JPH11191715A - Array antenna power feeding device - Google Patents

Array antenna power feeding device

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Publication number
JPH11191715A
JPH11191715A JP35731697A JP35731697A JPH11191715A JP H11191715 A JPH11191715 A JP H11191715A JP 35731697 A JP35731697 A JP 35731697A JP 35731697 A JP35731697 A JP 35731697A JP H11191715 A JPH11191715 A JP H11191715A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dielectric layer
frequency
frequency dielectric
hermetic package
multilayer
Prior art date
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Pending
Application number
JP35731697A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Ariga
博 有賀
Takeshi Sakura
武志 佐倉
Hiroaki Nakaaze
弘晶 中畔
Hitoshi Mizutame
仁士 水溜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the processing of plural signals and to attain miniaturization by integrally providing plural high frequency dielectric layers forming a triplate high frequency circuit, low frequency dielectric layer, high frequency terminal and control terminal on a multilayer air-tight package. SOLUTION: A high frequency signal inputted from the high frequency terminal is transmitted through a through hole 11 to a triplate high frequency line 10 provided on a high frequency dielectric layer 13. A control signal inputted from a control terminal 5 is inputted through a control line 12, which is constituted inside a low frequency dielectric layer 14, and the through hole 11 to a control circuit 8 and converted to a drive signal. The converted signal is passed through a through hole 10 and control line 12 again and controls an integrated circuit 1. The high frequency signal is processed by the integrated circuit 1 but since the triplate high frequency line 10 of one independent layer is formed corresponding to one signal processing circuit, the high frequency signal to pass can be shielded between the outside of a multilayer air-tight package 7 and the other signal processing circuit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は複数の信号を制御
することにより、送信または受信するアレーアンテナ給
電装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an array antenna feeding apparatus for transmitting or receiving signals by controlling a plurality of signals.

【0002】[0002]

【従来の技術】図8は従来のアレーアンテナ給電装置に
搭載される気密スケジュールを示したもので、1はモノ
リシックマイクロ波集積回路もしくはマイクロ波集積回
路等により構成された集積回路、2は気密パッケージ、
3は接続基板、4は高周波端子、5は制御端子、6は気
密カバーであり、高周波端子4および制御端子5は気密
パッケージ2内に設けられた接続基板3と接続されてお
り、更に接続基板3は集積回路1に接続されている。従
来のアレーアンテナ給電装置は以上の気密モジュールを
複数設けることにより構成されており、高周波端子4に
より入力された信号は気密パッケージ2内の接続基板3
を通して複数の集積回路1に入力される。一方、制御端
子5より入力された制御信号は気密パッケージ2内の接
続基板3を通して複数の集積回路1に入力され、集積回
路1を制御する。高周波信号は複数の集積回路1と接続
基板3によって、構成されている回路にて入力信号に対
し、信号を処理した後、接続基板3を通して高周波端子
4に出力される。また、気密パッケージ2は金属層9に
より覆われているため、気密パッケージ内部の集積回路
1あるいは接続基板3から放射される信号を遮蔽し、周
囲からの影響を防ぐことができる。
2. Description of the Related Art FIG. 8 shows a hermetic schedule mounted on a conventional array antenna feeder, wherein 1 is an integrated circuit constituted by a monolithic microwave integrated circuit or a microwave integrated circuit, and 2 is an airtight package. ,
Reference numeral 3 denotes a connection board, 4 denotes a high-frequency terminal, 5 denotes a control terminal, and 6 denotes a hermetic cover. The high-frequency terminal 4 and the control terminal 5 are connected to the connection board 3 provided in the hermetic package 2. 3 is connected to the integrated circuit 1. The conventional array antenna power supply device is constituted by providing a plurality of the above-described hermetic modules, and a signal input through the high-frequency terminal 4 is connected to the connection board 3 in the hermetic package 2.
Through a plurality of integrated circuits 1. On the other hand, the control signal input from the control terminal 5 is input to the plurality of integrated circuits 1 through the connection substrate 3 in the hermetic package 2 and controls the integrated circuit 1. The high-frequency signal is processed by a circuit constituted by the plurality of integrated circuits 1 and the connection substrate 3 with respect to the input signal, and then output to the high-frequency terminal 4 through the connection substrate 3. Further, since the hermetic package 2 is covered with the metal layer 9, signals radiated from the integrated circuit 1 or the connection substrate 3 inside the hermetic package can be shielded, and influence from the surroundings can be prevented.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来のア
レーアンテナ給電装置に搭載される気密モジュールは構
成されているため、次の課題があった。すなわち、一つ
の気密パッケージ2に対してそれぞれ高周波端子4およ
び制御端子5を有するために気密モジュールが大きく、
また制御回路を設ける場合でも個々の気密モジュールに
対して必要であるため、複数の高周波信号処理を必要と
するアレーアンテナ給電装置に用いた場合には、大型化
してしまうという問題点があった。また、一つの気密パ
ッケージ2内で複数の高周波信号を処理しようとした場
合、複数の高周波信号間で相互に干渉し合い、意図した
出力信号が出力されない問題があった。
As described above, since the airtight module mounted on the conventional array antenna power supply device is constituted, there are the following problems. That is, since the high-frequency terminal 4 and the control terminal 5 are provided for one hermetic package 2, the hermetic module is large,
Further, even when a control circuit is provided, since it is necessary for each airtight module, there is a problem in that when used in an array antenna power supply device requiring a plurality of high-frequency signal processings, the size becomes large. Further, when processing a plurality of high-frequency signals in one hermetic package 2, there is a problem in that the plurality of high-frequency signals interfere with each other and an intended output signal is not output.

【0004】この発明は上記の問題点を解決するために
なされたもので、同一気密パッケージ上に複数の気密部
分を設け、それぞれの気密部分に集積回路を設置し、更
に受動回路を含む高周波線路を気密パッケージ内に設け
ることにより、複数の信号を処理することが可能で、且
つ小型化を図った気密モジュールを得ることを目的とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. A plurality of hermetic parts are provided on the same hermetic package, an integrated circuit is installed in each hermetic part, and a high-frequency line including a passive circuit is further provided. It is an object of the present invention to provide a hermetically sealed module capable of processing a plurality of signals and having a reduced size by providing in a hermetically sealed package.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】第1の発明によるアレー
アンテナ給電装置は、能動素子を主体とする集積回路
と、この集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、
この多層気密パッケージに一体化して設けられ、トリプ
レート高周波回路を形成した複数個の高周波誘電体層
と、上記多層気密パッケージに一体化して設けられ、上
記集積回路を制御する制御回路を形成した低周波誘電体
層と、上記多層気密パッケージに一体化して設けられ、
上記高周波誘電体層と接続した入出力高周波端子と、上
記多層気密パッケージに一体化して設けられ、上記低周
波誘電体層と接続する制御端子と、上記多層気密パッケ
ージに一体化して設けられ、上記集積回路を個別で取り
付ける複数の掘り込み面と、この掘り込み面と上記多層
気密パッケージの表面とに一体化して設けられた表面金
属層と、上記高周波誘電体層と上記低周波誘電体層と上
記表面金属層とを接続する金属と、上記掘り込み面を気
密封止し、かつ上記表面金属層と同電位になるようにし
た金属板とからなるモジュールを複数個設け、各々の上
記モジュールは複数の信号を並列に制御する機能を有す
ることを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an array antenna feeder comprising: an integrated circuit mainly including an active element; a multilayer airtight package for mounting the integrated circuit;
A plurality of high-frequency dielectric layers provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a triplate high-frequency circuit, and a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit. A frequency dielectric layer, provided integrally with the multilayer airtight package,
The input / output high-frequency terminal connected to the high-frequency dielectric layer, the control terminal connected to the low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer airtight package, and the integrated terminal provided to the multilayer airtight package, A plurality of digging surfaces for individually attaching integrated circuits, a surface metal layer provided integrally with the digging surface and the surface of the multilayer airtight package, the high-frequency dielectric layer and the low-frequency dielectric layer, A plurality of modules comprising a metal connecting the surface metal layer and a metal plate that hermetically seals the dug surface and has the same potential as the surface metal layer are provided, and each of the modules is It has a function of controlling a plurality of signals in parallel.

【0006】また、第2の発明によるアレーアンテナ給
電装置は、能動素子を主体とする集積回路と、この集積
回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層気密
パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高周波
回路を形成した高周波誘電体層と、上記多層気密パッケ
ージに一体化して設けられ、上記集積回路を制御する制
御回路を形成した低周波誘電体層と、上記多層気密パッ
ケージに一体化して設けられ、上記高周波誘電体層と接
続した入出力高周波端子と、上記多層気密パッケージに
一体化して設けられ、上記低周波誘電体層と接続する制
御端子と、上記多層気密パッケージに一体化して設けら
れ、上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込み面
と、この掘り込み面と上記多層気密パッケージの表面と
に一体化して設けられた表面金属層と、上記高周波誘電
体層と上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続す
る金属と、上記高周波誘電体層内での信号の干渉を防ぐ
ために上記高周波誘電体層に設けられた信号遮蔽金属
と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属層
と同電位になるようにした金属板とからなるモジュール
を複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を並
列に制御する機能を有することを特徴とするものであ
る。
Further, an array antenna feeder according to a second aspect of the present invention is an integrated circuit having an active element as a main component, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and an integrated circuit provided in the multilayer hermetic package. A high-frequency dielectric layer forming a circuit, provided integrally with the multilayer hermetic package, a low-frequency dielectric layer forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and provided integrally with the multilayer hermetic package; The input / output high-frequency terminal connected to the high-frequency dielectric layer, the control terminal connected to the low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer airtight package, and the integrated terminal provided to the multilayer airtight package, A plurality of digging surfaces for individually mounting integrated circuits, and the digging surfaces and the surface of the multilayer airtight package are integrally provided. The high-frequency dielectric layer, the metal connecting the low-frequency dielectric layer and the surface metal layer, and the high-frequency dielectric layer to prevent signal interference in the high-frequency dielectric layer. A plurality of modules comprising a signal shielding metal provided on the base plate and a metal plate hermetically sealing the dug surface and having the same potential as the surface metal layer are provided, and each of the modules is provided with a plurality of modules. It has a function of controlling signals in parallel.

【0007】また、第3の発明によるアレーアンテナ給
電装置は、能動素子を主体とする集積回路と、この集積
回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層気密
パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高周波
回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多層気
密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路を制
御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記多層
気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波誘電
体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密パッ
ケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層と接
続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体化し
て設けられ、上記高周波誘電体層と接続したアンテナ素
子と、上記多層気密パッケージに一体化して設けられ、
上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込み面と、
この掘り込み面と上記多層気密パッケージの表面とに一
体化して設けられた表面金属層と、上記高周波誘電体層
と上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続する金
属と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属
層と同電位になるようにした金属板とからなるモジュー
ルを複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を
並列に制御する機能を有することを特徴とするものであ
る。
The array antenna feeder according to a third aspect of the present invention provides an integrated circuit mainly composed of active elements, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a triplate high frequency integrated with the multilayer hermetic package. A plurality of high-frequency dielectric layers forming a circuit and a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and integrated with the multilayer hermetic package An input / output high-frequency terminal connected to the high-frequency dielectric layer, a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer, and a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer. Antenna element connected to the high-frequency dielectric layer, and provided integrally with the multilayer airtight package,
A plurality of digging surfaces for individually mounting the integrated circuits,
A surface metal layer provided integrally with the dug surface and the surface of the multilayer hermetic package, a metal connecting the high-frequency dielectric layer, the low-frequency dielectric layer, and the surface metal layer, A plurality of modules, each of which has a function of controlling a plurality of signals in parallel. It is a feature.

【0008】また、第4の発明によるアレーアンテナ給
電装置は、能動素子を主体とする集積回路と、この集積
回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層気密
パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高周波
回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多層気
密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路を制
御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記多層
気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波誘電
体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密パッ
ケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層と接
続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体化し
て設けられ、上記高周波誘電体層と導波管とを接続でき
るようにした導波管/トリプレート高周波線路変換器
と、上記多層気密パッケージに一体化して設けられ、上
記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込み面と、こ
の掘り込み面と上記多層気密パッケージの表面とに一体
化して設けられた表面金属層と、上記高周波誘電体層と
上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続する金属
と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属層
と同電位になるようにした金属板とからなるモジュール
を複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を並
列に制御する機能を有することを特徴とするものであ
る。
The array antenna feeder according to a fourth aspect of the present invention provides an integrated circuit mainly composed of active elements, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a triplate high frequency integrated with the multilayer hermetic package. A plurality of high-frequency dielectric layers forming a circuit and a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and integrated with the multilayer hermetic package An input / output high-frequency terminal connected to the high-frequency dielectric layer, a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer, and a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer. A waveguide / triplate high-frequency line converter capable of connecting the high-frequency dielectric layer and the waveguide; A plurality of digging surfaces provided integrally with the cage and individually mounting the integrated circuits; a surface metal layer provided integrally with the digging surfaces and the surface of the multilayer airtight package; A module comprising a metal that connects the layer, the low-frequency dielectric layer, and the surface metal layer, and a metal plate that hermetically seals the dug surface and has the same potential as the surface metal layer. A plurality of modules are provided, and each of the modules has a function of controlling a plurality of signals in parallel.

【0009】また、第5の発明によるアレーアンテナ給
電装置は、能動素子を主体とする集積回路と、この集積
回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層気密
パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高周波
回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多層気
密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路を制
御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記多層
気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波誘電
体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密パッ
ケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層と接
続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体化し
て設けられ、上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘
り込み面と、この掘り込み面に一体化して設けられた表
面金属層と、上記多層気密パッケージの表面に一体化し
て設けられた電波吸収体と、上記高周波誘電体層と上記
低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続する金属と、
上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属層と同
電位になるようにした金属板とからなるモジュールを複
数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を並列に
制御する機能を有することを特徴とするものである。
The array antenna feeding device according to a fifth aspect of the present invention provides an integrated circuit mainly composed of active elements, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a triplate high frequency integrated circuit provided integrally with the multilayer hermetic package. A plurality of high-frequency dielectric layers forming a circuit and a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and integrated with the multilayer hermetic package An input / output high-frequency terminal connected to the high-frequency dielectric layer, a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer, and a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer. A plurality of digging surfaces for individually attaching the integrated circuit, a surface metal layer provided integrally with the digging surface, A metal connecting the wave absorber which is provided integrally on the surface of the layer airtight package, and the high-frequency dielectric layer and the low-frequency dielectric layer and the surface metal layer,
A plurality of modules are hermetically sealed on the digging surface, and a metal plate having the same potential as the surface metal layer, and each module has a function of controlling a plurality of signals in parallel. It is characterized by the following.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】実施の形態l.図1は、この発明
の実施の形態1を示す斜視図、図2は、この発明の実施
の形態1を示す上面図であり、図3は、この発明の実施
の形態1を示す図2のA−A’の断面図である。図1、
図2、図3において7は多層気密パッケージ、8は制御
回路、9は表面金属層、10はトリプレート高周波線
路、11はスルーホール、12は制御線路、13は高周
波誘電体層、14は低周波誘電体層である。図1に示す
モジュールを複数個設けることによりアレーアンテナ給
電装置を構成する。多層気密パッケージ7は集積回路1
を実装する掘り込みを設けており、集積回路lを実装す
る面の裏面に制御回路8を実装している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment l. FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a top view showing the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view of FIG. 2 showing the first embodiment of the present invention. It is sectional drawing of AA '. Figure 1,
2 and 3, 7 is a multilayer airtight package, 8 is a control circuit, 9 is a surface metal layer, 10 is a triplate high-frequency line, 11 is a through hole, 12 is a control line, 13 is a high-frequency dielectric layer, and 14 is a low-frequency dielectric layer. It is a frequency dielectric layer. By providing a plurality of modules shown in FIG. 1, an array antenna feeding device is configured. The multilayer airtight package 7 is an integrated circuit 1
The control circuit 8 is mounted on the back surface of the surface on which the integrated circuit 1 is mounted.

【0011】次に動作について説明する。多層気密パッ
ケージ7は複数の高周波入力信号に対してそれぞれ独立
して信号処理が行えるようにトリプレート高周波線路1
1を用いて信号処理回路を構成している。それぞれの信
号処理回路を構成しているトリプレート高周波線路11
は高周波誘電体層13内で互いに異なる層に構成されて
いるため、それぞれの高周波信号は干渉することがない
ようになっている。ある一つの高周波信号に対して、高
周波端子4より入力された高周波信号は高周波誘電体層
13に設けられたトリプレート高周波線路10ヘスルー
ホール11を経由して信号が伝送される。トリプレート
高周波線路11は集積回路1へと接続されており、高周
波信号は集積回路1へ入力される。一方、制御端子5よ
り入力された制御信号は低周波誘電体層14内に構成さ
れた制御線路12、スルーホール11を経由して制御回
路8ヘ接続されており、制御回路8は制御信号に対し、
各集積回路1を直接制御するドライブ信号へ変換する。
制御回路8から出力されたドライブ信号は、再びスルー
ホール10、制御線路12を経由して集積回路1へ入力
され、集積回路1を制御する。高周波信号は集積回路1
にてドライブ信号により信号処理を行った後、再びトリ
プレート高周波線路10、スルーホール11を伝送して
高周波端子4に出力される。この時、一つの信号処理回
路に対して一つの独立した層にてトリプレート高周波線
路10を構成しているため、高周波誘電体層13を通過
する高周波信号は多層気密パッケージ7の外部および他
の信号処理回路間と遮蔽することができる。また、多層
気密モジュール7の掘り込み内面および気密カバー6を
表面金属層9により覆っているため、集積回路1につい
ても外部と遮蔽することができる。そのため一つの気密
モジュールで複数系統の高周波信号を処理することが可
能となり、小型化が図れる。更に、高周波信号と制御信
号をそれぞれ低周波誘電体層14と高周波誘電体層13
で伝送させるため、各層を伝送信号の特性に合わせた誘
電体材料を用いることが可能となり、低コスト化を図る
ことができる。
Next, the operation will be described. The multi-layer airtight package 7 is provided with a triplate high-frequency line 1 so that signal processing can be performed independently on a plurality of high-frequency input signals.
1 is used to form a signal processing circuit. Triplate high-frequency line 11 constituting each signal processing circuit
Are formed in different layers in the high-frequency dielectric layer 13, so that the respective high-frequency signals do not interfere with each other. For one high-frequency signal, the high-frequency signal input from the high-frequency terminal 4 is transmitted to the triplate high-frequency line 10 provided in the high-frequency dielectric layer 13 via the through-hole 11. The triplate high-frequency line 11 is connected to the integrated circuit 1, and a high-frequency signal is input to the integrated circuit 1. On the other hand, the control signal input from the control terminal 5 is connected to the control circuit 8 via the control line 12 and the through hole 11 formed in the low-frequency dielectric layer 14, and the control circuit 8 On the other hand,
Each integrated circuit 1 is converted into a drive signal for directly controlling the integrated signal.
The drive signal output from the control circuit 8 is again input to the integrated circuit 1 via the through hole 10 and the control line 12, and controls the integrated circuit 1. High frequency signal is integrated circuit 1
After signal processing is performed by the drive signal, the signal is transmitted again through the triplate high-frequency line 10 and the through-hole 11 and output to the high-frequency terminal 4. At this time, since the triplate high-frequency line 10 is constituted by one independent layer for one signal processing circuit, the high-frequency signal passing through the high-frequency dielectric layer 13 is transmitted to the outside of the multilayer hermetic package 7 and to another signal. It is possible to shield between signal processing circuits. Further, since the digging inner surface of the multilayer airtight module 7 and the airtight cover 6 are covered with the surface metal layer 9, the integrated circuit 1 can also be shielded from the outside. Therefore, a plurality of high-frequency signals can be processed by one airtight module, and the size can be reduced. Further, the high-frequency signal and the control signal are respectively transmitted to the low-frequency dielectric layer 14 and the high-frequency dielectric layer 13.
In this case, it is possible to use a dielectric material in which each layer is adapted to the characteristics of a transmission signal, thereby achieving cost reduction.

【0012】ここでは説明を簡単にするためトリプレー
ト高周波線路のみとしたが、受動素子を含んだ線路とし
ても良いことは言うまでもない。
Although only the triplate high-frequency line is used here for the sake of simplicity, it goes without saying that the line may include a passive element.

【0013】実施の形態2.図2は、この発明の実施の
形態2を示す上面図であり、図4は、この発明の実施の
形態2を示す図2のA−A’の断面図である。15は高
周波信号遮蔽用スルーホールである。次に動作について
説明する。高周波誘電体層13内の同一層内にて複数の
信号処理回路を構成するトリプレート高周波線路10に
対し、その両側に金属層と接続した高周波信号遮蔽用ス
ルーホール15を複数設ける。高周波信号遮蔽用スルー
ホール15間は使用周波数に対し、十分狭い間隔である
ため、トリプレート高周波線路10より放射される電界
は高周波信号遮蔽用スルーホール13により接地され
る。そのため、トリプレート高周波線路10を流れる高
周波信号は同一層内の他のトリプレート高周波線路10
に対し干渉しない。そのため、各々のトリプレート高周
波線路10は独立した信号を扱うことが可能となる。
Embodiment 2 FIG. FIG. 2 is a top view showing Embodiment 2 of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along AA ′ of FIG. 2 showing Embodiment 2 of the present invention. Reference numeral 15 denotes a through hole for shielding a high-frequency signal. Next, the operation will be described. A plurality of high-frequency signal shielding through holes 15 connected to a metal layer are provided on both sides of the triplate high-frequency line 10 constituting a plurality of signal processing circuits in the same layer in the high-frequency dielectric layer 13. Since the interval between the high-frequency signal shielding through holes 15 is sufficiently narrow with respect to the operating frequency, the electric field radiated from the triplate high-frequency line 10 is grounded by the high-frequency signal shielding through hole 13. Therefore, the high-frequency signal flowing through the triplate high-frequency line 10 is transmitted to another triplate high-frequency line 10 in the same layer.
Does not interfere with Therefore, each triplate high-frequency line 10 can handle an independent signal.

【0014】ここでは高周波信号を遮蔽する方法として
スルーホールを用いたが金属柱などにより、高周波信号
を遮蔽しても良いことは言うまでもない。
Here, a through hole is used as a method of shielding a high-frequency signal, but it goes without saying that the high-frequency signal may be shielded by a metal column or the like.

【0015】実施の形態3.図5は、この発明の実施の
形態3を示す斜視図である。14はアンテナ素子であ
る。次に動作について説明する。ここでは受信モジュー
ルを例に説明する。アンテナ素子14はスルーホール1
1を通してトリプレート高周波線路10に接続されてお
り、アンテナ素子14にて受信した高周波信号は、集積
回路1に入力され、実施の形態1と同様に信号処理さ
れ、高周波端子4から出力される。送信モジュールにつ
いては、逆の動作をする。
Embodiment 3 FIG. 5 is a perspective view showing Embodiment 3 of the present invention. Reference numeral 14 denotes an antenna element. Next, the operation will be described. Here, a receiving module will be described as an example. Antenna element 14 is through hole 1
The high-frequency signal connected to the triplate high-frequency line 10 through the antenna 1 and received by the antenna element 14 is input to the integrated circuit 1, subjected to signal processing as in the first embodiment, and output from the high-frequency terminal 4. The reverse operation is performed for the transmission module.

【0016】実施の形態4.図6は、この発明の実施の
形態4の斜視図である。15は導波管/トリプレート変
換、16は導波管である。次に動作について示す。ここ
では受信モジュールを例に説明する。導波管/トリプレ
ート変換15はトリプレート高周波線路10に接続され
ており、導波管16より出力される高周波信号は導波管
/トリプレート変換15にてトリプレート高周波線路1
0上の高周波信号へ変換される。この高周波信号は、集
積回路1に入力され、実施の形態1と同様に信号処理さ
れ、高周波端子4から出力される。送信モジュールにつ
いては、逆の動作をする。
Embodiment 4 FIG. 6 is a perspective view of Embodiment 4 of the present invention. 15 is a waveguide / triplate conversion, and 16 is a waveguide. Next, the operation will be described. Here, a receiving module will be described as an example. The waveguide / triplate converter 15 is connected to the triplate high-frequency line 10, and the high-frequency signal output from the waveguide 16 is converted by the waveguide / triplate converter 15 into the triplate high-frequency line 1.
It is converted to a high frequency signal on 0. This high-frequency signal is input to the integrated circuit 1, subjected to signal processing as in the first embodiment, and output from the high-frequency terminal 4. The reverse operation is performed for the transmission module.

【0017】実施の形態5.図2は、この発明の実施の
形態5を示す上面図であり、図7は、この発明の実施の
形態5を示す図2のA−A’の断面図である。17は電
波吸収体である。次に動作について示す。この発明の実
施の形態lでは金属層9を用いて構成しているが、金属
層9を用いず、代わりに電波吸収体17を用いることに
よっても構成できる。電波吸収体17を用いることによ
り、高周波信号を十分遮蔽し、金属層9と同様な効果が
得られる。更に気密モジュール外部よりの信号に対して
も吸収するため、素子アンテナ近傍に気密モジュールを
設ける場合でも、放射特性に対する気密モジュールの影
響を考慮する必要がない。
Embodiment 5 FIG. 2 is a top view showing a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2 showing a fifth embodiment of the present invention. 17 is a radio wave absorber. Next, the operation will be described. In the first embodiment of the present invention, the metal layer 9 is used, but the metal layer 9 is not used, and a radio wave absorber 17 may be used instead. By using the radio wave absorber 17, high-frequency signals are sufficiently shielded, and the same effect as that of the metal layer 9 can be obtained. Furthermore, since the signal from the outside of the airtight module is absorbed, even when the airtight module is provided near the element antenna, it is not necessary to consider the influence of the airtight module on the radiation characteristics.

【0018】[0018]

【発明の効果】第1の発明によれば、一つの信号処理回
路に対し、占有面積を広くすることができるので、複雑
な回路を構成することが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, the area occupied by one signal processing circuit can be increased, so that a complicated circuit can be formed.

【0019】また、第2の発明によれば、複数系統の高
周波信号を同一の層内にて取り扱うことが可能となり、
小型化が図れる。
Further, according to the second invention, it is possible to handle a plurality of high-frequency signals in the same layer,
The size can be reduced.

【0020】また、第3の発明によれば、直接気密モジ
ュールで信号を送受信できるため、アレーアンテナ給電
装置の構成を簡単にすることができる。
Further, according to the third aspect, since signals can be directly transmitted and received by the airtight module, the configuration of the array antenna power supply device can be simplified.

【0021】また、第4の発明によれば、導波管入出力
を持ったアレーアンテナの素子アンテナを容易に接続す
ることが可能となる。
According to the fourth aspect, it is possible to easily connect the element antenna of the array antenna having the waveguide input / output.

【0022】また、第5の発明によれば、モジュールを
素子アンテナ近傍に設ける場合、電界の乱れを少なくす
ることができる。
According to the fifth aspect, when the module is provided near the element antenna, disturbance of the electric field can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態1を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing Embodiment 1 of an airtight module provided in an array antenna power supply device according to the present invention.

【図2】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態1、2、5を示す上
面図である。
FIG. 2 is a top view showing Embodiments 1, 2, and 5 of the airtight module provided in the array antenna power supply device according to the present invention.

【図3】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態1を示す図2のA−
A’の断面図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an airtight module of the array antenna feeder according to the first embodiment of the present invention;
It is sectional drawing of A '.

【図4】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態2を示す図2のA−
A’の断面図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a second embodiment of an airtight module included in the array antenna power supply device according to the present invention;
It is sectional drawing of A '.

【図5】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態3を示す斜視図であ
る。
FIG. 5 is a perspective view showing Embodiment 3 of an airtight module provided in the array antenna power supply device according to the present invention.

【図6】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態4を示す斜視図であ
る。
FIG. 6 is a perspective view showing a fourth embodiment of an airtight module provided in the array antenna power supply device according to the present invention.

【図7】 この発明によるアレーアンテナ給電装置に持
ちいる気密モジュールの実施の形態5を示す図2のA−
A’の断面図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a fifth embodiment of an airtight module included in the array antenna power supply device according to the present invention;
It is sectional drawing of A '.

【図8】 従来のアレーアンテナ給電装置に持ちいる気
密モジュールを示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a hermetic module provided in a conventional array antenna power supply device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 集積回路、2 気密パッケージ、3 接続基板、4
高周波端子、5 制御端子、6 気密カバー、7 多
層気密パッケージ、8 制御回路、9 表面金属層、1
0 トリプレート高周波回路、11 スルーホール、1
2 制御線路、13 高周波信号遮蔽用金属、14 高
周波誘電体層、15 低周波誘電体層、16 アンテナ
素子、17 導波管/トリプレート変換、18 導波
管、19電波吸収体。
1 integrated circuit, 2 hermetic package, 3 connection board, 4
High frequency terminal, 5 control terminal, 6 hermetic cover, 7 multilayer hermetic package, 8 control circuit, 9 surface metal layer, 1
0 Triplate high frequency circuit, 11 through hole, 1
2 Control line, 13 High frequency signal shielding metal, 14 High frequency dielectric layer, 15 Low frequency dielectric layer, 16 Antenna element, 17 Waveguide / Triplate conversion, 18 Waveguide, 19 Radio wave absorber.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水溜 仁士 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Hitoshi Mizumi 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsubishi Electric Corporation

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 能動素子を主体とする集積回路と、この
集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層
気密パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高
周波回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多
層気密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路
を制御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記
多層気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波
誘電体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密
パッケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層
と接続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体
化して設けられ、上記集積回路を個別で取り付ける複数
の掘り込み面と、この掘り込み面と上記多層気密パッケ
ージの表面とに一体化して設けられた表面金属層と、上
記高周波誘電体層と上記低周波誘電体層と上記表面金属
層とを接続する金属と、上記掘り込み面を気密封止し、
かつ上記表面金属層と同電位になるようにした金属板と
からなるモジュールを複数個設け、各々の上記モジュー
ルは複数の信号を並列に制御する機能を有することを特
徴とするアレーアンテナ給電装置。
An integrated circuit mainly composed of an active element, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a plurality of high-frequency dielectric layers provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a triplate high-frequency circuit And a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer. A plurality of input / output high-frequency terminals, a plurality of control terminals provided integrally with the multilayer hermetic package, and a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer, and a plurality of integrated terminals provided separately with the multi-layer hermetic package and individually mounting the integrated circuit. A digging surface, a surface metal layer provided integrally with the digging surface and the surface of the multilayer airtight package, and the high-frequency dielectric layer. A metal connecting the low-frequency dielectric layer and the surface metal layer, hermetically sealing the dug surface,
An array antenna power supply apparatus, comprising: a plurality of modules each including a surface metal layer and a metal plate having the same potential; each module having a function of controlling a plurality of signals in parallel.
【請求項2】 能動素子を主体とする集積回路と、この
集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層
気密パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高
周波回路を形成した高周波誘電体層と、上記多層気密パ
ッケージに一体化して設けられ、上記集積回路を制御す
る制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記多層気密
パッケージに一体化して設けられ、上記高周波誘電体層
と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密パッケー
ジに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層と接続す
る制御端子と、上記多層気密パッケージに一体化して設
けられ、上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込
み面と、この掘り込み面と上記多層気密パッケージの表
面とに一体化して設けられた表面金属層と、上記高周波
誘電体層と上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接
続する金属と、上記高周波誘電体層内での信号の干渉を
防ぐために上記高周波誘電体層に設けられた信号遮蔽金
属と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属
層と同電位になるようにした金属板とからなるモジュー
ルを複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を
並列に制御する機能を有することを特徴とするアレーア
ンテナ給電装置。
2. An integrated circuit mainly composed of active elements, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, a high-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a triplate high-frequency circuit, A low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit; and an input / output high frequency provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer A terminal, a control terminal provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the low-frequency dielectric layer, and a plurality of dug surfaces provided integrally with the multilayer hermetic package and separately mounting the integrated circuit. A surface metal layer provided integrally with the digging surface and the surface of the multilayer hermetic package; the high-frequency dielectric layer and the low-frequency dielectric layer; A metal connecting the wave dielectric layer and the surface metal layer; a signal shielding metal provided on the high-frequency dielectric layer to prevent signal interference in the high-frequency dielectric layer; An array characterized in that a plurality of modules comprising a metal plate which is hermetically sealed and has the same potential as the surface metal layer are provided, and each of the modules has a function of controlling a plurality of signals in parallel. Antenna feeder.
【請求項3】 能動素子を主体とする集積回路と、この
集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層
気密パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高
周波回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多
層気密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路
を制御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記
多層気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波
誘電体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密
パッケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層
と接続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体
化して設けられ、上記高周波誘電体層と接続したアンテ
ナ素子と、上記多層気密パッケージに一体化して設けら
れ、上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込み面
と、この掘り込み面と上記多層気密パッケージの表面と
に一体化して設けられた表面金属層と、上記高周波誘電
体層と上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続す
る金属と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面
金属層と同電位になるようにした金属板とからなるモジ
ュールを複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信
号を並列に制御する機能を有することを特徴とするアレ
ーアンテナ給電装置。
3. An integrated circuit mainly composed of active elements, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a plurality of high-frequency dielectric layers integrally provided in the multilayer hermetic package and forming a triplate high-frequency circuit. And a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer. An input / output high-frequency terminal, a control terminal integrated with the multilayer hermetic package and connected to the low-frequency dielectric layer, and an antenna integrated with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer An element, a plurality of digging surfaces provided integrally with the multilayer hermetic package and individually mounting the integrated circuit, and the digging surfaces And a surface metal layer provided integrally with the surface of the multilayer airtight package, a metal connecting the high-frequency dielectric layer, the low-frequency dielectric layer, and the surface metal layer, and a digging surface. An array characterized in that a plurality of modules comprising a metal plate which is hermetically sealed and has the same potential as the surface metal layer are provided, and each of the modules has a function of controlling a plurality of signals in parallel. Antenna feeder.
【請求項4】 能動素子を主体とする集積回路と、この
集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層
気密パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高
周波回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多
層気密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路
を制御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記
多層気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波
誘電体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密
パッケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層
と接続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体
化して設けられ、上記高周波誘電体層と導波管とを接続
できるようにした導波管/トリプレート高周波線路変換
器と、上記多層気密パッケージに一体化して設けられ、
上記集積回路を個別で取り付ける複数の掘り込み面と、
この掘り込み面と上記多層気密パッケージの表面とに一
体化して設けられた表面金属層と、上記高周波誘電体層
と上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続する金
属と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属
層と同電位になるようにした金属板とからなるモジュー
ルを複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を
並列に制御する機能を有することを特徴とするアレーア
ンテナ給電装置。
4. An integrated circuit mainly composed of an active element, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a plurality of high frequency dielectric layers provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a triplate high frequency circuit. And a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer. An input / output high-frequency terminal, a control terminal provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the low-frequency dielectric layer, and a control terminal provided integrally with the multilayer hermetic package; And a waveguide / triplate high-frequency line converter which can be connected to the multilayer airtight package.
A plurality of digging surfaces for individually mounting the integrated circuits,
A surface metal layer provided integrally with the dug surface and the surface of the multilayer hermetic package, a metal connecting the high-frequency dielectric layer, the low-frequency dielectric layer, and the surface metal layer, A plurality of modules, each of which has a function of controlling a plurality of signals in parallel. Characteristic array antenna feeder.
【請求項5】 能動素子を主体とする集積回路と、この
集積回路を取り付ける多層気密パッケージと、この多層
気密パッケージに一体化して設けられ、トリプレート高
周波回路を形成した複数個の高周波誘電体層と、上記多
層気密パッケージに一体化して設けられ、上記集積回路
を制御する制御回路を形成した低周波誘電体層と、上記
多層気密パッケージに一体化して設けられ、上記高周波
誘電体層と接続した入出力高周波端子と、上記多層気密
パッケージに一体化して設けられ、上記低周波誘電体層
と接続する制御端子と、上記多層気密パッケージに一体
化して設けられ、上記集積回路を個別で取り付ける複数
の掘り込み面と、この掘り込み面に一体化して設けられ
た表面金属層と、上記多層気密パッケージの表面に一体
化して設けられた電波吸収体と、上記高周波誘電体層と
上記低周波誘電体層と上記表面金属層とを接続する金属
と、上記掘り込み面を気密封止し、かつ上記表面金属層
と同電位になるようにした金属板とからなるモジュール
を複数個設け、各々の上記モジュールは複数の信号を並
列に制御する機能を有することを特徴とするアレーアン
テナ給電装置。
5. An integrated circuit mainly composed of an active element, a multilayer hermetic package for mounting the integrated circuit, and a plurality of high-frequency dielectric layers integrally provided in the multilayer hermetic package and forming a triplate high-frequency circuit. And a low-frequency dielectric layer provided integrally with the multilayer hermetic package and forming a control circuit for controlling the integrated circuit, and provided integrally with the multilayer hermetic package and connected to the high-frequency dielectric layer. A plurality of input / output high-frequency terminals, a plurality of control terminals provided integrally with the multilayer hermetic package, and a control terminal connected to the low-frequency dielectric layer, and a plurality of integrated terminals provided separately with the multi-layer hermetic package and individually mounting the integrated circuit. A digging surface, a surface metal layer provided integrally with the digging surface, and an electric current provided integrally with the surface of the multilayer airtight package. The wave absorber, the metal connecting the high-frequency dielectric layer, the low-frequency dielectric layer, and the surface metal layer, hermetically seal the dug surface, and have the same potential as the surface metal layer. A plurality of modules each comprising a metal plate having a function of controlling a plurality of signals in parallel.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007049376A1 (en) * 2005-10-27 2007-05-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. High-frequency module
JP2013046291A (en) * 2011-08-25 2013-03-04 Kyocera Corp Antenna substrate and antenna module

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