JPH11128643A - Filter unit - Google Patents

Filter unit

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JPH11128643A
JPH11128643A JP31434897A JP31434897A JPH11128643A JP H11128643 A JPH11128643 A JP H11128643A JP 31434897 A JP31434897 A JP 31434897A JP 31434897 A JP31434897 A JP 31434897A JP H11128643 A JPH11128643 A JP H11128643A
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JP
Japan
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filter
main body
frame
sheet
filter unit
Prior art date
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Application number
JP31434897A
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Japanese (ja)
Inventor
Naomi Kato
直巳 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Engineering and Construction Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Engineering and Construction Co Ltd
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Publication date
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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter unit capable of being appropriately used as a chemical filter for removing a chemical pollutant in an air relatively low in wind-speed and easy in exchanging of a filter sheet. SOLUTION: A main body 2 in which a long and thin supporting material 7 is arranged in a box frame 6 having a prescribed depth in a fluid passing direction, a frame shaped filter putting frame 3 provided detachably to the main body 2 and in which plural long and thin press materials 9 are arranged and the filter sheet 5 arranged at a fluid passing part of the main body 2 are provided. When the filter-putting frame 3 is mounted at the main body 2, both surfaces of the filter sheet 5 are alternately supported with a supporting material 7 and the press material 9 and held wavelike.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は流体中の不純物を除
去するフィルタユニットに関し、特にフィルタを通過す
る風速が比較的低い気体濾過に好適なフィルタユニット
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter unit for removing impurities in a fluid, and more particularly to a filter unit suitable for filtering gas having a relatively low wind speed passing through the filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、気体や液体などの流体中に存
在する不純物を除去するためにはフィルタ装置が使用さ
れる。フィルタ装置に用いられるフィルタユニットは、
目的や除去対象により種々の形式のものが使用される。
例えば、半導体や液晶製造工程、または食品や医薬の製
造工程においては、その空気中に浮遊する化学汚染物質
や塵などを極めて低いレベルまで除去することが要求さ
れるので、極めて高い除去性能を有するケミカルフィル
タが使用される。このような化学汚染物質を除去するケ
ミカルフィルタに、イオン交換繊維により作られたフィ
ルタシート、活性炭繊維により作られたフィルタシー
ト、活性炭を付着したフィルタシート、活性炭に吸着物
質を添加したものを付着したフィルタシートなどを備え
たフィルタユニットが使用される。かかるフィルタユニ
ットとして、プリーツ型、バッグ型およびトレー型など
が知られている。プリーツ型は本体内にフィルタシート
を波状に装着しシールしたもので、バッグ型はフィルタ
シートを袋状に加工し、それを本体内に装着したもので
ある。またトレー型は、フィルタシートを有する枠体を
本体内に多段に収めたものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, a filter device has been used to remove impurities present in a fluid such as a gas or a liquid. The filter unit used in the filter device is
Various types are used depending on the purpose and the object to be removed.
For example, in a semiconductor or liquid crystal manufacturing process, or a food or pharmaceutical manufacturing process, it is required to remove chemical contaminants and dust floating in the air to an extremely low level, and thus has an extremely high removal performance. A chemical filter is used. A filter sheet made of ion-exchange fiber, a filter sheet made of activated carbon fiber, a filter sheet to which activated carbon is attached, and a substance obtained by adding an adsorbed substance to activated carbon are attached to a chemical filter that removes such chemical contaminants. A filter unit having a filter sheet or the like is used. As such a filter unit, a pleated type, a bag type, a tray type and the like are known. The pleated type is one in which a filter sheet is mounted in a wave shape in a main body and sealed, and the bag type is one in which the filter sheet is processed into a bag shape and mounted in the main body. In the tray type, a frame having a filter sheet is housed in multiple stages in a main body.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のプリー
ツ型のフィルタユニットは、構造が複雑で高価となり、
フィルタシートの再生に際しての本体に対する着脱が困
難であるという問題があった。またバッグ型のフィルタ
ユニットは、フィルタシートを袋状に加工するためのコ
ストが大きく且つ、再生するとその形状が崩れて濾過性
能などが低下するという問題があった。さらにトレー型
のフィルタユニットは、フィルタトレー及びそのトレー
を支持する棚や枠体の構造が複雑で高価であるという問
題があった。そこでコストが低く、フィルタシートの再
生に際しての本体に対する着脱が容易で且つ、構造の簡
単なフィルタユニットが強く要望されていた。本発明は
このような要望を満たすフィルタユニットを提供するこ
とを課題とするものである。
However, the conventional pleated filter unit has a complicated structure and is expensive.
There is a problem that it is difficult to attach and detach the filter sheet to and from the main body when reproducing the filter sheet. Further, the bag-type filter unit has a problem in that the cost for processing the filter sheet into a bag-like shape is large, and when regenerated, the shape is lost and the filtering performance and the like are reduced. Further, the tray type filter unit has a problem that the structure of the filter tray and the shelves and frames supporting the tray are complicated and expensive. Therefore, there has been a strong demand for a filter unit that is low in cost, easily attached to and detached from the main body when the filter sheet is regenerated, and has a simple structure. An object of the present invention is to provide a filter unit satisfying such a demand.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の請求項1に記載のフィルタユニットは、流体通過方向
に所定の奥行きを有する箱体に複数の細長い支持材を整
列した本体と、その本体に着脱可能とされると共に複数
の細長い押さえ材を整列した枠状のフィルタ張設枠と、
本体の流体通過部に配置されるフィルタシートとを備え
ている。そして支持材にフィルタシートを接した状態で
フィルタ張設枠を本体に装着したとき押さえ材が支持材
より奥まで挿入され、それによってフィルタシートの両
面が支持材と押さえ材により交互に支えられて波状に保
持されることを特徴とするものである。請求項2に記載
の発明は、請求項1に記載のフィルタユニットの実施の
形態であって、フィルタシートがイオン交換繊維または
活性炭繊維により作られることを特徴とするものであ
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a filter unit comprising: a main body in which a plurality of elongated support members are arranged in a box having a predetermined depth in a fluid passage direction; A frame-shaped filter stretching frame which is detachable from the main body and in which a plurality of elongated holding members are aligned,
A filter sheet disposed in the fluid passage section of the main body. Then, when the filter stretching frame is attached to the main body in a state where the filter sheet is in contact with the support material, the pressing material is inserted deeper than the supporting material, whereby both sides of the filter sheet are alternately supported by the supporting material and the pressing material. It is characterized by being held in a wave shape. The invention according to claim 2 is an embodiment of the filter unit according to claim 1, wherein the filter sheet is made of ion exchange fibers or activated carbon fibers.

【0005】上記フィルタユニットにおいて、支持材に
フィルタシートを接した状態でフィルタ張設枠を本体に
装着することにより、フィルタシートが波状に本体に装
着される。また、フィルタ張設枠を本体から脱着すれば
そのままフィルタシートを本体から取り外すことができ
る。したがって、フィルタシートの着脱が極めて容易で
あると共に、構造が簡単でコストも低くできる。
In the above-mentioned filter unit, the filter sheet is attached to the main body in a wavy manner by attaching the filter extension frame to the main body with the filter sheet in contact with the support material. Further, if the filter extension frame is detached from the main body, the filter sheet can be removed from the main body as it is. Therefore, the attachment and detachment of the filter sheet is extremely easy, and the structure is simple and the cost can be reduced.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】次に、図面により本発明のフィル
タユニットを気体を濾過するケミカルフィルタ用に適用
した例を説明する。図1は本発明のフィルタユニットを
組み立てた状態を示す模式的な一部破断斜視図で、図2
はフィルタユニットを構成する本体とフィルタ張設枠の
1例を示す斜視図である。これらの図において、フィル
タユニット1は金属やプラスチックなどの板材により作
られた本体2と、それに着脱可能に装着される同様な材
料により作られたフィルタ張設枠3と、本体2の流体通
過部4に波状に配置されるフィルタシート5を備えてお
り、図1に示す矢印Aが濾過すべき気体の通過方向であ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an example in which the filter unit of the present invention is applied to a chemical filter for filtering gas will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic partially cutaway perspective view showing a state where the filter unit of the present invention is assembled.
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a main body and a filter extending frame forming a filter unit. In these figures, a filter unit 1 includes a main body 2 made of a plate material such as metal or plastic, a filter extension frame 3 made of a similar material detachably attached to the main body 2, and a fluid passage portion of the main body 2. 4 is provided with a filter sheet 5 arranged in a wave shape, and an arrow A shown in FIG. 1 is a passage direction of a gas to be filtered.

【0007】本体2は、流体通過方向に所定の奥行きを
有し断面が方形状とされた箱枠6と、その箱枠6の対向
する側板間に所定間隔で平行に整列して設けられた複数
の細長い支持材7を有している。支持材7は金属または
プラスチック製の棒材から作られ、その両端部が箱枠6
の穿設孔に貫通してカシメ固定、溶接または接着などに
よりその側板に固定される。なお支持材7は、箱枠6の
奥行き方向における中央部ではなく、フィルタ張設枠3
を装着するときの挿入側に近い縁部分に整列される。ま
た図2において、箱枠6のフィルタ張設枠3を装着する
ときの挿入側の上下(支持材7の固定側)の対向する縁
部には、建物の開口部に設けられる引き戸の上下ガイド
溝のような内溝部(図示せず)が設けられ、その溝部に
フィルタ張設枠3を装着できるようになっている。
The main body 2 is provided in parallel with a predetermined interval between a box frame 6 having a predetermined depth in the fluid passage direction and having a rectangular cross section and opposed side plates of the box frame 6. It has a plurality of elongated supports 7. The support member 7 is made of a metal or plastic bar material, and its both ends are box frames 6.
Is fixed to the side plate by caulking, welding, bonding or the like. The support member 7 is not provided at the center of the box frame 6 in the depth direction, but at the filter extension frame 3.
Is aligned with the edge near the insertion side when the is mounted. In FIG. 2, upper and lower guides of a sliding door provided at an opening of a building are provided at upper and lower opposing edges (fixed side of the support member 7) on the insertion side when the filter extending frame 3 of the box frame 6 is mounted. An inner groove (not shown) such as a groove is provided, and the filter extending frame 3 can be mounted in the groove.

【0008】フィルタ張設枠3は、方形状の縁枠8と、
その縁枠8の対向する側板間に所定間隔で平行に整列し
て設けられた複数の細長い押さえ材9を有している。縁
枠8の外形寸法は、本体2の箱枠6の内径寸法より若干
大とされ且つ、その本体2の縁部に設けられた図示しな
い一対の内溝部間距離よりも小とされ、フィルタ張設枠
3を矢印B方向から本体2に装着する際、箱枠6内に引
き戸をその上下ガイド溝に装着するようにして挿入でき
るようになっている。押さえ材9は金属またはプラスチ
ック製の棒状体をコ字型に形成したもので、その両端部
は溶接または接着などにより縁枠8の側板に固定され
る。
[0008] The filter extending frame 3 includes a rectangular frame 8 and
The edge frame 8 has a plurality of elongated pressing members 9 provided in parallel at predetermined intervals between opposing side plates. The outer dimensions of the edge frame 8 are slightly larger than the inner diameter of the box frame 6 of the main body 2 and smaller than the distance between a pair of internal grooves (not shown) provided at the edge of the main body 2. When the mounting frame 3 is mounted on the main body 2 from the direction of arrow B, the sliding door can be inserted into the box frame 6 by mounting the sliding door in the upper and lower guide grooves. The pressing member 9 is formed by forming a metal or plastic rod into a U-shape, and both ends thereof are fixed to the side plate of the edge frame 8 by welding or bonding.

【0009】フィルタシート5としてイオン交換繊維に
より作られたシート、活性炭繊維により作られたシー
ト、活性炭を付着したシート、活性炭に吸着物質を添加
したものを付着したシートなどが使用できる。イオン交
換繊維は天然または合成繊維に、例えばスルフォン基の
ような陽イオン交換基、または第4級アンモニウム基,
第3級アミン基,第2級アミン基のような陰イオン交換
基を、化学的もしくは物理的に均一に吸着させたもの
で、通常これらの繊維を織布または不織布の形態でシー
トを形成して使用する。そして除去すべき化学汚染物質
により、陽イオン交換基もしくは陰イオン交換基のいず
れかのイオン交換繊維を選択し、場合によりその両方の
イオン交換繊維を併用する。なおイオン交換繊維を用い
たシートは、アンモニア,フッ素,塩素のような化学汚
染物質を除去する場合に適している。活性炭繊維は天然
または合成繊維に、微細な活性炭粒子を物理的に均一に
吸着させたものである。活性炭を用いたシートは硝酸,
硫酸のような化学汚染物質を除去する場合に適してい
る。
As the filter sheet 5, a sheet made of ion-exchange fiber, a sheet made of activated carbon fiber, a sheet to which activated carbon is attached, a sheet to which activated carbon is added with an adsorbing substance, and the like can be used. Ion exchange fibers can be used as natural or synthetic fibers, such as cation exchange groups such as sulfone groups, or quaternary ammonium groups,
An anion exchange group such as a tertiary amine group or a secondary amine group, which is chemically or physically uniformly adsorbed. Usually, these fibers are formed into a sheet in the form of a woven or nonwoven fabric. To use. Then, depending on the chemical contaminants to be removed, either an cation exchange group or an anion exchange group ion exchange fiber is selected, and both ion exchange fibers are used in some cases. The sheet using the ion exchange fiber is suitable for removing chemical contaminants such as ammonia, fluorine and chlorine. Activated carbon fiber is obtained by physically and uniformly adsorbing fine activated carbon particles on natural or synthetic fibers. The sheet using activated carbon is nitric acid,
Suitable for removing chemical contaminants such as sulfuric acid.

【0010】次に図3を参照しながら、図1のようなフ
ィルタユニット1を組み立てる方法を説明する。先ず図
3(a)のように、例えばイオン交換繊維の不織布シー
トを所定寸法に裁断したフィルタシート5を、本体2の
片面(支持材7に近い面)に配置する。なおフィルタシ
ート5の寸法は、本体2の幅(支持材7の長手方向)の
寸法より僅かに大きい幅、および波状にした状態におい
て本体2の長さより僅かに大きい長さとされる。次に図
3(b)のように、フィルタ張設枠3をそのフィルタシ
ート5上から本体2に装着する。装着に際しては、フィ
ルタ張設枠3の一方の縁部を矢印Cのように箱枠6の一
方の溝部に差し込み、その差し込み部を係止した状態で
フィルタ張設枠3を装着する。或いは、シートフィルタ
5の長手方向中央部を本体2に被着した状態でフィルタ
張設枠3を装着する。そして、図3(c)の矢印D方向
にフィルタ張設枠3を箱枠6の内溝部に落とし込むこと
により、フィルタ張設枠3が本体2に装着され、図1の
フィルタユニット1の状態に組み立てられる。
Next, a method of assembling the filter unit 1 as shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 3A, a filter sheet 5 obtained by cutting a nonwoven fabric sheet of, for example, ion exchange fibers into a predetermined size is disposed on one surface of the main body 2 (a surface close to the support member 7). The dimensions of the filter sheet 5 are slightly larger than the width of the main body 2 (the longitudinal direction of the support member 7) and slightly larger than the length of the main body 2 in a wavy state. Next, as shown in FIG. 3B, the filter extending frame 3 is mounted on the main body 2 from above the filter sheet 5. At the time of mounting, one edge of the filter extension frame 3 is inserted into one groove of the box frame 6 as shown by an arrow C, and the filter extension frame 3 is attached in a state where the inserted portion is locked. Alternatively, the filter extension frame 3 is mounted in a state where the central portion in the longitudinal direction of the sheet filter 5 is attached to the main body 2. Then, the filter extension frame 3 is dropped into the inner groove of the box frame 6 in the direction of arrow D in FIG. 3C, so that the filter extension frame 3 is attached to the main body 2 and the state of the filter unit 1 in FIG. Assembled.

【0011】図1の状態のフィルタユニット1からフィ
ルタシート5を再生等のために脱着するには、フィルタ
張設枠3を図3(a)から(c)の逆の手順で取り外
し、次いでフィルタシート5を取り出せばよい。上記の
ように構成したフィルタユニット1は、フィルタシート
5の寸法を本体2の箱枠6の寸法より僅かに大きい値と
しているので、組み立てられたフィルタシート5と箱枠
6の縁部に隙間を生じることがない。そのため特別なシ
ール機構を設けなくても、化学汚染物質などが出口側に
流出することはない。また上記のように構成したフィル
タユニット1は、フィルタを通過する風速が比較的低い
気体、例えば0.7m/s以下の気体の濾過に好適に使
用される。そして0.3〜0.7m/s程度の範囲の風
速であれば、イオン交換繊維の目付量(1m2 当たりの
イオン交換繊維の織込量)600〜1,000g/m2
程度の厚さのフィルタシート5を、目的に合わせて1枚
もしくは数枚重ねて使用すればよい。
In order to detach the filter sheet 5 from the filter unit 1 in the state shown in FIG. 1 for regeneration or the like, the filter extension frame 3 is removed in the reverse order of FIGS. The sheet 5 may be taken out. In the filter unit 1 configured as described above, since the size of the filter sheet 5 is set to a value slightly larger than the size of the box frame 6 of the main body 2, a gap is provided between the assembled filter sheet 5 and the edge of the box frame 6. Will not occur. Therefore, even if a special sealing mechanism is not provided, chemical contaminants and the like do not flow out to the outlet side. Further, the filter unit 1 configured as described above is suitably used for filtering a gas having a relatively low wind speed passing through the filter, for example, a gas having a velocity of 0.7 m / s or less. And, if the wind speed in the range of about 0.3~0.7m / s, the basis weight of the ion exchange fibers (woven amount of ion-exchange fibers per 1m 2) 600~1,000g / m 2
One or several filter sheets 5 having a thickness of about one may be used according to the purpose.

【0012】[0012]

【実施例】図1のように組み立てられたフィルタユニッ
ト1を、ファンフィルタユニットに搭載した1パス式ケ
ミカルフィルタにより、クリーンベンチの空気清浄実験
を行った。なお、フィルタシート5として、陽イオン交
換繊維を使用した有効面積1.5m2 の第1のフィルタ
ユニット1と、陰イオン交換繊維を使用した有効面積
1.5m2 の第2のフィルタユニット1を空気流通路に
直列に配置した。化学汚染物質として、NH3 ,SO4
などが6μg/m3 程度含まれる空気を導入し、空気流
通量を10m3 /sとして運転した結果、出口側で化学
汚染物質0.01μg/m3 以下の超高純度の空気清浄
度を得た。
EXAMPLE The filter unit 1 assembled as shown in FIG. 1 was subjected to an air cleaning experiment on a clean bench by a one-pass chemical filter mounted on a fan filter unit. Incidentally, as the filter sheet 5, a first filter unit 1 of the effective area 1.5 m 2 using a cation exchange fiber, the second filter unit 1 of the effective area 1.5 m 2 using anion exchange fiber It was arranged in series with the air flow passage. NH 3 , SO 4 as chemical pollutants
As a result of introducing air containing about 6 μg / m 3 and operating at an air flow rate of 10 m 3 / s, an ultra-pure air cleanliness of 0.01 μg / m 3 or less at the outlet side is obtained. Was.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上のように構成される本発明のフィル
タユニットによれば、支持材にフィルタシートを接した
状態でフィルタ張設枠を本体に装着するだけで、フィル
タシートが波状に本体に装着される。またフィルタ張設
枠を本体から脱着すれば、フィルタシートを本体から簡
単に取り外すことができる。したがって、フィルタシー
トの着脱が極めて容易であると共に、構造が簡単で低い
コストで作ることができる。また、フィルタシートはシ
ート状のものを簡単な形状に裁断して使用できるので、
フィルタシート材料からの製作歩留りが良く、ランニン
グコストを低く抑えることができる。さらに本発明のフ
ィルタユニットは、その本体に整列する支持材と、フィ
ルタ張設枠に整列する押さえ材のピッチを変えるだけ
で、目的とする流体の流通量や圧力損失にフレキシブル
に適応できる。
According to the filter unit of the present invention configured as described above, the filter sheet is waved into the main body simply by mounting the filter extension frame on the main body with the filter sheet in contact with the support member. Be attached. Also, if the filter extension frame is detached from the main body, the filter sheet can be easily removed from the main body. Therefore, the attachment and detachment of the filter sheet is extremely easy, the structure is simple, and the filter sheet can be manufactured at low cost. Also, since the filter sheet can be used by cutting a sheet-like thing into a simple shape,
The production yield from the filter sheet material is good, and the running cost can be kept low. Further, the filter unit of the present invention can flexibly adapt to the target fluid flow rate and pressure loss only by changing the pitch of the support member aligned with the main body and the pitch of the pressing member aligned with the filter extension frame.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のフィルタユニットを組み立てた状態を
示す模式的な一部破断斜視図。
FIG. 1 is a schematic partially broken perspective view showing a state where a filter unit of the present invention is assembled.

【図2】図1のフィルタユニットを構成する本体2とフ
ィルタ張設枠3の1例を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of a main body 2 and a filter extension frame 3 constituting the filter unit of FIG.

【図3】図1のようにフィルタユニットを組み立てる手
順を示す説明図。
FIG. 3 is an explanatory view showing a procedure for assembling the filter unit as shown in FIG. 1;

【符号の説明】 1 フィルタユニット 2 本体 3 フィルタ張設枠 4 流体通過部 5 フィルタシート 6 箱枠 7 支持材 8 縁枠 9 押さえ材[Description of Signs] 1 Filter Unit 2 Main Body 3 Filter Stretching Frame 4 Fluid Passing Section 5 Filter Sheet 6 Box Frame 7 Supporting Material 8 Edge Frame 9 Holding Material

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流体通過方向に所定の奥行きを有する箱
枠6に複数の細長い支持材7を整列した本体2と、 その本体2に着脱可能とされると共に、複数の細長い押
さえ材9を整列した枠状のフィルタ張設枠3と、 前記本体2の流体通過部4に配置されるフィルタシート
5とを備え、 前記支持材7にフィルタシート5を接した状態でフィル
タ張設枠3を本体2に装着したとき押さえ材9がその支
持材7より奥まで挿入され、フィルタシート5の両面が
支持材7と押さえ材9により交互に支えられて波状に保
持されることを特徴とするフィルタユニット。
1. A main body 2 in which a plurality of elongated support members 7 are arranged in a box frame 6 having a predetermined depth in a fluid passage direction, and a plurality of elongated holding members 9 which are detachable from the main body 2 and are arranged. A frame-shaped filter extension frame 3, and a filter sheet 5 disposed in the fluid passage section 4 of the main body 2. The filter extension frame 3 is attached to the support member 7 while the filter sheet 5 is in contact with the main body 2. 2. A filter unit characterized in that the holding member 9 is inserted into the back of the supporting member 7 when it is mounted on the supporting member 2, and both sides of the filter sheet 5 are alternately supported by the supporting member 7 and the holding member 9 and held in a wave shape. .
【請求項2】 フィルタシート5がイオン交換繊維また
は活性炭繊維により作られる請求項1に記載のフィルタ
ユニット。
2. The filter unit according to claim 1, wherein the filter sheet is made of ion exchange fibers or activated carbon fibers.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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