JPH11129121A - Guiding member for wire electric discharge machining device - Google Patents

Guiding member for wire electric discharge machining device

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Publication number
JPH11129121A
JPH11129121A JP29854397A JP29854397A JPH11129121A JP H11129121 A JPH11129121 A JP H11129121A JP 29854397 A JP29854397 A JP 29854397A JP 29854397 A JP29854397 A JP 29854397A JP H11129121 A JPH11129121 A JP H11129121A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
silicon carbide
electric discharge
ceramic
wire electric
Prior art date
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Pending
Application number
JP29854397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Yamanoguchi
秀則 山之口
Tsuyoshi Oshikawa
堅 押川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP29854397A priority Critical patent/JPH11129121A/en
Publication of JPH11129121A publication Critical patent/JPH11129121A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve abrasion resistance and to suitably use a member for a long time by forming at least part in contact with a wire with silicon carbide ceramic with specific a Vickers hardness. SOLUTION: A guide roller 2 is formed by providing an insulation layer 24 around an attaching fitting 22 and by jointing a ceramic element 21 around the layer through an adhesive 23. This ceramic element 21 contains sintering assistant, solid-phase-sintered silicon carbide ceramic or metallic oxide such as Al2 O3 , Y3 , O3 , and liquid-phase-sintered silicon carbide ceramic. These silicon carbide ceramics have extremely high Vickers hardness of 1800-2500 kg/mm<2> . Therefore, abrasion resistance and tipping resistance become very high.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、ワイヤ放電加工装
置におけるワイヤを案内するガイドローラや、通電端子
等の案内部材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a guide roller for guiding a wire in a wire electric discharge machine, and a guide member such as an energizing terminal.

【0002】[0002]

【従来の技術】ワイヤ放電加工装置はワイヤ(ワイヤ電
極)と被加工物との間に電圧をかけ、ワイヤとワークと
の間で放電現象を生じさせ、被加工物を電気的に腐食さ
せることにより、切断加工や形状加工を行うものであ
る。
2. Description of the Related Art In a wire electric discharge machine, a voltage is applied between a wire (wire electrode) and a workpiece to cause a discharge phenomenon between the wire and the work, thereby electrically corroding the workpiece. In this way, cutting and shape processing are performed.

【0003】その構造を図3に示すように、金属製のワ
イヤ1は、複数のガイドローラ2で案内され、ノズル3
と通電端子4を経て被加工物5に当接し、さらに下方の
ガイドローラ2で案内されて巻き取られるようになって
いる。そして、上記通電端子4と被加工物5との間に電
圧を印加し、ワイヤ1と被加工物5の間の放電を利用し
て加工を行うようになっている。
[0003] As shown in FIG. 3, a metal wire 1 is guided by a plurality of guide rollers 2 and a nozzle 3.
Then, the workpiece 5 is brought into contact with the workpiece 5 via the current-carrying terminal 4 and is guided by the lower guide roller 2 to be wound. Then, a voltage is applied between the current-carrying terminal 4 and the workpiece 5, and machining is performed using a discharge between the wire 1 and the workpiece 5.

【0004】上記ガイドローラ2、ノズル3、通電部材
4等の案内部材は、ワイヤ1と摺動するため耐摩耗性が
求められており、各種セラミックスが用いられている。
例えば、ガイドローラ2やノズル3の場合、150V以
上の電圧が印加されるワイヤ1と摺動するため、絶縁性
も求められる。そこで、アルミナ、ジルコニア、窒化珪
素等を主成分とするセラミックスが用いられ、特に窒化
珪素質セラミックスが好適に使用されている(特開昭6
0−249532号、特開昭61−173819号、特
開昭62−84928号、特公平5−30569号等各
公報参照)。
The guide members such as the guide roller 2, the nozzle 3, and the conductive member 4 are required to have abrasion resistance because of sliding with the wire 1, and various ceramics are used.
For example, the guide roller 2 and the nozzle 3 slide with the wire 1 to which a voltage of 150 V or more is applied. Therefore, ceramics containing alumina, zirconia, silicon nitride or the like as a main component are used, and silicon nitride ceramics are particularly preferably used (Japanese Patent Application Laid-Open No.
0-249532, JP-A-61-173819, JP-A-62-84928, and JP-B-5-30569.

【0005】具体的なガイドローラ2の構造を図4に示
すように、取付金具22の周囲に接着剤23を介して筒
状のセラミックス体21を接合し、上記取付金具22に
は、軸へ取りつけるためのキー溝を備えた貫通孔22a
を備えている。そして、このガイドローラ2の単体また
は複数を組み合わせてワイヤ1を案内するようになって
いる。
As shown in FIG. 4, a specific structure of the guide roller 2 is such that a cylindrical ceramic body 21 is joined around a mounting bracket 22 with an adhesive 23 therebetween. Through-hole 22a with keyway for mounting
It has. Then, the wire 1 is guided by a single or a plurality of the guide rollers 2.

【0006】また、通電端子4は、逆に導電性が必要で
あることからセラミックスと金属の複合焼結体であるサ
ーメット等が用いられている。
On the other hand, since the conducting terminals 4 need to be electrically conductive, cermet or the like, which is a composite sintered body of ceramic and metal, is used.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、打ち
抜き用の金型等に高精度の要求が強くなり、これを加工
するワイヤ放電加工装置も高精度加工が求められるよう
になってきた。このため、加工用のワイヤ1は、従来、
直径0.8〜0.2mm程度であったものが、直径数1
0μm程度の極めて細径のワイヤ1を使用するケースが
増えてきた。
In recent years, there has been an increasing demand for high-precision punching dies and the like, and high-precision machining has also been required for wire electric discharge machines for machining the dies. For this reason, the processing wire 1 is conventionally
What was about 0.8-0.2 mm in diameter,
The use of wires 1 having an extremely small diameter of about 0 μm has been increasing.

【0008】ワイヤ1の細径化に伴い、ガイドローラ2
等の案内部材の摩耗が速くなり、上記の窒化珪素質セラ
ミックス等からなるガイドローラ1であっても、1週間
程度の使用で交換する必要が生じるなど、交換頻度が多
くなるという問題が生じてきた。
As the diameter of the wire 1 decreases, the guide roller 2
And the like, the wear of the guide member becomes faster, and even if the guide roller 1 made of the above-mentioned silicon nitride ceramics or the like is used, it needs to be replaced after being used for about one week. Was.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、ワイ
ヤ放電加工装置におけるワイヤを案内するための部材で
あって、少なくともワイヤと接する部分を、ビッカース
硬度1800kg/mm2 以上の炭化珪素質セラミック
スで構成したことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a member for guiding a wire in a wire electric discharge machine, wherein at least a portion in contact with the wire has a silicon carbide ceramic having a Vickers hardness of 1800 kg / mm 2 or more. It is characterized by comprising.

【0010】また、本発明は、ワイヤ放電加工装置にお
けるワイヤを案内するための部材であって、少なくとも
ワイヤと接する部分を、破壊靱性値(K1C)が2MP
a√m以上の炭化珪素質セラミックスで構成したことを
特徴とする。
The present invention also provides a member for guiding a wire in a wire electric discharge machine, wherein at least a portion in contact with the wire has a fracture toughness value (K1C) of 2MP.
It is characterized by being made of silicon carbide ceramics having a√m or more.

【0011】即ち、炭化珪素質セラミックスも多種多様
存在するうち、鋭意研究の結果、焼結助剤としてB,C
を添加し、固相焼結したもの、又は焼結助剤として金属
酸化物を添加して、液相焼結させたものが、ワイヤ放電
加工装置用案内部材として最適であることが判明した。
これは、これらの炭化珪素質セラミックスは、ビッカー
ス硬度が1800〜2500kg/mm2 、好ましくは
1900〜2500kg/mm2 と硬度を非常に高くす
ることができ、耐摩耗性を向上できるためである。
That is, while there are various types of silicon carbide ceramics, as a result of intensive research, B, C
It has been found that a material obtained by adding a solid phase sintering or a metal oxide as a sintering aid and a liquid phase sintering are most suitable as a guide member for a wire electric discharge machine.
This is because these silicon carbide ceramics can have a very high Vickers hardness of 1800 to 2500 kg / mm 2 , preferably 1900 to 2500 kg / mm 2, and can improve wear resistance.

【0012】しかも、これらの炭化珪素質セラミックス
は、破壊靱性値(K1C)を2MPa√m以上、特に液相
焼結したものでは4〜6MPa√mと大きくすることが
でき、案内部材のチッピングの発生を少なくできる結
果、ワイヤに傷をつけにくくし、断線を防止できる。
Moreover, these silicon carbide-based ceramics can have a fracture toughness (K 1C ) of 2 MPa√m or more, especially 4 to 6 MPa√m in the case of liquid phase sintering. As a result, it is possible to prevent the wire from being easily damaged and to prevent disconnection.

【0013】さらに、炭化珪素質セラミックスは摺動性
に優れているため、この点からもワイヤに対するダメー
ジを小さくすることができる。
Further, since silicon carbide ceramics have excellent slidability, damage to the wire can be reduced from this point as well.

【0014】また、この炭化珪素質セラミックスは、熱
膨張率4.0〜4.4×10-6/℃(40〜800
℃)、ヤング率4.2×106 kg/cm2 以上と、高
耐熱変形性、高剛性であり、さらに熱伝導率60W/m
・K以上と高熱伝導性であることから、ワイヤとの摺動
により発生する熱を放熱することができ、ワイヤのダメ
ージを防止することができる。
The silicon carbide ceramic has a coefficient of thermal expansion of 4.0 to 4.4 × 10 −6 / ° C. (40 to 800
° C), a Young's modulus of 4.2 × 10 6 kg / cm 2 or more, high heat deformation resistance, high rigidity, and a thermal conductivity of 60 W / m.
-Since it has a high thermal conductivity of K or more, heat generated by sliding with the wire can be radiated, and damage to the wire can be prevented.

【0015】なお、本発明において、特に焼結助剤とし
て金属酸化物を添加し、液相焼結したものがより好適で
ある。この場合、炭化珪素質セラミックスに焼結助剤と
して添加する金属酸化物としては、Al2 3 を1〜7
重量%、及びY2 3 、CeO2 等の周期律表第3a族
元素の酸化物を0.1〜5重量%加えれば良い。これら
の金属酸化物は、焼結助剤として炭化珪素質セラミック
スの焼結性を高めるとともに、焼結体中で炭化珪素結晶
粒子間に粒界相を形成して、クラックの進展を防止し、
セラミックスの靱性を高くする作用がある。ただし、添
加量が多すぎると、硬度、強度が低くなるため、上記範
囲のものがよい。
In the present invention, it is more preferable to add a metal oxide as a sintering aid and perform liquid phase sintering. In this case, as a metal oxide to be added to the silicon carbide ceramic as a sintering aid, Al 2 O 3 is 1 to 7
Wt%, and Y 2 O 3, an oxide of the periodic table group 3a elements such as CeO 2 may be added 0.1 to 5 wt%. These metal oxides enhance the sinterability of silicon carbide ceramics as a sintering aid, and form a grain boundary phase between silicon carbide crystal grains in the sintered body to prevent cracks from developing,
It has the effect of increasing the toughness of ceramics. However, if the addition amount is too large, the hardness and the strength become low, so that the above range is preferable.

【0016】また、本発明の炭化珪素質セラミックスに
おいて、平均結晶粒子径は10μm以下、好ましくは
0.5〜6μmのものが良い。これは、平均結晶粒子径
が10μmを超えると、強度が劣化してしまうためであ
る。
In the silicon carbide-based ceramic of the present invention, the average crystal grain size is preferably 10 μm or less, and more preferably 0.5 to 6 μm. This is because if the average crystal particle diameter exceeds 10 μm, the strength is deteriorated.

【0017】さらに、本発明の炭化珪素質セラミックス
は、開気孔率1%以下、好ましくは0.3%以下のもの
を用いる。これは、開気孔率が1%より大きいと、強度
が低くなるためである。
Further, the silicon carbide-based ceramic of the present invention has an open porosity of 1% or less, preferably 0.3% or less. This is because when the open porosity is larger than 1%, the strength is reduced.

【0018】このような、本発明の炭化珪素質セラミッ
クスの製造方法は、上述した組成となるように調合した
原料粉末を用い、プレス成形法等で所定形状に成形した
後、非酸化雰囲気中、1800〜2000℃で焼成し、
必要に応じて加工を施すことによって得ることができ
る。
Such a method for producing a silicon carbide-based ceramic of the present invention uses a raw material powder prepared so as to have the above-described composition, forms it into a predetermined shape by a press molding method or the like, and then, in a non-oxidizing atmosphere, Firing at 1800-2000 ° C,
It can be obtained by processing if necessary.

【0019】また、本発明の炭化珪素質セラミックス
は、体積固有抵抗値が103 〜106Ω・cmと適度な
導電性を有しているため、そのまま通電端子として使用
することができる。
The silicon carbide-based ceramic of the present invention has a proper volume resistivity of 10 3 to 10 6 Ω · cm, and can be used as a current-carrying terminal as it is.

【0020】一方、ガイドローラやノズル等として用い
る場合は、絶縁性が必要となるため、炭化珪素質セラミ
ックス製の案内部材とこれを装置に取りつける支持部材
との間に絶縁層を備える。
On the other hand, when used as a guide roller, a nozzle or the like, an insulating property is required. Therefore, an insulating layer is provided between a guide member made of silicon carbide ceramics and a support member for attaching the guide member to a device.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図によ
って説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0022】図3に示すワイヤ放電加工装置において、
ワイヤ1の案内部材であるガイドローラ2、ノズル3、
通電端子4等は、少なくともワイヤ1と摺動する部分
を、上述したような液相焼結した炭化珪素質セラミック
スで形成してある。
In the wire electric discharge machine shown in FIG.
A guide roller 2, a nozzle 3, which are guide members for the wire 1,
The current-carrying terminals 4 and the like are formed at least in a portion that slides with the wire 1 from the liquid-phase sintered silicon carbide ceramics described above.

【0023】例えば、ガイドローラ2の詳細な実施形態
を図1に示すように、取付金具22の周囲に絶縁層24
を備え、この周囲に接着剤23を介してセラミックス体
21を接合して構成してある。このセラミックス体21
は、詳細を上述したように、B,C等の焼結助剤を含有
し、固相焼結した炭化珪素質セラミックス、又はAl2
3 、Y2 3 等の金属酸化物を含有し、液相焼結した
炭化珪素質セラミックスからなるものであり、そのため
に、耐摩耗性、耐チッピング性が非常に高く、ガイドロ
ーラ2の寿命を非常に長くすることができる。
For example, a detailed embodiment of the guide roller 2 is shown in FIG.
, And a ceramic body 21 is bonded to the periphery of the ceramic body 21 with an adhesive 23 interposed therebetween. This ceramic body 21
As described in detail above, silicon carbide ceramics containing sintering aids such as B and C and solid-phase sintered or Al 2
It is made of liquid-phase sintered silicon carbide ceramics containing metal oxides such as O 3 and Y 2 O 3 , and therefore has very high wear resistance and chipping resistance. The service life can be very long.

【0024】また、ガイドローラ2の場合は絶縁性が必
要となるため、取付金具22の周囲に絶縁層24を形成
することによって、ワイヤ1に印加された電圧が他部材
へ漏れることを防止できる。この絶縁層24としては、
例えばアルミナ等の絶縁性セラミックスをコーティング
し、その厚みを20μm以上としておけば良い。
In the case of the guide roller 2, since insulation is required, the insulating layer 24 is formed around the mounting bracket 22, so that the voltage applied to the wire 1 can be prevented from leaking to other members. . As the insulating layer 24,
For example, an insulating ceramic such as alumina may be coated and its thickness may be set to 20 μm or more.

【0025】なお、絶縁層24は、セラミックス体23
とその支持部材との間に備えてあればよく、例えばセラ
ミックス体23の内周面に備えたり、取付金具22の貫
通孔22aの内周面に備えることもできる。
The insulating layer 24 is formed of the ceramic body 23
The support member may be provided on the inner peripheral surface of the ceramic body 23 or on the inner peripheral surface of the through hole 22a of the mounting member 22, for example.

【0026】さらに、取付金具22は、軸に取りつける
ためのキー溝を有する貫通孔22aを有し、その外周に
は、ローレット加工を施すことによって、絶縁層24や
接着剤23との接合強度を高くしてある。
Further, the mounting bracket 22 has a through hole 22a having a key groove for mounting on a shaft. The outer periphery of the through hole 22a is knurled to improve the bonding strength with the insulating layer 24 and the adhesive 23. It is raised.

【0027】また、接着剤23としては、エポキシ系接
着剤、アクリル系接着剤、無機接着剤等を用いる。
As the adhesive 23, an epoxy adhesive, an acrylic adhesive, an inorganic adhesive or the like is used.

【0028】このガイドローラ2は、図3に示すよう
に、単体又は複数組み合わせて用いられ、ワイヤ1を案
内することができる。
As shown in FIG. 3, the guide roller 2 is used alone or in combination, and can guide the wire 1.

【0029】次に、通電端子4の例を図2に示すよう
に、通電端子4は貫通孔4aを有する筒状体であり、上
述したようなB,Cを含有し、固相焼結した炭化珪素質
セラミックス、又はAl2 3 、Y2 3 等の金属酸化
物を含有し、液層焼結した炭化珪素質セラミックスで形
成されている。そして、この通電端子4に電圧を印加し
ながら、上記貫通孔4aにワイヤ1を挿通させて案内す
れば、通電端子4を成す炭化珪素質セラミックスは導電
性を有するためワイヤ1に電圧を印加することができ
る。また、この通電端子4を成す炭化珪素質セラミック
スは、耐摩耗性に優れるため、寿命を長くすることがで
きる。
Next, as shown in FIG. 2, an example of the energizing terminal 4 is a cylindrical body having a through hole 4a, containing B and C as described above, and solid-phase sintered. It is formed of silicon carbide-based ceramics or silicon carbide-based ceramics containing a metal oxide such as Al 2 O 3 or Y 2 O 3 and subjected to liquid layer sintering. If the wire 1 is inserted into the through-hole 4a and guided while applying a voltage to the current-carrying terminal 4, the voltage is applied to the wire 1 because the silicon carbide ceramics forming the current-carrying terminal 4 has conductivity. be able to. In addition, the silicon carbide ceramics forming the energizing terminal 4 has excellent wear resistance, so that the life can be extended.

【0030】また、この他に、ワイヤ放電加工装置にお
けるワイヤ1と摺動し、案内するさまざまな部材に本発
明を適用することができる。
In addition, the present invention can be applied to various members that slide and guide the wire 1 in the wire electric discharge machine.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0032】実施例1 図1に示すガイドローラ2を試作した。取付金具22
は、耐食性に優れたステンレス鋼を使用し、軸に取り付
ける為の貫通孔22aと、回転を伝える為のキー溝を形
成した。取付金具22の外周部には、接着強度を増す為
のローレット加工が施され、その外周部に厚みが約50
μmのアルミナコーティングを施して絶縁層24とし、
さらにエポキシ系の接着剤23にてセラミックス体21
を固定し、全体の外径を57mmとした。
Example 1 A guide roller 2 shown in FIG. 1 was experimentally manufactured. Mounting bracket 22
Used stainless steel having excellent corrosion resistance, and formed a through hole 22a for attaching to a shaft and a keyway for transmitting rotation. The outer peripheral portion of the mounting bracket 22 is knurled to increase the adhesive strength, and the outer peripheral portion has a thickness of about 50 mm.
μm alumina coating to form an insulating layer 24,
Further, the ceramic body 21 is coated with an epoxy adhesive 23.
Was fixed, and the overall outer diameter was 57 mm.

【0033】このセラミックス体21の材質として、表
1に示す各種セラミックスを用い、それぞれ図3に示す
ワイヤ放電加工装置に装備し、実機テストを行った。各
々、線径0.1mmのワイヤを用いて通常の加工条件で
使用し、セラミックス体21の摩耗量が30μmになる
までの時間を調べた。結果は表2に示す通りである。
Various ceramics shown in Table 1 were used as the material of the ceramic body 21. Each of the ceramics was mounted on a wire electric discharge machine shown in FIG. 3 and an actual machine test was performed. Each was used under normal processing conditions using a wire having a wire diameter of 0.1 mm, and the time until the wear amount of the ceramic body 21 became 30 μm was examined. The results are as shown in Table 2.

【0034】ここで、表1におけるSiC−AはB,C
を焼結助剤として含有し固相焼結してなる炭化珪素質セ
ラミックス、SiC−B〜Dは、金属酸化物を焼結助剤
として含有し、液相焼結してなる本発明実施例の炭化珪
素質セラミックスであり、これらはビッカース硬度が1
800〜2500kg/mm2 、破壊靱性(K1C)が2
MPa√m以上と高いものである。
Here, SiC-A in Table 1 is B, C
Carbide Ceramics, SiC-B to D, which are obtained by solid-phase sintering containing Si as a sintering aid, include a metal oxide as a sintering aid, and are subjected to liquid phase sintering. Which have a Vickers hardness of 1
800-2500 kg / mm 2 , fracture toughness (K 1C ) 2
It is as high as MPa√m or more.

【0035】表2の結果から明らかに、比較例であるア
ルミナ(Al2 3 )、ジルコニア(ZrO2 )、窒化
珪素(Si3 4 )は摩耗が速く、1週間程度の連続使
用(168時間)で30μmの摩耗量となり、交換の必
要性が生じることがわかる。これは、これらのセラミッ
クスが硬度がやや低く、かつワイヤとの摺動性が悪いた
めである。
It is clear from the results in Table 2 that alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 ), and silicon nitride (Si 3 N 4 ), which are comparative examples, wear quickly and are used continuously for about one week (168). (Time), the wear amount is 30 μm, and it is understood that the necessity of replacement occurs. This is because these ceramics have a somewhat low hardness and poor slidability with wires.

【0036】これらに対し、本発明の炭化珪素質セラミ
ックス(SiC−A〜D)は、30μm摩耗するまでの
連続使用時間が500時間以上となり、比較例の3倍程
度に寿命を長くし、交換せずに長期間良好に使用できる
ことがわかる。これは、本発明の炭化珪素質セラミック
スが、硬度、摺動性に優れていることによるものであ
る。特に、金属酸化物を含有し、液相焼結したSiC−
B〜Dは、靱性が4MPa√m以上と高く、最適であっ
た。
On the other hand, the silicon carbide ceramics (SiC-A to D) of the present invention have a continuous use time of at least 500 hours until the wear of 30 μm, and the life is extended to about three times that of the comparative example. It can be seen that they can be used well for a long time without using. This is because the silicon carbide ceramics of the present invention is excellent in hardness and slidability. In particular, liquid phase sintered SiC- containing metal oxides
B to D were optimal because the toughness was as high as 4 MPa√m or more.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】[0039]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ワイヤ
放電加工装置におけるワイヤを案内するための部材であ
って、少なくともワイヤと接する部分を、ビッカース硬
度1800kg/mm2 以上又は破壊靱性値(K1C)
が2MPa√m以上の炭化珪素質セラミックスで構成し
たことによって、耐摩耗性を非常に高くできることか
ら、細径のワイヤを用いた場合でも長期間良好に使用す
ることができる。
As described above, according to the present invention, a member for guiding a wire in a wire electric discharge machine, wherein at least a portion in contact with the wire has a Vickers hardness of 1800 kg / mm 2 or more or a fracture toughness value. (K1C)
Is made of a silicon carbide ceramic having a pressure of 2 MPa√m or more, so that abrasion resistance can be extremely increased. Therefore, even when a thin wire is used, it can be favorably used for a long time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のワイヤ放電加工装置用案内部材の一例
であるガイドローラを示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a guide roller as an example of a guide member for a wire electric discharge machine according to the present invention.

【図2】本発明のワイヤ放電加工装置用案内部材の一例
である通電端子を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an energizing terminal which is an example of a guide member for a wire electric discharge machine according to the present invention.

【図3】一般的なワイヤ放電加工装置を示す概略図であ
る。
FIG. 3 is a schematic diagram showing a general wire electric discharge machine.

【図4】従来のワイヤ放電加工装置用のガイドローラを
示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a guide roller for a conventional wire electric discharge machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ワイヤ 2:ガイドローラ 3:ノズル 4:通電端子 5:被加工物 21:セラミックス体 22:取付金具 23:接着剤 24:絶縁層 1: wire 2: guide roller 3: nozzle 4: energizing terminal 5: workpiece 21: ceramic body 22: mounting bracket 23: adhesive 24: insulating layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ワイヤ放電加工装置におけるワイヤを案内
するための部材であって、少なくともワイヤと接する部
分を、ビッカース硬度1800kg/mm2以上の炭化
珪素質セラミックスで構成したことを特徴とするワイヤ
放電加工装置用案内部材。
1. A wire discharger for guiding a wire in a wire electric discharge machine, wherein at least a portion in contact with the wire is made of silicon carbide ceramic having a Vickers hardness of 1800 kg / mm 2 or more. Guide member for processing equipment.
【請求項2】ワイヤ放電加工装置におけるワイヤを案内
するための部材であって、少なくともワイヤと接する部
分を、破壊靱性値(K1C)が2MPa√m以上の炭化
珪素質セラミックスで構成したことを特徴とするワイヤ
放電加工装置用案内部材。
2. A member for guiding a wire in a wire electric discharge machine, wherein at least a portion in contact with the wire is made of a silicon carbide ceramic having a fracture toughness (K1C) of 2 MPa @ m or more. Guide member for a wire electric discharge machine.
【請求項3】上記案内部材と、その支持部材との間に絶
縁層を備えたことを特徴とする請求項1又は2記載のワ
イヤ放電加工装置。
3. The wire electric discharge machine according to claim 1, wherein an insulating layer is provided between the guide member and the support member.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100432098B1 (en) * 2002-02-22 2004-05-17 (주)백제윈테크 Super drill setting method for 0.1pi punching structure
WO2015125381A1 (en) * 2014-02-18 2015-08-27 日本発條株式会社 Structure of semi-finished movement restricting member, apparatus for attaching semi-finished product to rod member, attachment structure for rod member and semi-finished product, and method of attaching semi-finished product

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