JPH1085546A - Low dew point air supply system - Google Patents

Low dew point air supply system

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JPH1085546A
JPH1085546A JP8263530A JP26353096A JPH1085546A JP H1085546 A JPH1085546 A JP H1085546A JP 8263530 A JP8263530 A JP 8263530A JP 26353096 A JP26353096 A JP 26353096A JP H1085546 A JPH1085546 A JP H1085546A
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purge
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rotor
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Takasago Thermal Engineering Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To structure a low dew point air supply system whose energy consumption is low. SOLUTION: In a system for supplying a low dew point air to a dry room R, a reflux air RA2 originating from the dry room R is passed, as a purge air, through a low temperature purge area 11e, a purge regeneration area 11b and a high temperature purge area 11d in that order, for the rotor 11 of a dry dehumidifier. Thus the purge air at the low dew point is effectively used to cool the rotor 11, so that the air flow of a reflux air RA1 can be increased by reducing the volume of the purge air and in turn, the intake volume of an atmospheric air can be diminished. In addition, the energy consumption for the regeneration of the purge air can be saved as the rotor 11 is heated in the purge regeneration area 11b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、目的室に低露点の
空気を供給するための低露点空気供給システム、に関す
るものである。
The present invention relates to a low dew point air supply system for supplying low dew point air to a target room.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば半導体製造プロセスやリチウム電
池の製造プロセスにおいては、乾燥しかつ低露点の雰囲
気を有している、ドライルームと呼ばれる設備の需要が
増加している。
2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing process and a lithium battery manufacturing process, for example, there is an increasing demand for equipment called a dry room, which has a dry and low dew point atmosphere.

【0003】ところで一般に用いられる空気を減湿する
方法には従来から冷却減湿の方法が周知であるが、冷却
減湿では露点が−5℃以上の空気しか生成できず、前記
ドライルームが要求するような低露点には対応できな
い。
[0003] As a method of dehumidifying air, a method of cooling and dehumidifying is conventionally known. However, in cooling and dehumidifying, only air having a dew point of -5 ° C or more can be generated. It cannot handle low dew points.

【0004】そこで低露点(−50℃以下)の空気を供
給する空調機、空調システムには、回転式のロータを用
いたいわゆる乾式減湿装置が使用されている。この乾式
減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸収
液を含侵させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼ
オライトなどの吸着材で構成したロータの端面側が、減
湿区域と再生区域とに仕切られており、ロータを回転さ
せながら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作
り出すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させる
ことによって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気
中に蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成さ
れている。
Therefore, so-called dry dehumidifiers using a rotary rotor are used in air conditioners and air conditioning systems that supply air with a low dew point (-50 ° C. or lower). In this dry dehumidifier, the end face side of a honeycomb rotor impregnated with an absorbent such as lithium chloride or calcium chloride, or a rotor composed of an adsorbent such as silica gel or zeolite is used as a dehumidification area and a regeneration area. It is partitioned, while processing air is passed through the dehumidification area while rotating the rotor to create dry air, and high-temperature regeneration air is passed through the regeneration area to regenerate the water in the absorbent and the adsorbent. It is configured to continuously evaporate into the air to perform the dehumidification process.

【0005】但しロータが高温のまま処理系統、即ち減
湿区域に移行すると、減湿しない空気がロータを通過し
て露点を上げてしまうので、再生区域から減湿区域に移
行する前の区域に、パージ区域と呼ばれる区域を設け、
再生区域、パージ区域、減湿区域の順にロータを回転さ
せ、このパージ区域に冷却用のパージ空気を通過させて
ロータの冷却を行うように構成されていることが多い。
However, if the rotor is moved to the processing system, that is, the dehumidification zone while the temperature is high, the air that has not been dehumidified passes through the rotor and raises the dew point. , An area called a purge area,
In many cases, the rotor is rotated in the order of a regeneration zone, a purge zone, and a dehumidification zone, and cooling air is passed through the purge zone to cool the rotor.

【0006】このような乾式減湿装置を用いて低露点空
気を供給する場合、乾式減湿装置を1段で処理をする方
法と、外気処理用に別途乾式減湿装置を設けて直列2段
で処理を行う2つの方式がある。1段のシステムはイニ
シャルコストは安価であるが、消費エネルギが多いた
め、主として小さい室に低露点空気を供給する場合に用
いられている。一方2段のシステムでは、消費エネルギ
を低減するために再生系統を循環させ、2段目の乾式湿
減湿装置における再生区域からの排気を、1段目の乾式
減湿装置の再生に再利用することでエネルギの低減を図
っている。ドライルームなどに低露点の空気を供給する
場合のシステムでは、一般的にこの2段のシステムが用
いられている。
In order to supply low dew point air using such a dry dehumidifier, a method of treating the dry dehumidifier in one stage and a method of separately providing a dry dehumidifier for external air treatment in two stages are provided. There are two methods for performing processing. The one-stage system has a low initial cost, but consumes a lot of energy, and is mainly used for supplying low dew point air to a small room. On the other hand, in the two-stage system, the regeneration system is circulated to reduce energy consumption, and the exhaust from the regeneration area in the second-stage dry-type dehumidifier is reused for the regeneration of the first-stage dry-type dehumidifier. By doing so, the energy is reduced. In a system for supplying air with a low dew point to a dry room or the like, a two-stage system is generally used.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な乾式減湿装置を用いて減湿する場合、冷却減湿より低
露点の空気を供給できるものの、1段のシステムはもと
より、エネルギ低消費型の2段のタイプでさえ、冷却減
湿よりもエネルギの消費が多く、さらなる省エネルギが
求められている。また前記したドライルームは、ほとん
どが24時間運転であり、エネルギの低減が運用費を含
めた設備コストに与える影響が非常に高いため、エネル
ギの低減がことさら強く求められているのが実情であ
る。
However, when dehumidification is performed using such a dry dehumidifier, air having a dew point lower than that of cooling and dehumidification can be supplied, but not only a one-stage system but also an energy-saving type. Even the two-stage type consumes more energy than cooling and dehumidification, and further energy saving is required. In addition, most of the above-described dry rooms are operated for 24 hours, and the reduction of energy has a very high effect on equipment costs including operation costs. .

【0008】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、ドライルームなど、低露点の空気を必要とする室
に低露点空気を供給するシステムにおいて、従来よりも
エネルギ消費の少ない低露点空気供給システムを提供し
て、前記問題の解決を図ることを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and is directed to a system for supplying low dew point air to a room requiring low dew point air such as a dry room. It is an object of the present invention to provide a supply system to solve the above problem.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1によれば、吸着機能や吸収機能を有する回
転自在なロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室
に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式
減湿装置は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロ
ータの回転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温
パージ区域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前
記目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよ
うに構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾
式減湿装置におけるロータの低温パージ区域、パージ再
生区域、高温パージ区域を順に通過するように構成さ
れ、前記高温パージ区域を通過した空気は、再生区域を
通過させる再生系統の空気と混合されるように構成され
たことを特徴とする、低露点空気供給システムが提供さ
れる。
According to a first aspect of the present invention, a dry dehumidifier having a rotatable rotor having an adsorbing function and an absorbing function is provided in a target room with a low dew point. In the air supply system, the dry dehumidifier may be configured such that a passage area of the air located on the rotor end surface is arranged in the order of the rotation direction of the rotor in a regeneration zone, a high temperature purge zone, a low temperature purge zone, a dehumidification zone, and a purge regeneration zone. The target chamber is partitioned so that air that has passed through the dehumidification area is supplied, and a part of the return air from the target chamber is supplied to the low-temperature purging area of the rotor in the dry dehumidification apparatus. A regeneration zone, a high temperature purge zone, and air passing through the high temperature purge zone is mixed with air of a regeneration system passing through the regeneration zone. Dewpoint air supply system is provided.

【0010】このように構成された低露点空気供給シス
テムにおいては、まず目的室からの還気の一部がロータ
の低温パージ区域を通過して、ロータを冷却する。次い
で前記ロータの冷却によって逆に加熱された空気は、パ
ージ再生区域に導入される。このパージ再生区域は、減
湿区域の次の区域であるから、前記低温パージ区域を通
過して昇温した空気はこのパージ再生区域を通過する際
に冷却される。一方ロータの方は、逆に加熱される。従
って、ロータは次の再生区域に入る前に加熱されるの
で、再生区域での加熱量の低減が図れる。
[0010] In the low dew point air supply system configured as described above, first, a part of the return air from the target chamber passes through the low temperature purge zone of the rotor to cool the rotor. The air, which has been heated in reverse by cooling the rotor, is then introduced into the purge regeneration zone. Since the purge regeneration zone is the next zone after the dehumidification zone, the air heated through the low temperature purge zone is cooled when passing through the purge regeneration zone. On the other hand, the rotor is heated in reverse. Accordingly, since the rotor is heated before entering the next regeneration section, the amount of heating in the regeneration section can be reduced.

【0011】そして前記パージ再生区域を通過して冷却
された空気は、次に高温パージ区域を通過し、再生区域
を経たロータをいわばプレ冷却する。従って、ロータは
再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ区域と
前出低温パージ区域で2段に冷却されることになる。そ
の結果、従来よりもパージ空気を有効に利用することが
でき、その風量も従来より少ないものとすることができ
る。従ってパージ空気の量を低減させた分、還気を処理
空気側へと余分に回すことが可能であり、処理空気とし
て導入する外気の量の低減、外気処理に要するエネルギ
の低減を図ることかできる。またパージ再生区域で湿分
の移行があっても、その空気はその後高温パージ区域を
通過するため、ロータ側ではその後の低温パージ区域で
ロータの湿分の除去が行えることになる。
The air cooled after passing through the purge regeneration section then passes through the high-temperature purge section and pre-cools the rotor after passing through the regeneration section. Therefore, before the rotor moves from the regeneration zone to the dehumidification zone, the rotor is cooled in two stages in the high temperature purge zone and the preceding low temperature purge zone. As a result, the purge air can be used more effectively than before, and the air volume can be made smaller than before. Therefore, the amount of the purge air can be reduced, so that the return air can be excessively diverted to the processing air side, so that the amount of outside air introduced as the processing air can be reduced and the energy required for outside air processing can be reduced. it can. In addition, even if there is a transfer of moisture in the purge regeneration section, the air then passes through the high-temperature purge section, so that the rotor can remove moisture from the rotor in the subsequent low-temperature purge section.

【0012】高温パージ区域を通過した空気は再生区域
を通過させる再生系統の空気と混合されるが、高温パー
ジ区域を通過した空気はロータによって加熱されている
ので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネルギが
低減される。
The air that has passed through the high-temperature purge zone is mixed with the air of the regeneration system that passes through the regeneration zone. However, since the air that has passed through the high-temperature purge zone is heated by the rotor, the air in the regeneration system is heated accordingly. Energy required for the operation is reduced.

【0013】請求項2の低露点空気供給システムは、そ
のような請求項1の低露点空気供給システムにおいて、
パージ再生区域を通過した空気が高温パージ区域に導入
される前に、冷却装置によって当該パージ再生区域を通
過した空気を冷却するように構成されている。
[0013] The low dew point air supply system according to claim 2 is the low dew point air supply system according to claim 1,
The cooling device is configured to cool the air that has passed through the purge regeneration zone before the air that has passed through the purge regeneration zone is introduced into the high-temperature purge zone.

【0014】このようにパージ再生区域を通過した空気
が高温パージ区域に導入される前に、別途冷却装置でパ
ージ空気を冷却することにより、より少ない空気量でロ
ータの冷却を実施することができる。
[0014] Before the air that has passed through the purge regeneration section is introduced into the high-temperature purge section, by separately cooling the purge air with a cooling device, the rotor can be cooled with a smaller amount of air. .

【0015】さらに請求項3によれば、吸着機能や吸収
機能を有する回転自在なロータを有する乾式減湿装置を
用いて、目的室に低露点の空気を供給するシステムにお
いて、前記乾式減湿装置は、ロータ端面に位置する空気
の通過域が、ロータの回転方向順に、再生区域、高温パ
ージ区域、低温パージ区域、減湿区域に仕切られ、前記
目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよう
に構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式
減湿装置におけるロータの低温パージ区域、高温パージ
区域を順に通過するように構成され、前記低温パージ区
域を通過した空気が高温パージ区域に導入される前に冷
却装置によって冷却されるように構成され、前記高温パ
ージ区域を通過した空気は、再生区域を通過させる再生
系統の空気と混合されるように構成されたことを特徴と
する、低露点空気供給システムが提供される。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a system for supplying air having a low dew point to a target room by using a dry dehumidifier having a rotatable rotor having an adsorption function and an absorption function. The air passing area located on the rotor end face is divided into a regeneration area, a high-temperature purge area, a low-temperature purge area, and a dehumidification area in the order of rotation of the rotor, and the target chamber has air passing through the dehumidification area. Is supplied, and a part of the return air from the target chamber is configured to sequentially pass through a low-temperature purge section and a high-temperature purge section of the rotor in the dry dehumidifier. The passed air is cooled by a cooling device before being introduced into the hot purge zone, and the air that has passed through the hot purge zone is mixed with air of a regeneration system that passes through the regeneration zone. Characterized in that it is configured as a low dew point air supply system is provided.

【0016】この請求項3の低露点空気供給システムに
おいては、前記請求項1、2の場合と異なり、ロータ端
面に位置する空気の通過域は、再生区域、高温パージ区
域、低温パージ区域、減湿区域の4つに仕切られてお
り、パージ再生区域は設けられていない。したがってそ
のままでは、前記請求項1、2の場合よりも高い温度で
高温パージ区域に導入されるが、請求項3の低露点空気
供給システムにおいてはパージ再生区域の代わりに冷却
装置によって、低温パージ区域を通過して昇温したパー
ジ空気を冷却するようにしている。
In the low dew point air supply system according to the third aspect, unlike the first and second aspects, the passage area of the air located at the end face of the rotor includes a regeneration area, a high temperature purge area, a low temperature purge area, and a reduced area. It is divided into four wet areas, and no purge regeneration area is provided. Therefore, as it is, it is introduced into the high temperature purge zone at a higher temperature than in the case of the first and second aspects. However, in the low dew point air supply system of the third aspect, the low temperature purge area is replaced by a cooling device instead of the purge regeneration zone. The purged air that has passed through and is heated is cooled.

【0017】その結果、請求項1、2の低露点空気供給
システムよりもエネルギ効率は低下するが、依然として
パージ空気自体の利用効率は従来より良好であって、そ
の風量も従来よりも低減させることができる。従って、
パージ空気の風量を低減させた分、還気を処理空気側へ
と回すことができ、処理空気として導入する外気の量の
低減を実現して、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。それゆえシステム全体としては、従来
より消費エネルギを少なくすることができる。
As a result, although the energy efficiency is lower than that of the low dew point air supply system of the first and second aspects, the utilization efficiency of the purge air itself is still better than before, and the air volume is also lower than before. Can be. Therefore,
Return air can be diverted to the processing air side by an amount corresponding to the reduced air volume of the purge air, and the amount of outside air introduced as processing air can be reduced, and the energy required for outside air processing can be reduced. . Therefore, the energy consumption of the whole system can be reduced as compared with the related art.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図1は、第1の実施の形態に係る
低露点空気供給システムの概略を示しており、本実施の
形態にかかる低露点空気供給システムは、ドライルーム
Rに低露点空気を供給するシステムとして構成されてい
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically illustrates a low dew point air supply system according to a first embodiment. The low dew point air supply system according to the present embodiment is configured as a system that supplies low dew point air to a dry room R. Have been.

【0019】まず導入外気OAは、外気取り入れダクト
1により導かれて、外気処理クーラ2によって冷却減湿
される。その後、再生余剰空気冷却クーラ3で冷却され
た再生余剰空気と混合されて、外気処理ファン4によっ
て、1段目の乾式減湿装置5の減湿区域5aに導入さ
れ、例えば露点温度−10℃まで減湿される。この1段
目の乾式減湿装置5は、減湿区域5aと再生区域5bと
の2つに分割されたロータ端面を有しているタイプであ
る。
First, the introduced outside air OA is guided by the outside air intake duct 1 and cooled and dehumidified by the outside air processing cooler 2. Thereafter, the air is mixed with the regeneration excess air cooled by the regeneration excess air cooling cooler 3 and introduced into the dehumidifying section 5a of the first-stage dry dehumidifier 5 by the outside air processing fan 4, for example, at a dew point temperature of −10 ° C. It is dehumidified until. The first-stage dry dehumidifier 5 is of a type having a rotor end face divided into two, a dehumidification section 5a and a regeneration section 5b.

【0020】その後、1段目の乾式減湿装置5の減湿区
域5aを通過して外気処理された空気は、ドライルーム
Rから還気ダクト6を通じて戻ってきた一部の還気RA
1と混合され、処理ファン7によって、プレクーラ8に
送られる。このプレクーラ8によって処理空気は冷却さ
れた後、2段目の乾式減湿装置10のロータ11の減湿
区域11aに導入されて減湿処理される。
After that, the air that has passed through the dehumidification section 5a of the first-stage dry dehumidifier 5 and has been subjected to the outside air treatment is partially returned air RA returned from the dry room R through the return air duct 6.
It is mixed with 1 and sent to the precooler 8 by the processing fan 7. After the processing air is cooled by the pre-cooler 8, it is introduced into the dehumidification area 11a of the rotor 11 of the second-stage dry dehumidification device 10 to be dehumidified.

【0021】2段目の乾式減湿装置10は、図2、図3
に示した構成を有しており、回転するロータ11の両端
面にチャンバ12、13が配置された構成を有してい
る。そしてロータ11の端面は、図3中の矢印に示した
ロータ11の回転方向順に、減湿区域11a、パージ再
生区域11b、再生区域11c、高温パージ区域11
d、低温パージ区域11eの5つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ12の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿入
口12a、パージ再生入口12b、再生出口12c、高
温パージ出口12d、低温パージ出口12eが形成され
ている。またチャンバ13の外方端面にも、前記5つの
区域に対応し、チャンバ12の外側端面に形成された前
記減湿入口12a、パージ再生入口12b、再生出口1
2c、高温パージ出口12d、低温パージ出口12eに
対応する、減湿出口、パージ再生出口、再生入口、高温
パージ入口、低温パージ入口が各々形成されている(い
ずれも図示せず)。
The second-stage dry dehumidifier 10 is shown in FIGS.
, And has a configuration in which chambers 12 and 13 are arranged on both end surfaces of a rotating rotor 11. The end faces of the rotor 11 are arranged in the order of the rotation direction of the rotor 11 indicated by the arrow in FIG. 3 in the dehumidifying area 11a, the purge regeneration area 11b, the regeneration area 11c,
d, divided into five air passage areas of the low temperature purge section 11e. A dehumidification inlet 12a, a purge regeneration inlet 12b, a regeneration outlet 12c, a high-temperature purge outlet 12d, and a low-temperature purge outlet 12e for connecting to a duct or the like are formed on the outer end surface of the chamber 12 corresponding to each of these sections. ing. The dehumidification inlet 12a, the purge regeneration inlet 12b, and the regeneration outlet 1 formed on the outer end face of the chamber 12 also correspond to the five sections on the outer end face of the chamber 13.
2c, a dehumidification outlet, a purge regeneration outlet, a regeneration inlet, a high temperature purge inlet, and a low temperature purge inlet corresponding to the high temperature purge outlet 12d and the low temperature purge outlet 12e, respectively (all not shown).

【0022】そして乾式減湿装置10のロータ11の減
湿区域11aで減湿されて、低露点となった空気は、そ
の後ヒータ21、アフタークーラ22によって、所定の
温度に調節された後、給気SAとしてドライルームRに
供給される。
The air which has been dehumidified in the dehumidification area 11a of the rotor 11 of the dry dehumidification apparatus 10 and has a low dew point is thereafter adjusted to a predetermined temperature by the heater 21 and the aftercooler 22, and then supplied. The air is supplied to the dry room R as air SA.

【0023】ドライルームRからの一部の還気RA2
は、パージ系還気ダクト23を通じ、パージ空気とし
て、乾式減湿装置10のロータ11の低温パージ区域1
1eに導入され、これによってロータ11の冷却が行わ
れる。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロ
ータ11が減湿区域11aに入ってしまい、減湿が十分
にできないことになる。
Some return air RA2 from the dry room R
Is supplied to the low-temperature purge section 1 of the rotor 11 of the dry dehumidifier 10 through the purge system return air duct 23 as purge air.
1e, whereby the rotor 11 is cooled. If the cooling is not sufficient, the rotor 11 enters the dehumidification area 11a while the temperature is high, and the dehumidification cannot be performed sufficiently.

【0024】そしてロータ11の低温パージ区域11e
を通過したパージ空気は、パージ再生区域11bに導入
される。ここでパージ空気は冷却され、ロータ11は加
熱される。冷却されたパージ空気は、パージ再生出口ダ
クト24を通じて高温パージ区域11dに導入される。
ここで再びロータ11は冷却され、パージ空気は加熱さ
れる。加熱されて昇温したパージ空気は、パージ系統フ
ァン25によって再生系統に導かれ、さらに2段目の再
生ファン26によって再生循環系統Pの空気に合流して
混合される。このようにして混合された空気は、その大
部分が再生系統ダクト27を通って、2段目の再生ヒー
タ28に送られ、この再生ヒータ28により、例えば1
20℃に加熱された後、乾式減湿装置10のロータ11
の再生に用いられる。即ちロータ11の再生区域11c
に導入されるのである。なおこの再生系統の湿度は、減
湿量、導入するパージ空気の露点温度、および導入パー
ジ空気量と再生空気量、処理空気量の比によって決ま
る。
The low-temperature purge section 11e of the rotor 11
Is passed through the purge regeneration section 11b. Here, the purge air is cooled and the rotor 11 is heated. The cooled purge air is introduced into the high temperature purge section 11d through the purge regeneration outlet duct 24.
Here, the rotor 11 is cooled again and the purge air is heated. The purge air heated and raised in temperature is guided to the regeneration system by the purge system fan 25, and further joined by the second stage regeneration fan 26 to the air of the regeneration circulation system P to be mixed. Most of the air mixed in this way is sent to the second stage regeneration heater 28 through the regeneration system duct 27, and this regeneration heater 28
After being heated to 20 ° C., the rotor 11 of the dry dehumidifier 10
Used for reproduction. That is, the regeneration area 11c of the rotor 11
It is introduced to. The humidity of the regeneration system is determined by the amount of dehumidification, the dew point temperature of the purge air to be introduced, and the ratio of the introduced purge air amount to the regeneration air amount and the processing air amount.

【0025】再生系統からは高温側パージ空気の導入量
だけ空気を排出するが、その一部は1段目の再生ファン
29の作動により1段目の再生ヒータ30を通過した
後、昇温されて1段目の乾式減湿装置5の再生区域5b
に導入され、この乾式減湿装置5のロータの再生に用い
られる。そしてその後、排気EAとしてシステム外に排
出される。残りは再生余剰空気循環ダクト31を通っ
て、前出再生余剰空気冷却用クーラ3によって冷却さ
れ、外気OAと混合されて1段目の乾式減湿装置5の減
湿区域5aに導入されて減湿されるようになっている。
即ち処理空気の一部として再使用される。なお図1にお
けるD1〜D8は、風量を調節するためダクト中に介装さ
れたダンパである。
Although the air is discharged from the regeneration system by the amount of the high-temperature side purge air, a part of the air is passed through the first-stage regeneration heater 30 by the operation of the first-stage regeneration fan 29 and then heated. Area 5b of the first-stage dry dehumidifier 5
And used for regeneration of the rotor of the dry dehumidifier 5. Thereafter, the exhaust gas is exhausted out of the system as exhaust EA. The remainder passes through the regeneration excess air circulation duct 31, is cooled by the cooler 3 for cooling the regeneration excess air described above, is mixed with the outside air OA, and is introduced into the dehumidification area 5a of the first-stage dry dehumidifier 5 to be reduced. It is moistened.
That is, it is reused as a part of the processing air. D1 to D8 in FIG. 1 are dampers interposed in a duct for adjusting the air volume.

【0026】第1の実施形態にかかる低露点供給システ
ムは以上のように構成されており、まずドライルームR
からの還気RA2が、パージ空気としてロータ11の低
温パージ区域11eを通過する際にロータ11は冷却さ
れる。次いでこのロータ11の冷却の際に逆に加熱され
たパージ空気は、パージ再生区域11bに導入される。
このパージ再生区域11bは、減湿区域11aの次の区
域であるので、昇温したパージ空気はこのパージ再生区
域11bを通過する際に冷却される。一方ロータ11の
方は逆に加熱されるので、次の再生区域11cでの加熱
量の低減が図られる。
The low dew point supply system according to the first embodiment is configured as described above.
When the return air RA2 from the air passes as a purge air through the low temperature purge section 11e of the rotor 11, the rotor 11 is cooled. Next, the purge air heated when cooling the rotor 11 is introduced into the purge regeneration section 11b.
Since the purge regeneration section 11b is the area next to the dehumidification section 11a, the heated purge air is cooled when passing through the purge regeneration section 11b. On the other hand, since the rotor 11 is heated in reverse, the amount of heating in the next regeneration section 11c is reduced.

【0027】パージ再生区域11bを通過して冷却され
たパージ空気は、次いで高温パージ区域11dを通過
し、再生区域11cを経たロータ11をいわばプレ冷却
することになる。従って、ロータ11側からみれば、再
生区域11cから減湿区域11aへと移る前に、高温パ
ージ区域11dと低温パージ区域11eで2段に冷却さ
れることになる。従って、パージ空気を有効に利用する
ことができ、その風量も従来より少ないものとすること
ができる。その結果、パージ空気の量を低減させた分、
還気RA2を少なくして、処理空気側へと回す還気RA1
を増大させることができ、処理空気として導入する外気
OAの量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。従ってシステム全体としてみれば、能
力を低下させることなく、消費エネルギの低減が図られ
ている。
The purge air cooled after passing through the purge regeneration section 11b then passes through the high-temperature purge section 11d to pre-cool the rotor 11 after passing through the regeneration section 11c. Therefore, when viewed from the rotor 11 side, before moving from the regeneration zone 11c to the dehumidification zone 11a, cooling is performed in two stages in the high temperature purge zone 11d and the low temperature purge zone 11e. Therefore, the purge air can be effectively used, and the air volume can be reduced as compared with the conventional case. As a result, the amount of purge air is reduced,
Return air RA1 that reduces return air RA2 and turns it to the processing air side
Can be increased, and the amount of outside air OA introduced as processing air can be reduced, and the energy required for outside air processing can be reduced. Therefore, the energy consumption of the entire system is reduced without lowering the performance.

【0028】なおパージ再生区域11bで湿分の移行が
あっても、その空気は次に高温パージ区域11dを通過
するため、ロータ11側ではその後の低温パージ区域1
1eにおいてロータ11の湿分の除去が行えることにな
る。
Even if there is a transfer of moisture in the purge regeneration section 11b, the air passes through the high-temperature purge section 11d next.
In 1e, the moisture of the rotor 11 can be removed.

【0029】なお前記第1の実施形態にかかるシステム
によれば、パージ空気として用いる還気RA2の温度を
23℃とすれば、低温パージ区域11eの出口温度は4
4℃、パージ再生区域11bの出口温度は28℃、高温
パージ区域11dの出口温度は82℃とすることができ
る。
According to the system of the first embodiment, if the temperature of the return air RA2 used as purge air is 23 ° C., the outlet temperature of the low-temperature purge section 11e is 4 °.
The outlet temperature of the purge regeneration section 11b can be 28 ° C., and the outlet temperature of the high temperature purge section 11d can be 82 ° C.

【0030】また発明者の知見によれば、前記第1の実
施形態にかかるシステムと、従来のこの種のシステム、
即ち乾湿減湿装置のロータが減湿区域、再生区域、パー
ジ区域の3つに仕切られ、パージ区域を通過した空気を
全て再生系統に戻す場合と比較すれば、冷熱で15〜2
0%、温熱で30〜35%、合計で20〜25%のエネ
ルギ消費の低減ができる。またそれに応じて1段目の乾
式減湿装置5のロータの大きさを2/3とすることがで
きるため、設備費の低減も実現できる。
According to the findings of the inventor, the system according to the first embodiment and a conventional system of this kind
That is, when compared with the case where the rotor of the dehumidifying and dehumidifying device is divided into three sections of a dehumidifying section, a regenerating section, and a purging section, and all the air that has passed through the purging section is returned to the regenerating system, it is 15 to 2 centigrade with cold heat.
The energy consumption can be reduced by 0%, by 30 to 35% by heat, and by 20 to 25% in total. In addition, since the size of the rotor of the first-stage dry dehumidifier 5 can be reduced to 2/3, the cost of equipment can be reduced.

【0031】前記第1の実施形態にかかる低露点空気供
給システムにおいて、図4に示した第2の実施形態にか
かる低露点空気供給システムのように、パージ再生区域
11bを通過したパージ空気が、高温パージ区域11d
に導入される前に冷却されるように、パージ再生出口ダ
クト24に冷却装置として、例えば冷却コイル41を付
加してもよい。なお図4中、図1中の符号と同一符号で
示される部材は、第1の実施形態にかかる低露点空気供
給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
In the low dew point air supply system according to the first embodiment, as in the low dew point air supply system according to the second embodiment shown in FIG. 4, the purge air that has passed through the purge regeneration section 11b is High temperature purge area 11d
A cooling device, for example, a cooling coil 41 may be added to the purge regeneration outlet duct 24 so that it is cooled before being introduced into the purge regeneration outlet duct 24. In FIG. 4, members denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same members as the corresponding members in the low dew point air supply system according to the first embodiment.

【0032】このような第2の実施形態にかかる低露点
空気供給システムによれば、パージ再生区域11bを通
過したパージ空気が高温パージ区域11dに導入される
前に、冷却コイル41によって冷却されるので、パージ
での冷却能力を維持したままパージ風量をさらに低減さ
せることができる。従って、その分還気RA2を低減さ
せて還気RA1を増加することが可能になり、外気OA
の導入量を減少させて、外気処理に要するエネルギの一
層の低減を図ることができる。
According to the low dew point air supply system according to the second embodiment, the purge air that has passed through the purge regeneration section 11b is cooled by the cooling coil 41 before being introduced into the high temperature purge section 11d. Therefore, it is possible to further reduce the amount of purge air while maintaining the cooling capacity of the purge. Accordingly, it is possible to reduce the return air RA2 and to increase the return air RA1, and the outside air OA can be increased.
Can be further reduced, and the energy required for the outside air treatment can be further reduced.

【0033】前記第1、第2の各実施形態に用いた乾式
減湿装置10のロータ11は、図3にも示したように、
空気の通過区域が、ロータ11の回転方向順に、減湿区
域11a、パージ再生区域11b、再生区域11c、高
温パージ区域11d、低温パージ区域11eの5つの空
気通過域に区画されていたものであったが、ロータにそ
のようなパージ再生区域を設定できない場合には、図5
に示した第3の実施形態にかかる低露点空気供給システ
ムを構築できる。なお図5中、図1中の符号と同一符号
で示される部材は、第1の実施形態にかかる低露点空気
供給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
The rotor 11 of the dry dehumidifier 10 used in each of the first and second embodiments has a structure as shown in FIG.
The air passage area is divided into five air passage areas of a dehumidification area 11a, a purge regeneration area 11b, a regeneration area 11c, a high temperature purge area 11d, and a low temperature purge area 11e in the order of rotation of the rotor 11. However, if such a purge regeneration zone cannot be set in the rotor, FIG.
The low dew point air supply system according to the third embodiment shown in FIG. In FIG. 5, members denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same members as the corresponding members in the low dew point air supply system according to the first embodiment.

【0034】この第3の実施形態にかかる低露点空気供
給システムに用いた乾式減湿装置50は、図6、図7に
示したように、回転するロータ51の両端面にチャンバ
52、53が配置され、さらにロータ51の端面は、ロ
ータ51の回転方向順に、減湿区域51a、再生区域5
1b、高温パージ区域51c、低温パージ区域51dの
4つの空気通過域に区画されている。チャンバ52の外
側端面には、これら各区域に対応して、ダクトなどに接
続するための減湿入口52a、再生出口52b、高温パ
ージ出口52c、低温パージ出口52dが形成されてい
る。もちろんチャンバ53の外方端面にも、これら4つ
の区域に対応し、チャンバ52の外側端面に形成された
前記減湿入口52a、再生出口52b、高温パージ出口
52c、低温パージ出口52dに対応する、減湿出口、
再生入口、高温パージ入口、低温パージ入口が各々形成
されている(いずれも図示せず)。
As shown in FIGS. 6 and 7, the dry dehumidifier 50 used in the low dew point air supply system according to the third embodiment has chambers 52, 53 at both end surfaces of a rotating rotor 51. The end surfaces of the rotor 51 are arranged in the rotation direction of the rotor 51 in the order of the dehumidification area 51 a and the regeneration area 5.
1b, a high-temperature purge section 51c, and a low-temperature purge section 51d. A dehumidification inlet 52a, a regeneration outlet 52b, a high-temperature purge outlet 52c, and a low-temperature purge outlet 52d for connecting to a duct or the like are formed on the outer end surface of the chamber 52 corresponding to each of these sections. Of course, the outer end face of the chamber 53 also corresponds to these four areas, and corresponds to the dehumidification inlet 52a, the regeneration outlet 52b, the high temperature purge outlet 52c, and the low temperature purge outlet 52d formed on the outer end face of the chamber 52. Dehumidification outlet,
A regeneration inlet, a high temperature purge inlet, and a low temperature purge inlet are respectively formed (all not shown).

【0035】そして図5に示したように、ドライルーム
Rからの還気RA2は、パージ空気として低温パージ5
2dを通過した後、冷却装置としての冷却コイル54に
よって冷却された後、高温パージ区域51cに導入され
るようになっている。なお高温パージ区域51cは、前
記第1、第2の実施形態と同様、再生系統の空気と混合
される。
Then, as shown in FIG. 5, the return air RA2 from the dry room R is used as purge air as a low temperature purge 5
After passing through 2d, it is cooled by a cooling coil 54 as a cooling device, and then introduced into the high-temperature purge section 51c. The high-temperature purge section 51c is mixed with the air of the regeneration system as in the first and second embodiments.

【0036】このような構成の第3の実施形態にかかる
低露点空気供給システムによれば、ロータ51にパージ
再生区域が設けられていない分、前記第1、第2の実施
形態より多少エネルギ効率は低下するものの、低温パー
ジ52dを通過して昇温したパージ空気を冷却コイル5
4によって冷却した後高温パージ区域52cに導入する
ようにしたので、ロータ51をパージ空気によって2段
で冷却することができ、依然としてパージ空気の有効利
用を図ることが可能であり、従来よりもエネルギ消費が
少ないものとなっている。またロータ51にパージ再生
区域を設定できないときでも適用できるから、実用的効
果は大きい。
According to the low-dew-point air supply system of the third embodiment having such a configuration, the energy efficiency is slightly higher than that of the first and second embodiments because the purge regeneration area is not provided in the rotor 51. The purge air that has passed through the low-temperature purge 52d but has increased in temperature,
4, the rotor 51 is cooled and then introduced into the high-temperature purge section 52c. Therefore, the rotor 51 can be cooled in two stages by the purge air, so that the purge air can be used more effectively. Consumption is low. Further, since the present invention can be applied even when the purge regeneration area cannot be set in the rotor 51, the practical effect is large.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1、2の低露点空気供給システム
によれば、低温パージ区域を通過して昇温した空気はパ
ージ再生区域を通過する際にロータを加熱するので、ロ
ータの再生区域での加熱量の低減が図れる。またロータ
自体は再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ
区域と低温パージ区域で2段に冷却されることになり、
パージ空気を有効に利用することができ、冷却効率は良
好である。したがってパージ空気の風量を従来より少な
くでき、その分目的室からの還気を処理空気側へと余分
に回すことが可能であり、処理空気として導入する外気
の量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図るこ
とができる。さらに高温パージ区域を通過して昇温した
空気は、再生区域を通過させる再生系統の空気と混合さ
れるので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネル
ギが低減されている。従って請求項1、2の低露点空気
供給システムは、従来のシステムよりもエネルギの消費
量を大幅に低減させることができる。特に請求項2の低
露点空気供給システムでは、パージ再生区域を通過した
空気が高温パージ区域に導入される前に、適宜冷却装置
でパージ空気を冷却するようにしたので、より一層少な
い空気量でロータの冷却を実施することができ、その分
エネルギの消費量をさらに低減できる。
According to the low dew point air supply system of the first and second aspects, the air heated through the low-temperature purge section heats the rotor when passing through the purge regeneration section. , The amount of heating can be reduced. Also, before the rotor itself moves from the regeneration zone to the dehumidification zone, the rotor will be cooled in two stages in the high temperature purge zone and the low temperature purge zone,
The purge air can be effectively used, and the cooling efficiency is good. Accordingly, the air volume of the purge air can be made smaller than before, and the return air from the target chamber can be extraly diverted to the processing air side, thereby reducing the amount of external air introduced as the processing air and the energy required for external air processing. Can be reduced. Further, the air heated by passing through the high-temperature purge zone is mixed with the air of the regeneration system passing through the regeneration zone, so that the energy required for heating the air of the regeneration system is reduced accordingly. Therefore, the low dew point air supply system according to claims 1 and 2 can significantly reduce energy consumption as compared with the conventional system. In particular, in the low dew point air supply system of claim 2, before the air that has passed through the purge regeneration section is introduced into the high-temperature purge section, the purge air is appropriately cooled by the cooling device. The rotor can be cooled, and the energy consumption can be further reduced.

【0038】請求項3の低露点空気供給システムによれ
ば、パージ空気自体の利用効率は従来より良好であっ
て、その風量も従来よりも低減させることができるか
ら、その分、還気を処理空気側へと回すことができ、処
理空気として導入する外気の量の低減を実現して、外気
処理に要するエネルギの低減を図ることができる。また
高温パージ区域を通過して昇温された空気も、再生区域
を通過させる再生系統の空気と混合させているので、再
生系統の空気の加熱に要するエネルギも低減されてい
る。従って、従来よりもエネルギ消費の少ないシステム
となっている。
According to the low dew point air supply system of the third aspect, the efficiency of use of the purge air itself is better than before and the amount of air can be reduced as compared with the conventional case, so that the return air is treated accordingly. It can be turned to the air side, and the amount of outside air introduced as processing air can be reduced, and the energy required for outside air processing can be reduced. In addition, since the air heated through the high-temperature purge zone is mixed with the air in the regeneration system passing through the regeneration zone, the energy required for heating the air in the regeneration system is reduced. Therefore, the system consumes less energy than before.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態にかかる低露点空気
供給システムの構成の概略を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a low dew point air supply system according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a dry dehumidifier used in the low dew point air supply system of FIG.

【図3】図2の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
FIG. 3 is a front view of the dry dehumidifier of FIG. 2 as viewed from an axial direction.

【図4】本発明の第2の実施形態にかかる低露点空気供
給システムの構成の概略を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a low dew point air supply system according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施形態にかかる低露点空気供
給システムの構成の概略を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing a configuration of a low dew point air supply system according to a third embodiment of the present invention.

【図6】図5の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置の斜視図である。
6 is a perspective view of a dry dehumidifier used in the low dew point air supply system of FIG.

【図7】図6の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
FIG. 7 is a front view of the dry dehumidifier of FIG. 6 as viewed from the axial direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 乾式減湿装置 11、51 ロータ 11a 減湿区域 11b パージ再生区域 11c 再生区域 11d 高温パージ区域 11e 低温パージ区域 41、54 冷却コイル D1〜D8 ダンパ R ドライルーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Dry dehumidifier 11, 51 Rotor 11a Dehumidification area 11b Purge regeneration area 11c Regeneration area 11d High temperature purge area 11e Low temperature purge area 41, 54 Cooling coil D1-D8 Damper R Dry room

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前記目的室
には、減湿区域を通過した空気が供給されるように構成
され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式減湿装
置におけるロータの低温パージ区域、パージ再生区域、
高温パージ区域を順に通過するように構成され、前記高
温パージ区域を通過した空気は、再生区域を通過させる
再生系統の空気と混合されるように構成されたことを特
徴とする、低露点空気供給システム。
1. A system for supplying air having a low dew point to a target room by using a dry dehumidifier having a rotatable rotor having an adsorption function and an absorption function, wherein the dry dehumidifier is located at an end face of the rotor. The air passing zone is divided into a regeneration zone, a high temperature purge zone, a low temperature purge zone, a dehumidification zone, and a purge regeneration zone in the order of rotation of the rotor, and the air that has passed through the dehumidification zone is supplied to the target chamber. A part of the return air from the target chamber is a low-temperature purge section of the rotor in the dry dehumidifier, a purge regeneration section,
A low dew point air supply characterized by being configured to sequentially pass through a high temperature purge zone, wherein the air having passed through the high temperature purge zone is mixed with air of a regeneration system passing through the regeneration zone. system.
【請求項2】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前記目的室
には、減湿区域を通過した空気が供給されるように構成
され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式減湿装
置におけるロータの低温パージ区域、パージ再生区域、
高温パージ区域を順に通過するように構成されると共
に、前記パージ再生区域を通過した空気が高温パージ区
域に導入される前に、冷却装置によって冷却されるよう
に構成され、前記高温パージ区域を通過した空気は、再
生区域を通過させる再生系統の空気と混合されるように
構成されたことを特徴とする、低露点空気供給システ
ム。
2. A system for supplying air having a low dew point to a target room using a dry dehumidifier having a rotatable rotor having an adsorption function and an absorption function, wherein the dry dehumidifier is located at an end face of the rotor. The air passing zone is divided into a regeneration zone, a high temperature purge zone, a low temperature purge zone, a dehumidification zone, and a purge regeneration zone in the order of rotation of the rotor, and the air that has passed through the dehumidification zone is supplied to the target chamber. A part of the return air from the target chamber is a low-temperature purge section of the rotor in the dry dehumidifier, a purge regeneration section,
The air passing through the hot purge section is sequentially cooled, and the air that has passed through the purge regeneration section is cooled by a cooling device before being introduced into the hot purge section. Characterized in that the air thus obtained is mixed with air in a regeneration system that passes through the regeneration zone.
【請求項3】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域に仕切られ、前記目的室には、減湿区域を
通過した空気が供給されるように構成され、前記目的室
からの還気の一部が、前記乾式減湿装置におけるロータ
の低温パージ区域、高温パージ区域を順に通過するよう
に構成され、前記低温パージ区域を通過した空気が高温
パージ区域に導入される前に冷却装置によって冷却され
るように構成され、前記高温パージ区域を通過した空気
は、再生区域を通過させる再生系統の空気と混合される
ように構成されたことを特徴とする、低露点空気供給シ
ステム。
3. A system for supplying air with a low dew point to a target room by using a dry dehumidifier having a rotatable rotor having an adsorption function and an absorption function, wherein the dry dehumidifier is located at an end face of the rotor. The passage area of the air is divided into a regeneration area, a high-temperature purge area, a low-temperature purge area, and a dehumidification area in the order of rotation of the rotor, so that the air passing through the dehumidification area is supplied to the destination chamber. A part of the return air from the target chamber passes through a low-temperature purge section and a high-temperature purge section of the rotor in the dry dehumidifier in that order, and the air that has passed through the low-temperature purge section is purged by the high-temperature purge section. The air that has been configured to be cooled by a cooling device before being introduced into the zone, and that has passed through the high-temperature purge zone has been configured to be mixed with air of a regeneration system that passes through the regeneration zone. And a low dew point air supply system.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001179036A (en) * 1999-12-27 2001-07-03 Seibu Giken Co Ltd Dehumidifier system
EP1231439A1 (en) * 1999-11-12 2002-08-14 Daikin Industries, Ltd. Clean room
EP1275431A3 (en) * 2001-07-10 2003-02-26 Nichias Co., Ltd. Air filter
JP2008012400A (en) * 2006-07-04 2008-01-24 Nichias Corp Dehumidification method and dehumidifying apparatus
WO2011017782A1 (en) * 2009-08-11 2011-02-17 Atlas Copco Airpower Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer
JP2012217879A (en) * 2011-04-05 2012-11-12 Seibu Giken Co Ltd Adsorption type dehumidifier
WO2013046715A1 (en) * 2011-09-29 2013-04-04 ダイキン工業株式会社 Dehumidification system
US10478771B2 (en) 2014-12-16 2019-11-19 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas
EP3945253A4 (en) * 2019-03-29 2022-05-18 Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. Dehumidifying device for dew point temperature adjustment

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1231439A1 (en) * 1999-11-12 2002-08-14 Daikin Industries, Ltd. Clean room
EP1231439A4 (en) * 1999-11-12 2003-05-07 Daikin Ind Ltd Clean room
US6960236B1 (en) 1999-11-12 2005-11-01 Daikin Industries, Ltd. Clean room
JP2001179036A (en) * 1999-12-27 2001-07-03 Seibu Giken Co Ltd Dehumidifier system
EP1275431A3 (en) * 2001-07-10 2003-02-26 Nichias Co., Ltd. Air filter
JP2008012400A (en) * 2006-07-04 2008-01-24 Nichias Corp Dehumidification method and dehumidifying apparatus
KR101340208B1 (en) * 2006-07-04 2013-12-10 니치아스 가부시키가이샤 Dehumidifing method and dehumidifing apparatus
AU2010282153B2 (en) * 2009-08-11 2015-04-02 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer
WO2011017782A1 (en) * 2009-08-11 2011-02-17 Atlas Copco Airpower Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer
BE1018854A3 (en) * 2009-08-11 2011-10-04 Atlas Copco Airpower Nv DRYER FOR COMPRESSED GAS AND METHOD THEREFORE APPLIED.
US9586172B2 (en) 2009-08-11 2017-03-07 Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap Dryer for compressed gas
JP2012217879A (en) * 2011-04-05 2012-11-12 Seibu Giken Co Ltd Adsorption type dehumidifier
JPWO2013046715A1 (en) * 2011-09-29 2015-03-26 ダイキン工業株式会社 Dehumidification system
CN103827589A (en) * 2011-09-29 2014-05-28 大金工业株式会社 Dehumidification system
US9557069B2 (en) 2011-09-29 2017-01-31 Daikin Industries, Ltd. Dehumidification system
WO2013046715A1 (en) * 2011-09-29 2013-04-04 ダイキン工業株式会社 Dehumidification system
US10478771B2 (en) 2014-12-16 2019-11-19 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas
US11173448B2 (en) 2014-12-16 2021-11-16 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas
EP3945253A4 (en) * 2019-03-29 2022-05-18 Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. Dehumidifying device for dew point temperature adjustment

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