JPH11120819A - Anisotropic conductive composition and film - Google Patents

Anisotropic conductive composition and film

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JPH11120819A
JPH11120819A JP27843897A JP27843897A JPH11120819A JP H11120819 A JPH11120819 A JP H11120819A JP 27843897 A JP27843897 A JP 27843897A JP 27843897 A JP27843897 A JP 27843897A JP H11120819 A JPH11120819 A JP H11120819A
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film
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明典 横山
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve deformability, heat conductivity, high electrical conductivity and reflow resistance by constituting an epoxy resin contained in an organic binder of a specific rate to metallic powder, on which the surface concentration of silver and gold contained together with copper is higher than the average concentration and which has the specific average particle size, so as to have a glycidyl ether bond not less than bifunctions in a naphthalene skeleton. SOLUTION: The composition of this metallic powder is expressed by MxCu1 - x, and has an average particle size of 2 to 15 μm, and is superior in oxidation resistance and electrical conductivity at connecting time, and is close in a thermal expansion coefficient to a connecting object composed mainly of copper. In the formula, M represents Ag or/and Au, and (0.01<=x<=0.6) is realized. Since an organic binder of 1 to 120 pts.wt. contains a naphthalene expoxy resin of a prescribed rate to 1 pts.wt. of the metallic powder, heat resistance and reactivity are improved, and connection failure by stress applied to an end bump at reflow time is reduced. It is satisfactory to include a microcapsule type imidazole derivative at a prescribed rate as a hardening agent to improve preserving time stability.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明の異方導電性組成物及
びフィルムは、液晶パネル、プラズマディスプレイ、E
LディスプレイへのTAB、FPC接続や、LSIベア
チップのCOG接続、LSIベアチップのプリント基板
上へのCOB接続、COF接続や、フレキシブル基板の
ディスプレイパネルへの接続、フレキシブル基板とリジ
ッド基板との接続に用いることができる。特に、液晶テ
レビ、携帯電話、液晶カメラ、時計、ワープロ、コピー
機、電話、パソコン、プラズマディスプレイ、ELパネ
ル、計算機などのファインピッチ用途に有効である。
BACKGROUND OF THE INVENTION The anisotropic conductive composition and film of the present invention include liquid crystal panels, plasma displays,
Used for TAB, FPC connection to L display, COG connection of LSI bare chip, COB connection of LSI bare chip on printed circuit board, COF connection, connection of flexible substrate to display panel, connection of flexible substrate and rigid substrate be able to. In particular, it is effective for fine pitch applications such as liquid crystal televisions, mobile phones, liquid crystal cameras, watches, word processors, copiers, telephones, personal computers, plasma displays, EL panels, and calculators.

【0002】[0002]

【従来の技術】これまでに、液晶用ドライバーICの接
続などに異方導電性フィルムが数多く用いられてきてい
る。液晶自体も小型化、接続端子のファインピッチ化が
急速に進んできている。従来より多くの異方導電性フィ
ルムが開示されてきているが、例えば、特開平7−19
7001号公報、特開平4−242010号公報に示さ
れるような樹脂ボール上に金属メッキを施した導電粒子
を用いた異方導電性フィルムや、ニッケル粉、はんだ
粉、金メッキニッケル粉などの金属粉を用いた異方導電
性フィルムが開示されている(例えば特開昭61−55
809号公報)。
2. Description of the Related Art Until now, many anisotropic conductive films have been used for connection of a driver IC for a liquid crystal or the like. The size of the liquid crystal itself has been reduced, and the fine pitch of the connection terminals has been rapidly progressing. Conventionally, many anisotropic conductive films have been disclosed.
No. 7001, Japanese Patent Application Laid-Open No. H4-2242010, an anisotropic conductive film using conductive particles metal-plated on a resin ball, and metal powder such as nickel powder, solder powder and gold-plated nickel powder. An anisotropic conductive film using the same is disclosed (for example, JP-A-61-55).
809).

【0003】異方導電性フィルムは、導電粒子を有機バ
インダー中に分散したフィルム状のものであり、接続し
たい基板上の電極あるいは端子上に予め貼り合わせてお
き、被接続基板や被接続LSIをアライメントした後に
加圧、加熱して有機バインダーを乾燥あるいは加熱硬化
する。この時、電極間に挟まっている導電粒子のみが変
形して電極間方向にのみ導電性を有し、隣接電極同士は
絶縁性が保持されるものである。液晶、プラズマディス
プレイ、ELなどのパネルの駆動用ICのTAB接続
や、LSIベアチップの接続、フレキシブル基板のパネ
ル接続などに用いられてきた。
An anisotropic conductive film is a film in which conductive particles are dispersed in an organic binder. The film is bonded to electrodes or terminals on a substrate to be connected in advance to form a substrate to be connected or an LSI to be connected. After the alignment, the organic binder is dried or heated and cured by pressing and heating. At this time, only the conductive particles sandwiched between the electrodes are deformed to have conductivity only in the direction between the electrodes, and the adjacent electrodes are kept insulative. It has been used for TAB connection of driving ICs for panels such as liquid crystal, plasma display, and EL, connection of LSI bare chips, connection of flexible substrates to panels, and the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来より用いられてき
た異方導電性フィルムは以下の制限があった。すなわ
ち、金属メッキ樹脂粉は導通がメッキ金属層でしかない
ため、50μのファインピッチ接続の場合には、導通に
寄与する粒子数が減少するために、ますます接続抵抗が
増加して高い駆動電圧が必要になる。また、金属メッキ
樹脂粉の場合には、加圧で導電粉末が変形する場合に、
メッキ剥がれを生じ絶縁不良を頻繁に引き起こしてい
る。また、金属粉の場合には、ニッケル粉では、本来固
有抵抗も高いが、耐環境性が悪く、接続抵抗が上昇す
る。また、ニッケル粉は硬いために接続時の圧力が数十
kg/cm2と必要であり、このため、基板へのダメー
ジが大きく、例えば、ガラス基板に用いた場合には基板
の破損の問題を起こしていた。半田粉では、金属粉の中
でももともと固有抵抗が高く、ファインピッチ接続の対
応ができず、また、融点が低いために加熱接続時に半融
の状態がしばしば起こる。金メッキニッケル粉の場合に
は、金メッキが加圧時に剥がれ落ちることや、やはりニ
ッケルを用いると高加圧力が必要になる。また、電極が
柔らかいと、電極を変形させてしまうことがしばしばあ
った。銀粉末の場合には、隣接電極間での絶縁性低下が
吸水などで起きやすく、ファインピッチ接続への対応が
できない状態であった。
The anisotropic conductive film which has been conventionally used has the following limitations. In other words, the metal plating resin powder has conduction only in the plating metal layer, and in the case of fine pitch connection of 50μ, the number of particles contributing to conduction decreases, so the connection resistance further increases and the driving voltage increases. Is required. In the case of metal-plated resin powder, when the conductive powder is deformed by pressure,
The plating peels off and causes insulation failure frequently. In the case of metal powder, nickel powder originally has high intrinsic resistance, but has poor environmental resistance and increases connection resistance. Also, since nickel powder is hard, the pressure at the time of connection is required to be several tens of kg / cm 2, and therefore, the substrate is greatly damaged. Was awake. In the case of solder powder, the inherent resistance is high among metal powders, and fine pitch connection cannot be performed. In addition, since the melting point is low, a semi-molten state often occurs during heating connection. In the case of gold-plated nickel powder, the gold plating peels off at the time of pressurization, and high pressure is required when nickel is used. Further, if the electrode is soft, the electrode is often deformed. In the case of silver powder, the insulating property between adjacent electrodes tends to decrease due to water absorption or the like, and it was impossible to cope with fine pitch connection.

【0005】また、最近の高生産性の点から加圧時間を
数秒と短時間で行いたい要求があるが、上記の物を用い
たものでは、熱伝導性が悪く、数秒の接続では硬化不足
で接続不良が著しかった。また、ファインピッチ接続で
は、フィルム中の導電粉末の分散不足で、しばしば接続
不良の端子が生じていた。さらに、ファインピッチであ
るが高電流を流したい要求が高まってきているが、公知
のものでは、抵抗が高いのみならず熱伝導性が悪く、抵
抗値が上昇して電流をある程度以上流せないのが現状で
あった。
[0005] In addition, there is a demand that the pressurization time be as short as several seconds from the viewpoint of recent high productivity. However, in the case of using the above-mentioned one, thermal conductivity is poor, and the connection of several seconds is insufficiently cured. The connection failure was remarkable. In the fine pitch connection, terminals with poor connection often occur due to insufficient dispersion of the conductive powder in the film. In addition, although the demand for a high pitch, which is a fine pitch, has been increasing, in a known device, not only the resistance is high but also the thermal conductivity is poor, and the resistance value is increased and the current cannot be passed to some extent. Was the current situation.

【0006】また、導電粒子を分散させている有機バイ
ンダーとしては、熱硬化タイプとしてエポキシ樹脂を接
着性の点から用いる場合が多いが、従来の異方導電性フ
ィルムでは、LSIのベアチップ実装化が進む中で、チ
ップとの熱膨張係数が著しくことなる有機基板への接続
できる異方導電性組成物が要求されてきたが、アスペク
ト比の高いチップなどでは、端のバンプでのストレスに
より接続不良が頻繁に起こっている。有機基板において
は、高温度でも良いから3〜5秒と短時間で高生産性良
く接続するこが要求されているが、異方導電性フィルム
耐熱性が不十分であったり、導電フィラーの熱伝導性が
不十分であったりした。また、ベアチップ実装後に他の
部品を接続するために260℃前後でのリフローを繰り
返し行うが、このための耐熱性が不十分であった。ま
た、低分子量エポキシなどでは、室温度で長期に保存し
ていた場合には、異方導電性フィルムでのベースフィル
ムからのはみ出しなどが有り、リールから引き出すとき
に、背面転写などを引き起こしていた。
As an organic binder in which conductive particles are dispersed, an epoxy resin is often used as a thermosetting type from the viewpoint of adhesiveness. However, in the case of a conventional anisotropic conductive film, bare chip mounting of LSI is required. In the course of progress, anisotropic conductive compositions that can be connected to organic substrates that have a significantly different coefficient of thermal expansion from the chip have been required, but for chips with a high aspect ratio, etc., connection failure due to stress at the end bumps Is happening frequently. Organic substrates are required to be connected with high productivity in a short time of 3 to 5 seconds because high temperatures may be used, but the heat resistance of the anisotropic conductive film is insufficient or the heat of the conductive filler is not sufficient. Insufficient conductivity. In addition, reflow at about 260 ° C. is repeated to connect other parts after mounting the bare chip, but the heat resistance for this is insufficient. In addition, in the case of low-molecular-weight epoxy, etc., when stored at room temperature for a long period of time, the anisotropic conductive film protruded from the base film, etc., and when pulled out from the reel, rear transfer was caused. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】そこで上記問題点を解決
するために、本発明では、一般式MxCu1ーx(MはA
g、Auより選ばれた1種以上、0.01≦x≦0.
6、xは原子比)で表され、且つ粉末表面の銀あるいは
金濃度が平均の銀あるいは金濃度より高く、平均粒子径
2〜15μの金属粉末1重量部に対し、エポキシ樹脂を
含む有機バインダーを0.1〜120重量部有する異方
導電性組成物であって、前記エポキシ樹脂はナフタレン
骨格に少なくとも2官能以上のグリシジルエーテル結合
を有するナフタレン型エポキシ樹脂を含有することを特
徴とする異方導電性組成物及びフィルムを提供するもの
である。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a general formula M x Cu 1-x (where M is A
g, at least one selected from Au, 0.01 ≦ x ≦ 0.
6, x is an atomic ratio), and the silver or gold concentration on the surface of the powder is higher than the average silver or gold concentration, and 1 part by weight of a metal powder having an average particle diameter of 2 to 15 μm contains an organic binder containing an epoxy resin. Wherein the epoxy resin contains a naphthalene-type epoxy resin having at least bifunctional or more glycidyl ether bond in a naphthalene skeleton. The present invention provides a conductive composition and a film.

【0008】本発明で用いる金属粉末は、一般式Mx
1ーx(MはAg、Auより選ばれた1種以上、0.0
1≦x≦0.6、xは原子比)で表され、且つ粉末表面
の銀あるいは金濃度が平均の銀あるいは金濃度より高い
ことを特徴とする平均粒子径2〜15μの金属粉末であ
るが、銅と銀、金の両者の高導電性を有する導電粉末で
あるために、接続時の高導電性、ファインピッチでの粒
子数が減少しても高導電性が維持できることにある。こ
の場合、xが0.6を超える場合には、銀成分が多く隣
接電極間でのマイグレーションの問題が起こり短絡につ
ながる。xが0.01未満の場合には、耐酸化性が不足
して導通抵抗が著しく上がる。好ましくは、xが0.0
4〜0.4である。基板あるいは被接続基板の電極ある
いは端子は銅を主成分にするものが多く。このため、ヒ
ートサイクルなどの試験においても熱膨張係数が近く接
続抵抗の変化が少ないなどの特徴を有する。また、銅を
主成分とした金属粉末表面の銀及び金濃度が平均の銀及
び金濃度より高いことで電極との接続点での金属粉末の
酸化劣化が防止でき、且つ銀のマイグレーション性を防
止できる。金属粉末表面の銀あるいは金濃度は平均の銀
あるいは金濃度より高いことが好ましい。
The metal powder used in the present invention has a general formula of M x C
u 1−x (M is one or more selected from Ag and Au, 0.0
1 ≦ x ≦ 0.6, where x is an atomic ratio), and wherein the silver or gold concentration on the powder surface is higher than the average silver or gold concentration. However, since it is a conductive powder having high conductivity of both copper, silver and gold, high conductivity at the time of connection and high conductivity can be maintained even if the number of particles at a fine pitch is reduced. In this case, when x exceeds 0.6, the silver component is large and migration between adjacent electrodes occurs, leading to a short circuit. When x is less than 0.01, the oxidation resistance is insufficient and the conduction resistance is significantly increased. Preferably, x is 0.0
4 to 0.4. Many electrodes or terminals of a substrate or a connected substrate mainly contain copper. Therefore, even in a test such as a heat cycle, it has a characteristic that the thermal expansion coefficient is close and a change in connection resistance is small. In addition, since the silver and gold concentrations on the surface of the metal powder containing copper as a main component are higher than the average silver and gold concentrations, oxidation deterioration of the metal powder at the connection point with the electrode can be prevented, and migration of silver can be prevented. it can. The silver or gold concentration on the surface of the metal powder is preferably higher than the average silver or gold concentration.

【0009】粉末表面の銀あるいは金濃度とは、XPS
(X線光電子分光分析計;XSAM800;KRATO
S社製)で測定した、Cu2p、Ag3d、Auの面積
値から装置内補正係数を用いて算出した値(Ag+Au
/(Cu+Ag+Au))である。金属粉末の平均銀、
金、銅濃度は、金属粉末を濃硝酸あるいは王水溶液中に
溶解してICP(高周波誘導結合型プラズマ分析計(セ
イコー電子工業製;JY38P2)を用いて測定した。
また、本発明で用いる銅合金粉末は、特性を損なわない
程度で有れば、Pt、Sn、Zn、Pd、P、B、C、
Ti、Si、V、Mg、Al、Hf、Pb、Mn、Ni
などを添加しても構わない。
[0009] The silver or gold concentration on the powder surface is determined by XPS
(X-ray photoelectron spectrometer; XSAM800; KRATO
(Ag + Au) from the area values of Cu2p, Ag3d, and Au measured by using a correction coefficient in the apparatus.
/ (Cu + Ag + Au)). Average silver of metal powder,
The gold and copper concentrations were measured by dissolving the metal powder in concentrated nitric acid or aqueous solution and using an ICP (high frequency inductively coupled plasma analyzer (manufactured by Seiko Instruments Inc .; JY38P2)).
In addition, the copper alloy powder used in the present invention may be Pt, Sn, Zn, Pd, P, B, C, as long as the properties are not impaired.
Ti, Si, V, Mg, Al, Hf, Pb, Mn, Ni
Etc. may be added.

【0010】また、金属粉末の平均粒子径は2〜15μ
が好ましく、2μ未満であると、加圧時に電極間に挟ま
る導電粒子が電極面の粗さレベルになり、導電性が不良
になるのと耐環境性が悪くなる。15μを超える場合に
は、ファインピッチでの電極間接合で、電極間の導電粒
子数が不十分になり接続抵抗が不安定になる。好ましく
は平均粒子径が2〜13μである。また、好ましくは、
平均粒子径±2μ以内の粉末の存在率が30%以上であ
ることが電極間で有効に導通に関与する導電粉末が多く
存在するために好ましい。しかし、粒径分布を有してい
るのが接続基板上に異方導電性組成物を印刷したり、異
方導電性フィルムの均一な膜を作製するために好まし
い。本発明で用いる平均粒子径とは、レーザー回折型測
定装置RODOS SR型(SYMPATEC HER
OS&RODOS)を用いて体積積算平均粒子径を用い
た。また、平均粒子径±2μ内の金属粉末の存在は、体
積積算粒度分布計より読みとった。
The average particle size of the metal powder is 2 to 15 μm.
When the particle size is less than 2 μm, the conductive particles sandwiched between the electrodes at the time of pressurization have a roughness level of the electrode surface, resulting in poor conductivity and poor environmental resistance. If it exceeds 15 μm, the number of conductive particles between the electrodes becomes insufficient due to the inter-electrode bonding at a fine pitch, and the connection resistance becomes unstable. Preferably, the average particle size is 2 to 13 µ. Also, preferably,
It is preferable that the abundance of the powder having an average particle diameter of ± 2 μm is 30% or more because there are many conductive powders that effectively participate in conduction between the electrodes. However, it is preferable to have a particle size distribution in order to print the anisotropic conductive composition on the connection substrate or to form a uniform film of the anisotropic conductive film. The average particle diameter used in the present invention refers to a laser diffraction type measuring apparatus RODOS SR (SYMPATEC HER).
OS & RODOS) was used to calculate the volume average particle diameter. The presence of the metal powder within an average particle diameter of ± 2 μ was read from a volume integrated particle size distribution meter.

【0011】本発明で用いる金属粉末は、例えば不活性
ガスアトマイズ法を用いて作製されるのが好ましい。不
活性ガスアトマイズ法は窒素、ヘリウム、水素、アルゴ
ン及びこれらの混合ガスを用いるのが好ましく、例え
ば、かかる組成の銀、金、銅の融液を高速の不活性ガス
を衝突させて微粉化急冷凝固するものである。形状は、
球状、鱗片状、樹枝状などを用いることができる。ま
た、銅粉末、銅合金粉末の表面に銀や金のメッキをかけ
たものでも構わない。
The metal powder used in the present invention is preferably produced by, for example, an inert gas atomizing method. The inert gas atomization method preferably uses nitrogen, helium, hydrogen, argon, and a mixed gas thereof.For example, a silver, gold, or copper melt having such a composition is pulverized into fine particles by rapid collision with an inert gas, and rapidly solidified. Is what you do. The shape is
Spherical, scaly, dendritic, etc. can be used. In addition, a copper powder or a copper alloy powder whose surface is plated with silver or gold may be used.

【0012】本発明の異方導電性組成物あるいはフィル
ムは、該組成の金属粉末1重量部に対しエポキシ樹脂を
含む有機バインダーを0.1〜120重量部有し、前記
エポキシ樹脂としてナフタレン骨格に少なくとも2官能
以上のグリシジルエーテル結合を有するナフタレン型エ
ポキシ樹脂を含有することを特徴とする異方導電性組成
物及びフィルムを提供するものである。有機バインダー
の量は好ましくは、0.1〜80,より好ましくは0.
3〜60重量部である。
[0012] The anisotropic conductive composition or film of the present invention has 0.1 to 120 parts by weight of an organic binder containing an epoxy resin per 1 part by weight of the metal powder of the composition, and has a naphthalene skeleton as the epoxy resin. It is an object of the present invention to provide an anisotropic conductive composition and a film, comprising a naphthalene type epoxy resin having at least a bifunctional or more glycidyl ether bond. The amount of organic binder is preferably between 0.1 and 80, more preferably between 0.1 and 80.
It is 3 to 60 parts by weight.

【0013】ここで、ナフタレン骨格に少なくとも2官
能以上のグリシジルエーテル基を有する多官能エポキシ
樹脂を含有するが、ナフタレン骨格を用いることで耐熱
性を向上できる。また、グリシジルエーテル型多官能基
により反応性を向上させるものであり、特に、アスペク
ト比が高く、バンプ数が多いベアチップ接続において
は、従来技術のものでは、リフロー時に端のバンプにス
トレスがかかり、接続不良が発生していたりした。本発
明の異方導電性組成物により初めて耐リフロー性能を著
しく向上できるに至った。すなわち、かかる組成の金属
粉末を用いることで、導通性能を向上できる。さらに、
ヒートサイクルなどの熱衝撃を受けた場合には、金属粉
末は、チップバンプなどの金バンプ、銅バンプと熱膨張
係数が近く、ヒートサイクルに耐えることができ、か
つ、ナフタレン骨格のエポキシ樹脂により、有機バイン
ダー全体の熱膨張係数を小さくでき、ファインピッチの
ヒートサイクル試験には著しく安定な接続性を示すこと
を見いだした。また、本発明で用いる金属紛末はほぼ球
状に近い形をしており、バインダー樹脂との濡れ性に優
れ、金属粉末の分散性を向上でき、ファインピッチ接続
での隣接端子間での絶縁性が確保できることである。
Here, the naphthalene skeleton contains a polyfunctional epoxy resin having at least a bifunctional or more glycidyl ether group. By using the naphthalene skeleton, heat resistance can be improved. In addition, the glycidyl ether type polyfunctional group is used to improve the reactivity, and in particular, in a bare chip connection having a high aspect ratio and a large number of bumps, the conventional technology applies stress to the bumps at the end during reflow, Connection failure has occurred. For the first time, the reflow resistance can be significantly improved by the anisotropic conductive composition of the present invention. That is, the conduction performance can be improved by using the metal powder having such a composition. further,
When subjected to a thermal shock such as a heat cycle, the metal powder has a coefficient of thermal expansion close to that of gold bumps such as chip bumps and copper bumps, can withstand heat cycles, and has a naphthalene skeleton epoxy resin. It was found that the coefficient of thermal expansion of the whole organic binder could be reduced, and that the heat cycle test of fine pitch showed remarkably stable connectivity. In addition, the metal powder used in the present invention has an almost spherical shape, has excellent wettability with a binder resin, can improve the dispersibility of metal powder, and has an insulating property between adjacent terminals in fine pitch connection. Can be secured.

【0014】本発明のナフタレン型エポキシ樹脂は2〜
4官能のグリシジルエーテル結合を有することが好まし
い。4官能を越える場合には、溶融粘度が高く、圧接時
に高圧が必要になる。2官能未満の場合には硬化樹脂強
度が低い。特に、ナフタレン骨格のエポキシ樹脂として
は、常温で半固形タイプのものが好ましい。例えば、エ
ポキシ当量としては、130〜260g/eq程度のも
のが好ましい。中でも1,6にグリシジルエーテル結合
を有するナフタレンエポキシ樹脂が好ましい。
The naphthalene type epoxy resin of the present invention has
It preferably has a tetrafunctional glycidyl ether bond. In the case of exceeding four functions, the melt viscosity is high and a high pressure is required at the time of pressing. If it is less than bifunctional, the cured resin strength is low. In particular, the epoxy resin having a naphthalene skeleton is preferably a semi-solid type at room temperature. For example, the epoxy equivalent is preferably about 130 to 260 g / eq. Among them, a naphthalene epoxy resin having a glycidyl ether bond in 1,6 is preferable.

【0015】ナフタレン骨格のエポキシ樹脂としては、
有機バインダー100重量部中に10重量部以上含有し
ていることが反応性の点から好ましい。さらに、本発明
は、有機バインダ−として、ナフタレン骨格の2,3,
4官能グリシジルエーテル型エポキシ樹脂以外に、ビス
フェノールA型、ビスフェノールF型、フェノールノボ
ラック型、クレゾールノボラック型、脂環式、アルキル
多価フェノール型、ウレタン変性型、脂肪酸変性型、ゴ
ム変性型エポキシ樹脂、及びフェノキシ樹脂、ウレタン
樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、SBR、NB
R、シリコーン樹脂より選ばれた1種以上の樹脂を含有
していることを特徴とする異方導電性組成物を提供する
が、ナフタレン骨格のエポキシ樹脂以外に上記から選ば
れた1種以上の樹脂を含むことで、塗工及びフィルム状
態にした場合の塗膜粘度を幅広く調整する事が可能であ
る。すなわち、本発明のバインダー及び金属粉末との組
み合わせにより、塗工時の金属粒子の変形性も無く、圧
接時に充分な変形性を有する硬さを有し、本発明で用い
る有機バインダーの塗膜粘度を反応性を落とすことなく
塗膜粘度を調整できる点で有る。仮に従来のビスフェノ
ールAタイプのものだけでは粘度が柔らかすぎ、また耐
熱性が悪い点があり、製造プロセス上、特性上問題であ
った。塗膜粘度が柔らかすぎると樹脂の保存中でのシミ
出しがおこり転写性が劣るためである。
As the naphthalene skeleton epoxy resin,
It is preferred from the viewpoint of reactivity that the organic binder is contained in an amount of 10 parts by weight or more in 100 parts by weight of the organic binder. Further, the present invention provides, as an organic binder, a 2,3 having a naphthalene skeleton.
In addition to the tetrafunctional glycidyl ether type epoxy resin, bisphenol A type, bisphenol F type, phenol novolak type, cresol novolak type, alicyclic, alkyl polyphenol type, urethane modified type, fatty acid modified type, rubber modified type epoxy resin, And phenoxy resin, urethane resin, polyester resin, acrylic resin, SBR, NB
R, which provides an anisotropic conductive composition characterized by containing one or more resins selected from silicone resins, wherein one or more resins selected from the above in addition to the naphthalene skeleton epoxy resin By containing a resin, it is possible to adjust the viscosity of the coating film in the case of coating and film formation widely. That is, by the combination of the binder and the metal powder of the present invention, there is no deformability of the metal particles at the time of coating, has a hardness having sufficient deformability at the time of pressing, and the coating viscosity of the organic binder used in the present invention. Is that the viscosity of the coating film can be adjusted without lowering the reactivity. If the conventional bisphenol A type alone was used, the viscosity was too soft and the heat resistance was poor, which was a problem in the production process and in the characteristics. This is because if the viscosity of the coating film is too soft, stains occur during storage of the resin, resulting in poor transferability.

【0016】さらに、ナフタレン骨格のエポキシ樹脂の
熱膨張係数が小さいこと、さらには本発明の金属粒子の
熱伝導性が良く、熱膨張がバンプなどの材料と近いこと
でヒートサイクルによる接続不良を著しく改良できる。
ナフタレン骨格のエポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂とし
ては、上記に示されるが、膜粘度調整のため、ビスフェ
ノールA、F型、脂環式、ノボラック型などのエポキシ
樹脂を用いるのが好ましく、さらには、フェノキシ樹脂
を同時に用いるのが好ましい。
Furthermore, since the thermal expansion coefficient of the naphthalene skeleton epoxy resin is small, the thermal conductivity of the metal particles of the present invention is good, and the thermal expansion is close to that of materials such as bumps, the connection failure due to the heat cycle is significantly reduced. Can be improved.
The epoxy resin other than the naphthalene skeleton epoxy resin is shown above, but it is preferable to use an epoxy resin such as bisphenol A, F type, alicyclic type or novolak type in order to adjust the film viscosity. It is preferable to use a resin at the same time.

【0017】本発明で用いる有機バインダー中のエポキ
シ樹脂の硬化剤として、エポキシ樹脂100重量部に対
して、硬化剤としてマイクロカプセル型のイミダゾール
誘導体エポキシ化合物を0.5〜250重量部を含有す
るのが好ましく、マイクロカプセル型のイミダゾール誘
導体エポキシ化合物としては、イミダゾール誘導体とエ
ポキシ化合物との反応生成物を粉砕等により微粉末とし
た物をさらにイソシアネート化合物などと反応させて、
カプセル化することで常温での安定性を高めた物であ
る。マイクロカプセル型のイミダゾール誘導体エポキシ
化合物を用いることで、異方導電性組成物及びフィルム
の保存時の安定性を向上できる。また、加圧、加熱接合
の数秒という僅かな時間での均一な硬化が可能である。
加熱時に徐々に反応が進むのではなく、数秒の時間の間
で膜の内部への拡散が進み、均一な硬化が可能である。
また、本発明で用いる金属粉末は熱を伝えやすいため
に、有機バインダー中に分散しているマイクロカプセル
型硬化剤への熱を伝えやすくなり均一な硬化を促進でき
る利点もある。すなわち数秒の短時間でも充分な硬化性
が得られる。また、本発明での金属粉末を用いること
で、マイクロカプセルのイソシアネート被膜を金属粉末
が加圧変形時に突き破り、硬化を急速に加速することが
できる。
The curing agent for the epoxy resin in the organic binder used in the present invention contains 0.5 to 250 parts by weight of a microcapsule-type imidazole derivative epoxy compound as a curing agent based on 100 parts by weight of the epoxy resin. Preferably, as a microcapsule-type imidazole derivative epoxy compound, a reaction product of the imidazole derivative and the epoxy compound is finely powdered by grinding or the like, and further reacted with an isocyanate compound or the like,
It is a product with increased stability at room temperature by being encapsulated. By using the microcapsule-type imidazole derivative epoxy compound, the storage stability of the anisotropic conductive composition and the film can be improved. In addition, uniform hardening can be performed in a short time of several seconds of pressurization and heat bonding.
The reaction does not gradually progress during heating, but rather spreads into the inside of the film within a time period of several seconds, enabling uniform curing.
Further, since the metal powder used in the present invention easily conducts heat, there is an advantage that heat can be easily transmitted to the microcapsule-type curing agent dispersed in the organic binder, and uniform curing can be promoted. That is, sufficient curability can be obtained even in a short time of several seconds. Further, by using the metal powder according to the present invention, the metal powder can break through the isocyanate coating of the microcapsule at the time of pressurized deformation, and the curing can be rapidly accelerated.

【0018】マイクロカプセル型のイミダゾール誘導体
エポキシ化合物は、室温度では安定であり、数十度の温
度で溶融し、圧着温度近辺で著しくエポキシの固化を進
めるものである。この時のイミダゾール誘導体として
は、例えばイミダゾール、2メチルイミダゾール、2−
エチルイミダゾール、2−エチルー4ーメチルイミダゾ
ール、2−フェニルイミダゾール、2ーフェニルー4メ
チルイミダゾール、1ーベンジル−2メチルイミダゾー
ル、1−ベンジルー2エチルイミダゾール、1ーベンジ
ルー2ーエチルー5ーメチルイミダゾール、2フェニル
ー4メチルー5ーヒドロキシメチルイミダゾール、2ー
フェニル4、5ージヒドロキシメチルイミダゾール等が
挙げられる。また、エポキシ化合物としては、ビスフェ
ノールA、ビスフェノールF、フェノールノボラック、
ブロム化ビスフェノールA等のグルシジルエーテル型エ
ポキシ樹脂、ダイマー酸ジグリシジルエステル、フタル
酸ジグリシジルエステル等が挙げられる。マイクロカプ
セル型イミダゾール誘導体エポキシ化合物硬化剤は、好
ましくは、エポキシ樹脂100重量部に対して5〜25
0重量部である。5重量部未満であると硬化不足にな
る。250重量部を超える場合には、保存安定性が悪く
なる。好ましくは、5〜150重量部である。
The microcapsule-type imidazole derivative epoxy compound is stable at room temperature, melts at a temperature of several tens of degrees, and remarkably promotes the solidification of the epoxy near the pressure bonding temperature. As the imidazole derivative at this time, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-
Ethyl imidazole, 2-ethyl-4-methyl imidazole, 2-phenyl imidazole, 2-phenyl-4 methyl imidazole, 1-benzyl-2-methyl imidazole, 1-benzyl-2 ethyl imidazole, 1-benzyl-2-ethyl-5-methyl imidazole, 2-phenyl-4-methyl-5 -Hydroxymethylimidazole, 2-phenyl4,5-dihydroxymethylimidazole and the like. Further, as the epoxy compound, bisphenol A, bisphenol F, phenol novolak,
Glycidyl ether type epoxy resins such as brominated bisphenol A, dimer acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester and the like can be mentioned. The microcapsule type imidazole derivative epoxy compound curing agent is preferably 5 to 25 parts by weight based on 100 parts by weight of the epoxy resin.
0 parts by weight. If the amount is less than 5 parts by weight, curing will be insufficient. If it exceeds 250 parts by weight, the storage stability will be poor. Preferably, it is 5 to 150 parts by weight.

【0019】また、マイクロカプセル型硬化剤の粒径と
しては、平均粒子径で1〜10μが好ましい。それは、
10μを超えるものが多いと異方導電性フィルムにした
場合に、塗膜厚みムラを引き起こす。1μ未満である
と、マイクロカプセル型硬化剤の表面積が大きくなりす
ぎて保存安定性が悪くなる。また、マイクロカプセル型
硬化剤の粒子径が金属粉末の粒子径と同等のために、金
属粉末同士が並ぶことによる絶縁低下を防止に有効であ
る。
The average particle size of the microcapsule type curing agent is preferably 1 to 10 μm. that is,
If the thickness exceeds 10 μm, the thickness of the anisotropic conductive film may be uneven. If it is less than 1 μm, the surface area of the microcapsule type curing agent becomes too large, and the storage stability deteriorates. In addition, since the particle diameter of the microcapsule-type curing agent is equivalent to the particle diameter of the metal powder, it is effective in preventing insulation deterioration due to the arrangement of the metal powders.

【0020】マイクロカプセル型イミダゾール誘導体エ
ポキシ化合物の平均粒子径が1〜10μであり、かつ最
小粒子径/最大粒子径比が0.001〜0.6であるの
が好ましく、最小粒子径/最大粒子径比が0.001未
満では、仕込みの硬化剤が圧接時に充分な機械的破壊や
熱破壊が起こりにくく硬化不足やムラを生じやすい。粒
子径比が0.6を越える場合には、接続チップや基板と
被接続基板とが充分な平行度が保たれている場合は良い
が、基板の反りがある場合には、電極間のギャップが異
なり、接続ムラがかえって生じやすい。
It is preferable that the microcapsule type imidazole derivative epoxy compound has an average particle size of 1 to 10 μm and a ratio of the minimum particle size to the maximum particle size of 0.001 to 0.6. When the diameter ratio is less than 0.001, sufficient mechanical breakage and thermal breakage of the charged hardening agent do not easily occur during pressure welding, and insufficient hardening and unevenness are likely to occur. When the particle diameter ratio exceeds 0.6, it is good that the connection chip or substrate and the substrate to be connected have sufficient parallelism, but if there is warpage of the substrate, the gap between the electrodes is low. However, the connection unevenness is more likely to occur.

【0021】特に、電極間が圧接過程で、狭くなるにつ
れて連続的に小粒子径のマイクロカプセルが機械的に破
壊されていくために、圧接過程の最終時にまで十分な硬
化性能を維持することができ安定な接続が可能である。
このため、LSIチップのバンプのように高さのバラつ
きが多い接続にも硬化剤大きさも分布で硬化性のバラツ
キが緩衝できる利点がある。
In particular, since the microcapsules having a small particle diameter are continuously broken mechanically as the electrodes become narrower during the pressure welding process as they become narrower, it is necessary to maintain sufficient curing performance until the end of the pressure welding process. A stable connection is possible.
For this reason, there is an advantage that even if the connection has a large variation in height, such as a bump of an LSI chip, the distribution of the curing agent size can be used to buffer the variation in curability.

【0022】マイクロカプセルの硬化剤の平均粒子径及
び最小粒子径、最大粒子径は、金属粉末と同じ測定機で
測定したものである。最小粒子径については体積積算粒
子径で5%での粒子径を指す。最大粒子径は体積積算粒
子径で98%での粒子径を指す。硬化剤については、マ
イクロカプセル型の硬化剤以外にも、必要に応じて脂肪
族アミン、芳香族アミン、カルボン酸無機物、チオー
ル、アルコール、フェノール化合物、ホウソ化合物、無
機酸、ヒドラジド、及びイミダゾールを加えても良い。
The average particle size, the minimum particle size, and the maximum particle size of the hardener of the microcapsules are measured with the same measuring device as for the metal powder. The minimum particle diameter indicates a particle diameter at 5% by volume integrated particle diameter. The maximum particle size refers to a particle size at 98% by volume integrated particle size. As for the curing agent, in addition to the microcapsule type curing agent, if necessary, an aliphatic amine, an aromatic amine, a carboxylic acid inorganic substance, a thiol, an alcohol, a phenol compound, a boso compound, an inorganic acid, hydrazide, and imidazole are added. May be.

【0023】また、本発明の異方導電性組成物を塗布す
る場合には、必要に応じて適当な溶剤を用いることがで
きる。この場合には、マイクロカプセル型硬化剤にダメ
ージを与えない物が好ましい。例えば、メチルエチルケ
トン、トルエン、ベンゼン、キシレン、メチルイソブチ
ルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレングリコー
ルモノエチルアセテート、ジオキサンなどの芳香族炭化
水素、エーテル系、ケトン系、エステル系などが良い。
When the anisotropic conductive composition of the present invention is applied, an appropriate solvent can be used if necessary. In this case, a material that does not damage the microcapsule type curing agent is preferable. For example, aromatic hydrocarbons such as methyl ethyl ketone, toluene, benzene, xylene, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, ethylene glycol monoethyl acetate, and dioxane, ethers, ketones, and esters are preferred.

【0024】また、本発明の異方導電性組成物には、金
属粒子の分散性を良くするために、カップリング剤等を
加えることができる。例えば、チタンカップリング剤、
シランカップリング剤、アルミカップリング剤などをエ
ポキシ樹脂100重量部に対して10重量部程度まで加
えることができる。本発明の異方導電性組成物の製造法
としては、先ず金属粉末とエポキシ樹脂及び必要に応じ
てエポキシ以外の熱可塑性性あるいは熱硬化性樹脂、必
要に応じて溶剤、カップリング剤を所定量計測してプラ
ネタリーミキサー、ニーダー、三本ロール、羽根付き攪
拌機、ボールミルなどの公知の混合機にて混合して、銅
合金粉末が均一に分散されている混合物を作製する。
Further, a coupling agent or the like can be added to the anisotropic conductive composition of the present invention in order to improve the dispersibility of the metal particles. For example, titanium coupling agent,
A silane coupling agent, an aluminum coupling agent or the like can be added up to about 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the epoxy resin. As a method for producing the anisotropic conductive composition of the present invention, first, a predetermined amount of a metal powder and an epoxy resin and, if necessary, a thermoplastic or thermosetting resin other than epoxy, a solvent and a coupling agent as required. It measures and mixes with well-known mixers, such as a planetary mixer, a kneader, a three-roller, a stirrer with a blade, and a ball mill, to produce a mixture in which copper alloy powder is uniformly dispersed.

【0025】こうして得られた異方導電性組成物の粘度
は、1000cpsから5万CPS程度の用途に応じた
粘度が好ましい。このままで、接続基板上の電極や端子
上にディスペンサーやスクリーン印刷等で塗布して用い
ることもできる。また、フィルム状の異方導電性フィル
ムを作製する場合には、異方導電性組成物をブレード、
ダイコーター等の公知の塗布方法で絶縁性フィルムなど
のベースフィルム上に塗布する。塗布され溶剤を含む物
は乾燥する。異方導電性フィルムの厚みとしては、5〜
500μ程度であり、幅は特にしてはなく、接続する場
合にスリッテイングして用いることができ、例えば幅
0.2〜200mm程度の物でリール巻したものとかが
良い。リールはプラスチック製が取り扱い易さに優れ好
ましく、また、リール巻くもフィルムとしては、数m巻
から1000m程度までは巻ズレやフィルムの変形が起
こらずに作製できる。リールはガイド付きの物が好まし
い。本発明の異方導電性フィルムは、好ましくはフィル
ムの少なくとも一方に絶縁性のフィルム(ここではベー
スフィルムと呼ぶ)を有しているのが保存性や接続時の
作業性が良くなり好ましい。この時のベースフィルムと
しては、異方導電性組成物の塗布膜の下地層として用い
る物であり、リール等に巻いて用い場合に機械的な強度
が得られるフィルムが良い。PET、テフロン、ポリイ
ミド、ポリエステル、ポリアミド、アルミナや窒化アル
ミナ等の無機フィルムや、異方導電性組成物との粘着性
のコントロールのためにこれらのベースフィルムに酸化
チタン、シリコーン樹脂処理、アルキッド樹脂処理など
の処理を施したフィルムが好ましい。ベースフィルムの
厚みとしては、1〜300μ程度のものを用いるのが好
ましい。こうしてベースフィルムに塗布されたものは2
層の異方導電性フィルムと呼ぶが、必要に応じてカバー
フィルム(すなわちベースフィルムとは反対側を異方導
電性組成物を挟み込む)を用いることができる。この場
合には、ベースフィルムより粘着性が低い物が好まし
い。これもベースフィルムに用いることができるPE
T、テフロン、ポリイミド、ポリエステル、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリアミド、無機フィルムやこれ
らにシリコーン樹脂処理、アルキッド樹脂処理、酸化チ
タン処理を施したものの組み合わせで作製することがで
きる。このカバーフィルムを用いる場合を3層構造とい
う。ベースフィルム、必要に応じてカバーフィルムを用
いてフィルム状に形成された異方導電性組成物を異方導
電性フィルムと呼ぶ。使用する場合には、当然カバーフ
ィルムとベースフィルムを剥がして接続にもちることは
言うまでもない。
The viscosity of the anisotropic conductive composition thus obtained is preferably from 1000 cps to 50,000 CPS depending on the application. In this state, the electrodes and terminals on the connection substrate can be used by being applied by a dispenser, screen printing, or the like. When producing a film-shaped anisotropic conductive film, the anisotropic conductive composition is bladed,
It is applied on a base film such as an insulating film by a known application method such as a die coater. The applied substance containing the solvent is dried. The thickness of the anisotropic conductive film is 5 to
The width is about 500 μm, and the width is not particularly specified, and can be used by slitting when connecting. For example, a reel wound with a width of about 0.2 to 200 mm is preferable. The reel is preferably made of plastic because of its excellent ease of handling, and the reel wound film can be produced from several m to about 1000 m without any displacement and deformation of the film. The reel is preferably one with a guide. The anisotropic conductive film of the present invention preferably has an insulating film (herein referred to as a base film) on at least one of the films because storage stability and workability during connection are improved. As the base film at this time, a film which is used as a base layer of a coating film of the anisotropic conductive composition, and which can obtain a mechanical strength when wound on a reel or the like is preferable. Titanium oxide, silicone resin treatment, alkyd resin treatment for inorganic films such as PET, Teflon, polyimide, polyester, polyamide, alumina and alumina nitride, and these base films for control of adhesion with anisotropic conductive composition And the like. It is preferable to use a base film having a thickness of about 1 to 300 μm. What is applied to the base film in this way is 2
Although the layer is referred to as an anisotropic conductive film, a cover film (that is, the anisotropic conductive composition is sandwiched on the side opposite to the base film) can be used as necessary. In this case, a material having lower tackiness than the base film is preferable. This can also be used for base film PE
It can be made of T, Teflon, polyimide, polyester, polyethylene, polypropylene, polyamide, an inorganic film, or a combination of those treated with a silicone resin, an alkyd resin, and a titanium oxide. The case where this cover film is used is called a three-layer structure. An anisotropic conductive composition formed into a film using a base film and, if necessary, a cover film is referred to as an anisotropic conductive film. When used, it goes without saying that the cover film and the base film are peeled off and used for connection.

【0026】異方導電性組成物の用い方としては、以下
のとおりである。異方導電性組成物をそのまま用いる場
合には、ディスペンサーやスクリーン印刷を用いて塗布
する。この場合には、硬化時に溶剤などの揮発があると
ボイド発生の原因になるために無溶剤タイプが好まし
い。電極上の塗布された異方導電性組成物を挟み込むよ
うに被接続基板上の電極あるいはLSIチップ電極(バ
ンプ)をアライメントして被接続基板あるいLSIチッ
プ上からツールで加熱、加圧してエポキシを硬化する。
この時、電極間に位置する導電粉末のみが変形をうけて
電極間方向のみに導通が得られる。隣接電極間同士では
絶縁性が維持される。
The method of using the anisotropic conductive composition is as follows. When the anisotropic conductive composition is used as it is, it is applied using a dispenser or screen printing. In this case, the solvent-free type is preferable because volatilization of a solvent or the like at the time of curing causes generation of voids. The electrodes or LSI chip electrodes (bumps) on the connected substrate are aligned so as to sandwich the anisotropic conductive composition applied on the electrodes, and heated and pressed with a tool from the connected substrate or LSI chip using a tool to epoxy. To cure.
At this time, only the conductive powder located between the electrodes undergoes deformation, and conduction is obtained only in the direction between the electrodes. Insulation is maintained between adjacent electrodes.

【0027】異方導電性フィルムの場合には、カバーフ
ィルムのあるものは、先ずカバーフィルムを剥がして接
続基板上の電極上に異方導電性組成物のタック性を利用
して貼り合わせる。この時、貼り合わせ時に、剥がれな
い程度に適度に加圧、加熱して仮圧着しておく。さら
に、ベースフィルムを剥がして、異方導電性組成物のみ
が接続基板上に貼りつけられている状態にする。被接続
基板あるいはLSIチップの電極をアライメントして接
続基板上の電極と向かい合わせになるようにして異方導
電性組成物を挟み込むようにしてツールで押し当てる。
この時、加圧、加熱してエポキシを硬化し、金属粒子の
変形により向かい合う電極間同士で導通を得る。隣接す
る電極間同士は電気的導通を有さない。本発明の異方導
電性組成物あるいは異方導電性フィルムは、加圧時の圧
力が低圧でも金属粒子を変形させ、電極間での高導電性
を得ることができる。圧力は、2kg/cm2から数百
kg/cm2程度の圧力で接続できる利点がある。好ま
しくは、5kg/cm2から500kg/cm2である。
また、加熱温度は、80〜220℃の範囲での接続がで
きる。また、加熱時間は、数秒から数十秒の時間ででき
る。これは、本発明で用いる導電粒子の熱伝導性が良い
ために、組成物のエポキシ樹脂への熱導体としての役割
をできる。そのため、短時間で作製でき生産性に優れる
点が良い。
In the case of an anisotropic conductive film, a cover film is first peeled off and bonded to an electrode on a connection substrate by utilizing the tackiness of the anisotropic conductive composition. At this time, at the time of bonding, the film is temporarily pressed and heated so that the film is not peeled off, and is temporarily compressed. Further, the base film is peeled off so that only the anisotropic conductive composition is stuck on the connection substrate. The electrodes of the substrate to be connected or the LSI chip are aligned, and are pressed by a tool so as to face the electrodes on the connection substrate so as to sandwich the anisotropic conductive composition.
At this time, the epoxy is cured by pressurizing and heating, and conduction between the facing electrodes is obtained by deformation of the metal particles. There is no electrical continuity between adjacent electrodes. The anisotropically conductive composition or the anisotropically conductive film of the present invention can deform metal particles even at a low pressure, thereby obtaining high conductivity between electrodes. There is an advantage that the connection can be performed at a pressure of about 2 kg / cm 2 to several hundred kg / cm 2 . Preferably, it is 5 kg / cm 2 to 500 kg / cm 2 .
The connection can be performed at a heating temperature of 80 to 220 ° C. The heating time can be several seconds to several tens of seconds. Since the conductive particles used in the present invention have good thermal conductivity, they can serve as a heat conductor to the epoxy resin of the composition. Therefore, it is advantageous in that it can be manufactured in a short time and has excellent productivity.

【0028】こうして、接続基板と被接続基板あるいは
LSIチップとの電気的接続が異方導電性組成物あるい
はフィルムを介して達成できる。接続基板としては、液
晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロル
ミネッサンスディスプレイ、プリント基板、ビルドアッ
プ基板(絶縁層、導体回路層を交互に積み上げて得られ
る多層基板で、感光性樹脂なども用いることができ
る)、低温焼成基板などの電気的配線が施されている基
板などを用いることができる。また、被接続基板あるい
は被接続チップ部品としては、フレキシブルあるいはリ
ジッドなプリント基板、コンデンサー、抵抗器、LSI
チップ、コイルや、LSIチップが既に接続されている
フレキシブル基板(TCP;テープキャリヤーパッケー
ジ)、QFP、DIP、SOPなどのLSIパッケージ
などの接続に用いることができる。
Thus, the electrical connection between the connection substrate and the substrate to be connected or the LSI chip can be achieved through the anisotropic conductive composition or film. As the connection substrate, a liquid crystal display, a plasma display, an electroluminescence display, a printed substrate, a build-up substrate (a multilayer substrate obtained by alternately stacking an insulating layer and a conductive circuit layer, and a photosensitive resin or the like can be used) Alternatively, a substrate provided with electrical wiring, such as a low-temperature fired substrate, can be used. In addition, as a connected board or a connected chip component, a flexible or rigid printed board, a capacitor, a resistor, an LSI
It can be used to connect a chip, a coil, a flexible substrate (TCP; tape carrier package) to which an LSI chip is already connected, and an LSI package such as QFP, DIP, SOP, and the like.

【0029】接続基板あるいは被接続基板の材質は特に
制限はなく、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ、紙
フェノール、ポリエステル、ガラス、ポリエーテルイミ
ド、ポリエーテルケトン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリフェニレンエーテル、熱硬化型ポリフェニレン
エーテル、ポリフェニレンサルファイド、ガラスポリイ
ミド、アルミナ、窒化アルミナ、テトラフルオロエチレ
ン、ポリフェニレンテレフタレート、BTレジン、ポリ
アミド、感光性エポキシアクリレート、低温焼成セラミ
ックス、ビルドアップ基板等を用いることができる。
The material of the connecting substrate or the substrate to be connected is not particularly limited. For example, polyimide, glass epoxy, paper phenol, polyester, glass, polyetherimide, polyetherketone, polyethylene terephthalate, polyphenylene ether, thermosetting polyphenylene ether , Polyphenylene sulfide, glass polyimide, alumina, alumina nitride, tetrafluoroethylene, polyphenylene terephthalate, BT resin, polyamide, photosensitive epoxy acrylate, low-temperature fired ceramics, build-up substrate, and the like.

【0030】接続基板あるいは被接続基板上に形成され
ている接続用電極の導体は特に制限はなく、ITO(イ
ンジウム−スズ−酸化物)、IO(インジウム酸化
物)、銅、銀、銀銅合金、銀パラジウム、金、白金、ニ
ッケル、アルミニウム、銀白金、スズ鉛はんだ、スズ銀
半田、すず、クロムや、これらの導体に金メッキ、スズ
メッキ、ニッケルメッキ、スズ鉛半田メッキ、クロムな
どのメッキを施した導体や、銀や銀パラジウム、銅など
を主体にした導電性ペーストなどである。
The conductor of the connection electrode formed on the connection substrate or the substrate to be connected is not particularly limited. ITO (indium-tin-oxide), IO (indium oxide), copper, silver, silver-copper alloy Silver, palladium, gold, platinum, nickel, aluminum, silver platinum, tin-lead solder, tin-silver solder, tin, chromium, and these conductors are plated with gold, tin, nickel, tin-lead solder, chrome, etc. Conductor, or a conductive paste mainly composed of silver, silver palladium, copper, or the like.

【0031】被接続のチップ部品としては、コンデンサ
ー、磁気センサー、抵抗器、コイル、LSIチップ、Q
FP、SOPなどを用いることができるが、接続電極と
しては、銀、銀パラジウム、アルミニウム、銅、銀銅合
金、白金、金、アルミニウム、銅ニッケル合金などやこ
れらに、すず、半田、ニッケル、金などのメッキしたも
のを用いることができ、LSIチップなどの場合にはバ
ンプ(電極)を用いても接続できる。バンプは、金メッ
キや金ワイヤーボンデイング、ハンダボール、ニッケル
ボール、銅ボールなどで形成されている物で構わない。
The connected chip components include a capacitor, a magnetic sensor, a resistor, a coil, an LSI chip,
FP, SOP, etc. can be used, but as connection electrodes, silver, silver palladium, aluminum, copper, silver-copper alloy, platinum, gold, aluminum, copper-nickel alloy and the like, and tin, solder, nickel, gold Can be used. In the case of an LSI chip or the like, connection can also be made using bumps (electrodes). The bumps may be formed of gold plating, gold wire bonding, solder balls, nickel balls, copper balls, or the like.

【0032】LSIチップを直接ガラス基板やプリント
基板上に実装する場合をCOG(チップオングラス)、
COB(チップオンボード)、COF(チップオンフィ
ルム)と呼んでいるが、この場合にも接続媒体として本
発明の異方導電性組成物あるいはフィルムを用いること
ができる。接続する電極のピッチとしては、本発明の異
方導電性フィルムあるいは組成物を用いれば、10〜1
000μピッチの幅広いピッチでの接続で効果を特に発
揮できる。
COG (chip-on-glass) refers to the case where an LSI chip is directly mounted on a glass substrate or a printed circuit board.
Although called COB (chip-on-board) or COF (chip-on-film), the anisotropic conductive composition or film of the present invention can be used as a connection medium also in this case. When the anisotropic conductive film or composition of the present invention is used, the pitch of the electrodes to be connected is 10 to 1
The effect can be particularly exhibited in connection at a wide pitch of 000 μ pitch.

【0033】接続基板上の導体及び電極は、メッキ法、
エッチング法、導電ペースト硬化、導電ペースト焼結、
導体ボール、電着などにより作製された物で良い。
The conductors and electrodes on the connection board are plated by a plating method,
Etching method, conductive paste hardening, conductive paste sintering,
It may be made by a conductive ball, electrodeposition or the like.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】以下に本発明の異方導電性組成物
あるいは異方導電性フィルムの実施例を示す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the anisotropic conductive composition or the anisotropic conductive film of the present invention are shown below.

【0035】[0035]

【実施例】表1に本発明で用いる銅合金粉末の作製例を
示す。先ず、所定量の銅と銀、金の粒子を黒鉛るつぼに
入れ、高周波誘導加熱を用いて不活性ガス雰囲気中で加
熱溶解する。溶解後、不活性ガス雰囲気中ヘリウムまた
は窒素中へ噴出し、同時に高速の不活性ガスを融液に対
して噴出して急冷凝固して微粉末を作製する。さらに、
気流分級機にて所定の大きさにカットした。得られた銅
合金粉末は球状に近い形状をしており、平均組成及び表
面組成、平均粒子径、粒子径分布は、前記記載の方法で
測定した。さらに、銅紛を金メッキしたもの、アトマイ
ズ紛をさらに金メッキしたものも作成した。ただし、粉
末作成例10は、空気でアトマイズした。
EXAMPLES Table 1 shows examples of the production of the copper alloy powder used in the present invention. First, a predetermined amount of copper, silver, and gold particles are put in a graphite crucible and heated and melted in an inert gas atmosphere using high-frequency induction heating. After dissolution, the powder is jetted into helium or nitrogen in an inert gas atmosphere, and at the same time, a high-speed inert gas is jetted into the melt to rapidly cool and solidify to produce a fine powder. further,
It was cut into a predetermined size by an airflow classifier. The obtained copper alloy powder has a nearly spherical shape, and the average composition and surface composition, the average particle size, and the particle size distribution were measured by the methods described above. In addition, copper powder and gold atomized copper powder were further prepared. However, the powder preparation example 10 was atomized with air.

【0036】表1で得られた金属粉末に混合して用いる
有機バインダー、硬化剤を表2に示す。表1、2に示さ
れる金属粉末及び有機バインダー及びマイクロカプセル
型硬化剤を混合してなる異方導電性組成物及び異方導電
性フィルムを表3評価例を表4に示す。異方導電性組成
物は、溶剤で適度な粘度(1000CPS)に調整し
た。異方導電性フィルムは、PETフィルム基材のベー
スフィルム及びカバーフィルムを用いて、塗工幅100
mmでダイコータ−で50m塗工したものである。塗工
性は、1.5mm幅にスリッテイング後、室温度で2ヶ
月放置後にベースフィルムからの10cm/秒の速度で
剥がれ性と、且つガラス基板への2kg/cm2 70℃
2秒での転写性が良好な場合をそれぞれ○とした。
Table 2 shows an organic binder and a curing agent used by mixing with the metal powder obtained in Table 1. Table 3 shows anisotropic conductive compositions and anisotropic conductive films obtained by mixing the metal powders, organic binders, and microcapsule-type curing agents shown in Tables 1 and 2, and Table 4 shows evaluation examples. The anisotropic conductive composition was adjusted to an appropriate viscosity (1000 CPS) with a solvent. An anisotropic conductive film is formed using a base film and a cover film of a PET film base, and has a coating width of 100
mm and 50 m coated with a die coater. The coating properties are as follows: after slitting to 1.5 mm width, leaving at room temperature for 2 months, peeling off from base film at a rate of 10 cm / sec, and 2 kg / cm 2 70 ° C. for glass substrate
The case where the transferability in 2 seconds was good was evaluated as ○.

【0037】表3中の実施例(3)はペースト状態のま
まで、室温度2ヶ月保存後に、1mm幅20μ厚みライ
ン状に印刷し、室温放置30分後に、ダレ幅が0.2m
m以内に収まる状態を良好とした。また、180℃15
秒で硬化させた時の表面粗さ計で表面の平滑性が±5μ
以内である場合を転写性良好とした。導通性は、4端子
法で測定し、基板上の各端子の接続抵抗であり、環境試
験(ー55〜125℃ 各30分での3000サイクル
試験)を行って両端(チップでは一番端でストレスが最
もかかる位置)の接続電極における初期接続抵抗値に対
して変化率10%以下を○とした。
Example (3) in Table 3 was printed in the form of a line having a thickness of 1 mm and a thickness of 20 μm after storage at room temperature for 2 months in the paste state, and after 30 minutes at room temperature, the sag width was 0.2 m.
The condition within m was defined as good. 180 ° C 15
Surface roughness is ± 5μ with a surface roughness meter when cured in seconds
When it was within, the transferability was determined to be good. The continuity is measured by a four-terminal method and is a connection resistance of each terminal on the substrate. An environmental test (3000 cycle test at −55 to 125 ° C. for 30 minutes each) is performed and both ends (at the end of the chip, at the end). The rate of change of 10% or less with respect to the initial connection resistance value of the connection electrode at the position where the stress is most applied) was evaluated as ○.

【0038】耐リフロー性は、到達温度260℃ 5分
リフロー炉通過4回後での評価で接続抵抗が初期の10
%未満の変化率の場合を○とした。絶縁性試験は、隣接
電極あるいは端子同士での絶縁抵抗(200V)を測定
し、1012オーム以上で絶縁性が良好を○とした。密着
強度については、リフロー炉4回通過後に機械的な剥が
し強度が500gf/cm(換算値)以上を○とした。
The reflow resistance was evaluated at an ultimate temperature of 260 ° C. for 5 minutes 4 times after passing through a reflow furnace.
% When the rate of change was less than%. Insulation resistance test, measures the insulation resistance of the adjacent electrodes or terminals of (200V), an insulating 10 12 ohms or higher was ○ good. Regarding the adhesion strength, the symbol “○” indicates that the mechanical peeling strength after passing through the reflow furnace four times was 500 gf / cm (converted value) or more.

【0039】[0039]

【比較例】表5に比較例の異方導電性組成物及びフィル
ムを示す。表6に表5の比較例の異方導電性組成物及び
フィルムの評価結果を示す。評価方法は実施例と同じで
ある。
Comparative Example Table 5 shows anisotropic conductive compositions and films of Comparative Example. Table 6 shows the evaluation results of the anisotropic conductive composition and the film of Comparative Example in Table 5. The evaluation method is the same as the embodiment.

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】[0041]

【表2】 [Table 2]

【0042】[0042]

【表3】 [Table 3]

【0043】[0043]

【表4】 [Table 4]

【0044】[0044]

【表5】 [Table 5]

【0045】[0045]

【表6】 [Table 6]

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明の異方導電性組成物及びフィルム
は、以下の点に優れた効果を有する。 1.粒子表面に、銀、あるいは金の濃度が高く、変形
性、熱伝導性に優れるために短時間での接続ができ、耐
環境性に優れ、接続抵抗が低い。 2.ナフタレン骨格のエポキシ樹脂との組み合わせによ
り、LSIチップ接続での熱膨張変化によりストレスを
緩衝でき、繰り返しリフロー時での端部での接続不良を
減少できる。 3.マイクロカプセル型硬化剤が粒度分布を有してお
り、バンプ高さなどのバラツキが合っても接続過程(電
極間が狭くなるにつれて)で充分な硬化性バラツキの緩
衝効果を発揮できる。 4.膜粘度が高く、2ヶ月室温放置でも充分な剥がし
性、転写性を有する。
The anisotropic conductive composition and film of the present invention have excellent effects in the following points. 1. Since the silver or gold concentration is high on the particle surface, the connection can be made in a short time due to the excellent deformability and thermal conductivity, the environment resistance is excellent, and the connection resistance is low. 2. In combination with the epoxy resin having a naphthalene skeleton, stress can be buffered due to a change in thermal expansion at the time of connection of the LSI chip, and connection failure at the end during repeated reflow can be reduced. 3. The microcapsule type curing agent has a particle size distribution, and can exhibit a sufficient buffering effect of the curability variation in the connection process (as the distance between the electrodes becomes narrower) even if the variations in bump height and the like match. 4. It has high film viscosity and has sufficient peeling properties and transfer properties even when left at room temperature for 2 months.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一般式MxCu1ーx(MはAg、Auより
選ばれた1種以上、0.01≦x≦0.6、xは原子
比)で表され、且つ粉末表面の銀あるいは金濃度が平均
の銀あるいは金濃度より高く、平均粒子径2〜15μの
金属粉末1重量部に対し、エポキシ樹脂を含む有機バイ
ンダーを0.1〜120重量部有する異方導電性組成物
であって、前記エポキシ樹脂はナフタレン骨格に少なく
とも2官能以上のグリシジルエーテル結合を有するナフ
タレン型エポキシ樹脂を含有することを特徴とする異方
導電性組成物。
1. A powder represented by a general formula M x Cu 1-x (M is at least one selected from Ag and Au, 0.01 ≦ x ≦ 0.6, and x is an atomic ratio). Anisotropically conductive composition having a silver or gold concentration higher than the average silver or gold concentration, and 0.1 to 120 parts by weight of an organic binder containing an epoxy resin per 1 part by weight of a metal powder having an average particle diameter of 2 to 15 μm. Wherein the epoxy resin contains a naphthalene-type epoxy resin having at least a bifunctional or more glycidyl ether bond in a naphthalene skeleton.
【請求項2】 請求項1記載の有機バインダ−として、
ナフタレン骨格の2,3,4官能グリシジルエーテル結
合を有するナフタレン型エポキシ樹脂以外に、ビスフェ
ノールA型、ビスフェノールF型、フェノールノボラッ
ク型、クレゾールノボラック型、脂環式、アルキル多価
フェノール型、ウレタン変性型、脂肪酸変性型、ゴム変
性型エポキシ樹脂、及びフェノキシ樹脂、ウレタン樹
脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、SBR、NB
R、シリコーン樹脂より選ばれた1種以上の樹脂を含有
していることを特徴とする異方導電性組成物。
2. The organic binder according to claim 1,
In addition to naphthalene type epoxy resins having a 2,3,4-functional glycidyl ether bond of a naphthalene skeleton, bisphenol A type, bisphenol F type, phenol novolak type, cresol novolak type, alicyclic type, alkyl polyhydric phenol type, urethane modified type , Fatty acid modified type, rubber modified type epoxy resin, phenoxy resin, urethane resin, polyester resin, acrylic resin, SBR, NB
R. An anisotropic conductive composition comprising one or more resins selected from silicone resins.
【請求項3】 請求項1又は2記載のエポキシ樹脂10
0重量部に対して硬化剤としてマイクロカプセル型のイ
ミダゾール誘導体エポキシ化合物5〜250重量部を含
有してなる異方導電性組成物。
3. The epoxy resin 10 according to claim 1, wherein
An anisotropic conductive composition comprising 5-250 parts by weight of a microcapsule-type imidazole derivative epoxy compound as a curing agent with respect to 0 parts by weight.
【請求項4】 請求項1記載の金属粉末の粒度分布にお
いて、平均粒子径±2μ以内の粉末が30〜100体積
%以上であることを特徴とする請求項1〜3いずれかに
記載の異方導電性組成物。
4. The metal powder according to claim 1, wherein in the particle size distribution of the metal powder according to claim 1, powder having an average particle diameter of ± 2 μm is 30 to 100% by volume or more. One conductive composition.
【請求項5】 請求項3記載のマイクロカプセル型イミ
ダゾール誘導体エポキシ化合物の平均粒子径が1〜10
μであり、最小粒子径/最大粒子径比が0.001〜
0.6を特徴とする請求項1〜4いずれかに記載の異方
導電性組成物。
5. The microcapsule type imidazole derivative epoxy compound according to claim 3, which has an average particle size of 1 to 10.
μ, and the minimum particle size / maximum particle size ratio is 0.001 to
The anisotropic conductive composition according to claim 1, wherein the composition is 0.6.
【請求項6】 請求項1〜4いずれかに記載の異方導電
性組成物をフィルム状としたことを特徴とする異方導電
性フィルム。
6. An anisotropic conductive film, wherein the anisotropic conductive composition according to claim 1 is formed into a film.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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