JPH1048302A - Magnetic-force microscope - Google Patents
Magnetic-force microscopeInfo
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- JPH1048302A JPH1048302A JP20086396A JP20086396A JPH1048302A JP H1048302 A JPH1048302 A JP H1048302A JP 20086396 A JP20086396 A JP 20086396A JP 20086396 A JP20086396 A JP 20086396A JP H1048302 A JPH1048302 A JP H1048302A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性材料の磁区状
態を観察する場合等に使用される磁気力顕微鏡に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic force microscope used for observing a magnetic domain state of a magnetic material.
【０００２】たとえば、磁気ディスク装置に使用される
磁気ヘッドや磁気ディスク等の磁性材料は、磁区と呼ば
れる磁気スピンの方向がそろった部分を有しているが、
この磁区状態を観察することにより、ある程度、それら
の材料の良否を評価することができる。For example, a magnetic material such as a magnetic head and a magnetic disk used in a magnetic disk device has a portion called a magnetic domain in which the directions of magnetic spins are aligned.
By observing the state of the magnetic domains, the quality of these materials can be evaluated to some extent.
【０００３】[0003]
【従来の技術】図５は従来の磁気力顕微鏡の一例の要部
構成図であり、図５中、１は試料を置くための試料台、
２は磁性材料である試料、３は試料２に磁界を印加する
磁界印加手段をなす磁界印加用コイルである。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a diagram showing a main part of an example of a conventional magnetic force microscope. In FIG.
Reference numeral 2 denotes a sample made of a magnetic material, and reference numeral 3 denotes a magnetic field application coil serving as a magnetic field application unit for applying a magnetic field to the sample 2.
【０００４】また、４は試料２が発生する磁界による磁
気力を受ける強磁性体からなる探針、５は探針４が固定
された弾力性部材である片持ばね、いわゆるカンチレバ
ー、６はカンチレバー５の自由端部、７はカンチレバー
５の固定端部である。[0004] Further, 4 is a probe made of a ferromagnetic material which receives a magnetic force by a magnetic field generated by the sample 2, 5 is a cantilever spring, which is an elastic member to which the probe 4 is fixed, so-called cantilever, and 6 is a cantilever. A free end 5 and a fixed end 7 of the cantilever 5 are shown.
【０００５】また、８はカンチレバー５の固定端部７を
固定し、カンチレバー５を上下方向に振動させるための
加振手段をなす圧電素子、９はカンチレバー５の自由端
部６の変位を検出する変位検出手段をなす変位検出器で
ある。A piezoelectric element 8 serves as a vibration means for fixing the fixed end 7 of the cantilever 5 and vibrating the cantilever 5 in the vertical direction, and 9 detects a displacement of the free end 6 of the cantilever 5. This is a displacement detector serving as a displacement detection unit.
【０００６】ここに、試料２の磁区状態は、試料２に磁
界を印加しない状態（静的状態）と、試料２に磁界を印
加した状態（動的状態）との２種類に分類されるが、た
とえば、試料２が磁気ヘッドとして使用される時には、
コイルにより励磁されたり、磁気記録媒体からの磁界を
受けたりするので、動的状態がより現実に近い状態とい
える。Here, the magnetic domain state of the sample 2 is classified into two types: a state in which no magnetic field is applied to the sample 2 (static state) and a state in which a magnetic field is applied to the sample 2 (dynamic state). For example, when the sample 2 is used as a magnetic head,
Since it is excited by a coil or receives a magnetic field from a magnetic recording medium, it can be said that the dynamic state is more realistic.
【０００７】そこで、この磁気力顕微鏡は、磁界印加用
コイル３により試料２に磁界を印加し、圧電素子８によ
りカンチレバー５を上下に振動させ、探針４が試料２か
ら発生される磁界により磁気力の影響を受けるように試
料２の上方を走査し、変位検出器９でカンチレバー５の
自由端部６の変位を検出することにより、試料２の動的
状態における磁区状態を観察できるようにしている。Therefore, in this magnetic force microscope, a magnetic field is applied to the sample 2 by the magnetic field applying coil 3, the cantilever 5 is vibrated up and down by the piezoelectric element 8, and the probe 4 is magnetized by the magnetic field generated from the sample 2. By scanning over the sample 2 so as to be affected by the force and detecting the displacement of the free end 6 of the cantilever 5 with the displacement detector 9, the magnetic domain state in the dynamic state of the sample 2 can be observed. I have.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この磁気力顕
微鏡においては、探針４が磁界印加用コイル３の磁界に
よる磁気力を受けてしまい、試料２が発生する磁界の強
度を正確に反映したカンチレバー５の自由端部６の変位
値を得ることができず、試料２の動的状態における正確
な磁区状態を観察することができないという問題点があ
った。However, in this magnetic force microscope, the probe 4 receives the magnetic force of the magnetic field of the magnetic field applying coil 3 and accurately reflects the strength of the magnetic field generated by the sample 2. There was a problem that the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 could not be obtained, and the accurate magnetic domain state in the dynamic state of the sample 2 could not be observed.
【０００９】本発明は、かかる点に鑑み、磁性材料から
なる試料の動的状態における磁区状態を正確に観察する
ことができるようにした磁気力顕微鏡を提供することを
目的とする。In view of the foregoing, it is an object of the present invention to provide a magnetic force microscope capable of accurately observing a magnetic domain state in a dynamic state of a sample made of a magnetic material.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明中、第１の発明
（請求項１記載の磁気力顕微鏡）は、試料に磁界を印加
する磁界印加手段と、自由端部に、試料が発生する磁界
による磁気力を受ける探針を備え、固定端部を、振動を
加えられる加振手段に固定された弾力性部材と、弾力性
部材の自由端部の変位を検出する変位検出手段とを備え
る磁気力顕微鏡において、磁界印加手段の磁界による弾
力性部材の自由端部の変位をキャンセルするキャンセル
手段を備えるというものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a magnetic force microscope for applying a magnetic field to a sample, and a magnetic field generated by the sample at a free end. Provided with a probe receiving a magnetic force generated by the elastic member, a fixed end portion of the elastic member fixed to a vibrating means to which vibration is applied, and a displacement detecting means for detecting displacement of a free end portion of the elastic member. The force microscope includes a canceling unit for canceling displacement of the free end of the elastic member due to the magnetic field of the magnetic field applying unit.
【００１１】この第１の発明においては、磁界印加手段
の磁界による弾力性部材の自由端部の変位をキャンセル
するキャンセル手段を備えるとしているので、試料が発
生する磁界のみによる影響を受けた弾力性部材の自由端
部の変位を検出することができる。According to the first aspect of the present invention, since the canceling means for canceling the displacement of the free end of the elastic member by the magnetic field of the magnetic field applying means is provided, the elasticity affected only by the magnetic field generated by the sample is provided. The displacement of the free end of the member can be detected.
【００１２】また、第２の発明（請求項２記載の磁気力
顕微鏡）は、第１の発明において、キャンセル手段は、
試料を観察位置に置かない場合に変位検出手段により得
られる弾力性部材の自由端部の変位値を記憶させるため
の記憶手段と、試料を観察位置に置いた場合に変位検出
手段により得られる弾力性部材の自由端部の変位値から
記憶手段が記憶する残力性部材の自由端部の変位値をキ
ャンセルするための演算処理を行う演算処理手段とを備
えて構成するというものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the magnetic force microscope according to the first aspect, wherein the canceling means comprises:
Storage means for storing the displacement value of the free end of the elastic member obtained by the displacement detection means when the sample is not placed at the observation position, and elasticity obtained by the displacement detection means when the sample is placed at the observation position And arithmetic processing means for performing arithmetic processing for canceling the displacement value of the free end of the residual force member stored in the storage means from the displacement value of the free end of the elastic member.
【００１３】また、第３の発明（請求項３記載の磁気力
顕微鏡）は、第１の発明において、キャンセル手段は、
試料を観察位置に置かない場合に変位検出手段により得
られる弾力性部材の自由端部の変位値を入力し、加振手
段を介して弾力性部材の自由端部の変位をフィードバッ
ク制御することにより、弾力性部材の自由端部の変位に
磁界印加手段の磁界による変位が含まれないようにする
弾力性部材変位制御手段を備えて構成するというもので
ある。According to a third aspect of the present invention, there is provided a magnetic force microscope according to the first aspect, wherein the canceling means comprises:
By inputting the displacement value of the free end of the elastic member obtained by the displacement detecting means when the sample is not placed at the observation position, and performing feedback control of the displacement of the free end of the elastic member via the vibration means. In addition, the elastic member is provided with elastic member displacement control means for preventing the displacement of the free end of the elastic member from being included in the displacement due to the magnetic field of the magnetic field applying means.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図１〜図４を参照して、本
発明の実施の第１形態及び第２形態について説明する。
なお、図１及び図３において、図５に対応する部分には
同一符号を付し、その重複説明は省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment and a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In FIGS. 1 and 3, the same reference numerals are given to the portions corresponding to FIG. 5, and the overlapping description will be omitted.
【００１５】第１形態・・図１、図２ 図１は本発明の実施の第１形態の要部構成図であり、本
発明の実施の第１形態は、メモリ１０と、演算処理装置
１１とを設け、その他については、図５に示す従来の磁
気力顕微鏡と同様に構成したものである。FIG. 1 and FIG. 2 FIG. 1 is a block diagram showing a main part of a first embodiment of the present invention. In the first embodiment of the present invention, a memory 10 and an arithmetic processing unit 11 are provided. The other configuration is the same as that of the conventional magnetic force microscope shown in FIG.
【００１６】ここに、メモリ１０は、試料台１上に試料
２を置かない状態で磁界印加用コイル３による磁界を発
生させた場合に、変位検出器９で検出される圧電素子８
により振動させられているカンチレバー５の自由端部６
の変位値を記憶させるものである。Here, when the magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 in a state where the sample 2 is not placed on the sample table 1, the memory 10 stores the piezoelectric element 8 detected by the displacement detector 9.
Free end 6 of cantilever 5 vibrated by
Is stored.
【００１７】また、演算処理装置１１は、試料台１に試
料２を置いた状態で磁界印加用コイル３による磁界を発
生させた場合に、変位検出器９で検出される圧電素子８
により振動させられているカンチレバー５の自由端部６
の変位値からメモリ１０に記憶されているカンチレバー
５の自由端部６の変位値をキャンセルさせるための演算
を行うものである。The arithmetic processing unit 11 also includes a piezoelectric element 8 detected by the displacement detector 9 when a magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 with the sample 2 placed on the sample stage 1.
Free end 6 of cantilever 5 vibrated by
The calculation for canceling the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 stored in the memory 10 from the displacement value of.
【００１８】図２は本発明の実施の第１形態で実行され
るカンチレバー５の自由端部６の変位検出手順を示すフ
ローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for detecting the displacement of the free end 6 of the cantilever 5 executed in the first embodiment of the present invention.
【００１９】即ち、本発明の実施の第１形態において
は、まず、試料台１に試料２を置かない状態で磁界印加
用コイル３による磁界を発生させ、変位検出器９で検出
される圧電素子８により振動させられているカンチレバ
ー５の自由端部６の変位値をメモリ１０に記憶させる
（ステップＳ１）。That is, in the first embodiment of the present invention, first, a magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 in a state where the sample 2 is not placed on the sample table 1, and the piezoelectric element detected by the displacement detector 9 is used. The displacement value of the free end portion 6 of the cantilever 5 vibrated by 8 is stored in the memory 10 (step S1).
【００２０】次に、試料台１に試料２を置いた状態で磁
界印加用コイル３による磁界を発生させ、圧電素子８に
より振動させられているカンチレバー５の自由端部６の
変位を変位検出器９により検出する（ステップＳ２）。Next, a magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 with the sample 2 placed on the sample stage 1, and the displacement of the free end 6 of the cantilever 5 vibrated by the piezoelectric element 8 is detected by a displacement detector. 9 (step S2).
【００２１】次に、ステップＳ２において変位検出器９
で検出されたカンチレバー５の自由端部６の変位値から
メモリ１０に記憶されているカンチレバー５の自由端部
６の変位値をキャンセルするための演算処理を演算処理
装置１１で行う（ステップＳ３）。Next, in step S2, the displacement detector 9
The arithmetic processing device 11 performs an arithmetic process for canceling the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 stored in the memory 10 from the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 detected at step S3 (step S3). .
【００２２】この結果、演算処理装置１１の出力とし
て、試料２が発生する磁界のみによる影響を受けたカン
チレバー５の自由端部６の変位値を得ることができる。As a result, a displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 affected by only the magnetic field generated by the sample 2 can be obtained as an output of the arithmetic processing unit 11.
【００２３】このように、本発明の実施の第１形態によ
れば、演算処理装置１１の出力として、試料２が発生す
る磁界のみによる影響を受けたカンチレバー５の自由端
部６の変位値を得ることができるので、試料２の動的状
態における磁区状態を正確に観察することができる。As described above, according to the first embodiment of the present invention, the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 affected by only the magnetic field generated by the sample 2 is output as the output of the arithmetic processing unit 11. As a result, the magnetic domain state in the dynamic state of the sample 2 can be accurately observed.
【００２４】第２形態・・図３、図４ 図３は本発明の実施の第２形態の要部構成図であり、本
発明の実施の第２形態は、カンチレバー変位制御装置１
２を設け、その他については、図５に示す従来の磁気力
顕微鏡と同様に構成したものである。FIG. 3 and FIG. 4 FIG. 3 is a diagram showing a main part of a second embodiment of the present invention. In the second embodiment of the present invention, a cantilever displacement control device 1 is provided.
2 are provided, and the others are configured similarly to the conventional magnetic force microscope shown in FIG.
【００２５】このカンチレバー変位制御装置１２は、試
料台１に試料２を置かない場合に変位検出器９により得
られるカンチレバー５の自由端部６の変位値を入力し、
圧電素子８を介してカンチレバー５の変位をフィードバ
ック制御することにより、カンチレバー５の自由端部６
の変位に磁界印加用コイル３の磁界による変位が含まれ
ないようにするものである。The cantilever displacement control device 12 inputs the displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 obtained by the displacement detector 9 when the sample 2 is not placed on the sample stage 1,
The feedback control of the displacement of the cantilever 5 via the piezoelectric element 8 allows the free end 6 of the cantilever 5 to be controlled.
Is not included in the displacement due to the magnetic field of the magnetic field applying coil 3.
【００２６】図４は本発明の実施の第２形態で実行され
るカンチレバー５の自由端部６の変位検出手順を示すフ
ローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a procedure for detecting the displacement of the free end 6 of the cantilever 5 executed in the second embodiment of the present invention.
【００２７】即ち、本発明の実施の第２形態において
は、まず、試料台１に試料２を置かない状態で磁界印加
用コイル３による磁界を発生させ、圧電素子８により振
動させられているカンチレバー５の自由端部６の変位を
変位検出器９により検出し、変位検出器９の出力をカン
チレバー変位制御装置１２に入力する（ステップＰ
１）。That is, in the second embodiment of the present invention, first, a magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 in a state where the sample 2 is not placed on the sample table 1, and the cantilever vibrated by the piezoelectric element 8. 5 is detected by the displacement detector 9 and the output of the displacement detector 9 is input to the cantilever displacement control device 12 (step P).
1).
【００２８】そして、変位検出器９、カンチレバー変位
制御装置１２、圧電素子８及びカンチレバー５からなる
フィードバック回路により、磁界印加用コイル３の磁界
によるカンチレバー５の自由端部６の変位分を戻すよう
にし、変位検出器９の出力をカンチレバー変位制御装置
１２に入力させないようにした場合においても、この状
態を維持させるようにする（ステップＰ２）。A displacement circuit of the free end 6 of the cantilever 5 caused by the magnetic field of the magnetic field applying coil 3 is returned by a feedback circuit including the displacement detector 9, the cantilever displacement control device 12, the piezoelectric element 8 and the cantilever 5. This state is maintained even when the output of the displacement detector 9 is not input to the cantilever displacement control device 12 (step P2).
【００２９】次に、試料台１に試料２を置いた状態で磁
界印加用コイル３による磁界を発生させ、圧電素子８に
より振動させられているカンチレバー５の自由端部６の
変位を変位検出器９により検出する（ステップＰ３）。
なお、この場合には、変位検出器９の出力は、カンチレ
バー変位制御装置１２には入力させないようにする。Next, a magnetic field is generated by the magnetic field applying coil 3 with the sample 2 placed on the sample table 1, and the displacement of the free end 6 of the cantilever 5 oscillated by the piezoelectric element 8 is detected by a displacement detector. 9 (step P3).
In this case, the output of the displacement detector 9 is not input to the cantilever displacement control device 12.
【００３０】この結果、変位検出器９の出力として、試
料２が発生する磁界のみによる影響を受けたカンチレバ
ー５の自由端部６の変位値を得ることができる。As a result, a displacement value of the free end 6 of the cantilever 5 affected by only the magnetic field generated by the sample 2 can be obtained as an output of the displacement detector 9.
【００３１】このように、本発明の実施の第２形態によ
れば、変位検出器９の出力として、試料２が発生する磁
界のみによる影響を受けたカンチレバー５の自由端部６
の変位値を得ることができるので、試料２の動的状態に
おける磁区状態を正確に観察することができる。As described above, according to the second embodiment of the present invention, as the output of the displacement detector 9, the free end 6 of the cantilever 5 affected only by the magnetic field generated by the sample 2 is used.
Can be obtained, so that the magnetic domain state in the dynamic state of the sample 2 can be accurately observed.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、磁界印
加手段の磁界による弾力性部材の自由端部の変位をキャ
ンセルするキャンセル手段を備えるとしたことにより、
試料が発生する磁界のみによる影響を受けた弾力性部材
の自由端部の変位を検出することができるので、試料の
動的状態における磁区状態を正確に観察することができ
る。As described above, according to the present invention, by providing the canceling means for canceling the displacement of the free end of the elastic member due to the magnetic field of the magnetic field applying means,
Since the displacement of the free end of the elastic member affected only by the magnetic field generated by the sample can be detected, it is possible to accurately observe the magnetic domain state in the dynamic state of the sample.
【図１】本発明の実施の第１形態の要部構成図である。FIG. 1 is a main part configuration diagram of a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の第１形態で実行されるカンチレ
バーの自由端部の変位検出手順を示すフローチャートで
ある。FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for detecting a displacement of a free end of a cantilever executed in the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施の第２形態の要部構成図である。FIG. 3 is a main part configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施の第２形態で実行されるカンチレ
バーの自由端部の変位検出手順を示すフローチャートで
ある。FIG. 4 is a flowchart showing a procedure for detecting a displacement of a free end of a cantilever executed in a second embodiment of the present invention.
【図５】従来の磁気力顕微鏡の一例の要部構成図であ
る。FIG. 5 is a main part configuration diagram of an example of a conventional magnetic force microscope.
１ 試料台 ２ 試料 ３ 磁界印加用コイル ４ 強磁性体からなる探針 ５ カンチレバー ６ カンチレバーの自由端部 ７ カンチレバーの固定端部 ８ 圧電素子 ９ 変位検出器 １０ メモリ １１ 演算処理装置 １２ カンチレバー変位制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sample stand 2 Sample 3 Magnetic field application coil 4 Probe made of ferromagnetic material 5 Cantilever 6 Free end of cantilever 7 Fixed end of cantilever 8 Piezoelectric element 9 Displacement detector 10 Memory 11 Processing unit 12 Cantilever displacement control unit
Claims (3)
由端部に、前記試料が発生する磁界による磁気力を受け
る探針を備え、固定端部を、振動を加えられる加振手段
に固定された弾力性部材と、前記弾力性部材の自由端部
の変位を検出する変位検出手段とを備える磁気力顕微鏡
において、 前記磁界印加手段の磁界による前記弾力性部材の自由端
部の変位をキャンセルするキャンセル手段を備えている
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。1. A magnetic field applying means for applying a magnetic field to a sample, a probe at a free end receiving a magnetic force by a magnetic field generated by the sample, and a fixed end provided to a vibrating means capable of applying vibration. A magnetic force microscope comprising: a fixed elastic member; and a displacement detecting unit configured to detect a displacement of a free end of the elastic member, wherein a displacement of the free end of the elastic member by a magnetic field of the magnetic field applying unit is determined. A magnetic force microscope comprising a canceling means for canceling.
置に置かない場合に前記変位検出手段により得られる前
記弾力性部材の自由端部の変位値を記憶させるための記
憶手段と、前記試料を観察位置に置いた場合に前記変位
検出手段により得られる前記弾力性部材の自由端部の変
位値から前記記憶手段が記憶する前記弾力性部材の自由
端部の変位値をキャンセルするための演算処理を行う演
算処理手段とを備えて構成されていることを特徴とする
請求項１記載の磁気力顕微鏡。2. The memory according to claim 1, wherein said canceling means stores a displacement value of a free end of said elastic member obtained by said displacement detecting means when said sample is not placed at an observation position; Arithmetic processing for canceling the displacement value of the free end of the elastic member stored in the storage means from the displacement value of the free end of the elastic member obtained by the displacement detection means when placed at the observation position 2. The magnetic force microscope according to claim 1, further comprising: an arithmetic processing unit for performing the operation.
置に置かない場合に前記変位検出手段により得られる前
記弾力性部材の自由端部の変位値を入力し、前記加振手
段を介して前記弾力性部材の自由端部の変位をフィード
バック制御することにより、前記弾力性部材の自由端部
の変位に前記磁界印加手段の磁界による変位が含まれな
いようにする弾力性部材変位制御手段を備えて構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の磁気力顕微鏡。3. The cancellation means inputs a displacement value of a free end of the elastic member obtained by the displacement detection means when the sample is not placed at an observation position, and inputs the displacement value via the vibration means. An elastic member displacement control unit that performs feedback control of the displacement of the free end of the elastic member so that the displacement of the free end of the elastic member does not include the displacement due to the magnetic field of the magnetic field applying unit. 2. The magnetic force microscope according to claim 1, wherein the magnetic force microscope is configured as follows.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20086396A JPH1048302A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Magnetic-force microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20086396A JPH1048302A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Magnetic-force microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048302A true JPH1048302A (en) | 1998-02-20 |
Family
ID=16431485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20086396A Withdrawn JPH1048302A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Magnetic-force microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048302A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003114186A (en) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Seiko Instruments Inc | Scanning probe microscope |
| JP2003161687A (en) * | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Seiko Instruments Inc | Scanning probe microscope |
| JP2008292373A (en) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | National Institute For Materials Science | Scanning method in scanning probe microscope, and strong magnetic field scanning probe microscope device |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP20086396A patent/JPH1048302A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |