JPH10320811A - Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction grating - Google Patents
Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction gratingInfo
- Publication number
- JPH10320811A JPH10320811A JP9124521A JP12452197A JPH10320811A JP H10320811 A JPH10320811 A JP H10320811A JP 9124521 A JP9124521 A JP 9124521A JP 12452197 A JP12452197 A JP 12452197A JP H10320811 A JPH10320811 A JP H10320811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- grating
- efficiency control
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、回折格子の効率を
変化させる効率制御回折格子、および効率制御回折格子
を備え、光ディスクの記録再生を行う光ピックアップ装
置に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an efficiency control diffraction grating for changing the efficiency of a diffraction grating, and to an optical pickup device provided with the efficiency control diffraction grating for recording and reproducing an optical disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、光の強度変調を行うための素子と
して、光の回折効果を利用する効率制御回折格子が、例
えば、O.Solgaardらの論文「デフォーマブルグレーティ
ングオプティカルモヂュレータ」("Deformable Gratin
g Optical Modulator" / Optics Letters / Vol.17, N
o.9 / May 1, 1992)等において提案されている。この
効率制御回折格子は、小型化が可能な上、ICプロセス
で作製することができるため、一括大量生産することが
できるという利点がある。2. Description of the Related Art Conventionally, as an element for modulating the intensity of light, an efficiency control diffraction grating utilizing the diffraction effect of light has been proposed, for example, in the article by O. Solgaard et al., "Deformable grating optical modulator"(""). Deformable Gratin
g Optical Modulator "/ Optics Letters / Vol.17, N
o.9 / May 1, 1992). This efficiency control diffraction grating can be miniaturized and can be manufactured by an IC process, so that there is an advantage that it can be mass-produced collectively.
【0003】この効率制御回折格子を図9に基づいて説
明する。効率制御回折格子は、シリコン基板41と、シ
リコン基板41の周辺領域上に形成されたスペーサ42
(シリコン酸化膜)と、スペーサにより両端を支持され
る複数の微細な誘電体梁43(シリコンリッチのシリコ
ン窒化膜)からなるグレーティングとを備えている。グ
レーティングの上面には、電極としても機能する反射膜
44が設けられている。[0003] This efficiency control diffraction grating will be described with reference to FIG. The efficiency control diffraction grating includes a silicon substrate 41 and spacers 42 formed on a peripheral region of the silicon substrate 41.
(Silicon oxide film) and a grating composed of a plurality of fine dielectric beams 43 (silicon-rich silicon nitride film) supported at both ends by spacers. On the upper surface of the grating, a reflection film 44 that also functions as an electrode is provided.
【0004】図9(a)は反射膜44とシリコン基板4
1との間に電圧が印加されていない状態を示している。
この状態では、効率制御回折格子に入射した光はそのま
ま反射されて戻る。しかし、反射膜44とシリコン基板
41との間に電圧を印加すると、両者の間に静電力が働
き、図9(b)に示すように、グレーティング43が湾
曲してグレーティング43の下面とシリコン基板41の
上面とが接触する。このとき、グレーティング43の上
面の反射膜とシリコン基板41の上面の反射膜との間の
距離が変化するため、回折光が発生する。この印加電圧
を制御することにより、回折効率を変化させることがで
きる。FIG. 9A shows a reflection film 44 and a silicon substrate 4.
1 shows a state where no voltage is applied.
In this state, the light incident on the efficiency control diffraction grating is directly reflected and returned. However, when a voltage is applied between the reflective film 44 and the silicon substrate 41, an electrostatic force acts between the two, and the grating 43 is curved as shown in FIG. 41 comes into contact with the upper surface. At this time, since the distance between the reflective film on the upper surface of the grating 43 and the reflective film on the upper surface of the silicon substrate 41 changes, diffracted light is generated. By controlling the applied voltage, the diffraction efficiency can be changed.
【0005】また本発明は2種類の厚みの異なる光ディ
スクの記録再生を行う光ピックアップ装置にも関わるも
のである。従来のCDに代表される光ディスク規格に加
えて、DVDと呼ばれる高密度光ディスクの新しい規格
が生まれている。このDVDのディスク基板の厚みは
0.6mmであり、従来のCDの厚み1.2mmの半分
である。DVDの規格では、ディスク基板厚みの変更の
他、使用する光源の波長が780nmから650nm
へ、対物レンズのNAが0.45から0.6に変更され
ている。The present invention also relates to an optical pickup device for recording and reproducing two types of optical disks having different thicknesses. In addition to the conventional optical disc standard represented by CD, a new standard of high-density optical disc called DVD has been born. The thickness of the DVD disk substrate is 0.6 mm, which is half the thickness of the conventional CD of 1.2 mm. According to the DVD standard, the wavelength of the light source to be used is changed from 780 nm to 650 nm in addition to the change in the thickness of the disk substrate.
, The NA of the objective lens has been changed from 0.45 to 0.6.
【0006】一方、光ディスクの記録再生を行う光ピッ
クアップ装置は、通常、特定の厚みの光ディスクにしか
対応できない。つまり基板の厚みが規定された範囲外
(約±0.1mm以上)の光ディスクに対しては、球面
収差等の収差が発生するため記録再生が不可能となり、
通常の光ピックアップ装置ではCDとDVDとの両方を
記録再生することができなかった。この問題を解決する
ため、これまでに様々な方法が提案されている。その中
の一つとして、特許2532818号に開示されているものを
図10に基づいて説明する。[0006] On the other hand, an optical pickup device for recording / reproducing an optical disk can usually deal only with an optical disk having a specific thickness. In other words, recording and reproduction cannot be performed on an optical disc whose substrate thickness is outside the specified range (about ± 0.1 mm or more) because aberrations such as spherical aberration occur.
A normal optical pickup device could not record and reproduce both a CD and a DVD. Various methods have been proposed to solve this problem. As one of them, the one disclosed in Japanese Patent No. 2532818 will be described with reference to FIG.
【0007】この光ピックアップ装置では、屈折型対物
レンズ45と同心円状の格子パターンを含むホログラム
レンズ46とを組み合わせたものが用いられており、ホ
ログラムレンズ46の格子パターンはディスク基板の厚
みの差で発生する球面収差を補償できるように設計され
ている。DVDの記録再生時には、図10(a)に示す
ように、ホログラムレンズ46の0次回折光がDVD4
7上に回折限界まで集光される。CD再生時には、図1
0(b)に示すように、ホログラムレンズ46の1次回
折光がCD48上に回折限界まで集光される。このよう
にして、図10の光ピックアップ装置は、異なる基板厚
みを有する2種類の光ディスクの記録再生を行うことが
できる。In this optical pickup device, a combination of a refraction type objective lens 45 and a hologram lens 46 including a concentric lattice pattern is used, and the lattice pattern of the hologram lens 46 depends on the difference in the thickness of the disk substrate. It is designed to compensate for the generated spherical aberration. At the time of recording / reproduction of a DVD, as shown in FIG.
The light is focused to the diffraction limit on 7. When playing a CD,
As shown in FIG. 0 (b), the first-order diffracted light of the hologram lens 46 is focused on the CD 48 to the diffraction limit. In this manner, the optical pickup device of FIG. 10 can perform recording / reproduction on two types of optical disks having different substrate thicknesses.
【0008】この他、対物レンズをCD用とDVD用と
の2種類用意して、これらを機械的に切り替える方法
や、CD再生時に開口制限を行って球面収差を低減する
方法等が提案されている。In addition, a method has been proposed in which two types of objective lenses are prepared for CD and DVD, and these are mechanically switched, and a method of reducing the spherical aberration by limiting the aperture at the time of CD reproduction is proposed. I have.
【0009】また本発明は、トラッキング制御法の異な
る光ディスクの記録再生を行う光ピックアップ装置にも
係わるものである。[0009] The present invention also relates to an optical pickup device for recording and reproducing data on and from an optical disk having different tracking control methods.
【0010】現在、CDのトラッキング制御法として
は、主に3ビーム法が使われている。この方法では、回
折格子を用いて2本のサブビームを新たに発生させ、光
ディスク上で信号読み出し用のメインビームの前後方に
サブビームが並ぶようにし、この並びをトラック列に対
してほんの少し傾ける。そうすることによって、メイン
ビームスポットがトラックからずれたとき、2本のサブ
ビームの光ディスクからの反射光に光量差が生じ、その
差からラジアル誤差信号が得られる。At present, a three-beam method is mainly used as a tracking control method for a CD. In this method, two sub-beams are newly generated using a diffraction grating so that the sub-beams are arranged in front of and behind the main beam for signal reading on the optical disc, and this arrangement is slightly inclined with respect to the track row. By doing so, when the main beam spot deviates from the track, a light amount difference is generated in the reflected light of the two sub-beams from the optical disk, and a radial error signal is obtained from the difference.
【0011】一方、CDに比べて高密度になっているD
VDでは、トラックピッチがCDと異なって狭くなって
いる。このため、CDおよびDVDの記録再生を同一の
光ピックアップ装置で3ビーム法をトラッキング制御法
として用いて行おうとすると、サブビームの位置をCD
用に調整した場合にはDVD記録再生時にサブビームが
隣接トラックにかかってしまい、DVD用に調整した場
合にはCD再生時のラジアル誤差信号が弱くなるという
問題が生じる。On the other hand, D which has a higher density than CD
In VD, the track pitch is narrower than in CD. Therefore, if recording and reproduction of CD and DVD are to be performed using the same optical pickup device and the three-beam method as the tracking control method, the position of the sub-beam is changed to the CD.
In the case of adjusting for DVD, the sub-beam is applied to the adjacent track at the time of recording / reproducing the DVD, and when the adjustment is made for DVD, the radial error signal at the time of reproducing the CD becomes weak.
【0012】この問題を克服するために、DVDの記録
再生時には、一般には位相差検出法と呼ばれる方法でト
ラッキング制御が行われている。これは、図11に示す
ように、スポット49がピット50中心から左右にずれ
たとき、回折光の発生のしかたが異なることを利用した
1ビームトラッキング制御法である。図11に示される
ディスクからの反射光51を、4分割光検出器で受け、
その結果を信号処理することによってラジアル誤差信号
を得る。この位相差検出法では、ピット深さがλ/4か
らずれると、ラジアルオフセットが発生するため、ピッ
ト深さの異なるCDとDVDとを位相差検出法でトラッ
キング制御するためには、さらに複雑な処理が必要とな
る。このため、CD再生時には3ビーム法でラジアル誤
差信号を検出し、DVD再生時には位相差検出法でラジ
アル誤差信号を検出する方法が採られている例も多い。In order to overcome this problem, tracking control is performed by a method generally called a phase difference detection method when recording and reproducing a DVD. This is a one-beam tracking control method utilizing the fact that, when the spot 49 is shifted from the center of the pit 50 to the left and right as shown in FIG. The reflected light 51 from the disk shown in FIG.
By processing the result, a radial error signal is obtained. In this phase difference detection method, when the pit depth deviates from λ / 4, a radial offset occurs. Therefore, in order to perform tracking control of a CD and a DVD having different pit depths by the phase difference detection method, it is more complicated. Processing is required. For this reason, in many cases, a method of detecting a radial error signal by a three-beam method during CD reproduction and detecting a radial error signal by a phase difference detection method during DVD reproduction is adopted.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】従来の効率制御回折格
子は、梁を上下に駆動する構造であるため、梁の両端を
支持しなければならず、例えば梁が平行に並べられたよ
うな格子パターンのものしか形成できず、同心円形状の
格子パターンのような複雑な形状の回折格子は形成でき
なかった。また、細かい格子ピッチ、浅い溝深さの回折
格子が必要となると駆動する梁が細くなるため、より高
い作製精度が要求され、全ての梁を精密に形成し、かつ
正確に駆動することは難しくなる。加えて、耐久性も低
下する。Since the conventional efficiency control diffraction grating has a structure in which the beams are driven up and down, both ends of the beams must be supported. For example, a grating in which the beams are arranged in parallel. Only a pattern was formed, and a diffraction grating having a complicated shape such as a concentric grating pattern could not be formed. In addition, if a diffraction grating with a fine grating pitch and a shallow groove depth is required, the beam to be driven becomes narrower, so higher manufacturing accuracy is required, and it is difficult to form all beams precisely and drive accurately. Become. In addition, durability decreases.
【0014】また、従来の2種類の厚みの異なる光ディ
スクの記録再生を行う光ピックアップ装置は、常に光を
2分割しているため光の利用効率が低いという問題があ
った。その光利用効率は、例えば、CD再生時で30
%、DVD再生時で70%である。光利用効率が低い
分、半導体レーザの出射パワーを引き上げねばならず、
半導体レーザへの負担が増すことになる。特に記録時に
は大きな照射パワーが必要となるため、光利用効率の向
上が望まれていた。Further, the conventional optical pickup device for recording and reproducing two types of optical disks having different thicknesses has a problem that the light use efficiency is low because the light is always divided into two. The light use efficiency is, for example, 30 at the time of CD reproduction.
%, And 70% during DVD playback. Since the light use efficiency is low, the output power of the semiconductor laser must be increased,
The burden on the semiconductor laser will increase. Particularly, at the time of recording, a large irradiation power is required, and therefore, improvement in light use efficiency has been desired.
【0015】また、それ以外の方法でも、対物レンズ切
り替え方式は機械的な機構であるため、信頼性に欠け、
小型化が難しい。開口制限方式では、残存収差が大きい
ため、再生信号品質が悪くなるという問題がある。In other methods, the objective lens switching method is a mechanical mechanism and therefore lacks reliability.
It is difficult to miniaturize. In the aperture limiting method, there is a problem that the reproduction signal quality is deteriorated because the residual aberration is large.
【0016】また、CD再生用に3ビーム生成用グレー
ティングを設けた従来のCD、DVD互換再生光ピック
アップでは、DVD再生時に不要なサブビームが発生し
てしまうため、DVD再生時の光利用効率が低下してし
まうという問題があった。In a conventional CD / DVD compatible reproduction optical pickup provided with a three-beam generation grating for CD reproduction, an unnecessary sub-beam is generated at the time of DVD reproduction, and the light use efficiency at the time of DVD reproduction is reduced. There was a problem of doing it.
【0017】本発明は、このような現状に鑑みてなされ
たものであり、グレーティングレンズのような複雑な格
子パターンも可能とした効率制御回折格子の作製、およ
びその効率制御回折格子を用いて、光利用効率が高く、
信頼性、信号品質に優れたCD、DVD互換再生光ピッ
クアップ装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it has been proposed to manufacture an efficiency control diffraction grating capable of forming a complicated grating pattern such as a grating lens, and to use the efficiency control diffraction grating. High light use efficiency,
It is an object of the present invention to provide a CD- and DVD-compatible playback optical pickup device excellent in reliability and signal quality.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】本発明の効率制御回折格
子は、透明基板と、該透明基板上に形成された透明な第
一電極と、該第一電極上に形成され、交互に配置された
反射部と透過部とで構成されるグレーティング層と、該
グレーティング層上に形成された絶縁層と、該絶縁層上
の一部に形成されたポスト層と、該ポスト層に支持され
るように設けられており、反射ミラーとしても機能する
第二電極とを備えており、該第一電極と該第二電極との
間に印加する電圧を調整することによって該グレーティ
ング層と該第二電極との間の距離を変化させ、それによ
り該透明基板を通って入射した光の回折効率を制御し、
そのことにより上記目的を達成する。An efficiency control diffraction grating according to the present invention comprises a transparent substrate, a transparent first electrode formed on the transparent substrate, and a transparent electrode formed on the first electrode and arranged alternately. A grating layer composed of a reflecting portion and a transmitting portion, an insulating layer formed on the grating layer, a post layer formed on a part of the insulating layer, and supported by the post layer. And a second electrode that also functions as a reflection mirror. The grating layer and the second electrode are adjusted by adjusting a voltage applied between the first electrode and the second electrode. And thereby controlling the diffraction efficiency of light incident through the transparent substrate,
Thereby, the above object is achieved.
【0019】好ましくは、前記光の空気中での波長をλ
0とし、前記絶縁層の屈折率をnとするとき、該絶縁層
の厚さd1および前記ポスト層の厚さd2は、それぞ
れ、λ0/4n、λ0/4の奇数倍で表される。Preferably, the wavelength of the light in air is λ.
0, and when the refractive index of the insulating layer is n, the thickness d2 of the thickness d1 and the post layer of insulating layers, respectively, lambda 0 / 4n, represented by an odd multiple of lambda 0/4 .
【0020】前記効率制御回折格子は、前記透明基板の
前記光が入射する側の表面上および前記絶縁層上の少な
くとも一方に形成された反射防止膜をさらに備えていて
もよい。The efficiency control diffraction grating may further include an anti-reflection film formed on at least one of the surface of the transparent substrate on which the light is incident and the insulating layer.
【0021】好ましくは、前記グレーティング層のパタ
ーンが同心楕円形状、もしくは同心円形状であり、それ
により前記効率制御回折格子がグレーティングレンズと
して機能する。Preferably, the pattern of the grating layer has a concentric elliptical shape or a concentric circular shape, whereby the efficiency control diffraction grating functions as a grating lens.
【0022】本発明の光ピックアップ装置は、光源と、
該光源からの光を光ディスクに集光させる集光光学系
と、該光ディスクによって反射された該光を受け取り、
電気信号に変換する光検出器とを備えており、さらに前
記効率制御回折格子が該集光光学系の光路上に設けられ
ており、そのことにより上記目的を達成する。An optical pickup device according to the present invention comprises: a light source;
A condensing optical system for condensing light from the light source on an optical disc, and receiving the light reflected by the optical disc;
A photodetector for converting the signal into an electric signal; and the efficiency control diffraction grating is provided on an optical path of the condensing optical system, thereby achieving the above object.
【0023】前記光ピックアップ装置は、所定の偏光状
態の光のみを透過する偏光ビームスプリッタと、該偏光
ビームスプリッタと前記効率制御回折格子との間の前記
光の光路中に配置された1/4波長板とをさらに備えて
いてもよい。この場合、該偏光ビームスプリッタおよび
該1/4波長板は、該光が該偏光ビームスプリッタを透
過して、該1/4波長板を通過して該効率制御回折格子
に入射し、該効率制御回折格子によって反射されて該1
/4波長板を再び通過して該偏光ビームスプリッタに入
射し、該偏光ビームスプリッタによって反射されること
によって前記集光光学系に導かれるように配置される。The optical pickup device may include a polarizing beam splitter that transmits only light of a predetermined polarization state, and a 1/4 light beam disposed between the polarizing beam splitter and the efficiency control diffraction grating in an optical path of the light. And a wave plate. In this case, the polarizing beam splitter and the quarter-wave plate transmit the light through the polarizing beam splitter, pass through the quarter-wave plate, enter the efficiency control diffraction grating, and The light reflected by the diffraction grating
The light beam passes through the 4 wavelength plate again, enters the polarization beam splitter, and is reflected by the polarization beam splitter to be guided to the condensing optical system.
【0024】好ましくは、前記集光光学系と前記効率制
御回折格子との組み合わせは、焦点を2つ有する光学系
を構成しており、該効率制御回折格子で発生する0次回
折光は、異なる厚みを有する2種類の光ディスクのうち
の一方の情報面上に集光し、1次回折光は該2種類の光
ディスクの他方の情報面上に集光する。Preferably, the combination of the condensing optical system and the efficiency control diffraction grating forms an optical system having two focal points, and the zero-order diffracted light generated by the efficiency control diffraction grating has different thicknesses. And the first-order diffracted light is focused on the other information surface of the two types of optical disks.
【0025】好ましくは、前記効率制御回折格子の前記
第一電極と前記第二電極との間に印加される電圧は、光
ディスク上に集光すべき回折光の回折効率が最大となる
ように制御され、それにより光利用効率を最大にする。Preferably, the voltage applied between the first electrode and the second electrode of the efficiency control diffraction grating is controlled so that the diffraction efficiency of the diffracted light to be focused on the optical disk is maximized. And thereby maximize light utilization efficiency.
【0026】前記光ピックアップ装置は、前記光源から
の光を複数の光に分割するための、回折効率が可変であ
る回折格子をさらに備えていてもよい。The optical pickup device may further include a diffraction grating having a variable diffraction efficiency for dividing the light from the light source into a plurality of lights.
【0027】本発明の他の光ピックアップ装置は、光源
と、該光源からの光ビームを複数の光ビームに分割する
素子と、該複数の光ビームを光ディスクに集光させる集
光光学系と、該光ディスクによって反射された該複数の
光ビームを受け取り、電気信号に変換する光検出器とを
備えており、該素子は前記効率制御回折格子であり、そ
のことにより上記目的を達成する。Another optical pickup device of the present invention comprises a light source, an element for dividing a light beam from the light source into a plurality of light beams, and a condensing optical system for condensing the plurality of light beams on an optical disk. A light detector for receiving the plurality of light beams reflected by the optical disk and converting the light beams into an electric signal, wherein the element is the efficiency control diffraction grating, thereby achieving the above object.
【0028】[0028]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0029】図1は、本発明の光ピックアップ装置の第
一の実施の形態の構成を概略的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of the first embodiment of the optical pickup device of the present invention.
【0030】第一の実施形態の光ピックアップ装置10
0は、光源として半導体レーザ1と、立ち上げプリズム
3と、立ち上げプリズム3の傾斜面に接着固定された効
率制御回折格子4と、対物レンズ5と、光検出器7と、
光ディスク6からの反射光を光検出器7へ導くホログラ
ム2と、により構成される。The optical pickup device 10 according to the first embodiment
Numeral 0 denotes a semiconductor laser 1 as a light source, a rising prism 3, an efficiency control diffraction grating 4 bonded and fixed to an inclined surface of the rising prism 3, an objective lens 5, a photodetector 7,
And a hologram 2 for guiding the reflected light from the optical disk 6 to the photodetector 7.
【0031】半導体レーザ1から出射された光10は、
立ち上げプリズム3に入射し、効率制御回折格子4に導
かれる。効率制御回折格子4は、同心楕円状の格子パタ
ーンが刻まれた反射型回折格子であり、ここで0次回折
光および1次回折光が発生する。それぞれの回折光は、
対物レンズ5に入射して、光ディスク6上に集光される
が、このとき、0次回折光が基板厚みt1の光ディスク
6上に回折限界の集光スポット11を形成し、1次回折
光が基板厚みt2の光ディスク6上に回折限界の集光ス
ポット12を形成するように、対物レンズ5の形状と効
率制御回折格子4の格子パターンとが設計されている。The light 10 emitted from the semiconductor laser 1 is
The light enters the rising prism 3 and is guided to the efficiency control diffraction grating 4. The efficiency control diffraction grating 4 is a reflection type diffraction grating in which a concentric elliptical grating pattern is engraved, and generates zero-order diffraction light and first-order diffraction light. Each diffracted light is
The light enters the objective lens 5 and is condensed on the optical disk 6. At this time, the 0th-order diffracted light forms a condensed spot 11 of the diffraction limit on the optical disk 6 having the substrate thickness t1, and the 1st-order diffracted light is The shape of the objective lens 5 and the grating pattern of the efficiency control diffraction grating 4 are designed so as to form a diffraction-limited focused spot 12 on the optical disk 6 at t2.
【0032】効率制御回折格子4は、印加する電圧を制
御することによって回折格子の凹凸部の段差を変化させ
ることができ、それにより1次回折の効率を制御するこ
とができる。図2を用いて、本実施形態の効率制御回折
格子4の構造および動作を詳しく説明する。図2(a)
は電圧を印加していない状態を、(b)は電圧を印加し
た状態を示している。また、図2(c)は、効率制御回
折格子4の格子パターンを正面から見た状態を示してい
る。The efficiency control diffraction grating 4 can change the step of the uneven portion of the diffraction grating by controlling the applied voltage, thereby controlling the efficiency of the first-order diffraction. The structure and operation of the efficiency control diffraction grating 4 of the present embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 (a)
Indicates a state where no voltage is applied, and (b) indicates a state where a voltage is applied. FIG. 2C shows a state where the grating pattern of the efficiency control diffraction grating 4 is viewed from the front.
【0033】効率制御回折格子4は、ガラス等の透明基
板21上に、透明な第一電極22、グレーティング層2
3、絶縁層24、ポスト層25、および第二電極26を
順に重ねて構成されている。第二電極26は反射ミラー
としての役割も兼ねている。また、グレーティング層2
3の格子パターンは、反射部と透過部との繰り返しであ
る。このグレーティング層23の反射部と反射ミラー2
6とで、反射型回折格子が構成される。また、絶縁層2
4の層厚d1は、絶縁層24の屈折率をn、利用する光
の空気中での波長をλ0とするとき、λ0/4nの奇数倍
になるように設定されており、ポスト層25の層厚d2
はλ0/4の奇数倍になるように設定されている。The efficiency control diffraction grating 4 comprises a transparent first electrode 22 and a grating layer 2 on a transparent substrate 21 such as glass.
3, the insulating layer 24, the post layer 25, and the second electrode 26 are sequentially stacked. The second electrode 26 also serves as a reflection mirror. Also, the grating layer 2
The lattice pattern of No. 3 is a repetition of a reflection part and a transmission part. The reflecting portion of the grating layer 23 and the reflecting mirror 2
6 constitutes a reflective diffraction grating. Also, the insulating layer 2
The layer thickness d 1 of 4 is set to be an odd multiple of λ 0 / 4n, where n is the refractive index of the insulating layer 24 and λ 0 is the wavelength of light to be used in the air. Layer thickness d 2 of layer 25
It is set to be an odd multiple of λ 0/4.
【0034】第一電極22と第二電極26とに電圧が印
加されないとき(印加電圧0Vのとき)には、図2
(a)に示されるように、グレーティング層23の反射
部と反射ミラー26との段差がλ/2(λは媒質内での
波長)の整数倍となる。このため、1次以上の回折光は
発生せず、効率制御回折格子4は反射ミラーとして機能
する。When no voltage is applied to the first electrode 22 and the second electrode 26 (when the applied voltage is 0 V), FIG.
As shown in (a), the step between the reflection portion of the grating layer 23 and the reflection mirror 26 is an integral multiple of λ / 2 (where λ is the wavelength in the medium). Therefore, no first-order or higher order diffracted light is generated, and the efficiency control diffraction grating 4 functions as a reflection mirror.
【0035】一方、第一電極22と第二電極26とに正
の電圧を印加すると、第一電極22と第二電極26と
は、空気層および絶縁層24を含むコンデンサを形成
し、第一電極22には正電荷が、第二電極26には負電
荷がチャージされる。この電荷間に静電引力が作用する
ため、図2(b)に示されるように、第二電極26は絶
縁層24に接触するまで引き寄せられる。このとき、グ
レーティング層23の反射部と反射ミラー26との段差
は、λ/4の奇数倍となる。このときのグレーティング
層23の反射部からの反射光と反射ミラー26からの反
射光との位相差がπであるため、1次回折効率は最大と
なり、効率制御回折格子4に入射した光の約40%にあ
たる1次回折光が得られる。On the other hand, when a positive voltage is applied to the first electrode 22 and the second electrode 26, the first electrode 22 and the second electrode 26 form a capacitor including the air layer and the insulating layer 24, and The electrode 22 is charged with a positive charge, and the second electrode 26 is charged with a negative charge. Since an electrostatic attractive force acts between the electric charges, the second electrode 26 is attracted until it contacts the insulating layer 24 as shown in FIG. At this time, the step between the reflection portion of the grating layer 23 and the reflection mirror 26 is an odd multiple of λ / 4. At this time, since the phase difference between the reflected light from the reflecting portion of the grating layer 23 and the reflected light from the reflecting mirror 26 is π, the first-order diffraction efficiency is maximized, and the order of the light incident on the efficiency control diffraction grating 4 is about 40% of first-order diffracted light is obtained.
【0036】図2(c)は、効率制御回折格子4を正面
から見た図であり、この図では第二電極26を省略して
いる。グレーティング層23の格子パターンは、例え
ば、図2(c)に示すような同心楕円形状のものも作製
可能である。ポスト層25は格子パターンの透過部のあ
るところを取り囲むように配置される。FIG. 2C is a view of the efficiency control diffraction grating 4 as viewed from the front. In this figure, the second electrode 26 is omitted. As the grating pattern of the grating layer 23, for example, a concentric elliptical shape as shown in FIG. The post layer 25 is disposed so as to surround a portion where the transmission part of the lattice pattern exists.
【0037】続いて、この効率制御回折格子4を利用し
た光ピックアップ装置の光学系について、図3を用いて
説明する。図3(a)は基板厚みの薄いDVDの記録再
生の仕組みを、(b)は基板厚みの厚いCDの記録再生
の仕組みを表している。Next, an optical system of an optical pickup device using the efficiency control diffraction grating 4 will be described with reference to FIG. FIG. 3A shows a mechanism for recording / reproducing a DVD having a thin substrate, and FIG. 3B shows a mechanism for recording / reproducing a CD having a thick substrate.
【0038】DVDの記録再生時には、効率制御回折格
子4には電圧を印加しない。そのため、1次回折光は発
生せず、この効率制御回折格子4は反射ミラーとして機
能する。効率制御回折格子4によって反射された光は、
対物レンズ5によりDVD6上に集光される。対物レン
ズ5はこの光学系で収差が最小となるよう設計されてい
るため、DVD6上に回折限界の集光スポットを形成す
ることができる。At the time of recording / reproducing a DVD, no voltage is applied to the efficiency control diffraction grating 4. Therefore, no first-order diffracted light is generated, and the efficiency control diffraction grating 4 functions as a reflection mirror. The light reflected by the efficiency control diffraction grating 4 is
The light is focused on the DVD 6 by the objective lens 5. Since the objective lens 5 is designed to minimize aberration in this optical system, it is possible to form a diffraction-limited condensed spot on the DVD 6.
【0039】また、この光学系では効率制御回折格子4
の0次回折光効率が100%であるため、光利用効率は
極めて高い。したがって、光源の消費電力の低減、およ
び光源の長寿命化を図ることができる。また、記録時の
照射パワーの確保も、屈折型対物レンズとホログラムレ
ンズを組み合わせた従来の光ピックアップ装置と比べる
と容易である。In this optical system, the efficiency control diffraction grating 4
Is 100%, the light use efficiency is extremely high. Therefore, it is possible to reduce the power consumption of the light source and extend the life of the light source. Further, it is easier to secure the irradiation power at the time of recording as compared with a conventional optical pickup device combining a refraction type objective lens and a hologram lens.
【0040】次に、CDの記録再生の場合について説明
する。効率制御回折格子4に電圧を印加すると、上記し
たように最大41%の1次回折光が発生する。CDの再
生時には、効率制御回折格子4と対物レンズ5の組み合
わせで、収差が最小となるよう効率制御回折格子4の格
子パターンが設計されているため、発生した1次回折光
は対物レンズ5を通過して、CD上に回折限界の集光ス
ポットを形成する。Next, the case of recording and reproducing a CD will be described. When a voltage is applied to the efficiency control diffraction grating 4, as described above, the first-order diffracted light of up to 41% is generated. At the time of reproducing a CD, since the grating pattern of the efficiency control diffraction grating 4 is designed so that aberration is minimized by the combination of the efficiency control diffraction grating 4 and the objective lens 5, the generated first-order diffracted light passes through the objective lens 5. Thus, a diffraction-limited light-converged spot is formed on the CD.
【0041】このようにして、CDあるいはDVD上に
集光された光は、ディスク上のピット列によって回折・
反射される。ディスクからの反射光は、往路とは逆の経
路を辿ってホログラム2に入射し、ここで回折されて光
検出器7へ導かれる。光検出器7によってこの光から再
生信号とサーボ誤差信号が検出される。The light condensed on the CD or DVD in this way is diffracted by the pit train on the disk.
Is reflected. The reflected light from the disk enters the hologram 2 along a path reverse to the outward path, where it is diffracted and guided to the photodetector 7. A reproduction signal and a servo error signal are detected from this light by the photodetector 7.
【0042】以上説明したように効率制御回折格子4を
用いた本実施形態の光ピックアップ装置では、屈折型対
物レンズと回折効率固定のホログラムレンズとを組み合
わせた従来の光ピックアップ装置に比べて、光の利用効
率を上げることができる。具体的には、従来の光ピック
アップ装置における2焦点レンズの光利用効率がDVD
再生時には70%であり、CD再生時には30%である
のに対し、本実施形態の光ピックアップ装置ではDVD
再生時に100%、CD再生時に40%とすることがで
きる。As described above, the optical pickup device of the present embodiment using the efficiency control diffraction grating 4 has a higher optical power than a conventional optical pickup device combining a refraction type objective lens and a hologram lens with fixed diffraction efficiency. Use efficiency can be improved. Specifically, the light use efficiency of the bifocal lens in the conventional optical pickup device is DVD
It is 70% during reproduction and 30% during CD reproduction, whereas the optical pickup device of the present embodiment uses a DVD.
It can be 100% during reproduction and 40% during CD reproduction.
【0043】次に、本発明の光ピックアップ装置の第二
の実施形態を説明する。Next, a second embodiment of the optical pickup device of the present invention will be described.
【0044】図4に本実施形態の光ピックアップ装置2
00の構成を示す。光ピックアップ装置200は、光源
として半導体レーザ1と、コリメータ8と、効率制御回
折格子4と、対物レンズ5と、光検出器7と、光ディス
ク6からの反射光を光検出器7に導くホログラム2と、
により構成される。効率制御回折格子4は、透明の平板
基板上に構成されており、立ち上げミラーとしての役割
を兼ねることができるように光路に対して45゜に傾け
て配置されている。FIG. 4 shows an optical pickup device 2 according to this embodiment.
00 is shown. The optical pickup device 200 includes a semiconductor laser 1 as a light source, a collimator 8, an efficiency control diffraction grating 4, an objective lens 5, a photodetector 7, and a hologram 2 for guiding reflected light from the optical disk 6 to the photodetector 7. When,
It consists of. The efficiency control diffraction grating 4 is formed on a transparent flat substrate, and is disposed at an angle of 45 ° with respect to the optical path so that it can also serve as a rising mirror.
【0045】このように、立ち上げプリズム3を省略し
た点を除けは、本実施形態の光ピックアップ装置200
は、実施形態1の光ピックアップ装置100と類似した
構成を有しており、また、DVD再生時およびCD再生
時においての動作も実施形態1の光ピックアップ装置1
00とほぼ同様である。このため詳細な構成および動作
の説明は省略する。As described above, except that the rising prism 3 is omitted, the optical pickup device 200 of the present embodiment is used.
Has a configuration similar to that of the optical pickup device 100 of the first embodiment, and also operates during DVD playback and CD playback according to the first embodiment.
It is almost the same as 00. Therefore, a detailed description of the configuration and operation is omitted.
【0046】半導体レーザ1から出射した光は、コリメ
ータ8で平行光に変換され、効率制御回折格子4に導か
れる。効率制御回折格子4で回折・反射された光は、立
ち上げられ、対物レンズ5を経て、光ディスク6上に集
光される。The light emitted from the semiconductor laser 1 is converted into parallel light by the collimator 8 and guided to the efficiency control diffraction grating 4. The light diffracted and reflected by the efficiency control diffraction grating 4 rises, passes through the objective lens 5, and is condensed on the optical disk 6.
【0047】このように、本実施形態の光ピックアップ
装置200では、立ち上げプリズムが不要となり、また
立ち上げプリズムと効率制御回折格子との接着工程も不
要となる。このため、生産コストを下げることができ
る。As described above, in the optical pickup device 200 of the present embodiment, a rising prism is not required, and a bonding step between the rising prism and the efficiency control diffraction grating is not required. For this reason, production costs can be reduced.
【0048】次に、本発明の光ピックアップ装置の第三
の実施形態を説明する。Next, a third embodiment of the optical pickup device of the present invention will be described.
【0049】図5に、本実施形態の光ピックアップ装置
300の構成を示す。光ピックアップ装置300は、光
源として半導体レーザ1と、コリメータ8と、偏光ビー
ムスプリッタ13と、1/4波長板14と、効率制御回
折格子4と、対物レンズ5と、光検出器7と、光ディス
ク6からの反射光を検出器7に導くホログラム2と、に
より構成されている。1/4波長板14および効率制御
回折格子4は、偏光ビームスプリッタ13の一面にこの
順序で設けられている。したがって、上記実施形態1お
よび2では、効率制御回折格子4は光軸に対して傾斜し
て配置されていたのに対して、本実施形態では、効率制
御回折格子4は光軸に対して垂直に配置されている。こ
の点を除いては、本実施形態においても効率制御回折格
子4は、上記実施形態1および2と同様に動作する。つ
まり、DVD記録再生時には電圧は印加されず、反射ミ
ラーとして機能する。これに対してCD再生時には、効
率制御回折格子4には、反射型回折格子として機能する
よう、電圧が印加される。FIG. 5 shows the configuration of the optical pickup device 300 of the present embodiment. The optical pickup device 300 includes a semiconductor laser 1 as a light source, a collimator 8, a polarization beam splitter 13, a quarter-wave plate 14, an efficiency control diffraction grating 4, an objective lens 5, a photodetector 7, an optical disc, And a hologram 2 for guiding the reflected light from 6 to a detector 7. The 波長 wavelength plate 14 and the efficiency control diffraction grating 4 are provided on one surface of the polarization beam splitter 13 in this order. Therefore, in the first and second embodiments, the efficiency control diffraction grating 4 is arranged to be inclined with respect to the optical axis, whereas in the present embodiment, the efficiency control diffraction grating 4 is perpendicular to the optical axis. Are located in Except for this point, also in this embodiment, the efficiency control diffraction grating 4 operates in the same manner as in the first and second embodiments. That is, no voltage is applied during DVD recording and reproduction, and the device functions as a reflection mirror. On the other hand, during CD reproduction, a voltage is applied to the efficiency control diffraction grating 4 so as to function as a reflection type diffraction grating.
【0050】また、半導体レーザ1から出射される直線
偏光の偏光方向は、偏光ビームスプリッタ13を全透過
するように設定されている。また、1/4波長板14の
光軸は、その直線偏光が1/4波長板14を通過した後
に円偏光になるように設定されている。The polarization direction of the linearly polarized light emitted from the semiconductor laser 1 is set so as to be completely transmitted through the polarization beam splitter 13. The optical axis of the 1 / wavelength plate 14 is set so that the linearly polarized light becomes circularly polarized light after passing through the 波長 wavelength plate 14.
【0051】このような構成の光ピックアップ装置30
0では、半導体レーザ1から出射された直線偏光は、偏
光ビームスプリッタ13を全透過し、次いで1/4波長
板14を透過して円偏光となって効率制御回折格子4に
導かれる。効率制御回折格子4によって回折・反射され
た円偏光は、再び1/4波長板14を通過して直線偏光
に変えられる。この直線偏光は、半導体レーザ1を出射
した直後の直線偏光と比較して偏光方向が90°回転し
ている。このため、1/4波長板14を通過した光は偏
光ビームスプリッタ13で全反射されて対物レンズ5に
入射し、対物レンズ5によって光ディスク6上に集光さ
れる。The optical pickup device 30 having such a configuration
At 0, the linearly polarized light emitted from the semiconductor laser 1 passes through the polarization beam splitter 13 and then passes through the quarter-wave plate 14 to become circularly polarized light and is guided to the efficiency control diffraction grating 4. The circularly polarized light diffracted and reflected by the efficiency control diffraction grating 4 passes through the quarter-wave plate 14 again and is changed to linearly polarized light. The polarization direction of this linearly polarized light is rotated by 90 ° as compared with the linearly polarized light immediately after emitting the semiconductor laser 1. For this reason, the light that has passed through the 波長 wavelength plate 14 is totally reflected by the polarization beam splitter 13, enters the objective lens 5, and is focused on the optical disk 6 by the objective lens 5.
【0052】本実施形態では、効率制御回折格子4の格
子パターンは同心楕円形状ではなく、同心円形状とな
る。格子パターンを同心円形状にすることによって、効
率制御回折格子の格子パターンの設計が容易となる。In the present embodiment, the grating pattern of the efficiency control diffraction grating 4 is not concentric elliptical but concentric. By making the grating pattern concentric, it becomes easier to design the grating pattern of the efficiency control diffraction grating.
【0053】また、上述したように本実施形態では、効
率制御回折格子4は光軸に対して垂直に配置されている
ので、光は回折格子4に垂直に入射する。このため、効
率制御回折格子4の光入射側の表面上に反射防止膜を設
けることによって、光利用効率をさらに向上させること
ができる。As described above, in the present embodiment, the efficiency control diffraction grating 4 is arranged perpendicular to the optical axis, so that light is incident on the diffraction grating 4 vertically. Therefore, by providing an antireflection film on the surface of the efficiency control diffraction grating 4 on the light incident side, the light use efficiency can be further improved.
【0054】次に、本発明の第四の実施形態の光ピック
アップ装置を説明する。Next, an optical pickup device according to a fourth embodiment of the present invention will be described.
【0055】図6は、第四の実施形態の光ピックアップ
装置400の構成および動作を示す図であり、(a)は
DVD記録再生時を、(b)はCD再生時を示してい
る。FIGS. 6A and 6B are diagrams showing the configuration and operation of the optical pickup device 400 according to the fourth embodiment, wherein FIG. 6A shows the time of DVD recording and reproduction, and FIG. 6B shows the time of CD reproduction.
【0056】光ピックアップ装置400は、光源として
半導体レーザ1と、サブビームを生成するための第一効
率制御回折格子15と、立ち上げプリズム3と、立ち上
げプリズム3の傾斜面に接着固定された第二効率制御回
折格子4と、対物レンズ5と、光検出器7と、光ディス
ク6からの反射光を光検出器7へ導くホログラム2と、
により構成される。このように、光ピックアップ装置4
00は、第一効率制御回折格子15が加わっている点を
除けば、上記実施形態1の光ピックアップ装置100に
類似した構成を有している。したがって、光ピックアッ
プ装置400の構成および動作についての説明は省略す
る。The optical pickup device 400 has a semiconductor laser 1 as a light source, a first efficiency control diffraction grating 15 for generating a sub-beam, a rising prism 3, and a second prism fixed to an inclined surface of the rising prism 3. A two-efficiency control diffraction grating 4, an objective lens 5, a photodetector 7, and a hologram 2 for guiding reflected light from the optical disk 6 to the photodetector 7,
It consists of. Thus, the optical pickup device 4
00 has a configuration similar to that of the optical pickup device 100 of the first embodiment except that the first efficiency control diffraction grating 15 is added. Therefore, description of the configuration and operation of the optical pickup device 400 will be omitted.
【0057】第一効率制御回折格子15は、半導体レー
ザ1から出射された1本のビームを分割してメインビー
ムおよびサブビームを形成するグレーティングとして機
能する。この効率制御回折格子15は、効率制御回折格
子4と同様に、印加電圧を制御することによって回折効
率を変えることができ、それによりサブビームの光量を
調整する。The first efficiency control diffraction grating 15 functions as a grating that splits one beam emitted from the semiconductor laser 1 to form a main beam and a sub beam. Like the efficiency control diffraction grating 4, the efficiency control diffraction grating 15 can change the diffraction efficiency by controlling the applied voltage, thereby adjusting the light amount of the sub beam.
【0058】このような構成の光ピックアップ装置40
0において、半導体レーザ1から出射された光は、第一
効率制御回折格子15で反射され、ホログラム2を通過
して、立ち上げプリズム3に入射する。立ち上げプリズ
ム3を通過した光は第二効率制御回折格子4に入射し、
ここで反射・回折される。第二効率制御回折格子4で回
折・反射された光は、立ち上げられ、対物レンズ5を経
て光ディスク6上に集光される。光ディスク6で反射さ
れた光は、対物レンズ5および第二効率制御回折格子4
を経て、ホログラム2に入射し、ここで回折されて光検
出器7へ導かれる。光検出器7は、受け取った光に応じ
て電気信号を発生する。The optical pickup device 40 having the above configuration
At 0, the light emitted from the semiconductor laser 1 is reflected by the first efficiency control diffraction grating 15, passes through the hologram 2, and enters the rising prism 3. The light that has passed through the rising prism 3 enters the second efficiency control diffraction grating 4,
Here, it is reflected and diffracted. The light diffracted and reflected by the second efficiency control diffraction grating 4 rises and is focused on the optical disk 6 via the objective lens 5. The light reflected by the optical disk 6 is transmitted to the objective lens 5 and the second efficiency control diffraction grating 4.
Passes through the hologram 2, where it is diffracted and guided to the photodetector 7. The light detector 7 generates an electric signal according to the received light.
【0059】光ピックアップ装置400は、DVD再生
時には位相差検出法によってラジアル誤差信号を検出
し、CD再生時には3ビーム法によってラジアル誤差信
号を検出する。したがって、第一効率制御回折格子15
への印加電圧は、DVD再生時には0とされ、回折光を
生じない。このため、DVD再生時には第一効率制御素
子15は反射ミラーとして機能し、光の損失をきわめて
少なく抑えることができる。また、第二効率制御回折格
子4への印加電圧も、上記実施形態1から3と同様に、
DVD再生時には0とされ、第二効率制御回折格子4も
またDVD再生時には反射ミラーとして機能する。The optical pickup device 400 detects a radial error signal by a phase difference detection method at the time of reproducing a DVD, and detects a radial error signal by a three-beam method at the time of reproducing a CD. Therefore, the first efficiency control diffraction grating 15
The voltage applied to is set to 0 at the time of DVD reproduction, and no diffracted light is generated. For this reason, at the time of DVD reproduction, the first efficiency control element 15 functions as a reflection mirror, and the loss of light can be extremely reduced. Further, the voltage applied to the second efficiency control diffraction grating 4 is also the same as in the first to third embodiments.
It is set to 0 during DVD playback, and the second efficiency control diffraction grating 4 also functions as a reflection mirror during DVD playback.
【0060】一方、CD再生時は、図6(b)に示すよ
うに、第一効率制御回折格子15に電圧を印加して回折
光を生じさせる。このうちの2本(例えば±1次回折
光)がラジアル信号検出用のサブビームとして用いら
れ、0次回折光が信号読みとり用のメインビームとして
用いられる。これら3本のビームは、ホログラム素子2
を通過して、立ち上げミラー3を経て第二効率制御回折
格子4に入射する。第二効率制御回折格子4には、上記
実施形態1と同様に、反射型回折格子として機能するよ
うに電圧が印加されている。このため、第二効率制御回
折格子4に入射した3本のビームはそれぞれ回折・反射
され、対物レンズ5によってCD面上に集光される。第
二効率制御回折格子4の格子パターンは、上記実施形態
1でも述べたように、対物レンズ5と第二効率制御回折
格子4との組み合わせで収差が最小となるように設計さ
れている。このためCDの記録面上には回折限界の集光
スポットが形成される。On the other hand, when reproducing a CD, as shown in FIG. 6B, a voltage is applied to the first efficiency control diffraction grating 15 to generate diffracted light. Two of them (for example, ± 1st-order diffracted light) are used as sub-beams for radial signal detection, and the 0th-order diffracted light is used as a main beam for signal reading. These three beams are used by the hologram element 2
Pass through the rising mirror 3 and enter the second efficiency control diffraction grating 4. As in the first embodiment, a voltage is applied to the second efficiency control diffraction grating 4 so as to function as a reflection type diffraction grating. Therefore, the three beams incident on the second efficiency control diffraction grating 4 are diffracted and reflected, respectively, and condensed on the CD surface by the objective lens 5. As described in the first embodiment, the grating pattern of the second efficiency control diffraction grating 4 is designed so that aberration is minimized by the combination of the objective lens 5 and the second efficiency control diffraction grating 4. For this reason, a diffraction-limited condensed spot is formed on the recording surface of the CD.
【0061】CDによって反射された3本のビームは、
往路とは逆の経路をたどってホログラム2に達し、ここ
で回折されて光検出器7に導かれる。光検出器7は、2
本のサブビームの光量の差からラジアル誤差信号を検出
し、メインビームから再生信号を検出する。The three beams reflected by the CD are:
The hologram 2 arrives at the hologram 2 by following a path reverse to the outward path, where it is diffracted and guided to the photodetector 7. The photodetector 7 has 2
A radial error signal is detected from a difference between the light amounts of the sub beams, and a reproduction signal is detected from the main beam.
【0062】以上説明したように、本実施形態の光ピッ
クアップ装置400では、3ビーム形成用グレーティン
グの回折効率を変化させることができる。このため、D
VD再生時の光利用効率を低下させることなく、CD再
生時に3ビーム法を用いたトラッキング制御を行い、D
VD再生時には位相差検出法を用いたトラッキング制御
を行うことができる。As described above, in the optical pickup device 400 of this embodiment, the diffraction efficiency of the three-beam forming grating can be changed. For this reason, D
The tracking control using the three-beam method is performed during CD reproduction without lowering the light use efficiency during VD reproduction,
At the time of VD reproduction, tracking control using the phase difference detection method can be performed.
【0063】次に、本発明の効率制御回折格子の作製法
を、図7を参照しながら説明する。Next, a method of manufacturing the efficiency control diffraction grating of the present invention will be described with reference to FIG.
【0064】まず、図7(a)に示すように、透明なガ
ラス基板21に、第一電極22として用いられる透明導
電膜を形成する。透明導電膜の材料としては、ITOが
よく知られている。続いて第一電極22の上に、グレー
ティング層23として用いられる金属層を形成する。上
述したように本発明の効率制御回折格子は反射型回折格
子として機能するため、この金属層の材料としてはアル
ミニウム、金等の反射率の高い材料を用いる。さらに、
金属層上に、金属層のエッチングに用いるマスクを作製
するためのレジスト27を塗布する。First, as shown in FIG. 7A, a transparent conductive film used as the first electrode 22 is formed on a transparent glass substrate 21. ITO is well known as a material for the transparent conductive film. Subsequently, a metal layer used as the grating layer 23 is formed on the first electrode 22. As described above, since the efficiency control diffraction grating of the present invention functions as a reflection type diffraction grating, a material having a high reflectance such as aluminum or gold is used as a material of the metal layer. further,
A resist 27 for forming a mask used for etching the metal layer is applied on the metal layer.
【0065】次に、図7(b)に示すように、レジスト
27に対して露光、現像を行い、エッチングに用いるマ
スクを形成する。Next, as shown in FIG. 7B, the resist 27 is exposed and developed to form a mask used for etching.
【0066】次に、図7(c)に示すように、金属層を
エッチングしてマスクパターンをグレーティング層23
に転写する。その後、リムーバでレジスト27を除去す
る。Next, as shown in FIG. 7C, the metal layer is etched to form a mask pattern on the grating layer 23.
Transfer to After that, the resist 27 is removed with a remover.
【0067】グレーティング層23の上には、図7
(d)に示すように、絶縁層24を形成する。絶縁層2
4の材料としては、SiO2等を用いることができる。
さらに、絶縁層24の上にポスト層25を成膜する。ポ
スト層25は、この後で一部エッチングで除去しなけれ
ばならないため、絶縁層24に対し選択エッチング可能
な材料を用いる。材料としては、Si3N4等がある。絶
縁層24、ポスト層25の層厚は、それぞれ上記で規定
された値に設定する。例えば光源波長が650nmであ
れば、絶縁層厚を488nm、ポスト層を557nmに
すればよい。On the grating layer 23, FIG.
As shown in (d), an insulating layer 24 is formed. Insulating layer 2
As the material of No. 4, SiO 2 or the like can be used.
Further, a post layer 25 is formed on the insulating layer 24. Since the post layer 25 has to be partially removed later by etching, a material which can be selectively etched with respect to the insulating layer 24 is used. Examples of the material include Si 3 N 4 . The thicknesses of the insulating layer 24 and the post layer 25 are set to the values specified above, respectively. For example, if the light source wavelength is 650 nm, the thickness of the insulating layer may be 488 nm, and the thickness of the post layer may be 557 nm.
【0068】次に、図7(e)に示すように、ポスト層
25の中央部を除去する。これは、例えば周辺部をレジ
ストでマスクし、格子パターンの刻まれている中央部
を、熱リン酸でウェットエッチングすることによって行
われる。Next, as shown in FIG. 7E, the central part of the post layer 25 is removed. This is performed by, for example, masking the peripheral portion with a resist and wet-etching the central portion where the lattice pattern is cut with hot phosphoric acid.
【0069】次に、図7(f)に示すように、ポスト層
25がエッチングされた部分に犠牲層28を充填する。
犠牲層28には、絶縁層24およびポスト層25に対し
て選択エッチング可能な材料を用いる。材料としては、
SOGや、レジスト、アルミニウム等がある。次いで、
犠牲層28を充填した状態で表面を化学機械研磨して、
平滑にし、犠牲層28の上面をポスト層25の上面に合
わせる。Next, as shown in FIG. 7F, the portion where the post layer 25 has been etched is filled with a sacrificial layer 28.
For the sacrificial layer 28, a material that can be selectively etched with respect to the insulating layer 24 and the post layer 25 is used. As a material,
Examples include SOG, resist, and aluminum. Then
The surface is chemically and mechanically polished with the sacrifice layer 28 being filled,
The surface is smoothed, and the upper surface of the sacrificial layer 28 is aligned with the upper surface of the post layer 25.
【0070】次に、図7(g)に示すように、犠牲層2
8およびポスト層25の上に反射ミラーとしても機能す
る第二電極26を形成する。第二電極26には、後で行
われる犠牲層のエッチングに対して耐性のある金属材料
を用いる。材料としては、ニッケル等がある。ニッケル
第二電極の膜厚は、ポスト層厚が500nm程度であれ
ば8μm程度にする。それにより、数Vの印加電圧で5
00nm程度変位させることができる。Next, as shown in FIG.
A second electrode 26 that also functions as a reflection mirror is formed on the post layer 8 and the post layer 25. For the second electrode 26, a metal material having resistance to etching of the sacrificial layer performed later is used. As a material, there is nickel or the like. The thickness of the nickel second electrode is about 8 μm if the post layer thickness is about 500 nm. As a result, with an applied voltage of several volts, 5
It can be displaced by about 00 nm.
【0071】最後に、図7(h)に示すように、犠牲層
28を除去する。第二電極26の周縁部の不要な部分に
穴を開け、第二電極26の下の犠牲層28をウェットエ
ッチングにより除去する。エッチャントは、犠牲層28
の材料が、SOGならKOHを、レジストなら有機溶媒
を、アルミニウムならアルカリ溶液を用いる。Finally, as shown in FIG. 7H, the sacrificial layer 28 is removed. A hole is made in an unnecessary portion of the peripheral portion of the second electrode 26, and the sacrificial layer 28 below the second electrode 26 is removed by wet etching. The etchant is the sacrificial layer 28
Is KOH for SOG, an organic solvent for resist, and an alkaline solution for aluminum.
【0072】なお、以上説明した効率制御回折格子の作
製方法において、各層の形成は、スパッタ、CVD、蒸
着、メッキ等の方法を材料に応じて使い分けて行われ
る。In the above-described method of manufacturing the efficiency control diffraction grating, each layer is formed by using a method such as sputtering, CVD, vapor deposition, and plating depending on the material.
【0073】続いて、本発明の第五の実施形態の効率制
御回折格子を説明する。Next, an efficiency control diffraction grating according to a fifth embodiment of the present invention will be described.
【0074】図8に、本実施形態の効率制御回折格子2
0の断面構成を示す。この効率制御回折格子20は、透
明基板21上に第一電極22、グレーティング層23、
絶縁層24、反射防止膜29、ポスト層25、第二電極
26を順に重ねて構成されており、さらに透明基板21
の光が入射する側の面にも反射防止膜30が設けられて
いる。効率制御回折格子20の作成方法は、図7を参照
しながら説明した効率制御回折格子の作製方法における
各層の形成工程とほぼ同様であるが、絶縁層24を形成
後に、ポスト層25の形成に先立って反射防止膜29が
形成される点、および透明基板21の反射型回折格子が
形成される側の表面とは逆の表面上に反射防止膜30が
形成される点が異なっている。FIG. 8 shows the efficiency control diffraction grating 2 of this embodiment.
0 shows a cross-sectional configuration. The efficiency control diffraction grating 20 includes a first electrode 22, a grating layer 23,
An insulating layer 24, an antireflection film 29, a post layer 25, and a second electrode 26 are sequentially stacked on each other.
The antireflection film 30 is also provided on the surface on the side where the light is incident. The method of forming the efficiency control diffraction grating 20 is substantially the same as the step of forming each layer in the method of manufacturing the efficiency control diffraction grating described with reference to FIG. The difference is that the anti-reflection film 29 is formed beforehand, and that the anti-reflection film 30 is formed on the surface of the transparent substrate 21 opposite to the surface on which the reflection type diffraction grating is formed.
【0075】反射防止膜29および30を設けることに
より、絶縁層24と空気との境界面や透明基板21と空
気との境界面で生じる反射を減らすことができる。特
に、効率制御回折格子に対して垂直に光が入射する場合
に、より光利用効率を向上させることができる。The provision of the antireflection films 29 and 30 can reduce reflections occurring at the interface between the insulating layer 24 and air or at the interface between the transparent substrate 21 and air. In particular, when light is incident perpendicularly on the efficiency control diffraction grating, the light use efficiency can be further improved.
【0076】[0076]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の効率制御
回折格子によれば、様々な格子パターンの回折格子を形
成できるため、グレーティングレンズのようなものも作
製可能である。また従来は、細い梁を2点で支持し駆動
していたため、耐久性に問題があったが、本発明は反射
ミラー全体を駆動し、その周囲を支持する構造であるの
で、耐久性に優れる。As described above, according to the efficiency control diffraction grating of the present invention, since diffraction gratings having various grating patterns can be formed, a grating lens or the like can be manufactured. In the past, there was a problem in durability because the thin beam was supported and driven at two points, but the present invention is excellent in durability because it is a structure that drives the entire reflecting mirror and supports the periphery thereof. .
【0077】また本発明の効率制御回折格子を用いるこ
とにより、2種類の異なる厚みの光ディスクの記録再生
を行うことができる。効率制御回折格子への印加電圧を
制御することにより、CDあるいはDVDに対し、回折
限界まで集光させることができ、効率固定のホログラム
レンズを利用する場合に比べて、光利用効率を高くする
ことができる。Further, by using the efficiency control diffraction grating of the present invention, it is possible to perform recording and reproduction of two types of optical disks having different thicknesses. Efficiency control By controlling the voltage applied to the diffraction grating, it is possible to condense the light to the diffraction limit on a CD or DVD, and to increase the light use efficiency as compared with the case where a fixed efficiency hologram lens is used. Can be.
【0078】また本発明の効率制御回折格子を用いるこ
とにより、3ビームトラッキング制御と1ビームトラッ
キング制御を併用する光ピックアップ装置の光利用効率
を向上させることができる。Further, by using the efficiency control diffraction grating of the present invention, it is possible to improve the light use efficiency of the optical pickup device using both the three-beam tracking control and the one-beam tracking control.
【図1】 本発明の一実施形態における光ピックアップ
装置の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an optical pickup device according to an embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の効率制御回折格子の構造を示す図で
あり、(a)は電極間に電圧を印加しない状態の断面図
であり、(b)は電極間に電圧を印加した状態を示す断
面図であり、(c)は回折格子パターンを正面から見た
図である。2A and 2B are diagrams illustrating a structure of an efficiency control diffraction grating according to the present invention, in which FIG. 2A is a cross-sectional view in a state where no voltage is applied between electrodes, and FIG. It is a sectional view showing, and (c) is the figure which looked at the diffraction grating pattern from the front.
【図3】 図1の光ピックアップ装置の動作を示す図で
あり、(a)は効率制御回折格子に電圧を印加しない状
態を示しており、(b)は効率制御回折格子に電圧を印
加した状態を示している。3A and 3B are diagrams showing an operation of the optical pickup device of FIG. 1, wherein FIG. 3A shows a state in which no voltage is applied to the efficiency control diffraction grating, and FIG. 3B shows a state in which a voltage is applied to the efficiency control diffraction grating. The state is shown.
【図4】 本発明の他の実施形態における光ピックアッ
プ装置の構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration of an optical pickup device according to another embodiment of the present invention.
【図5】 本発明のさらに他の実施形態における光ピッ
クアップ装置の構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an optical pickup device according to still another embodiment of the present invention.
【図6】 本発明のさらに他の実施形態における光ピッ
クアップ装置の構成および動作を示す図であり、(a)
はDVD再生時、(b)はCD再生時の光ピックアップ
装置の動作を示している。FIG. 6 is a diagram showing the configuration and operation of an optical pickup device according to still another embodiment of the present invention, and (a).
Shows the operation of the optical pickup device at the time of reproducing a DVD, and (b) shows the operation of the optical pickup device at the time of reproducing a CD.
【図7】 本発明の効率制御回折格子の製造工程を示す
断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the efficiency control diffraction grating of the present invention.
【図8】 本発明のさらに他の実施形態における効率制
御回折格子の断面図である。FIG. 8 is a sectional view of an efficiency control diffraction grating according to still another embodiment of the present invention.
【図9】 従来の効率制御回折格子の動作を説明する図
である。FIG. 9 is a diagram illustrating the operation of a conventional efficiency control diffraction grating.
【図10】 厚みの異なる2種類の光ディスクを再生す
る従来の光ピックアップ装置の主要部の構成を示す図で
ある。FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a main part of a conventional optical pickup device for reproducing two types of optical disks having different thicknesses.
【図11】 位相差検出トラッキング制御方法を説明す
る図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a phase difference detection tracking control method.
1 半導体レーザ 2 ホログラム 3 立ち上げプリズム 4 効率制御回折格子 5 対物レンズ 6 光ディスク 7 光検出器 8 コリメータ 13 偏光ビームスプリッタ 14 1/4波長板 15 3ビーム生成用効率制御回折格子 21 透明基板 22 第一電極 23 グレーティング層 24 絶縁層 25 ポスト層 26 第二電極 27 レジスト 28 犠牲層 29、30 反射防止膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor laser 2 Hologram 3 Rising prism 4 Efficiency control diffraction grating 5 Objective lens 6 Optical disk 7 Photodetector 8 Collimator 13 Polarization beam splitter 14 Quarter wave plate 15 3 Beam generation efficiency control diffraction grating 21 Transparent substrate 22 First Electrode 23 Grating layer 24 Insulating layer 25 Post layer 26 Second electrode 27 Resist 28 Sacrificial layer 29, 30 Antireflection film
Claims (10)
過部とで構成されるグレーティング層と、 該グレーティング層上に形成された絶縁層と、 該絶縁層上の一部に形成されたポスト層と、 該ポスト層に支持されるように設けられており、反射ミ
ラーとしても機能する第二電極と、を備えており、 該第一電極と該第二電極との間に印加する電圧を調整す
ることによって該グレーティング層と該第二電極との間
の距離を変化させ、それにより該透明基板を通って入射
した光の回折効率を制御する、効率制御回折格子。1. A grating layer comprising a transparent substrate, a transparent first electrode formed on the transparent substrate, and alternately arranged reflecting portions and transmitting portions formed on the first electrode. An insulating layer formed on the grating layer; a post layer formed on a part of the insulating layer; a post layer provided so as to be supported by the post layer, and functioning as a reflection mirror. Adjusting the voltage applied between the first electrode and the second electrode to change the distance between the grating layer and the second electrode, thereby changing the distance between the grating layer and the second electrode. An efficiency control diffraction grating that controls the diffraction efficiency of light incident through a transparent substrate.
記絶縁層の屈折率をnとするとき、該絶縁層の厚さd1
および前記ポスト層の厚さd2は、それぞれ、λ0/4
n、λ0/4の奇数倍で表される、請求項1に記載の効
率制御回折格子。2. When the wavelength of the light in air is λ 0 and the refractive index of the insulating layer is n, the thickness d1 of the insulating layer
And the thickness d2 of the post layer, respectively, lambda 0/4
n, represented by an odd multiple of λ 0/4, efficiency control diffraction grating according to claim 1.
の前記光が入射する側の表面上および前記絶縁層上の少
なくとも一方に形成された反射防止膜をさらに備えてい
る、請求項1または2に記載の効率制御回折格子。3. The efficiency control diffraction grating further comprises an antireflection film formed on at least one of a surface of the transparent substrate on which the light is incident and the insulating layer. 3. The efficiency control diffraction grating according to 2.
楕円形状、もしくは同心円形状であり、それにより前記
効率制御回折格子がグレーティングレンズとして機能す
る、請求項1から3のいずれか1つに記載の効率制御回
折格子。4. The efficiency control according to claim 1, wherein the pattern of the grating layer has a concentric elliptical shape or a concentric circular shape, whereby the efficiency control diffraction grating functions as a grating lens. Diffraction grating.
と、 該光ディスクによって反射された該光を受け取り、電気
信号に変換する光検出器と、を備えている光ピックアッ
プ装置であって、 該集光光学系の光路上に設けられた請求項1から4のい
ずれか1つに記載の効率制御回折格子をさらに備えてい
る、光ピックアップ装置。5. A light source, a light condensing optical system for condensing light from the light source on an optical disc, and a photodetector for receiving the light reflected by the optical disc and converting the light into an electric signal. An optical pickup device, further comprising the efficiency control diffraction grating according to any one of claims 1 to 4 provided on an optical path of the condensing optical system.
状態の光のみを透過する偏光ビームスプリッタと、該偏
光ビームスプリッタと前記効率制御回折格子との間の前
記光の光路中に配置された1/4波長板と、をさらに備
えており、 該光は、該偏光ビームスプリッタを透過して、該1/4
波長板を通過して該効率制御回折格子に入射し、該効率
制御回折格子によって反射されて該1/4波長板を再び
通過して該偏光ビームスプリッタに入射し、該偏光ビー
ムスプリッタによって反射されることによって前記集光
光学系に導かれる、請求項5に記載の光ピックアップ装
置。6. An optical pickup device, comprising: a polarizing beam splitter that transmits only light of a predetermined polarization state; and an optical pickup device disposed in an optical path of the light between the polarizing beam splitter and the efficiency control diffraction grating. And a 波長 wavelength plate, wherein the light passes through the polarizing beam splitter and
Passing through the wave plate and entering the efficiency control grating, being reflected by the efficiency control grating and passing through the quarter wave plate again to enter the polarizing beam splitter and reflected by the polarizing beam splitter. The optical pickup device according to claim 5, wherein the optical pickup device is guided to the condensing optical system by performing the operation.
との組み合わせは、焦点を2つ有する光学系を構成して
おり、該効率制御回折格子で発生する0次回折光は、異
なる厚みを有する2種類の光ディスクのうちの一方の情
報面上に集光し、1次回折光は該2種類の光ディスクの
他方の情報面上に集光する、請求項5または6に記載の
光ピックアップ装置。7. The combination of the condensing optical system and the efficiency control diffraction grating constitutes an optical system having two focal points, and the 0th-order diffracted light generated by the efficiency control diffraction grating has different thicknesses. 7. The optical pickup device according to claim 5, wherein the optical pickup device converges on one information surface of the two types of optical disks and the first-order diffracted light converges on the other information surface of the two types of optical disks.
前記第二電極との間に印加される電圧は、光ディスク上
に集光すべき回折光の回折効率が最大となるように制御
され、それにより光利用効率を最大にする、請求項7に
記載の光ピックアップ装置。8. The voltage applied between the first electrode and the second electrode of the efficiency control diffraction grating is controlled such that the diffraction efficiency of the diffracted light to be focused on the optical disk is maximized. The optical pickup device according to claim 7, wherein the light use efficiency is maximized.
らの光を複数の光に分割するための、回折効率が可変で
ある回折格子をさらに備えている、請求項5から8のい
ずれか1つに記載の光ピックアップ装置。9. The optical pickup device according to claim 5, further comprising a diffraction grating having a variable diffraction efficiency for dividing light from the light source into a plurality of lights. An optical pickup device according to item 1.
と、 該複数の光ビームを光ディスクに集光させる集光光学系
と、 該光ディスクによって反射された該複数の光ビームを受
け取り、電気信号に変換する光検出器と、を備えている
光ピックアップ装置であって、 該素子は、請求項1から4のいずれか1つに記載の効率
制御回折格子である、光ピックアップ装置。10. A light source, an element for dividing a light beam from the light source into a plurality of light beams, a condensing optical system for condensing the plurality of light beams on an optical disk, and the plurality of light beams reflected by the optical disk And a photodetector that receives the light beam and converts the light beam into an electric signal, wherein the element is the efficiency control diffraction grating according to any one of claims 1 to 4. , Optical pickup device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9124521A JPH10320811A (en) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction grating |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9124521A JPH10320811A (en) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction grating |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10320811A true JPH10320811A (en) | 1998-12-04 |
Family
ID=14887551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9124521A Withdrawn JPH10320811A (en) | 1997-05-14 | 1997-05-14 | Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction grating |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10320811A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100373982B1 (en) * | 2000-09-01 | 2003-02-26 | 삼성전기주식회사 | Dynamic Control Diffraction Grating and Information Read/Write Apparatus and Information Read Apparatus |
WO2003049096A1 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-12 | Sony Corporation | Optical recording medium driving device |
WO2003056552A1 (en) * | 2001-12-27 | 2003-07-10 | Sony Corporation | Optical head, optical recording medium recording and/or reproducing apparatus and recording and/or reproducing method using the optical head |
JP2005353207A (en) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Ricoh Co Ltd | Polarizing hologram element, optical pickup device, and manufacturing method for them |
EP1923878A1 (en) | 2006-11-16 | 2008-05-21 | Funai Electric Co., Ltd. | Optical pickup device |
-
1997
- 1997-05-14 JP JP9124521A patent/JPH10320811A/en not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100373982B1 (en) * | 2000-09-01 | 2003-02-26 | 삼성전기주식회사 | Dynamic Control Diffraction Grating and Information Read/Write Apparatus and Information Read Apparatus |
WO2003049096A1 (en) * | 2001-12-04 | 2003-06-12 | Sony Corporation | Optical recording medium driving device |
US7564767B2 (en) | 2001-12-04 | 2009-07-21 | Sony Corporation | Optical recording medium driving device |
KR100910988B1 (en) * | 2001-12-04 | 2009-08-05 | 소니 가부시끼 가이샤 | Optical recording medium driving device and driving method |
WO2003056552A1 (en) * | 2001-12-27 | 2003-07-10 | Sony Corporation | Optical head, optical recording medium recording and/or reproducing apparatus and recording and/or reproducing method using the optical head |
CN100385532C (en) * | 2001-12-27 | 2008-04-30 | 索尼株式会社 | Optical head, optical recording medium recording and/or reproducing apparatus and recording and/or reproducing method using the optical head |
US7619959B2 (en) | 2001-12-27 | 2009-11-17 | Sony Corporation | Optical head, optical recording medium recording and/or reproducing apparatus and recording and/or reproducing method using the optical head |
KR100943223B1 (en) * | 2001-12-27 | 2010-02-18 | 소니 주식회사 | Optical head, optical recording medium driving apparatus using the optical head |
JP2005353207A (en) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Ricoh Co Ltd | Polarizing hologram element, optical pickup device, and manufacturing method for them |
EP1923878A1 (en) | 2006-11-16 | 2008-05-21 | Funai Electric Co., Ltd. | Optical pickup device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6947213B2 (en) | Diffractive optical element that polarizes light and an optical pickup using the same | |
JP3832243B2 (en) | Polarizing diffraction grating and magneto-optical head using the same | |
EP1109164B1 (en) | Optical head apparatus for different types of disks | |
JPH0651112A (en) | Duplex diffraction grating beam splitter | |
JPH06139612A (en) | Optical head and manufacture thereof | |
JP2800156B2 (en) | Optical head device | |
JP3521770B2 (en) | Optical head and optical disk device | |
US20060250933A1 (en) | Optical diffraction device and optical information processing device | |
JPH10134404A (en) | Optical pickup and optical element used for the same | |
JP2001084637A (en) | Single objective lens optical pickup head | |
JPH10320811A (en) | Efficiency controlled diffraction grating and optical pickup having the diffraction grating | |
JP3208297B2 (en) | Optical pickup | |
JPH09161307A (en) | Optical head and optical information reproducing device | |
JP4376578B2 (en) | Optical head for optical recording / reproducing apparatus | |
JPH11238238A (en) | Optical head and optical disk device | |
JPH0746439B2 (en) | Optical head device | |
KR0176898B1 (en) | Optic-pick-up device using cd/dvd | |
JPH1040570A (en) | Light amount modulation element and optical pickup apparatus | |
JP2002373448A (en) | Optical disk device and manufacturing method of optical element of the same | |
JP2000348366A (en) | Optical head device | |
KR19990049998A (en) | Light Control LCD Dual Focus Optical Pickup Device | |
JP2594421B2 (en) | Optical head device | |
US20030043724A1 (en) | Optical pickup apparatus having beam splitter on which hologram is formed and method of compensating for deviation between optical axes using the optical pickup apparatus | |
JP2002170272A (en) | Optical head device | |
JPH09153228A (en) | Optical pickup device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040803 |