JPH109820A - Method and equipment for measuring eccentricity of information recording disc - Google Patents

Method and equipment for measuring eccentricity of information recording disc

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JPH109820A
JPH109820A JP18154196A JP18154196A JPH109820A JP H109820 A JPH109820 A JP H109820A JP 18154196 A JP18154196 A JP 18154196A JP 18154196 A JP18154196 A JP 18154196A JP H109820 A JPH109820 A JP H109820A
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JP
Japan
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center
eccentricity
information recording
signal
magnetic disk
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JP18154196A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuya Suzuki
一也 鈴木
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH109820A publication Critical patent/JPH109820A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure the eccentricity easily and accurately in a short time by measuring the eccentricity based on the coordinates at the centers of the information recording region, and the inner and outer circumferential fringes of an information recording disc. SOLUTION: A magnetic disc 1 is mounted on a rotary disc 112 and turned at a predetermined period. A pickup drive section 122 shifts an optical pickup 121 to an arbitrary position of a data track DT and delivers a tracking signal for 1 turn while a spindle motor 111 detects the GP transmitting position of the rotary disc 112 and generates a GP signal. Based on a radial displacement signal detected 132a from these signals, a signal analyzing section 132a determines the radial displacement of the track DT (difference between the center of rotation A and the center of the track). Similarly, the differences determined between the centers N, G (center of outside diameter) of the inner and outer fringes of the disc 1) and the center of rotation A. Finally, the distance between the center of track T and the center of inside diameter N is measured as the eccentricity of the disc 1 at the time of conversion into a spatial coordinate having the center of outside diameter G as the center of coordinate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、予め形成されて
いる情報記録領域にデータやプログラム等の情報が記録
される情報記録ディスクの偏心を測定する方法及びその
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for measuring the eccentricity of an information recording disk on which information such as data and programs is recorded in an information recording area formed in advance.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばコンピュータシステムにおいて
は、情報記録ディスク装置としてハードディスク装置が
用いられている。このハードディスク装置に内蔵されて
いる情報記録ディスクである磁気ディスクの両表面には
磁性膜が成膜されており、磁気ディスクの表面上を浮上
するヘッドスライダに搭載されている磁気ヘッドによ
り、磁性膜にデータ等がトラック状に記録され、また磁
性膜にトラック状に記録されたデータ等が再生されるよ
うになっている。
2. Description of the Related Art For example, in a computer system, a hard disk device is used as an information recording disk device. Magnetic films are formed on both surfaces of a magnetic disk, which is an information recording disk built in this hard disk device, and the magnetic head is mounted on a head slider floating above the surface of the magnetic disk. And the like are recorded in a track shape, and the data and the like recorded in the track shape on the magnetic film are reproduced.

【0003】近年、ハードディスク装置の小型化及び大
記録容量化が望まれており、これを実現するためには、
磁気ヘッドの位置決め精度、即ちトラッキング精度を向
上させる必要がある。通常のトラッキングサーボは、磁
気ディスク上に書き込まれているトラッキング信号を磁
気ヘッドによって読み出し、このトラッキング信号に基
づいてヘッドスライダの移動を制御して磁気ヘッドをト
ラックの中央に位置決めする方式が採られている。
In recent years, miniaturization and large recording capacity of hard disk drives have been desired.
It is necessary to improve the positioning accuracy of the magnetic head, that is, the tracking accuracy. In a normal tracking servo, a tracking signal written on a magnetic disk is read by a magnetic head, and the movement of a head slider is controlled based on the tracking signal to position the magnetic head at the center of the track. I have.

【0004】このトラッキングサーボ方式によるトラッ
キング精度は、磁気ヘッドによる磁気ディスク上へのト
ラッキング信号の書き込み精度によって左右されるた
め、トラッキング精度を向上させるには高精度のトラッ
キング信号書き込み専用のヘッド送り機構が必要とな
る。ところが、このヘッド送り機構は機械式であり、そ
の高精度化には限界があるため、所望のハードディスク
装置の小型化及び大記録容量化を達成することができな
いという問題があった。そこで、磁気ディスクの両表面
に凹凸部で成るデータ記録領域(以下、データゾーンと
いう)と制御信号記録領域(以下、サーボゾーンとい
う)とをそれぞれ放射状に形成した、いわゆるプリエン
ボス型の磁気ディスクが提案されている。
Since the tracking accuracy of the tracking servo system depends on the accuracy of writing a tracking signal on a magnetic disk by a magnetic head, a head feeding mechanism dedicated to writing a high-precision tracking signal is required to improve the tracking accuracy. Required. However, since the head feed mechanism is a mechanical type, and its accuracy is limited, there is a problem that a desired hard disk drive cannot be reduced in size and increased in recording capacity. Therefore, a so-called pre-emboss type magnetic disk in which a data recording area (hereinafter, referred to as a data zone) and a control signal recording area (hereinafter, referred to as a servo zone) formed of uneven portions on both surfaces of the magnetic disk are respectively formed radially. Proposed.

【0005】図7は、上記プリエンボス型の磁気ディス
クの一例を示す平面図、図8はその詳細例を示す平面図
である。この磁気ディスク1の合成樹脂、ガラス、アル
ミニウム等より成る基板の両表面には、凹凸部で成るデ
ータゾーンとサーボゾーンとがそれぞれ放射状に形成さ
れている。
FIG. 7 is a plan view showing an example of the pre-emboss type magnetic disk, and FIG. 8 is a plan view showing a detailed example thereof. On both surfaces of a substrate made of synthetic resin, glass, aluminum, or the like of the magnetic disk 1, a data zone and a servo zone each formed of an uneven portion are formed radially.

【0006】データゾーンには、同心円状であって、デ
ータ等を記録するためのデータトラックDTが凸部とな
るように形成され、隣接するデータトラックDTを区分
するためのガードバンドGBが凹部となるように形成さ
れている。また、サーボゾーンには、サーボクロックを
生成する際の基準となるバ−スト部、データトラックD
Tを特定するためのアドレス部及び磁気ヘッドをトラッ
キング制御するためのファインパタ−ン部等のサーボパ
ターンSPが凸部もしくは凹部となるように形成されて
いる。
[0006] In the data zone, concentric data tracks DT for recording data and the like are formed so as to be convex portions, and guard bands GB for separating adjacent data tracks DT are formed in concave portions. It is formed so that it becomes. In the servo zone, a burst portion serving as a reference when generating a servo clock and a data track D are provided.
Servo patterns SP such as an address portion for specifying T and a fine pattern portion for tracking control of the magnetic head are formed so as to be convex portions or concave portions.

【0007】このデータゾーンとサーボゾーンは、リン
グ状の基板を射出成形する際に、成形用金型に取り付け
られているスタンパにより、基板の外周縁と内周縁との
間の表面に転写形成される。そして、それらの表面に磁
性膜が形成され、凹部と凸部に逆極性m1、m2の信号
が書き込まれる。このように、サーボパターンSPを予
め磁気ディスク1上に凹凸部で形成しているので、この
凹凸部のパターニング精度によりトラッキング精度は左
右される。凹凸部はフォトリソグラフィ等を利用してパ
ターニングされるので、凹凸部のパターニング精度を従
来のヘッド送り機構の送り精度よりも高くすることがで
き、所望のハードディスク装置の小型化及び大記録容量
化を達成することができる。
[0007] The data zone and the servo zone are transferred and formed on the surface between the outer peripheral edge and the inner peripheral edge of the substrate by a stamper attached to a molding die when the ring-shaped substrate is injection-molded. You. Then, a magnetic film is formed on those surfaces, and signals of opposite polarities m1 and m2 are written into the concave and convex portions. As described above, since the servo patterns SP are formed in advance on the magnetic disk 1 with the uneven portions, the tracking accuracy depends on the patterning accuracy of the uneven portions. Since the irregularities are patterned using photolithography or the like, the patterning accuracy of the irregularities can be made higher than the feed accuracy of the conventional head feed mechanism, and the desired hard disk drive can be made smaller and have a larger recording capacity. Can be achieved.

【0008】このような構成のプリエンボス型の磁気デ
ィスク1を用いる場合は、図9に示すように、成形用の
スタンパを作製する際、スタンパを成形用金型に取り付
ける際、スタンパを打ち抜く際等の種々の工程における
位置ズレ誤差(以下、スタンパ関連誤差という)、ある
いは成形された磁気ディスク1の中心孔を打ち抜く際、
磁気ディスク1をスピンドルに取り付ける際等の種々の
工程における位置ズレ誤差(以下、磁気ディスク関連誤
差という)の要因を含んでいるので、最終的にハードデ
ィスク装置に組み込んだときに、リング状のデータトラ
ックDTの中心が、磁気ディスク1の回転中心からずれ
てしまう場合がある。
When the pre-embossed magnetic disk 1 having such a structure is used, as shown in FIG. 9, when a stamper for molding is manufactured, when the stamper is attached to a molding die, and when the stamper is punched out. When punching out a center hole of the formed magnetic disk 1 in a misalignment error (hereinafter, referred to as a stamper-related error) in various processes such as
This includes factors of positional deviation errors (hereinafter referred to as magnetic disk-related errors) in various processes such as when the magnetic disk 1 is mounted on a spindle. The center of the DT may be shifted from the rotation center of the magnetic disk 1.

【0009】このずれによる偏心は、トラッキングサー
ボに悪影響を及ぼすことになるので、上述した各工程に
おいて偏心量をできるだけ小さくし、最終的な偏心量が
所定値以下になるように管理する必要がある。従来のプ
リエンボス型の磁気ディスク1の偏心の測定は、製造工
程の最終段階において、磁気ディスク1をスピンドルに
取り付けて情報を再生し、その再生信号を検出して偏心
量を導出する方法が採られている。
Since the eccentricity due to this shift adversely affects the tracking servo, it is necessary to minimize the amount of eccentricity in each of the above-described steps and manage the final eccentricity to be equal to or less than a predetermined value. . The measurement of the eccentricity of the conventional pre-embossed magnetic disk 1 is performed by, in the final stage of the manufacturing process, mounting the magnetic disk 1 on a spindle to reproduce information, detecting the reproduced signal, and deriving the amount of eccentricity. Have been.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来のプリエンボス型
の磁気ディスク1の偏心の測定方法では、製造工程の最
終段階において初めて偏心量が明らかになり、この偏心
量が所定値以下のもののみが製品として出荷されること
になる。このため、磁気ディスク1の歩留まりが比較的
低くなってしまい、製造コストが高くなってしまうとい
う問題があった。
According to the conventional method for measuring the eccentricity of the pre-embossed magnetic disk 1, the eccentricity is clarified only in the final stage of the manufacturing process. It will be shipped as a product. Therefore, the yield of the magnetic disk 1 is relatively low, and there is a problem that the manufacturing cost is high.

【0011】また、磁気ディスク1をスピンドルに取り
付ける際の取り付け誤差も含んでいるため、リング状の
データトラックDTが本来持っている偏心量を測定する
ことができないという問題もあった。さらに、磁気ディ
スク1の偏心の原因が、スタンパ側にあるのか、磁気デ
ィスク側にあるのかという解明を行うことが困難である
という問題もあった。
[0011] Further, there is also a problem that the eccentricity inherent in the ring-shaped data track DT cannot be measured because of the mounting error when the magnetic disk 1 is mounted on the spindle. Further, there is a problem that it is difficult to determine whether the cause of the eccentricity of the magnetic disk 1 is on the stamper side or the magnetic disk side.

【0012】この発明は、以上の点に鑑み、容易にかつ
短時間で正確な偏心を測定することができる情報記録デ
ィスクの偏心測定方法及びその装置を提供することを目
的としている。
In view of the foregoing, it is an object of the present invention to provide an information recording disk eccentricity measuring method and apparatus capable of easily and accurately measuring eccentricity in a short time.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、情報記録領域が予め形成されている情報記録デ
ィスクの偏心を測定する場合、前記情報記録領域、前記
情報記録ディスクの内周縁及び前記情報記録ディスクの
外周縁に関する中心点の座標位置を、光学手段のトラッ
キング信号から求め、前記各中心点の座標位置に基づい
て、前記情報記録ディスクの偏心を測定することにより
達成される。
According to the present invention, when measuring the eccentricity of an information recording disk on which an information recording area is formed in advance, the information recording area and the inner peripheral edge of the information recording disk are measured. In addition, a coordinate position of a center point with respect to an outer peripheral edge of the information recording disk is obtained from a tracking signal of an optical unit, and the eccentricity of the information recording disk is measured based on the coordinate position of each center point.

【0014】上記構成によれば、光学手段により情報記
録ディスクの偏心を測定するようにしているので、製造
工程の比較的初期の段階で偏心量を明らかにすることが
できる。さらに、情報記録領域、情報記録ディスクの内
周縁及び情報記録ディスクの外周縁に関する中心点の座
標位置をそれぞれ求めてから偏心を測定しているため、
正確な偏心量や偏心原因について解明することが可能と
なる。
According to the above arrangement, since the eccentricity of the information recording disk is measured by the optical means, the amount of eccentricity can be clarified at a relatively early stage of the manufacturing process. Furthermore, since the eccentricity is measured after calculating the coordinate position of the center point with respect to the information recording area, the inner peripheral edge of the information recording disk, and the outer peripheral edge of the information recording disk,
It is possible to clarify the exact amount of eccentricity and the cause of eccentricity.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施形態は、この発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発
明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの形態に限られるもので
はない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention,
Although various technically preferred limitations are given, the scope of the present invention is not limited to these forms unless otherwise specified in the following description.

【0016】図1は、この発明の情報記録ディスクの偏
心測定装置の実施形態を示すブロック図であり、情報記
録ディスクとして図7に示す磁気ディスク1を例として
説明する。この情報記録ディスクの偏心測定装置100
は、回転部110に装着されている磁気ディスク1を計
測部120により計測し、磁気ディスク1の偏心を測定
部130により測定するようになっている。回転部11
0は、スピンドルモータ111に接続されている回転盤
112上に磁気ディスク1を載置固定して回転させるよ
うになっている。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an eccentricity measuring apparatus for an information recording disk according to the present invention, and a magnetic disk 1 shown in FIG. 7 will be described as an example of an information recording disk. This information recording disk eccentricity measuring device 100
The measuring unit 120 measures the magnetic disk 1 mounted on the rotating unit 110, and the eccentricity of the magnetic disk 1 is measured by the measuring unit 130. Rotating part 11
Numeral 0 is for mounting and fixing the magnetic disk 1 on a rotating disk 112 connected to a spindle motor 111 and rotating the disk.

【0017】計測部120は、光学ピックアップ121
をピックアップ駆動部122により磁気ディスク1の半
径方向に移動させ、磁気ディスク1上のデータトラック
DT等の軌跡を光学ピックアップ121により計測する
ようになっている。この光学ピックアップ121は、発
光素子、光学素子及び光検出器等を備えた一般的なもの
であり、磁気ディスク1の表面に対して例えばレーザ光
を照射してその反射光を検出し、磁気ディスク1上のデ
ータトラックDTや磁気ディスク1の内外周縁等のトラ
ッキングを行い、そのトラッキング時の半径方向の変位
を計測するようになっている。
The measuring unit 120 includes an optical pickup 121
Is moved in the radial direction of the magnetic disk 1 by the pickup drive unit 122, and the trajectory of the data track DT or the like on the magnetic disk 1 is measured by the optical pickup 121. The optical pickup 121 is a general one including a light emitting element, an optical element, a photodetector, and the like. The surface of the magnetic disk 1 is irradiated with, for example, a laser beam, and the reflected light is detected. The tracking of the data track DT on the disk 1 and the inner and outer peripheral edges of the magnetic disk 1 and the like is performed, and the displacement in the radial direction during the tracking is measured.

【0018】測定部130は、回転部110及び計測部
120を制御部131により制御し、また回転部110
及び計測部120からの信号を処理部132により検出
し解析し表示するようになっている。そして、制御部1
31及び処理部132をシステムコントローラ133に
より統括制御するようになっている。制御部131は、
システムコントローラ133からのスピンドル制御信号
と、外部からの周波数サーボ信号とを加算器131aで
加算して増幅器131bで増幅し、スピンドルサーボ信
号としてスピンドルモータ111に出力して制御するよ
うになっている。
The measuring unit 130 controls the rotating unit 110 and the measuring unit 120 by the control unit 131, and controls the rotating unit 110
And a signal from the measuring unit 120 is detected, analyzed, and displayed by the processing unit 132. And the control unit 1
The system controller 133 integrally controls the 31 and the processing unit 132. The control unit 131
A spindle control signal from the system controller 133 and an external frequency servo signal are added by an adder 131a, amplified by an amplifier 131b, and output as a spindle servo signal to a spindle motor 111 for control.

【0019】また、システムコントローラ133からの
サーチ制御信号と、光学ピックアップ121から増幅器
131c、マトリックス回路131d及びトラッキング
エラー検出部131eを介したトラッキングエラー信号
とを加算器131fで加算してトラッキングサーボ信号
とし、増幅器131gで増幅して光学ピックアップ12
1に出力してトラッキング制御し、一方、システムコン
トローラ133からのサーチ制御信号と、光学ピックア
ップ121から増幅器131c、マトリックス回路13
1d及びトラッキングエラー検出部131eを介したト
ラッキングエラー信号とを加算器131hで加算し、ピ
ックアップ駆動部122に出力するようになっている。
Further, a search control signal from the system controller 133 and a tracking error signal from the optical pickup 121 via the amplifier 131c, the matrix circuit 131d and the tracking error detecting section 131e are added by an adder 131f to form a tracking servo signal. , The optical pickup 12
1 to perform tracking control. On the other hand, a search control signal from the system controller 133, an amplifier 131c from the optical pickup 121, and a matrix circuit 13
1d and the tracking error signal passed through the tracking error detection unit 131e are added by an adder 131h, and the added result is output to the pickup drive unit 122.

【0020】さらに、フォーカスサーチ部131iから
のフォーカスサーチ信号と、光学ピックアップ121か
ら増幅器131c及びマトリックス回路131dを介し
たフォーカス信号とを加算器131jで加算してフォー
カスサーボ信号とし、増幅器131kで増幅して光学ピ
ックアップ121に出力してフォーカス制御するように
なっている。
Further, the focus search signal from the focus search section 131i and the focus signal from the optical pickup 121 via the amplifier 131c and the matrix circuit 131d are added by an adder 131j to form a focus servo signal, which is amplified by the amplifier 131k. Output to the optical pickup 121 for focus control.

【0021】処理部132は、光学ピックアップ121
からのトラッキング信号と、ピックアップ駆動部122
からの光学ピックアップ121の回転中心Aを基準とし
た半径方向の位置信号とを信号検出部132aで入力し
て半径方向の変位を検出すると共に、スピンドルモータ
111からのPG信号を信号検出部132aで入力する
ようになっている。そして、変位信号及びPG信号を信
号解析部132bで入力し解析して磁気ディスク1の偏
心量及び偏心要因を求め、この磁気ディスク1の偏心量
及び偏心要因を表示部132cに表示するようになって
いる。
The processing section 132 includes an optical pickup 121
Tracking signal from the pickup drive unit 122
And a radial position signal based on the rotation center A of the optical pickup 121 from the optical pickup 121 are input to the signal detecting unit 132a to detect the radial displacement, and the PG signal from the spindle motor 111 is detected by the signal detecting unit 132a. To be entered. Then, the displacement signal and the PG signal are input and analyzed by the signal analysis unit 132b to determine the eccentricity and the eccentricity factor of the magnetic disk 1, and the eccentricity and the eccentricity factor of the magnetic disk 1 are displayed on the display unit 132c. ing.

【0022】このような構成において、その動作例を図
2のフローチャートで説明する。先ず、測定対象である
磁気ディスク1の基準点と回転盤112のPG発信位置
とを一致させながら、磁気ディスク1を回転盤112上
に載置固定して一定周期で回転させる(ステップSTP
1、2)。尚、磁気ディスク1の基準点と回転盤112
のPG発信位置とを一致させることができないときは、
磁気ディスク1の基準点と回転盤112のPG発信位置
との位相差を磁気ディスク1の装着時に確認しておく。
An operation example of such a configuration will be described with reference to a flowchart of FIG. First, the magnetic disk 1 is placed and fixed on the rotary disk 112 and rotated at a constant period while the reference point of the magnetic disk 1 to be measured coincides with the PG transmission position of the rotary disk 112 (step STP).
1, 2). Note that the reference point of the magnetic disk 1 and the rotating disk 112
If you can not match the PG transmission position of
The phase difference between the reference point of the magnetic disk 1 and the PG transmission position of the turntable 112 is confirmed when the magnetic disk 1 is mounted.

【0023】次に、ピックアップ駆動部122は、光学
ピックアップ121を例えば任意のデータトラックDT
の位置に移動させ、そのときの位置信号を信号検出部1
32aへ送出する(ステップSTP4)。制御部131
は、光学ピックアップ121を例えば図4(A)に示す
トラッキング条件に基づいてトラッキング制御する(ス
テップSTP5)。そして、オントラッキング時のディ
スク1周分のトラッキング信号を信号検出部132aへ
送出する(ステップSTP6)。尚、このトラッキング
条件は、0次光のビームスポットを検出するフォトディ
テクタA、Bの出力差が0であって、±1次光のビーム
スポットを検出するフォトディテクタC、Dの出力差が
0となる条件である。
Next, the pickup drive section 122 controls the optical pickup 121 to, for example, an arbitrary data track DT.
And the position signal at that time is detected by the signal detection unit 1.
32a (step STP4). Control unit 131
Controls the optical pickup 121 based on, for example, the tracking condition shown in FIG. 4A (step STP5). Then, a tracking signal for one round of the disk at the time of on-tracking is transmitted to the signal detection unit 132a (step STP6). In this tracking condition, the output difference between the photodetectors A and B for detecting the 0th-order light beam spot is 0, and the output difference between the photodetectors C and D for detecting the ± 1st-order light beam spot is 0. Condition.

【0024】また、スピンドルモータ111は、回転盤
112のPG発信位置が光学ピックアップ121の半径
方向の移動線上に来たときに、PG信号を信号検出部1
32aへ送出する。信号検出部132aは、光学ピック
アップ121からのトラッキング信号に対して2回積分
及びFET等の処理を行い、1次成分のみの抽出を行っ
て図4に示すような半径方向の変位信号を検出する(ス
テップSTP7)。この変位信号は、光学ピックアップ
121により検出された偏心を含んだデータトラックD
Tの軌跡を表している。そして、信号検出部132a
は、ピックアップ駆動部122からの位置信号及びスピ
ンドルモータ111からのPG信号と共に、検出した変
位信号を信号解析部132bへ送出する。
The spindle motor 111 detects the PG signal from the signal detection unit 1 when the PG transmission position of the rotary disk 112 comes on the movement line of the optical pickup 121 in the radial direction.
32a. The signal detection unit 132a performs twice integration and processing of an FET and the like on the tracking signal from the optical pickup 121, extracts only the primary component, and detects a radial displacement signal as shown in FIG. (Step STP7). This displacement signal corresponds to the data track D including the eccentricity detected by the optical pickup 121.
The trajectory of T is shown. Then, the signal detection unit 132a
Sends the detected displacement signal to the signal analyzing unit 132b together with the position signal from the pickup driving unit 122 and the PG signal from the spindle motor 111.

【0025】信号解析部132bは、変位信号の最大値
と、この最大値及び最小値の平均値との差を求めて半径
方向の変位量に換算する。この換算値は、磁気ディスク
1の偏心量に相当し、回転中心AとデータトラックDT
の中心(以下、トラック中心という)Tとの差δtとな
る。また、信号解析部132bは、PG信号が現れてか
ら変位信号の最大値が現れるまでの時間も同時に検出す
る。この時間は、PG信号を基準としたときのトラック
中心Tが現れるまでの位相差θt(=360・最大値出
現時間/1周期時間)となる(ステップSTP8)。
The signal analyzer 132b calculates the difference between the maximum value of the displacement signal and the average of the maximum value and the minimum value, and converts the difference into a radial displacement amount. This converted value corresponds to the amount of eccentricity of the magnetic disk 1, and the rotation center A and the data track DT
(Hereinafter referred to as the track center) T. The signal analyzer 132b also detects the time from the appearance of the PG signal to the appearance of the maximum value of the displacement signal at the same time. This time is the phase difference θt (= 360 · maximum value appearance time / one cycle time) until the track center T appears with reference to the PG signal (step STP8).

【0026】ここで、回転中心AがデータトラックDT
の内部に存在すれば、図5に示すように、回転中心Aか
らデータトラックDTまでの距離が最小となる点Bと最
大となる点Cは必ず直線上に存在し、かつトラック中心
Tは回転中心AからデータトラックDTまでの距離が最
大となる点Cとの間に必ず存在することになる。また、
回転中心Aとトラック中心Tの距離δtは、回転中心A
から点Cまでの距離Cと回転中心Aから点Bまでの距離
Bとの差をさらに2分した値となる。
Here, the rotation center A is the data track DT
5, the point B at which the distance from the rotation center A to the data track DT is the minimum and the point C at which the distance from the rotation center A is the maximum always exist on a straight line, and the track center T is It always exists between the center A and the point C where the distance from the data track DT is maximum. Also,
The distance δt between the rotation center A and the track center T is equal to the rotation center A
From the rotation center A to the point B and the distance B from the rotation center A to the point B.

【0027】このようにして得られる回転中心Aとトラ
ック中心Tとの差δtと、PG信号を基準としたときの
トラック中心Tが現れるまでの位相差θtとから、トラ
ック中心Tは、図6に示すように、回転中心Aを座標中
心(0,0)とした座標空間AA上では(Xt,Yt)
として表現することができる。ここで、回転中心A
(0,0)から任意点(x,y)までの距離をδ、位相
差をθとすると、x,yは数1及び数2で表される。従
って、トラック中心Tの座標点Xt及びYtも、数1及
び数2によって求めることができる。
From the difference .delta.t between the rotation center A and the track center T obtained in this way and the phase difference .theta.t until the track center T appears with reference to the PG signal, the track center T is calculated as shown in FIG. (Xt, Yt) in the coordinate space AA where the rotation center A is the coordinate center (0, 0).
Can be expressed as Here, the rotation center A
Assuming that the distance from (0, 0) to the arbitrary point (x, y) is δ and the phase difference is θ, x and y are expressed by Equations 1 and 2. Therefore, the coordinate points Xt and Yt of the track center T can also be obtained by Expressions 1 and 2.

【数1】 (Equation 1)

【数2】 以上の一連の処理を行うことにより、回転中心Aとトラ
ック中心Tとの関係を求めることができる。
(Equation 2) By performing the above series of processes, the relationship between the rotation center A and the track center T can be obtained.

【0028】次に、ピックアップ駆動部122は、光学
ピックアップ121を磁気ディスク1の内周縁の位置に
移動させ、そのときの位置信号を信号検出部132aへ
送出する(ステップSTP9、10、4)。そして、制
御部131は、磁気ディスク1の内周縁において、光学
ピックアップ121を例えば図3(B)に示すトラッキ
ング条件に基づいてトラッキング制御し(ステップST
P5、6)、上述した処理と同様の処理を行うことによ
り、磁気ディスク1の内周縁の中心(以下、内径中心と
いう)Nについても、回転中心Aと内径中心Nとの差δ
nと、PG信号を基準としたときの内径中心Nが現れる
までの位相差θnとを求める(ステップSTP7、
8)。
Next, the pickup drive unit 122 moves the optical pickup 121 to the position on the inner peripheral edge of the magnetic disk 1, and sends out the position signal at that time to the signal detection unit 132a (steps STP9, STP9, STP4). Then, the control unit 131 performs tracking control of the optical pickup 121 on the inner peripheral edge of the magnetic disk 1 based on, for example, the tracking conditions shown in FIG. 3B (step ST).
P5, 6), by performing the same processing as the above-described processing, the center δ of the inner peripheral edge of the magnetic disk 1 (hereinafter referred to as the inner diameter center) N is also determined by the difference δ between the rotation center A and the inner diameter center N.
n and a phase difference θn until the center N of the inner diameter with respect to the PG signal appears (step STP7,
8).

【0029】その後に、ピックアップ駆動部122は、
光学ピックアップ121を磁気ディスク1の外周縁の位
置に移動させ、そのときの位置信号を信号検出部132
aへ送出する(ステップSTP11、12、4)。そし
て、制御部131は、磁気ディスク1の外周縁におい
て、光学ピックアップ121を例えば図3(C)に示す
トラッキング条件に基づいてトラッキング制御し(ステ
ップSTP5、6)、上述した処理と同様の処理を行う
ことにより、磁気ディスク1の外周縁の中心(以下、外
径中心という)Gについても、回転中心Aと外径中心G
との差δgと、PG信号を基準としたときの外径中心G
が現れるまでの位相差θgとを求める(ステップSTP
7、8)。
After that, the pickup driving section 122
The optical pickup 121 is moved to the position of the outer peripheral edge of the magnetic disk 1, and the position signal at that time is detected by the signal detection unit 132.
a (step STP11, 12, 4). Then, the control unit 131 performs tracking control of the optical pickup 121 on the outer peripheral edge of the magnetic disk 1 based on, for example, the tracking conditions shown in FIG. 3C (steps STP5 and STP6), and performs the same processing as the processing described above. By doing so, the center G of the outer peripheral edge of the magnetic disk 1 (hereinafter referred to as the center of the outer diameter) is also changed to the center of rotation A and the center of the outer diameter G.
Δg, and the outer diameter center G based on the PG signal
And the phase difference θg up to the appearance of (Step STP
7, 8).

【0030】尚、これらのトラッキング条件は、0次光
のビームスポットを検出するフォトディテクタA、Bの
出力差が0であって、±1次光のビームスポットを検出
するフォトディテクタC、Dの出力和が0となる条件で
ある。そして、図6に示すように、回転中心Aを座標中
心(0,0)とした座標空間AA上で内径中心N(X
n,Yn)及び外径中心G(Xg,Yg)として表現す
ることにより、回転中心Aとの関係のみならず、トラッ
ク中心T(Xt,Yt)との関係も求めることができ
る。
These tracking conditions are such that the output difference between the photodetectors A and B for detecting the zero-order light beam spot is 0, and the output sum of the photodetectors C and D for detecting the ± first-order light beam spots. Is 0. Then, as shown in FIG. 6, the center of the inner diameter N (X) on the coordinate space AA where the rotation center A is the coordinate center (0, 0).
By expressing them as n, Yn) and the outer diameter center G (Xg, Yg), not only the relationship with the rotation center A but also the relationship with the track center T (Xt, Yt) can be obtained.

【0031】以上の処理により得られた各中心T(X
t,Yt)、N(Xn,Yn)、G(Xg,Yg)を、
回転中心Aを座標中心(0,0)とした座標空間AAか
ら外径中心G(Xg,Yg)を座標中心(0,0)とし
た座標空間GGに変換する(ステップSTP13)。こ
のように座標空間AAから座標空間GGに変換するの
は、磁気ディスク1に中心孔やデータトラックDTが無
い場合は、磁気ディスク1の外径中心が磁気ディスク1
の重心となり、磁気ディスク1の持つ本来の中心となる
からでる。ここで、外径中心G’(0,0)から任意点
(x’,y’)までの距離をδ、位相差をθとすると、
x’,y’は数3及び数4で表される。従って、トラッ
ク中心T’の座標点Xt’及びYt’並びに内径中心
N’の座標点Xn’及びYn’も、数3及び数4によっ
て求めることができる。
Each center T (X
t, Yt), N (Xn, Yn), G (Xg, Yg)
The coordinate space AA having the rotation center A as the coordinate center (0, 0) is converted into a coordinate space GG having the outer diameter center G (Xg, Yg) as the coordinate center (0, 0) (step STP13). The conversion from the coordinate space AA to the coordinate space GG is performed when the center of the magnetic disk 1 has no center hole or the data track DT.
And becomes the original center of the magnetic disk 1. Here, assuming that the distance from the outer diameter center G ′ (0,0) to the arbitrary point (x ′, y ′) is δ and the phase difference is θ,
x ′ and y ′ are expressed by Equations 3 and 4. Therefore, the coordinate points Xt ′ and Yt ′ of the track center T ′ and the coordinate points Xn ′ and Yn ′ of the inner diameter center N ′ can also be obtained by Expressions 3 and 4.

【数3】 (Equation 3)

【数4】 以上の一連の処理を行うことにより、外径中心G’
(0,0)を基準とした磁気ディスク1が持つトラック
中心T’(Xt’,Yt’)並と内径中心N’(X
n’,Yn’)の本来の関係を求めることができる。
(Equation 4) By performing the above series of processing, the outer diameter center G ′
The track center T ′ (Xt ′, Yt ′) of the magnetic disk 1 and the center N ′ (X
n ′, Yn ′).

【0032】以上の処理により得られたトラック中心
T’(Xt’,Yt’)と内径中心N’(Xn’,Y
n’)との距離を求めることにより、磁気ディスク1が
持つ本来の偏心量δh、即ち磁気ディスク1がスピンド
ル等に取り付け誤差0で装着されたときの偏心量δhが
測定可能となる。また、トラック中心T’(Xt’,Y
t’)と外径中心G’(Xg’,Yg’)との距離を求
めることにより、スタンパ作成時、スタンパの金型への
取り付け時、磁気ディスク1の打ち抜き時(射出成形
時)等によって生じるスタンパ関連誤差Sが測定可能と
なる。さらに、内径中心N’(Xn’,Yn’)と外径
中心G’(Xg’,Yg’)との距離を求めることによ
り、磁気ディスク1の中心孔の打ち抜き時等によって生
じる磁気ディスク関連誤差Uが測定可能となる(ステッ
プSTP14)。
The track center T ′ (Xt ′, Yt ′) and the inner diameter center N ′ (Xn ′, Y) obtained by the above processing are obtained.
By calculating the distance to the magnetic disk 1, the original eccentricity δh of the magnetic disk 1, that is, the eccentricity δh when the magnetic disk 1 is mounted on a spindle or the like with no mounting error can be measured. The track center T '(Xt', Y
t ′) and the center of outer diameter G ′ (Xg ′, Yg ′) are determined, so that the stamper can be prepared, the stamper can be attached to a mold, the magnetic disk 1 can be punched (injection molding), and the like. The resulting stamper-related error S can be measured. Further, by calculating the distance between the center N ′ (Xn ′, Yn ′) of the inner diameter and the center G ′ (Xg ′, Yg ′) of the outer diameter, an error relating to the magnetic disk caused by punching of the center hole of the magnetic disk 1 or the like can be obtained. U can be measured (step STP14).

【0033】このとき、偏心量δhが、ある基準値より
も小さい場合は問題無いが、その基準値よりも大きい場
合は、その偏心が何に起因しているかを解析する必要が
ある(ステップSTP15)。ただし、偏心量δhが基
準値よりも小さい場合であっても、誤差S及び誤差Uが
基準値よりも大きい場合は、その誤差が何に起因してい
るかを解析する必要がある。
At this time, there is no problem if the amount of eccentricity δh is smaller than a certain reference value, but if it is larger than the reference value, it is necessary to analyze what caused the eccentricity (step STP15). ). However, even when the amount of eccentricity δh is smaller than the reference value, if the error S and the error U are larger than the reference value, it is necessary to analyze what caused the error.

【0034】各誤差S及びUの大きさを把握することに
より、磁気ディスク1が規格内に納まっているか否かを
判別したり、各誤差S及びUの大きさを比較することに
より、どちらの要因がどれくらい偏心に影響を与えてい
るかを判別することができる。また、各誤差S及びUは
数値として規格化されているため、各要因も数値として
容易に正規化することができる。例えば、各誤差S及び
Uの大きさを比較して、誤差Sの方が大きいときは、偏
心の要因はスタンパ関連の誤差が影響して発生している
ことが推測でき、逆に誤差Uの方が大きいときは、偏心
の要因は中心孔の打ち抜き関連の誤差が影響して発生し
ていることが推測できる。
By grasping the magnitudes of the errors S and U, it is possible to determine whether or not the magnetic disk 1 is within the standard or to compare the magnitudes of the errors S and U to determine which one. It is possible to determine how much eccentricity the factor has affected. Further, since each error S and U is standardized as a numerical value, each factor can be easily normalized as a numerical value. For example, comparing the magnitudes of the errors S and U, if the error S is larger, it can be estimated that the eccentricity is caused by the stamper-related error, and conversely, the error U If it is larger, it can be assumed that the eccentricity is caused by an error related to punching of the center hole.

【0035】そして、これらの誤差S及びUが偏心量に
与える影響は数5及び数6により正規化することができ
る。そして、数5及び数6により得られた結果と偏心量
δhの積をとることにより、偏心量δhに与える実質的
な誤差量を得ることができる。
The effects of these errors S and U on the amount of eccentricity can be normalized by equations (5) and (6). Then, by taking the product of the results obtained by Equations 5 and 6 and the amount of eccentricity δh, a substantial error amount given to the amount of eccentricity δh can be obtained.

【数5】 (Equation 5)

【数6】 (Equation 6)

【0036】また、各中心G’(0,0)、T’(X
t’,Yt’)、N’(Xn’,Yn’)の位置関係を
座標空間でビジュアル的に把握することができるため、
スタンパのズレの補正等のトラブルシューティングも容
易となる。さらに、同ロットの複数枚の磁気ディスク1
のトラック中心T’(Xt’,Yt’)や内径中心N’
(Xn’,Yn’)の平均値(ズレ量)や分散(バラツ
キ)等をそれぞれ求めることにより、磁気ディスク1枚
から推測される偏心の誤差要因をより明確にすることが
可能となる。さらに、それらを統計的に求めていくこと
により、射出成形機やスタンパの持つパターン成形能力
やカッターによる中心孔の打ち抜き精度等も把握するこ
とが可能となる。例えば、トラック中心T’(Xt’,
Yt’)の平均値が大きければスタンパ関連誤差が偏心
に影響を与えていることが明確になり、分散が大きけれ
ば磁気ディスク関連誤差が偏心に影響を与えていること
が明確になる。
The centers G '(0,0) and T' (X
t ', Yt') and N '(Xn', Yn ') can be visually grasped in a coordinate space.
It also facilitates troubleshooting such as correction of the displacement of the stamper. Furthermore, a plurality of magnetic disks 1 of the same lot
Track center T '(Xt', Yt ') and inner diameter center N'
By calculating the average value (deviation amount) and dispersion (variation) of (Xn ′, Yn ′), it is possible to further clarify the eccentricity error factors estimated from one magnetic disk. Further, by obtaining them statistically, it is possible to grasp the pattern forming ability of an injection molding machine or a stamper, the accuracy of punching a center hole by a cutter, and the like. For example, the track center T ′ (Xt ′,
If the average value of Yt ') is large, it becomes clear that the stamper-related error affects the eccentricity, and if the variance is large, it becomes clear that the magnetic disk-related error affects the eccentricity.

【0037】また、ある値以下に各中心G’(0,
0)、T’(Xt’,Yt’)、N’(Xn’,Y
n’)の位置ズレ誤差量や偏心誤差量等を規定したとき
に、その規定値を越える各誤差量を持つ磁気ディスク1
の発生頻度を求めることにより、歩留り等も容易に予想
可能となる。さらに、偏心量を抑えた磁気ディスク1の
製造や開発を行う際の有用なデータを蓄積することがで
きる(ステップSTP16、17、18、19)。
Each center G '(0,
0), T '(Xt', Yt '), N' (Xn ', Y
n '), the magnetic disk 1 having the respective error amounts exceeding the specified values when the position deviation error amount, the eccentric error amount, and the like are specified.
, The yield can be easily predicted. Further, it is possible to accumulate useful data when manufacturing or developing the magnetic disk 1 with the eccentric amount suppressed (steps STP16, 17, 18, 19).

【0038】尚、上述した実施形態では、情報記録ディ
スクとしてプリエンボス型の磁気ディスクの偏心の測定
について説明したが、特に限定されるものではなく、表
面に凹凸が形成されている情報記録ディスクであれば例
えば光ディスクや光磁気ディスク等の偏心の測定が可能
である。
In the above embodiment, the measurement of the eccentricity of the pre-emboss type magnetic disk as the information recording disk has been described. However, the present invention is not limited to this. If so, for example, eccentricity of an optical disk, a magneto-optical disk, or the like can be measured.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
簡単な構成によって、容易にかつ短時間で磁気ディスク
の偏心を測定することができ、磁気ディスクの検査工数
を大幅に改善することができる。
As described above, according to the present invention,
With a simple configuration, the eccentricity of the magnetic disk can be measured easily and in a short time, and the number of inspection steps for the magnetic disk can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の情報記録ディスクの偏心測定装置の
実施形態を示すブロック図。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an eccentricity measuring device for an information recording disk according to the present invention.

【図2】この発明の情報記録ディスクの偏心測定方法の
実施形態を示すフロ−チャ−ト。
FIG. 2 is a flowchart showing an embodiment of a method for measuring eccentricity of an information recording disk according to the present invention.

【図3】図1に示す偏心測定装置に用いるトラッキング
条件の一例を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing an example of tracking conditions used in the eccentricity measuring device shown in FIG.

【図4】図1に示す偏心測定装置における信号例を示す
波形図。
FIG. 4 is a waveform chart showing a signal example in the eccentricity measuring device shown in FIG.

【図5】図1に示す偏心測定装置における偏心測定の一
例を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing an example of eccentricity measurement in the eccentricity measuring device shown in FIG.

【図6】図1に示す偏心測定装置で測定した偏心の処理
例を示す図。
FIG. 6 is a diagram showing an example of processing of eccentricity measured by the eccentricity measuring device shown in FIG. 1;

【図7】一般的な磁気ディスクの一例を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing an example of a general magnetic disk.

【図8】図7に示す磁気ディスクの部分拡大図。FIG. 8 is a partially enlarged view of the magnetic disk shown in FIG. 7;

【図9】図7に示す磁気ディスクの偏心の一例を示す
図。
FIG. 9 is a view showing an example of eccentricity of the magnetic disk shown in FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・磁気ディスク、100・・・偏心測定装置、1
10・・・回転部、120・・・計測部、130・・・
測定部、111・・・スピンドルモ−タ、112・・・
回転盤、121・・・光学ピックアップ、122・・・
ピックアップ駆動部、131・・・制御部、132・・
・処理部、133・・・システムコントロ−ラ、132
a・・・信号検出部、132b・・・信号解析部、13
2c・・・表示部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 100 ... Eccentricity measuring device, 1
10: rotating unit, 120: measuring unit, 130:
Measuring unit, 111 ... spindle motor, 112 ...
Rotating disk, 121 ... Optical pickup, 122 ...
Pickup drive unit, 131 ... Control unit, 132 ...
.Processing unit, 133 ... System controller, 132
a: signal detection unit, 132b: signal analysis unit, 13
2c ... Display unit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報記録領域が予め形成されている情報
記録ディスクの偏心を測定する場合、 前記情報記録領域、前記情報記録ディスクの内周縁及び
前記情報記録ディスクの外周縁に関する中心点の座標位
置を、光学手段のトラッキング信号から求め、 前記各中心点の座標位置に基づいて、前記情報記録ディ
スクの偏心を測定することを特徴とする情報記録ディス
クの偏心測定方法。
When measuring the eccentricity of an information recording disk in which an information recording area is formed in advance, a coordinate position of a center point with respect to the information recording area, an inner peripheral edge of the information recording disk, and an outer peripheral edge of the information recording disk. And measuring the eccentricity of the information recording disk based on the coordinate position of each of the center points.
【請求項2】 情報記録領域が予め形成されている情報
記録ディスクを載置して回転する回転部と、 前記回転部の上方に配置され、前記情報記録ディスクに
対してトラッキング可能な計測部と、 前記回転部及び計測部を駆動制御する制御部と、 前記制御部による前記回転部及び計測部の駆動制御によ
り、前記情報記録領域、前記情報記録ディスクの内周縁
及び前記情報記録ディスクの外周縁に関する中心点の座
標位置を、前記計測部のトラッキング信号から求め、前
記各中心点の座標位置に基づいて、前記情報記録ディス
クの偏心を測定する処理部とを備えたことを特徴とする
情報記録ディスクの偏心測定装置。
2. A rotating unit for mounting and rotating an information recording disk on which an information recording area is formed in advance, and a measuring unit disposed above the rotating unit and capable of tracking the information recording disk. A control unit that drives and controls the rotating unit and the measuring unit; and a drive control of the rotating unit and the measuring unit that is performed by the control unit, the information recording area, an inner peripheral edge of the information recording disk, and an outer peripheral edge of the information recording disk. And a processing unit for determining a coordinate position of the center point with respect to the tracking signal of the measuring unit and measuring the eccentricity of the information recording disk based on the coordinate position of each center point. Disk eccentricity measuring device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087897A (en) * 2002-08-13 2002-11-23 시그널 링크 주식회사 The automatic hard disk drive unbalance measurement and adjustment system

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020087897A (en) * 2002-08-13 2002-11-23 시그널 링크 주식회사 The automatic hard disk drive unbalance measurement and adjustment system

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