JPH1029309A - Production of liquid discharging unit, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus - Google Patents

Production of liquid discharging unit, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus

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JPH1029309A
JPH1029309A JP20314496A JP20314496A JPH1029309A JP H1029309 A JPH1029309 A JP H1029309A JP 20314496 A JP20314496 A JP 20314496A JP 20314496 A JP20314496 A JP 20314496A JP H1029309 A JPH1029309 A JP H1029309A
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JP
Japan
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liquid
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discharge
grooved member
liquid flow
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JP20314496A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Okawa
雅由 大川
Takeshi Origasa
剛 折笠
Koji Yamakawa
浩二 山川
Hiroyuki Kigami
博之 木上
Kimiyuki Hayashizaki
公之 林崎
Hisashi Fukai
恒 深井
Noriyuki Ono
敬之 小野
Toshio Kashino
俊雄 樫野
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Canon Inc
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032Structure of the pressure chamber
    • B41J2/14048Movable member in the chamber

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the heat accumulation to the liquid on a heating element to a large extent while enhancing discharge effect and discharge pressure by positioning a separation wall by a strike-against reference part and the end part on the upstream side in the liquid flow direction of a liquid passage wall to fit the same in a grooved member. SOLUTION: Movable members 31 are arranged in the liquid passages 10 of a grooved member 1 or on passage walls 10a and the grooved member 1 is vibrated by a vibration means such as a vibrator to generate the movement of the separation wall 30 in the arranging direction of the movable member 1 and the movable member 31 is fitted in the liquid passage of the grooved member 1. Further, the grooved member 1 is inclined so that the end part on the upstream side in the liquid flow direction of the liquid passage wall 10a becomes upward and, by vibrating the grooved member 1, the separation wall 30 is struck against the front strike reference part 4 and side surface strike reference part of the grooved member 1 to fit the separation wall 30 in the grooved member 1. The movable member 31 is fitted in the groove becoming the liquid passage 10 and the damage of the movable member 31 is not generated at a time of the alignment of the grooved member 1 and the element substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱エネルギーを液
体に作用させることで起こる気泡の発生によって、所望
の液体を吐出する液体吐出ユニットの製造方法、液体吐
出ユニット、液体吐出ユニットを用いた液体吐出装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid discharge unit for discharging a desired liquid by generating bubbles caused by applying thermal energy to the liquid, a liquid discharge unit, and a liquid using the liquid discharge unit. The present invention relates to a discharge device.

【0002】また本発明は紙、糸、繊維、布帛、皮革、
金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の
被記録媒体に対し記録を行うプリンター、複写機、通信
システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワ
ードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合
的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる発明であ
る。
[0002] The present invention also relates to paper, yarn, fiber, fabric, leather,
Printer, copier, facsimile with communication system, word processor with printer unit, etc. that record on recording media such as metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. This is an invention applicable to an industrial recording apparatus.

【0003】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。
In the present invention, "recording" means not only giving an image having a meaning such as a character or a figure to a recording medium, but also giving an image having no meaning such as a pattern. Is also meant.

【0004】[0004]

【従来の技術】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化(気泡の発生)を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわ
ゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。この
バブルジェット記録方法を用いる記録装置には、USP
4,723,129等の公報に開示されているように、
インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通す
るインク流路と、インク流路内に配されたインクを吐出
するためのエネルギー発生手段としての電気熱変換体が
一般的に配されている。
2. Description of the Related Art By giving energy such as heat to ink, a state change accompanied by a steep volume change (formation of bubbles) is caused in the ink, and the ink is ejected from an ejection port by an action force based on this state change. An ink jet recording method in which an image is formed by attaching the ink onto a recording medium, that is, a so-called bubble jet recording method, is conventionally known. USP includes a recording apparatus using this bubble jet recording method.
4,723,129, etc.,
A discharge port for discharging ink, an ink flow path communicating with the discharge port, and an electrothermal converter as an energy generating means for discharging ink disposed in the ink flow path are generally disposed. ing.

【0005】この様な記録方法によれば、品位の高い画
像を高速、低騒音で記録することができると共に、この
記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出
口を高密度に配置することができるため、小型の装置で
高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得る
ことができるという多くの優れた点を有している。この
ため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。
According to such a recording method, a high-quality image can be recorded at high speed and with low noise, and in a head performing this recording method, ejection ports for ejecting ink are arranged at a high density. Therefore, it has many advantages that a high-resolution recorded image and a color image can be easily obtained with a small device. For this reason, this bubble jet recording method has recently been used in many office devices such as printers, copiers, and facsimile machines, and has been used in industrial systems such as textile printing devices.

【0006】このようにバブルジェット技術が多方面の
製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近
年さらにたかまっている。
[0006] As the bubble jet technology is used for products in various fields, the following various requirements have been increasing in recent years.

【0007】例えば、エネルギー効率の向上の要求に対
する検討としては、保護膜の厚さを調整するといった発
熱体の最適化が挙げられている。この手法は、発生した
熱の液体への伝搬効率を向上させる点で効果がある。
[0007] For example, as a study on a demand for improvement in energy efficiency, optimization of a heating element such as adjusting the thickness of a protective film is mentioned. This method is effective in improving the propagation efficiency of generated heat to the liquid.

【0008】また、高画質な画像を得るために、インク
の吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好
なインク吐出を行える液体吐出方法等を与えるための駆
動条件が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐
出された液体の液流路内への充填(リフィル)速度の速
い液体吐出ヘッドを得るために流路形状を改良したもの
も提案されている。
In addition, in order to obtain a high quality image, a driving condition for providing a liquid discharging method or the like in which the ink discharging speed is high and a good ink discharging can be performed based on stable bubble generation has been proposed. From the viewpoint of high-speed printing, there has also been proposed a print head having an improved flow path shape in order to obtain a liquid discharge head having a high filling (refilling) speed of the discharged liquid into the liquid flow path.

【0009】この流路形状の内、流路構造として図1
(a),(b)に示すものが、特開昭63−19997
2号公報等に記載されている。この公報に記載されてい
る流路構造やヘッド製造方法は、気泡の発生に伴って発
生するバック波(吐出口へ向かう方向とは逆の方向へ向
かう圧力、即ち、液室12へ向かう圧力)に着目した発
明である。このバック波は、吐出方向へ向かうエネルギ
ーでないため損失エネルギーとして知られている。
[0009] Of these flow channel shapes, FIG.
(A) and (b) are disclosed in JP-A-63-199997.
No. 2, for example. The flow path structure and the head manufacturing method described in this publication are based on the back wave (pressure in the direction opposite to the direction toward the discharge port, that is, the pressure in the liquid chamber 12) generated by the generation of bubbles. It is an invention which pays attention to. This back wave is known as loss energy because it is not energy directed toward the ejection direction.

【0010】図1(a),(b)に示す発明は、発熱素
子2が形成する気泡の発生領域よりも離れ且つ、発熱素
子2に関して吐出口11とは反対側に位置する弁10を
開示する。
The invention shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b) discloses a valve 10 which is located farther from the bubble generation region formed by the heating element 2 and located on the side opposite to the discharge port 11 with respect to the heating element 2. I do.

【0011】図1(b)においては、この弁10は、板
材等を利用する製造方法によって、流路3の天井に貼り
付いたように初期位置を持ち、気泡の発生に伴って流路
3内へ垂れ下がるものとして開示されている。この発明
は、上述したバック波の一部を弁10によって制御する
ことでエネルギー損失を抑制するものとして開示されて
いる。
In FIG. 1 (b), the valve 10 has an initial position as if it is attached to the ceiling of the flow channel 3 by a manufacturing method using a plate material or the like. It is disclosed as hanging down. The present invention is disclosed as controlling the energy loss by controlling a part of the back wave by the valve 10.

【0012】しかしながら、この構成において、吐出す
べき液体を保持する流路3内部に、気泡が発生した際を
検討するとわかるように、弁10によるバック波の一部
を抑制することは、液体吐出にとっては実用的なもので
ないことがわかる。
However, in this configuration, as will be understood from consideration of the case where air bubbles are generated inside the flow path 3 for holding the liquid to be discharged, suppression of a part of the back wave by the valve 10 is not possible with liquid discharge. Is not practical.

【0013】もともとバック波自体は、前述したように
吐出に直接関係しないものである。このバック波が流路
3内に発生した時点では、図1(a)に示すように、気
泡のうち吐出に直接関係する圧力はすでに流路3から液
体を吐出可能状態にしている。従って、バック波のう
ち、しかもその一部を抑制したからといっても、吐出に
大きな影響を与えないことは明らかである。
Originally, the back wave itself is not directly related to the ejection as described above. When this back wave is generated in the flow path 3, as shown in FIG. 1A, the pressure directly related to the discharge among the bubbles has already made the liquid dischargeable from the flow path 3. Therefore, it is clear that even if only a part of the back wave is suppressed, the ejection is not greatly affected.

【0014】他方、バブルジェット記録方法において
は、発熱体がインクに接した状態で加熱を繰り返すた
め、発熱体の表面にインクの焦げによる堆積物が発生す
るが、インクの種類によってはこの堆積物が多く発生す
ることで、気泡の発生を不安定にしてしまい、良好なイ
ンクの吐出を行うことが困難な場合があった。また、吐
出すべき液体が熱によって劣化しやすい液体の場合や十
分に発泡が得られにくい液体の場合においても、吐出す
べき液体を変質させず、良好に吐出するための方法が望
まれていた。
On the other hand, in the bubble jet recording method, since heating is repeated while the heating element is in contact with the ink, deposits are generated on the surface of the heating element due to scorching of the ink. In some cases, the generation of bubbles causes the generation of bubbles to be unstable, making it difficult to discharge ink satisfactorily. Further, even in the case where the liquid to be discharged is a liquid which is easily deteriorated by heat or a liquid in which foaming is difficult to be sufficiently obtained, a method for discharging the liquid to be discharged without changing the quality is desired. .

【0015】このような観点から、熱により気泡を発生
させる液体(発泡液)と吐出する液体(吐出液)とを別
液体とし、発泡による圧力を吐出液に伝達することで吐
出液を吐出する方法が、特開昭61−69467号公
報、特開昭55−81172号公報、USP4,48
0,259号等の公報に開示されている。これらの公報
では、吐出液であるインクと発泡液とをシリコンゴムな
どの可撓性膜で完全分離し、発熱体に吐出液が直接接し
ないようにすると共に、発泡液の発泡による圧力を可撓
性膜の変形によって吐出液に伝える構成をとっている。
このような構成によって、発熱体表面の堆積物の防止
や、吐出液体の選択自由度の向上等を達成している。
[0015] From such a viewpoint, the liquid (foaming liquid) that generates bubbles by heat and the liquid (ejected liquid) to be ejected are separated liquids, and the ejected liquid is ejected by transmitting the pressure due to foaming to the ejected liquid. The method is described in JP-A-61-69467, JP-A-55-81172, US Pat.
No. 0,259, and the like. In these publications, the ink, which is the ejection liquid, and the foaming liquid are completely separated by a flexible film such as silicon rubber so that the ejection liquid does not come into direct contact with the heating element, and the pressure due to the foaming of the foaming liquid is controlled. The configuration is such that the liquid is transmitted to the discharge liquid by deformation of the flexible film.
Such a configuration achieves prevention of deposits on the surface of the heating element, improvement in the degree of freedom in selecting the liquid to be discharged, and the like.

【0016】しかしながら、前述のように吐出液と発泡
液とを完全分離する構成のヘッドにおいては、発泡時の
圧力を可撓性膜の伸縮変形によって吐出液に伝える構成
であるため、発泡による圧力を可撓性膜がかなり吸収し
てしまう。また、可撓性膜の変形量もあまり大きくない
ため、吐出液と発泡液とを分離することによる効果を得
ることはできるものの、エネルギー効率や吐出力が低下
してしまう虞があった。
However, as described above, in the head having a structure in which the discharge liquid and the foaming liquid are completely separated, the pressure at the time of foaming is transmitted to the discharge liquid by expansion and contraction deformation of the flexible film. Is considerably absorbed by the flexible membrane. Further, since the amount of deformation of the flexible film is not so large, the effect of separating the ejection liquid and the foaming liquid can be obtained, but there is a possibility that the energy efficiency and the ejection force are reduced.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、基本的に従
来の気泡(特に膜沸騰に伴う気泡)を液流路中に形成し
て液体を吐出する方式の、根本的な吐出特性を、従来で
は考えられなかった観点から、従来では予測できない水
準に高めることを前提とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is based on the fundamental discharge characteristics of a conventional system in which a bubble (particularly a bubble accompanying film boiling) is formed in a liquid flow path to discharge a liquid. It is assumed that the level is raised to an unpredictable level from a point of view that was not conventionally thought possible.

【0018】この前提は、液滴吐出の原理に立ち返り、
従来では得られなかった気泡を利用した新規な液滴吐出
方法およびそれに用いられるヘッド等を提供すべく、流
路中の可動部材の機構の原理を解析するといった液流路
中の可動部材の動作を起点とする第1技術解析、および
気泡による液滴吐出原理を起点とする第2技術解析、さ
らには気泡形成用の発熱体の気泡形成領域を起点とする
第3技術解析を行うことにより得られたものである。
This premise reverts to the principle of droplet ejection,
The operation of the movable member in the liquid flow path, such as analyzing the principle of the mechanism of the movable member in the flow path, in order to provide a new droplet discharge method using bubbles, which has not been obtained in the past, and a head used therefor. By performing the first technical analysis starting from the point of origin, the second technical analysis starting from the principle of droplet ejection by bubbles, and the third technical analysis starting from the bubble forming region of the heating element for forming bubbles. It was done.

【0019】これらの解析によって、可動部材の支点と
自由端の配置関係を吐出口側、つまり下流側に自由端が
位置する関係にすること、また、可動部材を発熱体もし
くは、気泡発生領域に面して配することで積極的に気泡
を制御する全く新規な技術を確立し、本出願人は既に出
願している。この出願には、気泡自体が吐出量に与える
エネルギーを考慮すると気泡の下流側の成長成分を考慮
することが吐出特性を格段に向上できる要因として最大
であること、つまり、気泡の下流側の成長成分を吐出方
向へ効率よく変換させることこそ吐出効率、吐出速度の
向上をもたらすことも開示されている。本発明者達の一
部は気泡の下流側の成長成分を積極的に可動部材の自由
端側に移動させるという従来の技術水準に比べ極めて高
い技術水準を提案した。
Based on these analyses, the positional relationship between the fulcrum and the free end of the movable member is determined so that the free end is positioned on the discharge port side, that is, on the downstream side. The present applicant has already applied for a completely new technique of actively controlling bubbles by arranging them face-to-face. According to this application, considering the energy that the bubble itself gives to the ejection amount, considering the growth component on the downstream side of the bubble is the largest factor that can significantly improve the ejection characteristics, that is, the growth on the downstream side of the bubble. It is also disclosed that efficient conversion of components in the ejection direction leads to improvement in ejection efficiency and ejection speed. Some of the present inventors have proposed an extremely high technical level as compared with the conventional state of the art in which the growth component downstream of the bubble is positively moved to the free end side of the movable member.

【0020】上記発明では、気泡を形成するための発熱
領域、例えば電気熱変換体の液体の流れ方向の面積中心
を通る中心線から下流側、あるいは、発泡を司る面にお
ける面積中心等の気泡下流側の成長に係わる可動部材や
液流路等の構造的要素を勘案することも好ましいという
こと、また、一方、可動部材の配置と液供給路の構造を
考慮することで、リフィル速度が大幅に向上することも
開示している。
In the above invention, a heat generation region for forming bubbles, for example, downstream of a center line passing through the area center of the electrothermal transducer in the flow direction of the liquid, or downstream of the bubble such as the area center on the surface controlling foaming. It is also preferable to consider the structural elements such as the movable member and the liquid flow path related to the growth on the side, and on the other hand, the refill speed is significantly increased by considering the arrangement of the movable member and the structure of the liquid supply path. It also discloses improvements.

【0021】このように出願人および本発明者達の一部
は、前述した画期的な発明を出力しているが、本発明者
達は、この発明によってより好ましい着想を想起するに
至った。
As described above, although the applicant and some of the present inventors have output the above-described groundbreaking invention, the present inventors have come up with a more preferable idea by the present invention. .

【0022】すなわち、本発明者達が認識した点は、前
記分離壁と前記液流路との位置決めに関する点である。
すなわち、前記分離壁は前記液流路に対応して位置合わ
せが成されるわけであるが、この分離壁と液流路との位
置合わせには高い精度が要求されるため画像処理装置等
の高価な組立装置を用いる必要があった。また、分離壁
は非常に精密な部材であり、液流路を形成するための複
数の溝を有する溝付き部材および発熱体を有する素子基
板のそれぞれに位置決めされる際に分離壁が損傷するお
それがあるため、分離壁の組み立てにおけるタクトがか
かり、より歩留基準部にて突き当てて位置合わせを行
い、両者を容易かつ正確に位置決めすることのできる液
体吐出ユニットを製造する方法を提供することにある。
That is, the point that the present inventors have recognized relates to the positioning of the separation wall and the liquid flow path.
That is, the separation wall is aligned with the liquid flow path. However, since high accuracy is required for the alignment between the separation wall and the liquid flow path, an image processing apparatus or the like is required. Expensive assembly equipment had to be used. Further, the separation wall is a very precise member, and the separation wall may be damaged when being positioned on the grooved member having a plurality of grooves for forming the liquid flow path and the element substrate having the heating element. Therefore, there is provided a method of manufacturing a liquid discharge unit which takes a tact in assembling a separation wall, performs positioning by abutting on a yield reference portion, and can easily and accurately position both. It is in.

【0026】本発明の第2の目的は、吐出効率、吐出圧
力の向上を図りつつ、発熱体上の液体への蓄熱を大幅に
軽減できると共に、発熱体上の残留気泡の低減を図るこ
とで、良好な液体の吐出を行いうる液体吐出ユニット、
液体吐出装置等を提供することにある。
The second object of the present invention is to improve the discharge efficiency and the discharge pressure, to greatly reduce the heat storage in the liquid on the heating element, and to reduce the residual bubbles on the heating element. A liquid discharging unit capable of discharging a good liquid,
It is to provide a liquid ejection device and the like.

【0027】本発明の第3の目的は、バック波による液
体供給方向とは逆方向への慣性力が働くのを抑えると同
時に、可動部材の弁機能によって、メニスカス後退量を
低減させることで、リフィル周波数を高め、印字スピー
ド等を向上させた液体吐出ユニット等を提供することに
ある。
A third object of the present invention is to suppress the inertial force acting in the direction opposite to the liquid supply direction due to the back wave, and at the same time, reduce the meniscus retreat amount by the valve function of the movable member. An object of the present invention is to provide a liquid discharge unit or the like in which a refill frequency is increased and a printing speed and the like are improved.

【0028】本発明の第4の目的は、発熱体上への堆積
物を低減すると共に、吐出用液の用途範囲を広げること
ができ、しかも吐出効率や吐出力が十分に高い液体吐出
ユニット、液体吐出装置等を提供することにある。
A fourth object of the present invention is to provide a liquid discharge unit capable of reducing deposits on a heating element, expanding the range of use of a discharge liquid, and having sufficiently high discharge efficiency and discharge power. It is to provide a liquid ejection device and the like.

【0029】本発明の第5の目的は、吐出する液体の選
択自由度を高くできる液体吐出ユニット、液体吐出装置
等を提供することにある。
A fifth object of the present invention is to provide a liquid discharge unit, a liquid discharge device, and the like which can increase the degree of freedom in selecting a liquid to be discharged.

【0030】本発明の第6の目的は前述のような液体吐
出ユニットの製造を容易に成しうる液体吐出ユニットの
製造方法を提供することにある。
A sixth object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid discharge unit which can easily manufacture the above-described liquid discharge unit.

【0031】本発明の第7の目的は複数の液体を供給す
るための液体導入路を少ない部品点数で構成することで
製造が容易で安価なユニットおよび装置を提供するこ
と、また小型化が図れた液体吐出ユニット、装置等を提
供することである。
A seventh object of the present invention is to provide an easy-to-manufacture and inexpensive unit and apparatus by configuring a liquid introduction path for supplying a plurality of liquids with a small number of parts, and to achieve miniaturization. To provide a liquid ejection unit, device, and the like.

【0032】また本発明の第8の目的は、本発明の液体
吐出ユニットを用いて良好な画像の記録物を得ることに
ある。
An eighth object of the present invention is to obtain a recorded matter having a good image by using the liquid discharge unit of the present invention.

【0033】また本発明の第9の目的は、本発明の液体
吐出ヘッドの再利用を容易にするためのヘッドキットを
提供することにある。
A ninth object of the present invention is to provide a head kit for facilitating reuse of the liquid discharge head of the present invention.

【0034】[0034]

【課題を解決するための手段】従って、上述の目的を達
成するために本発明に係る液体吐出ユニットの製造方法
は、変位可能な可動部材を有する櫛歯形状の分離壁と、
該分離壁の櫛歯部分が嵌合する液流路となる複数の溝が
配列される溝付き部材と、を有する液体吐出ユニットの
製造方法であって、前記溝付き部材は前記溝の配列方向
における前記分離壁の突き当て基準部と、前記溝の間に
設けられる前記液流路の壁と、を有するとともに、前記
分離壁は、前記突き当て基準部および前記液流路壁の液
体流れ方向上流側端部により位置決めされて前記溝付き
部材に嵌合されることを特徴とする液体吐出ユニットの
製造方法。
Therefore, in order to achieve the above-mentioned object, a method for manufacturing a liquid discharge unit according to the present invention comprises a comb-shaped separating wall having a movable member that can be displaced;
A grooved member in which a plurality of grooves serving as liquid passages into which the comb teeth of the separation wall fit are arranged, wherein the grooved member is arranged in a direction in which the grooves are arranged. And the liquid flow path wall provided between the grooves, and the separation wall has a liquid flow direction of the collision reference part and the liquid flow path wall. A method for manufacturing a liquid discharge unit, wherein the liquid discharge unit is positioned by an upstream end and fitted to the grooved member.

【0035】上述したような、極めて新規な吐出原理に
基づく本発明の液体吐出ユニットの製造方法、液体吐出
ユニット、液体吐出装置等によると、組み合わされるべ
き分離壁と素子基板とを両者の突き当て基準部にて突き
当てて位置合わせを行うことによってタクトのかからな
い装置の小さくてかつ簡単で正確な位置合わせができる
と共に、発生する気泡とこれによって変位する可動部材
との相乗効果を得ることができ、吐出口近傍の液体を効
率よく吐出できるため、従来のバブルジェット方式の液
体吐出ユニット等に比べて、吐出効率を向上できる。例
えば本発明の最も好ましい形態においては2倍以上とい
う飛躍的な吐出効率の向上を達成できた。
According to the method for manufacturing a liquid discharge unit, the liquid discharge unit, the liquid discharge apparatus, and the like of the present invention based on a very novel discharge principle as described above, the separation wall to be combined and the element substrate are abutted. By abutting and aligning at the reference portion, a small, easy and accurate alignment of the tactless device can be achieved, and a synergistic effect between the generated bubbles and the movable member displaced thereby can be obtained. Since the liquid in the vicinity of the discharge port can be efficiently discharged, the discharge efficiency can be improved as compared with a conventional bubble jet type liquid discharge unit or the like. For example, in the most preferred embodiment of the present invention, a dramatic improvement in the discharge efficiency of twice or more could be achieved.

【0036】この発明の特徴的な構成によれば、低温や
低湿で長期放置を行った場合であっても不吐出になるこ
とを防止でき、仮に不吐出になっても、予備吐出や吸引
回復といった回復処理をわずかに行うだけで正常状態に
即座に復帰できる利点もある。
According to the characteristic structure of the present invention, it is possible to prevent non-ejection even when the apparatus is left for a long time at a low temperature or low humidity. There is also an advantage that it is possible to immediately return to a normal state by performing a slight recovery process.

【0037】具体的には64個の吐出口を持つ従来のバ
ブルジェット方式のユニットの大半が不吐出になるよう
な長期放置条件においても、本発明のユニットでは約半
分以下の吐出口が吐出不良になるだけである。また、こ
れらのユニットを予備吐出で回復した場合、各吐出口に
対して従来ユニットで数千発の予備吐出を行う必要があ
ったが、本発明では100発程度の予備吐出で回復を行
うだけで十分であった。これは、回復時間の短縮や回復
による液体の損失を低減でき、ランニングコストも大幅
に下げることが可能であることを意味する。
More specifically, even under a long-term storage condition in which most of the conventional bubble jet type units having 64 discharge ports do not discharge, in the unit of the present invention, about half or less of discharge ports are defective. It just becomes. In addition, when these units are recovered by preliminary discharge, it is necessary to perform thousands of preliminary discharges by the conventional unit for each discharge port, but in the present invention, recovery is performed only by about 100 preliminary discharges. Was enough. This means that the recovery time can be shortened, the loss of liquid due to recovery can be reduced, and the running cost can be significantly reduced.

【0038】また、特に本発明のリフィル特性を向上し
た構成によれば、連続吐出時の応答性、気泡の安定成
長、液滴の安定化を達成して、高速液体吐出による高速
記録また高画質記録を可能にすることができた。
In particular, according to the configuration of the present invention having improved refill characteristics, responsiveness at the time of continuous ejection, stable growth of bubbles and stabilization of droplets are achieved, and high-speed recording and high image quality by high-speed liquid ejection are achieved. Recording could be enabled.

【0039】本発明のその他の効果については、各実施
例の記載から理解される。
The other effects of the present invention will be understood from the description of each embodiment.

【0040】なお、本発明の説明で用いる「上流」「下
流」とは、液体の供給源から気泡発生領域(又は可動部
材)を経て、吐出口へ向かう液体の流れ方向に関して、
又はこの構成上の方向に関しての表現として表されてい
る。
The terms “upstream” and “downstream” used in the description of the present invention refer to the flow direction of the liquid from the liquid supply source to the discharge port through the bubble generation region (or movable member).
Alternatively, it is expressed as an expression regarding this structural direction.

【0041】また、気泡自体に関する「下流側」とは、
主として液滴の吐出に直接作用するとされる気泡の吐出
口側部分を代表する。より具体的には気泡の中心に対し
て、上記流れ方向や上記構成上の方向に関する下流側、
又は、発熱体の面積中心より下流側の領域で発生する気
泡を意味する。
The “downstream side” of the bubble itself is as follows:
It mainly represents a portion on the ejection port side of a bubble which is considered to directly act on ejection of a droplet. More specifically, with respect to the center of the bubble, the downstream side with respect to the flow direction and the structural direction,
Alternatively, it means bubbles generated in a region downstream of the area center of the heating element.

【0042】また、本発明の説明で用いる「実質的に密
閉」とは、気泡が成長するとき、可動部材が変位する前
に可動部材の周囲の隙間(スリット)から気泡がすり抜
けない程度の状態を意味する。
The term “substantially sealed” used in the description of the present invention means that the bubble does not slip through a gap (slit) around the movable member before the movable member is displaced when the bubble grows. Means

【0043】さらに、本発明でいう「分離壁」とは、広
義では気泡発生領域と吐出口に直接連通する領域とを区
分するように介在する壁(可動部材を含んでもよい)を
意味し、狭義では気泡発生領域を含む流路を吐出口に直
接連通する液流路とを区分し、それぞれの領域にある液
体の混合を防止するものを意味する。
Further, the term "separation wall" in the present invention means, in a broad sense, a wall (which may include a movable member) interposed so as to separate a bubble generation region from a region directly communicating with the discharge port. In a narrow sense, it means that the flow path including the bubble generation area is separated from the liquid flow path that directly communicates with the discharge port, and mixing of the liquid in each area is prevented.

【0044】[0044]

【発明の実施の形態】る全く新規な技術を確立し、本出
願人は既に出願している。この出願には、気泡自体が吐
出量に与えるエネルギーを考慮すると気泡の下流側の成
長成分を考慮することが吐出特性を格段に向上できる要
因として最大であること、つまり、気泡の下流側の成長
成分を吐出方向へ効率よく変以下、図面を参照して本発
明の一実施例を詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A completely new technology has been established, and the present applicant has already filed an application. According to this application, considering the energy that the bubble itself gives to the ejection amount, considering the growth component on the downstream side of the bubble is the largest factor that can significantly improve the ejection characteristics, that is, the growth on the downstream side of the bubble. An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

【0045】本発明の実施例を説明する前に本発明に好
ましく適用される液体吐出ヘッドの実施形態例を以下に
示す。
Before describing the embodiments of the present invention, embodiments of the liquid discharge head preferably applied to the present invention will be described below.

【0046】次に本発明に適用可能な液体吐出ヘッドお
よび液体吐出方法について説明する。
Next, a liquid discharge head and a liquid discharge method applicable to the present invention will be described.

【0047】(実施形態例1)まず本実施形態例では液
体を吐出するための、気泡に基づく圧力の伝搬方向や気
泡の成長方向を制御することで吐出力や吐出効率の向上
を図る場合の例を説明する。
(Embodiment 1) First, in this embodiment, the discharge force and the discharge efficiency are improved by controlling the direction of pressure propagation based on bubbles and the growth direction of bubbles for discharging liquid. An example will be described.

【0048】図2はこのような本実施形態例の液体吐出
ヘッドを液流路方向で切断した断面模式図を示してお
り、図3はこの液体吐出ヘッドの部分破断斜視図を示し
ている。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the liquid discharge head of this embodiment cut along the liquid flow direction, and FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of the liquid discharge head.

【0049】本実施形態例の液体吐出ヘッドは、液体を
吐出するための吐出エネルギー発生素子として、液体に
熱エネルギーを作用させる発熱体2(本実施形態例にお
いては40μm×105μmの形状の発熱抵抗体)が素
子基板1に設けられており、この素子基板上に発熱体2
に対応して液流路10が配されている。液流路10は吐
出口18に連通していると共に、複数の液流路10に液
体を供給するための共通液室13に連通しており、吐出
口から吐出された液体に見合う量の液体をこの共通液室
13から受け取る。
In the liquid discharge head of this embodiment, a heating element 2 (a heating resistor having a shape of 40 μm × 105 μm in this embodiment) serving as a discharge energy generating element for discharging liquid, applies heat energy to the liquid. Is provided on the element substrate 1, and the heating element 2 is provided on the element substrate.
The liquid flow path 10 is arranged corresponding to the above. The liquid flow path 10 communicates with the discharge port 18 and also communicates with a common liquid chamber 13 for supplying the liquid to the plurality of liquid flow paths 10, and an amount of liquid corresponding to the liquid discharged from the discharge port. From the common liquid chamber 13.

【0050】この液流路10の素子基板上には、前述の
発熱体2に対向するように面して、金属等の弾性を有す
る材料で構成され、平面部を有する板状の可動部材31
が片持梁状に設けられている。この可動部材の一端は液
流路10の壁や素子基板上に感光性樹脂などをパターニ
ングして形成した土台(支持部材)34等に固定されて
いる。これによって、可動部材は保持されると共に支点
(支点部分)33を構成している。
A plate-shaped movable member 31 made of an elastic material such as metal and having a flat portion is provided on the element substrate of the liquid flow path 10 so as to face the heating element 2.
Are provided in a cantilever shape. One end of the movable member is fixed to a base (supporting member) 34 formed by patterning a photosensitive resin or the like on the wall of the liquid flow path 10 or the element substrate. Thus, the movable member is held and forms a fulcrum (fulcrum portion) 33.

【0051】この可動部材31は、液体の吐出動作によ
って共通液室13から可動部材31を経て吐出口18側
へ流れる大きな流れの上流側に支点(支点部分;固定
端)33を持ち、この支点33に対して下流側に自由端
(自由端部分)32を持つように、発熱体2に面した位
置に発熱体2を覆うような状態で発熱体から15μm程
度の距離を隔てて配されている。この発熱体と可動部材
との間が気泡発生領域となる。なお発熱体、可動部材の
種類や形状および配置はこれに限られることなく、後述
するように気泡の成長や圧力の伝搬を制御しうる形状お
よび配置であればよい。なお、上述した液流路10は、
後に取り上げる液体の流れの説明のため、可動部材31
を境にして直接吐出口18に連通している部分を第1の
液流路14とし、気泡発生領域11や液体供給路12を
有する第2の液流路16の2つの領域に分けて説明す
る。
The movable member 31 has a fulcrum (fulcrum portion; fixed end) 33 on the upstream side of a large flow flowing from the common liquid chamber 13 through the movable member 31 to the discharge port 18 by the liquid discharging operation. 33 is disposed at a position facing the heating element 2 at a distance of about 15 μm from the heating element so as to cover the heating element 2 so as to have a free end (free end portion) 32 on the downstream side with respect to 33. I have. A space between the heating element and the movable member is a bubble generation area. Note that the types, shapes, and arrangements of the heating element and the movable member are not limited thereto, and may be any shape and arrangement that can control the growth of bubbles and the propagation of pressure as described later. Note that the above-described liquid flow path 10
In order to explain the flow of the liquid to be discussed later, the movable member 31
The portion directly connected to the discharge port 18 with the boundary as the first liquid flow path 14 is divided into two areas of the bubble generation area 11 and the second liquid flow path 16 having the liquid supply path 12 for explanation. I do.

【0052】発熱体2を発熱させることで可動部材31
と発熱体2との間の気泡発生領域11の液体に熱を作用
し、液体にUSP4,723,129に記載されている
ような膜沸騰現象に基づく気泡を発生させる。気泡の発
生に基づく圧力と気泡は可動部材に優先的に作用し、可
動部材31は図2(b)、(c)もしくは図3で示され
るように支点33を中心に吐出口側に大きく開くように
変位する。可動部材31の変位若しくは変位した状態に
よって気泡の発生に基づく圧力の伝搬や気泡自身の成長
が吐出口側に導かれる。
The movable member 31 is generated by causing the heating element 2 to generate heat.
Heat is applied to the liquid in the bubble generation region 11 between the heating element 2 and the heating element 2 to generate bubbles in the liquid based on the film boiling phenomenon as described in US Pat. No. 4,723,129. The pressure based on the generation of the air bubbles and the air bubbles act preferentially on the movable member, and the movable member 31 opens largely toward the discharge port around the fulcrum 33 as shown in FIG. 2 (b), (c) or FIG. To be displaced. Depending on the displacement or the displaced state of the movable member 31, the propagation of pressure based on the generation of bubbles and the growth of the bubbles themselves are guided to the ejection port side.

【0053】ここで、本形態の基本的な吐出原理の一つ
を説明する。本形態において最も重要な原理の1つは、
気泡に対面するように配された可動部材が気泡の圧力あ
るいは気泡自体に基づいて、定常状態の第1の位置から
変位後の位置である第2の位置へ変位し、この変位する
可動部材31によって気泡の発生に伴う圧力や気泡自身
を吐出口18が配された下流側へ導くことである。
Here, one of the basic ejection principles of the present embodiment will be described. One of the most important principles in this embodiment is
The movable member disposed to face the bubble is displaced from the first position in the steady state to the second position after the displacement based on the pressure of the bubble or the bubble itself. This is to guide the pressure due to the generation of bubbles and the bubbles themselves to the downstream side where the discharge port 18 is arranged.

【0054】この原理を可動部材を用いない従来の液流
路構造を模式的に示した図4と本実施形態例の図5とを
比較してさらに詳しく説明する。なおここでは吐出口方
向への圧力の伝搬方向をVA、上流側への圧力の伝搬方
向をVBとして示した。
This principle will be described in further detail by comparing FIG. 4 schematically showing a conventional liquid flow path structure without using a movable member with FIG. 5 of the present embodiment. Here, the propagation direction of the pressure toward the discharge port is indicated by VA, and the propagation direction of the pressure toward the upstream side is indicated by VB.

【0055】図4で示されるような従来のヘッドにおい
ては、発生した気泡40による圧力の伝搬方向を規制す
る構成はない。このため気泡40の圧力伝搬方向はV1
〜V8のように気泡表面の垂線方向となり様々な方向を
向いていた。このうち、特に液吐出に最も影響を及ぼす
VA方向に圧力伝搬方向の成分を持つものは、V1〜V
4即ち気泡のほぼ半分の位置より吐出口に近い部分の圧
力伝搬の方向成分であり、液吐出効率、液吐出力、吐出
速度等に直接寄与する重要な部分である。さらにV1は
吐出方向VAの方向に最も近いため効率よく働き、逆に
V4はVAに向かう方向成分は比較的少ない。
In the conventional head as shown in FIG. 4, there is no structure for regulating the direction of pressure propagation by the generated air bubbles 40. Therefore, the pressure propagation direction of the bubble 40 is V1
As shown in V8, the direction was perpendicular to the surface of the bubble, and was oriented in various directions. Among them, those having a component in the pressure propagation direction in the VA direction which has the most influence on the liquid discharge are V1-V
4, ie, a directional component of pressure propagation in a portion closer to the discharge port than a position substantially half of the bubble, and is an important portion directly contributing to liquid discharge efficiency, liquid discharge force, discharge speed, and the like. Further, V1 works efficiently because it is closest to the ejection direction VA, while V4 has relatively little direction component toward VA.

【0056】これに対して、図5で示される本形態の場
合には、可動部材31が図4の場合のように様々な方向
を向いていた気泡の圧力伝搬方向V1〜V4を下流側
(吐出口側)へ導き、VAの圧力伝搬方向に変換するも
のであり、これにより気泡40の圧力が直接的に効率よ
く吐出に寄与することになる。そして、気泡の成長方向
自体も圧力伝搬方向V1〜V4と同様に下流方向に導か
れ、上流より下流で大きく成長する。このように、気泡
の成長方向自体を可動部材によって制御し、気泡の圧力
伝搬方向を制御することで、吐出効率や吐出力また吐出
速度等の根本的な向上を達成することができる。
On the other hand, in the case of the present embodiment shown in FIG. 5, the movable member 31 shifts the pressure propagation directions V1 to V4 of the bubbles directed in various directions as shown in FIG. (To the discharge port side) to convert the pressure into the VA pressure propagation direction, whereby the pressure of the bubbles 40 directly and efficiently contributes to the discharge. Then, the bubble growth direction itself is guided in the downstream direction in the same manner as the pressure propagation directions V1 to V4, and grows more downstream than upstream. As described above, by controlling the growth direction itself of the bubble by the movable member and controlling the pressure propagation direction of the bubble, it is possible to achieve a fundamental improvement in the discharge efficiency, the discharge force, the discharge speed, and the like.

【0057】次に図2に戻って、本実施形態例の液体吐
出ヘッドの吐出動作について詳しく説明する。
Next, returning to FIG. 2, the discharge operation of the liquid discharge head of this embodiment will be described in detail.

【0058】図2(a)は、発熱体2に電気エネルギー
等のエネルギーが印加される前の状態であり、発熱体が
熱を発生する前の状態である。ここで重要なことは、可
動部材31が、発熱体の発熱によって発生した気泡に対
し、この気泡の少なくとも下流側部分に対面する位置に
設けられていることである。つまり、気泡の下流側が可
動部材に作用するように、液流路構造上では少なくとも
発熱体の面積中心3より下流(発熱体の面積中心3を通
って流路の長さ方向に直交する線より下流)の位置まで
可動部材31が配されている。
FIG. 2A shows a state before energy such as electric energy is applied to the heating element 2 and a state before the heating element generates heat. What is important here is that the movable member 31 is provided at a position facing at least a downstream portion of the bubble generated by the heat generated by the heating element. In other words, on the liquid flow path structure, at least downstream of the area center 3 of the heating element (from a line passing through the area center 3 of the heating element and orthogonal to the length direction of the flow path, so that the downstream side of the bubble acts on the movable member. The movable member 31 is arranged to the position (downstream).

【0059】図2(b)は、発熱体2に電気エネルギー
等が印加されて発熱体2が発熱し、発生した熱によって
気泡発生領域11内を満たす液体の一部を加熱し、膜沸
騰に伴う気泡を発生させた状態である。
FIG. 2B shows that the heating element 2 generates heat when electric energy or the like is applied to the heating element 2, and the generated heat heats a part of the liquid filling the bubble generation region 11, causing film boiling. This is a state in which accompanying air bubbles are generated.

【0060】このとき可動部材31は気泡40の発生に
基づく圧力により、気泡40の圧力の伝搬方向を吐出口
方向に導くように第1位置から第2位置へ変位する。こ
こで重要なことは前述したように、可動部材31の自由
端32を下流側(吐出口側)に配置し、支点33を上流
側(共通液室側)に位置するように配置して、可動部材
の少なくとも一部を発熱体の下流部分すなわち気泡の下
流部分に対面させることである。
At this time, the movable member 31 is displaced from the first position to the second position by the pressure based on the generation of the bubble 40 so as to guide the pressure propagation direction of the bubble 40 toward the discharge port. What is important here is that, as described above, the free end 32 of the movable member 31 is arranged on the downstream side (discharge port side), and the fulcrum 33 is arranged on the upstream side (common liquid chamber side). That is, at least a part of the movable member faces a downstream portion of the heating element, that is, a downstream portion of the bubble.

【0061】図2(c)は気泡40がさらに成長した状
態であるが、気泡40発生に伴う圧力に応じて可動部材
31はさらに変位している。発生した気泡は上流より下
流に大きく成長すると共に可動部材の第1の位置(点線
位置)を越えて大きく成長している。このように気泡4
0の成長に応じて可動部材31が徐々に変位して行くこ
とで気泡40の圧力伝搬方向や堆積移動のしやすい方
向、すなわち自由端側への気泡の成長方向を吐出口に均
一的に向かわせることができることも吐出効率を高める
と考えられる。可動部材は気泡や発泡圧を吐出口方向へ
導く際もこの伝達の妨げになることはほとんどなく、伝
搬する圧力の大きさに応じて効率よく圧力の伝搬方向や
気泡の成長方向を制御することができる。
FIG. 2C shows a state in which the bubbles 40 have further grown, but the movable member 31 has been further displaced in accordance with the pressure accompanying the generation of the bubbles 40. The generated bubble grows greatly downstream from the upstream and grows greatly beyond the first position (dotted line position) of the movable member. Thus, bubble 4
When the movable member 31 is gradually displaced in accordance with the growth of 0, the pressure propagation direction of the bubble 40 and the direction in which the deposition is easily moved, that is, the growth direction of the bubble to the free end side is uniformly directed to the discharge port. It can be considered that being able to change the height also enhances the discharge efficiency. The movable member rarely hinders the transmission of bubbles or foaming pressure toward the discharge port, and efficiently controls the direction of pressure propagation and the direction of bubble growth according to the magnitude of the propagating pressure. Can be.

【0062】図2(d)は気泡40が、前述した膜沸騰
の後気泡内部圧力の減少によって収縮し、消滅する状態
を示している。
FIG. 2D shows a state in which the bubble 40 contracts and disappears due to the decrease in the internal pressure of the bubble after the above-mentioned film boiling.

【0063】第2の位置まで変位していた可動部材31
は、気泡の収縮による負圧と可動部材自身のばね性によ
る復元力によって図2(a)の初期位置(第1の位置)
に復帰する。また、消泡時には、気泡発生領域11での
気泡の収縮体積を補うため、また、吐出された液体の体
積分を補うために上流側(B)、すなわち共通液室側か
ら流れのVD1、VD2のように、また、吐出口側から
流れのVcのように液体が流れ込んでくる。
The movable member 31 which has been displaced to the second position
Is the initial position (first position) in FIG. 2A due to the negative pressure due to the contraction of the bubble and the restoring force due to the spring property of the movable member itself.
Return to. Further, at the time of defoaming, VD1 and VD2 of the flow from the upstream side (B), that is, the common liquid chamber side, in order to supplement the contracted volume of the bubbles in the bubble generation region 11 and to supplement the volume of the discharged liquid. And the liquid flows in from the discharge port side like Vc of the flow.

【0064】以上、気泡の発生に伴う可動部材の動作と
液体の吐出動作について説明したが、以下に本実施形態
例の液体吐出ヘッドにおける液体のリフィルについて詳
しく説明する。
The operation of the movable member and the operation of discharging the liquid accompanying the generation of bubbles have been described above. The refilling of the liquid in the liquid discharge head of this embodiment will be described in detail below.

【0065】図2を用いて本実施形態例における液供給
メカニズムをさらに詳しく説明する。
The liquid supply mechanism in this embodiment will be described in more detail with reference to FIG.

【0066】図2(c)の後、気泡40が最大体積の状
態を経て消泡過程に入ったときには、消泡した体積を補
う体積の液体が気泡発生領域に、第1液流路14の吐出
口18側と第2液流路16の共通液室側13から流れ込
む。可動部材31を持たない従来の液流路構造において
は、消泡位置に吐出口側から流れ込む液体の量と共通液
室から流れ込む液体の量は、気泡発生領域より吐出口に
近い部分と共通液室に近い部分との流抵抗の大きさに起
因する(流路抵抗と液体の慣性に基づくものであ
る。)。
When the bubble 40 enters the defoaming process after passing through the state of the maximum volume after FIG. 2 (c), a volume of liquid that compensates for the defoamed volume is placed in the bubble generation region in the first liquid flow path 14. The liquid flows from the discharge port 18 side and the common liquid chamber side 13 of the second liquid flow path 16. In the conventional liquid flow path structure without the movable member 31, the amount of the liquid flowing from the discharge port side to the defoaming position and the amount of the liquid flowing from the common liquid chamber are the same as the part closer to the discharge port than the bubble generation region and the common liquid. This is due to the magnitude of the flow resistance with the part close to the chamber (based on the flow path resistance and the inertia of the liquid).

【0067】このため、吐出口に近い側の流抵抗が小さ
い場合には、多くの液体が吐出口側から消泡位置に流れ
込みメニスカスの後退量が大きくなることになる。特
に、吐出効率を高めるために吐出口に近い側の流抵抗を
小さくして吐出効率を高めようとするほど、消泡時のメ
ニスカスMの後退が大きくなり、リフィル時間が長くな
って高速印字を妨げることとなっていた。
For this reason, when the flow resistance on the side close to the discharge port is small, a lot of liquid flows from the discharge port side to the defoaming position, and the retreat amount of the meniscus becomes large. In particular, as the flow resistance on the side close to the discharge port is reduced to increase the discharge efficiency in order to increase the discharge efficiency, the meniscus M at the time of defoaming becomes larger, the refill time becomes longer, and the refill time becomes longer, and high-speed printing is performed. Was to hinder.

【0068】これに対して本実施形態例は可動部材31
を設けたため、気泡の体積Wを可動部材31の第1位置
を境に上側をW1、気泡発生領域11側をW2とした場
合、消泡時に可動部材が元の位置に戻った時点でメニス
カスの後退は止まり、その後残ったW2の体積分の液体
供給は主に第2流路16の流れVD2からの液供給によ
って成される。これにより、従来、気泡Wの体積の半分
程度に対応した量がメニスカスの後退量になっていたの
に対して、それより少ないW1の半分程度のメニスカス
後退量に抑えることが可能になった。
On the other hand, in the present embodiment, the movable member 31
In the case where the volume W of the bubble is W1 on the upper side of the first position of the movable member 31 and W2 is on the side of the bubble generation region 11 when the movable member returns to the original position at the time of defoaming, the meniscus is removed. The retreat stops, and the liquid supply for the remaining volume of W2 is mainly performed by the liquid supply from the flow VD2 in the second flow path 16. Thus, while the amount corresponding to about half of the volume of the bubble W has conventionally been the meniscus retraction amount, it has become possible to suppress the meniscus retreat amount to a smaller amount, which is about half of W1.

【0069】さらに、W2の体積分の液体供給は消泡時
の圧力を利用して可動部材31の発熱体側の面に沿っ
て、主に第2液流路の上流側(VD2)から強制的に行
うことができるためより速いリフィルを実現できた。
Further, the supply of the liquid for the volume of W2 is forcibly performed mainly from the upstream side (VD2) of the second liquid flow path along the surface of the movable member 31 on the side of the heating element using the pressure at the time of defoaming. Faster refilling was achieved.

【0070】ここで特徴的なことは、従来のヘッドで消
泡時の圧力を用いたリフィルを行った場合、メニスカス
の振動が大きくなってしまい画像品位の劣化につながっ
ていたが、本実施形態例の高速リフィルにおいては可動
部材によって吐出口側の第1液流路14の領域と、気泡
発生領域11との吐出口側での液体の流通が抑制される
ためメニスカスの振動を極めて少なくすることができる
ことである。
The characteristic feature of this embodiment is that when refilling is performed by using the pressure at the time of defoaming with the conventional head, the vibration of the meniscus is increased and the image quality is degraded. In the high-speed refill in the example, the flow of the liquid on the discharge port side between the region of the first liquid flow path 14 on the discharge port side and the bubble generation area 11 is suppressed by the movable member, so that the vibration of the meniscus is extremely reduced. Is what you can do.

【0071】このように本実施形態例は、第2流路16
の液供給路12を介しての発泡領域への強制リフィル
と、上述したメニスカス後退や振動の抑制によって高速
リフィルを達成することで、吐出の安定や高速繰り返し
吐出、また記録の分野に用いた場合、画質の向上や高速
記録を実現することができる。
As described above, in the present embodiment, the second flow path 16
When high-speed refilling is achieved by forcibly refilling the foaming area through the liquid supply path 12 and suppressing the meniscus retraction and vibration described above, the method is used in the field of stable ejection, high-speed repetitive ejection, and recording. As a result, it is possible to improve image quality and realize high-speed recording.

【0072】本実施形態例の構成においてはさらに次の
ような有効な機能を兼ね備えている。それは、気泡の発
生による圧力の上流側への伝搬(バック波)を抑制する
ことである。発熱体2上で発生した気泡の内、共通液室
13側(上流側)の気泡による圧力は、その多くが、上
流側に向かって液体を押し戻す力(バック波)になって
いた。このバック波は、上流側の圧力と、それによる液
移動量、そして液移動に伴う慣性力を引き起こし、これ
らは液体の液流路内へのリフィルを低下させ高速駆動の
妨げにもなっていた。本実施形態例においては、まず可
動部材31によって上流側へのこれらの作用を抑えるこ
とでもリフィル供給性の向上をさらに図っている。
The configuration of this embodiment further has the following effective functions. That is, the propagation of the pressure to the upstream side (back wave) due to the generation of bubbles is suppressed. Of the bubbles generated on the heating element 2, most of the pressure caused by the bubbles on the common liquid chamber 13 side (upstream side) is a force (back wave) for pushing back the liquid toward the upstream side. This back wave caused the pressure on the upstream side, the amount of liquid movement due thereto, and the inertia force accompanying the liquid movement, which reduced the refill of the liquid into the liquid flow path and hindered high-speed driving. . In the present embodiment, the refillability is further improved by first suppressing these effects on the upstream side by the movable member 31.

【0073】次に、本実施形態例の更なる特徴的な構造
と効果について、以下に説明する。
Next, further characteristic structures and effects of this embodiment will be described below.

【0074】本実施形態例の第2液流路16は、発熱体
2の上流に発熱体2と実質的に平坦につながる(発熱体
表面が大きく落ち込んでいない)内壁を持つ液体供給路
12を有している。このような場合、気泡発生領域11
および発熱体2の表面への液体の供給は、可動部材31
の気泡発生領域11に近い側の面に沿って、VD2のよ
うに行われる。このため、発熱体2の表面上に液体が淀
むことが抑制され、液体中に溶存していた気体の析出
や、消泡できずに残ったいわゆる残留気泡が除去され易
く、また、液体への蓄熱が高くなりすぎることもない。
従って、より安定した気泡の発生を高速に繰り返し行う
ことができる。なお、本実施形態例では実質的に平坦な
内壁を持つ液体供給路12を持つもので説明したが、こ
れに限らず、発熱体表面となだらかに繋がり、なだらか
な内壁を有する液供給路であればよく、発熱体上に液体
の淀みや、液体の供給に大きな乱流を体面を覆う)よう
に大きな可動部材を用い、可動部材31が第1の位置へ
復帰することで、気泡発生領域11と第1液流路14の
吐出口に近い領域との液体の流抵抗が大きくなるような
形態の場合、前述のVD1から気泡発生領域11に向か
っての液体の流れが妨げられる。しかし、本形態のヘッ
ド構造においては、気泡発生領域に液体を供給するため
の流れVD1があるため、液体の供給性能が非常に高く
なり、可動部材31で気泡発生領域11を覆うような吐
出効率向上を求めた構造を取っても、液体の供給性能を
落とすことがない。
The second liquid flow path 16 of this embodiment is provided with a liquid supply path 12 having an inner wall that is substantially flat with the heating element 2 (the heating element surface is not greatly reduced) upstream of the heating element 2. Have. In such a case, the bubble generation region 11
The supply of the liquid to the surface of the heating element 2 is performed by the movable member 31.
VD2 is performed along the surface on the side closer to the bubble generation region 11 of FIG. Therefore, stagnation of the liquid on the surface of the heating element 2 is suppressed, and deposition of gas dissolved in the liquid and so-called residual air bubbles that cannot be defoamed are easily removed. The heat storage does not become too high.
Therefore, more stable generation of bubbles can be repeated at high speed. In the present embodiment, the liquid supply path 12 having a substantially flat inner wall has been described. However, the present invention is not limited to this. Any liquid supply path that has a gentle inner wall that is smoothly connected to the surface of the heating element. The movable member 31 is returned to the first position by using a large movable member so as to cover the body surface with stagnation of the liquid on the heating element and a large turbulent flow for the supply of the liquid. In the case where the flow resistance of the liquid between the discharge port of the first liquid flow path 14 and the area close to the discharge port is increased, the flow of the liquid from the VD 1 to the bubble generation area 11 is prevented. However, in the head structure of the present embodiment, the flow VD1 for supplying the liquid to the bubble generation region has a very high liquid supply performance, and the ejection efficiency is such that the movable member 31 covers the bubble generation region 11. Even if a structure requiring improvement is adopted, the liquid supply performance is not reduced.

【0076】ところで、可動部材31の自由端32と支
点33の位置は、例えば図6で示されるように、自由端
が相対的に支点より下流側にある。このような構成のた
め、前述した発泡の際に気泡の圧力伝搬方向や成長方向
を吐出口側に導く等の機能や効果を効率よく実現できる
のである。さらに、この位置関係は吐出に対する機能や
効果のみならず、液体の供給の際にも液流路10を流れ
る液体に対する流抵抗を小さくしでき高速にリフィルで
きるという効果を達成している。これは図6に示すよう
に、吐出によって後退したメニスカスMが毛管力により
吐出口18へ復帰する際や、消泡に対しての液供給が行
われる場合に、液流路10(第1液流路14、第2液流
路16を含む)内を流れる流れS1、S2、S3に対
し、逆らわないように自由端と支点33とを配置してい
るためである。
The positions of the free end 32 and the fulcrum 33 of the movable member 31 are such that the free end is relatively downstream from the fulcrum, as shown in FIG. With such a configuration, it is possible to efficiently realize functions and effects such as guiding the pressure propagation direction and growth direction of bubbles to the ejection port side during the above-described foaming. Further, this positional relationship achieves not only a function and an effect on discharge, but also an effect that the flow resistance to the liquid flowing through the liquid flow path 10 can be reduced and the refill can be performed at a high speed even when the liquid is supplied. As shown in FIG. 6, when the meniscus M retracted by the discharge returns to the discharge port 18 by the capillary force, or when the liquid is supplied to the defoaming, the liquid flow path 10 (the first liquid This is because the free end and the fulcrum 33 are arranged so as not to go against the flows S1, S2, and S3 flowing through the flow path 14 (including the second liquid flow path 16).

【0077】補足すれば、本実施形態例の図2において
は、前述のように可動部材31の自由端32が、発熱体
2を上流側領域と下流側領域とに2分する面積中心3
(発熱体の面積中心(中央)を通り液流路の長さ方向に
直交する線)より下流側の位置に対向するように発熱体
2に対して延在している。これによって発熱体の面積中
心位置3より下流側で発生する液体の吐出に大きく寄与
する圧力、又は気泡を可動部材31が受け、この圧力及
び気泡を吐出口側に導くことができ、吐出効率や吐出力
を根本的に向上させることができる。
In addition, in FIG. 2 of the present embodiment, as described above, the free end 32 of the movable member 31 has the area center 3 which divides the heating element 2 into an upstream area and a downstream area.
It extends with respect to the heating element 2 so as to face a position downstream of a line passing through the center (center) of the area of the heating element and perpendicular to the length direction of the liquid flow path. As a result, the movable member 31 receives a pressure or a bubble that greatly contributes to the discharge of the liquid generated downstream of the area center position 3 of the heating element, and the pressure and the bubble can be guided to the discharge port side, and the discharge efficiency and the like can be improved. Discharge force can be fundamentally improved.

【0078】さらに、加えて上記気泡の上流側をも利用
して多くの効果を得ている。
In addition, many effects are obtained by utilizing the upstream side of the bubble.

【0079】また、本実施形態例の構成においては可動
部材31の自由端が瞬間的な機械的変位を行っているこ
とも、液体の吐出に対して有効に寄与している考えられ
る。
Further, in the configuration of the present embodiment, the fact that the free end of the movable member 31 is subjected to an instantaneous mechanical displacement is also considered to contribute effectively to the ejection of the liquid.

【0080】(実施形態例2)以下、図面を参照して本
発明の他の実施形態例について説明する。
(Embodiment 2) Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0081】本実施形態例においても主たる液体の吐出
原理については先の実施形態例と同じであるが、本実施
形態例においては液流路を複流路構成にすることで、さ
らに熱を加えることで発泡させる液体(発泡液)と、主
として吐出される液体(吐出液)とをれた液体の体積分
を補うために上流側(B)、すなわち共通液室側から流
れのVD1、VD2のように、また、吐出口側から流れ
のVcのように液体が流れ込んでくる。
In this embodiment, the principle of the main liquid ejection is the same as in the previous embodiment. However, in this embodiment, the liquid flow path has a multi-flow path structure, so that more heat is applied. In order to supplement the volume of the liquid (foaming liquid) to be foamed by the liquid and the liquid mainly discharged (discharged liquid), such as VD1 and VD2 flowing from the upstream side (B), that is, the common liquid chamber side. Then, the liquid flows in from the discharge port side like the flow Vc.

【0064】以上、気泡の発生に伴う可動部材の動作と
液体の吐出動作について説明したが、以下に本分けるこ
とができるものである。
Although the operation of the movable member and the operation of discharging the liquid in association with the generation of bubbles have been described above, they can be divided into the following.

【0082】図7は、本実施形態例の液体吐出ヘッドの
流路方向の断面模式図を示しており、図8はこの液体吐
出ヘッドの部分破断斜視図を示している。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the liquid discharge head of this embodiment in the flow direction, and FIG. 8 is a partially cutaway perspective view of the liquid discharge head.

【0083】本実施形態例の液体吐出ヘッドは、液体に
気泡を発生させるための熱エネルギーを与える発熱体2
が設けられた素子基板1上に、発泡用の第2液流路16
があり、その上に吐出口18に直接連通した吐出液用の
第1液流路14が配されている。
The liquid discharge head according to the present embodiment has a heating element 2 for applying thermal energy for generating bubbles in the liquid.
A second liquid flow path 16 for foaming is provided on the element substrate 1 provided with
The first liquid flow path 14 for the discharged liquid which is directly communicated with the discharge port 18 is disposed thereon.

【0084】第1液流路の上流側は、複数の第1液流路
に吐出液を供給するための第1共通液室15に連通して
おり、第2液流路の上流側は、複数の第2液流路に発泡
液を供給するための第2共通液室に連通している。
The upstream side of the first liquid flow path communicates with the first common liquid chamber 15 for supplying the discharge liquid to the plurality of first liquid flow paths, and the upstream side of the second liquid flow path is The plurality of second liquid flow paths communicate with a second common liquid chamber for supplying a foaming liquid.

【0085】但し、発泡液と吐出液を同じ液体とする場
合には、共通液室を一つにして共通化させてもよい。
However, when the same liquid is used for the foaming liquid and the discharge liquid, the common liquid chamber may be made one and shared.

【0086】第1と第2の液流路の間には、金属等の弾
性を有する材料で構成された分離壁30が配されてお
り、第1液流路と第2の液流路とを区分している。な
お、発泡液と吐出液とができる限り混ざり合わない方が
よい液体の場合には、この分離壁によってできる限り完
全に第1液流路14と第2液流路16の液体の流通を分
離した方がよいが、発泡液と吐出液とがある程度混ざり
合っても、問題がない場合には、分離壁に完全分離の機
能を持たせなくてもよい。
A separation wall 30 made of a material having elasticity such as metal is provided between the first and second liquid flow paths, and is provided between the first and second liquid flow paths. Are classified. In the case where the foaming liquid and the discharge liquid are liquids that should not be mixed as much as possible, the flow of the liquids in the first liquid flow path 14 and the second liquid flow path 16 can be separated as completely as possible by this separation wall. It is better to perform the separation, but if there is no problem even if the foaming liquid and the discharge liquid are mixed to some extent, the separation wall may not have the function of complete separation.

【0087】発熱体の面方向上方への投影空間(以下吐
出圧発生領域という。;図7中のAの領域とBの気泡発
生領域11)に位置する部分の分離壁は、スリット35
によって吐出口側(液体の流れの下流側)が自由端で、
共通液室(15、17)側に支点33が位置する片持梁
形状の可動部材31となっている。この可動部材31
は、気泡発生領域11(B)に面して配されているた
め、発泡液の発泡によって第1液流路側の吐出口側に向
けて開口するように動作する(図中矢印方向)。図8に
おいても、発熱体2としての発熱抵抗部と、この発熱抵
抗部に電気信号を印加するための配線電極5とが配され
た素子基板1上に、第2の液流路を構成する空間を介し
て分離壁30が配置されている。
The separation wall of the portion located in the projection space above the heating element in the plane direction (hereinafter, referred to as the discharge pressure generation area; the area A in FIG. 7 and the air bubble generation area 11 in FIG.
The discharge port side (downstream side of the liquid flow) is a free end,
The movable member 31 has a cantilever shape in which the fulcrum 33 is located on the common liquid chamber (15, 17) side. This movable member 31
Is arranged so as to face the bubble generation region 11 (B), so that it operates so as to open toward the discharge port side on the first liquid flow path side by foaming of the foaming liquid (in the direction of the arrow in the figure). In FIG. 8 as well, a second liquid flow path is formed on the element substrate 1 on which the heating resistor as the heating element 2 and the wiring electrode 5 for applying an electric signal to the heating resistor are arranged. The separation wall 30 is arranged via the space.

【0088】可動部材31の支点33、自由端32の配
置と、発熱体との配置の関係については、先の実施形態
例と同様にしている。
The relationship between the arrangement of the fulcrum 33 and the free end 32 of the movable member 31 and the arrangement with the heating element is the same as in the previous embodiment.

【0089】また、先の実施形態例で液供給路12と発
熱体2との構造の関係について説明したが、本実施形態
例においても第2液流路16と発熱体2との構造の関係
を同じくしている。
Although the structure of the liquid supply passage 12 and the heating element 2 has been described in the previous embodiment, the structure of the second liquid flow path 16 and the heating element 2 in this embodiment also. The same is true.

【0090】次に図9を用いて本実施形態例の液体吐出
ヘッドの動作を説明する。
Next, the operation of the liquid ejection head of the present embodiment will be described with reference to FIG.

【0091】ヘッドを駆動させるにあたっては、第1液
流路14に供給される吐出液と第2の液流路16に供給
される発泡液として同じ水系のインクを用いて動作させ
た。
In driving the head, the same aqueous ink was used as the discharge liquid supplied to the first liquid flow path 14 and the foaming liquid supplied to the second liquid flow path 16.

【0092】発熱体2が発生した熱が、第2液流路の気
泡発生領域内の発泡液に作用することで、先の実施形態
例で説明したのと同様に発泡液にUSP4,723,1
29に記載されているような膜沸騰現象に基づく気泡4
0を発生させる。
The heat generated by the heating element 2 acts on the foaming liquid in the bubble generation region of the second liquid flow path, so that the foaming liquid is added to the foaming liquid in the same manner as described in the previous embodiment. 1
Bubble 4 based on film boiling phenomenon as described in 29
Generates 0.

【0093】本実施形態例においては、気泡発生領域の
上流側を除く、3方からの発泡圧の逃げがないため、こ
の気泡発生にともなう圧力が吐出圧発生部に配された可
動部材6側に集中して伝搬し、気泡の成長をともなって
可動部材6が図9(a)の状態から図9(b)のように
第1液流路側に変位する。この可動部材の動作によって
第1液流路14と第2液流路16とが大きく連通し、気
泡の発生に基づく圧力が第1液流路の吐出口側の方向
(A方向)に主に伝わる。この圧力の伝搬と、前述のよ
うな可動部材の機械的変位によって液体が吐出口から吐
出される。
In this embodiment, since there is no escape of the foaming pressure from the three sides except for the upstream side of the bubble generation area, the pressure accompanying the bubble generation is applied to the movable member 6 disposed at the discharge pressure generating portion. The movable member 6 is displaced from the state of FIG. 9A to the first liquid flow path side as shown in FIG. 9B with the growth of bubbles. Due to the operation of the movable member, the first liquid flow path 14 and the second liquid flow path 16 communicate with each other largely, and the pressure based on the generation of bubbles mainly occurs in the direction (A direction) on the discharge port side of the first liquid flow path. Convey. The liquid is discharged from the discharge port by the propagation of the pressure and the mechanical displacement of the movable member as described above.

【0094】次に、気泡が収縮するに伴って可動部材3
1が図9(a)の位置まで戻ると共に、第1液流路14
では吐出された吐出液体の量に見合う量の吐出液体が上
流側から供給される。本実施形態例においても、この吐
出液体の供給は前述の実施形態例と同様に可動部材が閉
じる方向であるため、吐出液体のリフィルを可動部材で
妨げることがない。
Next, as the bubbles shrink, the movable member 3
1 returns to the position shown in FIG.
In the case, the amount of the discharged liquid corresponding to the amount of the discharged liquid is supplied from the upstream side. Also in the present embodiment, the supply of the discharge liquid is in the direction in which the movable member closes, similarly to the above-described embodiment, so that the refill of the discharge liquid is not hindered by the movable member.

【0095】本実施形態例は、可動部材の変位に伴う発
泡圧力の伝搬、気泡の成長方向、バック波の防止等に関
する主要部分の作用や効果については先の第1実施形態
例と同じであるが、本実施形態例のような2流路構成を
とることによって、さらに次のような長所がある。
The second embodiment is the same as the first embodiment in the operation and effects of the main parts relating to the propagation of the foaming pressure accompanying the displacement of the movable member, the growth direction of the bubbles, the prevention of back waves, and the like. However, by adopting the two flow path configuration as in the present embodiment, there are further advantages as follows.

【0096】すなわち、上述の実施形態例の構成による
と、吐出液と発泡液とを別液体とし、発泡液の発泡で生
じた圧力によって吐出液を吐出することができる。この
ため従来、熱を加えても発泡が十分に行われにくく吐出
力が不十分であったポリエチレングリコール等の高粘度
の液体であっても、この液体を第1の液流路に供給し、
発泡液に発泡が良好に行われる液体(エタノール:水=
4:6の混合液1〜2cP程度等)や低沸点の液体を第
2の液流路に供給することで良好に吐出させることがで
きる。
That is, according to the configuration of the above-described embodiment, the discharge liquid and the foaming liquid can be made different liquids, and the discharge liquid can be discharged by the pressure generated by the foaming of the foaming liquid. For this reason, conventionally, even if it is a high-viscosity liquid such as polyethylene glycol, which has been insufficiently foamed even when heat is applied and discharge power is insufficient, this liquid is supplied to the first liquid flow path,
Liquid that foams well in the foaming liquid (ethanol: water =
By supplying a liquid having a low boiling point and a liquid having a low boiling point to the second liquid flow path, a good discharge can be achieved.

【0097】また、発泡液として、熱を受けても発熱体
の表面にコゲ等の堆積物を生じない液体を選択すること
で、発泡を安定化し、良好な吐出を行うことができる。
Further, by selecting a liquid which does not generate deposits such as kogation on the surface of the heating element even if it receives heat as the foaming liquid, foaming can be stabilized and good ejection can be performed.

【0098】さらに、本発明のヘッドの構造においては
先の実施形態例で説明したような効果をも生じるため、
さらに高吐出効率、高吐出力で高粘性液体等の液体を吐
出することができる。
Further, in the structure of the head according to the present invention, the effects as described in the previous embodiment are also produced.
Further, a liquid such as a highly viscous liquid can be discharged with high discharge efficiency and high discharge force.

【0099】また、加熱に弱い液体の場合においてもこ
の液体を第1の液流路に吐出液として供給し、第2の液
流路で熱的に変質しにくく良好に発泡を生じる液体を供
給すれば、加熱に弱い液体に熱的な害を与えることな
く、しかも上述のように高吐出効率、高吐出力で吐出す
ることができる。
Even in the case of a liquid weak to heating, this liquid is supplied as a discharge liquid to the first liquid flow path, and a liquid which is hardly thermally degraded in the second liquid flow path and which is well foamed is supplied. This makes it possible to discharge the liquid weak to heating without causing thermal harm, and with high discharge efficiency and high discharge force as described above.

【0100】<その他の実施形態例>以上、本発明に適
用しうる液体吐出ヘッドや液体吐出方法の要部の実施形
態例について説明を行ったが、以下にこれらの実施形態
例に好ましく適用できる実施態様例について図面を用い
て説明する。但し、以下の説明においては前述の1流路
形態の実施形態例と2流路形態の実施形態例のいずれか
を取り上げて説明する場合があるが特に記載しない限
り、両実施形態例に適用しうるものである。
<Other Embodiments> While the embodiments of the main parts of the liquid discharge head and the liquid discharge method applicable to the present invention have been described above, the present invention can be preferably applied to these embodiments below. An embodiment will be described with reference to the drawings. However, in the following description, there is a case where either one of the above-described embodiment of the one-passage form and the embodiment of the two-passage form is described. However, unless otherwise specified, the present invention is applied to both embodiments. It is a good thing.

【0101】<第2液流路と可動部材との配置関係>図
10は、上述の可動部材31と第2の液流路16との配
置関係を説明するための図であり、同図(a)は分離壁
30、可動部材31近傍を上方から見た図であり、同図
(b)は、分離壁30を外した第2液流路16を上方か
ら見た図である。そして、同図(c)は、可動部材6と
第2液流路16との配置関係を、これらの各要素を重ね
ることで模式的に示した図である。なお、いずれの図も
図面下方が吐出口が配されている前面側である。
<Arrangement Relationship Between Second Liquid Flow Path and Movable Member> FIG. 10 is a view for explaining the arrangement relation between the movable member 31 and the second liquid flow path 16 described above. FIG. 2A is a view of the vicinity of the separation wall 30 and the movable member 31 as viewed from above, and FIG. 2B is a view of the second liquid flow path 16 from which the separation wall 30 has been removed, as viewed from above. FIG. 3C is a diagram schematically showing the arrangement relationship between the movable member 6 and the second liquid flow path 16 by overlapping these elements. In each of the figures, the lower part of the drawing is the front side where the discharge ports are arranged.

【0102】本実施形態例の第2の液流路16は発熱体
2の上流側(ここでの上流側とは第2共通液室側から発
熱体位置、可動部材、第1流路を経て吐出口に向う大き
な流れの中の上流側のことである。)に狭窄部19を持
っており、発泡時の圧力が第2液流路16の上流側に容
易に逃げることを抑制するような室(発泡室)構造とな
っている。
The second liquid flow path 16 of this embodiment is located on the upstream side of the heating element 2 (the upstream side here is from the second common liquid chamber side to the heating element position, the movable member, and the first flow path). It has a constriction 19 at the upstream side in the large flow toward the discharge port, and suppresses the pressure at the time of bubbling from easily escaping to the upstream side of the second liquid flow path 16. It has a chamber (foaming chamber) structure.

【0103】従来のヘッドのように、発泡する流路と液
体を吐出するための流路とが同じで、発熱体より液室側
に発生した圧力が共通液室側に逃げないように狭窄部を
設けるヘッドの場合には、液体のリフィルを充分考慮し
て、狭窄部における流路断面積があまり小さくならない
構成を採る必要があった。
As in the conventional head, the flow path for bubbling and the flow path for discharging the liquid are the same, and a constricted portion is formed so that the pressure generated on the liquid chamber side from the heating element does not escape to the common liquid chamber side. In the case of the head provided with the above, it is necessary to adopt a configuration in which the cross-sectional area of the flow path in the constricted portion does not become so small in consideration of liquid refilling.

【0104】しかし、本実施形態例の場合、吐出される
液体の多くを第1液流路内の吐出液とすることができ、
発熱体が設けられた第2液流路内の発泡液はあまり消費
されないようにできるため、第2液流路の気泡発生領域
11への発泡液の充填量は少なくて良い。従って、上述
の狭窄部19における間隔を数μm〜十数μmと非常に
狭くできるため、第2液流路で発生した発泡時の圧力を
あまり周囲に逃がすことをさらに抑制でき、集中して可
動部材側に向けることができる。そしてこの圧力を可動
部材31を介して吐出力として利用することができるた
め、より高い吐出効率、吐出力を達成することができ
る。ただ、第1液流路16の形状は上述の構造に限られ
るものではなく、気泡発生に伴う圧力が効果的に可動部
材側に伝えられる形状であれば良い。
However, in the case of this embodiment, most of the liquid to be discharged can be used as the discharge liquid in the first liquid flow path.
Since the foaming liquid in the second liquid flow path provided with the heating element can be prevented from being consumed so much, the amount of the foaming liquid filled in the bubble generation region 11 of the second liquid flow path may be small. Therefore, since the interval in the constricted portion 19 can be made very small, that is, several μm to several tens of μm, it is possible to further suppress the pressure at the time of foaming generated in the second liquid flow path from being released too much to the surroundings, and to concentrate and move. It can be turned to the member side. Since this pressure can be used as the discharge force via the movable member 31, higher discharge efficiency and discharge force can be achieved. However, the shape of the first liquid flow path 16 is not limited to the above-described structure, and may be any shape as long as the pressure accompanying the generation of bubbles can be effectively transmitted to the movable member side.

【0105】なお、図10(c)で示されるように可動
部材31の側方は、第2液流路を構成する壁の一部を覆
っており、このことで、可動部材31の第2液流路への
落ち込みが防止できる。これによって、前述した吐出液
と発泡液との分離性をさらに高めることができる。ま
た、気泡のスリットからの逃げの抑制ができるため、さ
らに吐出圧や吐出効率を高めることができる。さらに、
前述の消泡時の圧力による上流側からのリフィルの効果
を高めることができる。
As shown in FIG. 10 (c), the side of the movable member 31 covers a part of the wall constituting the second liquid flow path. Dropping into the liquid flow path can be prevented. This can further enhance the separability between the ejection liquid and the foaming liquid described above. In addition, since the escape of bubbles from the slits can be suppressed, the discharge pressure and the discharge efficiency can be further increased. further,
The effect of the refill from the upstream side by the pressure at the time of the defoaming can be enhanced.

【0106】なお、図9(b)においては、可動部材6
の第1の液流路14側への変位に伴って第2の液流路4
の気泡発生領域で発生した気泡の一部が第1の液流路1
4側に延在しているが、この様に気泡が延在するような
第2流路の高さにすることで、気泡が延在しない場合に
比べ更に吐出力を向上させることができる。この様に気
泡が第1の液流路14に延在するようにするためには、
第2の液流路16の高さを最大気泡の高さより低くする
ことが望ましく、この高さを数μm〜30μmとするこ
とが望ましい。なお、本実施形態例においてはこの高さ
を15μmとした。
In FIG. 9B, the movable member 6
Of the second liquid flow path 4 with the displacement of the second liquid flow path 4
Some of the bubbles generated in the bubble generation region of the first liquid flow path 1
Although it extends to the fourth side, the ejection force can be further improved by setting the height of the second flow path such that the bubbles extend as compared with the case where the bubbles do not extend. In order for the bubble to extend to the first liquid flow path 14 in this manner,
It is desirable that the height of the second liquid flow path 16 be lower than the height of the maximum bubble, and it is desirable that this height be several μm to 30 μm. In this embodiment, the height is set to 15 μm.

【0107】<可動部材および分離壁>図11は可動部
材31の他の形状を示すもので、35は、分離壁に設け
られたスリットであり、このスリットによって、可動部
材31が形成されている。同図(a)は長方形の形状で
あり、(b)は支点側が細くなっている形状で可動部材
の動作が容易な形状であり、同図(c)は支点側が広く
なっており、可動部材の耐久性が向上する形状である。
動作の容易性と耐久性が良好な形状として、図10
(a)で示したように、支点側の幅が円弧状に狭くなっ
ている形態が望ましいが、可動部材の形状は第2の液流
路側に入り込むことがなく、容易に動作可能な形状で、
耐久性に優れた形状であればよい。
<Movable Member and Separation Wall> FIG. 11 shows another shape of the movable member 31. Reference numeral 35 denotes a slit provided on the separation wall, and the slit forms the movable member 31. . (A) is a rectangular shape, (b) is a shape where the fulcrum side is narrower and the movable member is easy to operate, and (c) is a shape where the fulcrum side is wider and the movable member is wider. This is a shape that improves the durability of the device.
As a shape having good operability and durability, FIG.
As shown in (a), it is desirable that the width on the fulcrum side is narrowed in an arc shape, but the shape of the movable member is a shape that can easily operate without entering the second liquid flow path side. ,
Any shape having excellent durability may be used.

【0108】先の実施形態例においては、板状可動部材
31をおよびこの可動部材を有する分離壁5は厚さ5μ
mのニッケルで構成したが、これに限られることなく可
動部材、分離壁を構成する材質としては発泡液と吐出液
に対して耐溶剤性があり、可動部材として良好に動作す
るための弾性を有し、微細なスリットが形成できるもの
であればよい。
In the above embodiment, the plate-shaped movable member 31 and the separation wall 5 having this movable member have a thickness of 5 μm.
However, the material of the movable member and the separation wall is not limited to this, and has a solvent resistance to the foaming liquid and the discharge liquid, and has elasticity to operate well as the movable member. What is necessary is just to be able to form a fine slit.

【0109】可動部材の材料としては、耐久性の高い、
銀、ニッケル、金、鉄、チタン、アルミニュウム、白
金、タンタル、ステンレス、りん青銅等の金属、および
その合金、または、アクリロニトリル、ブタジエン、ス
チレン等のニトリル基を有する樹脂、ポリアミド等のア
ミド基を有する樹脂、ポリカーボネイト等のカルボキシ
ル基を有する樹脂、ポリアセタール等のアルデヒド基を
持つ樹脂、ポリサルフォン等のスルホン基を持つ樹脂、
そのほか液晶ポリマー等の樹脂およびその化合物、耐イ
ンク性の高い、金、タングステン、タンタル、ニッケ
ル、ステンレス、チタン等の金属、これらの合金および
耐インク性に関してはこれらを表面にコーティングした
もの若しくは、ポリアミド等のアミド基を有する樹脂、
ポリアセタール等のアルデヒド基を持つ樹脂、ポリエー
テルエーテルケトン等のケトン基を有する樹脂、ポリイ
ミド等のイミド基を有する樹脂、フェノール樹脂等の水
酸基を有する樹脂、ポリエチレン等のエチル基を有する
樹脂、ポリプロピレン等のアルキル基を持つ樹脂、エポ
キシ樹脂等のエポキシ基を持つ樹脂、メラミン樹脂等の
アミノ基を持つ樹脂、キシレン樹脂等のメチロール基を
持つ樹脂およびその化合物、さらに二酸化珪素等のセラ
ミックおよびその化合物が望ましい。
As the material of the movable member, high durability
Metals such as silver, nickel, gold, iron, titanium, aluminum, platinum, tantalum, stainless steel, phosphor bronze, and alloys thereof, or resins having a nitrile group such as acrylonitrile, butadiene, styrene, and amide groups such as polyamide Resin, resin having a carboxyl group such as polycarbonate, resin having an aldehyde group such as polyacetal, resin having a sulfone group such as polysulfone,
In addition, resins and compounds such as liquid crystal polymers, highly ink-resistant metals such as gold, tungsten, tantalum, nickel, stainless steel, titanium, alloys of these and those with ink resistance coated on the surface or polyamide A resin having an amide group such as
Resins having an aldehyde group such as polyacetal, resins having a ketone group such as polyetheretherketone, resins having an imide group such as polyimide, resins having a hydroxyl group such as a phenol resin, resins having an ethyl group such as polyethylene, polypropylene, etc. A resin having an alkyl group, a resin having an epoxy group such as an epoxy resin, a resin having an amino group such as a melamine resin, a resin having a methylol group such as a xylene resin and its compound, and a ceramic such as silicon dioxide and its compound. desirable.

【0110】分離壁の材質としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレー
ト、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リブタジエン、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケ
トン、ポリエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリ
イミド、ポリサルフォン、液晶ポリマー(LCP)等の
近年のエンジニアリングプラスチックに代表される耐熱
性、耐溶剤性、成型性の良好な樹脂、およびその化合
物、もしくは、二酸化珪素、チッ化珪素、ニッケル、
金、ステンレス等の金属、合金およびその化合物、もし
くは表面にチタンや金をコーティングしたものが望まし
いのスリット35の幅は本実施形態例では2μmとした
が、発泡液と吐出液とが異なる液体であり、両液体の混
液を防止したい場合は、スリット幅を両者の液体間でメ
ニスカスを形成する程度の間隔とし、夫々の液体同士の
流通を抑制すればよい。例えば、発泡液として2cP
(センチポアズ)程度の液体を用い、吐出液として10
0cP以上の液体を用いた場合には、5μm程度のスリ
ットでも混液を防止することができるが、3μm以下に
することが望ましい。
Examples of the material of the separation wall include polyethylene, polypropylene, polyamide, polyethylene terephthalate, melamine resin, phenol resin, epoxy resin, polybutadiene, polyurethane, polyetheretherketone, polyethersulfone, polyarylate, polyimide, polysulfone, and liquid crystal. A resin having good heat resistance, solvent resistance and moldability represented by recent engineering plastics such as polymer (LCP) and its compound, or silicon dioxide, silicon nitride, nickel,
Metals such as gold and stainless steel, alloys and their compounds, or those coated with titanium or gold on the surface are desirable. The width of the slit 35 is 2 μm in the present embodiment, but a liquid different from the foaming liquid and the discharge liquid is used. In order to prevent a mixture of the two liquids, the slit width may be set to an interval enough to form a meniscus between the two liquids to suppress the flow of the respective liquids. For example, as a foaming liquid, 2 cP
(Centipoise) of liquid, and 10
When a liquid of 0 cP or more is used, a liquid mixture can be prevented even with a slit of about 5 μm, but it is preferable that the slit be 3 μm or less.

【0113】本発明における可動部材としてはμmオー
ダーの厚さ(tμm)を対象としており、cmオーダー
の厚さの可動部材は意図していない。μmオーダーの厚
さの可動部材にとって、μmオーダーのスリット幅(W
μm)を対象とする場合、製造のバラツキをある程度考
慮することが望ましい。
The movable member in the present invention has a thickness on the order of μm (t μm), and a movable member having a thickness on the order of cm is not intended. For a movable member having a thickness on the order of μm, a slit width (W
μm), it is desirable to consider the manufacturing variation to some extent.

【0114】スリットを形成する可動部材の自由端ある
いは/且つ側端に対向する部材の厚みが可動部材の厚み
と同等の場合(図9、図21等)、スリット幅と厚みの
関係を製造のバラツキを考慮して以下のような範囲にす
ることで発泡液と吐出液の混液を安定的に抑制すること
ができる。このことは限られた条件ではあるが設計上の
観点として、3cp以下の粘度の発泡液に対して高粘度
インク(5cp、10cp等)を用いる場合、W/t≦
1を満足するようにすることで、2液の混合を長期にわ
たって抑制することが可能な構成となった。
When the thickness of the member facing the free end and / or the side end of the movable member forming the slit is equal to the thickness of the movable member (FIGS. 9 and 21), the relationship between the slit width and the thickness is determined by manufacturing. By setting the following range in consideration of the variation, the mixture of the foaming liquid and the ejection liquid can be stably suppressed. Although this is a limited condition, as a design point of view, when a high-viscosity ink (5 cp, 10 cp, etc.) is used for a foaming liquid having a viscosity of 3 cp or less, W / t ≦
By satisfying the condition 1, the mixing of the two liquids can be suppressed for a long time.

【0115】本発明の「実質的な密閉状態」を与えるス
リットとしては、このような数μmオーダであればより
確実である。
The slit for providing the “substantially sealed state” of the present invention is more reliable if it is on the order of several μm.

【0116】<2流路構成のヘッド構造>以下に、第
1、第2の共通液室に異なる液体を良好に分離して導入
でき部品点数の削減を図れ、コストダウンを可能とする
液体吐出ヘッドの構造例について説明する。
<Head Structure with Two Flow Channels> A liquid discharge that can satisfactorily separate and introduce different liquids into the first and second common liquid chambers, can reduce the number of parts, and can reduce the cost. An example of the structure of the head will be described.

【0117】図12は、このような液体吐出ヘッドの構
造を示す模式図であり、先の実施形態例と同じ構成要素
については同じ符号を用いており、詳しい説明はここで
は省略する。
FIG. 12 is a schematic view showing the structure of such a liquid discharge head. The same reference numerals are used for the same components as those in the previous embodiment, and the detailed description is omitted here.

【0118】本実施形態例においては、溝付き部材50
は、吐出口18を有するオリフィスプレート51と、複
数の第1液流路14を構成する複数の溝と、複数の液流
路14に共通して連通し、各第1の液流路3に液体(吐
出液)を供給するための第1の共通液室15を構成する
凹部とから概略構成されている。
In this embodiment, the grooved member 50 is used.
Communicates in common with the orifice plate 51 having the discharge port 18, the plurality of grooves constituting the plurality of first liquid flow paths 14, and the plurality of liquid flow paths 14, and communicates with each of the first liquid flow paths 3. And a recess forming a first common liquid chamber 15 for supplying a liquid (ejection liquid).

【0119】この溝付部材50の下側部分に分離壁30
を接合することにより複数の第1液流路14を形成する
ことができる。このような溝付部材50は、その上部か
ら第1共通液室15内に到達する第1液体供給路20を
有している。また、溝付部材50は、その上部から分離
壁30を突き抜けて第2共通液室17内に到達する第2
の液体供給路21を有している。
The separation wall 30 is provided below the grooved member 50.
Can be formed to form a plurality of first liquid flow paths 14. Such a grooved member 50 has a first liquid supply path 20 that reaches the inside of the first common liquid chamber 15 from above. Further, the grooved member 50 penetrates the separation wall 30 from the upper part thereof and reaches the second common liquid chamber 17 in the second common liquid chamber 17.
The liquid supply path 21 of FIG.

【0120】第1の液体(吐出液)は、図12の矢印C
で示すように、第1液体供給路20を経て、第1の共通
液室15、次いで第1の液流路14に供給され、第2の
液体(発泡液)は、図12の矢印Dで示すように、第2
液体供給路らに抑制でき、集中して可動部材側に向ける
ことができる。そしてこの圧力を可動部材31を介して
吐出力として利用することができるため、より高い吐出
効率、吐出力を達成することができる。ただ、第1液流
路16の形状は上述の構造に限られるものではなく、気
泡発生に伴う圧力21を経て、第2共通液室17、次い
で第2液流路16に供給されるようになっている。
The first liquid (discharged liquid) is indicated by an arrow C in FIG.
As shown in FIG. 12, the first liquid is supplied to the first common liquid chamber 15 and then to the first liquid flow path 14 via the first liquid supply path 20, and the second liquid (foaming liquid) is indicated by an arrow D in FIG. As shown, the second
It can be suppressed to the liquid supply path and can be concentrated and directed to the movable member side. Since this pressure can be used as the discharge force via the movable member 31, higher discharge efficiency and discharge force can be achieved. However, the shape of the first liquid flow path 16 is not limited to the above-described structure, and the first liquid flow path 16 is supplied to the second common liquid chamber 17 and then to the second liquid flow path 16 via the pressure 21 caused by the generation of bubbles. Has become.

【0121】本実施形態例では、第2液体供給路21
は、第1液体供給路20と平行して配されているが、こ
れに限ることはなく、第1共通液室15の外側に配され
た分離壁30を貫通して、第2共通液室17に連通する
ように形成されればどのように配されてもよい。
In this embodiment, the second liquid supply path 21
Is arranged in parallel with the first liquid supply passage 20, but is not limited to this, penetrates the separation wall 30 arranged outside the first common liquid chamber 15, and 17 may be arranged in any way as long as it is formed so as to communicate with 17.

【0122】また、第2液体供給路21の太さ(直径)
に関しては、第2液体の供給量を考慮して決められる。
第2液体供給路21の形状は丸形状である必要はなく、
矩形状等でもよい。
The thickness (diameter) of the second liquid supply path 21
Is determined in consideration of the supply amount of the second liquid.
The shape of the second liquid supply path 21 does not need to be round,
It may be rectangular or the like.

【0123】また、第2共通液室17は、溝付部材50
を分離壁30で仕切ることによって形成することができ
る。形成の方法としては、図30で示す本実施形態例の
分解斜視図のように、素子基板上にドライフィルムで共
通液室枠と第2液路壁を形成し、分離壁を固定した溝付
部材50と分離壁30との結合体と素子基板1とを貼り
合わせることにより第2共通液室17や第2液流路16
を形成してもよい。
Further, the second common liquid chamber 17 is provided with a grooved member 50.
By the partition wall 30. As a forming method, as shown in an exploded perspective view of this embodiment shown in FIG. 30, a common liquid chamber frame and a second liquid path wall are formed on an element substrate by a dry film, and a groove with a fixed separation wall is provided. By bonding the combined body of the member 50 and the separation wall 30 to the element substrate 1, the second common liquid chamber 17 and the second liquid flow path 16 are bonded.
May be formed.

【0124】本実施形態例では、アルミニュウム等の金
属で形成された支持体70上に、前述のように、発泡液
に対して膜沸騰による気泡を発生させるための熱を発生
する発熱体としての電気熱変換素子が複数設けられた素
子基板1が配されている。
In the present embodiment, as described above, as a heating element for generating heat for generating air bubbles due to film boiling in a foaming liquid, on a support 70 formed of a metal such as aluminum. An element substrate 1 provided with a plurality of electrothermal conversion elements is provided.

【0125】この素子基板1上には、第2液路壁により
形成された液流路16を構成する複数の溝と、複数の発
泡液流路に連通し、それぞれの発泡液路に発泡液を供給
するための第2共通液室(共通発泡液室)17を構成す
る凹部と、前述した可動壁31が設けられた分離壁30
とが配されている。
On the element substrate 1, a plurality of grooves forming the liquid flow path 16 formed by the second liquid path wall, and a plurality of the foaming liquid flow paths are communicated. Forming a second common liquid chamber (common bubbling liquid chamber) 17 for supplying water, and a separation wall 30 provided with the movable wall 31 described above.
And are arranged.

【0126】符号50は、溝付部材である。この溝付部
材は、分離壁30と接合されることで吐出液流路(第1
液流路)14を構成する溝と、吐出液流路に連通し、そ
れぞれの吐出液流路に吐出液を供給するための第1の共
通液室(共通吐出液室)15を構成するための凹部と、
第1共通液室に吐出液を供給するための第1供給路(吐
出液供給路)20と、第2の共通液室17に発泡液を供
給するための第2の供給路(発泡液供給路)21とを有
している。第2の供給路21は、第1の共通液室15の
外側に配された分離壁30を貫通して第2の共通液室1
7に連通する連通路に繋がっており、この連通路によっ
て吐出液と混合することなく発泡液を第2の共通液室1
5に供給することができる。
Reference numeral 50 denotes a grooved member. The grooved member is joined to the separation wall 30 to form a discharge liquid flow path (first
A first common liquid chamber (common discharge liquid chamber) 15 which communicates with the groove forming the liquid flow path) 14 and the discharge liquid flow path to supply the discharge liquid to each discharge liquid flow path; Of the recess,
A first supply path (discharge liquid supply path) 20 for supplying discharge liquid to the first common liquid chamber, and a second supply path (foam liquid supply) for supplying foaming liquid to the second common liquid chamber 17. (Road) 21. The second supply passage 21 penetrates the separation wall 30 disposed outside the first common liquid chamber 15 and
7, the foaming liquid is not mixed with the discharge liquid by the communication path, and the foamed liquid is mixed with the second common liquid chamber 1.
5 can be supplied.

【0127】なお、素子基板1、分離壁30、溝付天板
50の配置関係は、素子基板1の発熱体に対応して可動
部材31が配置されており、この可動部材31に対応し
て吐出液流路14が配されている。また、本実施形態例
では、第2の供給路を1つ溝付部材に配した例を示した
が、供給量に応じて複数設けてもよい。さらに吐出液供
給路20と発泡液供給路21の流路断面積は供給量に比
例して決めればよい。
The arrangement of the element substrate 1, the separation wall 30, and the grooved top plate 50 is such that the movable member 31 is arranged corresponding to the heating element of the element substrate 1. A discharge liquid channel 14 is provided. Further, in the present embodiment, an example is shown in which one second supply path is provided in the grooved member, but a plurality of second supply paths may be provided according to the supply amount. Furthermore, the flow path cross-sectional area of the discharge liquid supply path 20 and the foaming liquid supply path 21 may be determined in proportion to the supply amount.

【0128】このような流路断面積の最適化により溝付
部材50等を構成する部品をより小型化することも可能
である。
By optimizing the cross-sectional area of the flow path, it is possible to further reduce the size of the components constituting the grooved member 50 and the like.

【0129】以上説明したように本実施形態例によれ
ば、第2液流路に第2液体を供給する第2の供給路と、
第1液流路に第1液体を供給する第1の供給路とが同一
の溝付部材としての溝付天板からなることにより部品点
数が削減でき、工程の短縮化とコストダウンが可能とな
る。
As described above, according to the present embodiment, the second supply path for supplying the second liquid to the second liquid flow path,
Since the first supply path for supplying the first liquid to the first liquid flow path is formed of the same grooved top plate as the grooved member, the number of parts can be reduced, and the process can be shortened and the cost can be reduced. Become.

【0130】また第2液流路に連通した第2の共通液室
への、第2液体の供給は、第1液体と第2液体を分離す
る分離壁を突き抜ける方向で第2液流路によって行なわ
れる構造であるため、前記分離壁と溝付部材と発熱体形
成基板との貼り合わせ工程が1度で済み、作りやすさが
向上すると共に、貼り合わせ精度が向上し、良好に吐出
することができる。
Further, the supply of the second liquid to the second common liquid chamber communicating with the second liquid flow path is performed by the second liquid flow path in a direction penetrating the separation wall separating the first liquid and the second liquid. Since the structure is performed, the bonding step of the separation wall, the grooved member, and the heating element forming substrate only needs to be performed once, thereby improving the ease of manufacturing, improving the bonding accuracy, and discharging well. Can be.

【0131】また、第2液体は、分離壁を突き抜けて第
2液体共通液室へ供給されるため、第2液流路に第2液
体の供給が確実となり、供給量が十分確保できるため、
安定した吐出が可能となる。
Further, since the second liquid penetrates the separation wall and is supplied to the second liquid common liquid chamber, the supply of the second liquid to the second liquid flow path is ensured, and the supply amount can be sufficiently secured.
Stable discharge is possible.

【0132】<液体吐出ヘッドカートリッジ>次に、上
記実施形態例に係る液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出
ヘッドカートリッジを概略説明する。
<Liquid Discharge Head Cartridge> Next, a liquid discharge head cartridge equipped with the liquid discharge head according to the above embodiment will be schematically described.

【0133】図13は、前述した液体吐出ヘッドを含む
液体吐出ヘッドカートリッジの模式的分解斜視図であ
り、液体吐出ヘッドカートリッジは、主に液体吐出ヘッ
ド部200と液体容器90とから概略構成されている。
FIG. 13 is a schematic exploded perspective view of a liquid discharge head cartridge including the above-described liquid discharge head. The liquid discharge head cartridge is schematically composed mainly of a liquid discharge head section 200 and a liquid container 90. I have.

【0134】液体吐出ヘッド部200は、素子基板1、
分離壁30、溝付部材50、押さえバネ78、液体供給
部材80、支持体70等から成っている。素子基板1に
は、前述のように発泡液に熱を与えるための発熱抵抗体
が、複数個、列状に設けられており、また、この発熱抵
抗体を選択的に駆動するための機能素子が複数設けられ
ている。この素子基板1と可動壁を持つ前述の分離壁3
0との間に発泡液路が形成され発泡液が流通する。この
分離壁30と溝付天板50との接合によって、吐出され
る吐出液体が流通する吐出流路(不図示)が形成され
る。
The liquid discharge head unit 200 includes the element substrate 1,
It comprises a separation wall 30, a grooved member 50, a pressing spring 78, a liquid supply member 80, a support 70 and the like. As described above, the element substrate 1 is provided with a plurality of heating resistors for applying heat to the foaming liquid in a row, and a functional element for selectively driving the heating resistors. Are provided. This element substrate 1 and the aforementioned separation wall 3 having a movable wall
0, a foaming liquid passage is formed, and the foaming liquid flows. By joining the separation wall 30 and the grooved top plate 50, a discharge flow path (not shown) through which the discharged liquid to be discharged flows is formed.

【0135】押さえバネ78は、溝付部材50に素子基
板1方向への付勢力を作用させる部材であり、この付勢
力により素子基板1、分離壁30、溝付部材50と、後
述する支持体70とを良好に一体化させている。
The pressing spring 78 is a member for applying an urging force in the direction of the element substrate 1 to the grooved member 50. With this urging force, the element substrate 1, the separating wall 30, the grooved member 50, and a support member to be described later. 70 and satisfactorily integrated.

【0136】支持体70は、素子基板1等を支持するた
めのものであり、この支持体70上にはさらに素子基板
1に接続し電気信号を供給するための回路基板71や、
装置側と接続することで装置側と電気信号のやりとりを
行うためのコンタクトパッド72が配置されている。
The support 70 is for supporting the element substrate 1 and the like. On the support 70, a circuit board 71 for connecting to the element substrate 1 and supplying an electric signal,
A contact pad 72 for exchanging electrical signals with the device by connecting to the device is provided.

【0137】液体容器90は、液体吐出ヘッドに供給さ
れる、インク等の吐出液体と気泡を発生させるための発
泡液とを内部に区分収容している。液体容器90の外側
には、液体吐出ヘッドと液体容器との接続を行う接続部
材を配置するための位置決め部94と接続部を固定する
ための固定軸95が設けられている。吐出液体の供給
は、液体容器の吐出液体供給路92から接続部材の供給
路81を介して液体供給部材80の吐出液体供給路83
に供給され、各部材の吐出液体供給路20を介して第1
の共通液室に供給される。発泡液も同様に、液体容器の
供給路93から接続部材の供給路82を介して液体供給
部材80の発泡液供給路84に供給され、各部材の発泡
液体供給路21を介して第2液室に供給される。
The liquid container 90 contains therein a discharge liquid such as ink and a foaming liquid for generating bubbles, which are supplied to the liquid discharge head. Outside the liquid container 90, a positioning portion 94 for arranging a connection member for connecting the liquid ejection head and the liquid container and a fixed shaft 95 for fixing the connection portion are provided. The discharge liquid is supplied from the discharge liquid supply path 92 of the liquid container to the discharge liquid supply path 83 of the liquid supply member 80 via the supply path 81 of the connection member.
To the first through the discharge liquid supply path 20 of each member.
Are supplied to a common liquid chamber. Similarly, the foaming liquid is supplied from the supply path 93 of the liquid container to the foaming liquid supply path 84 of the liquid supply member 80 via the supply path 82 of the connection member, and the second liquid is supplied through the foaming liquid supply path 21 of each member. Supplied to the room.

【0138】以上の液体吐出ヘッドカートリッジにおい
ては、発泡液と吐出液が異なる液体である場合も、供給
を行いうる供給形態および液体容器で説明したが、吐出
液体と発泡液体とが同じである場合には、発泡液と吐出
液の供給経路および容器を分けなくてもよい。
In the above-described liquid discharge head cartridge, a description has been given of the supply form and the liquid container that can supply even when the foaming liquid and the discharge liquid are different liquids, but the discharge liquid and the foaming liquid are the same. However, the supply path and the container for the foaming liquid and the discharge liquid do not have to be divided.

【0139】なお、この液体容器には、各液体の消費後
に液体を再充填して使用してもよい。このためには液体
容器に液体注入口を設けておくことが望ましい。又、液
体吐出ヘッドと液体容器とは一体であってもよく、分離
可能としてもよい。
It is to be noted that the liquid container may be refilled with the liquid after each liquid is consumed before use. For this purpose, it is desirable to provide a liquid inlet in the liquid container. Further, the liquid discharge head and the liquid container may be integrated or may be separable.

【0140】<液体吐出装置>図14は、前述の液体噴
射ヘッドを搭載した液体吐出装置の概略構成を示してい
る。本実施例では特に吐出液体としてインクを用いたイ
ンク吐出記録装置を用いて説明する液体吐出装置のキャ
リッジHCは、インクを収容する液体タンク部90と液
体吐出ヘッド部200とが着脱可能なヘッドカートリッ
ジを搭載しており、被記録媒体搬送手段で搬送される記
録紙等の被記録媒体150の幅方向に往復移動する。
<Liquid Discharge Apparatus> FIG. 14 shows a schematic configuration of a liquid discharge apparatus equipped with the above-described liquid ejecting head. In the present embodiment, a carriage HC of a liquid ejection apparatus, which will be described using an ink ejection recording apparatus using ink as an ejection liquid, is a head cartridge in which a liquid tank section 90 containing ink and a liquid ejection head section 200 are detachable. And reciprocate in the width direction of the recording medium 150 such as recording paper conveyed by the recording medium conveying means.

【0141】不図示の駆動信号供給手段からキャリッジ
上の液体吐出手段に駆動信号が供給されると、この信号
に応じて液体吐出ヘッドから被記録媒体に対して記録液
体が吐出される。
When a drive signal is supplied from a drive signal supply means (not shown) to the liquid discharge means on the carriage, the recording liquid is discharged from the liquid discharge head to the recording medium in accordance with this signal.

【0142】また、本実施例の液体吐出装置において
は、被記録媒体搬送手段とキャリッジを駆動するための
駆動源としてのモータ111、駆動源からの動力をキャ
リッジに伝えるためのギア112、113キャリッジ軸
85等を有している。この記録装置及びこの記録装置で
行う液体吐出方法によって、各種の被記録媒体に対して
液体を吐出することで良好な画像の記録物を得ることが
できた。
Further, in the liquid discharge apparatus of this embodiment, the motor 111 as a drive source for driving the recording medium conveying means and the carriage, the gears 112 and 113 for transmitting the power from the drive source to the carriage. It has a shaft 85 and the like. With this recording apparatus and the liquid ejection method performed by this recording apparatus, a recorded matter of a good image could be obtained by ejecting liquid to various recording media.

【0143】図15は、本発明の液体吐出方法および液
体吐出ヘッドを適用したインク吐出記録を動作させるた
めの装置全体のブロック図である。
FIG. 15 is a block diagram of the entire apparatus for operating ink discharge recording using the liquid discharge method and liquid discharge head of the present invention.

【0144】記録装置は、ホストコンピュータ300よ
り印字情報を制御信号として受ける。印字情報は印字装
置内部の入力インタフェイス301に一時保存されると
同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘ
ッド駆動信号供給手段を兼ねるCPU302に入力され
る。CPU302はROM303に保存されている制御
プログラムに基づき、前記CPU302に入力されたデ
ータをRAM304等の周辺ユニットを用いて処理し、
印字するデータ(画像データ)に変換する。
The recording apparatus receives print information from the host computer 300 as a control signal. The print information is temporarily stored in an input interface 301 inside the printing apparatus, and at the same time, is converted into data that can be processed in the printing apparatus, and is input to the CPU 302 also serving as a head drive signal supply unit. The CPU 302 processes data input to the CPU 302 using a peripheral unit such as the RAM 304 based on a control program stored in the ROM 303,
Convert to print data (image data).

【0145】またCPU302は前記画像データを記録
用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同
期して記録用紙および記録ヘッドを移動する駆動用モー
タを駆動するための駆動データを作る。画像データおよ
びモータ駆動データは、各々ヘッドドライバ307と、
モータドライバ305を介し、ヘッド200および駆動
モータ306に伝達され、それぞれ制御されたタイミン
グで駆動され画像を形成する。
In order to record the image data at an appropriate position on the recording paper, the CPU 302 creates drive data for driving a driving motor for moving the recording paper and the recording head in synchronization with the image data. The image data and the motor drive data are respectively
The image is transmitted to the head 200 and the drive motor 306 via the motor driver 305, and is driven at a controlled timing to form an image.

【0146】上述のような記録装置に適用でき、インク
等の液体の付与が行われる被記録媒体としては、各種の
紙やOHPシート、コンパクトディスクや装飾板等に用
いられるプラスチック材、布帛、アルミニュウムや銅等
の金属材、牛皮、豚皮、人工皮革等の皮革材、木、合板
等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポンジ
等の三次元構造体等を対象とすることができる。
The recording medium which can be applied to the recording apparatus as described above, and to which a liquid such as ink is applied, includes various kinds of paper, OHP sheets, plastic materials used for compact discs and decorative plates, fabrics, aluminum sheets and the like. Metal materials such as copper and copper, leather materials such as cow skin, pig skin and artificial leather, wood such as wood and plywood, ceramic materials such as bamboo materials and tiles, and three-dimensional structures such as sponges can be targeted.

【0147】また上述の記録装置として、各種の紙やO
HPシート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパ
クトディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチ
ック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、
皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木
材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミック
ス用記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して
記録を行う記録装置、又布帛に記録を行う捺染装置等を
も含むものである。
As the above-described recording device, various types of paper and O
A printer device for recording on an HP sheet or the like, a recording device for a plastic for recording on a plastic material such as a compact disc, a recording device for a metal for recording on a metal plate,
A recording device for leather for recording on leather, a recording device for wood for recording on wood, a recording device for ceramics for recording on ceramic materials, a recording device for recording on a three-dimensional network structure such as a sponge, and a cloth Also includes a textile printing device for performing recording on the paper.

【0148】またこれらの液体吐出装置に用いる吐出液
としては、夫々の被記録媒体や記録条件に合わせた液体
を用いればよい。
As a discharge liquid used in these liquid discharge devices, a liquid suitable for each recording medium and recording conditions may be used.

【0149】<記録システム>次に、本発明の液体吐出
ヘッドを記録ヘッドとして用い被記録媒体に対して記録
を行う、インクジェット記録システムの一例を説明す
る。
<Recording System> Next, an example of an ink jet recording system for performing recording on a recording medium using the liquid discharge head of the present invention as a recording head will be described.

【0150】図16は、前述した本発明の液体吐出ヘッ
ド201を用いたインクジェット記録システムの構成を
説明するための模式図である。本実施例における液体吐
出ヘッドは、被記録媒体150の記録可能幅に対応した
長さに360dpiの間隔で吐出口を複数配したフルラ
イン型のヘッドであり、イエロー(Y),マゼンタ
(M),シアン(C),ブラック(Bk)の4色に対応
した4つのヘッドをホルダ202によりX方向に所定の
間隔を持って互いに平行に固定支持されている。
FIG. 16 is a schematic diagram for explaining the configuration of an ink jet recording system using the above-described liquid discharge head 201 of the present invention. The liquid ejection head in this embodiment is a full line type head in which a plurality of ejection ports are arranged at intervals of 360 dpi in a length corresponding to the recordable width of the recording medium 150, and is yellow (Y), magenta (M). , Cyan (C), and black (Bk) are fixedly supported in parallel by a holder 202 at predetermined intervals in the X direction.

【0151】これらのヘッドに対してそれぞれ駆動信号
供給手段を構成するヘッドドライバ307から信号が供
給され、この信号に基づいて各ヘッドの駆動が成され
る。
A signal is supplied to each of these heads from a head driver 307 constituting drive signal supply means, and each head is driven based on this signal.

【0152】各ヘッドには、吐出液としてY,M,C,
Bkの4色のインクがそれぞれ204a〜204dのイ
ンク容器から供給されている。なお、符号204eは発
泡液が蓄えられた発泡液容器であり、この容器から各ヘ
ッドに発泡液が供給される構成になっている。
Each head has Y, M, C,
Bk four color inks are supplied from ink containers 204a to 204d, respectively. Reference numeral 204e denotes a foaming liquid container in which a foaming liquid is stored, and the foaming liquid is supplied from the container to each head.

【0153】また、各ヘッドの下方には、内部にスポン
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ203
a〜203dが設けられており、非記録時に各ヘッドの
吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができる。
A head cap 203 having an ink absorbing member such as a sponge therein is provided below each head.
a to 203d are provided, and the maintenance of the head can be performed by covering the ejection openings of each head during non-printing.

【0154】符号206は、先の各実施例で説明したよ
うな各種、非記録媒体を搬送するための搬送手段を構成
する搬送ベルトである。搬送ベルト206は、各種ロー
ラにより所定の経路に引き回されており、モータドライ
バ305に接続された駆動用ローラにより駆動される。
Reference numeral 206 denotes a transport belt which constitutes transport means for transporting various non-recording media as described in the above embodiments. The transport belt 206 is drawn around a predetermined path by various rollers, and is driven by a driving roller connected to a motor driver 305.

【0155】本実施例のインクジェット記録システムに
おいては、記録を行う前後に被記録媒体に対して各種の
処理を行う前処理装置251および後処理装置252を
それぞれ被記録媒体搬送経路の上流と下流に設けてい
る。
In the ink jet recording system of this embodiment, a pre-processing device 251 and a post-processing device 252 for performing various processes on a recording medium before and after recording are respectively provided upstream and downstream of the recording medium transport path. Provided.

【0156】前処理と後処理は、記録を行う被記録媒体
の種類やインクの種類に応じて、その処理内容が異なる
が、例えば、金属、プラスチック、セラミックス等の被
記録媒体に対しては、前処理として、紫外線とオゾンの
照射を行い、その表面を活性化することでインクの付着
性の向上を図ることができる。また、プラスチック等の
静電気を生じやすい被記録媒体においては、静電気によ
ってその表面にゴミが付着しやすく、このゴミによって
良好な記録が妨げられる場合がある。このため、前処理
としてイオナイザ装置を用い被記録媒体の静電気を除去
することで、被記録媒体からごみの除去を行うとよい。
また、被記録媒体として布帛を用いる場合には、滲み防
止、先着率の向上等の観点から布帛にアルカリ性物質、
水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿素およびチ
オ尿素から選択される物質を付与する処理を前処理とし
て行えばよい。前処理としては、これらに限らず、被記
録媒体の温度を記録に適切な温度にする処理等であって
もよい。
The contents of the pre-processing and post-processing differ depending on the type of recording medium on which recording is performed and the type of ink. For example, for recording media such as metals, plastics, and ceramics, As a pretreatment, irradiation of ultraviolet rays and ozone is performed to activate the surface, thereby improving the adhesion of the ink. Further, in a recording medium such as plastic which easily generates static electricity, dust easily adheres to the surface due to the static electricity, and good recording may be hindered by the dust. For this reason, it is preferable to remove dust from the recording medium by removing static electricity from the recording medium using an ionizer device as a pretreatment.
When a cloth is used as a recording medium, an alkaline substance,
A treatment for providing a substance selected from a water-soluble substance, a synthetic polymer, a water-soluble metal salt, urea, and thiourea may be performed as pretreatment. The pre-processing is not limited to these, and may be a process of setting the temperature of the recording medium to a temperature suitable for recording.

【0157】一方、後処理は、インクが付与された被記
録媒体に対して熱処理、紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し未反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。
On the other hand, the post-treatment is a fixing treatment for promoting the fixing of the ink to the recording medium to which the ink has been applied by heat treatment, ultraviolet irradiation, or the like, or a cleaning treatment applied to the recording medium and remaining unreacted after the pre-treatment. And the like.

【0158】なお、本実施例では、ヘッドとしてフルラ
インヘッドを用いて説明したが、これに限らず、前述し
たような小型のヘッドを被記録媒体の幅方向に搬送して
記録を行う形態のものであってもよい。
Although the present embodiment has been described using a full-line head as a head, the present invention is not limited to this, and a small-sized head as described above is conveyed in the width direction of a recording medium to perform recording. It may be something.

【0159】[0159]

【実施例】図面の図17ないし図24は本発明の方法に
従って製造される液体吐出ヘッドの実施例1〜4を示す
概要図である。
17 to 24 are schematic views showing embodiments 1 to 4 of a liquid discharge head manufactured according to the method of the present invention.

【0160】図17は本発明の実施例1にかかる液体吐
出ヘッドのうち、変位可能な可動部材を有する分離壁
と、該可動部材に対応して設けられる液流路となる複数
の溝を有する溝付き部材とを示す模式的斜視図である。
FIG. 17 shows a liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention, which has a separation wall having a movable member that can be displaced, and a plurality of grooves serving as liquid passages provided corresponding to the movable member. It is a typical perspective view showing a member with a groove.

【0161】図17において、1は吐出口に連通する液
流路10となる溝(凹部)を有する溝付き部材(天板)
であり、30は溝付き部材1の凹部に対応して変位可能
な可動部材31を有する櫛歯形状の分離壁である。溝付
き部材1は厚さの厚い部分1aと薄い部分1bとの2つ
の部分1a,1bとからなっていて、これら2つの部分
1a,1bの境界面である段付部、すなわち、液流路壁
10aの液体流れ方向上流側端部である前面突き合わせ
基準部4と直交する方向にほぼ平行に等しい間隔を置い
て伸びる複数個の液流路10を形成するための溝が設け
られている。溝付き部材1のこの段付部は分離壁30の
ための前面突き当て基準部4を構成しており、分離壁3
0の図中Y方向の位置合わせを行うことができる。各液
流路10の断面形状は溝の底部に向かって先細の逆截頭
台形を成しており、液流路10の両側の截頭台形断面形
状の流路壁10aによって区画されている。また、溝付
き部材1には分離壁30の図中X方向の位置合わせを行
うための溝の配列方向における側面突き当て基準部5が
直立して突出するように設けられている。
In FIG. 17, reference numeral 1 denotes a grooved member (top plate) having a groove (recess) serving as the liquid flow path 10 communicating with the discharge port.
Numeral 30 is a comb-shaped separating wall having a movable member 31 which can be displaced in accordance with the concave portion of the grooved member 1. The grooved member 1 is composed of two portions 1a and 1b of a thick portion 1a and a thin portion 1b, and a stepped portion which is a boundary surface between the two portions 1a and 1b, that is, a liquid flow path. Grooves are formed for forming a plurality of liquid flow paths 10 extending at equal intervals substantially in parallel to a direction orthogonal to the front butting reference portion 4 which is the upstream end of the wall 10a in the liquid flow direction. This stepped part of the grooved member 1 constitutes a front butting reference part 4 for the separating wall 30,
0 in the Y direction in the figure. The cross-sectional shape of each liquid flow path 10 has an inverted truncated trapezoidal shape that tapers toward the bottom of the groove, and is defined by flow path walls 10a having truncated trapezoidal cross-sectional shapes on both sides of the liquid flow path 10. Further, the grooved member 1 is provided with a side abutting reference portion 5 in the arrangement direction of the grooves for aligning the separation wall 30 in the X direction in the drawing so as to protrude upright.

【0162】分離壁30は液体流れ下流側に複数個の変
位可能な可動部材31が櫛歯状に設けられており、各可
動部材31が各液流路10に対応するように配列されて
いる。
The separating wall 30 is provided with a plurality of movable members 31 which can be displaced in a comb shape on the downstream side of the liquid flow, and each movable member 31 is arranged so as to correspond to each liquid flow path 10. .

【0163】このように構成された溝付き部材1と分離
壁30とを組み合わせて液体吐出ヘッドを製造するに
は、溝付き部材1に対する分離壁30の位置合わせを行
うべく、先ず、図18(a)に示すように分離壁30の
可動部材31を配置させるべき溝付き部材1の液流路1
0内または液流路10の近くの流路壁10a上に配置し
て、溝付き部材1をバイブレータ等の振動手段によって
振動させることによって分離壁30の可動部材31の配
列方向の動きを生じせしめ、これによって可動部材31
を溝付き部材1の液流路10内に勘合させる(図2
(b)参照)と共に、さらに液流路壁10aの液体流れ
方向上流側端部を上方となるように溝付き部材1を傾け
た状態で続けて溝付き部材1を振動させることによって
分離壁30を溝付き部材1の前面突き当て基準部4およ
び側面突き当て基準部に突き当て、これによって分離壁
30と溝付き部材1との位置合わせ(勘合)が図1に示
されるように行われる。したがって、本実施例において
は分離壁30が溝付き部材1に対して正確に所望の位置
に配置されることになる。ここで、分離壁30は溝付き
部材1に固定されても良く、この場合、その後の組み立
て工程をより容易に行うことができる。
In order to manufacture a liquid discharge head by combining the grooved member 1 and the separation wall 30 configured as described above, first, in order to align the separation wall 30 with the grooved member 1, FIG. The liquid flow path 1 of the grooved member 1 on which the movable member 31 of the separation wall 30 is to be arranged as shown in FIG.
The grooved member 1 is arranged in the channel wall 10a in the vicinity of the liquid flow path 10 or near the liquid flow path 10, and the grooved member 1 is vibrated by a vibrating means such as a vibrator to cause the separation wall 30 to move in the arrangement direction of the movable member 31. , Whereby the movable member 31
Into the liquid flow path 10 of the grooved member 1 (FIG. 2).
(B), the grooved member 1 is continuously vibrated in a state where the grooved member 1 is tilted so that the upstream end of the liquid flow path wall 10a in the liquid flow direction is directed upward. Against the front-side abutting reference portion 4 and the side-side abutting reference portion of the grooved member 1, whereby the alignment (fitting) between the separation wall 30 and the grooved member 1 is performed as shown in FIG. 1. Therefore, in the present embodiment, the separation wall 30 is accurately arranged at a desired position with respect to the grooved member 1. Here, the separation wall 30 may be fixed to the grooved member 1, and in this case, the subsequent assembling process can be performed more easily.

【0164】また、本実施例によれば可動部材31は液
流路10となる溝内に勘合しているため溝付き部材1と
素子基板との位置合わせにおいて可動部材31を損傷す
るおそれがなくなる。
Further, according to the present embodiment, since the movable member 31 is fitted in the groove serving as the liquid flow path 10, there is no possibility that the movable member 31 is damaged when the grooved member 1 is aligned with the element substrate. .

【0165】図19は本発明の実施例2にかかる液体噴
射ヘッドの製造方法を説明するための説明図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram for explaining a method of manufacturing a liquid jet head according to the second embodiment of the present invention.

【0166】先の実施例においては、分離壁30を溝付
き部材1に勘合させるために溝付き部材1を振動させた
が、本実施例では分離壁30を圧力空気にて浮上させ分
離壁30の自重にて分離壁30を溝付き部材1に勘合さ
せる構成について説明する。
In the previous embodiment, the grooved member 1 was vibrated in order to fit the separation wall 30 into the grooved member 1, but in this embodiment, the separation wall 30 is floated by pressurized air to be separated. A configuration for fitting the separation wall 30 to the grooved member 1 by its own weight will be described.

【0167】先ず、先の実施例と同様に分離壁30の可
動部材31を配置させるべき溝付き部材1の液流路10
近くの流路壁10aの上に配置し、次いで溝付き部材1
を液流路壁10aの液体流れ方向上流側端部を上方とな
るように傾け、分離壁30を圧力空気を用いて浮上させ
ることにより、分離壁30の自重を利用して分離壁30
の可動部材31を溝付き部材1の液流路10となる溝内
に勘合させ分離壁30と溝付き部材1との位置合わせを
行うことができる。
First, as in the previous embodiment, the liquid flow path 10 of the grooved member 1 on which the movable member 31 of the separation wall 30 is to be disposed.
Placed on a nearby flow channel wall 10a and then the grooved member 1
Is tilted so that the upstream end of the liquid flow path wall 10a in the liquid flow direction is directed upward, and the separation wall 30 is floated using pressurized air.
The movable member 31 can be fitted into the groove serving as the liquid flow path 10 of the grooved member 1 so that the separation wall 30 and the grooved member 1 can be aligned.

【0168】図20は本実施例2における圧力空気を溝
付き部材1に設けられた液体供給口6を利用して送り込
む例を示す模式的斜視図である。
FIG. 20 is a schematic perspective view showing an example in which the pressurized air in the second embodiment is sent by using the liquid supply port 6 provided in the grooved member 1.

【0169】このように液体供給口6から圧力空気を送
り込むことにより分離壁30は所望の浮上状態を確保す
ることができ、分離壁30と溝付き部材1との位置合わ
せを容易に行うことができるものである。
By feeding the compressed air from the liquid supply port 6 in this manner, the separation wall 30 can maintain a desired floating state, and the alignment between the separation wall 30 and the grooved member 1 can be easily performed. You can do it.

【0170】図21および図22は溝付き部材1に設け
られた前面取付け基準部4a,4bを示すものであり、
図21においては溝付き部材1の液流路列の両端部分を
削って液流路壁10a部分のみに前面取付け基準部4a
を取り付けた場合を示すものであり、また、図22にお
いては、溝付き部材1の液流路列の両端部分のみに前面
取付け基準部4bを取り付けた場合を示すものである。
いずれの場合においても分離壁30と溝付き部材1とを
容易に位置決めすることができるが、図22に示される
構成においては分離壁30と液流路壁10aとの透き間
より液体の供給が行われるため液体吐出ヘッドのリフィ
ル速度を向上させることができる。
FIGS. 21 and 22 show front mounting reference portions 4a and 4b provided on the grooved member 1, respectively.
In FIG. 21, both end portions of the liquid flow channel row of the grooved member 1 are shaved and the front mounting reference portion 4a is provided only on the liquid flow channel wall 10a.
FIG. 22 shows a case where the front attachment reference portions 4b are attached only to both end portions of the liquid flow channel row of the grooved member 1.
In any case, the separation wall 30 and the grooved member 1 can be easily positioned. However, in the configuration shown in FIG. 22, the liquid is supplied from the gap between the separation wall 30 and the liquid passage wall 10a. Therefore, the refill speed of the liquid discharge head can be improved.

【0171】図23は本発明の実施例3に係る液体噴射
ヘッドの製造方法を説明するための模式的説明図であ
る。
FIG. 23 is a schematic explanatory view for explaining a method for manufacturing a liquid jet head according to Embodiment 3 of the present invention.

【0172】本実施例においては、溝付き部材1の液流
路壁10aの上流部を前面突き当て基準部4cとして半
円形断面形状とし、これに突き当てられる分離壁30の
櫛歯状の可動部材31間の透き間に対応する突き当て部
4dを断面V字形の切り欠きとすることによって2方向
の位置合わせができるようにしている。すなわち、図示
されるように、分離壁30の櫛歯状の可動部材31が溝
付き部材1の液流路10となる溝内に勘合されるように
配置され、分離壁30の可動部材31間のV字形の切り
欠き状の突き当て基準部4dが溝付き部材1の液流路壁
10aの半円形断面形状の突き当て基準部4cに突き当
てられることによって好適に位置合わせが行われる。こ
の位置合わせは、溝付き部材1の液流路壁10aの突き
当て基準部4cが断面半円形を成し、これに対応する分
離壁30の可動部材31間の突き当て基準部4dが断面
V字形を成しているために両者の係合によって分離壁3
0の前後方向と左右両方向との2方向に対して位置合わ
せされ、溝付き部材1に対して分離壁30が正確に位置
合わせされるものである。
In this embodiment, the upstream part of the liquid flow path wall 10a of the grooved member 1 has a semicircular cross-sectional shape as a front-side abutting reference part 4c, and the comb-shaped movable wall of the separating wall 30 abutted against the same. The abutting portions 4d corresponding to the gaps between the members 31 are cutouts having a V-shaped cross section so that positioning in two directions can be performed. That is, as shown in the drawing, the comb-shaped movable member 31 of the separation wall 30 is disposed so as to be fitted into the groove serving as the liquid flow path 10 of the grooved member 1, and the movable member 31 of the separation wall 30 The V-shaped notch-shaped abutment reference portion 4d is abutted against the abutment reference portion 4c having a semicircular cross-sectional shape of the liquid flow path wall 10a of the grooved member 1, whereby alignment is suitably performed. In this alignment, the abutment reference portion 4c of the liquid flow path wall 10a of the grooved member 1 forms a semicircular cross section, and the corresponding abutment reference portion 4d of the movable member 31 of the separation wall 30 corresponds to the cross section V. The separation wall 3 is formed by the engagement of
The separation wall 30 is aligned with respect to the grooved member 1 in two directions, namely, the front-rear direction and the left and right directions.

【0173】図24は本発明の実施例4に係る液体噴射
ヘッドの製造方法を説明するための模式的説明図であ
る。
FIG. 24 is a schematic explanatory view for explaining a method for manufacturing a liquid jet head according to Embodiment 4 of the present invention.

【0174】本実施例では溝付き部材1に設けられた一
対の突き当て基準ピン7と、各突き当て基準ピン7に対
応して分離壁30に設けられた長孔形状の突き当て基準
窓8が形成されており、この突き当て基準ピン7と突き
当て基準窓8によって分離壁30と溝付き部材1との位
置合わせが成される。
In this embodiment, a pair of abutting reference pins 7 provided on the grooved member 1 and an elongated abutting reference window 8 provided on the separation wall 30 corresponding to each abutting reference pin 7. The abutment reference pin 7 and the abutment reference window 8 position the separation wall 30 with the grooved member 1.

【0175】本実施例においては、先ず、分離壁30の
櫛歯形状の可動部材31が溝付き部材1の液流路10と
なる溝内に勘合するように配置されるとほぼ同時に、分
離壁の突き当て基準窓8が溝付き部材1の突き当て基準
ピン7に挿入されるよう分離壁30の突き当て基準窓8
に溝付き部材1の突き当て基準ピン7が勘合される。次
いで、溝付き部材1の突き当て基準ピン7に分離壁30
の突き当て基準窓8を突き当てることによって溝付き部
材1に対して分離壁30が好適に位置合わせされる。
In the present embodiment, first, when the comb-shaped movable member 31 of the separation wall 30 is arranged so as to fit into the groove serving as the liquid flow path 10 of the grooved member 1, almost simultaneously with the separation wall. Of the separation wall 30 so that the abutment reference window 8 of the separation wall 30 is inserted into the abutment reference pin 7 of the grooved member 1.
The abutment reference pin 7 of the grooved member 1 is fitted into the groove. Next, the separation wall 30 is attached to the abutting reference pin 7 of the grooved member 1.
The separation wall 30 is suitably aligned with the grooved member 1 by abutting the abutting reference window 8.

【0176】[0176]

【発明の効果】上述したような、可動部材を用いる新規
な吐出原理に基づく本発明の製造方法に従って、組み合
わされるべき分離壁と素子基板とを両者の突き当て基準
部にて突き当てて位置合わせを行うことによってタクト
のかからない装置の小さくてかつ簡単で正確な位置合わ
せができると共に、本発明の方法により製造された液体
吐出ヘッドを用いた液体吐出方法、ヘッド等によると、
発生する気泡とこれによって変位する可動部材との相乗
効果を得ることができ、吐出口近傍の液体を効率よく吐
出できるため、従来のバブルジェット方式の吐出方法、
ヘッド等に比べて吐出効率を向上できる。
According to the manufacturing method of the present invention based on the novel ejection principle using the movable member as described above, the separation wall to be combined and the element substrate are abutted and aligned at the abutting reference portions of both. By performing a small and easy and accurate alignment of the device that does not require a tact by performing, the liquid discharge method using the liquid discharge head manufactured by the method of the present invention, according to the head, etc.
Since a synergistic effect between the generated bubble and the movable member displaced by the bubble can be obtained, and the liquid in the vicinity of the discharge port can be efficiently discharged, the conventional bubble jet method,
Discharge efficiency can be improved as compared with a head or the like.

【0177】また、本発明の製造方法により製造された
液体吐出ヘッドの特徴的な構成によれば、低温や低湿で
長期放置を行った場合であっても不吐出になることを防
止でき、仮に不吐出になっても予備吐出や吸引回復とい
った回復処理をわずかに行うだけで正常状態に即座に復
帰できる利点もある。これに伴い、回復時間の短縮や回
復による液体の損失を低減でき、ランニングコストも大
幅に下げることが可能である。
Further, according to the characteristic structure of the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method of the present invention, it is possible to prevent non-discharge even when the liquid discharge head is left for a long time at low temperature and low humidity. There is also an advantage that even if a non-ejection occurs, the normal state can be immediately restored by performing only a slight recovery process such as preliminary ejection or suction recovery. Along with this, the recovery time can be shortened, the loss of liquid due to the recovery can be reduced, and the running cost can be significantly reduced.

【0178】また、特に本発明の製造方法により製造さ
れた液体吐出ヘッドのリフィル特性を向上した構成によ
れば、連続吐出時の応答性、気泡の安定成長、液滴の安
定化を達成して、高速液体吐出による高速記録また高画
質記録を可能にすることができた。
According to the configuration in which the refill characteristics of the liquid discharge head manufactured by the manufacturing method of the present invention are particularly improved, the responsiveness at the time of continuous discharge, the stable growth of bubbles, and the stabilization of droplets are achieved. Thus, high-speed recording by high-speed liquid ejection and high-quality recording can be performed.

【0179】また、2流路構成のヘッドにおいて発泡液
として、発泡しやすい液体や、発熱体上への堆積物(こ
げ等)が生じにくい液体を用いることで、吐出液の選択
の自由度が高くなり、発泡が生じにくい高粘性液体、発
熱体上に体積物を生じやすい液体等、従来のバブルジェ
ット吐出方法で吐出することが困難であった液体につい
ても良好に吐出することができた。
In addition, the use of a liquid that easily foams or a liquid that does not easily generate deposits (burns) on the heating element is used as the foaming liquid in the head having the two flow paths, so that the degree of freedom in selecting the discharge liquid is increased. Liquids that were difficult to be discharged by the conventional bubble jet discharge method, such as high-viscosity liquids that became high and hardly foamed, and liquids that easily formed a volume on the heating element, could be discharged well.

【0180】さらに熱に弱い液体等も、この液体に熱に
よる悪影響を与えず吐出することができた。
Further, a liquid or the like which is weak to heat could be ejected without adversely affecting the liquid by heat.

【0181】また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
によると、上述のような液体吐出ヘッドを精度良く製造
でき、また部品点数を少なく、安価に、しかも容易に製
造することができる。
Further, according to the method of manufacturing a liquid discharge head of the present invention, the above-described liquid discharge head can be manufactured with high accuracy, the number of parts can be reduced, and the manufacturing can be performed easily at low cost.

【0182】また、本発明の液体吐出ヘッドを記録用の
液体吐出記録ヘッドとして用いることで、さらに高画質
な記録を達成することができた。
Further, by using the liquid discharge head of the present invention as a liquid discharge recording head for recording, it was possible to achieve higher quality recording.

【0183】また、本発明の液体吐出ヘッドを用い、液
体の吐出効率等がさらに向上した液体吐出装置や記録シ
ステム等を提供することができた。
Further, it was possible to provide a liquid discharge apparatus, a recording system, and the like in which the liquid discharge head of the present invention was further improved in liquid discharge efficiency and the like.

【0184】また、本発明のヘッドカートリッジやヘッ
ドキットを用いることで、ヘッドの利用、再利用を容易
に成すことができる。
Further, by using the head cartridge or the head kit of the present invention, the head can be easily used and reused.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来の液体吐出ヘッドの液流路構造を説明する
ための図である。
FIG. 1 is a view for explaining a liquid flow path structure of a conventional liquid discharge head.

【図2】本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す模式断面
図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating an example of the liquid ejection head of the present invention.

【図3】本発明の液体吐出ヘッドの部分破断斜視図であ
る。
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of the liquid ejection head of the present invention.

【図4】従来のヘッドにおける気泡からの圧力伝搬を示
す模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing pressure propagation from bubbles in a conventional head.

【図5】本発明のヘッドにおける気泡からの圧力伝搬を
示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing pressure propagation from bubbles in the head of the present invention.

【図6】本発明の液体の流れを説明するための模式図で
ある。
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a flow of a liquid according to the present invention.

【図7】本発明の第2の実施例における液体吐出ヘッド
の部分破断斜視図である。
FIG. 7 is a partially cutaway perspective view of a liquid ejection head according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第6の実施例における液体吐出ヘッド
の部分破断斜視図である。
FIG. 8 is a partially cutaway perspective view of a liquid ejection head according to a sixth embodiment of the present invention.

【図9】可動部材の動作を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the movable member.

【図10】可動部材と液流路の構造を説明するための図
である。
FIG. 10 is a view for explaining a structure of a movable member and a liquid flow path.

【図11】可動部材の他の形状を説明するための図であ
る。
FIG. 11 is a view for explaining another shape of the movable member.

【図12】本発明の液体吐出ヘッドの供給路を説明する
ための断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view for explaining a supply path of the liquid ejection head of the present invention.

【図13】液体吐出ヘッドカートリッジの分解斜視図で
ある。
FIG. 13 is an exploded perspective view of the liquid ejection head cartridge.

【図14】液体吐出装置の概略構成図である。FIG. 14 is a schematic configuration diagram of a liquid ejection device.

【図15】装置ブロック図である。FIG. 15 is a device block diagram.

【図16】液体吐出記録システムを示す図である。FIG. 16 is a diagram illustrating a liquid ejection recording system.

【図17】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の実施例
1を示す斜視図である。
FIG. 17 is a perspective view illustrating Example 1 of the method for manufacturing a liquid ejection head according to the present invention.

【図18】実施例2の可動部材と溝付き部材とを示す模
式図である。
FIG. 18 is a schematic diagram illustrating a movable member and a grooved member according to a second embodiment.

【図19】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の実施例
2を示す模式図である。
FIG. 19 is a schematic view illustrating Example 2 of the method for manufacturing a liquid ejection head according to the present invention.

【図20】実施例2の変形例を示す模式図である。FIG. 20 is a schematic diagram illustrating a modification of the second embodiment.

【図21】実施例2の変形例を示す模式図である。FIG. 21 is a schematic view showing a modification of the second embodiment.

【図22】溝付き部材に設けられた前面取り付け基準部
の他の例を示す模式図である。
FIG. 22 is a schematic view showing another example of the front mounting reference portion provided on the grooved member.

【図23】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の実施例
3を示す模式図である。
FIG. 23 is a schematic view illustrating Example 3 of the method for manufacturing a liquid ejection head according to the present invention.

【図24】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の実施例
4を示す斜視図である。
FIG. 24 is a perspective view showing Embodiment 4 of the method for manufacturing a liquid ejection head according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 素子基板 2 発熱体 3 面積中心 4 前面突き当て基準部 4a 前面突き当て基準部 4b 前面突き当て基準部 4c 前面突き当て基準部 4d 前面突き当て基準部 5 側面突き当て基準部 6 インク供給口 7 突き当て基準ピン 8 突き当て基準窓 10 液流路 11 気泡発生領域 12 供給路 13 共通液室 14 第1液流路 15 第1共通液室 16 第2液流路 17 第2共通液室 18 吐出口 19 狭窄部 20 第1供給路 21 第2供給路 22 第1液流路壁 23 第2液流路壁 24 凸部 30 分離壁 31 可動部材 32 自由端 33 支点 34 支持部材 35 スリット 36 気泡発生領域前壁 37 気泡発生領域側壁 40 気泡 45 液滴 50 溝付き部材 51 オリフィスプレート 70 支持体 78 ばね 80 供給部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Element board 2 Heating element 3 Center of area 4 Front abutment reference part 4a Front abutment reference part 4b Front abutment reference part 4c Front abutment reference part 4d Front abutment reference part 5 Side abutment reference part 6 Ink supply port 7 Abutment reference pin 8 abutment reference window 10 liquid flow path 11 bubble generation area 12 supply path 13 common liquid chamber 14 first liquid flow path 15 first common liquid chamber 16 second liquid flow path 17 second common liquid chamber 18 discharge Outlet 19 Narrowed part 20 First supply path 21 Second supply path 22 First liquid flow path wall 23 Second liquid flow path wall 24 Convex part 30 Separation wall 31 Movable member 32 Free end 33 Support point 34 Support member 35 Slit 36 Bubble generation Area front wall 37 Bubble generation area side wall 40 Bubble 45 Droplet 50 Grooved member 51 Orifice plate 70 Support 78 Spring 80 Supply member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木上 博之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 林崎 公之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 深井 恒 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小野 敬之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Kigami 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Kimiyuki Hayashizaki 3- 30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Within Canon Inc. (72) Inventor Hisashi Fukai 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Takayuki Ono 3- 30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Toshio Kashino 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 変位可能な可動部材を有する櫛歯形状の
分離壁と、該分離壁の櫛歯部分が嵌合する液流路となる
複数の溝が配列される溝付き部材と、を有する液体吐出
ユニットの製造方法であって、 前記溝付き部材は前記溝の配列方向における前記分離壁
の突き当て基準部と、前記溝の間に設けられる前記液流
路の壁と、を有するとともに、前記分離壁は、前記突き
当て基準部および前記液流路壁の液体流れ方向上流側端
部により位置決めされて前記溝付き部材に嵌合されるこ
とを特徴とする液体吐出ユニットの製造方法。
1. A comb-shaped separation wall having a movable member that can be displaced, and a grooved member in which a plurality of grooves serving as a liquid flow passage in which the comb teeth of the separation wall are fitted are arranged. A method of manufacturing a liquid ejection unit, wherein the grooved member has a reference portion for abutting the separation wall in an arrangement direction of the grooves, and a wall of the liquid flow path provided between the grooves. The method of manufacturing a liquid ejection unit, wherein the separation wall is positioned by the abutting reference portion and an upstream end of the liquid flow path wall in the liquid flow direction, and is fitted to the grooved member.
【請求項2】 前記液体吐出ユニットは、さらに前記液
流路に連通し液体を吐出する吐出口と、前記液流路内の
液体に気泡を発生させる発熱体を有する素子基板と、を
有し、前記素子基板と前記溝付き部材とが接合されるこ
とにより前記液流路が形成されることを特徴とする請求
項1に記載の液体吐出ユニットの製造方法。
2. The liquid discharge unit further includes a discharge port that communicates with the liquid flow path to discharge the liquid, and an element substrate having a heating element that generates bubbles in the liquid in the liquid flow path. 2. The method according to claim 1, wherein the liquid flow path is formed by joining the element substrate and the grooved member.
【請求項3】 前記液体吐出ユニットは、前記発熱体に
より液流路内の液体を加熱することにより気泡を発生さ
せ、該気泡の発生に基づく圧力により前記可動部材を変
位させ前記圧力を前記吐出口側に導き前記液体を吐出す
るものであることを特徴とする請求項2に記載の液体吐
出ユニットの製造方法。
3. The liquid discharging unit generates bubbles by heating the liquid in the liquid flow path by the heating element, and displaces the movable member by a pressure based on the generation of the bubbles to discharge the pressure. 3. The method according to claim 2, wherein the liquid is discharged to an outlet side to discharge the liquid.
【請求項4】 前記溝付き部材の突き当て基準部が前記
溝付き部材の厚さの異なる段付部によって形成されたこ
とを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液
体吐出ユニットの製造方法。
4. The liquid discharge unit according to claim 1, wherein the abutting reference portion of the grooved member is formed by a stepped portion having a different thickness of the grooved member. Manufacturing method.
【請求項5】 前記溝付き部材の液流路壁の液体流れ方
向上流側端部と前記分離壁の櫛歯間の切り欠きとを半円
形断面形状とV字形断面形状の組み合わせとしたことを
特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐
出ユニットの製造方法。
5. The method according to claim 5, wherein the notch between the comb teeth of the separation wall and the upstream end of the liquid flow path wall of the grooved member in the liquid flow direction is a combination of a semicircular cross section and a V-shaped cross section. The method for manufacturing a liquid discharge unit according to claim 1, wherein:
【請求項6】 前記分離壁と溝付き部材との位置決め
が、前記溝付き部材に植設された一対の突き当てピン
と、前記分離壁に設けられた該突き当てピンに対応する
長孔形状の突き当て窓とによって行われることを特徴と
する請求項1に記載の液体吐出ユニットの製造方法。
6. The positioning between the separating wall and the grooved member is performed by a pair of abutting pins implanted in the grooved member and an elongated hole corresponding to the abutting pin provided on the separating wall. The method according to claim 1, wherein the method is performed by using an abutment window.
【請求項7】 前記分離壁を前記溝付き部材に対して配
置した後に、前記溝付き部材を振動させることにより前
記分離壁を前記溝付き部材に嵌合させることを特徴とす
る請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ユニッ
トの製造方法。
7. The method according to claim 1, wherein after the separation wall is arranged with respect to the grooved member, the separation wall is fitted to the grooved member by vibrating the grooved member. 7. The method for manufacturing a liquid discharge unit according to any one of 6.
【請求項8】 前記溝付き部材の振動は前記液流路壁の
液体流れ方向上流側端部が上方となるように前記溝付き
部材を傾けながら行われることを特徴とする請求項7に
記載の液体吐出ユニットの製造方法。
8. The vibration of the grooved member is performed while tilting the grooved member such that the upstream end of the liquid flow path wall in the liquid flow direction is upward. Manufacturing method of a liquid discharge unit.
【請求項9】 前記液流路壁の液体流れ方向上流側端部
が上方となるように前記溝付き部材を傾けながら圧力空
気を用いて前記分離壁を浮上させることにより前記分離
壁の自重で前記分離壁を前記溝付き部材に勘合させるこ
とを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の液
体吐出ユニットの製造方法。
9. The self-weight of the separation wall by floating the separation wall using pressurized air while tilting the grooved member such that the upstream end of the liquid flow path wall in the liquid flow direction is upward. 7. The method according to claim 1, wherein the separating wall is fitted to the grooved member.
【請求項10】 請求項1ないし9のいずれかに記載さ
れる液体吐出ユニットの製造方法により製造されること
を特徴とする液体吐出ヘッド。
10. A liquid discharge head manufactured by the method for manufacturing a liquid discharge unit according to claim 1. Description:
【請求項11】 請求項10に記載の前記液体吐出ヘッ
ドを搭載可能であるとともに、前記液体が吐出される被
プリント媒体を搬送するための搬送手段を有することを
特徴とする液体吐出装置。
11. A liquid ejecting apparatus, wherein the liquid ejecting head according to claim 10 can be mounted thereon, and further comprising a transport unit for transporting a print medium onto which the liquid is ejected.
JP20314496A 1996-06-07 1996-07-12 Production of liquid discharging unit, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus Pending JPH1029309A (en)

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CA002207265A CA2207265C (en) 1996-06-07 1997-06-06 Liquid ejection head and apparatus, and manufacturing method for the liquid ejection head
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