JPH1076465A - Grinding machining device and grinding machining method - Google Patents

Grinding machining device and grinding machining method

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JPH1076465A
JPH1076465A JP24904296A JP24904296A JPH1076465A JP H1076465 A JPH1076465 A JP H1076465A JP 24904296 A JP24904296 A JP 24904296A JP 24904296 A JP24904296 A JP 24904296A JP H1076465 A JPH1076465 A JP H1076465A
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grindstone
grinding
electrode
machining
electric discharge
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紀之 根橋
Kimihiro Wakabayashi
公宏 若林
Yoshio Suzuki
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize machining of a small surface roughness and extremely high form precision. SOLUTION: A conductive grinding wheel 2 is disposed to get in contact with a work 3 while rotating for performing grinding machining to it, and at close positions to the grinding wheel 2 to face it, an electrolytic dressing electrode 5 to perform dressing by electrolytic action through processing liquid provided between that and the grinding wheel 2, and an electric discharge machining head 8 to perform truing by electric discharge machining by generating discharge between that and the grinding wheel 2 are provided. Between the grinding wheel 2 and the work 3, between the grinding wheel 2 and the electrolytic dressing electrode 5, and between the grinding wheel 2 and the electric discharge machining head 8, same processing liquid of a volume resistance of 0.1kΩm or more and 10kΩm or less (or favorably, 0.5kΩm or more and 1.5kΩm or less) is supplied from nozzles 11, 12, 13. Dressing and truing can thus be simultaneously performed without disconnecting grinding machining, thereby conditions of the grinding wheel 2 can be maintained to be favorable.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、砥石を用いて研削
加工を行なう研削加工装置及び研削加工方法に係り、特
に、極めて表面粗さの小さい加工であり、かつ形状精度
の高い加工を可能とする研削加工装置及び研削加工方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grinding apparatus and a grinding method for performing a grinding process using a grindstone, and more particularly to a process having extremely small surface roughness and capable of performing a process with high shape accuracy. To a grinding apparatus and a grinding method.

【0002】[0002]

【従来の技術】研削加工においては表面粗さを小さくし
ようとすれば、使用される砥粒径が小さい、すなわち砥
石番手の大きな砥石を使用することになるが、番手の大
きい砥石は加工屑による目詰まりが極めて容易に起き
る。このため、表面粗さの極めて小さい加工、いわゆる
鏡面研削を効率よく行うことは困難である。この問題を
解決する手段として、例えば特開平3−196968号
公報に開示される技術がある。この技術は、微細な砥粒
を用いたメタルボンド砥石で研削加工を行なうととも
に、この砥石の研削面と対向するように電極を設けてこ
の電極と砥石との間に電解液を供給する。そして、砥石
と電極との間に電圧を印加して、電解作用によるドレッ
シング(目立て)を行うものである。この技術では、砥
粒間につまった加工屑を電解作用よって除去することが
でき、砥石の目詰まりによる研削抵抗の増大や研削焼
け、加工面のささくれなどの加工異常を解消して、表面
粗さの小さい加工を可能とするものである。
2. Description of the Related Art In the grinding process, if the surface roughness is to be reduced, a grindstone used is small, that is, a grindstone having a large grindstone is used. Clogging occurs very easily. Therefore, it is difficult to efficiently perform processing with extremely small surface roughness, that is, so-called mirror polishing. As means for solving this problem, for example, there is a technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-196968. In this technique, grinding is performed with a metal bond grindstone using fine abrasive grains, an electrode is provided so as to face a grinding surface of the grindstone, and an electrolytic solution is supplied between the electrode and the grindstone. Then, a voltage is applied between the grindstone and the electrode to perform dressing (sharpening) by an electrolytic action. With this technology, machining debris clogged between abrasive grains can be removed by electrolytic action, eliminating grinding abnormalities such as increased grinding resistance due to clogging of grinding wheels, grinding burns, and scuffing of the machined surface. This enables small processing.

【0003】一方、形状精度の高い研削加工を行なうた
めには、あらかじめ砥石のツルーイング(砥石の外周形
状の加工、形状直し)を行う必要がある。上記メタルボ
ンド砥石の形状加工には、ダイヤモンドツルアを使用す
る方法や別の砥石を使用して共擦りさせる方法など機械
的な加工法が知られている。しかし、このような方法は
砥石に対して大きな反力が作用するため砥石の位置ずれ
が生じて加工精度が悪化したり、ツルアそのものが消耗
することにより所望の形状が得られなかったりする欠点
があった。これらの問題を解消する技術として、特公平
2−38346号公報、特開平3−196968号公
報、特開平6−210566号公報に開示されるものが
ある。
On the other hand, in order to perform grinding with high shape accuracy, it is necessary to perform truing of the grindstone (working of the outer peripheral shape of the grindstone, reshaping) in advance. As the shape processing of the metal bond grindstone, a mechanical processing method such as a method using a diamond truer or a method of co-rubbing with another grindstone is known. However, such a method has a drawback in that a large reaction force acts on the grindstone, thereby causing the misalignment of the grindstone, thereby deteriorating the processing accuracy, or depleting the truer itself so that a desired shape cannot be obtained. there were. Techniques for solving these problems include those disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-38346, Japanese Patent Laid-Open No. 3-196968, and Japanese Patent Laid-Open No. 6-210566.

【0004】特公平2−38346号公報に開示される
技術は、走行ワイヤを用いた放電加工により、砥石の形
状直し(ツルーイング)を行なうものであり、加工反力
を無視することができ、しかも放電電極の消耗を無視し
得るほど小さくすることができる。また、この技術では
研削を行う加工機械上でのツルーイングが可能となり、
砥石の取り外しを不要とすることができ、これまでのツ
ルーイング専用機で加工していた方法と比べて能率及び
精度が大きく改善される。ただし、この方法は研削加工
時の砥石ポジションと放電加工の電極ワイヤが離れた位
置に存在するため、NC工作機械の使用を前提とし、放
電加工を行うためには、砥石をNC装置により制御し
て、放電加工を行う所へ移動させることになる。従っ
て、砥石をはずす必要は無くなるものの、砥石の成形が
必要となる度に加工を中断し、ワイヤ走行装置が設置し
てある位置へ砥石を移動させて成形を行わなければなら
ない。このため、作業能率が低下するとともに、砥石を
長距離移動させることによる位置決めの誤差が大きくな
り、加工精度が低下するという欠点を有している。
[0004] The technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-38346 is to reshape (truing) a grindstone by electric discharge machining using a traveling wire. The consumption of the discharge electrode can be reduced to a negligible level. In addition, this technology enables truing on a processing machine that performs grinding,
The removal of the grindstone can be made unnecessary, and the efficiency and accuracy are greatly improved as compared with the conventional method of processing with a dedicated truing machine. However, this method presupposes the use of an NC machine tool because the position of the grinding wheel at the time of grinding and the position of the electrode wire for electrical discharge machining are separated, and in order to perform electrical discharge machining, the grinding wheel is controlled by an NC device. Then, it is moved to a place where electric discharge machining is performed. Therefore, although it is not necessary to remove the grindstone, the processing must be interrupted each time the grindstone is required, and the grindstone must be moved to the position where the wire traveling device is installed to perform the molding. For this reason, the working efficiency is reduced, and the positioning error caused by moving the grindstone over a long distance is increased, resulting in a disadvantage that the processing accuracy is reduced.

【0005】特開平3−196968に開示される技術
は、砥石のドレッシングとともにツルーイングを行なう
ものであり、電極を砥石の研削面に所定圧で接触させ、
この部分に加工液を介在させて、電極と砥石との間に電
圧を印加するものである。このような構成により、電気
化学的作用、化学的作用、機械的作用及び放電作用が働
き、砥石のドレッシングともにツルーイングが行なわれ
るものである。ただし、電極を砥石に接触させているた
め、電極が消耗するという欠点、及び機械的加工による
ツルーイングと同様に加工精度が悪化するという欠点が
ある。したがって、この技術は主としてドレッシング
(目立て)に有効ではあるが、ツルーイング精度には限
界があり、特に高精度な加工は期待できない。
[0005] The technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-196968 is to perform truing together with dressing of a grindstone.
A voltage is applied between the electrode and the grindstone with a working fluid interposed in this portion. With such a configuration, an electrochemical action, a chemical action, a mechanical action, and a discharge action work, and truing is performed together with dressing of the grindstone. However, since the electrode is in contact with the grindstone, there is a disadvantage that the electrode is worn out, and that the processing accuracy is deteriorated as in the case of truing by mechanical processing. Therefore, although this technique is mainly effective for dressing (sharpening), truing accuracy is limited, and particularly high-precision processing cannot be expected.

【0006】特開平6−210566に開示される研削
加工装置は、砥石に対して相対的な移動が可能に支持さ
れたワイヤ放電加工装置を有し、砥石の研削面の形状を
検知しながら砥石のツルーイングを行なうものである。
すなわち、放電加工装置は砥石の研削面に対して幅方向
及び垂直方向に相対移動が可能なテーブルに支持されて
おり、この放電加工装置におけるワイヤ電極の放電開始
位置(放電開始ギャップ)を検知することができるよう
になっている。これにより、被加工物の研削加工中に砥
石の研削面の形状変化を検知して、これに応じた砥石の
ツルーイング(成形)を行なうものである。したがっ
て、加工中に引き起こされる砥石の消耗による形状変化
に対応してツルーイングを行い、極めて高い形状精度の
研削加工を実現することが可能となる。
The grinding machine disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-210566 has a wire electric discharge machine supported so as to be relatively movable with respect to the grindstone, and detects the shape of the grinding surface of the grindstone while detecting the shape of the grindstone. Truing.
That is, the electric discharge machine is supported on a table which can be moved relative to the grinding surface of the grindstone in the width direction and the vertical direction, and detects a discharge start position (discharge start gap) of the wire electrode in the electric discharge machine. You can do it. Thus, a change in the shape of the grinding surface of the grindstone is detected during the grinding of the workpiece, and truing (forming) of the grindstone is performed in accordance with the change. Therefore, truing is performed in response to a change in shape due to wear of the grindstone caused during processing, and it becomes possible to realize grinding with extremely high shape accuracy.

【0007】このように、従来から表面粗さの小さい加
工、又は形状精度の高い加工を行なうための技術が開発
されており、特開平3−196968号公報に記載の電
解インプロセスドレッシング技術を用いることによって
極めて表面粗さの小さい加工が実現され、特開平6−2
10566号公報に記載の放電ツルーイング技術の適用
によって極めて形状精度の高い加工が可能となってい
る。
As described above, a technique for performing processing with small surface roughness or processing with high shape accuracy has been conventionally developed, and employs an electrolytic in-process dressing technique described in JP-A-3-196968. As a result, processing with extremely small surface roughness is realized.
By applying the discharge truing technique described in Japanese Patent No. 10566, machining with extremely high shape accuracy is possible.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、極めて
表面粗さが小さく、なおかつ極めて形状精度が高い研削
加工を行うことについては、上記従来の技術では十分な
結果が得られない。上記特開平3−196968号公報
に記載の技術では、初めに高精度で砥石ののツルーイン
グをしておいても、ドレッシングを行ないながら研削加
工を行なう内に砥石の形状に微小な変化を生じる。これ
は、ドレッシングに用いられる電解作用が、砥石表面に
付着した加工屑に作用すると同時に砥石そのものにも影
響を与えることによる。つまり、砥粒を保持する金属の
結合材に作用してこれを溶解あるいは変質させ、砥石を
消耗させたり砥石径を変化させたりすることによるもの
であり、研削加工後における被加工物の形状精度を5μ
m以下、特に1μm以下とするような精密な加工を行な
うことは極めて困難となる。
However, a sufficient result cannot be obtained by the above-mentioned prior art for performing grinding with extremely small surface roughness and extremely high shape accuracy. In the technique described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-196968, even if truing of the grindstone is performed with high accuracy at first, a minute change occurs in the shape of the grindstone during the grinding while performing dressing. This is due to the fact that the electrolytic action used for dressing acts on the processing waste adhering to the grindstone surface and also affects the grindstone itself. In other words, it acts on the metal bonding material that holds the abrasive grains, dissolves or alters it, and consumes the grinding wheel or changes the diameter of the grinding stone. Is 5μ
It is extremely difficult to perform a precise processing to make the thickness m or less, especially 1 μm or less.

【0009】また、このような砥石の変形をツルーイン
グによって是正することも考えられるが、研削加工を行
なう位置にある砥石に対してツルーイングを行なわなけ
れば移動時の誤差等が生じて上記のような高精度を得ら
れないし、研削加工を行なう位置にある砥石に電解イン
プロセスドレッシング技術と放電ツルーイング技術との
双方を行なうことは困難であると考えられてきた。その
理由は、電解加工を行なう際に砥石と電極との間に介在
させる加工液は電解液であり、放電電極と砥石との間に
介在させる加工液は放電を生じさせるために絶縁性の加
工液でなければならず、これらを同じ位置にある砥石に
供給すると加工液が混合され、正常な電解又は放電が生
じなくなるからである。
Although it is conceivable to correct such deformation of the grindstone by truing, if the truing is not performed on the grindstone at the position where the grinding process is performed, an error at the time of movement occurs and the above-described error occurs. It has been considered that high precision cannot be obtained and it is difficult to perform both the electrolytic in-process dressing technique and the discharge truing technique on a grindstone at a position where a grinding process is performed. The reason is that the machining fluid interposed between the grindstone and the electrode when performing electrolytic machining is the electrolytic solution, and the machining fluid interposed between the discharge electrode and the grindstone is an insulating machining to generate electric discharge. This is because when these are supplied to the grindstone at the same position, the working liquid is mixed, and normal electrolysis or discharge does not occur.

【0010】本発明は上記のような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的は、表面粗さが小さく、なおか
つ極めて形状精度が高い加工を実現することができる研
削加工装置及び研削加工方法を提供することである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a grinding apparatus and a grinding method capable of performing processing with small surface roughness and extremely high shape accuracy. It is to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記のような問題点を解
決するために、請求項1に記載の発明は、 回転駆動さ
れた状態で被加工物と接触し、研削加工を行なう導電性
の砥石と、 この砥石を被加工物に対して相対的に移動
可能に支持する砥石支持手段と、 前記砥石に近接対向
する電極を備え、この電極と前記砥石との間に加工液を
介在させて、電解作用による目立てを行なうドレッシン
グ手段と、 前記砥石と近接するように配置され、該砥
石との相対位置の調整が可能に支持された放電加工装置
とを有する研削加工装置を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to a conductive material which is brought into contact with a workpiece while being rotated to perform grinding. A grindstone, a grindstone support means for supporting the grindstone relatively movably with respect to the workpiece, and an electrode close to and opposed to the grindstone, wherein a machining liquid is interposed between the electrode and the grindstone. The present invention also provides a grinding machine having dressing means for performing dressing by an electrolytic action, and an electric discharge machining device which is arranged so as to be close to the grindstone and supported so that the relative position with respect to the grindstone can be adjusted.

【0012】上記構成において、導電性の砥石は導電性
材料を含むことによって、砥石と電界用の電極との間、
又は砥石と放電加工用の電極との間に電圧を印加するこ
とができるものであり、例えば砥粒を金属で固めたメタ
ルボンド砥石等を用いることができる。このとき砥粒は
導電性材料であってもよいし、非導電性の材料であって
もよい。
In the above configuration, the conductive grindstone contains a conductive material, so that the gap between the grindstone and the electrode for the electric field can be improved.
Alternatively, a voltage can be applied between the grindstone and the electrode for electric discharge machining. For example, a metal bond grindstone in which abrasive grains are solidified with metal can be used. At this time, the abrasive grains may be a conductive material or a non-conductive material.

【0013】このような研削加工装置では、回転駆動さ
れる砥石を被加工物に対して相対的に移動させながら研
削加工を行なうことができ、被加工物を所望の形状及び
寸法に加工することが可能となる。また、上記のように
被加工物の研削加工を行なう位置に支持された砥石に対
向してドレッシング手段が設けられているので、砥石に
目詰まりが生じたときに、速やかに目立て(ドレッシン
グ)を行ない、極めて表面粗さの小さい加工が可能とな
る。つまり、電極と砥石との間で電解作用を起こさせる
ことによって、砥粒間に詰まった研削屑が導電性であれ
ば直接にこの研削屑の表面が溶出し、この研削屑が砥粒
間から除去される。また、研削屑が非導電性であっても
砥粒の結合金属の表面で酸素等の気体が発生し、気泡の
膨張圧によって研削屑が除去され、速やかに目立て(ド
レッシング)が行なわれる。
In such a grinding machine, the grinding can be performed while the rotationally driven grindstone is relatively moved with respect to the workpiece, and the workpiece is processed into a desired shape and dimensions. Becomes possible. Further, since the dressing means is provided opposite to the grindstone supported at the position where the workpiece is ground as described above, when the grindstone is clogged, the dressing is quickly performed. This makes it possible to perform processing with extremely small surface roughness. In other words, by causing an electrolytic action between the electrode and the grindstone, if the grinding dust clogged between the abrasive grains is conductive, the surface of the grinding scrap is directly eluted, and the grinding scrap is removed from between the abrasive grains. Removed. Further, even if the grinding dust is non-conductive, a gas such as oxygen is generated on the surface of the bonding metal of the abrasive grains, the grinding dust is removed by the expansion pressure of the bubbles, and dressing is quickly performed.

【0014】さらに、研削加工を行なう位置にある砥石
に近接対向して放電加工装置が設けられており、砥石の
研削面に形状の変化等が生じた時には、ただちに放電加
工によるツルーイングを行なうことができ、常に砥石の
形状を極めて高い精度に維持することができる。したが
って、砥石は常に目詰まりがなく、形状精度の高い状態
に維持され、極めて表面粗さが小さく、かつ形状精度の
高い加工が可能となる。
Further, an electric discharge machining apparatus is provided so as to be close to and opposed to the grindstone at the position where the grinding is performed, and when a change in the shape of the grinding surface of the grindstone occurs, truing by the electric discharge machining can be immediately performed. It is possible to always maintain the shape of the grindstone with extremely high precision. Therefore, the grindstone is always clogged and maintained in a state of high shape accuracy, and processing with extremely small surface roughness and high shape accuracy can be performed.

【0015】請求項2に記載の発明は、 請求項1に記
載の放電加工装置において、 前記砥石と対向して支持
されたワイヤガイドに沿って走行するワイヤ電極を有す
るものとする。この研削加工装置では、放電加工装置に
ワイヤ電極を用いているので、加工電極の消耗による加
工誤差が回避され、砥石を高い精度でツルーイングする
ことが可能となる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the electric discharge machine according to the first aspect, further comprising a wire electrode running along a wire guide supported opposite to the grindstone. In this grinding machine, since a wire electrode is used in the electric discharge machine, machining errors due to consumption of the machining electrode are avoided, and it is possible to truing the grindstone with high accuracy.

【0016】請求項3に記載の発明は、請求項1又は請
求項2に記載の研削加工装置において、 前記ドレッシ
ング手段の電極が前記砥石と対向する位置に電解液を供
給する第1の加工液供給手段と、 前記放電加工装置の
放電電極が前記砥石と対向する位置に絶縁性加工液を供
給する第2の加工液供給手段とを有するものとする。
According to a third aspect of the present invention, in the grinding apparatus according to the first or second aspect, the first processing liquid for supplying an electrolytic solution to a position where the electrode of the dressing means faces the grinding wheel. A supply means, and a second machining liquid supply means for supplying an insulating machining liquid to a position where the discharge electrode of the electric discharge machining apparatus faces the grinding wheel.

【0017】この研削加工装置では、第1の加工液供給
手段又は第2の加工液供給手段を選択して作動させ、被
加工物の研削を行ないながら、電解液又は絶縁性加工液
を供給して、ドレッシング又はツルーイングを効率よく
行なうことができる。
In this grinding machine, the first working fluid supply means or the second working fluid supply means is selected and operated to supply an electrolytic solution or an insulating working fluid while grinding the workpiece. Thus, dressing or truing can be performed efficiently.

【0018】請求項4に記載の発明は、 回転駆動され
る砥石に近接対向して、この砥石との間に電圧が印加さ
れる電解用電極と、この砥石との間に放電を起こさせる
放電電極とを配置し、 回転駆動される前記砥石を被加
工物に接触させて研削を行なうと同時に、前記砥石の研
削面と前記電解用電極との間に電解液を供給して電解作
用による目立てを行なう工程と、 前記砥石を被加工物
に接触させて研削を行なうと同時に、前記砥石の研削面
と放電電極との間で放電を生じさせて放電加工による形
状直しを行なう工程と、 を任意に切り替えて被加工物
の研削加工を行なうことを特徴とする研削加工方法を提
供するものである。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an electrolysis electrode in which a voltage is applied between the grinding wheel and the grinding wheel which is in close proximity to the rotationally driven grinding wheel, and a discharge which causes a discharge between the electrode and the electrode. An electrode is disposed, and the rotating grindstone is brought into contact with a workpiece to perform grinding, and at the same time, an electrolytic solution is supplied between the ground surface of the grindstone and the electrode for electrolysis to sharpen by electrolytic action. Performing the grinding by bringing the grinding wheel into contact with the workpiece, and simultaneously performing a shape change by electrical discharge machining by generating a discharge between the ground surface of the grinding wheel and the discharge electrode. To perform a grinding process on a workpiece by switching to a grinding method.

【0019】この研削加工方法では、被加工物の研削を
行ないながら電解作用によるドレッシングを行なう工程
と、研削を行ないながら放電加工によるツルーイングを
行なう工程とを、任意に切り替えることができるので、
研削加工中の砥石の状態に応じてドレッシング又はツル
ーイングを行なうことができる。つまり、砥石の研削面
の目詰まりが進行したときには電解作用によるドレッシ
ングを行ない、砥石の形状の変化が進行したときには放
電加工によるツルーイングを行なうことができる。した
がって、被加工物の材質等によって目詰まりや形状変化
の生じる程度が変動しても容易に対応し、常に砥石を良
好な状態に維持して研削加工を行なうことが可能とな
る。
In this grinding method, it is possible to arbitrarily switch between a step of performing dressing by electrolytic action while grinding the workpiece and a step of performing truing by electric discharge machining while performing grinding.
Dressing or truing can be performed according to the state of the grindstone during the grinding process. That is, dressing by electrolytic action can be performed when clogging of the grinding surface of the grindstone progresses, and truing by electric discharge machining can be performed when the shape of the grindstone progresses. Therefore, even if the degree of clogging or shape change varies depending on the material of the workpiece or the like, it is possible to easily cope with the variation, and it is possible to perform grinding while always maintaining the grindstone in a good state.

【0020】請求項5に記載の発明は、請求項1又は請
求項2に記載の研削加工装置において、 前記ドレッシ
ング手段の電極が前記砥石と対向する位置に加工液を供
給する第1の加工液供給手段と、 前記放電加工装置の
放電電極が前記砥石と対向する位置に加工液を供給する
第2の加工液供給手段とを有し、 前記第1の加工液供
給手段と第2の加工液供給手段とは、同じ加工液を供給
するものする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the grinding apparatus according to the first or second aspect, the first machining fluid supplies a machining fluid to a position where the electrode of the dressing means faces the grinding wheel. A supply means, and a second machining fluid supply means for supplying a machining fluid to a position where the discharge electrode of the electric discharge machining device is opposed to the grindstone, wherein the first machining fluid supply means and the second machining fluid are provided. The supply means supplies the same processing liquid.

【0021】この研削装置では、ドレッシング手段の電
極と砥石と間、及び放電加工装置の放電電極と砥石との
間に同じ加工液を供給するようになっているので、砥石
の回転によって双方の位置に供給される加工液が混合さ
れることが問題とならず、この加工液を適切に選択する
ことによって研削加工と同時に電解作用によるドレッシ
ングと放電加工によるツルーイングとの双方を行なうこ
ともできる。
In this grinding apparatus, the same machining liquid is supplied between the electrode of the dressing means and the grindstone and between the discharge electrode of the electric discharge machine and the grindstone. There is no problem that the working fluid supplied to the nozzle is mixed, and by appropriately selecting the working fluid, both dressing by electrolytic action and truing by electric discharge machining can be performed simultaneously with grinding.

【0022】請求項6に記載の発明は、 回転駆動され
る砥石に近接対向して、この砥石との間に電圧が印加さ
れる電解用電極と、この砥石との間に放電を起こさせる
放電電極とを配置し、 前記砥石の研削面と前記電解用
電極との間、及び前記砥石の研削面と放電電極との間
に、体積抵抗率が0.1kΩm以上で10kΩmu以下
の加工液を供給して、 回転駆動される前記砥石を被加
工物に接触させて研削を行なう工程と、前記電解用電極
と前記砥石との間に電圧を印加して電解作用による目立
てを行なう工程と、前記放電電極と前記砥石との間の放
電により該砥石の形状直しを行なう工程と、を同時に行
う研削加工方法を提供するものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an electrolysis electrode in which a voltage is applied between the rotating stone and the grinding wheel, and a discharge between the electrode and the electrode. An electrode is disposed, and a working fluid having a volume resistivity of 0.1 kΩm or more and 10 kΩmu or less is supplied between the grinding surface of the grinding wheel and the electrode for electrolysis, and between the grinding surface of the grinding wheel and the discharge electrode. Contacting the rotating grindstone with the workpiece to perform grinding; applying a voltage between the electrolytic electrode and the grindstone to perform dressing by electrolytic action; It is an object of the present invention to provide a grinding method for simultaneously performing a step of reshaping the grindstone by an electric discharge between an electrode and the grindstone.

【0023】この研削加工方法は、砥石の研削面と電解
用電極との間、及び砥石の研削面と放電電極との間に同
じ加工液が供給されるものであり、この加工液は体積抵
抗率が上記のように0.1kΩm以上で10kΩm以下
のものを用いる。また、望ましくは0.5kΩm以上で
1.5kΩm以下のものを用いる。体積抵抗率が上記の
範囲である加工液を用いることにより、砥石と電解用電
極との間に介在させて電解作用によるドレッシングを行
なうこともできるし、砥石と放電電極との間に介在させ
て放電を起こさせることもでき、電解作用によるドレッ
シングと放電加工によるツルーイングとを同時に行なう
ことができる。つまり、常に砥石のドレッシングとツル
ーイングとを行ないながら研削加工を行なうことがで
き、砥粒径の小さい砥石を使用して極めて表面粗さが小
さく、形状精度の高い研削加工が可能となる。
In this grinding method, the same working fluid is supplied between the grinding surface of the grinding wheel and the electrode for electrolysis, and between the grinding surface of the grinding wheel and the discharge electrode. As described above, a material having a rate of 0.1 kΩm or more and 10 kΩm or less is used. Further, it is desirable to use one having a value of 0.5 kΩm or more and 1.5 kΩm or less. By using a machining fluid having a volume resistivity within the above range, dressing by electrolytic action can be performed by being interposed between the grinding wheel and the electrode for electrolysis, or by interposing between the grinding wheel and the discharge electrode. Electric discharge can be caused, and dressing by electrolytic action and truing by electric discharge machining can be performed simultaneously. That is, grinding can be performed while always performing dressing and truing of the grindstone. Using a grindstone having a small abrasive particle diameter, grinding with extremely small surface roughness and high shape accuracy can be performed.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。図1は、請求項1、請求項2、請求
項3又は請求項5に記載の発明の一実施形態である研削
加工装置を示す概略構成図である。この研削加工装置
は、回転しながらワーク(被加工物)3と接触して研削
加工を行う砥石2と、この砥石2を回転駆動させる主軸
1と、主軸1を回転可能に支持する砥石支持部材15
と、砥石2を主軸1に固定させる支持体1aとを備えて
いる。また砥石2の周面と近接対向する位置には、砥石
2との間に加工液(電解液)を介在させて電解作用によ
る目立て(ドレッシング)を行う電解ドレス電極5と、
砥石2との間で放電を起こさせて放電加工による形状直
しを行う放電加工ヘッド8と、砥石2とワーク3とが対
向する研削部、砥石2と電解ドレス電極5とが対向する
電解ドレス部、および砥石2と放電加工ヘッド8とが対
向する放電加工部にそれぞれ加工液を噴出して供給する
第1のノズル11、第2のノズル12、第3のノズル1
3とを備えている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a grinding apparatus according to an embodiment of the invention described in claim 1, claim 2, claim 3, or claim 5. The grinding apparatus includes a grindstone 2 for performing grinding by contacting a workpiece (workpiece) 3 while rotating, a spindle 1 for driving the grindstone 2 to rotate, and a grindstone support member for rotatably supporting the spindle 1. Fifteen
And a support 1a for fixing the whetstone 2 to the main shaft 1. An electrolytic dress electrode 5 for performing dressing by an electrolytic action by interposing a working liquid (electrolyte) between the grinding wheel 2 and a position close to and facing the peripheral surface of the grinding stone 2;
An electric discharge machining head 8 for generating a discharge between the grindstone 2 and reshaping by electric discharge machining; a grinding portion where the grindstone 2 and the work 3 face each other; and an electrolytic dress portion where the grindstone 2 and the electrolytic dress electrode 5 face each other. , A first nozzle 11, a second nozzle 12, and a third nozzle 1 for jetting and supplying a machining liquid to an electric discharge machining unit where the grindstone 2 and the electric discharge machining head 8 are opposed to each other.
3 is provided.

【0025】上記砥石2は、砥石支持部材15に支持さ
れた主軸1の回転により回転駆動されるものであり、砥
石支持部材15に取り付けられた移動機構(図示せず)
により、回転しながら主軸1の軸線方向及び垂直方向に
移動するようになっている。この砥石2は、研削加工中
にドレッシング等を行うために導電性を有するものが用
いられる。本例では、砥石2の母材であるボンド材を鉄
や銅を主成分とした金属で構成し、砥粒を該ボンド材で
固めたメタルボンド砥石を採用している。このボンド材
は砥粒を含有し、砥石2の表面に露出した砥粒を保持す
る役目を持つものである。砥粒は導電性又は非導電性材
料のいずれでもよいが、本例では非導電性のものを使用
している。
The grinding wheel 2 is driven to rotate by rotation of the main shaft 1 supported by the grinding wheel support member 15, and a moving mechanism (not shown) attached to the grinding wheel support member 15.
As a result, the main shaft 1 moves in the axial direction and the vertical direction while rotating. The grindstone 2 has conductivity for performing dressing or the like during grinding. In this embodiment, a metal bond grindstone is used in which a bond material as a base material of the grindstone 2 is made of a metal mainly composed of iron or copper, and abrasive grains are solidified by the bond material. This bond material contains abrasive grains and has a role of holding the abrasive grains exposed on the surface of the grindstone 2. The abrasive grains may be either conductive or non-conductive material, but in this example, non-conductive one is used.

【0026】上記ワーク3は、支持台14に設置された
テーブル4に固定支持されており、テーブル4の移動機
構により図中に示す矢印A方向(左右方向)に移動する
ようになっている。そして、テーブル4及び上記砥石支
持部材15を移動させてワーク3の砥石との接触箇所を
任意の位置へ制御することにより、ワーク3の表面を自
由な形状に加工することができる。このワーク3は、導
電性材料又は非導電性材料のいずれであってもよいが、
ワークの材質に応じて適切な加工液等を設定することが
望ましい。
The work 3 is fixedly supported by a table 4 installed on a support table 14, and is moved by a moving mechanism of the table 4 in the direction of arrow A (left-right direction) shown in the drawing. Then, the surface of the work 3 can be processed into a free shape by moving the table 4 and the above-mentioned grindstone support member 15 to control the contact point of the work 3 with the grindstone to an arbitrary position. This work 3 may be either a conductive material or a non-conductive material,
It is desirable to set an appropriate working fluid or the like according to the material of the work.

【0027】上記電解ドレス電極5は、電解用電源6と
配線7aによって接続されており、もう一方の配線7b
は主軸1にブラシ(図示せず)により接続されている。
この電解用電源6からは配線7を通して一定の電圧或い
は特殊なパターンのパルス電圧が印加され、第2のノズ
ル12から供給される加工液を介在させることにより電
極5と砥石2との間で電解作用を起こさせるようになっ
ている。本例では、電解用電源6から印加される電圧は
90Vで、ピーク値10Aの電流が2μs通電して2μ
s休止するパルス式で流れるように制御されている。こ
の場合に、極性は砥石2の回転主軸1の側がプラス、電
解ドレス電極5の側がマイナスとなる。また電解ドレス
電極5の長さ(砥石の周方向における長さ)は砥石全周
の1/5〜1/4程度で、幅は砥石幅と同程度か0.5
mm程度広く設定されている。電解ドレス電極5の材料
は導電性のよい銅が用いられ、電極5と砥石2との間隔
は0.15〜0.3mm程度に設定されている。
The electrolytic dress electrode 5 is connected to a power source 6 for electrolysis by a wiring 7a, and the other wiring 7b
Is connected to the main shaft 1 by a brush (not shown).
A constant voltage or a pulse voltage having a special pattern is applied from the electrolysis power supply 6 through the wiring 7, and the machining liquid supplied from the second nozzle 12 is interposed between the electrode 5 and the grindstone 2. It is designed to work. In this example, the voltage applied from the power supply 6 for electrolysis is 90 V, and a current having a peak value of 10 A is applied for 2 μs to generate 2 μm.
It is controlled so as to flow with a pulse system that pauses. In this case, the polarity is positive on the side of the rotating spindle 1 of the grindstone 2 and negative on the side of the electrolytic dress electrode 5. The length of the electrolytic dress electrode 5 (the length in the circumferential direction of the grindstone) is about 1/5 to 1/4 of the entire circumference of the grindstone, and the width is about the same as the grindstone width or 0.5.
It is set to be about mm wide. The material of the electrolytic dress electrode 5 is copper having good conductivity, and the distance between the electrode 5 and the grindstone 2 is set to about 0.15 to 0.3 mm.

【0028】上記放電加工ヘッド8は、放電加工用電源
9と配線10aにより接続され、放電加工用電源9から
のもう一方の配線10bは主軸1にブラシ(図示せず)
で接続されている。そして、放電加工用電源9から電圧
を印加して放電加工ヘッド8と砥石2との間で放電を発
生させるものである。この場合の極性は放電加工ヘッド
8の側がマイナスで主軸1の側がプラスとなる。放電発
生条件としては電圧200Vでコンデンサ容量100p
F、充電抵抗1.1kΩとし、コンデンサ充放電式で放
電を発生させる。放電加工ヘッド8と砥石2との間隔
は、適切な放電を発生させるために約2μmに設定され
ている。
The electric discharge machining head 8 is connected to a power supply 9 for electric discharge machining by a wiring 10a, and another wiring 10b from the power supply 9 for electric discharge machining is a brush (not shown) connected to the main shaft 1.
Connected by Then, a voltage is applied from a power supply 9 for electric discharge machining to generate electric discharge between the electric discharge machining head 8 and the grindstone 2. In this case, the polarity of the electric discharge machining head 8 is minus and the polarity of the main shaft 1 is plus. Discharge generation conditions are as follows: voltage 200V, capacitor capacity 100p
F, the charge resistance is set to 1.1 kΩ, and discharge is generated by a capacitor charge / discharge method. The distance between the electric discharge machining head 8 and the grindstone 2 is set to about 2 μm in order to generate an appropriate electric discharge.

【0029】図2には放電加工ヘッド8の詳細を示す。
放電加工ヘッド8はセラミックで作られたベースプレー
ト81の上にワイヤの走行機構が配置されたものであ
り、放電加工の電極としては走行する電極ワイヤ82を
使用している。この電極ワイヤ82は直径が0.1mm
で材質は黄銅である。図2(a)に示すようにベースプ
レート81には、電極ワイヤ82の送り出しボビン8
3、巻き取りボビン91、ブレーキローラー84、回転
ローラー85、86、87等が回転可能に支持されてお
り、送り出しボビン83に予め必要なワイヤ量が巻き付
けられた状態で用意される。ブレーキローラー84の周
囲には3条の溝があり、送り出しボビン83からの電極
ワイヤ82と回転ローラー85、86からの電極ワイヤ
とを別々の溝で受けるようにして、走行中の電極ワイヤ
が絡まないように配慮してある。またブレーキローラー
84は軸線回りに回転可能であるが、その軸には軸の周
囲を押さえて摩擦で回転を抑制させる機構(図示せず)
があり、これによりワイヤに走行方向とは逆の向きにテ
ンションがかかるようになっている。これはワイヤの緩
みを防止し、後述するワイヤガイド89からのワイヤの
脱落などのトラブルを避けるものである。
FIG. 2 shows the electric discharge machining head 8 in detail.
The electric discharge machining head 8 has a traveling mechanism for wires arranged on a base plate 81 made of ceramic, and uses a traveling electrode wire 82 as an electrode for electric discharge machining. This electrode wire 82 has a diameter of 0.1 mm.
The material is brass. As shown in FIG. 2A, a delivery bobbin 8 for an electrode wire 82 is provided on a base plate 81.
3. The take-up bobbin 91, the brake roller 84, the rotating rollers 85, 86, 87 and the like are rotatably supported, and are prepared in a state in which a necessary wire amount is wound on the delivery bobbin 83 in advance. There are three grooves around the brake roller 84, and the electrode wire 82 from the delivery bobbin 83 and the electrode wire from the rotating rollers 85 and 86 are received in separate grooves, so that the running electrode wire is entangled. Care is taken not to have it. The brake roller 84 is rotatable around the axis, but the shaft has a mechanism (not shown) that suppresses rotation by friction around the shaft by friction.
Therefore, the tension is applied to the wire in a direction opposite to the running direction. This prevents loosening of the wire and avoids troubles such as the wire coming off from the wire guide 89 described later.

【0030】ブレーキローラー84及び回転ローラ−8
7の下流側には、ベースプレート81から突き出す様に
ワイヤガイド89が取り付けられており、該ワイヤガイ
ド89が砥石2と対向するように配置されている。この
ワイヤガイド89はガイドアーム88の先端にネジ止め
されており回転はしない。ワイヤガイド89の周囲には
ワイヤの直径とほぼ同じ幅のガイド溝が刻まれており、
このガイド溝に沿ってワイヤが走行するようになってい
る。またこのガイド溝は深さがワイヤ径の半分程度で、
断面が半円状になっており、ガイドされる電極ワイヤ8
2の半分はワイヤガイドの外側にはみ出した状態で支持
される。そしてこの外側に露出した部分の電極ワイヤ8
2と砥石2の間で放電を発生させるようになっている。
また、巻取りボビン91はベースプレート81の裏にあ
って図示されないモータによって回転駆動されるもので
あり、ワイヤガイド89及び回転ローラー90を通過し
た電極ワイヤ82を巻取る役目をする。
Brake roller 84 and rotating roller-8
A wire guide 89 is attached to the downstream side of 7 so as to protrude from the base plate 81, and the wire guide 89 is arranged so as to face the grindstone 2. The wire guide 89 is screwed to the tip of the guide arm 88 and does not rotate. A guide groove of approximately the same width as the diameter of the wire is cut around the wire guide 89,
The wire runs along the guide groove. This guide groove has a depth of about half the wire diameter,
The electrode wire 8 having a semicircular cross section and being guided
The half of 2 is supported so as to protrude outside the wire guide. Then, the portion of the electrode wire 8 exposed to the outside is
A discharge is generated between the grinding wheel 2 and the grinding wheel 2.
The winding bobbin 91 is located behind the base plate 81 and is driven to rotate by a motor (not shown). The winding bobbin 91 plays a role of winding the electrode wire 82 passing through the wire guide 89 and the rotating roller 90.

【0031】このような機構を備える放電加工ヘッド8
では、送り出しボビン83から出された電極ワイヤ82
は、まずブレーキローラー84で方向を変えて軸線回り
に回転可能な回転ローラー85、86を往復する形で走
行する。ブレーキローラー84から出た電極ワイヤ82
は続いて回転ローラー87により方向を変え、ワイヤガ
イド89に送られる。このワイヤガイド89を走行する
際に、放電加工用電源9から印加される電圧により電極
ワイヤ82と砥石2との間で放電が起こり、砥石2の放
電加工が行われる。そして、ワイヤガイド89を過ぎた
電極ワイヤ82は回転ローラー90を経由して方向を変
え、巻取りボビン91へ送られる。
The electric discharge machining head 8 having such a mechanism
Then, the electrode wire 82 ejected from the delivery bobbin 83
First, the vehicle travels in the form of reciprocating rotating rollers 85 and 86 that can be rotated around an axis by changing the direction with a brake roller 84. Electrode wire 82 coming out of brake roller 84
Then, the direction is changed by the rotating roller 87 and sent to the wire guide 89. When traveling along the wire guide 89, a voltage is applied between the electrode wire 82 and the grindstone 2 by a voltage applied from the electric power source 9 for electric discharge machining, and electric discharge machining of the grindstone 2 is performed. Then, the electrode wire 82 that has passed the wire guide 89 changes its direction via a rotating roller 90 and is sent to a winding bobbin 91.

【0032】以上のような機構により電極ワイヤ82は
ワイヤガイド89の周囲に沿って走行するしくみになっ
ているが、このように放電加工によって消耗したワイヤ
を走行によって常に新しい部分と置き換えていくことに
より、砥石2とのギャップを一定に制御している。なお
ワイヤ82の走行は毎分数10mm程度の速度で走行さ
せるのが適当である。
With the mechanism described above, the electrode wire 82 runs along the periphery of the wire guide 89. However, it is necessary to always replace the wire consumed by the electric discharge machining with a new part by running. Thus, the gap with the grindstone 2 is controlled to be constant. It is appropriate that the wire 82 travels at a speed of about several tens of mm per minute.

【0033】この放電加工ヘッド8は、図2(b)に示
すように、取付軸92により垂直移動テーブル93に固
定支持され、該垂直移動テーブル93はL字状の水平移
動テーブル94に図中に示す矢印Bの方向に移動可能に
支持されている。水平移動テーブル94は砥石支持部材
15に設けられた突起15aに図中に示す矢印Cの方向
に移動可能に支持されている。これらのテーブルを制御
することにより、放電加工ヘッド8を砥石2の回転に対
して垂直方向あるいは水平方向の2軸に移動制御が可能
となっている。これにより砥石2と放電加工ヘッド8と
の間を放電加工可能な距離に制御するとともに、砥石幅
にわたって移動させて砥石形状を任意の形状に整形する
ことができる。
As shown in FIG. 2B, the electric discharge machining head 8 is fixedly supported on a vertical moving table 93 by a mounting shaft 92, and the vertical moving table 93 is attached to an L-shaped horizontal moving table 94 in the figure. Are supported so as to be movable in the direction of arrow B shown in FIG. The horizontal moving table 94 is supported by a projection 15a provided on the grindstone support member 15 so as to be movable in the direction of arrow C shown in the figure. By controlling these tables, it is possible to control the movement of the electric discharge machining head 8 in two axes in the vertical or horizontal direction with respect to the rotation of the grindstone 2. Thus, the distance between the grindstone 2 and the electric discharge machining head 8 can be controlled to a distance at which electric discharge machining can be performed, and at the same time, can be moved over the width of the grindstone to shape the grindstone into an arbitrary shape.

【0034】次にこの研削加工装置で使用される加工液
について説明する。上記第1のノズル11から砥石2と
ワーク3との間に加工液を供給するのは研削面を潤滑・
冷却・洗浄するためであるが、第2のノズル12からの
加工液の供給は電解ドレス部で電流を流して電解反応を
起こさせるためであり、第3のノズル13からの加工液
の供給は放電加工部を絶縁させて放電を発生させるため
である。一般には、この3カ所、特に電界ドレス部と放
電加工部に供給する加工液は各々の用途に適したものに
分けて選択することが理想的であると考えられている
が、実際には砥石の回転は数千から数万rpmと非常に
高速であるため、各々の加工液が混合してしまい、別々
の加工液を使用するのは非常に困難である。よってここ
では同一の加工液を供給することとし、各部の機能を満
足する加工液を設定している。
Next, the working fluid used in this grinding machine will be described. The supply of the machining fluid from the first nozzle 11 between the grindstone 2 and the work 3 is performed by lubricating the ground surface.
The supply of the machining fluid from the second nozzle 12 is for causing an electric current to flow in the electrolytic dress portion to cause an electrolytic reaction, and the supply of the machining fluid from the third nozzle 13 is for cooling and cleaning. This is for generating electric discharge by insulating the electric discharge machining part. In general, it is considered ideal that the machining fluid to be supplied to these three locations, particularly the electric field dressing section and the electric discharge machining section, should be selected separately for each purpose. Is very high, from several thousand to several tens of thousands of rpm, so that the respective working fluids are mixed, and it is very difficult to use different working fluids. Therefore, here, the same processing fluid is supplied, and a processing fluid that satisfies the function of each unit is set.

【0035】使用した加工液は電解ドレッシング用に市
販されている電解液を一般に使用される濃度よりもさら
に希釈させて用いる。これは一般に使用される電解ドレ
ス液の濃度では、放電加工に必要な絶縁性が得られない
からである。実際には加工液の体積抵抗率が100Ωm
以上で放電が発生可能になり、1kΩm程度以上で安定
して放電加工ができるようになる。そして、さらに体積
抵抗率が増大してゆくと、放電加工は良好となる反面、
今度は電解に必要な電流が得にくくなる。したがって、
電解液の体積抵抗率の範囲としては0.1kΩm以上1
0kΩm以下で、望ましくは0.5kΩm以上1.5k
Ωm以下であるものが適している。
As the working fluid used, a commercially available electrolytic solution for electrolytic dressing is used after further diluting it to a concentration generally used. This is because the insulation required for electric discharge machining cannot be obtained with the concentration of the generally used electrolytic dressing solution. Actually, the volume resistivity of the working fluid is 100Ωm
Thus, electric discharge can be generated, and electric discharge machining can be stably performed at about 1 kΩm or more. And, as the volume resistivity further increases, the EDM becomes better,
This time, it becomes difficult to obtain the current required for electrolysis. Therefore,
The range of the volume resistivity of the electrolyte is 0.1 kΩm or more and 1
0 kΩm or less, preferably 0.5 kΩm or more and 1.5 k
Ωm or less is suitable.

【0036】次に、このような研削加工装置の動作であ
って、請求項6に記載の発明の一実施形態である研削加
工方法について説明する。装置が始動されると、図示し
ない移動機構により砥石2がワーク3に対して相対的に
移動制御され、砥石2の砥粒がワーク3の表面を擦過し
ながらその表面を削り取り、ワーク3が所望の形状及び
寸法に研削加工される。そして、この研削加工により砥
石2の目詰まりが進行する前に、電解用電源6から電解
ドレス電極5と砥石2との間に電圧が印加される。これ
により、電解ドレス電極5と砥石2との間で電解作用が
起こり、砥粒間に詰まった研削屑がこの電解作用により
除去され、砥石2の目立て(ドレッシング)が行われ
る。このとき、研削屑が導電性であれば直接にこの研削
屑の表面が溶出し、研削屑が砥粒から除去される。一
方、研削屑が非導電性である場合には、電解ドレス電極
5の表面で発生する気体により、気泡の膨張圧によって
研削屑を除去することが可能である。これにより、研削
加工を中断することなく研削屑を除去することができ、
砥石2の研削抵抗の増大等を防止して良好な切削性を維
持することができる。
Next, a description will be given of a grinding method according to an embodiment of the present invention, which is an operation of such a grinding apparatus. When the apparatus is started, the movement of the grindstone 2 relative to the work 3 is controlled by a moving mechanism (not shown), and the abrasive grains of the grindstone 2 scrape the surface of the work 3 while rubbing the surface. It is ground to the shape and dimensions. A voltage is applied between the electrolytic dress electrode 5 and the grindstone 2 from the power source for electrolysis 6 before the grindstone 2 is clogged by the grinding process. As a result, an electrolytic action occurs between the electrolytic dress electrode 5 and the grindstone 2, grinding dust clogged between the abrasive grains is removed by the electrolytic action, and dressing (dressing) of the grindstone 2 is performed. At this time, if the grinding waste is conductive, the surface of the grinding waste is directly eluted, and the grinding waste is removed from the abrasive grains. On the other hand, when the grinding chips are non-conductive, the gas generated on the surface of the electrolytic dress electrode 5 can remove the grinding chips by the expansion pressure of the bubbles. This makes it possible to remove grinding debris without interrupting the grinding process,
It is possible to prevent an increase in the grinding resistance of the grindstone 2 and maintain good cutting properties.

【0037】また上記ドレッシングを行う際に、放電加
工用電源9から放電加工ヘッド8と砥石2との間に電圧
が印加される。このとき、図2に示す移動機構により放
電加工ヘッド8は砥石2に対して垂直方向あるいは水平
方向に移動制御される。これにより放電加工ヘッド8と
砥石2との間に放電が生じ、放電加工により砥石2の研
削面の形状直し(ツルーイング)が行われる。
In performing the dressing, a voltage is applied between the electric discharge machining head 8 and the grindstone 2 from the electric discharge machining power supply 9. At this time, the electric discharge machining head 8 is controlled to move vertically or horizontally with respect to the grindstone 2 by the moving mechanism shown in FIG. As a result, electric discharge is generated between the electric discharge machining head 8 and the grindstone 2, and the ground surface of the grindstone 2 is reshaped (truing) by electric discharge machining.

【0038】このような研削加工装置では、砥石のドレ
ッシングとツルーイングとを同時に行いながら研削加工
を行うことができ、これらの工程を行うために研削加工
を中断する必要がなくなる。このため、研削効率を低下
させることなく砥粒径の小さい砥石を使用することがで
き、極めて表面粗さが小さく、かつ形状精度の高い切削
加工を行うことができる。
In such a grinding apparatus, grinding can be performed while simultaneously dressing and truing the grindstone, and there is no need to interrupt the grinding to perform these steps. For this reason, a grindstone having a small abrasive particle diameter can be used without lowering the grinding efficiency, and cutting with extremely small surface roughness and high shape accuracy can be performed.

【0039】次に、請求項1、請求項2又は請求項3に
記載の発明の実施形態である研削加工装置、及びこの研
削加工装置の動作であって、請求項4に記載の発明の一
実施形態である研削加工方法について説明する。この研
削加工装置は、図1に示す研削加工装置とほぼ同じ構成
であるが、ワークの研削加工を行うと同時に電解ドレス
電極により砥石のドレッシングを行う工程と、ワークの
研削加工を行うと同時に放電加工により砥石のツルーイ
ングを行う工程とを、任意に切り替えて行うように設定
されている。このとき、各ノズルから供給させる加工液
も切り替え、ドレッシングの実施中には第2のノズルか
ら通常の電解液を電解用電極と砥石との間に噴出させ、
放電加工に切り替えた時には第3のノズルから純水など
の絶縁液を放電電極と砥石との間に噴出するようにして
いる。なお、この研削加工装置の他の構成は図1に示す
研削加工装置と同じである。
Next, a grinding apparatus according to an embodiment of the present invention as defined in claim 1, 2 or 3, and the operation of the grinding apparatus, which is an embodiment of the invention according to claim 4, A grinding method according to an embodiment will be described. This grinding apparatus has substantially the same configuration as the grinding apparatus shown in FIG. 1, except that the step of performing the grinding of the workpiece and simultaneously dressing the grindstone with the electrolytic dress electrode and the step of performing the grinding of the workpiece and simultaneously discharging the workpiece are performed. The step of truing the grindstone by machining is set to be arbitrarily switched. At this time, the processing liquid supplied from each nozzle is also switched, and during the execution of the dressing, a normal electrolytic solution is ejected from the second nozzle between the electrode for electrolysis and the grindstone,
When switching to electric discharge machining, an insulating liquid such as pure water is ejected from the third nozzle between the electric discharge electrode and the grindstone. The other configuration of this grinding apparatus is the same as that of the grinding apparatus shown in FIG.

【0040】このような研削加工装置では、ワークの研
削を行いながらドレッシングを行う工程と、研削を行い
ながらツルーイングを行う工程とを任意に切り替えるこ
とができ、研削加工中の砥石の目詰まりや形状変化の状
態に応じてドレッシング又はツルーイングを行うことが
できる。このため、各工程に適した加工液を選択するこ
とによって、より高いドレッシング又はツルーイングの
効果を得ることができ、砥石の状態を良好に維持して研
削加工を行うことができる。
In such a grinding apparatus, the step of performing dressing while grinding the workpiece and the step of performing truing while performing grinding can be arbitrarily switched. Dressing or truing can be performed depending on the state of the change. For this reason, by selecting a working fluid suitable for each step, a higher dressing or truing effect can be obtained, and grinding can be performed while maintaining a good state of the grindstone.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように、本願発明に係る研
削加工装置又は研削加工方法では、研削加工を中断する
ことなく、砥石の目詰まりの程度に応じて速やかにドレ
ッシングを行うことができ、さらに砥石の研削面の形状
変化に応じてツルーイングを行うことができる。このた
め、砥石の目詰まりを防止するとともに砥石の形状を高
い精度に維持することができ、極めて表面粗さが小さ
く、かつ形状精度の高い研削加工を行うことができる。
また、砥石とドレッシング手段との対向位置に供給する
加工液と、砥石と放電加工装置との対向位置に供給する
加工液とを適切な体積抵抗率を有する同じ加工液とする
ことにより、研削加工中に砥石のドレッシングとツルー
イングとを同時に行うことができる。このため、高精度
でより高能率な研削加工が可能になる。
As described above, in the grinding apparatus or the grinding method according to the present invention, the dressing can be quickly performed according to the degree of clogging of the grinding wheel without interrupting the grinding. Further, truing can be performed according to a change in the shape of the grinding surface of the grindstone. For this reason, it is possible to prevent clogging of the grindstone and to maintain the shape of the grindstone with high precision, thereby performing grinding with extremely small surface roughness and high form precision.
In addition, the machining fluid supplied to the position facing the grindstone and the dressing means and the machining fluid supplied to the position facing the grindstone and the electric discharge machine are the same machining fluid having an appropriate volume resistivity, so that the grinding process is performed. The dressing and truing of the grindstone can be performed simultaneously. For this reason, highly accurate and highly efficient grinding can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本願発明の一実施形態である研削加工装置を示
す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a grinding apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記研削加工装置で用いられる放電加工ヘッド
の詳細を示す正面図及び側面図である。
FIG. 2 is a front view and a side view showing details of an electric discharge machining head used in the grinding machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 主軸 2 砥石 3 ワーク 4 テーブル 5 電解ドレス電極 6 電解用電源 7 配線 8 放電加工ヘッド 9 放電加工用電源 10 配線 11 第1のノズル 12 第2のノズル 13 第3のノズル 15 砥石支持部材 81 ベースプレート 82 電極ワイヤ 83 送り出しボビン 84 ブレーキローラー 85,86,87,90 回転ローラー 88 ガイドアーム 89 ワイヤガイド 91 巻取りボビン 92 取付軸 93 垂直移動テーブル 94 水平移動テーブル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spindle 2 Grinding wheel 3 Work 4 Table 5 Electrolysis dress electrode 6 Electrolysis power supply 7 Wiring 8 Electric discharge machining head 9 Electric discharge machining power supply 10 Wiring 11 First nozzle 12 Second nozzle 13 Third nozzle 15 Grindstone support member 81 Base plate 82 electrode wire 83 sending-out bobbin 84 brake roller 85, 86, 87, 90 rotating roller 88 guide arm 89 wire guide 91 winding bobbin 92 mounting shaft 93 vertical moving table 94 horizontal moving table

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転駆動された状態で被加工物と接触
し、研削加工を行なう導電性の砥石と、 この砥石を被加工物に対して相対的に移動可能に支持す
る砥石支持手段と、 前記砥石に近接対向する電極を備え、この電極と前記砥
石との間に加工液を介在させて、電解作用による目立て
を行なうドレッシング手段と、 前記砥石と近接するように配置され、該砥石との相対位
置の調整が可能に支持された放電加工装置とを有するこ
とを特徴とする研削加工装置。
1. A conductive grindstone that contacts a workpiece in a rotationally driven state and performs a grinding process; and a grindstone supporting means that supports the grindstone relatively movably with respect to the workpiece. A dressing means for providing an electrode opposing the grinding wheel in close proximity to the grinding wheel, interposing a working fluid between the electrode and the grinding wheel, performing dressing by electrolytic action, and being arranged close to the grinding wheel, And a discharge machining device supported so that the relative position can be adjusted.
【請求項2】 前記放電加工装置は、前記砥石と対向
して支持されたワイヤガイドに沿って走行するワイヤ電
極を有することを特徴とする請求項1に記載の研削加工
装置。
2. The grinding apparatus according to claim 1, wherein the electric discharge machining apparatus has a wire electrode running along a wire guide supported opposite to the grindstone.
【請求項3】 前記ドレッシング手段の電極が前記砥
石と対向する位置に電解液を供給する第1の加工液供給
手段と、 前記放電加工装置の放電電極が前記砥石と対向する位置
に絶縁性加工液を供給する第2の加工液供給手段とを有
することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の研
削加工装置。
3. A first machining liquid supply means for supplying an electrolytic solution to a position where an electrode of the dressing means faces the grindstone, and an insulating process at a position where a discharge electrode of the electric discharge machining apparatus faces the grindstone. The grinding apparatus according to claim 1, further comprising a second processing liquid supply unit configured to supply a liquid.
【請求項4】 回転駆動される砥石に近接対向して、
この砥石との間に電圧が印加される電解用電極と、この
砥石との間に放電を起こさせる放電電極とを配置し、 回転駆動される前記砥石を被加工物に接触させて研削を
行なうと同時に、前記砥石の研削面と前記電解用電極と
の間に電解液を供給して電解作用による目立てを行なう
工程と、 前記砥石を被加工物に接触させて研削を行な
うと同時に、前記砥石の研削面と放電電極との間で放電
を生じさせて放電加工による形状直しを行なう工程と、
を任意に切り替えて被加工物の研削加工を行なうこと
を特徴とする研削加工方法。
4. In close proximity to a rotationally driven grindstone,
An electrode for electrolysis to which a voltage is applied between the grinding stone and a discharge electrode for generating a discharge between the grinding stone and the grinding wheel are arranged, and the rotating grinding wheel is brought into contact with a workpiece to perform grinding. At the same time, a step of supplying an electrolytic solution between the grinding surface of the grindstone and the electrode for electrolysis to perform dressing by electrolytic action, and performing the grinding by bringing the grindstone into contact with a workpiece and simultaneously grinding the grindstone. A step of causing a discharge between the ground surface and the discharge electrode to reshape by electric discharge machining,
Characterized in that the workpiece is ground by arbitrarily switching the processing.
【請求項5】 前記ドレッシング手段の電極が前記砥
石と対向する位置に加工液を供給する第1の加工液供給
手段と、 前記放電加工装置の放電電極が前記砥石と対向する位置
に加工液を供給する第2の加工液供給手段とを有し、 前記第1の加工液供給手段と第2の加工液供給手段と
は、同じ加工液を供給するものであることを特徴とする
請求項1又は請求項2に記載の研削加工装置。
5. A first machining fluid supply means for supplying a machining fluid to a position where an electrode of the dressing means faces the grindstone, and a machining fluid at a position where a discharge electrode of the electric discharge machining apparatus faces the grindstone. 2. A second processing liquid supply unit that supplies the same processing liquid, wherein the first processing liquid supply unit and the second processing liquid supply unit supply the same processing liquid. 3. Alternatively, the grinding apparatus according to claim 2.
【請求項6】 回転駆動される砥石に近接対向して、
この砥石との間に電圧が印加される電解用電極と、この
砥石との間に放電を起こさせる放電電極とを配置し、 前記砥石の研削面と前記電解用電極との間、及び前記砥
石の研削面と放電電極との間に、体積抵抗率が0.1k
Ωm以上で10kΩm以下の加工液を供給して、 回転
駆動される前記砥石を被加工物に接触させて研削を行な
う工程と、 前記電解用電極と前記砥石との間に電圧を
印加して電解作用による目立てを行なう工程と、 前記
放電電極と前記砥石との間の放電により該砥石の形状直
しを行なう工程と、を同時に行うことを特徴とする研削
加工方法。
6. In the vicinity of a grindstone driven in rotation,
An electrode for electrolysis to which a voltage is applied between the grindstone and a discharge electrode for generating a discharge between the grindstone and the electrode for electrolysis are disposed, between the grinding surface of the grindstone and the electrode for electrolysis, and the grindstone. Between the ground surface and the discharge electrode has a volume resistivity of 0.1 k
Supplying a machining fluid of not less than Ωm and not more than 10 kΩm to perform grinding by bringing the rotating grindstone into contact with a workpiece, and applying a voltage between the electrode for electrolysis and the grindstone to perform electrolysis. A grinding method, wherein a step of performing dressing by action and a step of reshaping the grindstone by electric discharge between the discharge electrode and the grindstone are performed simultaneously.
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