JPH11149610A - Magnetic head device and its manufacture - Google Patents

Magnetic head device and its manufacture

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JPH11149610A
JPH11149610A JP31408297A JP31408297A JPH11149610A JP H11149610 A JPH11149610 A JP H11149610A JP 31408297 A JP31408297 A JP 31408297A JP 31408297 A JP31408297 A JP 31408297A JP H11149610 A JPH11149610 A JP H11149610A
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JP
Japan
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head
rail
recording
head chip
magnetic
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JP31408297A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsuyoshi Sakata
強 坂田
Masahiko Yamazaki
昌彦 山崎
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the magnetic head device and its manufacture by which desired size accuracy is attained and an excellent contact is obtained. SOLUTION: The magnetic head has a head section 10 which is made up of a combination of a 1st head chip that has a 1st rail 8a formed nearly in parallel with a driving direction of a recording disk medium and records and/or reproduces data in a 1st recording density while being in contact with a recording face of the recording disk medium and of a 2nd head chip 9 mounted with a 2nd magnetic head 22 that has a slider member having a 2nd rail 9a formed in parallel with the 1st rail 8a and records and/or reproduces data in a 2nd recording density higher than the 1st recording density while being floated from a signal recording face of the recording disk medium.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク状記録媒
体の信号記録面に対するデータの記録及び/又は再生を
行う磁気ヘッド装置及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head device for recording and / or reproducing data on a signal recording surface of a disk-shaped recording medium and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】フレキシブルディスク等のディスク状記
録媒体の信号記録面に対してデータを記録又は再生する
ディスク駆動装置は、パーソナルコンピュータを始めと
してオフィスコンピュータやワードプロセッサー等に広
く用いられ、その普及は目覚ましい。
2. Description of the Related Art A disk drive for recording or reproducing data on or from a signal recording surface of a disk-shaped recording medium such as a flexible disk is widely used in personal computers, office computers, word processors, and the like, and its use has been remarkable. .

【0003】実用化されているフレキシブルディスクに
対して、近年、数十Mバイト〜数百Mバイトの大容量フ
レキシブルディスクが提案されている。このようなこと
から、1MB又は2MB等の従来の記録密度で記録再生
可能な下位ヘッドチップと高密度記録再生可能な上位ヘ
ッドチップとを有するリムーバルタイプの大容量ディス
ク駆動装置が提供されている。
In recent years, a flexible disk having a large capacity of several tens of megabytes to several hundreds of megabytes has been proposed as compared with a commercially available flexible disk. For this reason, a removable large-capacity disk drive having a lower head chip capable of recording and reproducing at a conventional recording density of 1 MB or 2 MB and an upper head chip capable of high-density recording and reproducing has been provided.

【0004】例えば、リムーバルタイプのヘッド部に
は、スライダ等の基台の媒体摺動面に、媒体摺動方向に
平行とされた2本のレールが形成されて、その各レール
に上位ヘッドチップと下位ヘッドチップが搭載されるも
のがある。このような構造をなすヘッド部は、記録再生
の際に、上位ヘッドチップと下位ヘッドチップとの間の
凹形状のレール溝により発生するエアーフィルムを効果
的に利用している。
For example, in a removable type head portion, two rails parallel to the medium sliding direction are formed on a medium sliding surface of a base such as a slider, and each rail has an upper head chip. And a lower head chip. The head having such a structure effectively uses an air film generated by a concave rail groove between an upper head chip and a lower head chip during recording and reproduction.

【0005】一般に、このようなディスク駆動装置にお
ける記録再生時の磁気変換特性は、ディスク状記録媒体
とヘッドチップの相対位置関係、いわゆる「あたり」の
善し悪しに大きく影響される。したがって、この「あた
り」を良好に保つためには、レール幅の精度、さらにレ
ールの中心と上位・下位ヘッドチップの中心位置(トラ
ック幅の中心)との位置精度が重要となる。
In general, the magnetic conversion characteristics of such a disk drive at the time of recording and reproduction are greatly affected by the relative positional relationship between the disk-shaped recording medium and the head chip, that is, the so-called "hit". Therefore, in order to keep the "round" good, the precision of the rail width and the positional precision between the center of the rail and the center positions of the upper and lower head chips (the center of the track width) are important.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、レール幅加
工は、スライシングマシン等を用いて行い、砥石によっ
て上記媒体摺動面にレール溝、さらに各レールの外側に
位置されるレール溝の計3本のレール溝を作製してい
る。このように作製されるレール幅等の精度はスライシ
ングマシンの送り精度によって決定される。例えばレー
ル幅公差を±5μmにすることは可能である。
By the way, the rail width processing is performed by using a slicing machine or the like, and a total of three rail grooves are formed on the medium sliding surface by a grindstone, and further, a rail groove positioned outside each rail. Rail grooves are manufactured. The accuracy of the rail width and the like manufactured in this manner is determined by the feeding accuracy of the slicing machine. For example, it is possible to make the rail width tolerance ± 5 μm.

【0007】しかし、レール幅加工は、治具に数百個単
位でヘッドを貼り付けて行うため、貼り付けのばらつき
と当該ヘッドを構成するサイドスライダ、センタースラ
イダ等の厚みばらつきの影響により、レール幅の寸法誤
差や上位ヘッドチップと下位ヘッドチップのトラック幅
の中心とレール幅の中心位置の誤差を±5μmに入れる
ことが困難な場合があった。ヘッドを一個ずつ加工する
ことにより、寸法精度を確保することはできるが、工数
が多くなり、量産するには適さない。
However, since the rail width processing is performed by attaching the head to the jig in units of several hundreds, the rails are affected by variations in the bonding and variations in the thickness of the side sliders, center sliders, etc. constituting the head. In some cases, it is difficult to make the width dimensional error or the error between the center of the track width of the upper head chip and the lower head chip and the center position of the rail width within ± 5 μm. By processing one head at a time, dimensional accuracy can be ensured, but the number of man-hours increases, which is not suitable for mass production.

【0008】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みてな
されたものであり、レール幅精度を確保するとともに、
上位ヘッドチップと下位ヘッドチップのトラック幅の中
心とレール幅の中心とを一致させ、さらには上位ヘッド
チップと下位ヘッドチップのトラック中心間距離のばら
つきがない寸法精度のよいヘッド部を低コストで得るこ
とができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has a high rail width accuracy.
The center of the track width of the upper head chip and the lower head chip coincides with the center of the rail width. It is an object to provide a magnetic head device that can be obtained and a method for manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ヘッド
装置は、上述の課題を解決するために、ディスク状記録
媒体の走行方向と略平行に形成された第1のレールを有
し、ディスク状記録媒体の記録記録面と接触した状態で
第1の記録密度でデータを記録及び/又は再生する第1
のヘッドチップと、上記第1のレールと平行に形成され
た第2のレールを有するスライダ部材に、ディスク状記
録媒体の信号記録面から浮上した状態で上記第1の記録
密度より高い第2の記録密度でデータを記録及び/又は
再生する第2の磁気ヘッドが搭載されてなる第2のヘッ
ドチップとが接合されてなることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a magnetic head device according to the present invention has a first rail formed substantially parallel to a running direction of a disk-shaped recording medium, Recording and / or reproducing data at a first recording density while in contact with a recording surface of a recording medium
And a slider member having a second rail formed in parallel with the first rail and a second higher than the first recording density while floating above the signal recording surface of the disk-shaped recording medium. It is characterized by being joined to a second head chip on which a second magnetic head for recording and / or reproducing data at a recording density is mounted.

【0010】本発明に係る磁気ヘッド装置によれば、第
1のヘッドチップと第2のヘッドチップの2部材より構
成されることから、コストダウンが可能となり、ヘッド
製作時間の短縮が可能となる。さらに、本発明に係る磁
気ヘッド装置によれば、第1のヘッドチップと第2のヘ
ッドチップとを接合する前に、それぞれの部材にレール
加工を施してなることから、それぞれのレール幅及びト
ラック間距離が所望の寸法精度をもって形成され、トラ
ックの中心がレール幅の中心と一致され、個体間による
ばらつきもなくなる。これにより、良好な「あたり」を
得ることができる、すなわち良好な電磁変換特性を得る
ことができる。
According to the magnetic head device of the present invention, since the magnetic head device is composed of the first head chip and the second head chip, the cost can be reduced and the head manufacturing time can be shortened. . Furthermore, according to the magnetic head device of the present invention, before joining the first head chip and the second head chip, each member is subjected to rail processing, so that each rail width and track The distance is formed with a desired dimensional accuracy, the center of the track coincides with the center of the rail width, and there is no variation among individuals. Thereby, a good "hit" can be obtained, that is, a good electromagnetic conversion characteristic can be obtained.

【0011】一方、本発明に係る磁気ヘッド装置は、上
述の課題を解決するため、ディスク状記録媒体の記録記
録面と接触した状態で第1の記録密度でデータを記録及
び/又は再生する第1のヘッドチップに、ディスク状記
録媒体の走行方向と略平行に第1のレールを形成する工
程と、ディスク状記録媒体の信号記録面から浮上した状
態で上記第1の記録密度より高い第2の記録密度でデー
タを記録及び/又は再生する第2の磁気ヘッドがスライ
ド部材に搭載されてなる第2のヘッドチップに、第1の
レールと平行に第2のレールを形成する工程と、上記第
1のヘッドチップ部と上記第2のヘッドチップ部とを接
合する工程とからなることを特徴とする。
On the other hand, in order to solve the above-mentioned problems, a magnetic head device according to the present invention is a magnetic head device for recording and / or reproducing data at a first recording density in contact with a recording surface of a disk-shaped recording medium. Forming a first rail on one of the head chips in a direction substantially parallel to the running direction of the disk-shaped recording medium; and forming a second rail higher than the first recording density in a state of floating above the signal recording surface of the disk-shaped recording medium. Forming a second rail parallel to the first rail on a second head chip on which a second magnetic head for recording and / or reproducing data at a recording density is mounted on a slide member; Joining the first head chip portion and the second head chip portion.

【0012】本発明に係る磁気ヘッド装置の製造方法に
よれば、第1のヘッドチップ及び第2のヘッドチップに
それぞれレール加工を施した後、両部材を接合してなる
ことから、両部材のレール幅、及びトラック間距離が所
望の寸法精度をもって形成され、トラックの中心とレー
ル幅の中心が一致され、個体間によるばらつきもなくな
る。これにより、良好な「あたり」を得ることができ
る、すなわち良好な電磁変換特性を得ることができる。
さらに、第1のヘッドチップと第2のヘッドチップの2
部材の接合だけでよいため、加工工数が少なく、コスト
ダウンが可能であり、ヘッド製作時間も短縮できる。
According to the method of manufacturing a magnetic head device according to the present invention, the first head chip and the second head chip are each subjected to rail processing, and then the two members are joined. The rail width and the distance between tracks are formed with desired dimensional accuracy, the center of the track and the center of the rail width are matched, and there is no variation among individuals. Thereby, a good "hit" can be obtained, that is, a good electromagnetic conversion characteristic can be obtained.
Furthermore, the first head chip and the second head chip 2
Since it is only necessary to join the members, the number of processing steps is small, the cost can be reduced, and the head manufacturing time can be shortened.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。この実施の形態は、ディスク
状記録媒体であるフレキシブルディスク等の信号記録面
に対してデータの記録及び/又は再生を行う磁気ヘッド
装置である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. This embodiment is a magnetic head device that records and / or reproduces data on a signal recording surface of a disk-shaped recording medium such as a flexible disk.

【0014】本実施の形態に示す磁気ヘッド装置は、図
1に示すように、一対の支持アーム1と、この一対の支
持アーム1の先端部1aにそれぞれ載置されたスペーサ
部材2と、これらスペーサ部材2上にそれぞれ配設され
たジンバル3と、これらジンバル3に取り付けられたヘ
ッド部4とを備える。この磁気ヘッド装置では、一対の
ヘッド部4が互いに対向するように、一対の支持アーム
1が配置される。
As shown in FIG. 1, the magnetic head device according to the present embodiment includes a pair of support arms 1, a spacer member 2 mounted on each of the distal ends 1a of the pair of support arms 1, and A gimbal 3 is provided on each of the spacer members 2, and a head unit 4 attached to the gimbal 3. In this magnetic head device, a pair of support arms 1 are arranged such that a pair of head portions 4 face each other.

【0015】そして、この磁気ヘッド装置は、カートリ
ッジ5内に回転自在に収納されたフレキシブルディスク
6に対して記録再生を行う。このとき、カートリッジ5
には、磁気ヘッド装置が進入するに足る開口寸法を有す
る開口部7が形成されている。したがって、この磁気ヘ
ッド装置を用いてフレキシブルディスク6に対して記録
再生を行う際には、図1に示すように、一対のヘッド部
4が開口部7から進入し、一対のヘッド部4でフレキシ
ブルディスク6を挟み込む。
The magnetic head device performs recording and reproduction on a flexible disk 6 rotatably housed in a cartridge 5. At this time, the cartridge 5
Is formed with an opening 7 having an opening dimension sufficient for the magnetic head device to enter. Therefore, when performing recording and reproduction on the flexible disk 6 using this magnetic head device, as shown in FIG. 1, the pair of heads 4 enters from the opening 7 and the pair of heads 4 The disk 6 is inserted.

【0016】また、この磁気ヘッド装置において、ヘッ
ド部4は、図2乃至図6に示すように、第1のヘッドチ
ップ8と第2のヘッドチップ9とが接合されてなるヘッ
ドチップ部10を有する。また、ヘッド部4は、ヘッド
チップ部10のフレキシブルディスク6と対向する面と
は反対の面側に、コア形成部材11と、このコア形成部
材11に取り付けられ、コイル12Aを巻回する第1の
コイル部13A及びコイル12Bを巻回する第2のコイ
ル部13Bとを有するコア部14を備える。
In this magnetic head device, as shown in FIGS. 2 to 6, the head section 4 includes a head chip section 10 formed by joining a first head chip 8 and a second head chip 9 to each other. Have. Further, the head portion 4 has a core forming member 11 on the surface of the head chip portion 10 opposite to the surface facing the flexible disk 6, and a first winding member 12 attached to the core forming member 11 and winding the coil 12A. And a second coil portion 13B for winding the coil portion 13A and the coil 12B.

【0017】上記第1のヘッドチップ8は、フレキシブ
ルディスク6の走行方向Aと略平行方向に形成された第
1のレール8aと、第1のレール8aと隣接して形成さ
れた第1の溝8bとから構成される。
The first head chip 8 has a first rail 8a formed in a direction substantially parallel to the traveling direction A of the flexible disk 6, and a first groove formed adjacent to the first rail 8a. 8b.

【0018】そして、この第1のレール8aの長手方向
の略中心付近には、フレキシブルディスク6の信号記録
面と接触した状態で第1の記録密度でデータを書き込み
及び再生する磁気ヘッド20(以下、ライト・リードヘ
ッド20と呼ぶ。)と、このライト・リードヘッド20
よりも媒体摺動方向Aの下流には、消去用の磁気ヘッド
21(以下、イレーズヘッド21と呼ぶ。)が備えられ
る。
A magnetic head 20 (hereinafter referred to as a magnetic head) for writing and reproducing data at a first recording density in contact with the signal recording surface of the flexible disk 6 is provided near the center of the first rail 8a in the longitudinal direction. , Write / read head 20).
A magnetic head 21 for erasing (hereinafter, referred to as an erase head 21) is provided downstream of the medium sliding direction A.

【0019】このライト・リードヘッド20の磁気ギャ
ップ及びイレーズヘッド21の磁気ギャップは、第1の
レール8a上面に露出されている。そして、ライト・リ
ードヘッド20は、フレキシブルディスク6に対して記
録を行う。また、イレーズヘッド21は、書き込まれた
記録トラック幅方向の両端部を所定量消去することによ
り、フレキシブルディスク6に形成される記録トラック
のトラック幅を所定の値に規制している。いわゆるトン
ネルイレーズヘッドである。
The magnetic gap of the write / read head 20 and the magnetic gap of the erase head 21 are exposed on the upper surface of the first rail 8a. Then, the write / read head 20 performs recording on the flexible disk 6. Further, the erase head 21 regulates the track width of the recording track formed on the flexible disk 6 to a predetermined value by erasing a predetermined amount of both ends in the recording track width direction. This is a so-called tunnel erase head.

【0020】上記第1のヘッドチップ部に形成される第
1の溝8bは、第1のヘッドチップ8と第2のヘッドチ
ップ9とが接合される前に、ライト・リードヘッド20
のトラック幅の中心が第1のレール8aの中心線O1
一致するように、研削等により形成されるものである。
Before the first head chip 8 and the second head chip 9 are joined to each other, the first groove 8b formed in the first head chip portion is formed by the write / read head 20.
The center of the track width to match the center line O 1 of the first rail 8a, is that formed by grinding or the like.

【0021】上記第2のヘッドチップ9は、非磁性材料
よりなるスライダ部材よりなり、上記第1のレール8a
と同一の幅で平行に形成される第2のレール9aと、上
記第2のレールと隣接して形成される第2の溝9bと、
上記第2のレール9aと隣接するとともに、上記第1の
レール8aと上記第2のレール9aとを離間させるレー
ル溝9cとから構成される。
The second head chip 9 is made of a slider member made of a non-magnetic material, and is made of the first rail 8a.
A second rail 9a formed in parallel with the same width as the above, a second groove 9b formed adjacent to the second rail,
A rail groove 9c is provided adjacent to the second rail 9a and separates the first rail 8a and the second rail 9a.

【0022】そして、この第2のレール9aの媒体摺動
方向Aの下流側には、フレキシブルディスク6の信号記
録面から浮上した状態で、第1の信号密度より高い第2
の記録密度でデータを記録再生する第2の磁気ヘッド2
2が搭載されている。
On the downstream side of the second rail 9a in the medium sliding direction A, the second rail 9a, which is floating above the signal recording surface of the flexible disk 6, has a second signal density higher than the first signal density.
Magnetic head 2 for recording and reproducing data at a recording density of
2 is mounted.

【0023】また、この第2のヘッドチップ9は、図4
及び図6に示すように、第2の磁気ヘッド22の磁気コ
アの一部を外方へ露出させる切り欠き部23が形成され
る。この切り欠き部23には、第2の磁気ヘッド用のコ
イル12Cが巻回されている。なお、この切り欠き部2
3は、レール溝9cと第2の溝9bとに亘って形成され
る。そして、第2の磁気ヘッド22の磁気ギャップが第
2のレール9aの上面に露出されている。
The second head chip 9 is similar to the one shown in FIG.
As shown in FIG. 6, a notch 23 is formed to expose a part of the magnetic core of the second magnetic head 22 to the outside. A coil 12C for the second magnetic head is wound around the notch 23. The notch 2
3 is formed over the rail groove 9c and the second groove 9b. Then, the magnetic gap of the second magnetic head 22 is exposed on the upper surface of the second rail 9a.

【0024】この第2の磁気ヘッド22は、上述したラ
イト・リードヘッド20よりも幅狭な記録トラックを形
成することができる磁気ギャップを有し、例えば、いわ
ゆるMIGヘッドが組み込まれてなるものである。
The second magnetic head 22 has a magnetic gap capable of forming a recording track narrower than the write / read head 20 described above. For example, the second magnetic head 22 incorporates a so-called MIG head. is there.

【0025】上記第2のヘッドチップ9に形成される第
2の溝9b及びレール溝9cは、第2の磁気ヘッド22
のトラック幅の中心が、第2のレール9bの幅方向の中
心線O2と一致するように、第1のヘッドチップ8と接
合する前に研削等により形成されるものである。
The second groove 9b and the rail groove 9c formed in the second head chip 9 are provided in the second magnetic head 22.
The center of the track width, to coincide with the center line O 2 in the width direction of the second rail 9b, is intended to be formed by grinding or the like before joining the first head chip 8.

【0026】上記第2のヘッドチップ9のレール溝9c
は、第1のレール8aと第2のレール9aとの間にあっ
て、レール溝9cの高さH1が第1のレール8aの高さ
2及び第2のレール9aの高さH3より小となるように
形成される。レール溝9cの幅W1は、ライト・リード
ヘッド20及び第2の磁気ヘッド22のトラック中心間
距離W2から、レール幅W3(=W4)を引いたものであ
る。このようなレール溝9cを有するヘッドチップ部1
0は、全体が凹状に形成される。
The rail groove 9c of the second head chip 9
Is provided between the first rail 8a and the second rail 9a, a small height H 1 of the rail groove 9c is than the height H 3 of the height H 2 and a second rail 9a of the first rail 8a It is formed so that The width W 1 of the rail groove 9 c is obtained by subtracting the rail width W 3 (= W 4 ) from the track center distance W 2 of the write / read head 20 and the second magnetic head 22. Head chip portion 1 having such a rail groove 9c
0 is formed in a concave shape as a whole.

【0027】具体的には、第1のレール8a及び第2の
レール9aの高さH2,H3を例えば0.94mmと形成
し、第1の溝8b、及び第2の溝9b、レール溝9cの
高さH1を例えば0.8mmに形成する。また、第1の
レール8aと第2のレール9aとの幅W4,W3を両方と
も例えば0.3mmとし、レール溝の幅W1を例えば
1.2mmに形成する。
Specifically, the heights H 2 and H 3 of the first rail 8a and the second rail 9a are formed to be, for example, 0.94 mm, and the first groove 8b, the second groove 9b, forming a height H 1 of the groove 9c for example 0.8 mm. Further, the widths W 4 and W 3 of the first rail 8a and the second rail 9a are both set to, for example, 0.3 mm, and the width W 1 of the rail groove is set to, for example, 1.2 mm.

【0028】さらに、第1のレール8a,及び第2のレ
ール9a上には、図2に示すように、フレキシブルディ
スク6の進入端側にフロントテーパ19c,19cが形
成されるとともに、フレキシブルディスク6の進出端側
にリアテーパ19d,19cが形成されている。フロン
トテーパ19cは、例えば、フレキシブルディスク6の
表面に対して約0.5゜の角度で形成されている。リア
テーパ19dは、フレキシブルディスク6の表面に対し
て約10゜の角度で形成されている。
Further, front tapers 19c, 19c are formed on the first rail 8a and the second rail 9a on the leading end side of the flexible disk 6 as shown in FIG. Are formed on the forward end side. The front taper 19c is formed at an angle of about 0.5 ° with respect to the surface of the flexible disk 6, for example. The rear taper 19d is formed at an angle of about 10 ° with respect to the surface of the flexible disk 6.

【0029】このように、本発明を適用したヘッドチッ
プ部10は、予め第1のレール8aが形成された第1の
ヘッドチップ8と、予め第2のレール9aが形成された
第2のヘッドチップ9とを接合することにより得られる
ものである。
As described above, the head chip unit 10 to which the present invention is applied is composed of the first head chip 8 on which the first rail 8a is formed in advance and the second head on which the second rail 9a is formed in advance. It is obtained by joining the chip 9.

【0030】一方、本発明を適用した磁気ヘッド装置の
製造方法は、上記第1のヘッドチップ8に溝加工を施す
工程と、上記第2のヘッドチップ9に溝加工を施す工程
と、これら予め溝加工が施された第1のヘッドチップと
第2のヘッドチップとを接合する工程よりなることを特
徴とする。
On the other hand, the method of manufacturing a magnetic head device to which the present invention is applied includes a step of forming a groove in the first head chip 8 and a step of forming a groove in the second head chip 9. The method comprises a step of joining the first head chip and the second head chip that have been subjected to the groove processing.

【0031】具体的には、図7に示すように、複数個が
一体形成された第1のヘッドチップ8,8,8を各個に
分断する際に、予め、ライト・リードヘッド20のトラ
ックの中心線が第1のレール8aの幅の中心線と一致す
るように、研削等の手法により第1の溝8bを溝加工す
る。同様に、第2のヘッドチップ9に対しても、第1の
ヘッドチップと接合する前に、第2の磁気ヘッド22の
トラックの中心線が第2のレールの幅の中心線とに一致
するように、研削等の手法により第2の溝9bとレール
溝9cを溝加工する。
More specifically, as shown in FIG. 7, when the plurality of first head chips 8, 8, 8 integrally formed are divided into individual head chips, the tracks of the write / read head 20 are previously determined. The first groove 8b is grooved by a method such as grinding so that the center line coincides with the center line of the width of the first rail 8a. Similarly, the center line of the track of the second magnetic head 22 coincides with the center line of the width of the second rail before joining the second head chip 9 to the first head chip. Thus, the second groove 9b and the rail groove 9c are grooved by a method such as grinding.

【0032】そして、図8に示すように、第2のヘッド
チップ9の側面9dにガラス充填溝24を形成し、この
ガラス充填溝24に接合用融着ガラス棒24Aを挿入
し、第1のヘッドチップ8と第2のヘッドチップ9を当
接し、融着することにより接合する。これにより、図9
に示すヘッド部10が作製される。
Then, as shown in FIG. 8, a glass filling groove 24 is formed on the side surface 9d of the second head chip 9, and a bonding glass rod 24A for bonding is inserted into the glass filling groove 24 to form the first head chip 9. The head chip 8 and the second head chip 9 are brought into contact with each other and joined by fusion. As a result, FIG.
Is manufactured.

【0033】或いは、図10に示すように、第2のヘッ
ドチップの側面9dに低融点ガラスをスパッタ形成し、
第1のヘッドチップと第2のヘッドチップを当接させ、
融着することにより接合してもよい。これにより図9に
示すヘッド部10が作製される。
Alternatively, as shown in FIG. 10, a low-melting glass is formed on the side surface 9d of the second head chip by sputtering.
Bringing the first head chip and the second head chip into contact with each other;
They may be joined by fusion. Thus, the head unit 10 shown in FIG. 9 is manufactured.

【0034】このように、第1のヘッドチップ8と第2
のヘッドチップ9を接合する前に、予め溝加工を施すこ
とにより、所望の形状精度を有するヘッドチップ部10
ができる。すなわち、レール溝幅W1、第1のレール幅
4、第2のレール幅W3が消耗の形状精度をもって形成
されることにより、第1のレール幅W4の中心線とライ
ト・リードヘッド20のトラック中心線O1とが一致
し、第2のレール幅W3の中心線と第2の磁気ヘッド2
2のトラック中心線O2が一致されたヘッドチップ部1
0が作製される。同時に、ライト・リードヘッド20と
第2の磁気ヘッド22のトラック間距離W2が所望の形
状精度をもって形成され、個体間のばらつきがなくな
る。
As described above, the first head chip 8 and the second head chip 8
Before joining the head chips 9, a groove is formed in advance so that the head chip portion 10 having a desired shape accuracy can be obtained.
Can be. In other words, the rail groove width W 1 , the first rail width W 4 , and the second rail width W 3 are formed with the shape accuracy of wear, so that the center line of the first rail width W 4 and the write / read head The track center line O 1 of the second magnetic head 2 coincides with the center line of the second rail width W 3.
Head chip part 1 in which the track center line O 2 of 2 is matched
0 is created. At the same time, inter-track distance W 2 between the write read head 20 and the second magnetic head 22 is formed with a desired shape accuracy, variability between individuals is eliminated.

【0035】さらに、ヘッドチップ部10は、第1のヘ
ッドチップ8と第2のヘッドチップ9の2部材から構成
されることから、従来より部品費が少なくなり、コスト
ダウンが可能となるともに、ヘッド製作時間も短縮でき
ることから生産効率が上がる。
Furthermore, since the head chip section 10 is composed of two members, the first head chip 8 and the second head chip 9, the component cost is reduced and the cost can be reduced as compared with the conventional one. Production efficiency is increased because the head manufacturing time can be reduced.

【0036】なお、このように形成されたヘッドチップ
部10に取り付けられるコア形成用部材11は、図2及
び図4に示すように、磁性体からなる略コ字状に形成さ
れた基体25と、非磁性体からなり基体25の上方へ立
設して形成された脚部26a,26bと、磁性体からな
り基体25の上方へ立設して形成された脚部26c,2
6d,26eとを備える。すなわち、脚部26a,26
bは基体25の端部にそれぞれ立設され、脚部26c,
26eは基体25のコーナ部にそれぞれ立設され、脚部
26dは脚部26cと脚部26eとの間に立設される。
また、脚部26dは、ヘッドチップ部10側の上端面に
凹溝が形成されており、これにより第1の端面27及び
第2の端面28を有することとなる。
As shown in FIGS. 2 and 4, the core forming member 11 attached to the head chip portion 10 thus formed has a substantially U-shaped base 25 made of a magnetic material. Legs 26a, 26b made of a non-magnetic material and formed upright above the base 25; and legs 26c, 2 made of a magnetic material and formed upright above the base 25.
6d and 26e. That is, the legs 26a, 26
b are erected at the ends of the base 25, respectively, and the legs 26c,
26e is erected at each corner of the base 25, and the leg 26d is erected between the leg 26c and the leg 26e.
Further, the leg 26d has a concave groove formed on the upper end surface on the head chip portion 10 side, and thus has a first end surface 27 and a second end surface 28.

【0037】そして、このコア形成用部材11に取り付
けられる第1のコイル部13Aは、コイル12Aとこの
コイル12Aを巻回する第1のボビン29Aとを備え
る。この第1のボビン29Aは、L字状に形成されてな
り、高さ方向が筒状に形成される。そして、この第1の
ボビン29Aは、筒状に形成された部分の内周面の形状
が脚部26cの外周面の形状と略同形となるように形成
されている。また、第2のコイル部13Bは、第1のコ
イル部13Aと同様に、コイル12Bとこのコイル12
Bを巻回する第2のボビン29Bとを備える。この第2
のボビン29Bは、L字状に形成されてなり、高さ方向
が筒状に形成される。そして、この第2のボビン29B
は、筒状に形成された部分の内周面の形状が脚部26e
の外周面の形状と略同形となるように形成されている。
The first coil portion 13A attached to the core forming member 11 includes a coil 12A and a first bobbin 29A around which the coil 12A is wound. The first bobbin 29A is formed in an L-shape, and is formed in a cylindrical shape in the height direction. The first bobbin 29A is formed such that the shape of the inner peripheral surface of the cylindrical portion is substantially the same as the shape of the outer peripheral surface of the leg 26c. Similarly to the first coil unit 13A, the second coil unit 13B includes the coil 12B and the coil 12B.
And a second bobbin 29B for winding B. This second
The bobbin 29B is formed in an L-shape, and the height direction is formed in a cylindrical shape. And this second bobbin 29B
The shape of the inner peripheral surface of the cylindrical portion is the leg 26e.
Is formed so as to have substantially the same shape as that of the outer peripheral surface thereof.

【0038】そして、第1のコイル部13A及び第2の
コイル部13Bでは、それぞれ第1のボビン29A及び
第2のボビン29Bにコイル12A,12Bが巻回され
た状態で、筒状に形成された部分がそれぞれ脚部26
c,26eにそれぞれ取り付けられている。
The first coil section 13A and the second coil section 13B are formed in a cylindrical shape with the coils 12A and 12B wound on the first bobbin 29A and the second bobbin 29B, respectively. Each leg 26
c, 26e.

【0039】コア部14は、このようにコア形成部材1
1に第1のコイル部13A及び第2のコイル部13Bが
取り付けられた状態で、上述したヘッドチップ部10に
当接される。このとき、脚部26a,26bは、ヘッド
チップ部10における第2のヘッドチップ側の両コーナ
部付近と当接される。また、脚部26cは、その上面が
リード・ライトヘッド20と磁気的に接続されるように
当接される。さらに、脚部26eは、その上面がイレー
ズヘッド21と磁気的に接続されるように当接される。
さらにまた、脚部26dは、リード・ライトヘッド20
とイレーズヘッド21との間に位置し、第1の端面27
がリード・ライトヘッド20と磁気的に接続され、第2
の端面28がイレーズヘッド21と磁気的に接続される
ように当接される。
The core portion 14 is thus formed by the core forming member 1.
In a state where the first coil unit 13A and the second coil unit 13B are attached to the head chip unit 1, the head unit 10 is brought into contact with the head chip unit 10 described above. At this time, the legs 26a and 26b are brought into contact with the vicinity of both corners of the head chip 10 on the second head chip side. The leg 26c is abutted so that its upper surface is magnetically connected to the read / write head 20. Further, the leg 26e is brought into contact with the erase head 21 so that its upper surface is magnetically connected to the erase head 21.
Furthermore, the leg 26d is connected to the read / write head 20.
And the first end face 27 which is located between the
Is magnetically connected to the read / write head 20, and the second
End face 28 is magnetically connected to the erase head 21.

【0040】このようにコア部14とヘッドチップ部1
0とが当接されることにより、脚部26cと脚部26d
とがリード・ライトヘッド20における磁気コアを構成
することとなる。すなわち、リード・ライトヘッド20
では、第1のコイル部13Aが取り付けられた脚部26
cと第1の端面27が当接された脚部26dとの間に磁
路が形成される。また、コア部14とヘッドチップ部1
0とが当接されることにより、脚部26eと脚部26d
とがイレーズヘッド21における磁気コアを構成するこ
ととなる。すなわち、イレーズヘッド21では、第2の
コイル部13Bが取り付けられた脚部26eと第2の端
面27が当接された脚部26dとの間に磁路が形成され
る。
As described above, the core section 14 and the head chip section 1
0 abuts on the legs 26c and 26d.
These constitute the magnetic core of the read / write head 20. That is, the read / write head 20
Now, the leg 26 to which the first coil 13A is attached is shown.
A magnetic path is formed between c and the leg 26d with which the first end surface 27 is in contact. The core part 14 and the head chip part 1
0 abuts on the legs 26e and 26d.
These constitute the magnetic core of the erase head 21. That is, in the erase head 21, a magnetic path is formed between the leg 26e to which the second coil portion 13B is attached and the leg 26d to which the second end surface 27 abuts.

【0041】一方、上述したようなヘッド部4に取り付
けられるジンバル3は、図11に示すように、全体形状
が略矩形の板状をなし、上述したヘッドチップ部10を
載置するヘッド取付部30と、このヘッド取付部30の
外周を囲むように第1の連結部31a,31bを介して
該ヘッド取付部30と連結された第1の環状枠部32
と、この第1の環状枠部32の外周を囲むように第2の
連結部33a,33bを介して該第1の環状枠部32と
連結された第2の環状枠部34とから構成されている。
また、このジンバル3は、第1の連結部31a,31b
を結ぶ方向と第2の連結部33a,33bを結ぶ方向と
が直交するように構成される。ここで、第1の連結部3
1a,31bを結ぶ方向は、媒体摺動方向Aと平行とさ
れる。なお、このジンバル3は、例えばステンレス材で
形成される。
On the other hand, as shown in FIG. 11, the gimbal 3 attached to the head 4 as described above has a substantially rectangular plate-like shape, and has a head attachment portion on which the above-described head chip 10 is mounted. 30 and a first annular frame portion 32 connected to the head mounting portion 30 via first connecting portions 31a and 31b so as to surround the outer periphery of the head mounting portion 30.
And a second annular frame portion 34 connected to the first annular frame portion 32 via second connecting portions 33a and 33b so as to surround the outer periphery of the first annular frame portion 32. ing.
In addition, the gimbal 3 includes first connecting portions 31a and 31b.
And the direction connecting the second connecting portions 33a and 33b are configured to be orthogonal to each other. Here, the first connecting portion 3
The direction connecting 1a and 31b is parallel to the medium sliding direction A. The gimbal 3 is made of, for example, a stainless steel material.

【0042】このジンバル3において、ヘッド取付部3
0は、上述したヘッドチップ部10の外形よりやや大と
される外形形状を有して形成される。また、このヘッド
取付部30は、媒体摺動方向Aと直交する方向に離間し
て一対の開口部35a,35bを有する。
In this gimbal 3, the head mounting portion 3
0 is formed to have an outer shape slightly larger than the outer shape of the head chip portion 10 described above. The head mounting portion 30 has a pair of openings 35a and 35b separated in a direction perpendicular to the medium sliding direction A.

【0043】このように構成されたジンバル3は、上述
したヘッド部4に取り付けられる。具体的に、このジン
バル3は、上述したヘッドチップ部10とコア部14と
の間に取り付けられる。このとき、ヘッドチップ部10
は、開口部35aから第2のヘッドチップ9の両コーナ
部が臨むとともに、開口部35bから第1のヘッドチッ
プ8が臨むようにジンバル3の一方の面に載置される。
そして、脚部26a及び脚部26bは、開口部35aか
ら臨む部分に、ジンバル3の他方の面側から当接され
る。また、脚部26c、脚部26d及び脚部26eは、
開口部35bから臨む部分に、上述したように当接され
る。
The gimbal 3 configured as described above is attached to the above-described head unit 4. Specifically, the gimbal 3 is attached between the above-described head chip unit 10 and the core unit 14. At this time, the head chip unit 10
The gimbal 3 is mounted on one surface of the gimbal 3 such that both corners of the second head chip 9 face from the opening 35a and the first head chip 8 faces from the opening 35b.
The leg 26a and the leg 26b are brought into contact with the portion facing the opening 35a from the other surface side of the gimbal 3. The leg 26c, the leg 26d, and the leg 26e are
The portion facing the opening 35b is abutted as described above.

【0044】したがって、開口部35aは、脚部26a
及び脚部26bが挿入されるに足る開口寸法を有するよ
うに形成される。また、開口部35bは、脚部26c、
脚部26d及び脚部26eが挿入されるにたる開口寸法
を有するように形成される。
Therefore, the opening 35a is connected to the leg 26a.
And an opening dimension enough to insert the leg 26b. In addition, the opening 35b is connected to the leg 26c,
The leg portion 26d and the leg portion 26e are formed to have an opening dimension enough to be inserted.

【0045】このように、ジンバル3は、ヘッド部4の
高さ方向の中途部に取り付けられることとなる。
As described above, the gimbal 3 is attached to a halfway portion of the head portion 4 in the height direction.

【0046】このジンバル3を取り付けるスペーサ部材
2は、図12及び図13に示すように、略環状に形成さ
れた周囲壁36と、この周囲壁36の内側に立設された
ピボット載置部37と、このピボット載置部の上端面3
7a上に配されたピボット38とから構成されている。
As shown in FIGS. 12 and 13, the spacer member 2 to which the gimbal 3 is attached includes a peripheral wall 36 formed in a substantially annular shape, and a pivot mounting portion 37 erected inside the peripheral wall 36. And the upper end surface 3 of the pivot mounting portion
7a.

【0047】この周囲壁36は、上述したコア部14の
外形よりやや大とされる内形を有し、且つ、上述したジ
ンバル3の外形と略々同じ外形を有する筒状に形成され
る。また、この周囲壁36は、内部に磁気シールド39
を有する。この磁気シールド39は、例えば、透磁率の
高い磁性材料からなり、周囲壁36よりもやや小とされ
る外形を有する。
The peripheral wall 36 has an inner shape slightly larger than the outer shape of the core portion 14 and is formed in a cylindrical shape having an outer shape substantially the same as the outer shape of the gimbal 3 described above. The peripheral wall 36 has a magnetic shield 39 inside.
Having. The magnetic shield 39 is made of, for example, a magnetic material having a high magnetic permeability, and has an outer shape slightly smaller than the surrounding wall 36.

【0048】また、このピボット載置部37は、周囲壁
36の内面から略中心に延在するとともに略中心から上
方に向かって立設するように形成され、周囲壁36より
やや低い高さを有するように形成される。そして、ピボ
ット38は、略半球状に形成され、ピボット載置部の上
端面37aに載置された状態で上端部38aが周囲壁3
6の高さよりやや上方に位置するように形成される。
The pivot mounting portion 37 is formed so as to extend from the inner surface of the peripheral wall 36 to substantially the center and to stand upward from the substantially center, and to have a height slightly lower than the peripheral wall 36. It is formed to have. The pivot 38 is formed in a substantially hemispherical shape, and the upper end 38 a of the pivot 38 is placed on the upper end surface 37 a of the pivot placement portion.
6 so as to be located slightly above the height.

【0049】このように構成されたスペーサ部材2は、
周囲壁36、ピボット載置部37及びピボット38を一
体に成形することにより形成される。また、このとき、
スペーサ部材2は、磁気シールド39を周囲壁36内部
に配するためにインサート成形することが好ましい。
The spacer member 2 thus configured is
The peripheral wall 36, the pivot mounting portion 37, and the pivot 38 are formed by integrally molding. At this time,
The spacer member 2 is preferably insert-molded to arrange the magnetic shield 39 inside the peripheral wall 36.

【0050】このスペーサ部材2は、図14に示すよう
に、上述したジンバル3に固定して取り付けられる。す
なわち、スペーサ部材2は、ヘッドチップ部10を取り
付けた面とは反対側の面、すなわち、上述したジンバル
3の他方の面に取り付けられる。このスペーサ部材2に
ジンバル3の他方の面を取り付けることにより、ピボッ
ト38は、ジンバル3の他方の面における略中心部を所
定の圧力で押圧することとなる。すなわち、ジンバル3
のヘッド取付部30は、他方の面からピボット38によ
り支持されることとなる。
The spacer member 2 is fixedly attached to the gimbal 3 as shown in FIG. That is, the spacer member 2 is attached to the surface opposite to the surface to which the head chip portion 10 is attached, that is, the other surface of the gimbal 3 described above. By attaching the other surface of the gimbal 3 to the spacer member 2, the pivot 38 presses the substantially central portion of the other surface of the gimbal 3 with a predetermined pressure. That is, gimbal 3
Is supported by the pivot 38 from the other surface.

【0051】このとき、ジンバル3の他方の面側に位置
するコア部14は、周囲壁36の内方に収納されること
になる。なお、ピボット載置部37は、略コ字状に形成
された基体25の開口している部分に位置するため、コ
ア部14を周囲壁36の内方に収納する際の障害とはな
らない。
At this time, the core portion 14 located on the other surface side of the gimbal 3 is housed inside the peripheral wall 36. Since the pivot mounting portion 37 is located at the opening of the base 25 formed in a substantially U-shape, it does not become an obstacle when the core portion 14 is housed inside the peripheral wall 36.

【0052】一方、このスペーサ部材2を取り付ける一
対の支持アーム1は、図15に示すように、所定の長さ
を有する板状の部材からなり、図示しない一方の端部が
磁気ヘッド装置駆動手段(図示せず。)とそれぞれ接続
されてなる。そして、この一対の支持アーム1は、他方
の端部に上述したスペーサ部材2をそれぞれ取り付け
る。このとき、スペーサ部材2は、ジンバル3を取り付
けた端面とは反対側の端面を、支持アーム1の他方の端
部に取り付ける。なお、このとき、一対の支持アーム1
には、スペーサ部材2が互いに対向するように配され
る。
On the other hand, as shown in FIG. 15, the pair of support arms 1 to which the spacer member 2 is attached are formed of a plate-like member having a predetermined length, and one end (not shown) of which is not shown. (Not shown). The spacer members 2 described above are attached to the other ends of the pair of support arms 1, respectively. At this time, the spacer member 2 has an end face opposite to the end face to which the gimbal 3 is attached, attached to the other end of the support arm 1. At this time, the pair of support arms 1
Are disposed so that the spacer members 2 face each other.

【0053】この磁気ヘッド装置では、スペーサ部材2
の高さを所定の値とすることにより、支持アーム1から
ヘッド部4までの高さを規制することができる。すなわ
ち、この磁気ヘッド装置では、ヘッド部4がフレキシブ
ルディスク6に対して記録再生を行う位置にある状態
で、支持アーム1がカートリッジ5に対して非接触の状
態を維持することができる。言い換えると、スペーサ部
材2は、記録再生時に、支持アーム1がカートリッジ5
に接触しない程度の高さとされる。
In this magnetic head device, the spacer member 2
The height from the support arm 1 to the head portion 4 can be regulated by setting the height of the support arm to a predetermined value. That is, in this magnetic head device, the support arm 1 can maintain a non-contact state with the cartridge 5 in a state where the head unit 4 is at a position where recording and reproduction are performed on the flexible disk 6. In other words, the spacer member 2 is used when the support arm 1
And so high that it does not come into contact with.

【0054】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッド装置は、カートリッジ5内に収納されたフレキシ
ブルディスク6に対して記録再生を行う。この磁気ヘッ
ド装置では、フレキシブルディスク6に対して、従来の
標準記録密度(下位モード)で記録再生を行う場合と高
記録密度(上位モード)で記録再生を行う場合とがあ
る。
The magnetic head device according to the present invention configured as described above performs recording and reproduction on the flexible disk 6 housed in the cartridge 5. In this magnetic head device, recording and reproduction are performed on the flexible disk 6 at a conventional standard recording density (lower mode), and recording and reproduction is performed at a high recording density (higher mode).

【0055】下位モードで記録再生を行う場合には、フ
レキシブルディスク6に対してヘッド部4を接触させ、
この状態でフレキシブルディスク6を回転させる。この
とき、フレキシブルディスク6は、約300rpmの回
転数で回転される。
When performing recording / reproduction in the lower mode, the head unit 4 is brought into contact with the flexible disk 6,
In this state, the flexible disk 6 is rotated. At this time, the flexible disk 6 is rotated at a rotation speed of about 300 rpm.

【0056】そして、この磁気ヘッド装置では、回転す
るフレキシブルディスク6に対して第1のヘッドチップ
8にて記録再生を行う。この第1のヘッドチップ8で
は、脚部26cに取り付けられた第1のコイル部13A
から発生する磁界により、脚部26c、脚部26d及び
リード・ライトヘッド20の間に磁路が形成される。そ
して、回転するフレキシブルディスク6に対して、リー
ド・ライトヘッド20により記録トラックが形成され
る。また、同時に、この第1のヘッドチップ8では、脚
部26eに取り付けられた第2のコイル部13Bから発
生する磁界により、脚部26e、脚部26d及びイレー
ズヘッド21の間に磁路を形成する。これにより、リー
ド・ライトヘッド20により形成された記録トラックの
うちで、トラック幅方向の両端部付近のみを消去するこ
とができる。したがって、この第1のヘッドチップ8で
は、所望のトラック幅を有する記録トラックを形成する
ことができる。
In this magnetic head device, recording and reproduction are performed on the rotating flexible disk 6 by the first head chip 8. In the first head chip 8, the first coil portion 13A attached to the leg portion 26c is provided.
A magnetic path is formed between the leg 26c, the leg 26d, and the read / write head 20 by the magnetic field generated from. Then, a recording track is formed on the rotating flexible disk 6 by the read / write head 20. At the same time, in the first head chip 8, a magnetic path is formed between the leg 26e, the leg 26d, and the erase head 21 by a magnetic field generated from the second coil 13B attached to the leg 26e. I do. As a result, of the recording tracks formed by the read / write head 20, only the vicinity of both ends in the track width direction can be erased. Therefore, in the first head chip 8, a recording track having a desired track width can be formed.

【0057】一方、上位モードで記録再生を行う場合に
は、フレキシブルディスク6の表面からヘッド部4を僅
かに浮上させ、この状態でフレキシブルディスク6を回
転させる。このとき、フレキシブルディスク6は、約3
600rpmの回転数で回転される。このように、フレ
キシブルディスク6が高速で回転されると、ヘッドチッ
プ部4に形成されたレール溝9cとフレキシブルディス
ク6との間に空気の対流が発生し、いわゆるエアーフィ
ルムが形成される。これにより、この磁気ヘッド装置で
は、上位モードで記録再生を行う際にヘッド部4を所望
量浮上させることができる。具体的には、ヘッド部4
は、フレキシブルディスク6の表面に対して約50nm
浮上されている。
On the other hand, when performing recording / reproduction in the upper mode, the head unit 4 is slightly lifted from the surface of the flexible disk 6, and the flexible disk 6 is rotated in this state. At this time, the flexible disk 6
It is rotated at a rotation speed of 600 rpm. As described above, when the flexible disk 6 is rotated at a high speed, convection of air occurs between the rail groove 9c formed in the head chip portion 4 and the flexible disk 6, and a so-called air film is formed. Thus, in this magnetic head device, the head unit 4 can be floated by a desired amount when performing recording and reproduction in the upper mode. Specifically, the head unit 4
Is about 50 nm with respect to the surface of the flexible disk 6.
Is emerging.

【0058】このとき、ヘッド部4の浮上量を制御する
ためには、ヘッド部4の媒体対向面に形成されたレール
8a,9aの幅及び高さを所定の寸法に規定すればよ
い。具体的に、浮上量を約50nmとするためには、長
さが3mmのレール8a,9aの幅W4,W3を0.3m
mとし、レール8a,9aの高さH2,H3を0.1mm
とすればよい。
At this time, in order to control the flying height of the head unit 4, the width and height of the rails 8a and 9a formed on the medium facing surface of the head unit 4 may be defined to predetermined dimensions. Specifically, in order to set the flying height to about 50 nm, the widths W 4 and W 3 of the rails 8 a and 9 a having a length of 3 mm are set to 0.3 m.
m, and the heights H 2 and H 3 of the rails 8a and 9a are 0.1 mm.
And it is sufficient.

【0059】なお、一般に、回転するフレキシブルディ
スク6には、ある程度の振動や面振れが発生してしまう
が、この磁気ヘッド装置では、ヘッド部4にジンバル3
が取り付けられているため、このような振動や面振れに
対してヘッド部4が追随するように駆動する。
In general, a certain amount of vibration and runout occurs on the rotating flexible disk 6, but in this magnetic head device, the gimbal 3
Is attached, the head unit 4 is driven so as to follow such vibration and surface runout.

【0060】また、このとき、ジンバル3は、第2の連
結部33a,33bを結ぶ方向を中心軸とする回転方向
に、第1の環状部材32及びヘッド取付部30を変位さ
せることができる。また、ジンバル3は、第1の連結部
33a,33bを結ぶ方向を中心軸とする回転方向に、
ヘッド取付部30を変位させることができる。
At this time, the gimbal 3 can displace the first annular member 32 and the head mounting portion 30 in a rotational direction about the direction connecting the second connecting portions 33a and 33b as a central axis. In addition, the gimbal 3 rotates in a rotation direction with the direction connecting the first connecting portions 33a and 33b as a central axis.
The head mounting portion 30 can be displaced.

【0061】このように、ジンバル3は、ヘッド取付部
30を所定の方向に変位させることができるため、ヘッ
ド取付部30に取り付けられたヘッド部4を上述したよ
うな方向に変位させることができる。したがって、この
磁気ヘッド装置では、フレキシブルディスク6の面振れ
等に追随するようにヘッド部4の位置を変位させること
ができる。
As described above, since the gimbal 3 can displace the head attachment portion 30 in a predetermined direction, the head portion 4 attached to the head attachment portion 30 can be displaced in the above-described direction. . Therefore, in this magnetic head device, the position of the head unit 4 can be displaced so as to follow the runout of the flexible disk 6 and the like.

【0062】また、この磁気ヘッド装置では、ヘッド部
4における高さ方向の中途部にジンバル3が取り付けら
れている。具体的には、ヘッドチップ部10とコア部1
4との間にジンバル3が取り付けられている。したがっ
て、このヘッド部4は、その高さ方向の中途部が位置変
位の支点となっている。
Further, in this magnetic head device, the gimbal 3 is attached to a middle part of the head part 4 in the height direction. Specifically, the head chip unit 10 and the core unit 1
4, a gimbal 3 is attached. Therefore, the head portion 4 has a midpoint in the height direction serving as a fulcrum for positional displacement.

【0063】ところで、この磁気ヘッド装置において、
上位モード或いは下位モードいずれを用いた場合でも、
回転するフレキシブルディスク6に対して記録再生を行
うと、フレキシブルディスク6から直接或いはエアーフ
ィルムを介して振動がヘッド部4に対して伝達される。
By the way, in this magnetic head device,
Regardless of whether you use the upper mode or the lower mode,
When recording / reproducing is performed on the rotating flexible disk 6, vibration is transmitted to the head unit 4 directly from the flexible disk 6 or via an air film.

【0064】しかしながら、この磁気ヘッド装置では、
ヘッド部4に対して振動が伝達されても、追随変位の支
点が媒体摺動面に近いところにあるため、この振動によ
る回転運動が小さいものとなる。すなわち、この磁気ヘ
ッド装置では、振動により大きな回転運動を発生させる
ことがなく、フレキシブルディスク6の面振れ等に対し
てヘッド部4を確実に追随させることができる。
However, in this magnetic head device,
Even if the vibration is transmitted to the head portion 4, the fulcrum of the following displacement is located near the medium sliding surface, so that the rotational motion due to the vibration is small. That is, in this magnetic head device, the head portion 4 can reliably follow the surface runout of the flexible disk 6 without causing a large rotational movement due to the vibration.

【0065】ここで、本発明との比較のために、別のヘ
ッドチップ部100及びその製造工程について説明す
る。
Here, for comparison with the present invention, another head chip portion 100 and its manufacturing process will be described.

【0066】例えば、図16に示すように、ヘッドチッ
プ部100は、第2のヘッドチップ105が搭載される
上位ヘッドスライダ101と、センタースライダ102
と、ライト・リードヘッド106及びイレーズヘッド1
07が搭載される第1のヘッドチップ103と、サイド
スライダ104とから構成されている。
For example, as shown in FIG. 16, the head chip section 100 includes an upper head slider 101 on which a second head chip 105 is mounted, and a center slider 102.
, Write / read head 106 and erase head 1
And a side slider 104.

【0067】そして、各部材は、記録媒体の対向方向に
対する高さH4が互いに同じになるように形成され、図
17に示すように、上位ヘッドスライダ101、センタ
ースライダ102、第1のヘッドチップ103及びサイ
ドスライダ104の順に接着用ガラス120等によって
接合されている。
Each member is formed so that the heights H 4 with respect to the direction in which the recording medium faces each other are the same. As shown in FIG. 17, the upper head slider 101, the center slider 102, the first head chip 103 and the side slider 104 are joined in this order by an adhesive glass 120 or the like.

【0068】各部材を接合した後は、図18に示すよう
に、レール溝加工によってレール溝101b,102
a,104aが形成され、また、スライシングマシン等
によるレール加工によってレール101a,103aが
形成される。その後、テーパ加工及びデプス加工によっ
てレール101a,103a上に、フロントテーパ11
0a及びリアテーパ110bが形成される。
After the members are joined, as shown in FIG. 18, rail grooves 101b and 102 are formed by rail groove processing.
a and 104a are formed, and rails 101a and 103a are formed by rail processing using a slicing machine or the like. Then, the front taper 11 is formed on the rails 101a and 103a by taper processing and depth processing.
0a and a rear taper 110b are formed.

【0069】ここで、上記レール溝101b,102
a,104aは、上位ヘッドスライダ101又はサイド
スライダ104を基準にして、数百個の図17に示す組
み立て後のヘッドチップ部100を冶具に貼り付け、ス
ライシングマシン等によって砥石を3回もしくは4回送
ることにより作られていた。
Here, the rail grooves 101b, 102
Reference numerals a and 104a denote hundreds of the assembled head chip portions 100 shown in FIG. 17 on a jig based on the upper head slider 101 or the side slider 104, and grind the stone three or four times with a slicing machine or the like. It was made by sending.

【0070】このとき、スライシングマシンによる砥石
の送り精度からレール幅公差±5μm内に収めることは
可能であるが、貼り付けばらつき、上位ヘッドスライダ
101、センタースライダ102、第1のヘッドチップ
103及びサイドスライダ104の厚みのばらつきや接
着層などを精度よく管理しなければならなく、このこと
からレール幅公差を±5μm内に収めることは現実的に
は困難とされる。よって、例えば、図19に示すよう
に、レール101aの幅の中心が第2のヘッドチップ1
05のトラック幅の中心OTとされる位置に一致しない
ものが発生する場合があった。なお、組み立てた後にヘ
ッドチップ部100を1箇所ずつレール加工すればセン
タ精度を確保すことは可能であるが、工数がかかり、量
産には適さなくなるという問題が生じる。
At this time, although it is possible to keep the rail width tolerance within ± 5 μm due to the precision of feeding the grindstone by the slicing machine, there are variations in bonding, upper head slider 101, center slider 102, first head chip 103 and side head. It is necessary to accurately manage variations in the thickness of the slider 104, the adhesive layer, and the like, and it is practically difficult to keep the rail width tolerance within ± 5 μm. Therefore, for example, as shown in FIG. 19, the center of the width of the rail 101a is the second head chip 1
05 which do not match the position that is the center O T of the track width was a case of occurrence of. If the head chip portion 100 is rail-processed one by one after assembling, it is possible to secure the center accuracy, but it takes a lot of man-hours, which causes a problem that it is not suitable for mass production.

【0071】これに対して、本例は、上述したように、
予め所定の寸法に形成した第1のヘッドチップ8及び第
2のヘッドチップ9の2部材を接合するのみで、ヘッド
チップ部を作製することができる。これにより、加工工
数及び部品費が削減でき、コストダウンが可能となる。
On the other hand, in this example, as described above,
The head chip portion can be manufactured only by joining the two members of the first head chip 8 and the second head chip 9 formed in a predetermined size in advance. As a result, the number of processing steps and component costs can be reduced, and the cost can be reduced.

【0072】さらに、本例は、予めレール加工を施し、
所望のレール幅が形成された第1のヘッドチップ8と第
2のヘッドチップ9とを接合してなることから、トラッ
ク幅W4,W3とレール幅の中心O1,O2を一致させるこ
とが容易である。さらに、各ヘッド20,22とのトラ
ック間距離W2の個体間によるばらつきがなくなる。こ
れにより、磁気ヘッド装置は、ヘッド部4と、フレキシ
ブルディスク6とのあたりの状態が良好なものとなり、
その結果、良好な電磁変換特性を得ることができる。
Further, in this example, rail processing is performed in advance,
Since the first head chip 8 and the second head chip 9 having the desired rail width are joined, the track widths W 4 and W 3 and the rail width centers O 1 and O 2 coincide. It is easy. Furthermore, the variation is eliminated by between individuals distance between tracks W 2 between the respective heads 20, 22. As a result, the magnetic head device has a good state of contact between the head portion 4 and the flexible disk 6, and
As a result, good electromagnetic conversion characteristics can be obtained.

【0073】さらに、本例は、予めレール加工を施すこ
とから、接合後レール加工を行おう必要がなく、ヘッド
作製時間の短縮が可能となり、生産効率の向上が可能と
なる。
Further, in this embodiment, since rail processing is performed in advance, it is not necessary to perform rail processing after joining, and it is possible to shorten the head manufacturing time and improve production efficiency.

【0074】[0074]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、ヘッドチップの構成を第1のヘッドチップ
と第2のヘッドチップの2部材のみとしてなることか
ら、コストダウンが可能となり、ヘッド作製時間の短縮
が可能となる。また、本発明によれば、第1のヘッドチ
ップと第2のヘッドチップを接合する前にレール加工を
施してなることから、所望の寸法精度、良好な「あた
り」を得ることができる、すなわち良好な電磁変換特性
を得ることが可能となる。
As is clear from the above description, according to the present invention, the head chip is composed of only the first head chip and the second head chip, so that the cost can be reduced. Thus, the head manufacturing time can be reduced. Further, according to the present invention, since rail processing is performed before joining the first head chip and the second head chip, it is possible to obtain a desired dimensional accuracy and a good “round”, ie, Good electromagnetic conversion characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した磁気ヘッド装置によりディス
ク状記録媒体を記録再生する際の構成を示す要部部分断
面図である。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of a main part showing a configuration when recording and reproducing a disk-shaped recording medium by a magnetic head device to which the present invention is applied.

【図2】同磁気ヘッド装置におけるヘッド部の分解斜視
図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view of a head unit in the magnetic head device.

【図3】同磁気ヘッド装置におけるヘッド部の平面図で
ある。
FIG. 3 is a plan view of a head unit in the magnetic head device.

【図4】同磁気ヘッド装置におけるヘッド部の側面図で
ある。
FIG. 4 is a side view of a head unit in the magnetic head device.

【図5】同ヘッド部における第1のヘッドチップの斜視
図である。
FIG. 5 is a perspective view of a first head chip in the head section.

【図6】同ヘッド部における第2のヘッドチップ斜視図
である。
FIG. 6 is a perspective view of a second head chip in the head section.

【図7】同第1のヘッドチップ部の製造工程を示す斜視
図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a manufacturing process of the first head chip unit.

【図8】同ヘッド部における第1のヘッドチップと第2
のヘッドチップとの接合工程を示す斜視図である。
FIG. 8 shows a first head chip and a second head chip in the head section.
FIG. 7 is a perspective view showing a bonding step with the head chip.

【図9】同ヘッド部における第1のヘッドチップと第2
のヘッドチップとの接合終了を示す斜視図である。
FIG. 9 shows a first head chip and a second head chip in the head section.
FIG. 7 is a perspective view showing the completion of bonding with the head chip.

【図10】本発明を適用した別のヘッド部における第1
のヘッドチップと第2のヘッドチップとの接合工程を示
す斜視図である。
FIG. 10 shows a first example of another head unit to which the present invention is applied.
FIG. 8 is a perspective view showing a bonding step between the head chip and the second head chip.

【図11】同磁気ヘッド装置におけるジンバルの平面図
である。
FIG. 11 is a plan view of a gimbal in the magnetic head device.

【図12】同磁気ヘッド装置におけるスペーサ部材の平
面図である。
FIG. 12 is a plan view of a spacer member in the magnetic head device.

【図13】同磁気ヘッド装置におけるスペーサ部材の縦
断面図である。
FIG. 13 is a longitudinal sectional view of a spacer member in the magnetic head device.

【図14】同ヘッド部とジンバルとスペーサ部材とを組
み立てた状態の部分断面図である。
FIG. 14 is a partial cross-sectional view showing a state where the head unit, the gimbal, and the spacer member are assembled.

【図15】同ヘッド部とジンバルとスペーサ部材と支持
アームとを組み立てた状態の部分断面斜視図である。
FIG. 15 is a partial sectional perspective view showing a state where the head unit, the gimbal, the spacer member, and the support arm are assembled.

【図16】本例との比較に用いた他のヘッドチップ部の
構成を示すものであって、組み立て前の状態を示す分解
斜視図である。
FIG. 16 is an exploded perspective view showing a configuration of another head chip portion used for comparison with the present example and showing a state before assembly.

【図17】本例との比較に用いた上記他のヘッドチップ
部の構成を示すものであって、組み立て後の状態を示す
斜視図である。
FIG. 17 is a perspective view showing a configuration of another head chip portion used for comparison with the present example and showing a state after assembly.

【図18】本例との比較に用いた上記他のヘッドチップ
部の構成を示すものであって、組み立て後にレール溝、
テーパ等が形成されたときを示す斜視図である。
FIG. 18 shows a configuration of another head chip portion used for comparison with the present example, and shows a rail groove,
It is a perspective view which shows when taper etc. are formed.

【図19】本例との比較に用いた上記他のヘッドチップ
部の構成を示すものであって、レールの中心線とトラッ
ク幅の中心が一致しない場合を示す斜視図である。
FIG. 19 is a perspective view showing a configuration of the other head chip portion used for comparison with the present example, and showing a case where the center line of the rail does not coincide with the center of the track width.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

8 第1のヘッドチップ、8a 第1のレール、9 第
2のヘッドチップ、9a 第2のレール、9c レール
溝 20 ライト・リードヘッド、21 イレーズヘッ
ド、22 第2の磁気ヘッド
Reference Signs List 8 first head chip, 8a first rail, 9 second head chip, 9a second rail, 9c rail groove 20 write / read head, 21 erase head, 22 second magnetic head

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ディスク状記録媒体の走行方向と略平行
に形成された第1のレールを有し、ディスク状記録媒体
の記録記録面と接触した状態で第1の記録密度でデータ
を記録及び/又は再生する第1のヘッドチップと、 上記第1のレールと平行に形成された第2のレールを有
するスライダ部材に、ディスク状記録媒体の信号記録面
から浮上した状態で上記第1の記録密度より高い第2の
記録密度でデータを記録及び/又は再生する第2の磁気
ヘッドが搭載されてなる第2のヘッドチップとが接合さ
れてなることを特徴とする磁気ヘッド装置。
A first rail formed substantially parallel to a running direction of the disk-shaped recording medium, and recording and recording data at a first recording density in a state of being in contact with a recording surface of the disk-shaped recording medium. And / or a first head chip to be reproduced and a slider member having a second rail formed in parallel with the first rail, the first recording medium being floated from the signal recording surface of the disk-shaped recording medium. A magnetic head device comprising a second head chip mounted with a second magnetic head for recording and / or reproducing data at a second recording density higher than the density.
【請求項2】 ディスク状記録媒体の記録記録面と接触
した状態で第1の記録密度でデータを記録及び/又は再
生する第1のヘッドチップに、ディスク状記録媒体の走
行方向と略平行に第1のレールを形成する工程と、 ディスク状記録媒体の信号記録面から浮上した状態で上
記第1の記録密度より高い第2の記録密度でデータを記
録及び/又は再生する第2の磁気ヘッドがスライド部材
に搭載されてなる第2のヘッドチップに、第1のレール
と平行に第2のレールを形成する工程と、 上記第1のヘッドチップ部と上記第2のヘッドチップ部
とを接合する工程とからなることを特徴とする磁気ヘッ
ド装置の製造方法。
A first head chip for recording and / or reproducing data at a first recording density in contact with a recording surface of the disk-shaped recording medium, substantially parallel to a running direction of the disk-shaped recording medium; Forming a first rail; and a second magnetic head for recording and / or reproducing data at a second recording density higher than the first recording density while floating from a signal recording surface of the disk-shaped recording medium. Forming a second rail in parallel with the first rail on a second head chip mounted on a slide member; joining the first head chip portion and the second head chip portion A method of manufacturing a magnetic head device.
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