JPH11143056A - Material and method for forming black matrix for color liquid crystal display device - Google Patents

Material and method for forming black matrix for color liquid crystal display device

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JPH11143056A
JPH11143056A JP30203597A JP30203597A JPH11143056A JP H11143056 A JPH11143056 A JP H11143056A JP 30203597 A JP30203597 A JP 30203597A JP 30203597 A JP30203597 A JP 30203597A JP H11143056 A JPH11143056 A JP H11143056A
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JP
Japan
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black matrix
acid
liquid crystal
crystal display
display device
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JP30203597A
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Masayuki Dan
誠之 團
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Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
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Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the material for forming the black matrix high in precision by incorporating an alkali-soluble resin obtained by condensing phenols containing cresol with aldehydes, an acid-cross-linkable methylolated melamine, a specified compound to be allowed to produce an acid by absorbing light, and a black pigment. SOLUTION: The black matrix forming material contains the alkali-soluble resin obtained by condensing phenols containing cresol with aldehydes, the acid-cross-linkable methylolated melamine, the black pigment, and one of the compounds to be allowed to produce an acid by absorbing light and represented by formulae I-II in which each of R1 and R7 is, independently, an H or halogen atom car a hydroxy or 1-3C alkyl or such alkoxy group; each of R5 and R6 is, independently, a 1-3C alkyl group; T is a univalent group represented by formula IV; (m) is 1, 2, or 3; (n) is 1, 2, 3, or 4: and X in formula IV is a halogen atom.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置用ブラックマトリックス形成材料及び該材料を用いて
カラー液晶表示装置用ブラックマトリックスを形成する
方法に関する。
The present invention relates to a black matrix forming material for a color liquid crystal display and a method for forming a black matrix for a color liquid crystal display using the material.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー液晶表示装置のカラーフィルター
は、カラー液晶表示装置の表示品位を左右している。な
かでも、高開口率、高コントラスト化には、カラーフィ
ルターのブラックマトリックスが十分な遮光性を有する
と共に、高解像度で形成されていることが必要である。
従来、カラーフィルタのブラックマトリックスにはクロ
ム蒸着膜が用いられている。しかしながら、クロム蒸着
膜からなるブラックマトリックスは遮光性に優れるもの
の、反射率が高いために、写り込みが生じ、視認性が劣
化する問題、ブラックマトリックスにクロムを用いたカ
ラーフィルター製造工程は煩雑でコストがかかる問題、
さらにはクロム廃液の処理の問題がある。
2. Description of the Related Art A color filter of a color liquid crystal display device affects the display quality of the color liquid crystal display device. Above all, in order to increase the aperture ratio and the contrast, it is necessary that the black matrix of the color filter has a sufficient light-shielding property and is formed with high resolution.
Conventionally, a chromium deposition film has been used for a black matrix of a color filter. However, although the black matrix made of a chromium-deposited film has excellent light-shielding properties, it has high reflectivity, which causes reflections and deteriorates visibility. The process of manufacturing a color filter using chrome for the black matrix is complicated and costly. Is a problem,
Further, there is a problem of treating the chromium waste liquid.

【0003】このようなことから、黒色顔料を分散した
感光性樹脂塗膜をパターニングしたブラックマトリック
スが開発されており、低反射で、安価に製造することが
できる。この黒色顔料を分散した感光性樹脂には、ラジ
カル重合型の感光性樹脂が用いられている。しかしなが
ら、ラジカル重合型の感光性樹脂は光の届く部位までし
か硬化されないため、塗膜と基板との界面付近では硬化
が不十分となり、現像条件の許容範囲が狭い。また、黒
色顔料とキノンジアジド化合物とを組み合わせた感光性
樹脂は、その成分を混合、塗布、乾燥などの操作に付し
ただけで、アルカリ不溶物が生成して画像コントラスト
が低くなったり、場合によっては実質的に現像液不溶と
なってしまい、パターン形成が全くできないなどの問題
がある。
[0003] Under these circumstances, a black matrix in which a photosensitive resin coating film in which a black pigment is dispersed has been patterned has been developed, and can be manufactured at low reflection and at low cost. As the photosensitive resin in which the black pigment is dispersed, a radical polymerization type photosensitive resin is used. However, since the radical polymerization type photosensitive resin is cured only to a portion where light can reach, curing is insufficient near an interface between the coating film and the substrate, and an allowable range of development conditions is narrow. In addition, the photosensitive resin in which a black pigment and a quinonediazide compound are combined, the components are simply mixed, applied, and subjected to operations such as drying, and alkali insolubles are generated to lower the image contrast. There is a problem that the developer becomes substantially insoluble and pattern formation cannot be performed at all.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、黒色
顔料が高濃度であっても、基板界面まで充分硬化反応が
進行し、現像の許容度が広いカラー液晶表示装置用ブラ
ックマトリックス形成材料を提供することにある。本発
明の他の目的は、ブラックマトリックス形成材料を構成
する成分の混合、塗布、乾燥工程だけでは硬化反応は進
まず、露光部と未露光部の現像液に対する溶解性コント
ラストが充分大きく、高精細なブラックマトリックスを
与えるカラー液晶表示装置用ブラックマトリックス形成
材料を提供することにある。本発明のさらなる他の目的
は、高濃度、高精細なカラー液晶表示装置用ブラックマ
トリックスを形成する方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a black matrix forming material for a color liquid crystal display device in which the curing reaction proceeds sufficiently to the substrate interface even if the concentration of the black pigment is high, and the development tolerance is wide. Is to provide. Another object of the present invention is that the curing reaction does not proceed only by the steps of mixing, coating, and drying the components constituting the black matrix forming material, and the exposed part and the unexposed part have a sufficiently high solubility contrast with the developing solution, and a high definition. An object of the present invention is to provide a black matrix forming material for a color liquid crystal display device which provides a suitable black matrix. It is still another object of the present invention to provide a method for forming a high density, high definition black matrix for a color liquid crystal display device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、下記
〔1〕〜〔2〕のカラー液晶表示装置用ブラックマトリ
ックス形成材料及びそれを用いたカラー液晶表示装置用
プラックマトリックスの形成方法が提供されて、上記本
発明の目的が達成される。 〔1〕(A)少なくともクレゾールを含むフェノール類
とアルデヒド類を縮合して得られるアルカリ可溶性樹
脂、(B)酸架橋性メチロール化メラミン樹脂、(C)
光を吸収して酸を発生する、下記一般式(I)〜(III)
で表される化合物群から選択される少なくとも1種、及
び(D)黒色顔料を含有することを特徴とするカラー液
晶表示装置用ブラックマトリックス形成材料。
According to the present invention, there are provided a black matrix forming material for a color liquid crystal display device of the following [1] and [2] and a method for forming a plaque matrix for a color liquid crystal display device using the same. Thus, the object of the present invention is achieved. [1] (A) an alkali-soluble resin obtained by condensing phenols and aldehydes containing at least cresol, (B) an acid-crosslinkable methylolated melamine resin, (C)
The following general formulas (I) to (III) which generate an acid by absorbing light
A black matrix-forming material for a color liquid crystal display device, comprising: (D) a black pigment.

【0006】[0006]

【化3】 Embedded image

【0007】(上記式中、R1、R7 は、各々独立に、
水素原子、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、炭素数1〜
3のアルキル基、又は炭素数1〜3のアルコキシ基を示
し、R 5及びR6は、同一又は異なって、炭素数1〜3の
アルキル基を示し、Tは、下記一般式(IV)で示される
1価の基を示し、mは1〜3の整数であり、nは1〜4
の整数である。
(In the above formula, R1, R7Are each independently
Hydrogen atom, hydroxyl group, halogen atom, carbon number 1
3 represents an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms.
Then R FiveAnd R6Are the same or different and have 1 to 3 carbon atoms
Represents an alkyl group, and T is represented by the following general formula (IV)
Represents a monovalent group, m is an integer of 1 to 3, and n is 1 to 4
Is an integer.

【0008】[0008]

【化4】 Embedded image

【0009】なお、上記一般式(IV)中、Xはハロゲン原
子を示す。) 〔2〕上記〔1〕に記載のカラー液晶表示装置用ブラッ
クマトリックス形成材料を透明基板に塗布し、形成され
た塗布膜に所望のパターン状に露光し、露光後加熱処理
して露光部を架橋させるとともに、露光により発生した
酸を基板まで拡散させ、その後アルカリ現像液により未
露光部を除去することを特徴とするカラー液晶表示装置
用ブラックマトリックスの形成方法。
In the general formula (IV), X represents a halogen atom. [2] The material for forming a black matrix for a color liquid crystal display device according to [1] is applied to a transparent substrate, and the formed coating film is exposed to a desired pattern. A method for forming a black matrix for a color liquid crystal display device, comprising crosslinking and diffusing an acid generated by exposure to a substrate, and removing an unexposed portion with an alkali developing solution.

【0010】本発明の上記特定の組成のブラックマトリ
ックス形成材料を、基板上に塗布し、形成した塗布膜に
所望のパターン状に露光することにより、露光した部分
に存在する(C)成分が分解して酸を発生する。その後
の加熱処理により、発生した酸は成分(B)である酸架
橋性メチロール化メラミン樹脂を架橋して、アルカリ現
像液に対して不溶化すると同時に、露光により発生した
酸が基板まで拡散し、基板付近の上記(B)成分をも架
橋、不溶化させることができる。
The black matrix forming material of the above specific composition of the present invention is coated on a substrate, and the formed coating film is exposed to a desired pattern, whereby the component (C) present in the exposed portion is decomposed. To generate acid. The acid generated by the subsequent heat treatment crosslinks the acid-crosslinkable methylolated melamine resin, which is the component (B), and is insolubilized in an alkali developing solution. At the same time, the acid generated by exposure diffuses to the substrate. The component (B) in the vicinity can also be crosslinked and insolubilized.

【0011】本発明では、このように、光が黒色顔料に
より遮られて、基板と塗膜の界面まで到達しなくても、
塗膜表面を露光するだけで、基板と塗膜の界面まで
(B)成分が架橋して、現像液に対して不溶化させるこ
とができる。その結果、黒色顔料を高濃度に含むブラッ
クマトリックスが形成される。また、成分(A)〜
(D)を、混合、塗布、乾燥の一連の工程に付しても、
硬化することはなく、露光部と非露光部の現像液に対す
る溶解性のコントラストが充分に大きい。従って形成さ
れるブラックマトリックスは、高精細である。以下本発
明を詳述するが、それにより本発明の他の目的、利点及
び効果が明らかとなるであろう。
According to the present invention, even if the light is blocked by the black pigment and does not reach the interface between the substrate and the coating film,
By simply exposing the surface of the coating film, the component (B) is cross-linked to the interface between the substrate and the coating film and can be insolubilized in a developer. As a result, a black matrix containing a high concentration of a black pigment is formed. In addition, components (A) to
(D) may be subjected to a series of steps of mixing, coating and drying,
There is no curing, and the contrast of solubility between the exposed part and the unexposed part in the developing solution is sufficiently large. Therefore, the formed black matrix has high definition. The present invention is described in detail below, and other objects, advantages and effects of the present invention will become apparent.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】まず、カラー液晶表示装置用ブラ
ックマトリックス形成材料の成分である(A)少なくと
もクレゾールを含むフェノール類とアルデヒド類を縮合
して得られるアルカリ可溶性樹脂について説明する。ま
た、本発明においては、上記樹脂として、少なくともク
レゾールを含むフェノール類とアルデヒド類を縮合して
得られるレゾール樹脂あるいはノボラック樹脂が好まし
い。少なくともクレゾールを含むフェノール類とアルデ
ヒド類を縮合して得られるアルカリ可溶性樹脂として
は、o−、m−あるいはp−クレゾールを50%以上含
有するフェノール類とアルデヒド類を反応させて得られ
る樹脂が好ましい。クレゾール以外に含有してもよいフ
ェノール類としては、o−メトキシフェノール、m−メ
トキシフェノール、o−エチルフェノール、m−エチル
フェノール、p−エチルフェノール、3,5−ジメトキ
シフェノール、2−メトキシ−4−メチルフェノール、
o−プロポキシフェノール、o−ブトキシフェノール、
3,4,5−トリメチルフェノール、o−ビニルフェノ
ール、m−フェニルフェノール等が挙げられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, an alkali-soluble resin obtained by condensing a phenol and an aldehyde containing at least cresol, which is a component of a black matrix forming material for a color liquid crystal display device, will be described. In the present invention, the resin is preferably a resol resin or a novolak resin obtained by condensing a phenol containing at least cresol and an aldehyde. As the alkali-soluble resin obtained by condensing a phenol containing at least cresol and an aldehyde, a resin obtained by reacting a phenol containing at least 50% of o-, m- or p-cresol with an aldehyde is preferable. . Examples of phenols that may be contained in addition to cresol include o-methoxyphenol, m-methoxyphenol, o-ethylphenol, m-ethylphenol, p-ethylphenol, 3,5-dimethoxyphenol, and 2-methoxy-4. -Methylphenol,
o-propoxyphenol, o-butoxyphenol,
Examples include 3,4,5-trimethylphenol, o-vinylphenol, m-phenylphenol and the like.

【0013】アルデヒド類としては、ホルムアルデヒ
ド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピ
ルアルデヒド、ベンズアルデヒド、フェニルアルデヒ
ド、α−フェニルプロピルアルデヒド、β−フェニルプ
ロピルアルデヒド、o−ヒドロキシベンズアルデヒド等
が挙げられる。好ましくはホルムアルデヒドである。本
発明においては、o−、m−あるいはp−クレゾールま
たはそれらの混合物とホルムアルデヒドを反応させて得
られる樹脂が好ましい。
The aldehydes include formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, propylaldehyde, benzaldehyde, phenylaldehyde, α-phenylpropylaldehyde, β-phenylpropylaldehyde, o-hydroxybenzaldehyde and the like. Preferably it is formaldehyde. In the present invention, a resin obtained by reacting o-, m- or p-cresol or a mixture thereof with formaldehyde is preferred.

【0014】上記の樹脂の好ましい重量平均分子量とし
ては、500〜20000であり、より好ましくは10
00〜15000である。
The weight average molecular weight of the above resin is preferably 500 to 20,000, more preferably 10 to 20,000.
00 to 15000.

【0015】上記(A)成分の樹脂の本発明の形成材料
中の含有量としては、全固形分(重量)に対して35〜
90重量%が好ましく、より好ましくは45〜75重量
%である。
The content of the resin of the above-mentioned component (A) in the forming material of the present invention is from 35 to 35% based on the total solid content (weight).
It is preferably 90% by weight, more preferably 45 to 75% by weight.

【0016】カラー液晶表示装置用ブラックマトリック
ス形成材料の成分である(B)酸架橋性メチロール化メ
ラミン樹脂について説明する。酸架橋性メチロール化メ
ラミン樹脂としては、具体的にはモノメチロールメラミ
ン、ジメチロールメラミン、トリメチロールメラミン、
テトラメチロールメラミン、ペンタメチロールメラミ
ン、ヘキサメチロールメラミン等が挙げられる。本発明
において好ましい具体例はヘキサメチロールメラミンで
ある。
The (B) acid-crosslinkable methylolated melamine resin, which is a component of the black matrix forming material for a color liquid crystal display device, will be described. As the acid-crosslinkable methylolated melamine resin, specifically, monomethylol melamine, dimethylol melamine, trimethylol melamine,
Examples include tetramethylolmelamine, pentamethylolmelamine, and hexamethylolmelamine. A preferred embodiment according to the present invention is hexamethylolmelamine.

【0017】上記(B)成分の酸架橋性メチロール化メ
ラミン樹脂の本発明の形成材料中の含有量としては、全
固形分(重量)に対して0.1〜30重量%が好まし
く、より好ましくは1〜10重量%である。
The content of the acid-crosslinkable methylolated melamine resin (B) in the forming material of the present invention is preferably from 0.1 to 30% by weight, more preferably from the total solid content (weight). Is 1 to 10% by weight.

【0018】本発明のブラックマトリックス形成材料の
成分である(C)光を吸収して酸を発生する、前記一般
式(I)〜(III)で表される含ハロゲントリアジン化合
物について説明する。
The halogen-containing triazine compounds represented by the above general formulas (I) to (III), which are components of the black matrix forming material of the present invention and which generate an acid by absorbing light (C), will be described.

【0019】一般式(I)〜(III)において、R1、R
7 は、水素原子、ヒドロキシル基、ハロゲン原子、炭素
数1〜3のアルキル基、又は炭素数1〜3のアルコキシ
基を示す。なかでもヒドロキシル基、ハロゲン原子、炭
素原子1〜3のアルコキシ基が好ましい。R5及びR
6は、同一又は異なって、炭素数1〜3のアルキル基を
示す。好ましいアルキル基は、エチル基、プロピル基、
イソプロピル基である。Tは、前記一般式(IV)で示さ
れる1価の基を示し、mは1〜3の整数、好ましくは1
〜2であり、nは1〜4の整数、好ましくは1〜2であ
る。なお、上記一般式(IV)中、Xはハロゲン原子、好
ましくは臭素原子、塩素原子を示す。
In the general formulas (I) to (III), R 1 , R
7 represents a hydrogen atom, a hydroxyl group, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms. Among them, a hydroxyl group, a halogen atom and an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms are preferable. R 5 and R
6 is the same or different and represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Preferred alkyl groups are ethyl group, propyl group,
It is an isopropyl group. T represents a monovalent group represented by the general formula (IV), and m is an integer of 1 to 3, preferably 1
And n is an integer of 1 to 4, preferably 1 or 2. In the general formula (IV), X represents a halogen atom, preferably a bromine atom or a chlorine atom.

【0020】一般式(I)〜(III)で表される含ハロゲ
ントリアジン化合物の好ましい具体例として、下記の化
合物を挙げることができる。
Preferred specific examples of the halogen-containing triazine compounds represented by the general formulas (I) to (III) include the following compounds.

【0021】4−(o−フロロ−p−N−クロロエチル
アミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエ
チルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−ク
ロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N
−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p
−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(ト
リクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ
−p−N−メトキシカルボニルメチルアミノフェニル)
−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
4−(o−クロロ−p−N−メトキシカルボニルメチル
アミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン等が挙げられる。
4- (o-fluoro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)-
s-triazine, 4- (o-chloro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-p-N-chloroethylaminophenyl ) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro-p-N
-Chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-p
-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-p-N-methoxycarbonylmethylaminophenyl)
-2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
4- (o-chloro-p-N-methoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)-
s-triazine and the like.

【0022】なかでも、4−(o−フロロ−p−N−エ
トキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブ
ロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメ
チルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジンの使用が好ましい。上記のような
含ハロゲントリアジン化合物は、1種単独で又は2種以
上を組み合わせて使用することができる。また、本発明
の形成材料中の含ハロゲントリアジン化合物の配合量
は、全固形分(重量)に対して、好ましくは0.1〜3
0重量%、より好ましくは1〜10重量%である。
Among them, 4- (o-fluoro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-p-N-ethoxy) Carbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s- The use of triazines is preferred. The halogen-containing triazine compounds as described above can be used alone or in combination of two or more. The compounding amount of the halogen-containing triazine compound in the forming material of the present invention is preferably 0.1 to 3 with respect to the total solid content (weight).
0% by weight, more preferably 1 to 10% by weight.

【0023】本発明のブラックマトリックス形成材料に
用いられる(D)黒色顔料としては、有機顔料、無機顔
料のいずれもが使用され得る。好ましい有機顔料とし
て、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーンで
例示されるフタロシアニン系顔料;クロモフタルレッド
で例示されるアントラキノン系顔料;ボルドー10B及
びレーキレッドで例示されるアゾもしくはアゾレーキ顔
料;イルガジンイエローで例示されるイソインドリノン
系顔料;ジオキサジンバイオレッドで例示されるジオキ
サジン系顔料;ナフトールグリーンBで例示されるニト
ロソ顔料;ニトロ顔料;ピーコックブルーレーキ及びロ
ーダミンレーキで例示されるレーキ顔料;キナクドリン
顔料;キナクリジン顔料などの耐熱性、耐光性の高いも
のを挙げることができる。好ましい無機顔料として、カ
ーボンブラック;酸化チタン、酸化鉄、酸化亜鉛、酸化
クロムなどの金属酸化物顔料;硫化亜鉛で例示される硫
化物顔料;その他炭酸塩、ケイ酸塩などを挙げることが
できる。これら顔料は、その種類にもよるが、1種単独
で又は2種以上を組み合わせて使用される。これらの顔
料は、全固形分(重量)に対して10〜70重量%、特
には20〜50重量%用いることが好ましい。
As the (D) black pigment used in the black matrix forming material of the present invention, any of organic pigments and inorganic pigments can be used. As preferred organic pigments, phthalocyanine pigments exemplified by phthalocyanine blue and phthalocyanine green; anthraquinone pigments exemplified by chromophthal red; azo or azo lake pigments exemplified by Bordeaux 10B and lake red; Isoindolinone pigments; dioxazine pigments exemplified by dioxazine violet; nitroso pigments exemplified by naphthol green B; nitro pigments; lake pigments exemplified by peacock blue lake and rhodamine lake; quinacdrine pigments; Having high heat resistance and light resistance. Preferred inorganic pigments include carbon black; metal oxide pigments such as titanium oxide, iron oxide, zinc oxide, and chromium oxide; sulfide pigments exemplified by zinc sulfide; and other carbonates and silicates. These pigments are used singly or in combination of two or more, depending on the type. These pigments are preferably used in an amount of 10 to 70% by weight, particularly 20 to 50% by weight, based on the total solid content (weight).

【0024】いずれの顔料を用いる場合にも、光散乱を
避け、平坦性を確保するために、その粒径は、0.4μ
m以下、特には0.2μm以下であることが好ましい。
Regardless of the type of pigment used, in order to avoid light scattering and ensure flatness, the particle size is 0.4 μm.
m or less, particularly preferably 0.2 μm or less.

【0025】また、黒みを増すために、可視光全域にわ
たり、一様に透過率が5%以下で、かつ人間の目にもっ
とも感度の良い550nm付近での透過率が最低になる
ように、上記顔料の使用量の比を選択することが好まし
い。
In order to increase the darkness, the transmittance is uniformly set to 5% or less over the entire visible light range, and the transmittance at around 550 nm, at which the human eye is most sensitive, is minimized. It is preferable to select the ratio of the amount of the pigment used.

【0026】以上の(A)、(B)、(C)及び(D)
の各成分の他に、本発明のカラー液晶表示装置用ブラッ
クマトリックス形成材料は、任意成分として、本発明の
目的の達成を阻害しない範囲で、シリコン系界面活性
剤、フッ素系界面活性剤、アミン類等を含有することが
できる。
The above (A), (B), (C) and (D)
In addition to the components described above, the black matrix forming material for a color liquid crystal display device of the present invention may include, as an optional component, a silicon-based surfactant, a fluorine-based surfactant, and an amine as long as the object of the invention is not hindered. And the like.

【0027】本発明のブラックマトリックス形成材料か
ら、以下の方法でカラー液晶表示装置のブラックマトリ
ックスを形成することができる。即ち、(A)のアルカ
リ可溶性樹脂、(B)酸架橋性メチロール化メラミン樹
脂、(C)光を吸収して酸を発生する、含ハロゲントリ
アジン化合物、(D)黒色顔料、及び任意成分を含有す
るブラックマトリックス形成材料からなるレジストを透
明基板に塗布し、加熱により溶媒を乾燥させて、黒色レ
ジスト膜を形成する。つづいて、所望のパターンを有す
るマスクを用いて黒色レジスト膜に選択的に露光する。
この露光により、レジスト表面の露光部において、上記
(C)成分が光の作用で分解して酸を発生する。加熱処
理により、この酸と上記(B)成分とが反応して、
(B)成分が架橋すると同時に、酸が黒色レジスト膜の
膜厚方向に拡散して(B)成分の架橋が更に基板付近ま
で進行し、潜像が形成される。この後、アルカリ現像液
で現像処理を行い、未露光部が除去されて、前記透明基
板上に黒色レジストパターンが選択的に形成される。さ
らにポストベークを行うことにより、ブラックマトリッ
クスが形成される。
From the black matrix forming material of the present invention, a black matrix of a color liquid crystal display device can be formed by the following method. That is, it contains (A) an alkali-soluble resin, (B) an acid-crosslinkable methylolated melamine resin, (C) a halogen-containing triazine compound capable of absorbing light to generate an acid, (D) a black pigment, and an optional component. A resist made of a black matrix forming material is applied to a transparent substrate, and the solvent is dried by heating to form a black resist film. Subsequently, the black resist film is selectively exposed using a mask having a desired pattern.
By this exposure, in the exposed portion of the resist surface, the component (C) is decomposed by the action of light to generate an acid. By the heat treatment, the acid reacts with the component (B),
Simultaneously with the crosslinking of the component (B), the acid diffuses in the thickness direction of the black resist film, and the crosslinking of the component (B) further proceeds to the vicinity of the substrate, thereby forming a latent image. Thereafter, development processing is performed with an alkali developing solution, and the unexposed portions are removed, and a black resist pattern is selectively formed on the transparent substrate. Further, by performing post-baking, a black matrix is formed.

【0028】ここで、上記塗布膜の膜厚としては、0.
5〜5μmが好ましく、より好ましくは0.7〜3μm
である。上記露光光としては紫外線、電子線、X線等が
挙げられる。上記加熱処理としては、好ましい温度とし
て80〜180℃、より好ましくは100〜160℃
で、好ましい加熱時間として30秒〜300秒、より好
ましくは30秒〜180秒で行うことができる。アルカ
リ現像液としては、この分野で通常用いられているもの
を用いることができる。例えば、水酸化カリウム、水酸
化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水
素カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機アルカリ、あ
るいはトリエタノールアミン、トリメチルアミン、トリ
エチルアミン、ピリジン、テトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイドロ
オキサイド等のアミン類を挙げることができる。
Here, the thickness of the coating film is set to 0.1.
5 to 5 μm is preferable, and more preferably 0.7 to 3 μm
It is. Examples of the exposure light include ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like. As the above-mentioned heat treatment, a preferable temperature is 80 to 180 ° C, more preferably 100 to 160 ° C.
The heating can be performed at a preferable heating time of 30 seconds to 300 seconds, more preferably 30 seconds to 180 seconds. As the alkali developer, those commonly used in this field can be used. For example, inorganic alkalis such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, potassium carbonate, sodium carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, etc., or triethanolamine, trimethylamine, triethylamine, pyridine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, etc. Amines can be mentioned.

【0029】以上説明したとおり、本発明のブラックマ
トリックス形成材料をレジストとして用いることによ
り、露光により酸が発生し、光による直接的なレジスト
の硬化は起こらない。その後、加熱処理により、酸が発
生した部分に選択的に架橋反応が起こると同時に、さら
に加熱により酸が膜厚方向に拡散してレジストの硬化を
進めることができる。これにより、現像ラチチュードが
広くなり、高い光学濃度のブラックマトリックスが形成
される。
As described above, by using the black matrix forming material of the present invention as a resist, an acid is generated by exposure, and the resist is not directly cured by light. Thereafter, the heat treatment allows a cross-linking reaction to occur selectively in the portion where the acid has been generated, and at the same time, the acid can be diffused in the film thickness direction by heating to advance the curing of the resist. Thereby, the development latitude is widened, and a black matrix having a high optical density is formed.

【0030】[0030]

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。 (実施例1)まず下記組成の溶液を調液し、8時間撹拌
することにより感光性樹脂溶液を得た。 レゾール(*1) 5g ヘキサメチロールメラミン 0.5g 4−(O−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)- 2,6-ジ-(トリクロロメチル)-s-トリアジン 0.55g カーボンブラック分散液(*2) 22g エチルセロソルブアセテート 40g (*1:o−クレゾール、p−クレゾールとホルムアルデヒドよりなるレゾール 樹脂) (*2:固形分濃度33%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 溶液)
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto. (Example 1) First, a solution having the following composition was prepared and stirred for 8 hours to obtain a photosensitive resin solution. Resole (* 1) 5 g Hexamethylolmelamine 0.5 g 4- (O-bromo-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di- (trichloromethyl) -s-triazine 0.55 g Carbon black dispersion Liquid (* 2) 22 g Ethyl cellosolve acetate 40 g (* 1: resole resin consisting of o-cresol, p-cresol and formaldehyde) (* 2: propylene glycol monomethyl ether acetate solution with a solid concentration of 33%)

【0031】この感光性樹脂溶液を1.1mm厚のコー
ニング社製ほうケイ酸ガラス7059を100mm角に
カットし、1%水酸化ナトリウム水溶液にて超音波洗浄
した基板に、スピンコーターを用いて1.1μmの膜厚
となるように塗布し、100℃で60秒間加熱した。つ
いで線幅が20μm(ブラックマトリックスになる部分
が20μm)のマスクを介してウシオ電気社製露光装置
にて200mJ/cm2の条件で露光した。この基板を
130℃にて60秒間加熱した後、富士フイルムオーリ
ン社製現像液FHD−5に適宜浸漬し、その後高圧スプ
レーで水洗することからなる現像を行った。現像液に浸
漬する時間を変え、そのときに形成される画像の線幅変
化を表1に示す。
Using a spin coater, the photosensitive resin solution was cut into 1.1 mm thick borosilicate glass 7059 manufactured by Corning Co., Ltd. in a 100 mm square, and ultrasonically washed with a 1% aqueous sodium hydroxide solution using a spin coater. It was applied to a thickness of 0.1 μm and heated at 100 ° C. for 60 seconds. Then, exposure was performed at 200 mJ / cm 2 using an exposure apparatus manufactured by Ushio Electric Co., Ltd. through a mask having a line width of 20 μm (a portion serving as a black matrix was 20 μm). After heating the substrate at 130 ° C. for 60 seconds, it was immersed in a developing solution FHD-5 manufactured by Fuji Film Aurin Co., Ltd., and then developed by washing with high-pressure spray. Table 1 shows the line width change of the image formed at different times of immersion in the developer.

【0032】得られたブラックマトリックス画像を22
0℃にて30分間加熱処理を行い、その後の膜厚及び光
学濃度(OD)を測定すると、膜厚1.06μm、OD
3.15であった。画像は良好に解像されており、現像
残り、残査、あるいは画像部の欠け等は発生していなか
った。また、露光量を400mJ/cm2にして上記と
同様の加熱、現像操作を行った際の線幅変化の結果も併
せて表1に示す。この場合も画像は良好に解像されてお
り、現像残り、残さ、あるいは画像都の欠け等は発生し
ていなかった。
The obtained black matrix image was converted to 22
After a heat treatment at 0 ° C. for 30 minutes, the film thickness and optical density (OD) were measured.
3.15. The image was well resolved, and no development residue, residue, or chipped image portion occurred. Table 1 also shows the results of changes in line width when the same heating and developing operations were performed with the exposure amount set to 400 mJ / cm 2 . Also in this case, the image was well resolved, and no undeveloped portion, no residue, lack of image area, or the like occurred.

【0033】(実施例2)下記組成の溶液を調液し実施
例1と同様に8時間撹伴して、感光性樹脂溶液を得た。 クレゾールノボラック(*1) 2.5g ヘキサメチロールメラミン 0.3g 4−(O−ブロモ-p-N-エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)- 2,6-ジ-(トリクロロメチル)-s-トリアジン 0.3g カーボンブラック分散液(*2) 13.5g プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 20g (*1:o−クレゾール、p−クレゾールとホルムアルデヒドよりなるクレゾー ルノボラック樹脂) (*2:固形分濃度33%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 溶液)
(Example 2) A solution having the following composition was prepared and stirred for 8 hours in the same manner as in Example 1 to obtain a photosensitive resin solution. Cresol novolak (* 1) 2.5 g Hexamethylolmelamine 0.3 g 4- (O-bromo-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di- (trichloromethyl) -s-triazine 0.3 g Carbon black dispersion (* 2) 13.5 g propylene glycol monomethyl ether acetate 20 g (* 1: cresol novolak resin composed of o-cresol, p-cresol and formaldehyde) (* 2: propylene glycol monomethyl ether acetate having a solid content of 33%) solution)

【0034】この感光性樹脂溶液を実施例1と同様の操
作で、ガラス基板上に1.2μmの膜厚となるように塗
布し、120℃で60秒間加熱した。ついで実施例1で
使用したものと同じマスクを介してウシオ電気社製露光
装置にて200mJ/cm2の条件で露光した。この基
板を130℃にて60秒間加熱した後、同じく富士フイ
ルムオーリン社製現像液FHD−5に適宜浸漬し、その
後高圧スプレーにて水洗を行った。現像液浸漬時間を変
えた際の線幅変化は、表1に示したとおりである。得ら
れた画像を200℃にて20分間加熱処理を行うと、膜
厚及び光学濃度(OD)は、それぞれ膜厚1.15μ
m、OD3.36であった。画像は、実樋例1と同様、
良好に解像されており、現像残り、残さ、画像部の欠け
等の発生は見られなかった。
This photosensitive resin solution was applied on a glass substrate to a thickness of 1.2 μm in the same manner as in Example 1, and heated at 120 ° C. for 60 seconds. Then, exposure was performed under the condition of 200 mJ / cm 2 using an exposure apparatus manufactured by Ushio Inc. through the same mask as used in Example 1. After heating this substrate at 130 ° C. for 60 seconds, it was similarly immersed in a developing solution FHD-5 manufactured by Fuji Film Aurin, and then washed with high-pressure spray. The line width change when the developer immersion time was changed is as shown in Table 1. When the obtained image was subjected to a heat treatment at 200 ° C. for 20 minutes, the film thickness and the optical density (OD) were 1.15 μm each.
m, OD 3.36. The image is similar to the actual gutter example 1.
The resolution was good, and no development residue, residue, chipping of the image area, etc. were observed.

【0035】(比較例1)下記組成の溶液を調液し、8
時間撹拌して樹脂溶液を得た。 上記クレゾールノボラック 5g ヘキサメチロールメラミン 0.5g 2,3,4,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン 4−ナフトキノンジアジドス ルホン酸エステル 0.55g カーボンブラック分散液* 13.5g プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 20g (*:固形分濃度33%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶 液) この樹脂溶液を実施例1と同様の操作で1.1μmの膜
厚となるように塗布、加熱操作を行った。次いで200
mJ/cm2の露光、120℃、60秒間の加熱を行っ
た後、現像処理を行ったが、現像時間を4分間として
も、塗布膜は全く変化せず、画像を得ることはできなか
った。
Comparative Example 1 A solution having the following composition was prepared, and 8
After stirring for an hour, a resin solution was obtained. The above cresol novolak 5 g Hexamethylol melamine 0.5 g 2,3,4,4-tetrahydroxybenzophenone 4-naphthoquinonediazidosulfonic acid ester 0.55 g Carbon black dispersion * 13.5 g Propylene glycol monomethyl ether acetate 20 g (*: solid (Protein glycol monomethyl ether acetate solution with a partial concentration of 33%) This resin solution was applied and heated in the same manner as in Example 1 so as to have a film thickness of 1.1 μm. Then 200
After exposure at mJ / cm 2 and heating at 120 ° C. for 60 seconds, development was performed. Even when the development time was 4 minutes, the coating film did not change at all, and no image could be obtained. .

【0036】(比較例2)比較例1において、2,3,4,4
−テトラヒドロキシベンゾフェノン 4−ナフトキノンジ
アジドスルホン酸エステルを、2,4−トリクロルメチル
(4'−メトキシスチリル)−6−トリアジンに変えて
樹脂溶液を調液する他は、比較例1と同様の操作を行っ
た。露光、加熱、現像処理を行うと、全く画像が残らず
すべて現像液に溶解した。また、露光後の加熱条件を、
140℃、60秒間とすると、画像は線幅20μmの l
ine & space を解像しておらず spaceのつぶれたベタ画
像となった。
Comparative Example 2 In Comparative Example 1, 2, 3, 4, 4
-Tetrahydroxybenzophenone The same operation as in Comparative Example 1 was carried out except that the resin solution was prepared by changing 4-naphthoquinonediazidosulfonic acid ester to 2,4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl) -6-triazine. went. After exposure, heating and development, all of the image was dissolved in the developer without leaving any image. In addition, the heating conditions after exposure,
Assuming 140 ° C. and 60 seconds, the image is lμm with a line width of 20 μm.
ine & space was not resolved, and it became a solid image with space collapsed.

【0037】(比較例3)下記組成の溶液を調液し、8
時間撹拌して樹脂溶液を得た。 ジベンタエリスリトールヘキサアクリレート 5g アクリル系樹脂** 6g 2,4−トリクロルメチル(4'−ジメチルアミノスチリル) −6−トリアジン 0.55g カーボンブラック分散液* 25g エチルセロソルブアセテート 40g (*:固形分濃度33%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶 液、**:ヒドロキシエチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸共重合体 )
(Comparative Example 3) A solution having the following composition was prepared, and
After stirring for an hour, a resin solution was obtained. Diventerythritol hexaacrylate 5 g Acrylic resin ** 6 g 2,4-Trichloromethyl (4'-dimethylaminostyryl) -6-triazine 0.55 g Carbon black dispersion * 25 g Ethyl cellosolve acetate 40 g (*: solids concentration 33 % Propylene glycol monomethyl ether acetate solution, **: hydroxyethyl methacrylate / styrene / methacrylic acid copolymer)

【0038】この樹脂溶液を実施例1と同様の操作で
1.0μmの膜厚となるように塗布、加熱操作を行っ
た。次いで400mJ/cm2の露光を行った後、富士
フィルムオーリン社製現像液CD20001にて、実施
例1と同様の現像処理を行った。現像液に浸漬する時間
を変え、そのときに形成される画像の線幅変化を表2に
示す。得られたブラックマトリックス画像を、200℃
で20分間加熱処理を行い、その後の膜厚及び光学濃度
(OD)を測定すると、膜厚0.91μm、OD2.5
5であった。
This resin solution was applied and heated in the same manner as in Example 1 to a thickness of 1.0 μm. Next, after performing exposure of 400 mJ / cm 2 , the same developing processing as in Example 1 was performed using a developing solution CD20001 manufactured by Fuji Film Ohlin Co., Ltd. Table 2 shows changes in the line width of the image formed at different times of immersion in the developer. The obtained black matrix image was heated at 200 ° C.
For 20 minutes, and then the film thickness and optical density (OD) were measured.
It was 5.

【0039】[0039]

【表1】 [Table 1]

【0040】[0040]

【表2】 [Table 2]

【0041】以上の実施例及び比較例から、本発明のブ
ラックマトリックス形成材料は、露光後の現像の許容範
囲が広く、且つ露光部と未露光部の現像液に対する溶解
性のコントラストが充分大きく、高濃度で精細なブラッ
クマトリックスが得られることが分かる。
From the above Examples and Comparative Examples, the black matrix forming material of the present invention has a wide allowable range of development after exposure, and has a sufficiently high contrast between the exposed and unexposed portions in the developing solution. It can be seen that a fine black matrix can be obtained at a high concentration.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明のカラー液晶表示装置用ブラック
マトリックス形成材料は、 1.黒色顔料が高濃度であっても、基板界面まで充分硬
化反応が進行し、 2.現像の許容度が広く、 3.成分の混合、塗布、乾燥工程だけでは硬化反応は進
まず、露光部と未露光部の現像液に対する溶解性のコン
トラストが充分大きい。 従って、本発明のブラックマトリックス形成材料から、
高濃度、高精細なブラックマトリックスが得られる。
The black matrix forming material for a color liquid crystal display device of the present invention comprises: Even if the black pigment is at a high concentration, the curing reaction sufficiently proceeds to the substrate interface; 2. The development tolerance is wide. The curing reaction does not proceed only by the mixing, coating, and drying steps of the components, and the contrast of solubility between the exposed portion and the unexposed portion in the developing solution is sufficiently large. Therefore, from the black matrix forming material of the present invention,
A high concentration, high definition black matrix can be obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G02B 5/00 G02B 5/00 B 5/20 101 5/20 101 G02F 1/1335 G02F 1/1335 G03F 7/027 511 G03F 7/027 511 7/038 601 7/038 601 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G02B 5/00 G02B 5/00 B 5/20 101 5/20 101 G02F 1/1335 G02F 1/1335 G03F 7/027 511 G03F 7 / 027 511 7/038 601 7/038 601

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)少なくともクレゾールを含むフェノ
ール類とアルデヒド類を縮合して得られるアルカリ可溶
性樹脂、(B)酸架橋性メチロール化メラミン樹脂、
(C)光を吸収して酸を発生する、下記一般式(I)〜
(III)で表される化合物群から選択される少なくとも1
種、及び(D)黒色顔料を含有することを特徴とするカ
ラー液晶表示装置用ブラックマトリックス形成材料。 【化1】 (上記式中、R1 、R7 は、各々独立に水素原子、ヒド
ロキシル基、ハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル
基、又は炭素数1〜3のアルコキシ基を示し、R5及び
6 は、同一又は異なって、炭素数1〜3のアルキル基
を示し、Tは、下記一般式(IV)で示される1価の基を
示し、mは1〜3の整数であり、nは1〜4の整数であ
る。 【化2】 なお、上記一般式(IV)中、Xはハロゲン原子を示す。)
1. An alkali-soluble resin obtained by condensing a phenol containing at least cresol and an aldehyde, (B) an acid-crosslinkable methylolated melamine resin,
(C) The following general formulas (I) to which generate an acid by absorbing light.
At least one selected from the group of compounds represented by (III)
A black matrix forming material for a color liquid crystal display device, comprising: a seed; and (D) a black pigment. Embedded image (In the above formula, R 1 and R 7 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and R 5 and R 6 Is the same or different and represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, T represents a monovalent group represented by the following general formula (IV), m is an integer of 1 to 3, and n is 1 It is an integer of up to 4. In the general formula (IV), X represents a halogen atom. )
【請求項2】 請求項1に記載のカラー液晶表示装置用
ブラックマトリックス形成材料を透明基板に塗布し、形
成された塗布膜に所望のパターン状に露光し、露光後加
熱処理して露光部を架橋させるとともに、露光により発
生した酸を基板まで拡散させ、その後アルカリ現像液に
より未露光部を除去することを特徴とするカラー液晶表
示装置用ブラックマトリックスの形成方法。
2. A material for forming a black matrix for a color liquid crystal display device according to claim 1, which is applied to a transparent substrate, the formed coating film is exposed in a desired pattern, and after the exposure, heat treatment is performed to form an exposed portion. A method for forming a black matrix for a color liquid crystal display device, comprising crosslinking and diffusing an acid generated by exposure to a substrate, and removing an unexposed portion with an alkali developing solution.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007047631A (en) * 2005-08-12 2007-02-22 Toyo Ink Mfg Co Ltd Color composition for black matrix
US7255980B2 (en) 2004-11-12 2007-08-14 Samsung Corning Co., Ltd. Black matrix, method for preparing the same, and flat panel display and electromagnetic interference filter using the same
US7297451B2 (en) 2004-07-21 2007-11-20 Samsung Corning Co., Ltd. Black matrix, method for the preparation thereof, flat display device and electromagnetic interference filter employing the same
JP2011215597A (en) * 2010-03-15 2011-10-27 Jsr Corp Radiation-sensitive composition, method for forming insulating film, insulating film and solid-state imaging element

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7297451B2 (en) 2004-07-21 2007-11-20 Samsung Corning Co., Ltd. Black matrix, method for the preparation thereof, flat display device and electromagnetic interference filter employing the same
US7255980B2 (en) 2004-11-12 2007-08-14 Samsung Corning Co., Ltd. Black matrix, method for preparing the same, and flat panel display and electromagnetic interference filter using the same
JP2007047631A (en) * 2005-08-12 2007-02-22 Toyo Ink Mfg Co Ltd Color composition for black matrix
JP2011215597A (en) * 2010-03-15 2011-10-27 Jsr Corp Radiation-sensitive composition, method for forming insulating film, insulating film and solid-state imaging element

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