JPH11126352A - Rotating structure for galvanomirror - Google Patents
Rotating structure for galvanomirrorInfo
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- JPH11126352A JPH11126352A JP30356097A JP30356097A JPH11126352A JP H11126352 A JPH11126352 A JP H11126352A JP 30356097 A JP30356097 A JP 30356097A JP 30356097 A JP30356097 A JP 30356097A JP H11126352 A JPH11126352 A JP H11126352A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガルバノミラー
の回動構造に関し、特に光学式情報記録再生装置の微動
トラッキングに用いられる小型のガルバノミラーに好適
な回動構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotating structure of a galvanometer mirror, and more particularly to a rotating structure suitable for a small-sized galvanometer mirror used for fine movement tracking of an optical information recording / reproducing apparatus.
【0002】[0002]
【発明が解決しようとする課題】近時、面記録密度が1
0Gビット/(インチ)2を越える光磁気ディスク装置
の開発が進んでいる。この装置では、光磁気ディスクの
トラックと交差する方向に例えば回動する粗動用アーム
の先端部に設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射
角をガルボミラー等の偏向手段により微調整して、微動
トラッキングを例えば0.34μmと狭いトラックピッチ
レベルで正確に行うようなことが考えられている。この
場合、従来のようなミラーをバネや回転軸で支持する構
造のものでは、粗動用アームの軽量、小型化の要請を満
足することが出来ないばかりか、その機械的周波数特性
の向上に限りが有り、その改善が望まれていた。Recently, the areal recording density is 1
Magneto-optical disk devices exceeding 0 Gbit / (inch) 2 are being developed. In this apparatus, the angle of incidence of a laser beam on an objective optical system provided at the tip of a coarse movement arm that rotates, for example, in a direction intersecting the track of the magneto-optical disk is finely adjusted by a deflecting means such as a galvo mirror, and the fine movement is performed. It is considered that tracking is accurately performed at a narrow track pitch level of, for example, 0.34 μm. In this case, the conventional structure in which the mirror is supported by a spring or a rotating shaft cannot not only satisfy the demand for the lightweight and compact size of the coarse movement arm, but also improves the mechanical frequency characteristics. There was a need for improvement.
【0003】[0003]
【課題を解決するための手段】この発明は、上述のよう
な背景に鑑みてなさせたものであり、請求項1の発明
は、 所定の板厚、高さ、長さを有する支持部と、ヒン
ジ部としての機能を果たし、前記支持部の長さ方向の端
部に該支持部に連続して形成された前記板厚より充分に
薄い薄板部とからなり、この薄板部を介して偏向ミラー
を取り付けて、前記偏向ミラーを前記薄板部でその高さ
方向を軸として回動できるようにしたことを特徴とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above background, and a first aspect of the present invention is to provide a support having a predetermined thickness, height, and length. A thin plate portion, which functions as a hinge portion and is formed at the longitudinal end of the support portion and is sufficiently thinner than the plate thickness continuously formed on the support portion, and deflects through the thin plate portion. A mirror is attached so that the deflecting mirror can be rotated about the height direction of the thin plate portion as an axis.
【0004】まず、近年のコンピューターにまつわるハ
ード,ソフトの進歩に伴う外部記憶装置への要求、特に
大記憶容量への要求の高まりに対して提案されたニア・
フィールド記録(NFR : near field recording)
技術と呼ばれる記録再生方式を用いた光磁気ディスク記
録再生装置の概要を図1乃至図5を参照して説明する。[0004] First, a demand has been proposed for an external storage device, particularly a demand for a large storage capacity, in accordance with the recent advances in hardware and software related to computers.
Field recording (NFR: near field recording)
An outline of a magneto-optical disk recording / reproducing apparatus using a recording / reproducing method called a technique will be described with reference to FIGS.
【0005】図1はその光ディスク装置の全体概要図で
ある。ディスクドライブ装置1には光ディスク2が図示
しないスピンドルモータの回転軸に装着されている。一
方、光ディスク2の情報を再生または記録するために回
動(粗動)アーム3が光ディスク2の記録面に対して平
行になるように取り付けられている。この回動アーム3
はボイスコイルモーター4によって回転軸5を回転中心
として回動可能となっている。この回動アーム3の光デ
ィスク2に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上
型光学ヘッド6が搭載されている。また、回動アーム3
の回転軸5近傍には光源ユニットおよび受光ユニットを
備えた光源モジュール7が配設され、回動アーム3と一
体となって駆動する構成となっている。FIG. 1 is an overall schematic diagram of the optical disk device. An optical disk 2 is mounted on a rotating shaft of a spindle motor (not shown) in the disk drive device 1. On the other hand, a rotating (coarse movement) arm 3 for reproducing or recording information on the optical disk 2 is mounted so as to be parallel to the recording surface of the optical disk 2. This rotating arm 3
Is rotatable about a rotation shaft 5 by a voice coil motor 4. A floating optical head 6 having an optical element mounted thereon is mounted on a tip of the rotating arm 3 facing the optical disk 2. In addition, the rotating arm 3
A light source module 7 having a light source unit and a light receiving unit is disposed in the vicinity of the rotation shaft 5 and is configured to be driven integrally with the rotating arm 3.
【0006】図2、図3は回動アーム3の先端部を説明
するものであり、特に浮上型光学ヘッド6を詳細に説明
するものである。浮上型光学ユニット6はフレクシャー
ビーム8に取り付けられており、光ディスク2に対向し
て配置されている。また、フレクシャービーム8は他端
で回動アーム3に固着されており、フレクシャービーム
8の弾性力により先端部の浮上光学ユニット6を光ディ
スク2に接触させる方向に加圧している。FIGS. 2 and 3 illustrate the distal end portion of the rotating arm 3, and particularly illustrate the floating optical head 6 in detail. The floating optical unit 6 is attached to the flexure beam 8 and is arranged to face the optical disc 2. The flexure beam 8 is fixed to the rotating arm 3 at the other end, and presses the floating optical unit 6 at the distal end portion in a direction in which the floating optical unit 6 comes into contact with the optical disc 2 by the elastic force of the flexure beam 8.
【0007】浮上型光学ユニット6は浮上スライダー
9,対物レンズ10,ソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11,磁気コイル12から構成されており、光源
モジュール7から出射された平行なレーザー光束13を
光ディスク2上に収束させるはたらきをする。また、回
動アーム3の先端部には前記レーザー光束13を浮上型
光学ユニット6に導くために立ち上げミラー31が固着
されている。立ち上げミラー31により対物レンズ10
に入射したレーザー光束13は、対物レンズ10の屈折
作用により収束される。この集光点近傍にはソリッドイ
マージョンレンズ(SIL)11が配置されており、前
記収束光を更に微細なエバネッセント光15として光デ
ィスク2に照射させる。The floating optical unit 6 includes a floating slider 9, an objective lens 10, and a solid immersion lens (S
IL) 11 and a magnetic coil 12, and functions to converge a parallel laser beam 13 emitted from the light source module 7 onto the optical disc 2. A rising mirror 31 is fixed to the tip of the rotating arm 3 to guide the laser beam 13 to the floating optical unit 6. The objective lens 10 is provided by the rising mirror 31.
Is converged by the refraction of the objective lens 10. A solid immersion lens (SIL) 11 is arranged in the vicinity of the converging point, and irradiates the convergent light to the optical disc 2 as finer evanescent light 15.
【0008】また、光ディスク2に面したソリッドイマ
ージョンレンズ(SIL)11の周囲には、光磁気記録
方式で記録するための磁気コイル12が形成されてお
り、記録時には必要な磁界を光ディスク2の記録面上に
印加出来るようになっている。このエバネッセント光1
5と磁気コイル12により、光ディスク2への高密度な
記録および再生が可能となる。なお、浮上型光学ユニッ
ト6は光ディスク2の回転による空気流により微小量浮
上するものであり、光ディスク2の面振れ等に追従す
る。このため従来の光ディスク装置では必要であった対
物レンズの焦点制御(フォーカスサーボ)が不要となっ
ている。A magnetic coil 12 for recording in a magneto-optical recording system is formed around a solid immersion lens (SIL) 11 facing the optical disk 2. It can be applied on the surface. This evanescent light 1
5 and the magnetic coil 12 enable high-density recording and reproduction on the optical disk 2. The floating optical unit 6 floats by a very small amount due to the airflow generated by the rotation of the optical disk 2 and follows the surface runout of the optical disk 2. For this reason, focus control (focus servo) of the objective lens, which is required in the conventional optical disk device, is not required.
【0009】以下、図4,図5を用いて回動アーム3上
に搭載された光源モジュール7および浮上型光学ユニッ
ト6へ導かれる光束に関し詳細に説明する。回動アーム
3は先端部に浮上型光学ユニット6を搭載し、他端には
ボイスコイルモーター4を駆動するための駆動コイル1
6が固着されている。駆動コイル16は扁平状のコイル
であり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置さ
れている。回転軸5と回動アーム3はベアリング17,
17により回動自在に締結されており、駆動コイルに電
流を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸5を
回転中心として回動アーム3を回動させることができ
る。The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 and the light beam guided to the floating optical unit 6 will be described in detail below with reference to FIGS. The rotating arm 3 has a floating type optical unit 6 mounted at the tip and a driving coil 1 for driving a voice coil motor 4 at the other end.
6 is fixed. The drive coil 16 is a flat coil, and is inserted and arranged in a magnetic circuit (not shown) with a gap. The rotating shaft 5 and the rotating arm 3 are provided with a bearing 17,
When the current is applied to the drive coil, the rotation arm 3 can be rotated about the rotation shaft 5 by the electromagnetic action with the magnetic circuit.
【0010】回動アーム3上に搭載された光源モジュー
ル7には半導体レーザー18,レーザー駆動回路19,
コリメートレンズ20,複合プリズムアッセイ21,レ
ーザーパワーモニターセンサー22,反射プリズム2
3,データ検出センサー24,およびトラッキング検出
センサー25が配置されている。半導体レーザー18か
ら放出された発散光束状態のレーザー光束は、コリメー
トレンズ20によって平行光束に変換される。この平行
光束の断面形状は半導体レーザー18の特性から長円状
であり、光ビームを光ディスク2上に微小に絞り込むに
は都合が悪いため略円形断面に変換する必要がある。こ
のためコリメートレンズ20から出射された断面長円状
の平行光束を、複合プリズムアッセイ21に入射させる
ことにより平行光束の断面形状を整形する。The light source module 7 mounted on the rotating arm 3 has a semiconductor laser 18, a laser drive circuit 19,
Collimating lens 20, composite prism assay 21, laser power monitor sensor 22, reflection prism 2
3, a data detection sensor 24 and a tracking detection sensor 25 are arranged. The laser beam in a divergent beam state emitted from the semiconductor laser 18 is converted into a parallel beam by the collimating lens 20. The cross-sectional shape of the parallel light beam is an elliptical shape due to the characteristics of the semiconductor laser 18, and it is inconvenient to narrow the light beam onto the optical disk 2 minutely. Therefore, the cross-sectional shape of the parallel light beam is shaped by making the parallel light beam having an elliptical cross section emitted from the collimating lens 20 enter the composite prism assay 21.
【0011】複合プリズムアッセイ21の入射面21a
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ21内を進み第1の
ハーフミラー面21bに入射する。第1のハーフミラー
面21bは光ディスク2から得られた情報を、データ検
出センサー24,およびトラッキング検出センサー25
に導くために設定されているが、往路においては半導体
レーザー18から出射されたレーザーの出力パワーを検
出するためのレーザーパワーモニターセンサー22への
光束を分離する役目を果たす。The entrance surface 21a of the composite prism assay 21
Has a predetermined slope with respect to the incident optical axis. By refracting the incident light, the cross-sectional shape of the parallel light beam can be shaped from an oval shape to a substantially circular shape. The shaped laser beam travels through the complex prism assay 21 and enters the first half mirror surface 21b. The first half mirror surface 21b transmits information obtained from the optical disk 2 to the data detection sensor 24 and the tracking detection sensor 25.
However, on the outward path, it serves to separate the light beam to the laser power monitor sensor 22 for detecting the output power of the laser emitted from the semiconductor laser 18.
【0012】レーザーパワーモニターセンサー22は受
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー18の出力を安定化させ
ることが出来る。複合プリズムアッセイ21から出射さ
れた略円形断面形状をもったレーザー光束13は偏向ミ
ラー26に照射され、レーザー光束13の進行方向が変
えられる。この偏向ミラー26は紙面に垂直な軸を回動
中心とするガルバノモーター27に取り付いており、レ
ーザー光束13を紙面に平行な方向に微小角度振ること
が出来るようになっている。Since the laser power monitor sensor 22 outputs a current proportional to the intensity of the received light, the output of the semiconductor laser 18 can be stabilized by feeding back this output to a laser power control circuit (not shown). . The laser beam 13 having a substantially circular cross-sectional shape and emitted from the composite prism assay 21 is applied to the deflecting mirror 26, and the traveling direction of the laser beam 13 is changed. The deflecting mirror 26 is attached to a galvano motor 27 having a rotation center about an axis perpendicular to the plane of the paper, and can deflect the laser beam 13 by a small angle in a direction parallel to the plane of the paper.
【0013】また、ガルバノモーター27には偏向ミラ
ー26の回転角度を検出する偏向ミラー位置検出センサ
ー28が配設されている。偏向ミラー26を反射したレ
ーザー光束13は、第1のリレーレンズ29および第2
のリレーレンズ(イメージングレンズ)30を経て、立
ち上げミラー31で反射後浮上型光学ユニット6に至
る。この第1のリレーレンズ29および第2のリレーレ
ンズ30は、偏向ミラー26の反射面と浮上型光学ユニ
ット6に配置されている対物レンズ10の瞳面(主平
面)との関係を共役関係になるようにするもので、リレ
ーレンズ光学系を形成するものである。すなわち光ディ
スク2上の集光ビームが所定のトラックから僅かにずれ
た場合、偏向ミラー26を僅かに回転させることにより
対物レンズ10に入射させるレーザー光束13を傾か
せ、光ディスク2上の焦点を移動させて補正するもので
ある。しかしながら、この方式で焦点の補正を行う時、
偏向ミラー26と対物レンズ10の光学的距離が長い場
合は、対物レンズ10へ入射するレーザー光束13の移
動量が大きくなり、対物レンズ10に入射出来なくなる
場合がある。The galvano motor 27 is provided with a deflection mirror position detection sensor 28 for detecting the rotation angle of the deflection mirror 26. The laser beam 13 reflected by the deflecting mirror 26 is transmitted to the first relay lens 29 and the second relay lens 29.
After passing through a relay lens (imaging lens) 30, the light is reflected by a rising mirror 31 and reaches the floating optical unit 6. The first relay lens 29 and the second relay lens 30 make the relationship between the reflection surface of the deflecting mirror 26 and the pupil surface (principal plane) of the objective lens 10 arranged in the floating optical unit 6 into a conjugate relationship. That is, a relay lens optical system is formed. That is, when the condensed beam on the optical disk 2 is slightly deviated from a predetermined track, the deflecting mirror 26 is slightly rotated to tilt the laser beam 13 incident on the objective lens 10 to move the focal point on the optical disk 2. Correction. However, when performing focus correction with this method,
If the optical distance between the deflecting mirror 26 and the objective lens 10 is long, the amount of movement of the laser beam 13 incident on the objective lens 10 increases, and it may not be possible to enter the objective lens 10.
【0014】この様な現象を回避するため、第1のリレ
ーレンズ29および第2のリレーレンズ30によって、
偏向ミラー26の反射面と対物レンズ10の瞳面との関
係を共役関係になるように設定し、偏向ミラー26が回
動しても対物レンズ10に入射するレーザー光束13は
移動せず、正確なトラッキング制御が可能となるように
している。なお、光ディスク2の内周/外周に渡るアク
セス動作は、ボイスコイルモーター4により回動アーム
3を回動させて行い、極微小なトラッキング制御のみ偏
向ミラー26を回動させて行う。In order to avoid such a phenomenon, the first relay lens 29 and the second relay lens 30
The relationship between the reflection surface of the deflecting mirror 26 and the pupil surface of the objective lens 10 is set to be a conjugate relationship, and even if the deflecting mirror 26 rotates, the laser beam 13 incident on the objective lens 10 does not move, Tracking control is made possible. The access operation over the inner circumference / outer circumference of the optical disk 2 is performed by rotating the rotating arm 3 by the voice coil motor 4, and only minute tracking control is performed by rotating the deflection mirror 26.
【0015】光ディスク2から反射されて戻ってきた復
路のレーザー光束13は、往路と逆に進み偏向ミラー2
6に反射されて複合プリズムアッセイ21に入射する。
その後第1のハーフミラー面21bで反射され、第2の
ハーフミラー面21cに向かう。第2のハーフミラー面
21cは、トラッキング検出センサー25へ向かう透過
光と、データ検出センサー24へ向かう反射光を生成
し、復路のレーザー光束を分離する。第2のハーフミラ
ー面21cを透過したレーザー光束はトラッキング検出
センサー25へ照射され、トラッキング誤差信号を出力
する。The return laser beam 13 reflected from the optical disk 2 and returning returns to the deflecting mirror 2 in a direction opposite to the forward path.
The reflected light is incident on the composite prism assay 21.
Thereafter, the light is reflected by the first half mirror surface 21b and travels to the second half mirror surface 21c. The second half mirror surface 21c generates transmitted light directed to the tracking detection sensor 25 and reflected light directed to the data detection sensor 24, and separates the laser beam on the return path. The laser beam transmitted through the second half mirror surface 21c is applied to the tracking detection sensor 25, and outputs a tracking error signal.
【0016】一方、第2のハーフミラー面21cで反射
されたレーザー光束はウォラストンプリズム32により
偏光分離され、かつ集光レンズ33によって収束光に変
換後、反射プリズム23で反射されてデータ検出センサ
ー24に照射される。データ検出センサー24は2つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム32によ
り偏光分離された2つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク2に記録されているデータ情報
を読みとりデータ信号を出力する。なお、正確には前記
トラッキング誤差信号およびデータ信号は図示せぬヘッ
ドアンプ回路によって生成され、制御回路または情報処
理回路に送られるものである。On the other hand, the laser beam reflected by the second half mirror surface 21c is polarized and separated by the Wollaston prism 32, converted into convergent light by the condensing lens 33, and then reflected by the reflecting prism 23 to be detected by the data detection sensor. 24. The data detection sensor 24 has two light receiving areas, and receives two polarized beams polarized and separated by the Wollaston prism 32 to read data information recorded on the optical disk 2 and output a data signal. To be precise, the tracking error signal and the data signal are generated by a head amplifier circuit (not shown) and sent to a control circuit or an information processing circuit.
【0017】次に、前述のガルバノモーター27におい
て、偏向ミラー26を回動可能に支持するための構成に
ついて説明する。図6は、ガルバノモータ27を示す斜
視図である。前述のとおり、ガルバノモータ27の偏向
ミラー26は、所定の回動軸(Zとする)を中心として
回動する。ガルバノモータ27は、偏向ミラー26を保
持するミラーホルダ100と、ミラーホルダ100を回
動軸Zを中心として回動可能に支持する回動支持部材1
10とを備えている。Next, a structure for rotatably supporting the deflecting mirror 26 in the galvano motor 27 will be described. FIG. 6 is a perspective view showing the galvano motor 27. As described above, the deflection mirror 26 of the galvano motor 27 rotates around a predetermined rotation axis (referred to as Z). The galvano motor 27 includes a mirror holder 100 that holds the deflecting mirror 26 and a rotation support member 1 that supports the mirror holder 100 so as to be rotatable about a rotation axis Z.
10 is provided.
【0018】ミラーホルダ100は樽状のブロックであ
り、その中心軸(X軸とする)が回動軸Zに対して直交
している。なお、図6において、X軸と回動軸Zの両方
に直交する軸をY軸とする。偏向ミラー26は、そのミ
ラー面26aがY軸に直交するようミラーホルダ100
に取り付けられる。また、ミラーホルダ100のX軸方
向の両端には、夫々コイル121,122が保持されて
いる。コイル121,122には一対のマグネット12
5,126が対向配置されており、コイル121,12
2に電流を流すと、コイル121,122とマグネット
125,126の電磁誘導の作用によりミラーホルダ1
00が回動軸Zを中心として回動する。これにより、偏
向ミラー26に反射されるレーザー光束の向きを変える
ことができる。The mirror holder 100 is a barrel-shaped block, and its central axis (X axis) is orthogonal to the rotation axis Z. In FIG. 6, an axis orthogonal to both the X axis and the rotation axis Z is defined as a Y axis. The deflecting mirror 26 has a mirror holder 100 such that its mirror surface 26a is orthogonal to the Y axis.
Attached to. Further, coils 121 and 122 are held at both ends of the mirror holder 100 in the X-axis direction, respectively. The coils 121 and 122 have a pair of magnets 12.
5, 126 are opposed to each other, and the coils 121, 12
When a current flows through the mirror holder 1, the electromagnetic induction between the coils 121 and 122 and the magnets 125 and 126 causes the mirror holder 1 to operate.
00 rotates around the rotation axis Z. Thereby, the direction of the laser beam reflected by the deflection mirror 26 can be changed.
【0019】図7及び図8は、図6に示すガルバノモー
タ27のA−A’断面図及びB−B’断面図である。な
お、図7及び図8において、マグネット125,126
は省略する。回動支持部材110は、ミラーホルダ10
0に対して偏向ミラー26と反対の側に設けられてい
る。回動支持部材110は鉛直上方から見てT字形状に
構成されており、ミラーホルダ100に対し平行に配置
されたベース部111と、ベース部111からY軸方向
に延びる支持部112からなっている。図9は、回動支
持部材110を示す斜視図である。回動支持部材110
の支持部112は、所定の幅W及び高さHを有してお
り、その先端近傍には幅が細く括れたヒンジ部113が
形成されている。また、支持部112のヒンジ部113
よりもさらに先端には、幅Wを有する先端部114が形
成されている。FIGS. 7 and 8 are a sectional view taken along the line AA 'and a sectional view taken along the line BB' of the galvano motor 27 shown in FIG. 7 and 8, the magnets 125, 126
Is omitted. The rotation support member 110 is used for the mirror holder 10.
0 is provided on the side opposite to the deflection mirror 26. The rotation support member 110 is formed in a T-shape when viewed from vertically above, and includes a base portion 111 arranged in parallel with the mirror holder 100 and a support portion 112 extending from the base portion 111 in the Y-axis direction. I have. FIG. 9 is a perspective view showing the rotation support member 110. Rotation support member 110
Has a predetermined width W and a predetermined height H, and a hinge portion 113 having a narrow width is formed in the vicinity of the distal end thereof. Further, the hinge portion 113 of the support portion 112
A tip portion 114 having a width W is further formed at the tip.
【0020】ミラーホルダ100には、Y軸方向に2つ
の凹部102,103が形成されており、凹部102と
凹部103との間は壁104で隔てられている。一方の
凹部102には前述の偏向ミラー26が取り付けられて
おり、他方の凹部103には回動支持部材110の支持
部112が挿入されている。そして、ヒンジ部113と
回動軸Zとが一致するように、回動支持部材110の支
持部112の先端部114が、ミラーホルダ100の壁
104に形成されたコの字状の溝104aに嵌め込まれ
る。The mirror holder 100 has two concave portions 102 and 103 formed in the Y-axis direction, and the concave portion 102 and the concave portion 103 are separated by a wall 104. The above-described deflection mirror 26 is attached to one of the concave portions 102, and the support portion 112 of the rotation support member 110 is inserted into the other concave portion 103. Then, the distal end portion 114 of the support portion 112 of the rotation support member 110 is inserted into the U-shaped groove 104 a formed in the wall 104 of the mirror holder 100 so that the hinge portion 113 and the rotation axis Z coincide. It is fitted.
【0021】幅の細いヒンジ部113の弾性変形によ
り、支持部112はヒンジ部113を中心として屈曲す
る。従って、支持部112の先端部114が固定された
ミラーホルダ100はヒンジ部113(即ち、回動軸
Z)を中心として回動する。このように構成されている
ため、回動支持部材110とマグネット125,126
が回動アーム3に固定された固定部となり、ミラーホル
ダ100と偏向ミラー26及びコイル121,122を
可動部となる。そして、コイル121,122への通電
により可動部(ミラーホルダ100・偏向ミラー26・
コイル121,122)が回動軸Zの回りで回動する。Due to the elastic deformation of the narrow hinge portion 113, the support portion 112 is bent around the hinge portion 113. Therefore, the mirror holder 100 to which the distal end 114 of the support 112 is fixed rotates around the hinge 113 (that is, the rotation axis Z). With such a configuration, the rotation support member 110 and the magnets 125 and 126
Is a fixed portion fixed to the rotating arm 3, and the mirror holder 100, the deflecting mirror 26, and the coils 121 and 122 are movable portions. The movable parts (mirror holder 100, deflection mirror 26,
The coils 121 and 122) rotate around the rotation axis Z.
【0022】なお、ミラーホルダ100が回動すると、
ヒンジ部113の弾性復元力によって、ヒンジ部113
が一直線上に延びた状態に戻るよう付勢される。また、
図8に示すように、回動支持部材110が偏向ミラー2
6を背後から支えているため、偏向ミラー26のY軸方
向の外力Fに対する剛性が向上する。When the mirror holder 100 rotates,
Due to the elastic restoring force of the hinge portion 113, the hinge portion 113
Are urged to return to the state where they have been extended in a straight line. Also,
As shown in FIG. 8, the rotation support member 110 is
6 is supported from behind, the rigidity of the deflection mirror 26 against external force F in the Y-axis direction is improved.
【0023】図10は、第2の実施形態のガルバノモー
タを示す斜視図である。第2の実施形態では、支持部1
12において幅が括れた部分(括れ部分213)の高さ
H方向中央部に開口213bが形成されている。そし
て、括れ部分213において、開口213bの上下に位
置する端部が夫々ヒンジ部213a,213aとなって
いる。即ち、ヒンジ部213a,213aの弾性変形に
より偏向ミラーが回動する。この第2の実施形態による
と、ヒンジ部の弾性復元力が比較的弱くなるため、軽い
駆動力で偏向ミラーの回動を行うことができる。FIG. 10 is a perspective view showing a galvano motor according to the second embodiment. In the second embodiment, the support 1
In FIG. 12, an opening 213b is formed at the center in the height H direction of the narrowed portion (the narrowed portion 213). The ends of the constricted portion 213 located above and below the opening 213b are hinge portions 213a and 213a, respectively. That is, the deflection mirror is rotated by the elastic deformation of the hinge portions 213a, 213a. According to the second embodiment, since the elastic restoring force of the hinge portion is relatively weak, the deflection mirror can be rotated with a light driving force.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガルバノ
ミラーの回動構造によると、回動軸方向に小さな寸法で
ガルバノミラーを回動支持することにより、粗動用アー
ムの軽量、小型化の要請を満足することが可能になる。As described above, according to the rotating structure of the galvanomirror of the present invention, the galvanomirror is rotatably supported with a small dimension in the direction of the rotating shaft, thereby reducing the weight and size of the coarse movement arm. It becomes possible to satisfy the request.
【図1】実施形態の光磁気ディスク装置の基本構成を示
す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a basic configuration of a magneto-optical disk device according to an embodiment.
【図2】図1の光磁気ディスク装置の回動アームの先端
部を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a distal end portion of a rotating arm of the magneto-optical disk device of FIG. 1;
【図3】浮上光学ユニットを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a floating optical unit.
【図4】回動アームの構成を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a rotating arm.
【図5】図4の回動アームの側面図である。FIG. 5 is a side view of the rotating arm of FIG. 4;
【図6】ガルバノモータを示す図である。FIG. 6 is a view showing a galvano motor.
【図7】図6のガルバノモータの断面図である。FIG. 7 is a sectional view of the galvano motor of FIG. 6;
【図8】図6のガルバノモータの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the galvano motor of FIG.
【図9】図6のガルバノモータの回動支持部材を示す斜
視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a rotation support member of the galvano motor of FIG. 6;
【図10】第2の実施形態のガルバノモータを示す斜視
図である。FIG. 10 is a perspective view illustrating a galvano motor according to a second embodiment.
26 偏向ミラー 100 ミラーホルダ 102,103 凹部 104 壁部 110 回動支持部材 112 延出部 113 ヒンジ 26 Deflection mirror 100 Mirror holder 102, 103 Recess 104 Wall 110 Rotation support member 112 Extension 113 Hinge
Claims (1)
と、ヒンジ部としての機能を果たし、前記支持部の長さ
方向の端部に該支持部に設けた前記板厚より充分に薄い
薄板部とからなり、この薄板部を介して偏向ミラーを取
り付けて、前記偏向ミラーを前記薄板部でその高さ方向
を軸として回動できるようにしたことを特徴とするガル
バノミラーの回動構造。A supporting portion having a predetermined thickness, height, and length, and a function as a hinge portion, wherein the thickness of the supporting portion is smaller than the thickness of the supporting portion provided at an end in a longitudinal direction of the supporting portion. A galvanomirror, comprising a thin plate portion that is sufficiently thin, and a deflecting mirror attached via the thin plate portion, so that the deflecting mirror can be rotated about the height direction of the thin plate portion as an axis. Rotating structure.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30356097A JPH11126352A (en) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | Rotating structure for galvanomirror |
US09/492,426 US6344917B1 (en) | 1997-10-17 | 2000-01-27 | Galvano mirror unit |
US09/951,465 US6421156B1 (en) | 1997-10-17 | 2001-09-14 | Galvano mirror unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30356097A JPH11126352A (en) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | Rotating structure for galvanomirror |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11126352A true JPH11126352A (en) | 1999-05-11 |
Family
ID=17922493
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30356097A Pending JPH11126352A (en) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | Rotating structure for galvanomirror |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11126352A (en) |
-
1997
- 1997-10-17 JP JP30356097A patent/JPH11126352A/en active Pending
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