JPH11206151A - Driving unit for oscillation actuator - Google Patents

Driving unit for oscillation actuator

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JPH11206151A
JPH11206151A JP10000947A JP94798A JPH11206151A JP H11206151 A JPH11206151 A JP H11206151A JP 10000947 A JP10000947 A JP 10000947A JP 94798 A JP94798 A JP 94798A JP H11206151 A JPH11206151 A JP H11206151A
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JP
Japan
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vibration
vibration actuator
actuator
driving device
frequency
Prior art date
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Pending
Application number
JP10000947A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Furukawa
信行 古川
Daisuke Satani
大助 佐谷
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11206151A publication Critical patent/JPH11206151A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to detect surely a ringing phenomenon and prevent it. SOLUTION: A driving unit includes an oscillation actuator 200 driven by mechanical oscillations by an electro-mechanical conversion element that changes electric energy to mechanical energy, driving units 2, 3, 4, and 5 for generating a driving signal for the oscillation actuator 200, and a control circuit 1 for instructing a driving method of the oscillation actuator 200 to the driving units 2, 3, 4, and 5. In addition, an oscillation detector 6 for detecting the oscillation of the oscillation actuator 200 is provided, and the revolutionary speed is reduced by the control circuit 1 when the oscillation detector 6 detects a given frequency of oscillation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電気的エネルギー
を機械的エネルギーに変換する電気機械変換素子の機械
的振動を利用して駆動される振動アクチュエータ駆動装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration actuator driving device driven by utilizing the mechanical vibration of an electromechanical transducer for converting electrical energy into mechanical energy.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は、振動アクチュエータの一例とし
ての円環型の振動波モータの一般的な構成を示す図であ
る。図7(A)は、振動波モータを示す断面図である。
振動波モータ200は、互いに接着されているロータ2
01aと摺動材201bとから移動子201を構成し、
同様に互いに接着されている弾性体202aと圧電体2
02bとから固定子202を構成している。これらの移
動子201と固定子202とは、図示しない加圧手段に
より加圧接触されて、駆動される。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a diagram showing a general configuration of an annular vibration wave motor as an example of a vibration actuator. FIG. 7A is a cross-sectional view illustrating the vibration wave motor.
The vibration wave motor 200 is connected to the rotor 2
01a and the sliding member 201b constitute the moving element 201,
Similarly, the elastic body 202a and the piezoelectric body 2 adhered to each other.
02b together with the stator 202. The moving element 201 and the stator 202 are driven by being brought into pressure contact with a pressure unit (not shown).

【0003】図7(B)は、圧電体202bの電極の配
置を示す平面図である。電極202b1 、202b
2 は、入力電極であり、相互にπ/2の位相差を持ち、
振動波モータごとに決まった周波数の正弦波電圧が印加
される。電極202b3 は、接地される共通電極であ
る。電極202b4 は、圧電体202bの励起には寄与
しない電極である。
FIG. 7B is a plan view showing the arrangement of electrodes of the piezoelectric body 202b. Electrodes 202b 1 , 202b
2 is an input electrode, having a phase difference of π / 2,
A sine wave voltage having a frequency determined for each vibration wave motor is applied. Electrode 202b 3 is a common electrode to be grounded. Electrode 202b 4 is an electrode which does not contribute to the excitation of the piezoelectric element 202b.

【0004】図7(C)は、振動体202bの入力電極
群202b1 又は202b2 と接地電極202b3 間の
等価回路を示した回路図である。この等価回路は、自己
容量C0 と、C0 と並列接続されたL,C,Rの直列共
振回路により表される。L、C、Rの直列共振回路に流
れる電流は、モーショナル電流と呼ばれ、その大きさは
振動波モータ200の駆動量、すなわち回転速度に比例
するものと考えられている。すなわち、振動体202b
に印加する周波電圧の電圧値を大きくする、又は、この
直列共振回路の共振周波数に周波電圧の周波数を近づけ
ることにより、モーショナル電流を増大させ、大きな駆
動量を得ることが可能となる。
[0004] FIG. 7 (C) is a circuit diagram showing an equivalent circuit between the input electrode group 202b 1 or 202b 2 and the ground electrode 202b 3 of the vibrating body 202b. This equivalent circuit is represented by a self-capacitance C 0 and an L, C, R series resonance circuit connected in parallel with C 0 . The current flowing through the L, C, and R series resonance circuits is called a motional current, and the magnitude thereof is considered to be proportional to the driving amount of the vibration wave motor 200, that is, the rotation speed. That is, the vibrating body 202b
By increasing the voltage value of the frequency voltage applied to the power supply or by bringing the frequency of the frequency voltage closer to the resonance frequency of the series resonance circuit, it is possible to increase the motional current and obtain a large driving amount.

【0005】そこで、従来より、振動波モータの駆動量
を調整する方法として、2つの方法が知られている。第
1の方法は、周波電圧の周波数を一定に維持しつつ、周
波電圧の電圧値を変えることによりモーショナル電流を
変化させるものである。第2の方法は、周波電圧の電圧
値を変更せず、周波数を直列共振回路の共振周波数の近
傍で増減させ、モーショナル電流を変化させるものであ
る。
Therefore, conventionally, two methods are known as methods for adjusting the driving amount of the vibration wave motor. The first method is to change the motional current by changing the voltage value of the frequency voltage while maintaining the frequency of the frequency voltage constant. The second method is to change the motional current by increasing or decreasing the frequency near the resonance frequency of the series resonance circuit without changing the voltage value of the frequency voltage.

【0006】以下に、第2の方法により、駆動量を調整
する場合を例にして、前述した振動波モータ200を駆
動する駆動回路について説明する。図8は、図7の振動
波モータの駆動回路を示したブロック図である。従来の
振動波モータの駆動回路は、制御回路1と、VCO(電
圧制御発振器)2と、移相回路5と、圧電体駆動回路3
(3A,3B)と、電源4などとから構成されている。
制御回路1は、電圧Vfの制御信号を出力して、振動波
モータ200の駆動量を制御する回路であり、その出力
端子がVCO2に接続されている。
Hereinafter, a drive circuit for driving the above-described vibration wave motor 200 will be described by taking as an example the case where the drive amount is adjusted by the second method. FIG. 8 is a block diagram showing a driving circuit of the vibration wave motor of FIG. A drive circuit of a conventional vibration wave motor includes a control circuit 1, a VCO (voltage controlled oscillator) 2, a phase shift circuit 5, and a piezoelectric body drive circuit 3.
(3A, 3B) and a power supply 4 and the like.
The control circuit 1 is a circuit that outputs a control signal of the voltage Vf to control the driving amount of the vibration wave motor 200, and its output terminal is connected to the VCO 2.

【0007】VCO2は、入力信号Vfの電圧値に対応
した周波数の論理信号Saを出力する回路であり、その
出力端子が、移相回路5に接続されている。移相回路5
は、VCO2の出力論理信号Saを、相互にπ/2だけ
位相の異なった2種類の周波数信号にする回路であり、
その出力は、圧電体駆動回路3(3A,3B)に接続さ
れている。
The VCO 2 is a circuit for outputting a logic signal Sa having a frequency corresponding to the voltage value of the input signal Vf, and its output terminal is connected to the phase shift circuit 5. Phase shift circuit 5
Is a circuit for converting the output logic signal Sa of the VCO 2 into two kinds of frequency signals having phases different from each other by π / 2,
The output is connected to the piezoelectric driving circuit 3 (3A, 3B).

【0008】圧電体駆動回路3A,3Bは、移相回路5
からの周波数信号に基づいて、電源4からの電圧を増幅
して、正弦波電圧を生成する回路であり、それぞれ圧電
体202bの電極202b1 、202b2 に接続されて
いる。
The piezoelectric body driving circuits 3A and 3B include a phase shift circuit 5
Are circuits that amplify the voltage from the power supply 4 based on the frequency signal from the power source 4 and generate a sine wave voltage, and are connected to the electrodes 202b 1 and 202b 2 of the piezoelectric body 202b, respectively.

【0009】圧電体202b1 、202b2 は、固定子
202によって決まる共振周波数近傍の周波数である正
弦波電圧が、お互い時間的にπ/2位相をずらされて入
力され、弾性体202aが励振される。この励振によ
り、弾性体202aは、進行性振動波が発生し、この弾
性体202aに加圧接触された摺動材201bとロータ
201aからなる移動子201を駆動する。このような
振動波モータの構成及び動作については、日経メカニカ
ル1983.2.28号、又は、本出願人による特願昭
58−77380号などにより周知である。
To the piezoelectric bodies 202b 1 and 202b 2 , sinusoidal voltages having frequencies near the resonance frequency determined by the stator 202 are inputted with a phase shift of π / 2 with respect to each other, and the elastic body 202a is excited. You. Due to the excitation, a progressive vibration wave is generated in the elastic body 202a, and the elastic body 202a drives the moving member 201 including the sliding member 201b and the rotor 201a which are in pressure contact with the elastic body 202a. The structure and operation of such a vibration wave motor are well known in Nikkei Mechanical 1983.2.28 or Japanese Patent Application No. 58-77380 by the present applicant.

【0010】ところで、振動波モータ200の共振周波
数は、共振次数ごとに存在し、通常、それらの中で最良
の駆動特性を示す次数の共振周波数帯を振動波モータの
駆動周波数範囲として設定する。なお、駆動周波数範囲
として予め設定された共振周波数帯域以外の共振周波数
帯域でも振動波モータの駆動は可能であるが、隣り合う
次数では駆動方向が逆転する。
Incidentally, the resonance frequency of the vibration wave motor 200 exists for each resonance order, and a resonance frequency band of the order showing the best drive characteristic among them is set as a drive frequency range of the vibration wave motor. The driving of the vibration wave motor can be performed in a resonance frequency band other than the resonance frequency band preset as the driving frequency range, but the driving directions are reversed in adjacent orders.

【0011】例えば、図7に示す振動体202bでは、
入力電極群202b1 、202b2の中の一つの分極の
周長がλ/2であるから、入力電極群202b1 、20
2b2 の周長は、それぞれ5λとなり、さらに、接地電
極202b3 が3λ/4、検出電極202b4 がλ/4
であるから電極全体の周長は11λとなる。
For example, in the vibrating body 202b shown in FIG.
Since the circumference of one polarization of the input electrode groups 202b 1 and 202b 2 is λ / 2, the input electrode groups 202b 1 and 202b 2
The circumference of 2b 2 is 5λ, and the ground electrode 202b 3 is 3λ / 4, and the detection electrode 202b 4 is λ / 4.
Therefore, the circumference of the entire electrode is 11λ.

【0012】この振動体202bの分極による波数と、
振動波モータ200を駆動したときに固定子201上に
発生する進行性振動波の波数が一致する状態、すなわ
ち、図7の例では、11波の進行波が発生する11次の
共振周波数帯が、振動波モータの駆動周波数として通常
用いられる共振周波数帯である。
The wave number due to the polarization of the vibrating body 202b,
A state in which the wave numbers of the traveling vibration waves generated on the stator 201 when the vibration wave motor 200 is driven coincides, that is, in the example of FIG. 7, the eleventh resonance frequency band in which the eleven traveling waves are generated is , A resonance frequency band usually used as a driving frequency of the vibration wave motor.

【0013】図9は、図8の駆動回路によって振動波モ
ータを駆動した場合の駆動周波数fに対する駆動量Nの
関係を表した線図である。この11次の駆動周波数範囲
の低周波側及び高周波側には、10次の駆動周波数範囲
と、12次の駆動周波数範囲がある。振動波モータ20
0が駆動を開始する周波数をfb、制御上扱う振動波モ
ータ200の最高速となる駆動周波数をfdとした場合
に、制御回路1は、Vf0からVfmaxの範囲で電圧
制御を行い、VCO2は、それに対応した論理信号Sn
として、f0からfmaxの範囲の周波数を出力する。
例えば、振動波モータ200をvLの回転数で回転させ
る場合には、駆動周波数fDはfHである。そして、振
動波モータ200をvLよりも速い回転数vHで回転さ
せる場合には、駆動周波数fDはfHよりも低い周波数
であるfLを出力する。
FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the drive frequency f and the drive amount N when the vibration wave motor is driven by the drive circuit of FIG. On the low frequency side and the high frequency side of the eleventh drive frequency range, there are a tenth drive frequency range and a twelfth drive frequency range. Vibration wave motor 20
The control circuit 1 performs voltage control in a range of Vf0 to Vfmax, where fb is a frequency at which 0 starts driving and fd is a driving frequency at which the vibration wave motor 200 handled at the control is the highest speed. The corresponding logic signal Sn
And outputs a frequency in the range of f0 to fmax.
For example, when rotating the vibration wave motor 200 at a rotation speed of vL, the drive frequency fD is fH. When rotating the vibration wave motor 200 at a rotation speed vH higher than vL, the driving frequency fD outputs fL that is a frequency lower than fH.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】前述した振動波モータ
は、その利点の一つに静寂性という点が、多く取り上げ
られる。しかし、駆動状況により「鳴き」という事象が
生じることがある。この原因には、以下のことが考えら
れる。
One of the advantages of the above-described vibration wave motor is that it is quiet. However, an event called "squeal" may occur depending on the driving situation. The possible causes are as follows.

【0015】第1の原因は、ステータ(固定子)の振動
に対して、ロータ(移動子)の振動が追随できないため
に起きる鳴きがある。これは、ステータの機械的品質係
数Qが高いために起こる。一般に、高速度での回転を行
うためには、機械的品質係数Qは高い方がよいが、この
機械的品質係数Qが100を越えるステータを用いる
と、ロータが追随できなくなる場合がある。そのため
に、両者の関係が不安定となり、一般的に言われる脱
調、コギング、ジャンプなどと言われる現象が発生す
る。機械的品質係数Qとは、振動子の共振周波数での機
械的な共振の鋭さを表すパラメータであり、直列共振周
波数、及び並列共振周波数から算出される。
The first cause is a squeal that occurs because the vibration of the rotor (moving element) cannot follow the vibration of the stator (stator). This occurs because the mechanical quality factor Q of the stator is high. Generally, in order to rotate at a high speed, the mechanical quality factor Q is preferably higher. However, if a stator having a mechanical quality factor Q exceeding 100 is used, the rotor may not be able to follow. Therefore, the relationship between the two becomes unstable, and phenomena generally referred to as step-out, cogging, jump, and the like occur. The mechanical quality factor Q is a parameter indicating the sharpness of the mechanical resonance at the resonance frequency of the vibrator, and is calculated from the series resonance frequency and the parallel resonance frequency.

【0016】第2の原因は、圧電体に亀裂があったり、
過剰な負荷や、凍り付きによって、ロータとステータ間
の回転が強制的に止められた場合も、ロータとステータ
の会合状態に異常をきたし、鳴きとなる。
The second cause is that the piezoelectric body has cracks,
Even when the rotation between the rotor and the stator is forcibly stopped due to excessive load or freezing, the association between the rotor and the stator may be abnormal and cause a noise.

【0017】第3の原因は、ロータ又はステータの摺動
面の平面度が悪いために起こる鳴きがある。回転時に、
ロータとステータの突出している部分同士が、会合して
いると、その部分に加圧力が集中する。ロータとステー
タの相対速度が上がると、加圧エネルギーの変化が大き
くなり、鳴きとなって現れる。
The third cause is a squeal caused by the poor flatness of the sliding surface of the rotor or the stator. During rotation,
When the protruding portions of the rotor and the stator are associated with each other, the pressing force concentrates on that portion. When the relative speed between the rotor and the stator increases, the change in the pressurizing energy increases and the noise appears.

【0018】このような鳴き防止の手段としては、脱調
状態をモニタ電極の振動から調べることによって、ロー
タの持つ固有振動を検出する方法(特開平6−1535
40号)が提案されている。しかし、この方法は、鳴き
そのものを検出するものではなく、第1の原因が起こり
うる条件を検出している。つまり、鳴きとして、鳴きが
起こりうる現象を検出しているので、2次的な検出手段
であるために、実際には鳴きが起きていない状態を鳴き
として検出してしまったり、逆に、鳴きが起こっている
ような状態でも、鳴きと検出できないことがあった。
As a means for preventing such a squeal, a method of detecting the natural vibration of the rotor by checking the step-out state from the vibration of the monitor electrode (Japanese Patent Laid-Open No. 6-1535).
No. 40) has been proposed. However, this method does not detect the squeal itself but detects a condition under which the first cause can occur. In other words, since a squealing phenomenon is detected as a squeal, a state in which no squeal actually occurs is detected as a squeal because it is a secondary detection means. In some cases, it was not possible to detect the squeal even when the sound was occurring.

【0019】本発明は、「鳴き」という現象を正確に検
出して、それを防止することができる振動アクチュエー
タ駆動装置を提供することを課題とする。
An object of the present invention is to provide a vibration actuator driving device capable of accurately detecting a phenomenon called "squeal" and preventing the phenomenon.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、電気的エネルギーを機械的エネ
ルギーに変換する電気機械変換素子の機械的振動を利用
して駆動される振動アクチュエータ(200)と、前記
振動アクチュエータの駆動信号を生成する駆動部(3)
と、前記振動アクチュエータの駆動方法を前記駆動部に
指示する駆動制御部(1)と、を含む振動アクチュエー
タ駆動装置において、前記振動アクチュエータの振動を
検出する振動検出部(6)を備え、前記駆動制御部は、
前記振動検出部が所定周波数の振動を検出したときに、
前記駆動方法の変更を指示することを特徴とする振動ア
クチュエータ駆動装置である。
According to one aspect of the present invention, a vibration driven by utilizing mechanical vibration of an electromechanical transducer for converting electrical energy into mechanical energy is provided. An actuator (200) and a drive unit (3) for generating a drive signal for the vibration actuator
A driving control unit (1) for instructing the driving unit on a driving method of the vibration actuator, comprising: a vibration detection unit (6) for detecting vibration of the vibration actuator; The control unit is
When the vibration detection unit detects vibration of a predetermined frequency,
A vibration actuator driving device for instructing a change in the driving method.

【0021】請求項2の発明は、請求項1に記載の振動
アクチュエータ駆動装置において、前記振動検出部は、
その振動検出範囲が人の可聴周波数帯域と同等の周波数
帯域を持つことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装
置である。
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the first aspect, the vibration detecting section comprises:
A vibration actuator drive device characterized in that the vibration detection range has a frequency band equivalent to a human audible frequency band.

【0022】請求項3の発明は、請求項1又は請求項2
に記載の振動アクチュエータ駆動装置において、前記振
動検出部は、マイクロホンであることを特徴とする振動
アクチュエータ駆動装置である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the first or second aspect.
5. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibration detection unit is a microphone.

【0023】請求項4の発明は、請求項1から請求項3
のいずれか1項に記載の振動アクチュエータ駆動装置に
おいて、前記振動検出部は、前記振動アクチュエータの
駆動周波数以外の帯域の振動を検出することを特徴とす
る振動アクチュエータ駆動装置である。
[0023] The invention of claim 4 is the invention of claims 1 to 3.
5. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibration detection unit detects vibrations in a band other than a driving frequency of the vibration actuator.

【0024】請求項5の発明は、請求項1から請求項4
のいずれか1項に記載の振動アクチュエータ駆動装置に
おいて、前記制御部は、前記振動検出部が所定周波数の
振動を検出したときに、前記振動アクチュエータの速度
を減少させることを特徴とする振動アクチュエータ駆動
装置である。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the first to fourth aspects.
4. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the control unit reduces the speed of the vibration actuator when the vibration detection unit detects vibration of a predetermined frequency. Device.

【0025】請求項6の発明は、請求項1から請求項4
のいずれか1項に記載の振動アクチュエータ駆動装置に
おいて、前記制御部は、前記振動検出部が所定周波数の
振動を検出したときに、前記振動アクチュエータの共振
モードを変更させることを特徴とする振動アクチュエー
タ駆動装置である。
[0025] The invention of claim 6 is the invention of claims 1 to 4.
5. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the control unit changes a resonance mode of the vibration actuator when the vibration detection unit detects vibration of a predetermined frequency. It is a driving device.

【0026】[0026]

【発明の実施形態】以下、図面などを参照しながら、本
発明の実施の形態を上げて、さらに詳しく説明する。図
1は、本発明による振動アクチュエータ駆動装置の実施
形態を示すブロック図である。本実施形態は、振動波モ
ータ200の近傍に、振動検出装置6が設けられてお
り、その検出結果が制御回路1にフィードバックされて
いる点において、図8に示した従来の駆動装置と異なっ
ている。したがって、その他の回路構成については、本
実施形態と、図8に示した従来の駆動装置とは同一であ
る。そこで、以下に振動検出装置6の動作と、その結果
を用いた制御方法についてのみ説明し、従来例と同一の
部分に関する説明は適宜省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in further detail with reference to the drawings and the like. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a vibration actuator driving device according to the present invention. The present embodiment differs from the conventional driving device shown in FIG. 8 in that a vibration detecting device 6 is provided near the vibration wave motor 200, and the detection result is fed back to the control circuit 1. I have. Therefore, other circuit configurations are the same as those of the present embodiment and the conventional driving device shown in FIG. Therefore, only the operation of the vibration detection device 6 and a control method using the result will be described below, and the description of the same portions as those in the conventional example will be omitted as appropriate.

【0027】振動検出装置6は、振動波モータ200に
発生した「鳴き」の現象を検出するためのものであり、
人の可聴域である音波を検出することができるものがよ
く、例えば、一般のマイクロフォンなどが使用できる。
振動波モータ200の使用条件として、可聴域以外の振
動が生じても問題とならないような場合は、マイクロフ
ォンの感度帯域は、20〜20kHzが好適である。ま
た、振動波モータ200の駆動周波数以外の感度帯域を
持つようにしてもよい。
The vibration detecting device 6 is for detecting the phenomenon of "squeal" generated in the vibration wave motor 200.
What can detect the sound wave which is a human audible range is good, for example, a general microphone etc. can be used.
In the case where vibrations other than the audible range do not cause a problem as the use conditions of the vibration wave motor 200, the sensitivity band of the microphone is preferably 20 to 20 kHz. In addition, a sensitivity band other than the driving frequency of the vibration wave motor 200 may be provided.

【0028】図2は、本実施形態に係る振動アクチュエ
ータ駆動装置の振動検出装置を詳細に示す機能説明図で
ある。振動検出装置6は、マイクロフォン61と、電源
電圧を分圧することによって検出信号の閾値を決める可
変抵抗62と、マイクロフォン61によって検出された
音声信号の強さが、可変抵抗62によって決まる閾値電
圧を越えた場合に、異常検出信号Sn'を発するコンパレ
ータ63と、コンパレータ63からの異常検出信号Sn'
を一時的に保持し、リセットされるまで制御回路1にS
n 信号として送り続けるラッチ回路64などとを備えて
いる。
FIG. 2 is a functional explanatory view showing in detail the vibration detecting device of the vibration actuator driving device according to the present embodiment. The vibration detection device 6 includes a microphone 61, a variable resistor 62 that determines a threshold value of a detection signal by dividing a power supply voltage, and a sound signal detected by the microphone 61 that exceeds a threshold voltage determined by the variable resistor 62. In this case, the comparator 63 that generates the abnormality detection signal Sn ′, and the abnormality detection signal Sn ′ from the comparator 63
Is temporarily held, and S is sent to the control circuit 1 until reset.
and a latch circuit 64 that keeps sending as an n signal.

【0029】ラッチ回路64は、ラッチをリセットする
ためのリセット信号Sr を入力する端子も設けられてい
る。制御回路1が、異常検出信号Sn'を認識した後に、
リセット信号が送られた場合に、ラッチ回路64がリセ
ットされる。
The latch circuit 64 also has a terminal for inputting a reset signal Sr for resetting the latch. After the control circuit 1 recognizes the abnormality detection signal Sn ',
When a reset signal is sent, the latch circuit 64 is reset.

【0030】図3、図4、図5は、本発明による駆動装
置に必要なマイク61の振動波モータ200への設置場
所の実施形態を示す具体的な図である。図3の実施形態
では、ロータ201は、ベアリング204に支持されて
おり、ステータ202は、ステータ固定部材203に固
定されている。マイク61Aは、摺動材201bの極近
傍に設置される。マイク61Aは、マイク固定部材20
5に支持されている。マイク61Aからは、図示してい
ないリード線により、振動波モータ200の外部にある
コンパレータ63に接続されている。従って、マイク6
1Aは、摺動部で発生する「鳴き」そのものを検出する
ことができる。
FIGS. 3, 4 and 5 are specific views showing an embodiment of a place where the microphone 61 is installed on the vibration wave motor 200, which is necessary for the driving device according to the present invention. In the embodiment shown in FIG. 3, the rotor 201 is supported by bearings 204, and the stator 202 is fixed to a stator fixing member 203. The microphone 61A is installed very close to the sliding member 201b. The microphone 61A is connected to the microphone fixing member 20.
5 is supported. The microphone 61A is connected to a comparator 63 outside the vibration wave motor 200 by a lead wire (not shown). Therefore, microphone 6
1A can detect "squeal" itself generated in the sliding portion.

【0031】図4の実施形態では、マイク61Bは、ス
テータ202の振動を妨害しないよう、ステータ202
に隣接した位置に設置してある。これも同様に、マイク
61Bからは、図示しないリード線により、振動波モー
タ200の外部にあるコンパレータ63に接続されてい
る。本実施形態では、ステータ202の振動を検出する
ことができるために、「鳴き」の他に、ステータ202
の異常振動を検出することができる。
In the embodiment shown in FIG. 4, the microphone 61B is mounted on the stator 202 so as not to interfere with the vibration of the stator 202.
It is installed at a position adjacent to. Similarly, the microphone 61B is connected to a comparator 63 outside the vibration wave motor 200 by a lead wire (not shown). In the present embodiment, the vibration of the stator 202 can be detected.
Abnormal vibration can be detected.

【0032】図5の実施形態では、マイク61Cは、ロ
ータ201に固定設置され、ロータ201とともにマイ
ク61Cも回転するようにしてある。マイク61Cから
は、図示していない円形導体パターンと導電性ブラシ、
リード線を介して、振動波モータ200の外部にあるコ
ンパレータ60に接続されている。本実施形態では、マ
イク61Cが、ステータ202の摺動部で構成される円
形部位を一周するために、小型のマイクであっても、ス
テータ202の局部的な位置で発生する「鳴き」を効率
的に検出することができる。これら、3種類の配置の実
施形態は、併用して行うこともできる。
In the embodiment shown in FIG. 5, the microphone 61C is fixedly installed on the rotor 201, and the microphone 61C rotates together with the rotor 201. From the microphone 61C, a circular conductive pattern and a conductive brush (not shown)
It is connected to a comparator 60 outside the vibration wave motor 200 via a lead wire. In the present embodiment, since the microphone 61C goes around the circular portion formed by the sliding portion of the stator 202, even if the microphone is a small microphone, the “squealing” generated at a local position of the stator 202 can be efficiently performed. Can be detected. These three types of arrangements can be used in combination.

【0033】図6は、本実施形態に係る振動アクチュエ
ータ駆動装置の制御動作を示す流れ図である。本実施形
態は、振動波モータ200をできるだけ速い時間内に、
所定量だけ移動させる場合を説明する。制御回路1は、
駆動量を入力し(ステップ1)、次いで、現在位置を取
得する(ステップ2)。そして、ステップ3において、
現在位置が所定位置に達しているか否か(残り動作距離
が0か否か)を判断し、所定位置に達していない場合
は、ステップ4へ進み、所定位置に達している場合は、
ステップ10へ進み、振動アクチュエータを停止する。
FIG. 6 is a flowchart showing a control operation of the vibration actuator driving device according to the present embodiment. In the present embodiment, the vibration wave motor 200
The case of moving by a predetermined amount will be described. The control circuit 1
The driving amount is input (step 1), and the current position is obtained (step 2). Then, in step 3,
It is determined whether or not the current position has reached the predetermined position (the remaining operating distance is 0). If the current position has not reached the predetermined position, the process proceeds to step 4. If the current position has reached the predetermined position,
Proceed to step 10 to stop the vibration actuator.

【0034】次に、制御回路1は、所定位置までの残り
距離より、回転速度を算出する(ステップ4)。そし
て、ステップ5において、振動検出装置6からの、鳴き
検出信号(異常検出信号)Sn を検出したか否かを判断
し、検出した場合には、ステップ4で算出された指示回
転速度に関係なくステップ8に進み、鳴き検出信号Sn
検出していない場合は、ステップ6へ進む。ステップ8
では、リセット信号Sr を出力し、ステップ9へ進む。
Next, the control circuit 1 calculates the rotation speed from the remaining distance to the predetermined position (step 4). Then, in step 5, it is determined whether or not a squeal detection signal (abnormality detection signal) Sn from the vibration detection device 6 has been detected, and if it has been detected, regardless of the designated rotation speed calculated in step 4, Proceeding to step 8, the squeal detection signal Sn
If no, go to step 6. Step 8
Then, the reset signal Sr is output, and the routine proceeds to step 9.

【0035】ステップ6では、ステップ4で算出された
指示回転速度に対して、現在の回転速度を比較し、現在
回転速度が指示回転速度より速い場合には、ステップ9
へ進み、遅い場合には、ステップ7へ進む。ステップ7
では、加速制御を行い、ステップ9では、減速制御を行
い、ともに、ステップ2へ戻る。
In step 6, the present rotational speed is compared with the instruction rotational speed calculated in step 4, and if the present rotational speed is higher than the instruction rotational speed, step 9 is executed.
If it is late, go to step 7. Step 7
Then, acceleration control is performed. In step 9, deceleration control is performed, and the process returns to step 2.

【0036】例えば、振動波モータの平面度が悪いため
に鳴きが起こるような場合に、振動波モータの個体差に
よって鳴きの起こる回転数がばらつく。このような振動
波モータであっても、振動波モータの特性である静寂性
を維持しつつ、個別の振動波モータの鳴きの起こらない
最高回転速度で使用することが可能となる。
For example, when squealing occurs due to poor flatness of the vibration wave motor, the number of rotations at which squealing varies due to individual differences between the vibration wave motors. Even with such a vibration wave motor, it is possible to use the vibration wave motor at the maximum rotational speed at which the individual vibration wave motor does not squeal while maintaining the quietness which is a characteristic of the vibration wave motor.

【0037】(その他の実施形態)以上説明した実施形
態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であ
って、それらも本発明の均等の範囲内である。 (1)駆動周波数を制御することで、振動波モータの速
度制御を行う場合を用いて説明したが、電圧を変化させ
ることによって制御する場合であっても同様である。 (2)円環型の振動波モータについて説明をしたが、本
発明にかかる技術的思想は、リニア型の振動波モータに
対して適用することも可能である。 (3)各機能を回路素子を用いて説明したが、同様の働
きをするマイコンなどを使用することも可能である。 (4)鳴きを検出したときに、駆動速度を減少させる例
で説明したが、図9で説明した異なる次数の振動モード
に変更するようにしてもよい。
(Other Embodiments) Without being limited to the above-described embodiments, various modifications and changes are possible, and these are also within the equivalent scope of the present invention. (1) The case where the speed control of the vibration wave motor is performed by controlling the drive frequency has been described, but the same applies to the case where the control is performed by changing the voltage. (2) The annular vibration wave motor has been described, but the technical idea according to the present invention can also be applied to a linear vibration wave motor. (3) Although each function has been described using circuit elements, a microcomputer or the like that performs the same function may be used. (4) Although the example in which the drive speed is reduced when the squeal is detected has been described, the vibration mode may be changed to the vibration mode of a different order described in FIG.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、振動アクチュエータを取り付けた装置から発生す
る実際の振動を検出して、駆動方法を変更するので、確
実にその振動の発生を防止できる、という効果がある。
As described above in detail, according to the present invention, the actual vibration generated from the device equipped with the vibration actuator is detected and the driving method is changed, so that the generation of the vibration is reliably prevented. There is an effect that it can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による振動アクチュエータ駆動装置の実
施形態を示したブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a vibration actuator driving device according to the present invention.

【図2】本実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装置
の振動検出装置を示す回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing a vibration detecting device of the vibration actuator driving device according to the embodiment.

【図3】本発明による駆動装置に必要なマイク61Aの
振動波モータ200への設置場所の実施形態を示す具体
的な図である。
FIG. 3 is a specific diagram showing an embodiment of a place where a microphone 61A required for a driving device according to the present invention is installed on a vibration wave motor 200.

【図4】本発明による駆動装置に必要なマイク61Bの
振動波モータ200への設置場所の実施形態を示す具体
的な図である。
FIG. 4 is a specific diagram showing an embodiment of a place where the microphone 61B required for the drive device according to the present invention is installed on the vibration wave motor 200.

【図5】本発明による駆動装置に必要なマイク61Cの
振動波モータ200への設置場所の実施形態を示す具体
的な図である。
FIG. 5 is a specific diagram showing an embodiment of a place where a microphone 61C required for a driving device according to the present invention is installed on a vibration wave motor 200.

【図6】本実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装置
の制御動作を説明する流れ図である。
FIG. 6 is a flowchart illustrating a control operation of the vibration actuator driving device according to the embodiment.

【図7】振動アクチュエータの一般的な構成を例示する
模式図である。
FIG. 7 is a schematic view illustrating a general configuration of a vibration actuator.

【図8】図7の振動アクチュエータを駆動する駆動装置
を示したブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing a driving device for driving the vibration actuator of FIG. 7;

【図9】図7の振動アクチュエータの駆動特性を説明す
るための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining drive characteristics of the vibration actuator of FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 制御回路 2 VCO 3 圧電体駆動回路 4 電源 5 移相回路 6 振動検出装置 61 演算増幅器 63 抵抗 64 コンデンサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Control circuit 2 VCO 3 Piezoelectric body drive circuit 4 Power supply 5 Phase shift circuit 6 Vibration detection device 61 Operational amplifier 63 Resistance 64 Capacitor

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気的エネルギーを機械的エネルギーに
変換する電気機械変換素子の機械的振動を利用して駆動
される振動アクチュエータと、 前記振動アクチュエータの駆動信号を生成する駆動部
と、 前記振動アクチュエータの駆動方法を前記駆動部に指示
する駆動制御部と、を含む振動アクチュエータ駆動装置
において、 前記振動アクチュエータの振動を検出する振動検出部を
備え、 前記駆動制御部は、前記振動検出部が所定周波数の振動
を検出したときに、前記駆動方法の変更を指示すること
を特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
A vibration actuator that is driven by using mechanical vibration of an electromechanical transducer that converts electrical energy into mechanical energy; a driving unit that generates a drive signal for the vibration actuator; and the vibration actuator. A drive control unit for instructing the drive unit on the drive method of the vibration actuator, comprising: a vibration detection unit configured to detect a vibration of the vibration actuator; A vibration actuator driving device for instructing a change in the driving method when vibration of the vibration actuator is detected.
【請求項2】 請求項1に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記振動検出部は、その振動検出範囲が人の可聴周波数
帯域と同等の周波数帯域を持つことを特徴とする振動ア
クチュエータ駆動装置。
2. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibration detection unit has a vibration detection range having a frequency band equivalent to a human audible frequency band.
【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載の振動アク
チュエータ駆動装置において、 前記振動検出部は、マイクロホンであることを特徴とす
る振動アクチュエータ駆動装置。
3. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibration detection unit is a microphone.
【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれか1項に
記載の振動アクチュエータ駆動装置において、 前記振動検出部は、前記振動アクチュエータの駆動周波
数以外の帯域の振動を検出することを特徴とする振動ア
クチュエータ駆動装置。
4. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibration detection unit detects vibration in a band other than a driving frequency of the vibration actuator. Vibration actuator drive device.
【請求項5】 請求項1から請求項4のいずれか1項に
記載の振動アクチュエータ駆動装置において、 前記制御部は、前記振動検出部が所定周波数の振動を検
出したときに、前記振動アクチュエータの速度を減少さ
せることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
5. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the control unit is configured to control the vibration actuator when the vibration detection unit detects vibration of a predetermined frequency. A vibration actuator driving device characterized in that the speed is reduced.
【請求項6】 請求項1から請求項4のいずれか1項に
記載の振動アクチュエータ駆動装置において、 前記制御部は、前記振動検出部が所定周波数の振動を検
出したときに、前記振動アクチュエータの共振モードを
変更させることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装
置。
6. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the control unit controls the vibration actuator when the vibration detection unit detects vibration of a predetermined frequency. A vibration actuator driving device for changing a resonance mode.
JP10000947A 1998-01-06 1998-01-06 Driving unit for oscillation actuator Pending JPH11206151A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014128114A (en) * 2012-12-26 2014-07-07 Canon Inc Piezoelectric element and stator for vibration wave motor

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US9893269B2 (en) 2012-12-26 2018-02-13 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric element, stator for oscillatory wave motor, oscillatory wave motor, driving control system, optical apparatus, and method for making stator for oscillatory wave motor

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