JPH1084156A - Laser oscillator - Google Patents

Laser oscillator

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JPH1084156A
JPH1084156A JP23678596A JP23678596A JPH1084156A JP H1084156 A JPH1084156 A JP H1084156A JP 23678596 A JP23678596 A JP 23678596A JP 23678596 A JP23678596 A JP 23678596A JP H1084156 A JPH1084156 A JP H1084156A
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Shinichiro Takagi
信一郎 高木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser oscillator by which the overshooting of an optical power is avoided and a stable laser output can be obtained. SOLUTION: An oscillator control unit 5 receives a laser output command signal 23 from an NC apparatus 3 and outputs a voltage waveform command signal 25 which is supplied to a power supply unit 9. The power supply unit 9 supplies a discharge power to an oscillation head 15 which outputs a laser beam LB. The outputted laser beam LB is detected by a laser beam detecting means 17 which supplies a detection signal to a comparator 19. On the other hand, a simulator unit 21 simulates the operation since the oscillation control unit 5 receives the laser output command signal 23 till the laser beam detector 17 outputs the detection signal V2 and supplies a simulation signal V1 to the comparator 19. The comparator 19 detects the deviation between the detection signal V2 of the laser beam detector 17 and the simulation signal V1 and the negative feedback of the deviation is performed by an adder 7 to correct the voltage waveform command signal 25.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はレーザ発振器に係
り、さらに詳しくは、電圧波形指令信号の補正をするこ
とにより光パワーの制御を行うレーザ発振器に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillator, and more particularly, to a laser oscillator that controls optical power by correcting a voltage waveform command signal.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3を参照するに、従来より光波形指令
を使用するレーザ発振器101として特開平4−350
78号公報に示されるものがある。すなわち、NC装置
103から発せられた周波数、デューティ、振幅等の指
令を第一の信号処理部105が光波形指令信号107に
変換して加算器109を経て第二の信号処理部111に
伝達する。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows a conventional laser oscillator 101 using an optical waveform command.
No. 78 is disclosed. That is, the first signal processing unit 105 converts a command such as a frequency, a duty, and an amplitude issued from the NC device 103 into an optical waveform command signal 107 and transmits the signal to the second signal processing unit 111 via the adder 109. .

【0003】第二の信号処理部111では光波形指令信
号107を電圧波形指令信号113に変換し、電源部1
15に送られる。この電源部115は、DCPU117
とRFPU119から構成されており、DCPU117
では商用電源からDC可変電圧を得てパルス変調等を行
う。
A second signal processing section 111 converts the optical waveform command signal 107 into a voltage waveform command signal 113,
15 The power supply unit 115 includes a DCPU 117
And the RFPU 119, and the DCPU 117
Then, a DC variable voltage is obtained from a commercial power supply to perform pulse modulation and the like.

【0004】さらに、RFPU119はDC電圧からR
F(高周波交流)および高圧への変換を行い、発振ヘッ
ド121からレーザ光LBを発する。発振ヘッド121
から発せられたレーザ光LBは光センサ123で検出さ
れて光出力検出信号V2 が比較器125に送られる。こ
の光出力検出信号V2 は、光波形指令から電圧波指令へ
変換する遅れT1 と、電圧波形指令から放電までの遅れ
とベース放電の時間による遅れT2 (図5参照)を有し
ている。
[0004] Further, the RFPU 119 converts the DC voltage to R
The laser beam LB is emitted from the oscillation head 121 after conversion into F (high frequency alternating current) and high voltage. Oscillation head 121
The laser light LB emitted from the optical sensor 123 is detected by the optical sensor 123, and the optical output detection signal V 2 is sent to the comparator 125. The optical output detection signal V 2 has a delay T 1 for converting the light signal waveform command to the voltage wave command, a delay T 2 (see FIG. 5) due to the delay and the base discharge time from the voltage waveform command to discharge I have.

【0005】一方、第一の信号処理部105からの光波
形指令信号107は、光センサ123の遅れ(数100
ms)と同じ遅れを持つCRフィルター127により前
記光センサ123の応答特性に合せられたレーザ出力指
令信号V1 が比較器125へ送られる。
On the other hand, the optical waveform command signal 107 from the first signal processing unit 105 is delayed by the optical sensor 123 (several 100).
The laser output command signal V 1 matched to the response characteristic of the optical sensor 123 is sent to the comparator 125 by the CR filter 127 having the same delay as ms).

【0006】比較器125は入力された光センサ123
からのフィードバック信号である光出力検出信号V2
CRフィルター127からのレーザ出力指令信号V1
の偏差を算出し、加算器109により第一の信号処理部
105からの光波形指令信号に加算されてこれを補正し
て第二の信号処理部111を経て電源部115へ送るこ
とにより光パワーを制御する。
[0006] The comparator 125 receives the input optical sensor 123.
Of the laser output command signal V 1 from the CR filter 127 and the optical output detection signal V 2 from the CR filter 127, and the adder 109 adds the deviation to the optical waveform command signal from the first signal processing unit 105. Then, the optical power is controlled by correcting this and sending it to the power supply unit 115 via the second signal processing unit 111.

【0007】次ぎに、図4を参照するに、光波形指令を
使用しないレーザ発振器131が示されている。なお、
前述の図3に示したレーザ発振器101と共通の部位に
は共通の符号を付すこととする。
Next, referring to FIG. 4, there is shown a laser oscillator 131 which does not use an optical waveform command. In addition,
The same parts as those of the laser oscillator 101 shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

【0008】このレーザ発振器129では、NC装置1
03から周波数、デューティ、振幅等のレーザ出力指令
信号131が発振器制御部133に発せられると、発振
器制御部133の第一の信号処理部135で前記レーザ
出力指令信号131を光波形指令信号に変換して第二の
信号処理部137に伝達し、第二の信号処理部137が
光波形指令信号を電圧波形指令信号113に変換する。
この電圧波形指令信号113は加算器109を経て電源
部115のDCPU117に伝達される。
In the laser oscillator 129, the NC device 1
When a laser output command signal 131 such as frequency, duty, amplitude, etc. is sent to the oscillator control unit 133 from 03, the first signal processing unit 135 of the oscillator control unit 133 converts the laser output command signal 131 into an optical waveform command signal. Then, the signal is transmitted to the second signal processing unit 137, and the second signal processing unit 137 converts the optical waveform command signal into the voltage waveform command signal 113.
The voltage waveform command signal 113 is transmitted to the DCPU 117 of the power supply unit 115 via the adder 109.

【0009】DCPU117は商用電源からDC可変電
圧を得てパルス変調等を行い、さらにRFPU119で
DC電圧からRF(高周波交流)および高圧への変換を
行い、発振ヘッド121からレーザ光LBを発する。こ
のレーザ光LBを光センサ123が検出して光出力検出
信号V2 を比較器125に送る。
The DCPU 117 obtains a DC variable voltage from a commercial power supply, performs pulse modulation and the like, further converts the DC voltage into RF (high-frequency alternating current) and high voltage with the RFPU 119, and emits a laser beam LB from the oscillation head 121. The optical sensor 123 detects the laser light LB and sends an optical output detection signal V 2 to the comparator 125.

【0010】一方、発振器制御部133からの電圧波形
指令信号113はシュミレータ139にも送られ、さら
に比較器125に送られて光センサ123からの光出力
検出信号V2 との偏差をとり加算器109へ送られ負信
号として電圧波形指令信号113に加算されてこれを補
正して電源部115へ送ることにより光パワーを制御す
る。
On the other hand, the voltage waveform command signal 113 from the oscillator control unit 133 is also sent to the simulator 139, and further sent to the comparator 125, which calculates the deviation from the optical output detection signal V 2 from the optical sensor 123, and calculates the deviation. The light power is sent to the power supply unit 115, corrected as a negative signal and added to the voltage waveform command signal 113.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5を
参照するに、先に示したレーザ発振器101において
は、CRフィルター127から比較器125への信号V
1 が、第二の信号処理部111等の遅れT1 (数10〜
数ms)により光パワーが出力されていない状態から立
上がってしまい誤った補正をかけてオーバーシュート
(V1 −V2 分が加わる)による加工不良を生じるおそ
れがある。また、このオーバーシュートを抑制するため
にゲインを落とすと光パワーの安定性が低下するという
問題がある。
However, referring to FIG. 5, in the laser oscillator 101 shown above, the signal V from the CR filter 127 to the comparator 125 is output.
1 is the delay T 1 of the second signal processing unit 111 and the like (Equation 10)
For several milliseconds, the optical power may rise from a state where no optical power is output, and erroneous correction may be applied to cause a processing failure due to overshoot (addition of V 1 -V 2 ). Further, if the gain is reduced to suppress the overshoot, there is a problem that the stability of the optical power is reduced.

【0012】また、次いで示したレーザ発振器129で
は、前述のレーザ発振器101と異なリ第二の信号処理
部111が閉ループ内になく、電圧波形指令信号113
からベース放電までの遅れもシュミレートできるので前
記したような問題はないものの、シュミレータ139を
アナログ回路で構成した場合に、レーザ発振器129ご
との特性に合うように手動で調整しなければならず、ま
た調整箇所が多いため面倒である。
In the laser oscillator 129 shown next, the second signal processing unit 111 different from the laser oscillator 101 is not in a closed loop, and the voltage waveform command signal 113
Although the above-mentioned problem does not occur because the delay from the start to the base discharge can be simulated, when the simulator 139 is configured by an analog circuit, it must be manually adjusted to match the characteristics of each laser oscillator 129. It is troublesome because there are many adjustment points.

【0013】シュミレータ139をデジタルで構成した
場合には、調整化を自動化することができるものの処理
に時間を要し、前述の場合と逆に光センサ123の信号
141の方がシュミレータ139の出力よりも先に立上
がり、誤った補正を行うおそれがある。
When the simulator 139 is digitally configured, the adjustment can be automated, but it takes time for processing, and the signal 141 of the optical sensor 123 is more than the output of the simulator 139, contrary to the above case. May rise up first and make erroneous corrections.

【0014】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、光パワーのオーバー
シュートを防止して安定したレーザ出力を得ることので
きるようなレーザ発振器を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a laser oscillator capable of preventing an overshoot of optical power and obtaining a stable laser output by focusing attention on the above conventional technology. Is to do.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1による発明のレーザ発振器は、NC装置
からのレーザ出力指令信号を受けて電圧波形指令信号に
変換する発振器制御部と、この発振器制御部からの電圧
波形指令信号を受けて放電電力を供給する電源部と、こ
の電源部からの電力によりレーザ光を発する発振ヘッド
を有し、前記発振ヘッドからのレーザ光を検出するレー
ザ光検出器と、前記発振器制御部がレーザ出力指令信号
を受けてから前記レーザ光検出器が検出信号を発するま
での動作をシュミレートするシュミレータ部と、前記シ
ュミレータ部からのシュミレータ信号と前記レーザ光検
出器からの信号との偏差をとる比較器と、この比較器か
らの偏差を前記電圧波形指令信号に負帰還させて前記電
圧波形指令信号を補正する加算器と、を備えてなること
を特徴とするものである。
According to another aspect of the present invention, there is provided a laser oscillator which receives a laser output command signal from an NC unit and converts it into a voltage waveform command signal. A power supply unit that receives a voltage waveform command signal from the oscillator control unit and supplies discharge power, and an oscillation head that emits a laser beam using the power from the power supply unit, and detects the laser beam from the oscillation head. A laser light detector, a simulator for simulating an operation from when the oscillator controller receives a laser output command signal to when the laser light detector emits a detection signal, a simulator signal from the simulator, and the laser light. A comparator that takes a deviation from a signal from the detector; and a negative feedback of the deviation from the comparator to the voltage waveform command signal to generate the voltage waveform command signal. A positive adder and is characterized in that it comprises an.

【0016】従って、NC装置からのレーザ出力指令信
号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、こ
の電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振ヘ
ッドに供給してレーザ光を出力する。レーザ光検出手段
が出力されたレーザ光を検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発する。比較器が前記レーザ光検出器
の検出信号と前記シュミレート信号の偏差をとり、この
偏差を加算器が前記電圧波形指令信号に負帰還させて電
圧波形指令信号を補正する。
Therefore, the oscillator control section generates a voltage waveform command signal in response to the laser output command signal from the NC device, and the power supply section supplies discharge power to the oscillation head in response to the voltage waveform command signal to generate the laser beam. Output. The laser light detecting means detects the output laser light and issues a signal to the comparator. On the other hand, the simulator simulates the operation from the receipt of the laser output command signal by the oscillator control unit to the issuance of the detection signal by the laser light detector, and issues a simulation signal to the comparator. A comparator takes a deviation between the detection signal of the laser light detector and the simulation signal, and the adder negatively feeds back the deviation to the voltage waveform command signal to correct the voltage waveform command signal.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0018】図1には、この発明にかかるレーザ発振器
1が示されている。このレーザ発振器1では、NC装置
3に発振器制御部5が接続されており、この発振器制御
部5には加算器7を経て電源部9のDCPU11が接続
され、同じく電源部9のRFPU13を経て発振ヘッド
15が接続されている。
FIG. 1 shows a laser oscillator 1 according to the present invention. In the laser oscillator 1, an oscillator control unit 5 is connected to the NC device 3. The oscillator control unit 5 is connected to a DCPU 11 of a power supply unit 9 via an adder 7, and also oscillates via an RFPU 13 of the power supply unit 9. The head 15 is connected.

【0019】また、発振ヘッド15から発せられたレー
ザ光LBを検出するレーザ光検出器としての光センサ1
7が設けられており、この光センサ17は比較器19に
接続されている。
An optical sensor 1 as a laser light detector for detecting the laser light LB emitted from the oscillation head 15
The optical sensor 17 is connected to a comparator 19.

【0020】一方、前記NC装置3には、DCPU1
1、RFPU13、発振ヘッド15、光センサ17等を
シュミレートしたシュミレータ部21が接続されてい
る。このシュミレータ部21は前記比較器19に接続さ
れ、この比較器19は前記加算器7に接続されている。
On the other hand, the NC unit 3 has a DCPU 1
1, a simulator unit 21 that simulates the RFPU 13, the oscillation head 15, the optical sensor 17, and the like is connected. The simulator section 21 is connected to the comparator 19, and the comparator 19 is connected to the adder 7.

【0021】従って、NC装置3からの周波数、デュー
ティ、振幅等のレーザ出力指令信号23を発振器制御部
5が電圧波形指令信号25に変換する。さらに、発振器
制御部5から発せられた電圧波形指令信号25は加算器
7を経て電源部9に伝達される。
Accordingly, the oscillator control unit 5 converts the laser output command signal 23 such as the frequency, duty, and amplitude from the NC device 3 into a voltage waveform command signal 25. Further, the voltage waveform command signal 25 issued from the oscillator control unit 5 is transmitted to the power supply unit 9 via the adder 7.

【0022】一方、比較器19には、前記DCPU1
1、RFPU13、発振ヘッド15、光センサ17のす
べてをシュミレートするシュミレータ部21からのシュ
ミレート信号V1 および実際にDCPU11、RFPU
13、発振ヘッド15、光センサ17のすべてを経てき
た前記光センサ17からの信号V2 が入力され、その差
を前記加算器7に加えることにより前記電圧波形指令信
号25を補正して、光パワーを制御する。前記シュミレ
ータ部21では、予め発振器制御部5に読み込まれてい
る開ループ特性データ(振幅指令に対する電圧波形振幅
指令)に基づいてシュミレート信号V1 を出力する。
On the other hand, the comparator 19 includes the DCPU 1
1, the simulation signal V 1 from the simulator unit 21 for simulating all of the RFPU 13, the oscillation head 15, and the optical sensor 17, and the DCPU 11 and the RFPU
13, the oscillation head 15, the signal V 2 from the light sensor 17 which has gone through all of the optical sensor 17 is inputted, by correcting the voltage waveform instruction signal 25 by adding the difference to the adder 7, the light Control power. The simulator section 21 outputs a simulation signal V 1 based on the open-loop characteristic data (voltage waveform amplitude command corresponding to the amplitude command) that has been read in the oscillator control section 5 in advance.

【0023】図2を参照するに、光センサ17からの信
号V2 はレーザ出力指令信号23が発振器制御部5へき
てから放電までに要する時間とベース放電を加えた時間
Dだけ発振器制御部5からの電圧波形指令信号25よ
りも遅れて立上がるので、シュミレータ部21からのシ
ュミレート信号V1 を同様にレーザ出力指令信号23が
発振器制御部5へきてから放電までの時間とベース放電
を加えた時間だけ遅れて立上げるようにしてV1 とV2
を同期させる。
[0023] Referring to FIG. 2, only the signal V 2 is the time required until the discharge from the come laser output command signal 23 to the oscillator control unit 5 and the base discharge plus the time T D from the optical sensor 17 oscillator control unit since rises later than the voltage waveform command signal 25 from 5, plus the time the base discharge to the discharge from the come simulated signal V 1 in the same manner of the laser output command signal 23 from the simulator part 21 to the oscillator control unit 5 in the manner time only delay raises V 1 and V 2
To synchronize.

【0024】以上の結果から、シュミレート信号V1
レーザ出力指令信号23に対して、レーザ出力指令信号
23が発振器制御部5へきてから放電までの時間とベー
ス放電を加えた時間TD だけ遅らせて出力することによ
り、光センサ17からの信号と同期させることができる
ので、安定した光パワーの制御ができる。これにより、
光パワーのオーバーシュートによる加工不良を回避する
ことができる。
From the above results, the simulation signal V 1 is delayed from the laser output command signal 23 by the time from when the laser output command signal 23 arrives at the oscillator control unit 5 to the discharge and the time T D obtained by adding the base discharge. By outputting the signal, the signal can be synchronized with the signal from the optical sensor 17, so that stable control of the optical power can be performed. This allows
Processing defects due to overshoot of optical power can be avoided.

【0025】また、開ループ特性データを発振器制御部
5に読み込むことにより、調整の自動化を図ることがで
きる。
Further, by reading the open loop characteristic data into the oscillator control section 5, the adjustment can be automated.

【0026】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be embodied in other modes by making appropriate changes.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よるレーザ発振器では、NC装置からのレーザ出力指令
信号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、
この電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振
ヘッドに供給してレーザ光を出力する。出力されたレー
ザ光はレーザ光検出手段が検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発するので、レーザ光検出手段からの
検出信号と同期して比較器に入力される。このため、比
較器では前記レーザ光検出器の検出信号と前記シュミレ
ート信号の偏差をとり、この偏差を加算器が前記電圧波
形指令信号に負帰還させて電圧波形指令信号を補正する
ことにより正確な補正をすることができる。このため、
オーバーシュートによる加工不良を回避することがで
き、安定した出力を得ることができる。
As described above, in the laser oscillator according to the first aspect of the present invention, the oscillator control section generates a voltage waveform command signal in response to a laser output command signal from the NC device.
In response to the voltage waveform command signal, the power supply unit supplies discharge power to the oscillation head and outputs laser light. The outputted laser light is detected by the laser light detecting means and emits a signal to the comparator. On the other hand, the simulator unit simulates the operation from the receipt of the laser output command signal by the oscillator control unit to the emission of the detection signal by the laser light detector and emits a simulated signal to the comparator. Is input to the comparator in synchronization with the detection signal. For this reason, the comparator takes a deviation between the detection signal of the laser light detector and the simulation signal, and corrects the deviation by negatively feeding back the deviation to the voltage waveform command signal by the adder to correct the voltage waveform command signal. Corrections can be made. For this reason,
Processing defects due to overshoot can be avoided, and a stable output can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明にかかるレーザ発振器の一実施の形態
を示すブロック構成図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a laser oscillator according to the present invention.

【図2】図1中の電圧波形指令とシュミレータ信号と光
センサからの信号との関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship among a voltage waveform command, a simulator signal, and a signal from an optical sensor in FIG.

【図3】従来の光波形指令を使用するタイプのレーザ発
振器を示すブロック構成図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a conventional laser oscillator using an optical waveform command.

【図4】従来の光波形指令を使用しないタイプのレーザ
発振器を示すブロック構成図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a conventional laser oscillator that does not use an optical waveform command.

【図5】従来のレーザ発振器における各信号の関係を示
すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship among signals in a conventional laser oscillator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザ発振器 3 NC装置 5 発振器制御部 7 加算器 9 電源部 15 発振ヘッド 17 光センサ(レーザ光検出器) 19 比較器 21 シュミレータ部 23 レーザ出力指令信号 25 電圧波形指令信号 REFERENCE SIGNS LIST 1 laser oscillator 3 NC device 5 oscillator control unit 7 adder 9 power supply unit 15 oscillation head 17 optical sensor (laser light detector) 19 comparator 21 simulator unit 23 laser output command signal 25 voltage waveform command signal

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 NC装置からのレーザ出力指令信号を受
けて電圧波形指令信号に変換する発振器制御部と、この
発振器制御部からの電圧波形指令信号を受けて放電電力
を供給する電源部と、この電源部からの電力によりレー
ザ光を発する発振ヘッドを有し、前記発振ヘッドからの
レーザ光を検出するレーザ光検出器と、前記発振器制御
部がレーザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出
器が検出信号を発するまでの動作をシュミレートするシ
ュミレータ部と、前記シュミレータ部からのシュミレー
タ信号と前記レーザ光検出器からの信号との偏差をとる
比較器と、この比較器からの偏差を前記電圧波形指令信
号に負帰還させて前記電圧波形指令信号を補正する加算
器と、を備えてなることを特徴とするレーザ発振器。
An oscillator control unit that receives a laser output command signal from an NC device and converts the laser output command signal into a voltage waveform command signal; a power supply unit that receives a voltage waveform command signal from the oscillator control unit and supplies discharge power; A laser light detector that emits laser light with power from the power supply unit, a laser light detector that detects laser light from the oscillation head, and the laser light detection after the oscillator control unit receives a laser output command signal. A simulator for simulating the operation until the detector emits a detection signal, a comparator for obtaining a deviation between the simulator signal from the simulator and the signal from the laser light detector, and a deviation from the comparator for the voltage. A laser oscillator comprising: an adder that performs negative feedback on the waveform command signal to correct the voltage waveform command signal.
JP23678596A 1996-09-06 1996-09-06 Laser oscillator Expired - Fee Related JP3616205B2 (en)

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