JPH11160511A - Device and method for generating long-cycle fiber grating - Google Patents

Device and method for generating long-cycle fiber grating

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JPH11160511A
JPH11160511A JP9321656A JP32165697A JPH11160511A JP H11160511 A JPH11160511 A JP H11160511A JP 9321656 A JP9321656 A JP 9321656A JP 32165697 A JP32165697 A JP 32165697A JP H11160511 A JPH11160511 A JP H11160511A
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JP
Japan
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optical fiber
long
fiber grating
ultraviolet light
grating
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JP9321656A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuaki Morita
和章 森田
Yuichi Morishita
裕一 森下
Kenichi Muta
健一 牟田
Kazunari Sugi
一成 杉
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SWCC Corp
Original Assignee
Showa Electric Wire and Cable Co
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/02123Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
    • G02B6/02142Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating based on illuminating or irradiating an amplitude mask, i.e. a mask having a repetitive intensity modulating pattern

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To generate the long-cycle fiber grating in an optical fiber in high- precision pattern stably in a short time. SOLUTION: The optical fiber 1 is irradiated cyclically with an ultraviolet light beam 2 along its length to form the long-cycle fiber grating 3. This device is equipped with a multi-slit mask 5 on which the ultraviolet light beam is made incident and a condenser lens 6 on which the ultraviolet light beam projected from the multi-slit mask is made incident to irradiate the optical fiber.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は長周期ファイバグレ
ーティング生成装置および方法に係わり、特に光ファイ
バに高精度の長周期ファイバグレーティングを安定して
短時間で生成する長周期ファイバグレーティング生成装
置および方法に関する。
The present invention relates to a long-period fiber grating generating apparatus and method, and more particularly to a long-period fiber grating generating apparatus and method for stably generating a high-precision long-period fiber grating on an optical fiber in a short time. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、この種の長周期ファイバグレ
ーティング(LPFG)生成装置または方法として、以
下に示す技術が提案されている。 <従来技術1>単スリットマスクを利用し、単スリットマ
スクを光ファイバの長手方向に定間隔でずらしながら移
動し紫外線ビームを露光してグレーティング(屈折率格
子)を生成する方法(U.S. Patent No. 5,216,739)。
2. Description of the Related Art Heretofore, the following technology has been proposed as an apparatus or method for generating such a long-period fiber grating (LPFG). <Prior Art 1> A method of generating a grating (refractive index grating) by using a single slit mask, moving the single slit mask in the longitudinal direction of the optical fiber while shifting it at regular intervals, and exposing with an ultraviolet beam (US Patent No. 5,216,739).

【0003】この方長周期ファイバグレーティング生成
法では、次のような難点がある。 単スリットマスクの移動など機械的過程が含まれるた
め、加工精度が低い。 グレーティングを1つ1つ順番に生成していくため、
加工時間が長く、量産に不向きである。 単スリットマスクは紫外線を吸収するため、高いパワ
ー密度を照射すると、単スリットマスクが損傷する。
[0003] This method of generating a long-period fiber grating has the following difficulties. Since a mechanical process such as movement of a single slit mask is included, processing accuracy is low. In order to generate gratings one by one in order,
The processing time is long and not suitable for mass production. Since the single slit mask absorbs ultraviolet light, irradiation with a high power density damages the single slit mask.

【0004】このため、低いパワー密度での照射を強
いられるため、加工時間が長くなる。 <従来技術2>従来技術1に類似するが、単スリットマス
クを用いず、集光レンズで絞った細径ビームを光ファイ
バの長手方向に定間隔でずらしながら移動し間欠照射し
てグレーティングを生成する方法(「温度無依存型長周
期ファイバグレーティング」、フジクラ技報 第92号
(1997年4月) PP11〜13)。
[0004] For this reason, irradiation at a low power density is forced, and the processing time is prolonged. <Prior art 2> Similar to prior art 1, but without using a single slit mask, move a narrow beam focused by a condenser lens at regular intervals in the longitudinal direction of the optical fiber, and intermittently irradiate to generate a grating. (“Temperature-independent long-period fiber grating”, Fujikura Technical Report No. 92 (April 1997, pp. 11-13)).

【0005】この長周期ファイバグレーティング生成方
法でも、従来技術1の、で示す難点がある。 <従来技術3>フォトマスクを用いて光ファイバにKrFレ
ーザを照射してグレーティングを一括生成する方法
(「Long-Period Fiber Grating as Band-Rejection Fi
lters」、JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, VOL. 14,
No. 1, January 1996)。フォトマスクとしてはCrなど
の鍍金により表面に格子パターンを形成した溶融石英基
板が用いられる。
[0005] This method of producing a long-period fiber grating also has the disadvantages of prior art 1. <Prior art 3> A method of collectively generating a grating by irradiating an optical fiber with a KrF laser using a photomask (“Long-Period Fiber Grating as Band-Rejection Fi
lters ", JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, VOL. 14,
No. 1, January 1996). As the photomask, a fused quartz substrate having a lattice pattern formed on its surface by plating with Cr or the like is used.

【0006】この長周期ファイバグレーティング生成方
法においては、金属鍍金は強い紫外線吸収を有し、マス
ク限界強度(マスク損傷限界)を越える光パワー密度で
紫外線を照射すると、発熱などによりマスクが損傷する
という難点がある。また、この方法では、光ファイバに
フォトマスクを近接させて、光ファイバとフォトマスク
を同程度のパワー密度で紫外光線に露光させるため、光
ファイバに照射する紫外光線のパワー密度はマスク損傷
限界以下に制限され、長時間の露光が必要になるという
難点がある。
In this method of producing a long-period fiber grating, the metal plating has a strong ultraviolet absorption, and when irradiated with ultraviolet light at a light power density exceeding the mask limit intensity (mask damage limit), the mask is damaged due to heat generation or the like. There are difficulties. In addition, in this method, since the photomask is brought close to the optical fiber and the optical fiber and the photomask are exposed to ultraviolet light at the same power density, the power density of the ultraviolet light applied to the optical fiber is less than the mask damage limit. And there is a drawback that long-time exposure is required.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このように従来の長周
期ファイバグレーティング製造技術では、長周期ファイ
バグレーティングの製造に用いる紫外レーザー(λ=248
nm)の波長は溶融石英以外の殆どの物質で強い電子吸収
を有し、これらに高パワー光を照射すると発熱等により
破壊する。LPFGの作製に用いられるフォトマスクは
Ni等の金属鍍金で格子パターンが形成されており、高い
パワー密度の紫外線を照射するとパターンが破損する。
したがって、フォトマスクは破壊限界内の低いパワー密
度下で使用する必要がある。また、従来技術ではフォト
マスクをファイバに近接させており、マスクとファイバ
は同程度のパワー密度の光が照射される。このため、フ
ァイバはマスク破壊限界内の低いパワー密度で露光され
ることを強いられ、露光時間が非常に長くなる。長時間
露光は量産に不適切であるのみならず、露光中の振動の
影響を受け易く、露光パターンのコントラスト低下によ
りフィルタ特性が低下する。
As described above, in the conventional long-period fiber grating manufacturing technique, an ultraviolet laser (λ = 248) used for manufacturing a long-period fiber grating is used.
Most of the materials other than fused silica have strong electron absorption at a wavelength of (nm), and when irradiated with high-power light, they are destroyed by heat or the like. The photomask used to make LPFG is
A lattice pattern is formed by metal plating of Ni or the like, and the pattern is damaged when irradiated with ultraviolet light having a high power density.
Therefore, the photomask needs to be used at a low power density within the breakdown limit. Further, in the prior art, a photomask is brought close to the fiber, and the mask and the fiber are irradiated with light having the same power density. This forces the fiber to be exposed at low power densities that are within the mask breakdown limit, resulting in very long exposure times. Long-time exposure is not only unsuitable for mass production, it is also susceptible to vibrations during exposure, and the filter characteristics are degraded due to a decrease in the contrast of the exposure pattern.

【0008】[0008]

【発明の目的】本発明は上述した難点に鑑みなされたも
ので、複数スリットマスクと光ファイバの間隔を開け、
その間にレンズを挿入して光ファイバに集光することに
より、光ファイバを高パワー密度で露光することが可能
とし、光ファイバに高精度の長周期ファイバグレーティ
ングを安定して短時間で生成する長周期ファイバグレー
ティング生成装置および方法を提供することを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned difficulties, and has an object to provide a space between a plurality of slit masks and an optical fiber,
By inserting a lens in the meantime and condensing the light on the optical fiber, it is possible to expose the optical fiber with a high power density, and to stably generate a high-precision long-period fiber grating on the optical fiber in a short time. An object of the present invention is to provide an apparatus and a method for generating a periodic fiber grating.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の長周期ファイバグレーティング生成装置は、光
ファイバにその長手方向に沿って紫外線光ビームを光フ
ァイバに周期的に照射して長周期ファイバグレーティン
グを生成する長周期ファイバグレーティング生成装置で
あって、紫外線光ビームが入射される複数スリットマス
クと、複数スリットマスクから出射した紫外線光ビーム
が入射され、出射した紫外線光ビームを光ファイバに照
射する集光レンズとを備えたものである。
In order to achieve this object, a long-period fiber grating generating apparatus according to the present invention provides a long-period fiber grating by periodically irradiating an optical fiber with an ultraviolet light beam along its longitudinal direction. A long-period fiber grating generating apparatus for generating a fiber grating, comprising: a plurality of slit masks into which an ultraviolet light beam is incident; and an ultraviolet light beam emitted from the plurality of slit masks, and irradiating the emitted ultraviolet light beam onto the optical fiber. And a condensing lens.

【0010】長周期ファイバグレーティング生成装置に
おいて、光ファイバにその長手方向に沿って紫外線光ビ
ームが光ファイバに直交して照射される。長周期ファイ
バグレーティング生成装置において、複数スリットマス
クは、ガラス基板に金属格子膜を平行に複数本着膜した
ものである。複数スリットマスクは、遮光基板に格子開
口を平行に複数本穿孔したものである。
[0010] In the long-period fiber grating generator, an ultraviolet light beam is irradiated on the optical fiber orthogonally to the optical fiber along the longitudinal direction. In the long-period fiber grating generation apparatus, the multiple slit mask is formed by depositing a plurality of metal grating films on a glass substrate in parallel. The multi-slit mask is obtained by perforating a plurality of lattice openings in parallel in a light-shielding substrate.

【0011】集光レンズは、光ファイバの長手方向と直
交する方向に集光するものである。集光レンズは、シリ
ンドリカルレンズである。シリンドリカルレンズの球面
の中心線および光ファイバの長手方向が平行である。本
発明の長周期ファイバグレーティング生成方法は、光フ
ァイバにその長手方向に沿って紫外線光ビームを光ファ
イバに周期的に照射して長周期ファイバグレーティング
を生成するにあたり、紫外線光ビームを複数スリットマ
スクを介し集光レンズを経由して光ファイバに照射する
ことから成る。
The condenser lens collects light in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the optical fiber. The condenser lens is a cylindrical lens. The center line of the spherical surface of the cylindrical lens and the longitudinal direction of the optical fiber are parallel. The method for generating a long-period fiber grating according to the present invention includes a method of generating a long-period fiber grating by periodically irradiating an optical fiber with an ultraviolet light beam along the longitudinal direction of the optical fiber, and generating a long-period fiber grating by applying a plurality of slit masks to the ultraviolet light beam And irradiating the optical fiber through a condensing lens.

【0012】この長周期ファイバグレーティング生成方
法において、光ファイバにその長手方向に沿って紫外線
光ビームを光ファイバに直交して照射する。複数スリッ
トマスクは、ガラス基板に金属格子膜を平行に複数本着
膜したものである。複数スリットマスクは、遮光基板に
格子開口を平行に複数本穿孔したものである。
In this method of generating a long-period fiber grating, the optical fiber is irradiated with an ultraviolet light beam along the longitudinal direction thereof at right angles to the optical fiber. The multiple slit mask is formed by depositing a plurality of metal grating films on a glass substrate in parallel. The multi-slit mask is obtained by perforating a plurality of lattice openings in parallel in a light-shielding substrate.

【0013】集光レンズは、光ファイバの長手方向と直
交する方向に集光するものである。集光レンズは、シリ
ンドリカルレンズである。シリンドリカルレンズの球面
の中心線および光ファイバの長手方向が平行である。
The condenser lens collects light in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the optical fiber. The condenser lens is a cylindrical lens. The center line of the spherical surface of the cylindrical lens and the longitudinal direction of the optical fiber are parallel.

【0014】[0014]

【作用】この長周期ファイバグレーティング生成装置お
よび方法において、光ファイバにその長手方向に沿って
紫外線光ビームを複数スリットマスクを介し集光レンズ
を経由して照射することにより光ファイバに長周期ファ
イバグレーティングを高精度のパターンで安定して短時
間に生成することができる。
In the apparatus and method for producing a long-period fiber grating, a long-period fiber grating is applied to the optical fiber by irradiating the optical fiber along the longitudinal direction thereof through a condensing lens through a plurality of slit masks. Can be generated stably in a short time in a highly accurate pattern.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の長周期ファイバグ
レーティング生成装置および方法における好ましい実施
の形態例を図面にしたがって説明する。長周期ファイバ
グレーティング生成装置は、図1、図2に示すようにコ
ア1a、クラッド1bから成る光ファイバ1にその長手方
向に沿って紫外線光ビーム2を光ファイバ1に周期的ま
たは準周期的に照射して長周期ファイバグレーティング
(LPFG屈折率格子)3を生成するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a long-period fiber grating generating apparatus and method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. A long-period fiber grating generating apparatus periodically or quasi-periodically applies an ultraviolet light beam 2 to an optical fiber 1 comprising a core 1a and a clad 1b along the longitudinal direction thereof as shown in FIGS. Irradiation produces a long-period fiber grating (LPFG refractive index grating) 3.

【0016】長周期ファイバグレーティング3は、光フ
ァイバ1のコア1aにおけるコア屈折率を長手方向に数
百μm、例えば200乃至600μm周期で変化させた
ものである。コア屈折率の変化は、紫外線光源4(例え
ば、KrF Excimer レーザ、λ=248nm)から放射される
紫外線レーザー光ビーム2の照射により可能である。長
周期ファイバグレーティング生成装置は、紫外線光ビー
ム2が入射される複数スリットマスク5と、複数スリッ
トマスクから出射した紫外線光ビーム2が入射され、出
射した紫外線光ビームを光ファイバ1に照射する集光レ
ンズ6とを備えている。
The long-period fiber grating 3 is obtained by changing the core refractive index of the core 1a of the optical fiber 1 in the longitudinal direction at a period of several hundred μm, for example, at a period of 200 to 600 μm. The change in the core refractive index can be achieved by irradiation with an ultraviolet laser light beam 2 emitted from an ultraviolet light source 4 (for example, a KrF Excimer laser, λ = 248 nm). The long-period fiber grating generating apparatus collects the plurality of slit masks 5 on which the ultraviolet light beam 2 is incident and the ultraviolet light beam 2 emitted from the plurality of slit masks and irradiates the emitted ultraviolet light beam onto the optical fiber 1. And a lens 6.

【0017】この長周期ファイバグレーティング生成装
置において、光ファイバ1にその長手方向に沿って紫外
線光ビーム2が光ファイバ1に直交して照射される。ま
た、この長周期ファイバグレーティング生成装置におい
て、複数スリットマスク5は、ガラス基板7に金属格子
膜8を平行に複数本着膜したものである。複数スリット
マスク5は、溶融石英基板上にCrやNiの鍍金によって
パターン形成されたフォトマスクとして作られる。この
方法は長周期ファイバグレーティングを一括して書き込
むことができるため、量産に向いている。またマスク精
度が十分に高ければ、高精度な長周期ファイバグレーテ
ィングを再現性良く形成することが可能である。
In this long-period fiber grating generator, the optical fiber 1 is irradiated with an ultraviolet light beam 2 orthogonally to the optical fiber 1 along its longitudinal direction. In the long-period fiber grating generation apparatus, the plurality of slit masks 5 are formed by depositing a plurality of metal grating films 8 on a glass substrate 7 in parallel. The multiple slit mask 5 is formed as a photomask in which a pattern is formed on a fused quartz substrate by plating with Cr or Ni. This method is suitable for mass production, since long-period fiber gratings can be written collectively. If the mask accuracy is sufficiently high, a high-accuracy long-period fiber grating can be formed with good reproducibility.

【0018】別法として、複数スリットマスク5は、金
属など不透明な媒質から成る遮光基板9に格子開口10
を平行に複数本穿孔して構成してもよい(図3)。本発
明の長周期ファイバグレーティング生成装置では、光フ
ァイバ1と複数スリットマスク5の間隔を十分鮮明なパ
ターンが露光できる範囲内で広げ(例えば、200m
m)、その間に適当な焦点距離の集光レンズ6を挿入し
集光レンズ6と光ファイバ1間を例えば100乃至18
0mm間隔として光ファイバ1近傍に集光し、光ファイ
バ1の露光パワー密度を十分大きな値にする。
Alternatively, a plurality of slit masks 5 are provided on a light-shielding substrate 9 made of an opaque medium such as a metal by forming a lattice opening 10.
May be perforated in parallel (FIG. 3). In the long-period fiber grating generation apparatus of the present invention, the interval between the optical fiber 1 and the plurality of slit masks 5 is widened within a range where a sufficiently clear pattern can be exposed (for example, 200 m).
m), a condenser lens 6 having an appropriate focal length is inserted between them, and the distance between the condenser lens 6 and the optical fiber 1 is, for example, 100 to 18;
The light is condensed near the optical fiber 1 at intervals of 0 mm, and the exposure power density of the optical fiber 1 is set to a sufficiently large value.

【0019】以上の例では複数スリットマスク5を集光
レンズ6の前段に配置したが、光パワー密度が複数スリ
ットマスク5の破壊限界以下の領域であれば、複数スリ
ットマスク5を集光レンズ6の後段に配置してもよい。
集光レンズ6は、光ファイバ1の長手方向と直交する方
向に集光するものである。このため集光レンズ6は、シ
リンドリカルレンズ6aで構成され、シリンドリカルレ
ンズの球面11の中心線12および光ファイバ1の長手
方向が平行に配置される。
In the above example, the plurality of slit masks 5 are arranged in front of the condenser lens 6. However, if the optical power density is below the destruction limit of the plurality of slit masks 5, the plurality of slit masks 5 are placed on the condenser lens 6. May be arranged at the subsequent stage.
The condenser lens 6 condenses light in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the optical fiber 1. For this reason, the condenser lens 6 is constituted by a cylindrical lens 6a, and the center line 12 of the spherical surface 11 of the cylindrical lens and the longitudinal direction of the optical fiber 1 are arranged in parallel.

【0020】複数スリットマスク5により形成されるパ
ターンのコントラストは、複数スリットマスク5からの
距離の関数となる。複数スリットマスク5からの距離が
離れると、コントラストが劣化する。光ファイバ1と複
数スリットマスク5の距離が、十分なパターン・コント
ラストを保つ範囲内に入る様に、また光ファイバ1が十
分なパワー密度で露光されるように、適当な焦点距離の
集光レンズ6が使用される。
The contrast of the pattern formed by the multiple slit mask 5 is a function of the distance from the multiple slit mask 5. When the distance from the plural slit masks 5 increases, the contrast deteriorates. A condensing lens having an appropriate focal length so that the distance between the optical fiber 1 and the plurality of slit masks 5 is within a range that maintains a sufficient pattern contrast and that the optical fiber 1 is exposed with a sufficient power density. 6 is used.

【0021】このように構成された長周期ファイバグレ
ーティング生成装置において、光ファイバ1のコア1a
にはその長手方向に沿って紫外線光ビーム2が光ファイ
バ1に周期的に照射されて長周期ファイバグレーティン
グが生成される。この場合、紫外線光ビーム2は複数ス
リットマスク5を介し集光レンズ6を経由して光ファイ
バ1に照射される。この長周期ファイバグレーティング
生成において、光ファイバ1にはその長手方向に沿って
紫外線光ビーム2が光ファイバ1に直交して照射され
る。
In the long-period fiber grating generating apparatus configured as described above, the core 1a of the optical fiber 1 is used.
The optical fiber 1 is periodically irradiated with the ultraviolet light beam 2 along its longitudinal direction to generate a long-period fiber grating. In this case, the ultraviolet light beam 2 is applied to the optical fiber 1 via the condenser lens 6 via the plural slit masks 5. In the generation of the long-period fiber grating, the optical fiber 1 is irradiated with the ultraviolet light beam 2 orthogonally to the optical fiber 1 along the longitudinal direction.

【0022】この長周期ファイバグレーティングの製造
技法によれば、複数スリットマスク5を破損させること
なく、光ファイバ1を高パワー密度の紫外光を露光する
ことができ、露光時間を大幅に短縮させることができ、
最も簡便で、高精度で、短時間で長周期ファイバグレー
ティングを製造することが可能になる。このような製造
技法によれば関連製品として光ファイバ増幅器の利得平
坦化器などに用いられる長周期ファイバグレーティング
フィルタを製作するのに好適であり、応用製品として半
導体、薄膜トランジスタ、マイクロマシンなど工程にフ
ォトマスクを使用した露光過程を有する工業製品全般に
も適用することができる。
According to the manufacturing technique of the long-period fiber grating, the optical fiber 1 can be exposed to high-power-density ultraviolet light without damaging the plurality of slit masks 5, thereby greatly reducing the exposure time. Can be
The simplest, high-precision, long-period fiber grating can be manufactured in a short time. According to such a manufacturing technique, it is suitable for manufacturing a long-period fiber grating filter used for a gain flattener of an optical fiber amplifier as a related product, and a photomask is applied to a process such as a semiconductor, a thin film transistor, and a micromachine as an applied product. The present invention can be applied to all industrial products having an exposure process using the same.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の長周期ファイバグレーティングフィルタの製造技法に
よれば、複数スリットマスクの使用により一度に高精度
なパターンを露光できるので量産が容易となり、複数ス
リットマスクにパワー密度の低い光線を透過させること
から複数スリットマスクが破損することがなく、感光媒
質には、集光レンズで絞ってパワー密度を高めた光線を
照射することにより、露光時間を短縮できるので量産が
容易となり、露光時間が短いため、振動などによる書込
みパターンのコントラスト低下を押えることができる。
As is apparent from the above description, according to the manufacturing technique of the long-period fiber grating filter of the present invention, a high-precision pattern can be exposed at once by using a plurality of slit masks, so that mass production becomes easy. Since the low-power-density light is transmitted through the multiple-slit mask, the multiple-slit mask is not damaged. Since it can be shortened, mass production becomes easy, and since the exposure time is short, a decrease in the contrast of the written pattern due to vibration or the like can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の長周期ファイバグレーティング生成装
置を示す側面図。
FIG. 1 is a side view showing a long-period fiber grating generating apparatus according to the present invention.

【図2】本発明の長周期ファイバグレーティング生成装
置を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a long-period fiber grating generating apparatus according to the present invention.

【図3】本発明の長周期ファイバグレーティング生成装
置に使用される複数スリットマスクの例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a multi-slit mask used in the long-period fiber grating generator of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・・光ファイバ 2・・・・・紫外線光ビーム 3・・・・・長周期ファイバグレーティング 5・・・・・複数スリットマスク 6・・・・・集光レンズ 7・・・・・ガラス基板 8・・・・・金属格子膜 9・・・・・遮光基板 10・・・・・格子開口 6a・・・・・シリンドリカルレンズ 11・・・・・球面 12・・・・・中心線 1 ··· Optical fiber 2 ···· Ultraviolet light beam 3 ···· Long-period fiber grating 5 ··· Multiple slit masks 6 ···· Condenser lens 7 ···・ Glass substrate 8 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Metal lattice film 9 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Light shielding substrate 10 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Grating opening 6a ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Cylindrical lens 11 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Spherical surface 12 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Center line

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牟田 健一 神奈川県川崎市川崎区小田栄2丁目1番1 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 杉 一成 神奈川県川崎市川崎区小田栄2丁目1番1 号 昭和電線電纜株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kenichi Muta 2-1-1 Oda Sakae, Kawasaki-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Showa Electric Cable Co., Ltd. (72) Inventor Kazunari Sugi, Oda Ei Kawasaki-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture 2-1-1, Showa Electric Wire & Cable Co., Ltd.

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光ファイバにその長手方向に沿って紫外線
光ビームを前記光ファイバに周期的に照射して長周期フ
ァイバグレーティングを生成する長周期ファイバグレー
ティング生成装置であって、 前記紫外線光ビームが入射される複数スリットマスク
と、前記複数スリットマスクから出射した紫外線光ビー
ムが入射され、出射した紫外線光ビームを前記光ファイ
バに照射する集光レンズとを備えたことを特徴とする長
周期ファイバグレーティング生成装置。
1. A long-period fiber grating generating apparatus for generating a long-period fiber grating by periodically irradiating an optical fiber with an ultraviolet light beam along a longitudinal direction of the optical fiber, wherein the ultraviolet light beam is A long-period fiber grating comprising: a plurality of slit masks to be incident; and a condenser lens to which an ultraviolet light beam emitted from the plurality of slit masks is incident and irradiates the emitted ultraviolet light beam to the optical fiber. Generator.
【請求項2】光ファイバにその長手方向に沿って紫外線
光ビームを前記光ファイバに直交して照射することを特
徴とする請求項1記載の長周期ファイバグレーティング
生成装置。
2. A long-period fiber grating generating apparatus according to claim 1, wherein an ultraviolet light beam is irradiated on said optical fiber at right angles to said optical fiber along its longitudinal direction.
【請求項3】前記複数スリットマスクは、ガラス基板に
金属格子膜を平行に複数本着膜したものであることを特
徴とする請求項1記載の長周期ファイバグレーティング
生成装置。
3. A long-period fiber grating generating apparatus according to claim 1, wherein said plurality of slit masks are formed by depositing a plurality of metal grating films on a glass substrate in parallel.
【請求項4】前記複数スリットマスクは、遮光基板に格
子開口を平行に複数本穿孔したものであることを特徴と
する請求項1記載の長周期ファイバグレーティング生成
装置。
4. A long-period fiber grating generating apparatus according to claim 1, wherein said plurality of slit masks are formed by perforating a plurality of lattice openings in a light-shielding substrate in parallel.
【請求項5】前記集光レンズは、前記光ファイバの長手
方向と直交する方向に集光するものであることを特徴と
する請求項1記載の長周期ファイバグレーティング生成
装置。
5. A long-period fiber grating generating apparatus according to claim 1, wherein said condenser lens focuses light in a direction orthogonal to a longitudinal direction of said optical fiber.
【請求項6】前記集光レンズは、シリンドリカルレンズ
であることを特徴とする請求項1記載の長周期ファイバ
グレーティング生成装置。
6. A long-period fiber grating generator according to claim 1, wherein said condenser lens is a cylindrical lens.
【請求項7】前記シリンドリカルレンズの球面の中心線
および前記光ファイバの長手方向が平行であることを特
徴とする請求項6記載の長周期ファイバグレーティング
生成装置。
7. A long-period fiber grating generator according to claim 6, wherein a center line of a spherical surface of said cylindrical lens and a longitudinal direction of said optical fiber are parallel.
【請求項8】光ファイバにその長手方向に沿って紫外線
光ビームを前記光ファイバに周期的に照射して長周期フ
ァイバグレーティングを生成するにあたり、 前記紫外線光ビームを複数スリットマスクを介し集光レ
ンズを経由して前記光ファイバに照射することを特徴と
する長周期ファイバグレーティングの生成方法。
8. A condenser lens for periodically irradiating the optical fiber with an ultraviolet light beam along a longitudinal direction of the optical fiber to generate a long-period fiber grating. Irradiating the optical fiber via the optical fiber.
【請求項9】光ファイバにその長手方向に沿って紫外線
光ビームを前記光ファイバに直交して照射することを特
徴とする請求項8記載の長周期ファイバグレーティング
の生成方法。
9. The method for producing a long-period fiber grating according to claim 8, wherein the optical fiber is irradiated with an ultraviolet light beam at right angles to the optical fiber along its longitudinal direction.
【請求項10】前記複数スリットマスクは、ガラス基板
に金属格子膜を平行に複数本着膜したものであることを
特徴とする請求項8記載の長周期ファイバグレーティン
グの生成方法。
10. The method according to claim 8, wherein the plurality of slit masks are formed by depositing a plurality of metal grating films on a glass substrate in parallel.
【請求項11】前記複数スリットマスクは、遮光基板に
格子開口を平行に複数本穿孔したものであることを特徴
とする請求項8記載の長周期ファイバグレーティングの
生成方法。
11. A method for generating a long-period fiber grating according to claim 8, wherein said plurality of slit masks are formed by perforating a plurality of lattice openings in a light-shielding substrate in parallel.
【請求項12】前記集光レンズは、前記光ファイバの長
手方向と直交する方向に集光するものであることを特徴
とする請求項8記載の長周期ファイバグレーティングの
生成方法。
12. The method according to claim 8, wherein said condenser lens focuses light in a direction orthogonal to a longitudinal direction of said optical fiber.
【請求項13】前記集光レンズは、シリンドリカルレン
ズであることを特徴とする請求項8記載の長周期ファイ
バグレーティングの生成方法。
13. The method according to claim 8, wherein the condenser lens is a cylindrical lens.
【請求項14】前記シリンドリカルレンズの球面の中心
線および前記光ファイバの長手方向が平行であることを
特徴とする請求項13記載の長周期ファイバグレーティ
ングの生成方法。
14. The method according to claim 13, wherein a center line of a spherical surface of the cylindrical lens and a longitudinal direction of the optical fiber are parallel to each other.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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