JPH11195957A - Surface acoustic wave resonating complex filter - Google Patents

Surface acoustic wave resonating complex filter

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JPH11195957A
JPH11195957A JP29490898A JP29490898A JPH11195957A JP H11195957 A JPH11195957 A JP H11195957A JP 29490898 A JP29490898 A JP 29490898A JP 29490898 A JP29490898 A JP 29490898A JP H11195957 A JPH11195957 A JP H11195957A
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acoustic wave
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豊治 田渕
Kazuhito Kurosawa
和仁 黒沢
Nobuhiko Shibagaki
信彦 柴垣
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain quick rise and fall characteristics with a small loss by permitting the length of surface acoustic wave in a propagating direction to be the specified times the wave length of surface acoustic wave which is propagated by means of the pass-band frequency of a resonator complex filter, providing plural transducers which are partitioned by means of respective propagating paths and electrically connecting the adjacent transducers serially and every other one in parallel. SOLUTION: The length of the surface acoustic wave in the propagating direction is made the (2n-1)/2 times the wave length of the surface acoustic wave which is propagated by the pass band frequency of the filter. The multiple surface acoustic wave transducers which consist of multiple pairs of mutually inserted electrode fingers and which are arranged along a surface acoustic wave propagating direction are connected serially or in serial/parallel combining relation. Since the phases of the surface acoustic wave excited by the serially connected transducers are made to be the mutually inverted phases, the propagating paths having electric length being a half of the wave length of surface acoustic wave are introduced between the transducers so as to reduce the piezoelectric effect of the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波共振器複合
形フィルタに係り、さらに詳しくは、圧電基板上にイン
タディジタルな電極指を配して構成された弾性表面波1
開口共振器を複数個組み合せてなり、変換、逆変換に伴
う損失がなく、大電力での取扱いが可能で、周波数に対
する立上り、立下り特性の急峻なバンドパス用あるいは
バンドリジェクション用の弾性表面波共振器複合形フィ
ルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave resonator composite filter, and more particularly, to a surface acoustic wave 1 having an interdigital electrode finger disposed on a piezoelectric substrate.
Combination of multiple aperture resonators, no loss associated with conversion and inversion, can be handled with high power, elastic surface for band pass or band rejection with sharp rise and fall characteristics with frequency The present invention relates to a wave resonator composite filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のいわゆるトランバーサル形の弾性
表面波フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入
力インタディジタルトランスデューサと弾性表面波を再
び電気信号に逆変換する出力インタディジタルトランス
デューサとを圧電基板上に配置した構成からなるもので
あった。例えば、プロシーディングス・オブ・アイ・イ
ー・イー・イー 第67巻(1979年)第129〜第148頁(Pr
oc.I.E.E.E.Vol 67(1979)pp.129〜146)などにその記載
例がある。
2. Description of the Related Art A conventional so-called transversal surface acoustic wave filter is composed of an input interdigital transducer for converting an electric signal into a surface acoustic wave and an output interdigital transducer for converting an surface acoustic wave back into an electric signal again. It consisted of being arranged on a substrate. For example, Proceedings of IEE, Vol. 67 (1979), pp. 129-148 (Pr.
oc. IEEE Vol 67 (1979) pp. 129-146) and the like.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術のフィルタにおいては、電気信号が、一度、入力
トランスデューサにより全て弾性表面波に変換され、出
力トランスデューサにおいて弾性表面波が、再び、電気
信号に逆変換される。したがって、変換、逆変換の過程
に伴う損失が非常に大きいという欠点があった。
However, in the above-mentioned prior art filter, the electric signal is once converted into a surface acoustic wave by the input transducer, and the surface acoustic wave is again converted into the electric signal by the output transducer. Is converted. Therefore, there is a disadvantage that the loss involved in the process of conversion and inverse conversion is very large.

【0004】また、フィルタに大きな電力を入力した場
合、振幅の大きい弾性表面波が励振されるため、フィル
タのトランスデューサを構成するインタディジタル電極
指(例えば、800MHz帯の自動車電話用の場合、アル
ミ電極指幅は、1.1〜1.2μm、膜厚は0.1μm)におい
て極めて短時間の間にマイグレーションが発生し、マイ
グレーションが進行すると電極指の断線あるいは短絡に
まで至るため、例えば800MHz帯では、フィルタへの
入力電力を約10dBm以下に抑える必要があった。
Further, when a large electric power is input to the filter, a surface acoustic wave having a large amplitude is excited. Therefore, an interdigital electrode finger constituting a transducer of the filter (for example, an aluminum electrode for an 800 MHz band automobile telephone). (The finger width is 1.1 to 1.2 μm and the film thickness is 0.1 μm). Migration occurs in a very short time, and as migration progresses, it leads to disconnection or short circuit of the electrode finger. It was necessary to suppress the input power to about 10 dBm or less.

【0005】本発明の目的は、以上述べた従来技術の有
していた課題を解消して、原理的に変換、逆変換に伴う
損失がなく、さらに、扱い得る電力範囲も大幅に改善さ
れ、かつ、従来形フィルタでは実現できなかった周波数
に対する急峻な立上り・立下り特性を実現することので
きるフィルタを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to eliminate loss accompanying conversion and inverse conversion in principle, and to greatly improve the power range that can be handled. Another object of the present invention is to provide a filter capable of realizing a steep rising / falling characteristic with respect to a frequency that cannot be realized by a conventional filter.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的は、圧電基板
と、圧電基板上に構成され、入力側から出力側へ縦続接
続された複数の一開口弾性表面波共振器とを有する弾性
表面波共振器複合形フィルタにおいて、複数の一開口弾
性表面波共振器のうち少なくとも一つの一開口弾性表面
波共振器が、弾性表面波の伝搬方向の長さが弾性表面波
共振器複合形フィルタの通過帯域周波数で伝搬可能な弾
性表面波の波長の(2n−1)/2倍(nは1以上の整
数)であって、弾性表面波を励起しない複数の伝搬路
と、各伝搬路で仕切られた複数のトランスデューサとを
有し、複数のトランスデューサのうち、隣合う各トラン
スデューサは電気的に直列に接続され、かつ、1つおき
の各トランスデューサは電気的に並列に接続されている
ことによって達成することができる。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave resonator having a piezoelectric substrate and a plurality of single-opening surface acoustic wave resonators formed on the piezoelectric substrate and cascaded from an input side to an output side. In the composite filter, at least one of the plurality of single-opening surface acoustic wave resonators has a length in the surface acoustic wave propagation direction that is equal to the pass band of the surface acoustic wave resonator composite filter. (2n-1) / 2 times (n is an integer of 1 or more) the wavelength of a surface acoustic wave that can propagate at a frequency, and is divided by a plurality of propagation paths that do not excite the surface acoustic wave from each other. This is achieved by having a plurality of transducers, among the plurality of transducers, adjacent transducers are electrically connected in series, and every other transducer is electrically connected in parallel. Door can be.

【0007】[0007]

【作用】上記のように、1開口弾性表面波共振器の複数
個からなる弾性表面波複合フィルタとすること、あるい
は、1開口弾性表面波共振器と容量とを組合わせた弾性
表面波複合フィルタとすることによって、従来のトラン
スバーサル形の弾性表面波フィルタ、すなわち、電気信
号を弾性表面波に変換する入力インタディジタルトラン
スデューサと弾性表面波を再び電気信号に逆変換する出
力インタディジタルトランスデューサとからなる弾性表
面波フィルタとは動作原理が根本的に異るフィルタ、す
なわち、フィルタに入力される電力の一部しか弾性表面
波に変換しないフィルタ、したがって大電力を入力して
も電極のマイグレーションの極めて少ないフィルタを実
現することができる。
As described above, a surface acoustic wave composite filter comprising a plurality of one-opening surface acoustic wave resonators, or a surface acoustic wave composite filter obtained by combining a one-opening surface acoustic wave resonator and a capacitor. By this, a conventional transversal surface acoustic wave filter, that is, an input interdigital transducer for converting an electric signal into a surface acoustic wave and an output interdigital transducer for converting the surface acoustic wave back into an electric signal again is formed. A filter whose operating principle is fundamentally different from a surface acoustic wave filter, that is, a filter that converts only a part of the power input to the filter into a surface acoustic wave, so that even if high power is input, migration of electrodes is extremely small. A filter can be realized.

【0008】また、急峻な立上り・立下り周波数特性
は、急峻な特性を要求される共振器に、共振器内部に弾
性表面波の波長の少くとも2分の1以上の規定長さの伝
搬路を複数個設けた共振器を用いることにより、共振器
の共振周波数と反共振周波数とを接近させることによっ
て実現することができる。
Further, the steep rise / fall frequency characteristics are obtained by providing a resonator having a steep characteristic to a propagation path having a specified length of at least half or more of the wavelength of the surface acoustic wave inside the resonator. Can be realized by making the resonance frequency and the anti-resonance frequency of the resonator close to each other.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の内容について、具体的な実施
例によって説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the contents of the present invention will be described with reference to specific embodiments.

【0010】(実施例1)図1は本発明のフィルタの一
実施例の構成図で、弾性表面波の伝搬の可能な圧電基板
の上に、電極4-1,4-2,4-3,4-4,4-5,4-6等からなる
1開口弾性表面共振器4個と、電極パターン5-1、5-2か
らなるギャップ容量1個とを設けて共振器複合形フィル
タを形成したものであることを示す。ここで、各共振器
は、多数対の互に挿間した電極指からなるインタディジ
タルトランスデューサで構成され、これらのトランスデ
ューサは、両側に反射器が存在しなくても、トランスデ
ューサの電極指自身による内部反射で振動エネルギがト
ランスデューサ内に閉じ込められ、1開口共振器とな
る。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a filter according to the present invention, in which electrodes 4-1 4-2, and 4-3 are placed on a piezoelectric substrate capable of transmitting surface acoustic waves. , 4-4, 4-5, 4-6, etc., and a single-opening surface acoustic resonator, and a gap capacitor consisting of electrode patterns 5-1 and 5-2 are provided to form a resonator composite filter. It shows that it was formed. Here, each resonator is composed of an interdigital transducer consisting of a large number of pairs of mutually interleaved electrode fingers, and these transducers are internally formed by the electrode fingers of the transducer itself even if there are no reflectors on both sides. Vibration energy is confined in the transducer by reflection, forming a one-opening resonator.

【0011】また、1開口弾性表面波共振器(図3
(a))の電気的等価回路は同図(b)で与えられ、こ
の表現を用いれば、図1のフィルタは図4の等価回路、
すなわち、入力側からみて縦続接続された、等価インダ
クタンス11-1、等価容量12-1、静電容量13-1からなるシ
リーズアーム共振器および等価インダクタンス11-2、等
価容量12-2、静電容量13-2からなるシャントアーム共振
器が、同様に出力側からみて縦続接続された、等価イン
ダクタンス11-4、等価容量12-4、静電容量13-4からなる
シリーズアーム共振器および等価インダクタンス11-3、
等価容量12-3、静電容量13-3からなるシャントアーム共
振器とギャップ容量14を介して接続された構成の等価回
路、で与えられるが、図1に示した本発明のフィルタに
おいては、入力側のシリーズアーム共振器およびシャン
トアーム共振器は、ともに、共振器内部に、弾性表面波
の伝搬方向の長さがフィルタの通過帯域周波数で伝搬可
能な弾性表面波の波長以上の長さである伝搬路を複数個
含む構成としてある。(なお、図4において、インダク
タンス3-1,3-2,3-3,3-4は外部整合回路を示す)。
A one-opening surface acoustic wave resonator (FIG. 3)
The electrical equivalent circuit of (a)) is given in FIG. 2B, and using this expression, the filter of FIG.
That is, a series arm resonator composed of an equivalent inductance 11-1, an equivalent capacitance 12-1, and a capacitance 13-1, and an equivalent inductance 11-2, an equivalent capacitance 12-2, an A shunt arm resonator consisting of a capacitor 13-2 is also cascaded when viewed from the output side, and a series arm resonator consisting of an equivalent inductance 11-4, an equivalent capacitance 12-4, and a capacitance 13-4, and an equivalent inductance. 11-3,
This is given by an equivalent circuit having a configuration in which the shunt arm resonator including the equivalent capacitance 12-3 and the capacitance 13-3 is connected to the shunt arm resonator via the gap capacitance 14. In the filter of the present invention shown in FIG. Both the series arm resonator and the shunt arm resonator on the input side have a length within the resonator in the propagation direction of the surface acoustic wave that is equal to or greater than the wavelength of the surface acoustic wave that can propagate at the passband frequency of the filter. The configuration includes a plurality of propagation paths. (In FIG. 4, the inductances 3-1, 3-2, 3-3, and 3-4 indicate external matching circuits.)

【0012】図5に従来形の共振器複合形フィルタの構
成を示す。本構成においては、入力側のシリーズアーム
共振器およびシャントアーム共振器は、共に出力側の共
振器と同じく、単純な多数対電極指から成るインタディ
ジタルトランスデューサで構成されている。すなわち、
図1と図5とを比較すると、出力側の共振器は同一であ
るが、入力側のシリーズアーム共振器およびシャントア
ーム共振器の電極構成が異なる。また、等価回路的に
は、図5の構成のフィルタも、図1の構成の場合と同じ
く、図4に示す等価回路で表わされるが、図1構成と図
5構成とでは、入力側のシリーズアーム共振器およびシ
ャントアーム共振器の各成分(インダクタンスおよびキ
ャパシタンス)の値が異なることになる。
FIG. 5 shows the configuration of a conventional resonator composite filter. In this configuration, the input-side series arm resonator and the shunt arm resonator, like the output-side resonator, are both constituted by interdigital transducers composed of simple multiple counter electrode fingers. That is,
1 and 5, the output side resonator is the same, but the electrode configuration of the input side series arm resonator and the shunt arm resonator is different. In terms of an equivalent circuit, the filter having the configuration shown in FIG. 5 is also represented by the equivalent circuit shown in FIG. 4 as in the case of the configuration shown in FIG. 1. However, in FIG. 1 and FIG. The values of the components (inductance and capacitance) of the arm resonator and the shunt arm resonator are different.

【0013】ここで、図1構成のフィルタと図5構成の
フィルタとについて、それらの周波数特性を計算機でシ
ミュレートした結果を図6に示す。ここでは、一例とし
て、欧州の一部で用いられている自動車電話の周波数配
置(800MHz帯)を想定した場合を示した。(a)は
図1の本発明構成によるフィルタの周波数特性、(b)
は図5の従来形の構成によるフィルタの周波数特性で、
この結果から、本発明構成のフィルタとすることによっ
て、極めて急峻な立上り・立下り周波数特性を持ち、か
つ、損失の少ないフィルタを実現できることがわかる。
従来形の構成のフィルタでは、仕様を満足し得る急峻な
立上り・立下り周波数特性は得られず、損失も、要求さ
れる通過帯域の中心部分では小さいが、その両側では仕
様を割る結果しか得られていない。
FIG. 6 shows the results of simulating the frequency characteristics of the filter having the structure of FIG. 1 and the filter having the structure of FIG. 5 by a computer. Here, as an example, a case is assumed in which a frequency arrangement (800 MHz band) of a mobile phone used in a part of Europe is assumed. (A) is the frequency characteristic of the filter according to the configuration of the present invention in FIG. 1, (b)
Is the frequency characteristic of the conventional filter of FIG.
From these results, it can be seen that the filter having the configuration of the present invention can realize a filter having extremely steep rising and falling frequency characteristics and low loss.
With the conventional filter configuration, steep rise / fall frequency characteristics that can satisfy the specifications cannot be obtained, and the loss is small at the center of the required passband, but only results of breaking the specifications on both sides are obtained. Not been.

【0014】図6 (a),(b) を比較すると、 (a) の
低域側の極f1,f2、高域側の極f3,f4に対応して
(b)においても低域側にf1′,f2′、高域側に
3′,f4′が存在するが、大きな相違点は、f2
2′,f3<f3′となっている点である。一般に、急
峻な立上り・立下り周波数特性の実現は、通過帯域に最
も近い幅((a)におけるf2,f3、(b)における
2′,f3′)を、通過帯域特性に影響を与えることな
く、どれだけ通過帯域に接近させ得るかによって決定さ
れる。(a)と比較して、(b)においては、f2
2′であるにもかかわらず、f2′の影響により、通過
帯域の低域側の損失が増加しており、また、高域側で
も、f3>、f3′にかかわらず、同様に、f2′の影響
によって損失が増加している。
[0014] FIG. 6 (a), when comparing the (b), also in the pole f 1, f 2 of the low-frequency side of (a), corresponding to the poles f 3, f 4 of the high-frequency side (b) There are f 1 ′ and f 2 ′ on the low frequency side and f 3 ′ and f 4 ′ on the high frequency side, but the major difference is that f 2 >
f 2 ′, f 3 <f 3 ′. Generally, realization of steep rise / fall frequency characteristics affects the widths (f 2 , f 3 in (a), f 2 ′, f 3 ′ in (b)) closest to the pass band to the pass band characteristics. Is determined by how close it can be to the passband without giving Compared to (a), in (b), f 2 >
'despite being, f 2' f 2 due to the influence of the loss of low-frequency side of the pass band is increasing, also in the high frequency side, f 3>, regardless of the f 3 ', similar Furthermore, the loss increases due to the influence of f 2 ′.

【0015】次に、図6 (a),(b) の特性の相違を、
図1および図5のフィルタ構成の相違と対比して説明す
る。図6(a)の低域側の通過帯域に近い値f3は図1
の入力側シャントアーム共振器(図4等価回路の11-2,
12-2,13-2に対応する)により形成される。すなわち、
シャントアーム共振器の共振周波数がf2と一致する。
また、(a)の高域側の通過帯域に近い極f3は図1の
シリーズアーム共振器(図4の11-1,12-1,13-1に対
応)により形成される。すなわち、シリーズアームの反
共振周波数がf3と一致する。同様に、低域側および高
域側の他の極f2およびf4は、それぞれ、図1の出力側
のシャントアーム共振器およびシリーズアーム共振器の
共振周波数および反共振周波数と一致する。全く同様の
関係が図6(b)と図5フィルタ構成との間でも成立
ち、通過帯域に近い極f2′,f3′は、それぞれ、図5
の入力側シャントアーム共振器およびシリーズアーム共
振器の共振周波数および反共振周波数に一致し、また、
他の極f1′およびf4′は出力側のシャントアーム共振
器の共振周波数および反共振周波数と一致する。
Next, the difference between the characteristics shown in FIGS.
This will be described in comparison with the difference between the filter configurations shown in FIGS. The value f 3 close to the lower pass band in FIG.
Input-side shunt arm resonator (see 11-2,
12-2 and 13-2). That is,
Resonant frequency of the shunt arm resonator coincides with f 2.
Further, formed by pole f closer to the pass band of the high band side (a) 3 is a series arm resonator 1 (corresponding to 11-1,12-1,13-1 in Figure 4). In other words, the anti-resonance frequency of the series arm matches the f 3. Similarly, the other poles f 2 and f 4 on the low frequency side and the high frequency side match the resonance frequency and the anti-resonance frequency of the shunt arm resonator and the series arm resonator on the output side in FIG. 1, respectively. Exactly the same relationship holds between FIG. 6B and the filter configuration of FIG. 5, and poles f 2 ′ and f 3 ′ close to the pass band are respectively shown in FIG.
Match the resonance frequency and anti-resonance frequency of the input side shunt arm resonator and series arm resonator, and
The other poles f 1 ′ and f 4 ′ coincide with the resonance frequency and anti-resonance frequency of the shunt arm resonator on the output side.

【0016】以上の説明からわかるように、図1構成の
フィルタと図5構成のフィルタとの相違は、入力側のシ
リーズアーム共振器およびシャントアーム共振器の構成
の相違にある。すなわち図1本発明構成のフィルタの特
徴は、1開口弾性表面波共振器内部に、フィルタの通過
帯域周波数で伝搬可能な弾性表面波の波長以上の長さの
電気長を持つ伝搬路を複数個含むことであり、このよう
な構成の1開口弾性表面波共振器を用いることによっ
て、図6(a)の対応する極f2,f3をフィルタ通過帯
域に接近して形成しても、フィルタの通過帯域特性に与
える影響を十分小さくすることができ、極めて急峻な立
上り・立下り周波数特性を有するフィルタを得ることが
できる。一方、図5構成のように、入力側に通常の構造
の1開口弾性表面波共振器を用いた場合には、図6
(b)のように、対応する極f2′,f3′をフィルタ通
過帯域から十分離しても、フィルタの通過帯域特性に影
響が生じ、急峻な立上り・立下り周波数特性が実現でき
ない。
As can be seen from the above description, the difference between the filter having the configuration shown in FIG. 1 and the filter having the configuration shown in FIG. 5 lies in the configuration of the series arm resonator and the shunt arm resonator on the input side. That is, FIG. 1 is a characteristic of the filter according to the present invention. By using the one-opening surface acoustic wave resonator having such a configuration, even if the corresponding poles f 2 and f 3 of FIG. Can be sufficiently reduced, and a filter having extremely steep rising and falling frequency characteristics can be obtained. On the other hand, when a single-opening surface acoustic wave resonator having a normal structure is used on the input side as shown in FIG.
As shown in (b), even if the corresponding poles f 2 ′ and f 3 ′ are sufficiently separated from the filter pass band, the pass band characteristics of the filter are affected, and steep rise / fall frequency characteristics cannot be realized.

【0017】次に、図1構成と図5構成との相違点であ
る各共振器の構成について説明する。図3(a)は単純
な多数対電極指からなるインタディジタルトランスデュ
ーサで構成された通常の1開口弾性表面波共振器の概略
構造を示す図であり、この共振器の等価回路は同図
(b)に示すように、電極指間の静電容量13と弾性振動
によって生ずる直列インダクタンス11およびキャパシタ
ンス12との並列接続であらわされる。また、この回路の
インピーダンス(Z)の周波数特性は、同図(c)に示
すように、共振周波数(fr)でZ=0、反共振周波数
(fa)でZ=∞となる。
Next, the configuration of each resonator, which is the difference between the configuration of FIG. 1 and the configuration of FIG. 5, will be described. FIG. 3A is a diagram showing a schematic structure of a normal one-opening surface acoustic wave resonator composed of an interdigital transducer composed of simple multiple counter electrode fingers, and an equivalent circuit of this resonator is shown in FIG. As shown in FIG. 2), this is represented by a parallel connection of a capacitance 13 between electrode fingers and a series inductance 11 and a capacitance 12 generated by elastic vibration. The frequency characteristic of the impedance (Z) of this circuit is Z = 0 at the resonance frequency (fr) and Z = ∞ at the anti-resonance frequency (fa), as shown in FIG.

【0018】ここで、共振器構成とフィルタの通過特性
との関係を説明するために、図3(a)の共振器を、図
7(a)に示すように、電源と負荷の間のシャントアー
ムに導入した回路を考えると、このような回路の通過特
性は、共振器の共振周波数(fr)ではZ=0となるた
め極となり、反共振周波数(fa)ではZ=∞となるた
め通過特性に影響は生じない。図10(a)はこの通過
特性を示したもので、同図からわかるように、frとfa
との間隔がフィルタの通過特性の立上りを決定すること
になる。例えば、同図(b),(c)に示すように、f
rとfaとを接近させることによって立上り特性を急峻に
していくことができる。
Here, in order to explain the relationship between the resonator configuration and the pass characteristic of the filter, the resonator shown in FIG. 3A is replaced with a shunt between a power supply and a load as shown in FIG. Considering the circuit introduced into the arm, the pass characteristic of such a circuit is a pole because Z = 0 at the resonance frequency (fr) of the resonator, and Z = で は at the antiresonance frequency (fa), so There is no effect on the characteristics. FIG. 10A shows this pass characteristic. As can be seen from FIG.
Will determine the rise of the pass characteristic of the filter. For example, as shown in FIGS.
By making r and fa close to each other, the rising characteristic can be made steeper.

【0019】また、図3(a)構造の1開口弾性表面波
共振器においては、fr,faは使用する圧電基板の圧電
効果によって決定される。例えば、LiNbO3,LiTa
3基板のように圧電効果の大きい基板ではfr〜faの
間隔が大きく、したがって、通過特性の立上りは穏やか
で図10(a)のような特性となり、また、水晶基板の
ように圧電効果の小さい基板ではfr〜fa間隔は極めて
接近し、したがって、通過特性の立上りは急峻となり、
図10(b)あるいは(c)に示すような特性が得られ
る。
In the single-aperture surface acoustic wave resonator having the structure shown in FIG. 3A, fr and fa are determined by the piezoelectric effect of the piezoelectric substrate used. For example, LiNbO 3 , LiTa
In the case of a substrate having a large piezoelectric effect such as an O 3 substrate, the interval between fr and fa is large. Therefore, the rise of the pass characteristic is gentle and the characteristic is as shown in FIG. In a small substrate, the fr-fa interval is extremely close, and therefore, the rise of the pass characteristic becomes steep,
The characteristic as shown in FIG. 10B or 10C is obtained.

【0020】以上のことから、図6(a)に示すような
特性のフィルタを実現するためには、急峻な立上り特性
に対応する極f2は図10(c)に示す特性を有する共
振器で形成し、広帯域な周波数特性に対応する極f1
図10(a)に示す特性を有する共振器で形成すればよ
いことになる。例えば、LiNbO3、水晶などの圧電効
果の異なる基板上にそれぞれ形成した複数個の1個口弾
性表面波共振器をワイヤボンディングなどで組み合わせ
ることによって上記構成を得ることも、原理的には、可
能である。しかしながら、異なる基板上に形成した複数
個の共振器を組み合わせることは、製造プロセス、組立
て、パッケージング等を考慮すると、非現実的なもので
ある。
From the above, in order to realize a filter having the characteristics shown in FIG. 6A, the pole f 2 corresponding to the steep rising characteristic has a resonator having the characteristics shown in FIG. in the formed, pole f 1 corresponding to the wide-band frequency characteristic will be may be formed by a resonator having the characteristics shown in Figure 10 (a). For example, it is possible in principle to obtain the above configuration by combining a plurality of single-port surface acoustic wave resonators formed on substrates having different piezoelectric effects, such as LiNbO 3 and quartz, by wire bonding or the like. is there. However, combining a plurality of resonators formed on different substrates is impractical considering the manufacturing process, assembly, packaging, and the like.

【0021】本発明は、これらの問題点を克服して、単
一の圧電基板を用いて、共振器の電極構成によって、等
価的に図10(a),(b),(c)に相当する通過特性を有
する共振器を実現したもので、図6(a)に示すような
急峻な立上り・立下り特性を有するフィルタを、同一基
板上に形成した複数個の1開口弾性表面波共振器を電極
パターン等で結合することによって、実現することがで
きる。
The present invention overcomes these problems, and equivalently corresponds to FIGS. 10 (a), 10 (b) and 10 (c) by using a single piezoelectric substrate and by using a resonator electrode configuration. And a filter having a steep rising / falling characteristic as shown in FIG. 6A and a plurality of one-opening surface acoustic wave resonators formed on the same substrate. Can be realized by combining the above with an electrode pattern or the like.

【0022】図8は入力側のシリーズアーム共振器およ
びシャントアーム共振器の例を示したもので、(a)は
単純な多数対電極指のみからなるインタディジタルトラ
ンスデューサで構成された通常の1開口弾性表面波共振
器の例、(b)は内部に弾性表面波の波長以上の長さの
電気長を持つ伝搬路を複数個含む1開口弾性表面波共振
器で電極指4対ごとに1個の伝搬路を含むものの例、
(c)は、(b)と同様に複数個の伝搬路を含むが、伝
搬路の数が電極指2対ごとに1個となっている1開口弾
性表面波共振器の例である。これら各共振器のインピー
ダンスの周波数特性は図9に示す通りで、同図の
(a),(b),(c) は、それぞれ、図8の (a),(b),
(c) に対応するものである。図9の結果から、共振周
波数(fr)と反共振周波数(fa)との間隔は (a),
(b),(c) の順序に狭くなっており、これらの共振器
をフィルタの要素として用いた場合、 (a),(b),
(c) の順序でより急峻な立上り・立下り特性をもつフ
ィルタが得られることが予想できる。具体的には、これ
らの共振器を図7(a)の共振器部分に用いた場合の通
過特性例は図10に示すとおりで、同図の (a),
(b),(c) は、それぞれ、図9の (a),(b),(c)
に対応する。この結果から、 (a),(b),(c) の順序
で立上り特性が急峻になっていることが知られる。
FIGS. 8A and 8B show an example of a series arm resonator and a shunt arm resonator on the input side. FIG. 8A shows a normal one-port aperture constituted by an interdigital transducer consisting only of simple multiple counter electrode fingers. An example of a surface acoustic wave resonator, (b) is a one-opening surface acoustic wave resonator including a plurality of propagation paths having an electric length longer than the wavelength of the surface acoustic wave therein, one for every four pairs of electrode fingers. Examples of those that include the propagation path of
(C) is an example of a single aperture surface acoustic wave resonator including a plurality of propagation paths as in (b), but having one propagation path for every two pairs of electrode fingers. The frequency characteristic of the impedance of each of these resonators is as shown in FIG.
(a), (b) and (c) correspond to (a), (b) and (b) in FIG. 8, respectively.
This corresponds to (c). From the results of FIG. 9, the interval between the resonance frequency (fr) and the anti-resonance frequency (fa) is (a),
(b), (c) are narrowed in the order, and when these resonators are used as filter elements, (a), (b),
It can be expected that a filter having steeper rising / falling characteristics can be obtained in the order of (c). Specifically, an example of the pass characteristic when these resonators are used in the resonator portion of FIG. 7A is as shown in FIG.
(b) and (c) correspond to (a), (b) and (c) in FIG. 9, respectively.
Corresponding to From this result, it is known that the rising characteristics are steep in the order of (a), (b), and (c).

【0023】以上説明したように、共振器内部に弾性表
面波の波長以上の長さの電気長を持つ伝搬路を複数個導
入することによって、通常の1開口弾性表面波共振器に
比べて、共振器のfrとfaとを接近させることができ、
これらの共振器を用いた場合、通過特性として、急峻な
立上り特性が得られるが、上記伝搬路を複数個含む共振
器においてfr〜faの間隔が狭くなる理由は下記の如く
である。すなわち、一般に、弾性表面波の励振は、圧電
基板上に形成した互に挿間する電極指間に正負の高周波
電圧を印加した場合に、圧電効果により基板表面に歪み
が発生し、この歪みが基板表面を弾性表面波として伝搬
することによるが、図3(a)構成の共振器では、fr
〜faの間隔は、前述したように、圧電基板の圧電効果
により決定され、例えば、LiNbO3、LiTaO3等の圧
電効果の大きい基板ではfr〜fa間隔は広く、水晶等の
圧電効果の小さい基板ではfr〜fa間隔は狭い。したが
って、LiNbO3、LiTaO3等の圧電効果の大きい基板
でfr〜fa間隔を狭くするためには、共振器の電極構成
で等価的に圧電効果を小さくする必要があるわけで、図
8 (b),(c) は共振器内部に弾性表面波の波長以上の
伝搬路を複数個導入することによって、圧電効果を等価
的に小さくしたものである。
As described above, by introducing a plurality of propagation paths having an electric length longer than the wavelength of the surface acoustic wave into the resonator, compared with a normal one-opening surface acoustic wave resonator, The fr and fa of the resonator can be made closer,
When these resonators are used, a steep rising characteristic can be obtained as a pass characteristic. However, the reason why the interval between fr and fa is reduced in a resonator including a plurality of the above-described propagation paths is as follows. That is, in general, the surface acoustic wave is excited by applying a positive / negative high-frequency voltage between mutually interposed electrode fingers formed on the piezoelectric substrate. Although it is due to propagation on the surface of the substrate as a surface acoustic wave, in the resonator having the configuration shown in FIG.
Spacing ~fa, as described above, it is determined by the piezoelectric effect of the piezoelectric substrate, for example, widely fr~fa interval is large substrates of piezoelectric effect such as LiNbO 3, LiTaO 3, a small substrate of the piezoelectric effect of quartz or the like Then, the fr-fa interval is narrow. Therefore, in order to narrow the fr~fa intervals large substrates of a piezoelectric effect such as LiNbO 3, LiTaO 3 is not it is necessary to reduce the equivalently piezoelectric effect in the electrode structure of the resonator, FIG. 8 (b (C) and (c) show that the piezoelectric effect is equivalently reduced by introducing a plurality of propagation paths having a wavelength equal to or longer than the wavelength of the surface acoustic wave into the resonator.

【0024】さらに、共振器内に伝搬路を導入すること
によって等価的に圧電効果が小さくなる理由は次のよう
に説明することができる。共振器内で互に挿間した電極
指は弾性表面を励起する励振電極指として働くが、伝搬
路の部分は弾性表面波を励起しない。伝搬路の数が多い
ほど共振器内での励振電極指の密度が小さくなり、励振
電極指の密度の低下は基板の圧電効果の減少と等価であ
る。従って、共振路内に伝搬路を導入することによって
基板の圧電効果を小さくし得、また、伝搬路の数を適宜
選ぶことによって基板本来の圧電効果よりも小さい任意
の値を等価的に得ることができる。以上のことから、単
一の圧電基板を用いて、共振器の構成を変えることによ
って、fr〜fa間隔の広い共振器も、狭い共振器も実現
可能となる。
The reason why the piezoelectric effect is equivalently reduced by introducing a propagation path into the resonator can be explained as follows. The electrode fingers inserted in the resonator serve as excitation electrode fingers for exciting the surface acoustic wave, but the portion of the propagation path does not excite the surface acoustic wave. The greater the number of propagation paths, the lower the density of the excitation electrode fingers in the resonator, and a decrease in the density of the excitation electrode fingers is equivalent to a reduction in the piezoelectric effect of the substrate. Therefore, the piezoelectric effect of the substrate can be reduced by introducing a propagation path into the resonance path, and an arbitrary value smaller than the original piezoelectric effect of the substrate can be equivalently obtained by appropriately selecting the number of propagation paths. Can be. From the above, by changing the configuration of the resonator using a single piezoelectric substrate, it is possible to realize a resonator having a wide fr-fa interval and a narrow resonator.

【0025】次に、図7(b)に示すような、共振器を
電源〜負荷間のシリーズアームに導入した回路について
考える。このような回路の通過特性は、共振器の共振周
波数(fr)の近傍ではZ=0となるため通過特性に影
響を生ぜず、反共振周波数(fa)ではZ=∞となるた
め極となる。図11はその通過特性で、同図 (a),
(b),(c) は、それぞれ、図 (a),(b),(c) の共
振器を用いた場合の通過特性を示すものである。この結
果から、この場合もまた、図10の場合と全く同様に、
内部に複数個の伝搬路を有する共振器を用いることによ
って急峻な立下り特性の得られることがわかる。
Next, consider a circuit as shown in FIG. 7B in which a resonator is introduced into a series arm between a power supply and a load. The pass characteristic of such a circuit has no effect on the pass characteristic because Z = 0 near the resonance frequency (fr) of the resonator, and has a pole at the antiresonance frequency (fa) because Z = ∞. . FIG. 11 shows the transmission characteristics.
(b) and (c) show the pass characteristics when the resonators of FIGS. (a), (b) and (c) are used, respectively. From this result, also in this case, exactly as in the case of FIG.
It can be seen that a sharp fall characteristic can be obtained by using a resonator having a plurality of propagation paths inside.

【0026】以上述べてきたように、図1構成の弾性表
面波共振器複合形フィルタと図5構成の弾性表面波複合
形フィルタとの間に特性上明確な相違のあることが知ら
れる。すなわち、図1構成の場合は、内部に複数個の弾
性表面波伝搬路を有する共振器を用いることによって、
その周波数特性は図6(a)に示す如くなり、自動車電
話用など極めて急峻な立上り・立下り特性が要求される
フィルタとして有望なものである。これに対し、図5構
成の場合は、その周波数特性は図6(b)に示す如くな
り、急峻な周波数特性のフィルタとしての使用は望むべ
くもない。
As described above, it is known that there is a clear difference in characteristics between the surface acoustic wave resonator composite filter having the configuration shown in FIG. 1 and the surface acoustic wave composite filter having the configuration shown in FIG. That is, in the case of the configuration of FIG. 1, by using a resonator having a plurality of surface acoustic wave propagation paths inside,
The frequency characteristic is as shown in FIG. 6 (a), and is promising as a filter that requires extremely steep rising and falling characteristics, such as for a car phone. On the other hand, in the case of the configuration of FIG. 5, the frequency characteristic is as shown in FIG. 6B, and it cannot be expected that the filter is used as a filter having a steep frequency characteristic.

【0027】(実施例2)本実施例は、本発明フィルタ
の1開口弾性表面波共振器の別の構成例に関する。
(Embodiment 2) This embodiment relates to another configuration example of the one-opening surface acoustic wave resonator of the filter of the present invention.

【0028】図2は、多数対の互に挿間した電極指から
なるインタディジタルトランスデューサで、弾性表面波
の伝搬方向に沿って配置された多数個の弾性表面波トラ
ンスデューサを、部分的に、電気的に直列に、あるい
は、直列と並列の組合せの関係に接続したものを示した
ものである。
FIG. 2 shows an interdigital transducer composed of a large number of pairs of electrode fingers interposed between a plurality of surface acoustic wave transducers arranged along the surface acoustic wave propagation direction. FIG. 1 shows a circuit connected in series or in a series / parallel combination.

【0029】例えば、同図(a)のトランスデューサの
例によって説明すれば、この場合にも、励振電極指の数
が十分多い場合には、図3(a)の場合と同様に、1開
口共振器を形成する。また、この共振器の特徴は、同一
電極指数の図3(a)の従来構成の共振器に比べた場
合、インピーダンスが約4倍になることである。したが
って、高インピーダンスフィルタとして有望な共振器構
成となる。また、この共振器の他の特徴は、弾性表面波
の伝搬方向に配置され電気的に直列接続されたトランス
デューサから励振させる弾性表面波が位相が互に逆相に
なることである。したがって、各トランスデューサから
励振される弾性表面波が表面波の伝搬方向に同相で加算
されるためには、直列に接続されるトランスデューサの
間に弾性表面波の波長の2分の1の長さの電気長を有す
る伝搬路を導入する必要がある。
For example, in the case of the transducer shown in FIG. 3A, if the number of the excitation electrode fingers is sufficiently large, the single-aperture resonance will be performed as in the case of FIG. Form a bowl. The characteristic of this resonator is that the impedance is about four times as large as that of the conventional resonator having the same electrode index as shown in FIG. Therefore, a resonator configuration promising as a high impedance filter is obtained. Another feature of the resonator is that the surface acoustic waves excited by the transducers arranged in the propagation direction of the surface acoustic wave and electrically connected in series have opposite phases to each other. Therefore, in order for the surface acoustic waves excited from each transducer to be added in phase in the propagation direction of the surface acoustic waves, a length of half the wavelength of the surface acoustic waves is required between the transducers connected in series. It is necessary to introduce a propagation path having an electrical length.

【0030】図2(a)を、具体的には、直列接続トラ
ンスデューサの間に弾性表面波の波長の2分の1の伝搬
路を導入した場合の例として考えれば、この共振器で
は、共振周波数(fr)と反共振周波数(fa)とを接近
させるために、前記図8(b)、(c)に示したような
弾性表面波波長以上の長さの伝搬路複数個を特に導入す
る必要はない。なぜならば、直列接続されたトランスデ
ューサの間に導入した弾性表面波波長の2分の1の伝搬
路が、同様の働きをすることによる。frとfaとを接近
させるためには、直列接続する単位トランスデューサの
対数を少なくし、共振器内のトランスデューサの数、す
なわち伝搬路の数を増加すればよい。したがって、図8
(b),(c) と同様に、基板の圧電効果を低減すること
と同等の効果が得られる。
Considering FIG. 2A as a specific example in which a propagation path of a half of the wavelength of the surface acoustic wave is introduced between the series-connected transducers, this resonator has In order to make the frequency (fr) close to the anti-resonance frequency (fa), a plurality of propagation paths having a length equal to or longer than the surface acoustic wave wavelength as shown in FIGS. 8B and 8C are particularly introduced. No need. This is because the propagation path of half the surface acoustic wave wavelength introduced between the serially connected transducers performs the same function. In order to make fr and fa close to each other, the number of unit transducers connected in series may be reduced, and the number of transducers in the resonator, that is, the number of propagation paths may be increased. Therefore, FIG.
As in (b) and (c), an effect equivalent to reducing the piezoelectric effect of the substrate can be obtained.

【0031】図2(b),(c)は、同図(a)と基本構造
は同一であるが、直列接続するトランスデューサ間に導
入する伝搬路として、(b)は弾性表面波波長の2分の
3、(c)は同じく2分の5の長さの伝搬路を導入した
構造を示したものである。導入伝搬路の長さを長くする
ことによって伝搬路の数を増したことと同等の効果が得
られ、(a)の場合と同様に、基板の圧電効果を低減
し、fr〜fa間隔を狭めることが可能になる。
2 (b) and 2 (c) have the same basic structure as FIG. 2 (a), but FIG. 2 (b) shows a propagation path introduced between the serially connected transducers, and FIG. 3 / (c) shows a structure in which a propagation path having a length of 5/2 is also introduced. By increasing the length of the introduction propagation path, the same effect as increasing the number of propagation paths can be obtained. As in the case of (a), the piezoelectric effect of the substrate is reduced, and the interval between fr and fa is reduced. It becomes possible.

【0032】なお、以上の説明において共振器として図
2および図8に示した1開口共振器を用いた例について
述べてきたが、共振器の両側に金属ストライプ列、グル
ーヴ等の掘込み列、あるいは、イオン打ち込み等で形成
した弾性表面波の反射器を導入した共振器においても同
様の効果が得られることは自明である。また、基板は、
圧電基板のみでなく、Si等の非圧電基板上に圧電性薄
膜などを形成したものを用いてもよく、逆に、圧電基板
上に非圧電性薄膜を形成したものを用いた場合にも同様
の効果が得られたことは言うまでもない。
In the above description, the example in which the single-aperture resonator shown in FIGS. 2 and 8 is used as the resonator has been described. Alternatively, it is obvious that a similar effect can be obtained in a resonator in which a surface acoustic wave reflector formed by ion implantation or the like is introduced. Also, the substrate is
Not only a piezoelectric substrate, but also a piezoelectric thin film formed on a non-piezoelectric substrate such as Si may be used. Conversely, the same applies when a non-piezoelectric thin film is formed on a piezoelectric substrate. Needless to say, the effect was obtained.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明は、従来
構成の共振器を用いた場合にはフィルタの立上り・立下
り周波数特性が基板の圧電効果によって一義的に決定さ
れるのに対して、基板の特性に左右されることのない、
急峻な立上り・立下り周波数特性を有するフィルタを実
現することができた。
As described above, according to the present invention, when the resonator having the conventional configuration is used, the rising and falling frequency characteristics of the filter are uniquely determined by the piezoelectric effect of the substrate. Without being affected by the characteristics of the substrate.
A filter having steep rising / falling frequency characteristics was realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の弾性表面波共振器複合形フィルタ(以
下、本発明フィルタと略称する)の一実施例の概略構成
図。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of one embodiment of a surface acoustic wave resonator composite filter of the present invention (hereinafter abbreviated as “filter of the present invention”).

【図2】本発明のフィルタの他の実施例に用いた1開口
弾性表面波共振器の概略構成図。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a one-opening surface acoustic wave resonator used in another embodiment of the filter of the present invention.

【図3】通常の1開口弾性表面波共振器の(a)概略構
成、(b)等価回路、(c)インピーダンスの周波数特
性を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing (a) a schematic configuration, (b) an equivalent circuit, and (c) a frequency characteristic of impedance of a normal one-opening surface acoustic wave resonator.

【図4】図1本発明フィルタの等価回路。FIG. 4 is an equivalent circuit of the filter of the present invention.

【図5】従来形フィルタの一構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional filter.

【図6】(a)は図1本発明フィルタの通過特性、
(b)は図5従来形フィルタの通過特性。
6 (a) is a diagram showing the pass characteristic of the filter of the present invention in FIG.
(B) shows the pass characteristics of the conventional filter of FIG.

【図7】1開口弾性表面波共振器(a)シャントアーム
に含む回路および(b)シリーズアームに含む回路を示
す図。
FIG. 7 is a diagram showing a circuit included in a (a) shunt arm and (b) a circuit included in a series arm of a one-port surface acoustic wave resonator.

【図8】1開口弾性表面波共振器の構成を示す図で、
(a)は従来形の共振器、 (b),(c) は本発明フィル
タに用いた共振器。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a one-opening surface acoustic wave resonator;
(A) is a conventional resonator, and (b) and (c) are resonators used in the filter of the present invention.

【図9】(a)、(b)、(c)は、それぞれ、図8の
共振器 (a),(b)、(c) のインピーダンスの周波数特
性。
9 (a), (b) and (c) are frequency characteristics of the impedance of the resonators (a), (b) and (c) in FIG. 8, respectively.

【図10】図7(a)回路の通過特性。FIG. 10A shows the pass characteristics of the circuit.

【図11】図7(b)回路の通過特性。FIG. 11B shows the pass characteristics of the circuit of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′,2,2′ …入出力電気端子、 3-1,3-2,3-3,
3-4…入出力整合用インダクタンス、4-1,4-2,4-3,4-
4,4-5,4-6,9,10…共振器電極、5-1,5-2…電極パタ
ーン、6-1,6-2,6-3,6-4,6-5,6-6…吸音材、7…圧
電基板、8,8′…共振器の電気端子、11,11-1,11-2,
11-3,11-4…共振器の等価インダクタンス、12,12-1,
12-2,12-3,12-4…共振器の等価容量、13,13-1,13-
2,13-3,13-4…共振器の静電容量。
1, 1 ', 2, 2' ... input / output electrical terminals, 3-1, 3-2, 3-3,
3-4… I / O matching inductance, 4-1, 4-2, 4-3, 4-
4, 4-5, 4-6, 9, 10 ... resonator electrodes, 5-1, 5-2 ... electrode patterns, 6-1, 6-2, 6-3, 6-4, 6-5, 6 -6: sound absorbing material, 7: piezoelectric substrate, 8, 8 ': electric terminals of resonator, 11, 11-1, 11-2,
11-3, 11-4… Equivalent inductance of resonator, 12, 12-1,
12-2, 12-3, 12-4 ... equivalent capacitance of the resonator, 13, 13-1, 13-
2, 13-3, 13-4: The capacitance of the resonator.

フロントページの続き (72)発明者 柴垣 信彦 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株 式会社日立製作所中央研究所内Continuing on the front page (72) Inventor Nobuhiko Shibaki 1-280 Higashi Koigakubo, Kokubunji-shi, Tokyo Inside the Central Research Laboratory of Hitachi, Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】圧電基板と、上記圧電基板上に構成され、
入力側から出力側へ縦続接続された複数の一開口弾性表
面波共振器とを有する弾性表面波共振器複合形フィルタ
において、 上記複数の一開口弾性表面波共振器のうち少なくとも一
つの一開口弾性表面波共振器は、弾性表面波の伝搬方向
の長さが上記弾性表面波共振器複合形フィルタの通過帯
域周波数で伝搬可能な弾性表面波の波長の(2n−1)
/2倍(nは1以上の整数)であって、弾性表面波を励
起しない複数の伝搬路と、上記各伝搬路で仕切られた複
数のトランスデューサとを有し、上記複数のトランスデ
ューサのうち、隣合う各トランスデューサは電気的に直
列に接続され、かつ、1つおきの各トランスデューサは
電気的に並列に接続されていることを特徴とする弾性表
面波共振器複合形フィルタ。
1. A piezoelectric substrate, comprising: a piezoelectric substrate;
A surface acoustic wave resonator composite filter having a plurality of one-opening surface acoustic wave resonators cascaded from an input side to an output side; In the surface acoustic wave resonator, the length of the surface acoustic wave in the propagation direction is (2n-1) of the wavelength of the surface acoustic wave that can be propagated at the passband frequency of the surface acoustic wave resonator composite filter.
/ 2 times (n is an integer of 1 or more), which has a plurality of propagation paths that do not excite surface acoustic waves, and a plurality of transducers partitioned by the respective propagation paths, and among the plurality of transducers, A surface acoustic wave resonator composite filter, wherein adjacent transducers are electrically connected in series, and every other transducer is electrically connected in parallel.
【請求項2】請求項1記載の弾性表面波共振器複合形フ
ィルタにおいて、 上記複数の一開口弾性表面波共振器に加えて、容量を縦
続接続したことを特徴とする弾性表面波複合形フィル
タ。
2. A surface acoustic wave composite filter according to claim 1, wherein a capacitance is cascaded in addition to said plurality of single-opening surface acoustic wave resonators. .
【請求項3】請求項2記載の弾性表面波複合形フィルタ
において、 上記容量は、上記圧電基板上に電極間のギャップで形成
される容量であることを特徴とする弾性表面波共振器複
合形フィルタ。
3. The surface acoustic wave composite type filter according to claim 2, wherein said capacitance is a capacitance formed by a gap between electrodes on said piezoelectric substrate. filter.
【請求項4】圧電基板上に構成された複数の一開口弾性
表面波共振器を有する弾性表面波共振器複合形フィルタ
において、 上記一開口弾性表面波共振器は、上記圧電基板上に形成
され、互いに電気的に接続された複数の電極指を有する
第一、第二及び第三の電極パターンを有し、 上記第二の電極パターンの複数の電極指は、上記第一及
び第三の電極パターンの複数の電極指と互いに挿間して
配置されることにより弾性表面波の伝搬路を形成してお
り、 上記弾性表面波の伝搬路上に、伝搬された弾性表面波を
その伝搬方向に同相で加算する伝搬部分を設けたことを
特徴とする弾性表面波複合形フィルタ。
4. A surface acoustic wave resonator composite filter having a plurality of one-opening surface acoustic wave resonators formed on a piezoelectric substrate, wherein the one-opening surface acoustic wave resonator is formed on the piezoelectric substrate. Having first, second and third electrode patterns having a plurality of electrode fingers electrically connected to each other, wherein the plurality of electrode fingers of the second electrode pattern are the first and third electrodes The surface acoustic wave propagation path is formed by being interposed between the plurality of electrode fingers of the pattern and interposed between the electrode fingers of the pattern, and the transmitted surface acoustic wave is in phase with the propagation direction of the surface acoustic wave in the propagation direction. 1. A surface acoustic wave composite filter characterized by having a propagation portion for adding in (1).
【請求項5】請求項4記載の弾性表面波共振器複合形フ
ィルタにおいて、 上記伝搬部分は、上記第二の電極パターンに、上記伝搬
路上における弾性表面波の伝搬方向の長さが上記弾性表
面波共振器複合形フィルタの通過帯域周波数で伝搬可能
な弾性表面波の波長の(2n−1)/2倍(nは1以上
の整数)となる部分を設けることで形成されることを特
徴とする弾性表面波複合形フィルタ。
5. The surface acoustic wave resonator composite filter according to claim 4, wherein said propagation portion has a length on said second electrode pattern in a propagation direction of said surface acoustic wave on said propagation path. The filter is formed by providing a portion that is (2n-1) / 2 times (n is an integer of 1 or more) the wavelength of the surface acoustic wave that can propagate at the pass band frequency of the wave resonator composite filter. Surface acoustic wave composite filter.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7385464B2 (en) 2005-09-08 2008-06-10 Hitachi Media Electronics Co., Ltd. Resonator type filter
CN111949041A (en) * 2020-08-07 2020-11-17 上海航天控制技术研究所 Elastic vibration suppression method adaptive to large uncertainty frequency
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