JPH11203624A - Manufacture of thin film magnetic head - Google Patents
Manufacture of thin film magnetic headInfo
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- JPH11203624A JPH11203624A JP508198A JP508198A JPH11203624A JP H11203624 A JPH11203624 A JP H11203624A JP 508198 A JP508198 A JP 508198A JP 508198 A JP508198 A JP 508198A JP H11203624 A JPH11203624 A JP H11203624A
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- pair
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ビデオテープレコ
ーダ(VTR)等の磁気記録再生装置に適用して好適な
薄膜磁気ヘッドの製造方法に関し、特に、正負のアジマ
ス角度を持つダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッドの製造
方法に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a thin film magnetic head suitable for use in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder (VTR), and more particularly to a double azimuth type thin film having positive and negative azimuth angles. The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば、ヘリカルスキャン方式のVTR
においては、薄膜磁気ヘッドが多数搭載され、用途に合
わせて薄膜磁気ヘッドを切り替えている。この薄膜磁気
ヘッドの製造方法を、図3(a),(b)と図4によっ
て具体的に説明すると、まず、図3(a),(b)に示
すように、矩形板状で一対の基板2′,2″の各正面2
c上に被覆した保護膜(薄膜)7の形成面に平行な磁気
ギャップ面3aをテープ摺動面(記録媒体摺動面)とな
る各上面2aにそれぞれ露出させたヘッドコアパターン
3を所定間隔毎に該一対の基板2′,2″に複数形成す
る。次に、この各ヘッドコアパターン3に対して正負の
所定のアジマス角度(+θ,−θ)を付与するように一
方の基板2′の右側部を所定間隔毎に順次切断してヘッ
ドチップ5′を形成すると共に、他方の基板2″の左側
部を所定間隔毎に順次切断してヘッドチップ5″を形成
する。次に、これらヘッドチップ5′,5″の各切断面
5aをヘッドベース6の取付基準面6aに接着剤等で貼
り付けることにより、図4に示すように、ダブルアジマ
ス型の薄膜磁気ヘッド1′が組み立てられる。2. Description of the Related Art For example, a helical scan type VTR
, A large number of thin film magnetic heads are mounted, and the thin film magnetic heads are switched according to the application. The method of manufacturing this thin-film magnetic head will be specifically described with reference to FIGS. 3A and 3B and FIG. 4. First, as shown in FIGS. 3A and 3B, a pair of rectangular plates are formed. Each front 2 of the substrates 2 ', 2 "
The head core pattern 3 in which the magnetic gap surface 3a parallel to the surface on which the protective film (thin film) 7 coated on the upper surface c is formed is exposed on each upper surface 2a serving as the tape sliding surface (recording medium sliding surface). A plurality of substrates are formed on the pair of substrates 2 ', 2 "each time. Next, one of the substrates 2' is provided with a predetermined positive or negative azimuth angle (+ θ, -θ) to each head core pattern 3. Is cut sequentially at predetermined intervals to form a head chip 5 ', and the left side of the other substrate 2 "is cut sequentially at predetermined intervals to form a head chip 5". By attaching each cut surface 5a of the head chips 5 ', 5 "to the mounting reference surface 6a of the head base 6 with an adhesive or the like, a double azimuth type thin film magnetic head 1' is assembled as shown in FIG. .
【0003】この一対の基板2′,2″はセラミック等
の非磁性であり、その各正面2c上にコバルトジルコン
等から成るヘッドコアパターン3をフォトリソグラフィ
ー法やエッチング法等によりそれぞれ形成した後で、保
護膜7により被覆してある。また、ヘッドベース6の中
央には、一対のヘッドチップ5′,5″をアオリ調整等
するための側面U字状のスリット6bを形成してある。
さらに、一対のヘッドチップ5′,5″の切断時の相対
向する各切断面5aはそれぞれ平行になっている。The pair of substrates 2 'and 2 "are non-magnetic such as ceramics. After a head core pattern 3 made of cobalt zircon or the like is formed on each front surface 2c by photolithography or etching, respectively. And a protective film 7. Further, in the center of the head base 6, there is formed a side U-shaped slit 6b for adjusting a pair of head chips 5 'and 5 ".
Further, the cut surfaces 5a facing each other when the pair of head chips 5 'and 5 "are cut are parallel to each other.
【0004】尚、この薄膜磁気ヘッド1′の製造方法に
関する類似技術は、特許第2569018号公報や特開
平1−182907号公報及び特開昭63−22040
7号公報等に開示されている。Incidentally, similar techniques relating to a method of manufacturing the thin-film magnetic head 1 'are disclosed in Japanese Patent No. 2569018, Japanese Patent Laid-Open No. 1-182907, and Japanese Patent Laid-Open No. 63-22040.
No. 7, for example.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】前記従来の薄膜磁気ヘ
ッド1′の製造方法では、ヘッドベース6の取付基準面
6aに正負のアジマス角度(+θ,−θ)付きのヘッド
チップ5′,5″を、該取付基準面6aから同じ距離の
位置に該ヘッドチップ5′,5″の各トラック端(左右
の各ヘッドコアパターン3の磁気ギャップ面3aの中央
端)が配置されるように組み立てられることが必要にな
るが、各基板2′,2″の側部を所定角度傾斜させて平
行に切断して正負のアジマス角度を付与する上記ヘッド
チップ5′,5″では、正負のアジマス角度別に各基板
2′,2″の切断がそれぞれ行われているため、図4に
示すように、ヘッドベース6の取付基準面6aから一対
のヘッドチップ5′,5″の各トラック端までの距離H
r,Hlが一致しなかった。そのため、得られた多数の
正負のアジマス角度を付与した各ヘッドチップ5′,
5″から形状寸法のマッチングした組み合わせを選別し
たり、ヘッドベース6をスリット6bを介して変形させ
てアオリ調整等の大幅な調整作業が必要不可欠となり、
量産性が劣った。In the method of manufacturing the conventional thin-film magnetic head 1 ', the head chips 5', 5 "having positive and negative azimuth angles (+ .theta., -.Theta.) On the mounting reference surface 6a of the head base 6. Are assembled so that the track ends (the center ends of the magnetic gap surfaces 3a of the left and right head core patterns 3) of the head chips 5 ', 5 "are arranged at the same distance from the mounting reference surface 6a. However, in the head chips 5 ', 5 ", in which the sides of the substrates 2', 2" are inclined at a predetermined angle and cut in parallel to give a positive or negative azimuth angle, the head chips 5 ', 5 " Since each of the substrates 2 'and 2 "has been cut, as shown in FIG. 4, the distance H from the mounting reference surface 6a of the head base 6 to each track end of the pair of head chips 5' and 5".
r and Hl did not match. Therefore, each of the obtained head chips 5 ',
A large adjustment work such as tilt adjustment is indispensable by selecting a combination matching the shape and dimensions from 5 ″ and deforming the head base 6 through the slit 6b.
Mass production was inferior.
【0006】そこで、本発明は、前記した課題を解決す
べくなされたものであり、ヘッドベースの取付基準面か
ら一対のヘッドチップの各トラック端までの距離を等し
くすることができて量産性に優れたダブルアジマス型の
薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とす
る。Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and the distances from the mounting reference surface of the head base to the respective track ends of the pair of head chips can be made equal to achieve mass productivity. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an excellent double azimuth type thin film magnetic head.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、矩形
板状の基板の薄膜形成面に平行な磁気ギャップ面を有し
たヘッドコアパターンを所定間隔毎に該基板に複数形成
し、次に、この各ヘッドコアパターンに対して所定のア
ジマス角度を付与するように前記基板の側部を所定間隔
毎にそれぞれ切断してヘッドチップを形成し、次に、こ
のヘッドチップの切断面をヘッドベースの取付基準面に
貼付して薄膜磁気ヘッドを製造するようにした薄膜磁気
ヘッドの製造方法において、前記磁気ギャップ面を前記
基板の記録媒体摺動面としての上,下面にそれぞれ露出
させた上下一対のヘッドコアパターンを相反する向きに
且つ所定間隔毎に該基板に複数形成し、次に、この各上
下一対のヘッドコアパターンに対して所定のアジマス角
度を付与するように前記基板の側部を該上下一対のヘッ
ドコアパターンを含んだユニット毎にそれぞれ切断し、
次に、このユニットの上下一対のヘッドコアパターン間
の中央を切断して上下一対のヘッドチップをそれぞれ形
成し、次に、この上下一対のヘッドチップの側部の各切
断面を前記ヘッドベースの取付基準面にそれぞれ貼付し
てダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッドを製造するように
したことを特徴とする。According to the first aspect of the present invention, a plurality of head core patterns having a magnetic gap surface parallel to a thin film forming surface of a rectangular plate-like substrate are formed on the substrate at predetermined intervals. Next, side portions of the substrate are cut at predetermined intervals so as to give a predetermined azimuth angle to each of the head core patterns to form head chips. In a method of manufacturing a thin-film magnetic head, wherein the thin-film magnetic head is manufactured by attaching the magnetic gap surface to a mounting reference surface of a base, the magnetic gap surface is exposed to upper and lower surfaces of a recording medium sliding surface of the substrate. A plurality of pairs of head core patterns are formed on the substrate in opposite directions and at predetermined intervals, and then a predetermined azimuth angle is given to each of the pair of upper and lower head core patterns. Cut each side of the substrate for each including the upper and lower pair of head core pattern unit,
Next, the center between the pair of upper and lower head core patterns of this unit is cut to form a pair of upper and lower head chips, respectively. A double azimuth type thin-film magnetic head is manufactured by attaching the thin film magnetic head to a mounting reference surface.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0009】図1は本発明の一実施形態の薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法により組み立てられたダブルアジマス型の
薄膜磁気ヘッドの正面図、図2(a)は同薄膜磁気ヘッ
ドに用いられる基板の斜視図、図2(b)は同基板を切
断してできた一つのユニットの斜視図である。FIG. 1 is a front view of a double azimuth type thin film magnetic head assembled by a method of manufacturing a thin film magnetic head according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a perspective view of a substrate used in the thin film magnetic head. FIG. 2B is a perspective view of one unit obtained by cutting the same substrate.
【0010】図1に示すダブルアジマス型の薄膜磁気ヘ
ッド1は、例えば、ヘリカルスキャン方式のVTRに用
いられる図示しない回転ヘッドドラムに搭載されるもの
であり、次に述べる製造方法により組み立てられる。The double azimuth type thin-film magnetic head 1 shown in FIG. 1 is mounted on, for example, a rotary head drum (not shown) used in a helical scan type VTR, and is assembled by a manufacturing method described below.
【0011】即ち、図2(a)に示すように、矩形板状
の基板2の正面2c上に被覆された保護膜(薄膜)7の
形成面に平行な磁気ギャップ面3aをそのテープ摺動面
(記録媒体摺動面)としての上,下面2a,2bにそれ
ぞれ露出させた上下一対のヘッドコアパターン3,3
を、該基板2の正面2c側に相反する向きに且つ所定間
隔毎に複数形成する。次に、この各上下一対のヘッドコ
アパターン3,3に対して所定のアジマス角度(組立
後、正負のアジマス角度+θ,−θとなる)を付与する
ように、基板2の左側部を上下一対のヘッドコアパター
ン3,3を含んだユニット4毎にそれぞれ切断する。次
に、図2(b)に示すように、このユニット4の上下一
対のヘッドコアパターン3,3間の中央を切断して、上
下一対のヘッドチップ5,5をそれぞれ形成する(この
時の中央の切断面を図2(b)中符号5bで示す)。そ
して、最後に、この上下一対のヘッドチップ5,5の左
側部の各切断面5aをヘッドベース6の取付基準面6a
に接着剤等で貼り付けることにより、図1に示すよう
に、ダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッド1が組み立てら
れる。That is, as shown in FIG. 2 (a), the magnetic gap surface 3a parallel to the surface on which the protective film (thin film) 7 coated on the front surface 2c of the rectangular plate-shaped substrate 2 slides on the tape. A pair of upper and lower head core patterns 3, 3 exposed on the upper and lower surfaces 2a, 2b as surfaces (recording medium sliding surfaces), respectively.
Are formed in a direction opposite to the front surface 2c side of the substrate 2 and at predetermined intervals. Next, a pair of upper and lower head core patterns 3, 3 is provided with a pair of upper and lower left sides of the substrate 2 so as to give a predetermined azimuth angle (positive and negative azimuth angles + θ, -θ after assembly). Is cut for each unit 4 including the head core patterns 3 and 3. Next, as shown in FIG. 2B, the center between the pair of upper and lower head core patterns 3 and 3 of the unit 4 is cut to form a pair of upper and lower head chips 5 and 5, respectively. The cut surface at the center is indicated by reference numeral 5b in FIG. 2 (b)). Finally, each cut surface 5a on the left side of the pair of upper and lower head chips 5, 5 is attached to the mounting reference surface 6a of the head base 6.
The double azimuth type thin-film magnetic head 1 is assembled as shown in FIG.
【0012】基板2はセラミック等の非磁性であり、そ
の正面2c上にコバルトジルコン等から成る磁気コアと
してのヘッドコアパターン3や図示しない薄膜コイル等
をフォトリソグラフィー法やエッチング法等によりそれ
ぞれ形成した後で、保護膜7により被覆してある。ま
た、ヘッドベース6の中央には、一対のヘッドチップ
5,5をアオリ調整等するための側面U字状のスリット
6bを形成してある。さらに、図2(a)に示す基板2
のユニット4にするための切断における上下連続した一
対のヘッドチップ5,5の相対向する各切断面5aはそ
れぞれ平行になっている。The substrate 2 is a non-magnetic material such as ceramic. A head core pattern 3 as a magnetic core made of cobalt zircon or the like, a thin film coil (not shown), etc. are formed on the front surface 2c by photolithography or etching. Later, it is covered with a protective film 7. In the center of the head base 6, there is formed a side U-shaped slit 6b for adjusting the tilt of the pair of head chips 5 and 5. Further, the substrate 2 shown in FIG.
The opposing cut surfaces 5a of the pair of head chips 5, 5 that are vertically continuous in the cutting for making the unit 4 are parallel to each other.
【0013】このように、基板2の正面2c上にヘッド
コアパターン3を形成する場合に、予め一対のペアとな
る列を上下隣り合わせに、且つ相反する向きに上下一対
のヘッドコアパターン3,3が形成されるように配置
し、所定のアジマス角度(θ)を付与して切断する時
に、図2(a)に示すように、ペアとなる列を上下に配
置したまま同時に行う。これにより、上下一対のヘッド
チップ5,5はそれぞれ正負のアジマス角度(+θ,−
θ)を持つものとなり、しかも、一つのユニット4の同
一の切断面5aで形成されることから、上下一対のヘッ
ドチップ5,5ともヘッドベース6の取付基準面6aか
ら該一対のヘッドチップ5,5の各トラック端までの距
離Hが等しくなる。As described above, when the head core pattern 3 is formed on the front surface 2c of the substrate 2, a pair of rows is previously arranged vertically adjacent to each other, and the pair of upper and lower head core patterns 3 and 3 are opposed to each other. When cutting is performed by giving a predetermined azimuth angle (θ), the cutting is performed simultaneously with the paired rows arranged vertically as shown in FIG. 2A. Thus, the pair of upper and lower head chips 5 and 5 respectively have positive and negative azimuth angles (+ θ,-
θ), and are formed by the same cut surface 5a of one unit 4, so that the pair of upper and lower head chips 5, 5 are also separated from the mounting reference surface 6a of the head base 6 by the pair of head chips 5. , 5 are equal to each other.
【0014】その後、ユニット4の中央を切断して上下
一対のヘッドチップ5,5を分離切断した後にも、上下
一対のヘッドチップ5,5の組み合わせをペアとして維
持したまま、図1に示すように、上下一対のヘッドチッ
プ5,5の各切断面5aをヘッドベース6の取付基準面
6aに貼り付けることにより、図1に示すように、ヘッ
ドベース6の取付基準面6aから一対のヘッドチップ
5,5の各トラック端までの距離Hを等しくした正負の
アジマス角度付きの薄膜磁気ヘッド1の組み立てが可能
となる。その結果、従来のように、正負のアジマス角度
別に切断加工するものと異なり、正負のアジマス角度を
持つ一対のヘッドチップ5,5を一度の切断加工で形成
することにより、その各切断面5aからトラック端まで
の距離Hを等しくした薄膜磁気ヘッド1を容易に組み立
てることができ、従来必要不可欠だった加工仕上がりの
類似したヘッドチップの組み合わせ選定、及びヘッドベ
ース6をスリット6bを介して変形させる一対のヘッド
チップ5,5の位置調整の作業が不要か微調整で済み、
量産性が向上する。Thereafter, even after the center of the unit 4 is cut to separate and cut the pair of upper and lower head chips 5, 5, the combination of the pair of upper and lower head chips 5, 5 is maintained as a pair, as shown in FIG. By attaching the cut surfaces 5a of the pair of upper and lower head chips 5 and 5 to the mounting reference surface 6a of the head base 6, a pair of head chips are mounted from the mounting reference surface 6a of the head base 6 as shown in FIG. It is possible to assemble the thin-film magnetic head 1 having positive and negative azimuth angles with equal distances H to the respective track ends. As a result, unlike the conventional method in which the cutting process is performed for each of the positive and negative azimuth angles, a pair of head chips 5 and 5 having the positive and negative azimuth angles are formed by a single cutting process, so that each of the cut surfaces 5a is cut off. The thin-film magnetic head 1 having the same distance H to the track end can be easily assembled, a combination of head chips having similar processing finishes, which has been indispensable in the past, and a pair of head bases 6 deformed through the slits 6b. The work of adjusting the position of the head chips 5 and 5 is unnecessary or finely adjusted.
Mass productivity is improved.
【0015】尚、前記実施形態によれば、ヘリカルスキ
ャン方式のVTRに用いられるダブルアジマス型の薄膜
磁気ヘッドの製造方法について説明したが、磁気ディス
ク装置等に用いられる薄膜磁気ヘッドに応用できること
は勿論である。According to the above-described embodiment, a method of manufacturing a double azimuth type thin film magnetic head used in a helical scan type VTR has been described. However, it is needless to say that the method can be applied to a thin film magnetic head used in a magnetic disk device or the like. It is.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明の
薄膜磁気ヘッドの製造方法によれば、ヘッドベースの取
付基準面から一対のヘッドチップの各トラック端までの
距離を等しくすることができ、ダブルアジマス型の薄膜
磁気ヘッドの量産性をより一段と向上させることができ
る。また、一対のヘッドチップの調整作業が不要か微調
整で済み、高精度のダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッド
を低コストで提供することができる。As described above, according to the method of manufacturing a thin film magnetic head of the first aspect of the present invention, the distances from the reference mounting surface of the head base to the track ends of the pair of head chips can be made equal. As a result, the mass productivity of the double azimuth type thin film magnetic head can be further improved. Further, it is unnecessary to perform the adjustment work of the pair of head chips or fine adjustment is required, and a high-precision double azimuth type thin-film magnetic head can be provided at low cost.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明の一実施形態の薄膜磁気ヘッドの製造方
法により組み立てられたダブルアジマス型の薄膜磁気ヘ
ッドの正面図である。FIG. 1 is a front view of a double azimuth type thin film magnetic head assembled by a method of manufacturing a thin film magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図2】(a)は上記薄膜磁気ヘッドに用いられる基板
の斜視図、(b)は同基板を切断してできた一つのユニ
ットの斜視図である。FIG. 2A is a perspective view of a substrate used for the thin-film magnetic head, and FIG. 2B is a perspective view of one unit obtained by cutting the substrate.
【図3】(a)は従来例の薄膜磁気ヘッドに用いられる
一対の基板のうちの一方の基板の斜視図、(b)は同一
対の基板の他方の基板の斜視図である。FIG. 3A is a perspective view of one of a pair of substrates used in a conventional thin-film magnetic head, and FIG. 3B is a perspective view of the other of the same pair of substrates.
【図4】上記従来例のダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッ
ドの正面図である。FIG. 4 is a front view of the double azimuth type thin film magnetic head of the conventional example.
1 ダブルアジマス型の薄膜磁気ヘッド 2 基板 2a 上面(記録媒体摺動面) 2b 下面(記録媒体摺動面) 3,3 上下一対のヘッドコアパターン 3a 磁気ギャップ面 4 ユニット 5,5 上下一対のヘッドチップ 5a 切断面 6 ヘッドベース 6a 取付基準面 7 保護膜(薄膜) +θ,−θ アジマス角度 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Double azimuth type thin film magnetic head 2 Substrate 2a Upper surface (recording medium sliding surface) 2b Lower surface (recording medium sliding surface) 3,3 Upper and lower pair of head core patterns 3a Magnetic gap surface 4 Unit 5,5 Upper and lower pair of heads Chip 5a Cutting surface 6 Head base 6a Mounting reference surface 7 Protective film (thin film) + θ, -θ Azimuth angle
Claims (1)
気ギャップ面を有したヘッドコアパターンを所定間隔毎
に該基板に複数形成し、次に、この各ヘッドコアパター
ンに対して所定のアジマス角度を付与するように前記基
板の側部を所定間隔毎にそれぞれ切断してヘッドチップ
を形成し、次に、このヘッドチップの切断面をヘッドベ
ースの取付基準面に貼付して薄膜磁気ヘッドを製造する
ようにした薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 前記磁気ギャップ面を前記基板の記録媒体摺動面として
の上,下面にそれぞれ露出させた上下一対のヘッドコア
パターンを相反する向きに且つ所定間隔毎に該基板に複
数形成し、次に、この各上下一対のヘッドコアパターン
に対して所定のアジマス角度を付与するように前記基板
の側部を該上下一対のヘッドコアパターンを含んだユニ
ット毎にそれぞれ切断し、次に、このユニットの上下一
対のヘッドコアパターン間の中央を切断して上下一対の
ヘッドチップをそれぞれ形成し、次に、この上下一対の
ヘッドチップの側部の各切断面を前記ヘッドベースの取
付基準面にそれぞれ貼付してダブルアジマス型の薄膜磁
気ヘッドを製造するようにしたことを特徴とする薄膜磁
気ヘッドの製造方法。1. A plurality of head core patterns having a magnetic gap surface parallel to a thin film forming surface of a rectangular plate-like substrate are formed on the substrate at predetermined intervals, and then a predetermined number of head core patterns are formed for each of the head core patterns. The side portions of the substrate are cut at predetermined intervals so as to give an azimuth angle of, and a head chip is formed. Then, the cut surface of the head chip is attached to a mounting reference surface of a head base to form a thin film magnetic head. A method of manufacturing a thin-film magnetic head for manufacturing a head, comprising: a pair of upper and lower head core patterns having the magnetic gap surface exposed on upper and lower surfaces as a recording medium sliding surface of the substrate, in opposite directions; A plurality of the upper and lower head core patterns are formed on the substrate at predetermined intervals, and then the side portions of the substrate are joined to the upper and lower pair of head core patterns so as to give a predetermined azimuth angle to each of the upper and lower head core patterns. Each of the units including the core pattern is cut, and then the center between the pair of upper and lower head core patterns of the unit is cut to form a pair of upper and lower head chips, respectively. A method for manufacturing a double azimuth type thin film magnetic head by affixing the respective cut surfaces on the side portions to the mounting reference surface of the head base.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP508198A JPH11203624A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Manufacture of thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP508198A JPH11203624A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Manufacture of thin film magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11203624A true JPH11203624A (en) | 1999-07-30 |
Family
ID=11601447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP508198A Pending JPH11203624A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Manufacture of thin film magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11203624A (en) |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP508198A patent/JPH11203624A/en active Pending
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