JPH10313146A - Wavelength variable light source device - Google Patents

Wavelength variable light source device

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Publication number
JPH10313146A
JPH10313146A JP12415297A JP12415297A JPH10313146A JP H10313146 A JPH10313146 A JP H10313146A JP 12415297 A JP12415297 A JP 12415297A JP 12415297 A JP12415297 A JP 12415297A JP H10313146 A JPH10313146 A JP H10313146A
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JP
Japan
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light
intensity
light source
variable wavelength
wavelength
Prior art date
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Pending
Application number
JP12415297A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Tanimoto
隆生 谷本
Hiroaki Endo
弘明 遠藤
Hiroaki Odachime
寛明 大立目
Yasuaki Nagashima
靖明 長島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP12415297A priority Critical patent/JPH10313146A/en
Publication of JPH10313146A publication Critical patent/JPH10313146A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a wavelength variable light source device which is capable of outputting a laser beam that is kept constant in laser ray intensity over a wide range of wavelength. SOLUTION: A wavelength variable light source 1 capable of outputting laser rays is provided, a branch plate 3 which branches incident light into output light and reference light at a prescribed branching ratio corresponding to the polarization angle of the incident light, and a polarizing plate 2a which transmits only the certain polarized light component of laser rays that is obtained in the prescribed branching ratio through the branch plate 3 is provided onto an optical path between the wavelength variable light source 1 and the branch plate 3. A photodetector 4 detects reference light sent from the branch plate 3 and outputs detection signals corresponding to the intensity of the branched light. A control circuit 5 controls laser rays, outputted from the wavelength variable light source 1 in intensity, corresponding to a change in detection signals outputted from the photodetector 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光の波長を
可変できる可変波長光源装置に関し、特に、そのレーザ
光の出力強度をより安定に、また広い波長範囲にわたっ
て一定のレベルで出力させるための可変波長光源装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable wavelength light source device capable of changing the wavelength of laser light, and more particularly to a laser light source for stably outputting the laser light at a constant level over a wide wavelength range. The present invention relates to a variable wavelength light source device.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に可変波長光源装置の光源として使
用される可変波長光源は、半導体レーザ素子が発振可能
な多数のモードの一つを波長選択部によって選択して出
力するように構成されている。そして、この種の可変波
長光源としては、半導体レーザ素子と波長選択部とが別
体に構成された外部共振型のものと、半導体レーザ素子
と波長選択部とが一体に形成されたものとがある。
2. Description of the Related Art A variable wavelength light source generally used as a light source of a variable wavelength light source device is configured so that one of a number of modes in which a semiconductor laser element can oscillate is selected by a wavelength selector and output. . As this kind of variable wavelength light source, there are an external resonance type in which the semiconductor laser element and the wavelength selection section are separately formed, and a type in which the semiconductor laser element and the wavelength selection section are integrally formed. is there.

【0003】図9は外部共振型の可変波長光源の構成を
示している。この可変波長光源は、電源供給を受けてレ
ーザ光を発生する半導体レーザ素子21と、半導体レー
ザ素子21の一端側の無反射コートから出力されるレー
ザ光の所定波長のみを半導体レーザ素子21へ戻す波長
選択部22より構成されている。この波長選択部22が
回折格子によって構成されている場合には、回折格子を
回転させることにより、発振するレーザ光の波長を可変
できる。
FIG. 9 shows a configuration of an external resonance type variable wavelength light source. This tunable wavelength light source returns to the semiconductor laser element 21 only a predetermined wavelength of the laser light output from the semiconductor laser element 21 which receives the power supply and generates laser light, and the laser light output from the non-reflection coat on one end of the semiconductor laser element 21. It comprises a wavelength selector 22. When the wavelength selection unit 22 is configured by a diffraction grating, the wavelength of the oscillating laser light can be varied by rotating the diffraction grating.

【0004】この種の可変波長光源の波長に対する出力
光の強度は、波長の変化に伴ってその出力強度が変化
し、周囲の温度変化等によっても出力光の強度が変動す
る。
The intensity of output light with respect to the wavelength of a variable wavelength light source of this type changes with the change of the wavelength, and the intensity of the output light also changes due to a change in ambient temperature or the like.

【0005】そこで、上記問題を解消するため、本件出
願人は、特開平8−172233号公報に開示されレー
ザ光の波長が可変可能な可変波長光源装置を既に出願し
ている。
In order to solve the above problem, the present applicant has already filed an application for a variable wavelength light source device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-172233 in which the wavelength of laser light can be varied.

【0006】この可変波長光源装置の一構成例を図10
に基づいて説明すると、可変波長光源装置は、可変波長
光源31に対する波長λの設定と制御回路32に対する
設定値Sの出力とを波長/強度設定器33により行い、
可変波長光源31から出力されるレーザ光の強度を光減
衰器や光増幅器等の強度可変手段34で可変し、この可
変されたレーザ光の一部を分岐手段35で分岐し、この
分岐された光を受光器36により受光する。そして、制
御回路32は、受光器36の受光信号の変化に基づいて
レーザ光の強度を一定に制御している。レーザ光の強度
を制御するにあたっては、予め各波長にてレーザ光の強
度が一定となる受信信号レベルを波長強度特性記憶器3
7に記憶しておき、レーザ光出力時にその波長の受信信
号レベルになるようにレーザ光の強度を制御している。
FIG. 10 shows an example of the configuration of this variable wavelength light source device.
The variable wavelength light source device performs setting of the wavelength λ for the variable wavelength light source 31 and output of the setting value S for the control circuit 32 by the wavelength / intensity setting device 33,
The intensity of the laser light output from the variable wavelength light source 31 is varied by an intensity varying means 34 such as an optical attenuator or an optical amplifier, and a part of the varied laser light is branched by a branching means 35, and the branched laser light is branched. Light is received by the light receiver 36. Then, the control circuit 32 controls the intensity of the laser beam to be constant based on a change in the light receiving signal of the light receiver 36. Before controlling the intensity of the laser light, the received signal level at which the intensity of the laser light becomes constant at each wavelength is stored in advance in the wavelength intensity characteristic storage 3.
7, and the intensity of the laser light is controlled so that the level of the received signal at that wavelength is obtained when the laser light is output.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記可変波
長光源装置の分岐手段35は、使用する波長の光の偏波
状態に応じて分岐比が予め設定されている。したがっ
て、分岐手段35に光が入力されるまでの間に偏波状態
が変わると、分岐手段35で分岐される出力光と分岐光
の分岐比が変動することになる。
By the way, in the branching means 35 of the variable wavelength light source device, the branching ratio is set in advance according to the polarization state of the light of the wavelength to be used. Therefore, if the polarization state changes before the light is input to the branching unit 35, the branching ratio between the output light branched by the branching unit 35 and the branched light changes.

【0008】ところが、上記可変波長光源装置におい
て、強度可変手段34が光ファイバを介して可変波長光
源31と分岐手段35との間に接続される場合には、光
ファイバの接続箇所で偏波状態が崩れたり、強度可変手
段34の減衰量や増幅度を可変したときにレーザ光の偏
波消光比が変化したり、偏波ゆらぎが生じたりする。そ
の結果、可変波長光源31から出力されるレーザ光は、
分岐手段35に入力されるまでの間に偏光状態が変化す
る。このため、分岐手段35からは本来の分岐比と異な
った状態で光が出力されることになる。そして、制御回
路32は、そのとき受光器36で受光される分岐光のレ
ベル変化に応じて強度可変手段34を制御してレーザ光
の強度を可変するため、レーザ光強度を一定に制御する
ことができなかった。
However, in the above variable wavelength light source device, when the intensity varying means 34 is connected between the variable wavelength light source 31 and the branching means 35 via an optical fiber, the polarization state is determined at the connection point of the optical fiber. When the attenuation or the degree of amplification of the intensity varying means 34 is varied, the polarization extinction ratio of the laser light changes or polarization fluctuation occurs. As a result, the laser light output from the variable wavelength light source 31 is
The polarization state changes before being input to the branching unit 35. Therefore, light is output from the branching unit 35 in a state different from the original branching ratio. Then, the control circuit 32 controls the intensity varying means 34 according to the level change of the branch light received by the light receiver 36 at that time to vary the intensity of the laser light. Could not.

【0009】このように、上述した従来の可変波長光源
装置では、可変波長光源31から出力されるレーザ光が
分岐手段35に入力されるまでの間に、レーザ光の偏波
消光比が変化したり、偏波ゆらぎが生じると、広い波長
範囲の全域にわたって一定のレベルでレーザ光を出力さ
せることができなかった。
As described above, in the above-described conventional variable wavelength light source device, the polarization extinction ratio of the laser light changes before the laser light output from the variable wavelength light source 31 is input to the branching means 35. When the polarization fluctuation occurs, laser light cannot be output at a constant level over a wide wavelength range.

【0010】そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてな
されたものであり、レーザ光の偏波消光比の変化や偏波
ゆらぎによる分岐比の変化がなく、広い波長範囲にわた
って一定のレベルでレーザ光を出力させることができる
可変波長光源装置を提供することを目的としている。
Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and there is no change in the polarization extinction ratio of a laser beam or change in a branching ratio due to polarization fluctuation, and a constant level over a wide wavelength range. It is an object of the present invention to provide a variable wavelength light source device capable of outputting laser light.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、所定波長に制御された光を出力
する可変波長光源1と、入射される光をその偏光角に応
じた所定の分岐比で分岐して一方を出力光とし他方を参
照光として出力する分岐手段3と、前記可変波長光源と
前記分岐手段との間の光路上に配設され、前記可変波長
光源からの光を受け、この受けた光のうち前記分岐比が
得られる偏光角の一偏光成分のみを前記分岐手段に透過
させる偏光手段2と、前記分岐手段で分岐された参照光
を受光し、この受光した参照光の強度に応じた検出信号
を出力する強度検出手段4と、前記強度検出手段から出
力される検出信号を受け、該検出信号の変化に応じて前
記可変波長光源から出力される光の強度を制御すること
によって前記参照光又は出力光の強度が所望の値になる
ようにする制御手段5とを備えたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a variable wavelength light source 1 for outputting light controlled to a predetermined wavelength, and a variable wavelength light source 1 according to the polarization angle. A branching unit 3 that branches at a predetermined branching ratio and outputs one as output light and the other as reference light, and is disposed on an optical path between the variable wavelength light source and the branching unit, A polarizing means 2 for receiving light, transmitting only one polarization component of a polarization angle at which the branching ratio is obtained from the received light to the branching means, and receiving a reference light branched by the branching means; Intensity detection means 4 for outputting a detection signal corresponding to the intensity of the reference light, and a detection signal output from the intensity detection means, and a light output from the tunable wavelength light source output in response to a change in the detection signal. The reference light by controlling the intensity It is characterized in that a control unit 5 to make the intensity of the output light becomes a desired value.

【0012】請求項2の発明は、所定波長に制御された
光を出力する可変波長光源1と、前記可変波長光源から
の光を受け、この受けた光の強度を可変して出力する強
度可変手段11と、入射される光をその偏光角に応じた
所定の分岐比で分岐して一方を出力光とし他方を参照光
として出力する分岐手段3と、前記強度可変手段と前記
分岐手段との間の光路上に配設され、前記強度可変手段
からの光を受け、この受けた光のうち前記分岐比が得ら
れる偏光角の一偏光成分のみを前記分岐手段に透過させ
る偏光手段2と、前記分岐手段で分岐された参照光を受
光し、この受光した参照光の強度に応じた検出信号を出
力する強度検出手段4と、前記強度検出手段から出力さ
れる検出信号を受け、該検出信号の変化に応じて前記強
度可変手段から出力される光の強度を制御することによ
って前記参照光又は出力光の強度が所望の値になるよう
にする制御手段5とを備えたことを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a variable wavelength light source 1 for outputting light controlled to a predetermined wavelength, an intensity variable for receiving light from the variable wavelength light source, and varying the intensity of the received light to output the light. A splitting means for splitting incident light at a predetermined splitting ratio according to its polarization angle, outputting one as output light and the other as reference light, and the intensity varying means and the splitting means. A polarizing means 2 disposed on an optical path between which receives light from the intensity varying means and transmits only one polarization component of a polarization angle at which the branching ratio is obtained from the received light to the branching means; An intensity detection unit for receiving the reference light branched by the branching unit and outputting a detection signal corresponding to the intensity of the received reference light; and a detection signal for receiving the detection signal output from the intensity detection unit. Output from the intensity varying means in response to a change in Intensity of the reference light or output light characterized by comprising a control unit 5 to make a desired value by controlling the intensity of light.

【0013】請求項3の発明は、請求項1又は2の可変
波長光源装置において、前記偏光手段2は、偏光子2
a、又は偏光子とファラデー素子を備えた光アイソレー
タ2bからなることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the variable wavelength light source device according to the first or second aspect, the polarizing means 2 comprises a polarizer 2
a or an optical isolator 2b provided with a polarizer and a Faraday element.

【0014】請求項4の発明は、請求項1又は2の可変
波長光源装置において、前記可変波長光源1に対し前記
所定波長を設定し、前記制御手段5に対し前記所望の値
を設定するための波長/強度設定手段6を備えたことを
特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the variable wavelength light source device according to the first or second aspect, the predetermined wavelength is set for the variable wavelength light source 1 and the desired value is set for the control means 5. The wavelength / intensity setting means 6 is provided.

【0015】本発明の可変波長光源装置によれば、可変
波長光源1から出力された光の偏波状態が変化しても、
分岐手段3の前段に設けられた偏光手段2により、分岐
手段3の分光比が得られる偏光角の一偏光成分のみの光
が分岐手段3に入射される。このため、光の偏波消光比
の変化や偏波ゆらぎによる分岐手段3の分岐比の変化が
なく、広い波長範囲にわたって光強度を一定に制御でき
る。
According to the variable wavelength light source device of the present invention, even if the polarization state of the light output from the variable wavelength light source 1 changes,
By the polarizing means 2 provided in front of the splitting means 3, light having only one polarization component of a polarization angle at which the spectral ratio of the splitting means 3 is obtained is incident on the splitting means 3. Therefore, there is no change in the polarization extinction ratio of light or change in the branching ratio of the branching means 3 due to polarization fluctuation, and the light intensity can be controlled to be constant over a wide wavelength range.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図1は本発明による可変波長光源
装置の第1実施の形態を示す図、図2は同装置に用いら
れる可変波長光源の一構成例を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a variable wavelength light source device according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing one configuration example of a variable wavelength light source used in the device.

【0017】図1に示すように、第1実施の形態による
可変波長光源装置は、可変波長光源1、偏光手段2、分
岐板3、受光器4、制御回路5、波長/強度設定器6、
波長強度特性記憶器7を備えて概略構成される。
As shown in FIG. 1, the variable wavelength light source device according to the first embodiment includes a variable wavelength light source 1, a polarizing means 2, a branch plate 3, a light receiver 4, a control circuit 5, a wavelength / intensity setting device 6,
It has a schematic configuration including a wavelength intensity characteristic storage device 7.

【0018】図2に示すように、可変波長光源1は、外
部共振型のもので、一定の活性層電流で駆動される半導
体レーザ素子8と、半導体レーザ素子8の一端側に設け
られた波長選択部9と、半導体レーザ素子8の他端側か
ら出力されるレーザ光を平行光にして外部へ出力するレ
ンズ10からなり、外部からの制御によって波長選択部
9の光学的な条件が可変されて、半導体レーザ素子8が
発振出力するレーザ光の波長が変化するように構成され
ている。
As shown in FIG. 2, the variable wavelength light source 1 is of an external resonance type, and has a semiconductor laser element 8 driven by a constant active layer current and a wavelength provided at one end of the semiconductor laser element 8. A selection unit 9 and a lens 10 for converting laser light output from the other end of the semiconductor laser element 8 into parallel light and outputting the parallel light to the outside. The optical conditions of the wavelength selection unit 9 can be changed by external control. Thus, the configuration is such that the wavelength of the laser light oscillated and output by the semiconductor laser element 8 changes.

【0019】波長選択部9は、半導体レーザ素子8の一
端側の無反射コートから出力されるレーザ光を平行光に
するレンズ9aと、この平行光を受けて所望の波長のみ
を半導体レーザ素子8側へ戻す回折格子9bとを備えて
構成される。この波長選択部9では、回折格子9bを図
示しない回動装置により回動させることで波長の選択を
行う。この回折格子9bの角度は、波長/強度設定器6
からの波長情報λに応じた角度に設定される。
The wavelength selecting section 9 includes a lens 9a for converting the laser light output from the non-reflection coating on one end side of the semiconductor laser element 8 into parallel light, and receiving the parallel light and setting only a desired wavelength to the semiconductor laser element 8. And a diffraction grating 9b returning to the side. The wavelength selector 9 selects a wavelength by rotating the diffraction grating 9b by a rotating device (not shown). The angle of the diffraction grating 9b is determined by the wavelength / intensity setting unit 6
The angle is set in accordance with the wavelength information λ from.

【0020】可変波長光源1から出力されるレーザ光
は、偏光手段2に入力される。偏光手段2としての偏光
子2aは、可変波長光源1と分岐板3との間の光路(光
軸)上に配置され、入力されるレーザ光のうち一偏光成
分のみの光を分岐板3側に透過させている。偏光子2a
の偏光角は、透過する光が分光板3に設定された分岐比
が得られる偏波状態となるように設定される。
The laser light output from the variable wavelength light source 1 is input to the polarizing means 2. A polarizer 2a serving as the polarization means 2 is disposed on an optical path (optical axis) between the variable wavelength light source 1 and the branch plate 3, and converts light having only one polarization component of the input laser light to the branch plate 3 side. Through. Polarizer 2a
Is set such that the transmitted light is in a polarization state in which the branching ratio set in the spectral plate 3 is obtained.

【0021】分岐手段としての分岐板3は、例えばガラ
スに誘電体多層膜を蒸着したタイプ等のように、光透過
率T(反射率1−T)の変化が極めて少ない部材で形成
され、偏光子2aから出力される強度P1 のレーザ光
を、強度T・P1 の出力光と、強度(1−T)・P1
参照光に分岐する。この分岐板3における強度の分岐比
は、入射する光の偏波状態に応じて予め所望の値に設定
される。
The branching plate 3 as a branching means is formed of a member having a very small change in the light transmittance T (reflectance 1−T), such as a type in which a dielectric multilayer film is deposited on glass, and the like. the laser beam intensity P 1 output from the child 2a, branches and output light intensity T · P 1, the reference light intensity (1-T) · P 1 . The branching ratio of the intensity at the branch plate 3 is set to a desired value in advance according to the polarization state of the incident light.

【0022】分岐板3によって分岐された参照光は、強
度検出手段としての受光器4で受光される。受光器4
は、入力される参照光の強度(1−T)・P1 に比例し
た大きさ、即ち、出力光の強度Po(=T・P1 )に比
例した大きさの検出信号Psを出力する。
The reference light split by the splitting plate 3 is received by a light receiver 4 as intensity detecting means. Receiver 4
Outputs a detection signal Ps having a magnitude proportional to the intensity (1-T) · P 1 of the input reference light, that is, a magnitude proportional to the intensity Po (= T · P 1 ) of the output light.

【0023】設定手段としての波長/強度設定器6は、
図示しない操作部や外部装置等から設定される波長情報
λを可変波長光源1へ送出している。そして、可変波長
光源1は、制御回路5からの制御信号により、波長/強
度設定器6の波長情報に対応した波長のレーザ光を出力
する。また、波長/強度設定器6は、可変波長光源装置
の出力光の強度Poを設定するための設定値Sが図示し
ない操作部や外部装置等から設定される。記憶手段とし
ての波長強度特性記憶器7には、可変波長光源1の波長
に対する強度の特性が予め記憶されている。
The wavelength / intensity setting device 6 as setting means includes:
The wavelength information λ set from an operation unit (not shown) or an external device is transmitted to the variable wavelength light source 1. Then, the variable wavelength light source 1 outputs a laser beam having a wavelength corresponding to the wavelength information of the wavelength / intensity setting device 6 according to a control signal from the control circuit 5. In the wavelength / intensity setting device 6, a set value S for setting the intensity Po of the output light of the variable wavelength light source device is set from an operation unit (not shown), an external device, or the like. The wavelength intensity characteristic storage unit 7 as a storage unit stores in advance the intensity characteristics of the variable wavelength light source 1 with respect to the wavelength.

【0024】波長/強度設定器6により設定された設定
値Sは、受光器4によって検出された検出信号Psとと
もに制御回路5に入力される。制御手段としての制御回
路5は、例えば利得が非常に大きな差動増幅器等によっ
て構成され、設定値Sと検出信号Psとの差を検出し、
その差成分の増幅出力を制御信号として可変波長光源1
に供給し、可変波長光源1の出力光の強度Poが設定値
Sと等しくなるように制御する。
The set value S set by the wavelength / intensity setting device 6 is input to the control circuit 5 together with the detection signal Ps detected by the light receiver 4. The control circuit 5 as a control means is constituted by, for example, a differential amplifier having a very large gain, and detects a difference between the set value S and the detection signal Ps.
The variable wavelength light source 1 uses the amplified output of the difference component as a control signal.
And the intensity Po of the output light of the variable wavelength light source 1 is controlled to be equal to the set value S.

【0025】なお、波長/強度設定器6は、図示しない
操作部等から入力される波長情報λや出力光の強度設定
値Sの判定及び補正をマイクロコンピュータによって行
ってからD/A変換器を介して可変波長光源1や制御回
路5へ出力するように構成してもよい。
The wavelength / intensity setting unit 6 determines and corrects the wavelength information λ input from an operation unit or the like (not shown) and the intensity setting value S of the output light by a microcomputer before operating the D / A converter. It may be configured to output to the tunable light source 1 or the control circuit 5 via the control unit.

【0026】また、波長/強度設定器6は、図示しない
操作部等によって設定値Sと波長λが設定されたとき、
設定された波長λに対応する強度情報を波長強度特性記
憶器7から読み出し、この波長のレーザ光を一定の強度
に制御できる範囲の設定値の上限値を算出し、この算出
値と外部から設定された設定値Sとを比較し、上限値よ
り大きな設定値Sが設定されたときに、表示器等にアラ
ーム表示したり、音で警告するように構成してもよい。
When the set value S and the wavelength λ are set by an operation unit (not shown) or the like,
The intensity information corresponding to the set wavelength λ is read from the wavelength intensity characteristic storage unit 7, and the upper limit value of a set value of a range in which the laser light of this wavelength can be controlled to a constant intensity is calculated. The set value S may be compared with the set value S, and when a set value S larger than the upper limit value is set, an alarm may be displayed on a display device or a warning may be given by sound.

【0027】更に、波長/強度設定器6は、設定された
設定値Sに等しい強度で出力できる波長範囲を波長強度
特性記憶器7から読み出し、外部から設定された波長が
この波長範囲にあるか否かを判定し、設定された波長情
報がこの波長範囲にないときに、表示器等にアラーム表
示したり音で警告してもよい。
Further, the wavelength / intensity setting device 6 reads out a wavelength range that can be output with an intensity equal to the set value S from the wavelength intensity characteristic storage device 7 and checks whether the wavelength set from outside is within this wavelength range. It may be determined whether the wavelength information is not in the wavelength range or not, and an alarm may be displayed on a display device or a warning may be given by sound.

【0028】このように、第1実施の形態の可変波長光
源装置では、一偏光成分のみを通す偏光子2aが可変波
長光源1と分岐板3との間の光路上に配置される。そし
て、偏光子2aを透過した光を分岐板3で出力光と参照
光とに分岐し、分岐板3によって分岐された参照光を受
光器4で受光して参照光の強度に応じた検出信号を出力
し、受光器4から出力される検出信号を制御回路5に入
力し、検出信号の変化に応じて可変波長光源1に対する
制御信号を可変して可変波長光源1から出力されるレー
ザ光の強度が一定になるように制御する。
As described above, in the variable wavelength light source device according to the first embodiment, the polarizer 2 a that allows only one polarization component to pass is disposed on the optical path between the variable wavelength light source 1 and the branch plate 3. Then, the light transmitted through the polarizer 2a is split by the splitter 3 into output light and reference light, and the reference light split by the splitter 3 is received by the light receiver 4 and a detection signal corresponding to the intensity of the reference light is received. And outputs a detection signal output from the photodetector 4 to the control circuit 5, and varies a control signal for the variable wavelength light source 1 in accordance with a change in the detection signal. Control so that the intensity is constant.

【0029】したがって、分岐板3に入力される光は、
偏光子2aにより常に分光板3の分光比が得られる一定
の偏波となるため、レーザ光の偏波消光比の変化や偏波
ゆらぎによる分岐板3の分岐比の変化がなく、広い波長
範囲にわたってレーザ光強度を一定に制御することがで
きる。また、波長の可変操作や環境変化等によって可変
波長光源1の出力光の強度が変化しても、上述した制御
により、可変波長光源装置から出力されるレーザ光の強
度が一定に保たれる。
Therefore, the light input to the branch plate 3 is
Since the polarizer 2a always provides a constant polarization at which the spectral ratio of the spectroscopic plate 3 can be obtained, there is no change in the polarization extinction ratio of the laser beam or the change in the branching ratio of the branch plate 3 due to polarization fluctuation, and a wide wavelength range. , The laser beam intensity can be controlled to be constant. Further, even if the intensity of the output light of the tunable wavelength light source 1 changes due to a tunable operation of the wavelength or a change in environment, the intensity of the laser light output from the tunable light source device is kept constant by the above-described control.

【0030】そして、上記強度制御は、可変波長光源1
内の半導体レーザ素子8の活性層電流を変化させること
なく、可変波長光源1から出力されたレーザ光に対して
行われるので、強度制御によるモードホップや波長の揺
らぎは全く発生せず、強度と波長がともに安定したレー
ザ光を出力することができる。このため、各種の光学部
品や光学装置の波長に対する応答を測定するような場合
でも、この可変波長光源装置から出力されるレーザ光を
用いて十分精度の高い測定が行える。
The intensity control is performed by the variable wavelength light source 1.
This is performed on the laser light output from the tunable wavelength light source 1 without changing the active layer current of the semiconductor laser element 8 inside the semiconductor laser device 8, so that mode hopping and wavelength fluctuation due to intensity control do not occur at all, and the intensity and Laser light having both stable wavelengths can be output. For this reason, even when measuring the response of various optical components and optical devices to the wavelength, sufficiently accurate measurement can be performed using the laser light output from the variable wavelength light source device.

【0031】次に、図3は本発明による可変波長光源装
置の第2実施の形態を示す図である。なお、第2実施の
形態において、第1実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
Next, FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. Note that, in the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0032】第2実施の形態の可変波長光源装置は、可
変波長光源1と偏光子2aとの間の光路(光軸)上に強
度可変手段11としての光減衰器11aが配設されてお
り、その他の構成は第1実施の形態と同一である。
In the variable wavelength light source device according to the second embodiment, an optical attenuator 11a as intensity varying means 11 is disposed on an optical path (optical axis) between the variable wavelength light source 1 and the polarizer 2a. The other configuration is the same as that of the first embodiment.

【0033】光減衰器11aは、例えば印加される磁界
の強さに応じた角度だけ入射光に偏光面を回転させるフ
ァラデー素子と、ファラデー素子に磁界を印加するため
のコイルと、偏波面が固定されファラデー素子を通過し
た光の成分のうちこの偏光面に一致する成分のみを出力
する偏光子とを備えて構成される。
The optical attenuator 11a includes, for example, a Faraday element for rotating a plane of polarization of incident light by an angle corresponding to the strength of an applied magnetic field, a coil for applying a magnetic field to the Faraday element, and a plane of polarization fixed. And a polarizer that outputs only a component that matches the plane of polarization of the light component that has passed through the Faraday element.

【0034】更に説明すると、偏光子の偏光面は可変波
長光源から出力されるレーザ光の偏光面に対して所定角
ずれており、ファラデー素子は磁界が印加されていない
状態(コイルに電流が供給されていない状態)のとき、
入射光の偏光面を変えずにそのまま偏光子へ出力する。
したがって、ファラデー素子に印加される磁界を制御回
路5からの制御信号によって制御すれば、可変波長光源
1からのレーザ光の減衰量が可変され、出力光の強度を
一定にすることができる。
More specifically, the polarization plane of the polarizer is shifted by a predetermined angle with respect to the polarization plane of the laser light output from the variable wavelength light source, and the Faraday element is in a state where no magnetic field is applied (current is supplied to the coil). Is not done),
The incident light is directly output to the polarizer without changing the polarization plane.
Therefore, if the magnetic field applied to the Faraday element is controlled by the control signal from the control circuit 5, the attenuation of the laser light from the variable wavelength light source 1 can be varied, and the intensity of the output light can be kept constant.

【0035】次に、図4は本発明による可変波長光源装
置の第3実施の形態を示す図である。なお、第3実施の
形態において、第1実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
FIG. 4 is a view showing a third embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. In the third embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0036】第3実施の形態の可変波長光源装置は、可
変波長光源1と偏光子2との間の光路上に強度可変手段
11としての光増幅器11bが配設されており、その他
の構成は第1実施の形態と同一である。
In the tunable wavelength light source device of the third embodiment, an optical amplifier 11b as intensity varying means 11 is provided on the optical path between the tunable wavelength light source 1 and the polarizer 2; This is the same as the first embodiment.

【0037】光増幅器11bは、例えば半導体レーザ素
子を増幅素子とし、その半導体レーザ素子への注入電流
によって入力光を増幅出力する半導体レーザアンプや、
ファイバアンプ等で構成される。そして、光増幅器11
bの増幅度を制御回路5からの制御信号によって制御す
れば、出力光の強度を一定にすることができる。
The optical amplifier 11b uses, for example, a semiconductor laser element as an amplifying element, and amplifies and outputs input light by a current injected into the semiconductor laser element.
It is composed of a fiber amplifier and the like. And the optical amplifier 11
If the amplification degree of b is controlled by the control signal from the control circuit 5, the intensity of the output light can be made constant.

【0038】なお、半導体レーザアンプを光増幅器11
bとして用いる場合には、その半導体レーザ素子への注
入電流を可変して増幅度を可変制御する。この半導体レ
ーザアンプは、高速応答性を有し、しかも、注入電流の
少ない範囲では入力光を減衰させることができるので、
出力光の強度を広い範囲で可変できる。
Incidentally, the semiconductor laser amplifier is connected to the optical amplifier 11.
When used as b, the injection current into the semiconductor laser element is varied to variably control the amplification degree. Since this semiconductor laser amplifier has a high-speed response and can attenuate the input light in a range where the injection current is small,
The intensity of the output light can be varied over a wide range.

【0039】また、ファイバアンプを光増幅器11bと
して用いる場合には、励起用の半導体レーザ素子の注入
電流を可変することで増幅度を制御する。
When a fiber amplifier is used as the optical amplifier 11b, the degree of amplification is controlled by varying the injection current of the semiconductor laser element for excitation.

【0040】なお、これらの光増幅器11bは、増幅で
きる波長帯域が制限され、また、波長によって増幅度が
変化する場合が多いが、光増幅器11bの増幅可能な波
長帯域が可変波長光源1の波長可変帯域に合ってさえい
れば、制御回路5の制御により、光増幅器11b自身の
波長による増幅度の変化に影響されず、常に一定の強度
のレーザ光を出力することができる。
In these optical amplifiers 11b, the wavelength band that can be amplified is limited, and the amplification degree often changes depending on the wavelength. However, the wavelength band that can be amplified by the optical amplifier 11b is limited to the wavelength band of the variable wavelength light source 1. As long as the light is in the variable band, the control circuit 5 can always output a laser beam having a constant intensity without being affected by a change in the amplification factor due to the wavelength of the optical amplifier 11b itself.

【0041】そして、上記第2実施の形態及び第3実施
の形態による強度可変手段11を通過したレーザ光は、
偏光手段としての偏光子2に入力される。偏光子2は、
入力されるレーザ光のうち一偏光成分のみの光を分岐板
3側に透過させている。
The laser light passing through the intensity varying means 11 according to the second and third embodiments is
It is input to a polarizer 2 as a polarizing means. The polarizer 2
Light of only one polarization component of the input laser light is transmitted to the branch plate 3 side.

【0042】このように、第2実施の形態及び第3実施
の形態の可変波長光源装置では、一偏光成分のみを通す
偏光子2が強度可変手段(光減衰器11a又は光増幅器
11b)11と分岐板3との間の光路上に配置される。
そして、偏光子2を透過した光を分岐板3で出力光と参
照光とに分岐し、分岐板3によって分岐された参照光を
受光器4で受光して参照光の強度に応じた検出信号を出
力し、受光器4から出力される検出信号を制御回路5に
入力し、検出信号の変化に応じて強度可変手段11に対
する制御信号を可変して強度可変手段11から出力され
るレーザ光の強度が一定になるように制御する。
As described above, in the variable wavelength light source devices of the second and third embodiments, the polarizer 2 that passes only one polarization component is provided with the intensity varying means (the optical attenuator 11a or the optical amplifier 11b) 11. It is arranged on the optical path between the branch plate 3.
The light transmitted through the polarizer 2 is split by the splitter 3 into output light and reference light, and the reference light split by the splitter 3 is received by the light receiver 4 and a detection signal corresponding to the intensity of the reference light is received. And a detection signal output from the light receiver 4 is input to the control circuit 5, and a control signal for the intensity varying means 11 is varied according to a change in the detection signal to change the control signal for the laser light output from the intensity varying means 11. Control so that the intensity is constant.

【0043】これにより、分岐板3に入力される光は、
第1実施の形態と同様に、偏光子2により常に分光板3
の分光比が得られる一定の偏波となるため、レーザ光の
偏波消光比や偏波ゆらぎによる分岐板3の分岐比の変化
がなく、広い波長範囲にわたってレーザ光強度を一定に
制御することができる。
Thus, the light input to the branch plate 3 is
As in the first embodiment, the polarizer 2 always controls the spectral plate 3.
Since the polarization is constant, the splitting ratio of the splitting plate 3 does not change due to the polarization extinction ratio of the laser light or the polarization fluctuation, and the laser light intensity is controlled to be constant over a wide wavelength range. Can be.

【0044】また、強度可変手段11を通過したレーザ
光を偏光子2を透過させた後に分岐板3で出力光と参照
光とに分岐し、参照光の強度に基づいて強度可変手段1
1の減衰量や増幅度を制御しているので、強度可変手段
11自身の特性変動(入力光の波長や環境の変化に依存
した減衰量の変動)や減衰量の非直線性の影響もなくな
る。
The laser beam having passed through the intensity varying means 11 is transmitted through the polarizer 2 and then branched by the branch plate 3 into output light and reference light.
Since the amount of attenuation and the degree of amplification of 1 are controlled, there is no influence of the characteristic variation of the intensity varying means 11 itself (the variation of the amount of attenuation depending on the wavelength of the input light or the change of the environment) or the nonlinearity of the amount of attenuation. .

【0045】次に、図5は本発明による可変波長光源装
置の第4実施の形態を示す図である。なお、第4実施の
形態において、第1実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
Next, FIG. 5 is a diagram showing a fourth embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. In the fourth embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0046】第4実施の形態の可変波長光源装置は、可
変波長光源1と分岐板3との間の光路(光軸)上に偏光
手段2として光アイソレータ2bが配設されており、そ
の他の構成は第1実施の形態と同一である。
In the tunable wavelength light source device of the fourth embodiment, an optical isolator 2b is disposed as a polarizing means 2 on the optical path (optical axis) between the tunable wavelength light source 1 and the branch plate 3, and other components are provided. The configuration is the same as that of the first embodiment.

【0047】偏光手段としての光アイソレータ2bは、
ファラデー素子と偏光子を備えて構成される。この光ア
イソレータ2bでは、ファラデー素子に印加される磁界
の向きと強さが可変制御されると、印加される磁界の強
さに応じた角度だけファラデー素子における入射光の偏
光面が回転する。そして、可変波長光源1からのレーザ
光は、ファラデー素子で偏光されて通過した後、その光
の成分のうち一偏光成分のみが偏光子を透過して分岐板
3に入射される。なお、光アイソレータ2bを構成する
偏光子の偏光角は、透過する光が分光板3に設定された
分岐比が得られる偏波状態となるように設定される。
The optical isolator 2b as a polarizing means is
It comprises a Faraday element and a polarizer. In the optical isolator 2b, when the direction and strength of the magnetic field applied to the Faraday element are variably controlled, the polarization plane of the incident light in the Faraday element rotates by an angle corresponding to the strength of the applied magnetic field. Then, after the laser light from the variable wavelength light source 1 is polarized by the Faraday element and passes through, only one polarization component of the light component passes through the polarizer and is incident on the branch plate 3. Note that the polarization angle of the polarizer constituting the optical isolator 2b is set so that the transmitted light is in a polarization state in which the branching ratio set in the spectral plate 3 is obtained.

【0048】このように、第4実施の形態の可変波長光
源装置では、偏光手段2として光アイソレータ2bを用
いた構成なので、偏光子2aを使用したときと同様に、
光アイソレータ2bの出力光は分光板3の分光比が得ら
れる一定の偏波となり、前述した第1実施の形態および
第2実施の形態と同様の効果が得られる。しかも、可変
波長光源1への戻り光による影響が除去されるので、よ
り安定した強度によるレーザ光出力を得ることができ
る。
As described above, in the variable wavelength light source device according to the fourth embodiment, since the optical isolator 2b is used as the polarization means 2, the configuration is the same as when the polarizer 2a is used.
The output light of the optical isolator 2b has a constant polarization at which the spectral ratio of the spectral plate 3 can be obtained, and the same effects as those of the above-described first and second embodiments can be obtained. Moreover, since the influence of the return light to the variable wavelength light source 1 is removed, a laser light output with more stable intensity can be obtained.

【0049】次に、図6は本発明による可変波長光源装
置の第5実施の形態を示す図である。なお、第5実施の
形態において、第2実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
Next, FIG. 6 is a view showing a fifth embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. Note that, in the fifth embodiment, the same components as those in the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0050】第5実施の形態の可変波長光源装置は、強
度可変手段11と分岐板3との間の光路上に偏光手段2
として光アイソレータ2bが配設されており、その他の
構成は第2実施の形態と同一である。
The tunable wavelength light source device according to the fifth embodiment includes a polarizing means 2 on the optical path between the intensity varying means 11 and the branch plate 3.
An optical isolator 2b is provided as the second embodiment, and the other configuration is the same as that of the second embodiment.

【0051】この第5実施の形態の可変波長光源装置で
は、第4実施の形態と同様に、偏光手段2として光アイ
ソレータ2bを用いた構成なので、偏光子2aを使用し
たときと同様に、光アイソレータ2bの出力光は分光板
3の分光比が得られる一定の偏波となり、前述した第1
実施の形態および第2実施の形態と同様の効果が得られ
る。しかも、可変波長光源1への戻り光による影響が除
去されるので、より安定した強度によるレーザ光出力を
得ることができる。
In the variable wavelength light source device according to the fifth embodiment, the optical isolator 2b is used as the polarization means 2 as in the fourth embodiment. The output light of the isolator 2b has a constant polarization at which the spectral ratio of the spectral plate 3 can be obtained.
The same effects as in the embodiment and the second embodiment can be obtained. Moreover, since the influence of the return light to the variable wavelength light source 1 is removed, a laser light output with more stable intensity can be obtained.

【0052】次に、図7は本発明による可変波長光源装
置の第6実施の形態を示す図である。なお、第6実施の
形態において、第5実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
Next, FIG. 7 is a view showing a sixth embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. Note that, in the sixth embodiment, the same components as those of the fifth embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0053】第6実施の形態の可変波長光源装置は、強
度可変手段11が光増幅器11cと光減衰器11dで構
成されており、その他の構成は第5実施の形態と同一で
ある。
In the variable wavelength light source device of the sixth embodiment, the intensity varying means 11 is composed of an optical amplifier 11c and an optical attenuator 11d, and the other configuration is the same as that of the fifth embodiment.

【0054】光増幅器11cは、可変波長光源1と光ア
イソレータ2bとの間の光路(光軸)上に配設される。
光増幅器11cは、受光器4から出力される検出信号の
変化に応じて制御回路5から出力される制御信号によ
り、増幅度が連続的に可変制御され、可変波長光源1か
らのレーザ光を可変制御された増幅度により増幅して光
減衰器11dに出力している。
The optical amplifier 11c is provided on an optical path (optical axis) between the variable wavelength light source 1 and the optical isolator 2b.
The amplification degree of the optical amplifier 11 c is continuously variably controlled by a control signal output from the control circuit 5 in response to a change in the detection signal output from the light receiver 4, and the laser light from the variable wavelength light source 1 is variably controlled. The signal is amplified by the controlled amplification degree and output to the optical attenuator 11d.

【0055】光減衰器11dは、制御回路5によって大
まかな減衰量の可変制御がなされ、光増幅器11cから
の光を可変制御された減衰量により減衰させて光アイソ
レータ2bに出力している。
The optical attenuator 11d is roughly variably controlled by the control circuit 5 to attenuate the light from the optical amplifier 11c by the variably controlled attenuation and outputs the light to the optical isolator 2b.

【0056】次に、図8は本発明による可変波長光源装
置の第7実施の形態を示す図である。なお、第7実施の
形態において、第6実施の形態と同一の構成要素には同
一番号を付し、その説明を省略する。
Next, FIG. 8 is a view showing a seventh embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention. Note that, in the seventh embodiment, the same components as those in the sixth embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0057】第7実施の形態の可変波長光源装置は、第
6実施の形態における光増幅器11cに代えて光減衰器
11eを用いている。
The variable wavelength light source device according to the seventh embodiment uses an optical attenuator 11e instead of the optical amplifier 11c according to the sixth embodiment.

【0058】光減衰器11eは、可変波長光源1と光ア
イソレータ2bとの間の光路(光軸)上に配設される。
光減衰器11eは、受光器4から出力される検出信号の
変化に応じて制御回路5から出力される制御信号によ
り、減衰量が連続的に可変制御され、可変波長光源1か
らのレーザ光を可変制御された減衰量により減衰して光
減衰器11dに出力している。
The optical attenuator 11e is provided on an optical path (optical axis) between the variable wavelength light source 1 and the optical isolator 2b.
The optical attenuator 11e continually variably controls the amount of attenuation by a control signal output from the control circuit 5 in response to a change in the detection signal output from the light receiver 4, and outputs the laser light from the tunable wavelength light source 1. The light is attenuated by the variably controlled attenuation and output to the optical attenuator 11d.

【0059】光減衰器11dは、例えば異なる減衰量が
設定できるND(Neutral Density)フィルタからな
り、制御回路5によって大まかな減衰量の可変制御がな
され、光増幅器11eからの光を可変制御された減衰量
により減衰させて光アイソレータ2bに出力している。
The optical attenuator 11d is composed of, for example, an ND (Neutral Density) filter capable of setting different amounts of attenuation. The control circuit 5 roughly controls the amount of attenuation, and variably controls the light from the optical amplifier 11e. The signal is attenuated by the amount of attenuation and output to the optical isolator 2b.

【0060】なお、図7又は図8の構成において、光ア
イソレータ2bに代えて偏光子2aを配設する構成とし
てもよい。
In the structure shown in FIG. 7 or 8, a polarizer 2a may be provided instead of the optical isolator 2b.

【0061】このように、第6実施の形態及び第7実施
の形態に示す可変波長光源装置によっても、第4実施の
形態と同様の効果が得られる。すなわち、光アイソレー
タ2bの出力光は分光板3の分光比が得られる一定の偏
波となり、レーザ光の偏波消光比の変化や偏波ゆらぎに
よる分岐板3の分岐比の変化がなく、広い波長範囲にわ
たってレーザ光強度を一定に制御することができる。し
かも、可変波長光源1への戻り光による影響が除去され
るので、より安定した強度によるレーザ光出力を得るこ
とができる。
As described above, the same effects as in the fourth embodiment can also be obtained by the variable wavelength light source devices shown in the sixth and seventh embodiments. In other words, the output light of the optical isolator 2b has a constant polarization at which the spectral ratio of the beam splitter 3 can be obtained. The laser light intensity can be controlled to be constant over the wavelength range. Moreover, since the influence of the return light to the variable wavelength light source 1 is removed, a laser light output with more stable intensity can be obtained.

【0062】ところで、強度可変手段11としては、偏
光面の回転による光減衰器の他、特開平8−17223
3号公報に開示されるようなニオブ酸リチウム(LiN
bO 3 )による電気光学効果や音響光学効果を用いた光
減衰型のもの、半導体レーザアンプやファイバアンプを
用いた光増幅型のものなどを用いることができる。
Incidentally, as the intensity varying means 11,
JP-A-8-17223, besides an optical attenuator by rotation of an optical surface
Lithium niobate (LiN
bO Three) Light using electro-optic and acousto-optic effects
Attenuation type, semiconductor laser amplifier and fiber amplifier
The used optical amplification type or the like can be used.

【0063】また、上記実施の形態では、外部共振型の
可変波長光源1を用いた例について説明したが、一体型
の可変波長光源素子として、特開平8−172233号
公報に開示されるようなブラック反射型の可変波長光源
素子や分布帰還型(DFB)の可変波長光源素子を用い
てもよい。
In the above embodiment, an example using the external resonance type variable wavelength light source 1 has been described. However, an integrated variable wavelength light source element as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-172233 is disclosed. A black reflection type variable wavelength light source element or a distributed feedback type (DFB) variable wavelength light source element may be used.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
分岐手段に入力される光は偏光手段で一定の偏波となる
ため、レーザ光の偏波消光比の変化や偏波ゆらぎによる
分岐比の変化がなく、広い波長範囲にわたってレーザ光
強度を一定に制御することができる。また、偏光手段と
して光アイソレータを用いれば、光アイソレータの出力
光が一定の偏波となり、さらに可変波長光源や強度可変
手段への戻り光による影響が除去されるため、より安定
したレーザ光強度が得られる。
As described above, according to the present invention,
Since the light input to the branching unit is polarized at a constant polarization by the polarizing unit, there is no change in the polarization extinction ratio of the laser beam or change in the branching ratio due to polarization fluctuation, and the laser beam intensity is kept constant over a wide wavelength range. Can be controlled. Also, if an optical isolator is used as the polarization means, the output light of the optical isolator will have a constant polarization, and the influence of the return light to the variable wavelength light source and the intensity variable means will be removed, so that more stable laser light intensity will be obtained. can get.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による可変波長光源装置の第1実施の形
態を示すブロック図
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of a variable wavelength light source device according to the present invention.

【図2】本発明の可変波長光源装置の可変波長光源の一
構成例を示す図
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a variable wavelength light source of the variable wavelength light source device according to the present invention.

【図3】本発明による可変波長光源装置の第2実施の形
態を示すブロック図
FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention.

【図4】本発明による可変波長光源装置の第3実施の形
態を示すブロック図
FIG. 4 is a block diagram showing a third embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention.

【図5】本発明による可変波長光源装置の第4実施の形
態を示すブロック図
FIG. 5 is a block diagram illustrating a variable wavelength light source device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】本発明による可変波長光源装置の第5実施の形
態を示すブロック図
FIG. 6 is a block diagram showing a fifth embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention.

【図7】本発明による可変波長光源装置の第6実施の形
態を示すブロック図
FIG. 7 is a block diagram showing a variable wavelength light source device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図8】本発明による可変波長光源装置の第7実施の形
態を示すブロック図
FIG. 8 is a block diagram showing a seventh embodiment of the variable wavelength light source device according to the present invention.

【図9】可変波長光源の一構成例を示す図FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration example of a variable wavelength light source.

【図10】従来の可変波長光源装置の構成を示すブロッ
ク図
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a conventional variable wavelength light source device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…可変波長光源、2…偏光手段、2a…偏光子、2b
…光アイソレータ、3…分岐板(分岐手段)、4…受光
器(強度検出手段)、5…制御回路(制御手段)、11
…強度可変手段。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Variable wavelength light source, 2 ... Polarizing means, 2a ... Polarizer, 2b
... optical isolator, 3 ... branch plate (branching means), 4 ... light receiver (intensity detecting means), 5 ... control circuit (control means), 11
… Intensity variable means.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長島 靖明 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yasuaki Nagashima 5-10-27 Minamiazabu, Minato-ku, Tokyo Anritsu Corporation

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定波長に制御された光を出力する可変
波長光源(1)と、 入射される光をその偏光角に応じた所定の分岐比で分岐
して一方を出力光とし他方を参照光として出力する分岐
手段(3)と、 前記可変波長光源と前記分岐手段との間の光路上に配設
され、前記可変波長光源からの光を受け、この受けた光
のうち前記分岐比が得られる偏光角の一偏光成分のみを
前記分岐手段に透過させる偏光手段(2)と、 前記分岐手段で分岐された参照光を受光し、この受光し
た参照光の強度に応じた検出信号を出力する強度検出手
段(4)と、 前記強度検出手段から出力される検出信号を受け、該検
出信号の変化に応じて前記可変波長光源から出力される
光の強度を制御することによって前記参照光又は出力光
の強度が所望の値になるようにする制御手段(5)とを
備えたことを特徴とする可変波長光源装置。
1. A variable wavelength light source (1) for outputting light controlled to a predetermined wavelength, an incident light being branched at a predetermined branching ratio according to its polarization angle, one being output light, and the other being referred to. A branching unit (3) that outputs light, and is disposed on an optical path between the variable wavelength light source and the branching unit, receives light from the variable wavelength light source, and the branching ratio of the received light is A polarizing unit (2) for transmitting only one polarization component of the obtained polarization angle to the branching unit; receiving the reference light branched by the branching unit; and outputting a detection signal corresponding to the intensity of the received reference light. Receiving the detection signal output from the intensity detection means, and controlling the intensity of the light output from the variable wavelength light source in accordance with a change in the detection signal. So that the output light intensity is the desired value That the control unit (5) and the variable wavelength light source apparatus comprising the.
【請求項2】 所定波長に制御された光を出力する可変
波長光源(1)と、 前記可変波長光源からの光を受け、この受けた光の強度
を可変して出力する強度可変手段(11)と、 入射される光をその偏光角に応じた所定の分岐比で分岐
して一方を出力光とし他方を参照光として出力する分岐
手段(3)と、 前記強度可変手段と前記分岐手段との間の光路上に配設
され、前記強度可変手段からの光を受け、この受けた光
のうち前記分岐比が得られる偏光角の一偏光成分のみを
前記分岐手段に透過させる偏光手段(2)と、 前記分岐手段で分岐された参照光を受光し、この受光し
た参照光の強度に応じた検出信号を出力する強度検出手
段(4)と、 前記強度検出手段から出力される検出信号を受け、該検
出信号の変化に応じて前記強度可変手段から出力される
光の強度を制御することによって前記参照光又は出力光
の強度が所望の値になるようにする制御手段(5)とを
備えたことを特徴とする可変波長光源装置。
2. A variable wavelength light source (1) for outputting light controlled to a predetermined wavelength, and an intensity varying means (11) for receiving light from the variable wavelength light source, varying the intensity of the received light, and outputting the light. A branching means (3) for branching incident light at a predetermined branching ratio in accordance with the polarization angle thereof and outputting one as output light and outputting the other as reference light; Polarization means (2) for receiving light from the intensity varying means and transmitting only one polarization component of a polarization angle at which the branching ratio is obtained from the received light to the branching means. ), An intensity detecting means (4) for receiving the reference light branched by the splitting means, and outputting a detection signal corresponding to the intensity of the received reference light, and a detection signal output from the intensity detecting means. Receiving means for changing the intensity of the detection signal. Variable wavelength light source device, characterized in that the intensity of the reference light or output light and a control means to ensure a desired value (5) by controlling the intensity of light et output.
【請求項3】 前記偏光手段(2)は、偏光子、又は偏
光子とファラデー素子を備えた光アイソレータからなる
請求項1又は2記載の可変波長光源装置。
3. The tunable wavelength light source device according to claim 1, wherein said polarizing means comprises a polarizer or an optical isolator having a polarizer and a Faraday element.
【請求項4】 前記可変波長光源(1)に対し前記所定
波長を設定し、前記制御手段(5)に対し前記所望の値
を設定するための波長/強度設定手段(6)を備えた請
求項1又は2記載の可変波長光源装置。
4. A wavelength / intensity setting means (6) for setting the predetermined wavelength for the variable wavelength light source (1) and for setting the desired value for the control means (5). Item 3. The variable wavelength light source device according to item 1 or 2.
JP12415297A 1997-05-14 1997-05-14 Wavelength variable light source device Pending JPH10313146A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7259082B2 (en) 2002-10-03 2007-08-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device
US7405114B2 (en) 2002-10-16 2008-07-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser irradiation apparatus and method of manufacturing semiconductor device
JP2008218503A (en) * 2007-02-28 2008-09-18 Sumitomo Electric Ind Ltd Optical transmitting module and method for detecting change or deterioration of wavelength of emitted light
JP2017135314A (en) * 2016-01-29 2017-08-03 浜松ホトニクス株式会社 Wavelength tunable light source and driving method therefor

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