JPH1073666A - Radiation detector - Google Patents

Radiation detector

Info

Publication number
JPH1073666A
JPH1073666A JP8230949A JP23094996A JPH1073666A JP H1073666 A JPH1073666 A JP H1073666A JP 8230949 A JP8230949 A JP 8230949A JP 23094996 A JP23094996 A JP 23094996A JP H1073666 A JPH1073666 A JP H1073666A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bundling
radiation
photodiode array
selecting
radiation detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8230949A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3782170B2 (en
Inventor
Hiroaki Miyazaki
博明 宮崎
Yasuo Saito
泰男 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP23094996A priority Critical patent/JP3782170B2/en
Publication of JPH1073666A publication Critical patent/JPH1073666A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3782170B2 publication Critical patent/JP3782170B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable taking out a necessary signal without restriction of production process and the like, by reducing the number of output signal lines of a bundling/selecting means more than the number of output signal lines of a radiation detection means. SOLUTION: A switch part 35 as a bundling/selecting means of this radiation detector 11-l has 4 signal lines for supplying electric signal, for example, in the input side and has 8 switches 35a1 to 35a8. One side of each switch is connected to 4 signal lines in input side and the other side is connected to two signal lines in output side, respectively. If the switches 35a1, 35a2, 35a7 and 35a8 are turned on and the others are turned off, the electric signals inputted in each two signal lines in the left and right of the input side are bundled, respectively and outputs from the signal lines in the left and right of the output side. If the switches 35a1 and 35a6 are turned on and the others are turned off, the electric signals inputted in the two signal lines in the left of the input side are selected and outputted. In this manner, the number of electric signals of a photodiode array 33 for the number of matrix is reduced and outputted by the bundling and selecting of the switch part 35.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線等の放射線を
直接電気信号に変換したり、放射線を可視光等に変換し
た後、電気信号に変換する放射線検出器に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a radiation detector for directly converting radiation such as X-rays into an electric signal, or converting radiation into visible light or the like and then converting the radiation into an electric signal.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、X線CT装置では、X線
を曝射するX線源から被検体に対し、様々な方向からX
線を曝射し、被検体を透過してきたX線を、被検体を挟
んでこれに対抗する位置に置かれた放射線検出器によっ
て検出し、最終的には電気信号化する。この信号は、透
過X線の強度を反映するものであり、これを基に断層画
像を再構成処理し、表示装置に表示する。
2. Description of the Related Art As is well known, in an X-ray CT apparatus, an X-ray source that emits X-rays applies X-rays to a subject from various directions.
The X-rays that are emitted and transmitted through the subject are detected by a radiation detector placed at a position opposite to the subject with the subject interposed therebetween, and finally converted into an electric signal. This signal reflects the intensity of the transmitted X-ray, and the tomographic image is reconstructed based on the signal and displayed on the display device.

【0003】例えば、図8(a)に示すように第3世代
のX線CT装置101では、X線を曝射するX線源10
3と、このX線源101から曝射されたX線を検出する
放射線検出器105が、被検体の体軸と略垂直な平面内
を回転運動し、データを収集する。1周期(180°程
度あるいは360°程度)の回転で、回転平面内の断層
画像を1枚再構成し、表示する。
For example, as shown in FIG. 8A, in a third-generation X-ray CT apparatus 101, an X-ray source 10 for emitting X-rays is used.
3, and a radiation detector 105 for detecting X-rays emitted from the X-ray source 101 rotates in a plane substantially perpendicular to the body axis of the subject to collect data. With one rotation (about 180 ° or about 360 °), one tomographic image in the rotation plane is reconstructed and displayed.

【0004】図8(b)には、X線CT装置101で使
用されてきたシンチレータ−フォトダイオードを利用し
たX線検出器105の1つのブロック即ちX線検出器ブ
ロック105aの概略の構成例を示した図である。図8
(b)に示すようにX線検出器ブロック105aは、プ
リント配線板(Printed Circuit Board ;PCB)10
7の上面にフォトダイオードアレイ109が設けられ、
さらにこのフォトダイオードアレイ109の上面にシン
チレータ111が設けられている。
FIG. 8B shows a schematic configuration example of one block of an X-ray detector 105 using a scintillator-photodiode used in the X-ray CT apparatus 101, that is, an X-ray detector block 105a. FIG. FIG.
As shown in (b), the X-ray detector block 105a is a printed circuit board (PCB) 10
7, a photodiode array 109 is provided on the upper surface,
Further, a scintillator 111 is provided on the upper surface of the photodiode array 109.

【0005】通常、シンチレータ111とフォトダイオ
ードアレイ109の素子数は等しく、シンチレータ11
1に入射したX線が可視光に変換され、フォトダイオー
ドアレイ109で電気信号に変換される。
Usually, the scintillator 111 and the photodiode array 109 have the same number of elements,
The X-rays incident on 1 are converted into visible light, and are converted into electric signals by the photodiode array 109.

【0006】第3世代のX線CT装置101では、放射
線検出器ブロック105aが、図9に示すように回転平
面内に円弧状に複数、密に配置されており、電気信号は
対軸方向の1方向からワイヤ113によって取り出さ
れ、図示しないデータ収集装置に供給される。
In the third-generation X-ray CT apparatus 101, a plurality of radiation detector blocks 105a are densely arranged in an arc shape in a rotation plane as shown in FIG. It is taken out from one direction by a wire 113 and supplied to a data collection device (not shown).

【0007】図10は、図9に示す放射線検出器ブロッ
クによる1周期のデータ収集で複数の断面のデータを収
集できるように体軸方向に検出素子が分割されている2
次元フォトダイオードアレイ109aと2次元シンチレ
ータ111aを有する放射線検出器ブロックの概略の構
成例を示した図である。同一円弧上に複数の放射線検出
器ブロックを配置するには、この場合、図10に示す矢
印の方向に分割数分のデータを図示しないデータ収集装
置側に引き出す必要がある。また、反対側に引き出すこ
ともできるし、その両方に分割して引き出すこともでき
る。
FIG. 10 shows a configuration in which a detection element is divided in the body axis direction so that data of a plurality of cross sections can be collected in one cycle of data collection by the radiation detector block shown in FIG.
FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a radiation detector block having a two-dimensional photodiode array 109a and a two-dimensional scintillator 111a. In order to arrange a plurality of radiation detector blocks on the same arc, in this case, it is necessary to extract data for the number of divisions in the direction of the arrow shown in FIG. It can also be pulled out to the opposite side, or it can be split out into both and pulled out.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図10
に示すような対軸方向に検出素子が分割されている放射
線検出器ブロックを複数有する検出器を用いる場合で
も、全ての検出素子をデータ収集装置と1対1に接続す
ることは基板の実装上あるいは配線上かなり困難であ
る。また、接続できたとしてもデータ収集装置の実装上
の都合や価格の問題で検出素子数より少ない数のデータ
収集装置を使用することがある。このような場合、検出
素子の出力をスイッチ等で切り替えることにより、見か
け上の検出素子数を減少させ、あるいは必要とする部分
だけ選択し、利用することが考えられている。
However, FIG.
Even when using a detector having a plurality of radiation detector blocks in which the detection elements are divided in the opposite axial direction as shown in (1), connecting all the detection elements one-to-one with the data collection device is a matter of mounting the board. Or it is quite difficult on wiring. Even if the connection can be made, there may be a case where a smaller number of data collection devices than the number of detection elements are used due to the mounting convenience of the data collection device and the price problem. In such a case, it has been considered to reduce the apparent number of detection elements by switching the output of the detection elements with a switch or the like, or to select and use only necessary parts.

【0009】そこで、図11に示すように、フォトダイ
オードアレイ109aと同じチップ上にスイッチ素子1
15を備えることも考えられるが、半導体製造プロセス
の違いから製作が困難な場合がある。また、製造の実状
では、ある半径を持つシリコンウェハからチップを取り
出すが、1つのシリコンウエハから取れるチップの個数
が少なくなると高価になる。製造の歩留りの面から考え
ると、フォトダイオードアレイ109aとスイッチ素子
115が1つのチップだと、いずれか一方に不具合があ
るとそのチップは使用できなくなり、歩留りが悪くな
り、コスト増となる。
Therefore, as shown in FIG. 11, the switch element 1 is mounted on the same chip as the photodiode array 109a.
Although it is conceivable to provide the semiconductor device 15, it may be difficult to manufacture the semiconductor device due to a difference in semiconductor manufacturing process. Further, in actual manufacturing, chips are taken out from a silicon wafer having a certain radius. However, if the number of chips that can be taken out from one silicon wafer decreases, the cost increases. From the viewpoint of manufacturing yield, if the photodiode array 109a and the switch element 115 are one chip, if any one of the chips has a defect, the chip cannot be used, the yield becomes poor, and the cost increases.

【0010】また、図12に示すように、フォトダイオ
ードアレイ109aの出力をコネクタ117からケーブ
ル等で取り出す場合でも、PCB107aのパターン部
121の配線密度の制約で放射線検出部分の幅Waより
PCB107aの幅Wbの方が広くなってしまう。図1
3に示すように、同一のPCB107a上にスイッチ素
子115を配置し、出力素子数を減らした後で取り出す
場合でもパターン部121の制約で放射線検出部分の幅
よりPCB107aの幅の方が広くなり、放射線検出器
ブロックを同一円周上に配置できなくなってしまう。
Also, as shown in FIG. 12, even when the output of the photodiode array 109a is taken out from the connector 117 by a cable or the like, the width of the PCB 107a is larger than the width Wa of the radiation detection portion due to the wiring density of the pattern portion 121 of the PCB 107a. Wb becomes wider. FIG.
As shown in FIG. 3, even when the switch elements 115 are arranged on the same PCB 107a and are taken out after reducing the number of output elements, the width of the PCB 107a is wider than the width of the radiation detection portion due to the restriction of the pattern portion 121, The radiation detector blocks cannot be arranged on the same circumference.

【0011】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、製造プロセス上の制約や実装上の制約を受けずに、
必要とする信号を取り出すことが可能な放射線検出器を
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and is free from restrictions on a manufacturing process and mounting.
An object of the present invention is to provide a radiation detector capable of extracting a required signal.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項1記載の発明は、入射する放射線を電気信号に変
換する放射線検出手段と、この放射線検出手段により変
換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね・選択
手段と、この束ね・選択手段により束ねるもしくは選択
された電気信号を取り出す配線手段と、前記放射線検出
手段と前記束ね・選択手段との間と、前記束ね・選択手
段と配線手段との間を電気的に接続する接続手段と、を
有し、前記束ね・選択手段の出力信号線の数を放射線検
出手段の出力信号線の数より減少させることを要旨とす
る。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a radiation detecting means for converting incident radiation into an electric signal, and an electric signal converted by the radiation detecting means are bundled or Bundling / selecting means to be selected, wiring means for extracting an electric signal bundled or selected by the bundling / selecting means, between the radiation detecting means and the bundling / selecting means, and the bundling / selecting means and wiring means And a connection means for electrically connecting the output signal lines of the radiation detection means with the number of output signal lines of the bundling / selection means.

【0013】請求項1記載の放射線検出器にあっては、
入射する放射線を電気信号に変換する放射線検出手段に
より変換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね
・選択手段の出力信号線の数を放射線検出手段の出力信
号線の数より減少させるようにしている。これにより、
製造プロセス上の制約や実装上の制約を受けずに、必要
とする信号を取り出すことが可能となる。
[0013] In the radiation detector according to the first aspect,
The number of output signal lines of the bundling / selecting means for bundling or selecting the electric signals converted by the radiation detecting means for converting incident radiation into electric signals is made smaller than the number of output signal lines of the radiation detecting means. . This allows
Necessary signals can be extracted without being restricted by a manufacturing process or mounting.

【0014】また、前記接続手段は、ワイヤボンディン
グもしくはバンプボンディングにより前記放射線検出手
段と前記束ね・選択手段との間と、前記束ね・選択手段
と配線手段との間を電気的に接続するようにしても良
い。
[0014] The connecting means may electrically connect the radiation detecting means and the binding / selecting means and the binding / selecting means and the wiring means by wire bonding or bump bonding. May be.

【0015】さらに、前記放射線検出手段としては、入
射する放射線を光に変換する放射線−光変換手段と、こ
の放射線−光変換手段により変換された光を電気信号に
変換する光−電気信号変換手段とを有するものを用いて
も良いし、入射する放射線を電気信号に変換する半導体
検出器を用いても良い。
Further, the radiation detecting means includes a radiation-light converting means for converting incident radiation into light, and a light-electric signal converting means for converting light converted by the radiation-light converting means into an electric signal. May be used, or a semiconductor detector that converts incident radiation into an electric signal may be used.

【0016】また、請求項5記載の発明は、入射する放
射線を光に変換するシンチレータ素子を2次元状に配列
したシンチレータと、前記シンチレータ素子からの光を
電気信号に変換するフォトダイオードを2次元状に配列
したフォトダイオードアレイと、前記フォトダイオード
アレイにより変換された電気信号を束ねるもしくは選択
する束ね・選択手段と、この束ね・選択手段により束ね
るもしくは選択された電気信号を取り出す配線手段と、
を有し、束ね・選択手段の出力信号線の数を放射線検出
手段の出力信号線の数より減少させ、前記フォトダイオ
ードアレイと前記束ね・選択手段との間と、前記束ね・
選択手段と前記配線手段との間をワイヤボンディングも
しくはバンプボンディングにより電気的に接続すること
を要旨とする。
According to a fifth aspect of the present invention, a scintillator in which scintillator elements for converting incident radiation into light are two-dimensionally arranged and a photodiode for converting light from the scintillator element into an electric signal are two-dimensional. A photodiode array arranged in a shape, bundling / selecting means for bundling or selecting the electric signals converted by the photodiode array, and wiring means for taking out the bundled or selected electric signals by the bundling / selecting means,
Having the number of output signal lines of the bundling / selecting means smaller than the number of output signal lines of the radiation detecting means, and between the photodiode array and the bundling / selecting means,
The gist is to electrically connect the selecting means and the wiring means by wire bonding or bump bonding.

【0017】請求項5記載の放射線検出器にあっては、
フォトダイオードアレイにより変換された電気信号を束
ねるもしくは選択する束ね・選択手段の出力信号線の数
を前記フォトダイオードアレイの出力信号線の数より減
少させ、前記フォトダイオードアレイと前記束ね・選択
手段との間と、前記束ね・選択手段と前記配線手段との
間をワイヤボンディングもしくはバンプボンディングに
より電気的に接続するようにしている。これにより、製
造プロセス上の制約や実装上の制約を受けずに、必要と
する信号を取り出すことが可能となる。
In the radiation detector according to the fifth aspect,
The number of output signal lines of the bundling / selecting means for bundling or selecting the electric signals converted by the photodiode array is reduced from the number of output signal lines of the photodiode array, and the photodiode array, the bundling / selecting means, And the bundling / selection means and the wiring means are electrically connected by wire bonding or bump bonding. This makes it possible to extract necessary signals without being restricted by the manufacturing process or mounting.

【0018】また、前記束ね・選択手段は、前記放射線
検出手段または前記フォトダイオードアレイにより変換
される電気信号を外部からの制御信号に基づいて切り換
える切り換え手段を有するようにしても良い。
Further, the bundling / selecting means may include switching means for switching an electric signal converted by the radiation detecting means or the photodiode array based on an external control signal.

【0019】さらに、前記束ね・選択手段としては、片
面に電気回路を構成したものもしくは絶縁層を挟んで両
面に電気回路を構成したものを用いても良い。
Further, as the bundling / selecting means, one having an electric circuit on one side or one having an electric circuit on both sides with an insulating layer interposed therebetween may be used.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る放射線検出器
を有するX線CTシステムの一構成例を示すブロック図
である。図1に示すX線CTシステム1は、操作部3に
より操作者から操作指示等が行われ、この操作指示等を
基にX線CTシステム1全体の動作がCPU5により制
御される。そしてX線制御・高電圧発生装置7により制
御されてX線管9から曝射されたX線は、X線管9と被
検体を挟んで対向配置された放射線検出部11によって
電気信号に変換される。この変換された電気信号はスイ
ッチ制御部13からの制御信号を基にスイッチ回路15
により束ねるもしくは選択された後、データ収集装置1
7(DAS)によって収集され、データ記憶装置19に
より記憶される。そしてデータ収集装置17によって収
集された信号を基に画像再構成装置21によっては画像
が再構成される。この再構成された画像は画像記憶装置
23に記憶され、また必要に応じて画像処理装置25に
より画像処理されて画像表示部27に表示される。尚、
架台・寝台29aは架台・寝台駆動制御装置29によっ
て制御されている。
FIG. 1 is a block diagram showing an example of the configuration of an X-ray CT system having a radiation detector according to the present invention. In the X-ray CT system 1 shown in FIG. 1, an operation instruction or the like is performed by an operator through the operation unit 3, and the operation of the entire X-ray CT system 1 is controlled by the CPU 5 based on the operation instruction or the like. Then, the X-rays emitted from the X-ray tube 9 under the control of the X-ray control / high voltage generator 7 are converted into electric signals by the radiation detecting unit 11 arranged opposite to the X-ray tube 9 with the subject interposed therebetween. Is done. The converted electric signal is supplied to a switch circuit 15 based on a control signal from the switch control unit 13.
After being bundled or selected by the data collection device 1
7 (DAS) and stored by the data storage device 19. Then, an image is reconstructed by the image reconstruction device 21 based on the signal collected by the data collection device 17. The reconstructed image is stored in the image storage device 23, and is subjected to image processing by the image processing device 25 as necessary, and is displayed on the image display unit 27. still,
The gantry / bed 29 a is controlled by the gantry / bed drive control device 29.

【0021】本発明に係る放射線検出器は、放射線検出
部11とスイッチ回路15とを有するもので、製造プロ
セス上の制約や実装上の制約を受けずに、必要とする信
号を取り出すことを可能にしている。
The radiation detector according to the present invention has the radiation detection section 11 and the switch circuit 15, and can extract necessary signals without being restricted by the manufacturing process or the mounting. I have to.

【0022】図2(a)は本発明に係る放射線検出器の
第1実施形態を示した平面図、図2(b)はそのA−A
断面図である。また、図2(c)は主要部分を拡大した
断面図である。
FIG. 2A is a plan view showing a first embodiment of the radiation detector according to the present invention, and FIG.
It is sectional drawing. FIG. 2C is an enlarged cross-sectional view of a main part.

【0023】図2(a),(b),(c)に示すよう
に、第1実施形態の放射線検出器11-1は、PCB31
と、PCB31の上面に設けられ、2次元のマトリック
ス状に検出素子(フォトダイオード)が構成され、図示
しないシンチレータによりX線から変換された光を電気
信号に変換するフォトダイオードアレイ33と、PCB
31の上面に設けられ、フォトダイオードアレイ33に
より変換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね
・選択手段としてのスイッチ部35と、PCB31の上
面に設けられ、スイッチ部35により束ねるもしくは選
択された電気信号を外部に取り出すための配線手段とし
てのFPC(Flexible Printed Circuit Board)37
と、フォトダイオードアレイ33とスイッチ部35およ
びスイッチ部35とFPC37とをワイヤにより電気的
に接続する接続手段としてのワイヤボンディング部39
とを有する。また、FPC37は、支持部41によって
支持されている。
As shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, the radiation detector 11-1 of the first embodiment includes a PCB 31.
A detection element (photodiode) provided on the upper surface of the PCB 31 in a two-dimensional matrix, and a photodiode array 33 for converting light converted from X-rays by a scintillator (not shown) into an electric signal;
A switch unit 35 provided on the upper surface of the PCB 31 and serving as a bundling / selection unit for bundling or selecting the electric signal converted by the photodiode array 33, and an electric device provided on the upper surface of the PCB 31 and bundled or selected by the switch unit 35 FPC (Flexible Printed Circuit Board) 37 as a wiring means for extracting a signal to the outside
And a wire bonding portion 39 as connection means for electrically connecting the photodiode array 33 to the switch portion 35 and the switch portion 35 to the FPC 37 by wires.
And Further, the FPC 37 is supported by the support portion 41.

【0024】尚、図2では、シンチレータを省略してい
るが、実際にはシンチレータは、図10に示すようにフ
ォトダイオードアレイの上面に配置されている。このシ
ンチレータによりX線が光に変換され、この変換された
光がフォトダイオードアレイ33により電気信号に変換
される。
Although the scintillator is omitted in FIG. 2, the scintillator is actually arranged on the upper surface of the photodiode array as shown in FIG. X-rays are converted to light by the scintillator, and the converted light is converted to electric signals by the photodiode array 33.

【0025】スイッチ部35は、例えば電気信号を供給
する4つの信号線が入力側にあり、これを2つの信号線
に減らす場合、図3に示すように8つのスイッチ35a1
〜35a8を有する。このスイッチ35a1〜35a4の一方
側は入力側の4つの信号線に接続され、他方側は出力側
の右側の信号線に各々接続され、スイッチ35a5〜35
a8の一方側は入力側の4つの信号線に接続され、他方側
は出力側の左側の信号線に各々接続されている。
The switch unit 35 has, for example, four signal lines for supplying electric signals on the input side, and when reducing these to two signal lines, as shown in FIG.
~ 35a8. One side of the switches 35a1 to 35a4 is connected to the four signal lines on the input side, and the other side is connected to the right side signal line on the output side.
One side of a8 is connected to four signal lines on the input side, and the other side is connected to signal lines on the left side on the output side.

【0026】この場合、例えばスイッチ35a1,スイッ
チ35a2をONすると共に、スイッチ35a7,スイッチ
35a8をONし、これら以外をOFFすると、入力側の
左2つの信号線に入力される電気信号が束ねられて出力
側の右側の信号線から出力され、入力側の右2つの信号
線に入力される電気信号が束ねられて出力側の左側の信
号線から出力される。また、例えばスイッチ35a1をO
Nすると共に、スイッチ35a6をONし、これら以外を
OFFすると、入力側の左2つの信号線に入力される電
気信号が選択されて出力される。尚、スイッチ部35
は、図3に示した回路構成に限られず、他の回路構成と
しても良い。
In this case, for example, when the switches 35a1 and 35a2 are turned on and the switches 35a7 and 35a8 are turned on and the other switches are turned off, the electric signals input to the two left signal lines on the input side are bundled. Electrical signals output from the right signal line on the output side and input to the two right signal lines on the input side are bundled and output from the left signal line on the output side. Also, for example, switch 35a1 is set to O
When N is performed and the switch 35a6 is turned on and the other components are turned off, the electric signals input to the two left signal lines on the input side are selected and output. The switch unit 35
Is not limited to the circuit configuration shown in FIG. 3, but may be another circuit configuration.

【0027】第1実施形態では、フォトダイオードアレ
イ33から出力される電気信号(信号線)は、マトリッ
クスの数だけ存在するが、この電気信号は各々スイッチ
部35にワイヤボンディング部39により供給される。
スイッチ部35では、電気信号の束ねや必要な電気信号
の選択が行われ、フォトダイオードアレイ33のマトリ
ックスの数より少ない数の電気信号が出力される。この
数の少なくなった電気信号をワイヤボンディング部39
でFPC37に出力する。そしてFPC37に出力され
た電気信号はコネクタ、PCB等を介してデータ収集装
置に供給される。
In the first embodiment, the number of electric signals (signal lines) output from the photodiode array 33 is equal to the number of the matrices. Each of the electric signals is supplied to the switch unit 35 by the wire bonding unit 39. .
In the switch unit 35, the bundle of electric signals and the selection of necessary electric signals are performed, and the number of electric signals smaller than the number of the matrices of the photodiode array 33 is output. The electric signal having the reduced number is transmitted to the wire bonding section 39.
To output to the FPC 37. The electric signal output to the FPC 37 is supplied to the data collection device via a connector, a PCB, and the like.

【0028】このように、第1実施形態の放射線検出器
11-1では、フォトダイオードアレイ33からの信号線
のピッチが狭すぎて直接FPC等にワイヤボンディング
することが不可能な場合でも、スイッチ部35によって
電気信号(信号線)を減らすようにしているので、FP
C等にワイヤボンディングすることができ、製造プロセ
ス上の制約やPCB実装上の制約を受けずに、必要とす
る電気信号をデータ収集装置へ取り出すことが可能とな
る。
As described above, in the radiation detector 11-1 of the first embodiment, even if the pitch of the signal lines from the photodiode array 33 is too narrow to directly wire-bond to an FPC or the like, the switch can be used. Since the electric signal (signal line) is reduced by the unit 35, the FP
C can be wire-bonded, and a required electric signal can be taken out to the data collection device without being restricted by a manufacturing process or a PCB mounting.

【0029】図4(a)は本発明に係る放射線検出器の
第2実施形態を示した平面図、図4(b)はそのA−A
断面図である。また、図4(c)は主要部分を拡大した
断面図である。第2実施形態では、フォトダイオードア
レイ33とスイッチ部35およびスイッチ部とFPC3
7とをバンプボンディング部43により電気的に接続す
るというものである。
FIG. 4A is a plan view showing a second embodiment of the radiation detector according to the present invention, and FIG.
It is sectional drawing. FIG. 4C is an enlarged cross-sectional view of a main part. In the second embodiment, the photodiode array 33, the switch unit 35, and the switch unit and the FPC 3
7 is electrically connected by a bump bonding section 43.

【0030】図4(a),(b),(c)に示すよう
に、第2実施形態の放射線検出器11-2は、PCB31
と、PCB31の上面に設けられ、2次元のマトリック
ス状に検出素子(フォトダイオード)が構成され、図示
しないシンチレータによりX線から変換された光を電気
信号に変換するフォトダイオードアレイ33と、PCB
31の上面に設けられ、フォトダイオードアレイ33に
より変換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね
・選択手段としてのスイッチ部35と、PCB31の上
面に設けられ、スイッチ部35により束ねるもしくは選
択された電気信号を外部に取り出すための配線手段とし
てのFPC37と、フォトダイオードアレイ33とスイ
ッチ部35およびスイッチ部35とFPC37とをバン
プにより電気的に接続する接続手段としてのバンプボン
ディング部43とを有する。また、FPC37は、支持
部41によって支持されている。
As shown in FIGS. 4A, 4B, and 4C, the radiation detector 11-2 of the second embodiment includes a PCB 31.
A detection element (photodiode) provided on the upper surface of the PCB 31 in a two-dimensional matrix, and a photodiode array 33 for converting light converted from X-rays by a scintillator (not shown) into an electric signal;
A switch unit 35 provided on the upper surface of the PCB 31 and serving as a bundling / selection unit for bundling or selecting the electric signal converted by the photodiode array 33, and an electric device provided on the upper surface of the PCB 31 and bundled or selected by the switch unit 35 It has an FPC 37 as a wiring means for extracting signals to the outside, a bump bonding part 43 as a connecting means for electrically connecting the photodiode array 33 and the switch part 35 and the switch part 35 and the FPC 37 by bumps. Further, the FPC 37 is supported by the support portion 41.

【0031】尚、図4では、図1同様、シンチレータを
省略しているが、実際にはシンチレータは、図10に示
すようにフォトダイオードアレイの上面に配置されてい
る。このシンチレータによりX線が光に変換され、この
変換された光がフォトダイオードアレイ33により電気
信号に変換される。また、第2実施形態のスイッチ部3
5は、第1実施形態のスイッチ部35と同様な構成とす
る。
Although the scintillator is omitted in FIG. 4 as in FIG. 1, the scintillator is actually arranged on the upper surface of the photodiode array as shown in FIG. X-rays are converted to light by the scintillator, and the converted light is converted to electric signals by the photodiode array 33. Also, the switch unit 3 of the second embodiment
5 has the same configuration as the switch unit 35 of the first embodiment.

【0032】第2実施形態では、フォトダイオードアレ
イ33から出力される電気信号は、バンプボンディング
部43によってスイッチ部35に供給される。スイッチ
部35では、電気信号の束ねや必要な電気信号の選択が
行われ、フォトダイオードアレイ33のマトリックスの
数より少ない数の電気信号が出力される。この数の少な
くなった電気信号をバンプボンディング部43でFPC
37に出力する。そしてFPC37に出力された電気信
号はコネクタ、PCB等を介してデータ収集装置に供給
される。
In the second embodiment, an electric signal output from the photodiode array 33 is supplied to the switch unit 35 by the bump bonding unit 43. In the switch unit 35, the bundle of electric signals and the selection of necessary electric signals are performed, and the number of electric signals smaller than the number of the matrices of the photodiode array 33 is output. The electric signal having the reduced number is subjected to FPC by the bump bonding section 43.
37. The electric signal output to the FPC 37 is supplied to the data collection device via a connector, a PCB, and the like.

【0033】このように、第2実施形態の放射線検出器
11-2では、フォトダイオードアレイ33からの信号線
のピッチが狭すぎて直接FPC等にバンプボンディング
することが不可能な場合でも、スイッチ部35によって
電気信号(信号線)を減らすようにしているので、FP
C等にバンプボンディングすることができ、製造プロセ
ス上の制約やPCB実装上の制約を受けずに、必要とす
る電気信号をデータ収集装置へ取り出すことが可能とな
る。
As described above, in the radiation detector 11-2 of the second embodiment, even if the pitch of the signal lines from the photodiode array 33 is too narrow to be directly bump-bonded to an FPC or the like, the switch can be used. Since the electric signal (signal line) is reduced by the unit 35, the FP
B can be bump-bonded to C or the like, and a required electric signal can be taken out to the data collection device without being restricted by a manufacturing process or a PCB mounting.

【0034】図5(a)は本発明に係る放射線検出器の
第3実施形態を示した平面図、図5(b)はそのA−A
断面図である。また、図5(c)は主要部分を拡大した
断面図である。第3実施形態では、フォトダイオードア
レイ33とスイッチ部35とをワイヤボンディング部3
9により電気的に接続し、スイッチ部35とFPC37
とをバンプボンディング部43により電気的に接続する
というものである。
FIG. 5A is a plan view showing a third embodiment of the radiation detector according to the present invention, and FIG.
It is sectional drawing. FIG. 5C is an enlarged sectional view of a main part. In the third embodiment, the photodiode array 33 and the switch unit 35 are connected to the wire bonding unit 3.
9, and the switch unit 35 and the FPC 37
Are electrically connected by a bump bonding portion 43.

【0035】図5(a),(b),(c)に示すよう
に、第3実施形態の放射線検出器11-3は、PCB31
と、PCB31の上面に設けられ、2次元のマトリック
ス状に検出素子(フォトダイオード)が構成され、図示
しないシンチレータによりX線から変換された光を電気
信号に変換するフォトダイオードアレイ33と、PCB
31の上面に設けられ、フォトダイオードアレイ33に
より変換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね
・選択手段としてのスイッチ部35と、PCB31の上
面に設けられ、スイッチ部35により束ねるもしくは選
択された電気信号を外部に取り出すための配線手段とし
てのFPC37と、フォトダイオードアレイ33とスイ
ッチ部35とをワイヤにより電気的に接続する接続手段
としてのワイヤボンディング部39と、スイッチ部35
とFPC37とをバンプにより電気的に接続する接続手
段としてのバンプボンディング部43とを有する。ま
た、FPC37は、支持部41によって支持されてい
る。
As shown in FIGS. 5A, 5B, and 5C, the radiation detector 11-3 of the third embodiment includes a PCB 31.
A detection element (photodiode) provided on the upper surface of the PCB 31 in a two-dimensional matrix, and a photodiode array 33 for converting light converted from X-rays by a scintillator (not shown) into an electric signal;
A switch unit 35 provided on the upper surface of the PCB 31 and serving as a bundling / selection unit for bundling or selecting the electric signal converted by the photodiode array 33, and an electric device provided on the upper surface of the PCB 31 and bundled or selected by the switch unit 35 An FPC 37 as a wiring unit for extracting a signal to the outside; a wire bonding unit 39 as a connection unit for electrically connecting the photodiode array 33 and the switch unit 35 with wires;
And a bump bonding portion 43 as a connecting means for electrically connecting the FPC 37 to the FPC 37 by bumps. Further, the FPC 37 is supported by the support portion 41.

【0036】尚、図5では、図1同様、シンチレータを
省略しているが、実際にはシンチレータは、図10に示
すようにフォトダイオードアレイの上面に配置されてい
る。このシンチレータによりX線が光に変換され、この
変換された光がフォトダイオードアレイ33により電気
信号に変換される。また、第3実施形態のスイッチ部3
5は、第1実施形態のスイッチ部35と同様な構成とす
る。
Although the scintillator is omitted in FIG. 5 as in FIG. 1, the scintillator is actually arranged on the upper surface of the photodiode array as shown in FIG. X-rays are converted to light by the scintillator, and the converted light is converted to electric signals by the photodiode array 33. The switch unit 3 of the third embodiment
5 has the same configuration as the switch unit 35 of the first embodiment.

【0037】第3実施形態では、フォトダイオードアレ
イ33から出力される電気信号は、ワイヤボンディング
部39によってスイッチ部35に供給される。スイッチ
部35では、電気信号の束ねや必要な電気信号の選択が
行われ、フォトダイオードアレイ33のマトリックスの
数より少ない数の電気信号が出力される。この数の少な
くなった電気信号をバンプボンディング部43でFPC
37に出力する。そしてFPC37に出力された電気信
号はコネクタ、PCB等を介してデータ収集装置に供給
される。
In the third embodiment, the electric signal output from the photodiode array 33 is supplied to the switch unit 35 by the wire bonding unit 39. In the switch unit 35, the bundle of electric signals and the selection of necessary electric signals are performed, and the number of electric signals smaller than the number of the matrices of the photodiode array 33 is output. The electric signal having the reduced number is subjected to FPC by the bump bonding section 43.
37. The electric signal output to the FPC 37 is supplied to the data collection device via a connector, a PCB, and the like.

【0038】このように、第3実施形態の放射線検出器
11-3では、フォトダイオードアレイ33からの信号線
のピッチが狭すぎて直接FPC等にワイヤボンディング
やバンプボンディングすることが不可能な場合でも、ス
イッチ部35によって電気信号(信号線)を減らすよう
にしているので、FPC等にバンプボンディングするこ
とができ、製造プロセス上の制約やPCB実装上の制約
を受けずに、必要とする電気信号をデータ収集装置へ取
り出すことが可能となる。
As described above, in the radiation detector 11-3 of the third embodiment, when the pitch of the signal lines from the photodiode array 33 is too narrow, it is impossible to perform wire bonding or bump bonding directly to an FPC or the like. However, since the number of electric signals (signal lines) is reduced by the switch unit 35, bump bonding to an FPC or the like can be performed, and the required electric power can be reduced without being restricted by a manufacturing process or a PCB mounting. The signal can be taken out to the data collection device.

【0039】図6(a)は本発明に係る放射線検出器の
第4実施形態を示した平面図、図6(b)はそのA−A
断面図である。また、図6(c)は主要部分を拡大した
断面図である。第4実施形態では、フォトダイオードア
レイ33とスイッチ部35とをバンプボンディング部4
3により電気的に接続し、スイッチ部35とFPC37
とをワイヤボンディング部39により電気的に接続する
というものである。
FIG. 6A is a plan view showing a fourth embodiment of the radiation detector according to the present invention, and FIG.
It is sectional drawing. FIG. 6C is an enlarged sectional view of a main part. In the fourth embodiment, the photodiode array 33 and the switch unit 35 are connected to the bump bonding unit 4.
3 and electrically connected to the switch unit 35 and the FPC 37.
Are electrically connected by a wire bonding portion 39.

【0040】図6(a),(b),(c)に示すよう
に、第4実施形態の放射線検出器11-4は、PCB31
と、PCB31の上面に設けられ、2次元のマトリック
ス状に検出素子(フォトダイオード)が構成され、図示
しないシンチレータによりX線から変換された光を電気
信号に変換するフォトダイオードアレイ33と、PCB
31の上面に設けられ、フォトダイオードアレイ33に
より変換された電気信号を束ねるもしくは選択する束ね
・選択手段としてのスイッチ部35と、PCB31の上
面に設けられ、スイッチ部35により束ねるもしくは選
択された電気信号を外部に取り出すための配線手段とし
てのFPC37と、フォトダイオードアレイ33とスイ
ッチ部35とをバンプにより電気的に接続する接続手段
としてのバンプボンディング部43と、スイッチ部35
とFPC37とをワイヤにより電気的に接続する接続手
段としてのワイヤボンディング部39とを有する。ま
た、FPC37は、支持部41によって支持されてい
る。
As shown in FIGS. 6A, 6B, and 6C, the radiation detector 11-4 of the fourth embodiment includes a PCB 31.
A detection element (photodiode) provided on the upper surface of the PCB 31 in a two-dimensional matrix, and a photodiode array 33 for converting light converted from X-rays by a scintillator (not shown) into an electric signal;
A switch unit 35 provided on the upper surface of the PCB 31 and serving as a bundling / selection unit for bundling or selecting the electric signal converted by the photodiode array 33, and an electric device provided on the upper surface of the PCB 31 and bundled or selected by the switch unit 35 An FPC 37 as a wiring unit for extracting a signal to the outside; a bump bonding unit 43 as a connecting unit for electrically connecting the photodiode array 33 and the switch unit 35 by bumps;
And a FPC 37 and a wire bonding portion 39 as a connecting means for electrically connecting the FPC 37 with a wire. Further, the FPC 37 is supported by the support portion 41.

【0041】尚、図6では、図1同様、シンチレータを
省略しているが、実際にはシンチレータは、図10に示
すようにフォトダイオードアレイの上面に配置されてい
る。このシンチレータによりX線が光に変換され、この
変換された光がフォトダイオードアレイ33により電気
信号に変換される。また、第4実施形態のスイッチ部3
5は、第1実施形態のスイッチ部35と同様な構成とす
る。
Although the scintillator is omitted in FIG. 6 as in FIG. 1, the scintillator is actually arranged on the upper surface of the photodiode array as shown in FIG. X-rays are converted to light by the scintillator, and the converted light is converted to electric signals by the photodiode array 33. Also, the switch unit 3 of the fourth embodiment
5 has the same configuration as the switch unit 35 of the first embodiment.

【0042】第4実施形態では、フォトダイオードアレ
イ33から出力される電気信号は、バンプボンディング
部43によってスイッチ部35に供給される。スイッチ
部35では、電気信号の束ねや必要な電気信号の選択が
行われ、フォトダイオードアレイ33のマトリックスの
数より少ない数の電気信号が出力される。この数の少な
くなった電気信号をワイヤボンディング部39でFPC
37に出力する。そしてFPC37に出力された電気信
号はコネクタ、PCB等を介してデータ収集装置に供給
される。
In the fourth embodiment, an electric signal output from the photodiode array 33 is supplied to the switch unit 35 by the bump bonding unit 43. In the switch unit 35, the bundle of electric signals and the selection of necessary electric signals are performed, and the number of electric signals smaller than the number of the matrices of the photodiode array 33 is output. The electric signal having the reduced number is subjected to FPC by the wire bonding section 39.
37. The electric signal output to the FPC 37 is supplied to the data collection device via a connector, a PCB, and the like.

【0043】このように、第4実施形態の放射線検出器
11-4では、フォトダイオードアレイ33からの信号線
のピッチが狭すぎて直接FPC等にバンプボンディング
やワイヤボンディングすることが不可能な場合でも、ス
イッチ部35によって電気信号(信号線)を減らすよう
にしているので、FPC等にワイヤボンディングするこ
とができ、製造プロセス上の制約やPCB実装上の制約
を受けずに、必要とする電気信号をデータ収集装置へ取
り出すことが可能となる。
As described above, in the radiation detector 11-4 of the fourth embodiment, when the pitch of the signal line from the photodiode array 33 is too narrow, it is impossible to perform bump bonding or wire bonding directly to an FPC or the like. However, since the number of electric signals (signal lines) is reduced by the switch unit 35, it is possible to perform wire bonding to an FPC or the like. The signal can be taken out to the data collection device.

【0044】図7は本発明に係る放射線検出器の第4実
施形態を示した断面図である。第5実施形態では、フォ
トダイオードアレイ33とスイッチ部35とをワイヤボ
ンディング部39とバンプボンディング部43により電
気的に接続し、スイッチ部35とFPC37とをワイヤ
ボンディング部39とバンプボンディング部43により
電気的に接続するというものである。
FIG. 7 is a sectional view showing a fourth embodiment of the radiation detector according to the present invention. In the fifth embodiment, the photodiode array 33 and the switch unit 35 are electrically connected by the wire bonding unit 39 and the bump bonding unit 43, and the switch unit 35 and the FPC 37 are electrically connected by the wire bonding unit 39 and the bump bonding unit 43. It is to connect to each other.

【0045】図7に示すように、第5実施形態の放射線
検出器11-5は、PCB31と、PCB31の上面に設
けられ、2次元のマトリックス状に検出素子(フォトダ
イオード)が構成され、図示しないシンチレータにより
X線から変換された光を電気信号に変換するフォトダイ
オードアレイ33と、PCB31の上面に設けられ、フ
ォトダイオードアレイ33により変換された電気信号を
束ねるもしくは選択する束ね・選択手段としてのスイッ
チ部35と、PCB31の上面に設けられ、スイッチ部
35により束ねるもしくは選択された電気信号を外部に
取り出すための配線手段としてのFPC37と、フォト
ダイオードアレイ33とスイッチ部35およびスイッチ
部35とFPC37とを、ワイヤにより電気的に接続す
る接続手段としてのワイヤボンディング部39および、
バンプにより電気的に接続する接続手段としてのバンプ
ボンディング部43とを有する。また、FPC37は、
支持部41によって支持されている。
As shown in FIG. 7, the radiation detector 11-5 of the fifth embodiment is provided on a PCB 31 and an upper surface of the PCB 31, and has a two-dimensional matrix of detection elements (photodiodes). A photodiode array 33 for converting light converted from X-rays by a non-scintillator into an electric signal; and a bundling / selecting means provided on the upper surface of the PCB 31 for bundling or selecting the electric signal converted by the photodiode array 33. A switch section 35, an FPC 37 provided on the upper surface of the PCB 31 and serving as wiring means for taking out the electric signals bundled or selected by the switch section 35, a photodiode array 33, the switch section 35, and the switch sections 35 and FPC 37 And as connection means for electrically connecting by wire Wire bonding portion 39 and,
And a bump bonding portion 43 as connection means for electrically connecting by bumps. Also, the FPC 37
It is supported by the support portion 41.

【0046】尚、図7では、図1同様、シンチレータを
省略しているが、実際にはシンチレータは、図10に示
すようにフォトダイオードアレイの上面に配置されてい
る。このシンチレータによりX線が光に変換され、この
変換された光がフォトダイオードアレイ33により電気
信号に変換される。また、第5実施形態のスイッチ部3
5は、第1実施形態のスイッチ部35と同様な構成とす
る。
Although the scintillator is omitted in FIG. 7 as in FIG. 1, the scintillator is actually arranged on the upper surface of the photodiode array as shown in FIG. X-rays are converted to light by the scintillator, and the converted light is converted to electric signals by the photodiode array 33. Further, the switch unit 3 of the fifth embodiment
5 has the same configuration as the switch unit 35 of the first embodiment.

【0047】第5実施形態では、フォトダイオードアレ
イ33から出力される電気信号は、ワイヤボンディング
部39とバンプボンディング部43によってスイッチ部
35に供給される。スイッチ部35では、電気信号の束
ねや必要な電気信号の選択が行われ、フォトダイオード
アレイ33のマトリックスの数より少ない数の電気信号
が出力される。また、スイッチ部35は、ワイヤボンデ
ィング部39側とバンプボンディング部43側で異なる
素子として回路を高生成しても良いし、内部で電気的に
接続され、電気信号をやり取りしても良い。この数の少
なくなった電気信号をワイヤボンディング部39とバン
プボンディング部43でFPC37に出力する。そして
FPC37に出力された電気信号はコネクタ、PCB等
を介してデータ収集装置に供給される。
In the fifth embodiment, an electric signal output from the photodiode array 33 is supplied to the switch unit 35 by the wire bonding unit 39 and the bump bonding unit 43. In the switch unit 35, the bundle of electric signals and the selection of necessary electric signals are performed, and the number of electric signals smaller than the number of the matrices of the photodiode array 33 is output. The switch unit 35 may generate a high circuit as a different element on the wire bonding unit 39 side and the bump bonding unit 43 side, or may be electrically connected inside and exchange electric signals. The reduced number of electrical signals is output to the FPC 37 by the wire bonding unit 39 and the bump bonding unit 43. The electric signal output to the FPC 37 is supplied to the data collection device via a connector, a PCB, and the like.

【0048】このように、第5実施形態の放射線検出器
11-4では、フォトダイオードアレイ33からの信号線
のピッチが狭すぎて直接FPC等にワイヤボンディング
やバンプボンディングすることが不可能な場合でも、ス
イッチ部35によって電気信号(信号線)を減らすこと
により、また、ワイヤボンディング部39とバンプボン
ディング部43で信号線を分散することにより、FPC
等にワイヤボンディング、バンプバンプボンディングす
ることができ、製造プロセス上の制約やPCB実装上の
制約を受けずに、必要とする電気信号をデータ収集装置
へ取り出すことが可能となる。
As described above, in the radiation detector 11-4 of the fifth embodiment, when the pitch of the signal lines from the photodiode array 33 is too narrow, it is impossible to perform wire bonding or bump bonding directly to an FPC or the like. However, by reducing the number of electric signals (signal lines) by the switch unit 35 and dispersing the signal lines by the wire bonding unit 39 and the bump bonding unit 43, the FPC
For example, wire bonding and bump-bump bonding can be performed, and a required electric signal can be extracted to the data collection device without being restricted by a manufacturing process or a PCB mounting.

【0049】尚、上記の実施形態ではシンチレータとフ
ォトダイオードとを用いた放射線検出器に適用した場合
を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるこ
と無く、例えば放射線検出素子が2次元状に配置された
半導体検出器もしくはガス検出器、シンチレータと光電
子増倍管とを用いた放射線検出器にも適用することがで
きる。また、それぞれの素子には、放射線検出器からの
電気信号以外にも放射線検出器の動作用信号、電源、ス
イッチ部の制御信号、電源などの信号がワイヤボンディ
ング、バンプボンディング、その他の電気的接続により
供給される。
Although the above embodiment has been described by taking as an example the case where the present invention is applied to a radiation detector using a scintillator and a photodiode, the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to a semiconductor detector or a gas detector arranged in a shape, and a radiation detector using a scintillator and a photomultiplier tube. In addition, in addition to electric signals from the radiation detector, signals for operation of the radiation detector, power supply, control signals for the switch unit, power supply, and other signals are also provided to each element by wire bonding, bump bonding, and other electrical connections. Supplied by

【0050】[0050]

【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
によれば、電気信号を束ねるもしくは選択する束ね・選
択手段の出力信号線の数を放射線検出手段の出力信号線
の数より減少させるようにしているので、製造プロセス
上の制約や実装上の制約を受けずに、必要とする信号を
取り出すことが可能となる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the number of output signal lines of the bundling / selecting means for bundling or selecting electric signals is made smaller than the number of output signal lines of the radiation detecting means. Thus, it is possible to extract necessary signals without being restricted by the manufacturing process or the mounting.

【0051】また、請求項5記載の発明によれば、フォ
トダイオードアレイにより変換された電気信号を束ねる
もしくは選択する束ね・選択手段の出力信号線の数を前
記フォトダイオードアレイの出力信号線の数より減少さ
せ、前記フォトダイオードアレイと前記束ね・選択手段
との間と、前記束ね・選択手段と前記配線手段との間を
ワイヤボンディングもしくはバンプボンディングにより
電気的に接続するようにしているので、製造プロセス上
の制約や実装上の制約を受けずに、必要とする信号を取
り出すことが可能となる。
According to the fifth aspect of the present invention, the number of output signal lines of the bundling / selecting means for bundling or selecting the electric signals converted by the photodiode array is set to the number of output signal lines of the photodiode array. Since it is configured to further reduce the number of wires and electrically connect between the photodiode array and the bundling / selection means and between the bundling / selection means and the wiring means by wire bonding or bump bonding, manufacturing is performed. Necessary signals can be extracted without being affected by process restrictions or mounting restrictions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る放射線検出器の概略の構成を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a radiation detector according to the present invention.

【図2】本発明に係る放射線検出器の第1実施形態を示
した図である。
FIG. 2 is a diagram showing a first embodiment of the radiation detector according to the present invention.

【図3】スイッチ部の配線例を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a wiring example of a switch unit.

【図4】本発明に係る放射線検出器の第2実施形態を示
した図である。
FIG. 4 is a view showing a second embodiment of the radiation detector according to the present invention.

【図5】本発明に係る放射線検出器の第3実施形態を示
した図である。
FIG. 5 is a view showing a third embodiment of the radiation detector according to the present invention.

【図6】本発明に係る放射線検出器の第4実施形態を示
した図である。
FIG. 6 is a view showing a fourth embodiment of the radiation detector according to the present invention.

【図7】本発明に係る放射線検出器の第5実施形態を示
した図である。
FIG. 7 is a view showing a fifth embodiment of the radiation detector according to the present invention.

【図8】第3世代のX線CT装置の概略の構成を示した
図である。
FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration of a third-generation X-ray CT apparatus.

【図9】放射線検出器ブロックの概略の構成例を示した
図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a radiation detector block.

【図10】体軸方向に検出素子が分割されている2次元
フォトダイオードアレイと2次元シンチレータを有する
放射線検出器ブロックの概略の構成例を示した図であ
る。
FIG. 10 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a radiation detector block including a two-dimensional photodiode array in which a detection element is divided in a body axis direction and a two-dimensional scintillator.

【図11】フォトダイオードアレイと同じチップ上にス
イッチ素子を備える放射線検出器ブロックの概略の構成
例を示した図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a radiation detector block including a switch element on the same chip as a photodiode array.

【図12】フォトダイオードアレイの出力をコネクタか
らケーブル等で信号を取り出すようにした放射線検出器
ブロックの概略の構成例を示した図である。
FIG. 12 is a diagram showing a schematic configuration example of a radiation detector block configured to extract a signal from an output of a photodiode array from a connector with a cable or the like.

【図13】同一のPCB上にスイッチ素子を配置し、出
力素子数を減らした後で信号を取り出すようにした従来
例の概略の構成を示すブロック図である。
FIG. 13 is a block diagram showing a schematic configuration of a conventional example in which switch elements are arranged on the same PCB and a signal is taken out after reducing the number of output elements.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 放射線検出器 3 操作部 5 CPU 7 X線制御・高電圧発生装置 9 X線管 11 放射線検出部 11-1,11-2,11-3,11-4,11-5 放射線検出
器 13 スイッチ制御部 15 スイッチ回路 17 データ収集装置 19 データ記憶装置 21 画像再構成装置 23 画像記憶装置 25 画像処理装置 27 画像表示部 29a 架台・寝台 29 架台・寝台駆動制御装置 31 PCB 33 フォトダイオードアレイ 35 スイッチ部 35a1,35a1,35a2,35a3,35a4,35a5,3
5a6,35a7,35a8スイッチ 37 FPC 39 ワイヤボンディング部 41 支持部 43 バンプボンディング部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Radiation detector 3 Operation part 5 CPU 7 X-ray control / high voltage generator 9 X-ray tube 11 Radiation detection part 11-1, 11-2, 11-3, 11-4, 11-5 Radiation detector 13 Switch Control unit 15 Switch circuit 17 Data collection device 19 Data storage device 21 Image reconstructing device 23 Image storage device 25 Image processing device 27 Image display unit 29a Mount / bed 29 Mount / bed drive control unit 31 PCB 33 Photodiode array 35 Switch unit 35a1, 35a1, 35a2, 35a3, 35a4, 35a5, 3
5a6, 35a7, 35a8 Switch 37 FPC 39 Wire bonding part 41 Support part 43 Bump bonding part

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入射する放射線を電気信号に変換する放
射線検出手段と、 この放射線検出手段により変換された電気信号を束ねる
もしくは選択する束ね・選択手段と、 この束ね・選択手段により束ねるもしくは選択された電
気信号を取り出す配線手段と、 前記放射線検出手段と前記束ね・選択手段との間と、前
記束ね・選択手段と配線手段との間を電気的に接続する
接続手段と、 を有し、前記束ね・選択手段の出力信号線の数を放射線
検出手段の出力信号線の数より減少させることを特徴と
する放射線検出器。
1. A radiation detecting means for converting incident radiation into an electric signal; a bundling / selecting means for bundling or selecting the electric signal converted by the radiation detecting means; and a bundling / selecting means for bundling or selecting by the bundling / selecting means. Wiring means for extracting the electric signal, and a connection means for electrically connecting the radiation detection means and the bundling / selection means, and between the bundling / selection means and the wiring means, A radiation detector wherein the number of output signal lines of the bundling / selecting means is smaller than the number of output signal lines of the radiation detecting means.
【請求項2】 前記接続手段は、ワイヤボンディングも
しくはバンプボンディングにより前記放射線検出手段と
前記束ね・選択手段との間と、前記束ね・選択手段と配
線手段との間を電気的に接続することを特徴とする請求
項1記載の放射線検出器。
2. The method according to claim 1, wherein the connection unit electrically connects the radiation detection unit and the bundling / selection unit and the bundling / selection unit and the wiring unit by wire bonding or bump bonding. The radiation detector according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記放射線検出手段は、入射する放射線
を光に変換する放射線−光変換手段と、この放射線−光
変換手段により変換された光を電気信号に変換する光−
電気信号変換手段とを有することを特徴とする請求項1
記載の放射線検出器。
3. A radiation-light conversion means for converting incident radiation into light, and a light-light conversion means for converting light converted by the radiation-light conversion means into an electric signal.
2. An electric signal converting means.
A radiation detector as described.
【請求項4】 前記放射線検出手段は、入射する放射線
を電気信号に変換する半導体検出器であることを特徴と
する請求項1記載の放射線検出器。
4. The radiation detector according to claim 1, wherein said radiation detection means is a semiconductor detector that converts incident radiation into an electric signal.
【請求項5】 入射する放射線を光に変換するシンチレ
ータ素子を2次元状に配列したシンチレータと、 前記シンチレータ素子からの光を電気信号に変換するフ
ォトダイオードを2次元状に配列したフォトダイオード
アレイと、 前記フォトダイオードアレイにより変換された電気信号
を束ねるもしくは選択する束ね・選択手段と、 この束ね・選択手段により束ねるもしくは選択された電
気信号を取り出す配線手段と、 を有し、束ね・選択手段の出力信号線の数を前記フォト
ダイオードアレイの出力信号線の数より減少させ、前記
フォトダイオードアレイと前記束ね・選択手段との間
と、前記束ね・選択手段と前記配線手段との間をワイヤ
ボンディングもしくはバンプボンディングにより電気的
に接続することを特徴とする放射線検出器。
5. A scintillator in which scintillator elements for converting incident radiation into light are two-dimensionally arranged, and a photodiode array in which photodiodes for converting light from the scintillator element into electric signals are arranged two-dimensionally. Bundling / selection means for bundling or selecting the electric signals converted by the photodiode array, and wiring means for taking out the bundled or selected electric signals by the bundling / selection means. The number of output signal lines is reduced from the number of output signal lines of the photodiode array, and wire bonding is performed between the photodiode array and the binding / selecting means and between the binding / selecting means and the wiring means. Alternatively, a radiation detector characterized by being electrically connected by bump bonding.
【請求項6】 前記束ね・選択手段は、前記放射線検出
手段または前記フォトダイオードアレイにより変換され
る電気信号を外部からの制御信号に基づいて切り換える
切り換え手段を有することを特徴とする請求項1または
請求項5のいずれか記載の放射線検出器。
6. The bundling / selecting means includes switching means for switching an electric signal converted by the radiation detecting means or the photodiode array based on an external control signal. The radiation detector according to claim 5.
【請求項7】 前記束ね・選択手段は、片面に電気回路
を構成したものもしくは絶縁層を挟んで両面に電気回路
を構成したものであることを特徴とする請求項1または
請求項5のいずれか記載の放射線検出器。
7. The bundling / selecting means according to claim 1, wherein the bundling / selecting means comprises an electric circuit on one side or an electric circuit on both sides with an insulating layer interposed therebetween. Or a radiation detector according to any one of the preceding claims.
JP23094996A 1996-08-30 1996-08-30 X-ray CT system Expired - Lifetime JP3782170B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23094996A JP3782170B2 (en) 1996-08-30 1996-08-30 X-ray CT system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23094996A JP3782170B2 (en) 1996-08-30 1996-08-30 X-ray CT system

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005375326A Division JP2006116342A (en) 2005-12-27 2005-12-27 X-ray ct system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1073666A true JPH1073666A (en) 1998-03-17
JP3782170B2 JP3782170B2 (en) 2006-06-07

Family

ID=16915849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23094996A Expired - Lifetime JP3782170B2 (en) 1996-08-30 1996-08-30 X-ray CT system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3782170B2 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11221207A (en) * 1997-11-26 1999-08-17 General Electric Co <Ge> Detector module for computed tomography system
JPH11231062A (en) * 1997-11-26 1999-08-27 General Electric Co <Ge> Photodiode array for scalable multi-slice scanning computer-operated tomographic system
JPH11287863A (en) * 1997-11-26 1999-10-19 General Electric Co <Ge> X-ray beam detector module and its production method
JP2001318155A (en) * 2000-02-28 2001-11-16 Toshiba Corp Radiation detector and x-ray ct device
JP2002034968A (en) * 2000-07-25 2002-02-05 Toshiba Corp X-ray ct apparatus
KR101864963B1 (en) * 2016-12-19 2018-06-05 경희대학교 산학협력단 Radiation detector and method for manufacturing of the same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11221207A (en) * 1997-11-26 1999-08-17 General Electric Co <Ge> Detector module for computed tomography system
JPH11231062A (en) * 1997-11-26 1999-08-27 General Electric Co <Ge> Photodiode array for scalable multi-slice scanning computer-operated tomographic system
JPH11287863A (en) * 1997-11-26 1999-10-19 General Electric Co <Ge> X-ray beam detector module and its production method
JP4512851B2 (en) * 1997-11-26 2010-07-28 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ X-ray beam detector module, flexible electrical cable, mounting bracket and method of manufacturing the same
JP2001318155A (en) * 2000-02-28 2001-11-16 Toshiba Corp Radiation detector and x-ray ct device
JP2002034968A (en) * 2000-07-25 2002-02-05 Toshiba Corp X-ray ct apparatus
KR101864963B1 (en) * 2016-12-19 2018-06-05 경희대학교 산학협력단 Radiation detector and method for manufacturing of the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3782170B2 (en) 2006-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4630407B2 (en) Multi-slice detector
US7003076B2 (en) Radiation detector, radiation detecting system and X-ray CT apparatus
US8710448B2 (en) Radiation detector array
JP2003066149A (en) Radiation detector, radiation detecting system, x-ray ct system
US7606346B2 (en) CT detector module construction
JP4481410B2 (en) X-ray CT two-dimensional detector, X-ray CT two-dimensional detector manufacturing method, and X-ray CT scanner
JP4717993B2 (en) Method and apparatus for scanning a detector array in an x-ray imaging system
JP4856299B2 (en) Detector module for computed tomography system
JP4512851B2 (en) X-ray beam detector module, flexible electrical cable, mounting bracket and method of manufacturing the same
JP2001318155A (en) Radiation detector and x-ray ct device
JP2004536313A (en) Solid-state X-ray radiation detector module, mosaic structure thereof, imaging method, and imaging apparatus using the same
JP2003344546A (en) High density flex interconnect for ct detectors
US9480446B2 (en) X-ray detection submodule, X-ray detection module, and X-ray CT apparatus
CN1969758B (en) Methods and systems for controlling data acquisition system noise
JP4301609B2 (en) Collimator for computer tomography system and detector using the same
US20060071173A1 (en) Module assembly for multiple die back-illuminated diode
JPH1073666A (en) Radiation detector
JP4341088B2 (en) Elastomer connection for computed tomography systems
US20020085665A1 (en) High density flex interconnect for CT detectors
JP4500010B2 (en) X-ray detector and X-ray CT apparatus using the same
JP2006116342A (en) X-ray ct system
JP5438895B2 (en) X-ray detector system and X-ray CT apparatus
JP4357039B2 (en) Cable for computer tomography equipment
JP5196728B2 (en) X-ray CT system
JP3825503B2 (en) Solid-state imaging device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041215

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20041215

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20041227

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050107

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050114

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050315

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20050427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050520

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20050620

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050713

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051104

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20051214

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20051219

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20051220

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051227

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20051214

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20051219

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20051220

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060307

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060309

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140317

Year of fee payment: 8

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

EXPY Cancellation because of completion of term
R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350