JPH1116183A - Galvanomirror device - Google Patents

Galvanomirror device

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JPH1116183A
JPH1116183A JP17206197A JP17206197A JPH1116183A JP H1116183 A JPH1116183 A JP H1116183A JP 17206197 A JP17206197 A JP 17206197A JP 17206197 A JP17206197 A JP 17206197A JP H1116183 A JPH1116183 A JP H1116183A
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shaft
leaf spring
mirror
shaft portion
deflecting mirror
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JP17206197A
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Toshio Nakagishi
利夫 仲岸
Takashi Takishima
俊 滝島
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Pentax Corp
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a galvanomirror device capable of maintaining the reflecting direction of a luminous flux with high accuracy by preventing an axial part from being tilted in the case of supporting a deflection mirror by a pivotaly supporting method. SOLUTION: A mirror holder 10 having a deflection mirror 11 is freely rotatably supported to a frame 17 of a device main body by a pivotaly supporting method. Namely, bearing parts 12, 13 having conical recessed surfaces 12A, 13A are fixed to the upper and lower parts of the mirror holder 10, the adjacent tips of shaft parts 140, 15 having taper faces are abutted on the adjacent tops of the conical recessed surfaces 12A, 13A and the mirror holder 10 is freely rotatably supported. A circular projected part 140C is formed on the upper surface of the shaft part 140 and the circular projected part 140C is engaged with a through hole formed in a leaf spring 22. Consequently, the shaft part 140 is coupled to the leaf spring 22.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学式情報記録再
生装置等において光偏向器として用いられるガルバノミ
ラー装置に関する。
The present invention relates to a galvanomirror device used as an optical deflector in an optical information recording / reproducing apparatus or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のガルバノミラー装置としては、例
えば特開昭64−2015号公報に記載されたものが知
られている。このガルバノミラー装置には、図10に示
すように、偏向ミラー1と、偏向ミラー1を回動自在に
支持する支持部材2とが設けられている。支持部材2は
基台3に固定され、また基台3上にはヨーク部材4が固
定されている。図には示してないが、ヨーク部材4には
磁石が取り付けられており、このヨーク部材4は、偏向
ミラー1の下部に設けられた第1のコイル5及び第2の
コイル6と共に巡閉ループの磁気回路を構成するように
なっている。
2. Description of the Related Art As a conventional galvanometer mirror device, for example, one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-2015 is known. As shown in FIG. 10, the galvanomirror device includes a deflecting mirror 1 and a support member 2 that rotatably supports the deflecting mirror 1. The support member 2 is fixed to a base 3, and a yoke member 4 is fixed on the base 3. Although not shown, a magnet is attached to the yoke member 4, and the yoke member 4 forms a closed loop with a first coil 5 and a second coil 6 provided below the deflection mirror 1. It constitutes a magnetic circuit.

【0003】支持部材2は板状のバネで形成され、偏向
ミラー1の回動軸上に配置されるのが一般的である。そ
して、第1のコイル5及び第2のコイル6に電流を流す
ことにより、偏向ミラー1は支持部材2の中心軸2A回
りに矢印Aのように回動し、偏向ミラー1に照射される
光束の向きを偏向させることができる。
The support member 2 is generally formed of a plate-like spring, and is generally arranged on the rotation axis of the deflecting mirror 1. Then, by passing a current through the first coil 5 and the second coil 6, the deflecting mirror 1 rotates around the central axis 2A of the support member 2 as shown by an arrow A, and the luminous flux applied to the deflecting mirror 1 Can be deflected.

【0004】しかし、このようなガルバノミラー装置で
は、前述したように支持部材2が板状のバネで形成され
ているために、さらに良好な機械的周波数特性を得よう
とすると、どうしても支持部材2の軸方向長さが長くな
ってしまい、装置全体を小型化する上で大きな障害とな
っていた。
However, in such a galvanomirror device, since the support member 2 is formed of a plate-shaped spring as described above, if the mechanical frequency characteristics are to be further improved, the support member 2 is inevitably used. Becomes longer in the axial direction, which is a major obstacle in reducing the size of the entire apparatus.

【0005】そこで、図1及び図2に示すような構成の
ガルバノミラー装置が考えられている。図1はガルバノ
ミラー装置全体の外観斜視図、図2はその内部構成の分
解斜視図である。なお、図2では装置本体の枠体は省略
されている。また図3は、ミラーホルダーの中心線を含
み、かつ偏向ミラーに垂直な面でのガルバノミラー装置
の断面図である。
Therefore, a galvanomirror device having a configuration as shown in FIGS. 1 and 2 has been proposed. FIG. 1 is an external perspective view of the entire galvano mirror device, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the internal configuration. In FIG. 2, the frame of the apparatus main body is omitted. FIG. 3 is a cross-sectional view of the galvano mirror device in a plane including the center line of the mirror holder and perpendicular to the deflection mirror.

【0006】このガルバノミラー装置は、偏向ミラー1
1を有するミラーホルダー10をピボット支持方式で回
動自在に支持するように構成されている。すなわち、ミ
ラーホルダー10の上部及び下部には軸受部12,13
が設けられており、これらの軸受部12,13は円錐状
凹面12A,13Aを有している。そして、円錐状凹面
12A,13Aの頂部付近に先端近傍が当接する軸部1
4,15が設けられている。軸部14はブッシュ16に
形成された孔16Aを挿通して設けられ、孔16A内を
上下方向に移動自在であり、軸部15は装置本体の枠体
17に固定されている。なお、図2において、18,1
9は扁平コイル、20,21は扁平コイル18,19に
対向して配置された永久磁石である。
The galvanomirror device comprises a deflecting mirror 1
1 is configured to rotatably support a mirror holder 10 having a pivot support system 1. That is, the upper and lower portions of the mirror holder 10 are provided with the bearing portions 12 and 13.
Are provided, and these bearing portions 12 and 13 have conical concave surfaces 12A and 13A. Then, the shaft portion 1 in which the vicinity of the tip abuts near the top of the conical concave surfaces 12A and 13A.
4, 15 are provided. The shaft portion 14 is provided so as to pass through a hole 16A formed in the bush 16, is movable vertically in the hole 16A, and the shaft portion 15 is fixed to a frame 17 of the apparatus main body. In FIG. 2, 18, 1
Reference numeral 9 denotes a flat coil, and reference numerals 20 and 21 denote permanent magnets arranged to face the flat coils 18 and 19.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ピボット支
持方式のガルバノミラー装置では、ミラーホルダー10
の回動を円滑にするために、図3に示したように、軸部
14に対して矢印の方向に予圧が加えられている。この
予圧は板バネ22によって加えられている。
By the way, in a galvanomirror device of a pivot support type, a mirror holder 10 is provided.
As shown in FIG. 3, a preload is applied to the shaft portion 14 in the direction of the arrow in order to make the rotation of the shaft smooth. This preload is applied by a leaf spring 22.

【0008】しかしながら、軸部14に予圧が加えられ
ていると、軸部14の姿勢が正常に保持できない欠点が
ある。すなわち、軸部14は、ブッシュ16の孔16A
内をスムーズに移動できるよう、通常、その外径が孔1
6Aの内径よりも僅かに小さく形成され、孔16Aと軸
部14との間には隙間が生じている。また、軸部14の
上面は球面状に形成されている。
However, if a preload is applied to the shaft 14, there is a disadvantage that the posture of the shaft 14 cannot be normally maintained. That is, the shaft portion 14 is
Usually, the outside diameter of the hole 1 is
6A is formed slightly smaller than the inner diameter, and a gap is formed between the hole 16A and the shaft portion 14. The upper surface of the shaft portion 14 is formed in a spherical shape.

【0009】このような構成であると、板バネ22から
予圧を加えられたときに、軸部14が図4のように傾い
てしまう。傾く方向が一定であればあまり問題はない
が、図4で実線で示すように左に傾いたり、もしくは二
点鎖線で示すように右に傾いたりして、傾く方向は一定
ではない。そして、軸部14の傾く方向が一定でない
と、偏向ミラー11の姿勢も一定ではなくなり、偏向ミ
ラー11に照射される光束の向きを正確な方向に偏向さ
せることができなくなる。
With such a configuration, when a preload is applied from the leaf spring 22, the shaft portion 14 is inclined as shown in FIG. If the tilt direction is constant, there is not much problem. However, the tilt direction is not constant, such as tilting to the left as shown by the solid line in FIG. 4 or tilting to the right as shown by the two-dot chain line. If the direction of inclination of the shaft portion 14 is not constant, the attitude of the deflecting mirror 11 is not constant, and the direction of the light beam irradiated on the deflecting mirror 11 cannot be deflected in an accurate direction.

【0010】本発明の目的は、偏向ミラーをピボット支
持方式で支持する場合に、軸部が傾くのを防ぐことによ
り、光束の反射方向を高精度に維持することのできるガ
ルバノミラー装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a galvanomirror device which can maintain the direction of reflection of a light beam with high precision by preventing a shaft portion from tilting when a deflection mirror is supported by a pivot support method. It is in.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の発明は、偏向ミラーと、該偏向ミ
ラーの左右両端部に設けられたコイルと、該コイルに対
向して配置された磁石と、前記偏向ミラーの上下両端部
に設けられ偏向ミラーを回動自在に支持する支持部とを
備え、前記コイルに電流を流すことにより前記偏向ミラ
ーを回動させ、当該偏向ミラーに照射される光束の向き
を偏向させるガルバノミラー装置において、前記支持部
は、円錐状凹面を有する一対の軸受部と、先端の球面状
部分が前記円錐状凹面の頂部付近に当接する一対の軸部
とで構成され、前記一対の軸受部は前記偏向ミラーの上
下両端部にそれぞれ設けられ、前記一対の軸部のうち一
方の軸部はガルバノミラー装置本体の枠体に固定され、
他方の軸部はその軸方向に移動自在に前記枠体に設けら
れ、かつ前記他方の軸部は、該軸部を前記軸受部側に付
勢する板バネに結合されていることを特徴としている。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a deflecting mirror, coils provided on both right and left ends of the deflecting mirror, A magnet disposed on the upper and lower ends of the deflecting mirror, the supporter rotatably supporting the deflecting mirror, and rotating the deflecting mirror by passing an electric current through the coil; In the galvanomirror device for deflecting the direction of the light beam irradiated to the mirror, the support portion includes a pair of bearing portions having a conical concave surface, and a pair of shafts having a spherical portion at the tip contacting near the top of the conical concave surface. And the pair of bearings are provided at both upper and lower ends of the deflecting mirror, and one of the pair of shafts is fixed to a frame of the galvanomirror device main body,
The other shaft portion is provided on the frame so as to be movable in the axial direction, and the other shaft portion is coupled to a leaf spring that biases the shaft portion toward the bearing portion. I have.

【0012】上記構成によれば、軸部が板バネに結合さ
れているので、軸部の姿勢は常に一定となり、板バネか
ら予圧を加えられても軸部が傾くことはない。その結
果、偏向ミラーの姿勢を正常な状態に維持することが可
能となる。
According to the above configuration, since the shaft is connected to the leaf spring, the posture of the shaft is always constant, and the shaft does not tilt even when a preload is applied from the leaf spring. As a result, it is possible to maintain the posture of the deflecting mirror in a normal state.

【0013】軸部を板バネに結合する方法としては、請
求項2のように機械的な結合手段を用いたり、もしくは
請求項3のように接着剤を用いたりすることができる。
また板バネは、請求項4のように1枚または複数枚付勢
方向に並行に設けることができる。複数枚並行に設けれ
ば、1枚の場合よりも板バネの剛性を高めることができ
る。
As a method for connecting the shaft portion to the leaf spring, a mechanical connecting means as described in claim 2 or an adhesive as described in claim 3 can be used.
Further, one or a plurality of leaf springs can be provided in parallel with the urging direction. If a plurality of the leaf springs are provided in parallel, the rigidity of the leaf spring can be increased as compared with the case of a single leaf spring.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。 (実施形態1)図5は本発明に係るガルバノミラー装置
の断面を示しており、前述した図3に相当する図であ
る。図5において、ミラーホルダー10の上部及び下部
には軸受部12,13が固定されている。軸受部12,
13はそれぞれの中心軸が同一直線上にくるよう配置さ
れている。
Embodiments of the present invention will be described below. (Embodiment 1) FIG. 5 shows a cross section of a galvanomirror device according to the present invention, and is a view corresponding to FIG. 3 described above. In FIG. 5, bearing portions 12 and 13 are fixed to the upper and lower portions of the mirror holder 10, respectively. Bearing part 12,
Reference numerals 13 are arranged such that their central axes are on the same straight line.

【0015】軸受部12は、図6に拡大して示すように
円錐状凹面12Aを有し、その円錐状凹面12Aの頂部
付近に軸部140の先端近傍が当接している。また、軸
受部13は円錐状凹面13Aを有し、その円錐状凹面1
3Aの頂部付近に軸部15の先端近傍が当接している。
なお、軸部15は図3で示したものと同じものである。
The bearing portion 12 has a conical concave surface 12A as shown in an enlarged view in FIG. 6, and the vicinity of the top of the conical concave surface 12A is in contact with the vicinity of the tip of the shaft portion 140. The bearing 13 has a conical concave surface 13A, and the conical concave surface 1A is provided.
The vicinity of the tip of the shaft 15 is in contact with the vicinity of the top of 3A.
The shaft 15 is the same as that shown in FIG.

【0016】軸部140にはテーパ面140Aが形成さ
れ、そのテーパ面140Aの先端に球面状部140Bが
設けられている。また、軸部140の上面は平面状に形
成され、その中央部に円形凸部140Cが設けられてい
る。拡大図としては示してないが、軸部15もテーパ面
が形成され、そのテーパ面の先端に球面状部が設けられ
ている。軸部15は装置本体の枠体17の下部に固定さ
れている。
The shaft 140 has a tapered surface 140A, and a spherical portion 140B is provided at the tip of the tapered surface 140A. Further, the upper surface of the shaft portion 140 is formed in a planar shape, and a circular convex portion 140C is provided at a central portion thereof. Although not shown in an enlarged view, the shaft portion 15 also has a tapered surface, and a spherical portion is provided at the tip of the tapered surface. The shaft 15 is fixed to a lower portion of the frame 17 of the apparatus main body.

【0017】枠体17には、その上部に孔17Aが形成
され、この孔17Aにブッシュ16が嵌合されている。
ブッシュ16にはその中央部に孔16Aが形成され、そ
の孔16A内に軸部140が挿通されている。孔16A
の内径は軸部140の外径よりも僅かに大きく形成さ
れ、孔16Aと軸部140との間には隙間が生じてい
る。これにより、軸部140はその軸方向に沿って孔1
6A内を移動自在となっている。
A hole 17A is formed in the upper part of the frame 17, and a bush 16 is fitted into the hole 17A.
A hole 16A is formed in the center of the bush 16, and a shaft 140 is inserted into the hole 16A. Hole 16A
Is formed slightly larger than the outer diameter of the shaft 140, and a gap is formed between the hole 16A and the shaft 140. As a result, the shaft 140 moves along the axial direction of the hole 1.
It is movable inside 6A.

【0018】また、枠体17の上部には板バネ22が設
けられている。この板バネ22の一端はネジ23によっ
て枠体17に固定され、他端は軸部140の上面に結合
されている。板バネ22の平面図を図7に示す。板バネ
22はその両端部に貫通孔22A,22Bを有してお
り、貫通孔22Aには軸部140の円形凸部140Cが
嵌合し、貫通孔22Bには前記ネジ23が挿通される。
そして、貫通孔22Aに軸部140の円形凸部140C
が嵌合することによって、軸部140と板バネ22とが
結合されている。
A leaf spring 22 is provided above the frame 17. One end of the leaf spring 22 is fixed to the frame 17 by a screw 23, and the other end is connected to the upper surface of the shaft 140. FIG. 7 shows a plan view of the leaf spring 22. The leaf spring 22 has through holes 22A and 22B at both ends thereof, the circular convex portion 140C of the shaft 140 is fitted into the through hole 22A, and the screw 23 is inserted into the through hole 22B.
The circular convex portion 140C of the shaft portion 140 is formed in the through hole 22A.
The shaft 140 and the leaf spring 22 are connected by fitting.

【0019】軸部140,15はそれぞれの中心軸が同
一直線上にくるよう配置されており、軸部140の先端
が軸受部12の円錐状凹面12Aに、また軸部15の先
端が軸受部13の円錐状凹面13Aにそれぞれ当接する
とにより、ミラーホルダー10は枠体17に回動自在に
支持されている。このとき、軸部140、軸受部12、
軸受部13、軸部15は略一直線上に配置される。
The shafts 140 and 15 are arranged so that their respective central axes are on the same straight line. The tip of the shaft 140 is on the conical concave surface 12A of the bearing 12, and the tip of the shaft 15 is on the bearing. The mirror holder 10 is rotatably supported by the frame body 17 by abutting on the 13 conical concave surfaces 13A. At this time, the shaft 140, the bearing 12,
The bearing portion 13 and the shaft portion 15 are arranged substantially on a straight line.

【0020】上記構成において、図2に示した扁平コイ
ル18,19に電流を流すと、永久磁石20,21との
間の電磁誘導の作用により、ミラーホルダー10が回動
する。これによって、偏向ミラー11に照射される光束
の向きを偏向させることができる。
In the above configuration, when a current flows through the flat coils 18 and 19 shown in FIG. 2, the mirror holder 10 is rotated by the action of electromagnetic induction between the permanent magnets 20 and 21. Thereby, the direction of the light beam irradiated on the deflection mirror 11 can be deflected.

【0021】また、上記構成のガルバノミラー装置で
は、軸部140が板バネ22に結合されているので、軸
部140の姿勢は常に一定となる。すなわち、板バネ2
2の位置(つまり予圧力)の変化によって軸部140は
僅かに傾くが、軸部140とブッシュ16との隙間によ
って軸部140が好き勝手な方向に傾くことが規制され
るために、軸部140の姿勢は常に一定となる。そのた
め、ミラーホルダー10の姿勢を正常な状態に維持する
ことが可能となり、偏向ミラー11に照射される光束の
向きを常に正確な方向に偏向させることができる。
Further, in the galvanomirror device having the above configuration, the shaft 140 is coupled to the leaf spring 22, so that the posture of the shaft 140 is always constant. That is, the leaf spring 2
The shaft 140 is slightly tilted by the change of the position 2 (that is, the preload), but the gap between the shaft 140 and the bush 16 restricts the shaft 140 from being tilted in a desired direction. The posture of 140 is always constant. Therefore, the posture of the mirror holder 10 can be maintained in a normal state, and the direction of the light beam applied to the deflecting mirror 11 can always be deflected in an accurate direction.

【0022】(実施形態2)図8は実施形態2によるガ
ルバノミラー装置の断面図である。本実施形態では、2
枚の板バネ22′,22″が設けられている。板バネ2
2′は図7に示したものと同じであるが、板バネ22″
は少し異なっている。すなわち、板バネ22″には図7
での貫通孔22Aに相当する孔は形成されていない。
(Embodiment 2) FIG. 8 is a sectional view of a galvano mirror device according to Embodiment 2. In the present embodiment, 2
The leaf springs 22 ′ and 22 ″ are provided.
2 'is the same as that shown in FIG.
Is a little different. That is, FIG.
No hole corresponding to the through hole 22A is formed.

【0023】板バネ22′,22″の間には、軸部14
0側においてスペーサ24が、ネジ23側においてスペ
ーサ25がそれぞれ設けられている。スペーサ24,2
5の高さは略同じに設定されており、スペーサ24,2
5を挟持した板バネ22′,22″は所定の間隔で平行
に配置される。また、スペーサ24,25は接着剤等に
より板バネ22′,22″に固着されている。そして、
上記の板バネ22′,22″を軸部140に結合するに
は、板バネ22′の貫通孔(図7の22Aに相当する貫
通孔)に、軸部140の円形凸部140Cを嵌合させ
る。
A shaft portion 14 is provided between the leaf springs 22 'and 22 ".
A spacer 24 is provided on the 0 side, and a spacer 25 is provided on the screw 23 side. Spacers 24, 2
5 are set to be approximately the same, and the spacers 24, 2
The leaf springs 22 ', 22 "sandwiching 5 are arranged in parallel at a predetermined interval. The spacers 24, 25 are fixed to the leaf springs 22', 22" by an adhesive or the like. And
In order to couple the leaf springs 22 'and 22 "to the shaft portion 140, the circular convex portion 140C of the shaft portion 140 is fitted into a through hole (a through hole corresponding to 22A in FIG. 7) of the leaf spring 22'. Let it.

【0024】本実施形態によれば、軸部140に2枚の
板バネ22′,22″が結合されているので、実施形態
1の場合と同様、軸部140の姿勢は常に一定となる。
According to the present embodiment, since the two leaf springs 22 'and 22 "are coupled to the shaft 140, the posture of the shaft 140 is always constant, as in the first embodiment.

【0025】また本実施形態によれば、軸部140に2
枚の板バネ22′,22″を付勢方向に設けたので、板
バネとしての剛性を1枚の板バネの場合よりも高めるこ
とができる。なお、板バネの枚数は3枚以上であっても
良い。 (実施形態3)
Further, according to the present embodiment, two
Since the leaf springs 22 'and 22 "are provided in the urging direction, the rigidity of the leaf spring can be increased as compared with the case of one leaf spring. The number of leaf springs is three or more. (Embodiment 3)

【0026】図9は実施形態3によるガルバノミラー装
置の断面図である。本実施形態では、軸部14と板バネ
22とが接着剤26によって結合されている。この軸部
14は図3に示したものと同じでもので、上面が球面状
に形成されている。また、板バネ22も図3に示したも
のと同じでものである。板バネ22は、図において、軸
部14と当接させたときに左上がりとなるよう枠体17
に取り付けられ、板バネ22と軸部14上面との間に僅
かな隙間が確保されている。そして、この隙間内に接着
剤26が注入されている。また、板バネ22に図7のも
のを用いることもできる。この場合、板バネ22に形成
された貫通孔22Aは接着剤26を注入するための注入
孔として利用できる。
FIG. 9 is a sectional view of a galvanomirror device according to the third embodiment. In the present embodiment, the shaft 14 and the leaf spring 22 are joined by the adhesive 26. Since this shaft portion 14 is the same as that shown in FIG. 3, the upper surface is formed in a spherical shape. The leaf spring 22 is also the same as that shown in FIG. In the figure, the leaf spring 22 is set so as to rise leftward when it comes into contact with the shaft 14.
And a slight gap is secured between the leaf spring 22 and the upper surface of the shaft portion 14. The adhesive 26 is injected into this gap. Further, the leaf spring 22 shown in FIG. 7 can be used. In this case, the through-hole 22A formed in the leaf spring 22 can be used as an injection hole for injecting the adhesive 26.

【0027】本実施形態によれば、軸部14に板バネ2
2が結合されているので、実施形態1及び2の場合と同
様、軸部14の姿勢は常に一定となる。
According to the present embodiment, the leaf spring 2 is
2 are connected, the attitude of the shaft portion 14 is always constant, as in the first and second embodiments.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
軸部が板バネに結合されているので、軸部の姿勢を常に
一定に保持することが可能となる。その結果、偏向ミラ
ーの姿勢は正常な状態に保持され、光束の反射方向を高
精度に維持することができる。
As described above, according to the present invention,
Since the shaft is connected to the leaf spring, the posture of the shaft can be kept constant. As a result, the orientation of the deflecting mirror is maintained in a normal state, and the reflection direction of the light beam can be maintained with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ピボット支持方式のガルバノミラー装置の外観
斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a galvanomirror device of a pivot support type.

【図2】図1のガルバノミラー装置の内部構成を分解し
た斜視図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view of the internal configuration of the galvanomirror device of FIG.

【図3】図1のガルバノミラー装置の要部断面図であ
る。
FIG. 3 is a sectional view of a main part of the galvanomirror device of FIG. 1;

【図4】軸部が予圧によって傾くことを説明した図であ
る。
FIG. 4 is a diagram illustrating that a shaft portion is inclined by a preload.

【図5】本発明の実施形態1によるガルバノミラー装置
の要部断面図である。
FIG. 5 is a sectional view of a main part of the galvano mirror device according to the first embodiment of the present invention.

【図6】軸部と軸受部の拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view of a shaft portion and a bearing portion.

【図7】板バネの拡大平面図である。FIG. 7 is an enlarged plan view of a leaf spring.

【図8】本発明の実施形態2によるガルバノミラー装置
の要部断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of a main part of a galvanomirror device according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施形態3によるガルバノミラー装置
の要部断面図である。
FIG. 9 is a sectional view of a main part of a galvanomirror device according to a third embodiment of the present invention.

【図10】従来のガルバノミラー装置の外観斜視図であ
る。
FIG. 10 is an external perspective view of a conventional galvanometer mirror device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ミラーホルダー 11 偏向ミラー 12,13 軸受部 12A,13A 円錐状凹面 14,15,140 軸部 16 ブッシュ 17 枠体 18,19 扁平コイル 20,21 永久磁石 22,22′,22″ 板バネ 24,25 スペーサ 26 接着剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Mirror holder 11 Deflection mirror 12, 13 Bearing part 12A, 13A Conical concave surface 14, 15, 140 Shaft part 16 Bush 17 Frame body 18, 19 Flat coil 20, 21 Permanent magnet 22, 22 ', 22 "Leaf spring 24, 25 Spacer 26 Adhesive

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 偏向ミラーと、該偏向ミラーの左右両端
部に設けられたコイルと、該コイルに対向して配置され
た磁石と、前記偏向ミラーの上下両端部に設けられ偏向
ミラーを回動自在に支持する支持部とを備え、前記コイ
ルに電流を流すことにより前記偏向ミラーを回動させ、
当該偏向ミラーに照射される光束の向きを偏向させるガ
ルバノミラー装置において、 前記支持部は、円錐状凹面を有する一対の軸受部と、先
端の球面状部分が前記円錐状凹面の頂部付近に当接する
一対の軸部とで構成され、 前記一対の軸受部は前記偏向ミラーの上下両端部にそれ
ぞれ設けられ、 前記一対の軸部のうち一方の軸部はガルバノミラー装置
本体の枠体に固定され、他方の軸部はその軸方向に移動
自在に前記枠体に設けられ、かつ前記他方の軸部は、該
軸部を前記軸受部側に付勢する板バネに結合されている
ことを特徴とするガルバノミラー装置。
1. A deflecting mirror, coils provided at both left and right ends of the deflecting mirror, magnets arranged opposite to the coil, and a deflecting mirror provided at both upper and lower ends of the deflecting mirror are rotated. A supporting portion for freely supporting, and turning the deflecting mirror by flowing a current through the coil,
In the galvanomirror device for deflecting the direction of a light beam applied to the deflecting mirror, the support portion has a pair of bearing portions having a conical concave surface, and a spherical portion at the tip abuts near the top of the conical concave surface. A pair of shafts, the pair of bearings are provided at both upper and lower ends of the deflecting mirror, and one of the pair of shafts is fixed to a frame of the galvanomirror device main body; The other shaft portion is provided on the frame so as to be movable in the axial direction, and the other shaft portion is coupled to a leaf spring that biases the shaft portion toward the bearing portion. Galvanometer mirror device.
【請求項2】 請求項1に記載のガルバノミラー装置に
おいて、 前記他方の軸部と前記板バネは機械的な結合手段で結合
されていることを特徴とするガルバノミラー装置。
2. The galvanomirror device according to claim 1, wherein said other shaft portion and said leaf spring are coupled by mechanical coupling means.
【請求項3】 請求項1に記載のガルバノミラー装置に
おいて、 前記他方の軸部と前記板バネは接着剤で結合されている
ことを特徴とするガルバノミラー装置。
3. The galvanomirror device according to claim 1, wherein the other shaft portion and the leaf spring are connected by an adhesive.
【請求項4】 請求項1,2又は3に記載のガルバノミ
ラー装置において、 前記板バネは1枚または複数枚付勢方向に並行に設けら
れていることを特徴とするガルバノミラー装置。
4. The galvanomirror device according to claim 1, wherein one or a plurality of said leaf springs are provided in parallel with a biasing direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5198561B2 (en) * 2008-05-08 2013-05-15 日本発條株式会社 Optical scanning actuator and method of manufacturing optical scanning actuator

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