JPH11163471A - External cavity type semiconductor laser - Google Patents

External cavity type semiconductor laser

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JPH11163471A
JPH11163471A JP34400397A JP34400397A JPH11163471A JP H11163471 A JPH11163471 A JP H11163471A JP 34400397 A JP34400397 A JP 34400397A JP 34400397 A JP34400397 A JP 34400397A JP H11163471 A JPH11163471 A JP H11163471A
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semiconductor laser
optical
refractive index
external cavity
light
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide stability in electric current/optical characteristics against changes in environmental temperature, etc., and to provide stability in oscillation wavelength when a fiber grating(FG) of low reflectivity is used, by so forming a refractive index distribution of a fiber grating(FG) as to draw an envelope along the advancing direction of propagating light. SOLUTION: A distribution of refractive index in FG is so formed as to draw an envelope along the advancing direction of propagation light. In a semiconductor laser, an optical lens 31 is provided on the optical path between an SOA10 and an optical fiber 20, which allows the light reciprocating between the SOA10 and the optical fiber 20 to be condensed, so that the optical coupling efficiency is improved for efficient generation of laser light. As a result, electric current/optical characteristics are stable with respect to changes in environmental temperature, etc., and furthermore, oscillation wavelength is stable even when the FG of low reflectivity is used. Thus, the lager can be utilized as a light source with stable oscillation wavelength used for wavelength multiplex system of optical communication and excitation for a fiber amplifier.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は外部共振器型半導体
レーザに関する。より詳細には、本発明は、光増幅器
(以下、「SOA」と記載する)と共振器を備えた半導
体レーザであって、特に共振器の一部がファイバグレー
ティング(以下、「FG」と記載する)により形成され
た反射器を備えた半導体レーザの新規な構成に関する。
The present invention relates to an external cavity type semiconductor laser. More specifically, the present invention relates to a semiconductor laser including an optical amplifier (hereinafter, referred to as “SOA”) and a resonator, and particularly a part of the resonator is a fiber grating (hereinafter, referred to as “FG”). The present invention relates to a novel configuration of a semiconductor laser provided with a reflector formed by the method described above.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体レーザは、活性層を含む特定の層
構造を有する半導体発光素子と、この半導体発光素子の
出射光を一定の間隔で相互に反射する1対の反射器で構
成された共振器とを少なくとも含んでいる。
2. Description of the Related Art A semiconductor laser comprises a semiconductor light emitting device having a specific layer structure including an active layer, and a pair of reflectors for reflecting light emitted from the semiconductor light emitting device at regular intervals. At least.

【0003】図7は、外部共振器型半導体レーザの1つ
の典型的な構成を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing one typical configuration of an external cavity semiconductor laser.

【0004】図7(a) に示すように、この半導体レーザ
は、発光素子であり、且つ、増幅作用を有するSOA10
と、出射ポートを兼ねた光ファイバ20とを組み合わせて
構成されている。
As shown in FIG. 7A, this semiconductor laser is a light emitting device and has an SOA 10 having an amplifying function.
And an optical fiber 20 also serving as an emission port.

【0005】ここで、SOA10は、その内部に形成され
た活性層11と、活性層11への注入電流を供給するための
1対の電極12、13とを備えており、電極12、13を介して
供給された駆動電流により活性層から水平に光を放射す
るように構成されている。更に、SOA10の側面には、
それぞれ誘電体多層膜16a、16bが形成されている。こ
れら誘電体多層膜16a、16bのうち、後述する光ファイ
バ20が配置された側の端面に形成された誘電体多層膜16
bは反射防止膜である。一方、光ファイバ20とは反対側
の端面に形成された誘電体多層膜16aは高反射率を有
し、半導体レーザの共振器における一方の反射器を構成
している。
Here, the SOA 10 has an active layer 11 formed therein and a pair of electrodes 12 and 13 for supplying an injection current to the active layer 11. It is configured to emit light horizontally from the active layer by the driving current supplied through the active layer. Furthermore, on the side of SOA10,
Dielectric multilayer films 16a and 16b are formed respectively. Of these dielectric multilayer films 16a and 16b, the dielectric multilayer film 16 formed on the end face on the side where the optical fiber 20 described later is disposed
b is an anti-reflection film. On the other hand, the dielectric multilayer film 16a formed on the end face opposite to the optical fiber 20 has a high reflectance, and constitutes one of the reflectors in the resonator of the semiconductor laser.

【0006】一方、光ファイバ20は、上記誘電体多層膜
16とは反対の側でSOA10から出射された放射光を注入
されるようにその端面が配置されている。また、光ファ
イバ20のコア21の端部近傍にはFG23が形成されてい
る。即ち、FG23の部分では、図7(b) に示すように屈
折率が周期的に変化するように分布しており、特定の周
波数の光が反射される。従って、このFG23と前述の誘
電体多層膜16とによって共振器が形成される。尚、光フ
ァイバ20の先端24は、少なくともコア21の端面が球面状
になるように成形されており、伝播光を収束させる機能
を有している。
On the other hand, the optical fiber 20 is formed of the dielectric multilayer film.
On the side opposite to 16, the end face is arranged so that the radiation emitted from the SOA 10 is injected. An FG 23 is formed near the end of the core 21 of the optical fiber 20. That is, in the FG23 portion, as shown in FIG. 7B, the refractive index is distributed so as to change periodically, and light of a specific frequency is reflected. Therefore, a resonator is formed by the FG 23 and the dielectric multilayer film 16 described above. The distal end 24 of the optical fiber 20 is formed so that at least the end face of the core 21 is spherical, and has a function of converging propagating light.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】図8は、上記のような
構成を有する外部共振器型半導体レーザにおけるミラー
ロスと発振位相条件の関係を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing the relationship between the mirror loss and the oscillation phase condition in the external cavity semiconductor laser having the above-described configuration.

【0008】図8(a) に示すように、半導体レーザにお
いては、共振器を1往復したときの位相が元の位相と一
致するという共振条件を満たし、且つ、ミラーロスが最
も小さい波長で発振が生じる(説明を簡単にするため
に、ここでは利得の波長依存性は無視して考える)。そ
の結果、図中に示すように、ひとつのメインピークaに
対して、その両翼にサイドローブb、cと呼ばれる複数
のピークが生じる。
As shown in FIG. 8A, the semiconductor laser satisfies the resonance condition that the phase of one round trip of the resonator coincides with the original phase, and oscillates at the wavelength where the mirror loss is the smallest. (For the sake of simplicity, the wavelength dependence of the gain is ignored here). As a result, as shown in the figure, a plurality of peaks called side lobes b and c occur on both wings for one main peak a.

【0009】このような特性の半導体レーザにおいて、
環境温度の変化等の何らかの要因によってSOAや共振
器の特性が変化すると、図8(b) に示すように共振発振
条件が変化するので、反射器のメインピーク波長付近の
縦モードaからサイドローブ付近の縦モードbあるいは
cに波長のホッピングが生じる。更に、発振波長とミラ
ーロスが不連続に大きく変化するので電流/光特性にキ
ンクが生じる。
In a semiconductor laser having such characteristics,
When the characteristics of the SOA and the resonator change due to some factors such as a change in the environmental temperature, the resonance oscillation conditions change as shown in FIG. 8B, so that the side lobe changes from the longitudinal mode a near the main peak wavelength of the reflector. Hopping of the wavelength occurs in the nearby longitudinal mode b or c. Further, since the oscillation wavelength and the mirror loss greatly change discontinuously, a kink occurs in the current / optical characteristics.

【0010】また、FGの反射率を低下させた場合、メ
インピークa付近のミラーロスとサイドローブb、cに
おけるミラーロスとの差が小さくなるので、例えば図9
(b)に示すように、一定の共振条件の幅δRの範囲で複
数のレーザ発振が生じ得るようになる。このため、図9
(a) に示すように、いわゆる多モード発振が生じて、発
振波長域が広くなるという問題もある。
When the reflectivity of the FG is reduced, the difference between the mirror loss near the main peak a and the mirror loss in the side lobes b and c becomes small.
As shown in (b), a plurality of laser oscillations can occur in the range of the width δR under the constant resonance condition. Therefore, FIG.
As shown in (a), there is also a problem that so-called multimode oscillation occurs and the oscillation wavelength range is widened.

【0011】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解決し、環境温度の変化等に対しても電流/光特性が
安定し、低反射率のFGを用いた場合でも発振波長の安
定した外部共振器型半導体レーザを提供することをその
目的としている。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, stabilizes the current / light characteristics even when the environmental temperature changes, and stabilizes the oscillation wavelength even when a low-reflectivity FG is used. It is an object of the present invention to provide an external cavity type semiconductor laser.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に従うと、光を発
生し且つ増幅する半導体光増幅器と、該半導体光増幅器
の光出力を相互に反射する1対の反射器により形成され
た共振器とを備えた半導体レーザであって、該共振器を
構成する反射器の少なくとも一方が、周期的な屈折率分
布を有するファイバグレーティングであり、且つ、該フ
ァイバグレーティングの屈折率分布が、伝播光の進行方
向に沿って包絡線を描くように形成されていることを特
徴とする外部共振器型半導体レーザが提供される。
According to the present invention, there is provided a semiconductor optical amplifier for generating and amplifying light, and a resonator formed by a pair of reflectors for mutually reflecting the optical output of the semiconductor optical amplifier. Wherein at least one of the reflectors forming the resonator is a fiber grating having a periodic refractive index distribution, and the refractive index distribution of the fiber grating is a An external resonator type semiconductor laser is provided which is formed so as to draw an envelope along a direction.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明に係る外部共振器型半導体
レーザは、その共振器の一方の反射器を構成するFGの
独特の屈折率分布にその主要な特徴がある。すなわち、
本発明に係る半導体レーザでは、FGにおける屈折率の
分布が、伝播光の進行方向に沿って包絡線を描くように
構成されている。このような屈折率分布を有するFGを
用いて共振器を構成した外部共振器型半導体レーザで
は、後述するように、その反射特性においてサイドロー
ブが非常に小さくなる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The external cavity type semiconductor laser according to the present invention is characterized mainly by the unique refractive index distribution of FG constituting one reflector of the cavity. That is,
In the semiconductor laser according to the present invention, the distribution of the refractive index in the FG is configured to draw an envelope along the traveling direction of the propagating light. In an external resonator type semiconductor laser in which a resonator is formed using an FG having such a refractive index distribution, side lobes are very small in reflection characteristics, as described later.

【0014】即ち、通常のFGでは、FG形成部分の長
さが有限であるために、FGが形成されていない部分の
屈折率とFG形成部分の屈折率の変化が急峻であり、前
記したような大きなサイドローブを発生する原因となっ
ている。これに対して屈折率分布が包絡線を描くような
FGでは、急峻な屈折率の変化が生じないのでサイドロ
ーブが小さくなる。尚、ここで言う包絡線としては、三
角形やガウス型を何れも含んでいる。
That is, in the ordinary FG, since the length of the FG forming portion is finite, the change in the refractive index of the portion where the FG is not formed and the change of the refractive index of the FG forming portion are steep. It causes large side lobes. On the other hand, in the FG in which the refractive index distribution describes an envelope, a sharp change in the refractive index does not occur, so that the side lobe is reduced. It should be noted that the envelope referred to here includes both triangles and Gaussian shapes.

【0015】更に、本発明の好ましい態様によると、F
GとSOAの間に光学部品を挿入して反射器の効率を向
上させることができる。このような光学部品としては、
単独の部品として供給される光学レンズを使用すること
もできるが、外部反射器並びに出射ポートとして利用さ
れる光ファイバの端面を凸面状に加工して代えることも
できる。更に、両者を併用してもよい。
Further, according to a preferred embodiment of the present invention, F
Optical components can be inserted between G and SOA to improve the efficiency of the reflector. Such optical components include:
Although an optical lens supplied as a single component can be used, an end face of an optical fiber used as an external reflector and an output port can be processed into a convex shape and replaced. Further, both may be used in combination.

【0016】以下、図面を参照して本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の1実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to the drawings. However, the following disclosure is merely one embodiment of the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention.

【0017】[0017]

【実施例】図1は、本発明に係る外部共振器型半導体レ
ーザの具体的な構成例を示す図である。尚、図8に示し
た従来の半導体レーザと共通の構成要素には共通は参照
番号を付している。
FIG. 1 is a diagram showing a specific configuration example of an external cavity semiconductor laser according to the present invention. Components common to those of the conventional semiconductor laser shown in FIG. 8 are denoted by common reference numerals.

【0018】同図に示すように、この半導体レーザは、
図8に示した従来の半導体レーザと基本的な構成は同じ
である。但し、光ファイバ10に形成されたFG26におけ
る屈折率分布が異なっている。
As shown in FIG.
The basic configuration is the same as that of the conventional semiconductor laser shown in FIG. However, the refractive index distribution in the FG 26 formed on the optical fiber 10 is different.

【0019】図2は、本発明に係る半導体レーザで使用
するFGにおける屈折率分布を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the refractive index distribution in the FG used in the semiconductor laser according to the present invention.

【0020】図2(a) に示すように、この半導体レーザ
では、FGの屈折率分布が、その伝播光の進行方向に沿
って包絡線(アポタイズ曲線)を描いている。このよう
な屈折率分布を有するFGでは、後述するように、ミラ
ーロスのメインピークとサイローブの差が充分に大きい
ので、多モード発振が生じ難い。従って、図2(b) に示
すように、発振波長には単一の突出したピークが現れ
る。
As shown in FIG. 2A, in this semiconductor laser, the refractive index distribution of the FG draws an envelope (apotize curve) along the traveling direction of the propagating light. In the FG having such a refractive index distribution, as will be described later, since the difference between the main peak of the mirror loss and the silobe is sufficiently large, multi-mode oscillation hardly occurs. Therefore, as shown in FIG. 2B, a single prominent peak appears at the oscillation wavelength.

【0021】尚、本発明の好ましい1態様に因ると、実
際のFGにおける屈折率分布は、図2(c) に示すよう
に、各区間毎の平均屈折率が一定になるように形成する
ことが好ましい。このような屈折率分布を形成すること
によりFG内でのファブリペロー共振を回避でるのでメ
インピークaとサイドローブb、cの差は更に広がり、
サイドローブb、cのピークは共振条件の幅δRの範囲
外になる。従って、多モード発振が生じることがない。
According to a preferred embodiment of the present invention, the refractive index distribution in the actual FG is formed such that the average refractive index in each section becomes constant as shown in FIG. Is preferred. By forming such a refractive index distribution, Fabry-Perot resonance in the FG can be avoided, so that the difference between the main peak a and the side lobes b and c further increases,
The peaks of the side lobes b and c fall outside the range of the width δR of the resonance condition. Therefore, multi-mode oscillation does not occur.

【0022】図3は、上記のような特性を有するFGを
備えた半導体レーザにおけるミラーロスと位相条件との
関係を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing a relationship between a mirror loss and a phase condition in a semiconductor laser having an FG having the above-described characteristics.

【0023】図3(a) に示すように、本発明に従って構
成された半導体レーザでは、共振条件を満たし且つミラ
ーロスが最も小さい特定の波長に生じるメインピーク
が、その両翼に生じるサイドローブに対して極めて大き
な落差を有している。
As shown in FIG. 3A, in the semiconductor laser constructed according to the present invention, the main peak that occurs at a specific wavelength that satisfies the resonance condition and has the smallest mirror loss is different from the side lobe that occurs on both wings. It has a very large head.

【0024】従って、この半導体レーザにおいて、SO
Aや共振器の特性が変化した場合、図3(b) に示すよう
に共振発振条件が変化しても、波長のホッピングが生じ
ることがない。また、そのために、電流/光特性のキン
クの原因となるような発振波長やミラーロスの不連続な
変化が生じない。
Therefore, in this semiconductor laser, the SO
When the characteristics of A and the resonator change, the hopping of the wavelength does not occur even if the resonance oscillation condition changes as shown in FIG. Further, for this reason, discontinuous changes in the oscillation wavelength and the mirror loss that cause kink in the current / optical characteristics do not occur.

【0025】図4は、本発明に係る外部共振器型半導体
レーザの他の実施態様を示す図である。尚、同図におい
て、他の図面と共通の構成要素には共通の参照番号を付
して重複する説明は省略している。
FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the external cavity type semiconductor laser according to the present invention. In the figure, components common to those of the other drawings are denoted by common reference numerals, and duplicate description is omitted.

【0026】同図に示すように、この半導体レーザで
は、SOA10と光ファイバ20との間の光路上に光学レン
ズ31が配されている。この光学レンズ31でSOA10と光
ファイバ20との間で往復する光を集光させることによ
り、光結合効率を向上させて効率良くレーザ光を発生さ
せることが可能になる。また、光ファイバ20の端面25を
斜めに形成することにより、光ファイバの端面の端面反
射を排除することができる。
As shown in FIG. 1, in this semiconductor laser, an optical lens 31 is disposed on an optical path between the SOA 10 and the optical fiber 20. By condensing the light reciprocating between the SOA 10 and the optical fiber 20 by the optical lens 31, it is possible to improve the optical coupling efficiency and efficiently generate the laser light. Further, by forming the end face 25 of the optical fiber 20 at an angle, the end face reflection of the end face of the optical fiber can be eliminated.

【0027】図5は、本発明に係る外部共振器型半導体
レーザの更に他の実施態様を示す図である。同図におい
ても他の図面と共通の構成要素には共通の参照番号を付
して重複する説明は省略している。
FIG. 5 is a view showing still another embodiment of the external cavity type semiconductor laser according to the present invention. Also in this figure, the same components as those in the other drawings are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

【0028】同図に示すように、この半導体レーザで
は、SOA10と光ファイバ20との間の光路上に複数の光
学レンズ31、32が配されている。この光学レンズ31、32
でSOA10と光ファイバ20との間で往復する光を集光さ
せることにより、効率良くレーザを発生させることが可
能になる。また、図4に示した実施例と同様に、光ファ
イバ20の端面25を斜めに形成して端面反射を排除するこ
とができる。また、複数のレンズを用いることによりト
レランスが緩やかになり、光ファイバの軸ずれ等による
光結合効率の劣化を低減できる。
As shown in FIG. 1, in this semiconductor laser, a plurality of optical lenses 31 and 32 are arranged on an optical path between the SOA 10 and the optical fiber 20. These optical lenses 31, 32
By condensing the light reciprocating between the SOA 10 and the optical fiber 20, the laser can be generated efficiently. Further, similarly to the embodiment shown in FIG. 4, the end face 25 of the optical fiber 20 can be formed obliquely to eliminate end face reflection. Further, by using a plurality of lenses, the tolerance becomes gentle, and the deterioration of the optical coupling efficiency due to the misalignment of the optical fiber can be reduced.

【0029】図1に示した構造を有し、図2(c) に示す
ようなでガウシアンカーブを描く屈折率分布を有するフ
ァイバグレーティングを備えた本発明に係る外部共振器
型半導体レーザを作製した。InP基板上にInGaAsP薄膜
を成長させて、4元結晶からなる量子井戸構造の活性層
を有する発光素子を形成した。この発光素子の前端面に
誘電体多層膜としてSiN薄膜を被着させ、光ファイバ側
の反射率が1%以下になるようにした。光ファイバとし
ては、コア径10μmのシングルモードファイバを用い、
その入射端近傍のコアに、長さ6mmにわたってファイバ
グレーティングを形成した。ファイバグレーティングに
おける最大屈折率差は10-4から0までの範囲で、ファイ
バグレーティング全体の平均屈折率が1.46となるように
した。また、比較のために、最大屈折率差10-4で単調な
屈折率分布を有するファイバグレーティングを別途作製
した。
An external cavity semiconductor laser according to the present invention having the structure shown in FIG. 1 and having a fiber grating having a refractive index distribution that draws a Gaussian curve as shown in FIG. 2C was fabricated. . An InGaAsP thin film was grown on an InP substrate to form a light emitting device having an active layer of a quantum well structure composed of quaternary crystals. An SiN thin film was applied as a dielectric multilayer film to the front end face of the light emitting device so that the reflectance on the optical fiber side was 1% or less. As the optical fiber, a single mode fiber with a core diameter of 10 μm is used.
A fiber grating was formed on the core near the incident end over a length of 6 mm. The maximum refractive index difference in the fiber grating was in the range of 10 -4 to 0, and the average refractive index of the entire fiber grating was set to 1.46. For comparison, a fiber grating having a monotonic refractive index distribution with a maximum refractive index difference of 10 −4 was separately manufactured.

【0030】上記のファイバグレーティングを用いて外
部共振器型半導体レーザを組立て、それぞれの出力を温
度を変化させながらスペクトルメータで測定した。測定
結果を図6に示す。同図に示す通り、従来の構成の外部
共振器型半導体レーザでは、ある温度を境にして発信波
長が変化する。これに対して、本発明に係る外部共振器
型半導体レーザは、大幅な温度の変化に対しても発信波
長が安定していることが確認された。
An external cavity type semiconductor laser was assembled using the above fiber grating, and the output of each was measured with a spectrum meter while changing the temperature. FIG. 6 shows the measurement results. As shown in the figure, in the external cavity type semiconductor laser having the conventional configuration, the transmission wavelength changes at a certain temperature. On the other hand, it has been confirmed that the external resonator type semiconductor laser according to the present invention has a stable transmission wavelength even with a large change in temperature.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る外部共振器型半導体レーザは、そのFGの独特の屈折
率分布により、環境温度の変化等に対しても電流/光特
性が安定しており、更に、低反射率のFGを用いた場合
でも発振波長が安定している。従って、光通信通信にお
ける波長多重システムやファイバ増幅器の励起に用いる
発振波長の安定した光源として好適に利用できる。
As described above in detail, the external cavity type semiconductor laser according to the present invention has a stable current / optical characteristic even when the ambient temperature changes due to the unique refractive index distribution of the FG. Further, the oscillation wavelength is stable even when FG having a low reflectance is used. Therefore, it can be suitably used as a light source having a stable oscillation wavelength used for exciting a wavelength multiplexing system or a fiber amplifier in optical communication.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る外部共振器型半導体レーザの構成
例を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of an external cavity semiconductor laser according to the present invention.

【図2】本発明に係る外部共振器型半導体レーザにおけ
る、FGの屈折率分布と発振波長とを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a refractive index distribution of FG and an oscillation wavelength in the external cavity semiconductor laser according to the present invention.

【図3】本発明に係る外部共振器型半導体レーザにおけ
る、ミラーロスと発振の位相条件との関係を、特に位相
条件が変化した場合について説明するグラフである。
FIG. 3 is a graph illustrating the relationship between the mirror loss and the phase condition of oscillation in the external cavity semiconductor laser according to the present invention, particularly when the phase condition changes.

【図4】本発明に係る外部共振器型半導体レーザの他の
構成例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing another configuration example of the external cavity semiconductor laser according to the present invention.

【図5】本発明に係る外部共振器型半導体レーザの他の
構成例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing another configuration example of the external cavity semiconductor laser according to the present invention.

【図6】実際に作製した外部共振器型半導体レーザの特
性を測定した結果を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing the results of measuring the characteristics of an actually manufactured external cavity semiconductor laser.

【図7】従来の外部共振器型半導体レーザの典型的な構
成を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a typical configuration of a conventional external cavity semiconductor laser.

【図8】ミラーロスと発振の位相条件との関係を、特に
位相条件が変化した場合について説明するグラフであ
る。
FIG. 8 is a graph illustrating a relationship between a mirror loss and a phase condition of oscillation, particularly when the phase condition changes.

【図9】従来の外部共振器型半導体レーザのFG反射率
の変化と発振波長の関係を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing a relationship between a change in FG reflectivity and an oscillation wavelength of a conventional external cavity semiconductor laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・SOA、 11・・・活性層、 12、13・・・電
極、14・・・回折格子(分布帰還型反射器)、15、17、
18・・・回折格子( 分布反射型反射器) 、16a、16b・
・・誘電体多層膜、 20・・・光ファイバ層、 21・・
・コア、22・・・クラッド、 23・・・ファイバグレー
ティング
10 ... SOA, 11 ... Active layer, 12, 13 ... Electrode, 14 ... Diffraction grating (distributed feedback type reflector), 15, 17,
18 ・ ・ ・ Diffraction grating (distributed reflection type reflector), 16a, 16b ・
..Dielectric multilayer film, 20 ... optical fiber layer, 21
・ Core, 22 ・ ・ ・ Clad, 23 ・ ・ ・ Fiber grating

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光を発生し且つ増幅する半導体光増幅器
と、該半導体光増幅器の出力光を反射する1対の反射器
により形成された共振器とを備えた半導体レーザであっ
て、 該共振器を構成する反射器の少なくとも一方が、周期的
な屈折率分布を有するファイバグレーティングであり、
且つ、該ファイバグレーティングの屈折率分布が、伝播
光の進行方向に沿って包絡線を描くように形成されてい
ることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。
1. A semiconductor laser comprising: a semiconductor optical amplifier for generating and amplifying light; and a resonator formed by a pair of reflectors for reflecting output light of the semiconductor optical amplifier. At least one of the reflectors constituting the device is a fiber grating having a periodic refractive index distribution,
An external resonator type semiconductor laser characterized in that the refractive index distribution of the fiber grating is formed so as to draw an envelope along the traveling direction of propagating light.
【請求項2】請求項1に記載された外部共振器型半導体
レーザにおいて、前記ファイバグレーティングにおける
屈折率分布が、該ファイバグレーティングの任意の区間
において屈折率の平均が一定になるように形成されてい
ることを特徴とする外部共振器型半導体レーザ。
2. The external cavity semiconductor laser according to claim 1, wherein a refractive index distribution in said fiber grating is formed such that an average of the refractive index is constant in an arbitrary section of said fiber grating. An external cavity type semiconductor laser characterized in that:
【請求項3】請求項1または請求項2に記載された外部
共振器型半導体レーザにおいて、前記半導体光増幅器と
前記ファイバグレーティングを含む光ファイバとの間の
光路上に、少なくとも1個の光学レンズを備えることを
特徴とする外部共振器型半導体レーザ。
3. An external cavity type semiconductor laser according to claim 1, wherein at least one optical lens is provided on an optical path between said semiconductor optical amplifier and said optical fiber including said fiber grating. An external cavity type semiconductor laser comprising:
【請求項4】請求項3に記載された外部共振器型半導体
レーザにおいて、前記光学レンズが凸面状に成形された
光ファイバの端面であることを特徴とする外部共振器型
半導体レーザ。
4. The external cavity semiconductor laser according to claim 3, wherein said optical lens is an end face of an optical fiber formed into a convex shape.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1133036A2 (en) * 2000-03-10 2001-09-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Semiconductor laser module
WO2003105296A1 (en) * 2002-06-06 2003-12-18 Alfa Exx Ab Resonator
US6707072B2 (en) 2001-02-28 2004-03-16 The Furukawa Electric Co., Ltd. Semiconductor laser module
US6965627B2 (en) 2001-05-16 2005-11-15 Nec Corporation Semiconductor laser module
TWI497853B (en) * 2012-05-04 2015-08-21 Univ Nat Taipei Technology A fiber grating based external cavity laser system with wavelength fine tuning mechanism

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1133036A2 (en) * 2000-03-10 2001-09-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Semiconductor laser module
EP1133036A3 (en) * 2000-03-10 2003-12-03 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Semiconductor laser module
US6707072B2 (en) 2001-02-28 2004-03-16 The Furukawa Electric Co., Ltd. Semiconductor laser module
US6965627B2 (en) 2001-05-16 2005-11-15 Nec Corporation Semiconductor laser module
WO2003105296A1 (en) * 2002-06-06 2003-12-18 Alfa Exx Ab Resonator
CN100355163C (en) * 2002-06-06 2007-12-12 阿尔法艾斯股份公司 Resonator having a dielectric layer
TWI497853B (en) * 2012-05-04 2015-08-21 Univ Nat Taipei Technology A fiber grating based external cavity laser system with wavelength fine tuning mechanism

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