording and reproduction at an extremely narrow track pitch can be performed accurately.

【0009】なお、本発明に係る光学ヘッドを構成する
スライダーにおいて、対物レンズを通って固体浸レンズ
に集光されて光記録媒体に至る記録再生光用の光路を形
成する部分は、記録再生光に対して光透過性を有する必
要があり、このため、スライダーにおけるこの部分が空
隙のままに形成されたり、透明材料から形成されたりす
る。
In the slider constituting the optical head according to the present invention, a portion forming an optical path for recording / reproducing light which is condensed on the solid immersion lens through the objective lens and reaches the optical recording medium is composed of recording / reproducing light. Therefore, this part of the slider may be formed as a gap or formed of a transparent material.

【0010】また、本発明に係る光学ヘッドでは、外部
から照射された記録再生光を対物レンズに導くための光
学ミラーをスライダーに設けるのが好ましい。このと
き、光学ミラーを光学プリズムに反射膜を付与して構成
することができる。
In the optical head according to the present invention, it is preferable that an optical mirror for guiding recording / reproducing light emitted from the outside to the objective lens is provided on the slider. At this time, the optical mirror can be configured by adding a reflective film to the optical prism.

【0011】さらに、本発明に係る光学ヘッドでは、ス
ライダーにおける光記録媒体に対向する位置にコイル状
の導電性配線を設け、この導電性配線により光記録媒体
の磁界変調を行わせることができるようにするのが好ま
しく、これにより記録のオーバーライトを行うことが可
能となる。
Further, in the optical head according to the present invention, a coil-shaped conductive wiring is provided at a position facing the optical recording medium in the slider, and the magnetic field of the optical recording medium can be modulated by the conductive wiring. It is preferable that the recording be overwritten.

【0012】なお、本発明に係る光学ヘッドを構成する
微動アクチュエータは、静電力駆動、圧電力駆動および
電磁力駆動のいずれかを用いるアクチュエータから構成
することができる。
The fine movement actuator constituting the optical head according to the present invention can be constituted by an actuator using any one of electrostatic drive, piezoelectric drive and electromagnetic drive.

【0013】本発明に係る光学記録再生装置は、上記の
ような本発明に係る光学ヘッドを用いて構成され、光記
録媒体を保持して平面運動させる媒体駆動機構(例え
ば、実施形態における光磁気ディスク2を回転させるス
ピンドルモータ1)と、この光学ヘッドを保持するヘッ
ドアームと、光学ヘッドを光記録媒体の平面運動方向と
交差する方向に移動させるようにヘッドアームを駆動す
るアーム駆動機構(例えば、実施形態におけるボイスコ
イルモータ3)とを有して構成される。なお、媒体駆動
機構により複数の光記録媒体を保持するように構成して
も良く、このときには各光記録媒体に対応して複数の光
学ヘッドが配設されて光学記録再生装置が構成される。
An optical recording / reproducing apparatus according to the present invention is constituted by using the optical head according to the present invention as described above, and has a medium drive mechanism (for example, a magneto-optical device according to the embodiment) for holding an optical recording medium and performing plane motion. A spindle motor 1 for rotating the disk 2, a head arm for holding the optical head, and an arm drive mechanism (for example, an arm drive mechanism for driving the head arm to move the optical head in a direction intersecting the direction of the plane movement of the optical recording medium). , The voice coil motor 3) according to the embodiment. Note that a plurality of optical recording media may be held by a medium drive mechanism. In this case, a plurality of optical heads are provided corresponding to each optical recording medium to constitute an optical recording / reproducing apparatus.

【0014】この光学記録再生装置では、光学ヘッドを
保持するヘッドアームをアーム駆動機構により回転駆動
して基本的なトラッキング移動制御を行い、さらに、微
動アクチュエータにより細かなトラッキング移動制御を
行う。このため、ボイスコイルモータの回転駆動制御で
は難しい細かなトラッキング移動制御を微動アクチュエ
ータにより補うことが可能で、極く細いトラックピッチ
での高密度記録再生を正確に行うことが可能である。
In this optical recording / reproducing apparatus, a head arm holding an optical head is driven to rotate by an arm driving mechanism to perform basic tracking movement control, and further, fine tracking movement control is performed by a fine movement actuator. For this reason, fine tracking movement control, which is difficult in the rotational drive control of the voice coil motor, can be supplemented by the fine movement actuator, and high-density recording and reproduction at an extremely narrow track pitch can be accurately performed.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態について説明する。本発明の第1実施形
態としての光学記録再生装置を図1および図2に示して
おり、この装置は、スピンドルモータ1により回転駆動
される光磁気ディスク2の上面記録面2aの上に近接し
て位置する光学ヘッド10と、この光学ヘッド10を保
持するヘッドアーム4と、このヘッドアーム4を回動さ
せるためのボイスコイルモータ3と、記録再生レーザー
光を照射する光照射装置5とを有して構成される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIGS. 1 and 2 show an optical recording / reproducing apparatus as a first embodiment of the present invention. The apparatus is located close to an upper surface recording surface 2a of a magneto-optical disk 2 driven to rotate by a spindle motor 1. An optical head 10, a head arm 4 for holding the optical head 10, a voice coil motor 3 for rotating the head arm 4, and a light irradiation device 5 for irradiating recording / reproducing laser light. It is composed.

【0016】光学ヘッド10はスライダー11を備えて
おり、スライダー11は回転する光磁気ディスク2の上
面記録面2aの上に位置し、空気ベアリング効果により
上面記録面2aから一定微小距離だけ浮上した状態とな
る(すなわち、フライングヘッドを構成する)。ヘッド
アーム4は、ボイスコイルモータ3に繋がれて回転駆動
される回転軸4aと、この回転軸4aの上端から水平に
延びたアーム部4bと、アーム部4bの先端において光
学ヘッド10を上下の移動を許容するようにして支持す
るサスペンション部4cとから構成される。ボイスコイ
ルモータ3により回転軸4aが回転駆動されるとアーム
部4bが水平に揺動移動され、光学ヘッド10を光磁気
ディスク2の回転方向に対してほぼ直角方向(図2にお
ける矢印A方向)に移動させて光学ヘッド10が光磁気
ディスク2の上面記録面2a上で走査される。すなわ
ち、ボイスコイルモータ3によりトラッキング制御が行
われる。
The optical head 10 has a slider 11, which is located above the upper recording surface 2a of the rotating magneto-optical disk 2 and floats a certain minute distance from the upper recording surface 2a by an air bearing effect. (Ie, constitute a flying head). The head arm 4 is connected to the voice coil motor 3 and driven to rotate, a rotating shaft 4a, an arm 4b extending horizontally from the upper end of the rotating shaft 4a, and an optical head 10 at the tip of the arm 4b. And a suspension section 4c that supports the movable section so as to allow movement. When the rotary shaft 4a is rotationally driven by the voice coil motor 3, the arm 4b is swung horizontally and the optical head 10 is moved substantially perpendicularly to the rotation direction of the magneto-optical disk 2 (the direction of arrow A in FIG. 2). And the optical head 10 is scanned on the upper recording surface 2a of the magneto-optical disk 2. That is, tracking control is performed by the voice coil motor 3.

【0017】光学ヘッド10において、スライダー11
に上方に広がる円形テーパ状の空隙11aが形成され、
空隙11aの下部には固体浸レンズ12が配設され、上
部には対物レンズ13が配設されている。スライダー1
1の上にはスペーサ14を介してマイクロプリズム15
が配設され、その反射面15aには高反射膜16が設け
られている。このマイクロプリズム15が微動アクチュ
エータ20を介してヘッドアーム4のサスペンション部
4cに繋がれている。なお、この空隙11aを透明もし
くは光透過性を有する材料で充満させても良い。
In the optical head 10, the slider 11
A circular tapered space 11a extending upward is formed at
A solid immersion lens 12 is provided below the space 11a, and an objective lens 13 is provided above the space 11a. Slider 1
1 is provided with a micro prism 15 via a spacer 14.
And a high reflection film 16 is provided on the reflection surface 15a. The microprism 15 is connected to the suspension 4c of the head arm 4 via the fine movement actuator 20. The space 11a may be filled with a transparent or light-transmitting material.

【0018】この微動アクチュエータ20を図3に拡大
して示しており、シリコンを材料とする平行平板型微動
アクチュエータからなる。具体的には、サスペンション
部4cと接合される第1基板21に設けられた固定ブロ
ック23および可動ブロック24を有して構成され、両
ブロック23,24は互いに平行に延びて対向する多数
の平行平板を有する。これら平行平板間に電圧を印可す
ることにより静電力を働かせ、固定ブロック23に対し
て可動ブロック24を平行平板と直角な方向(矢印B方
向)に微動させて、細かな且つ高精度な移動制御ができ
るようになっている。
FIG. 3 is an enlarged view of the fine movement actuator 20, which is a parallel plate type fine movement actuator made of silicon. Specifically, it is configured to have a fixed block 23 and a movable block 24 provided on the first substrate 21 joined to the suspension portion 4c, and the blocks 23 and 24 extend in parallel with each other and have a large number of opposing parallel members. It has a flat plate. By applying a voltage between these parallel plates to apply an electrostatic force, the movable block 24 is finely moved relative to the fixed block 23 in a direction perpendicular to the parallel plates (the direction of arrow B), thereby providing fine and highly accurate movement control. Is available.

【0019】すなわち、この微動アクチュエータは静電
力駆動型のアクチュエータである。可動ブロック24は
さらに、マイクロプリズム13と接合されており、この
ため、平行平板間に電圧を印可して可動ブロック24を
微動させれば、サスペンション部4cに対して光学ヘッ
ド10を矢印B方向に微動させることができる。なお、
この矢印B方向は、ボイスコイルモータ3による光学ヘ
ッド10の走査のための移動方向Aと同一の方向であ
る。
That is, this fine movement actuator is an electrostatic drive type actuator. The movable block 24 is further joined to the microprism 13. Therefore, when a voltage is applied between the parallel plates and the movable block 24 is slightly moved, the optical head 10 is moved in the direction of arrow B with respect to the suspension unit 4 c. Can be fine-tuned. In addition,
The direction of the arrow B is the same as the moving direction A for scanning the optical head 10 by the voice coil motor 3.

【0020】ヘッドアーム4の回転軸4aには光照射装
置5に斜めに対向して反射ミラー6が配設されており、
光照射装置5から照射される記録再生レーザー光は、図
1および図2に鎖線R1,R2で示すように、反射ミラ
ー6により反射されてマイクロプリズム15に導かれ
る。このようにしてマイクロプリズム15に導かれた記
録再生レーザー光は、マイクロプリズム15の反射面1
5aの高反射膜16により反射された後、対物レンズ1
3により集光されて固体浸レンズ12に入射し、固体浸
レンズ12により極く小さな集光スポットが光磁気ディ
スク2の上面記録面2aに形成される。
A reflection mirror 6 is disposed on the rotating shaft 4a of the head arm 4 so as to face the light irradiating device 5 at an angle.
The recording / reproducing laser light emitted from the light irradiation device 5 is reflected by the reflection mirror 6 and guided to the microprism 15 as shown by chain lines R1 and R2 in FIGS. The recording / reproducing laser beam guided to the microprism 15 in this manner is applied to the reflection surface 1 of the microprism 15.
After being reflected by the high reflection film 16 of FIG.
3, the light is focused on the solid immersion lens 12, and the solid immersion lens 12 forms an extremely small focused spot on the upper recording surface 2a of the magneto-optical disk 2.

【0021】以上のような構成の光学記録再生装置の作
動を説明する。まず光磁気ディスク2をスピンドルモー
タ1により所定の速度で回転させる。このとき、ヘッド
アーム4のサスペンション部4cに支持されてディスク
2の上面記録面2a上に配置された光学ヘッド10は、
空気ベアリング効果によりスライダー11が上面記録面
2aから微小距離だけ浮上した状態となる。この状態
で、光照射装置5から記録再生レーザー光が照射され、
鎖線R1,R2で示すように、反射ミラー6により反射
されてマイクロプリズム15に入射する。そして、マイ
クロプリズム15の反射面15aで反射されて対物レン
ズ13により集光されて固体浸レンズ12に入射して集
束され、光磁気ディスク2の上面記録面2aに集光スポ
ットが形成される。
The operation of the optical recording / reproducing apparatus having the above configuration will be described. First, the magneto-optical disk 2 is rotated at a predetermined speed by the spindle motor 1. At this time, the optical head 10 supported by the suspension portion 4c of the head arm 4 and arranged on the upper recording surface 2a of the disk 2
The slider 11 floats by a minute distance from the upper recording surface 2a due to the air bearing effect. In this state, a recording / reproducing laser beam is irradiated from the light irradiation device 5,
As shown by chain lines R1 and R2, the light is reflected by the reflection mirror 6 and enters the microprism 15. Then, the light is reflected by the reflecting surface 15 a of the microprism 15, condensed by the objective lens 13, is incident on the solid immersion lens 12 and is converged, so that a condensed spot is formed on the upper recording surface 2 a of the magneto-optical disk 2.

【0022】ここで光磁気ディスク2は定速回転で駆動
されており、スライダー1の浮上量は常に一定であり、
固体浸レンズ12から集光スポットまでの距離と同一と
なるように設定されている。このため、光磁気ディスク
2の上面記録面2aに常に集光スポットを形成させるこ
とが可能であり、従来のようにフォーカシング機構を設
ける必要はない。
Here, the magneto-optical disk 2 is driven at a constant speed, and the flying height of the slider 1 is always constant.
The distance from the solid immersion lens 12 to the converging spot is set to be the same. For this reason, it is possible to always form a converging spot on the upper recording surface 2a of the magneto-optical disk 2, and it is not necessary to provide a focusing mechanism as in the related art.

【0023】このように形成される集光スポット光によ
り情報の記録を行うときには、まず集光スポット部をこ
こに照射されるレーザー光によりキュリー温度以上に加
熱し、外部より印加される磁界によりこの部分の磁性を
変化させて情報記録を行うのであるが、これについては
すでに周知のことなので、磁界を印加する装置は図示せ
ず、その作動説明も省略する。また情報の再生(読み取
り)についても、磁気光学カー効果を検出する装置が用
いられるがこれについても図示およびその説明を省略す
る。
When information is recorded by the thus formed condensed spot light, first, the condensed spot is heated to a temperature higher than the Curie temperature by a laser beam applied thereto, and the condensed spot is heated by a magnetic field applied from the outside. The information recording is performed by changing the magnetism of the portion, but since this is already known, an apparatus for applying a magnetic field is not shown, and the operation description thereof is omitted. For reproducing (reading) information, a device for detecting the magneto-optical Kerr effect is used, but illustration and description thereof are also omitted.

【0024】このような記録再生は、光磁気ディスク2
の回転に対応して光学ヘッド10を光磁気ディスク2の
半径方向に移動させて(走査して)行われ、この光学ヘ
ッド10の走査すなわちトラッキングは、ヘッドアーム
4の根本に配置されたボイスコイルモータ3によりヘッ
ドアーム4を回動させて行われる。但し、ここではボイ
スコイルモータ3は粗動サーボとして用いられ、ヘッド
アーム4の比較的低速成分の制御を司る。すなわち、ボ
イスコイルモータ3によるトラッキングの制御精度には
限界があり細かなトラッキング制御は難しいためこれを
粗動サーボ制御に用い、粗動サーボ制御では追いきれな
い微小で高速な成分の制御は、微動アクチュエータ20
により微動サーボをかけることで行う。これにより超高
密度での光記録再生が可能となる。
Such recording and reproduction is performed on the magneto-optical disk 2
The optical head 10 is moved (scanned) in the radial direction of the magneto-optical disk 2 in accordance with the rotation of the optical head 10. The scanning or tracking of the optical head 10 is performed by a voice coil disposed at the root of the head arm 4. This is performed by rotating the head arm 4 by the motor 3. However, here, the voice coil motor 3 is used as a coarse movement servo, and controls a relatively low-speed component of the head arm 4. That is, since the precision of tracking control by the voice coil motor 3 is limited and fine tracking control is difficult, this is used for coarse movement servo control, and control of minute and high-speed components that cannot be overtaken by coarse movement servo control is fine movement. Actuator 20
This is done by applying fine movement servo. As a result, optical recording and reproduction at ultra-high density becomes possible.

【0025】すなわち、本装置によれば、固体浸レンズ
12を用いて極く小さな集光スポットを形成するととも
に、微動アクチュエータ20による極く細かなトラッキ
ング制御を行うことにより、超高密度での光再生記録を
可能としている。
That is, according to the present apparatus, a very small condensed spot is formed by using the solid immersion lens 12, and very fine tracking control is performed by the fine movement actuator 20. Playback recording is possible.

【0026】次に、本発明の異なる実施形態について、
図4を参照して説明する。この図に示す光学記録再生装
置は、光磁気ディスク2を回転駆動するスピンドルモー
タ1、ヘッドアーム4’を回動させるボイスコイルモー
タ3、記録再生レーザー光を照射する光照射装置5(図
4には図示せず)および反射ミラー6については、図1
および図2に示した装置のものと同一であるので、同一
番号を付してその説明を省略する。
Next, with respect to different embodiments of the present invention,
This will be described with reference to FIG. The optical recording / reproducing apparatus shown in FIG. 1 includes a spindle motor 1 for rotating a magneto-optical disk 2, a voice coil motor 3 for rotating a head arm 4 ', and a light irradiation apparatus 5 for irradiating a recording / reproducing laser beam (see FIG. Is not shown) and the reflection mirror 6 is shown in FIG.
2 are the same as those of the apparatus shown in FIG.

【0027】この装置においては、光学ヘッド50はサ
スペンション装置8および微動アクチュエータ60を介
してヘッドアーム4’に支持される。ヘッドアーム4’
はボイスコイルモータ3により回動駆動される回転軸4
a’とこの回転軸4a’の上端から水平に延びたアーム
部4b’とから構成され、アーム部4b’の先端に微動
アクチュエータ60が取り付けられ、微動アクチュエー
タ60の先端側にサスペンション装置8を介して光学ヘ
ッド50が支持されている。
In this device, the optical head 50 is supported by the head arm 4 'via the suspension device 8 and the fine actuator 60. Head arm 4 '
Is a rotary shaft 4 that is rotated and driven by the voice coil motor 3
a 'and an arm portion 4b' extending horizontally from the upper end of the rotating shaft 4a '. A fine actuator 60 is attached to the tip of the arm portion 4b'. Thus, the optical head 50 is supported.

【0028】光学ヘッド50は、光磁気ディスク2が回
転されたときに空気ベアリングにより浮上するスライダ
ー51と、スライダー51内に上方に広がる円形テーパ
状に形成された空隙11内の下部に配置された固体浸レ
ンズ52と、空隙11の上部に固体浸レンズ12と対向
して配設された対物レンズ53と、高反射膜層からなる
ミラー面56を有したマイクロミラー(光学ミラー)5
5とから構成され、マイクロミラー55がサスペンショ
ン装置8により支持されている。なお、スライダー51
の空隙内に、透明もしくは光透過性を有する材料を充填
してスライダーを構成しても良い。また、マイクロミラ
ー55はスライダーと同一材料から構成しても良い。
The optical head 50 is disposed below the slider 51 which floats by the air bearing when the magneto-optical disk 2 is rotated, and in the space 11 which is formed in a circular taper shape and extends upward in the slider 51. A solid immersion lens 52, an objective lens 53 disposed above the gap 11 so as to face the solid immersion lens 12, and a micromirror (optical mirror) 5 having a mirror surface 56 made of a highly reflective film layer
The micro mirror 55 is supported by the suspension device 8. The slider 51
May be filled with a transparent or light-transmissive material to form a slider. The micro mirror 55 may be made of the same material as the slider.

【0029】さらに、この光学ヘッド50においては、
スライダー51の底面側に図5に示すようなコイル状の
導電性配線58を備えたマイクロコイル57が埋め込ま
れている。この配線58に通電することにより、光磁気
ディスク2の上面記録面2aにおけるマイクロコイル5
7が対向する部分の磁界変調を行い、記録のオーバーラ
イトを行うことが可能となっている。
Further, in this optical head 50,
A microcoil 57 having a coil-shaped conductive wiring 58 as shown in FIG. By energizing the wiring 58, the micro coil 5 on the upper recording surface 2 a of the magneto-optical disk 2 is
7 modulates the magnetic field of the opposing portion to enable overwriting of recording.

【0030】微動アクチュエータ60は、固定ブロック
61と可動ブロック62との間に図示にように積層型圧
電素子63を接続してなる圧電アクチュエータ(圧電力
駆動型アクチュエータ)からなる。固定ブロック61は
ヘッドアーム4’のアーム部4b’に繋がり、可動ブロ
ック62はサスペンション装置8に繋がっており、圧電
素子63への通電制御により、固定ブロック61に対し
て可動ブロック62を矢印B方向に微小移動させる制御
を高精度で行うことができる。
The fine movement actuator 60 is composed of a piezoelectric actuator (piezoelectrically driven actuator) in which a laminated piezoelectric element 63 is connected between a fixed block 61 and a movable block 62 as shown in the figure. The fixed block 61 is connected to the arm portion 4b 'of the head arm 4', and the movable block 62 is connected to the suspension device 8. By controlling the energization of the piezoelectric element 63, the movable block 62 is moved with respect to the fixed block 61 in the direction of arrow B. Can be controlled with high precision.

【0031】以上のような構成の光学記録再生装置の作
動を説明する。光磁気ディスク2をスピンドルモータ1
により所定の速度で回転させと、サスペンション装置8
を介してヘッドアーム4’に支持されてディスク2の上
面記録面2a上に配置された光学ヘッド50は、空気ベ
アリング効果によりスライダー51が上面記録面2aが
微小距離だけ浮上した状態となる。この状態で、光照射
装置5から記録再生レーザー光が照射され、反射ミラー
6により反射されてマイクロミラー55に入射する。そ
して、マイクロミラー55のミラー面56で反射されて
対物レンズ53により集光されて固体浸レンズ52に入
射して集束され、光磁気ディスク2の上面記録面2aに
集光スポットが形成される。
The operation of the optical recording / reproducing apparatus having the above configuration will be described. Magneto-optical disk 2 with spindle motor 1
When the suspension device 8 is rotated at a predetermined speed by the
The optical head 50 supported by the head arm 4 'via the upper surface and disposed on the upper recording surface 2a of the disk 2 has a slider 51 in which the upper recording surface 2a floats by a minute distance due to the air bearing effect. In this state, a recording / reproducing laser beam is irradiated from the light irradiation device 5, is reflected by the reflection mirror 6, and enters the micro mirror 55. Then, the light is reflected by the mirror surface 56 of the micromirror 55, is condensed by the objective lens 53, is incident on the solid immersion lens 52, is converged, and a condensed spot is formed on the upper recording surface 2 a of the magneto-optical disk 2.

【0032】前述のように、光磁気ディスク2は定速回
転で駆動されており、スライダー1の浮上量は常に一定
であり、固体浸レンズ12から集光スポットまでの距離
がこの浮上量と同一となるように設定されており、フォ
ーカシング機構を用いることなく光磁気ディスク2の上
面記録面2aに常に集光スポットを形成させるようにし
ている。そして、このように形成された集光スポット光
により情報の記録再生が行われる。
As described above, the magneto-optical disk 2 is driven at a constant speed, the flying height of the slider 1 is always constant, and the distance from the solid immersion lens 12 to the condensing spot is equal to this flying height. The focusing spot is always formed on the upper recording surface 2a of the magneto-optical disk 2 without using a focusing mechanism. Then, recording and reproduction of information are performed by the condensed spot light thus formed.

【0033】このような記録再生に際して、光磁気ディ
スク2の回転に対応して光学ヘッド50を光磁気ディス
ク2の半径方向に走査(トラッキング)させる制御は、
ボイスコイルモータ3によりヘッドアーム4’を回動さ
せて行われる。但し、ここでもボイスコイルモータ3は
粗動サーボとして用いられ、ヘッドアーム4の比較的低
速成分の制御を行わせ、粗動サーボ制御では追いきれな
い微小で高速な成分の制御は、微動アクチュエータ60
により微動サーボをかけることで行う。これにより超高
密度での光記録再生が可能となる。
At the time of such recording and reproduction, the control for scanning (tracking) the optical head 50 in the radial direction of the magneto-optical disk 2 in accordance with the rotation of the magneto-optical disk 2 is as follows.
This is performed by rotating the head arm 4 ′ by the voice coil motor 3. However, also in this case, the voice coil motor 3 is used as a coarse movement servo, and controls the relatively low-speed component of the head arm 4.
This is done by applying fine movement servo. As a result, optical recording and reproduction at ultra-high density becomes possible.

【0034】なお、この光学記録再生装置では、スライ
ダー51の底面にマイクロコイル57が設けられてお
り、その導電性配線58に通電することにより、光磁気
ディスク2の上面記録面2aにおけるマイクロコイル5
7が対向する部分の磁界変調を行い、記録のオーバーラ
イトを行うことが可能である。
In this optical recording / reproducing apparatus, a microcoil 57 is provided on the bottom surface of the slider 51, and when the conductive wiring 58 is energized, the microcoil 5 on the upper recording surface 2a of the magneto-optical disk 2 is turned on.
It is possible to overwrite the recording by performing the magnetic field modulation of the portion where 7 faces.

【0035】以上の実施例においては、ヘッドアームの
回動制御には回転型アクチュエータであるボイスコイル
モータを用いてるが、リニア型アクチュエータによりヘ
ッドアームの回動駆動を行うように構成しても良い。ま
た、微動アクチュエータを、静電型もしくは圧電型アク
チュエータのみではなく、電磁力によるアクチュエータ
を用いて構成しても良い。また、光記録媒体は上記光磁
気ディスクに限られるものではなく、光ディスク等、光
を用いた記録再生を行う媒体すべてを含むものである。
In the above embodiment, the rotation of the head arm is controlled by the voice coil motor, which is a rotary actuator. However, the head arm may be rotated by a linear actuator. . Further, the fine movement actuator may be configured using not only an electrostatic or piezoelectric actuator but also an actuator using an electromagnetic force. In addition, the optical recording medium is not limited to the above-described magneto-optical disk, but includes any medium that performs recording and reproduction using light, such as an optical disk.

【0036】さらに、以上の実施例に示したような本発
明に係る光学ヘッド構成では、光学ヘッド全体を小型
化、薄型化、軽量化することが可能である。このため、
この光学ヘッドを同一筐体内に積層配置し、光磁気ディ
スクと光学ヘッドを複数有するマルチプラッター型で小
型の光学記録再生装置を構成することもできる。
Further, with the optical head structure according to the present invention as shown in the above embodiments, the entire optical head can be reduced in size, thickness, and weight. For this reason,
The optical heads may be stacked and arranged in the same housing to form a multiplatter-type compact optical recording / reproducing apparatus having a plurality of magneto-optical disks and optical heads.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固体浸レンズをスライダーに搭載した小型軽量な光学ヘ
ッドを用いて高精度なトラッキング制御を行うことが可
能となり、超高密度記録再生が可能となる。さらに、こ
のように小型軽量化できるため、光学ヘッド装置の慣性
質量が小さくなって高速トラッキングも可能となり、デ
ータアクセス時間を短縮することが可能となる。さら
に、光学ヘッドが小型軽量化することにより光学記録再
生装置全体構成を小型軽量化することが可能であり、複
数の記録媒体と複数の光学ヘッドを有するマルチプラッ
ター型の光学記録再生装置を構成して、小型で且つ大容
量の光学記録装置を得ることができる。
As described above, according to the present invention,
High-accuracy tracking control can be performed using a small and lightweight optical head having a solid immersion lens mounted on a slider, and ultra-high-density recording and reproduction can be performed. Further, since the size and weight can be reduced in this way, the inertial mass of the optical head device can be reduced, high-speed tracking can be performed, and the data access time can be reduced. Further, since the optical head is reduced in size and weight, the entire configuration of the optical recording and reproducing apparatus can be reduced in size and weight, and a multi-platter type optical recording and reproducing apparatus having a plurality of recording media and a plurality of optical heads is constituted. Thus, a compact and large-capacity optical recording apparatus can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係る光学記録再生装
置の構成を示す正面概略図である。
FIG. 1 is a schematic front view showing a configuration of an optical recording / reproducing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】この光学記録再生装置の構成を示す平面概略図
である。
FIG. 2 is a schematic plan view showing the configuration of the optical recording / reproducing apparatus.

【図3】この光学記録再生装置を構成する微動アクチュ
エータを示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a fine movement actuator constituting the optical recording / reproducing apparatus.

【図4】本発明の第2の実施形態に係る光学記録再生装
置の構成を示す正面概略図である。
FIG. 4 is a schematic front view showing a configuration of an optical recording / reproducing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図5】この光学記録再生装置の光学ヘッドを構成する
スライダーの底面に設けられたマイクロコイルの構成を
示す底面図である。
FIG. 5 is a bottom view showing a configuration of a microcoil provided on a bottom surface of a slider constituting an optical head of the optical recording / reproducing apparatus.

【図6】この光学記録再生装置を構成する微動アクチュ
エータを示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a fine movement actuator constituting the optical recording / reproducing apparatus.

【図7】従来の光学ヘッド構成を示す正面概略図であ
る。
FIG. 7 is a schematic front view showing a configuration of a conventional optical head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スピンドルモータ 2 光磁気ディスク 4,4’ ヘッドアーム 10,50 光学ヘッド 20,60 微動アクチュエータ 12,52 固体浸レンズ 13,53 対物レンズ 15 マイクロプリズム 55 マイクロミラー 57 マイクロコイル 1 Spindle motor 2 Magneto-optical disk 4, 4 'Head arm 10, 50 Optical head 20, 60 Fine movement actuator 12, 52 Solid immersion lens 13, 53 Objective lens 15 Micro prism 55 Micro mirror 57 Micro coil

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 平面運動する光記録媒体の記録面に置か
れて空気ベアリングによりこの記録面から浮上して位置
するスライダーと、 このスライダーにおける前記光記録媒体の記録面に近接
する位置に配設された固体浸レンズと、 前記スライダーにおける前記固体浸レンズの上側に配設
されて前記固体浸レンズに記録再生光を集光させる対物
レンズと、 前記スライダーを保持して平面移動させるヘッドアーム
と前記スライダーとの間に配設され、前記スライダーを
前記ヘッドアームに対して平面移動方向に微小移動させ
る微動アクチュエータとを有してなることを特徴とする
光学ヘッド。
1. A slider which is placed on a recording surface of an optical recording medium which moves in a plane and floats from the recording surface by an air bearing, and is disposed at a position in the slider which is close to the recording surface of the optical recording medium. A solid immersion lens, an objective lens disposed on the slider above the solid immersion lens, and condensing recording / reproducing light on the solid immersion lens, a head arm for holding the slider and moving in a plane, and An optical head, comprising: a fine movement actuator disposed between the head arm and the slider to slightly move the slider in a plane moving direction with respect to the head arm.
【請求項2】 前記スライダーにおいて、前記対物レン
ズを通って前記固体浸レンズに集光されて前記光記録媒
体に至る前記記録再生光用の光路を形成する部分が、前
記記録再生光に対して光透過性を有することを特徴とす
る請求項1に記載の光学ヘッド。
2. A part of the slider, which forms an optical path for the recording / reproducing light that passes through the objective lens and is condensed on the solid immersion lens and reaches the optical recording medium, with respect to the recording / reproducing light. The optical head according to claim 1, wherein the optical head has a light transmitting property.
【請求項3】 外部から照射された前記記録再生光を前
記対物レンズに導くための光学ミラーが前記スライダー
に設けられていることを特徴とする請求項1もしくは2
に記載の光学ヘッド。
3. The slider according to claim 1, wherein an optical mirror for guiding the recording / reproducing light emitted from the outside to the objective lens is provided on the slider.
An optical head according to item 1.
【請求項4】 前記光学ミラーが光学プリズムに反射膜
を付与して構成されていることを特徴とする請求項3に
記載の光学ヘッド。
4. The optical head according to claim 3, wherein the optical mirror is formed by applying a reflection film to an optical prism.
【請求項5】 前記スライダーにおける前記光記録媒体
に対向する位置にコイル状の導電性配線が設けられ、こ
の導電性配線により前記光記録媒体の磁界変調を行わせ
ることが可能であることを特徴とする請求項1〜4のい
ずれかに記載の光学ヘッド。
5. A coil-shaped conductive wiring is provided at a position of the slider facing the optical recording medium, and the conductive wiring can modulate the magnetic field of the optical recording medium. The optical head according to claim 1, wherein:
【請求項6】 前記微動アクチュエータが、静電力駆
動、圧電力駆動および電磁力駆動のいずれかを用いるア
クチュエータであることを特徴とする請求項1〜5のい
ずれかに記載の光学ヘッド。
6. The optical head according to claim 1, wherein the fine movement actuator is an actuator using any of electrostatic drive, piezoelectric drive, and electromagnetic drive.
【請求項7】 光記録媒体を保持して平面運動させる媒
体駆動機構と、請求項1〜6のいずれかに記載の光学ヘ
ッドと、この光学ヘッドを保持するヘッドアームと、前
記光学ヘッドを前記光記録媒体の平面運動方向と交差す
る方向に移動させるように前記ヘッドアームを駆動する
アーム駆動機構とを有してなることを特徴とする光学記
録再生装置。
7. A medium drive mechanism that holds an optical recording medium and moves it in a plane, the optical head according to claim 1, a head arm that holds the optical head, and the optical head An optical recording / reproducing apparatus, comprising: an arm driving mechanism for driving the head arm so as to move the optical recording medium in a direction intersecting a plane movement direction of the optical recording medium.
【請求項8】 前記媒体駆動機構により複数の光記録媒
体が保持され、これら各光記録媒体に対応して複数の前
記光学ヘッドを有することを特徴とする請求項7に記載
の光学記録再生装置。
8. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 7, wherein a plurality of optical recording media are held by the medium driving mechanism, and a plurality of the optical heads are provided corresponding to each of the optical recording media. .
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