JPH1062179A - Vibration gyro - Google Patents
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- JPH1062179A JPH1062179A JP8237245A JP23724596A JPH1062179A JP H1062179 A JPH1062179 A JP H1062179A JP 8237245 A JP8237245 A JP 8237245A JP 23724596 A JP23724596 A JP 23724596A JP H1062179 A JPH1062179 A JP H1062179A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は振動ジャイロに関
し、特にたとえば、カメラの手振れ防止、カーナビゲー
ションシステム、ポインティングデバイスなどに使用さ
れる振動ジャイロに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyroscope, and more particularly to a vibrating gyroscope used for a camera shake prevention, a car navigation system, a pointing device, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図である。振動ジャイロ１は、振動体２を含む。振
動体２は、第１の圧電体基板３および第２の圧電体基板
４を接着することによって形成される。第１の圧電体基
板３および第２の圧電体基板４は、矢印で示すように、
互いに逆向きの厚み方向に分極される。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope. The vibrating gyroscope 1 includes a vibrating body 2. The vibrating body 2 is formed by bonding the first piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 together. The first piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 are, as indicated by arrows,
Polarized in opposite thickness directions.
【０００３】第１の圧電体基板３の外側主面には、分割
された電極５が形成される。電極５は、第１の圧電体基
板３の長手方向に延びる溝によって、幅方向に２分割さ
れている。さらに、電極５は、第１の圧電体基板３の幅
方向に延びる２つの溝によって、長手方向に３分割され
ている。つまり、電極５は、６つの部分に分割されてい
る。さらに、第２の圧電体基板４の外側主面の全面に、
別の電極６が形成される。振動体２のノード点付近にお
いて、電極６と基板７上の支持ピン８とが接続される。
支持ピン８は、たとえば半田付けや導電接着剤などによ
って、電極６に取り付けられている。[0003] On the outer main surface of the first piezoelectric substrate 3, divided electrodes 5 are formed. The electrode 5 is divided into two in the width direction by grooves extending in the longitudinal direction of the first piezoelectric substrate 3. Further, the electrode 5 is divided into three in the longitudinal direction by two grooves extending in the width direction of the first piezoelectric substrate 3. That is, the electrode 5 is divided into six parts. Further, over the entire outer main surface of the second piezoelectric substrate 4,
Another electrode 6 is formed. The electrode 6 and the support pin 8 on the substrate 7 are connected near the node point of the vibrator 2.
The support pins 8 are attached to the electrodes 6 by, for example, soldering or a conductive adhesive.
【０００４】この振動ジャイロ１では、電極５の長手方
向の中央部にある２つの電極部分５ａ，５ｂと、それに
対向する電極６との間に、駆動信号が印加される。第１
の圧電体基板３および第２の圧電体基板４は、互いに逆
向きに分極されているため、振動体２はバイモルフ構造
となっており、駆動信号によって振動体２が電極５，６
形成面に直交する向きに屈曲振動する。このとき、振動
体２は、その長手方向の両端から少し内側にある２つの
ノード点を中心として屈曲振動する。このとき、電極部
分５ａ，５ｂからは同じ信号が出力されるため、これら
の電極部分５ａ，５ｂから出力される信号の差をとれ
ば、２つの出力信号が相殺されて０となる。In the vibrating gyroscope 1, a drive signal is applied between two electrode portions 5a and 5b located at the center in the longitudinal direction of the electrode 5 and the electrode 6 opposed thereto. First
Since the piezoelectric substrate 3 and the second piezoelectric substrate 4 are polarized in directions opposite to each other, the vibrating body 2 has a bimorph structure, and the vibrating body 2 is driven by the driving signals to form the electrodes 5 and 6.
Bending vibration occurs in a direction perpendicular to the forming surface. At this time, the vibrating body 2 bends and vibrates around two node points slightly inside from both ends in the longitudinal direction. At this time, since the same signal is output from the electrode portions 5a and 5b, if the difference between the signals output from these electrode portions 5a and 5b is obtained, the two output signals are canceled and become 0.
【０００５】振動体２の軸を中心として回転すると、振
動体２の屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が
働く。そのため、振動体２の屈曲振動の向きが変わり、
電極部分５ａ，５ｂの出力信号が変化する。つまり、一
方の電極部分５ａからの出力信号がコリオリ力に対応し
て増加すると、他方の電極部分５ｂからの出力信号はコ
リオリ力に対応して減少する。したがって、これらの電
極部分５ａ，５ｂからの出力信号の差をとれば、コリオ
リ力に対応した信号のみを得ることができる。このよう
に、電極部分５ａ，５ｂの出力信号の差を測定すること
によって、振動ジャイロ１に加わった回転角速度を検出
することができる。When the vibrator 2 rotates about its axis, a Coriolis force acts in a direction orthogonal to the direction of the bending vibration of the vibrator 2. Therefore, the direction of the bending vibration of the vibrating body 2 changes,
The output signals of the electrode portions 5a and 5b change. That is, when the output signal from one electrode portion 5a increases according to the Coriolis force, the output signal from the other electrode portion 5b decreases according to the Coriolis force. Therefore, if a difference between the output signals from the electrode portions 5a and 5b is obtained, only a signal corresponding to the Coriolis force can be obtained. Thus, by measuring the difference between the output signals of the electrode portions 5a and 5b, the rotation angular velocity applied to the vibrating gyroscope 1 can be detected.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロでは、落下などによる衝撃に弱く、特
に支持ピン側から振動体側に向かって衝撃が加わったと
き、振動体が支持ピンから外れる恐れがある。このよう
に、振動体が支持ピンから外れると、振動ジャイロとし
ての機能を失ってしまう。However, such a vibrating gyroscope is vulnerable to an impact due to a fall or the like, and there is a possibility that the vibrating body may come off from the supporting pin particularly when an impact is applied from the supporting pin side toward the vibrating body side. is there. As described above, when the vibrating body comes off the support pin, the vibrating gyroscope loses its function.
【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、強
い耐衝撃性を有する振動ジャイロを提供することであ
る。[0007] Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyroscope having strong impact resistance.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、２つの圧電
体基板を接合した振動体と、２つの圧電体基板の外側主
面に形成され、少なくとも一方が分割された対向電極と
を含み、２つの圧電体基板の外側主面において振動体の
ノード点に対応する振動体の両側部分が支持された、振
動ジャイロである。この振動ジャイロにおいて、振動体
の少なくとも一方側を、導電材料で形成された支持ピン
によって支持することができる。また、振動体の少なく
とも一方側を、軟性樹脂によって支持してもよい。The present invention includes a vibrator in which two piezoelectric substrates are joined, and a counter electrode formed on the outer main surface of the two piezoelectric substrates, at least one of which is divided, A vibrating gyroscope in which both side portions of a vibrating body corresponding to node points of the vibrating body are supported on outer main surfaces of two piezoelectric substrates. In this vibrating gyroscope, at least one side of the vibrating body can be supported by a support pin formed of a conductive material. Further, at least one side of the vibrator may be supported by a soft resin.
【０００９】振動体の両側部分が支持されているため、
振動体の支持強度が強く、振動ジャイロに衝撃が加わっ
ても、振動体が外れにくい。そのため、衝撃が加わって
も特性が劣化せず、信頼性の高い振動ジャイロを得るこ
とができる。また、導電材料で形成された支持ピンを用
いれば、振動体の支持以外に、振動体への信号入出力用
として支持ピンを利用することができる。さらに、振動
体を軟性樹脂で支持すれば、振動体の振動がダンピング
されにくくなり、特性の劣化を抑えることができる。Since both sides of the vibrating body are supported,
The vibrating body has high support strength, and the vibrating body is hard to come off even if a shock is applied to the vibrating gyroscope. Therefore, the characteristics do not deteriorate even when an impact is applied, and a highly reliable vibration gyro can be obtained. When a support pin formed of a conductive material is used, the support pin can be used for inputting / outputting a signal to / from the vibrator, in addition to supporting the vibrator. Furthermore, if the vibrating body is supported by the soft resin, the vibration of the vibrating body is less likely to be damped, and the deterioration of characteristics can be suppressed.
【００１０】[0010]
【発明の効果】この発明によれば、強い耐衝撃性を有す
る、信頼性の高い振動ジャイロを得ることができる。ま
た、導電材料で形成された支持ピンを用いれば、外部回
路との接続に支持ピンを利用することができ、リード線
などを省略することができる。さらに、振動体を軟性樹
脂で支持すれば、振動体の振動がダンピングされにく
く、良好な特性を有する振動ジャイロを得ることができ
る。According to the present invention, a highly reliable vibration gyro having strong impact resistance can be obtained. In addition, when a support pin formed of a conductive material is used, the support pin can be used for connection to an external circuit, and a lead wire and the like can be omitted. Furthermore, if the vibrating body is supported by the soft resin, the vibration of the vibrating body is hardly damped, and a vibrating gyroscope having good characteristics can be obtained.
【００１１】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】図１はこの発明の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。振動ジャイロ１０は、振動体
１２を含む。振動体１２は、第１の圧電体基板１４およ
び第２の圧電体基板１６を含む。第１の圧電体基板１４
および第２の圧電体基板１６としては、たとえば圧電セ
ラミックやＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ3 などの単結晶な
どが用いられる。第１の圧電体基板１４および第２の圧
電体基板１６は、接合層１８で接合される。接合層１８
の材料としては、たとえばエポキシ樹脂などが用いられ
る。第１の圧電体基板１４と第２の圧電体基板１６と
は、図１の矢印に示すように、互いに逆向きの厚み方向
に分極される。したがって、振動体１２は、バイモルフ
構造となる。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention. The vibrating gyroscope 10 includes a vibrating body 12. The vibrating body 12 includes a first piezoelectric substrate 14 and a second piezoelectric substrate 16. First piezoelectric substrate 14
As the second piezoelectric substrate 16, for example, a piezoelectric ceramic or a single crystal such as LiNbO 3 or LiTaO 3 is used. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are joined by a joining layer 18. Bonding layer 18
For example, an epoxy resin or the like is used. The first piezoelectric substrate 14 and the second piezoelectric substrate 16 are polarized in opposite thickness directions, as indicated by arrows in FIG. Therefore, the vibrating body 12 has a bimorph structure.
【００１３】第１の圧電体基板１４の外側主面には、第
１の電極２０が形成される。第１の電極２０には、第１
の圧電体基板１４の長手方向に延びる溝２２ａと、第１
の圧電体基板１４の幅方向に延びる２つの溝２２ｂとが
形成される。振動体１２は駆動信号によって屈曲振動す
るが、２つの溝２２ｂは、それぞれ振動体１２の２つの
ノード点より両端側に形成される。これらの溝２２ａ，
２２ｂによって、第１の電極２０が６つの電極部分２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅおよび２０ｆに分
割される。さらに、第２の圧電体基板１６の外側主面に
は、その全面に第２の電極２４が形成される。A first electrode 20 is formed on the outer main surface of the first piezoelectric substrate 14. The first electrode 20 has the first
A groove 22a extending in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 14;
And two grooves 22b extending in the width direction of the piezoelectric substrate 14 are formed. The vibrating body 12 bends and vibrates in response to the drive signal, but the two grooves 22b are formed at both ends of the vibrating body 12 from two node points. These grooves 22a,
22b allows the first electrode 20 to have six electrode portions 20
a, 20b, 20c, 20d, 20e and 20f. Further, a second electrode 24 is formed on the entire outer main surface of the second piezoelectric substrate 16.
【００１４】このような振動体１２を作製するには、た
とえば大きい２枚の圧電体基板をエポキシ樹脂などで接
合して積層基板を形成し、一方の圧電体基板上に形成さ
れた電極に所定の間隔で溝を形成したのち、ダイシング
カットなどによって積層基板を切断すればよい。In order to manufacture such a vibrating body 12, for example, two large piezoelectric substrates are joined with an epoxy resin or the like to form a laminated substrate, and predetermined electrodes are formed on one of the piezoelectric substrates. After the grooves are formed at the intervals, the laminated substrate may be cut by dicing or the like.
【００１５】振動体１２は、図２および図３に示すよう
に、支持部材２８によって基板２６上に支持される。支
持部材２８は、たとえばシリコン樹脂などの軟性樹脂に
よって形成される。振動体１２は、その屈曲振動の２つ
のノード点に対応する部分で、支持部材２８によって基
板２６に接着される。ここでは、振動体１２に形成され
た第２の電極２４が、支持部材２８によって基板２６に
接着される。The vibrating body 12 is supported on a substrate 26 by a supporting member 28 as shown in FIGS. The support member 28 is formed of a soft resin such as a silicone resin. The vibrating body 12 is bonded to the substrate 26 by the support member 28 at portions corresponding to two node points of the bending vibration. Here, the second electrode 24 formed on the vibrating body 12 is bonded to the substrate 26 by the support member 28.
【００１６】さらに、第１の電極２０の長手方向の中央
部にある電極部分２０ａ，２０ｂには、それぞれ支持ピ
ン３０ａ，３０ｂが取り付けられる。支持ピン３０ａ，
３０ｂは、たとえば金属などの導電材料で形成される。
支持ピン３０ａ，３０ｂは、振動体１２の２つのノード
点に対応する部分において、電極部分２０ａ，２０ｂに
半田付けされる。このとき、支持ピン３０ａは電極部分
２０ａに半田付けされ、支持ピン３０ｂは電極部分２０
ｂに半田付けされる。支持ピン３０ａ，３０ｂの端部
は、たとえば基板２６の端縁部に固定される。つまり、
振動体１２は、その両面において、支持部材２８と支持
ピン３０ａ，３０ｂとによって支持される。Further, support pins 30a, 30b are attached to the electrode portions 20a, 20b at the center of the first electrode 20 in the longitudinal direction, respectively. Support pin 30a,
30b is formed of a conductive material such as a metal, for example.
The support pins 30a and 30b are soldered to the electrode portions 20a and 20b at portions corresponding to two node points of the vibrating body 12. At this time, the support pins 30a are soldered to the electrode portions 20a, and the support pins 30b are
b. The ends of the support pins 30a and 30b are fixed to, for example, the edge of the substrate 26. That is,
The vibrating body 12 is supported on both surfaces by the support member 28 and the support pins 30a and 30b.
【００１７】この振動ジャイロ１０を使用するには、図
４に示すように、第１の電極２０の長手方向の中央部に
ある２つの電極部分２０ａ，２０ｂに抵抗４０，４２が
接続される。これらの抵抗４０，４２と第２の電極２４
との間には、発振回路４４が接続される。発振回路４４
は、たとえば増幅回路と位相補正回路とを含み、第２の
電極２４から出力される信号が発振回路４４に帰還され
る。そして、増幅回路および位相補正回路によって、帰
還された信号のレベルおよび位相が調整され、第１の電
極２０の電極部分２０ａ，２０ｂに与えられる。In order to use the vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 4, resistors 40 and 42 are connected to two electrode portions 20a and 20b at the center of the first electrode 20 in the longitudinal direction. These resistors 40 and 42 and the second electrode 24
The oscillation circuit 44 is connected between the two. Oscillation circuit 44
Includes, for example, an amplifier circuit and a phase correction circuit, and a signal output from the second electrode 24 is fed back to the oscillation circuit 44. Then, the level and phase of the returned signal are adjusted by the amplifier circuit and the phase correction circuit, and are supplied to the electrode portions 20a and 20b of the first electrode 20.
【００１８】また、第１の電極２０の電極部分２０ａ，
２０ｂは、差動回路４６の入力端に接続される。差動回
路４６の出力端は、同期検波回路４８に接続される。同
期検波回路４８では、たとえば発振回路４４の信号に同
期して、差動回路４６の出力信号が検波される。同期検
波回路４８は平滑回路５０に接続され、さらに平滑回路
５０は増幅回路５２に接続される。Also, the electrode portions 20a of the first electrode 20,
20b is connected to the input terminal of the differential circuit 46. The output terminal of the differential circuit 46 is connected to the synchronous detection circuit 48. In the synchronous detection circuit 48, for example, the output signal of the differential circuit 46 is detected in synchronization with the signal of the oscillation circuit 44. The synchronous detection circuit 48 is connected to a smoothing circuit 50, and the smoothing circuit 50 is connected to an amplifier circuit 52.
【００１９】この振動ジャイロ１０は、発振回路４４に
よって自励振駆動される。このとき、振動体１２はバイ
モルフ構造であるため、第１の圧電体基板１４がその主
面に平行する向きの延びたとき、第２の圧電体基板１６
はその主面に平行する向きに縮む。逆に、第１の圧電体
基板１４がその主面に平行する向きに縮んだとき、第２
の圧電体基板１６がその主面に平行する向きに延びる。
そのため、振動体１２は、第１および第２の電極２０，
２４形成面に直交する向きに屈曲振動する。The vibrating gyroscope 10 is self-excited and driven by an oscillation circuit 44. At this time, since the vibrating body 12 has a bimorph structure, when the first piezoelectric substrate 14 extends in a direction parallel to its main surface, the second piezoelectric substrate 16
Shrinks in a direction parallel to its main surface. Conversely, when the first piezoelectric substrate 14 shrinks in a direction parallel to its main surface,
Of the piezoelectric substrate 16 extends in a direction parallel to the main surface thereof.
Therefore, the vibrating body 12 includes the first and second electrodes 20,
The flexural vibration is made in a direction perpendicular to the surface on which the C.24 is formed.
【００２０】回転角速度が加わっていないとき、電極部
分２０ａ，２０ｂから出力される信号は同じであり、差
動回路４６で相殺されるため、差動回路４６からは信号
が出力されない。振動体１２の軸を中心として回転する
と、屈曲振動の向きに直交する向きにコリオリ力が働
く。このコリオリ力により、振動体１２の屈曲振動の向
きが変わる。そのため、電極部分２０ａ，２０ｂから出
力される信号が変わる。たとえば、電極部分２０ａから
出力される信号が大きくなったとき、電極部分２０ｂか
ら出力される信号は小さくなる。したがって、差動回路
４６から、２つの電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の
差が得られる。電極部分２０ａ，２０ｂの出力信号の変
化は、振動体１２の屈曲振動の向きの変化、すなわちコ
リオリ力に対応している。したがって、差動回路４６か
らは、コリオリ力に対応したレベルの信号が出力され
る。When the rotational angular velocity is not applied, the signals output from the electrode portions 20a and 20b are the same and are canceled by the differential circuit 46, so that no signal is output from the differential circuit 46. When rotated about the axis of the vibrating body 12, Coriolis force acts in a direction orthogonal to the direction of the bending vibration. The direction of the bending vibration of the vibrating body 12 changes due to the Coriolis force. Therefore, the signals output from the electrode portions 20a and 20b change. For example, when the signal output from the electrode portion 20a increases, the signal output from the electrode portion 20b decreases. Therefore, the difference between the output signals of the two electrode portions 20a and 20b is obtained from the differential circuit 46. The change in the output signals of the electrode portions 20a and 20b corresponds to the change in the direction of the bending vibration of the vibrating body 12, that is, the Coriolis force. Therefore, a signal having a level corresponding to the Coriolis force is output from the differential circuit 46.
【００２１】差動回路４６の出力信号は、同期検波回路
４８において、発振回路４４の信号に同期して検波され
る。このとき、差動回路４６の出力信号の正部分のみま
たは負部分のみが検波される。同期検波回路４８で検波
された信号は、平滑回路５０で平滑され、さらに増幅回
路５２で増幅される。したがって、増幅回路５２の出力
信号を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わっ
た回転角速度を検出することができる。The output signal of the differential circuit 46 is detected by a synchronous detection circuit 48 in synchronization with the signal of the oscillation circuit 44. At this time, only the positive part or only the negative part of the output signal of the differential circuit 46 is detected. The signal detected by the synchronous detection circuit 48 is smoothed by the smoothing circuit 50 and further amplified by the amplification circuit 52. Therefore, by measuring the output signal of the amplifier circuit 52, the rotational angular velocity applied to the vibrating gyroscope 10 can be detected.
【００２２】回転角速度の向きが逆の場合、振動体１２
の屈曲振動の向きの変化も逆になり、電極部分２０ａ，
２０ｂの出力信号の変化は逆となる。そのため、差動回
路４６から出力される信号は逆位相となり、同期検波回
路４８で検波される信号も逆極性となる。そのため、増
幅回路５２からの出力信号の極性も逆となる。したがっ
て、増幅回路５２の出力信号の極性から、回転角速度の
方向を検出することができる。When the direction of the rotational angular velocity is reversed,
The change in the direction of the bending vibration of the electrode portion is also reversed, and the electrode portions 20a,
The change of the output signal of 20b is reversed. Therefore, the signal output from the differential circuit 46 has the opposite phase, and the signal detected by the synchronous detection circuit 48 also has the opposite polarity. Therefore, the polarity of the output signal from the amplifier circuit 52 is also reversed. Therefore, the direction of the rotational angular velocity can be detected from the polarity of the output signal of the amplifier circuit 52.
【００２３】この振動ジャイロ１０では、振動体１２の
両面において、支持部材２８および支持ピン３０ａ，３
０ｂで支持されているため、振動体１２の支持強度が大
きく、落下などの衝撃が加わっても、振動体１２が基板
２６から外れにくい。また、この振動ジャイロ１０で
は、振動体１２の第２の電極２４側が軟性樹脂で形成さ
れた支持部材２８で支持されているため、振動体１２の
屈曲振動がダンピングされにくい。そのため、良好な特
性を有する振動ジャイロ１０を得ることができる。この
ように、この発明によれば、強い耐衝撃性を有し、しか
も良好な特性を有する振動ジャイロ１０を得ることがで
きる。In the vibrating gyroscope 10, the supporting member 28 and the supporting pins 30a, 3
Since the vibrating body 12 is supported at 0b, the supporting strength of the vibrating body 12 is large, and the vibrating body 12 is unlikely to come off the substrate 26 even when an impact such as a drop is applied. Further, in the vibrating gyroscope 10, since the second electrode 24 side of the vibrating body 12 is supported by the supporting member 28 formed of a soft resin, the bending vibration of the vibrating body 12 is not easily damped. Therefore, the vibrating gyroscope 10 having good characteristics can be obtained. As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a vibrating gyroscope 10 having strong impact resistance and good characteristics.
【００２４】なお、振動体１２の両面を導電材料で形成
された支持ピンで支持してもよい。上述の振動ジャイロ
１０では、振動体１２の一方面側を軟性樹脂で形成され
た支持部材２８を用いて支持したため、第２の電極２４
の信号入出力用としては、たとえばリード線などを用い
る必要がある。しかしながら、振動体１２を導電材料の
支持ピンで支持すれば、支持ピン自体を信号入出力用と
して用いることができ、リード線の接続を省略すること
ができる。Incidentally, both surfaces of the vibrating body 12 may be supported by supporting pins formed of a conductive material. In the vibrating gyroscope 10 described above, one side of the vibrating body 12 is supported by using the supporting member 28 formed of a soft resin.
For signal input / output, it is necessary to use, for example, a lead wire. However, if the vibrating body 12 is supported by support pins made of a conductive material, the support pins themselves can be used for signal input / output, and connection of lead wires can be omitted.
【００２５】また、振動体１２の両面を、軟性材料で形
成された支持部材２８で支持してもよい。この場合、振
動体１２の信号入出力用としては、全てリード線などに
よって行う必要があるが、振動体１２の屈曲振動のダン
ピングを最も少なくすることができる。さらに、第１の
電極２０側を支持部材２８で支持し、第２の電極２４側
を支持ピン３０ａ，３０ｂで支持してもよい。この場
合、第１の電極２０の電極部分２０ａ，２０ｂの信号入
出力用として、リード線などが用いられる。Further, both surfaces of the vibrating body 12 may be supported by a supporting member 28 formed of a soft material. In this case, the signal input / output of the vibrating body 12 must all be performed by a lead wire or the like, but the damping of the bending vibration of the vibrating body 12 can be minimized. Further, the first electrode 20 side may be supported by the support member 28, and the second electrode 24 side may be supported by the support pins 30a and 30b. In this case, a lead wire or the like is used for signal input / output of the electrode portions 20a and 20b of the first electrode 20.
【００２６】なお、２つの圧電体基板１４，１６は、必
ずしも逆向きに分極される必要はなく、同じ方向に分極
してもよい。この場合、たとえば接合層１８を半田など
の金属層で形成し、この接合層１８が共通電極として用
いられ、接合層１８からの出力信号が発振回路４４に帰
還される。そして、発振回路４４からの信号を第１の電
極２０および第２の電極２４に与えることにより、振動
体１２を屈曲振動させることができる。The two piezoelectric substrates 14 and 16 do not necessarily need to be polarized in opposite directions, but may be polarized in the same direction. In this case, for example, the bonding layer 18 is formed of a metal layer such as solder, and the bonding layer 18 is used as a common electrode, and an output signal from the bonding layer 18 is fed back to the oscillation circuit 44. By applying a signal from the oscillation circuit 44 to the first electrode 20 and the second electrode 24, the vibrating body 12 can be caused to vibrate flexibly.
【００２７】また、上述の振動ジャイロ１０では、第１
の電極２０のみが分割されたが、第２の電極２４も同様
に分割されてもよい。このような電極構造であっても、
２つの電極２０，２４間に駆動信号を与えることによ
り、振動体１２を屈曲振動させることができる。この場
合、回転角速度に対応した信号は、第１の電極２０の分
割部分から取り出してもよいし、第２の電極２４の分割
部分から取り出してもよい。In the above-described vibrating gyroscope 10, the first
Although only the electrode 20 is divided, the second electrode 24 may be similarly divided. Even with such an electrode structure,
By applying a drive signal between the two electrodes 20 and 24, the vibrating body 12 can be caused to flexurally vibrate. In this case, the signal corresponding to the rotational angular velocity may be extracted from the divided portion of the first electrode 20 or may be extracted from the divided portion of the second electrode 24.
【図１】この発明の振動ジャイロの一例を示す斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a vibrating gyroscope according to the present invention.
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
【図３】図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面図であ
る。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 1;
【図４】図１に示す振動ジャイロを使用するときの回路
を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a circuit when the vibrating gyroscope shown in FIG. 1 is used.
【図５】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope.
１０ 振動ジャイロ １２ 振動体 １４ 第１の圧電体基板 １６ 第２の圧電体基板 １８ 接合層 ２０ 第１の電極 ２２ａ，２２ｂ 溝 ２４ 第２の電極 ２６ 基板 ２８ 支持部材 ３０ａ，３０ｂ 支持ピン DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration gyroscope 12 Vibration body 14 1st piezoelectric substrate 16 2nd piezoelectric substrate 18 Bonding layer 20 1st electrode 22a, 22b Groove 24 2nd electrode 26 Substrate 28 Support member 30a, 30b Support pin
Claims (3)
よび前記２つの圧電体基板の外側主面に形成され、少な
くとも一方が分割された対向電極を含み、 前記２つの圧電体基板の外側主面において前記振動体の
ノード点に対応する前記振動体の両側部分が支持され
た、振動ジャイロ。1. A vibrating body in which two piezoelectric substrates are joined, and a counter electrode formed on an outer main surface of the two piezoelectric substrates, at least one of which is divided, and an outer side of the two piezoelectric substrates. A vibrating gyroscope in which both sides of the vibrating body corresponding to the node points of the vibrating body are supported on a main surface.
材料で形成された支持ピンによって支持される、請求項
１に記載の振動ジャイロ。2. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein at least one side of the vibrating body is supported by a support pin formed of a conductive material.
樹脂によって支持される、請求項１に記載の振動ジャイ
ロ。3. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein at least one side of the vibrating body is supported by a soft resin.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23724596A JP3293487B2 (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Vibrating gyro |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP23724596A JP3293487B2 (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Vibrating gyro |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062179A true JPH1062179A (en) | 1998-03-06 |
| JP3293487B2 JP3293487B2 (en) | 2002-06-17 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23724596A Expired - Fee Related JP3293487B2 (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Vibrating gyro |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3293487B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002250628A (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Murata Mfg Co Ltd | Oscillation gyro and its manufacturing method |
| US6722622B2 (en) * | 2001-02-26 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator support structure, vibrating gyroscope therewith, and electronic device using the same |
| US6822375B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device using the same having a driving circuit, a detection circuit and four supporting members with different rigidities, different shapes, different cross sections, different materials and different lengths |
-
1996
- 1996-08-19 JP JP23724596A patent/JP3293487B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US6822375B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope and electronic device using the same having a driving circuit, a detection circuit and four supporting members with different rigidities, different shapes, different cross sections, different materials and different lengths |
| JP2002250628A (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-06 | Murata Mfg Co Ltd | Oscillation gyro and its manufacturing method |
| JP4678093B2 (en) * | 2001-02-23 | 2011-04-27 | 株式会社村田製作所 | Manufacturing method of vibrating gyroscope |
| US6722622B2 (en) * | 2001-02-26 | 2004-04-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator support structure, vibrating gyroscope therewith, and electronic device using the same |
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|---|---|
| JP3293487B2 (en) | 2002-06-17 |
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