JPH11126318A - Actuator and magnetic head device - Google Patents

Actuator and magnetic head device

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JPH11126318A
JPH11126318A JP29093897A JP29093897A JPH11126318A JP H11126318 A JPH11126318 A JP H11126318A JP 29093897 A JP29093897 A JP 29093897A JP 29093897 A JP29093897 A JP 29093897A JP H11126318 A JPH11126318 A JP H11126318A
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JP
Japan
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piezoelectric bimorph
thin plate
actuator
flexible substrate
magnetic head
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Application number
JP29093897A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroto Kawaguchi
裕人 川口
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator which improves the wiring workability of extremely thin wires drawn out of the coil of a magnetic head and prevent disconnection when a magnetic head, etc., are mounted on the actuator formed by using a piezoelectric bimorph. SOLUTION: The piezoelectric bimorph 1 which is a first supporting body and a thin sheet 3 which is a second supporting body are fixed to a fixing member 2. the piezoelectric bimorph 1 and the thin sheet 3 are connected by a connecting member 4 on the opposite side of the fixing member 2. A flexible substrate 5 provided with circuits for transmitting signals is disposed along the thin sheet 3. The flexible substrate 5 and the thin sheet 3 are fixed in the prescribed range from the connecting member 4 side and the other end thereof is fixed to the prescribed section of the fixed member 2. The section of the connecting member 5 connected to the piezoelectric bimorph 1 comprises an easily curving flexible part 4a and curves in a direction reverse from the curving direction of the piezoelectric bimorph 1, thereby maintaining the attitude of the connecting member 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はアクチュエータに関
し、さらに詳しくは、例えばビデオテープレコーダ等の
回転ドラムに装着される磁気ヘッド装置に用いて好適な
アクチュエータに関する。
The present invention relates to an actuator, and more particularly, to an actuator suitable for use in a magnetic head device mounted on a rotating drum such as a video tape recorder.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のアクチュエータについて図6およ
び図7を参照して説明する。図6は従来のアクチュエー
タが適用されたDTヘッド装置の概略斜視図であり、ま
た、図7は圧電バイモルフと薄板を用いた傾斜抑制機構
の働きを示すアクチュエータの断面図である。
2. Description of the Related Art A conventional actuator will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic perspective view of a DT head device to which a conventional actuator is applied, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the actuator showing the function of a tilt suppressing mechanism using a piezoelectric bimorph and a thin plate.

【0003】ビデオテープレコーダ(VTR)のスロー
再生、逆再生、静止画再生等の特殊再生時にノイズの少
ない高品質な画質を得るため、磁気ヘッドが摺動して記
録トラックを追従する、いわゆるDT(Dynamic
Tracking)ヘッド装置がある。このDTヘッ
ド装置における磁気ヘッドの摺動動作を行うアクチュエ
ータとして、電気機械変換素子である圧電素子からなる
バイモルフを片持ち梁構造としたものが多用されてい
る。
A so-called DT, in which a magnetic head slides to follow a recording track in order to obtain a high-quality image with little noise during special reproduction such as slow reproduction, reverse reproduction, and still image reproduction of a video tape recorder (VTR). (Dynamic
Tracking) head devices. As the actuator for performing the sliding operation of the magnetic head in the DT head device, a device having a bimorph cantilever structure composed of a piezoelectric element, which is an electromechanical conversion element, is frequently used.

【0004】図6はこのようなアクチュエータが適用さ
れた一例であるDTヘッド装置30であって、圧電バイ
モルフ1は一般的に伸縮しにくい材質の薄板からなる中
間電極1cの両面に、それぞれ圧電材の薄板からなる圧
電板1a、1bを貼り合わせることにより構成されてい
る。
FIG. 6 shows a DT head device 30 as an example to which such an actuator is applied. A piezoelectric bimorph 1 is generally provided on both surfaces of an intermediate electrode 1c made of a thin plate made of a material which does not easily expand and contract. The piezoelectric plates 1a and 1b made of thin plates are bonded together.

【0005】中間電極1cは、例えば剛性の高いリン青
銅、カーボン繊維配合コンポジット材、あるいは剛性の
高いプラスチック材等が使用される。また、圧電板1
a、1bは、例えば圧電性を備えたセラミックス・プラ
スチック等から構成されていて、圧電板1a、1bの両
側には、それぞれメッキ、蒸着、焼き付け等により表面
電極1d、1eが形成され、任意の向きに分極処理が施
される。これにより、このアクチュエータに所定の電圧
を印加することにより、圧電板の一方が伸び、他方が縮
むような変形が発生し、図6の矢印xで示す方向に変位
が生じるようになっている。
The intermediate electrode 1c is made of, for example, highly rigid phosphor bronze, a composite material containing carbon fiber, or a highly rigid plastic material. Also, the piezoelectric plate 1
a and 1b are made of, for example, ceramics and plastics having piezoelectricity, and surface electrodes 1d and 1e are formed on both sides of the piezoelectric plates 1a and 1b by plating, vapor deposition, baking, and the like, respectively. Polarization is performed in the direction. Thus, when a predetermined voltage is applied to this actuator, one of the piezoelectric plates expands and the other contracts, so that a deformation occurs such that the piezoelectric plate is displaced in a direction indicated by an arrow x in FIG.

【0006】さらに、圧電バイモルフ1の一方の端は固
定部材2aと固定部材2bにより挟持されて固定されて
いると共に、固定部材2a、2bの何れか一方、もしく
は双方が回転ドラムに対して所定の位置にネジ等によっ
て固定されている。
Further, one end of the piezoelectric bimorph 1 is sandwiched and fixed by a fixing member 2a and a fixing member 2b, and one or both of the fixing members 2a and 2b are fixed to a predetermined position with respect to the rotating drum. It is fixed to the position by screws or the like.

【0007】また、圧電バイモルフ1の他の端には磁気
ヘッド9を取り付けるヘッドベース8が固定されてい
る。さらに、このヘッドベース8には前記圧電バイモル
フ1と平行に薄板3が固定されている。この薄板3は、
例えば剛性の高いリン青銅、カーボン繊維配合のコンポ
ジット材、あるいは剛性の高いプラスチック材等の材料
が使用される。薄板3の一方の端は固定部材2bと固定
部材2cとにより挟持されて固定されている。
A head base 8 to which a magnetic head 9 is attached is fixed to the other end of the piezoelectric bimorph 1. Further, the thin plate 3 is fixed to the head base 8 in parallel with the piezoelectric bimorph 1. This thin plate 3
For example, a material such as a highly rigid phosphor bronze, a composite material containing carbon fiber, or a highly rigid plastic material is used. One end of the thin plate 3 is sandwiched and fixed between the fixing members 2b and 2c.

【0008】この薄板3は、図7に示すように圧電バイ
モルフ1が湾曲し、磁気ヘッド9が上下に変位したとき
に、磁気ヘッド9が傾斜することがないように作用す
る。即ち、圧電バイモルフ1が変形した場合、圧電バイ
モルフ1の先端は変形に応じた傾斜が発生する。しかし
ながら薄板3があると、この薄板3は圧電バイモルフ1
と平行性を確保しながら湾曲するので、ヘッドベース8
の可撓性部8aは圧電バイモルフ1の湾曲とは逆方向に
湾曲し、従って、磁気ヘッド9が磁気テープ13に接触
する角度が常に一定に維持され、良好な再生が可能とな
る。
The thin plate 3 acts to prevent the magnetic head 9 from tilting when the piezoelectric bimorph 1 is curved as shown in FIG. 7 and the magnetic head 9 is vertically displaced. That is, when the piezoelectric bimorph 1 is deformed, the tip of the piezoelectric bimorph 1 is inclined according to the deformation. However, if there is a thin plate 3, this thin plate 3
And the head base 8
The flexible portion 8a is curved in a direction opposite to that of the piezoelectric bimorph 1, so that the angle at which the magnetic head 9 contacts the magnetic tape 13 is always kept constant, and good reproduction is possible.

【0009】一方、磁気ヘッド9には、外周にポリウレ
タン、ポリエステル等の絶縁膜を有した、銅を導体とす
る極細線が巻かれていて磁気検出のコイル10を形成し
ている。このコイルの終端はDTヘッド装置30の固定
部材2cにまで導かれ、そのランド12に半田等によっ
て固定されている。
On the other hand, the magnetic head 9 is wound with an ultrafine wire made of copper as a conductor and having an insulating film of polyurethane, polyester or the like on its outer periphery, thereby forming a coil 10 for magnetic detection. The terminal end of the coil is guided to the fixing member 2c of the DT head device 30, and is fixed to the land 12 by solder or the like.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように、コイルに用いる線材は極めて細く(例えば外
形が数十μm程度)、一方、アクチュエータの大きさ
は、例えば図7に示すL4は20〜50mm程度が一般
的である。従ってこの長さを越えて極細線を配線するこ
とになるが、作業中に断線等の障害が起こりやすく作業
性にも信頼性にも劣るものであった。
However, as described above, the wire used for the coil is extremely thin (for example, the outer diameter is about several tens of μm), while the size of the actuator is, for example, L4 shown in FIG. About 50 mm is common. Therefore, an extra fine wire is to be wired beyond this length, but a trouble such as disconnection is likely to occur during the work, and the workability and the reliability are poor.

【0011】また、この磁気ヘッド装置は可動ヘッドで
あり、特に繰り返し動作により線材が破壊される虞れが
あった。通常の繰り返し動作の周波数は数十Hzから数
百Hz程度であり、また磁気ヘッド先端部の振幅は1m
m程度になるものもあり、配線する場所や方法によって
は断線が起こりやすい物であった。
Further, the magnetic head device is a movable head, and there is a possibility that the wire rod may be broken by repetitive operations. The frequency of the normal repetitive operation is about several tens Hz to several hundreds Hz, and the amplitude of the tip of the magnetic head is 1 m.
m in some cases, and disconnection was likely to occur depending on the place and method of wiring.

【0012】これらの対策のため、磁気ヘッドコイルか
ら固定部材までの配線では、振動時に歪みの発生の少な
い部分に配線することや、配線時の線材固定用の接着剤
や補強用接着剤の選定、また配線時に線材にストレスが
加わらないように作業を行っているが、作業時間の短縮
や断線不良を抑制することは困難であった。
For these measures, in the wiring from the magnetic head coil to the fixing member, wiring should be performed at a portion where distortion is hardly generated during the vibration, and an adhesive for fixing the wire and an adhesive for reinforcing the wiring should be selected. In addition, work is performed so that stress is not applied to the wire at the time of wiring, but it has been difficult to reduce the work time and to suppress the disconnection failure.

【0013】従って本発明の課題は、圧電バイモルフを
用いたアクチュエータにおいて、例えばアクチュエータ
に磁気ヘッド等を搭載した場合の磁気ヘッドのコイルか
ら引き出される電気信号伝達用の極細線の配線作業性の
向上と、繰り返し振動による断線を防止したアクチュエ
ータの提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to improve the workability of wiring an extra-fine wire for transmitting an electric signal drawn from a coil of a magnetic head when a magnetic head or the like is mounted on the actuator in an actuator using a piezoelectric bimorph. It is another object of the present invention to provide an actuator that prevents disconnection due to repeated vibration.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
なされたものであって、請求項1に記載の発明によれ
ば、1つの軸方向に制御対象物体を移動するアクチュエ
ータにおいて、基礎部材に立てられ、第1の支持体を構
成する圧電バイモルフと、前記基礎部材に前記圧電バイ
モルフと平行に立てられ、第2の支持体を構成する薄板
と、前記基礎部材とは反対の側において、前記圧電バイ
モルフと前記薄板とを連結し、前記圧電バイモルフとの
接続部位において可撓性部を有する連結部材と、前記薄
板に沿って、前記連結部材から前記基礎部材にわたって
電気信号を伝達するために設けられた可撓性基板とを具
備して構成され、前記可撓性基板は、前記薄板の前記連
結部材に結合された部位から前記基礎部材の方向に所定
の範囲で固着され、さらに、前記可撓性基板の他端は前
記基礎部材の所定の位置に固着されたアクチュエータを
構成する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and according to the first aspect of the present invention, in an actuator for moving an object to be controlled in one axial direction, a base member is provided. And a piezoelectric bimorph constituting a first support, a thin plate constituting a second support, which is erected on the base member in parallel with the piezoelectric bimorph, and on a side opposite to the base member, To connect the piezoelectric bimorph and the thin plate, a connecting member having a flexible portion at a connection portion with the piezoelectric bimorph, and to transmit an electric signal from the connecting member to the base member along the thin plate along the thin plate. And a flexible substrate provided, wherein the flexible substrate is fixed in a predetermined range in the direction of the base member from a portion of the thin plate coupled to the connecting member, Et al, the other end of the flexible substrate is an actuator which is secured to a predetermined position of the base member.

【0015】また、請求項2に記載の発明によれば、請
求項1に記載の可撓性基板の前記薄板に固着する範囲
は、前記薄板の可動部長の少なくとも1/2以上である
こととする。
According to a second aspect of the present invention, the range of the flexible substrate according to the first aspect of the present invention, which is fixed to the thin plate, is at least 1 / or more of the length of the movable portion of the thin plate. I do.

【0016】また、請求項3に記載の発明によれば、請
求項1に記載の可撓性基板の前記薄板に固着しない部位
の形状は、前記基礎部材に向かって開いたY字型である
こととする。
According to the third aspect of the invention, the portion of the flexible substrate according to the first aspect that is not fixed to the thin plate has a Y-shape that opens toward the base member. It shall be.

【0017】さらに、請求項4に記載の発明によれば、
請求項1に記載のアクチュエータを用いた磁気ヘッド装
置を構成して上記課題を解決する。
Further, according to the invention described in claim 4,
A magnetic head device using the actuator according to claim 1 is configured to solve the above problem.

【0018】本発明のアクチュエータを、例えば磁気ヘ
ッド装置に適用した場合、信号の授受を行うための磁気
ヘッド部のコイルから引き出される極細線を、可撓性部
材に設けられた配線パターンに接続する構造になるの
で、磁気ヘッド装置の製造作業の効率が向上し、また、
使用中のコイル断線の虞れが低減して磁気ヘッド装置の
信頼性が向上する。
When the actuator of the present invention is applied to, for example, a magnetic head device, a very thin wire drawn from a coil of a magnetic head portion for transmitting and receiving signals is connected to a wiring pattern provided on a flexible member. Because of the structure, the efficiency of the manufacturing work of the magnetic head device is improved,
The possibility of coil breakage during use is reduced, and the reliability of the magnetic head device is improved.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施の形態につい
て図1ないし図5を参照して説明する。図1は本発明の
アクチュエータの構成を示す断面図であり、図2は本発
明のアクチュエータが適用されたDTヘッド装置の概略
斜視図である。図3は図2に示すDTヘッド装置のA−
A断面側面図である。図4は図2に示すDTヘッド装置
に使用する可撓性部材、例えばフレキシブルプリント基
板(以下、「VHフレキ基板」と称す)の配線パターン
の一例であり、また、図5はVHフレキ基板の形状を示
す図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of the actuator of the present invention, and FIG. 2 is a schematic perspective view of a DT head device to which the actuator of the present invention is applied. FIG. 3 is a view showing A- of the DT head device shown in FIG.
It is A sectional side view. FIG. 4 shows an example of a wiring pattern of a flexible member used in the DT head device shown in FIG. 2, for example, a flexible printed board (hereinafter, referred to as a "VH flexible board"). It is a figure showing a shape.

【0020】本発明は磁気ヘッド等の位置を制御するた
めのアクチュエータに関するものであって、その構成は
図1に示すように固定部材2に第1の支持体となる圧電
バイモルフ1と、第2の支持体となる薄板3とが固定さ
れ、固定部材2とは反対側において圧電バイモルフ1と
薄板3とは連結部材4で連結されている。また、信号を
伝達する回路が設けられている可撓性基板5が薄板3に
沿って設けられている。この可撓性基板5は、薄板3と
は連結部材4側から所定の範囲で固着されていて、他の
一端は固定部材2の所定の部位に固定されている。
The present invention relates to an actuator for controlling the position of a magnetic head or the like. The structure of the actuator is as shown in FIG. The piezoelectric bimorph 1 and the thin plate 3 are connected by a connecting member 4 on the side opposite to the fixing member 2. Further, a flexible substrate 5 provided with a circuit for transmitting a signal is provided along the thin plate 3. The flexible substrate 5 is fixed to the thin plate 3 in a predetermined range from the connecting member 4 side, and the other end is fixed to a predetermined portion of the fixing member 2.

【0021】前記連結部材4の圧電バイモルフ1と接続
する部位は容易に湾曲する可撓性部4aで構成されてい
て、圧電バイモルフ1に電圧が印加されて湾曲し、連結
部材4の位置を移動させたときに、この可撓性部4aが
圧電バイモルフ1の湾曲方向とは逆方向に湾曲し、連結
部材4の姿勢を維持する。
The portion of the connecting member 4 which is connected to the piezoelectric bimorph 1 is constituted by a flexible portion 4a which easily bends. When a voltage is applied to the piezoelectric bimorph 1, the portion is bent and the position of the connecting member 4 moves. When this is done, the flexible portion 4a bends in the direction opposite to the bending direction of the piezoelectric bimorph 1, and the posture of the connecting member 4 is maintained.

【0022】前記可撓性基板5を設けたことが本発明の
特徴をなすものであって、可撓性基板5に設けられた回
路を介して、連結部材4に固定された、例えば磁気ヘッ
ドの信号を外部に取り出すことができ、極めて細い線材
を扱うことを低減できるため、作業性や信頼性の向上に
多大に貢献するものである。
The provision of the flexible substrate 5 is a feature of the present invention. For example, a magnetic head fixed to the connecting member 4 via a circuit provided on the flexible substrate 5 Can be extracted to the outside, and handling of extremely thin wires can be reduced, which greatly contributes to improvement in workability and reliability.

【0023】つぎに、本発明を磁気ヘッド装置に適用し
た実施形態例について説明する。尚、以下に述べる実施
の形態はこの発明の好適な具体例であるから、技術的に
好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲
は以下の説明において特にこの発明を限定する旨の記載
がないかぎり、これらの形態に限定されるものではな
い。
Next, an embodiment in which the present invention is applied to a magnetic head device will be described. Although the embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, various technically preferable limitations are added thereto. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. It is not limited to these forms unless otherwise described.

【0024】図2に示すように本発明が適用されたDT
ヘッド装置20の構成は、台形状の圧電バイモルフ1
と、この圧電バイモルフ1を固定し、且つ、ドラムに固
定するためのネジ穴を有する固定部材2aと、圧電バイ
モルフ1と薄板3を挟持する固定部材2bおよび固定部
材2cと、薄板3に接着されたVHフレキ基板5aと、
圧電バイモルフ1の先端に磁気ヘッド9を固定するため
のヘッドベース8と、磁気ヘッド9に形成されたコイル
10を具備して構成されている。
As shown in FIG. 2, the DT to which the present invention is applied
The head device 20 has a trapezoidal piezoelectric bimorph 1.
And a fixing member 2a having a screw hole for fixing the piezoelectric bimorph 1 and fixing the piezoelectric bimorph 1 to a drum; a fixing member 2b and a fixing member 2c for sandwiching the piezoelectric bimorph 1 and the thin plate 3; VH flexible substrate 5a,
The piezoelectric bimorph 1 includes a head base 8 for fixing a magnetic head 9 to the tip of the piezoelectric bimorph 1, and a coil 10 formed on the magnetic head 9.

【0025】圧電バイモルフ1は2枚の圧電板1a、1
bが中間電極1cを挟んで貼り合わされ、その貼り合わ
された両面に表面電極1d、1eが形成された構造とな
っている。ここで圧電板1a、1bの材料としては、例
えばチタン酸バリウムやジルコン酸鉛等のセラミック材
料が用いられる。また、ポリフッ化ビニリデン等の高分
子材料も用いることが可能である。
The piezoelectric bimorph 1 has two piezoelectric plates 1a, 1
b are bonded together with the intermediate electrode 1c interposed therebetween, and the surface electrodes 1d and 1e are formed on the bonded both surfaces. Here, as the material of the piezoelectric plates 1a and 1b, for example, a ceramic material such as barium titanate or lead zirconate is used. Alternatively, a polymer material such as polyvinylidene fluoride can be used.

【0026】中間電極1cの材料としては、軽量で線膨
張係数の小さな、例えばチタン合金、ステンレス、カー
ボン繊維と樹脂を所定比率で配合したカーボン繊維樹脂
材料等が用いられる。
As the material of the intermediate electrode 1c, for example, a titanium alloy, stainless steel, a carbon fiber resin material in which carbon fiber and resin are mixed at a predetermined ratio, and the like are used.

【0027】表面電極1d、1eの材料としては、圧電
板1a、1bの線膨張係数と一致、若しくは近い値のも
のであって、導電性および耐酸化性が良好であって、半
田付けが容易なものが好ましく、例えばニッケル、金、
銀、モリブデン、錫等の金属材料、またはこれらの合金
材料が用いられる。
The material of the surface electrodes 1d and 1e has a coefficient which is equal to or close to the coefficient of linear expansion of the piezoelectric plates 1a and 1b, has good conductivity and oxidation resistance, and is easy to solder. Are preferable, for example, nickel, gold,
A metal material such as silver, molybdenum, or tin, or an alloy material thereof is used.

【0028】表面電極1d、1eを形成する方法として
は、圧電板1a、1bの表面に上記材料のペーストを印
刷法等により塗布して乾燥、または焼き付けて形成する
方法、或いは金属溶射、真空蒸着、スパッタリング、無
電解メッキ等により形成する方法が利用できる。
As a method of forming the surface electrodes 1d and 1e, a paste of the above-mentioned material is applied to the surfaces of the piezoelectric plates 1a and 1b by a printing method or the like and dried or baked, or metal spraying or vacuum evaporation , Sputtering, electroless plating and the like can be used.

【0029】固定部材2aの材料としては、アルミニウ
ム、真鍮等の導電性の材料、もしくは絶縁材料の表面に
導電材がメッキ等によって形成されたものが用いられ
る。固定部材2b、2cの材料としては、アルミニウ
ム、真鍮等の導電性の材料や、絶縁材料の圧電板1a、
1bを挟持する面のみに導電材がメッキ等によって形成
されたものが用いられる。また、固定部材2cの片面に
は、例えば磁気信号や圧電バイモルフの駆動信号等の伝
達のためにフレキシブルプリント基板やプリント基板等
が配設されている。
As the material of the fixing member 2a, a conductive material such as aluminum or brass, or a material in which a conductive material is formed on the surface of an insulating material by plating or the like is used. Examples of the material of the fixing members 2b and 2c include a conductive material such as aluminum and brass, and a piezoelectric plate 1a made of an insulating material.
A conductive material formed by plating or the like only on the surface sandwiching 1b is used. Further, on one surface of the fixing member 2c, for example, a flexible printed board, a printed board, or the like is provided for transmitting a magnetic signal, a driving signal for a piezoelectric bimorph, and the like.

【0030】薄板3、ヘッドベース8の材料としては、
比剛性の高い、例えばチタンやカーボン繊維配合樹脂等
が用いられる。また、材料特性としては圧電バイモルフ
の線膨張係数の値に近いものが好ましい。従って、圧電
バイモルフ1の中間電極1cに用いた材料を用いること
が一般的である。
The materials of the thin plate 3 and the head base 8 are as follows.
For example, a resin having a high specific rigidity, such as titanium or a carbon fiber-containing resin, is used. Further, it is preferable that the material characteristics be close to the linear expansion coefficient of the piezoelectric bimorph. Therefore, it is common to use the material used for the intermediate electrode 1c of the piezoelectric bimorph 1.

【0031】ヘッドベース8は圧電バイモルフ1に接着
する接着部8aと、圧電バイモルフ1の先端の曲がりと
は逆方向に曲がって曲がりをキャンセルする可撓性部8
bと、磁気ヘッド9を装着する装着部8cから構成され
ている。
The head base 8 has a bonding portion 8a for bonding to the piezoelectric bimorph 1 and a flexible portion 8 which bends in a direction opposite to the bending of the tip of the piezoelectric bimorph 1 to cancel the bending.
b, and a mounting portion 8c to which the magnetic head 9 is mounted.

【0032】薄板3は、圧電バイモルフ1と平行になる
ようにヘッドベース8と固定部材2bの厚みが調整さ
れ、ヘッドベース8と所定の重ね合わせ幅で接着部3a
に接着固定される。
The thickness of the head base 8 and the fixing member 2b is adjusted so that the thin plate 3 becomes parallel to the piezoelectric bimorph 1, and the bonding portion 3a is formed with the head base 8 at a predetermined overlapping width.
Adhesively fixed.

【0033】ヘッドベース8上には所定数の磁気ヘッド
9が固定され、磁気ヘッド9には極細線によるコイル1
0が形成される。コイル10は外周にポリウレタン、ポ
リエステル等の絶縁膜を有した、直径が30μm〜50
μmの銅を導体とする極細線であって、その線材外径は
40μm〜80μm程度である。
A predetermined number of magnetic heads 9 are fixed on a head base 8, and the magnetic head 9 is provided with a coil 1 made of a fine wire.
0 is formed. The coil 10 has an insulating film of polyurethane, polyester or the like on the outer periphery, and has a diameter of 30 μm to 50 μm.
It is an ultra-fine wire using copper of μm as a conductor, and the outer diameter of the wire is about 40 μm to 80 μm.

【0034】上述したコイル10の端末はヘッドベース
8の側面を経て、ヘッドベース8と薄板3との接着部3
aに導かれ、この接着部3aに接着されているVHフレ
キ基板5aのランドに半田付けされる。
The terminal of the above-described coil 10 passes through the side surface of the head base 8, and is bonded to the bonding portion 3 of the head base 8 and the thin plate 3.
a and is soldered to the land of the VH flexible substrate 5a bonded to the bonding portion 3a.

【0035】VHフレキ基板5aの材料としては、例え
ばポリイミドと圧延銅箔を用いた片面フレキシブル材等
を用いる。VHフレキ基板5aの形状について可動部に
固着される部分は、フレキシブル材の重量によるDTヘ
ッドの特性の劣化、例えば印加電圧当たりの先端変位量
や応答周波数特性等の劣化を防ぐため、できるだけ軽量
になるように構成する。
As the material of the VH flexible substrate 5a, for example, a single-sided flexible material using polyimide and rolled copper foil is used. Regarding the shape of the VH flexible substrate 5a, the portion fixed to the movable portion is made as light as possible to prevent the deterioration of the characteristics of the DT head due to the weight of the flexible material, for example, the deterioration of the tip displacement amount per applied voltage and the response frequency characteristics. It is constituted so that it may become.

【0036】図3は図2に示すDTヘッド装置20のA
−A線上における断面図であって、L1 は薄板3の可動
部の長さであり、L2 はVHフレキ基板5aの薄板3に
固着している長さであり、また、L3 はVHフレキ基板
5aの自在部の長さである。これらL1 〜L3 には、後
段で説明するように、本発明の効果を得るための好適な
関係がある。
FIG. 3 shows A of the DT head device 20 shown in FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line A, where L1 is the length of the movable portion of the thin plate 3, L2 is the length of the VH flexible substrate 5a fixed to the thin plate 3, and L3 is the VH flexible substrate 5a. Is the length of the free part. These L1 to L3 have a preferable relationship for obtaining the effect of the present invention, as described later.

【0037】また、VHフレキ基板5aの配線パターン
については、パターン部分のインピーダンスができるだ
け小さくなるように形成する。パターン幅として例えば
0.2mm以下、パターン間隔として例えば0.2mm
以下程度とする。また、2個の磁気ヘッド9がヘッドベ
ース8に装着されているような場合は、各々のパターン
について図4に示すように離すことが望ましく、同図に
おいてW1 <W2 にすることが望ましい。
The wiring pattern of the VH flexible substrate 5a is formed such that the impedance of the pattern portion is as small as possible. The pattern width is, for example, 0.2 mm or less, and the pattern interval is, for example, 0.2 mm
Less than or equal. In the case where two magnetic heads 9 are mounted on the head base 8, it is desirable to separate the respective patterns as shown in FIG. 4, and it is desirable that W1 <W2 in the same figure.

【0038】VHフレキ基板5aは薄板3から固定部材
2c上に組み込まれたランド12に半田付けされる。図
5(a)〜(c)に示す斜線で示した自在部14は薄板
3に固着されていない部位であって、これらに示すよう
に種々の形状とすることが可能であり、短い距離の間で
所定の柔軟性を得る形状とすることができる。従って、
VHフレキ基板5aの形状としては図4(a)の上述し
た形状の他に、同図(b)のY字型や同図(c)のL字
型も好ましい形状である。
The VH flexible board 5a is soldered from the thin plate 3 to a land 12 incorporated on the fixing member 2c. 5 (a) to 5 (c) are portions which are not fixed to the thin plate 3 and can be formed in various shapes as shown in FIG. It can be formed into a shape that obtains a predetermined flexibility between them. Therefore,
As the shape of the VH flexible substrate 5a, in addition to the above-described shape in FIG. 4A, a Y-shape in FIG. 4B and an L-shape in FIG.

【0039】また、VHフレキ基板5aと薄板3との固
定は、例えばVHフレキ基板5aの裏面に予め設けられ
ている接着シート等により接着して行うことができる。
このときVHフレキ基板5aと薄板3が接着される長
さ、即ち図3に示すL2 が短い場合、圧電バイモルフ1
が振動するときにVHフレキ基板5aが薄板3を叩き、
磁気ヘッド9先端部の振動状態が安定しない。
The VH flexible substrate 5a and the thin plate 3 can be fixed to each other by, for example, bonding with an adhesive sheet or the like provided on the back surface of the VH flexible substrate 5a.
At this time, if the length of bonding between the VH flexible substrate 5a and the thin plate 3, that is, L2 shown in FIG.
VH flexible substrate 5a hits thin plate 3 when vibrates,
The vibration state of the tip of the magnetic head 9 is not stable.

【0040】従って、接着される長さに関して種々検討
の結果、接着長L2 は、薄板3の可動部の長さL1 の少
なくとも1/2以上とすることで、特性上良好なDTヘ
ッド装置20が得られており、この値とすることが好ま
しい。
Therefore, as a result of various studies on the length to be bonded, the bonding length L2 is set to be at least で or more of the length L1 of the movable portion of the thin plate 3. Has been obtained, and is preferably set to this value.

【0041】尚、上述したVHフレキ基板5aはDTヘ
ッド装置20からの信号入出力用のフレキシブル基板と
一体として形成してもよい。
The above-mentioned VH flexible substrate 5a may be formed integrally with a flexible substrate for inputting and outputting signals from the DT head device 20.

【0042】また、上述した実施例においては駆動体は
圧電板を貼り合わせたバイモルフ素子として構成されて
いるが、これに限ることなく、例えば積層タイプの圧電
バイモルフ素子を用いて構成してもよい。
In the above-described embodiment, the driving body is configured as a bimorph element in which a piezoelectric plate is bonded. However, the present invention is not limited to this. For example, the driving body may be configured using a stacked-type piezoelectric bimorph element. .

【0043】また、上述した実施例においては磁気ヘッ
ドが先端に接着された構成となっているが、これに限る
ことなく、信号の受け渡しが必要な素子を可動させる構
成のものに適用できることは当然である。
In the above-described embodiment, the magnetic head is adhered to the tip. However, the present invention is not limited to this, and it is needless to say that the present invention can be applied to a structure in which an element that needs to transfer signals is movable. It is.

【0044】さらに、上述した実施例においてはVHフ
レキ基板形状はT字型、Y字型、L字型について示して
いるが、本発明に関するVHフレキ基板と同様の働きを
する他の形状であっても良いことは当然である。
Further, in the above-described embodiment, the shape of the VH flexible substrate is shown as T-shape, Y-shape, and L-shape. However, the VH-flexible board has the same function as the VH flexible board according to the present invention. It is natural that you can do it.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のアクチュエータによると、繰り返し曲げが生じる領域
や、繰り返し伸縮が生じる可動部の領域に、極細線に替
わって耐久性に優れたフレキシブル材で配線することが
できる。従って、配線作業を容易にして且つ品質の向上
を図ることが可能となる。例えばDTヘッド装置にこの
アクチュエータを用いることにより、高品質で低コスト
の装置が提供できる。
As is apparent from the above description, according to the actuator of the present invention, a flexible material having excellent durability is provided in a region where repetitive bending or a movable portion where repetitive expansion and contraction occurs, instead of a fine wire. Can be wired. Therefore, the wiring work can be facilitated and the quality can be improved. For example, by using this actuator for a DT head device, a high-quality and low-cost device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のアクチュエータの構成を示す断面図
である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an actuator of the present invention.

【図2】 本発明のアクチュエータが適用されたDTヘ
ッド装置の概略斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view of a DT head device to which the actuator of the present invention is applied.

【図3】 図2に示すDTヘッド装置のA−A断面側面
図である。
FIG. 3 is a cross-sectional side view of the DT head device shown in FIG.

【図4】 図2に示すDTヘッド装置に使用するVHフ
レキ基板の配線パターンの一例である。
FIG. 4 is an example of a wiring pattern of a VH flexible substrate used in the DT head device shown in FIG.

【図5】 VHフレキ基板の形状を示す図である。FIG. 5 is a view showing a shape of a VH flexible substrate.

【図6】 従来のアクチュエータが適用されたDTヘッ
ド装置の概略斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view of a DT head device to which a conventional actuator is applied.

【図7】 圧電バイモルフと薄板を用いた傾斜抑制機構
の働きを示すアクチュエータの断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of an actuator showing a function of a tilt suppressing mechanism using a piezoelectric bimorph and a thin plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…圧電バイモルフ、1a,1b…圧電板、1c…中間
電極、1d,1e…表面電極、2,2a,2b,2c…
固定部材、3…薄板、3a…接着部、4…連結部材、4
a…可撓性部、5…可撓性基板、5a…VHフレキ基
板、8…ヘッドベース、8a…接着部、8b…可撓性
部、8c…装着部、9…磁気ヘッド、10…コイル、1
2…ランド、13…磁気テープ、14…自在部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Piezoelectric bimorph, 1a, 1b: Piezoelectric plate, 1c: Intermediate electrode, 1d, 1e: Surface electrode, 2, 2a, 2b, 2c ...
Fixing member, 3 ... thin plate, 3a ... adhesive portion, 4 ... connecting member, 4
a: flexible portion, 5: flexible substrate, 5a: VH flexible substrate, 8: head base, 8a: adhesive portion, 8b: flexible portion, 8c: mounting portion, 9: magnetic head, 10: coil , 1
2 land, 13 magnetic tape, 14 free part

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 1つの軸方向に制御対象物体を移動する
アクチュエータにおいて、 基礎部材に立てられ、第1の支持体を構成する圧電バイ
モルフと、 前記基礎部材に前記圧電バイモルフと平行に立てられ、
第2の支持体を構成する薄板と、 前記基礎部材とは反対の側において、前記圧電バイモル
フと前記薄板とを連結し、前記圧電バイモルフとの接続
部位において可撓性部を有する連結部材と、 前記薄板に沿って、前記連結部材から前記基礎部材にわ
たって電気信号を伝達するために設けられた可撓性基板
とを具備して構成され、 前記可撓性基板は、前記薄板の前記連結部材に結合され
た部位から前記基礎部材の方向に所定の範囲で固着さ
れ、さらに、前記可撓性基板の他端は前記基礎部材の所
定の位置に固着されていることを特徴とするアクチュエ
ータ。
1. An actuator for moving an object to be controlled in one axial direction, comprising: a piezoelectric bimorph that is erected on a base member and forms a first support; and is erected on the base member in parallel with the piezoelectric bimorph.
A thin plate that constitutes a second support, and a connecting member that connects the piezoelectric bimorph and the thin plate on a side opposite to the base member and has a flexible portion at a connection portion with the piezoelectric bimorph, Along with the thin plate, a flexible substrate provided for transmitting an electric signal from the connecting member to the base member, wherein the flexible substrate is connected to the connecting member of the thin plate. An actuator, wherein the actuator is fixed in a predetermined range from the joined portion in the direction of the base member, and the other end of the flexible substrate is fixed to a predetermined position of the base member.
【請求項2】 前記可撓性基板の前記薄板に固着する範
囲は、前記薄板の可動部長の少なくとも1/2以上であ
ることを特徴とする、請求項1に記載のアクチュエー
タ。
2. The actuator according to claim 1, wherein a range in which the flexible substrate is fixed to the thin plate is at least の or more of a length of a movable portion of the thin plate.
【請求項3】 前記可撓性基板の前記薄板に固着しない
部位の形状は、前記基礎部材に向かって開いたY字型で
あることを特徴とする、請求項1に記載のアクチュエー
タ。
3. The actuator according to claim 1, wherein the shape of the portion of the flexible substrate that does not adhere to the thin plate is a Y-shape that opens toward the base member.
【請求項4】 請求項1に記載のアクチュエータを用い
たことを特徴とする磁気ヘッド装置。
4. A magnetic head device using the actuator according to claim 1.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7919905B2 (en) 2006-03-10 2011-04-05 Sony Corporation Magnetic head actuator having conductive fastening member electrically connecting upper and lower piezoelectric elements

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