JPH1043878A - Laser beam machine - Google Patents
Laser beam machineInfo
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- JPH1043878A JPH1043878A JP8202072A JP20207296A JPH1043878A JP H1043878 A JPH1043878 A JP H1043878A JP 8202072 A JP8202072 A JP 8202072A JP 20207296 A JP20207296 A JP 20207296A JP H1043878 A JPH1043878 A JP H1043878A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- moving object
- coil portion
- laser processing
- processing table
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Linear Motors (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、加工テーブル又
はレーザ加工ヘッドなどの移動物をリニアモータで移動
せしめるようにしたレーザ加工機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing machine in which a moving object such as a processing table or a laser processing head is moved by a linear motor.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のレーザ加工機としては、加工すべ
きワークを載置した加工テーブルをX軸方向へ、レーザ
加工ヘッドをY軸方向へ移動せしめてワークにレーザ加
工を行うタイプや、ワークを載置した加工テーブルを固
定し、レーザ加工ヘッドをX軸方向およびY軸方向へ移
動せしめてワークにレーザ加工を行うタイプが代表的に
よく知られている。2. Description of the Related Art As a conventional laser beam machine, a laser beam is machined by moving a machining table on which a workpiece to be machined is mounted in an X-axis direction and a laser machining head in a Y-axis direction. A type in which a processing table on which is mounted is fixed and a laser processing head is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction to perform laser processing on a work is typically well known.
【0003】前記加工テーブル,レーザ加工ヘッドを移
動せしめる駆動系としては、駆動モータ,ボールねじ,
カップリングなどが用いられている。A drive system for moving the processing table and the laser processing head includes a drive motor, a ball screw,
Coupling and the like are used.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の駆動モータ,ボールねじで、加工テーブル、レーザ
加工ヘッドなどの移動物を移動せしめているが、大半の
エネルギーは移動物以外の駆動モータ,ボールねじ,カ
ップリングなどの駆動系で消費されると共にバックラッ
シュなどが発生する。また、危険速度などにより最大速
度とする際にはボールねじでは限界がある。したがっ
て、移動物をある一定以上の速度で移動させることがで
きず、高速化ができなかった。By the way, moving objects such as a processing table and a laser processing head are moved by the above-mentioned conventional driving motor and ball screw. It is consumed by drive systems such as ball screws and couplings, and also causes backlash. Further, when the maximum speed is set due to a critical speed or the like, there is a limit in a ball screw. Therefore, the moving object cannot be moved at a certain speed or higher, and the speed cannot be increased.
【0005】この移動物を高速で移動せしめる手段とし
てリニアモータを使用することが考えられるが、リニア
モータとしては固定側に磁石部(磁石板)が設けられる
と共に可動側にコイル部を搭載したスライダが設けられ
る。A linear motor may be used as a means for moving the moving object at a high speed. A linear motor is provided with a magnet part (magnet plate) on a fixed side and a slider having a coil part mounted on a movable side. Is provided.
【0006】しかし、スライダが発熱することによって
推力が低下するため、リニアモータの最大推力が得られ
ない。また、磁石板およびスライダに鉄性の粉塵が付着
すると、推力の低下が発生する。However, since the thrust is reduced due to the heat generated by the slider, the maximum thrust of the linear motor cannot be obtained. In addition, if iron dust adheres to the magnet plate and the slider, the thrust is reduced.
【0007】また、コイル部を励磁させることによって
スライダが移動するが、その際スライダが発熱する。そ
の結果、スライダが取り付いている可動部に熱を伝達し
熱膨張を起こして、決められた精度が得られない。Further, the slider is moved by exciting the coil portion. At that time, the slider generates heat. As a result, heat is transmitted to the movable portion to which the slider is attached, causing thermal expansion, and a predetermined accuracy cannot be obtained.
【0008】この発明の目的は、リニアモータにおける
コイル部の発熱を防止し、リニアモータの推力の低下を
抑制すると共に精度を維持せしめ、また磁石部に粉塵が
堆積するのを防止するようにしたレーザ加工機を提供す
ることにある。An object of the present invention is to prevent heat generation in a coil portion of a linear motor, suppress a decrease in thrust of the linear motor, maintain accuracy, and prevent dust from accumulating on a magnet portion. An object of the present invention is to provide a laser beam machine.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1によるこの発明のレーザ加工機は、レーザ加
工機におけるベッド又はフレームなどの固定物に対して
加工テーブル又はレーザ加工ヘッドなどの移動物を移動
せしめるために、固定物に設けられた磁石部と移動物に
設けられたコイル部とからなるリニアモータを設け、こ
のリニアモータにおけるコイル部の発熱を抑えると共に
移動物の温度上昇を防止すべく、前記移動物内に形成さ
れた冷却通路に冷却水又はエアを供給せしめてなること
を特徴とするものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser beam machine according to the present invention. In order to move the moving object, a linear motor consisting of a magnet unit provided on the fixed object and a coil unit provided on the moving object is provided, suppressing the heat generation of the coil unit in this linear motor and reducing the temperature of the moving object. In order to prevent this, cooling water or air is supplied to a cooling passage formed in the moving object.
【0010】したがって、リニアモータの固定物に設け
られた磁石部に対して移動物に設けられたコイル部を励
磁せしめることにより、固定物のベッド又はフレームに
対して移動物の加工テーブル又はレーザ加工ヘッドが高
速で移動される。Therefore, by exciting the coil section provided on the moving object with respect to the magnet section provided on the fixed object of the linear motor, the moving object processing table or laser processing is performed on the fixed object bed or frame. The head is moved at high speed.
【0011】前記移動物内に形成された冷却通路に冷却
水又はエアを供給すると、移動物が冷却されて移動物の
温度上昇を防止すると共に、コイル部の発熱が間接的に
抑制される。When cooling water or air is supplied to the cooling passage formed in the moving object, the moving object is cooled to prevent the temperature of the moving object from rising and indirectly suppress the heat generation of the coil portion.
【0012】而して、コイル部の発熱による移動物の熱
膨張が防止される。Thus, thermal expansion of the moving object due to heat generated by the coil portion is prevented.
【0013】請求項2によるこの発明のレーザ加工機
は、レーザ加工機におけるベッド又はフレームなどの固
定物に対して加工テーブル又はレーザ加工ヘッドなどの
移動物を移動せしめるために、固定物に設けられた磁石
部と移動物に設けられたコイル部とからなるリニアモー
タを設け、前記コイル部における両端の移動物の下部に
エア噴射口を設け、このエア噴射口の出口部分が、コイ
ル部へ噴射する方向の第1出口部と、磁石部へ噴射する
方向の第2出口部とに区分けされていることを特徴とす
るものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser processing machine provided on a fixed object for moving a moving object such as a processing table or a laser processing head with respect to a fixed object such as a bed or a frame in the laser processing machine. A linear motor consisting of a magnet part provided on the moving object and a coil part provided on the moving object, an air injection port provided below the moving object at both ends of the coil part, and an outlet part of the air injection port jetting to the coil part. And a second outlet portion in the direction of jetting to the magnet portion.
【0014】したがって、請求項1と同様に、リニアモ
ータの固定物に設けられた磁石部に対して移動物に設け
られたコイル部を励磁せしめることにより、固定物のベ
ッド又はフレームに対して移動物の加工テーブル又はレ
ーザ加工ヘッドが高速で移動される。Therefore, as in the first aspect, the coil portion provided on the moving object is excited with respect to the magnet portion provided on the fixed object of the linear motor, thereby moving the fixed object relative to the bed or frame. An object processing table or a laser processing head is moved at a high speed.
【0015】前記コイル部における両端の移動物の下部
に設けられたエア噴射口よりドライエアを噴射せしめる
と、第1出口部からドライエアの噴射でコイル部が冷却
されコイル部の発熱による温度上昇が防がれる。また第
2出口部からドライエアの噴射で磁石部に堆積した粉塵
などが噴き飛ばされる。而して、リニアモータの推力の
低下が防がれる。When dry air is injected from an air injection port provided at a lower portion of a moving object at both ends of the coil portion, the coil portion is cooled by the dry air injection from the first outlet portion, and a temperature rise due to heat generation of the coil portion is prevented. Can come off. Further, dust and the like accumulated on the magnet portion by the ejection of the dry air from the second outlet portion are blown off. Thus, a decrease in the thrust of the linear motor is prevented.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基いて詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【0017】図3を参照するに、レーザ加工機1はX軸
方向へ延伸した上方中央部を開口したベッド3を備えて
おり、このベッド3にはワークWを載置した加工テーブ
ル5がX軸方向(図3において前後方向)へ移動自在に
設けられている。Referring to FIG. 3, the laser processing machine 1 includes a bed 3 extending in the X-axis direction and having an open upper central portion. The bed 3 has a processing table 5 on which a work W is placed. It is provided movably in the axial direction (the front-back direction in FIG. 3).
【0018】前記ベッド3におけるX軸方向のほぼ中央
部にはベッド3に跨って門型フレーム7が立設されてい
る。この門型フレーム7における上部フレーム9の前面
にはY軸キャレッジ11が設けられており、このY軸キ
ャレッジ11がY軸方向(図3において左右方向)へ移
動自在に設けられている。このY軸キャレッジ11には
Z軸方向(図3において上下方向)へ移動自在なレーザ
加工ヘッド13が設けられている。At substantially the center of the bed 3 in the X-axis direction, a portal frame 7 is provided upright over the bed 3. A Y-axis carriage 11 is provided on the front surface of the upper frame 9 of the portal frame 7, and the Y-axis carriage 11 is provided movably in the Y-axis direction (left and right direction in FIG. 3). The Y-axis carriage 11 is provided with a laser processing head 13 that is movable in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 3).
【0019】上記構成により、ワークWを載置した加工
テーブル5をX軸方向へ移動せしめると共にレーザ加工
ヘッド13をY軸方向へ移動せしめることにより、ワー
クWの所望位置にレーザ加工ヘッド13からレーザビー
ムを照射せしめてレーザ加工が行われることになる。With the above arrangement, the laser beam is moved from the laser processing head 13 to a desired position on the work W by moving the processing table 5 on which the work W is placed in the X-axis direction and moving the laser processing head 13 in the Y-axis direction. Laser processing is performed by irradiating the beam.
【0020】前記加工テーブル5は前記ベッド3に対し
てX軸方向へ高速で移動される。より詳細には、前記加
工テーブル5の両端の上下にそれぞれリニアモータ15
が設けられている。この各リニアモータ15としては、
加工テーブル5の上下面にコイル部15AがX軸方向へ
延伸して設けられていると共に、前記ベッド3の上下面
には磁石部15BがX軸方向へ延伸して設けられてい
る。The processing table 5 is moved at a high speed in the X-axis direction with respect to the bed 3. More specifically, linear motors 15 are provided above and below both ends of the processing table 5, respectively.
Is provided. As each linear motor 15,
A coil portion 15A is provided on the upper and lower surfaces of the processing table 5 so as to extend in the X-axis direction, and a magnet portion 15B is provided on the upper and lower surfaces of the bed 3 so as to extend in the X-axis direction.
【0021】上記構成により、4つのリニアモータ15
のコイル部15Aを励磁せしめると、同期して駆動され
て、推力が単に4倍となって従来よりも高速で移動させ
ることができる。しかも、上下にリニアモータ15を設
けたことにより、吸引力が相殺され、摩擦による発熱を
受けにくくなり、吸引力のバランスを容易にとることが
できる。With the above configuration, the four linear motors 15
When the coil portion 15A is excited, it is driven synchronously, the thrust is simply quadrupled, and it can be moved at a higher speed than in the past. In addition, since the linear motors 15 are provided on the upper and lower sides, the suction force is offset, the heat generated by friction is less likely to occur, and the suction force can be easily balanced.
【0022】前記加工テーブル5について説明したが、
レーザ加工ヘッド13をY軸方向へ移動させるのに、Y
軸キャレッジ11と上部フレーム9との両端の上下に上
述したと同じリニアモータ15をそれぞれ設けるように
することもできる。Although the processing table 5 has been described,
To move the laser processing head 13 in the Y-axis direction,
The same linear motors 15 as described above may be provided above and below both ends of the shaft carriage 11 and the upper frame 9, respectively.
【0023】図1に示されているように、前記ベッド3
上にはリニアモータ15の磁石部(磁石板)15BがX
軸方向へ延伸して取り付けられていると共に、前記加工
テーブル5の下部にはコイル部15Aが設けられてい
る。前記加工テーブル5の図1において左側上部には冷
却水又はエアを供給する取入口17が設けられていると
共に加工テーブル5の図1において右側上部には排出口
19が設けられている。前記加工テーブル5内には取入
口17と排出口19に連通した冷却通路21が形成され
ている。As shown in FIG. 1, the bed 3
Above, the magnet part (magnet plate) 15B of the linear motor 15 is X
Along with being mounted to extend in the axial direction, a coil portion 15 </ b> A is provided below the processing table 5. An inlet 17 for supplying cooling water or air is provided at the upper left portion of the processing table 5 in FIG. 1, and a discharge port 19 is provided at an upper right portion of the processing table 5 in FIG. A cooling passage 21 communicating with the inlet 17 and the outlet 19 is formed in the processing table 5.
【0024】上記構成により、取入口17から冷却水ま
たはエアを冷却通路21へ供給すると、冷却水またはエ
アは冷却通路21を通り、排出口19から排出される。
したがって、冷却水又はエアによって加工テーブル5が
冷却されるので、加工テーブル5の温度上昇を防止する
ことができると共に、コイル部15Aの発熱を間接的に
おさえることができる。而して、コイル部15Aの発熱
による加工テーブル5の熱膨張を防止することができ
る。With the above configuration, when cooling water or air is supplied from the inlet 17 to the cooling passage 21, the cooling water or air passes through the cooling passage 21 and is discharged from the outlet 19.
Therefore, since the processing table 5 is cooled by the cooling water or the air, the temperature rise of the processing table 5 can be prevented, and the heat generation of the coil portion 15A can be suppressed indirectly. Thus, thermal expansion of the processing table 5 due to heat generation of the coil portion 15A can be prevented.
【0025】移動物として加工テーブル5の代りにレー
ザ加工ヘッド13を備えたY軸キャレッジ11であって
も対応できるものである。The moving object may be a Y-axis carriage 11 provided with a laser processing head 13 instead of the processing table 5.
【0026】図2(A),(B)には図1に代る他の実
施の形態の例が示されている。図2(A)において、加
工テーブル5の両側にはエア噴射口23が設けられてい
る。この各噴射口23の出口部分23Aは図2(B)に
よく示されているように、コイル部15Aへ噴射する方
向の第1出口部25と、磁石部15Bへ噴射する方向の
第2出口部27とに区分けされている。FIGS. 2A and 2B show another example of the embodiment instead of FIG. In FIG. 2A, air injection ports 23 are provided on both sides of the processing table 5. As shown in FIG. 2B, the outlet portion 23A of each of the injection ports 23 has a first outlet portion 25 in the direction of jetting to the coil portion 15A and a second outlet portion in the direction of jetting to the magnet portion 15B. Section 27.
【0027】上記構成により、加工テーブル5からドラ
イエアを供給し、エア噴射口23の出口部分23Aに設
けられた第1出口部25,第2出口部27からそれぞれ
コイル部15A,磁石部15Bへ向けてドライエアが噴
射されて、コイル部15Aの発熱による温度上昇を防ぐ
ことができると共に磁石部15Bに堆積した粉塵などを
吹き飛ばすことができる。而して、リニアモータ15の
推力の低下を防ぐことができる。この実施の形態の例に
おいて、移動物として加工テーブル5の代りにレーザ加
工ヘッド13を備えたY軸キャレッジ11を用いた場合
にも適用可能である。With the above configuration, dry air is supplied from the processing table 5 and directed from the first outlet 25 and the second outlet 27 provided at the outlet 23A of the air injection port 23 to the coil 15A and the magnet 15B, respectively. As a result, the dry air is injected to prevent the temperature from rising due to the heat generated by the coil portion 15A and to blow off the dust and the like deposited on the magnet portion 15B. Thus, a decrease in the thrust of the linear motor 15 can be prevented. In the example of this embodiment, the present invention is also applicable to a case where a Y-axis carriage 11 having a laser processing head 13 is used instead of the processing table 5 as a moving object.
【0028】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。本実施の形
態の例では加工テーブル5をX軸方向へ、レーザ加工ヘ
ッド13をY軸方向へ移動せしめるレーザ加工機で説明
したが、レーザ加工ヘッド13がX軸,Y軸方向へ移動
するレーザ加工機であっても構わない。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be embodied in other modes by making appropriate changes. In the example of the present embodiment, a laser processing machine that moves the processing table 5 in the X-axis direction and the laser processing head 13 in the Y-axis direction has been described, but the laser processing head 13 moves in the X-axis and Y-axis directions. It may be a processing machine.
【0029】[0029]
【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例から理解さ
れるように、請求項1の発明によれば、リニアモータの
固定物に設けられた磁石部に対して移動物に設けられた
コイル部を励磁せしめることにより、固定物のベッド又
はフレームに対して移動物の加工テーブル又はレーザ加
工ヘッドを高速で移動させることができる。As will be understood from the above embodiments, according to the first aspect of the present invention, the coil provided on the moving object relative to the magnet provided on the fixed object of the linear motor. By exciting the portion, the processing table or laser processing head of the moving object can be moved at a high speed with respect to the bed or the frame of the fixed object.
【0030】前記移動物内に形成された冷却通路に冷却
水又はエアを供給すると、移動物が冷却されて移動物の
温度上昇を防止すると共に、コイル部の発熱を間接的に
抑制させることができる。When cooling water or air is supplied to a cooling passage formed in the moving object, the moving object is cooled to prevent the temperature of the moving object from rising and to indirectly suppress the heat generation of the coil portion. it can.
【0031】而して、コイル部の発熱による移動物の熱
膨張を防止することができる。Thus, the thermal expansion of the moving object due to the heat generated by the coil portion can be prevented.
【0032】請求項2の発明によれば、請求項1と同様
に、リニアモータの固定物に設けられた磁石部に対して
移動物に設けられたコイル部を励磁せしめることによ
り、固定物のベッド又はフレームに対して移動物の加工
テーブル又はレーザ加工ヘッドを高速で移動させること
ができる。According to the second aspect of the present invention, similarly to the first aspect, the coil portion provided on the moving object is excited with respect to the magnet portion provided on the fixed object of the linear motor, thereby forming the fixed object. The processing table or the laser processing head of the moving object can be moved at a high speed with respect to the bed or the frame.
【0033】前記コイル部における両端の移動物の下部
に設けられたエア噴射口よりドライエアを噴射せしめる
と、第1出口部からドライエアの噴射でコイル部が冷却
されコイル部の発熱による温度上昇を防止することがで
きる。また第2出口部からドライエアの噴射で磁石部に
堆積した粉塵などを噴き飛ばすことができる。而して、
リニアモータの推力の低下を防止することができる。When dry air is injected from an air injection port provided below a moving object at both ends of the coil portion, the coil portion is cooled by the dry air injection from the first outlet portion, thereby preventing a temperature rise due to heat generation of the coil portion. can do. Further, dust or the like deposited on the magnet portion by the dry air injection from the second outlet portion can be blown off. Thus,
A reduction in the thrust of the linear motor can be prevented.
【図1】この発明の主要部を示し、ベッドと加工テーブ
ルとにリニアモータを設けた一例の正面図である。FIG. 1 is a front view showing an example of a main part of the present invention, in which a linear motor is provided on a bed and a processing table.
【図2】(A)はベッドと加工テーブルとにリニアモー
タを設けた別の例の正面図、(B)は(A)におけるB
矢視部の拡大図である。2A is a front view of another example in which a linear motor is provided on a bed and a processing table, and FIG. 2B is a front view of FIG.
It is an enlarged view of the arrow view part.
【図3】この発明を実施する一実施の形態の例のレーザ
加工機の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a laser processing machine according to an embodiment of the present invention;
1 レーザ加工機 3 ベッド 5 加工テーブル 9 上部フレーム 11 Y軸キャレッジ 13 レーザ加工ヘッド 15 リニアモータ 15A コイル部 15B 磁石部 17 取入口 19 排出口 21 冷却通路 23 エア噴射口 23A 出口部分 27 第1出口 29 第2出口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing machine 3 Bed 5 Processing table 9 Upper frame 11 Y-axis carriage 13 Laser processing head 15 Linear motor 15A Coil part 15B Magnet part 17 Intake 19 Outlet 21 Cooling passage 23 Air injection port 23A Exit part 27 First exit 29 2nd exit
Claims (2)
ムなどの固定物に対して加工テーブル又はレーザ加工ヘ
ッドなどの移動物を移動せしめるために、固定物に設け
られた磁石部と移動物に設けられたコイル部とからなる
リニアモータを設け、このリニアモータにおけるコイル
部の発熱を抑えると共に移動物の温度上昇を防止すべ
く、前記移動物内に形成された冷却通路に冷却水又はエ
アを供給せしめてなることを特徴とするレーザ加工機。1. A magnet provided on a fixed object and a magnet provided on the moving object to move a moving object such as a processing table or a laser processing head with respect to a fixed object such as a bed or a frame in a laser beam machine. A linear motor including a coil portion is provided, and cooling water or air is supplied to a cooling passage formed in the moving object so as to suppress heat generation of the coil portion in the linear motor and prevent a temperature rise of the moving object. A laser processing machine characterized in that:
ムなどの固定物に対して加工テーブル又はレーザ加工ヘ
ッドなどの移動物を移動せしめるために、固定物に設け
られた磁石部と移動物に設けられたコイル部とからなる
リニアモータを設け、前記コイル部における両端の移動
物の下部にエア噴射口を設け、このエア噴射口の出口部
分が、コイル部へ噴射する方向の第1出口部と、磁石部
へ噴射する方向の第2出口部とに区分けされていること
を特徴とするレーザ加工機。2. A magnet provided on a fixed object and a magnet provided on the moving object for moving a moving object such as a processing table or a laser processing head with respect to a fixed object such as a bed or a frame in a laser beam machine. A linear motor comprising a coil portion; an air injection port provided below a moving object at both ends of the coil portion; an exit portion of the air injection port having a first exit portion in a direction of injecting the coil portion; And a second outlet part in a direction of jetting to the part.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8202072A JPH1043878A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Laser beam machine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8202072A JPH1043878A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Laser beam machine |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1043878A true JPH1043878A (en) | 1998-02-17 |
Family
ID=16451494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8202072A Pending JPH1043878A (en) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Laser beam machine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1043878A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100441225B1 (en) * | 2001-12-15 | 2004-07-22 | 미래산업 주식회사 | Cooling Apparatus of Single Linear Motor |
KR100450708B1 (en) * | 2002-02-22 | 2004-10-01 | 미래산업 주식회사 | Cooling Apparatus for Linear Motor |
WO2024161585A1 (en) * | 2023-02-02 | 2024-08-08 | Dmg森精機株式会社 | Linear motor and machine tool |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP8202072A patent/JPH1043878A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100441225B1 (en) * | 2001-12-15 | 2004-07-22 | 미래산업 주식회사 | Cooling Apparatus of Single Linear Motor |
KR100450708B1 (en) * | 2002-02-22 | 2004-10-01 | 미래산업 주식회사 | Cooling Apparatus for Linear Motor |
WO2024161585A1 (en) * | 2023-02-02 | 2024-08-08 | Dmg森精機株式会社 | Linear motor and machine tool |
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