JPH11101908A - Manufacture of color filter - Google Patents

Manufacture of color filter

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Publication number
JPH11101908A
JPH11101908A JP26149997A JP26149997A JPH11101908A JP H11101908 A JPH11101908 A JP H11101908A JP 26149997 A JP26149997 A JP 26149997A JP 26149997 A JP26149997 A JP 26149997A JP H11101908 A JPH11101908 A JP H11101908A
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JP
Japan
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resin layer
colored
colored resin
color
pixel
Prior art date
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Pending
Application number
JP26149997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Hayashi
秀樹 林
Shoichi Nakada
昌一 中田
Munehiro Hatai
宗宏 畠井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP26149997A priority Critical patent/JPH11101908A/en
Publication of JPH11101908A publication Critical patent/JPH11101908A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a color filter, which is excellent in color characteristic and is high in precision, while maintaining good flatness by the laser beam processing. SOLUTION: A material 10 for transferring, in which a colored resin layer 12 contg. a dye on a temporary supporting body 11 is provided, is prepared and then, the material 10 for transferring is heated and press-fixed on a transparent substrate 13 at a surface of the colored resin layer 12. Thereafter, the temporary supporting body 11 is peeled off and the transparent substrate 13, to which the colored resin film layer 12 is transferred, is obtained. Next, the colored resin film layer 12 is hardened, and thereafter, an area other than a region of colored picture element is irradiated with a laser beam from above the colored resin layer 12 to transpire the colored resin layer 12 at the area to be irradiated, whereby a stage for forming the colored element consisting of the pattern-like colored resin layer is included.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used for a liquid crystal display or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー液晶ディスプレイ等には、透明基
板上に色相の異なる複数の着色画素がパターン状に形成
されたカラーフィルタが装着されている。着色画素の色
相としては、一般に、赤、青、緑の3原色が使用されて
いる。所望により、第4色目以降の色相の着色画素やブ
ラックマトリクスが形成されていてもよい。
2. Description of the Related Art A color filter in which a plurality of colored pixels having different hues are formed in a pattern on a transparent substrate is mounted on a color liquid crystal display or the like. Generally, three primary colors of red, blue, and green are used as the hues of the colored pixels. If desired, colored pixels or black matrices of the fourth and subsequent hues may be formed.

【0003】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、例えば、有機染料を含有する紫外線硬化型樹脂を用
いた方法が提案されている(特開昭58−7608
号)。この方法では、基板上にポジレジストを塗布す
る工程、該ポジレジストをマスクパターンを介して露
光、現像により所定のパターンに形成する工程、この
ポジレジストパターンを形成した基板上に、有機染料を
含有する紫外線硬化型樹脂を全面塗布する工程、紫外
線を全面露光して、紫外線硬化型樹脂を硬化すると共に
ポジレジストパターンを露光する工程、露光したポジ
レジストパターンをその上の紫外線硬化型樹脂と共に剥
離除去して残る紫外線硬化型樹脂からなるフィルタパタ
ーンを形成する工程の各工程を繰り返すことにより、各
色の着色画素を形成している。有機染料に代えて、顔料
を用いることにより、上記と同様の工程でカラーフィル
タを製造する方法も案されている(特開昭60−129
707号公報)。
Conventionally, as a method for producing a color filter, for example, a method using an ultraviolet-curable resin containing an organic dye has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-7608).
issue). In this method, a step of applying a positive resist on a substrate, a step of exposing the positive resist through a mask pattern and forming a predetermined pattern by development, and a step of forming an organic dye on the substrate on which the positive resist pattern is formed are performed. Applying the UV curable resin to the entire surface, exposing the entire surface to UV light to cure the UV curable resin and exposing the positive resist pattern, and peeling off the exposed positive resist pattern together with the UV curable resin thereon The colored pixels of each color are formed by repeating each step of the step of forming a filter pattern made of the remaining ultraviolet curable resin. A method of producing a color filter in the same process as described above by using a pigment instead of an organic dye has also been proposed (JP-A-60-129).
707).

【0004】また、顔料を分散した着色画像の透明性を
大きくするために、粒径1μm以上の粒子が全粒子の1
0重量%以下であるような粒径分布を有する顔料を透明
感光性樹脂中に分散した樹脂組成物を用いて、複数色の
パターン化された透明着色画像を支持体上に形成するカ
ラーフィルタの製造方法が提案されている(特公平4−
39041号公報)。この方法では、基板上に、第1の
色相の顔料を分散させた感光性樹脂組成物の塗膜を形成
し、該塗膜上からマスクパターンを介して露光し、現像
することにより、第1のパターン状の着色画素を形成
し、さらに、その上に同様の工程を繰り返すことによ
り、第2、第3の色相の着色画素を形成している。
Further, in order to increase the transparency of a colored image in which a pigment is dispersed, particles having a particle size of 1 μm or more constitute one of all particles.
Using a resin composition in which a pigment having a particle size distribution of not more than 0% by weight is dispersed in a transparent photosensitive resin, a color filter for forming a patterned transparent colored image of a plurality of colors on a support is used. A manufacturing method has been proposed (Japanese Patent Publication 4-
No. 39041). In this method, a coating film of a photosensitive resin composition in which a pigment of a first hue is dispersed is formed on a substrate, the coating film is exposed to light through a mask pattern, and developed to form a first coating. Is formed, and the same steps are repeated thereon to form colored pixels of the second and third hues.

【0005】これらの従来法は、フォトリソグラフ法で
あって、いずれも露光後に水または有機溶媒などの現像
液を用いて現像することにより、現像液に溶解する露光
部または非露光部を除去して、着色画素を得ている。こ
のような方法では、現像液の廃液処理が必要であり、し
かも着色画素中に現像液からの未溶解物、ダスト等の混
入があり、画素欠陥の原因となる。
[0005] These conventional methods are photolithographic methods, and in each case, after exposure, development is performed using a developing solution such as water or an organic solvent to remove exposed or unexposed portions that are dissolved in the developing solution. Thus, a colored pixel is obtained. In such a method, waste liquid treatment of the developing solution is necessary, and furthermore, undissolved substances, dust, and the like from the developing solution are mixed in the colored pixels, which causes pixel defects.

【0006】また、着色感光性樹脂を用いる方法では、
感光性成分や樹脂成分の性能、あるいは着色剤(染料や
顔料)の光吸収特性に応じて、感度及び解像度に差異が
生じる。そこで、所望の感度と解像度を得るためには、
着色感光性樹脂組成物の各成分を選択する必要がある。
そのため、着色感光性樹脂組成物が高価にならざるを得
なかった。しかも、この方法では、着色画素を得るため
の工程数が多く、歩留の低下を引き起こし、製造コスト
が高くなってしまう。
In the method using a colored photosensitive resin,
Depending on the performance of the photosensitive component or the resin component, or the light absorption characteristics of the colorant (dye or pigment), a difference occurs in sensitivity and resolution. Therefore, to obtain the desired sensitivity and resolution,
It is necessary to select each component of the colored photosensitive resin composition.
Therefore, the colored photosensitive resin composition had to be expensive. In addition, in this method, the number of steps for obtaining a colored pixel is large, causing a decrease in yield and an increase in manufacturing cost.

【0007】感光性成分や樹脂成分の含有量を調整し
て、感度及び解像度の調整を行うと、各色相の着色画素
の膜厚が異なってしまい、段差が生じてしまう。各着色
画素間に段差が生じると、カラーフィルタの平坦性が損
なわれ、実装時、電極間に電圧をかけると、かかる電圧
に差を生じて、表示不良を引き起こす。液晶ディスプレ
イでは、液晶に電圧を加えて、液晶分子を配向させる
が、セルギャップにより、コントラストを最大にする電
圧が変化する。カラーフィルタの各着色画素の膜厚が異
なると、セルギャップが変わり、色ごとに最適な電圧が
変わってしまう。そのために、コントラストの低下やオ
フ時の色バランスが崩れるという問題を生じる。カラー
フィルタの着色画素間に段差があると、配向膜の表面を
一定方向にラビングして液晶分子同士をラビング方向に
配列させるラビング処理時に、画素境界部分がラビング
されず、液晶に配向不良を生じ、コントラストが低下す
る。
When the sensitivity and the resolution are adjusted by adjusting the contents of the photosensitive component and the resin component, the thickness of the colored pixel of each hue is different, and a step is generated. If a step occurs between the colored pixels, the flatness of the color filter is impaired. If a voltage is applied between the electrodes during mounting, a difference occurs in the voltage, causing display failure. In a liquid crystal display, a voltage is applied to the liquid crystal to align the liquid crystal molecules, but the voltage that maximizes the contrast changes depending on the cell gap. If the thickness of each colored pixel of the color filter is different, the cell gap changes, and the optimal voltage changes for each color. Therefore, there arises a problem that the contrast is lowered and the color balance at the time of off is lost. If there is a step between the colored pixels of the color filter, during the rubbing process in which the surface of the alignment film is rubbed in a certain direction and the liquid crystal molecules are arranged in the rubbing direction, the pixel boundaries are not rubbed, resulting in poor alignment of the liquid crystal. , The contrast is reduced.

【0008】最近、本発明者らは、基板上に形成した着
色塗膜を、その画素となる部分を残して、レーザー光の
照射により蒸散させて取り去ることにより、カラーフィ
ルタを製造する方法に想到した。この方法では、基板上
に第1色目の着色塗膜を形成し、第1色目の画素となる
領域以外の部分にレーザー光を照射して被照射部分のみ
を蒸散させることにより、第1色目の着色画素を形成
し、次いで、第2色目の着色塗膜を第1色目の着色画素
の上から基板全面に形成し、レーザー光を第2色目の着
色画素となる領域以外の部分に照射して、被照射部分の
塗膜を蒸散させ、その際、レーザー光の出力(照射エネ
ルギー量)を制御(パルス光のショット数の制御を含
む)して、第1色目の着色画素を残して、その上に被覆
された第2色目の塗膜を蒸散させることにより、第2色
目の画素を形成し、以下同様にして第3色目以降の画素
を形成する。
Recently, the present inventors have conceived of a method of manufacturing a color filter by removing a colored coating film formed on a substrate by irradiating it with laser light while leaving a portion serving as a pixel. did. In this method, a colored coating film of a first color is formed on a substrate, and a portion other than a region serving as a pixel of the first color is irradiated with a laser beam to evaporate only a portion to be irradiated. A colored pixel is formed, and then a colored coating film of the second color is formed on the entire surface of the substrate from above the colored pixel of the first color, and a laser beam is applied to a portion other than a region to be the colored pixel of the second color. Evaporating the coating film on the irradiated portion, and controlling the output of the laser light (the amount of irradiation energy) (including the control of the number of shots of the pulsed light) to leave the colored pixel of the first color. The second color pixel is formed by evaporating the second color coating film coated thereon, and the third color and subsequent pixels are formed in the same manner.

【0009】このレーザー加工法を採用すれば、感光性
樹脂を使用することに伴う前記の如き問題点は解消さ
れ、しかも高精彩なカラーフィルタを製造することがで
きる。しかしながら、このレーザー加工法には、以下に
述べるような問題点があった。すなわち、レーザー加工
法では、通常、有機顔料、バインダー樹脂、及び溶媒を
必須成分として含有する着色組成物を用いて着色塗膜及
び着色画素を形成している。ところが、着色剤として有
機顔料を用いると、分光特性やコントラストが染料を用
いた場合に比べて劣る。
By employing this laser processing method, the above-mentioned problems associated with the use of a photosensitive resin can be solved, and a high-definition color filter can be manufactured. However, this laser processing method has the following problems. That is, in the laser processing method, a colored coating film and a colored pixel are usually formed using a colored composition containing an organic pigment, a binder resin, and a solvent as essential components. However, when an organic pigment is used as a coloring agent, spectral characteristics and contrast are inferior to those when a dye is used.

【0010】また、着色組成物をスピンコート法により
塗布して着色塗膜を形成すると、例えば、第2色目の着
色塗膜を形成する際に、透明基板上と第1色目の着色画
素上とで着色塗膜の厚さが異なり、第1色目の着色画素
上の第2色目の着色塗膜の厚さが相対的に薄くなる。そ
のため、レーザー光を第2色目の着色画素となる領域以
外の部分に照射して、被照射部分の塗膜を蒸散させる
と、レーザー光の出力を制御しても、第1色目の着色画
素の上に被覆された第2色目の着色塗膜のみならず、第
1色目の着色画素の上部が削られて薄くなるという問題
があった。
When the coloring composition is applied by a spin coating method to form a colored coating, for example, when a second colored coating is formed, the colored composition is formed on a transparent substrate and on a first colored pixel. , The thickness of the colored coating film is different, and the thickness of the colored coating film of the second color on the colored pixel of the first color is relatively thin. Therefore, by irradiating the laser light to a portion other than the region serving as the colored pixel of the second color to evaporate the coating film of the irradiated portion, even if the output of the laser light is controlled, There has been a problem that not only the second color coating film coated thereon but also the upper portion of the first color pixel is shaved and thinned.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、レー
ザー光加工法により、色特性に優れ、高精細のカラーフ
ィルタを平坦性良く製造する方法を提供することにあ
る。本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討
した結果、透明基板(既に他の色相の着色画素が形成さ
れた透明基板を含む)に、染料を含有する着色樹脂層を
転写法により形成することにより、従来の塗布法による
前記問題点を克服することができ、しかも表示品質に優
れたカラーフィルタの得られることを見いだした。本発
明は、これらの知見に基づいて完成するに至ったもので
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a high-definition color filter having excellent color characteristics and high flatness by a laser beam processing method. The present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-described problems, and as a result, transferred a colored resin layer containing a dye onto a transparent substrate (including a transparent substrate on which colored pixels of other hues are already formed) by a transfer method. It has been found that by forming the color filter, the above-mentioned problems caused by the conventional coating method can be overcome and a color filter having excellent display quality can be obtained. The present invention has been completed based on these findings.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、(1)
仮支持体上に、染料を含有する着色樹脂層を設けた転写
用材料を調製し、(2)該転写用材料を着色樹脂層面で
透明基板上に加熱圧着させた後、(3)仮支持体を剥離
して、着色樹脂層が転写された透明基板を得、(4)次
いで、着色樹脂層を硬化させた後、(5)着色樹脂層の
上から、レーザー光を着色画素となる領域以外の部分に
照射して、被照射部分の着色樹脂層を蒸散させることに
より、パターン状の着色樹脂層からなる着色画素を形成
する工程を含むカラーフィルタの製造方法が提供され
る。
According to the present invention, (1)
A transfer material in which a coloring resin layer containing a dye is provided on a temporary support is prepared, and (2) the transfer material is heated and pressed on a transparent substrate on the surface of the coloring resin layer. The body is peeled off to obtain a transparent substrate to which the colored resin layer has been transferred. (4) Next, after the colored resin layer is cured, (5) a laser light is applied from above the colored resin layer to a region to be a colored pixel. A method for manufacturing a color filter including a step of forming a colored pixel made of a patterned colored resin layer by irradiating a portion other than the above and evaporating the colored resin layer of the irradiated portion is provided.

【0013】本発明によれば、(I)透明基板上に、第
1色目の着色樹脂層を形成し、次いで、レーザー光を第
1色目の着色画素となる領域以外の部分に照射して、被
照射部分の着色樹脂層を蒸散させることにより、パター
ン状の着色樹脂層からなる第1色目の着色画素を形成す
る工程、(II)第1色目の着色画素上を含む透明基板
の全面に、第2色目の着色樹脂層を形成し、次いで、レ
ーザー光を第2色目の着色画素となる領域以外の部分に
照射して、被照射部分の着色樹脂層を蒸散させることに
より、パターン状の着色樹脂層からなる第2色目の着色
画素を形成し、その際、レーザー光の出力を制御して、
第1色目の着色画素を残して、その上に形成された第2
色目の着色樹脂層を蒸散させる工程、及び(III)必
要に応じて、前記(II)と同様の工程により、第3色
目以降の必要色数の着色画素を形成する工程を含むカラ
ーフィルタの製造方法において、少なくとも工程(I
I)以降の各工程で、透明基板上に各色の着色樹脂層を
形成するに際し、(1)仮支持体上に、染料を含有する
着色樹脂層を設けた転写用材料を調製し、(2)該転写
用材料を着色樹脂層面で透明基板上に加熱圧着させた
後、(3)仮支持体を剥離して、着色樹脂層が転写され
た透明基板を得、(4)次いで、着色樹脂層を硬化させ
ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法が提供さ
れる。
According to the present invention, (I) a colored resin layer of the first color is formed on a transparent substrate, and then a laser beam is irradiated to a portion other than a region to be a colored pixel of the first color, A step of forming a colored pixel of the first color composed of a patterned colored resin layer by evaporating the colored resin layer of the irradiated portion; (II) covering the entire surface of the transparent substrate including the colored pixel of the first color; Forming a colored resin layer of the second color, and then irradiating the laser light to a portion other than the region to be the colored pixel of the second color to evaporate the colored resin layer of the irradiated portion, thereby forming a colored pattern. Forming a second colored pixel made of a resin layer, in which case controlling the output of laser light,
The second colored pixel formed on the first colored pixel is left
Production of a color filter including the step of evaporating the colored resin layer of the color and (III) the step of forming the required number of colored pixels of the third and subsequent colors by the same step as the above (II), if necessary. In the method, at least step (I)
I) In forming the colored resin layers of each color on the transparent substrate in each of the subsequent steps, (1) preparing a transfer material provided with a dye-containing colored resin layer on a temporary support; After the transfer material is heated and pressed on the transparent substrate on the colored resin layer surface, (3) the temporary support is peeled off to obtain a transparent substrate on which the colored resin layer has been transferred. (4) Next, the colored resin There is provided a method for producing a color filter, comprising curing the layer.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施の形
態を詳細に説明する。 <転写用材料>本発明では、仮支持体上に、染料を含有
する着色樹脂層を設けた転写用材料を調製する。着色樹
脂層は、染料、バインダー樹脂、熱または光硬化剤、及
び溶媒を含有する着色樹脂組成物を用いて形成される。
本発明で使用する染料は、特に限定されないが、油溶性
染料及び酸性染料が好ましい。所望の色に調整するため
に、複数の染料をブレンドすることもある。それによ
り、赤、緑、青の3原色を得る。以下に、カラーフィル
タ用途として耐候性の高い染料を例示する。表示は、色
指数(Color Index)で行っている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail. <Transfer Material> In the present invention, a transfer material in which a colored resin layer containing a dye is provided on a temporary support is prepared. The colored resin layer is formed using a colored resin composition containing a dye, a binder resin, a heat or light curing agent, and a solvent.
The dye used in the present invention is not particularly limited, but an oil-soluble dye and an acid dye are preferable. Multiple dyes may be blended to achieve the desired color. Thereby, three primary colors of red, green and blue are obtained. Hereinafter, dyes having high weather resistance will be exemplified as color filter applications. The display is performed using a color index (Color Index).

【0015】酸性染料としては、例えば、C.I.AC
ID RED 18、C.I.ACID RED 15
1、C.I.ACID YELLOW 38、C.I.
ACID GREEN 25、C.I.ACID BL
UE 9、C.I.ACIDBLUE 40、C.I.
ACID BLUE 129、C.I.ACIDVIO
LET 17、C.I.ACID VIOLET 49
等が挙げられる。
Examples of the acid dye include C.I. I. AC
ID RED 18, C.I. I. ACID RED 15
1, C.I. I. ACID YELLOW 38, C.I. I.
ACID GREEN 25, C.I. I. ACID BL
UE 9, C.I. I. ACIDBLUE 40, C.I. I.
ACID BLUE 129, C.I. I. ACIDVIO
LET 17, C.I. I. ACID VIOLET 49
And the like.

【0016】油溶性染料としては、例えば、C.I.S
OLVENT RED 7、C.I.SOLVENT
RED 8、C.I.SOLVENT RED 35、
C.I.SOLVENT RED 46、C.I.SO
LVENT RED 68、C.I.SOLVENT
RED 83、C.I.SOLVENT RED 8
9、C.I.SOLVENT RED 90、C.I.
SOLVENT RED91、C.I.SOLVENT
RED 92、C.I.SOLVENT RED 1
09、C.I.SOLVENT RED 111、C.
I.SOLVENT RED 118、C.I.SOL
VENT RED 119、C.I.SOLVENT
RED 122、C.I.SOLVENT RED 1
25、C.I.SOLVENT RED 127、C.
I.SOLVENT RED 130、C.I.SOL
VENT RED 132、C.I.SOLVENT
RED 138、C.I.SOLVENT RED 1
60、C.I.SOLVENT RED 207、C.
I.SOLVENT RED 218、C.I.SOL
VENT RED 230;C.I.SOLVENT
ORANGE 11、C.I.SOLVENT ORA
NGE 23,C.I.SOLVENT ORANGE
37,C.I.SOLVENT ORANGE 5
9,C.I.SOLVENT ORANGE 62,
C.I.SOLVENT ORANGE99;C.I.
SOLVENT YELLOW 19、C.I.SOL
VENTYELLOW 21、C.I.SOLVENT
YELLOW 25、C.I.SOLVENT YE
LLOW 33、C.I.SOLVENT YELLO
W 42、C.I.SOLVENT YELLOW 5
6、C.I.SOLVENT YELLOW 62、
C.I.SOLVENT YELLOW 63、C.
I.SOLVENT YELLOW 77、C.I.S
OLVENT YELLOW 79、C.I.SOLV
ENT YELLOW 82、C.I.SOLVENT
YELLOW 83、C.I.SOLVENT YE
LLOW 89、C.I.SOLVENT YELLO
W 93、C.I.SOLVENT YELLOW 1
04、C.I.SOLVENT YELLOW 10
5、C.I.SOLVENT YELLOW 114、
C.I.SOLVENT YELLOW 129、C.
I.SOLVENT YELLOW 130、C.I.
SOLVENT YELLOW 138、C.I.SO
LVENT YELLOW146、C.I.SOLVE
NT YELLOW 162、C.I.SOLVENT
YELLOW 163;C.I.GREEN 3,
C.I.GREEN25;C.I.SOLVENT B
LUE 4、C.I.SOLVENT BLUE 5、
C.I.SOLVENT BLUE 14、C.I.S
OLVENTBLUE 25、C.I.SOLVENT
BLUE 35、C.I.SOLVENT BLUE
37、C.I.SOLVENT BLUE 38、
C.I.SOLVENT BLUE 44、C.I.S
OLVENT BLUE 45、C.I.SOLVEN
T BLUE 48、C.I.SOLVENT BLU
E 49、C.I.SOLVENT BLUE 67、
C.I.SOLVENTBLUE 68、C.I.SO
LVENT BLUE 70、C.I.SOLVENT
BLUE 78、C.I.SOLVENT BLUE
94;C.I.SOLVENT VIOLET 1
3、C.I.SOLVENT VIOLET 14、
C.I.SOLVENT VIOLET 23、C.
I.SOLVENT VIOLET 24、C.I.S
OLVENT VIOLET 33、C.I.SOLV
ENT VIOLET 45、C.I.SOLVENT
VIOLET 46等が挙げられる。本発明における
染料の配合量は、着色樹脂組成物中、通常、0.1〜5
0重量%。好ましくは1〜20重量%である。
Examples of oil-soluble dyes include C.I. I. S
OLVENT RED 7, C.I. I. SOLVENT
RED 8, C.I. I. SOLVENT RED 35,
C. I. SOLVENT RED 46, C.I. I. SO
LVENT RED 68, C.I. I. SOLVENT
RED 83, C.I. I. SOLVENT RED 8
9, C.I. I. SOLVENT RED 90, C.I. I.
SOLVENT RED91, C.I. I. SOLVENT
RED 92, C.I. I. SOLVENT RED 1
09, C.I. I. SOLVENT RED 111, C.I.
I. SOLVENT RED 118, C.I. I. SOL
VENT RED 119, C.I. I. SOLVENT
RED 122, C.I. I. SOLVENT RED 1
25, C.I. I. SOLVENT RED 127, C.I.
I. SOLVENT RED 130, C.I. I. SOL
VENT RED 132, C.I. I. SOLVENT
RED 138, C.I. I. SOLVENT RED 1
60, C.I. I. SOLVENT RED 207, C.I.
I. SOLVENT RED 218, C.I. I. SOL
VENT RED 230; I. SOLVENT
ORANGE 11, C.I. I. SOLvent ora
NGE 23, C.I. I. SOLVENT ORANGE
37, C.I. I. SOLVENT ORANGE 5
9, C.I. I. SOLVENT ORANGE 62,
C. I. C. SOLVENT ORANGE 99; I.
SOLVENT YELLOW 19, C.I. I. SOL
VENTYELLOW 21, C.I. I. SOLVENT
YELLOW 25, C.I. I. SOLVENT YE
LLOW 33, C.I. I. SOLVENT YELLO
W42, C.I. I. SOLVENT YELLOW 5
6, C.I. I. SOLVENT YELLOW 62,
C. I. SOLVENT YELLOW 63, C.I.
I. SOLVENT YELLOW 77, C.I. I. S
OLVENT YELLOW 79, C.I. I. SOLV
ENT YELLOW 82, C.I. I. SOLVENT
YELLOW 83, C.I. I. SOLVENT YE
LLOW 89, C.I. I. SOLVENT YELLO
W 93, C.I. I. SOLVENT YELLOW 1
04, C.I. I. SOLVENT YELLOW 10
5, C.I. I. SOLVENT YELLOW 114,
C. I. SOLVENT YELLOW 129, C.I.
I. SOLVENT YELLOW 130, C.I. I.
SOLVENT YELLOW 138, C.I. I. SO
LVENT YELLOW 146, C.I. I. SOLVE
NT YELLOW 162, C.I. I. SOLVENT
YELLOW 163; I. GREEN 3,
C. I. GREEN 25; I. SOLVENT B
LUE 4, C.I. I. SOLVENT BLUE 5,
C. I. SOLvent BLUE 14, C.I. I. S
OLVENTBLUE 25, C.I. I. SOLVENT
BLUE 35, C.I. I. SOLVENT BLUE
37, C.I. I. SOLVENT BLUE 38,
C. I. SOLvent BLUE 44, C.I. I. S
OLVENT BLUE 45, C.I. I. SOLVEN
T BLUE 48, C.I. I. SOLVENT BLU
E 49, C.I. I. SOLVENT BLUE 67,
C. I. SOLVENTBLUE 68, C.I. I. SO
LVENT BLUE 70, C.I. I. SOLVENT
BLUE 78, C.I. I. SOLVENT BLUE
94; I. SOLVENT VIOLET 1
3, C.I. I. SOLVENT VIOLET 14,
C. I. SOLVENT VIOLET 23, C.I.
I. SOLVENT VIOLET 24, C.I. I. S
OLVENT VIOLET 33, C.I. I. SOLV
ENT VIOLET 45, C.I. I. SOLVENT
VIOLET 46 and the like. The amount of the dye in the present invention is usually 0.1 to 5 in the colored resin composition.
0% by weight. Preferably it is 1 to 20% by weight.

【0017】バインダーとして使用する樹脂は、特に限
定されるものではないが、耐熱性、耐光性、基板への密
着性が良好な樹脂であることが好ましく、具体的には、
アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウ
レタン樹脂、ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、シリコ
ン樹脂、メラミン樹脂等を挙げることができる。本発明
におけるバインダー樹脂の配合量は、着色樹脂組成物
中、1〜80重量%とすることが好ましい。
The resin used as the binder is not particularly limited, but is preferably a resin having good heat resistance, light resistance, and good adhesion to a substrate.
An acrylic resin, an epoxy resin, a polyamide resin, a polyurethane resin, a polyester resin, an alkyd resin, a silicone resin, a melamine resin, and the like can be given. The amount of the binder resin in the present invention is preferably 1 to 80% by weight in the colored resin composition.

【0018】光硬化剤(感光性樹脂)としては、ネガ型
ジアゾ樹脂、光重合性樹脂(光重合開始剤、光重合性モ
ノマー、バインダー樹脂の組み合わせ)等が挙げられ
る。熱硬化剤としては、ポリメチロール化合物、ポリイ
ソシアナート化合物、ポリエポキシ化合物等が挙げられ
る。本発明における感光性樹脂または熱硬化剤の配合量
は、着色樹脂組成物中、それぞれ0.01〜20重量
%、1〜30重量%とすることが好ましい。
Examples of the photocuring agent (photosensitive resin) include a negative diazo resin, a photopolymerizable resin (a combination of a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer, and a binder resin). Examples of the thermosetting agent include a polymethylol compound, a polyisocyanate compound, and a polyepoxy compound. The amount of the photosensitive resin or thermosetting agent in the present invention is preferably 0.01 to 20% by weight and 1 to 30% by weight, respectively, in the colored resin composition.

【0019】本発明の着色樹脂組成物は、前記各成分を
溶解する溶媒に溶解ないしは混合させて均一溶液とした
ものである。前記各成分を溶解する溶媒としては、例え
ば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、メチルセルソルブ、エチルセルソル
ブ、クロロホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、
エチルアルコール、N,N′−ジメチルホルムアミド、
N−メチル−2−ピロリドン、シクロヘキサノン、2−
メトキシエタノール、メトキシプロピルアセテート、酢
酸イソブチル、2−ブトキシエタノール等が挙げられ
る。これらの溶媒は、単独で、または2種類以上を組み
合わせて使用される。使用する溶媒の配合量は、前記各
成分を均一に溶解するに足る量とする。溶媒の量は、溶
媒以外の各成分の合計量の2〜8倍程度とすることが好
ましい。また、本発明の着色樹脂組成物には、これらの
他に、発色剤、可塑剤、難燃剤、安定剤、熱重合禁止
剤、塗膜性改質剤等を必要に応じて添加することができ
る。
The colored resin composition of the present invention is prepared by dissolving or mixing the above components in a solvent capable of dissolving the above components to form a uniform solution. Examples of the solvent that dissolves each component include, for example, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, chloroform, methylene chloride, methyl alcohol,
Ethyl alcohol, N, N'-dimethylformamide,
N-methyl-2-pyrrolidone, cyclohexanone, 2-
Examples include methoxyethanol, methoxypropyl acetate, isobutyl acetate, 2-butoxyethanol and the like. These solvents are used alone or in combination of two or more. The compounding amount of the solvent to be used is an amount sufficient to uniformly dissolve the components. The amount of the solvent is preferably about 2 to 8 times the total amount of each component other than the solvent. In addition, the coloring resin composition of the present invention, in addition to the above, a color former, a plasticizer, a flame retardant, a stabilizer, a thermal polymerization inhibitor, a coating property modifier, and the like may be added as necessary. it can.

【0020】本発明の転写用材料は、仮支持体上に着色
樹脂組成物を塗布、乾燥して製造することができる。本
発明の転写用材料の仮支持体としては、テフロン、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチ
レン、ポリプロピレン等の薄いシート、もしくはこれら
の積層物が好ましい。仮支持体の厚みは、通常、5〜3
00μmが適当であり、好ましくは20〜150μmで
ある。
The transfer material of the present invention can be produced by applying a colored resin composition on a temporary support and drying it. As the temporary support of the transfer material of the present invention, a thin sheet of Teflon, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene or the like, or a laminate thereof is preferable. The thickness of the temporary support is usually 5 to 3
00 μm is appropriate, and preferably 20 to 150 μm.

【0021】着色樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損
傷から保護するための薄い被覆シートを設けることが好
ましい。被覆シートは、仮支持体と同じか、類似の材料
から成っていてもよいが、着色樹脂層から容易に分離す
るものが望ましい。被覆シートの材料としては、例え
ば、シリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラ
フルオロエチレンシートが適当である。被覆シートの厚
みは、5〜100μmであるのが好ましい。特に好まし
くは、10〜30μm厚のポリエチレンまたはポリプロ
ピレンフィルムである。
It is preferable to provide a thin cover sheet on the colored resin layer for protecting the storage layer from contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but is preferably one that easily separates from the colored resin layer. As the material of the covering sheet, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable. The thickness of the covering sheet is preferably 5 to 100 μm. Particularly preferred is a polyethylene or polypropylene film having a thickness of 10 to 30 μm.

【0022】<転写法>本発明の転写用材料の転写法に
ついて説明する。先ず、転写用材料から、着色樹脂層上
の被覆シートを取り除く。次に、図1(a)に示すよう
に、仮支持体11と着色樹脂層12とが積層された構造
の転写用材料10を透明基板13と対向させる。図1
(b)に示すように、転写用材料10を着色樹脂層12
面で透明基板13上に加熱圧着させる。貼り合わせに
は、従来公知のラミネーター、真空ラミネーターなどが
使用でき、より生産性を高めるためには、オートカット
ラミネーターの使用も可能である。次いで、図1(c)
に示すように、仮支持体11を剥離する。この後、染料
の滲み出しを防止するために、光または熱を加えて、着
色樹脂層を硬化させる。光硬化の際の光源としては、公
知の活性光源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アー
ク、キセノンアーク、写真用フラッド電球等から発生す
る光を用いることができる。熱硬化させる場合には、通
常、130〜250℃で硬化させる。
<Transfer Method> The transfer method of the transfer material of the present invention will be described. First, the covering sheet on the colored resin layer is removed from the transfer material. Next, as shown in FIG. 1A, the transfer material 10 having a structure in which the temporary support 11 and the colored resin layer 12 are laminated is opposed to the transparent substrate 13. FIG.
As shown in (b), the transfer material 10 is transferred to the colored resin layer 12.
The surface is heated and pressed on the transparent substrate 13. A conventionally known laminator, vacuum laminator, or the like can be used for lamination, and an auto-cut laminator can be used to further increase productivity. Next, FIG.
As shown in (5), the temporary support 11 is peeled off. Thereafter, in order to prevent the dye from seeping out, light or heat is applied to cure the colored resin layer. As a light source at the time of photocuring, a known active light source, for example, light generated from a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, a flood lamp for photography, or the like can be used. In the case of heat curing, it is usually cured at 130 to 250 ° C.

【0023】以上のようにして、着色樹脂層12を透明
基板13上に転写する〔図1(d)参照〕。この着色樹
脂層12を、以下に述べるようにレーザー光で加工する
ことによって、着色パターンを得る。本発明の場合、こ
の着色パターンがカラーフィルタの画素となる。
As described above, the colored resin layer 12 is transferred onto the transparent substrate 13 (see FIG. 1D). The colored resin layer 12 is processed with a laser beam as described below to obtain a colored pattern. In the case of the present invention, this coloring pattern becomes a pixel of the color filter.

【0024】<カラーフィルタの製造方法>本発明で
は、前記(I)及び(II)の工程、必要に応じて(I
II)以降の工程によってカラーフィルタを製造する。
この製造方法において、少なくとも工程(II)以降の
各工程で、透明基板上に各色の着色樹脂層を形成するに
際し、前記転写法を適用する。勿論、この転写法は、工
程(I)において、透明基板上に着色樹脂層を形成する
場合にも適用することができる。ただし、工程(I)で
は、着色樹脂層の下に着色画素が形成されていないた
め、必ずしも転写法によらなくても、塗布法により均一
な厚さの着色樹脂層を形成することができる。
<Manufacturing Method of Color Filter> In the present invention, the steps (I) and (II) and (I)
II) A color filter is manufactured by the following steps.
In this manufacturing method, the transfer method is applied when forming a colored resin layer of each color on the transparent substrate at least in each step after the step (II). Of course, this transfer method can also be applied to the case where a colored resin layer is formed on a transparent substrate in the step (I). However, in the step (I), since a colored pixel is not formed below the colored resin layer, a colored resin layer having a uniform thickness can be formed by a coating method without necessarily using a transfer method.

【0025】本発明のカラーフィルタの製造方法の代表
例について、図2を参照しながら説明する。 仮支持体上に第1色目の着色樹脂層を形成した転写用
材料(図示せず)を調製し、該転写用材料を用いて、図
2(A)に示すように、第1色目の着色樹脂層2を透明
基板1上に転写する。第1色目とは、通常、カラーフィ
ルタに必要な3原色の1つであり、以降第2色目、第3
色目は、各々残りの色である。通常は、3原色として、
赤、緑、青(R、G、B)が用いられる。
A typical example of the method for manufacturing a color filter of the present invention will be described with reference to FIG. A transfer material (not shown) in which a first color resin layer is formed on a temporary support is prepared, and the first color is formed using the transfer material as shown in FIG. The resin layer 2 is transferred onto the transparent substrate 1. The first color is usually one of the three primary colors required for the color filter, and the second color, the third color,
The tint is each of the remaining colors. Usually, as three primary colors,
Red, green, and blue (R, G, B) are used.

【0026】透明基板1としては、ソーダガラス、無ア
ルカリガラス、透明プラスチック板等が用いられる。基
板上に予めブラックマトリクスが形成されているものも
使用できる。ブラックマトリクスが形成されていない基
板を用いるときは、着色画素形成後に、ブラックマトリ
クスを形成することが好ましい。ここでブラックマトリ
クスとは、各着色画素の隙間を遮光性物質で埋め、また
は被覆して、カラーフィルタのコントラストを向上させ
るものである。ブラックマトリクスの材質としては、例
えば、クロム、酸化クロム、カーボンブラック、黒鉛、
遮光性物質を混入した樹脂組成物等がある。ブラックマ
トリクスは、2色以上の着色樹脂層を重ね合わせて形成
してもよい。次いで、図2(B)に示すように、レーザ
ー光3を、第1色目の画素となる領域以外の部分に照射
して、被照射部分の着色樹脂層2を蒸散させることによ
り、第1色目の着色画素5を形成する〔図2(C)参
照〕。
As the transparent substrate 1, soda glass, non-alkali glass, transparent plastic plate or the like is used. A substrate in which a black matrix is formed in advance on a substrate can also be used. When a substrate without a black matrix is used, it is preferable to form the black matrix after forming the colored pixels. Here, the black matrix fills or covers the gaps between the colored pixels with a light-shielding substance to improve the contrast of the color filter. As a material of the black matrix, for example, chromium, chromium oxide, carbon black, graphite,
There is a resin composition mixed with a light-shielding substance. The black matrix may be formed by overlapping two or more colored resin layers. Next, as shown in FIG. 2B, the laser light 3 is irradiated to a portion other than the region serving as the pixel of the first color to evaporate the colored resin layer 2 at the irradiated portion, thereby forming the first color. Is formed (see FIG. 2C).

【0027】ここで使用するレーザー光としては、着色
樹脂層が熱ダレを起こさずに蒸散を起こすように、充分
に短い波長でなければならない。この点で、波長が紫外
線領域にあるエキシマレーザーが好適である。エキシマ
レーザーとしては、XeCl、KrF、ArFがある。
しかしながら、CO2、YAGレーザーのように、波長
が赤外光であっても、非線形光学材料を用い、第2、第
3高調波により、その波長を得ることも可能である。し
かし、この場合、レーザー光が充分なエネルギー密度を
持っていなければならない。レーザー光のエネルギー密
度は、0.1〜3J/cm2が好ましく、0.2〜2J
/cm2が特に好適である。レーザー光のエネルギー密
度が大きすぎると、着色樹脂層だけでなく、下にある透
明基板やブラックマトリクスまで蒸散してしまう。レー
ザー光のエネルギー密度が小さすぎると、着色樹脂層が
蒸散を起こさない。レーザー光は、第2色目以降の着色
画素の形成のために、出力を制御することが必要であ
る。この点からは、レーザー光がパルス発振光であるこ
とが望ましい。パルス光のショット数により、着色樹脂
層の深さ方向の加工制御が可能となるからである。形成
される着色画素の大きさは、通常、およそ100×30
0μmであり、画素間隔は、およそ30μmであるが、
ビューファインダーなどに用いられる高精細度タイプで
は、その約10分の1程度の寸法が求められる。
The laser beam used here must have a sufficiently short wavelength so that the colored resin layer evaporates without causing heat sag. In this regard, an excimer laser having a wavelength in the ultraviolet region is preferable. Excimer lasers include XeCl, KrF and ArF.
However, even if the wavelength is infrared light, such as a CO 2 or YAG laser, it is possible to obtain the wavelength by using a second or third harmonic using a nonlinear optical material. However, in this case, the laser beam must have a sufficient energy density. The energy density of the laser beam is preferably 0.1 to 3 J / cm 2 , and 0.2 to 2 J / cm 2.
/ Cm 2 is particularly preferred. If the energy density of the laser beam is too high, not only the colored resin layer but also the underlying transparent substrate and black matrix evaporate. If the energy density of the laser beam is too low, the colored resin layer does not evaporate. It is necessary to control the output of the laser light in order to form colored pixels of the second and subsequent colors. From this point, it is desirable that the laser light is pulsed light. This is because the processing control in the depth direction of the colored resin layer can be performed by the number of shots of the pulsed light. The size of the formed colored pixel is usually about 100 × 30
0 μm and the pixel spacing is about 30 μm,
In a high-definition type used for a viewfinder or the like, a dimension of about one tenth is required.

【0028】レーザー光3を照射し、着色画素を得るの
に2つの方法がある。1つはフォトマスク4を介し、面
露光により、ある領域にレーザー光を照射して、一括で
画素を形成し、XYステージ等により基板を移動し、再
度レーザー光を照射して画素を形成する。この工程を繰
り返すことにより、基板全面に着色画素を得る。この場
合、できる限り大面積の方が加工時間が短くなり有利だ
が、面積を広げすぎると、照射エネルギー密度が小さく
なり、被照射部分の蒸散を起こさなくなってしまう。最
低限蒸散するようなエネルギー密度で、レーザー光の領
域を広げるのが好ましい。この方法では、1回に着色画
素を形成する領域が広いために、全体の加工時間が短く
なる。
There are two methods for irradiating the laser beam 3 to obtain a colored pixel. One is to irradiate a certain area with laser light by surface exposure through the photomask 4 to collectively form pixels, move the substrate by an XY stage or the like, and irradiate the laser light again to form pixels. . By repeating this process, colored pixels are obtained on the entire surface of the substrate. In this case, the processing time is advantageously shortened as much as possible with a large area, but if the area is enlarged too much, the irradiation energy density becomes small, and the irradiated part does not evaporate. It is preferable to widen the area of the laser beam with an energy density at which transpiration is minimal. In this method, since the area where the colored pixel is formed at one time is large, the entire processing time is shortened.

【0029】もう1つの方法としては、レーザー光3を
小さく絞り込み、走査することにより着色画素を形成す
る方法がある。レーザー光のスポットの大きさは、スポ
ットの縦、横のどちらかが少なくとも30μm以下にな
るようにする必要がある。レーザー光を走査する方法と
して、XYステージ等により基板自体を移動するか、ま
たはレーザー光を光学系により走査することが可能であ
る。この方法ではフォトマスクは必要なく、微細加工に
は有利である。光源としてエキシマレーザーを用いる場
合には、その面光源的な特性を生かすために、フォトマ
スクを用いる方式の方が有利である。以上のようにし
て、第1色目の着色画素5を得る。
As another method, there is a method of forming a colored pixel by narrowing down the laser beam 3 and scanning it. It is necessary that the size of the spot of the laser beam is such that either the length or width of the spot is at least 30 μm or less. As a method of scanning with a laser beam, it is possible to move the substrate itself using an XY stage or the like, or to scan with a laser beam using an optical system. This method does not require a photomask, and is advantageous for fine processing. When an excimer laser is used as a light source, a method using a photomask is more advantageous in order to make use of its surface light source characteristics. As described above, the first colored pixel 5 is obtained.

【0030】次に、第2色目の着色樹脂層を形成した
転写用材料(図示せず)を用いて、第2色目の着色樹脂
層6を第1色目の着色画素5が形成されている透明基板
1の上に転写する〔図2(D)参照〕。この際、転写法
により着色樹脂層6を形成しているため、基板上の第2
色目の着色樹脂層62の厚さと、第1色目の着色画素5
上の第2色目の着色樹脂層61の膜厚は等しくなる。
Next, using the transfer material (not shown) on which the second colored resin layer is formed, the second colored resin layer 6 is converted into a transparent material on which the first colored pixels 5 are formed. The image is transferred onto the substrate 1 (see FIG. 2D). At this time, since the colored resin layer 6 is formed by the transfer method, the second
The thickness of the color resin layer 62 and the color pixel 5 of the first color
The thickness of the upper colored resin layer 61 of the second color becomes equal.

【0031】次いで、第1色目の着色画素5を形成した
ときと同様にして、レーザー光3を第2色目の着色画素
を形成させる領域以外の部分に照射し、第2色目の着色
画素7を形成する〔図2(E)〜(F)参照〕。ここ
で、第2色目の着色樹脂層61の下に第1色目の着色画
素5がある領域が存在するため、レーザー光のパルスの
ショット数を制御することにより、第2色目の着色樹脂
層61のみを蒸散させ、その下にある第1色目の着色画
素5を残す。そのために、レーザー光のパルス1ショッ
ト当たりの蒸散の深さ、エッチレートを予め測定してお
き、第2色目の着色樹脂層の膜厚を、別途測定すること
により、第2色目のみを蒸散させるのに必要なショット
数を求め、そのショット数だけパルスを照射し、第1色
目の着色画素上にある第2色目の着色樹脂層のみを蒸散
させる。このようにして、第1色目の着色画素5が形成
された透明基板1上に、第2色目の着色画素7を形成す
る〔図2(D)〜(F)参照〕。
Next, in the same manner as when the first colored pixel 5 is formed, the laser light 3 is irradiated to a portion other than the region where the second colored pixel is formed, and the second colored pixel 7 is formed. (See FIGS. 2E to 2F). Here, since there is an area where the first color pixel 5 exists below the second color resin layer 61, the number of laser light pulse shots is controlled to thereby control the second color resin layer 61. Is evaporated, leaving the first colored pixel 5 underneath. For this purpose, the depth and the etch rate of the vaporization per one shot of the laser beam are measured in advance, and the thickness of the colored resin layer of the second color is separately measured to evaporate only the second color. The number of shots necessary for this is determined, and pulses are radiated by the number of shots to evaporate only the second color resin layer on the first color pixels. In this manner, the second color pixel 7 is formed on the transparent substrate 1 on which the first color pixel 5 is formed (see FIGS. 2D to 2F).

【0032】第1色目及び第2色目とは異なる色相の
着色樹脂層が形成された転写用材料を用いて、と同様
の工程を繰り返すことにより、第3色目の着色画素9を
形成する。すなわち、第3色目の着色樹脂層を形成した
転写用材料(図示せず)を用いて、第3色目の着色樹脂
層8を第1色目の着色画素5及び第2色目の着色画素
(7)が形成されている透明基板1の上に転写する〔図
2(G)参照〕。転写法により着色樹脂層8を形成して
いるため、基板上の第3色目の着色樹脂層82の厚さ
と、第1色目の着色画素5及び第2色目の着色画素7上
の第3色目の着色樹脂層81の膜厚は等しくなる。
By using a transfer material on which a colored resin layer having a hue different from the first color and the second color is formed, the same steps as those described above are repeated, thereby forming a third color pixel 9. That is, using the transfer material (not shown) on which the third color resin layer is formed, the third color resin layer 8 is converted to the first color pixel 5 and the second color pixel (7). Is transferred onto the transparent substrate 1 on which is formed [see FIG. 2 (G)]. Since the colored resin layer 8 is formed by the transfer method, the thickness of the third colored resin layer 82 on the substrate and the third colored pixel 5 on the first colored pixel 5 and the second colored pixel 7 on the second colored pixel 7 are determined. The thickness of the colored resin layer 81 becomes equal.

【0033】次いで、第1色目の着色画素5を形成した
ときと同様にして、レーザー光3を第3色目の着色画素
を形成させる領域以外の部分に照射し、第3色目の着色
画素9を形成する〔図2(H)〜(I)参照〕。ここ
で、第3色目の着色樹脂層81の下に第1色目の着色画
素5及び第2色目の着色画素7がある領域が存在するた
め、レーザー光のパルスのショット数を制御することに
より、第3色目の着色樹脂層81のみを蒸散させ、その
下にある第1色目の着色画素5及び第2色目の着色画素
7を残す。そのために、レーザー光のパルス1ショット
当たりの蒸散の深さ、エッチレートを予め測定してお
き、第3色目の着色樹脂層の膜厚を、別途測定すること
により、第3色目のみを蒸散させるのに必要なショット
数を求め、そのショット数だけパルスを照射し、第1色
目の着色画素及び第2色目の着色画素上にある第3色目
の着色樹脂層のみを蒸散させる。
Next, in the same manner as when the first colored pixel 5 is formed, the laser light 3 is applied to a portion other than the region where the third colored pixel is formed, and the third colored pixel 9 is formed. It is formed (see FIGS. 2H to 2I). Here, since the area where the first color pixel 5 and the second color pixel 7 exist under the third color resin layer 81, by controlling the number of shots of the laser light pulse, Only the third color resin layer 81 is evaporated, leaving the first color pixels 5 and the second color pixels 7 thereunder. For this purpose, the depth and etch rate of the laser beam per one shot of the laser beam are measured in advance, and the thickness of the colored resin layer of the third color is separately measured to evaporate only the third color. The number of shots required for this is determined, and pulses are irradiated by the number of shots, and only the third color resin layer on the first color pixels and the second color pixels is evaporated.

【0034】このようにして、第1色目の着色画素5及
び第2色目の着色画素7が形成された透明基板1上に、
第3色目の着色画素7を形成する〔図2(G)〜(I)
参照〕。このようにして、3つの色相の着色画素がパタ
ーン状に形成されたカラーフィルタを得ることができる
〔図2(I)参照〕。
In this manner, on the transparent substrate 1 on which the first color pixel 5 and the second color pixel 7 are formed,
Form a third colored pixel 7 [FIGS. 2 (G) to 2 (I)].
reference〕. In this manner, a color filter in which colored pixels of three hues are formed in a pattern can be obtained (see FIG. 2I).

【0035】(作用)本発明によれば、着色樹脂層を転
写法によって基板上に形成するため、2色目以降を形成
する際に、基板上と前色の着色画素上とで着色樹脂層の
厚さが等しくなり、レーザー光による加工を行う際に、
前色の着色画素が削られて薄くなることがなく、平坦性
に優れたカラーフィルタを得ることができる。また、着
色樹脂層を光または熱で硬化させているので、染料の滲
み出し等の問題がない。
(Function) According to the present invention, since the colored resin layer is formed on the substrate by the transfer method, when forming the second and subsequent colors, the colored resin layer is formed on the substrate and on the colored pixels of the previous color. When the thickness becomes equal and processing by laser light is performed,
A color filter having excellent flatness can be obtained without the colored pixels of the previous color being shaved and becoming thin. Further, since the colored resin layer is cured by light or heat, there is no problem such as seepage of dye.

【0036】[0036]

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明に
ついてより具体的に説明する。なお、部及び%は、特に
断りのない限り、重量基準である。
The present invention will be described more specifically below with reference to examples and comparative examples. Parts and percentages are by weight unless otherwise specified.

【0037】[実施例1](転写用材料の作製及び転写
法) 先ず、アクリル樹脂溶液を作製した。 アクリル酸・・・・・・・・・・・・・・・288部 スチレン・・・・・・・・・・・・・・・・300部 n−ブチルアクリレート・・・・・・・・・255部 2−ヒドロキシエチルアクリレート・・・・157部 t−ブチルパーオキシベンゾエート・・・・100部 上記モノマーと重合開始剤との混合物を、フラスコ中に
て、110℃に加熱した2−ブトキシエタノール100
0部中に、攪拌下で2時間かけて滴下した後、同温度に
2時間保持して、固形分50%のアクリル樹脂溶液を作
製した。
Example 1 (Preparation of Transfer Material and Transfer Method) First, an acrylic resin solution was prepared. Acrylic acid 288 parts Styrene 300 parts n-butyl acrylate 255 parts 2-hydroxyethyl acrylate 157 parts t-butylperoxybenzoate 100 parts A mixture of the above monomer and polymerization initiator was heated to 110 ° C. in a flask. Ethanol 100
After dropping into 0 parts under stirring over 2 hours, the mixture was kept at the same temperature for 2 hours to prepare an acrylic resin solution having a solid content of 50%.

【0038】次に、以下の組成により着色樹脂組成物を
作製した。 <赤> 染料: C.I.SOLVENT RED 125・・・・・・・・2.02% C.I.SOLVENT YELLOW 62・・・・・・2.27% バインダー:50%アクリル樹脂溶液・・・・・・・・・・10.00% 熱硬化剤:ヘキサメチロールメラミン・・・・・・・・・・・4.64% 溶媒:酢酸イソブチル・・・・・・・・・・・・・・・・・81.07%
Next, a colored resin composition was prepared according to the following composition. <Red> Dye: C.I. I. SOLVENT RED 125 ... 2.02% C.I. I. SOLVENT YELLOW 62: 2.27% Binder: 50% acrylic resin solution: 10.00% Thermosetting agent: hexamethylol melamine ··· 4.64% Solvent: isobutyl acetate ······ 81.07%

【0039】 <緑> 染料: C.I.SOLVENT YELLOW 82・・・・・2.64% C.I.SOLVENT BLUE 44・・・・・・・1.32% C.I.SOLVENT BLUE 38・・・・・・・1.29% バインダー:50%アクリル樹脂溶液・・・・・・・・・12.25% 熱硬化剤:ヘキサメチロールメラミン・・・・・・・・・・5.68% 溶媒:酢酸イソブチル・・・・・・・・・・・・・・・・76.82%<Green> Dye: C.I. I. SOLVENT YELLOW 82: 2.64% C.I. I. SOLVENT BLUE 44 1.32% C.I. I. SOLVENT BLUE 38 1.29% Binder: 50% acrylic resin solution 12.25% Thermosetting agent: hexamethylolmelamine * 5.68% Solvent: isobutyl acetate ... 76.82%

【0040】 <青> 染料: C.I.SOLVENT BLUE 45・・・・・・・2.61% C.I.SOLVENT BLUE 44・・・・・・・0.44% バインダー:50%アクリル樹脂溶液・・・・・・・・・・7.11% 熱硬化剤:ヘキサメチロールメラミン・・・・・・・・・・3.30% 溶媒:酢酸イソブチル・・・・・・・・・・・・・・・・86.54%<Blue> Dye: C.I. I. SOLVENT BLUE 45... 2.61% C.I. I. SOLVENT BLUE 44 0.44% Binder: 50% acrylic resin solution 7.11% Thermosetting agent: hexamethylolmelamine ··· 3.30% Solvent: isobutyl acetate ········ 86.54%

【0041】上記各成分を2時間スターラーにより攪拌
し、各着色樹脂組成物を作製した。各着色樹脂組成物
を、フィルムコーターを用いて膜厚100μmのポリエ
チレンテレフタレート(PET)フィルム上に、塗布、
乾燥し、膜厚1μmの着色樹脂層を形成した。さらに、
上記着色樹脂層の上に厚さ12μmのポリプロピレン被
覆シートを圧着し、転写用材料を作製した。各転写用材
料を用いて、以下の方法で基板に転写した。転写用材料
から被覆シートを剥離し、次いで、着色樹脂層面を透明
ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラ
ミネータ(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8k
g/cm)、加熱(130℃)して貼り合わせた。仮支
持体(PETフィルム)を剥離し、除去した後、200
℃で10分間加熱して着色樹脂層を硬化させた。
Each of the above components was stirred with a stirrer for 2 hours to prepare each colored resin composition. Each colored resin composition was applied on a 100 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film using a film coater,
After drying, a colored resin layer having a thickness of 1 μm was formed. further,
A polypropylene coated sheet having a thickness of 12 μm was pressed on the colored resin layer to prepare a transfer material. Using each transfer material, it was transferred to a substrate by the following method. The coated sheet was peeled off from the transfer material, and then the colored resin layer surface was pressed (0.8 k) using a laminator (VP-II, manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) on a transparent glass substrate (1.1 mm thick).
g / cm) and heated (130 ° C). After peeling off and removing the temporary support (PET film), 200
The colored resin layer was cured by heating at 10 ° C. for 10 minutes.

【0042】[実施例2](転写用材料の作製及び転写
法) 以下の組成により着色樹脂組成物を作製した。 <赤> 染料: C.I.SOLVENT RED 125・・・・・・・2.02% C.I.SOLVENT YELLOW 62・・・・・2.27% 光重合性樹脂: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸 共重合体(モル比=72/28、分子量3万)・・・・・・3.46% ペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・・・・・3.28% 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4− (N,N−ジエトキシカルボニルメチル)−3−ブ ロモフェニル]−S−トリアジン・・・・・・・・・・・・0.15% 溶媒: メトキシプロピルアセテート・・・・・・・・・・・・35.76% メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・53.06%
Example 2 (Preparation of Transfer Material and Transfer Method) A colored resin composition was prepared according to the following composition. <Red> Dye: C.I. I. SOLVENT RED 125 ... 2.02% C.I. I. SOLVENT YELLOW 62: 2.27% Photopolymerizable resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 72/28, molecular weight 30,000): 3.46% pentaerythritol hexa Acrylate 3.28% 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -S-triazine 0.15% Solvent: methoxypropyl acetate 35.76% Methyl ethyl ketone・ 53.06%

【0043】 <緑> 染料: C.I.SOLVENT YELLOW 82・・・・・2.64% C.I.SOLVENT BLUE 44・・・・・・・1.32% C.I.SOLVENT BLUE 38・・・・・・・1.29% 光重合性樹脂: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸 共重合体(モル比=72/28、分子量3万)・・・・・・3.82% ペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・・・・・2.88% 2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルス チリル)−1,3,4,−オキサジアゾール・・・・・・・0.14% 溶媒: メトキシプロピルアセテート・・・・・・・・・・・・35.39% メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・52.52%<Green> Dye: C.I. I. SOLVENT YELLOW 82: 2.64% C.I. I. SOLVENT BLUE 44 1.32% C.I. I. SOLVENT BLUE 38 1.29% Photopolymerizable resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 72/28, molecular weight 30,000) ... 3.82% pentane Erythritol hexaacrylate 2.88% 2-Trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4, -oxadiazole 0.14% Solvent : Methoxypropyl acetate 35.39% Methyl ethyl ketone 52.52%

【0044】 <青> 染料: C.I.SOLVENT BLUE 45・・・・・・・2.61% C.I.SOLVENT BLUE 44・・・・・・・0.44% 光重合性樹脂: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸 共重合体(モル比=72/28、分子量3万)・・・・・・3.95% ペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・・・・・3.74% 2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4 −(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)− 3−ブロモフェニル]−S−トリアジン・・・・・・・・・0.18% 溶媒: メトキシプロピルアセテート・・・・・・・・・・・・35.87% メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・53.21%<Blue> Dye: C.I. I. SOLVENT BLUE 45... 2.61% C.I. I. SOLVENT BLUE 44 0.44% Photopolymerizable resin: benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 72/28, molecular weight 30,000) 3.95% pentane Erythritol hexaacrylate 3.74% 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -S-triazine 0.18% Solvent: methoxypropyl acetate 35.87% Methyl ethyl ketone 53.21%

【0045】上記各成分を2時間スターラーにより攪拌
し、各着色樹脂組成物を作製した。この着色樹脂組成物
を、フィルムコーターを用いて膜厚100μmのポリエ
チレンテレフタレート(PET)フィルム上に、塗布、
乾燥し、膜厚1μmの着色樹脂層を形成した。さらに、
上記着色樹脂層の上に厚さ12μmのポリプロピレン被
覆シートを圧着し、転写用材料を作製した。各転写用材
料を用いて、以下の方法で着色樹脂層を基板に転写し
た。転写用材料から被覆シートを剥離し、次いで、着色
樹脂層面を透明ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネ
ーター(大成ラミネータ(株)製VP−II)を用いて
加圧(0.8kg/cm)、加熱(130℃)して貼り
合わせた。次に、仮支持体を剥離し、除去した後、超高
圧水銀灯(3kW)を用いて光を全面に照射して着色樹
脂層を硬化させた。
Each of the above components was stirred with a stirrer for 2 hours to prepare each colored resin composition. This colored resin composition was applied on a 100 μm-thick polyethylene terephthalate (PET) film using a film coater,
After drying, a colored resin layer having a thickness of 1 μm was formed. further,
A polypropylene coated sheet having a thickness of 12 μm was pressed on the colored resin layer to prepare a transfer material. Using each transfer material, the colored resin layer was transferred to the substrate by the following method. The coated sheet was peeled off from the transfer material, and then the colored resin layer surface was pressed (0.8 kg / cm) on a transparent glass substrate (1.1 mm thick) using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.). ) And heating (130 ° C.) for bonding. Next, after the temporary support was peeled off and removed, the entire surface was irradiated with light using an ultra-high pressure mercury lamp (3 kW) to cure the colored resin layer.

【0046】[実施例3](カラーフィルタの作製) 赤の転写用材料を用いて、Cr薄膜の幅30μmのブラ
ックマトリクスが形成されている10cm角の無アルカ
リガラス基板1に、実施例1に従って転写して赤の着色
樹脂層2を得た。着色樹脂層2の膜厚を、接触式表面粗
さ計DEKTAKIIA(Sloan社製)により測定
したところ、1.0μmであった。この着色樹脂層2
を、レーザー光3により加工するために、予め上記着色
樹脂層と同じ膜をレーザーにより加工し、条件出しを行
った。レーザーの加工条件は次の通りである。 ・レーザー加工機(ルモニクス(株) PM−848) ・波長:248nm(KrFエキシマレーザ) ・パルスエネルギー:300mJ/cm2 ・繰り返し:10Hz
Example 3 (Preparation of Color Filter) Using a red transfer material, a 10 cm square non-alkali glass substrate 1 on which a black matrix of a Cr thin film having a width of 30 μm was formed according to Example 1. The transfer was performed to obtain a red colored resin layer 2. The thickness of the colored resin layer 2 measured by a contact surface roughness meter DEKTAKIIA (manufactured by Sloan) was 1.0 μm. This colored resin layer 2
In order to process with a laser beam 3, the same film as the above-mentioned colored resin layer was previously processed with a laser, and conditions were determined. The laser processing conditions are as follows.・ Laser processing machine (Lumonics Corporation PM-848) ・ Wavelength: 248 nm (KrF excimer laser) ・ Pulse energy: 300 mJ / cm 2・ Repetition: 10 Hz

【0047】上記加工条件により、着色樹脂層を加工し
た場合、1パルスで0.2μmの厚みが蒸散することが
分かった。従って、上記赤の着色樹脂層を1.0μm蒸
散させるためには、同一領域に5ショット照射すればよ
いことが分かった。そこで、上記着色樹脂層2にフォト
マスク4を介し、上記加工条件により同一領域に5ショ
ットのレーザー光3を照射し、100×300μmの赤
のストライプの着色画素5を形成した。
Under the above processing conditions, when the colored resin layer was processed, it was found that a thickness of 0.2 μm was evaporated by one pulse. Therefore, in order to evaporate the red colored resin layer by 1.0 μm, it was found that the same region should be irradiated with 5 shots. Therefore, the same area was irradiated with five shots of laser light 3 through the photomask 4 on the colored resin layer 2 under the above processing conditions, thereby forming a colored pixel 5 having a 100 × 300 μm red stripe.

【0048】次に、緑の転写用材料を用いて、上記赤の
着色画素5が形成されている基板1上に転写し、緑の着
色樹脂層6を形成した。その膜厚を測定したところ、
1.0μmであった。予め緑の着色樹脂層のパルス当た
りの蒸散膜厚を測定しておいたところ、赤の着色樹脂層
を加工したときと同じ照射条件で、0.2μm/パルス
であった。よって、この基板上、及び赤の着色画素上に
ある緑の着色樹脂層を加工するためには、同一領域に5
ショット照射すればよく、実際にフォトマスク4を介
し、レーザー光3を5ショット照射し、赤の着色画素5
の隣に、赤と同一サイズの緑の着色画素7を形成した。
Next, using a green transfer material, the transfer was performed on the substrate 1 on which the red colored pixels 5 were formed, thereby forming a green colored resin layer 6. When the film thickness was measured,
It was 1.0 μm. The vaporized film thickness per pulse of the green colored resin layer was measured in advance, and it was 0.2 μm / pulse under the same irradiation conditions as when the red colored resin layer was processed. Therefore, in order to process the green colored resin layer on this substrate and on the red colored pixels, 5
It is sufficient to irradiate the laser light 3 through the photomask 4 for 5 shots.
, A green colored pixel 7 of the same size as red was formed.

【0049】最後に青の転写用材料を用いて、上記、
赤、緑の着色画素が形成されている基板1上に転写し、
青の着色樹脂層8を形成した。その膜厚を測定したとこ
ろ、1.0μmであった。予め青の着色樹脂層のパルス
当たりの蒸散膜厚を測定しておいたところ、赤、青の着
色樹脂層を加工したときと同じ照射条件で0.2μm/
パルスであった。よって、この基板上、及び赤、緑の着
色画素上にある青の着色樹脂層を加工するためには、同
一領域に5ショット照射すればよく、実際にフォトマス
ク4を介し、レーザー光3を5ショット照射し、赤、緑
の着色画素の隣に、赤、緑と同一サイズの青の着色画素
9を形成した。
Finally, using a blue transfer material,
Transferred onto the substrate 1 on which the red and green colored pixels are formed,
A blue colored resin layer 8 was formed. When the film thickness was measured, it was 1.0 μm. When the evaporation film thickness per pulse of the blue colored resin layer was measured in advance, it was found to be 0.2 μm / mm under the same irradiation conditions as when the red and blue colored resin layers were processed.
It was a pulse. Therefore, in order to process the blue colored resin layer on this substrate and on the red and green colored pixels, the same region may be irradiated with five shots, and the laser light 3 is actually applied through the photomask 4. By irradiating 5 shots, a blue colored pixel 9 having the same size as red and green was formed next to the red and green colored pixels.

【0050】上記のようにして得られたカラーフィルタ
のコントラストを、以下のようにして評価した。すなわ
ち、カラーフィルタを2枚の偏光板ではさみ、ライトボ
ックス上に置く。正面輝度を輝度計(ミノルタ(株)製
LS−110)で測定したとき、輝度(偏光板の偏光軸
平行)/輝度(偏光板の偏光軸直交)の値をコントラス
トと定義すると、本発明のカラーフィルタのコントラス
トは2430であり、充分なコントラストを有してい
た。
The contrast of the color filter obtained as described above was evaluated as follows. That is, the color filter is sandwiched between two polarizing plates and placed on a light box. When the front luminance is measured by a luminance meter (LS-110, manufactured by Minolta Co., Ltd.), if the value of luminance (parallel to the polarizing axis of the polarizing plate) / luminance (perpendicular to the polarizing axis of the polarizing plate) is defined as contrast, the present invention The contrast of the color filter was 2430, indicating a sufficient contrast.

【0051】[比較例1]着色樹脂として、従来の顔料
分散法によるカラーレジスト〔積水ファインケミカル
(株)製RW−301(R,G,B)〕を用いた。実施
例3と同じガラス基板に、第1色目として赤の着色樹脂
であるRW−301Rを、スピンコーターにより塗布
し、これを80℃のホットプレートの上に1分間置き乾
燥させ、次いで、オーブン内で150℃において30分
間ベークすることにより塗膜を硬化させた。このとき、
塗膜の膜厚は1.0μmであった。得られた赤の着色樹
脂層を、実施例3と同様にKrFのエキシマレーザーに
より蒸散させ、赤の着色画素を形成した。このとき、着
色樹脂層をすべて蒸散させるのに要したパルス数は、1
箇所当たり5ショットであった。このようにして、基板
全体に100×300μmの赤の着色画素を形成した。
[Comparative Example 1] A color resist [RW-301 (R, G, B) manufactured by Sekisui Fine Chemical Co., Ltd.] was used as a coloring resin by a conventional pigment dispersion method. RW-301R, which is a red colored resin as the first color, was applied to the same glass substrate as in Example 3 by a spin coater, and this was placed on a hot plate at 80 ° C. for 1 minute, dried, and then placed in an oven. The coating was cured by baking at 150 ° C. for 30 minutes. At this time,
The thickness of the coating film was 1.0 μm. The obtained red colored resin layer was evaporated by a KrF excimer laser in the same manner as in Example 3 to form red colored pixels. At this time, the number of pulses required to evaporate the entire colored resin layer was 1
There were 5 shots per location. In this way, red colored pixels of 100 × 300 μm were formed on the entire substrate.

【0052】次に、緑の着色樹脂としてRW−301R
を、この赤の画素が形成されている基板の上から、同様
の塗布条件で塗布し、100℃のホットプレート上に3
分間置き、乾燥させて緑の塗膜を得た。このとき、緑の
塗膜厚さは、基板上では1.0μm、赤の画素上では
0.6μmであった。すなわち、赤と緑の2層で1.6
μmであることが分かった。予め、実施例と同じレーザ
ー照射条件における、赤および緑の塗膜の単位パルス当
たりの蒸散する深さ、すなわちエッチレートを測定した
ところ、赤、緑ともに0.2μm/パルスであった。従
って、基板上の緑の塗膜を蒸散させるためには、レーザ
ー光のパルスを5ショット照射すればよいことが分かっ
た。そこで、フォトマスクを介し、同一領域にレーザー
光を5ショット照射し、赤の着色画素の隣に、赤と同一
サイズの緑の着色画素を形成した。このとき画素の厚み
は、緑が1.0μm、赤は0.6μmであった。
Next, RW-301R is used as a green colored resin.
Is applied under the same application conditions from above the substrate on which the red pixels are formed, and is applied on a hot plate at 100 ° C.
And dried to obtain a green coating. At this time, the thickness of the green coating film was 1.0 μm on the substrate and 0.6 μm on the red pixels. That is, 1.6 in two layers of red and green
μm. When the evaporation depth per unit pulse of the red and green coatings, that is, the etch rate, under the same laser irradiation conditions as in the example was measured in advance, it was 0.2 μm / pulse for both red and green. Therefore, in order to evaporate the green coating film on the substrate, it was found that five pulses of laser light should be irradiated. Therefore, the same region was irradiated with laser light for 5 shots via a photomask, and a green colored pixel having the same size as red was formed next to the red colored pixel. At this time, the thickness of the pixel was 1.0 μm for green and 0.6 μm for red.

【0053】最後に青の着色樹脂としてRW−301R
を用いて、前2色と同様の条件で青の塗膜を形成した。
このとき、青の塗膜厚さは基板上では1.0μm、R及
びBの塗膜上では、いずれも0.6μmであった。青の
エッチレートは、前2色と同様0.2μm/パルスであ
ったので、画素上の不要な青塗膜を蒸散させるために
は、レーザー光のパルスを3ショット照射すればよいこ
とが分かった。そこで、フォトマスクを介し、同一領域
にレーザー光を3ショット照射し、赤の着色画素の隣
に、赤と同一サイズの緑の着色画素を形成した。このよ
うにして作製したカラーフィルタの各画素厚みは、赤が
0.6μm、緑および青が1.0μmであり。赤による
段差が著しかった。また、このカラーフィルタのコント
ラストを測定したところ450であり、コントラスト不
足であった。
Finally, RW-301R is used as a blue colored resin.
Was used to form a blue coating film under the same conditions as in the previous two colors.
At this time, the thickness of the blue coating film was 1.0 μm on the substrate, and 0.6 μm on both the R and B coating films. Since the etch rate of blue was 0.2 μm / pulse as in the previous two colors, it was found that in order to evaporate an unnecessary blue coating film on the pixel, it was sufficient to irradiate three pulses of laser light. Was. Therefore, the same region was irradiated with three shots of laser light via a photomask, and a green colored pixel having the same size as red was formed next to the red colored pixel. The thickness of each pixel of the color filter thus manufactured is 0.6 μm for red and 1.0 μm for green and blue. The step by red was remarkable. The contrast of this color filter was measured to be 450, which was insufficient.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明によれば、以下のような顕著な効
果を奏することができる。 レーザーアブレーションにより、ドライプロセスで着
色画素を形成するため、ウエットプロセス特有の廃液処
理や現像液からのダストの混入などの問題点がなく、歩
留まりが向上する。 着色層が、感光性である必要がなく、耐熱性、耐溶剤
性に優れた広範な材料を用いることができ、着色剤とし
て染料を用いるので、分光特性、コントラストに優れ
る。 着色樹脂層を転写法によって基板上に形成するため、
2色目以降を形成する際に、基板上と前色の着色画素上
とで着色樹脂層の厚さが等しくなり、レーザー加工を行
う際に前色の着色画素が削られて薄くなることなく、平
坦性に優れたカラーフィルタを得ることができる。
According to the present invention, the following remarkable effects can be obtained. Since the colored pixels are formed by a dry process by laser ablation, there is no problem such as waste liquid treatment unique to the wet process and mixing of dust from the developer, and the yield is improved. The coloring layer does not need to be photosensitive, and a wide range of materials having excellent heat resistance and solvent resistance can be used. Since a dye is used as a coloring agent, the spectral characteristics and contrast are excellent. In order to form a colored resin layer on a substrate by a transfer method,
When forming the second and subsequent colors, the thickness of the colored resin layer is equal on the substrate and on the colored pixel of the previous color, and when the laser processing is performed, the colored pixel of the previous color is not shaved and thinned. A color filter having excellent flatness can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】転写用材料を透明基板上に転写する工程を模式
的に表した図である。
FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a step of transferring a transfer material onto a transparent substrate.

【図2】レーザー加工法によるカラーフィルタ製造工程
を模式的に表した図である。
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a color filter manufacturing process by a laser processing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:転写用材料 11:仮支持体 12:着色樹脂層 13:透明基板 1:透明基板 2:第1色目の着色樹脂層 3:レーザー光 4:フォトマスク 5:第1色目の着色画素 6:第2色目の着色樹脂層 61:第2色目の着色樹脂層(画素上) 62:第2色目の着色樹脂層(基板上) 7:第2色目の着色画素 8:第3色目の着色樹脂層 81:第3色目の着色樹脂層(画素上) 82:第3色目の着色樹脂層(基板上) 9:第3色目の着色画素 10: Transfer material 11: Temporary support 12: Colored resin layer 13: Transparent substrate 1: Transparent substrate 2: First colored resin layer 3: Laser light 4: Photomask 5: First colored pixel 6: Second colored resin layer 61: Second colored resin layer (on the pixel) 62: Second colored resin layer (on the substrate) 7: Second colored pixel 8: Third colored resin layer 81: Third colored resin layer (on the pixel) 82: Third colored resin layer (on the substrate) 9: Third colored pixel

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (1)仮支持体上に、染料を含有する着
色樹脂層を設けた転写用材料を調製し、(2)該転写用
材料を着色樹脂層面で透明基板上に加熱圧着させた後、
(3)仮支持体を剥離して、着色樹脂層が転写された透
明基板を得、(4)次いで、着色樹脂層を硬化させた
後、(5)着色樹脂層の上から、レーザー光を着色画素
となる領域以外の部分に照射して、被照射部分の着色樹
脂層を蒸散させることにより、パターン状の着色樹脂層
からなる着色画素を形成する工程を含むカラーフィルタ
の製造方法。
(1) A transfer material in which a colored resin layer containing a dye is provided on a temporary support is prepared, and (2) the transfer material is heated and pressed on a transparent substrate on the surface of the colored resin layer. After
(3) The temporary support is peeled off to obtain a transparent substrate to which the colored resin layer has been transferred. (4) Then, after the colored resin layer is cured, (5) laser light is applied from above the colored resin layer. A method for manufacturing a color filter, comprising a step of irradiating a portion other than a region to be a colored pixel to evaporate a colored resin layer in an irradiated portion to form a colored pixel formed of a patterned colored resin layer.
【請求項2】 (I)透明基板上に、第1色目の着色樹
脂層を形成し、次いで、レーザー光を第1色目の着色画
素となる領域以外の部分に照射して、被照射部分の着色
樹脂層を蒸散させることにより、パターン状の着色樹脂
層からなる第1色目の着色画素を形成する工程、(I
I)第1色目の着色画素上を含む透明基板の全面に、第
2色目の着色樹脂層を形成し、次いで、レーザー光を第
2色目の着色画素となる領域以外の部分に照射して、被
照射部分の着色樹脂層を蒸散させることにより、パター
ン状の着色樹脂層からなる第2色目の着色画素を形成
し、その際、レーザー光の出力を制御して、第1色目の
着色画素を残して、その上に形成された第2色目の着色
樹脂層を蒸散させる工程、及び(III)必要に応じ
て、前記(II)と同様の工程により、第3色目以降の
必要色数の着色画素を形成する工程を含むカラーフィル
タの製造方法において、少なくとも工程(II)以降の
各工程で、透明基板上に各色の着色樹脂層を形成するに
際し、(1)仮支持体上に、染料を含有する着色樹脂層
を設けた転写用材料を調製し、(2)該転写用材料を着
色樹脂層面で透明基板上に加熱圧着させた後、(3)仮
支持体を剥離して、着色樹脂層が転写された透明基板を
得、(4)次いで、着色樹脂層を硬化させることを特徴
とするカラーフィルタの製造方法。
2. (I) A first colored resin layer is formed on a transparent substrate, and then a laser beam is irradiated to a portion other than a region to be a first colored pixel to form a first colored resin layer. A step of forming a colored pixel of the first color composed of a patterned colored resin layer by evaporating the colored resin layer, (I
I) Forming a second colored resin layer on the entire surface of the transparent substrate including the first colored pixels, and then irradiating a portion other than the region to be the second colored pixels with a laser beam, By evaporating the colored resin layer in the irradiated portion, a second colored pixel composed of a patterned colored resin layer is formed. At this time, the output of the laser beam is controlled to form the first colored pixel. The step of evaporating the second color resin layer formed thereon, and (III) if necessary, the same number of steps as in the above (II) to color the required number of the third and subsequent colors. In a method for manufacturing a color filter including a step of forming a pixel, in forming a colored resin layer of each color on a transparent substrate at least in each step after the step (II), (1) dye is added on the temporary support. Transfer material provided with a colored resin layer containing (2) The transfer material is heated and pressed on a transparent substrate on the surface of the colored resin layer, and (3) the temporary support is peeled off to obtain a transparent substrate on which the colored resin layer has been transferred. Next, a method for producing a color filter, comprising curing the colored resin layer.
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