JPH11198015A - Texture processing device for head disk - Google Patents

Texture processing device for head disk

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JPH11198015A
JPH11198015A JP105298A JP105298A JPH11198015A JP H11198015 A JPH11198015 A JP H11198015A JP 105298 A JP105298 A JP 105298A JP 105298 A JP105298 A JP 105298A JP H11198015 A JPH11198015 A JP H11198015A
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JP
Japan
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pair
axis direction
slide
hard disk
members
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP105298A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuichiro Ueda
雄一郎 上田
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Hirata Corp
Original Assignee
Hirata Corp
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Publication date
Application filed by Hirata Corp filed Critical Hirata Corp
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Publication of JPH11198015A publication Critical patent/JPH11198015A/en
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a polishing roller to make a reciprocating motion at a high speed with high accuracy. SOLUTION: A texture processing device for a hard disk is provided with a first sliding member 10 supported so that it can make a rectilinear motion in the X-axis direction of a base 50, a motor 1 for the first sliding member 10 to make an x-axis rectilinear motion, shaft members 16A, 16B locked so that they can make a relative movement in the Y-axis direction of the sliding member 10, sliding guides 17A, 17B for supporting the shaft members 16A, 16B slidably in the X-axis direction, second sliding members 19A, 19B supported slidably in the Y-axis direction to the base 50, a first cylinder 30 for driving the second sliding members 19A, 19B in the direction to separate them, a second cylinder 37 for driving the second sliding members 19A, 19B in the direction to come close to each other, and rollers 25A, 25B rotatably mounted on the end of the shaft members 16A, 16B.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクの
表面研磨加工であるテキスチャ加工を行うためのハード
ディスクのテキスチャ加工装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hard disk texture processing apparatus for performing a texturing process as a surface polishing process of a hard disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、ハードディスクの表面研磨加
工であるテキスチャ加工を行う装置が知られている。こ
の従来の装置では、ハードディスクを、研磨テープを巻
き掛けた一対のローラの間に挟み、このローラをディス
クの半径方向に往復動作させることにより研磨を行って
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an apparatus for performing a texturing process as a surface polishing process of a hard disk. In this conventional apparatus, polishing is performed by sandwiching a hard disk between a pair of rollers around which a polishing tape is wound, and reciprocating the rollers in a radial direction of the disk.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、研磨ロ
ーラをディスクの半径方向に往復移動させる特開平3−
237620号公報に開示されている等の従来の機構で
は、往復移動する部分のイナーシャが大きく、高速往復
運動ができない上に、往復移動させる装置を取り付けて
いる機械全体の振動を引き起こすという問題点があっ
た。
However, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 3 (1990) -1990 reciprocates the polishing roller in the radial direction of the disk.
The conventional mechanism such as that disclosed in Japanese Patent No. 237620 has a problem that the reciprocating portion has a large inertia, cannot perform high-speed reciprocating motion, and causes vibration of the entire machine on which the reciprocating device is mounted. there were.

【0004】また、研磨ローラを取り付けているシャフ
トをスプリングによりカムに押し付ける特開平6−15
5270号公報に開示されている等の従来の構造をとっ
ている場合、カムの回転が高速になるとシャフトの往復
動作が追従しきれずに跳ねる現象が現れるため、カムの
回転をあげられず、生産タクトを短縮して生産性を向上
させることが困難であった。
Further, a shaft on which a polishing roller is mounted is pressed against a cam by a spring.
In the case of adopting a conventional structure such as disclosed in Japanese Patent No. 5270, a phenomenon in which the reciprocating motion of the shaft cannot follow the reciprocating motion of the shaft at a high speed and the bouncing motion appears, so that the rotation of the cam cannot be increased. It has been difficult to shorten the tact and improve productivity.

【0005】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、研磨ローラを高速かつ
高精度に往復運動させることができるハードディスクの
テキスチャ加工装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a hard disk texture processing apparatus capable of reciprocating a polishing roller at high speed and with high precision.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるハードディスク
のテキスチャ加工装置は、ハードディスクの表面研磨加
工であるテキスチャ加工を行うためのハードディスクの
テキスチャ加工装置において、装置本体に対してx軸方
向に直進運動可能に支持された第1のスライド部材と、
該第1のスライド部材を前記x軸方向に直進往復運動さ
せるための駆動手段と、前記第1のスライド部材に対し
て、前記x軸方向と直交するy軸方向に相対移動可能に
係止された一対の軸部材と、前記一対の軸部材を前記x
軸方向にスライド自在に支持するための一対のスライド
ガイドと、前記装置本体に対して前記y軸方向にスライ
ド自在に支持され、前記一対のスライドガイドを前記y
軸方向に接近及び離間させるための一対の第2のスライ
ド部材と、前記一対の第2のスライド部材を接近及び離
間させる方向に駆動するための駆動手段と、前記一対の
軸部材の先端に回転自在に取り付けられ、前記ハードデ
ィスクの表面を研磨するための研磨テープが巻き掛けら
れた一対のローラとを具備することを特徴としている。
Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are solved,
In order to achieve the object, a hard disk texture processing device according to the present invention is a hard disk texture processing device for performing a texturing process, which is a surface polishing process of a hard disk. A first slide member supported by
A driving means for causing the first slide member to reciprocate linearly in the x-axis direction, and being locked to the first slide member so as to be relatively movable in a y-axis direction orthogonal to the x-axis direction. A pair of shaft members, and the pair of shaft members
A pair of slide guides for slidably supporting in the axial direction; and a pair of slide guides slidably supported in the y-axis direction with respect to the apparatus main body.
A pair of second slide members for approaching and separating in the axial direction, driving means for driving the pair of second sliding members in a direction for approaching and separating, and rotation of the tip of the pair of shaft members And a pair of rollers which are freely attached and are wound around a polishing tape for polishing the surface of the hard disk.

【0007】また、本発明に係わるハードディスクのテ
キスチャ加工装置は、ハードディスクの表面研磨加工で
あるテキスチャ加工を行うためのハードディスクのテキ
スチャ加工装置において、基台と、該基台に対してx軸
方向に直進運動可能に支持された第1のスライド部材
と、前記基台に固定され、該第1のスライド部材を前記
x軸方向に直進往復運動させるための駆動手段と、前記
第1のスライド部材に対して、前記x軸方向と直交する
y軸方向に相対移動可能に係止された一対の軸部材と、
前記一対の軸部材を前記x軸方向にスライド自在に支持
するための一対のスライドガイドと、前記基台に対して
前記y軸方向にスライド自在に支持され、前記一対のス
ライドガイドを前記y軸方向に接近及び離間させるため
の一対の第2のスライド部材と、前記基台に固定され、
前記一対の第2のスライド部材を離間させる方向に駆動
するための第1の駆動手段と、前記一対の第2のスライ
ド部材を接近させる方向に駆動するための第2の駆動手
段と、前記一対の軸部材の先端に回転自在に取り付けら
れ、前記ハードディスクの表面を研磨するための研磨テ
ープが巻き掛けられた一対のローラとを具備することを
特徴としている。
A hard disk texture processing apparatus according to the present invention is a hard disk texture processing apparatus for performing a texturing process, which is a surface polishing process of a hard disk, comprising: a base; and an x-axis direction with respect to the base. A first slide member supported so as to be capable of linear movement, a driving means fixed to the base, and a linearly reciprocating movement of the first slide member in the x-axis direction; On the other hand, a pair of shaft members locked so as to be relatively movable in a y-axis direction orthogonal to the x-axis direction,
A pair of slide guides for slidably supporting the pair of shaft members in the x-axis direction, and a pair of slide guides slidably supported in the y-axis direction with respect to the base; A pair of second sliding members for approaching and separating in a direction, and fixed to the base;
First drive means for driving the pair of second slide members in a direction to separate them, second drive means for driving the pair of second slide members in a direction to approach the pair, and the pair of second slide members. And a pair of rollers rotatably mounted on the tip of the shaft member and having a polishing tape wrapped around the surface of the hard disk.

【0008】また、この発明に係わるハードディスクの
テキスチャ加工装置において、前記駆動手段は、モータ
と、該モータの回転軸に取り付けられた偏芯軸と、前記
第1のスライド部材に形成され前記偏芯軸と嵌合する長
穴とを備えて構成されていることを特徴としている。
Further, in the texture processing apparatus for a hard disk according to the present invention, the driving means includes a motor, an eccentric shaft attached to a rotating shaft of the motor, and an eccentric shaft formed on the first slide member. It is characterized by comprising a shaft and an elongated hole to be fitted.

【0009】また、この発明に係わるハードディスクの
テキスチャ加工装置において、前記モータとして、スピ
ードコントロールモータまたはインダクションモータを
用いたことを特徴としている。
Further, in the texture processing apparatus for a hard disk according to the present invention, a speed control motor or an induction motor is used as the motor.

【0010】また、この発明に係わるハードディスクの
テキスチャ加工装置において、前記一対のスライドガイ
ドは、前記一対の第2のスライド部材に対して、夫々独
立に、前記x軸及びy軸ではられるxy平面内で調整可
能に回動支持されていることを特徴としている。
[0010] In the texture processing apparatus for a hard disk according to the present invention, the pair of slide guides may be independent of the pair of second slide members in an xy plane defined by the x axis and the y axis. It is characterized by being rotatably supported so as to be adjustable.

【0011】また、この発明に係わるハードディスクの
テキスチャ加工装置において、前記一対のスライドガイ
ドの前記一対の第2のスライド部材に対する前記xy平
面内での回動角度を微調整するためのマイクロメータを
更に具備することを特徴としている。
In the texture processing apparatus for a hard disk according to the present invention, a micrometer for finely adjusting a rotation angle of the pair of slide guides with respect to the pair of second slide members in the xy plane is further provided. It is characterized by having.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【0013】図1は、本発明の一実施形態に係わるハー
ドディスクのテキスチャ加工装置の構成を示す平面図で
あり、図2は図1のA−A断面図であり、図3は図2を
矢印B方向から見て基板50を省略して示した図であ
る。また、図4は図1の部分拡大図であり、図5は図2
の部分拡大図である。
FIG. 1 is a plan view showing the structure of a hard disk texture processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. FIG. 3 is a view in which a substrate 50 is omitted when viewed from a direction B. FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 1, and FIG.
FIG.

【0014】図1乃至図5において、装置の基台である
基板50は、水平に延出しており、その下面には図2中
x軸方向に延出するリニアガイド12が配置されてい
る。リニアガイド12には、このリニアガイド12のス
ライダ12aを介してスライド部材10が取り付けられ
ており、これにより、スライド部材10は、リニアガイ
ド12に案内されてx軸方向にスライド可能になされて
いる。スライド部材10の図2中右側の端部には、後述
するカムローラ6の外径よりもわずかに幅が広く、図2
中z軸方向に延出する長穴10aが形成されており、カ
ムローラ6がその長穴10a内に挿入されている。
1 to 5, a substrate 50 as a base of the apparatus extends horizontally, and a linear guide 12 extending in the x-axis direction in FIG. A slide member 10 is attached to the linear guide 12 via a slider 12a of the linear guide 12, whereby the slide member 10 is guided by the linear guide 12 and slidable in the x-axis direction. . The right end of the slide member 10 in FIG. 2 is slightly wider than the outer diameter of a cam roller 6 described later.
An elongated hole 10a extending in the middle z-axis direction is formed, and the cam roller 6 is inserted into the elongated hole 10a.

【0015】一方、基板50には、下方に垂直に立ち下
がった立ち下がり部50aが形成されており、立ち下が
り部50aには、モータ1がその回転軸をy軸に平行に
した状態で固定されている。モータ1の回転軸には、カ
ップリング2を介してカムローラ軸3が接続されてお
り、カムローラ軸3の中央部には前述したカムローラ6
が固定されている。カムローラ軸3は、支柱5,7及び
ベアリング4,4Aを介して、基板50に対して回転自
在に支持されている。カムローラ6は、図5に示すよう
にカムローラ軸3に対して偏芯して取り付けられてい
る。したがって、モータ1が回転すると、カムローラ6
がモータ1の回転軸に対して偏芯して回転し、これによ
りカムローラ6の外周に係合しているスライド部材10
がx軸方向に往復直線運動する。
On the other hand, a falling portion 50a that falls vertically downward is formed on the substrate 50, and the motor 1 is fixed to the falling portion 50a in a state where the rotation axis of the motor 1 is parallel to the y-axis. Have been. A cam roller shaft 3 is connected to a rotation shaft of the motor 1 via a coupling 2.
Has been fixed. The cam roller shaft 3 is rotatably supported by the substrate 50 via the posts 5, 7 and the bearings 4, 4A. The cam roller 6 is eccentrically attached to the cam roller shaft 3 as shown in FIG. Therefore, when the motor 1 rotates, the cam rollers 6
Are rotated eccentrically with respect to the rotation axis of the motor 1, whereby the slide member 10 engaged with the outer circumference of the cam roller 6 is rotated.
Reciprocates linearly in the x-axis direction.

【0016】スライド部材10の図1及び図2中左側の
端部には、断面が下に開いたコの字型でy軸方向に延出
する係止部13が形成されている。この係止部13に
は、図1に示すようにx軸を挟んで両側に1つずつ配置
された従動部材15A,15Bのローラ14A,14B
が挿入されている。従動部材15A,15Bの左側端部
には、ハードディスク60の表面を研磨する研磨ローラ
25A,25Bを支持するための支持シャフト16A,
16Bが取り付けられている。研磨ローラ25A,25
Bは、支持シャフト16A,16Bの先端に、x軸に平
行な軸を中心に回転自在に取り付けられている。また、
支持シャフト16A,16Bは、軸受け部材17A,1
7Bによりx軸方向にスライド自在に支持されている。
したがって、モータ1の回転によりスライド部材10が
x軸方向に往復運動すると、それに連れて従動部材15
A,15B、支持シャフト16A,16Bもx軸方向に
往復運動し、結果として研磨ローラ25A,25Bがハ
ードディスク60の半径方向に往復運動することとな
る。なお、従動部材15A,15Bには、支持シャフト
16A,16Bに平行にもう一本の支持シャフト20
A,20Bも固定されており、これらの支持シャフト2
0A,20Bは、軸受け部材21A,21Bによりスラ
イド部材19A,19Bに支持されている。
At the left end in FIGS. 1 and 2 of the slide member 10, there is formed a locking portion 13 extending in the y-axis direction in a U-shape with a cross section opened downward. As shown in FIG. 1, rollers 14A, 14B of driven members 15A, 15B arranged on both sides of the x-axis
Is inserted. Support shafts 16A, 16A for supporting polishing rollers 25A, 25B for polishing the surface of the hard disk 60 are provided on left end portions of the driven members 15A, 15B.
16B is attached. Polishing rollers 25A, 25
B is rotatably attached to the distal ends of the support shafts 16A and 16B around an axis parallel to the x-axis. Also,
The support shafts 16A, 16B are provided with bearing members 17A, 1
7B slidably supports in the x-axis direction.
Therefore, when the slide member 10 reciprocates in the x-axis direction due to the rotation of the motor 1, the driven member 15
A, 15B and the support shafts 16A, 16B also reciprocate in the x-axis direction. As a result, the polishing rollers 25A, 25B reciprocate in the radial direction of the hard disk 60. The driven members 15A and 15B have another support shaft 20 parallel to the support shafts 16A and 16B.
A, 20B are also fixed.
0A and 20B are supported by slide members 19A and 19B by bearing members 21A and 21B.

【0017】軸受け部材17A,17Bは、スリーブ1
8A,18Bを介して、スライド部材19A,19Bに
取り付けられている。スライド部材19A,19Bは、
中間基板38A,38Bを介して、リニアガイド39の
スライダ39A,39Bに固定されている。リニアガイ
ド39は、y軸方向に延出して基板50の下面に取り付
けられており、スライド部材19A,19Bをy軸方向
にスライド自在に支持している。これにより、支持シャ
フト16A,16B及び研磨ローラ25A,25Bは、
前述したようにx軸方向に往復運動するとともに、y軸
方向にも互い平行に接近及び離間移動可能となる。な
お、従動部材15A,15Bは、ローラ14A,14B
を介して係止部13に係合しているので、スライド部材
10に対して係止部13の長手方向(y軸方向)に沿っ
て相対移動可能である。
The bearing members 17A and 17B are made of a sleeve 1
It is attached to slide members 19A and 19B via 8A and 18B. The slide members 19A and 19B are
The linear guide 39 is fixed to the sliders 39A and 39B via the intermediate substrates 38A and 38B. The linear guide 39 extends in the y-axis direction and is attached to the lower surface of the substrate 50, and supports the slide members 19A and 19B so as to be slidable in the y-axis direction. Thereby, the support shafts 16A and 16B and the polishing rollers 25A and 25B are
As described above, it reciprocates in the x-axis direction and can approach and move in parallel with each other in the y-axis direction. The driven members 15A and 15B are provided with rollers 14A and 14B.
, And is relatively movable with respect to the slide member 10 along the longitudinal direction (y-axis direction) of the locking portion 13.

【0018】中間基板38A,38Bの上面には、垂直
基板35A,35Bが立設されている。一方の垂直基板
35Bにはエアシリンダ37が取り付けられており、そ
のピストンロッド37aの先端が他方の垂直基板35A
に接続されている。そして、ピストンロッド37aはエ
アシリンダ37により常時引き込み動作されており、2
枚の垂直基板35A,35Bは、常時互いに接近する方
向に付勢されている。この結果、中間基板38A,38
B、スライド部材19A,19B、支持シャフト16
A,16Bを介して垂直基板35A,35Bに連結され
ている研磨ローラ25A,25Bが互いに接近する方向
に付勢される。これにより、研磨ローラ25A,25B
がハードディスク60を挟み込むこととなる。また、垂
直基板35A,35Bの上部には、回転ローラ36A,
36Bが取り付けられている。
Vertical substrates 35A and 35B are provided upright on the upper surfaces of the intermediate substrates 38A and 38B. An air cylinder 37 is attached to one vertical substrate 35B, and the tip of a piston rod 37a is attached to the other vertical substrate 35A.
It is connected to the. The piston rod 37a is constantly retracted by the air cylinder 37.
The vertical substrates 35A and 35B are constantly urged to approach each other. As a result, the intermediate substrates 38A, 38
B, slide members 19A, 19B, support shaft 16
The polishing rollers 25A, 25B connected to the vertical substrates 35A, 35B via A, 16B are urged in directions approaching each other. Thereby, the polishing rollers 25A, 25B
Will sandwich the hard disk 60. Further, on the upper portions of the vertical substrates 35A and 35B, the rotating rollers 36A,
36B is attached.

【0019】基板50の上面には、エアシリンダ30が
取り付けられており、そのピストンロッド30aの先端
部にはクサビ部材31が取り付けられている。クサビ部
材31は、回転ローラ36A,36Bの間の中央に配置
されており、エアシリンダ30がピストンロッド30a
を押し出し動作することにより、クサビ部材31が2つ
の回転ローラ36A,36Bの間に進入し、エアシリン
ダ37の付勢力に抗して、2つの回転ローラ36A,3
6Bを互いに離間させる。これにより研磨ローラ25
A,25Bも互いに離間する。これにより、研磨ローラ
25A,25Bがハードディスク60から離れる。
An air cylinder 30 is mounted on the upper surface of the substrate 50, and a wedge member 31 is mounted on the tip of the piston rod 30a. The wedge member 31 is disposed at the center between the rotating rollers 36A and 36B, and the air cylinder 30 is connected to the piston rod 30a.
, The wedge member 31 enters between the two rotating rollers 36A and 36B, and opposes the urging force of the air cylinder 37.
6B are separated from each other. Thereby, the polishing roller 25
A and 25B are also separated from each other. Thereby, the polishing rollers 25A and 25B separate from the hard disk 60.

【0020】なお、エアシリンダ30には、L型基板3
2を介して調整ネジ33が取り付けられており、この調
整ネジ33のねじ込み量により、ピストンロッド30a
の停止位置を調整できるようになされている。これによ
り、研磨ローラ25A,25Bの開き位置をハードディ
スクの表面に接近した位置に調整することができ、ハー
ドディスク60に研磨テープ70A,70Bが接触した
ときの打痕の発生を防止することができる。
The air cylinder 30 has an L-shaped substrate 3
2, an adjusting screw 33 is attached. The amount of screwing of the adjusting screw 33 changes the piston rod 30a.
The stop position can be adjusted. Thereby, the opening position of the polishing rollers 25A, 25B can be adjusted to a position close to the surface of the hard disk, and the occurrence of a dent when the polishing tapes 70A, 70B contact the hard disk 60 can be prevented.

【0021】また、研磨ローラ25A,25Bには、ハ
ードディスク60の表面を研磨するための研磨テープ7
0A,70Bが巻き掛けられている。研磨テープ70
A,70Bは、後述するテープ供給機構から研磨ローラ
25A,25Bに供給される。
A polishing tape 7 for polishing the surface of the hard disk 60 is provided on the polishing rollers 25A and 25B.
0A and 70B are wound. Polishing tape 70
A and 70B are supplied to the polishing rollers 25A and 25B from a tape supply mechanism described later.

【0022】なお、スリーブ18A,18Bは、リーマ
ボルト23A,23B(23Bは不図示)を回動中心と
して、スライド部材19A,19Bに対してxy平面内
で回動可能に取り付けられており、この回動量をマイク
ロメータ22A,22B(22Bは不図示)により調整
できるようになされている。これにより、研磨ローラ2
5A,25Bのハードディスク表面に対する平行度を調
整することができる。
The sleeves 18A and 18B are rotatably mounted on the slide members 19A and 19B in the xy plane with the reamer bolts 23A and 23B (23B not shown) as the center of rotation. The movement amount can be adjusted by micrometers 22A and 22B (22B is not shown). Thereby, the polishing roller 2
The degree of parallelism of the 5A and 25B with respect to the hard disk surface can be adjusted.

【0023】次に、上記のように構成されるテキスチャ
加工装置の動作について説明する。
Next, the operation of the texture processing apparatus configured as described above will be described.

【0024】まず、エアシリンダ30を押し出し動作さ
せて、2つの研磨ローラ25A,25Bを互いに離間さ
せ、これらの研磨ローラの中央にハードディスク60を
設置し、ディスクの回転動作を行なう。次に、モータ1
を回転させながら、エアシリンダ30を引き込み動作さ
せ、研磨ローラ25A,25Bをエアシリンダ37の付
勢力により互いに接近させ、その間にハードディスク6
0を挟み込む。これにより、研磨ローラ25A,25B
がハードディスク60の半径方向(x軸方向)に往復運
動し、ハードディスクの研磨加工が行われる。
First, the air cylinder 30 is pushed out to separate the two polishing rollers 25A and 25B from each other. The hard disk 60 is set at the center of these polishing rollers, and the disk is rotated. Next, the motor 1
While rotating the air cylinder 30, the air cylinder 30 is pulled in, and the polishing rollers 25A, 25B are brought close to each other by the urging force of the air cylinder 37, and the hard disk 6
Insert 0. Thereby, the polishing rollers 25A, 25B
Reciprocates in the radial direction (x-axis direction) of the hard disk 60, and the hard disk is polished.

【0025】次に、図6は前述したテープ供給機構10
0の構成を示した図である。
FIG. 6 shows the tape supply mechanism 10 described above.
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a zero.

【0026】図6において、テープ供給機構100は、
研磨ローラ25Aに研磨テープ70Aを供給する左半部
150と研磨ローラ25Bに研磨テープ70Bを供給す
る右半部152とから構成されている。左半部150と
右半部152は、ハードディスク60を中心として、対
称に全く同じ構造となっているので、以下では右半部1
52の構成についてのみ説明する。
In FIG. 6, the tape supply mechanism 100 includes:
It comprises a left half 150 supplying the polishing tape 70A to the polishing roller 25A and a right half 152 supplying the polishing tape 70B to the polishing roller 25B. The left half 150 and the right half 152 have exactly the same structure symmetrically with the hard disk 60 as the center.
Only the configuration of 52 will be described.

【0027】テープ供給機構100の土台を構成する基
板101の上部には、研磨テープ70Bがロール状に巻
かれた巻き出しリール102が、回転自在に配置されて
いる。この巻き出しリール102には、基板101に固
定されたトルクモータ104により、研磨テープ70B
の送り方向(矢印Dの方向)とは逆の矢印Cの方向にト
ルクが加えられる。トルクモータ104の駆動力は、歯
車機構あるいはベルト機構からなる不図示の伝達機構に
より巻き出しリール102に伝達される。
An unwinding reel 102 on which a polishing tape 70B is wound in a roll is rotatably disposed above a substrate 101 constituting a base of the tape supply mechanism 100. The unwinding reel 102 is supplied with a polishing tape 70B by a torque motor 104 fixed to the substrate 101.
Is applied in the direction of arrow C opposite to the feed direction (direction of arrow D). The driving force of the torque motor 104 is transmitted to the unwinding reel 102 by a transmission mechanism (not shown) including a gear mechanism or a belt mechanism.

【0028】巻き出しリール102から巻き出された研
磨テープ70Bは、テンションローラ106、アイドル
ローラ108、及びガイドローラ110を経由して研磨
ローラ25Bに巻かれる。研磨ローラ25Bに巻かれた
研磨テープ70Bは、さらにガイドローラ112、アイ
ドルローラ114、テープ送りローラ116、及びアイ
ドルローラ118を経由して巻き取りリール120に巻
き取られる。
The polishing tape 70B unwound from the unwinding reel 102 is wound around the polishing roller 25B via a tension roller 106, an idle roller 108, and a guide roller 110. The polishing tape 70B wound on the polishing roller 25B is further wound on a take-up reel 120 via a guide roller 112, an idle roller 114, a tape feed roller 116, and an idle roller 118.

【0029】テンションローラ106には、基板101
に固定されたトルクモータ122により、研磨テープ7
0Bの送り方向とは逆の矢印Eの方向にトルクが加えら
れる。トルクモータ122の駆動力は、歯車機構あるい
はベルト機構からなる不図示の伝達機構によりテンショ
ンローラ106に伝達される。また、テンションローラ
106の近傍には、テンションローラ106に研磨テー
プ70Bを押し付けるための押し付け機構124が配置
されている。この押し付け機構124は、支点126を
中心に基板101に対して回動自在に支持されたアーム
128と、アーム128の先端部に回転自在に取り付け
られた押し付けローラ130と、アーム128の反対側
の端部に接続されたエアシリンダ132とから構成され
ている。エアシリンダ132のピストンロッド132a
を押し出し動作させることにより、押し付けローラ13
0が研磨テープ70Bをテンションローラ106に押し
付けて、テンションローラ106と研磨テープ70Bの
スリップを防止する。
The tension roller 106 includes a substrate 101
By the torque motor 122 fixed to the
The torque is applied in a direction indicated by an arrow E opposite to the feed direction of 0B. The driving force of the torque motor 122 is transmitted to the tension roller 106 by a transmission mechanism (not shown) including a gear mechanism or a belt mechanism. Further, a pressing mechanism 124 for pressing the polishing tape 70B against the tension roller 106 is disposed near the tension roller 106. The pressing mechanism 124 includes an arm 128 rotatably supported on the substrate 101 about a fulcrum 126, a pressing roller 130 rotatably attached to a tip end of the arm 128, and an opposite side of the arm 128. And an air cylinder 132 connected to the end. Piston rod 132a of air cylinder 132
Is pushed out, the pressing roller 13 is pressed.
0 presses the polishing tape 70B against the tension roller 106 to prevent the tension roller 106 and the polishing tape 70B from slipping.

【0030】一方、テープ送りローラ116は、基板1
01に固定されたサーボモータあるいはインバータ付き
インダクションモータなどの回転速度のコントロールが
可能なモータ134により、研磨テープ70Bの送り方
向(矢印Fの方向)に回転駆動される。このテープ送り
ローラ116の回転が、研磨テープ70Bを巻き出しリ
ール102から巻き出す駆動源となる。テープ送りロー
ラ116の近傍にも、既に説明した押し付け機構124
が配置されており、テープ送りローラ116と研磨テー
プ70Bのスリップを防止する。なお、サーボモータ1
34の駆動力は、歯車機構あるいはベルト機構からなる
不図示の伝達機構によりテープ送りローラ116に伝達
される。
On the other hand, the tape feed roller 116
The polishing tape 70B is rotationally driven in the feed direction (the direction of arrow F) of the polishing tape 70B by a motor 134 whose rotational speed can be controlled, such as a servo motor fixed to 01 or an induction motor with an inverter. The rotation of the tape feed roller 116 serves as a drive source for unwinding the polishing tape 70B from the unwinding reel 102. The pressing mechanism 124 described above is also provided near the tape feed roller 116.
Are arranged to prevent the tape feed roller 116 and the polishing tape 70B from slipping. The servo motor 1
The driving force of 34 is transmitted to the tape feed roller 116 by a transmission mechanism (not shown) including a gear mechanism or a belt mechanism.

【0031】巻き取りリール120には、基板101に
固定されたトルクモータ136により、研磨テープ70
Bの送り方向(矢印Gの方向)にトルクが加えられ、こ
れによりテープ送りローラ116によって巻き出された
研磨テープ70Bが巻き取られる。トルクモータ136
の駆動力は、歯車機構あるいはベルト機構からなる不図
示の伝達機構により巻き取りリール120に伝達され
る。
The polishing tape 70 is mounted on the take-up reel 120 by a torque motor 136 fixed to the substrate 101.
Torque is applied in the feed direction of B (direction of arrow G), whereby the polishing tape 70B unwound by the tape feed roller 116 is taken up. Torque motor 136
Is transmitted to the take-up reel 120 by a transmission mechanism (not shown) including a gear mechanism or a belt mechanism.

【0032】以上のように構成されるテープ供給機構1
00においては、トルクモータ104とトルクモータ1
22は、サーボモータ134により巻き出されるテープ
の送り方向とは逆方向にトルクを発生するが、トルクモ
ータの特性により、ブレーキとしても作用する。これに
より、もし巻き出しリール102とテープ送りローラ1
16との間で研磨テープ70Bの弛みが発生しても、自
動的に巻き出しリール102に巻き取って修復すること
ができる。
The tape supply mechanism 1 configured as described above
00, the torque motor 104 and the torque motor 1
The motor 22 generates a torque in a direction opposite to the feeding direction of the tape unwound by the servomotor 134, but also acts as a brake due to the characteristics of the torque motor. Thus, if the unwinding reel 102 and the tape feed roller 1
Even if the polishing tape 70 </ b> B becomes slack between the polishing tape 70 </ b> B and the polishing tape 70 </ b> B, the polishing tape 70 </ b> B can be automatically wound on the unwinding reel 102 and restored.

【0033】なお、各トルクモータは、装置外部に配置
した可変ボリュウムによって任意にトルクを設定できる
ので、バネ計り等を用いてテープの張力を見ながら可変
ボリュウムを操作することにより、調整が可能である。
また、巻き出しリール102及び巻き取りリール120
は、巻き付いているテープの外径の変化によって張力が
変化することが予想されるが、トルクモータの場合、図
7に示すように、回転が速くなると、反比例的にトルク
が小さくなるため、テープの張力は略一定に保たれる。
Since the torque of each torque motor can be arbitrarily set by a variable volume disposed outside the apparatus, the torque motor can be adjusted by operating the variable volume while checking the tension of the tape using a spring meter or the like. is there.
The unwinding reel 102 and the take-up reel 120
It is expected that the tension will change due to the change in the outer diameter of the wound tape. However, in the case of a torque motor, as shown in FIG. Is kept substantially constant.

【0034】初期設定としては、巻き出しリール102
のトルクモータ104と巻き取りリール120のトルク
モータ136の張力よりもテンションローラ106の張
力を低く設定しておき、テンションローラ106の張力
を可変ボリュームの操作により変化させることにより、
バランスの良い安定したテープ走行が可能となる。
As an initial setting, the unwinding reel 102
The tension of the tension roller 106 is set lower than the tension of the torque motor 104 and the torque motor 136 of the take-up reel 120, and the tension of the tension roller 106 is changed by operating a variable volume.
A well-balanced and stable tape running becomes possible.

【0035】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、研磨ローラ25A,25Bの開閉機構が、研磨ロ
ーラの往復運動の慣性質量とならないので、高速な往復
運動が可能となり、研磨加工のタクトタイムを短縮する
ことができる。
As described above, according to the above embodiment, since the opening and closing mechanism of the polishing rollers 25A and 25B does not have the inertial mass of the reciprocating motion of the polishing roller, high-speed reciprocating motion becomes possible and the polishing process can be performed. Takt time can be reduced.

【0036】また、研磨ローラ25A,25Bをスプリ
ングではなく、エアシリンダによりハードディスクに押
し付けるようにしているので、エアシリンダのダンピン
グ作用により研磨ローラがハードディスクから跳ね上が
ってしまうことを防止することができる。
Since the polishing rollers 25A and 25B are pressed against the hard disk by the air cylinder instead of the spring, it is possible to prevent the polishing roller from jumping from the hard disk due to the damping action of the air cylinder.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
研磨ローラの開閉機構が、研磨ローラの往復運動の慣性
質量とならないので、高速な往復運動が可能となり、研
磨加工のタクトタイムを短縮することができる。
As described above, according to the present invention,
Since the opening / closing mechanism of the polishing roller does not become the inertial mass of the reciprocating motion of the polishing roller, high-speed reciprocating motion becomes possible, and the tact time of the polishing process can be reduced.

【0038】また、偏芯軸と嵌合する長穴を備えた構成
となっており、偏芯軸の回転が高速になっても、研磨ロ
ーラ及び軸部材の往復運動が追従しきれず、偏芯軸が嵌
合する長穴から飛び出すことがない。
Further, the eccentric shaft is provided with a long hole to be fitted, so that even if the eccentric shaft rotates at a high speed, the reciprocating motion of the polishing roller and the shaft member cannot follow the eccentric shaft. It does not jump out of the long hole where the shaft fits.

【0039】[0039]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係わるハードディスクの
テキスチャ加工装置の構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a hard disk texture processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】図2を矢印B方向から見て基板50を省略して
示した図である。
FIG. 3 is a view in which a substrate 50 is omitted when FIG. 2 is viewed from the direction of arrow B;

【図4】図1の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 1;

【図5】図2の部分拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view of FIG. 2;

【図6】テープ供給機構の構成を示した図である。FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a tape supply mechanism.

【図7】トルクモータの特性を示した図である。FIG. 7 is a diagram showing characteristics of a torque motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 モータ 6 カムローラ 10 スライド部材 12 リニアガイド 17A,17B 軸受け部材 19A,19B スライド部材 16A,16B 支持シャフト 25A,25B 研磨ローラ 30,37 エアシリンダ 31 クサビ部材 39 リニアガイド 50 基板 60 ハードディスク 70A,70B 研磨テープ 100 テープ供給機構 102 巻き出しリール 106 テンションローラ 116 テープ送りローラ 120 巻き取りリール 124 押し付け機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Motor 6 Cam roller 10 Slide member 12 Linear guide 17A, 17B Bearing member 19A, 19B Slide member 16A, 16B Support shaft 25A, 25B Polishing roller 30, 37 Air cylinder 31 Wedge member 39 Linear guide 50 Substrate 60 Hard disk 70A, 70B Polishing tape REFERENCE SIGNS LIST 100 tape supply mechanism 102 unwind reel 106 tension roller 116 tape feed roller 120 take-up reel 124 pressing mechanism

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハードディスクの表面研磨加工であるテ
キスチャ加工を行うためのハードディスクのテキスチャ
加工装置において、 装置本体に対してx軸方向に直進運動可能に支持された
第1のスライド部材と、 該第1のスライド部材を前記x軸方向に直進往復運動さ
せるための駆動手段と、 前記第1のスライド部材に対して、前記x軸方向と直交
するy軸方向に相対移動可能に係止された一対の軸部材
と、 前記一対の軸部材を前記x軸方向にスライド自在に支持
するための一対のスライドガイドと、 前記装置本体に対して前記y軸方向にスライド自在に支
持され、前記一対のスライドガイドを前記y軸方向に接
近及び離間させるための一対の第2のスライド部材と、 前記一対の第2のスライド部材を接近及び離間させる方
向に駆動するための駆動手段と、 前記一対の軸部材の先端に回転自在に取り付けられ、前
記ハードディスクの表面を研磨するための研磨テープが
巻き掛けられた一対のローラとを具備することを特徴と
するハードディスクのテキスチャ加工装置。
1. A hard disk texture processing apparatus for performing a texture processing as a surface polishing processing of a hard disk, comprising: a first slide member supported so as to be able to linearly move in an x-axis direction with respect to an apparatus main body; A driving unit for causing the first slide member to reciprocate linearly in the x-axis direction; and a pair of first and second slide members locked to be relatively movable in the y-axis direction orthogonal to the x-axis direction. A pair of slide guides for slidably supporting the pair of shaft members in the x-axis direction; and a pair of slide guides slidably supported in the y-axis direction with respect to the apparatus body. A pair of second slide members for moving the guide toward and away from the y-axis direction, and a guide for driving the pair of second slide members toward and away from each other. And a pair of rollers rotatably attached to the tips of the pair of shaft members and having a polishing tape wound thereon for polishing the surface of the hard disk. Texture processing equipment.
【請求項2】 ハードディスクの表面研磨加工であるテ
キスチャ加工を行うためのハードディスクのテキスチャ
加工装置において、 基台と、 該基台に対してx軸方向に直進運動可能に支持された第
1のスライド部材と、 前記基台に固定され、該第1のスライド部材を前記x軸
方向に直進往復運動させるための駆動手段と、 前記第1のスライド部材に対して、前記x軸方向と直交
するy軸方向に相対移動可能に係止された一対の軸部材
と、 前記一対の軸部材を前記x軸方向にスライド自在に支持
するための一対のスライドガイドと、 前記基台に対して前記y軸方向にスライド自在に支持さ
れ、前記一対のスライドガイドを前記y軸方向に接近及
び離間させるための一対の第2のスライド部材と、 前記基台に固定され、前記一対の第2のスライド部材を
離間させる方向に駆動するための第1の駆動手段と、 前記一対の第2のスライド部材を接近させる方向に駆動
するための第2の駆動手段と、 前記一対の軸部材の先端に回転自在に取り付けられ、前
記ハードディスクの表面を研磨するための研磨テープが
巻き掛けられた一対のローラとを具備することを特徴と
するハードディスクのテキスチャ加工装置。
2. A texturing apparatus for a hard disk for performing a texture processing as a surface polishing processing of a hard disk, comprising: a base; and a first slide supported so as to be able to linearly move in the x-axis direction with respect to the base. A member, fixed to the base, driving means for causing the first slide member to reciprocate linearly in the x-axis direction, and y perpendicular to the x-axis direction with respect to the first slide member. A pair of shaft members locked to be relatively movable in the axial direction; a pair of slide guides for slidably supporting the pair of shaft members in the x-axis direction; and the y-axis with respect to the base. A pair of second slide members that are slidably supported in a direction, and that allow the pair of slide guides to approach and separate in the y-axis direction; and a pair of the second slide members fixed to the base. A first driving unit for driving the pair of second slide members in a direction to approach the pair of second slide members; a first driving unit for driving the pair of second slide members in a direction to approach the pair of shaft members; A hard disk texture processing apparatus, comprising: a pair of rollers rotatably mounted and having a polishing tape wound thereon for polishing the surface of the hard disk.
【請求項3】 前記駆動手段は、モータと、該モータの
回転軸に取り付けられた偏芯軸と、前記第1のスライド
部材に形成され前記偏芯軸と嵌合する長穴とを備えて構
成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に
記載のハードディスクのテキスチャ加工装置。
3. The driving means includes a motor, an eccentric shaft attached to a rotating shaft of the motor, and an elongated hole formed in the first slide member and fitted to the eccentric shaft. The hard disk texture processing apparatus according to claim 1, wherein the hard disk texture processing apparatus is configured.
【請求項4】 前記一対のスライドガイドは、前記一対
の第2のスライド部材に対して、夫々独立に、前記x軸
及びy軸ではられるxy平面内で調整可能に回動支持さ
れていることを特徴とする請求項1に記載のハードディ
スクのテキスチャ加工装置。
4. The pair of slide guides are rotatably supported on the pair of second slide members independently of each other within an xy plane defined by the x-axis and the y-axis. The texture processing apparatus for a hard disk according to claim 1, wherein:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017209784A (en) * 2014-02-17 2017-11-30 株式会社荏原製作所 Polishing device

Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017209784A (en) * 2014-02-17 2017-11-30 株式会社荏原製作所 Polishing device
US10144103B2 (en) 2014-02-17 2018-12-04 Ebara Corporation Polishing apparatus and polishing method
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