JPH11142773A - Galvano-mirror - Google Patents
Galvano-mirrorInfo
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- JPH11142773A JPH11142773A JP32212797A JP32212797A JPH11142773A JP H11142773 A JPH11142773 A JP H11142773A JP 32212797 A JP32212797 A JP 32212797A JP 32212797 A JP32212797 A JP 32212797A JP H11142773 A JPH11142773 A JP H11142773A
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- center pin
- permanent magnet
- movable part
- mirror
- upper center
- Prior art date
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Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガルバノミラー
に関し、特に光学式情報記録再生装置の微動トラッキン
グに用いるのに好適なガルバノミラーに関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a galvanomirror, and more particularly to a galvanomirror suitable for fine movement tracking of an optical information recording / reproducing apparatus.
【0002】[0002]
【発明が解決しようとする課題】近時、面記録密度が1
0Gビット/(インチ)2を越える光磁気ディスク装置
の開発が進んでいる。この装置では、光磁気ディスクの
トラックと交差する方向に例えば回動する粗動用アーム
の先端部に設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射
角をガルバノミラー等の偏向手段により微調整して、微
動トラッキングを例えば0.34μmと狭いトラックピッ
チレベルで正確に行うようなことが考えられている。と
ころで、このような粗動用アームに通常用いられるガル
ボミラーとして、ピボット支持方式のものがあるが、こ
の方式のものでは可動部を円滑に動作させるための与圧
バネにより、ガルバノミラーの軸方向の小型化に限界が
あった。Recently, the areal recording density is 1
Magneto-optical disk devices exceeding 0 Gbit / (inch) 2 are being developed. In this apparatus, the angle of incidence of a laser beam on an objective optical system provided at the end of a coarse movement arm that rotates, for example, in a direction intersecting the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by a deflecting means such as a galvanometer mirror. It is considered that tracking is accurately performed at a narrow track pitch level of, for example, 0.34 μm. By the way, as a galvo mirror usually used for such a coarse movement arm, there is a pivot support type, but in this type, a pressurizing spring for smoothly operating a movable portion is provided in the axial direction of the galvanometer mirror. There was a limit to miniaturization.
【0003】[0003]
【課題を解決するための手段】この発明は、上述のよう
な背景に鑑みてなさせたものであり、請求項1の発明
は、電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可動部を回
転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノミラーで
あって、前記可動部の回転軸を、固定側に前記可動部を
挟んで設けた2つのセンターピンと、これらのセンター
ピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に設けた2つ
の軸受とによって構成すると共に、一方のセンターピン
を非磁性材料で形成し、且つこのセンターピンの前記軸
受と接触する側と反対の端部に強磁性材料又は永久磁石
で構成した作用部を設け、このセンターピンをリング状
の永久磁石を介して軸方向に摺動自在に支持し、前記リ
ング状の永久磁石の前記作用部に対する吸引力によりて
前記摺動自在なセンターピンを前記軸受けに対して軸方
向に押圧するようにしたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned background, and a first aspect of the present invention is to move a movable portion having a deflection mirror attached thereto by electromagnetic driving around a rotation axis. A galvanomirror for rotating the movable part by a predetermined angle range, wherein the movable part is provided with two center pins provided on the fixed side with the movable part interposed therebetween, and the movable pins respectively receiving the tip ends of these center pins. And one of the center pins is formed of a non-magnetic material, and the other end of the center pin opposite to the side in contact with the bearing is made of a ferromagnetic material or a permanent magnet. The center pin is slidably supported in the axial direction via a ring-shaped permanent magnet, and the center pin is slidable by the attraction force of the ring-shaped permanent magnet on the action portion. Characterized in that so as to press axially relative to the bearing and Pin.
【0004】[0004]
【発明の実施の形態】まず、近年のコンピューターにま
つわるハード,ソフトの進歩に伴う外部記憶装置への要
求、特に大記憶容量への要求の高まりに対して提案され
たニア・フィールド記録(NFR: near field recordin
g) 技術と呼ばれる記録再生方式を用いた光磁気ディス
ク記録再生装置の概要を図1乃至図5を参照して説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, near field recording (NFR: near) has been proposed in response to a demand for an external storage device accompanying the progress of hardware and software related to a computer in recent years, particularly, a demand for a large storage capacity. field recordin
g) An outline of a magneto-optical disk recording / reproducing apparatus using a recording / reproducing method called a technique will be described with reference to FIGS.
【0005】図1はその光ディスク装置の全体概要図で
ある。ディスクドライブ装置1には光ディスク2が図示
しないスピンドルモータの回転軸に装着されている。一
方、光ディスク2の情報を再生または記録するために回
動(粗動)アーム3が光ディスク2の記録面に対して平
行になるように取り付けられている。この回動アーム3
はボイスコイルモーター4によって回転軸5を回転中心
として回動可能となっている。この回動アーム3の光デ
ィスク2に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上
型光学ヘッド6が搭載されている。また、回動アーム3
の回転軸5近傍には光源ユニットおよび受光ユニットを
備えた光源モジュール7が配設され、回動アーム3と一
体となって駆動する構成となっている。FIG. 1 is an overall schematic diagram of the optical disk device. An optical disk 2 is mounted on a rotating shaft of a spindle motor (not shown) in the disk drive device 1. On the other hand, a rotating (coarse movement) arm 3 for reproducing or recording information on the optical disk 2 is mounted so as to be parallel to the recording surface of the optical disk 2. This rotating arm 3
Is rotatable about a rotation shaft 5 by a voice coil motor 4. A floating optical head 6 having an optical element mounted thereon is mounted on a tip of the rotating arm 3 facing the optical disk 2. In addition, the rotating arm 3
A light source module 7 having a light source unit and a light receiving unit is disposed in the vicinity of the rotation shaft 5 and is configured to be driven integrally with the rotating arm 3.
【0006】図2、図3は回動アーム3の先端部を説明
するものであり、特に浮上型光学ヘッド6を詳細に説明
するものである。浮上型光学ユニット6はフレクシャー
ビーム8に取り付けられており、光ディスク2に対向し
て配置されている。また、フレクシャービーム8は他端
で回動アーム3に固着されており、フレクシャービーム
8の弾性力により先端部の浮上光学ユニット6を光ディ
スク2に接触させる方向に加圧している。FIGS. 2 and 3 illustrate the distal end portion of the rotating arm 3, and particularly illustrate the floating optical head 6 in detail. The floating optical unit 6 is attached to the flexure beam 8 and is arranged to face the optical disc 2. The flexure beam 8 is fixed to the rotating arm 3 at the other end, and presses the floating optical unit 6 at the distal end portion in a direction in which the floating optical unit 6 comes into contact with the optical disc 2 by the elastic force of the flexure beam 8.
【0007】浮上型光学ユニット6は浮上スライダー
9,対物レンズ10,ソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11,磁気コイル12から構成されており、光源
モジュール7から出射された平行なレーザー光束13を
光ディスク2上に収束させるはたらきをする。また、回
動アーム3の先端部には前記レーザー光束13を浮上型
光学ユニット6に導くために立ち上げミラー31が固着
されている。 立ち上げミラー31により対物レンズ1
0に入射したレーザー光束13は、対物レンズ10の屈
折作用により収束される。この集光点近傍にはソリッド
イマージョンレンズ(SIL)11が配置されており、
前記収束光を更に微細なエバネッセント光15として光
ディスク2に照射させる。The floating optical unit 6 includes a floating slider 9, an objective lens 10, and a solid immersion lens (S
IL) 11 and a magnetic coil 12, and functions to converge a parallel laser beam 13 emitted from the light source module 7 onto the optical disc 2. A rising mirror 31 is fixed to the tip of the rotating arm 3 to guide the laser beam 13 to the floating optical unit 6. Objective lens 1 by rising mirror 31
The laser light flux 13 incident on 0 is converged by the refraction of the objective lens 10. A solid immersion lens (SIL) 11 is disposed near the light-collecting point.
The convergent light is applied to the optical disc 2 as finer evanescent light 15.
【0008】また、光ディスク2に面したソリッドイマ
ージョンレンズ(SIL)11の周囲には、光磁気記録
方式で記録するための磁気コイル12が形成されてお
り、記録時には必要な磁界を光ディスク2の記録面上に
印加出来るようになっている。このエバネッセント光1
5と磁気コイル12により、光ディスク2への高密度な
記録および再生が可能となる。なお、浮上型光学ユニッ
ト6は光ディスク2の回転による空気流により微小量浮
上するものであり、光ディスク2の面振れ等に追従す
る。このため従来の光ディスク装置では必要であった対
物レンズの焦点制御(フォーカスサーボ)が不要となっ
ている。A magnetic coil 12 for recording in a magneto-optical recording system is formed around a solid immersion lens (SIL) 11 facing the optical disk 2. It can be applied on the surface. This evanescent light 1
5 and the magnetic coil 12 enable high-density recording and reproduction on the optical disk 2. The floating optical unit 6 floats by a very small amount due to the airflow generated by the rotation of the optical disk 2 and follows the surface runout of the optical disk 2. For this reason, focus control (focus servo) of the objective lens, which is required in the conventional optical disk device, is not required.
【0009】以下、図4,図5を用いて回動アーム3上
に搭載された光源モジュール7および浮上型光学ユニッ
ト6へ導かれる光束に関し詳細に説明する。回動アーム
3は先端部に浮上型光学ユニット6を搭載し、他端には
ボイスコイルモーター4を駆動するための駆動コイル1
6が固着されている。駆動コイル16は扁平状のコイル
であり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置さ
れている。回転軸5と回動アーム3はベアリング17,
17により回動自在に締結されており、駆動コイルに電
流を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸5を
回転中心として回動アーム3を回動させることができ
る。The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 and the light beam guided to the floating optical unit 6 will be described in detail below with reference to FIGS. The rotating arm 3 has a floating type optical unit 6 mounted at the tip and a driving coil 1 for driving a voice coil motor 4 at the other end.
6 is fixed. The drive coil 16 is a flat coil, and is inserted and arranged in a magnetic circuit (not shown) with a gap. The rotating shaft 5 and the rotating arm 3 are provided with a bearing 17,
When the current is applied to the drive coil, the rotation arm 3 can be rotated about the rotation shaft 5 by the electromagnetic action with the magnetic circuit.
【0010】回動アーム3上に搭載された光源モジュー
ル7には半導体レーザー18,レーザー駆動回路19,
コリメートレンズ20,複合プリズムアッセイ21,レ
ーザーパワーモニターセンサー22,反射プリズム2
3,データ検出センサー24,およびトラッキング検出
センサー25が配置されている。半導体レーザー18か
ら放出された発散光束状態のレーザー光束は、コリメー
トレンズ20によって平行光束に変換される。この平行
光束の断面形状は半導体レーザー18の特性から長円状
であり、光ビームを光ディスク2上に微小に絞り込むに
は都合が悪いため略円形断面に変換する必要がある。こ
のためコリメートレンズ20から出射された断面長円状
の平行光束を、複合プリズムアッセイ21に入射させる
ことにより平行光束の断面形状を整形する。The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 has a semiconductor laser 18, a laser drive circuit 19,
Collimating lens 20, composite prism assay 21, laser power monitor sensor 22, reflection prism 2
3, a data detection sensor 24 and a tracking detection sensor 25 are arranged. The laser beam in a divergent beam state emitted from the semiconductor laser 18 is converted into a parallel beam by the collimating lens 20. The cross-sectional shape of the parallel light beam is an elliptical shape due to the characteristics of the semiconductor laser 18, and it is inconvenient to narrow the light beam onto the optical disk 2 minutely. Therefore, the cross-sectional shape of the parallel light beam is shaped by making the parallel light beam having an elliptical cross section emitted from the collimating lens 20 enter the composite prism assay 21.
【0011】複合プリズムアッセイ21の入射面21a
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ21内を進み第1の
ハーフミラー面21bに入射する。第1のハーフミラー
面21bは光ディスク2から得られた情報を、データ検
出センサー24,およびトラッキング検出センサー25
に導くために設定されているが、往路においては半導体
レーザー18から出射されたレーザーの出力パワーを検
出するためのレーザーパワーモニターセンサー22への
光束を分離する役目を果たす。The entrance surface 21a of the composite prism assay 21
Has a predetermined slope with respect to the incident optical axis. By refracting the incident light, the cross-sectional shape of the parallel light beam can be shaped from an oval shape to a substantially circular shape. The shaped laser beam travels through the complex prism assay 21 and enters the first half mirror surface 21b. The first half mirror surface 21b transmits information obtained from the optical disk 2 to the data detection sensor 24 and the tracking detection sensor 25.
However, on the outward path, it serves to separate the light beam to the laser power monitor sensor 22 for detecting the output power of the laser emitted from the semiconductor laser 18.
【0012】レーザーパワーモニターセンサー22は受
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー18の出力を安定化させ
ることが出来る。複合プリズムアッセイ21から出射さ
れた略円形断面形状をもったレーザー光束13は偏向ミ
ラー26に照射され、レーザー光束13の進行方向が変
えられる。この偏向ミラー26は紙面に垂直な軸を回動
中心とするガルバノモーター27に取り付いており、レ
ーザー光束13を紙面に平行な方向に微小角度振ること
が出来るようになっている。Since the laser power monitor sensor 22 outputs a current proportional to the intensity of the received light, the output of the semiconductor laser 18 can be stabilized by feeding back this output to a laser power control circuit (not shown). . The laser beam 13 having a substantially circular cross-sectional shape and emitted from the composite prism assay 21 is applied to the deflecting mirror 26, and the traveling direction of the laser beam 13 is changed. The deflecting mirror 26 is attached to a galvano motor 27 having a rotation center about an axis perpendicular to the plane of the paper, and can deflect the laser beam 13 by a small angle in a direction parallel to the plane of the paper.
【0013】また、ガルバノモーター27には偏向ミラ
ー26の回転角度を検出する偏向ミラー位置検出センサ
ー28が配設されている。偏向ミラー26を反射したレ
ーザー光束13は、第1のリレーレンズ29および第2
のリレーレンズ(イメージングレンズ)30を経て、立
ち上げミラー31で反射後浮上型光学ユニット6に至
る。この第1のリレーレンズ29および第2のリレーレ
ンズ30は、偏向ミラー26の反射面と浮上型光学ユニ
ット6に配置されている対物レンズ10の瞳面(主平
面)との関係を共役関係になるようにするもので、リレ
ーレンズ光学系を形成するものである。すなわち光ディ
スク2上の集光ビームが所定のトラックから僅かにずれ
た場合、偏向ミラー26を僅かに回転させることにより
対物レンズ10に入射させるレーザー光束13を傾か
せ、光ディスク2上の焦点を移動させて補正するもので
ある。しかしながら、この方式で焦点の補正を行う時、
偏向ミラー26と対物レンズ10の光学的距離が長い場
合は、対物レンズ10へ入射するレーザー光束13の移
動量が大きくなり、対物レンズ10に入射出来なくなる
場合がある。The galvano motor 27 is provided with a deflection mirror position detection sensor 28 for detecting the rotation angle of the deflection mirror 26. The laser beam 13 reflected by the deflecting mirror 26 is transmitted to the first relay lens 29 and the second relay lens 29.
After passing through a relay lens (imaging lens) 30, the light is reflected by a rising mirror 31 and reaches the floating optical unit 6. The first relay lens 29 and the second relay lens 30 make the relationship between the reflection surface of the deflecting mirror 26 and the pupil surface (principal plane) of the objective lens 10 arranged in the floating optical unit 6 into a conjugate relationship. That is, a relay lens optical system is formed. That is, when the condensed beam on the optical disk 2 is slightly deviated from a predetermined track, the deflecting mirror 26 is slightly rotated to tilt the laser beam 13 incident on the objective lens 10 to move the focal point on the optical disk 2. Correction. However, when performing focus correction with this method,
If the optical distance between the deflecting mirror 26 and the objective lens 10 is long, the amount of movement of the laser beam 13 incident on the objective lens 10 increases, and it may not be possible to enter the objective lens 10.
【0014】この様な現象を回避するため、第1のリレ
ーレンズ29および第2のリレーレンズ30によって、
偏向ミラー26の反射面と対物レンズ10の瞳面との関
係を共役関係になるように設定し、偏向ミラー26が回
動しても対物レンズ10に入射するレーザー光束13は
移動せず、正確なトラッキング制御が可能となるように
している。なお、光ディスク2の内周/外周に渡るアク
セス動作は、ボイスコイルモーター4により回動アーム
3を回動させて行い、極微小なトラッキング制御のみ偏
向ミラー26を回動させて行う。In order to avoid such a phenomenon, the first relay lens 29 and the second relay lens 30
The relationship between the reflection surface of the deflecting mirror 26 and the pupil surface of the objective lens 10 is set to be a conjugate relationship, and even if the deflecting mirror 26 rotates, the laser beam 13 incident on the objective lens 10 does not move, Tracking control is made possible. The access operation over the inner circumference / outer circumference of the optical disk 2 is performed by rotating the rotating arm 3 by the voice coil motor 4, and only minute tracking control is performed by rotating the deflection mirror 26.
【0015】光ディスク2から反射されて戻ってきた復
路のレーザー光束13は、往路と逆に進み偏向ミラー2
6に反射されて複合プリズムアッセイ21に入射する。
その後第1のハーフミラー面21bで反射され、第2の
ハーフミラー面21cに向かう。第2のハーフミラー面
21cは、トラッキング検出センサー25へ向かう透過
光と、データ検出センサー24へ向かう反射光を生成
し、復路のレーザー光束を分離する。第2のハーフミラ
ー面21cを透過したレーザー光束はトラッキング検出
センサー25へ照射され、トラッキング誤差信号を出力
する。The return laser beam 13 reflected from the optical disk 2 and returning returns to the deflecting mirror 2 in a direction opposite to the forward path.
The reflected light is incident on the composite prism assay 21.
Thereafter, the light is reflected by the first half mirror surface 21b and travels to the second half mirror surface 21c. The second half mirror surface 21c generates transmitted light directed to the tracking detection sensor 25 and reflected light directed to the data detection sensor 24, and separates the laser beam on the return path. The laser beam transmitted through the second half mirror surface 21c is applied to the tracking detection sensor 25, and outputs a tracking error signal.
【0016】一方、第2のハーフミラー面21cで反射
されたレーザー光束はウォラストンプリズム32により
偏光分離され、かつ集光レンズ33によって収束光に変
換後、反射プリズム23で反射されてデータ検出センサ
ー24に照射される。データ検出センサー24は2つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム32によ
り偏光分離された2つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク2に記録されているデータ情報
を読みとりデータ信号を出力する。なお、正確には前記
トラッキング誤差信号およびデータ信号は図示せぬヘッ
ドアンプ回路によって生成され、制御回路または情報処
理回路に送られるものである。On the other hand, the laser beam reflected by the second half mirror surface 21c is polarized and separated by the Wollaston prism 32, converted into convergent light by the condensing lens 33, and then reflected by the reflecting prism 23 to be detected by the data detection sensor. 24. The data detection sensor 24 has two light receiving areas, and receives two polarized beams polarized and separated by the Wollaston prism 32 to read data information recorded on the optical disk 2 and output a data signal. To be precise, the tracking error signal and the data signal are generated by a head amplifier circuit (not shown) and sent to a control circuit or an information processing circuit.
【0017】次に、前述のガルバノモータ27におい
て、偏向ミラー26を回動するための構成について説明
する。図6は、ガルバノモータ27(偏向ミラー26を
含むユニット:いわゆるガルバノミラー)を示す断面図
である。偏向ミラー26はミラーホルダ100によって
保持されており、ミラーホルダ100はステーター15
0内に収容されている。なお、偏向ミラー26を回転駆
動するためのコイル及びマグネットについては記載を省
略する。Next, a configuration for rotating the deflecting mirror 26 in the galvano motor 27 will be described. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a galvano motor 27 (a unit including the deflection mirror 26: a so-called galvano mirror). The deflecting mirror 26 is held by a mirror holder 100, and the mirror holder 100 is
0. The description of the coils and magnets for driving the deflection mirror 26 to rotate is omitted.
【0018】ミラーホルダ100は、ステーター150
に取り付けられた一対のセンターピン122,124に
よって図中上下方向両側から挟み込まれている。ミラー
ステーター100の上下面には一対のセンターピン12
2,124を受ける円錐形の孔である軸受部106,1
08が形成されている。一対のセンターピン122,1
24と軸受部106,108により偏向ミラー26が所
定の回動軸(Z軸とする)を中心として回動可能に支持
される。なお、偏向ミラー26は、そのミラー面26a
が、回動軸Zに直交する軸(Y軸とする)に直交するよ
うミラーホルダ100に取り付けられている。The mirror holder 100 includes a stator 150
Are sandwiched from both sides in the vertical direction in the figure by a pair of center pins 122 and 124 attached to the pair. A pair of center pins 12 is provided on the upper and lower surfaces of the mirror stator 100.
Bearings 106,1 which are conical holes for receiving 2,124
08 is formed. A pair of center pins 122, 1
The deflection mirror 26 is rotatably supported about a predetermined rotation axis (referred to as the Z axis) by the bearing 24 and the bearings 106 and 108. The deflecting mirror 26 has a mirror surface 26a.
Is attached to the mirror holder 100 so as to be orthogonal to an axis (referred to as Y axis) orthogonal to the rotation axis Z.
【0019】一対のセンターピン122,124のう
ち、下側のセンターピン124はステーターに圧入固定
されている。これに対し、上側のセンターピン122は
フランジ形状を有する保持リング130に貫挿された状
態で、ステーター150に取り付けられている。保持リ
ング130の内側には、永久磁石対140(後述)がは
め込まれている。The lower center pin 124 of the pair of center pins 122 and 124 is press-fitted and fixed to the stator. On the other hand, the upper center pin 122 is attached to the stator 150 while being inserted through the holding ring 130 having a flange shape. A permanent magnet pair 140 (described later) is fitted inside the retaining ring 130.
【0020】図7は、上側センターピン122と永久磁
石対140を示す斜視図及び側断面図である。上側セン
ターピン122は非磁性材料、具体的には非磁性のステ
ンレス又はセラミックスで構成されている。また、上側
センターピン122の頂部には、永久磁石からなるチッ
プ160が固定されている。このチップ160は上側が
N極、下側がS極になるよう磁化されている。なお、チ
ップ160は、永久磁石の代わりに強磁性材料で構成し
ても良い。FIG. 7 is a perspective view and a side sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnet pair 140. The upper center pin 122 is made of a non-magnetic material, specifically, a non-magnetic stainless steel or ceramic. A tip 160 made of a permanent magnet is fixed to the top of the upper center pin 122. The tip 160 is magnetized such that the upper side has an N pole and the lower side has an S pole. Note that the chip 160 may be made of a ferromagnetic material instead of a permanent magnet.
【0021】永久磁石対140は、2つの円弧形状の永
久磁石142,144をリング状に組み合わせたもので
ある。永久磁石142,144は半径方向に磁化され、
夫々同一の磁化方向を持つよう構成されている。ここで
は、永久磁石142,144の半径方向内側がN極、半
径方向外側がS極である。The permanent magnet pair 140 is formed by combining two arc-shaped permanent magnets 142 and 144 in a ring shape. The permanent magnets 142, 144 are magnetized in the radial direction,
Each is configured to have the same magnetization direction. Here, the inner side in the radial direction of the permanent magnets 142 and 144 is the N pole, and the outer side in the radial direction is the S pole.
【0022】図8は、上側センターピン122と永久磁
石対140を示す側断面図である。上側センターピン1
22は、チップ160が永久磁石142,144よりわ
ずかに上に位置するよう取り付けられる。この時、上側
センターピン122内部には、図中矢印で示すような磁
束分布が生ずる。この磁束により、チップ160が永久
磁石142,144の上下方向中心部に向かって引き寄
せられる。即ち、上側センターピン122に、下方への
付勢力が発生する。FIG. 8 is a side sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnet pair 140. As shown in FIG. Upper center pin 1
22 is mounted such that the tip 160 is located slightly above the permanent magnets 142, 144. At this time, a magnetic flux distribution is generated inside the upper center pin 122 as shown by an arrow in the figure. Due to this magnetic flux, the tip 160 is drawn toward the vertical center of the permanent magnets 142 and 144. That is, a downward urging force is generated in the upper center pin 122.
【0023】このように構成されているため、簡単な構
成で、センターピン122,124でミラーホルダ10
0を挟み込むための与圧を得ることができる。即ち、ス
テーター150に与圧ばねを設けた場合に比べて、ガル
バノモータの構成を簡単化、小型化することが可能にな
る。With this structure, the center pin 122, 124 can be used for the mirror holder 10 with a simple structure.
It is possible to obtain a pressurization for inserting zero. That is, the configuration of the galvano motor can be simplified and downsized as compared with the case where the pressurized spring is provided on the stator 150.
【0024】図9は、第2の実施形態のガルバノモータ
を示す側断面図である。第2の実施形態では、保持リン
グ130には、上下2つの永久磁石対240,250が
設けられている。図10及び図11は、上側センターピ
ン122と永久磁石対240,250を示す斜視図及び
断面図である。図10に示すように、各永久磁石対24
0(250)は、2つの円弧形状の永久磁石242,2
44(252,254)をリング状に組み合わせたもの
である。永久磁石242,244(252,254)は
半径方向に磁化され、夫々同一の磁化方向を持つよう構
成されている。ここでは、永久磁石242,244(2
52,254)の半径方向内側がN極、半径方向外側が
S極である。FIG. 9 is a side sectional view showing a galvano motor according to the second embodiment. In the second embodiment, the holding ring 130 is provided with upper and lower two permanent magnet pairs 240 and 250. 10 and 11 are a perspective view and a sectional view showing the upper center pin 122 and the permanent magnet pairs 240 and 250. As shown in FIG. 10, each permanent magnet pair 24
0 (250) denotes two arc-shaped permanent magnets 242, 2
44 (252, 254) in a ring shape. The permanent magnets 242, 244 (252, 254) are magnetized in the radial direction and are configured to have the same magnetization direction. Here, the permanent magnets 242, 244 (2
52, 254) is the north pole and the outside in the radial direction is the south pole.
【0025】図11に示すように、上側センターピン1
22には永久磁石からなるチップ260が設けられてい
る。このチップ260は、永久磁石対240,250の
上下方向ほぼ中間に位置するように配置されており、上
側がN極、下側がS極になるよう磁化されている。従っ
て、上側センターピン122のチップ160を挟んだ上
下には、図中矢印で示すような磁束分布が生ずる。即
ち、チップ260は、上側の永久磁石対240から反発
力を受け、下側の永久磁石対250からは吸引力を受け
る。なお、チップ260は強磁性体で構成しても良い。As shown in FIG. 11, the upper center pin 1
The chip 22 is provided with a chip 260 made of a permanent magnet. The tip 260 is disposed so as to be located substantially at the center of the pair of permanent magnets 240 and 250 in the vertical direction, and is magnetized so that the upper side is an N pole and the lower side is an S pole. Accordingly, a magnetic flux distribution is generated above and below the upper center pin 122 with the chip 160 interposed therebetween, as indicated by arrows in the figure. That is, the tip 260 receives a repulsive force from the upper permanent magnet pair 240 and an attractive force from the lower permanent magnet pair 250. Note that the chip 260 may be made of a ferromagnetic material.
【0026】このように構成されているため、第2の実
施形態によると、センターピン122,124でミラー
ホルダ100を挟み込むための与圧をより強力にするこ
とができる。With this configuration, according to the second embodiment, it is possible to increase the pressurizing force for sandwiching the mirror holder 100 between the center pins 122 and 124.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガルバノ
ミラーによると、与圧ばね等が不要になるため、ガルバ
ノミラーの構成を簡単で且つ小型にすることができる。As described above, according to the galvanomirror of the present invention, since a pressurizing spring or the like is not required, the configuration of the galvanomirror can be made simple and small.
【図1】実施形態の光磁気ディスク装置の基本構成を示
す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a basic configuration of a magneto-optical disk device according to an embodiment.
【図2】回動アームの先端部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a distal end portion of a rotating arm.
【図3】浮上型光学ユニットを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a floating optical unit.
【図4】偏向ミラーと浮上型光学ユニットを示す平面図
である。FIG. 4 is a plan view showing a deflection mirror and a floating optical unit.
【図5】回動アームの側断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a rotating arm.
【図6】第1実施形態のガルバノモータを示す斜視図で
ある。FIG. 6 is a perspective view showing a galvano motor according to the first embodiment.
【図7】図6の上側センターピンと永久磁石対を示す斜
視図である。FIG. 7 is a perspective view showing an upper center pin and a permanent magnet pair of FIG. 6;
【図8】図6の上側センターピンと永久磁石対を示す断
面図である。FIG. 8 is a sectional view showing an upper center pin and a permanent magnet pair of FIG. 6;
【図9】第2実施形態のガルバノモータを示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing a galvano motor according to a second embodiment.
【図10】図9の上側センターピンと永久磁石対を示す
斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing an upper center pin and a permanent magnet pair in FIG. 9;
【図11】図9の上側センターピンと永久磁石対を示す
断面図である。FIG. 11 is a sectional view showing an upper center pin and a permanent magnet pair of FIG. 9;
26 偏向ミラー 27 ガルバノモータ 100 ミラーホルダ 101,102 コイル 106,108 軸受部 122,124 センターピン 130 保持リング 140 永久磁石対 142,144 永久磁石 160 チップ 26 Deflection mirror 27 Galvano motor 100 Mirror holder 101, 102 Coil 106, 108 Bearing part 122, 124 Center pin 130 Retaining ring 140 Permanent magnet pair 142, 144 Permanent magnet 160 Chip
Claims (1)
可動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバ
ノミラーであって、前記可動部の回転軸を、固定側に前
記可動部を挟んで設けた2つのセンターピンと、これら
のセンターピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に
設けた2つの軸受とによって構成すると共に、一方のセ
ンターピンを非磁性材料で形成し、且つこのセンターピ
ンの前記軸受と接触する側と反対の端部に強磁性材料又
は永久磁石で構成した作用部を設け、このセンターピン
をリング状の永久磁石を介して軸方向に摺動自在に支持
し、前記リング状の永久磁石の前記作用部に対する吸引
力により前記摺動自在なセンターピンを前記軸受けに対
して軸方向に押圧するようにしたことを特徴とするガル
バノミラー。1. A galvanomirror for rotating a movable part, to which a deflection mirror is attached, by electromagnetic driving within a predetermined angle range around a rotation axis, wherein the rotation axis of the movable part is sandwiched between the movable part on a fixed side. Two center pins provided, and two bearings provided on the movable portion side for receiving the respective tip portions of the center pins, and one center pin is formed of a non-magnetic material, and An action portion made of a ferromagnetic material or a permanent magnet is provided at an end opposite to the side in contact with the bearing, and the center pin is slidably supported in the axial direction via a ring-shaped permanent magnet, A galvanomirror, wherein the slidable center pin is pressed against the bearing in the axial direction by an attraction force of a ring-shaped permanent magnet to the operating portion.
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