JPH103858A - Spin coating device and manufacture of cathode-ray tube with functional film using the device - Google Patents
Spin coating device and manufacture of cathode-ray tube with functional film using the deviceInfo
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- JPH103858A JPH103858A JP8155090A JP15509096A JPH103858A JP H103858 A JPH103858 A JP H103858A JP 8155090 A JP8155090 A JP 8155090A JP 15509096 A JP15509096 A JP 15509096A JP H103858 A JPH103858 A JP H103858A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、陰極線管フェー
ス面に、スピンコート法によって1層または複数層の平
滑膜を形成するのに用いるスピンコート装置およびこの
装置を用いた機能性膜付き陰極線管の製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spin-coating apparatus for forming one or more layers of a smooth film on the face of a cathode-ray tube by a spin-coating method, and a cathode-ray tube with a functional film using the apparatus. And a method for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年のOA化、FA化およびパーソナル
コンピュータの普及に伴い、VDT(VIDEO DI
SPLAY TERMINAL)は、これまでのように
専門家だけでなく、ごく一般的なユーザにまで使用され
るようになってきている。このため、高性能カラー陰極
線管はもはや特殊なものではなく、一般的なユーザがご
く日常的に使用するものである。このため陰極線管に
は、様々な使用状況を想定した、さらなる高性能化が望
まれている。2. Description of the Related Art With the recent trend toward OA, FA, and personal computers, VDT (VIDEO DI
SPLAY TERMINAL) has been used by not only specialists but also ordinary users as in the past. For this reason, high performance color cathode ray tubes are no longer special, but are routinely used by ordinary users. For this reason, it is desired that the cathode ray tube be further enhanced in performance under various usage conditions.
【0003】その一つとして、陰極線管フェース面表面
のチャージアップを防止する為の帯電防止機能がある。As one of them, there is an antistatic function for preventing a charge-up of the cathode ray tube face surface.
【0004】VDT作業の場合、ディスプレイ面と使用
者が接近しているため、電源のON−OFF時にチャー
ジアップしたフェース面の外表面に使用者が接近したと
きに放電現象が起こり、使用者に不快感を与える不都合
を生じる。In the case of VDT work, since the display surface and the user are close to each other, a discharge phenomenon occurs when the user approaches the outer surface of the charged face surface when the power is turned on and off, and the user is disturbed. This causes inconvenience that causes discomfort.
【0005】帯電防止処理型陰極線管では、フェース面
の外表面にチャージアップした電荷を、フェース面の外
表面に導電性を持たせてアースに逃がすように工夫して
いる。導電性を持たせる方法としては、フェース面の外
表面に透明導電膜を形成する方法が一般的である。[0005] In the antistatic treatment type cathode ray tube, the charge charged up on the outer surface of the face surface is designed to escape to the ground by giving conductivity to the outer surface of the face surface. As a method of imparting conductivity, a method of forming a transparent conductive film on the outer surface of the face surface is generally used.
【0006】このような帯電防止機能を有した陰極線管
(以下、「CRT」という)の構成例を図6に示す。図
において、1はフェース・プレート部、2はファンネル
部、3はネック部で電子銃(図示省略)を内蔵してい
る。4は高圧ボタン、5はフェース面に形成された導電
性を有する平滑膜(以下、「帯電防止膜」という)、6
は金属製の防爆バンド、7は取付耳、8は導電性テープ
または導電性ペーストで、1〜8でCRT9を構成して
おり、帯電防止膜5は導電性テープ8、防爆バンド6、
アース線10を介して接地される。11は偏向ヨークで
ある。FIG. 6 shows a configuration example of a cathode ray tube (hereinafter, referred to as "CRT") having such an antistatic function. In the figure, 1 is a face plate portion, 2 is a funnel portion, and 3 is a neck portion, which incorporates an electron gun (not shown). 4 is a high-voltage button, 5 is a smooth film having conductivity formed on the face surface (hereinafter, referred to as “antistatic film”), 6
Is a metal explosion-proof band, 7 is a mounting ear, 8 is a conductive tape or a conductive paste, 1 to 8 constitute a CRT 9, and the antistatic film 5 is a conductive tape 8, an explosion-proof band 6,
It is grounded via a ground wire 10. 11 is a deflection yoke.
【0007】フェース・プレート部1の外表面に形成さ
れた帯電防止膜5は、十分な導電性と実用上問題無い程
度の硬度と、フェース・プレート表面との接着性を要求
される。このため、スピンコート法によって導電性フィ
ラを分散したシリカ溶液をフェース・プレート部1の表
面に塗布し、比較的高い温度、例えば120〜200°
Cで焼き付け処理を行って形成するのが一般的である。
このようなシリカ溶液としては、シリコン(Si)アル
コキシドのアルコール溶液に、In2 O3 ;Sn(スズ
含有酸化インジウム)やSnO2 ;Sb(アンチモン含
有酸化錫)等の導電性フィラを混合分散させたものが用
いられる。[0007] The antistatic film 5 formed on the outer surface of the face plate portion 1 is required to have sufficient conductivity, hardness that does not cause practical problems, and adhesion to the face plate surface. For this reason, a silica solution in which a conductive filler is dispersed is applied to the surface of the face plate unit 1 by a spin coating method, and the temperature is relatively high, for example, 120 to 200 °.
It is generally formed by performing a baking process with C.
As such a silica solution, a conductive filler such as In 2 O 3 ; Sn (tin-containing indium oxide) or SnO 2 ; Sb (antimony-containing tin oxide) is mixed and dispersed in an alcohol solution of silicon (Si) alkoxide. Is used.
【0008】CRTフェース面への外光の映り込みは、
特にVDT作業においてオペレータの疲労増大を促す要
因として指摘されており、その対策としては、CRTフ
ェース面に微細な凹凸を形成して映り込みの輪郭をぼか
す「防眩処理」が一般的であった。しかし、近年のコン
ピュータの高性能化に伴い、VDTに対する高解像度化
の要求が高まり、防眩効果のための凹凸による表示情報
の劣化が問題になってきた。この問題は、光学多層薄膜
を蒸着によって形成した低反射プレートを装着すること
で、表示情報を劣化することなく外光の映り込みを低減
することができるが、材料コストおよび製造工程の点で
一部の高級機種にしか採用されていない。[0008] Reflection of external light on the CRT face
In particular, it has been pointed out as a factor that promotes operator fatigue in VDT work, and as a countermeasure, "anti-glare treatment", which forms fine irregularities on the CRT face surface and blurs the contour of reflection, has been generally used. . However, with the recent increase in the performance of computers, the demand for higher resolution of the VDT has increased, and deterioration of display information due to unevenness due to an antiglare effect has become a problem. The problem is that by mounting a low-reflection plate on which an optical multilayer thin film is formed by vapor deposition, reflection of external light can be reduced without deteriorating display information. Only used in some high-end models.
【0009】このような動きに対して、1層または2〜
6層の光学薄膜をスピンコート法によって形成し、低反
射効果を得る技術が開発されている。In response to such movement, one layer or two or
A technique for forming a six-layer optical thin film by a spin coating method to obtain a low reflection effect has been developed.
【0010】図7は、2層低反射膜12の構成を示す拡
大断面図で、基板となるフェース・プレート部1(屈折
率1.54)の表面に導電材13(アンチモン含有酸化
錫等)を含む高屈折率層14を形成し、さらに低屈指率
層15としてシリカ層を形成している。2層低反射膜1
2の場合、その反射率スペクトルは波長依存性の強いV
字型のスペクトルとなるが、その最小値は各層14,1
5の膜厚を最小反射率をとる波長の1/4に設計するこ
とでコントロールすることができる。550nm付近に
最小反射率を設計した2層低反射膜の反射率スペクトル
を図8中のAに示す。FIG. 7 is an enlarged sectional view showing the structure of the two-layer low-reflection film 12, in which a conductive material 13 (antimony-containing tin oxide or the like) is provided on the surface of the face plate portion 1 (refractive index 1.54) serving as a substrate. Is formed, and a silica layer is formed as the low index layer 15. Two-layer low reflection film 1
In the case of 2, the reflectance spectrum is V
The spectrum is shaped like a letter, but its minimum value is
5 can be controlled by designing the film thickness to be 1/4 of the wavelength at which the minimum reflectance is obtained. A in FIG. 8 shows a reflectance spectrum of a two-layer low-reflection film designed to have a minimum reflectance around 550 nm.
【0011】この2層低反射膜12は、従来の透明およ
び着色型帯電防止膜に比べて膜厚が1オーダー低くなっ
ている。また、反射低減のために光の干渉効果を利用し
ており、膜厚の変化が反射光の色調に強く現れる。2層
低反射膜12の最小反射率を550nm付近に設定した
場合、反射光の色調は数十nmの膜厚の変化で黄色〜マ
ゼンダ〜シアンと大きな変化が見られる。このため、C
RTのフェース面に蛍光灯等の外光が映り込んだ場合、
低反射膜の膜厚の変化は反射光の色調のムラとして現れ
る。The thickness of the two-layer low-reflection film 12 is smaller than that of the conventional transparent and colored antistatic film by one order. Further, the interference effect of light is used to reduce reflection, and a change in film thickness strongly appears in the color tone of reflected light. When the minimum reflectance of the two-layer low-reflection film 12 is set to around 550 nm, the color tone of the reflected light greatly changes from yellow to magenta to cyan with a change in film thickness of several tens of nm. Therefore, C
When external light such as fluorescent light is reflected on the face of the RT,
The change in the thickness of the low reflection film appears as unevenness in the color tone of the reflected light.
【0012】これらの表面処理を行なうスピンコート法
は、高速の振り切り回転によって膜厚の調節を行うもの
である。図9は従来のスピンコート装置の縦断面図、図
10はその平面図である。スピンコート装置は、ファン
ネル部受け治具16によってCRT9をファンネル部2
で支持し、かつ防爆バンド6の取付耳7をラグ受け治具
17で支持することでフエース面を上にして固定する。
ファンネル部受け治具16は回転を行うためのスピン機
駆動部18によって矢印A方向に回転駆動され、CRT
9をスピンさせる。In the spin coating method for performing these surface treatments, the film thickness is adjusted by high-speed spin-off rotation. FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a conventional spin coater, and FIG. 10 is a plan view thereof. The spin coater converts the CRT 9 into the funnel 2 by the funnel receiving jig 16.
, And the mounting ear 7 of the explosion-proof band 6 is supported by a lug receiving jig 17 to fix the explosion-proof band 6 with the face side up.
The funnel unit receiving jig 16 is driven to rotate in the direction of arrow A by a spinning machine driving unit 18 for rotating, and the CRT
Spin 9.
【0013】コーティング液19は、回動式の注入アー
ム20の先端に取り付けられた注入ノズル21から注入
される。注入アーム20の回動動作は、スピン機フード
22の外側からCRT9の中心まで行われ、コーティン
グ液19の注入後速やかに最初の位置にリターンする。The coating liquid 19 is injected from an injection nozzle 21 attached to a tip of a rotary injection arm 20. The rotation operation of the injection arm 20 is performed from the outside of the spinning machine hood 22 to the center of the CRT 9 and immediately returns to the initial position after the coating liquid 19 is injected.
【0014】コーティング液19の注入は、比較的低速
回転である毎分80回転程度で行われる。これを注入回
転と呼ぶ。注入回転において、コーティング液19が塗
布基板であるフェースプレート部1の外表面に拡げられ
る。この後、スピン機駆動部18の回転数が上昇し、膜
厚制御のための高速振りきり回転へと移る。この時の回
転数は毎分100〜160回転に達する。ここでは、膜
厚の制御と合わせてコーティング液19の乾燥が始ま
る。次に、再度毎分80回転程度まで回転数をおとし、
最終的に乾燥させる。The coating liquid 19 is injected at a relatively low speed of about 80 revolutions per minute. This is called injection rotation. In the injection rotation, the coating liquid 19 is spread on the outer surface of the face plate portion 1 which is a coating substrate. Thereafter, the number of rotations of the spinning machine driving unit 18 increases, and the operation shifts to a high-speed swinging rotation for controlling the film thickness. The rotation speed at this time reaches 100 to 160 rotations per minute. Here, the drying of the coating liquid 19 starts with the control of the film thickness. Next, the rotation speed is again reduced to about 80 rotations per minute,
Finally dry.
【0015】このようにスピンコート法は、コーティン
グ液注入のための低速回転、膜厚調節のための高速回
転、そして最終乾燥のための低速回転の3つのステップ
からなる。複数層のコーティングを行なうときは、この
工程を繰り返すことになる。As described above, the spin coating method includes three steps: low-speed rotation for coating liquid injection, high-speed rotation for film thickness adjustment, and low-speed rotation for final drying. When a plurality of layers are coated, this step is repeated.
【0016】高速振り切り回転では、フェース面が矩形
状のCRT9に対し100〜160rpmもの回転が行
われる。フェース面の曲率が単一の曲率で構成されてい
る場合は、図11に示すように、フェース面の中心から
各軸端までの距離Dは、短軸Ds<長軸D1<対角軸D
dとなり、また落差Hは、短軸Hs<長軸H1<対角軸
Hdの関係になるので、CRT9が回転した場合、周辺
部の中心からの距離、および落差の変化によりフェース
面上に乱気流が発生する。In the high-speed swing-out rotation, the face of the CRT 9 having a rectangular face is rotated by 100 to 160 rpm. When the curvature of the face surface is constituted by a single curvature, as shown in FIG. 11, the distance D from the center of the face surface to each axis end is calculated as follows: short axis Ds <long axis D1 <diagonal axis D
d, and the head H is in the relationship of short axis Hs <long axis H1 <diagonal axis Hd. Therefore, when the CRT 9 rotates, the turbulence flows on the face surface due to the distance from the center of the peripheral part and the change of the head. Occurs.
【0017】この乱気流は、振りきりによって制御され
ているコーティング膜の均一な乾燥を妨げ、膜厚、膜特
性の不均一を生じる。この膜厚、膜特性の不均一は、着
色帯電防止膜においては色調の濃淡として判る程度であ
ったが、低反射膜では、わずかの膜厚の変化が反射光色
の違いとなって顕著に現れるため上記のような反射光の
色ムラが発生し、外観上好ましくない。This turbulence prevents uniform drying of the coating film, which is controlled by swirling, and causes unevenness in film thickness and film characteristics. The nonuniformity of the film thickness and film characteristics was such that the color antistatic film could be recognized as a shade of color tone, but in the case of the low reflection film, a slight change in the film thickness became a significant difference in the reflected light color. Because of the appearance, color unevenness of the reflected light occurs as described above, which is not preferable in appearance.
【0018】また、膜厚の不均一は、回転方向に対しフ
ェース面の長辺側から短辺側にかけてのコーナ部におい
て顕著である。これに対しては、発生する箇所に衝立形
風切防止板を装着することが有効である。しかし、これ
によりコーナ部の反射光のムラを抑えることができた
が、面内の渦巻き状色ムラに関しては好ましくない結果
となる。In addition, the non-uniformity of the film thickness is remarkable in a corner portion from the long side to the short side of the face surface in the rotation direction. In order to cope with this, it is effective to attach a screen-type windbreak prevention plate at the location where the occurrence occurs. However, although the unevenness of the reflected light at the corner portion can be suppressed by this, the result of the in-plane spiral color unevenness is unfavorable.
【0019】さらに、スピンコート法では、塗布したコ
ーティング液の大部分は、振り切り回転時に振り切られ
る。振り切りられたコーティング液はスピン機フード2
2に当り、ミストを発生する。また、これらの振り切ら
れたコーティング液が乾燥するとコーティングのカスと
なる。スピン時に発生する乱気流は、このコーティング
液のミストおよびカスを舞い上げてフェース面に付着
し、コーティング膜にシミ・欠点が発生する。Further, in the spin coating method, most of the applied coating liquid is shaken off at the time of shake-off rotation. The coating liquid that has been shaken off is the spinning machine hood 2
2 and mist is generated. In addition, when the coating liquid that has been shaken off is dried, it becomes a coating residue. The turbulence generated at the time of spinning flies up the mist and scum of the coating liquid and adheres to the face surface, causing spots and defects on the coating film.
【0020】透明および着色帯電防止膜においても、シ
ミ・欠点は不良項目の代表的なものであり、生産性向上
の大きな問題点となっている。低反射コートのような光
の干渉効果を利用したコーティング膜においては、膜厚
の乱れが反射光色に現れるため、たとえ小さな異物であ
ってもその周辺の膜厚の乱れにより、蛍光面からの光は
遮らないが反射光の干渉色が異なるという欠点が発生
し、著しく外観を損ねる。Even in the transparent and colored antistatic films, spots and defects are typical of defective items, which is a major problem in improving productivity. In a coating film utilizing the interference effect of light, such as a low reflection coating, the disorder of the film thickness appears in the reflected light color. Although the light is not blocked, a disadvantage that the interference color of the reflected light is different occurs, which significantly impairs the appearance.
【0021】[0021]
【発明が解決しようとする課題】以上、説明したよう
に、従来のスピンコート装置では、フェース面が矩形状
のCRTを高速で回転させるとフェース面上に乱気流が
発生し、この乱気流は、均一な乾燥を妨げるとともに、
膜厚の不均一による面内のムラを引き起こし、外観を損
ねるという問題点があった。また、乱気流によって異
物、ミストそしてコートカスをまきあげてシミ・欠点の
不良が発生しやすくなり、生産性を低下させるという問
題点があった。As described above, in the conventional spin coater, when a CRT having a rectangular face is rotated at a high speed, turbulence is generated on the face, and the turbulence is uniform. Prevent dryness,
There is a problem that in-plane unevenness is caused due to non-uniform film thickness, and the appearance is impaired. In addition, there is a problem that turbulence causes foreign matters, mist, and coat waste to be rolled up to easily cause spots and defective defects, thereby lowering productivity.
【0022】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、CRTのフェース面に生じる乱
気流を抑制できるスピンコート装置およびこの装置を用
いてコーティング膜のムラをなくして膜の品位を上げる
とともに、シミ・欠点による不良の発生を抑え、生産性
の改善を図ることができるスピンコート装置、およびこ
の装置を用いた機能性膜付きCRTの製造方法を得るこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a spin coating apparatus capable of suppressing turbulence generated on a face of a CRT and a coating film using the apparatus to eliminate unevenness of a coating film. It is an object of the present invention to obtain a spin coater capable of improving quality and suppressing defects due to spots and defects and improving productivity, and a method of manufacturing a CRT with a functional film using the spin coater.
【0023】[0023]
【課題を解決するための手段】この発明に係るスピンコ
ート装置は、フェース面を上にして支承した陰極線管を
回転させるスピン機、上記フェース面にコーティング液
を供給する手段、上記スピン機の上方に配置された給気
ダクトとスピン機の周囲をとり囲むフードの下方に設け
られた局所排気ダクトにより上記陰極線管のフェース面
に向うダウンフローを形成する送気手段、上記陰極線管
の周囲をとり囲み当該陰極線管のフェース面に続く曲面
に形成された上面を有する整流盤、およびこの整流盤の
上面に配設され、上記陰極線管の長辺および短辺の外側
に沿って、かつ中心線付近から回転方向の下流側に延在
する衝立形風切防止板を備えたものである。According to the present invention, there is provided a spin coater for rotating a cathode ray tube supported with a face surface facing upward, a means for supplying a coating liquid to the face surface, and an upper part of the spin machine. An air supply means for forming a downflow toward the face surface of the cathode ray tube by a local exhaust duct provided below a hood surrounding the periphery of the spin machine and an air supply duct arranged in the vicinity of the cathode ray tube; A rectifying plate having an upper surface formed in a curved surface following the face surface of the cathode ray tube, and disposed on the upper surface of the rectifying plate, along the outside of the long side and the short side of the cathode ray tube, and near the center line. And a screen-type windbreak prevention plate extending to the downstream side in the rotation direction.
【0024】このスピンコート装置によれば、CRTの
フェース面に向うダウンフローを形成するとともに、ス
ピン機に整流盤と衝立形風切防止板を設けたので、コー
ティング液の振り切り回転時にCRTのフェース面に発
生する乱気流を抑えることができる。According to this spin coater, a downflow toward the face of the CRT is formed, and a rectifier and a screen-type windbreak prevention plate are provided on the spinning machine. Turbulence generated on the surface can be suppressed.
【0025】また、この発明に係る機能性膜付き陰極線
管の製造方法は、上記スピンコート装置を用いて陰極線
管のフェース面に1層または複数層の平滑膜を形成する
とき、フェース面のコーナ部に生じる乱流を整流してコ
ーティング液を塗布・乾燥するようにしたものである。Further, according to the method for manufacturing a cathode ray tube with a functional film according to the present invention, when one or more layers of a smooth film are formed on the face surface of the cathode ray tube using the above-mentioned spin coater, The turbulence generated in the portion is rectified so that the coating liquid is applied and dried.
【0026】この機能性膜付き陰極線管の製造方法によ
れば、上記スピンコート装置を用いて、ダウンフローの
風速、コーティング液のCRTフェース面への注入タイ
ミングおよびコーティング液注入時のCRTの回転速度
を適切に管理することにより、膜厚の不均一を改善し、
外観のより好ましいCRTを製造することができる。According to this method of manufacturing a cathode ray tube with a functional film, the above-mentioned spin coater is used to measure the downflow wind speed, the timing of injecting the coating liquid onto the CRT face surface, and the rotation speed of the CRT during injection of the coating liquid. By properly controlling the
A CRT having a more preferable appearance can be manufactured.
【0027】[0027]
実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1のスピン
コート装置の全体構成を示す縦断面図で、図9と同一符
号はそれぞれ同一または相当部分を示している。図にお
いて、23はスピンコートブース、24はダウンフロー
発生装置で、給気用ファン25,ダンパ26,1次クリ
ーンフィルタ27,2次クリーンフィルタ28で構成さ
れ、給気口29から空気流が下向きに吹き出される。3
0はスピン機フード22の下部に設けられたスピン機用
排気ダクトで、ダンパ31,スピン機用排気ファン32
によって排気され、CRT9周辺の気流を効率よく形成
している。さらに、スピンコートブース23の下部には
全体用の排気ダクト33が設けられ、ダンパ34,ブー
ス用排気ファン35によって排気されている。Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the entire configuration of a spin coater according to Embodiment 1 of the present invention, and the same reference numerals as those in FIG. 9 denote the same or corresponding parts. In the figure, reference numeral 23 denotes a spin coat booth, 24 denotes a down flow generator, which is composed of an air supply fan 25, a damper 26, a primary clean filter 27, and a secondary clean filter 28, and an air flow blows downward from an air supply port 29. Is done. 3
Reference numeral 0 denotes a spinning machine exhaust duct provided below the spinning machine hood 22, and includes a damper 31 and a spinning machine exhaust fan 32.
And the air flow around the CRT 9 is efficiently formed. Further, an exhaust duct 33 for the entirety is provided below the spin coat booth 23 and exhausted by a damper 34 and an exhaust fan 35 for the booth.
【0028】図2はスピン機フード内の構造を示す縦断
面図、図3はその平面図で、36は筒状のスピン機ドラ
ムでファンネル受け治具16と一体に固着され、スピン
機駆動部18によって矢印A方向に回転駆動される。3
7は整流盤で、スピン機ドラム36の上面に固定され、
CRT9を取付耳7の部分で固定するように構成されて
いる。38aは整流盤37の上面のCRT9の短辺の外
側に立てられている短辺用の衝立形風切防止板、38b
は同じく長辺用の衝立形風切り防止板、39は排液とゆ
である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the structure inside the spinning machine hood, and FIG. 3 is a plan view thereof. Reference numeral 36 denotes a cylindrical spinning machine drum which is integrally fixed to the funnel receiving jig 16 and has a spinning machine driving section. 18 drives in the direction of arrow A. 3
Reference numeral 7 denotes a rectifying plate fixed to the upper surface of the spinning machine drum 36,
The CRT 9 is configured to be fixed at the mounting ear 7. Reference numeral 38a denotes a screen-type windbreak prevention plate for the short side which is set up outside the short side of the CRT 9 on the upper surface of the rectifier 37.
Is a screen type windbreak prevention plate for a long side, and 39 is a drain and a boiler.
【0029】次に、動作を説明する。CRT9は、図示
していない移載ロボットにより移送されて、ファンネル
部受け治具16上に載置される。ファンネル部受け治具
16は上昇下降が可能であり、CRT9を移送するとき
は上昇し、スピンコート時は下降している。ファンネル
部受け治具16が下降することにより、CRT9は整流
盤37内に引き込まれる。Next, the operation will be described. The CRT 9 is transferred by a transfer robot (not shown) and placed on the funnel receiving jig 16. The funnel portion receiving jig 16 can be moved up and down. The jig 16 moves up when transferring the CRT 9 and moves down during spin coating. When the funnel receiving jig 16 is lowered, the CRT 9 is drawn into the rectifier 37.
【0030】次に、整流盤37と、衝立形風切防止板3
8a,38bの構成について説明する。この実施の形態
1では、VDT用低反射コート付き51cmCRTを対
象とした。このCRTの外径の寸法は、長辺458m
m、短辺362mm、対角549mmである。また、整
流盤37の開口部37aとCRT9の長辺および短辺と
の隙間を10mmに設定したので、整流盤37の開口部
37aを、468×372mmの矩形状に形成した。Next, the rectifier 37 and the screen type windbreak prevention plate 3
The configuration of 8a and 38b will be described. The first embodiment is directed to a 51 cm CRT with a low reflection coat for VDT. The outer diameter of this CRT is 458 m long side.
m, short side 362 mm, diagonal 549 mm. Since the gap between the opening 37a of the rectifier 37 and the long and short sides of the CRT 9 was set to 10 mm, the opening 37a of the rectifier 37 was formed in a rectangular shape of 468 × 372 mm.
【0031】また、整流盤37の上面37bは、図4に
示すように、フェース・パネル部1の外表面の周辺部の
曲率半径Rが1300mmであるので、水平面に対して
次式の角度αでもって外周方向が低くなる傾斜面に形成
した。 α=Sin-1{(フェース面の中心からの距離)/(フ
ェース面の周辺部の曲率半径)}As shown in FIG. 4, the upper surface 37b of the rectifier 37 has a radius of curvature R of 1300 mm at the periphery of the outer surface of the face panel 1, so that the angle α of the following equation with respect to the horizontal plane is obtained. Thus, it was formed on a slope where the outer peripheral direction became lower. α = Sin −1 {(distance from center of face surface) / (radius of curvature of peripheral portion of face surface)}
【0032】また、衝立形風切防止板38a,38b
は、図1〜図3に示すように整流盤37の上面37bに
立てられており、その位置、および大きさは、CRT9
の長辺および短辺の中心線上から各辺に沿って回転方向
の下流方向に延在する位置であって、それぞれ整流盤3
7の開口部37aの端から7mm外側に取り付けてい
る。また、短辺用衝立形風切防止板38a,長辺用衝立
形風切防止板38bの大きさは、フェース・プレート部
1のコーナー部から50mmの高さで、その上端は水平
であり、また、その長さは、短辺用衝立形風切防止板3
8aがCRT9の短辺の長さのほぼ1/2の長さ、長辺
用衝立形風切防止板38bがCRT9の長辺の長さの1
/2より所定長だけ長く、例えば短辺の長さの1/3だ
け長い長さに形成した。The screen type windbreak prevention plates 38a, 38b
Is erected on the upper surface 37b of the rectifier 37 as shown in FIGS. 1 to 3, and the position and size of the
Extending from the center line of the long side and the short side along the respective sides in the downstream direction in the rotational direction.
7 is mounted 7 mm outside from the end of the opening 37a. Also, the size of the short-side screen-type windbreak prevention plate 38a and the long-side screen-type windbreak prevention plate 38b is 50 mm from the corner of the face plate 1, and the upper end is horizontal. In addition, the length is the short side screen-type windbreak prevention plate 3.
8a is approximately half the length of the short side of the CRT 9 and the long side screen-type windbreak prevention plate 38b is 1 length of the long side of the CRT 9
/ 2, which is longer by a predetermined length, for example, 1/3 of the length of the short side.
【0033】また、スピン機フード22の直径は100
0mmに形成したが、これは、スピンコートする最大の
CRTサイズに応じて定めればよい。また、整流盤37
の直径は、スピン機フード22の内径に対して70%に
形成したので、700mmである。ファンネル受け治具
16に装着されたCRT9のフェース面は、51cmの
CRTでスピン機フード22の上端から90mm下がっ
ている。この整流盤37は、筒状のスピン機ドラム36
の上端に固定され、スピン機駆動部18によって0〜1
60rpmまでの任意の回転数で回転される。The diameter of the spinning hood 22 is 100
Although formed at 0 mm, this may be determined according to the maximum CRT size to be spin-coated. The rectifier 37
Is formed to be 70% of the inner diameter of the spinning machine hood 22 and is therefore 700 mm. The face surface of the CRT 9 mounted on the funnel receiving jig 16 is 90 mm lower than the upper end of the spinning machine hood 22 with a CRT of 51 cm. The rectifying plate 37 includes a cylindrical spinning machine drum 36.
Is fixed to the upper end of the
It is rotated at an arbitrary rotation speed up to 60 rpm.
【0034】スピン機フード22の下方には、4ヵ所の
排気ダクト30が設けられている。排気能力は、スピン
機上方からの給気能力とのバランスから決定される。図
1に示すように、スピン機上部に給気口29を、スピン
機フード22内に局所排気口30を設置し、CRT周辺
のダウンフローを効率良く形成している。給気および排
気部にはそれぞれダンパが設けられ、それぞれ排気能力
の調節が可能に構成され、さらに、スピン機外の気流は
スピンコートブース23全体用の排気ダクト33から排
気される。Below the spinning machine hood 22, four exhaust ducts 30 are provided. The exhaust capacity is determined from the balance with the air supply capacity from above the spinning machine. As shown in FIG. 1, an air supply port 29 is provided in the upper part of the spinning machine, and a local exhaust port 30 is provided in the spinning machine hood 22, so that a downflow around the CRT is efficiently formed. A damper is provided in each of the air supply and exhaust sections, and the exhaust capacity is adjustable, and the airflow outside the spinning machine is exhausted from an exhaust duct 33 for the entire spin coat booth 23.
【0035】ダウンフローの風速は、整流盤37の端部
において0.5m/s、CRT9のフェース面中央部に
おいて0.2m/sになるように調整した。また、スピ
ンコートブース23内は、外気に比べてやや陽圧にする
ことが望ましい。The downflow wind speed was adjusted to be 0.5 m / s at the end of the rectifier 37 and 0.2 m / s at the center of the face of the CRT 9. Further, it is desirable that the inside of the spin coat booth 23 is set to a slightly positive pressure as compared with the outside air.
【0036】また、排液とゆ39内には常に水が張られ
ており、スピンコート時に振切られる余分なコーティン
グ液の固形分が固化してダストとなるのを防いでいる。
コーティング液19は、スピン機フード22の外側に待
機する注入ノズルアーム20の先端に取り付けられた注
入ノズル21から供給される。このノズルアーム20
は、コーティング液の注入時にはCRT9のフエース面
の中央部まで旋回し、さらにCRT9のフェース面の近
くでコーティング液19を注入するために、上下動可能
に構成されている。コーティング液19の供給は、ポン
プおよび加圧などによる圧送、または、ヘッドタンクに
よる自由落下を利用した方式が用いられる。また、注入
ノズル21は、塗布するコーティング液の種類の数だけ
注入ノズルアーム20の先端に取り付けられており、こ
の実施の形態1では、2層低反射コート用として、2本
のノズルを備えている。Further, water is always filled in the drainage liquid and the inside 39, thereby preventing the solid content of the excess coating liquid shaken off during spin coating from solidifying into dust.
The coating liquid 19 is supplied from an injection nozzle 21 attached to a tip of an injection nozzle arm 20 which stands by outside a spinner hood 22. This nozzle arm 20
Is configured to be pivotable to the center of the face of the CRT 9 when the coating liquid is injected, and to be able to move up and down in order to inject the coating liquid 19 near the face of the CRT 9. The supply of the coating liquid 19 is performed by pumping using a pump and pressurizing, or a method utilizing free fall by a head tank. Further, the injection nozzles 21 are attached to the tip of the injection nozzle arm 20 by the number of types of the coating liquid to be applied. In the first embodiment, two nozzles are provided for two-layer low-reflection coating. I have.
【0037】スピンの条件は、以下のように設定した。
スピン機の回転数の立上がりは停止から毎分80回転に
なるまでに2.0秒を要する。1液目のコーティング液
の注入はスピン機の回転開始から1.5秒後に行い、注
入時間は2.0秒、液量は65ccである。この後、振
り切り回転である毎分150回転まで加速して30秒間
振り切り、この後、乾燥回転として毎分80回転を30
秒行う。The spin conditions were set as follows.
It takes 2.0 seconds for the spinning machine to rise from the stop to 80 revolutions per minute. The injection of the first coating liquid is performed 1.5 seconds after the start of rotation of the spinning machine, the injection time is 2.0 seconds, and the liquid volume is 65 cc. Thereafter, it is accelerated to 150 rotations per minute, which is the shake-off rotation, and shakes off for 30 seconds.
Seconds.
【0038】2液目は1液目と同様の注入のタイミング
で注入時間1.5秒、液量45ccとし、同じスピンス
ケジュールを実施する。このようなスピン条件は、CR
Tサイズによるものでなく、コーティング液の種類によ
り決定される。The second liquid has the same injection timing as the first liquid, an injection time of 1.5 seconds, a liquid amount of 45 cc, and the same spin schedule. Such a spin condition is expressed by CR
It is determined not by the T size but by the type of coating liquid.
【0039】表1に、衝立形風切防止板の寸法とダウン
フローの風速および成膜性の関係を示す。Table 1 shows the relationship between the size of the screen type windbreak prevention plate, the wind speed of the downflow, and the film forming property.
【0040】[0040]
【表1】 [Table 1]
【0041】表1において、長辺用衝立形風切防止板の
飛び出し量は、短辺の延長線を越えて延在する長さを示
し、条件〜はダウンフローの風速を変更させたとき
の成膜性の結果である。これよりダウンフローの風速
は、整流盤38の端部において、0.3〜0.7m/
s、CRT9のフェース面の中央において0.1〜0.
3m/sの範囲が良いことがわかった。また、条件は
長辺用衝立形風切防止板38bの長さを230mmに変
更したものである。In Table 1, the amount of protrusion of the long-side screen type windbreak prevention plate indicates the length extending beyond the extension of the short side, and the conditions (1) to (4) when the downflow wind speed is changed. This is a result of the film forming property. From this, the wind speed of the down flow is 0.3 to 0.7 m /
s, 0.1 to 0.1 at the center of the face surface of the CRT 9.
It was found that the range of 3 m / s was good. The condition is that the length of the long side screen-type windbreak prevention plate 38b is changed to 230 mm.
【0042】このような構成の装置および製造条件を用
いて、51cmCRTに2層低反射膜の成膜を行った。
高屈折材料として酸化錫の超微粒子を分散したコーティ
ング液(1液)を用い、低屈折材料としてはシリカゾル
溶液(2液)を用いた。前述のスピン条件にて1液、2
液を塗布した後、成膜性を確認すると、コーナー部の色
ムラおよび面内渦巻き状色ムラ等のコーティング膜のム
ラは見られず、均一な膜を得ることができた。また、コ
ーティング液の振りきりで発生するミストの影響もな
く、品質を損なうようなシミ・欠点の発生もなかった。Using the apparatus having such a configuration and the manufacturing conditions, a two-layer low reflection film was formed on a 51 cm CRT.
A coating liquid (1 liquid) in which ultrafine tin oxide particles were dispersed was used as a high refractive material, and a silica sol solution (2 liquid) was used as a low refractive material. 1 solution, 2 under the above spin conditions
When the film forming property was confirmed after the application of the liquid, no unevenness of the coating film such as color unevenness in the corner portion and in-plane spiral color unevenness was observed, and a uniform film could be obtained. In addition, there was no influence of mist generated when the coating liquid was shaken off, and there was no occurrence of stains or defects that would impair the quality.
【0043】実施の形態2.図5はこの実施の形態2に
よるコーティング液の注入タイミングを示した図であ
る。大型管になるほど、またフェース面の曲面が複雑
(例えばシリンドリカル形状等)になるほど、コーティ
ング液をフェース面内に均一に拡げることは困難になっ
てくる。このときの特徴的な不良としては、コーティン
グ液の拡がった跡がスジ状に残ることである(これをス
ジムラ不良と呼ぶ)。このスジムラは膜厚の乱れとな
り、反射の干渉色が異なって見えるので、外観上好まし
くない。Embodiment 2 FIG. 5 is a diagram showing a coating liquid injection timing according to the second embodiment. As the size of the pipe becomes larger and the curved surface of the face becomes more complicated (for example, a cylindrical shape), it becomes more difficult to spread the coating liquid uniformly on the face. A characteristic defect at this time is that a trace of the spreading of the coating liquid remains in a streak shape (this is called a streak defect). The uneven streaks cause irregularities in the film thickness, and the interference color of reflection looks different.
【0044】図5において、停止状態から注入回転まで
を以下の3つのゾーンに区分した。 ゾーンA CRTが停止している状態 ゾーンB CRTが注入回転まで回転が上昇している状
態 ゾーンC CRTが、注入回転の定速回転にある状態 また、コーティング液の注入タイミングは、次の4つの
タイミングに分かれる。 I CRT停止時(ゾーンA) II CRT回転開始時(ゾーンAからBへの変化点) III CRT回転加速時(ゾーンB) IV CRT定速回転時(ゾーンC) これらの注入のタイミングは、CRTサイズによらない
ものである。In FIG. 5, the range from the stop state to the injection rotation is divided into the following three zones. Zone A CRT is stopped Zone B CRT is rotating up to the injection rotation Zone C CRT is at a constant rotation of the injection rotation The coating liquid injection timing is as follows. Divided into timing. I CRT stop (Zone A) II CRT rotation start (change point from zone A to B) III CRT rotation acceleration (Zone B) IV CRT constant speed rotation (Zone C) The timing of these injections is CRT It does not depend on the size.
【0045】表2は、コーティング液の注入のタイミン
グI〜IVと膜品位の関係を示したもので、タイミングII
I のスピン加速中の40rpmから80rpmの間に注
入するとスジムラ不良が発生せず、また、液タレ等の不
良も発生しないことがわかる。Table 2 shows the relationship between the coating liquid injection timings I to IV and the film quality.
It can be seen that when the injection is performed between 40 rpm and 80 rpm during the spin acceleration of I, no streak defect occurs and no defect such as liquid dripping occurs.
【0046】[0046]
【表2】 [Table 2]
【0047】以上の結果に基づいて、50cmシリンド
リカルCRTに2層低反射膜の成膜を行った。スピンコ
ート装置は実施の形態1と同じ装置を用い、注入ノズル
21をCRTのフェース面の中央部に固定し、表2の結
果からタイミングIII でコーティング液の注入を行うよ
うにタイマを設定した。すなわち、スピン機は停止した
状態から注入回転の80回転に達するまでに2秒要する
ので、スピン機の回転開始から1.5秒後にコーティン
グ液の注入を開始するようにタイマを設定し、2.0秒
間で65ccを注入した。スピンスケジュールは、1液
については注入回転80回転(3秒)、高速振りきり1
50回転(30秒)、低速回転80回転(30秒)で実
施し、乾燥を確認した後、2液目も同様のスケジュール
で実施した。Based on the above results, a two-layer low reflection film was formed on a 50 cm cylindrical CRT. The same spin coater as in the first embodiment was used, the injection nozzle 21 was fixed to the center of the face of the CRT, and a timer was set so that the coating liquid was injected at the timing III based on the results in Table 2. That is, since it takes two seconds from the stopped state to reach 80 injection rotations from the stopped state, the timer is set so that the injection of the coating liquid is started 1.5 seconds after the rotation of the spinning machine is started. Injected 65 cc in 0 seconds. Spin schedule is 80 rotations for injection (3 seconds) for one liquid, and high-speed swinging 1
The test was performed at 50 rotations (30 seconds) and at a low speed of 80 rotations (30 seconds). After confirming the drying, the second liquid was also performed according to the same schedule.
【0048】その結果、シリンドリカルCRTのような
回転対称でない方向性を持った曲面に対しても、スジム
ラのような液の拡がりに関する成膜ムラは発生せず、均
一な膜を得ることができた。As a result, even on a curved surface having a direction that is not rotationally symmetric such as a cylindrical CRT, film formation unevenness due to liquid spreading such as uneven streaks does not occur, and a uniform film can be obtained. .
【0049】なお、上記実施の形態1では、CRTのフ
ェース面の形状が球面対称な単一曲率を持つものを例と
して説明したが、フェース面が非球面の形状であった
り、シリンドリカル形状であってもよく、フェース面の
端から整流盤の外端部にかけて、滑らかな面でつないだ
回転対称形に構成することで、同様の効果が得られる。In the first embodiment described above, the CRT face surface has a spherically symmetrical single curvature. However, the face surface may have an aspherical shape or a cylindrical shape. The same effect can be obtained by forming a rotationally symmetric shape that is connected by a smooth surface from the end of the face surface to the outer end of the rectifier.
【0050】[0050]
【発明の効果】以上のように、この発明によればスピン
時に発生する乱流による塗布ムラおよびコーナー部のム
ラに対し、CRTのフェース面を回転対称形にする整流
盤と、コーナー部に設けた衝立形風切防止板、およびス
ピン機フード内にダウンフローの気流を形成することに
よりフェース面の長辺から短辺にかけてのコーナ部に生
じる乱流を抑制するようにしたので、均一性の高い機能
性膜を得ることができる。As described above, according to the present invention, the rectifying plate for making the face of the CRT rotationally symmetric and the rectifying plate provided at the corner portion are provided for the coating unevenness and the corner portion unevenness due to the turbulent flow generated at the time of spinning. The turbulence generated at the corners from the long side to the short side of the face surface was suppressed by forming a downflow airflow in the screen-type windbreak prevention plate and the spinning machine hood. A highly functional film can be obtained.
【0051】また、上記のようにCRTのフェース面の
気流を整流して乱気流が生じないようにすることによ
り、スピンコート時に発生するミストやコートカスの舞
い上がりが防止できるので、コーティング膜にミストや
コートカスが付着して、しみ等の不良が発生するのを抑
制することができる。In addition, by rectifying the airflow on the face of the CRT so as not to generate turbulence as described above, it is possible to prevent mist and coat dust generated at the time of spin coating, so that the mist or coat waste can be added to the coating film. Can be prevented from adhering and causing defects such as spots.
【図1】 この発明の実施の形態1のスピンコート装置
の全体構造を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the entire structure of a spin coater according to Embodiment 1 of the present invention.
【図2】 実施の形態1の要部の構成を示す縦断面図で
ある。FIG. 2 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a main part of the first embodiment.
【図3】 実施の形態1の要部の構成を示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a main part of the first embodiment.
【図4】 実施の形態1の陰極線管のフェース面と衝立
形風切防止板付き整流盤の関係を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the face surface of the cathode ray tube according to the first embodiment and a rectifier with a screen type windbreak prevention plate.
【図5】 実施の形態2におけるコーティング液の注入
のタイミングとスピン機の回転状態の関係を示すタイミ
ング図である。FIG. 5 is a timing chart showing a relationship between a coating liquid injection timing and a rotation state of a spinning machine according to a second embodiment.
【図6】 帯電防止機能を備えた陰極線管の側面図であ
る。FIG. 6 is a side view of a cathode ray tube having an antistatic function.
【図7】 帯電防止2層低反射膜の構造を示す拡大断面
図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing the structure of an antistatic two-layer low-reflection film.
【図8】 2層低反射膜の反射率スペクトル図である。FIG. 8 is a reflectance spectrum diagram of a two-layer low-reflection film.
【図9】 従来のスピンコート装置の構成を示す縦断面
図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a conventional spin coater.
【図10】 従来のスピンコート装置の構成を示す平面
図である。FIG. 10 is a plan view showing a configuration of a conventional spin coater.
【図11】 単一曲率からなるCRTフェース面のフェ
ース中心からの距離と、各軸端のフェース中心からの落
差を表した図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a distance from a face center of a CRT face surface having a single curvature and a head of each axial end from the face center.
16 ファンネル受け治具、18 スピン機駆動部、1
9 コーティング液、20 注入ノズルアーム、21
注入ノズル、22 スピン機フード、23 スピンコー
トブース、24 ダウンフロー発生装置、25 給気用
ファン、26,31,34 ダンパ、27 1次クリー
ンフィルタ、28 2次クリーンフィルタ、29 給気
口、30 スピン機用排気ダクト、32 スピン機排気
ファン、33 ブース用排気ダクト、35 ブース用排
気ファン、36 スピン機ドラム、37 整流盤、37
a 開口部、37b 上面、38a 短辺用の衝立形風
切防止板、38b 長辺用の衝立形風切防止板、39
排液とゆ。16 funnel receiving jig, 18 spinning machine drive unit, 1
9 coating liquid, 20 injection nozzle arm, 21
Injection nozzle, 22 spin machine hood, 23 spin coat booth, 24 down flow generator, 25 air supply fan, 26, 31, 34 damper, 27 primary clean filter, 28 secondary clean filter, 29 air inlet, 30 spin machine Exhaust duct, 32 spin machine exhaust fan, 33 booth exhaust duct, 35 booth exhaust fan, 36 spin machine drum, 37 rectifier, 37
a Opening, 37b Upper surface, 38a Screen-type windbreak prevention plate for short side, 38b Screen-type windbreak prevention plate for long side, 39
Drainage and yu.
Claims (6)
を回転させるスピン機、上記フェース面にコーティング
液を供給する手段、上記スピン機の上方に配置された給
気ダクトとスピン機の周囲をとり囲むフードの下方に設
けられた局所排気ダクトにより上記陰極線管のフェース
面に向うダウンフローを形成する送気手段、上記陰極線
管の周囲をとり囲み当該陰極線管のフェース面に続く曲
面に形成された上面を有する整流盤、およびこの整流盤
の上面に配設され、上記陰極線管の長辺および短辺の外
側に沿って、かつ中心線付近から回転方向の下流側に延
在する衝立形風切防止板を備えたスピンコート装置。1. A spinning machine for rotating a cathode ray tube supported with a face surface facing upward, means for supplying a coating liquid to the face surface, and an air supply duct disposed above the spinning machine and a periphery of the spinning machine. Air supply means for forming a downflow toward the face surface of the cathode ray tube by a local exhaust duct provided below the surrounding hood, and formed on a curved surface surrounding the cathode ray tube and continuing to the face surface of the cathode ray tube. Rectifier plate having an upper surface, and a screen-type wind disposed on the upper surface of the rectifier plate, extending along the outside of the long side and the short side of the cathode ray tube and extending downstream from the vicinity of the center line in the rotational direction. Spin coater with cutting prevention plate.
はそれぞれフェースパネルの各辺の外端から所定寸法外
側に配設されており、両衝立形風切防止板の高さはフェ
ース面のコーナ部よりも所定高さに形成され、その長さ
は、長辺用がフェース面の長辺の長さの1/2よりは所
定長さ長く、かつ短辺用がフェース面の短辺の長さのほ
ぼ1/2の長さに形成されていることを特徴とする請求
項1に記載のスピンコート装置。2. The screen-type windbreak prevention plates on the long side and the short side are respectively disposed outside a predetermined dimension from the outer end of each side of the face panel. Is formed at a predetermined height from the corner of the face surface. The length of the long side is longer than 1/2 of the length of the long side of the face surface, and the length of the short side is the face surface. 2. The spin coating apparatus according to claim 1, wherein the length of the short side is approximately one half of the length of the short side.
いてフェース面のコーナ部に生じる乱流を整流してコー
ティング液を塗布、乾燥することを特徴とする機能性膜
付き陰極線管の製造方法。3. A cathode ray tube with a functional film, comprising: rectifying a turbulent flow generated at a corner of a face surface by using the spin coater according to claim 1 to apply and dry a coating liquid. Method.
ース面の中央部にて0.1m/sから0.3m/s、整
流盤の端部にて0.3m/sから0.7m/sであるこ
とを特徴とする請求項3に記載の機能性膜付き陰極線管
の製造方法。4. The wind speed of the down flow is 0.1 m / s to 0.3 m / s at the center of the face surface of the cathode ray tube, and 0.3 m / s to 0.7 m / s at the end of the rectifier. The method for producing a cathode ray tube with a functional film according to claim 3, wherein
中心でかつ回転の加速中に行われることを特徴とする請
求項3に記載の機能性膜付き陰極線管の製造方法。5. The method for producing a cathode ray tube with a functional film according to claim 3, wherein the supply of the coating liquid is performed at the center of the face surface and during acceleration of rotation.
が、40rpmから80rpmの間である請求項5に記
載の機能性膜付き陰極線管の製造方法。6. The method for producing a cathode ray tube with a functional film according to claim 5, wherein the number of revolutions at the start of the injection of the coating liquid is between 40 rpm and 80 rpm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8155090A JPH103858A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Spin coating device and manufacture of cathode-ray tube with functional film using the device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8155090A JPH103858A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Spin coating device and manufacture of cathode-ray tube with functional film using the device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH103858A true JPH103858A (en) | 1998-01-06 |
Family
ID=15598435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8155090A Pending JPH103858A (en) | 1996-06-17 | 1996-06-17 | Spin coating device and manufacture of cathode-ray tube with functional film using the device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH103858A (en) |
-
1996
- 1996-06-17 JP JP8155090A patent/JPH103858A/en active Pending
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